KR100526925B1 - Apparatus for checking leak of bellows assembly for slit inner door of semiconductor equipment - Google Patents

Apparatus for checking leak of bellows assembly for slit inner door of semiconductor equipment Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 설비의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리의 리크 체크 장치에 관한 것으로서, 이를 위해 본 발명은 내부가 비고, 상향 개방된 상부에는 설비로부터 분리시킨 벨로우즈 어셈블리(50)를 내부로 삽입되게 하면서 상기 벨로우즈 어셈블리(50)의 개방된 상단부가 상부면에 결합될 수 있도록 테스트용 챔버(10)를 구비하고, 상기 테스트용 챔버(10)의 벨로우즈 어셈블리(50)가 삽입되는 상부와 대응되는 하부에는 진공압 펌프(20)와 함께 헬륨 체크 게이지(31)를 갖는 디텍터(30)가 연결되도록 하며, 상기 벨로우즈 어셈블리(50)의 상향 개방된 상단부에는 헬륨 주입기(50)가 연결되어 헬륨 가스가 주입되도록 하는 구성인 바 설비의 점검 시 손쉽게 벨로우즈의 리크를 정확히 체크하고, 벨로우즈에 손상이 있어 리크가 체크되면 그 즉시 교체해서 바로 공정 수행이 이루어질 수 있도록 하는 동시에 벨로우즈의 손상 시 바로 교체가 이루어지도록 하면 설비의 가동율이 증가되면서 생산성이 대폭적으로 향상되는 효과가 있다.The present invention relates to a leak check apparatus of a bellows assembly for a slit inner door of a semiconductor equipment. To this end, the present invention is empty, and the bellows assembly 50 separated from the equipment is inserted into the upper portion of the upper opening. A test chamber 10 is provided to allow the open upper end of the bellows assembly 50 to be coupled to the upper surface, and a lower portion corresponding to the upper portion into which the bellows assembly 50 of the test chamber 10 is inserted. A detector 30 having a helium check gauge 31 is connected to the pneumatic pump 20, and a helium injector 50 is connected to an upwardly open upper end of the bellows assembly 50 to inject helium gas. When checking the bar equipment, it is easy to check the leak of the bellows easily.If the leak is checked due to damage to the bellows, replace it immediately. If at the same time to be made to the process operation is immediately replaced when damage to the bellows to occur while the operation rate of the equipment increases there is an effect that productivity is greatly improved.

Description

반도체 설비의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리의 리크 체크 장치{Apparatus for checking leak of bellows assembly for slit inner door of semiconductor equipment} Leak check device for bellows assembly for slit inner door of semiconductor equipment {Apparatus for checking leak of bellows assembly for slit inner door of semiconductor equipment}

본 발명은 반도체 설비의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리의 리크 체크 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부가 빈 테스트용 챔버에 벨로우즈 어셈블리를 내부로 삽입되게 상단부간 결합되게 하고, 테스트용 챔버는 진공압 상태가 되게 한 상태에서 벨로우즈 어셈블리의 내부로 헬륨 가스를 공급하여 테스트용 챔버에서의 헬륨 가스가 체크되는지에 의해 벨로우즈 어셈블리의 불량 여부를 체크하도록 하여 현장에서 손쉽게 점검할 수 있도록 함으로서 설비 가동율 및 생산성에 향상되도록 하는 반도체 설비의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리의 리크 체크 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a leak check apparatus of a bellows assembly for a slit inner door of a semiconductor device, and more particularly, to allow the bellows assembly to be inserted into an empty test chamber to be inserted between the upper ends thereof, and the test chamber is vacuum pressured. In this state, helium gas is supplied to the inside of the bellows assembly to check whether the bellows assembly is defective by checking whether helium gas in the test chamber is checked so that it can be easily inspected on site, thereby improving facility operation rate and productivity. A leak check device for a bellows assembly for a slit inner door of a semiconductor facility to be improved.

일반적으로 반도체를 제조하기 위해서는 복잡하고 다양한 공정을 순차적으로 수행하게 되는데 이들 공정을 수행하기 위해서는 그에 적절한 공정 설비가 구비되도록 하고 있다.In general, in order to manufacture a semiconductor, a complex and various processes are sequentially performed. In order to perform these processes, an appropriate process facility is provided.

이러한 공정 설비들은 수행하고자 하는 공정의 특성에 따라서도 각각 다르고, 같은 공정일지라도 제조 회사에 따라서도 각기 차이가 있다.These process facilities are different depending on the characteristics of the process to be performed, and even the same process is different depending on the manufacturing company.

최근 식각이나 증착 공정에는 주로 공정의 연속성을 유지하기 위하여 멀티 챔버 타입의 설비를 적용하고 있다.Recently, in order to maintain the continuity of the process, a multi-chamber type equipment is applied to an etching or a deposition process.

멀티 챔버는 통상 중앙에 트랜스모듈을 갖고 그 주위로 하나 이상의 로드락 챔버와 프로세스 챔버가 구비되도록 하는 설비이다.Multi-chambers are facilities that typically have a transmodule in the center and at least one load lock chamber and a process chamber around them.

도 1은 이러한 멀티 챔버 타입의 설비를 도시한 것으로서, 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트(C)를 로드락 챔버(1)에 로딩시키면 트랜스모듈(2)의 이송 로봇(2a)에 의해 로드락 챔버(1)측 카세트(C)에 적재되어 있는 웨이퍼를 하나씩 프로세스 챔버(3)로 이송시켜 공정을 수행하도록 한다.FIG. 1 illustrates such a multi-chamber type facility. When the cassette C loaded with a plurality of wafers is loaded into the load lock chamber 1, the load lock chamber is moved by the transfer robot 2a of the transformer module 2. (1) The wafers loaded in the side cassette C are transferred to the process chamber 3 one by one to perform the process.

이때 로드락 챔버(1)와 트랜스모듈(2) 사이 또는 트랜스모듈(2)과 프로세스 챔버(3)의 사이에는 웨이퍼가 이동할 수 있도록 하는 슬릿 인너 도어(4, slit inner door)가 설치되어 있다.In this case, a slit inner door 4 is installed between the load lock chamber 1 and the trans module 2 or between the trans module 2 and the process chamber 3 to allow the wafer to move.

슬릿 인너 도어(4)는 통상 에어 실린더에 의해서 구동이 되도록 하고 있는 바 슬릿 인너 도어(4)는 작동 유형에 따라 SMC 밸브 타입 또는 VAT 밸브 타입으로 구분되고 있다.The slit inner door 4 is usually driven by an air cylinder, and the slit inner door 4 is divided into an SMC valve type or a VAT valve type according to an operation type.

슬릿 인너 도어(4)를 작동시키는 SMC 밸브 타입은 소정의 경사각으로 승강하면서 슬릿에는 수평 이동에 의해 개폐시키는 방식이고, VAT 밸브 타입은 수직으로 승강하면서 슬릿을 개폐시키는 방식으로 이루어지도록 하고 있다.The SMC valve type for operating the slit inner door 4 is a method of opening and closing the slit by horizontal movement while moving up and down at a predetermined inclination angle, and the VAT valve type is configured to open and close the slit while raising and lowering vertically.

한편 슬릿 인너 도어(4)에서 챔버의 내부와 외부를 격리시키도록 하기 위해 구비되는 것이 벨로우즈 어셈블리이다.Meanwhile, the bellows assembly is provided to isolate the inside and the outside of the chamber from the slit inner door 4.

즉 도 2에서와 같이 벨로우즈(5)는 내부에 도어 구동축(6)을 수용하면서 챔버(7)와 도어 구동축(6)을 격리시키게 되는데 이때 벨로우즈(5)의 상단 또는 하단에는 다수의 나사공을 갖는 고정편(5a)을 형성하여 스크류 체결에 의해서 챔버(7)에 기밀이 유지되게 연결되고, 그에 대응되는 타단은 도어 구동축(6)과 기밀이 유지되게 연결되도록 하고 있다.That is, as shown in FIG. 2, the bellows 5 separates the chamber 7 and the door driving shaft 6 while accommodating the door driving shaft 6 therein, and a plurality of screw holes are provided at the top or bottom of the bellows 5. The fixing piece 5a is formed to be connected to the chamber 7 by screw fastening to be kept airtight, and the other end corresponding thereto is to be connected to the door drive shaft 6 to be kept airtight.

그러나 이러한 벨로우즈(5)는 슬릿 인너 도어의 반복되는 작동에 의해 주름면에 크랙(crack)이 발생하거나 손상이 유발되어 이 부위로 리크가 발생되는 경우가 있으므로 챔버에서의 공정 수행에 악영향을 미치게 되면서 그에 따라 공정 불량 및 제품 불량을 초래하는 문제점이 있다.However, since the bellows 5 may have cracks or damages on the corrugated surface due to repeated operation of the slit inner door, leakage may occur in this area, thereby adversely affecting the performance of the process in the chamber. Accordingly, there is a problem that results in process defects and product defects.

또한 이와 같은 벨로우즈의 리크 발생 시 현재는 리크 체크를 외부에 의뢰하여 체크가 이루어지도록 하고 있으므로 설비의 가동율이 저하되면서 그만큼 생산성도 낮아지는 비경제적인 문제점도 있다.In addition, when such a leak of the bellows occurs, a check is made by requesting a leak check to the outside, so there is also an uneconomical problem that the productivity is lowered as the operation rate of the facility decreases.

따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 설비의 점점 시 벨로우즈만을 분리하여 별도로 현장에서 리크를 정확히 체크할 수 있도록 하는 반도체 제조용 챔버의 벨로우즈 리크 체크용 지그를 제공하는데 있다. Therefore, the present invention has been invented to solve the above-described problems of the prior art, an object of the present invention is to separate the bellows only when the equipment is gradually used for checking the bellows leak of the chamber for semiconductor manufacturing to accurately check the leak separately in the field. To provide a jig.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 내부가 비고, 상향 개방된 상부에는 설비로부터 분리시킨 벨로우즈 어셈블리를 내부로 삽입되게 하면서 상기 벨로우즈 어셈블리의 개방된 상단부가 상부면에 결합될 수 있도록 테스트용 챔버를 구비하고, 상기 테스트용 챔버의 벨로우즈 어셈블리가 삽입되는 상부와 대응되는 하부에는 진공압 펌프와 함께 헬륨 체크 게이지를 갖는 디텍터가 연결되도록 하며, 상기 벨로우즈 어셈블리의 상향 개방된 상단부에는 헬륨 주입기가 연결되어 헬륨 가스가 주입되도록 하는 구성이다.In order to achieve the above object, the present invention provides a test chamber so that an open upper end of the bellows assembly can be coupled to the upper surface while allowing the bellows assembly separated from the facility to be inserted into the upper part of the upper opening. And a detector having a helium check gauge together with a vacuum pressure pump connected to a lower portion corresponding to an upper portion of the bellows assembly of the test chamber, and a helium injector connected to an upper portion of the bellows assembly upwardly open. It is the structure which makes gas inject.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3에서 보는 바와 같이 본 발명은 크게 테스트용 챔버(10)와 진공압 펌프(20)와 디텍터(30) 및 헬륨 주입기(40)로서 이루어지는 구성이다.As shown in FIG. 3, the present invention is configured as a test chamber 10, a vacuum pump 20, a detector 30, and a helium injector 40.

테스트용 챔버(10)는 내부가 비고, 상부면이 소정의 직경으로 상향 개방되게 형성한 구성이다. 테스트용 챔버(10)의 내부는 공정 설비의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리가 충분히 수용될 수 있는 공간을 갖도록 하며, 개방되게 형성한 상단부에는 벨로우즈 어셈블리의 일단이 결합될 수 있는 구성으로 이루어지도록 한다.The test chamber 10 has a configuration in which the inside is empty and the upper surface is opened upward to a predetermined diameter. The interior of the test chamber 10 is to have a space that can sufficiently accommodate the bellows assembly for the slit inner door of the process equipment, and to be configured such that one end of the bellows assembly can be coupled to the upper end formed to open.

진공압 펌프(20)는 테스트용 챔버(10)의 내부를 진공압 상태가 되도록 하는 구성으로, 테스트용 챔버(10)의 벨로우즈 어셈블리가 결합되는 상부와 대응되는 하부쪽으로 연결되도록 하는 것이 가장 바람직하다.The vacuum pump 20 is configured to allow the interior of the test chamber 10 to be in a vacuum state, and it is most preferable to connect the bellows assembly of the test chamber 10 to a lower side corresponding to the upper side to which the test chamber 10 is coupled. .

또한 디텍터(30)는 테스트용 챔버(10)의 내부 압력을 감지할 수 있도록 하는 구성으로서, 디텍터(30)에는 헬륨 체크 게이지(31)가 동시에 구비되면서 테스트용 챔버(10)의 내부 압력과 함께 내부로 유도되는 헬륨의 양을 체크할 수 있도록 하는 것이다.In addition, the detector 30 is configured to detect the internal pressure of the test chamber 10, the detector 30 is provided with a helium check gauge 31 at the same time together with the internal pressure of the test chamber 10 This allows you to check the amount of helium that is drawn into it.

한편 헬륨 주입기(40)는 테스트용 챔버(10)의 내부로 벨로우즈 어셈블리를 삽입시켜 결합시킨 상태에서 테스트용 챔버(10)를 진공압 상태가 되게 한 후 벨로우즈 어셈블리의 내부로 헬륨을 주입하도록 하는 헬륨 공급 수단이다.Meanwhile, the helium injector 40 inserts the bellows assembly into the test chamber 10 to bring the test chamber 10 into a vacuum state in a coupled state and then injects helium into the bellows assembly. Supply means.

이를 위한 헬륨 주입기(40)는 기존의 공정 설비에서 사용되는 헬륨을 사용할 수도 있고, 별도로 테스트용 헬륨 용기를 구비하여 사용할 수도 있다.Helium injector 40 for this may be used helium used in the existing process equipment, may be used with a separate helium container for testing.

이때 헬륨 주입기(40)는 헬륨을 주입하는 노즐이 개방된 벨로우즈 어셈블리의 상부에 결합되는 구조가 되도록 하는 것이 가장 바람직하다.At this time, the helium injector 40 is most preferably such that the nozzle for injecting helium is coupled to the upper portion of the open bellows assembly.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 벨로우즈 어셈블리의 리크를 체크하는 방법에 대해서 살펴보면 다음과 같다.Looking at the method for checking the leak of the bellows assembly according to the present invention configured as described above are as follows.

도 4에서와 같이 본 발명에서 우선 테스트용 챔버(10)와 함께 진공압 펌프(20)와 디텍터(30)는 테스트용 챔버(10)에 일체로 연결되어 있는 상태이다.In the present invention, as shown in FIG. 4, the vacuum pump 20 and the detector 30 together with the test chamber 10 are connected to the test chamber 10 integrally.

따라서 공정 설비로부터 단순히 벨로우즈 어셈블리(50)를 분리하여 본 발명의 테스트용 챔버(10)의 상부로부터 안쪽으로 삽입한다.Therefore, the bellows assembly 50 is simply removed from the process equipment and inserted inward from the top of the test chamber 10 of the present invention.

이때 벨로우즈 어셈블리(50)의 하부는 밀폐된 상태이고, 단지 벨로우즈 어셈블리(50) 또한 내부가 비어 있는 상태에서 상단부가 테스트용 챔버(10)의 상부면에 견고하게 결합되도록 한다.At this time, the lower portion of the bellows assembly 50 is in a closed state, and only the bellows assembly 50 is also empty so that the upper end is firmly coupled to the upper surface of the test chamber 10.

이와 같은 상태에서 진공압 펌프(20)를 구동시키게 되면 테스트용 챔버(10)의 내부는 진공압 상태가 되고, 이를 디텍터(30)에서는 이때의 압력을 체크한다.When the vacuum pump 20 is driven in such a state, the interior of the test chamber 10 is in a vacuum state, and the detector 30 checks the pressure at this time.

테스트용 챔버(10)가 비록 진공압 상태가 되더라도 테스트용 챔버(10)의 내부에 삽입된 벨로우즈 어셈블리(50)에는 전혀 영향을 주지 않는다.Although the test chamber 10 is in a vacuum state, it does not affect the bellows assembly 50 inserted into the test chamber 10 at all.

이렇게 테스트용 챔버(10)의 내부를 진공압 상태가 되게 한 후 벨로우즈 어셈블리(50)의 개방된 상단부에는 헬륨 주입기(40)의 노즐이 연결되게 한다.After the inside of the test chamber 10 is brought into a vacuum state, the nozzle of the helium injector 40 is connected to the open upper end of the bellows assembly 50.

벨로우즈 어셈블리(50)에 헬륨 주입기(40)를 연결한 다음 헬륨 주입기(40)를 통해 벨로우즈 어셈블리(50)의 내부로 헬륨을 소정량 주입한다.The helium injector 40 is connected to the bellows assembly 50, and then a predetermined amount of helium is injected into the bellows assembly 50 through the helium injector 40.

벨로우즈 어셈블리(50)의 내부에 헬륨을 주입하게 되면 만일 벨로우즈 어셈블리(50)의 주름면에 미세하게 나마 손상이 되었으면 그 부위를 통해 헬륨 가스가 테스트용 챔버(10)의 내부로 유입되고, 이를 디텍터(30)의 헬륨 체크 게이지(31)가 감지하게 된다.When helium is injected into the bellows assembly 50, if the corrugated surface of the bellows assembly 50 is minutely damaged, helium gas is introduced into the test chamber 10 through the area, and the detector is detected. The helium check gauge 31 of 30 is detected.

즉 정상적인 벨로우즈 어셈블리(50)로부터는 헬륨 가스가 내부에 주입되더라도 진공압 상태인 테스트용 챔버(10)의 내부로 전혀 유입되지 말아야 하나 디텍터(30)에서 헬륨이 감지된다는 것은 결국 벨로우즈 어셈블리(50)의 주름면을 통해 테스트용 챔버(10)로 헬륨이 유입된다는 것을 의미하므로 이는 바로 벨로우즈 어셈블리(50)의 불량을 의미하게 되는 것이다.That is, even if helium gas is injected from the normal bellows assembly 50, it should not be introduced into the test chamber 10 under vacuum pressure at all. However, the detection of helium in the detector 30 may result in the bellows assembly 50. This means that helium is introduced into the test chamber 10 through the corrugated surface of the, which means that the bellows assembly 50 is defective.

이와 같은 방식으로 정기적인 설비 점검이나 비정기적인 점검 시 벨로우즈 어셈블리(50)를 설비로부터 분리하여 간단히 리크 체크를 할 수가 있다.In this way, the bellows assembly 50 can be detached from the facility and checked for leaks at regular or regular inspections.

따라서 벨로우즈의 리크 체크를 위해 장시간 설비 가동을 중단시킬 필요없이 현장에서 본 발명을 이용하여 간단히 점검을 한 후 문제가 있을 때는 바로 교체해서 설비 가동을 즉 공정 수행을 안정적으로 할 수가 있도록 한다.Therefore, a simple check using the present invention in the field without having to stop the operation of the equipment for a long time for the leak check of the bellows can be replaced immediately when there is a problem, so that the operation of the equipment can be made stable.

한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. On the other hand, while many matters have been described in detail in the above description, they should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than to limit the scope of the invention.

따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be defined by the described embodiments, but should be determined by the technical spirit described in the claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 별도로 구비되는 벨로우즈의 리크 체크용 기구를 이용하여 설비의 점검 시 손쉽게 벨로우즈의 리크를 정확히 체크하고, 벨로우즈에 손상이 있어 리크가 체크되면 그 즉시 교체해서 바로 공정 수행이 이루어질 수 있도록 하는 이점이 있다.As described above, according to the present invention, the leak check mechanism of the bellows is easily checked using the leak check mechanism of the bellows, and if the leak is checked due to damage to the bellows, it is immediately replaced and immediately performed. There is an advantage to this.

이와 같이 본 발명은 현장에서 벨로우즈의 리크를 정확히 체크하여 벨로우즈의 손상 시 바로 교체가 이루어지도록 하면 설비의 가동율이 증가되면서 생산성이 대폭적으로 향상될 수가 있는 효과를 제공한다.As described above, the present invention provides an effect of accurately checking the leak of the bellows in the field and immediately replacing the bellows when the bellows is damaged, thereby significantly increasing productivity while increasing the operation rate of the facility.

도 1은 일반적인 멀티 챔버형 반도체 설비를 도시한 평면도,1 is a plan view showing a typical multi-chamber semiconductor equipment,

도 2는 종래의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리의 결합 구조를 도시한 단면도,2 is a cross-sectional view showing a coupling structure of a bellows assembly for a conventional slit inner door;

도 3은 본 발명에 따른 벨로우즈 어셈블리의 리크 체크 장치를 도시한 단면도,3 is a cross-sectional view showing a leak check device of the bellows assembly according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따라 벨로우즈 어셈블리의 리크를 체크하는 사용 상태를 도시한 단면도.Figure 4 is a cross-sectional view showing a state of use to check the leak of the bellows assembly in accordance with the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 테스트용 챔버 20 : 진공압 펌프10 test chamber 20 vacuum pump

30 : 디텍터 40 : 헬륨 주입기30 detector 40 helium injector

50 : 벨로우즈 어셈블리50: Bellows Assembly

Claims (4)

내부가 비고, 상향 개방된 상부에는 설비로부터 분리시킨 벨로우즈 어셈블리를 내부로 삽입되게 하면서 상기 벨로우즈 어셈블리의 개방된 상단부가 상부면에 결합될 수 있도록 테스트용 챔버를 구비하고, 상기 테스트용 챔버의 벨로우즈 어셈블리가 삽입되는 상부와 대응되는 하부에는 진공압 펌프와 함께 헬륨 체크 게이지를 갖는 디텍터가 연결되도록 하며, 상기 벨로우즈 어셈블리의 상향 개방된 상단부에는 헬륨 주입기가 연결되어 헬륨 가스가 주입되도록 하는 반도체 설비의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리의 리크 체크 장치.The interior of the bellows assembly of the test chamber is provided with a test chamber such that an open upper end of the bellows assembly can be coupled to the upper surface while allowing the bellows assembly separated from the installation to be inserted therein. The slit inner of the semiconductor equipment to connect the detector having a helium check gauge with a vacuum pressure pump is connected to the upper portion and the lower portion that is inserted, and the helium injector is connected to the upper open upper portion of the bellows assembly. Leak check device for door bellows assembly. 제 1 항에 있어서, 상기 테스트용 챔버는 상기 벨로우즈 어셈블리를 내부로 수용할 수 있는 크기의 내부 공간을 갖는 반도체 설비의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리의 리크 체크 장치.The leak check apparatus of claim 1, wherein the test chamber has an inner space that is sized to accommodate the bellows assembly therein. 제 1 항에 있어서, 상기 헬륨 주입기는 상기 벨로우즈 어셈블리의 상단부에 노즐이 나사 결합에 의해 체결되도록 하는 반도체 설비의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리의 리크 체크 장치.2. The leak check apparatus of a bellows assembly of a slit inner door of a semiconductor device according to claim 1, wherein the helium injector causes the nozzle to be fastened to the upper end of the bellows assembly by screwing. 제 1 항에 있어서, 상기 벨로우즈 어셈블리는 상기 테스트용 챔버의 내부로 삽입되는 하단부는 밀폐되고, 상단부만이 상향 개방되며, 상단부가 상기 테스트용 챔버의 상부면에 결합되는 반도체 설비의 슬릿 인너 도어용 벨로우즈 어셈블리의 리크 체크 장치.The slit inner door of the semiconductor device of claim 1, wherein the bellows assembly is sealed at a lower end of the bellows assembly, the upper end of which is open upward, and the upper end of the bellows assembly is coupled to the upper surface of the test chamber. Leak check device in bellows assembly.
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