KR101915233B1 - Output Port for in-situ inspecting of cleaned carrier and method of in-situ inspecting the carrier by the port - Google Patents

Output Port for in-situ inspecting of cleaned carrier and method of in-situ inspecting the carrier by the port Download PDF

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Abstract

세정이 완료된 캐리어의 검사를 실시간으로 처리하여, 검사의 시간을 단축하고 장치가 점유하는 공간을 효율적으로 활용하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트 및 그에 의한 검사방법을 제시한다. 그 포트 및 방법은 세정부와 연결되고, 캐리어를 로딩 및 언로딩하는 로딩 및 언로딩부에 배치된 출력 포트에 있어서, 출력 포트는 세정부에서 세정을 마친 캐리어를 검사하기 위한 검사부 및 검사부에서 검사가 완료된 캐리어를 올려놓는 안착부를 포함한다. An output port for real-time inspection of a cleaned carrier and an inspection method therefor are disclosed which process the inspection of the cleaned carrier in real time, shorten the inspection time, and efficiently utilize the space occupied by the apparatus. The port and method are connected to the cleaner and are arranged in the loading and unloading section for loading and unloading the carrier. The output port includes an inspection section for inspecting the carrier which has been cleaned in the cleaning section, And a mounting portion for mounting the completed carrier.

Description

세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트 및 그에 의한 검사방법{Output Port for in-situ inspecting of cleaned carrier and method of in-situ inspecting the carrier by the port}Field of the Invention [0001] The present invention relates to an output port for real-time inspection of a carrier that has been cleaned and an inspection method therefor. More particularly,

본 발명은 캐리어의 출력 포트 및 캐리어 실시간 검사방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세정이 완료된 캐리어를 실시간으로 검사하기 위한 출력 포트 및 실시간 검사방법에 관한 것이다. The present invention relates to an output port and a carrier real-time inspection method for a carrier, and more particularly, to an output port and a real-time inspection method for real-time inspection of a cleaned carrier.

캐리어(carrier)는 웨이퍼나 미세전자소자를 운반 및 보관 용도로 사용되는 전면개방 운반용기(Front Opening Shipping Box: 이하 'FOSB')와 운반 및 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 'FOUP')와 같은 캐리어가 사용된다. 캐리어는 일반적으로 캐리어 본체와 상기 본체를 밀봉하여 웨이퍼를 보관 및 반송할 수 있도록 상기 본체에 초청정한 내부 환경을 제공하는 커버로 구성된다. 웨이퍼는 본체 내로 삽입될 수 있는 카세트나 캐리어의 내부에 설치된 선반에 의해 지지된다. The carrier is a front opening shipping box (FOSB), which is used for transportation and storage of wafers and microelectronic devices, as well as transportation and storage, as well as a front open unified pod (Front Open Unified Pod: hereinafter referred to as 'FOUP') is used. The carrier generally comprises a carrier body and a cover that provides an internal environment to the body for sealing and sealing the wafer so that the wafer can be stored and transported. The wafer is supported by a cassette that can be inserted into the body or by a shelf installed inside the carrier.

캐리어는 일본등록특허 제5,768,337호, 국내공개특허 제2012-0106614호 등과 같이 커버를 개폐하여 불순물 등에 의한 오염도를 검사한다. 구체적으로, 건조가 포함된 세정이 완료된 캐리어는 단위공정으로 보내거나 스토커에 적재하기 전에, 별도의 검사장치에 의해 세정 및 건조 상태를 확인한다. 그런데, 종래의 검사장치는 세정에 관련된 장치와 독립적으로 배치되어 있어서 공간의 활용이 비효율적이고, 세정 및 검사가 실시간으로 이루어질 수 없다. The carrier is opened and closed as in Japanese Patent No. 5,768,337 and Korean Patent Laid-Open No. 2012-0106614, and the degree of contamination due to impurities is inspected. Specifically, the cleaned carrier containing the drying is checked by a separate inspection device before being sent to the unit process or loaded on the stocker. However, since the conventional inspection apparatus is disposed independently of the apparatus related to cleaning, the utilization of the space is inefficient, and cleaning and inspection can not be performed in real time.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 세정이 완료된 캐리어의 검사를 실시간으로 처리하여, 검사의 시간을 단축하고 장치가 점유하는 공간을 효율적으로 활용하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트 및 그에 의한 검사방법을 제공하는 데 있다. An object of the present invention is to provide an output port for real-time inspection of a cleaned carrier that processes inspection of a cleaned carrier in real time, shortens the inspection time and efficiently utilizes a space occupied by the apparatus, And to provide an inspection method.

본 발명의 과제를 해결하기 위한 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트는 세정부와 연결되고, 캐리어를 로딩 및 언로딩하는 로딩 및 언로딩부에 배치된 출력 포트에 있어서, 상기 출력 포트는 상기 세정부에서 세정을 마친 상기 캐리어를 검사하기 위한 검사부 및 상기 검사부에서 검사가 완료된 상기 캐리어를 올려놓는 안착부를 포함한다. An output port for real-time inspection of a cleaned carrier is connected to a cleaner and is disposed in a loading and unloading unit for loading and unloading a carrier, An inspection unit for inspecting the carrier that has been cleaned by the cleaning unit, and a mounting unit for mounting the carrier on which the inspection is completed by the inspection unit.

본 발명의 포트에 있어서, 상기 검사부는 상기 캐리어의 커버에 밀착되는 밀착부 및 상기 밀착부를 상하운동시키는 밀착부 구동부를 포함한다. 상기 상하운동은 상기 캐리어를 검사하기 위한 검사영역을 제공한다. 상기 검사부는 탄성력을 이용하여 상기 캐리어에 이물질이 유입되는 것을 차단하는 탄성구조물을 포함할 수 있다. 상기 탄성구조물은 벨로우즈일 수 있다. In the port of the present invention, the inspection unit includes a close contact unit that is closely attached to the cover of the carrier, and a close contact unit driver that moves the close contact unit up and down. The up-and-down motion provides an inspection area for inspecting the carrier. The inspection unit may include an elastic structure that blocks foreign substances from entering the carrier using an elastic force. The elastic structure may be a bellows.

본 발명의 포트에 있어서, 상기 안착부는 상기 캐리어가 안착되는 스테이지 및 상기 스테이지를 왕복운동시키는 스테이지 구동부를 포함한다. 상기 스테이지는 레일을 따라 움직일 수 있다. 상기 검사부는 상기 캐리어를 회전에 의해 상기 스테이지에 안착시키는 회전부를 포함한다. 상기 검사부는 지지대에 고정되며, 상기 지지대의 끝부분은 상기 캐리어의 본체가 탑재되는 본체 걸림턱을 포함할 수 있다.In the port of the present invention, the seat portion includes a stage on which the carrier is seated and a stage driving portion for reciprocating the stage. The stage can move along the rails. The inspection unit includes a rotation unit that seats the carrier on the stage by rotation. The inspection unit may be fixed to a support base, and an end of the support base may include a main body support base on which the main body of the carrier is mounted.

본 발명의 다른 과제를 해결하기 위한 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트에 의한 검사방법은 먼저, 세정부에 의해 세정이 완료된 캐리어의 커버를 상기 커버에 밀착되는 밀착부에 밀착한다. 그후, 상기 밀착부를 구동시키는 밀착부 구동부에 의해 상기 커버를 하강시켜 검사영역을 형성한다. 상기 캐리어의 본체를 상기 본체가 탑재되는 본체 걸림턱에 안착한다. 상기 캐리어에 대한 검사를 실시한다. 상기 검사가 완료되면 상기 커버를 상승시켜 상기 본체와 결합한다.A method for inspecting an output port for real-time inspection of a cleaned carrier in order to solve the problems of the present invention is as follows. First, a cover of a carrier that has been cleaned by a cleaner is brought into close contact with a close- Thereafter, the cover is lowered by the cooperating portion driving portion for driving the coinciding portion to form the inspection region. And a main body of the carrier is seated on a main body engaging jaw on which the main body is mounted. The carrier is inspected. When the inspection is completed, the cover is lifted to engage with the main body.

본 발명의 방법에 있어서, 상기 검사는 불순물의 개수 및 습도를 측정하는 것일 수 있다. 상기 본체와의 결합시키는 단계 이후에, 회전부의 회전에 의해 상기 캐리어를 상기 스테이지에 안착시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 스테이지 안착된 캐리어는 상기 스테이지를 상기 세정부의 반대방향으로 이동시켜, 상기 캐리어를 로딩 및 언로딩부의 외부로 이동시키는 단계를 더 포함할 수 있다.In the method of the present invention, the inspection may be to measure the number of impurities and the humidity. The step of fitting the carrier to the stage by rotation of the rotating part may be further included after the step of engaging the carrier with the body. The carrier placed on the stage may further include moving the stage in a direction opposite to the cleaning section and moving the carrier to the outside of the loading and unloading section.

본 발명의 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트 및 그에 의한 검사방법에 의하면, 세정된 캐리어를 실시간으로 검사하는 검사부를 구비한 출력 포트를 활용함으로써, 세정이 완료된 캐리어의 검사를 로딩 및 언로딩 장치에서 실시간으로 처리하여, 검사의 시간을 단축하고 장치가 점유하는 공간을 효율적으로 활용할 수 있다.According to the output port and the inspection method thereof for real-time inspection of the cleaned carrier of the present invention, by utilizing an output port including an inspection unit for inspecting the cleaned carrier in real time, It is possible to shorten the inspection time and efficiently utilize the space occupied by the apparatus.

도 1은 본 발명에 의한 출력 포트를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 출력 포트를 나타내는 사시도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명에 의한 출력 포트에서 캐리어의 검사를 실시간으로 수행하는 과정을 나타내는 도면들이다.1 is a schematic view for explaining an output port according to the present invention.
2 is a perspective view showing the output port of FIG.
3 to 5 are diagrams illustrating a process of real-time checking of a carrier at an output port according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below can be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to enable those skilled in the art to more fully understand the present invention.

본 발명의 실시예는 세정된 캐리어를 실시간으로 검사하는 검사부를 구비한 출력 포트를 활용함으로써, 세정이 완료된 캐리어의 검사를 로딩 및 언로딩부에서 실시간으로 처리하여, 검사의 시간을 단축하고 장치가 점유하는 공간을 효율적으로 활용하는 출력 포트 및 그에 의한 검사방법을 제시한다. 이를 위해, 검사부가 장착된 출력 포트의 구조에 대하여 상세하게 살펴보고, 캐리어를 실시간으로 검사하는 과정을 자세하게 설명하기로 한다. 여기서, 세정이란 건조과정을 포함한다. 설명의 편의를 위하여, 이하에서는 캐리어(CR)를 본체(BD) 및 커버(CV)로 구분하기로 한다. The embodiment of the present invention utilizes an output port equipped with an inspection unit for inspecting the cleaned carrier in real time, so that the inspection of the cleaned carrier can be processed in real time by the loading and unloading unit, An output port for efficiently utilizing the occupied space and an inspection method therefor are presented. To this end, the structure of the output port equipped with the inspection unit will be described in detail, and the process of real-time inspection of the carrier will be described in detail. Here, cleaning includes a drying process. For convenience of explanation, the carrier CR will be divided into a main body BD and a cover CV in the following description.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 출력 포트(40)를 설명하기 위한 개략적인 도면이다. 도 2는 도 1의 출력 포트(40)를 나타내는 사시도이다. 1 is a schematic view for explaining an output port 40 according to an embodiment of the present invention. 2 is a perspective view showing the output port 40 of FIG.

도 1에 의하면, 본 발명의 출력 포트(40)는 세정부(CL)와 연결된 로딩 및 언로딩부(10)에 배치된다. 로딩 및 언로딩부(10) 및 세정부(CL) 사이에는 본 발명의 범주 내에서 다양한 기능을 수행하는 구성요소들이 부가될 수 있다. 도시되지 않았지만, 로딩 및 언로딩부(10)는 캐리어(CR, 도 4 참조)를 세정부(CL)로 투입하는 입력 포트를 포함한다. 세정부(CL)에 투입되는 캐리어(CR)는 별도의 분류기, 스토커 등을 거칠 수 있으며, 상기 분류기 및 스토커는 본 발명의 로딩 및 언로딩부(10)에 존재할 수 있다. 다시 말해, 캐리어(CR)는 분류기, 스토커, 캐리어 로딩부, 입력 포트가 모두 구비되어 실시간 공정으로 분류, 적재 및 입력이 이루어지거나, 캐리어(CR)는 분류 및 적재라는 별도의 공정을 거칠 수도 있다. 1, the output port 40 of the present invention is disposed in the loading and unloading section 10 connected to the cleaning section CL. Between the loading and unloading unit 10 and the cleaning unit CL, components performing various functions can be added within the scope of the present invention. Although not shown, the loading and unloading section 10 includes an input port for inputting a carrier CR (see Fig. 4) to the cleaning section CL. The carrier CR injected into the cleaning section CL may pass through a separate classifier, a stalker or the like, and the classifier and the stocker may be present in the loading and unloading section 10 of the present invention. In other words, the carrier CR may include a classifier, a stocker, a carrier loading unit, and an input port, and may be classified, loaded and input into a real-time process, or the carrier CR may be subjected to a separate process of sorting and loading .

도 2에 의하면, 출력 포트(40)는 세정을 마친 캐리어(CR)를 검사하기 위한 검사부(20) 및 검사가 완료된 캐리어를 올려놓는 안착부(30)를 포함한다. 검사부(20)는 검사부 본체(21) 및 본체(21)의 밀봉을 위한 제1 패드(22) 및 제2 패드(23)가 부착되어 있다. 잘 알려진 바와 같이, 제1 패드(22)는 검사부 본체(21)와의 캐리어(CR)와의 실링을 위한 것으로 실링 패드라고 하고, 제2 패드(23)는 캐리어(CR)와의 진공을 형성하는 것으로 진공 패드라고 한다. 이러한 제1 및 제2 패드(22, 23)는 통상적으로 테프론과 같은 고분자 재질로 이루어진다. 특히 실링 패드는 외부로부터 이물질이 유입되지 않도록 한다. 물론, 제1 및 제2 패드(22, 23) 이외에도, 본 발명의 범주 내에서 실링을 위한 다양한 방식이 적용될 수 있다.2, the output port 40 includes an inspection section 20 for inspecting the cleaned carrier CR, and a mounting section 30 for mounting a carrier on which the inspection is completed. The inspection unit 20 is attached with a first pad 22 and a second pad 23 for sealing the inspection unit main body 21 and the main body 21. As is well known, the first pad 22 is a sealing pad for sealing the carrier CR with the inspection unit main body 21, and the second pad 23 is a vacuum for forming a vacuum with the carrier CR, It is called a pad. The first and second pads 22 and 23 are typically made of a polymer material such as Teflon. Particularly, the sealing pad prevents foreign matter from entering from the outside. Of course, in addition to the first and second pads 22 and 23, various schemes for sealing within the scope of the present invention can be applied.

검사부(20)에는 캐리어 커버(CV)에 밀착되는 밀착부(27) 및 밀착부(27)를 구동하는 밀착부 구동부(26)를 포함한다. 밀착부 구동부(26)는 실린더 또는 모터 등을 활용할 수 있으며, 검사부(20)에는 적어도 2군데에 배치되어 있는 것이 좋다. 밀착부 구동부(26)를 가동하면, 밀착부(27)는 도면에서 보아 상하운동을 한다. 밀착부(27)가 상하운동을 하면, 밀착부(27)에 부착되는 캐리어(CR) 역시 상하운동을 한다. 상기 상하운동에 의해, 캐리어(CR)를 검사하기 위한 공간을 제공한다. The inspection portion 20 includes a tightly coupled portion 27 which is brought into close contact with the carrier cover CV and a closely packed portion driving portion 26 which drives the close portion 27. [ The adhered part driving part 26 can utilize a cylinder, a motor, or the like, and is preferably disposed at at least two locations in the inspection part 20. [ When the tight contact portion driving portion 26 is operated, the tight contact portion 27 moves up and down as viewed in the figure. When the tight contact portion 27 moves up and down, the carrier CR attached to the tight contact portion 27 also moves up and down. By the up-and-down movement, a space for inspecting the carrier CR is provided.

불순물의 유입을 방지하기 위한 대략 4개 정도의 탄성구조물(24)을 포함한다. 탄성구조물(24)은 탄성력을 활용하여 이물질의 유입을 막는 것으로, 예컨대 벨로우즈(bellows)가 사용될 수 있다. 탄성구조물(24) 상에 세정이 완료된 캐리어(CR)가 놓이면, 캐리어(CR)의 중량 및 탄성구조물(24)의 탄성력에 따른 반발력에 의해 캐리어 커버(CV)를 눌러, 캐리어(CR)와 검사부(20) 사이의 기밀성이 높아져, 캐리어(CR)로 외부의 불순물이 유입되지 않도록 한다. 래치 키(latch key, 25)는 캐리어 커버(CV)를 개폐할 때 사용된다. 특히, 본 발명의 실시예에서는 검사가 완료된 본체(BD) 및 커버(CV)를 결합할 때, 래치 키(25)가 활용된다. And includes about four elastic structures 24 for preventing the inflow of impurities. The elastic structure 24 utilizes an elastic force to prevent foreign matter from entering, for example, a bellows can be used. When the cleaned carrier CR is placed on the elastic structure 24, the carrier cover CV is pressed by the weight of the carrier CR and the repulsive force in accordance with the elastic force of the elastic structure 24, The airtightness between the carrier CR and the carrier CR is increased, so that external impurities are prevented from flowing into the carrier CR. A latch key (25) is used to open and close the carrier cover (CV). Particularly, in the embodiment of the present invention, the latch key 25 is utilized when engaging the main body BD and the cover CV which have been inspected.

캐리어(CR) 안착부(30)는 검사가 완료되고 본체(BD) 및 커버(CV)가 결합된 캐리어(CR)를 외부로 반출하기 위한 곳이다. 안착부(30)는 스테이지(31), 레일(32) 및 스테이지 구동부(33)를 포함한다. 스테이지(31)는 스테이지 구동부(33)에 의해 레일(32) 상을 왕복운동한다. 스테이지 구동부(33)의 왕복운동은 실린더 등과 같은 구동수단으로 구현할 수 있다. 여기서, 스테이지(31)가 레일(32) 상에 움직이는 것을 설명하였으나, 다른 수단, 예컨대, 컨베이어 벨트, 래크와 피니언, 체인 등을 활용하여, 스테이지(31)를 움직일 수도 있다.The carrier CR mounting portion 30 is a place for carrying out the inspection and transporting the carrier CR to which the main body BD and the cover CV are coupled to the outside. The seat portion 30 includes a stage 31, a rail 32, and a stage driving portion 33. [ The stage 31 reciprocates on the rail 32 by the stage driving portion 33. [ The reciprocating motion of the stage driving unit 33 can be realized by driving means such as a cylinder or the like. Although the stage 31 is described as moving on the rail 32, the stage 31 may be moved by using other means, for example, a conveyor belt, a rack and a pinion, a chain, or the like.

검사가 완료된 캐리어(CR)는 회전부(28)에 의해 약 90도로 회전하여 스테이지(31)에 안착된다. 캐리어(CR)이 스테이지(31)에 안착되면, 회전부(28)는 원래의 위치로 돌아온다. 캐리어(CR)가 안착된 스테이지(31)를 스테이지 구동부(33)를 이용하여 검사부(20)의 반대편으로 밀면, 스테이지(31)은 레일(32)을 따라 검사부(20) 반대편으로 이동한다. 스테이지(31)가 검사부(20)의 반대편으로 이동하면, 스테이지(31)는 도 1에서와 같이 로딩 및 언로딩부(10)의 외측으로 돌출된다. 돌출된 스테이지(31)에 있는 캐리어(CR)는 수동 또는 자동이송 시스템으로 단위공정에 투입되거나 스토커에 적재된다. The carrier CR that has been inspected is rotated by about 90 degrees by the rotation unit 28 and is seated on the stage 31. [ When the carrier CR is mounted on the stage 31, the rotation portion 28 returns to its original position. When the stage 31 on which the carrier CR is placed is pushed to the opposite side of the inspection section 20 by using the stage driving section 33, the stage 31 moves along the rail 32 to the opposite side of the inspection section 20. When the stage 31 moves to the opposite side of the inspection section 20, the stage 31 protrudes outside the loading and unloading section 10 as shown in Fig. The carrier CR in the protruding stage 31 is fed into the unit process or loaded on the stocker as a manual or automatic transport system.

도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 의한 출력 포트(40)에서 캐리어(CR)의 검사를 실시간으로 수행하는 과정을 나타내는 도면들이다. 이때, 로딩 및 언로딩부(10) 및 검사부(20)는 도 1 및 도 2를 참조하기로 한다.3 to 5 are diagrams illustrating a process of real-time checking of a carrier CR in an output port 40 according to an embodiment of the present invention. At this time, the loading and unloading unit 10 and the checking unit 20 will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.

도 3에 의하면, 검사부(20)는 일측에 진공펌프(11)와 연결되며, 지지대(12)로 지지된다. 진공펌프(11)는 로딩 및 언로딩부(10)의 내측 또는 외측 중의 어느 하나에 위치할 수 있다. 지지대(12)의 끝부분에는 캐리어 본체(BD)에 탑재되기 위한 본체 걸림턱(13)이 위치한다. 검사부(20)는 지지대(12)에 고정되어 있으며, 밀착부(27)가 밀착부 구동부(26)에 의해 상하운동을 한다. 캐리어 커버(CV)는 검사부(20) 상에 놓인다. 이때, 검사부(20)의 저면과 캐리어 커버(CV) 사이에는 a의 간격만큼 떨어져 있다. 다시 말해, 밀착부(27)가 상승된 상태에서 캐리어 커버(CV)가 검사부(20)에 안착된다. 3, the inspection unit 20 is connected to the vacuum pump 11 at one side thereof and is supported by the support base 12. The vacuum pump 11 can be located either on the inside or outside of the loading and unloading section 10. At the end of the support base 12, a main body locking protrusion 13 for mounting on the carrier main body BD is located. The inspection portion 20 is fixed to the support base 12 and the tightly fitting portion 27 moves up and down by the tightly portion driving portion 26. [ The carrier cover (CV) is placed on the inspection section (20). At this time, the gap between the bottom surface of the inspection portion 20 and the carrier cover CV is spaced apart by a distance. In other words, the carrier cover CV is seated on the inspection portion 20 in a state in which the tight contact portion 27 is raised.

도 4에 의하면, 밀착부 구동부(26)를 가동하여, 캐리어 커버(CV)를 하강하여 검사부(20)의 저면과 근접한 b의 간격을 유지하도록 한다. 이때, 간격(b)는 간격(a)보다 작다. 즉, 캐리어 커버(CV)는 검사부(20)의 내부의 위치로 움직인다. 그후, 캐리어 본체(BD)를 본체 걸림턱(13)에 안착시킨다. 이렇게 되면, 캐리어 본체(BD) 및 캐리어 커버(CV) 사이에는 검사영역(c)이 형성된다. 검사영역(c)이란 검사를 위한 공간을 말한다. 필요한 경우, 불활성 가스, 예컨대 질소가스를 퍼지한다. 캐리어 본체(BD) 및 커버(CV)의 세팅이 완료되면, 검사영역(c)의 공기를 흡입하여 불순물의 개수 및 습도 등을 측정한다. 경우에 따라, 측정이 완료되면 불활성 가스를 검사영역(c)으로 공급할 수 있다.According to Fig. 4, the tight contact portion driving portion 26 is operated to lower the carrier cover CV so as to maintain the gap b close to the bottom surface of the inspection portion 20. [ At this time, the interval (b) is smaller than the interval (a). That is, the carrier cover CV moves to a position inside the inspection unit 20. [ Thereafter, the carrier main body BD is seated on the main body locking step 13. Then, the inspection area c is formed between the carrier main body BD and the carrier cover CV. Inspection area (c) refers to the space for inspection. If necessary, an inert gas, such as nitrogen gas, is purged. When the setting of the carrier body (BD) and the cover (CV) is completed, the air in the inspection area (c) is sucked to measure the number of impurities and humidity. In some cases, the inert gas can be supplied to the inspection area c when the measurement is completed.

도 5에 의하면, 검사가 완료되면, 밀착부 구동부(26)에 의해 커버(CV)를 밀어 올려서 본체(BD)와 결합시킨다. 도면에서는 본체(BD)와 커버(CV)가 결합된 상태를 표현한 것으로, 커버(CV)가 본체(BD) 안으로 들어가 커버(CV)가 표현되지 않는다. 결합된 캐리어(CR)는 회전부(28)에 의해 약 90도로 회전하여 스테이지(31)에 안착된다. 캐리어(CR)이 스테이지(31)에 안착되면, 회전부(28)는 원래대로 위치한다. 캐리어(CR)가 안착된 스테이지(31)를 스테이지 구동부(33)를 이용하여 검사부(20)의 반대편으로 밀면, 스테이지(31)는 레일(32)을 따라 검사부(20) 반대편으로 이동한다. 스테이지(31)가 검사부(20)의 반대편으로 이동하면, 스테이지(31)는 도 1에서와 같이 로딩 및 언로딩부(10)의 외측으로 돌출된다. 돌출된 스테이지(31)에 있는 캐리어(CR)는 수동 또는 자동이송 시스템으로 단위공정에 투입되거나 스토커에 적재되거나, 재차 세정 또는 폐기를 위한 위치로 이동된다. According to Fig. 5, when the inspection is completed, the cover CV is pushed up by the close-contact part driving part 26 and is engaged with the main body BD. In the figure, the main body BD and the cover CV are combined, and the cover CV enters the main body BD and the cover CV is not represented. The combined carrier CR is rotated about 90 degrees by the rotating portion 28 and is seated on the stage 31. When the carrier CR is mounted on the stage 31, the rotation portion 28 is positioned as it is. When the stage 31 on which the carrier CR is placed is pushed to the opposite side of the inspection section 20 using the stage driving section 33, the stage 31 moves along the rail 32 to the opposite side of the inspection section 20. When the stage 31 moves to the opposite side of the inspection section 20, the stage 31 protrudes outside the loading and unloading section 10 as shown in Fig. The carrier CR in the protruding stage 31 is put into a unit process with a manual or automatic transfer system, loaded on a stocker, or moved to a position for cleaning or disposal again.

본 발명의 실시예에 의한 캐리어 검사방법은 세정, 검사 및 언로딩이 실시간으로 이루어지는 과정 중에 위치한다. 종래에는 캐리어 검사를 별도의 장치에서 실시하였으나, 본 발명의 실시예는 세정을 마친 캐리어를 실시간으로 검사한다는 장점이 있다. 이렇게 되면, 캐리어 검사를 위한 별도의 장치 및 시간이 요구되지 않는다. 이에 따라, 본 발명의 검사방법은 검사의 시간을 단축하고 장치가 점유하는 공간을 효율적으로 활용할 수 있다.The carrier inspection method according to an embodiment of the present invention is located during a process of performing cleaning, inspection, and unloading in real time. Conventionally, the carrier inspection is performed in a separate apparatus. However, the embodiment of the present invention has an advantage of checking the cleaned carrier in real time. In this case, a separate device and time for the carrier inspection are not required. Accordingly, the inspection method of the present invention shortens the inspection time and efficiently utilizes the space occupied by the apparatus.

이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but many variations and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. It is possible.

10; 로딩 및 언로딩부 20; 검사부
21; 검사부 본체
22, 23; 제1 및 제2 패드
24; 탄성구조물 25; 래치 키
26; 밀착부 구동부 27; 밀착부
28; 회전부 30; 안착부
31; 스테이지 32; 레일
33; 스테이지 구동부10; A loading and unloading unit 20; Inspector
21; Inspection unit main body
22, 23; The first and second pads
24; Elastic structure 25; Latch key
26; A contact part driving part 27; Tight contact portion
28; A rotating portion 30; Seat portion
31; Stage 32; rail
33; Stage driver

Claims (13)

세정부와 연결되고, 캐리어를 로딩 및 언로딩하는 로딩 및 언로딩부에 배치된 출력 포트에 있어서,
상기 출력 포트는,
상기 세정부에서 세정을 마친 상기 캐리어를 검사하기 위한 검사부; 및
상기 검사부에서 검사가 완료된 상기 캐리어를 올려놓는 안착부를 포함하고,
상기 안착부는 상기 캐리어가 안착되는 스테이지 및 상기 스테이지를 왕복운동시키는 스테이지 구동부를 포함하고, 상기 스테이지는 레일을 따라 움직이며, 상기 검사부는 상기 캐리어를 회전에 의해 상기 스테이지에 안착시키는 회전부를 포함하고, 상기 스테이지가 상기 검사부의 반대편으로 이동하면 상기 스테이지는 상기 로딩 및 언로딩부의 외측으로 돌출되고,
상기 회전부는 상기 검사부를 기립시킨 후에 상기 검사가 완료된 상기 캐리어를 상기 안착부의 상기 스테이지에 안착시키는 것을 특징으로 하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트.And an output port connected to the cleaning section and disposed in the loading and unloading section for loading and unloading the carrier,
The output port
An inspection unit for inspecting the carrier that has been cleaned by the cleaning unit; And
And a mounting portion for mounting the carrier whose inspection is completed by the inspection portion,
Wherein the mounting portion includes a stage on which the carrier is mounted and a stage driving portion for reciprocating the stage, the stage moves along the rail, and the inspection portion includes a rotation portion for seating the carrier on the stage by rotation, The stage is protruded to the outside of the loading and unloading portion when the stage moves to the opposite side of the inspection portion,
Wherein the rotating part places the inspection completed carrier on the stage of the mounting part after standing up the inspection part, and for real-time inspection of the cleaned carrier. 제1항에 있어서, 상기 검사부는 상기 캐리어의 커버에 밀착되는 밀착부 및 상기 밀착부를 상하운동시키는 밀착부 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트.The output port for real-time inspection of a cleaned carrier according to claim 1, wherein the inspection unit includes a tight contact portion that is in close contact with the cover of the carrier, and a close contact portion driving portion that moves the close contact portion in a vertical direction. 제2항에 있어서, 상기 상하운동은 상기 캐리어를 검사하기 위한 검사영역을 제공하는 것을 특징으로 하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트.3. The output port for real-time inspection of a cleaned carrier as claimed in claim 2, wherein the up-and-down motion provides an inspection area for inspecting the carrier. 제1항에 있어서, 상기 검사부는 탄성력을 이용하여 상기 캐리어에 이물질이 유입되는 것을 차단하는 탄성구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트.The output port for real-time inspection of a cleaned carrier according to claim 1, wherein the inspection unit includes an elastic structure that blocks foreign substances from entering the carrier using an elastic force. 제4항에 있어서, 상기 탄성구조물은 벨로우즈인 것을 특징으로 하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트.The output port for real-time inspection of a cleaned carrier according to claim 4, wherein the elastic structure is a bellows. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 검사부는 지지대에 고정되며, 상기 지지대의 끝부분은 상기 캐리어의 본체가 탑재되는 본체 걸림턱을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트.The output port for real-time inspection of a cleaned carrier according to claim 1, wherein the inspection unit is fixed to a support, and an end of the support includes a main body jaw on which the main body of the carrier is mounted. 세정부에 의해 세정이 완료된 캐리어의 커버를 상기 커버에 밀착되는 밀착부에 밀착하는 단계;
상기 밀착부를 구동시키는 밀착부 구동부에 의해 상기 커버를 하강시켜 검사영역을 형성하는 단계;
상기 캐리어의 본체를 상기 본체가 탑재되는 본체 걸림턱에 안착하는 단계;
상기 캐리어에 대한 검사를 검사부에서 실시하는 단계; 및
상기 검사가 완료되면, 상기 커버를 상승시켜 상기 본체와 결합하는 단계; 및
상기 검사가 완료된 상기 캐리어가 안착되는 스테이지 및 상기 스테이지를 왕복운동시키는 스테이지 구동부를 포함하고, 상기 스테이지는 레일을 따라 움직이며, 상기 본체와의 결합시키는 단계 이후에, 회전부의 회전에 의해 상기 캐리어를 상기 스테이지에 안착시키는 단계를 포함하고,
상기 스테이지가 상기 검사영역의 반대편으로 이동하면 상기 스테이지는 로딩 및 언로딩부의 외측으로 돌출되고, 상기 캐리어를 상기 스테이지에 안착시키는 단계에 있어서 상기 회전부는 상기 검사부를 기립시키는 것을 특징으로 하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트에 의한 검사방법.A step of bringing a cover of the carrier, which has been cleaned by the cleaning unit, into close contact with a tightly adhered portion of the carrier;
A step of lowering the cover by a contact part driving part driving the contact part to form an inspection area;
Placing the main body of the carrier on a main body mounting jaw on which the main body is mounted;
Performing an inspection on the carrier by an inspection unit; And
When the inspection is completed, raising the cover to engage with the main body; And
And a stage driving part for reciprocating the stage, wherein the stage moves along the rail, and after the step of engaging with the main body, rotation of the rotating part causes the carrier to move And placing it on the stage,
Wherein the stage is protruded to the outside of the loading and unloading portion when the stage moves to the opposite side of the inspection region and the rotating portion stands up the inspection portion in the step of placing the carrier on the stage. Test method by output port for real time inspection of carrier. 제10항에 있어서, 상기 검사는 불순물의 개수 및 습도를 측정하는 것을 특징으로 하는 세정이 완료된 캐리어의 실시간 검사를 위한 출력 포트에 의한 검사방법.The inspection method according to claim 10, wherein the inspection is performed by measuring the number of impurities and the humidity. 삭제delete 삭제delete
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