KR20220099032A - Align Structure Of Auto Gas Supply Apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an alignment structure of an automatic gas supply apparatus, mounted to a gas cylinder including a valve formed around a head, a gas exit port formed to be orthogonal to the valve, and an end cap fastened to or detached from the gas exit port to supply gas filled in the gas cylinder to a gas consuming part. The alignment structure of an automatic gas supply apparatus includes: a base fixing plate of which the upper side is coupled to a hoist; a third plate which can move up and down for the base fixing plate, and which includes a bolt flow hole, a washer flow groove formed at a lower side of the bolt flow hole, a flow bolt inserted into the bolt flow hole, a first washer coupled to an upper side of the bolt flow hole so that the flow bolt is latched to the bolt flow hole, a second washer settled in the washer flow groove, and a flow nut fastened to the flow bolt at a lower side of the second washer; and a base frame in which a connector unit including a gas connector connected to or detached from the gas exit port, and an end cap unit, a plug unit, a gasket unit, a valve unit, and an alignment housing unit are supported, and which is fastened to the flow bolt. The present invention can relieve limitation on a space for installing the automatic gas supply apparatus.

Description

가스자동공급장치의 얼라인 구조{Align Structure Of Auto Gas Supply Apparatus}Align Structure Of Auto Gas Supply Apparatus

본 발명은 가스자동공급장치의 얼라인 구조에 관한 것으로 보다 상세하게는 지면과 수직인 상태로 캐비닛 등에 투입되는 고압실린더의 헤드 측에 연결되어 고압실린더 내의 충전된 가스를 공정 챔버 측으로 공급할 수 있는 가스자동공급장치에서 가스출구포트와 앤드캡을 분리 및 체결하는 가스자동공급장치를 가스실린더의 정확한 위치에 체결될 수 있도록 하는 가스자동공급장치의 얼라인 구조에 관한 것이다.The present invention relates to an alignment structure of an automatic gas supply device, and more particularly, a gas that is connected to the head side of a high-pressure cylinder that is put into a cabinet or the like in a state perpendicular to the ground to supply the gas filled in the high-pressure cylinder to the process chamber side. The present invention relates to an alignment structure of an automatic gas supply device that enables the automatic gas supply device for separating and fastening a gas outlet port and an end cap from the automatic supply device to be fastened to an accurate position of a gas cylinder.

일반적으로 반도체, 디스플레이 패널 등을 제조하는 공정은 용도에 따라 다양한 가스의 공급이 이루어지며 이러한 가스들은 대부분 유독성, 가연성 등이 비교적 높아 인체에 흡입되거나 대기 중에 노출되는 경우 안전사고 및 환경오염 등의 피해를 발생시킬 수 있다.In general, the process of manufacturing semiconductors and display panels, etc., supplies various gases depending on the use, and most of these gases are relatively toxic and flammable, so if they are inhaled into the human body or exposed to the atmosphere, damage such as safety accidents and environmental pollution may occur. can cause

또한, 이러한 가스들은 헤드에 가스출구포트 등이 구비되는 원통형의 실린더(이하, 가스실린더) 내부에 충전되어 보관 및 운반이 이루어지며 공정 챔버 측으로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터 등에 연결되어 공정 챔버 측으로 공급된다.In addition, these gases are filled in a cylindrical cylinder (hereinafter, referred to as a gas cylinder) having a gas outlet port in the head, stored and transported, and connected to a connector including a gas flow path extending toward the process chamber and connected to the process chamber. is supplied

한편, 종래의 가스공급장치는 내부에 가스가 충전된 가스실린더의 가스출구포트를 공정 챔버 측으로 연장되는 가스 유로와 연결하여 수동으로 밸브 등을 개폐하여 공정 챔버 측에 가스를 공급하도록 구성되었다.On the other hand, the conventional gas supply device is configured to supply gas to the process chamber by connecting a gas outlet port of a gas cylinder filled with gas therein with a gas flow path extending toward the process chamber, and manually opening and closing a valve or the like.

그러나, 이러한 종래의 가스실린더 교체장치는 작업자의 숙련도에 따라 가스출구포트와 배관 연결부 사이를 정렬하기 위한 작업 시간이 비교적 오래 소요되는 것은 물론 가스출구포트와 배관 연결부 간 누설이 발생할 수 있는 문제점이 있다.However, this conventional gas cylinder replacement device takes a relatively long time to align between the gas outlet port and the pipe connection part according to the skill level of the operator, and there is a problem that leakage between the gas outlet port and the pipe connection part may occur. .

이를 해결하기 위하여 대한민국 공개특허공보 제10-2020-0095975호에는 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 가스실린더(C)에 형성되는 가스출구포트(C2)를 덮는 앤드캡(C3)을 지지하여 상기 가스출구포트(C2)로부터 분리하는 앤드캡 분리부(10)와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 지지하여 상기 가스출구포트(C2)에 연결하기 위한 커넥터 체결부(20)와 상기 앤드캡 분리부(10)와 상기 커넥터 체결부(20)를 상기 가스출구포트(C2)와 체결되는 위치로 이동시키기 위한 이동수단(30)과 상기 커넥터 체결부(20)에 가스켓을 공급하기 위한 가스켓 전달부(40) 및 가스켓 공급부(50) 및 밸브(C1)를 개폐한 밸브 개폐부(60) 등을 포함하는 자동화 가스공급장치가 개시되어 있다.In order to solve this problem, Korean Patent Application Laid-Open No. 10-2020-0095975 supports the end cap C3 covering the gas outlet port C2 formed in the gas cylinder C as shown in FIG. 1 to support the gas. Separating the end cap from the connector fastening part 20 for connecting to the gas outlet port (C2) by supporting the end cap separating part 10 that is separated from the outlet port (C2) and the connecting pipe connector connected to the gas required place. A moving means 30 for moving the part 10 and the connector fastening part 20 to a position where they are fastened to the gas outlet port C2, and a gasket delivery part for supplying a gasket to the connector fastening part 20 (40) and the gasket supply unit 50 and the valve opening/closing unit 60 for opening and closing the valve (C1), the automatic gas supply device including the like is disclosed.

그러나, 이러한 종래의 자동화 가스공급장치는 가스실린더의 정확한 위치 정렬을 위하여 가스실린더의 높이를 측정하는 높이 측정부와 가스실린더의 높이 조정을 위한 승강 구동부, 실린더의 회전 각도 저정을 위한 용기 회전 구동부 등의 얼라인먼트 수단이 필요하다.However, such a conventional automated gas supply device includes a height measuring unit for measuring the height of a gas cylinder for accurate position alignment of the gas cylinder, an elevating driving unit for adjusting the height of the gas cylinder, a container rotation driving unit for setting the rotation angle of the cylinder, etc. of alignment means is required.

이에 따라, 이러한 종래의 자동화 가스공급장치는 상기 얼라인먼트 수단을 위하여 비교적 큰 공간을 차지함으로써 설치에 제한이 따르는 문제점이 있다.Accordingly, there is a problem in that the conventional automatic gas supply apparatus is limited in installation by occupying a relatively large space for the alignment means.

대한민국 공개특허공보 10-2020-0095975(공개일 2020.08.11.)Korean Patent Publication No. 10-2020-0095975 (published on August 11, 2020)

본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 자동으로 가스실린더에 충전된 가스를 공정챔버 등으로 공급할 수 있는 가스자동공급장치에 가스실린더를 체결하는 경우 비교적 간단한 구조로 얼라인을 수행할 수 있는 가스자동공급장치의 얼라인 구조를 제공하는 것이다.An object of the present invention was devised to solve the above problems, and when a gas cylinder is fastened to a gas automatic supply device capable of automatically supplying the gas filled in the gas cylinder to a process chamber, etc., alignment is performed with a relatively simple structure. It is to provide an alignment structure of an automatic gas supply device that can do this.

발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects and advantages of the present invention not mentioned may be understood by the following description, and will be more clearly understood by the embodiments of the present invention.

또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.It will also be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by the means and combinations thereof indicated in the appended claims.

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 가스자동공급장치의 얼라인 구조는 헤드 측에 형성되는 밸브와 상기 밸브와 직교하여 형성되는 가스출구포트 및 상기 가스출구포트에 체결 또는 분리되는 앤드캡을 포함하는 가스실린더에 장착되어 상기 가스실린더에 충전된 가스를 가스 소요처로 공급하는 가스자동공급장치의 얼라인 구조에 관한 것으로 상측이 호이스트와 결합되는 베이스 고정 플레이트, 볼트 유동홀과 상기 볼트 유동홀 하측에 형성되는 와셔 유동홈과 상기 볼트 유동홀에 삽입되는 유동 볼트와 상기 유동 볼트가 상기 볼트 유동홀에 걸릴 수 있도록 상기 볼트 유동홀 상측에 결합되는 제 1와셔와 상기 와셔 유동홈에 안착되는 제 2와셔 및 상기 제 2와셔의 하측에 상기 유동 볼트와 체결되는 유동 너트를 포함하여 상기 베이스 고정 플레이트에 대하여 상하로 이동 가능한 제 3플레이트, 및 상기 가스출구포트에 연결 또는 분리되는 가스커넥터를 포함하는 커넥터 유닛과 앤드캡 유닛과 플러그 유닛과 가스켓 유닛과 벨브 유닛 및 얼라인 하우징 유닛이 지지되어 상기 유동 볼트에 체결되는 베이스 프레임을 포함한다.In order to solve the above problems, the alignment structure of the automatic gas supply device according to the present invention includes a valve formed on the head side, a gas outlet port formed perpendicular to the valve, and an end cap fastened to or separated from the gas outlet port. It relates to an alignment structure of an automatic gas supply device mounted on a gas cylinder including a gas cylinder and supplying the gas filled in the gas cylinder to a gas demanding place, the upper side of which is a base fixing plate coupled with a hoist, a bolt flow hole and a lower side of the bolt flow hole A washer flow groove formed in the first washer coupled to the upper side of the bolt flow hole so that the flow bolt inserted into the bolt flow hole and the flow bolt can be caught in the bolt flow hole, and a second washer seated in the flow groove A connector comprising a washer and a third plate movable up and down with respect to the base fixing plate including a floating nut fastened to the floating bolt on a lower side of the washer, and a gas connector connected to or separated from the gas outlet port and a base frame on which the unit, the end cap unit, the plug unit, the gasket unit, the valve unit, and the alignment housing unit are supported and fastened to the floating bolt.

보다 구체적으로, 상기 베이스 프레임은 전면과 후면 및 상면이 각각 개방된 'ㄷ'자 형상의 베이스 메인 프레임과 상기 베이스 메인 프레임의 상측에 결합되어 상기 베이스 메인 프레임의 상면을 형성하는 베이스 제 1플레이트 및 상기 베이스 메인 프레임과 상기 베이스 제 1플레이트에 각각 결합하여 상기 베이스 메인 프레임의 후면을 일부 덮도록 형성되는 베이스 제 2플레이트를 포함한다.More specifically, the base frame includes a 'C'-shaped base main frame with front, rear and upper surfaces open, respectively, and a base first plate coupled to the upper side of the base main frame to form an upper surface of the base main frame, and and a second base plate coupled to the base main frame and the first base plate, respectively, and formed to partially cover the rear surface of the base main frame.

이때, 상기 베이스 제 1플레이트에 상기 유동 볼트가 체결되는 유동 볼트 체결홀이 형성되는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that a floating bolt fastening hole through which the floating bolt is fastened is formed in the first base plate.

한편, 상기 베이스 고정 플레이트는 상기 베이스 고정 플레이트에 일단이 결합되고 타단이 제 1교차 프레임 가이드(147)를 따라 x축으로 이동 가능하도록 결합하는 제 1교차 프레임과 일단이 상기 베이스 제 3플레이트에 결합되고 타단이 제 2교차 프레임 가이드를 따라 x축으로 이동 가능하도록 결합하며 상기 제 1교차 프레임과 x자 형상으로 교차 결합되는 제 2교차 프레임 및 상기 베이스 고정 플레이트와 상기 베이스 제 3플레이트의 간격을 조절하는 베이스 프레임 이송 실린더를 포함한다.On the other hand, the base fixing plate has one end coupled to the base fixing plate and the other end is coupled to the first crossed frame guide 147 along the first crossed frame guide 147 so as to be movable in the x-axis, a first crossed frame and one end are combined with the base third plate. and the other end is coupled to be movable along the x-axis along the second intersecting frame guide, and a second intersecting frame cross-coupled to the first intersecting frame in an x-shape, and the base fixing plate and the third base plate and a base frame transfer cylinder.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스자동공급장치의 얼라인 구조는 가스자동공급장치에 가스실린더를 체결하는 경우 비교적 간단한 구조로 얼라인을 수행할 수 있으므로 가스자동공급장치를 설치하기 위한 공간에 대한 제한을 완화시킬 수 있다.As described above, the alignment structure of the automatic gas supply device according to the present invention allows alignment to be performed with a relatively simple structure when the gas cylinder is fastened to the automatic gas supply device. restrictions can be relaxed.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the above-described effects, the specific effects of the present invention will be described together while describing specific details for carrying out the invention below.

도 1은 종래의 가스공급장치의 요부를 도시한 측면도이다.
도 2는 일반적인 가스실린더의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치가 가스실린더에 체결된 상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치가 가스실린더에 체결된 상태에서 베이스 프레임과 밸브 유닛을 생략한 상면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치의 얼라인 구조를 도시한 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치의 일부 구성을 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치의 가스켓 유닛을 도시한 전면 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치의 가스켓 유닛을 도시한 후면 사시도이다.
도 9의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치의 가스켓 유닛에서 가스켓 로딩 블록의 하강 상태와 상승 상태를 도시한 전면 사시도이다.
도 10의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치의 가스켓 유닛에서 가스켓 로딩 블록이 하강한 상태의 가스켓 수거함의 폐쇄 상태를 도시한 후면 사시도와 전면 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치에서 가스실린더가 체결된 밸브 유닛과 얼라인 하우징 유닛을 도시한 사시도이다.
1 is a side view showing an essential part of a conventional gas supply device.
2 is a perspective view of a general gas cylinder.
3 is a perspective view illustrating a state in which the automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention is fastened to a gas cylinder.
4 is a top view in which a base frame and a valve unit are omitted in a state in which the automatic gas supplying apparatus is fastened to a gas cylinder according to an embodiment of the present invention.
5 is a front view illustrating an alignment structure of an automatic gas supplying apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view illustrating a partial configuration of an automatic gas supplying apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 is a front perspective view illustrating a gasket unit of an automatic gas supplying apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is a rear perspective view illustrating a gasket unit of an automatic gas supplying apparatus according to an embodiment of the present invention.
9A and 9B are front perspective views illustrating a lowering state and an ascending state of the gasket loading block in the gasket unit of the automatic gas supplying device according to an embodiment of the present invention, respectively.
10A and 10B are respectively a rear perspective view and a front perspective view illustrating a closed state of a gasket collection box in a state in which the gasket loading block is lowered in the gasket unit of the automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.
11 is a perspective view illustrating a valve unit and an alignment housing unit to which a gas cylinder is fastened in the automatic gas supplying apparatus according to an embodiment of the present invention.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.The above-described objects, features and advantages will be described below in detail with reference to the accompanying drawings, and accordingly, those skilled in the art to which the present invention pertains will be able to easily implement the technical idea of the present invention.

본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to indicate the same or similar components.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.In the following, that an arbitrary component is disposed on the "upper (or lower)" of a component or "top (or below)" of a component means that any component is disposed in contact with the upper surface (or lower surface) of the component. Furthermore, it may mean that other components may be interposed between the component and any component disposed on (or under) the component.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.Also, when it is described that a component is “connected”, “coupled” or “connected” to another component, the components may be directly connected or connected to each other, but other components are “interposed” between each component. It should be understood that “or, each component may be “connected,” “coupled,” or “connected” through another component.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.As used herein, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.In the present application, terms such as "consisting of" or "comprising" should not be construed as necessarily including all of the various components or various steps described in the specification, some of which components or some steps are It should be construed that it may not include, or may further include additional components or steps.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.Throughout the specification, when “A and/or B” is used, it means A, B or A and B, unless specifically stated to the contrary, and when “C to D” is used, it means that there is no specific contrary description. Unless otherwise specified, it means that it is greater than or equal to C and less than or equal to D.

이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 가스자동공급장치 및 이의 얼라인 구조를 설명하도록 한다.Hereinafter, an automatic gas supply apparatus and an alignment structure thereof according to some embodiments of the present invention will be described.

우선, 본 발명에 따른 가스자동공급장치에 적용되는 가스실린더(C)는 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 헤드 측에 밸브(C1)와 상기 밸브(C1)와 직교하도록 형성되는 가스출구포트(C2) 및 상기 가스출구포트(C2)에 탈착되는 앤드캡(C3)을 포함한다.First, as shown in FIG. 2, the gas cylinder C applied to the automatic gas supply device according to the present invention has a valve C1 on the head side and a gas outlet port C2 formed to be perpendicular to the valve C1. ) and an end cap (C3) detachable from the gas outlet port (C2).

또한, 이하에서는 상기 가스실린더(C)의 길이 방향, 즉, 상기 밸브(C1)의 회전축의 길이 방향을 z축이라 정의한다.In addition, hereinafter, the longitudinal direction of the gas cylinder (C), that is, the longitudinal direction of the rotation shaft of the valve (C1) is defined as a z-axis.

또한, 상기 가스출구포트(C2)의 방향. 즉, 상기 가스출구포트(C2)와 상기 앤드캡(C3)의 탈착되는 방향을 y축이라 정의한다.Also, the direction of the gas outlet port (C2). That is, a direction in which the gas outlet port C2 and the end cap C3 are detached is defined as a y-axis.

또한, 지면으로부터 평행한 평면 상에서 상기 y축과 직교하는 방향을 x축이라 정의한다.Also, a direction perpendicular to the y-axis on a plane parallel to the paper is defined as an x-axis.

또한, 지면으로부터 평행한 평면 상에서 상기 z축을 중심으로 회전하는 방향을 θ축이라 정의한다.In addition, the direction of rotation about the z-axis on a plane parallel to the ground is defined as the θ-axis.

또한, 본 명세서에서 전방은 상기 가스실린더(C)의 길이 방향의 중심선을 향하는 측을 의미하며, 후방은 상기 가스실린더(C)의 길이 방향의 중심선과 멀어지는 측을 의미한다.In addition, in the present specification, the front means a side facing the center line in the longitudinal direction of the gas cylinder (C), and the rear means a side away from the center line in the longitudinal direction of the gas cylinder (C).

한편, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치가 가스실린더에 체결된 상태를 도시한 사시도이다.Meanwhile, FIG. 3 is a perspective view illustrating a state in which the automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention is fastened to a gas cylinder.

또한, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치가 가스실린더에 체결된 상태에서 베이스 프레임과 밸브 유닛을 생략한 상면도이다.4 is a top view in which the base frame and the valve unit are omitted in a state in which the automatic gas supplying apparatus according to an embodiment of the present invention is fastened to the gas cylinder.

또한, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 고압 가스실린더용 가스공급장치의 얼라인 구조를 도시한 정면도로서 보다 구체적으로 베이스 제 3플레이트와 베이스 프레임 이송수단의 결합 상태를 도시한 정면도이다.5 is a front view illustrating an alignment structure of a gas supply device for a high-pressure gas cylinder according to an embodiment of the present invention. More specifically, FIG.

도 3내지 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 가스자동공급장치는 베이스 프레임(100)과 커넥터 유닛(200)과 앤드캡 유닛(300)과 플러그 유닛(400)과 가스켓 유닛(500)과 밸브 유닛(600) 및 얼라인 하우징 유닛(700)을 포함한다.3 to 5, the gas automatic supply device according to the present invention includes a base frame 100, a connector unit 200, an end cap unit 300, a plug unit 400, a gasket unit 500, and a valve unit. 600 and an align housing unit 700 .

보다 구체적으로 상기 베이스 프레임(100)은 도 3과 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 전면과 후면 및 상면이 각각 개방된 'ㄷ'자 형상의 베이스 메인 프레임(110)과 상기 베이스 메인 프레임(110)의 상측에 결합되어 상기 베이스 메인 프레임(100)의 상면을 형성하는 베이스 제 1플레이트(120) 및 상기 베이스 메인 프레임(110)과 상기 베이스 제 1플레이트(120)에 각각 결합하여 상기 베이스 메인 프레임(110)의 후면을 일부 덮도록 형성되는 베이스 제 2플레이트(130)를 포함한다.More specifically, the base frame 100 includes a 'C'-shaped base main frame 110 and the base main frame 110 with front, rear and upper surfaces open, respectively, as shown in FIGS. 3 and 4 . The base main frame ( It includes a second base plate 130 formed to partially cover the rear surface of the 110).

또한, 상기 베이스 제 1플레이트(120)는 상기 베이스 메인 프레임(110)의 저면 또는 측면의 폭보다 크게 형성되어 상기 베이스 메인 프레임(110)의 전방 측으로 돌출되도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the base first plate 120 is formed to be larger than the width of the bottom surface or the side surface of the base main frame 110 so as to protrude toward the front side of the base main frame 110 .

또한, 상기 베이스 제 2플레이트(130)는 상기 베이스 프레임(100)의 강도를 향상시키기 위한 것으로 생략 가능하다.In addition, the base second plate 130 is for improving the strength of the base frame 100 can be omitted.

또한, 상기 베이스 프레임(100)은 상기 베이스 메인 프레임(110)과 상기 베이스 제 1, 2플레이트(120, 130)이 하나의 프레임으로 형성될 수도 있으나 조립 및 분해, 정비 등을 위하여 각각 형성되는 것이 바람직하다.In addition, in the base frame 100, the base main frame 110 and the base first and second plates 120 and 130 may be formed as one frame, but it is preferable that they are respectively formed for assembly, disassembly, and maintenance. desirable.

또한, 상기 베이스 프레임(100)은 도 3과 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 상기 베이스 제 1플레이트(120)의 상부 일측에 형성되는 유동 볼트 체결홀(121)에 결합되어 베이스 고정 플레이트(150)에 대하여 z축으로 상하 이동하는 베이스 제 3플레이트(140) 더 포함할 수 있다.In addition, as shown in FIGS. 3 and 5 , the base frame 100 is coupled to a floating bolt fastening hole 121 formed on one upper side of the base first plate 120 to provide a base fixing plate 150 . It may further include a base third plate 140 that moves up and down in the z-axis with respect to the .

보다 구체적으로 상기 베이스 제 3플레이트(140)는 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 볼트 유동홀(141)과 상기 볼트 유동홀(141) 하측에 형성되는 와셔 유동홈(142)과 상기 볼트 유동홀(141)에 삽입되어 상기 베이스 제 1플레이트(120)와 체결되는 유동 볼트(143)와 상기 유동 볼트(143)가 상기 볼트 유동홀(141)에 걸릴 수 있도록 상기 볼트 유동홀(141) 상측에 결합되는 제 1와셔(144)와 상기 와셔 유동홈(142)에 안착되는 제 2와셔(145) 및 상기 제 2와셔(145)의 하측에 상기 유동 볼트(143) 체결되는 유동 너트(146)를 포함한다.More specifically, the base third plate 140 includes a bolt flow hole 141 and a washer flow groove 142 formed below the bolt flow hole 141 and the bolt flow hole ( 141) and coupled to the upper side of the bolt flow hole 141 so that the floating bolt 143 and the floating bolt 143 fastened to the base first plate 120 can be caught in the bolt flow hole 141 A first washer 144 to be formed, a second washer 145 seated in the washer flow groove 142, and a floating nut 146 fastened to the floating bolt 143 at the lower side of the second washer 145. do.

또한, 상기 볼트 유동홀(141)은 상기 유동 볼트(143)의 헤드 직경보다 크게 형성되며, 상기 와셔 유동홈(142)은 상기 제 2와셔(145)의 직경보다 더 크게 형성된다.In addition, the bolt flow hole 141 is formed to be larger than the head diameter of the flow bolt 143 , and the washer flow groove 142 is formed to be larger than the diameter of the second washer 145 .

따라서, 상기 유동 볼트(143)는 상기 볼트 유동홀(141) 내에서 회전 및 유동이 가능하며, 상기 제 2와셔(145)는 상기 와셔 유동홈(142) 내에서 유동됨에 따라 마모에 강하고 분진 등의 발생을 최소화하기 위하여 우레탄 재질인 것이 바람직하다.Therefore, the floating bolt 143 is able to rotate and flow within the bolt flow hole 141 , and the second washer 145 is resistant to wear and dust as it flows in the washer flow groove 142 . In order to minimize the occurrence of urethane material is preferred.

이에 따라, 상기한 바와 같이 헤드가 형성된 일측이 상기 베이스 제 3플레이트(140)에 결합되고 타측이 상기 베이스 제 1플레이트(120)에 결합되는 상기 유동 볼트(143)에 의하여 상기 베이스 프레임(100)은 상기 유동 볼트(143)의 회전축을 중심으로 회전하거나 x축과 y축으로 이루어지는 평면 상에서 유동 가능하다.Accordingly, as described above, the base frame 100 by the floating bolt 143 having one side formed with a head coupled to the base third plate 140 and the other side coupled to the base first plate 120 . may rotate about the rotation axis of the flow bolt 143 or flow on a plane composed of the x-axis and the y-axis.

또한, 상기 유동 볼트(143)의 하단은 도 3에 도시되어 있는 상기 베이스 제 1플레이트(120)의 상부 일측에 형성되는 상기 유동 볼트 체결홀(121)에 체결된다.In addition, the lower end of the floating bolt 143 is fastened to the floating bolt fastening hole 121 formed on one upper side of the base first plate 120 shown in FIG. 3 .

이때, 상기 유동 볼트 체결홀(121)은 상기 커넥터 유닛(200)과 상기 앤드캡 유닛(300)과 상기 플러그 유닛(400)과 상기 가스켓 유닛(500)과 벨브 유닛(600) 및 얼라인 하우징 유닛(700)을 포함한 상기 베이스 프레임(100)의 무게 중심에 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the floating bolt fastening hole 121 is the connector unit 200 , the end cap unit 300 , the plug unit 400 , the gasket unit 500 , the valve unit 600 , and the alignment housing unit. It is preferable to be formed at the center of gravity of the base frame 100 including 700 .

또한, 상기 베이스 제 3플레이트(140)는 후술할 제 1교차 프레임(152)의 단부가 x축으로 이동 가능하도록 결합되는 제 1교차 프레임 가이드(147)를 더 포함할 수 있다.In addition, the base third plate 140 may further include a first crossed frame guide 147 to which an end of a first crossed frame 152, which will be described later, is coupled to be movable in the x-axis.

한편, 상기 베이스 고정 플레이트(150)는 상기 베이스 고정 플레이트(150)에 일단이 결합되고 타단이 상기 제 1교차 프레임 가이드(147)를 따라 x축으로 이동 가능하도록 결합하는 제 1교차 프레임(151)과 일단이 상기 베이스 제 3플레이트(140)에 결합되고 타단이 제 2교차 프레임 가이드(152)를 따라 x축으로 이동 가능하도록 결합하며 상기 제 1교차 프레임(152)과 x자 형상으로 교차 결합되는 제 2교차 프레임(153) 및 상기 베이스 고정 플레이트(150)와 상기 베이스 제 3플레이트(140)의 간격을 조절하는 베이스 프레임 이송 실린더(154)를 포함한다.On the other hand, the base fixing plate 150 has one end coupled to the base fixing plate 150 and the other end of the first crossed frame 151 coupled to be movable along the x-axis along the first crossed frame guide 147 . And one end is coupled to the base third plate 140, the other end is coupled to move along the x-axis along the second cross frame guide 152, cross-coupled to the first cross frame 152 in an x-shape and a second cross frame 153 and a base frame transfer cylinder 154 for adjusting the distance between the base fixing plate 150 and the base third plate 140 .

이에 따라, 상기 베이스 고정 프레임(150)을 제외한 상기 베이스 프레임(100)은 상기 베이스 고정 프레임(150)에 대하여 z축으로 상하 이동할 수 있다.Accordingly, the base frame 100 excluding the base fixing frame 150 may move up and down in the z-axis with respect to the base fixing frame 150 .

이때, 상기 베이스 프레임 이송 실린더(154)는 공압 실린더인 것이 바람직하며, 상기 베이스 고정 플레이트(150)에 대하여 상기 베이스 제 3플레이트(140)의 간격을 조절하는 것은 물론 상기 베이스 프레임(100)에 결합되는 상기 커넥터 유닛(200)과 앤드캡 유닛(300)과 플러그 유닛(400)과 가스켓 유닛(500)과 밸브 유닛(600) 및 얼라인 하우징 유닛(700)의 하중이 가스실린더(C) 측에 지속적으로 가해지지 않도록 웨이트 밸런스 역할을 수행한다.At this time, the base frame transfer cylinder 154 is preferably a pneumatic cylinder, and is coupled to the base frame 100 as well as adjusting the interval of the base third plate 140 with respect to the base fixing plate 150 . The load of the connector unit 200 , the end cap unit 300 , the plug unit 400 , the gasket unit 500 , the valve unit 600 , and the alignment housing unit 700 is applied to the gas cylinder (C) side. It serves as a weight balance so that it is not continuously applied.

또한, 상기 베이스 프레임(100)은 상기 베이스 고정 플레이트(150) 측이 캐비닛 등에 결합됨으로써 고정될 수 있다.In addition, the base frame 100 may be fixed by coupling the base fixing plate 150 side to a cabinet or the like.

이에 따라, 작업자가 본 발명에 따른 가스자동공급장치를 x, y, z축으로 자유롭게 이동시켜 상기 가스실린더(C)에 체결 및 분리할 수 있으며, 정밀 위치 셋팅과 셋팅이 완료된 경우 틀어지는 것이 방지될 수 있다.Accordingly, the operator can freely move the automatic gas supply device according to the present invention in the x, y, and z axes to fasten and separate the gas cylinder (C), and when the precise position setting and setting are completed, distortion can be prevented. can

또한, 본 발명에 따른 가스자동공급장치는 상기한 얼라인 구조에 의하여 가스실린더의 높이를 측정하는 높이 측정부와 가스실린더의 높이 조정을 위한 승강 구동부, 실린더의 회전 각도 조정을 위한 용기 회전 구동부 등의 얼라인먼트 수단을 생략할 수 있다.In addition, the automatic gas supply device according to the present invention includes a height measuring unit for measuring the height of a gas cylinder by the alignment structure described above, a lifting driving unit for adjusting the height of the gas cylinder, a container rotation driving unit for adjusting the rotation angle of the cylinder, etc. of the alignment means can be omitted.

한편, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치에서 커넥터 유닛과 앤드캡 유닛 및 플러그 유닛을 도시한 사시도이다.Meanwhile, FIG. 6 is a perspective view illustrating a connector unit, an end cap unit, and a plug unit in an automatic gas supplying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3과 도 4및 도 6을 참조하면 상기 커넥터 유닛(200)은 y축으로 형성되는 커넥터 유닛 베이스 레일(211)을 포함하여 상기 베이스 메인 프레임(110)에 고정 결합하는 커넥터 유닛 베이스(210)와 상기 커넥터 유닛 베이스 레일(211)을 따라 y축으로 전, 후진하는 커넥터 유닛 가동 플레이트(220)를 포함한다.3, 4 and 6, the connector unit 200 includes a connector unit base rail 211 formed along the y-axis, and a connector unit base 210 fixedly coupled to the base main frame 110. and a connector unit movable plate 220 moving forward and backward along the y-axis along the connector unit base rail 211 .

또한, 상기 커넥터 유닛(200)은 공정 챔버 등의 가스 수요처로 연장되는 배관 등이 연결되는 가스커넥터(230)와 상기 가스커넥터(230)의 외주면을 감싸도록 형성되어 상기 가스커넥터(230)에 대하여 y축으로 전, 후진하거나 회전하는 그랜드 너트(240) 및 상기 가스켓 유닛(400)으로부터 상기 가스커넥터(230)의 단부에 공급되는 가스켓(G)의 외주면을 양측에서 파지하는 가스켓 서포터(270)를 더 포함한다.In addition, the connector unit 200 is formed to surround the outer circumferential surface of the gas connector 230 and the gas connector 230 to which a pipe extending to a gas demanding destination such as a process chamber is connected to the gas connector 230 . A gasket supporter 270 that holds the outer peripheral surface of the gland nut 240 that rotates forward, backward or in the y-axis from both sides and the gasket G supplied from the gasket unit 400 to the end of the gas connector 230 from both sides. include more

이때, 상기 가스커넥터(230)과 상기 그랜드 너트(240) 및 상기 가스켓 서포터(270)는 상기 커넥터 유닛 가동 플레이트(220) 상부에 설치되어 상기 커넥터 유닛 베이스(210)에 대하여 y축으로 전, 후진한다.At this time, the gas connector 230 , the ground nut 240 , and the gasket supporter 270 are installed on the connector unit movable plate 220 to move forward and backward in the y-axis with respect to the connector unit base 210 . do.

이에 따라, 상기 가스커넥터(230)은 상기 커넥터 유닛 가동 플레이트(220)의 전, 후진에 따라 상기 가스출구포트(C2)와 연결 또는 이격될 수 있다.Accordingly, the gas connector 230 may be connected or spaced apart from the gas outlet port C2 according to the forward and backward movement of the connector unit movable plate 220 .

보다 상세하게 가스커넥터(230)은 전방 측 단부에 가스켓(G)이 체결될 있도록 돌출부가 형성되는 것이 바람직하다.In more detail, the gas connector 230 is preferably formed with a protrusion so that the gasket (G) is fastened to the front end.

또한, 상기 그랜드 너트(240)는 상기 가스출구포트(C2)를 대향하는 면에 일정 간격 이격되어 형성되는 복수 개의 앤드캡 홀더 체결 돌기(241)를 포함하여 상기 가스커넥터(230)의 전방 측 단부보다 돌출되거나 상기 가스커넥터(230)의 전방 측 단부가 노출되도록 전, 후진된다.In addition, the grand nut 240 includes a plurality of end cap holder fastening protrusions 241 formed to be spaced apart from each other by a predetermined distance on a surface facing the gas outlet port C2, and the front end of the gas connector 230 is provided. It is moved forward or backward so that it protrudes more or the front side end of the gas connector 230 is exposed.

또한, 상기 그랜드 너트(240)는 그랜드 너트 구동모터(250)와 감속기(260) 등에 의하여 상기 가스커넥터(230)의 중심축을 기준으로 회전한다.In addition, the ground nut 240 is rotated based on the central axis of the gas connector 230 by the ground nut driving motor 250 and the reducer 260 .

이에 따라, 상기 가스커넥터(230)는 상기 그랜드 너트(240)가 상기 가스출구포트(C2) 측으로 전진 및 회전 구동함에 따라 상기 가스출구포트(C2)의 외주면에 체결됨으로써 가스출구포트(C2)와 연결된다.Accordingly, the gas connector 230 is fastened to the outer circumferential surface of the gas outlet port C2 as the ground nut 240 moves forward and rotationally toward the gas outlet port C2, thereby connecting the gas outlet port C2 and Connected.

또한, 상기 가스켓 서포터(270)는 상기 가스커넥터(230)의 양측에 한 쌍으로 형성되어 가스켓(G)의 외주면을 양측에서 파지하거나 가스켓 서포터 선회암(271)에 의하여 각각 선회 이동함으로써 가스켓(G)과 이격된다.In addition, the gasket supporter 270 is formed as a pair on both sides of the gas connector 230, and the gasket G is formed by gripping the outer peripheral surface of the gasket G from both sides or by pivoting and moving respectively by the gasket supporter pivot arm 271. ) is separated from

이에 따라, 본 발명에 따른 가스자동공급장치는 상기 가스커넥터(230)에 체결된 가스켓(G)이 상기 가스커넥터(230)와 상기 가스출구포트(C2)가 연결되기 전 외부 진동이나 충격 등에 의하여 상기 가스커넥터(230)로부터 분리되는 것이 방지될 수 있다.Accordingly, in the automatic gas supplying device according to the present invention, the gasket G fastened to the gas connector 230 is not connected to the gas connector 230 and the gas outlet port C2 by external vibration or impact. Separation from the gas connector 230 can be prevented.

또한, 상기 커넥터 유닛(200)은 상기 가스커넥터(230) 측에 체결되는 가스켓(G) 또는 플러그의 여부를 감지할 수 있는 센서를 더 포함할 수도 있다.In addition, the connector unit 200 may further include a sensor capable of detecting whether a gasket (G) or a plug coupled to the gas connector 230 side.

한편, 도 3과 도 4및 도 6을 참조하면 상기 앤드캡 유닛(300)은 상기 커넥터 유닛(200)에 고정 결합하는 앤드캡 유닛 베이스(310)와 상기 앤드캡 유닛 베이스(310)에 대하여 y축으로 전, 후진하는 앤드캡 유닛 가동부(320)와 상기 앤드캡 유닛 가동부(320)에 결합되어 상기 앤드캡(C3)을 파지하는 앤드캡 홀더(330)를 선회 이동시키는 앤드캡 홀더 선회암(340)을 포함한다.Meanwhile, referring to FIGS. 3, 4 and 6 , the end cap unit 300 is y with respect to the end cap unit base 310 fixedly coupled to the connector unit 200 and the end cap unit base 310 . The end cap unit movable part 320 moving forward and backward along the axis and the end cap holder swivel arm that is coupled to the end cap unit movable part 320 and grips the end cap C3 to pivotally move the end cap holder 330 ( 340).

이때, 상기 앤드캡 홀더 선회암(340)의 선회축은 상기 가스커넥터(230)의 중심을 지나는 z축의 가상의 직선 상에 형성되는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that the pivot axis of the end cap holder pivot arm 340 is formed on an imaginary straight line of the z-axis passing through the center of the gas connector 230 .

또한, 상기 앤드캡 홀더(330)는 내주면에 상기 앤드캡 홀더(330)의 중심을 기준하여 방사형으로 형성되는 복수 개의 앤드캡 고정 돌기(331)와 후면에 상기 앤드캡 홀더 체결 돌기(241)가 삽입되는 앤드캡 홀더 체결홈(미도시)을 포함하며, 상기 앤드캡 홀더 선회암(331)에 회전 가능하도록 결합한다.In addition, the end cap holder 330 has a plurality of end cap fixing protrusions 331 radially formed on the inner circumferential surface with respect to the center of the end cap holder 330 and the end cap holder fastening protrusions 241 on the rear surface. It includes an end cap holder fastening groove (not shown) to be inserted, and is rotatably coupled to the end cap holder revolving arm 331 .

보다 구체적으로 상기 앤드캡 홀더(330)는 상기 앤드캡 홀더 선회암(340)에 의하여 상기 그랜드 너트(240)의 전방 측에 위치하거나 일측에 위치할 수 있도록 선회 이동한다.More specifically, the end cap holder 330 pivots so as to be positioned on the front side or on one side of the grand nut 240 by the end cap holder pivot arm 340 .

또한, 상기 앤드캡 홀터(330)는 상기 앤드캡 홀더 선회암(340)에 대하여 자유 회전이 가능하도록 상기 앤드캡 홀더 선회암(340)에 설치된다.In addition, the end cap holder 330 is installed on the end cap holder pivot arm 340 to allow free rotation with respect to the end cap holder pivot arm 340 .

이에 따라, 상기 앤드캡 홀더(330)가 상기 그랜드 너트(240)의 전방 측에 위치하면, 상기 그랜드 너트(240)의 전, 후진 및/또는 상기 앤드캡 유닛 가동부(320)의 전, 후진에 의하여 상기 앤드캡 홀더 체결홈과 상기 앤드캡 홀더 체결돌기(241)가 결합되어 상기 그랜드 너트(240)의 회전에 따라 상기 앤드캡 홀더(330)는 같이 회전한다.Accordingly, when the end cap holder 330 is located on the front side of the grand nut 240 , it moves forward and backward of the grand nut 240 and/or forward and backward of the end cap unit movable part 320 . Thus, the end cap holder fastening groove and the end cap holder fastening protrusion 241 are coupled, and the end cap holder 330 rotates as the grand nut 240 rotates.

또한, 상기 앤드캡 고정 돌기(331)는 스프링 등의 탄성 부재에 의하여 상기 앤드캡 홀더(330)의 내주면으로부터 돌출량이 조절될 수 있다.In addition, the protrusion amount of the end cap fixing protrusion 331 from the inner circumferential surface of the end cap holder 330 may be adjusted by an elastic member such as a spring.

이에 따라, 상기 앤드캡 홀더(330)는 상기 앤드캡(C3)을 파지한 상태로 회전하여 상기 앤드캡(C3)을 상기 가스출구포트(C2)와 분리 및 체결할 수 있다.Accordingly, the end cap holder 330 can be rotated while gripping the end cap C3 to separate and fasten the end cap C3 to the gas outlet port C2.

또한, 상기 앤드캡 홀더(330)는 가스실린더(C)가 체결되어 공정 챔버 등으로 가스가 공급되는 동안 상기 앤드캡 고정 돌기(331)에 의하여 상기 앤드캡(C3)을 파지한 상태로 대기할 수 있다.In addition, the end cap holder 330 waits while holding the end cap C3 by the end cap fixing protrusion 331 while the gas cylinder C is fastened and gas is supplied to the process chamber. can

또한, 상기 앤드캡 유닛(300)은 상기 앤드캡 홀더(330)에 앤드캡(C3)의 체결 여부를 감지할 수 있는 센서를 더 포함할 수도 있다.In addition, the end cap unit 300 may further include a sensor capable of detecting whether the end cap C3 is fastened to the end cap holder 330 .

한편, 도 3과 도 4및 도 6을 참조하면 상기 플러그 유닛(400)은 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면에 고정 결합하여 상기 베이스 프레임(110)의 전방으로 돌출되는 플러그 유닛 베이스(410)와 상기 플러그 유닛 베이스(410)에 대하여 y축으로 전, 후진하는 플러그 유닛 가동부(420)와 상기 플러그 유닛 가동부(420)에 결합되어 플러그(430)를 선회 이동시키는 플러그 선회암(440)을 포함한다.Meanwhile, referring to FIGS. 3, 4 and 6 , the plug unit 400 is fixedly coupled to the side surface of the base main frame 110 and protrudes forward of the base frame 110. The plug unit base 410 and a plug unit movable part 420 that moves forward and backward in the y-axis with respect to the plug unit base 410, and a plug pivot arm 440 coupled to the plug unit movable part 420 to pivotally move the plug 430. do.

이때, 상기 플러그 선회암(440)의 선회축은 상기 가스커넥터(230)의 중심을 지나는 x축의 가상의 직선 상에 형성되는 것이 바람직하다.In this case, the pivot axis of the plug pivot arm 440 is preferably formed on an imaginary straight line of the x-axis passing through the center of the gas connector 230 .

보다 구체적으로 상기 플러그(430)는 상기 플러그 선회암(440)에 의하여 상기 그랜드 너트(240)의 전방 측에 위치하거나 일측에 위치할 수 있도록 선회 이동한다.More specifically, the plug 430 pivots so as to be positioned on the front side or on one side of the grand nut 240 by the plug pivot arm 440 .

이때, 상기 플러그(430)는 압축가스협회(CGA: Compressed Gas Association) 규격에 따른 플러그는 물론 다양한 규격 및 형상의 플러그가 적용될 수 있다.In this case, the plug 430 may be a plug according to the Compressed Gas Association (CGA) standard, as well as plugs of various standards and shapes.

이에 따라, 상기 플러그(430)는 상기 플러그 선회암(440)에 의하여 상기 가스커넥터(230) 전방에 위치한 후 상기 가동 플레이트(220)가 전진하고 상기 그랜드 너트(240)가 상기 플러그(430)의 외주면을 감싸도록 회전함에 따라 상기 가스커넥터(230)와 체결된다.Accordingly, after the plug 430 is positioned in front of the gas connector 230 by the plug pivot arm 440 , the movable plate 220 advances and the ground nut 240 moves the plug 430 . As it rotates to surround the outer circumferential surface, it is engaged with the gas connector 230 .

또한, 상기 가스커넥터(230)에 체결된 상기 플러그(430)를 분리시키는 방법은 상기한 체결 방법의 역순으로 이루어질 수 있다.In addition, the method of disconnecting the plug 430 fastened to the gas connector 230 may be performed in a reverse order of the fastening method.

이때, 상기 플러그(430)는 본 발명에 따른 가스자동공급장치에서 가스실린더(C)가 투입되지 않는 경우 상기 가스커넥터(230)와 체결 상태를 유지하는 것이 바람직하다At this time, it is preferable that the plug 430 maintains a fastened state with the gas connector 230 when the gas cylinder C is not inserted in the automatic gas supply device according to the present invention.

한편, 도 7과 8은 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치의 가스켓 유닛을 도시한 전면 사시도와 후면 사시도이다.Meanwhile, FIGS. 7 and 8 are front and rear perspective views, respectively, illustrating a gasket unit of an automatic gas supplying device according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 9의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치의 가스켓 유닛에서 가스켓 로딩 블록의 하강 상태와 상승 상태를 도시한 전면 사시도이다..In addition, FIGS. 9 a and b are front perspective views respectively illustrating a lowering state and an ascending state of the gasket loading block in the gasket unit of the automatic gas supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 10의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치의 가스켓 유닛에서 가스켓 로딩 블록이 하강한 상태의 가스켓 수거함의 폐쇄 상태를 도시한 후면 사시도와 전면 사시도이다.10A and 10B are respectively a rear perspective view and a front perspective view illustrating a closed state of the gasket collection box in a state in which the gasket loading block is lowered in the gasket unit of the automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.

도 3과 도 4 및 도 7 내지 도 10을 참조하면 상기 가스켓 유닛(500)은 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면에 각각 고정되는 가스켓 유닛 베이스(510)와 상기 가스켓 유닛 베이스(510)에 대하여 y축으로 전, 후진하는 가스켓 그리퍼 이송부(520)와 상기 가스켓 그리퍼 이송부(520)에 결합되어 가스켓(G)을 파지하는 가스켓 그리퍼(530)를 선회 이동시키는 가스켓 그리퍼 선회암(540)을 포함한다.3, 4, and 7 to 10, the gasket unit 500 is a gasket unit base 510 fixed to the side of the base main frame 110, respectively, with respect to the gasket unit base 510. It includes a gasket gripper transfer unit 520 that moves forward and backward in the y-axis, and a gasket gripper pivot arm 540 that is coupled to the gasket gripper transfer unit 520 and pivotally moves the gasket gripper 530 that grips the gasket G. .

이때, 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)의 선회축은 상기 가스커넥터(230)의 중심을 지나는 가상의 직선 상에 형성되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the pivot axis of the gasket gripper pivot arm 540 is formed on an imaginary straight line passing through the center of the gas connector 230 .

즉, 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)의 선회축의 중심은 상기 플러그 선회암(440)의 선회축의 중심 및 상기 가스커넥터(230)의 중심과 동일한 높이로 형성된다.That is, the center of the pivot axis of the gasket gripper pivot arm 540 is formed at the same height as the center of the pivot axis of the plug pivot arm 440 and the center of the gas connector 230 .

또한, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 공압 등을 이용한 클램핑 수단이 적용될 수도 있으나 한 쌍의 집게가 접근 또는 이격됨에 따라 가스켓(G) 상하측 외주면을 파지하거나 파지 해제하도록 형성되는 것이 바람직하다In addition, the gasket gripper 530 may be applied with a clamping means using pneumatic or the like, but is preferably formed to grip or release the upper and lower outer peripheral surfaces of the gasket G as a pair of tongs approaches or separates them.

이에 따라, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 가스켓(G)의 양측 외주면을 파지하고 있는 상기 가스켓 서포터(270)를 회피하여 상기 가스켓(G)을 파지할 수 있다.Accordingly, the gasket gripper 530 can grip the gasket G by avoiding the gasket supporters 270 holding both outer peripheral surfaces of the gasket G. As shown in FIG.

또한, 상기 가스켓 유닛(500)은 가스켓 로딩부(550)와 가스켓 로딩블록(560)과 가스켓 매거진(570)과 가스켓 수거함(580) 및 가스켓 수거 레일(590)을 더 포함한다.In addition, the gasket unit 500 further includes a gasket loading unit 550 , a gasket loading block 560 , a gasket magazine 570 , a gasket collection box 580 , and a gasket collection rail 590 .

보다 구체적으로 상기 가스켓 로딩부(550)는 상기 가스켓 그리퍼(530)가 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)에 의하여 상기 베이스 메인 프레임(110)의 저면과 수직으로 선회 이동하는 측에 형성되는 가스켓 안착부(551)와 상기 가스켓 안착부(551)의 하측에 순차적으로 형성되는 가스켓 공급부(552)를 포함하여 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면에 고정 결합한다.More specifically, the gasket loading part 550 is a gasket seating part formed on the side where the gasket gripper 530 pivots vertically with the bottom surface of the base main frame 110 by the gasket gripper pivot arm 540 . 551 and a gasket supply part 552 sequentially formed under the gasket seating part 551 are fixedly coupled to the side surface of the base main frame 110 .

이에 따라, 상기 가스켓 안착부(551)에 위치하는 가스켓(G)은 상기 베이스 메인 프레임(110)의 저면과 수직으로 선회 이동이 완료된 상기 가스켓 그리퍼(530)에 의하여 파지 되거나 파지 해제될 수 있다.Accordingly, the gasket G positioned in the gasket seating part 551 may be gripped or released by the gasket gripper 530 , which has completed its pivoting movement perpendicular to the bottom surface of the base main frame 110 .

또한, 상기 가스켓 안착부(551)와 상기 가스켓 공급부(552)는 z축의 일직선 상에 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the gasket seating part 551 and the gasket supply part 552 are formed on a straight line along the z-axis.

또한, 상기 가스켓 안착부(551)는 후면에 스프링 등의 탄성부재에 의하여 상기 가스켓 그리퍼(530)가 가스켓(G)을 파지하기 위하여 접근하는 경우 완충되도록 후진할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the gasket seating part 551 be formed so as to be buffered when the gasket gripper 530 approaches to grip the gasket G by an elastic member such as a spring on the rear surface thereof.

또한, 상기 가스켓 로딩부(550)는 상기 가스켓 안착부(551)에 가스켓(G) 장착 여부를 감지할 수 있는 센서를 포함할 수도 있다.In addition, the gasket loading part 550 may include a sensor capable of detecting whether the gasket G is mounted on the gasket seating part 551 .

한편, 상기 가스켓 로딩블록(560)은 가스켓(G)의 일측을 지지하는 가스켓 지지핀(561)이 전면에 형성되고, 하측에 제 1경사면(562a)이 구비되는 차폐 플레이트 구동부(562)이 후면에 형성되어 상기 가스켓 안착부(551)와 상기 가스켓 공급부(552) 사이에서 z축으로 상하 이동한다.On the other hand, the gasket loading block 560 has a gasket support pin 561 for supporting one side of the gasket G is formed on the front side, and the shield plate driving unit 562 having a first inclined surface 562a on the lower side is the rear side. It is formed in the junction and moves up and down along the z-axis between the gasket seating part 551 and the gasket supply part 552 .

이에 따라, 상기 가스켓 로딩블록(560)은 상승 이동함으로써 도 9의 a, b에 도시되어 있는 바와 같이 상기 가스켓 공급부(552)에 위치한 가스켓(G)을 상기 가스켓 안착부(551)로 이송시킬 수 있다.Accordingly, the gasket loading block 560 moves upward to transfer the gasket G located in the gasket supply part 552 to the gasket seating part 551 as shown in FIGS. 9 a and b. have.

한편, 상기 가스켓 매거진(570)은 상기 가스켓 로딩부(550) 상측에 위치하도록 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면과 고정 결합되는 가스켓 매거진 베이스(571)에 안착되는 가스켓 저장 케이스(572)와 상기 가스켓 저장 케이스(572)의 전면에 형성되는 가스켓 공급홀(573a)로부터 상기 가스켓 공급부(552)까지 연장 형성되는 가스켓 공급 레일(573)을 포함한다.On the other hand, the gasket magazine 570 includes a gasket storage case 572 that is seated on a gasket magazine base 571 fixedly coupled to a side surface of the base main frame 110 so as to be located above the gasket loading part 550 and the and a gasket supply rail 573 extending from the gasket supply hole 573a formed in the front surface of the gasket storage case 572 to the gasket supply part 552 .

보다 구체적으로 상기 가스켓 저장 케이스(572)는 스프링 등의 탄성 부재가 내장되어 상기 가스켓 저장 케이스(572)에 저장된 복수 개의 가스켓(G)을 수동 또는 자동으로 상기 가스켓 공급홀(573a)을 통하여 상기 가스켓 공급 레일(573)로 1개씩 배출시킨다.More specifically, the gasket storage case 572 has a built-in elastic member such as a spring so that a plurality of gaskets G stored in the gasket storage case 572 is manually or automatically passed through the gasket supply hole 573a. Discharge one by one to the supply rail 573.

또한, 상기 가스켓 저장 케이스(572)는 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 상기 베이스 프레임(100)의 외부로 노출되도록 형성되어 가스켓(G) 충전 시 가스켓 매거진 베이스(571)로부터 분리 가능한 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the gasket storage case 572 is formed to be exposed to the outside of the base frame 100 as shown in FIG. 8 and is detachable from the gasket magazine base 571 when the gasket G is charged.

또한, 상기 가스켓 공급 레일(573)은 상기 가스켓 매거진 베이스(571)에 고정 설치되며 도 9에 도시되어 있는 바와 같이 상기 가스켓 공급홀(573a)을 통하여 공급된 가스켓(G)이 중력에 의하여 상기 가스켓 공급부(552)로 이송될 수 있도록 상기 가스켓 안착부(551)을 회피하는 원호 형상인 것이 바람직하다.In addition, the gasket supply rail 573 is fixedly installed on the gasket magazine base 571, and as shown in FIG. 9, the gasket G supplied through the gasket supply hole 573a is moved by gravity. It is preferable to have an arc shape avoiding the gasket seating part 551 so that it can be transferred to the supply part 552 .

한편, 상기 가스켓 수거함(580)은 상기 가스켓 로딩부(550) 하측에 위치하도록 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면과 고정 결합되는 가스켓 수거함 베이스(581)에 안착된다.Meanwhile, the gasket collection box 580 is seated on the gasket collection box base 581 fixedly coupled to the side surface of the base main frame 110 so as to be located below the gasket loading part 550 .

이때, 상기 가스켓 수거함(580)은 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 상기 베이스 프레임(100)의 외부로 노출되도록 형성되어 상기 가스켓 수거함(580)에 저장된 가스켓(G)을 폐기하기 위하여 상기 가스켓 수거함 베이스(581)로부터 분리 가능한 것이 바람직하다.At this time, as shown in FIG. 8 , the gasket collection box 580 is formed to be exposed to the outside of the base frame 100 to discard the gasket G stored in the gasket collection box 580. The gasket collection box base It is desirable to be separable from (581).

보다 구체적으로 상기 가스켓 수거함 베이스(581)를 관통하여 상기 가스켓 수거함(580)의 저면에 삽입되는 가스켓 수거함 고정핀(582)에 의하여 상기 가스켓 수거함(580)은 상기 가스켓 수거함 베이스(581)에 고정되며, 상기 가스켓 수거함 핀(582)을 제거하는 경우 상기 가스켓 수거함(580)은 상기 가스켓 수거함 베이스(581)로부터 분리될 수 있다.More specifically, the gasket collection box 580 is fixed to the gasket collection box base 581 by means of a gasket collection box fixing pin 582 that penetrates through the gasket collection box base 581 and is inserted into the bottom surface of the gasket collection box 580. , when the gasket collecting box pin 582 is removed, the gasket collecting box 580 may be separated from the gasket collecting box base 581 .

한편, 상기 가스켓 수거 레일(590)은 상기 베이스 메인 프레임(110)에 고정 설치되어 상기 가스켓 공급부(552)의 전방 측으로부터 상기 가스켓 수거함(580) 측으로 연장 형성된다.Meanwhile, the gasket collection rail 590 is fixedly installed on the base main frame 110 and extends from the front side of the gasket supply unit 552 toward the gasket collection box 580 .

보다 바람직하게 상기 가스켓 수거 레일(590)은 도 10의 b에 도시되어 있는 바와 같이 상기 가스켓 로딩부(550)의 전방에 위치하는 가스켓(G)이 중력에 의하여 상기 가스켓 수거함(580)으로 이송될 수 있도록 형성된다.More preferably, the gasket collecting rail 590 is to be transferred to the gasket collecting box 580 by gravity of the gasket G located in the front of the gasket loading part 550 as shown in FIG. formed to be

또한, 상기 가스켓 수거 레일(590)은 상기 가스켓 수거함(580)에 형성되는 단부가 상기 가스켓 수거함(580)에 밀착되도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the gasket collection rail 590 is preferably formed so that an end formed in the gasket collection box 580 is in close contact with the gasket collection box 580 .

또한, 상기 가스켓 수거 레일(590)은 상기 가스켓 수거함(580) 상측에 형성되는 차폐 플레이트(591)를 포함한다.In addition, the gasket collecting rail 590 includes a shielding plate 591 formed on the upper side of the gasket collecting box 580 .

보다 구체적으로 상기 차폐 플레이트(591)는 후방 측에 스프링 등의 탄성 부재와 연결되고 상부에 상기 제 1경사면(562a)과 대응되도록 형성되는 제 2경사면(591a)이 형성된다.More specifically, the shielding plate 591 is connected to an elastic member such as a spring on the rear side and a second inclined surface 591a formed to correspond to the first inclined surface 562a is formed on the upper portion.

이에 따라, 상기 차폐 플레이트(591)는 도 10의 a, b에 각각 도시되어 있는 바와 같이 상기 차폐 플레이트 구동부(562)이 하강함에 따라 상기 제 1경사면(562a)이 상기 제 2경사면(591a)을 전방 측으로 밀어냄으로써 전진하여 상기 가스켓 수거 레일(590)을 차단시킨다.Accordingly, the shielding plate 591 is the first inclined surface 562a and the second inclined surface 591a as the shielding plate driving unit 562 descends as shown in FIGS. 10A and 10B, respectively. By pushing it forward, it advances and blocks the gasket collection rail 590 .

반대로, 상기 차폐 플레이트(591)는 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 상기 차폐 플레이트 구동부(562)이 상승함에 따라 상기 제 1경사면(562a)과 상기 제 2경사면(591a)이 이격되고 상기 차폐 플레이트(591) 후방 측에 스프링 등의 탄성부재에 의하여 후진하여 상기 가스켓 수거 레일(590)을 개방시킨다.Conversely, as shown in FIG. 8, in the shielding plate 591, the first inclined surface 562a and the second inclined surface 591a are spaced apart as the shielding plate driving part 562 rises, and the shielding plate ( 591) The gasket collection rail 590 is opened by moving backward by an elastic member such as a spring on the rear side.

이에 따라, 본 발명에 따른 가스자동공급장치는 상기 가스켓 수거함(580)에 저장되는 기 사용된 가스켓(G)으로부터 누출되는 오염 물질에 의한 장비 오염과 작업자의 안전사고를 방지할 수 있다.Accordingly, the automatic gas supply apparatus according to the present invention can prevent equipment contamination by contaminants leaking from the used gasket G stored in the gasket collection box 580 and safety accidents of the operator.

한편, 상기한 바와 같이 구성되는 가스켓 유닛(500)의 작동 방법은 하기와 같다.On the other hand, the operation method of the gasket unit 500 configured as described above is as follows.

상기 가스켓 저장 케이스(572)에 저장된 가스켓(G)이 상기 가스켓 공급홀(573a)을 통하여 상기 가스켓 공급 레일(730)을 따라 상기 가스켓 공급부(552)에 위치하면 상기 가스켓 로딩블록(560)이 상승함으로써 상기 가스켓 안착부(551)로 이송되어 상기 가스켓 그리퍼(530)에 의하여 파지된다.When the gasket G stored in the gasket storage case 572 is located in the gasket supply part 552 along the gasket supply rail 730 through the gasket supply hole 573a, the gasket loading block 560 rises. By doing so, it is transferred to the gasket seating part 551 and gripped by the gasket gripper 530 .

이후, 상기 가스켓 로딩블록(560)은 하강하고 상기 가스켓(G)은 상기 가스켓 그리퍼(530)에 의하여 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)과 상기 가스켓 그리퍼 이송부(520)에 의하여 상기 가스커넥터(230) 전면에 형성된 돌출부에 체결된다.Thereafter, the gasket loading block 560 is lowered, and the gasket G is connected to the gasket gripper pivot arm 540 by the gasket gripper 530 and the gasket connector 230 by the gasket gripper transfer unit 520 . It is fastened to the protrusion formed on the front side.

이때, 상기 가스켓 로딩블록(560)의 하강에 의하여 상기 차폐 플레이트(591)는 상기 가스켓 수거 레일(590)을 차단시킨다.At this time, the shield plate 591 blocks the gasket collection rail 590 by the lowering of the gasket loading block 560 .

이후, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)과 상기 가스켓 그리퍼 이송부(850)에 의하여 초기 위치로 복귀하여 본 발명에 따른 가스자동공급장치에 가스실린더(C)가 체결되어 가스 소요처로 가스 공급이 이루어지는 동안 대기한다.Thereafter, the gasket gripper 530 returns to its initial position by the gasket gripper pivot arm 540 and the gasket gripper transfer unit 850, and the gas cylinder C is fastened to the automatic gas supply device according to the present invention. Wait while gas is supplied to the required location.

한편, 상기한 바와 같이 본 발명에 따른 가스자동공급장치에 의하여 가스 소요처로 가스 공급이 완료되면, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)과 상기 가스켓 그리퍼 이송부(850)에 의하여 상기 가스커넥터(230)에 체결되어 사용이 완료된 가스켓(G) 측으로 이동하여 상기 가스커넥터(230)로부터 상기 가스켓(G)을 분리시킨다.On the other hand, as described above, when the gas supply is completed by the gas automatic supply device according to the present invention, the gasket gripper 530 is moved by the gasket gripper pivot arm 540 and the gasket gripper transfer unit 850. The gasket (G) is separated from the gas connector (230) by moving to the side of the gasket (G) that is fastened to the gas connector (230) and has been used.

이후, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)과 상기 가스켓 그리퍼 이송부(850)에 의하여 상기 가스켓(G)을 상기 가스켓 안착부 전방 측으로 이동시킨 상태에서 상기 가스켓(G)을 파지 해제한다.Thereafter, the gasket gripper 530 grips the gasket G in a state in which the gasket G is moved toward the front side of the gasket seat portion by the gasket gripper pivot arm 540 and the gasket gripper transfer unit 850 . release

이에 따라, 상기 가스켓(G)은 중력에 의하여 낙하함으로써 상기 가스켓 수거레일(590)을 따라 상기 가스켓 수거함(580)으로 이송이 완료된다.Accordingly, the gasket (G) is dropped by gravity, thereby completing the transfer to the gasket collecting box (580) along the gasket collecting rail (590).

한편, 도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치에서 가스실린더가 체결된 밸브 유닛과 얼라인 하우징 유닛을 도시한 사시도이다.Meanwhile, FIG. 11 is a perspective view illustrating a valve unit to which a gas cylinder is fastened and an alignment housing unit in the automatic gas supplying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 11을 참조하면 상기 밸브 유닛(600)은 상기 베이스 메인 프레임(110)의 전방 측에 형성되도록 상기 베이스 제 1플레이트(120)에 고정 결합된다.3 and 11 , the valve unit 600 is fixedly coupled to the base first plate 120 so as to be formed on the front side of the base main frame 110 .

또한, 상기 밸브 유닛(600)은 저면 측으로 상기 밸브(C1)가 삽입된 상태에서 상기 밸브(C1)에 체결되어 회전함으로써 상기 밸브(C1)를 풀거나 잠글 수 있는 밸브 셔터(610)를 포함한다.In addition, the valve unit 600 includes a valve shutter 610 capable of unlocking or locking the valve C1 by rotating while being fastened to the valve C1 in a state in which the valve C1 is inserted toward the bottom side. .

상기 밸브 셔터(610)의 세부 구조는 대한민국 공개특허공보 제10-2020-0091551호에 개시되어 있는 가스실린더의 가스공급장치용 밸브셔터모듈을 포함한 다양한 공지 기술이 적용될 수 있다.The detailed structure of the valve shutter 610 may be applied to various known technologies including the valve shutter module for a gas supply device of a gas cylinder disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2020-0091551.

한편, 도 11을 참조하면 상기 얼라인 하우징 유닛(700)은 상기 밸브 유닛(600)의 저면에 고정 설치되는 얼라인 하우징 베이스(710)와 상기 얼라인 하우징 베이스(710)에 대하여 x축으로 전, 후진하는 슬라이더(720)를 포함한다.Meanwhile, referring to FIG. 11 , the alignment housing unit 700 is moved along the x-axis with respect to the alignment housing base 710 and the alignment housing base 710 fixedly installed on the lower surface of the valve unit 600 . , including a slider 720 that moves backward.

보다 구체적으로 상기 얼라인 하우징 베이스(710)의 일측에는 록킹 핸들(711)이 형성되어 상기 록킹 핸들(711)을 회전시키면, 상기 얼라인 하우징 베이스(710)와 상기 슬라이더(720) 사이에 체결되는 복수 개의 연결 "D트(712)가 회전함에 따라 상기 얼라인 하우징 베이스(710)와 상기 슬라이더(720)의 간격이 조절된다.More specifically, a locking handle 711 is formed on one side of the alignment housing base 710 and is fastened between the alignment housing base 710 and the slider 720 when the locking handle 711 is rotated. As the plurality of connecting "D" 712 rotates, the distance between the alignment housing base 710 and the slider 720 is adjusted.

또한, 상기 얼라인 하우징 베이스(710)와 상기 슬라이더(720)는 저면에 각각 상기 가스실린더(C)의 헤드 측이 삽입될 수 있도록 홀이 형성되고 상면에 상기 밸브(C1)가 상기 밸브 셔터(610)에 체결될 수 있도록 홀이 형성되며, 상기 베이스 메인 프레임(110) 측으로 상기 가스출구포트(C2) 및 상기 앤드캡(C3)이 노출될 수 있도록 홀이 형성된다.In addition, in the alignment housing base 710 and the slider 720, a hole is formed on the bottom surface so that the head side of the gas cylinder C can be inserted, respectively, and the valve C1 is installed on the top surface of the valve shutter ( A hole is formed to be fastened to the 610 , and a hole is formed to expose the gas outlet port C2 and the end cap C3 toward the base main frame 110 .

보다 바람직하게, 상기 얼라인 하우징 유닛(700)에 가스실린더(C)가 체결되면 상기 밸브(C1)는 상기 밸브 셔터(610) 측에 삽입되고, 상기 가스출구포트(C2)와 상기 앤드캡(C3)은 상기 커넥터 유닛(200) 측으로 노출되도록 형성된다.More preferably, when the gas cylinder (C) is fastened to the alignment housing unit (700), the valve (C1) is inserted into the valve shutter (610) side, the gas outlet port (C2) and the end cap ( C3) is formed to be exposed toward the connector unit 200 .

한편, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명에 따른 가스자동공급장치의 얼라인 구조를 포함하는 가스자동공급장치의 작동 방법은 하기와 같다.On the other hand, the operation method of the automatic gas supply apparatus including the alignment structure of the automatic gas supply apparatus according to the present invention configured as described above is as follows.

우선 작업자가 가스실린더(C)를 밸브(C1)는 상기 밸브 셔터(610) 측에 삽입되고, 가스출구포트(C2)와 앤드캡(C3)은 상기 커넥터 유닛(200) 측을 향하도록 상기 얼라인 하우징 유닛(700)에 체결시킨다.First, the operator inserts the gas cylinder (C) and the valve (C1) is inserted into the valve shutter (610) side, and the gas outlet port (C2) and the end cap (C3) are directed toward the connector unit (200). It is fastened to the in-housing unit 700 .

이때, 상기 얼라인 하우징 유닛(700)과 상기 가스실린더(C)의 위치 정렬은 캐비닛 등에 설치된 호이스트 등에 결합되는 상기 제 3플레이트(140)와 상기 유동 볼트(143)에 의하여 상기 제 3플레이트(140)에 대하여 회전 또는 미세 정렬이 가능한 제 2플레이트(130)에 의하여 이루어질 수 있다.In this case, the alignment of the alignment housing unit 700 and the gas cylinder (C) is performed by the third plate 140 and the floating bolt 143 coupled to a hoist installed in a cabinet or the like. ) can be made by the second plate 130 capable of rotation or fine alignment with respect to the.

이후, 상기 가스커넥터(230)에 체결되어 있는 상기 플러그(430)는 상기 가동 플레이트(220)가 무 부하인 상태에서 상기 그랜드 너트(240)가 회전함에 따라 상기 가스커넥터(230)로부터 분리되고, 상기 플러그 유닛 가동부(420)와 상기 플러그 선회암(440)에 의하여 상기 가스커넥터(230)의 일측으로 회피된 상태로 대기한다.Thereafter, the plug 430 fastened to the gas connector 230 is separated from the gas connector 230 as the grand nut 240 rotates in a state where the movable plate 220 is no load, A standby state is avoided by the plug unit movable part 420 and the plug pivot arm 440 to one side of the gas connector 230 .

또한, 상기 앤드캡 유닛(300)에 의하여 상기 앤드캡(C3)은 상기 가스출구포트(C2)와 분리되고, 상기 앤드캡(C3)은 상기 앤드캡 홀더(330)에 파지된 상태로 대기한다.In addition, the end cap C3 is separated from the gas outlet port C2 by the end cap unit 300 , and the end cap C3 waits while being held by the end cap holder 330 . .

이후, 상기 커넥터 유닛(200)에 의하여 상기 가스출구포트(C2)는 상기 가스커넥터(230)와 연결되고, 상기 밸브 유닛(600)에 의하여 밸브(C1)가 풀림으로써 가스실린더(C)에 충전된 가스가 가스 수요처로 공급된다.Then, the gas outlet port C2 is connected to the gas connector 230 by the connector unit 200, and the valve C1 is released by the valve unit 600 to fill the gas cylinder C. The gas is supplied to gas demanders.

한편, 상기한 바와 같이 가스 수요처로 가스 공급이 완료되면, 상기 밸브 유닛(600)에 의하여 상기 밸브(C1)가 잠긴 후, 상기 커넥터 유닛(200)에 의하여 상기 가스커넥터(230)와 상기 가스출구포트(C2)가 이격되며 기 사용된 상기 가스켓(G)은 상기 가스 그리퍼(530)에 의하여 상기 가스켓 수거함(580)으로 배출된다.On the other hand, when the supply of gas to the gas demander is completed as described above, after the valve C1 is closed by the valve unit 600 , the gas connector 230 and the gas outlet are connected by the connector unit 200 . The ports C2 are spaced apart, and the used gasket G is discharged to the gasket collection box 580 by the gas gripper 530 .

또한, 상기 플러그(430)는 상기 가스커넥터(230)에 체결되고, 상기 앤드캡 홀더(330)에 파지된 상태로 대기하던 상기 앤드캡(C3)은 상기 가스출구포트(C2)에 체결된다.In addition, the plug 430 is fastened to the gas connector 230 , and the end cap C3 , which has been waiting while being held by the end cap holder 330 , is fastened to the gas outlet port C2 .

이후, 작업자가 상기 얼라인 하우징 유닛(700)으로부터 상기 가스실린더(C)를 분리시킴으로써 작업이 완료된다.Then, the operation is completed by the operator separating the gas cylinder (C) from the alignment housing unit (700).

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.As described above, the present invention has been described with reference to the illustrated drawings, but the present invention is not limited by the embodiments and drawings disclosed in the present specification. It is obvious that variations can be made.

아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.In addition, although the effects according to the configuration of the present invention have not been explicitly described and described while describing the embodiments of the present invention, it is natural that the effects predictable by the configuration should also be recognized.

C. 가스실린더
C1. 밸브
C2. 가스출구포트
C3. 앤드캡
G. 가스켓
100. 베이스 프레임
110. 베이스 메인 프레임
120. 베이스 제 1플레이트
121. 유동 볼트 체결홀
130. 베이스 제 2플레이트
140. 베이스 제 3플레이트
141. 볼트 유동홀
142. 와셔 유동홈
143. 유동 볼트
144. 제 1와셔
145. 제 2와셔
146. 유동 너트
147. 제 1교차 프레임 가이드
150. 베이스 고정 플레이트
151. 제 1교차 프레임
152. 제 2교차 프레임 가이드
153. 제 2교차 프레임
154. 베이스 프레임 이송 실린더
200. 커넥터 유닛
210. 커넥터 유닛 베이스
211. 커넥터 유닛 베이스 레일
220. 커넥터 유닛 가동 플레이트
230. 가스커넥터
240. 그랜드 너트
241. 앤드캡 홀더 체결돌기
250. 그랜드 너트 구동모터
260. 감속기
270. 가스켓 서포터
271. 가스켓 서포터 선회암
300. 앤드캡 유닛
310. 앤드캡 유닛 베이스
320. 앤드캡 유닛 가동부
330. 앤드캡 홀더
331. 앤드캡 고정 돌기
340. 앤드캡 홀더 선회암
400. 플러그 유닛
410. 플러그 유닛 베이스
420. 플러그 유닛 가동부
430. 플러그
440. 플러그 선회암
500. 가스켓 유닛
510. 가스케 유닛 베이스
520. 가스켓 그리퍼 이송부
530. 가스켓 그리퍼
540. 가스켓 그리퍼 선회암
550. 가스켓 로딩부
551. 가스켓 안착부
552. 가스켓 공급부
560. 가스켓 로딩블록
561. 가스켓 지지핀
562. 차폐 플레이트 구동부
562a. 제 1경사면
570. 가스켓 매거진
571. 가스켓 매거진 베이스
572. 가스켓 저장 케이스
573. 가스켓 공급 레일
573a. 가스켓 공급홀
580. 가스켓 수거함
581. 가스켓 수거함 베이스
582. 카스켓 수거함 고정핀
590. 가스켓 수거 레일
591. 차폐 플레이트
591a. 제 2경사면
600. 밸브 유닛
610. 밸브 셔터
700. 얼라인 하우징 유닛
710. 얼라인 하우징 베이스
711. 록킹 핸들
712. 연결 볼트
720. 슬라이더
C. Gas cylinder
C1. valve
C2. gas outlet port
C3. end cap
G. gasket
100. Base Frame
110. Base main frame
120. Base 1st plate
121. Floating bolt fastening hole
130. Base 2nd plate
140. Base 3rd Plate
141. Bolt flow hole
142. Washer flow groove
143. Floating bolts
144. First washer
145. Second washer
146. floating nut
147. First cross frame guide
150. Base fixing plate
151. First cross frame
152. Second cross frame guide
153. Second Intersecting Frame
154. Base frame transfer cylinder
200. Connector unit
210. Connector unit base
211. Connector unit base rail
220. Connector unit movable plate
230. Gas connector
240. Grand Nut
241. End cap holder fastening protrusion
250. Grand nut drive motor
260. Reducer
270. Gasket Supporter
271. Gasket supporter glial
300. End cap unit
310. End cap unit base
320. End cap unit movable part
330. End cap holder
331. End cap fixing protrusion
340. End cap holder swivel arm
400. Plug unit
410. Plug unit base
420. Plug unit movable part
430. Plug
440. Plug swivel
500. gasket unit
510. Gassuke Unit Base
520. Gasket Gripper Transport
530. Gasket Gripper
540. Gasket Gripper Glow
550. gasket loading part
551. Gasket seating part
552. Gasket supply
560. Gasket Loading Block
561. Gasket support pin
562. Shielding plate drive
562a. 1st slope
570. Gasket Magazine
571. Gasket Magazine Base
572. Gasket storage case
573. Gasket supply rail
573a. gasket supply hole
580. Gasket collection box
581. Gasket container base
582. Cassette bin fixing pin
590. Gasket collection rail
591. Shielding plate
591a. 2nd slope
600. valve unit
610. valve shutter
700. Align housing unit
710. Align housing base
711. Locking handle
712. Connection bolt
720. Slider

Claims (5)

헤드 측에 형성되는 밸브(C1)와 상기 밸브(C1)와 직교하여 형성되는 가스출구포트(C2) 및 상기 가스출구포트(C2)에 체결 또는 분리되는 앤드캡(C3)을 포함하는 가스실린더에 장착되어 상기 가스실린더에 충전된 가스를 가스 소요처로 공급하는 가스자동공급장치의 얼라인 구조에 있어서,
상측이 호이스트와 결합되는 베이스 고정 플레이트(150);
볼트 유동홀(141)과 상기 볼트 유동홀(141) 하측에 형성되는 와셔 유동홈(142)과 상기 볼트 유동홀(141)에 삽입되는 유동 볼트(143)와 상기 유동 볼트(143)가 상기 볼트 유동홀(141)에 걸릴 수 있도록 상기 볼트 유동홀(141) 상측에 결합되는 제 1와셔(144)와 상기 와셔 유동홈(142)에 안착되는 제 2와셔(145) 및 상기 제 2와셔(145)의 하측에 상기 유동 볼트(143) 체결되는 유동 너트(146)를 포함하여 상기 베이스 고정 플레이트(!50)에 대하여 상하로 이동 가능한 제 3플레이트(140); 및
상기 가스출구포트(C2)에 연결 또는 분리되는 가스커넥터(230)를 포함하는 커넥터 유닛(200)과 상기 앤드캡(C3)과 상기 가스출구포트(C2)를 체결 또는 분리시키는 앤드캡 유닛(300)과 상기 가스출구포트(C2)와 플러그를 체결 또는 분리시키는 플러그 유닛(400)과 상기 가스커넥터(230)와 가스켓(G)을 체결 또는 분리시키는 가스켓 유닛(500)과 상기 밸브(C1)를 풀거나 잠그는 밸브 유닛(600) 및 상기 밸브(C1)가 상기 밸브 유닛(600)에 체결되도록 상부가 개방되고 상기 가스출구포트(C2)와 상기 앤드캡(C3)이 상기 커넥터 유닛(200) 측으로 노출되도록 상기 가스실린더(C1) 헤드 측에 체결되는 얼라인 하우징 유닛(700)이 지지되어 상기 유동 볼트(143)에 체결되는 베이스 프레임(100);을 포함하는 가스자동공급장치의 얼라인 구조.
In a gas cylinder including a valve (C1) formed on the head side, a gas outlet port (C2) formed perpendicular to the valve (C1), and an end cap (C3) fastened to or separated from the gas outlet port (C2) In the alignment structure of the automatic gas supply device which is mounted and supplies the gas charged in the gas cylinder to a gas demanding place,
Base fixing plate 150 is coupled to the upper side of the hoist;
The bolt flow hole 141 and the washer flow groove 142 formed below the bolt flow hole 141, and the flow bolt 143 and the flow bolt 143 inserted into the bolt flow hole 141 are the bolts. The first washer 144 coupled to the upper side of the bolt flow hole 141 so as to be caught in the flow hole 141 , and the second washer 145 and the second washer 145 seated in the washer flow groove 142 . ) a third plate 140 movable up and down with respect to the base fixing plate (!50), including a floating nut 146 that is fastened to the floating bolt 143 at the lower side; and
A connector unit 200 including a gas connector 230 connected to or separated from the gas outlet port C2, and an end cap unit 300 for fastening or separating the end cap C3 and the gas outlet port C2 ) and the plug unit 400 for fastening or separating the gas outlet port C2 and the plug, the gasket unit 500 for fastening or separating the gas connector 230 and the gasket G, and the valve C1. The upper portion is opened so that the unlocking or locking valve unit 600 and the valve C1 are fastened to the valve unit 600 , and the gas outlet port C2 and the end cap C3 are directed toward the connector unit 200 . The alignment structure of the automatic gas supply device including a; the base frame 100 fastened to the flow bolt 143 by supporting the alignment housing unit 700 fastened to the gas cylinder (C1) head side so as to be exposed.
제 1항에 있어서,
상기 베이스 프레임(100)은 전면과 후면 및 상면이 각각 개방된 'ㄷ'자 형상의 베이스 메인 프레임(110)과 상기 베이스 메인 프레임(110)의 상측에 결합되어 상기 베이스 메인 프레임(100)의 상면을 형성하는 베이스 제 1플레이트(120) 및 상기 베이스 메인 프레임(110)과 상기 베이스 제 1플레이트(120)에 각각 결합하여 상기 베이스 메인 프레임(110)의 후면을 일부 덮도록 형성되는 베이스 제 2플레이트(130)를 포함하며,
상기 베이스 제 1플레이트(120)에 상기 유동 볼트(143)가 체결되는 유동 볼트 체결홀(121)이 형성되는 가스자동공급장치의 얼라인 구조.
The method of claim 1,
The base frame 100 is coupled to the upper side of the 'C'-shaped base main frame 110 and the base main frame 110 in which the front, rear and upper surfaces are opened, respectively, and the upper surface of the base main frame 100 . The base first plate 120 and the base second plate formed to partially cover the rear surface of the base main frame 110 by coupling to each of the base main frame 110 and the base first plate 120 to form a (130);
An alignment structure of an automatic gas supply device in which a floating bolt fastening hole 121 to which the floating bolt 143 is fastened is formed in the first base plate 120 .
제 2항에 있어서,
상기 유동 볼트 체결홀(121)은 상기 커넥터 유닛(200)과 상기 앤드캡 유닛(300)과 상기 플러그 유닛(400)과 상기 가스켓 유닛(500)과 벨브 유닛(600) 및 얼라인 하우징 유닛(700)을 포함한 상기 베이스 프레임(100)의 무게 중심에 형성되는 가스자동공급장치의 얼라인 구조.
3. The method of claim 2,
The floating bolt fastening hole 121 includes the connector unit 200 , the end cap unit 300 , the plug unit 400 , the gasket unit 500 , the valve unit 600 , and the alignment housing unit 700 . ), the alignment structure of the automatic gas supply device formed at the center of gravity of the base frame 100, including.
제 1항에 있어서,
상기 베이스 고정 플레이트(150)는 상기 베이스 고정 플레이트(150)에 일단이 결합되고 타단이 제 1교차 프레임 가이드(147)를 따라 x축으로 이동 가능하도록 결합하는 제 1교차 프레임(151)과 일단이 상기 베이스 제 3플레이트(140)에 결합되고 타단이 제 2교차 프레임 가이드(152)를 따라 x축으로 이동 가능하도록 결합하며 상기 제 1교차 프레임(152)과 x자 형상으로 교차 결합되는 제 2교차 프레임(153) 및 상기 베이스 고정 플레이트(150)와 상기 베이스 제 3플레이트(140)의 간격을 조절하는 베이스 프레임 이송 실린더(154)를 포함하는 가스자동공급장치의 얼라인 구조.
The method of claim 1,
The base fixing plate 150 has one end and a first crossed frame 151 coupled to the base fixing plate 150 so that the other end is movable along the x-axis along the first crossed frame guide 147 and one end The second cross is coupled to the base third plate 140 and the other end is coupled to be movable along the x-axis along the second cross frame guide 152 and cross-coupled to the first cross frame 152 in an x-shape. An alignment structure of an automatic gas supply device comprising a frame (153) and a base frame transfer cylinder (154) for adjusting a distance between the base fixing plate (150) and the base third plate (140).
제 1항에 있어서,
상기 제 2와셔(145)는 우레탄 재질인 가스자동공급장치의 얼라인 구조.
The method of claim 1,
The second washer 145 is an alignment structure of an automatic gas supply device made of urethane.
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