KR102474084B1 - Gasket Unit For Auto Gas Supply Apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 헤드 측에 형성되는 밸브와 상기 밸브와 직교하여 형성되는 가스출구포트 및 상기 가스출구포트에 체결 또는 분리되는 앤드캡을 포함하는 가스실린더에 장착되어 상기 가스실린더에 충전된 가스를 가스 쇼요처로 공급하는 가스자동공급장치용 가스켓 유닛에 관한 것으로 가스 가스출구포트와 연결 및 이격되는 가스커넥터에 대하여 전, 후진하는 가스켓 그리퍼 이송부, 상기 가스켓 그리퍼 이송부에 결합하여 선회 이동하는 가스켓 그리퍼 선회암, 상기 가스켓 그리퍼 선회암에 결합되어 가스켓을 파지 또는 파지 해제하는 가스켓 그리퍼, 가스켓이 안착되는 가스켓 안착부와 상기 가스켓 안착부의 하측에 형성되는 가스켓 공급부를 포함하는 가스켓 로딩부, 상기 가스켓 안착부와 상기 가스켓 공급부 사이에서 상하 이동하는 가스켓 로딩블록, 내부에 복수 개의 가스켓이 내장되는 가스켓 저장 케이스와 상기 가스켓 저장 케이스에 전방에 형성되는 가스켓 공급홀로부터 상기 가스켓 공급부로 연장 형성되는 가스켓 공급 레일을 포함하는 가스켓 매거진, 상기 가스켓 매거진 하측에 형성되는 가스켓 수거함 및 상기 가스켓 안착부의 전방 측으로부터 상기 가스켓 수거함으로 연장 형성되는 가스켓 수거 레일을 포함한다.The present invention is mounted on a gas cylinder including a valve formed on the head side, a gas outlet port formed orthogonally to the valve, and an end cap fastened to or separated from the gas outlet port to show the gas filled in the gas cylinder. It relates to a gasket unit for an automatic gas supply device that supplies a gas to a gas outlet port, and includes a gasket gripper transfer unit that moves forward and backward with respect to a gas connector connected to and separated from a gas outlet port, a gasket gripper swing arm coupled to the gasket gripper transfer unit and pivoting and moving. A gasket gripper coupled to the swing arm of the gasket gripper to hold or release a gasket, a gasket loading unit including a gasket seating portion on which a gasket is seated and a gasket supplying portion formed below the gasket seating portion, the gasket seating portion and the gasket supplying portion. A gasket magazine including a gasket loading block that moves up and down, a gasket storage case in which a plurality of gaskets are embedded, and a gasket supply rail extending from a gasket supply hole formed in the front of the gasket storage case to the gasket supply unit, A gasket collection box formed below the gasket magazine and a gasket collection rail extending from a front side of the gasket seating portion into the gasket collection box.

Description

가스자동공급장치용 가스켓 유닛{Gasket Unit For Auto Gas Supply Apparatus}Gasket Unit For Auto Gas Supply Apparatus}

본 발명은 가스자동공급장치용 가스켓 유닛에 관한 것으로 보다 상세하게는 지면과 수직인 상태로 캐비닛 등에 투입되는 고압실린더의 헤드 측에 연결되어 고압실린더 내의 충전된 가스를 공정 챔버 측으로 공급할 수 있는 가스자동공급장치에서 가스출구포트와 가스커넥터 사이에 가스켓을 공급 또는 회수하는 가스자동공급장치용 가스켓 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a gasket unit for an automatic gas supply device, and more particularly, to an automatic gas supply unit that is connected to the head side of a high-pressure cylinder inserted into a cabinet in a state perpendicular to the ground and can supply gas filled in the high-pressure cylinder to the process chamber side. A gasket unit for an automatic gas supply device for supplying or recovering a gasket between a gas outlet port and a gas connector in a supply device.

일반적으로 반도체, 디스플레이 패널 등을 제조하는 공정은 용도에 따라 다양한 가스의 공급이 이루어지며 이러한 가스들은 대부분 유독성, 가연성 등이 비교적 높아 인체에 흡입되거나 대기 중에 노출되는 경우 안전사고 및 환경오염 등의 피해를 발생시킬 수 있다.In general, the process of manufacturing semiconductors, display panels, etc., supplies various gases depending on the use, and most of these gases are relatively highly toxic and flammable, resulting in safety accidents and environmental pollution when inhaled into the human body or exposed to the atmosphere. can cause

또한, 이러한 가스들은 헤드에 가스출구포트 등이 구비되는 원통형의 실린더(이하, 가스실린더) 내부에 충전되어 보관 및 운반이 이루어지며 공정 챔버 측으로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터 등에 연결되어 공정 챔버 측으로 공급된다.In addition, these gases are stored and transported by being filled inside a cylindrical cylinder (hereinafter referred to as a gas cylinder) equipped with a gas outlet port, etc. in the head, and are connected to a connector including a gas flow path extending toward the process chamber to flow toward the process chamber. are supplied

한편, 종래의 가스공급장치는 내부에 가스가 충전된 가스실린더의 가스출구포트를 공정 챔버 측으로 연장되는 가스 유로와 연결하여 수동으로 밸브 등을 개폐하여 공정 챔버 측에 가스를 공급하도록 구성되었다.Meanwhile, a conventional gas supply device is configured to supply gas to a process chamber by manually opening and closing a valve by connecting a gas outlet port of a gas cylinder filled with gas to a gas passage extending toward a process chamber.

그러나, 이러한 종래의 가스실린더 교체장치는 작업자의 숙련도에 따라 가스출구포트와 배관 연결부 사이를 정렬하기 위한 작업 시간이 비교적 오래 소요되는 것은 물론 가스출구포트와 배관 연결부 간 누설이 발생할 수 있는 문제점이 있다.However, this conventional gas cylinder replacement device has a problem in that it takes a relatively long time to align the gas outlet port and the pipe connection according to the skill of the operator, and leakage may occur between the gas outlet port and the pipe connection. .

이를 해결하기 위하여 대한민국 공개특허공보 제10-2020-0095975호에는 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 가스실린더(C)에 형성되는 가스출구포트(C2)를 덮는 앤드캡(C3)을 지지하여 상기 가스출구포트(C2)로부터 분리하는 앤드캡 분리부(10)와 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 지지하여 상기 가스출구포트(C2)에 연결하기 위한 커넥터 체결부(20)와 상기 앤드캡 분리부(10)와 상기 커넥터 체결부(20)를 상기 가스출구포트(C2)와 체결되는 위치로 이동시키기 위한 이동수단(30)과 상기 커넥터 체결부(20)에 가스켓을 공급하기 위한 가스켓 전달부(40) 및 가스켓 공급부(50) 및 밸브(C1)를 개폐한 밸브 개폐부(60) 등을 포함하는 자동화 가스공급장치가 개시되어 있다.In order to solve this problem, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2020-0095975, as shown in FIG. 1, supports an end cap (C3) covering the gas outlet port (C2) formed in the gas cylinder (C) so that the gas The end cap separating part 10 separated from the outlet port C2 and the connector fastening part 20 for supporting the connection pipe connector connected to the gas outlet and connecting to the gas outlet port C2 and the end cap separating A moving means 30 for moving the unit 10 and the connector fastening part 20 to a position where they are engaged with the gas outlet port C2 and a gasket delivery unit for supplying a gasket to the connector fastening part 20 40, a gasket supply unit 50, and an automated gas supply device including a valve opening/closing unit 60 that opens and closes the valve C1.

그러나, 이러한 종래의 자동화 가스공급장치는 상기 가스켓 전달부(40)와 상기 가스켓 공급부(50)가 대향되도록 배치되어 장치의 크기가 커지는 문제점이 있다.However, such a conventional automated gas supply device has a problem in that the size of the device increases because the gasket delivery unit 40 and the gasket supply unit 50 are disposed to face each other.

또한, 이러한 종래의 자동화 가스공급장치는 사용이 완료되어 오염된 가스켓이 외부로 노출되는 시간이 비교적 길기 때문에 작업 환경이 오염되어 안전사고가 발생할 수도 있다.In addition, since it takes a relatively long time for the contaminated gasket to be exposed to the outside after use of the conventional automated gas supply device, a safety accident may occur due to contamination of the work environment.

대한민국 공개특허공보 10-2020-0095975(공개일 2020.08.11.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2020-0095975 (published on 2020.08.11.)

본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 자동으로 가스실린더에 충전된 가스를 공정챔버 등으로 공급할 수 있으며 가스출구포트와 연결 또는 이격되는 가스커넥터의 일측에 형성되어 장치를 소형화할 수 있으며, 기 사용된 가스켓이 외부로 노출되는 시간을 최소화할 수 있는 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 제공하는 것이다.An object of the present invention has been made to solve the above problems, and can automatically supply gas filled in a gas cylinder to a process chamber, etc., and is formed on one side of a gas connector connected to or separated from a gas outlet port to miniaturize the device. It is to provide a gasket unit for an automatic gas supply device capable of minimizing the exposure time of a previously used gasket to the outside.

발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects and advantages of the present invention not mentioned above can be understood by the following description and will be more clearly understood by the embodiments of the present invention.

또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.It will also be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by means of the instrumentalities and combinations indicated in the claims.

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛은 가스 가스출구포트와 연결 및 이격되는 가스커넥터에 대하여 전, 후진하는 가스켓 그리퍼 이송부, 상기 가스켓 그리퍼 이송부에 결합하여 선회 이동하는 가스켓 그리퍼 선회암, 상기 가스켓 그리퍼 선회암에 결합되어 가스켓을 파지 또는 파지 해제하는 가스켓 그리퍼, 가스켓이 안착되는 가스켓 안착부와 상기 가스켓 안착부의 하측에 형성되는 가스켓 공급부를 포함하는 가스켓 로딩부, 상기 가스켓 안착부와 상기 가스켓 공급부 사이에서 상하 이동하는 가스켓 로딩블록, 내부에 복수 개의 가스켓이 내장되는 가스켓 저장 케이스와 상기 가스켓 저장 케이스에 전방에 형성되는 가스켓 공급홀로부터 상기 가스켓 공급부로 연장 형성되는 가스켓 공급 레일을 포함하는 가스켓 매거진, 상기 가스켓 매거진 하측에 형성되는 가스켓 수거함 및 상기 가스켓 안착부의 전방 측으로부터 상기 가스켓 수거함으로 연장 형성되는 가스켓 수거 레일을 포함한다.In order to solve the above problems, a gasket unit for an automatic gas supply device according to the present invention includes a gasket gripper transfer unit that moves forward and backward with respect to a gas connector connected to and separated from a gas outlet port, and a gasket gripper transfer unit coupled to the gasket gripper transfer unit to move A gasket gripper swing arm, a gasket gripper coupled to the gasket gripper swing arm to hold or release a gasket, a gasket loading unit including a gasket seating portion on which a gasket is seated and a gasket supply portion formed below the gasket seating portion, the gasket A gasket loading block that moves up and down between the seating portion and the gasket supply unit, a gasket storage case in which a plurality of gaskets are embedded, and a gasket supply rail extending from a gasket supply hole formed in the front of the gasket storage case to the gasket supply unit. A gasket magazine including a gasket, a gasket collection box formed below the gasket magazine, and a gasket collection rail extending from a front side of the gasket seating portion into the gasket collection box.

또한, 상기 가스켓 로딩블록은 전방 측에 형성되는 가스켓 지지핀과 후방 측에 형성되는 차폐 플레이트 구동부를 포함하며, 상기 가스켓 수거 레일은 상기 가스켓 수거함 측에 형성되어 상기 차폐 플레이트 구동부의 상하 이동에 따라 전, 후진함으로써 상기 가스켓 수거 레일을 차단 또는 개방시키는 차폐 플레이트를 포함한다.In addition, the gasket loading block includes a gasket support pin formed on a front side and a shielding plate driving unit formed on a rear side, and the gasket collection rail is formed on the gasket collection box side and moves according to the vertical movement of the shielding plate driving unit. , a shielding plate that blocks or opens the gasket collection rail by moving backward.

보다 바람직하게 상기 가스켓 안착부에는 가스켓 유무를 감지하는 센서를 포함할 수 있다.More preferably, a sensor for detecting the presence or absence of a gasket may be included in the gasket seating part.

한편, 상기 가스켓 저장 케이스는 상기 가스켓 공급 레일로부터 탈착 가능하도록 형성될 수 있다.Meanwhile, the gasket storage case may be formed to be detachable from the gasket supply rail.

또한, 상기 가스켓 수거함은 상기 가스켓 로딩부 하측에 위치하는 가스켓 수거함 베이스로부터 탈착 가능하다.In addition, the gasket collection box is detachable from a gasket collection box base located below the gasket loading unit.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛은 장비의 크기를 최소화할 수 있으며, 사용이 완료되어 오염된 가스켓이 외부로 노출되는 시간을 최소화함에 따라 작업 환경의 오염을 방지할 수 있다.As described above, the gasket unit for an automatic gas supply device according to the present invention can minimize the size of the equipment and minimize the time for the contaminated gasket to be exposed to the outside after use, thereby preventing contamination of the working environment. can

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the effects described above, specific effects of the present invention will be described together while explaining specific details for carrying out the present invention.

도 1은 종래의 가스공급장치의 요부를 도시한 측면도이다.
도 2는 일반적인 가스실린더의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 포함하는 가스자동공급장치가 가스실린더에 체결된 상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 포함하는 가스자동공급장치가 가스실린더에 체결된 상태에서 베이스 프레임과 밸브 유닛을 생략한 상면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 포함하는 가스자동공급장치에서 제 3플레이트와 베이스 프레임 이송수단의 결합 상태를 도시한 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 포함하는 가스자동공급장치의 일부 구성을 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 도시한 전면 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 도시한 후면 사시도이다.
도 9의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛에서 가스켓 로딩 블록의 하강 상태와 상승 상태를 도시한 전면 사시도이다.
도 10의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛에서 가스켓 로딩 블록이 하강한 상태의 가스켓 수거함의 폐쇄 상태를 도시한 후면 사시도와 전면 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 포함하는 가스자동공급장치에서 가스실린더가 체결된 밸브 유닛과 얼라인 하우징 유닛을 도시한 사시도이다.
1 is a side view showing essential parts of a conventional gas supply device.
2 is a perspective view of a general gas cylinder.
3 is a perspective view illustrating a state in which an automatic gas supply device including a gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention is fastened to a gas cylinder.
4 is a top view of an automatic gas supply device including a gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention, in a state in which a gas cylinder is coupled to a base frame and a valve unit, and the base frame and the valve unit are omitted.
5 is a front view illustrating a coupled state of a third plate and a base frame transfer means in an automatic gas supply device including a gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view showing some configurations of an automatic gas supply device including a gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.
7 is a front perspective view showing a gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.
8 is a rear perspective view illustrating a gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.
9a and b are front perspective views showing a lowered state and an elevated state of the gasket loading block in the gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention, respectively.
10A and B are a rear perspective view and a front perspective view respectively illustrating a closed state of a gasket collection box in a state in which a gasket loading block is lowered in a gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.
11 is a perspective view illustrating a valve unit to which a gas cylinder is fastened and an align housing unit in an automatic gas supply apparatus including a gasket unit for an automatic gas supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.The above objects, features and advantages will be described later in detail with reference to the accompanying drawings, and accordingly, those skilled in the art to which the present invention belongs will be able to easily implement the technical spirit of the present invention.

본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.In describing the present invention, if it is determined that the detailed description of the known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to indicate the same or similar components.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.Hereinafter, the arrangement of an arbitrary element on the "upper (or lower)" or "upper (or lower)" of a component means that an arbitrary element is placed in contact with the upper (or lower) surface of the component. In addition, it may mean that other components may be interposed between the component and any component disposed on (or under) the component.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.In addition, when a component is described as "connected", "coupled" or "connected" to another component, the components may be directly connected or connected to each other, but other components may be "interposed" between each component. ", or each component may be "connected", "coupled" or "connected" through other components.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Singular expressions used herein include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.In this application, terms such as "consisting of" or "comprising" should not be construed as necessarily including all of the various components or steps described in the specification, and some of the components or some of the steps It should be construed that it may not be included, or may further include additional components or steps.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.Throughout the specification, when "A and/or B" is used, this means A, B or A and B unless otherwise specified, and when used as "C to D", this means unless otherwise specified As long as there is no, it means C or more and D or less.

이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛 및 이를 포함하는 가스자동공급장치를 설명하도록 한다.Hereinafter, a gasket unit for an automatic gas supply device and an automatic gas supply device including the gasket unit according to some embodiments of the present invention will be described.

우선, 본 발명에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 포함하는 가스자동공급장치에 적용되는 가스실린더(C)는 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 헤드 측에 밸브(C1)와 상기 밸브(C1)와 직교하도록 형성되는 가스출구포트(C2) 및 상기 가스출구포트(C2)에 탈착되는 앤드캡(C3)을 포함한다.First, the gas cylinder (C) applied to the automatic gas supply device including the gasket unit for the automatic gas supply device according to the present invention includes a valve (C1) and the valve (C1) on the head side as shown in FIG. It includes a gas outlet port (C2) formed to be orthogonal to and an end cap (C3) detachable from the gas outlet port (C2).

또한, 이하에서는 상기 가스실린더(C)의 길이 방향, 즉, 상기 밸브(C1)의 회전축의 길이 방향을 z축이라 정의한다.In addition, hereinafter, the longitudinal direction of the gas cylinder (C), that is, the longitudinal direction of the rotary shaft of the valve (C1) is defined as a z-axis.

또한, 상기 가스출구포트(C2)의 방향. 즉, 상기 가스출구포트(C2)와 상기 앤드캡(C3)의 탈착되는 방향을 y축이라 정의한다.Also, the direction of the gas outlet port (C2). That is, the direction in which the gas outlet port C2 and the end cap C3 are detached is defined as the y-axis.

또한, 지면으로부터 평행한 평면 상에서 상기 y축과 직교하는 방향을 x축이라 정의한다.In addition, a direction orthogonal to the y-axis on a plane parallel to the ground is defined as an x-axis.

한편, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 앤드캡 유닛과 앤드캡 유닛과 인접한 주요 구성을 도시한 사시도이다.Meanwhile, FIG. 6 is a perspective view showing an end cap unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention and a main configuration adjacent to the end cap unit.

도 6을 참조하면 본 발명에 따른 가스자동공급장치용 앤드캡 유닛(300)은 커넥터 유닛(200)에 고정 결합하는 앤드캡 유닛 베이스(310)와 상기 앤드캡 유닛 베이스(310)에 대하여 y축으로 전, 후진하는 앤드캡 유닛 가동부(320)와 상기 앤드캡 유닛 가동부(320)에 결합되어 상기 앤드캡(C3)을 파지하는 앤드캡 홀더(330)를 선회 이동시키는 앤드캡 홀더 선회암(340)을 포함한다.Referring to FIG. 6, the end cap unit 300 for the automatic gas supply device according to the present invention has a y-axis with respect to the end cap unit base 310 fixedly coupled to the connector unit 200 and the end cap unit base 310 The end cap unit movable part 320 that moves forward and backward and the end cap holder swing arm 340 that pivotally moves the end cap holder 330 coupled to the end cap unit movable part 320 and holding the end cap C3. ).

이때, 상기 앤드캡 홀더 선회암(340)의 선회축은 후술할 가스커넥터(230)의 중심을 지나는 z축의 가상의 직선 상에 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the pivot of the end cap holder swing arm 340 is preferably formed on an imaginary straight line of the z-axis passing through the center of the gas connector 230 to be described later.

또한, 상기 앤드캡 홀더(330)는 내주면에 상기 앤드캡 홀더(330)의 중심을 기준하여 방사형으로 형성되는 복수 개의 앤드캡 고정 돌기(331)와 후면에 후술할 앤드캡 홀더 체결 돌기(241)가 삽입되는 앤드캡 홀더 체결홈(미도시)을 포함하며, 상기 앤드캡 홀더 선회암(331)에 회전 가능하도록 결합한다.In addition, the end cap holder 330 has a plurality of end cap fixing protrusions 331 radially formed with respect to the center of the end cap holder 330 on the inner circumferential surface and an end cap holder fastening protrusion 241 to be described later on the rear surface It includes an end cap holder fastening groove (not shown) into which is inserted, and is rotatably coupled to the end cap holder swing arm 331.

보다 구체적으로 상기 앤드캡 홀더(330)는 상기 앤드캡 홀더 선회암(340)에 의하여 후술할 그랜드 너트(240)의 전방 측에 위치하거나 일측에 위치할 수 있도록 선회 이동한다.More specifically, the end cap holder 330 is pivotally moved by the end cap holder swing arm 340 so as to be located on the front side or one side of the grand nut 240 to be described later.

또한, 상기 앤드캡 홀터(330)는 상기 앤드캡 홀더 선회암(340)에 대하여 자유 회전이 가능하도록 상기 앤드캡 홀더 선회암(340)에 설치된다.In addition, the end cap holder 330 is installed on the end cap holder swing arm 340 so as to freely rotate with respect to the end cap holder swing arm 340 .

이에 따라, 상기 앤드캡 홀더(330)가 상기 그랜드 너트(240)의 전방 측에 위치하면, 상기 그랜드 너트(240)의 전, 후진 및/또는 상기 앤드캡 유닛 가동부(320)의 전, 후진에 의하여 상기 앤드캡 홀더 체결홈과 상기 앤드캡 홀더 체결돌기(241)가 결합되어 상기 그랜드 너트(240)의 회전에 따라 상기 앤드캡 홀더(330)는 같이 회전한다.Accordingly, when the end cap holder 330 is located on the front side of the ground nut 240, forward and backward movement of the grand nut 240 and/or forward and backward movement of the end cap unit movable part 320 As a result, the end cap holder fastening groove and the end cap holder fastening protrusion 241 are coupled so that the end cap holder 330 rotates together with the rotation of the grand nut 240 .

또한, 상기 앤드캡 고정 돌기(331)는 스프링 등의 탄성 부재에 의하여 상기 앤드캡 홀더(330)의 내주면으로부터 돌출량이 조절될 수 있다.In addition, the amount of protrusion of the end cap fixing protrusion 331 from the inner circumferential surface of the end cap holder 330 may be adjusted by an elastic member such as a spring.

이에 따라, 상기 앤드캡 홀더(330)는 상기 앤드캡(C3)을 파지한 상태로 회전하여 상기 앤드캡(C3)을 상기 가스출구포트(C2)와 분리 및 체결할 수 있다.Accordingly, the end cap holder 330 rotates while holding the end cap C3 to separate and fasten the end cap C3 to the gas outlet port C2.

또한, 상기 앤드캡 홀더(330)는 가스실린더(C)가 체결되어 공정 챔버 등으로 가스가 공급되는 동안 상기 앤드캡 고정 돌기(331)에 의하여 상기 앤드캡(C3)을 파지한 상태로 대기할 수 있다.In addition, the end cap holder 330 waits while holding the end cap C3 by the end cap fixing protrusion 331 while the gas cylinder C is fastened and gas is supplied to the process chamber. can

또한, 상기 앤드캡 유닛(300)은 상기 앤드캡 홀더(330)에 앤드캡(C3)의 체결 여부를 감지할 수 있는 센서를 더 포함할 수도 있다.In addition, the end cap unit 300 may further include a sensor capable of detecting whether or not the end cap C3 is fastened to the end cap holder 330 .

한편, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 앤드캡 유닛을 포함하는 가스자동공급장치가 가스실린더에 체결된 상태를 도시한 사시도이다.Meanwhile, FIG. 3 is a perspective view illustrating a state in which an automatic gas supply device including an end cap unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention is fastened to a gas cylinder.

또한, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 앤드캡 유닛을 포함하는 가스자동공급장치가 가스실린더에 체결된 상태에서 베이스 프레임과 밸브 유닛을 생략한 상면도이다.4 is a top view of an automatic gas supply device including an end cap unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention, in a state in which a gas cylinder is fastened to a base frame and a valve unit.

또한, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 앤드캡 유닛을 포함하는 가스자동공급장치에서 제 3플레이트와 베이스 프레임 이송수단의 결합 상태를 도시한 정면도이다.5 is a front view illustrating a coupled state between a third plate and a base frame transfer means in an automatic gas supply device including an end cap unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.

도 3 내지 도 5를 참조하면 본 발명에 따른 가스자동공급장치용 앤드캡 유닛을 포함하는 가스자동공급장치는 베이스 프레임(100)과 커넥터 유닛(200)과 플러그 유닛(400)과 가스켓 유닛(500)과 밸브 유닛(600) 및 얼라인 하우징 유닛(700)을 더 포함한다.3 to 5, the automatic gas supply device including the end cap unit for the automatic gas supply device according to the present invention includes a base frame 100, a connector unit 200, a plug unit 400, and a gasket unit 500. ) and a valve unit 600 and an alignment housing unit 700.

보다 구체적으로 상기 베이스 프레임(100)은 도 3과 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 전면과 후면 및 상면이 각각 개방된 'ㄷ'자 형상의 베이스 메인 프레임(110)과 상기 베이스 메인 프레임(110)의 상측에 결합되어 상기 베이스 메인 프레임(100)의 상면을 형성하는 베이스 제 1플레이트(120) 및 상기 베이스 메인 프레임(110)과 상기 베이스 제 1플레이트(120)에 각각 결합하여 상기 베이스 메인 프레임(110)의 후면을 일부 덮도록 형성되는 베이스 제 2플레이트(130)를 포함한다.More specifically, as shown in FIGS. 3 and 4, the base frame 100 includes a 'c'-shaped base main frame 110 with open front, rear and top surfaces, respectively, and the base main frame 110. Is coupled to the upper side of the base first plate 120 and the base main frame 110 and the base first plate 120 respectively coupled to form the upper surface of the base main frame 100, the base main frame ( 110) includes a second base plate 130 formed to partially cover the rear surface.

또한, 상기 베이스 제 1플레이트(120)는 상기 베이스 메인 프레임(110)의 저면 또는 측면의 폭보다 크게 형성되어 상기 베이스 메인 프레임(110)의 전방 측으로 돌출되도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the base first plate 120 is preferably formed to be larger than the width of the bottom or side surface of the base main frame 110 and protrude toward the front side of the base main frame 110 .

또한, 상기 베이스 제 2플레이트(130)는 상기 베이스 프레임(100)의 강도를 향상시키기 위한 것으로 생략 가능하다.In addition, the second base plate 130 is for improving the strength of the base frame 100 and can be omitted.

또한, 상기 베이스 프레임(100)은 상기 베이스 메인 프레임(110)과 상기 베이스 제 1, 2플레이트(120, 130)이 하나의 프레임으로 형성될 수도 있으나 조립 및 분해, 정비 등을 위하여 각각 형성되는 것이 바람직하다.In addition, in the base frame 100, the base main frame 110 and the base first and second plates 120 and 130 may be formed as one frame, but are formed separately for assembly, disassembly, and maintenance. desirable.

또한, 상기 베이스 프레임(100)은 도 3과 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 상기 베이스 제 1플레이트(120)의 상부 일측에 형성되는 유동 볼트 체결홀(121)에 결합되어 베이스 고정 플레이트(150)에 대하여 z축으로 상하 이동하는 베이스 제 3플레이트(140) 더 포함할 수 있다.In addition, as shown in FIGS. 3 and 5, the base frame 100 is coupled to the floating bolt fastening hole 121 formed on one upper side of the first base plate 120 to form a base fixing plate 150. It may further include a third base plate 140 that moves up and down in the z-axis with respect to.

보다 구체적으로 상기 베이스 제 3플레이트(140)는 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 볼트 유동홀(141)과 상기 볼트 유동홀(141) 하측에 형성되는 와셔 유동홈(142)과 상기 볼트 유동홀(141)에 삽입되어 상기 베이스 제 1플레이트(120)와 체결되는 유동 볼트(143)와 상기 유동 볼트(143)가 상기 볼트 유동홀(141)에 걸릴 수 있도록 상기 볼트 유동홀(141) 상측에 결합되는 제 1와셔(144)와 상기 와셔 유동홈(142)에 안착되는 제 2와셔(145) 및 상기 제 2와셔(145)의 하측에 상기 유동 볼트(143) 체결되는 유동 너트(146)를 포함한다.More specifically, as shown in FIG. 5, the base third plate 140 includes a bolt flow hole 141 and a washer flow groove 142 formed below the bolt flow hole 141 and the bolt flow hole ( 141) coupled to the upper side of the bolt flow hole 141 so that the flow bolt 143 inserted into the base first plate 120 and fastened to the flow bolt 143 can be caught in the bolt flow hole 141 Including a first washer 144, a second washer 145 seated in the washer flow groove 142, and a flow nut 146 fastened to the flow bolt 143 on the lower side of the second washer 145 do.

또한, 상기 볼트 유동홀(141)은 상기 유동 볼트(143)의 헤드 직경보다 크게 형성되며, 상기 와셔 유동홈(142)은 상기 제 2와셔(145)의 직경보다 더 크게 형성된다.In addition, the bolt flow hole 141 is formed larger than the head diameter of the flow bolt 143, and the washer flow groove 142 is formed larger than the diameter of the second washer 145.

따라서, 상기 유동 볼트(143)는 상기 볼트 유동홀(141) 내에서 회전 및 유동이 가능하며, 상기 제 2와셔(145)는 상기 와셔 유동홈(142) 내에서 유동됨에 따라 마모에 강하고 분진 등의 발생을 최소화하기 위하여 우레탄 재질인 것이 바람직하다.Therefore, the flow bolt 143 can rotate and flow within the bolt flow hole 141, and the second washer 145 is resistant to wear and dust as it flows within the washer flow groove 142. It is preferable that it is made of urethane material in order to minimize the occurrence of.

이에 따라, 상기한 바와 같이 헤드가 형성된 일측이 상기 베이스 제 3플레이트(140)에 결합되고 타측이 상기 베이스 제 1플레이트(120)에 결합되는 상기 유동 볼트(143)에 의하여 상기 베이스 프레임(100)은 상기 유동 볼트(143)의 회전축을 중심으로 회전하거나 x축과 y축으로 이루어지는 평면 상에서 유동 가능하다.Accordingly, as described above, the base frame 100 is formed by the floating bolt 143 having one side where the head is formed coupled to the third base plate 140 and the other side coupled to the first base plate 120. may rotate around the rotational axis of the floating bolt 143 or may float on a plane formed by the x-axis and the y-axis.

또한, 상기 유동 볼트(143)의 하단은 도 3에 도시되어 있는 상기 베이스 제 1플레이트(120)의 상부 일측에 형성되는 상기 유동 볼트 체결홀(121)에 체결된다.In addition, the lower end of the floating bolt 143 is fastened to the floating bolt fastening hole 121 formed at one upper side of the first base plate 120 shown in FIG. 3 .

또한, 상기 베이스 제 3플레이트(140)는 후술할 제 1교차 프레임(152)의 단부가 x축으로 이동 가능하도록 결합되는 제 1교차 프레임 가이드(147)를 더 포함할 수 있다.In addition, the base third plate 140 may further include a first cross frame guide 147 to which an end portion of a first cross frame 152 to be described later is movable in the x-axis.

한편, 상기 베이스 고정 플레이트(150)는 상기 베이스 고정 플레이트(150)에 일단이 결합되고 타단이 상기 제 1교차 프레임 가이드(147)를 따라 x축으로 이동 가능하도록 결합하는 제 1교차 프레임(151)과 일단이 상기 베이스 제 3플레이트(140)에 결합되고 타단이 제 2교차 프레임 가이드(152)를 따라 x축으로 이동 가능하도록 결합하며 상기 제 1교차 프레임(152)과 x자 형상으로 교차 결합되는 제 2교차 프레임(153) 및 상기 베이스 고정 플레이트(150)와 상기 베이스 제 3플레이트(140)의 간격을 조절하는 베이스 프레임 이송 실린더(154)를 포함한다.Meanwhile, the base fixing plate 150 is a first cross frame 151 having one end coupled to the base fixing plate 150 and the other end coupled so as to be movable along the first cross frame guide 147 in the x-axis. And one end coupled to the base third plate 140 and the other end coupled to be movable in the x-axis along the second cross frame guide 152 and cross-coupled with the first cross frame 152 in an x-shape It includes a second cross frame 153 and a base frame transfer cylinder 154 for adjusting the distance between the base fixing plate 150 and the third base plate 140.

이에 따라, 상기 베이스 고정 프레임(150)을 제외한 상기 베이스 프레임(100)은 상기 베이스 고정 프레임(150)에 대하여 z축으로 상하 이동할 수 있다.Accordingly, the base frame 100 excluding the base fixing frame 150 may move up and down in the z-axis with respect to the base fixing frame 150 .

이때, 상기 베이스 프레임 이송 실린더(154)는 공압 실린더인 것이 바람직하며, 상기 베이스 고정 플레이트(150)에 대하여 상기 베이스 제 3플레이트(140)의 간격을 조절하는 것은 물론 상기 베이스 프레임(100)에 결합되는 상기 커넥터 유닛(200)과 앤드캡 유닛(300)과 플러그 유닛(400)과 가스켓 유닛(500)과 밸브 유닛(600) 및 얼라인 하우징 유닛(700)의 하중이 가스실린더(C) 측에 지속적으로 가해지지 않도록 웨이트 밸런스 역할을 수행한다.At this time, the base frame transfer cylinder 154 is preferably a pneumatic cylinder, and is coupled to the base frame 100 as well as adjusting the distance of the third base plate 140 with respect to the base fixing plate 150. The loads of the connector unit 200, the end cap unit 300, the plug unit 400, the gasket unit 500, the valve unit 600, and the alignment housing unit 700 are applied to the gas cylinder (C) side. It serves as a weight balance so that it is not continuously applied.

또한, 상기 베이스 프레임(100)은 상기 베이스 고정 플레이트(150) 측이 캐비닛 등에 호이스트 등에 의하여 결합됨으로써 고정될 수 있다.In addition, the base frame 100 may be fixed by coupling the side of the base fixing plate 150 to a cabinet or the like by a hoist or the like.

또한, 도 3과 도 4및 도 6을 참조하면 상기 커넥터 유닛(200)은 y축으로 형성되는 커넥터 유닛 베이스 레일(211)을 포함하여 상기 베이스 메인 프레임(110)에 고정 결합하는 커넥터 유닛 베이스(210)와 상기 커넥터 유닛 베이스 레일(211)을 따라 y축으로 전, 후진하는 커넥터 유닛 가동 플레이트(220)를 포함한다.In addition, referring to FIGS. 3, 4, and 6, the connector unit 200 includes a connector unit base rail 211 formed along the y-axis and is fixedly coupled to the base main frame 110. The connector unit base ( 210) and a connector unit movable plate 220 that moves forward and backward in the y-axis along the connector unit base rail 211.

또한, 상기 커넥터 유닛(200)은 공정 챔버 등의 가스 수요처로 연장되는 배관 등이 연결되는 가스커넥터(230)와 상기 가스커넥터(230)의 외주면을 감싸도록 형성되어 상기 가스커넥터(230)에 대하여 y축으로 전, 후진하거나 회전하는 그랜드 너트(240) 및 상기 가스켓 유닛(400)으로부터 상기 가스커넥터(230)의 단부에 공급되는 가스켓(G)의 외주면을 양측에서 파지하는 가스켓 서포터(270)를 더 포함한다.In addition, the connector unit 200 is formed to surround a gas connector 230 to which a pipe extending to a gas demand place such as a process chamber is connected and an outer circumferential surface of the gas connector 230, so that the gas connector 230 The gasket supporter 270 holding the outer circumferential surface of the gasket G supplied from the gasket unit 400 to the end of the gas connector 230 from both sides of the grand nut 240 forward, backward or rotating in the y-axis contains more

이때, 상기 가스커넥터(230)과 상기 그랜드 너트(240) 및 상기 가스켓 서포터(270)는 상기 커넥터 유닛 가동 플레이트(220) 상부에 설치되어 상기 커넥터 유닛 베이스(210)에 대하여 y축으로 전, 후진한다.At this time, the gas connector 230, the ground nut 240, and the gasket supporter 270 are installed on the upper portion of the connector unit movable plate 220 and move forward and backward in the y-axis with respect to the connector unit base 210. do.

이에 따라, 상기 가스커넥터(230)은 상기 커넥터 유닛 가동 플레이트(220)의 전, 후진에 따라 상기 가스출구포트(C2)와 연결 또는 이격될 수 있다.Accordingly, the gas connector 230 may be connected to or separated from the gas outlet port C2 according to the forward and backward movement of the connector unit movable plate 220 .

보다 상세하게 가스커넥터(230)은 전방 측 단부에 가스켓(G)이 체결될 있도록 돌출부가 형성되는 것이 바람직하다.In more detail, the gas connector 230 preferably has a protruding portion formed at the front end so that the gasket G is fastened.

또한, 상기 그랜드 너트(240)는 상기 가스출구포트(C2)를 대향하는 면에 일정 간격 이격되어 형성되는 복수 개의 앤드캡 홀더 체결 돌기(241)를 포함하여 상기 가스커넥터(230)의 전방 측 단부보다 돌출되거나 상기 가스커넥터(230)의 전방 측 단부가 노출되도록 전, 후진된다.In addition, the gland nut 240 includes a plurality of end cap holder fastening protrusions 241 formed at a predetermined interval on the surface facing the gas outlet port C2, and the front end of the gas connector 230. It protrudes more or moves forward and backward so that the front end of the gas connector 230 is exposed.

또한, 상기 그랜드 너트(240)는 그랜드 너트 구동모터(250)와 감속기(260) 등에 의하여 상기 가스커넥터(230)의 중심축을 기준으로 회전한다.In addition, the grand nut 240 rotates about the central axis of the gas connector 230 by the grand nut driving motor 250 and the reduction gear 260 .

이에 따라, 상기 가스커넥터(230)는 상기 그랜드 너트(240)가 상기 가스출구포트(C2) 측으로 전진 및 회전 구동함에 따라 상기 가스출구포트(C2)의 외주면에 체결됨으로써 가스출구포트(C2)와 연결된다.Accordingly, the gas connector 230 is fastened to the outer circumferential surface of the gas outlet port C2 as the gland nut 240 is driven forward and rotated toward the gas outlet port C2, thereby forming the gas outlet port C2 and the gas connector 230. Connected.

또한, 상기 가스켓 서포터(270)는 상기 가스커넥터(230)의 양측에 한 쌍으로 형성되어 가스켓(G)의 외주면을 양측에서 파지하거나 가스켓 서포터 선회암(271)에 의하여 각각 선회 이동함으로써 가스켓(G)과 이격된다.In addition, the gasket supporters 270 are formed as a pair on both sides of the gas connector 230 to grip the outer circumferential surface of the gasket G from both sides or pivotally move by the gasket supporter swing arms 271, respectively. ) and spaced apart from

또한, 상기 커넥터 유닛(200)은 상기 가스커넥터(230) 측에 체결되는 가스켓(G) 또는 플러그의 여부를 감지할 수 있는 센서를 더 포함할 수도 있다.In addition, the connector unit 200 may further include a sensor capable of detecting whether a gasket G or a plug is fastened to the gas connector 230 side.

한편, 상기 플러그 유닛(400)은 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면에 고정 결합하여 상기 베이스 프레임(110)의 전방으로 돌출되는 플러그 유닛 베이스(410)와 상기 플러그 유닛 베이스(410)에 대하여 y축으로 전, 후진하는 플러그 유닛 가동부(420)와 상기 플러그 유닛 가동부(420)에 결합되어 플러그(430)를 선회 이동시키는 플러그 선회암(440)을 포함한다.On the other hand, the plug unit 400 is fixedly coupled to the side of the base main frame 110 to protrude forward of the base frame 110 and the plug unit base 410 and the plug unit base 410 y It includes a plug unit movable part 420 that moves forward and backward along an axis, and a plug swing arm 440 coupled to the plug unit movable part 420 to pivot and move the plug 430 .

이때, 상기 플러그 선회암(440)의 선회축은 상기 가스커넥터(230)의 중심을 지나는 x축의 가상의 직선 상에 형성되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the pivot axis of the plug swing arm 440 is formed on an imaginary straight line of the x-axis passing through the center of the gas connector 230 .

보다 구체적으로 상기 플러그(430)는 상기 플러그 선회암(440)에 의하여 상기 그랜드 너트(240)의 전방 측에 위치하거나 일측에 위치할 수 있도록 선회 이동한다.More specifically, the plug 430 pivots so as to be positioned at the front side or one side of the grand nut 240 by the plug swing arm 440 .

이때, 상기 플러그(430)는 압축가스협회(CGA: Compressed Gas Association) 규격에 따른 플러그는 물론 다양한 규격 및 형상의 플러그가 적용될 수 있다.At this time, the plug 430 may be applied to plugs of various standards and shapes as well as plugs according to Compressed Gas Association (CGA) standards.

이에 따라, 상기 플러그(430)는 상기 플러그 선회암(440)에 의하여 상기 가스커넥터(230) 전방에 위치한 후 상기 가동 플레이트(220)가 전진하고 상기 그랜드 너트(240)가 상기 플러그(430)의 외주면을 감싸도록 회전함에 따라 상기 가스커넥터(230)와 체결된다.Accordingly, after the plug 430 is located in front of the gas connector 230 by the plug swing arm 440, the movable plate 220 moves forward and the ground nut 240 moves forward of the plug 430. As it rotates to cover the outer circumferential surface, it is fastened to the gas connector 230.

또한, 상기 가스커넥터(230)에 체결된 상기 플러그(430)를 분리시키는 방법은 상기한 체결 방법의 역순으로 이루어질 수 있다.In addition, a method of separating the plug 430 fastened to the gas connector 230 may be performed in the reverse order of the above fastening method.

한편, 상기 플러그(430)는 본 발명에 따른 가스자동공급장치에서 가스실린더(C)가 투입되지 않는 경우 상기 가스커넥터(230)와 체결 상태를 유지하는 것이 바람직하다On the other hand, it is preferable that the plug 430 maintains a fastened state with the gas connector 230 when the gas cylinder C is not input in the automatic gas supply device according to the present invention.

한편, 도 7과 8은 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 도시한 전면 사시도와 후면 사시도이다.Meanwhile, FIGS. 7 and 8 are a front perspective view and a rear perspective view respectively showing a gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 9의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛에서 가스켓 로딩 블록의 하강 상태와 상승 상태를 도시한 전면 사시도이다..In addition, a and b of FIG. 9 are front perspective views showing a lowered state and a raised state of the gasket loading block in the gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention, respectively.

또한, 도 10의 a, b는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛에서 가스켓 로딩 블록이 하강한 상태의 가스켓 수거함의 폐쇄 상태를 도시한 후면 사시도와 전면 사시도이다.Further, FIG. 10 a and b are a rear perspective view and a front perspective view respectively illustrating a closed state of the gasket collection box in a state in which the gasket loading block is lowered in the gasket unit for an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.

도 3과 도 4 및 도 7 내지 도 10을 참조하면 상기 가스켓 유닛(500)은 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면에 각각 고정되는 가스켓 유닛 베이스(510)와 상기 가스켓 유닛 베이스(510)에 대하여 y축으로 전, 후진하는 가스켓 그리퍼 이송부(520)와 상기 가스켓 그리퍼 이송부(520)에 결합되어 가스켓(G)을 파지하는 가스켓 그리퍼(530)를 선회 이동시키는 가스켓 그리퍼 선회암(540)을 포함한다.Referring to FIGS. 3, 4, and 7 to 10 , the gasket unit 500 is provided with respect to the gasket unit base 510 and the gasket unit base 510 fixed to the side surfaces of the base main frame 110, respectively. It includes a gasket gripper transfer unit 520 that moves forward and backward along the y-axis, and a gasket gripper swing arm 540 that pivots and moves the gasket gripper 530 coupled to the gasket gripper transfer unit 520 to grip the gasket G. .

이때, 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)의 선회축은 상기 가스커넥터(230)의 중심을 지나는 가상의 직선 상에 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the pivot of the gasket gripper swing arm 540 is preferably formed on an imaginary straight line passing through the center of the gas connector 230 .

즉, 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)의 선회축의 중심은 상기 플러그 선회암(440)의 선회축의 중심 및 상기 가스커넥터(230)의 중심과 동일한 높이로 형성된다.That is, the center of the pivot axis of the gasket gripper swing arm 540 is formed at the same height as the center of the pivot axis of the plug pivot arm 440 and the center of the gas connector 230 .

또한, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 공압 등을 이용한 클램핑 수단이 적용될 수도 있으나 한 쌍의 집게가 접근 또는 이격됨에 따라 가스켓(G) 상하측 외주면을 파지하거나 파지 해제하도록 형성되는 것이 바람직하다In addition, the gasket gripper 530 may be clamped using pneumatic pressure or the like, but is preferably formed to grip or release the upper and lower outer circumferential surfaces of the gasket G as a pair of tongs approach or separate from each other.

이에 따라, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 가스켓(G)의 양측 외주면을 파지하고 있는 상기 가스켓 서포터(270)를 회피하여 상기 가스켓(G)을 파지할 수 있다.Accordingly, the gasket gripper 530 can grip the gasket G while avoiding the gasket supporter 270 gripping both outer circumferential surfaces of the gasket G.

보다 바람직하게 상기 가스켓 그리퍼(530)는 상기 가스켓 서포터(270)와 동일한 공압 라인을 사용함으로써 상기 가스켓 그리퍼(530)가 가스켓(G)을 파지하는 경우 상기 가스켓 서포터(270)는 가스켓(G)의 파지 해제가 이루어지며, 상기 가스켓 그리퍼(530)가 가스켓(G)을 파지 해제하는 경우 상기 가스켓 서포터(270)는 가스켓(G)을 지지하도록 형성될 수 있다.More preferably, the gasket gripper 530 uses the same pneumatic line as the gasket supporter 270, so that when the gasket gripper 530 grips the gasket G, the gasket supporter 270 operates on the gasket G. When the gripping release is performed and the gasket gripper 530 releases the gripping of the gasket G, the gasket supporter 270 may be formed to support the gasket G.

또한, 상기 가스켓 유닛(500)은 가스켓 로딩부(550)와 가스켓 로딩블록(560)과 가스켓 매거진(570)과 가스켓 수거함(580) 및 가스켓 수거 레일(590)을 더 포함한다.In addition, the gasket unit 500 further includes a gasket loading unit 550, a gasket loading block 560, a gasket magazine 570, a gasket collection box 580, and a gasket collection rail 590.

보다 구체적으로 상기 가스켓 로딩부(550)는 상기 가스켓 그리퍼(530)가 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)에 의하여 상기 베이스 메인 프레임(110)의 저면과 수직으로 선회 이동하는 측에 형성되는 가스켓 안착부(551)와 상기 가스켓 안착부(551)의 하측에 순차적으로 형성되는 가스켓 공급부(552)를 포함하여 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면에 고정 결합한다.More specifically, the gasket loading part 550 is a gasket seating part formed on the side where the gasket gripper 530 pivots vertically with the bottom surface of the base main frame 110 by the gasket gripper swing arm 540. 551 and a gasket supply unit 552 sequentially formed below the gasket mounting unit 551 are fixedly coupled to the side surface of the base main frame 110.

이에 따라, 상기 가스켓 안착부(551)에 위치하는 가스켓(G)은 상기 베이스 메인 프레임(110)의 저면과 수직으로 선회 이동이 완료된 상기 가스켓 그리퍼(530)에 의하여 파지 되거나 파지 해제될 수 있다.Accordingly, the gasket (G) located on the gasket seating portion 551 can be gripped or released by the gasket gripper 530, which has been pivotally moved vertically to the bottom surface of the base main frame 110.

또한, 상기 가스켓 안착부(551)와 상기 가스켓 공급부(552)는 z축의 일직선 상에 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the gasket seating portion 551 and the gasket supplying portion 552 are formed on a straight line along the z-axis.

또한, 상기 가스켓 안착부(551)는 후면에 스프링 등의 탄성부재에 의하여 상기 가스켓 그리퍼(530)가 가스켓(G)을 파지하기 위하여 접근하는 경우 완충되도록 후진할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the gasket seating portion 551 is formed on the rear surface of the gasket gripper 530 so as to be able to move backward to buffer when the gasket gripper 530 approaches to grip the gasket G by an elastic member such as a spring.

또한, 상기 가스켓 로딩부(550)는 상기 가스켓 안착부(551)에 가스켓(G) 장착 여부를 감지할 수 있는 센서를 포함할 수도 있다.Also, the gasket loading part 550 may include a sensor capable of detecting whether or not the gasket G is mounted on the gasket seating part 551 .

한편, 상기 가스켓 로딩블록(560)은 가스켓(G)의 일측을 지지하는 가스켓 지지핀(561)이 전면에 형성되고, 하측에 제 1경사면(562a)이 구비되는 차폐 플레이트 구동부(562)이 후면에 형성되어 상기 가스켓 안착부(551)와 상기 가스켓 공급부(552) 사이에서 z축으로 상하 이동한다.On the other hand, in the gasket loading block 560, a gasket support pin 561 supporting one side of the gasket G is formed on the front side, and a shield plate driving unit 562 having a first inclined surface 562a on the lower side is provided on the rear side. It is formed on the gasket and moves up and down in the z-axis between the gasket seating portion 551 and the gasket supplying portion 552.

이때, 상기 가스켓 지지핀(561)과 상기 차폐 플레이트 구동부(562)는 각각 상기 가스켓 로딩블록(560)과 일체형으로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the gasket support pin 561 and the shield plate driver 562 are integrally formed with the gasket loading block 560, respectively.

이에 따라, 상기 가스켓 로딩블록(560)은 상승 이동함으로써 도 9의 a, b에 도시되어 있는 바와 같이 상기 가스켓 공급부(552)에 위치한 가스켓(G)을 상기 가스켓 안착부(551)로 이송시킬 수 있다.Accordingly, the gasket loading block 560 moves upward to transfer the gasket G located in the gasket supply unit 552 to the gasket seating unit 551 as shown in a and b of FIG. 9 . have.

한편, 상기 가스켓 매거진(570)은 상기 가스켓 로딩부(550) 상측에 위치하도록 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면과 고정 결합되는 가스켓 매거진 베이스(571)에 안착되는 가스켓 저장 케이스(572)와 상기 가스켓 저장 케이스(572)의 전면에 형성되는 가스켓 공급홀(573a)로부터 상기 가스켓 공급부(552)까지 연장 형성되는 가스켓 공급 레일(573)을 포함한다.Meanwhile, the gasket magazine 570 includes a gasket storage case 572 seated on a gasket magazine base 571 fixedly coupled to the side surface of the base main frame 110 so as to be located above the gasket loading part 550 and the gasket storage case 572. A gasket supply rail 573 extending from the gasket supply hole 573a formed on the front surface of the gasket storage case 572 to the gasket supply part 552 is included.

보다 구체적으로 상기 가스켓 저장 케이스(572)는 스프링 등의 탄성 부재가 내장되어 상기 가스켓 저장 케이스(572)에 저장된 복수 개의 가스켓(G)을 수동 또는 자동으로 상기 가스켓 공급홀(573a)을 통하여 상기 가스켓 공급 레일(573)로 1개씩 배출시킨다.More specifically, the gasket storage case 572 has a built-in elastic member such as a spring to manually or automatically pass the plurality of gaskets G stored in the gasket storage case 572 through the gasket supply hole 573a. Discharge one by one to the supply rail 573.

또한, 상기 가스켓 저장 케이스(572)는 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 상기 베이스 프레임(100)의 외부로 노출되도록 형성되어 가스켓(G) 충전 시 가스켓 매거진 베이스(571)로부터 분리 가능한 것이 바람직하다.In addition, as shown in FIG. 8 , the gasket storage case 572 is preferably formed to be exposed to the outside of the base frame 100 and can be separated from the gasket magazine base 571 when the gasket G is charged.

또한, 상기 가스켓 저장 케이스(572) 측에는 이물질 제거를 위한 에어 분사장치 등이 구비될 수도 있다.In addition, an air blowing device for removing foreign substances may be provided on the side of the gasket storage case 572 .

또한, 상기 가스켓 공급 레일(573)은 상기 가스켓 매거진 베이스(571)에 고정 설치되며 도 9에 도시되어 있는 바와 같이 상기 가스켓 공급홀(573a)을 통하여 공급된 가스켓(G)이 중력에 의하여 상기 가스켓 공급부(552)로 이송될 수 있도록 상기 가스켓 안착부(551)을 회피하는 원호 형상인 것이 바람직하다.In addition, the gasket supply rail 573 is fixedly installed to the gasket magazine base 571, and as shown in FIG. 9 , the gasket G supplied through the gasket supply hole 573a is moved by gravity to the gasket. It is preferable to have a circular arc shape avoiding the gasket seating portion 551 so that it can be transferred to the supply unit 552.

한편, 상기 가스켓 수거함(580)은 상기 가스켓 로딩부(550) 하측에 위치하도록 상기 베이스 메인 프레임(110)의 측면과 고정 결합되는 가스켓 수거함 베이스(581)에 안착된다.Meanwhile, the gasket collection box 580 is seated on the gasket collection box base 581 fixedly coupled to the side surface of the base main frame 110 so as to be located below the gasket loading part 550 .

이때, 상기 가스켓 수거함(580)은 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 상기 베이스 프레임(100)의 외부로 노출되도록 형성되어 상기 가스켓 수거함(580)에 저장된 가스켓(G)을 폐기하기 위하여 상기 가스켓 수거함 베이스(581)로부터 분리 가능한 것이 바람직하다.At this time, as shown in FIG. 8 , the gasket collection box 580 is formed to be exposed to the outside of the base frame 100 to discard the gasket G stored in the gasket collection box 580 . It is preferable to be separable from (581).

보다 구체적으로 상기 가스켓 수거함 베이스(581)를 관통하여 상기 가스켓 수거함(580)의 저면에 삽입되는 가스켓 수거함 고정핀(582)에 의하여 상기 가스켓 수거함(580)은 상기 가스켓 수거함 베이스(581)에 고정되며, 상기 가스켓 수거함 핀(582)을 제거하는 경우 상기 가스켓 수거함(580)은 상기 가스켓 수거함 베이스(581)로부터 분리될 수 있다.More specifically, the gasket collection box 580 is fixed to the gasket collection box base 581 by a gasket collection box fixing pin 582 that penetrates the gasket collection box base 581 and is inserted into the bottom surface of the gasket collection box 580, , When the gasket collection box pin 582 is removed, the gasket collection box 580 may be separated from the gasket collection box base 581 .

한편, 상기 가스켓 수거 레일(590)은 상기 베이스 메인 프레임(110)에 고정 설치되어 상기 가스켓 공급부(552)의 전방 측으로부터 상기 가스켓 수거함(580) 측으로 연장 형성된다.Meanwhile, the gasket collection rail 590 is fixed to the base main frame 110 and extends from the front side of the gasket supply unit 552 toward the gasket collection box 580 .

보다 바람직하게 상기 가스켓 수거 레일(590)은 도 10의 b에 도시되어 있는 바와 같이 상기 가스켓 로딩부(550)의 전방에 위치하는 가스켓(G)이 중력에 의하여 상기 가스켓 수거함(580)으로 이송될 수 있도록 형성된다.More preferably, as shown in b of FIG. 10 , the gasket collection rail 590 allows the gasket G located in front of the gasket loading unit 550 to be transported to the gasket collection box 580 by gravity. formed so that

또한, 상기 가스켓 수거 레일(590)은 상기 가스켓 수거함(580)에 형성되는 단부가 상기 가스켓 수거함(580)에 밀착되도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the gasket collection rail 590 is preferably formed such that an end formed on the gasket collection box 580 comes into close contact with the gasket collection box 580 .

또한, 상기 가스켓 수거 레일(590)은 상기 가스켓 수거함(580) 상측에 형성되는 차폐 플레이트(591)를 포함한다.In addition, the gasket collection rail 590 includes a shielding plate 591 formed on the upper side of the gasket collection box 580 .

보다 구체적으로 상기 차폐 플레이트(591)는 후방 측에 스프링 등의 탄성 부재와 연결되고 상부에 상기 제 1경사면(562a)과 대응되도록 형성되는 제 2경사면(591a)이 형성된다.More specifically, the shield plate 591 is connected to an elastic member such as a spring at the rear side, and a second inclined surface 591a formed to correspond to the first inclined surface 562a is formed on the top.

이에 따라, 상기 차폐 플레이트(591)는 도 10의 a, b에 각각 도시되어 있는 바와 같이 상기 차폐 플레이트 구동부(562)이 하강함에 따라 상기 제 1경사면(562a)이 상기 제 2경사면(591a)을 전방 측으로 밀어냄으로써 전진하여 상기 가스켓 수거 레일(590)을 차단시킨다.Accordingly, as the shielding plate driver 562 descends, the first inclined surface 562a of the shielding plate 591 moves along the second inclined surface 591a, as shown in a and b of FIG. 10 , respectively. By pushing it forward, it advances and blocks the gasket collection rail 590.

반대로, 상기 차폐 플레이트(591)는 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 상기 차폐 플레이트 구동부(562)이 상승함에 따라 상기 제 1경사면(562a)과 상기 제 2경사면(591a)이 이격되고 상기 차폐 플레이트(591) 후방 측에 스프링 등의 탄성부재에 의하여 후진하여 상기 가스켓 수거 레일(590)을 개방시킨다.On the contrary, as shown in FIG. 8, the shielding plate 591 is separated from the first inclined surface 562a and the second inclined surface 591a as the shielding plate driver 562 rises, and the shielding plate ( 591) The gasket collection rail 590 is opened by moving backward by an elastic member such as a spring on the rear side.

한편, 본 발명에 따른 가스자동공급장치는 상기 가스켓 수거함(580) 또는 상기 가스켓 수거 레일(590) 측에는 가스켓(G) 표면에 부착된 오염물질을 제거할 수 있는 진공 흡입 수단 등을 더 포함할 수도 있다.Meanwhile, the automatic gas supply device according to the present invention may further include a vacuum suction unit capable of removing contaminants attached to the surface of the gasket G at the gasket collection box 580 or the gasket collection rail 590. have.

이에 따라, 본 발명에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛은 상기 가스켓 수거함(580)에 저장되는 기 사용된 가스켓(G)으로부터 누출되는 오염 물질에 의한 장비 오염과 작업자의 안전사고를 방지할 수 있다.Accordingly, the gasket unit for the automatic gas supply device according to the present invention can prevent equipment contamination and operator safety accidents caused by contaminants leaking from the previously used gasket G stored in the gasket collection box 580. .

한편, 상기한 바와 같이 구성되는 가스켓 유닛(500)의 작동 방법은 하기와 같다.Meanwhile, a method of operating the gasket unit 500 configured as described above is as follows.

상기 가스켓 저장 케이스(572)에 저장된 가스켓(G)이 상기 가스켓 공급홀(573a)을 통하여 상기 가스켓 공급 레일(730)을 따라 상기 가스켓 공급부(552)에 위치하면 상기 가스켓 로딩블록(560)이 상승함으로써 상기 가스켓 안착부(551)로 이송되어 상기 가스켓 그리퍼(530)에 의하여 파지된다.When the gasket G stored in the gasket storage case 572 is located in the gasket supply part 552 along the gasket supply rail 730 through the gasket supply hole 573a, the gasket loading block 560 rises. By doing so, the gasket is transferred to the gasket seating portion 551 and is gripped by the gasket gripper 530 .

이때, 상기 가스켓 공급 레일(573)에는 빈 공간이 없도록 복수 개의 가스켓(G)이 순차적으로 정렬되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the plurality of gaskets (G) are sequentially aligned so that there is no empty space in the gasket supply rail 573 .

또한, 본 발명에 따른 가스켓 유닛(500)에서 상기 가스켓 공급 레일(573)로 작업자가 가스켓(G)을 직접 투입할 수도 있다.Also, in the gasket unit 500 according to the present invention, a worker may directly insert the gasket G into the gasket supply rail 573 .

이후, 상기 가스켓 로딩블록(560)은 하강하고 상기 가스켓(G)은 상기 가스켓 그리퍼(530)에 의하여 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)과 상기 가스켓 그리퍼 이송부(520)에 의하여 상기 가스커넥터(230) 전면에 형성된 돌출부에 체결된다.Then, the gasket loading block 560 descends, and the gasket G is moved by the gasket gripper 530 to the gasket gripper swing arm 540 and the gasket gripper transfer unit 520 to the gasket connector 230. It is fastened to the protrusion formed on the front side.

이때, 상기 가스켓 로딩블록(560)의 하강에 의하여 상기 차폐 플레이트(591)는 상기 가스켓 수거 레일(590)을 차단시킨다.At this time, the shielding plate 591 blocks the gasket collection rail 590 by the descent of the gasket loading block 560 .

이후, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)과 상기 가스켓 그리퍼 이송부(850)에 의하여 초기 위치로 복귀하여 본 발명에 따른 가스자동공급장치에 가스실린더(C)가 체결되어 가스 소요처로 가스 공급이 이루어지는 동안 대기한다.Thereafter, the gasket gripper 530 is returned to its initial position by the gasket gripper swing arm 540 and the gasket gripper transfer unit 850, and the gas cylinder C is fastened to the automatic gas supply device according to the present invention, Stand by while gas is supplied to the required location.

한편, 상기한 바와 같이 본 발명에 따른 가스자동공급장치에 의하여 가스 소요처로 가스 공급이 완료되면, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)과 상기 가스켓 그리퍼 이송부(850)에 의하여 상기 가스커넥터(230)에 체결되어 사용이 완료된 가스켓(G) 측으로 이동하여 상기 가스커넥터(230)로부터 상기 가스켓(G)을 분리시킨다.On the other hand, as described above, when the gas supply to the gas consumption place is completed by the automatic gas supply device according to the present invention, the gasket gripper 530 is moved by the gasket gripper swing arm 540 and the gasket gripper transfer unit 850. The gasket (G) is separated from the gas connector 230 by moving toward the gasket G that is fastened to the gas connector 230 and has been used.

이후, 상기 가스켓 그리퍼(530)는 상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)과 상기 가스켓 그리퍼 이송부(850)에 의하여 상기 가스켓(G)을 상기 가스켓 안착부 전방 측으로 이동시킨 상태에서 상기 가스켓(G)을 파지 해제한다.Thereafter, the gasket gripper 530 grips the gasket G in a state in which the gasket G is moved toward the front side of the gasket seating portion by the gasket gripper swing arm 540 and the gasket gripper transfer unit 850. unlock

이에 따라, 상기 가스켓(G)은 중력에 의하여 낙하함으로써 상기 가스켓 수거레일(590)을 따라 상기 가스켓 수거함(580)으로 이송이 완료된다.Accordingly, the gasket G is dropped by gravity, and the transfer to the gasket collection box 580 along the gasket collection rail 590 is completed.

한편, 도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스자동공급장치에서 가스실린더가 체결된 밸브 유닛과 얼라인 하우징 유닛을 도시한 사시도이다.Meanwhile, FIG. 11 is a perspective view illustrating a valve unit to which a gas cylinder is coupled and an align housing unit in an automatic gas supply device according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 11을 참조하면 상기 밸브 유닛(600)은 상기 베이스 메인 프레임(110)의 전방 측에 형성되도록 상기 베이스 제 1플레이트(120)에 고정 결합된다.Referring to FIGS. 3 and 11 , the valve unit 600 is fixedly coupled to the first base plate 120 so as to be formed on the front side of the base main frame 110 .

또한, 상기 밸브 유닛(600)은 저면 측으로 상기 밸브(C1)가 삽입된 상태에서 상기 밸브(C1)에 체결되어 회전함으로써 상기 밸브(C1)를 풀거나 잠글 수 있는 밸브 셔터(610)를 포함한다.In addition, the valve unit 600 includes a valve shutter 610 capable of unlocking or locking the valve C1 by being fastened to the valve C1 and rotating in a state where the valve C1 is inserted to the bottom side. .

상기 밸브 셔터(610)의 세부 구조는 대한민국 공개특허공보 제10-2020-0091551호에 개시되어 있는 가스실린더의 가스공급장치용 밸브셔터모듈을 포함한 다양한 공지 기술이 적용될 수 있다.As for the detailed structure of the valve shutter 610, various known technologies including a valve shutter module for a gas supply device of a gas cylinder disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2020-0091551 may be applied.

한편, 도 11을 참조하면 상기 얼라인 하우징 유닛(700)은 상기 밸브 유닛(600)의 저면에 고정 설치되는 얼라인 하우징 베이스(710)와 상기 얼라인 하우징 베이스(710)에 대하여 x축으로 전, 후진하는 슬라이더(720)를 포함한다.Meanwhile, referring to FIG. 11 , the alignment housing unit 700 rotates in the x-axis with respect to the alignment housing base 710 fixedly installed on the lower surface of the valve unit 600 and the alignment housing base 710. , includes a slider 720 that moves backward.

보다 구체적으로 상기 얼라인 하우징 베이스(710)의 일측에는 록킹 핸들(711)이 형성되어 상기 록킹 핸들(711)을 회전시키면, 상기 얼라인 하우징 베이스(710)와 상기 슬라이더(720) 사이에 체결되는 복수 개의 연결 "D트(712)가 회전함에 따라 상기 얼라인 하우징 베이스(710)와 상기 슬라이더(720)의 간격이 조절된다.More specifically, a locking handle 711 is formed on one side of the align housing base 710, and when the locking handle 711 is rotated, it is fastened between the align housing base 710 and the slider 720. As the plurality of connecting "D" points 712 rotate, the distance between the align housing base 710 and the slider 720 is adjusted.

또한, 상기 얼라인 하우징 베이스(710)와 상기 슬라이더(720)는 저면에 각각 상기 가스실린더(C)의 헤드 측이 삽입될 수 있도록 홀이 형성되고 상면에 상기 밸브(C1)가 상기 밸브 셔터(610)에 체결될 수 있도록 홀이 형성되며, 상기 베이스 메인 프레임(110) 측으로 상기 가스출구포트(C2) 및 상기 앤드캡(C3)이 노출될 수 있도록 홀이 형성된다.In addition, a hole is formed on the bottom surface of the align housing base 710 and the slider 720 so that the head side of the gas cylinder (C) can be inserted, and the valve C1 is formed on the upper surface of the valve shutter ( 610), and holes are formed to expose the gas outlet port C2 and the end cap C3 to the base main frame 110 side.

보다 바람직하게, 상기 얼라인 하우징 유닛(700)에 가스실린더(C)가 체결되면 상기 밸브(C1)는 상기 밸브 셔터(610) 측에 삽입되고, 상기 가스출구포트(C2)와 상기 앤드캡(C3)은 상기 커넥터 유닛(200) 측으로 노출되도록 형성된다.More preferably, when the gas cylinder (C) is fastened to the align housing unit 700, the valve (C1) is inserted into the valve shutter 610 side, and the gas outlet port (C2) and the end cap ( C3) is formed to be exposed toward the connector unit 200 side.

한편, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명에 따른 가스자동공급장치용 가스켓 유닛을 포함하는 가스자동공급장치의 작동 방법은 하기와 같다.Meanwhile, the operation method of the automatic gas supply device including the gasket unit for the automatic gas supply device according to the present invention configured as described above is as follows.

우선 작업자가 가스실린더(C)를 밸브(C1)는 상기 밸브 셔터(610) 측에 삽입되고, 가스출구포트(C2)와 앤드캡(C3)은 상기 커넥터 유닛(200) 측을 향하도록 상기 얼라인 하우징 유닛(700)에 체결시킨다.First, the operator inserts the gas cylinder (C), the valve (C1) into the valve shutter (610) side, and the gas outlet port (C2) and the end cap (C3) face the connector unit (200). It is fastened to the in-housing unit 700.

이때, 상기 얼라인 하우징 유닛(700)과 상기 가스실린더(C)의 위치 정렬은 호이스트 등에 결합되는 상기 제 3플레이트(140)와 상기 유동 볼트(143)에 의하여 상기 제 3플레이트(140)에 대하여 회전 또는 미세 정렬이 가능한 제 2플레이트(130)에 의하여 이루어질 수 있다.At this time, the position alignment of the align housing unit 700 and the gas cylinder (C) is performed with respect to the third plate 140 by the third plate 140 and the floating bolt 143 coupled to a hoist or the like. This can be achieved by the second plate 130 capable of rotation or fine alignment.

이후, 상기 가스커넥터(230)에 체결되어 있는 상기 플러그(430)는 상기 가동 플레이트(220)가 무 부하인 상태에서 상기 그랜드 너트(240)가 회전함에 따라 상기 가스커넥터(230)로부터 분리되고, 상기 플러그 유닛 가동부(420)와 상기 플러그 선회암(440)에 의하여 상기 가스커넥터(230)의 일측으로 회피된 상태로 대기한다.Thereafter, the plug 430 fastened to the gas connector 230 is separated from the gas connector 230 as the ground nut 240 rotates in a state in which the movable plate 220 is unloaded, It stands by in a state of being avoided to one side of the gas connector 230 by the plug unit movable part 420 and the plug swing arm 440 .

또한, 상기 앤드캡 유닛(300)에 의하여 상기 앤드캡(C3)은 상기 가스출구포트(C2)와 분리되고, 상기 앤드캡(C3)은 상기 앤드캡 홀더(330)에 파지된 상태로 대기한다.In addition, the end cap C3 is separated from the gas outlet port C2 by the end cap unit 300, and the end cap C3 stands by while being held by the end cap holder 330. .

이후, 상기 커넥터 유닛(200)에 의하여 상기 가스출구포트(C2)는 상기 가스커넥터(230)와 연결되고, 상기 밸브 유닛(600)에 의하여 밸브(C1)가 풀림으로써 가스실린더(C)에 충전된 가스가 가스 수요처로 공급된다.Thereafter, the gas outlet port C2 is connected to the gas connector 230 by the connector unit 200, and the valve C1 is released by the valve unit 600 to charge the gas cylinder C. The gas is supplied to the gas demander.

한편, 상기한 바와 같이 가스 수요처로 가스 공급이 완료되면, 상기 밸브 유닛(600)에 의하여 상기 밸브(C1)가 잠긴 후, 상기 커넥터 유닛(200)에 의하여 상기 가스커넥터(230)와 상기 가스출구포트(C2)가 이격되며 기 사용된 상기 가스켓(G)은 상기 가스 그리퍼(530)에 의하여 상기 가스켓 수거함(580)으로 배출된다.On the other hand, as described above, when gas supply to the gas consumer is completed, after the valve C1 is closed by the valve unit 600, the gas connector 230 and the gas outlet are connected by the connector unit 200. The port C2 is spaced apart and the previously used gasket G is discharged to the gasket collection box 580 by the gas gripper 530 .

또한, 상기 플러그(430)는 상기 가스커넥터(230)에 체결되고, 상기 앤드캡 홀더(330)에 파지된 상태로 대기하던 상기 앤드캡(C3)은 상기 가스출구포트(C2)에 체결된다.In addition, the plug 430 is fastened to the gas connector 230, and the end cap C3 waiting while held by the end cap holder 330 is fastened to the gas outlet port C2.

이후, 작업자가 상기 얼라인 하우징 유닛(700)으로부터 상기 가스실린더(C)를 분리시킴으로써 작업이 완료된다.Thereafter, the work is completed when the operator separates the gas cylinder (C) from the align housing unit (700).

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.As described above, the present invention has been described with reference to the drawings illustrated, but the present invention is not limited by the embodiments and drawings disclosed in this specification, and various modifications are made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. It is obvious that variations can be made.

아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.In addition, although the operational effects according to the configuration of the present invention have not been explicitly described and described while describing the embodiments of the present invention, it is natural that the effects predictable by the corresponding configuration should also be recognized.

C. 가스실린더
C1. 밸브
C2. 가스출구포트
C3. 앤드캡
G. 가스켓
100. 베이스 프레임
110. 베이스 메인 프레임
120. 베이스 제 1플레이트
121. 유동 볼트 체결홀
130. 베이스 제 2플레이트
140. 베이스 제 3플레이트
141. 볼트 유동홀
142. 와셔 유동홈
143. 유동 볼트
144. 제 1와셔
145. 제 2와셔
146. 유동 너트
147. 제 1교차 프레임 가이드
150. 베이스 고정 플레이트
151. 제 1교차 프레임
152. 제 2교차 프레임 가이드
153. 제 2교차 프레임
154. 베이스 프레임 이송 실린더
200. 커넥터 유닛
210. 커넥터 유닛 베이스
211. 커넥터 유닛 베이스 레일
220. 커넥터 유닛 가동 플레이트
230. 가스커넥터
240. 그랜드 너트
241. 앤드캡 홀더 체결돌기
250. 그랜드 너트 구동모터
260. 감속기
270. 가스켓 서포터
271. 가스켓 서포터 선회암
300. 앤드캡 유닛
310. 앤드캡 유닛 베이스
320. 앤드캡 유닛 가동부
330. 앤드캡 홀더
331. 앤드캡 고정 돌기
340. 앤드캡 홀더 선회암
400. 플러그 유닛
410. 플러그 유닛 베이스
420. 플러그 유닛 가동부
430. 플러그
440. 플러그 선회암
500. 가스켓 유닛
510. 가스케 유닛 베이스
520. 가스켓 그리퍼 이송부
530. 가스켓 그리퍼
540. 가스켓 그리퍼 선회암
550. 가스켓 로딩부
551. 가스켓 안착부
552. 가스켓 공급부
560. 가스켓 로딩블록
561. 가스켓 지지핀
562. 차폐 플레이트 구동부
562a. 제 1경사면
570. 가스켓 매거진
571. 가스켓 매거진 베이스
572. 가스켓 저장 케이스
573. 가스켓 공급 레일
573a. 가스켓 공급홀
580. 가스켓 수거함
581. 가스켓 수거함 베이스
582. 카스켓 수거함 고정핀
590. 가스켓 수거 레일
591. 차폐 플레이트
591a. 제 2경사면
600. 밸브 유닛
610. 밸브 셔터
700. 얼라인 하우징 유닛
710. 얼라인 하우징 베이스
711. 록킹 핸들
712. 연결 볼트
720. 슬라이더
C. Gas Cylinder
C1. valve
C2. gas outlet port
C3. end cap
G. Gasket
100. Base frame
110. Base main frame
120. Base first plate
121. Floating bolt fastening hole
130. Base second plate
140. Base third plate
141. Bolt flow hole
142. Washer flow groove
143. Floating bolt
144. No. 1 washer
145. Second washer
146. Floating nut
147. First cross frame guide
150. Base fixed plate
151. First cross frame
152. Second cross frame guide
153. Second cross frame
154. Base frame transfer cylinder
200. Connector unit
210. Connector unit base
211. Connector unit base rail
220. Connector unit movable plate
230. Gas connector
240. Grand Nut
241. End cap holder fastening protrusion
250. Grand nut drive motor
260. Reducer
270. Gasket Supporter
271. Gasket Supporter Orbital
300. End cap unit
310. End cap unit base
320. End cap unit movable part
330. End cap holder
331. End cap fixed protrusion
340. End cap holder turning rock
400. Plug unit
410. Plug unit base
420. Plug unit movable part
430. Plug
440. Plug turning rock
500. Gasket unit
510. Gasuke Unit Base
520. Gasket gripper transfer part
530. Gasket Gripper
540. Gasket Gripper Orbital
550. Gasket loading part
551. Gasket seat
552. Gasket supply
560. Gasket loading block
561. Gasket support pin
562. Shield plate driving unit
562a. 1st slope
570. Gasket Magazine
571. Gasket Magazine Base
572. Gasket storage case
573. Gasket supply rail
573a. gasket supply hole
580. Gasket collection box
581. Gasket Collection Base
582. Cassette collection box fixing pin
590. Gasket collection rail
591. Shielding plate
591a. 2nd slope
600. Valve unit
610. Valve shutters
700. Align Housing Unit
710. Align Housing Base
711. Locking handle
712. Connecting bolts
720. Slider

Claims (5)

헤드 측에 형성되는 밸브(C1)와 상기 밸브(C1)와 직교하여 형성되는 가스출구포트(C2) 및 상기 가스출구포트(C2)에 체결 또는 분리되는 앤드캡(C3)을 포함하는 가스실린더에 장착되어 상기 가스실린더에 충전된 가스를 가스 소요처로 공급하는 가스자동공급장치용 가스켓 유닛에 있어서,
상기 가스출구포트(C2)와 연결 및 이격되는 가스커넥터(230)에 대하여 전, 후진하는 가스켓 그리퍼 이송부(520);
상기 가스켓 그리퍼 이송부(520)에 결합하여 선회 이동하는 가스켓 그리퍼 선회암(540);
상기 가스켓 그리퍼 선회암(540)에 결합되어 가스켓(G)을 파지 또는 파지 해제하는 가스켓 그리퍼(530);
가스켓(G)이 안착되는 가스켓 안착부(551)와 상기 가스켓 안착부(551)의 하측에 형성되는 가스켓 공급부(552)를 포함하는 가스켓 로딩부(550);
상기 가스켓 안착부(551)와 상기 가스켓 공급부(552) 사이에서 상하 이동하도록 전방 측에 형성되는 가스켓 지지핀(561)과 후방 측에 형성되는 차폐 플레이트 구동부(562)를 포함하는 가스켓 로딩블록(560);
내부에 복수 개의 가스켓(G)이 내장되는 가스켓 저장 케이스(572)와 상기 가스켓 저장 케이스(572)에 전방에 형성되는 가스켓 공급홀(573a)로부터 상기 가스켓 공급부(552)로 연장 형성되는 가스켓 공급 레일(573)을 포함하는 가스켓 매거진(570);
상기 가스켓 매거진 하측에 형성되는 가스켓 수거함(580); 및
상기 가스켓 안착부(551)의 전방 측으로부터 상기 가스켓 수거함(580)으로 연장 형성되되, 상기 가스켓 수거함(580) 측에 형성되어 상기 차폐 플레이트 구동부(562)의 상하 이동에 따라 전, 후진함으로써 가스켓 수거 레일(590)을 차단 또는 개방시키는 차폐 플레이트(591)를 포함하는 가스켓 수거 레일(590);을 포함하는 가스자동공급장치용 가스켓 유닛.
A gas cylinder including a valve (C1) formed on the head side, a gas outlet port (C2) formed orthogonally to the valve (C1), and an end cap (C3) fastened to or separated from the gas outlet port (C2). In the gasket unit for an automatic gas supply device that is mounted and supplies the gas filled in the gas cylinder to a gas consuming place,
a gasket gripper transfer unit 520 that moves forward and backward with respect to the gas connector 230 connected to and separated from the gas outlet port C2;
a gasket gripper swing arm 540 coupled to the gasket gripper transfer unit 520 to pivotally move;
a gasket gripper 530 coupled to the gasket gripper swing arm 540 to grip or release the gasket G;
a gasket loading unit 550 including a gasket seating portion 551 where the gasket G is seated and a gasket supplying portion 552 formed below the gasket seating portion 551;
A gasket loading block 560 including a gasket support pin 561 formed on the front side and a shield plate driver 562 formed on the rear side to move up and down between the gasket seating portion 551 and the gasket supplying portion 552. );
A gasket supply rail extending from a gasket supply hole 573a formed in the front of the gasket storage case 572 in which a plurality of gaskets G are embedded therein and the gasket supply part 552. gasket magazine 570 including 573;
a gasket collection box 580 formed below the gasket magazine; and
It extends from the front side of the gasket seating portion 551 to the gasket collection box 580, and is formed on the side of the gasket collection box 580 and moves forward and backward according to the vertical movement of the shield plate driver 562 to collect the gasket. A gasket unit for an automatic gas supply device including a gasket collection rail 590 including a shielding plate 591 blocking or opening the rail 590.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 가스켓 안착부(551)에 가스켓 유무를 감지하는 센서를 포함하는 가스자동공급장치용 가스켓 유닛.
According to claim 1,
A gasket unit for an automatic gas supply device including a sensor for detecting the presence or absence of a gasket in the gasket seating portion (551).
제 1항에 있어서,
상기 가스켓 저장 케이스(572)는 상기 가스켓 공급 레일(573)로부터 탈착 가능하도록 형성되는 가스자동공급장치용 가스켓 유닛.
According to claim 1,
The gasket storage case 572 is formed to be detachable from the gasket supply rail 573, a gasket unit for an automatic gas supply device.
제 1항에 있어서,
상기 가스켓 수거함(580)은 상기 가스켓 로딩부(550) 하측에 위치하는 가스켓 수거함 베이스(581)로부터 탈착 가능한 가스자동공급장치용 가스켓 유닛.
According to claim 1,
The gasket unit for an automatic gas supply device, wherein the gasket collection box 580 is detachable from a gasket collection box base 581 located below the gasket loading unit 550.
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