KR102120750B1 - Vertical Center Aligner for High Pressure Gas - Google Patents

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KR102120750B1
KR102120750B1 KR1020180171045A KR20180171045A KR102120750B1 KR 102120750 B1 KR102120750 B1 KR 102120750B1 KR 1020180171045 A KR1020180171045 A KR 1020180171045A KR 20180171045 A KR20180171045 A KR 20180171045A KR 102120750 B1 KR102120750 B1 KR 102120750B1
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Abstract

본 발명은 반도체의 FAB 공정(Fabrication Process)설비에서 웨이퍼 생산라인으로 가스를 공급하도록 캐비닛(cabinet)에 설치되어 밸브 연결구와 커넥터 홀더의 중심이 자동으로 일치되도록 고압가스통의 수직 중심을 얼라인(align)하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치에 관한 것으로, 고압가스통의 동심도 치수관리가 정밀하지 못하여 고압가스통마다 동심도 차이가 발생되더라도 고압가스통의 수직 중심을 오토 커플러 유닛의 수직 중심에 자동으로 얼라인할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 캐비닛(100)에 설치되는 기구물(200)에 고압가스통(300)의 동심도에 따라 X - Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된 오토 커플러 유닛(400)과, 상기 오토 커플러 유닛(400)에 복수 개의 지지봉(410)으로 매달리게 설치되어 고압가스통(300)의 수직 중심을 센터링하는 링 형상의 가이드공(421)이 구비된 센터링 가이드(420)와, 상기 고압가스통(300)의 상부에 고정되어 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 끼워지면서 고압가스통(300)의 수직 중심을 오토 커플러 유닛(400)의 수직 중심과 일치시키는 안전 캡 너트 링(340)으로 구성하여 고압가스통(300)의 안전 캡 너트 링(340)이 가이드공(421)의 내주면에 접속되면서 센터링이 이루어지도록 된 것을 특징으로 한다.The present invention is installed in a cabinet (cabinet) to supply gas from the FAB process (Fabrication Process) equipment of the semiconductor to align the vertical center of the high pressure gas cylinder so that the center of the valve connector and the connector holder is automatically matched (align) ) Is related to the vertical center alignment device of the high pressure gas cylinder. Even if the concentricity difference of each high pressure gas cylinder occurs because the concentricity of the high pressure gas cylinder is not precise, the vertical center of the high pressure gas cylinder is automatically aligned to the vertical center of the auto coupler unit. I made it possible.
To this end, according to the present invention, the auto coupler unit 400 and the auto coupler unit 400 are installed to be movable in the X-Y axis direction according to the concentricity of the high-pressure gas cylinder 300 in the fixture 200 installed in the cabinet 100. The centering guide 420 provided with a ring-shaped guide hole 421 to be centered on the vertical center of the high pressure gas cylinder 300 by being suspended by a plurality of support rods 410 on the 400), and an upper portion of the high pressure gas cylinder 300 It is fixed to the guide hole 421 of the centering guide 420, while the vertical center of the high pressure gas cylinder 300 is composed of a safety cap nut ring 340 that matches the vertical center of the auto coupler unit 400, the high pressure gas cylinder The safety cap nut ring 340 of 300 is connected to the inner circumferential surface of the guide hole 421, and is characterized in that centering is performed.

Description

고압가스통의 수직 중심 얼라인장치{Vertical Center Aligner for High Pressure Gas}Vertical Center Aligner for High Pressure Gas

본 발명은 반도체의 FAB 공정(Fabrication Process)설비에서 웨이퍼 생산라인으로 가스를 공급하도록 캐비닛(cabinet)의 리프트에 고압가스통을 로딩(loading)하여 상사점까지 상승시키면 고압가스통의 밸브 연결구를 가스 공급라인과 연결된 커넥터 홀더의 중심과 자동으로 일치되도록 고압가스통의 수직 중심을 오토 커플러 유닛의 수직 중심과 얼라인(align)하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치에 관한 것이다.
The present invention loads a high-pressure gas cylinder into a lift of a cabinet to supply gas from a semiconductor FAB process (Fabrication Process) facility to a wafer production line. And a vertical center alignment device of a high pressure gas cylinder that aligns the vertical center of the high pressure gas cylinder with the vertical center of the auto coupler unit so as to automatically coincide with the center of the connector holder connected to.

일반적으로, 반도체를 제조하는 제조공정에는 용도에 따라 다양한 종류의 가스가 공급되어 사용되는데, 이러한 가스들은 대부분 인체에 흡입되거나 대기중에 노출될 경우 안전사고 및 환경오염 등의 큰 피해를 일으키게 되므로 세심한 주의를 요한다.In general, various types of gases are supplied and used in the manufacturing process of manufacturing semiconductors, and these gases are mostly inhaled into the human body or exposed to the atmosphere, causing great damage such as safety accidents and environmental pollution. It costs.

예를 들면, 이온주입공정에 사용되는 가스의 종류로는, 수소화비소(AsH3 : Arsine), 인화수소(PH 3 : Phosphine) 또는 삼플루오르화붕소(BF3 : Boron Fluoride) 등과 같은 유동성 가스가 있는데, 이들 가스는 독성이 매우 강하여 작업자가 호흡기로 흡입할 경우 치명적인 결과를 초래하므로 생산라인으로 공급하는 과정에서 누출(漏出)되지 않도록 세심하게 관리하여야 된다.For example, as the type of gas used in the ion implantation process, there are fluid gases such as arsenic hydride (AsH3: Arsine), hydrogen phosphine (PH 3: Phosphine) or boron trifluoride (BF3). These gases are very toxic, and if the worker inhales with the respiratory system, they cause fatal results, so they must be carefully managed so that they do not leak during the supply to the production line.

이와 같은 반도체 제조 공정에 사용되는 가스들은 그 관리가 매우 중요한데, 이러한 가스들은 가스통(이하 "고압가스통"이라 함)에 고압으로 충전된 상태로 캐비닛에 장착되어 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급되며, 가스가 약 90% 정도 소진되면 고압가스통의 내부에 잔류하는 이물질이 웨이퍼 가공공정으로 공급되지 않도록 작업자가 새로운 고압가스통으로 교체함으로써, 계속해서 가스를 공급하게 된다.The gas used in the semiconductor manufacturing process is very important for management, and these gases are mounted in a cabinet with a high pressure charged in a gas cylinder (hereinafter referred to as a "high pressure gas cylinder") and supplied to a production line through a gas supply line. When the gas is exhausted by about 90%, the worker continues to supply gas by replacing it with a new high-pressure gas cylinder to prevent foreign substances remaining inside the high-pressure gas cylinder from being supplied to the wafer processing process.

도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도로써, FAB(7) 외부의 소정 장소에는 FAB(7) 내의 여러 장비(8)에서 필요로 하는 SiH4, PH3, NF3, CF4 등과 같은 공정 가스가 각각 충전된 복수 개의 고압가스통(도시는 생략함)을 안착할 수 있도록 캐비닛(1)이 위치하고 있고, 상기 캐비닛(1)의 일 측에는 상기 고압가스통에 각각 연결된 가스 공급라인(3)을 안내할 수 있도록 덕트(4)가 설치되어 있다.1 is a perspective view schematically showing a gas supply device of a semiconductor equipment according to the prior art, SiH4, PH3, NF3, required by various equipment 8 in the FAB 7 at a predetermined place outside the FAB 7, A cabinet 1 is positioned to seat a plurality of high-pressure gas cylinders (not shown) filled with process gases such as CF4, and a gas supply line connected to the high-pressure gas cylinders at one side of the cabinet 1 ( A duct 4 is installed to guide 3).

상기 덕트(4)의 타 측에는 가스 공급라인(3)을 따라 유입된 공정 가스를 공급할 수 있도록 고압가스통에 대응하는 개수로 레귤레이터 박스(5)가 설치되어 있고 상기 각각의 레귤레이터 박스(5)의 상단부에는 FAB(7) 내의 각 장비(8)에 대응하여 연결될 수 있도록 장비(8)의 개수와 동일한 개수의 공급관(9)이 연결되어 있다.On the other side of the duct 4, a regulator box 5 is installed in a number corresponding to a high pressure gas cylinder so as to supply process gas introduced along the gas supply line 3, and an upper end of each regulator box 5 is provided. Is connected to the supply pipe 9 of the same number as the number of the equipment (8) so that it can be connected to each of the equipment (8) in the FAB (7).

따라서 캐비닛(1)에 안착되어 있는 각각의 고압가스통으로부터 공정 가스가 공급되면, 각각의 공정 가스는 덕트(4)의 내부를 통과하는 가스 공급라인(3)을 따라 각각의 레귤레이터 박스(5)로 유입된다.Therefore, when process gas is supplied from each high-pressure gas cylinder seated in the cabinet 1, each process gas is supplied to each regulator box 5 along the gas supply line 3 passing through the inside of the duct 4 Inflow.

이후, 각각의 레귤레이터 박스(5) 내부로 유입된 각각의 공정 가스는 필터(도시는 생략함)를 통해 정화된 후 FAB(7) 내의 장비(8)에 대응되는 개수로 분기되어 연결되어 있는 각각의 공급관(9)을 따라 흘러 공급되므로 웨이퍼를 가공할 수 있게 된다.Subsequently, each process gas introduced into each regulator box 5 is purified through a filter (not shown) and then branched and connected to the number corresponding to the equipment 8 in the FAB 7. Since it flows and is supplied along the supply pipe 9 of the wafer, it can be processed.

상기한 바와 같이 가스를 가스 공급라인(3)으로 공급하다가 가스가 소진되어 고압가스통의 교체시기가 제어부(도시는 생략함)에 의해 검출되면 작업자가 사용하고 난 고압가스통의 밸브를 잠근 다음 외부의 가스라인으로부터 분리하게 된다.When the gas is exhausted while supplying gas to the gas supply line 3 as described above and the replacement time of the high-pressure gas cylinder is detected by the control unit (not shown), the valve of the high-pressure gas cylinder used by the worker is closed and then external It is separated from the gas line.

이후, 작업자가 가스라인으로부터 분리된 고압가스통을 캐비닛(1)에서 언로딩한 다음 새로운 고압가스통으로 교체한 후 상기 고압가스통을 다시 외부의 가스라인에 연결시킨 뒤 가스분사노즐을 닫고 있는 밸브 핸들을 오픈(Open)하면 고압가스통의 교체가 완료된다.
Thereafter, the operator unloads the high-pressure gas cylinder separated from the gas line in the cabinet 1, replaces it with a new high-pressure gas cylinder, connects the high-pressure gas cylinder back to an external gas line, and then closes the valve handle closing the gas injection nozzle. When open, replacement of the high pressure gas cylinder is completed.

(선행기술문헌)(Advanced technical literature)

(특허문헌 0001) 대한민국 등록특허공보 10-0242982(1998.11.15.등록)(Patent Document 0001) Republic of Korea Patent Registration 10-0242982 (November 15, 1998 registration)

(특허문헌 0002) 대한민국 등록특허공보 10-0649112(2006.11.16.등록)(Patent Document 0002) Republic of Korea Registered Patent Publication 10-0649112 (Registered on November 16, 2006)

(특허문헌 0003) 대한민국 등록특허공보 10-0985575(2010.09.29.등록)
(Patent Document 0003) Republic of Korea Registered Patent Publication 10-0985575 (September 29, 2010 registration)

그러나 이러한 종래의 고압가스통의 교체는 작업자가 캐비닛에 새로운 고압가스통을 집어넣은 상태에서 고압가스통의 밸브 연결구를 커넥터 홀더에 얼라인하는 작업을 수작업으로 진행하지만, 고압가스통의 제조 공정상 모든 고압가스통의 동심도를 동일하게 유지하는 한계가 있음에 따라 생산된 고압가스통의 동심도가 미세하게 차이 나므로 작업자의 숙련도에 따라 휴먼 에러(human error)가 발생되었다.However, the replacement of the conventional high-pressure gas cylinder is performed manually by aligning the valve connector of the high-pressure gas cylinder to the connector holder while the operator inserts a new high-pressure gas cylinder into the cabinet. As there is a limit to maintain the same concentricity, the concentricity of the produced high pressure gas cylinder is slightly different, and thus a human error occurs according to the skill of the worker.

또한, 고압가스통의 수직 중심이 일 측으로 기울어져 밸브 연결구의 중심과 커넥터 홀더의 중심이 일치시키지 못한 상태에서 고압가스통의 밸브 연결구를 커넥터 홀더에 나사 결합하면 밸브 연결구 또는 커넥터 홀더의 나사 산이 손상되어 고압가스통을 교체하는 작업 중에 가스가 누출될 경우에는 작업자가 누출된 가스에 중독되거나, 가스가 폭발하는 치명적인 결함이 있었다.In addition, when the vertical center of the high pressure gas cylinder is inclined to one side and the center of the valve connector and the center of the connector holder do not match, screwing the valve connector of the high pressure gas cylinder to the connector holder damages the valve connector or the screw thread of the connector holder. When the gas leaked during the operation of replacing the gas cylinder, the worker was poisoned with the leaked gas or had a fatal defect in which the gas exploded.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 리프트에 고압가스통을 로딩하여 고압가스통을 상승시키기만 하면 고압가스통의 밸브 연결구의 중심이 커넥터 홀더의 중심과 자동으로 일치되도록 하여 고압가스통 교체에 따른 자동화 실현이 가능해지도록 하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve such a problem in the related art, so that the center of the valve connector of the high pressure gas cylinder is automatically matched with the center of the connector holder by simply loading the high pressure gas cylinder on the lift and raising the high pressure gas cylinder. Its purpose is to make it possible to realize automation by replacing gas cylinders.

본 발명의 다른 목적은 고압가스통의 수직 중심을 얼라인시키는 오토 커플러 유닛을 X, Y 방향으로 자유도를 갖도록 설치하여 고압가스통의 동심도 치수관리가 정밀하지 못하여 고압가스통마다 동심도 차이가 발생되더라도 고압가스통의 수직 중심을 오토 커플러 유닛의 수직 중심에 자동으로 얼라인할 수 있도록 하는 데 있다.
Another object of the present invention is to install the auto coupler unit that aligns the vertical center of the high pressure gas cylinder so as to have degrees of freedom in the X and Y directions. The aim is to automatically align the vertical center to the vertical center of the auto coupler unit.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 캐비닛에 설치되는 기구물에 고압가스통의 동심도에 따라 X - Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된 오토 커플러 유닛과, 상기 오토 커플러 유닛에 복수 개의 지지봉으로 매달리게 설치되어 고압가스통의 수직 중심을 센터링하는 링 형상의 가이드공이 구비된 센터링 가이드와, 상기 고압가스통의 상부에 고정되어 센터링 가이드의 가이드공에 끼워지면서 고압가스통의 수직 중심을 오토 커플러 유닛의 수직 중심과 일치시키는 안전 캡 너트 링으로 구성하여 고압가스통의 안전 캡 너트 링이 가이드공의 내주면에 접속되면서 센터링이 이루어지도록 된 것을 특징으로 하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치가 제공된다.According to the aspect of the present invention for achieving the above object, the auto coupler unit installed to be movable in the X-Y axis direction according to the concentricity of the high-pressure gas cylinder to the fixture installed in the cabinet, and the auto coupler unit to be hung with a plurality of support rods The centering guide is installed and is provided with a ring-shaped guide hole for centering the vertical center of the high pressure gas cylinder. The vertical center of the high pressure gas cylinder is fixed to the guide hole of the centering guide while being fixed to the upper portion of the high pressure gas cylinder. A vertical center alignment device of a high pressure gas cylinder is provided, which is configured by a matching safety cap nut ring so that the centering is performed while the safety cap nut ring of the high pressure gas cylinder is connected to the inner circumferential surface of the guide hole.

본 발명은 리프트의 다이에 고압가스통을 로딩하여 상승시키기만 하면 고압가스통의 동심도가 다르더라도 고압가스통의 안전 캡 너트 링이 센터링 가이드에 끼워지면서 고압가스통의 수직 중심이 오토 커플러 유닛의 수직 중심과 자동으로 얼라인되어 고압가스통의 밸브 연결구의 수평 중심을 커넥터 홀더의 수평 중심과 일치되므로 고압가스통을 수작업으로 교체하던 종래와는 달리 고압가스통의 자동 교체가 가능하게 되고, 이에 따라 작업자의 의한 휴먼 에러를 미연에 방지하게 됨은 물론이고 고압가스통의 교체에 따른 자동화 실현이 가능해지게 된다.In the present invention, the vertical center of the high pressure gas cylinder is automatically fitted with the vertical center of the auto coupler unit while the safety cap nut ring of the high pressure gas cylinder is fitted to the centering guide even if the concentricity of the high pressure gas cylinder is different by simply loading the high pressure gas cylinder on the die of the lift. Aligned with the horizontal center of the valve connector of the high-pressure gas cylinder coincides with the horizontal center of the connector holder, so it is possible to automatically replace the high-pressure gas cylinder unlike the conventional manual replacement of the high-pressure gas cylinder. Not only will it be prevented, it will be possible to realize automation by replacing the high-pressure gas cylinder.

도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도
도 2는 본 발명의 장치가 설치된 캐비닛에서 도어를 제거하여 나타낸 정면도
도 3은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도
도 4는 도 3의 저면 사시도
도 5는 본 발명의 센터링 가이드가 복수 개의 지지대에 매달리게 설치된 상태의 사시도
도 6a 및 도 6b는 도 5의 종단면도로써,
도 6a는 센터링 가이드가 하사점에 위치된 상태도
도 6b는 고압가스통에 고정된 안전 캡 너트 링에 의해 센터링 가이드가 지지봉에 안내되어 상승된 상태도
도 7은 센터링 가이드가 링 형태로 이루어진 종단면도
도 8은 밸브가 고압가스통에 나사 결합된 상태의 종단면도
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 장치를 설명하기 위한 정면도로써,
도 9a는 고압가스통이 하사점에 위치된 상태도
도 9b는 고압가스통의 Z축 얼라인을 위해 밸브 연결구의 수평 중심이 커넥터 홀더의 수평 중심보다 상승된 상태도
도 9c는 고압가스통이 센터링 가이드에 의해 얼라인된 상태도1 is a perspective view schematically showing a gas supply device of a semiconductor equipment according to the prior art
Figure 2 is a front view showing the door removed from the cabinet is installed apparatus of the present invention
Figure 3 is a perspective view showing a main portion of the present invention
Figure 4 is a perspective bottom view of Figure 3
5 is a perspective view of a state in which the centering guide of the present invention is installed to be hung on a plurality of supports
6A and 6B are longitudinal sectional views of FIG. 5,
Figure 6a is a state diagram of the centering guide is located at the bottom dead center
Figure 6b is a state diagram of the centering guide is guided to the support bar by the safety cap nut ring fixed to the high pressure gas cylinder is elevated
7 is a longitudinal cross-sectional view of the centering guide in the form of a ring
Figure 8 is a longitudinal sectional view of the valve screwed to the high pressure gas cylinder
9A to 9C are front views for explaining the device of the present invention,
Figure 9a is a state diagram of the high-pressure gas cylinder is located at the bottom dead center
Figure 9b is a state diagram of the horizontal center of the valve connector for the Z-axis alignment of the high-pressure gas cylinder is raised than the horizontal center of the connector holder
Figure 9c is a state diagram of the high pressure gas cylinder is aligned by the centering guide

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains can easily practice. The present invention can be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. It is noted that the drawings are schematic and not drawn to scale. The relative dimensions and proportions of the parts in the figures are shown exaggerated or reduced in size for clarity and convenience in the drawings, and any dimensions are merely illustrative and not limiting. And the same reference numerals are used to indicate similar features in the same structures, elements, or parts appearing in two or more drawings.

도 2는 본 발명의 장치가 설치된 캐비닛에서 도어를 제거하여 나타낸 정면도이고 도 3은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도이며 도 5는 본 발명의 센터링 가이드가 복수 개의 지지대에 매달리게 설치된 상태의 사시도도로써, 본 발명은 캐비닛(100)의 내부에 설치된 기구물(200)에 고압가스통(300)의 동심도에 따라 X - Y축 방향으로 이동 가능하게 오토 커플러 유닛(400)이 설치되어 있고 상기 오토 커플러 유닛(400)에 고정 설치된 복수 개의 지지봉(410)에는 고압가스통(300)의 수직 중심을 센터링하도록 가이드공(421)이 형성된 센터링 가이드(420)가 매달리게 설치되어 있으며 상기 캐비닛(100)의 내부를 승, 하강하는 리프트(500)의 다이(510)에 얹혀지는 고압가스통(300)의 상부에는 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 끼워지면서 고압가스통(300)의 수직 중심을 오토 커플러 유닛(400)의 수직 중심과 일치시키는 안전 캡 너트 링(340)이 고정되어 있다.Figure 2 is a front view showing the removal of the door from the cabinet in which the apparatus of the present invention is installed, Figure 3 is a perspective view showing the main part of the present invention, and Figure 5 is a perspective view of the centering guide of the present invention installed on a plurality of supports, According to the present invention, the auto coupler unit 400 is installed to move in the X-Y axis direction according to the concentricity of the high-pressure gas cylinder 300 in the apparatus 200 installed inside the cabinet 100, and the auto coupler unit 400 ) A plurality of support rods 410 installed fixedly are provided with a centering guide 420 formed with a guide hole 421 to center the vertical center of the high-pressure gas cylinder 300, and lift and descend the inside of the cabinet 100. The upper portion of the high pressure gas cylinder 300 mounted on the die 510 of the lift 500 to be fitted into the guide hole 421 of the centering guide 420 while the vertical center of the high pressure gas cylinder 300 is coupled to the auto coupler unit 400 The safety cap nut ring 340 coinciding with the vertical center of is fixed.

상기 센터링 가이드(420)가 매달리게 설치되도록 하는 복수 개의 지지봉(410)을 오토 커플러 유닛(400)에 직접 고정하여도 되지만, 도 5와 같이 오토 커플러 유닛(400)의 저면에 고정되는 플레이트(430)에 고정하는 것이 보다 바람직하다.Although the plurality of support rods 410 that allow the centering guide 420 to be installed to be suspended may be fixed directly to the auto coupler unit 400, the plate 430 fixed to the bottom surface of the auto coupler unit 400 as shown in FIG. It is more preferable to fix on.

상기 고압가스통(300)의 수직 중심을 센터링하는 센터링 가이드(420)를 도 7과 같이 지지봉(410)에 직접 고정하여 리프트(500)의 구동에 의해 상승하는 고압가스통(300)의 안전 캡 너트 링(340)이 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 끼워지면서 센터링이 완료되도록 구성할 수도 있으나, 이 경우에는 도 8에 나타낸 바와 같이 고압가스통(300)의 상부에 고정되는 밸브(310)의 가공 및 조립 정도에 따라 밸브 연결구(330)의 중심으로부터 고압가스통(300)의 상단까지 거리(S)가 짧거나, 멀어질 경우 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 끼워지는 안전 캡 너트 링(340)의 위치가 각각 달라지므로 고압가스통의 밸브 연결구(330)와 커넥터 홀더(440)의 Z축을 얼라인하기 위해 고압가스통(300)의 상승 시 안전 캡 너트 링(340)이 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 끼워지지 않고 통과하여 고압가스통(300)의 수직 중심의 얼라인이 어긋나거나, 안전 캡 너트 링(340)이 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 충분히 끼워지지 않을 우려가 있다.Safety cap nut ring of the high pressure gas cylinder 300 rising by driving the lift 500 by directly fixing the centering guide 420 centering the vertical center of the high pressure gas cylinder 300 to the support rod 410 as shown in FIG. 7. While the centering is completed while the 340 is fitted into the guide hole 421 of the centering guide 420, in this case, the valve 310 fixed to the upper part of the high pressure gas cylinder 300 as shown in FIG. Depending on the degree of processing and assembly of the safety cap that is inserted into the guide hole 421 of the centering guide 420 when the distance S from the center of the valve connector 330 to the top of the high-pressure gas cylinder 300 is short or far away Since the positions of the nut rings 340 are different, the safety cap nut ring 340 is centered when the high pressure gas cylinder 300 is raised to align the Z axis of the connector holder 440 and the valve connector 330 of the high pressure gas cylinder. The vertical center of the high-pressure gas cylinder 300 is misaligned because it passes through without being fitted to the guide hole 421 of 420, or the safety cap nut ring 340 is attached to the guide hole 421 of the centering guide 420. There is a fear that it will not fit sufficiently.

따라서 밸브 연결구(330)의 수평 중심과 커넥터 홀더(440)의 수평 중심이 일치되게 고압가스통(300)이 상승하였을 때 고압가스통(300)에 고정된 안전 캡 너트 링(340)이 위치하는 지점보다 낮은 지점에 위치되게 센터링 가이드(420)를 설치하여 고압가스통(300)의 안전 캡 너트 링(340)이 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 얼라인되게 끼워진 상태에서 함께 상승하도록 구성하는 것이 보다 바람직하다.Therefore, when the high pressure gas cylinder 300 is raised so that the horizontal center of the valve connector 330 and the horizontal center of the connector holder 440 coincide, the safety cap nut ring 340 fixed to the high pressure gas cylinder 300 is located. By installing the centering guide 420 to be located at a lower point, the safety cap nut ring 340 of the high pressure gas cylinder 300 is configured to rise together while being aligned with the guide hole 421 of the centering guide 420. It is more preferable.

즉, 본 발명의 일 실시예에서는 도 6a에 나타낸 바와 같이 고압가스통(300)이 상승하였을 때 고압가스통(300)에 고정된 안전 캡 너트 링(340)이 위치하는 지점보다 낮은 지점에 위치되게 설치되는 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 안전 캡 너트 링(340)이 걸리는 단턱(422)이 형성되어 있고 오토 커플러 유닛(400)에 상단이 고정되는 지지봉(410)에는 센터링 가이드(420)가 승, 하강 가능하게 설치되어 있으며 각 지지봉(410)의 하단에는 센터링 가이드(420)의 추락을 방지하는 와셔(450)가 볼트와 같은 체결부재(451)로 고정되어 있다.That is, in one embodiment of the present invention, as shown in FIG. 6A, when the high pressure gas cylinder 300 rises, the safety cap nut ring 340 fixed to the high pressure gas cylinder 300 is installed to be located at a point lower than the point where it is located. A centering guide 420 is provided on a support rod 410 in which a step 422 on which a safety cap nut ring 340 is applied is formed in a guide hole 421 of the centering guide 420 and the top is fixed to the auto coupler unit 400. ) Is installed to be able to move up and down, and a washer 450 to prevent the fall of the centering guide 420 is fixed to the lower end of each support bar 410 with a fastening member 451 such as a bolt.

이때, 상기 센터링 가이드(420)에 각 지지봉(410)으로 끼워지는 볼 부시(460)를 고정하면 지지봉(41)에서 센터링 가이드(420)가 보다 안정적으로 승, 하강하게 된다.At this time, if the ball bushing 460 fitted to each support rod 410 is fixed to the centering guide 420, the centering guide 420 is raised and lowered more stably from the support rod 41.

또한, 고압가스통(300)에 고정된 안전 캡 너트 링(340)이 통과하는 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 경사면(423)을 형성하면 고압가스통의 동심도가 서로 다르더라도 고압가스통(300)의 상승시 안전 캡 너트 링(340)이 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 보다 안정적으로 삽입된다.In addition, if the inclined surface 423 is formed in the guide hole 421 of the centering guide 420 through which the safety cap nut ring 340 fixed to the high pressure gas cylinder 300 passes, the high pressure gas cylinder ( When the 300) rises, the safety cap nut ring 340 is more stably inserted into the guide hole 421 of the centering guide 420.

또한, 상기 센터링 가이드(420)의 외측으로 고압가스통(300)을 교체할 때마다 커넥터 홀더(440)에서 가스켓을 꺼내거나, 삽입시 오동작으로 탈락하는 가스켓을 받는 가스켓 탈락받이(470)가 설치되어 있는데, 상기 커넥터 홀더(440)의 직하방에 위치하는 가스켓 탈락받이(470) 상부에 커넥터 홀더(440)에서 탈락하는 가스켓을 가스켓 탈락받이(470)로 보다 안정적으로 회수할 수 있도록 안내하는 하향 경사진 가스켓 탈락가이드(471)가 더 설치되어 있다.In addition, whenever the high pressure gas cylinder 300 is replaced outside the centering guide 420, a gasket is removed from the connector holder 440, or a gasket dropper 470 is installed to receive a gasket that falls off due to malfunction when inserted. There is, the gasket dropping plate 470 located directly below the connector holder 440, the gasket dropping out of the connector holder 440 located above the gasket dropping plate 470 to guide the downward to guide the gasket to be more stably recovered. The gasket dropout guide 471 is further installed.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.The operation of the present invention configured as described above is as follows.

먼저, 도 9a와 같이 캐비닛(100)의 하사점에 위치된 리프트(500)의 다이(510)에 고압가스통(300)을 로딩하면 상기 고압가스통(300)의 동심도가 각각 달라 고압가스통(300)의 수직 중심과 오토 커플러 유닛(400)의 수직 중심이 상호 일치되지 않는다.First, as shown in Figure 9a, when the high pressure gas cylinder 300 is loaded on the die 510 of the lift 500 located at the bottom dead center of the cabinet 100, the concentricities of the high pressure gas cylinder 300 are different, and the high pressure gas cylinder 300 is different. The vertical center of and the vertical center of the auto coupler unit 400 do not coincide with each other.

이러한 상태에서 고압가스통(300)의 Z축의 얼라인을 위해 도 9b와 같이 센서(도시는 생략함)가 밸브 핸들(320)을 감지할 때까지 리프트(500)가 상승하였다가 도 9c와 같이 리프트(500)가 다시 하강하여 밸브 연결구(330) 및 커넥터 홀더(440)의 수평 중심이 일치되도록 하면 고압가스통(300)의 상부에 고정된 안전 캡 너트 링(340)이 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 끼워져 있어 고압가스통(300)의 센터링이 완료된다.In this state, for alignment of the Z-axis of the high-pressure gas cylinder 300, the lift 500 is raised until the sensor (not shown) detects the valve handle 320 as shown in FIG. 9B and then lifts as shown in FIG. 9C. When the 500 is lowered again so that the horizontal center of the valve connector 330 and the connector holder 440 coincide, the safety cap nut ring 340 fixed to the upper part of the high pressure gas cylinder 300 is guided by the centering guide 420 The centering of the high pressure gas cylinder 300 is completed by being fitted into the ball 421.

상기 센터링 가이드(420)에 형성되는 가이드공(421)이 도 7과 같이 링 형상으로 이루어진 경우에는 밸브 연결구(330)의 중심에서 고압가스통(300)의 상단까지의 거리(S)가 정확하면 도 9c와 같이 고압가스통(300)의 Z축을 얼라인하기 위해 밸브 연결구(330)의 수평 중심을 커넥터 홀더(400)의 수평 중심보다 높은 위치로 상승시키거나, Z축의 얼라인을 완료하고 밸브 연결구(330)의 수평 중심을 커넥터 홀더(440)의 수평 중심과 일치시키기 위해 고압가스통(300)이 하강하더라도 안전 캡 너트 링(340)이 가이드공(421)에서 이탈되지 않으므로 고압가스통(300)의 수직 중심 정확하게 얼라인시킬 수 있게 된다.When the guide hole 421 formed in the centering guide 420 is formed in a ring shape as shown in FIG. 7, the distance S from the center of the valve connector 330 to the top of the high pressure gas cylinder 300 is correct. To align the Z axis of the high pressure gas cylinder 300 as shown in 9c, raise the horizontal center of the valve connector 330 to a position higher than the horizontal center of the connector holder 400, or complete the alignment of the Z axis and complete the valve connector ( In order to match the horizontal center of the 330 with the horizontal center of the connector holder 440, even if the high pressure gas cylinder 300 descends, the safety cap nut ring 340 does not deviate from the guide hole 421, so the vertical of the high pressure gas cylinder 300 The center can be accurately aligned.

그러나 밸브 연결구(330)의 중심에서 고압가스통(300)의 상단까지의 거리(S)가 제어부(600)에 입력된 거리보다 멀거나, 가까우면 고압가스통(300)의 Z축 얼라인작업 및 밸브 연결구(330)의 수평 중심을 커넥터 홀더(440)의 수평 중심과 일치시키기 위해 고압가스통(300)의 승, 하강시 안전 캡 너트 링(340)이 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에서 벗어나 고압가스통(300)의 얼라인이 이루어지지 않으므로 밸브 연결구(330)의 중심에서 고압가스통(300)의 상단까지의 거리(S)를 정밀하게 관리하여야만 되었다.However, if the distance S from the center of the valve connection port 330 to the top of the high pressure gas cylinder 300 is farther or closer than the distance input to the controller 600, the Z-axis alignment operation and valve of the high pressure gas cylinder 300 In order to match the horizontal center of the connector 330 with the horizontal center of the connector holder 440, the safety cap nut ring 340 is raised from the guide hole 421 of the centering guide 420 when the high pressure gas cylinder 300 is elevated or lowered. Since the alignment of the high pressure gas cylinder 300 is not performed, the distance S from the center of the valve connection port 330 to the top of the high pressure gas cylinder 300 has to be precisely managed.

본 발명의 다른 실시예로 나타낸 도 6a 및 도 6b의 경우에는 밸브 연결구(330)의 중심에서 고압가스통(300)의 상단까지의 거리(S)가 각각 다르더라도 동심도가 각기 다른 고압가스통(300)의 수직 중심의 얼라인작업을 정확하게 수행할 수 있게 된다.6A and 6B shown as another embodiment of the present invention, although the distance S from the center of the valve connection port 330 to the top of the high pressure gas cylinder 300 is different, the high pressure gas cylinders 300 having different concentricities It is possible to accurately perform the vertical center alignment.

즉, 도 9a와 같이 고압가스통(300)이 하사점에 위치된 상태에서 지지봉(410)에 승, 하강 가능하게 끼워진 센터링 가이드(420)는 밸브 연결구(330)의 수평 중심과 커넥터 홀더(440)의 수평 중심이 일치되게 고압가스통(300)이 상승하였을 때 고압가스통(300)에 고정된 안전 캡 너트 링(340)이 위치하는 지점보다 낮은 지점에 위치되게 설치되어 있다.That is, as shown in Figure 9a, the centering guide 420 is inserted into the support rod 410 in a state where the high-pressure gas cylinder 300 is positioned at the bottom dead center, and can be lowered, the horizontal center of the valve connector 330 and the connector holder 440 When the high-pressure gas cylinder 300 rises to coincide with the horizontal center of the, the safety cap nut ring 340 fixed to the high-pressure gas cylinder 300 is installed to be located at a lower point than the point where the safety cap nut ring 340 is located.

이때, 상기 센터링 가이드(420)는 자중에 의해 하강하여 각 지지봉(410)의 하단에 고정된 와셔(450)에 지지되어 있어 하방으로 추락하지 않는다.At this time, the centering guide 420 is lowered by its own weight and is supported by the washer 450 fixed to the lower end of each support bar 410 so that it does not fall downward.

이러한 상태에서 리프트(500)의 구동으로 고압가스통(300)이 상승하면 고압가스통(300)에 고정된 안전 캡 너트 링(340)이 센터링 가이드(420)의 가이드공(421) 하단에 형성된 경사면(423)에 안내되어 가이드공(421)에 끼워지면서 얼라인이 이루어진 다음 안전 캡 너트 링(340)이 가이드공(421)의 상단에 형성된 단턱(422)에 걸리면 센터링 가이드(420)가 도 6b와 같이 지지봉(410)에 안내되어 고압가스통(300)과 함께 상승하여 도 9b와 같이 고압가스통(300)의 Z축 얼라인작업을 실시하게 된다.In this state, when the high pressure gas cylinder 300 is raised by driving the lift 500, the safety cap nut ring 340 fixed to the high pressure gas cylinder 300 is formed on the lower surface of the guide hole 421 of the centering guide 420 ( Guided by 423) is fitted to the guide hole 421, the alignment is made and then the safety cap nut ring 340 is caught on the stepped 422 formed on the top of the guide hole 421, the centering guide 420 is shown in Figure 6b Likewise, it is guided to the support rod 410 and rises together with the high pressure gas cylinder 300 to perform the Z-axis alignment operation of the high pressure gas cylinder 300 as shown in FIG. 9B.

상기한 바와 같은 작업으로 고압가스통(300)이 상사점까지 상승하여 고압가스통(300)의 Z축 얼라인을 실시하고 나면 도 9c와 같이 밸브 연결구(330)의 수평 중심이 커넥터 홀더(440)의 수평 중심과 일치되는 지점까지 리프트(500)가 다시 하강하는데, 이때 센터링 가이드(420)는 자중에 의해 지지봉(410)에 안내되어 하강하여 안전 캡 너트 링(340)이 항상 가이드공(421)의 단턱(422)에 접속된 상태를 유지하므로 밸브 연결구(330)의 중심에서 고압가스통(300)의 상단까지의 거리(S)가 각각 다르더라도 센터링 가이드(420)에서 안전 캡 너트 링(340)이 이탈되지 않고 고압가스통(300)의 수직 중심의 얼라인을 정확히 실시할 수 있게 된다.After performing the Z-axis alignment of the high pressure gas cylinder 300 by raising the high pressure gas cylinder 300 to the top dead center by the above-described operation, the horizontal center of the valve connector 330 is the connector holder 440 as shown in FIG. 9C. The lift 500 descends again to a point coinciding with the horizontal center. At this time, the centering guide 420 is guided and lowered by the support rod 410 by its own weight so that the safety cap nut ring 340 is always the guide hole 421. Since the distance S from the center of the valve connection port 330 to the top of the high-pressure gas cylinder 300 is different, the safety cap nut ring 340 is maintained in the centering guide 420 because it remains connected to the stepped 422. It is possible to accurately perform the alignment of the vertical center of the high pressure gas cylinder 300 without being separated.

한편, 고압가스통(300)의 교체를 완료한 다음 가스켓 자동교체수단(도시는 생략함)에 의해 커넥터 홀더(440)로부터 사용하고 난 가스켓(도시는 생략함)을 제거하거나, 새로운 가스켓을 삽입할 때, 오동작으로 가스켓이 하방으로 추락하면 센터링 가이드(420)에 가스켓 탈락받이(470)가 설치되어 있고 상기 커넥터 홀더(440)의 직하방에 위치하는 가스켓 탈락받이(470)에는 가스켓 탈락가이드(471)가 하향경사지게 설치되어 있어 추락한 가스켓이 가스켓 탈락가이드(471)에 안내되어 가스켓 탈락받이(470)로 회수되는 것이다.On the other hand, after the replacement of the high pressure gas cylinder 300 is completed, the used gasket (not shown) is removed from the connector holder 440 by an automatic gasket replacement means (not shown), or a new gasket is inserted. When the gasket falls downward due to a malfunction, a gasket dropping guide 470 is installed on the centering guide 420 and a gasket dropping guide 471 is located on the gasket dropping plate 470 located directly below the connector holder 440. ) Is installed on a downward slope so that the gasket that has fallen is guided to the gasket dropping guide 471 to be recovered by the gasket dropping pan 470.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.The embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but those skilled in the art to which the present invention pertains may understand that the present invention may be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential characteristics. will be.

그러므로 이상에서 기술한 실시 예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Therefore, the embodiments described above are illustrative in all respects and should be understood as non-limiting, and the scope of the present invention described in the detailed description is indicated by the following claims, the meaning of the claims and It should be construed that all changes or modified forms derived from the scope and equivalent concepts are included in the scope of the present invention.

100 : 캐비닛 200 : 기구물
300 : 고압가스통 330 : 밸브 연결구
340 : 안전 캡 너트 링 400 : 오토 커플러 유닛
410 : 지지봉 420 : 센터링 가이드
421 : 가이드공 422 : 단턱
423 : 경사면 430 : 플레이트
440 : 커넥터 홀더 460 : 볼 부시
470 : 가스켓 탈락받이 471 : 가스켓 탈락가이드100: cabinet 200: equipment
300: high pressure gas cylinder 330: valve connector
340: Safety cap nut ring 400: Auto coupler unit
410: support rod 420: centering guide
421: guide ball 422: stepped
423: slope 430: plate
440: connector holder 460: ball bush
470: Gasket dropping guide 471: Gasket dropping guide

Claims (8)

캐비닛(100)에 설치되는 기구물(200)에 고압가스통(300)의 동심도에 따라 X - Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된 오토 커플러 유닛(400)과, 상기 오토 커플러 유닛(400)에 복수 개의 지지봉(410)으로 매달리게 설치되어 고압가스통(300)의 수직 중심을 센터링하는 링 형상의 가이드공(421)이 구비된 센터링 가이드(420)와, 상기 고압가스통(300)의 상부에 고정되어 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 끼워지면서 고압가스통(300)의 수직 중심을 오토 커플러 유닛(400)의 수직 중심과 일치시키는 안전 캡 너트 링(340)으로 구성하여 고압가스통(300)의 안전 캡 너트 링(340)이 가이드공(421)의 내주면에 접속되면서 센터링이 이루어지도록 된 것을 특징으로 하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치.
The auto coupler unit 400 installed to be movable in the X-Y axis direction according to the concentricity of the high pressure gas cylinder 300 in the fixture 200 installed in the cabinet 100, and a plurality of support rods in the auto coupler unit 400 A centering guide 420 provided with a ring-shaped guide hole 421 that is installed to 410 to center the vertical center of the high-pressure gas cylinder 300, and a centering guide fixed to the top of the high-pressure gas cylinder 300 The safety cap of the high pressure gas cylinder 300 is configured by a safety cap nut ring 340 that is fitted to the guide hole 421 of the 420 to match the vertical center of the high pressure gas cylinder 300 to the vertical center of the auto coupler unit 400. Nut ring 340 is connected to the inner circumferential surface of the guide hole 421, the center center alignment device of a high pressure gas cylinder, characterized in that the centering is made.
청구항 1에 있어서,
상기 센터링 가이드(420)의 가이드공(421)에 안전 캡 너트 링(340)의 상단이 걸리는 단턱(422)을 형성하고 상기 지지봉(410)에는 센터링 가이드(420)를 승, 하강 가능하게 설치하며 각 지지봉(410)의 하단에는 센터링 가이드(420)의 추락을 방지하는 와셔(450)를 고정하여 상기 센터링 가이드(420)가 지지봉(410)을 따라 승, 하강하도록 된 것을 특징으로 하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치.
The method according to claim 1,
The stepping hole 422 on which the upper end of the safety cap nut ring 340 is formed is formed in the guide hole 421 of the centering guide 420, and the centering guide 420 is installed on the support bar 410 so as to be elevated and lowered. The lower end of each support rod 410 is fixed to the washer 450 that prevents the fall of the centering guide 420, so that the centering guide 420 is raised and lowered along the support rod 410. Vertical center alignment device.
청구항 2에 있어서,
상기 센터링 가이드(420)에 각 지지봉(410)으로 끼워지는 볼 부시(460)를 고정한 것을 특징으로 하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치.
The method according to claim 2,
Vertical center alignment device of a high pressure gas cylinder, characterized in that the ball bushing 460 is fitted to each support bar 410 to the centering guide (420).
삭제delete 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 센터링 가이드(420)에 형성된 가이드공(421)의 하부에 경사면(423)을 형성한 것을 특징으로 하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치.
The method according to claim 1 or claim 2,
Vertical center alignment device of a high pressure gas cylinder, characterized in that the inclined surface 423 is formed in the lower portion of the guide hole 421 formed in the centering guide 420.
청구항 1에 있어서,
상기 각 지지봉(410)의 상단을 오토 커플러 유닛(400)의 저면에 고정되는 플레이트(430)에 고정한 것을 특징으로 하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치.
The method according to claim 1,
Vertical center alignment device of the high pressure gas cylinder, characterized in that the upper end of each support bar 410 is fixed to the plate 430 is fixed to the bottom surface of the auto coupler unit 400.
청구항 1에 있어서,
상기 센터링 가이드(420)의 외측으로 가스켓 탈락받이(470)를 더 구비하여 오토커플러 유닛(400)에 구비된 커넥터 홀더(440)에 가스켓을 꺼내거나, 삽입시 커넥터 홀더(440)로부터 탈락하는 가스켓을 가스켓 탈락받이(470)가 받도록 된 것을 특징으로 하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치.
The method according to claim 1,
A gasket is further provided outside the centering guide 420 to remove the gasket from the connector holder 440 provided in the autocoupler unit 400, or the gasket is removed from the connector holder 440 upon insertion. Gasket drop center 470, vertical center alignment device of a high pressure gas cylinder, characterized in that to be received.
청구항 7에 있어서,
상기 커넥터 홀더(440)의 직하방에 위치하는 가스켓 탈락받이(470) 상부에 커넥터 홀더(440)에서 탈락하는 가스켓을 가스켓 탈락받이(470)로 안내하는 하향 경사진 가스켓 탈락가이드(471)를 더 설치한 것을 특징으로 하는 고압가스통의 수직 중심 얼라인장치.The method according to claim 7,
A gasket dropping guide 471 downwardly inclined to guide the gasket dropping from the connector holder 440 to the gasket dropping plate 470 on the top of the gasket dropping plate 470 located directly below the connector holder 440 is further provided. Vertical center alignment device of the high pressure gas cylinder, characterized in that installed.
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