KR102123882B1

KR102123882B1 - A Connector Assembly, A Connector Subassembly And A Connector Pin For Test Apparatus

Info

Publication number: KR102123882B1
Application number: KR1020140066895A
Authority: KR
Inventors: 안상일; 박준언
Original assignee: (주)케미텍
Priority date: 2014-06-02
Filing date: 2014-06-02
Publication date: 2020-06-18
Also published as: WO2015186953A1; KR20150139092A

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼가 놓여지는 지지대와, 상기 지지대와 이격되어 설치되고 하측에 상면에 복수의 접촉단자가 구비되는 프로브 카드와 상부판이 장착되는 베이스 유닛으로 이루어지는 테스트 장치의 상부판에 구비되어 프로브 카드의 접촉단자에 접촉되며; 상하 방향으로 통공이 형성된 어셈블리본체와, 회로패널을 어셈블리본체에 결합시키는 결합수단과, 결합수단에 의하여 상기 어셈블리본체에 설치되며 통공에 삽입된 케이블에 연결된 판상의 회로패널과, 커넥터본체와 커넥터본체에 2열로 구비되는 복수의 커넥터 핀으로 이루어져 케이블의 반대쪽에서 상기 회로패널에 결합되는 커넥터 서브어셈블리로 이루어지는 커넥터 어셈블리, 커넥터 어셈블리에 구비되는 커넥터 서브어셈블리 및 커넥서 서브어셈블리를 이루는 커넥터 핀에 관한 것이다.The present invention is provided on the upper plate of a test apparatus consisting of a support unit on which a semiconductor wafer is placed, a probe card installed spaced apart from the support and provided with a plurality of contact terminals on the lower side and a base unit on which the upper plate is mounted. It is in contact with the contact terminal of; The assembly body having a through hole formed in the vertical direction, a coupling means for coupling a circuit panel to the assembly body, a circuit panel on a plate installed on the assembly body by a coupling means and connected to a cable inserted into the through hole, a connector body and a connector body A connector assembly consisting of a plurality of connector pins provided in two rows, a connector subassembly coupled to the circuit panel from the opposite side of the cable, a connector subassembly provided in the connector assembly, and a connector pin forming a connector subassembly.

Description

Connector assembly, connector subassembly, and connector pins provided in the connector system of the test device {A Connector Assembly, A Connector Subassembly And A Connector Pin For Test Apparatus}

본 발명은 반도체 등이 테스트 되는 테스트 장치의 커넥터 시스템에 구비되는 커넥터 어셈블리, 커넥터 서브어셈블리 및 커넥터 핀에 관한 것이다.The present invention relates to a connector assembly, a connector subassembly, and a connector pin provided in a connector system of a test apparatus in which semiconductors and the like are tested.

웨이퍼는 패키지 공정을 위한 절삭단계로 들어가기 전에 형성된 각 반도체 칩들의 전기적 특성을 테스트 장치를 이용하여 측정하여 그 양, 불량을 검수한다. 이러한 테스트 장치는 반도체 웨이퍼가 놓여 지는 지지대와, 지지대와 이격되어 설치되고 하측에 상부판이 장착되는 베이스 유닛과, 역시 상부판의 하측에 장착되고 탐침부와 인쇄회로기판을 갖는 프로브 카드와 상부판과 프로브 카드를 탈부착 가능하게 결합하는 커넥터 및 베이스 유닛과 연결된 테스터를 포함한다. 테스터로부터 발생된 테스트 신호는 베이스 유닛에 장착된 상부판과, 암 커넥터가 상부판과 연결되고, 숫 커넥터가 프로브 카드의 인쇄회로 기판과 연결된 무삽입력 커넥터의 연결 접촉단자들을 통하여 프로브 카드에 전달된다. 그리고 일측이 프로브 카드에 형성된 인쇄회로 기판에 연결되며 타측이 반도체 칩의 패드에 접촉되는 탐침부에 의하여 반도체 칩에 테스트 신호를 전달하게 되며, 반도체 칩을 통과한 테스트 신호는 위와 반대의 경로로 테스터에 전달되어 반도체 칩의 양, 불량을 검수하게 된다.The wafer is inspected for the amount and defect by measuring the electrical characteristics of each semiconductor chip formed before entering the cutting step for the package process using a test device. Such a test apparatus includes a support on which a semiconductor wafer is placed, a base unit spaced apart from the support and mounted with an upper plate on the lower side, a probe card and an upper plate mounted on the lower side of the upper plate, and having a probe portion and a printed circuit board. It includes a connector for detachably coupling the probe card and a tester connected to the base unit. The test signal generated from the tester is transmitted to the probe card through the contact plates of the top plate mounted on the base unit, the female connector connected to the top plate, and the male connector connected to the printed circuit board of the probe card. do. Then, one side is connected to the printed circuit board formed on the probe card, and the other side transmits a test signal to the semiconductor chip by a probe that comes into contact with the pad of the semiconductor chip. Is transferred to the semiconductor chip to inspect the quantity and defect of the semiconductor chip.

도 1은 프로브 카드와 상부판이 장착된 반도체 테스트 장치의 개략도이다. 반도체 테스트 장치는 복수의 칩(미도시)이 형성된 반도체 기판(10)이 놓여지는 지지대(11)와, 지지대(11)의 상부로에서 소정거리 이격되어 설치되며 하측에 프로브 카드(12)와 상부판(13)이 장착되는 베이스 유닛(15)과, 일측이 프로브 카드(12)의 인쇄회로기판(12a)과 연결되고 타측이 반도체 기판(10)상의 칩 패드(미도시)와 전기적으로 접촉하는 탐침부(12b)와, 상부판(13)과 프로브 카드(12)를 탈부착 가능하게 결합하는 커넥터(30, 40)와, 베이스 유닛(15)에 연결되어 반도체 칩(미도시)의 전기적 특성을 검수하는 테스터(16)를 포함한다. 상기 지지대(11)와 베이스 유닛(15)은 상호 근접이동이 가능하므로, 반도체 칩의 전기적 특성을 측정하기 위하여 탐침부(12b)를 반도체 기판(10)에 근접하여 반도체 칩의 단자용 패드와 접촉할 수 있다.1 is a schematic diagram of a semiconductor test apparatus equipped with a probe card and an upper plate. The semiconductor test apparatus is provided with a support 11 on which a semiconductor substrate 10 on which a plurality of chips (not shown) is formed, and a predetermined distance from the upper road of the support 11, and a probe card 12 and an upper part on the lower side The base unit 15 on which the plate 13 is mounted, one side is connected to the printed circuit board 12a of the probe card 12, and the other side is in electrical contact with a chip pad (not shown) on the semiconductor substrate 10. The probes 12b, the connectors 30 and 40 for detachably coupling the top plate 13 and the probe card 12, and the base unit 15 are connected to the electrical characteristics of the semiconductor chip (not shown). And a tester 16 for inspection. Since the support 11 and the base unit 15 can be moved in close proximity to each other, the probe 12b is brought into close contact with the semiconductor substrate 10 to measure the electrical characteristics of the semiconductor chip, and contacts the terminal pads of the semiconductor chip. can do.

도 2는 프로브 카드(12)를 나타낸 평면도로서, 인쇄회로 기판(12a)의 중앙영역에 형성되어 있는 탐침부(도 1의 12b)를 생략하고 도시하였다. 도 2를 참조하면, 프로브 카드(12)의 인쇄회로기판(12a)은 원형 판상이고 판면 상에는 복수의 연결부(20)들이 배치되어 있다. 이러한 연결부(20)들은 인쇄회로기판(12a)의 판면을 네 개의 사분면으로 나누어 각 사분면에 인쇄회로기판(12a)의 중앙 원점(O)으로부터 소정거리 이격되어 원호의 가장자리에 인접한 부분에 각각 배치되어 있다. 상기 연결부(20)는 긴 직사각형으로 형성되어 있고 이들 연결부(20)에는 탐침부(도 1의 12b)에 형성된 탐침들과 연결 접촉될 수 있도록 복수의 접촉핀(미도시)들이 연결부(20)의 서로 대향하는 긴 변들의 양측을 따라 인쇄회로기판(12a) 판면에 형성되어 있다. 직사각형으로 형성된 연결부(20)의 중앙 영역에는 길이방향을 따라 판면으로부터 소정깊이로 형성된 복수의 고정홀(21)이 형성되어 있다. FIG. 2 is a plan view showing the probe card 12, with the probe portion (12b in FIG. 1) formed in the central region of the printed circuit board 12a omitted. Referring to FIG. 2, the printed circuit board 12a of the probe card 12 has a circular plate shape and a plurality of connecting portions 20 are disposed on the plate surface. These connecting portions 20 are divided into four quadrants of the printed circuit board 12a, and spaced a predetermined distance from the central origin O of the printed circuit board 12a in each quadrant, respectively, and are disposed adjacent to the edge of the arc. have. The connecting portion 20 is formed in a long rectangle and a plurality of contact pins (not shown) are connected to the connecting portion 20 so as to be in contact with the probes formed in the probe portion (12b of FIG. 1). It is formed on the surface of the printed circuit board 12a along both sides of the long sides facing each other. A plurality of fixing holes 21 formed at a predetermined depth from the plate surface along the longitudinal direction are formed in the central region of the connecting portion 20 formed in a rectangle.

도 3은 프로브 카드와 상부판을 결합시키는 커넥터의 숫 커넥터를 나타낸 사시도로서, 숫 커넥터(30)의 몸체(31)는 연결부(도 1의 20)와 같이 직사각형으로 형성되어 있다. 연결부(도 1의 20) 표면과 접하여 결합되는 숫 커넥터(30) 몸체(31)의 하부면에는 연결부(도 2의 21)의 고정홀(도 2의 22)에 삽입고정되는 복수의 고정핀(33)들이 형성되어 있고, 숫 커넥터(30) 몸체(31)의 상부영역에는 숫 커넥터(30) 몸체(31)의 상부면으로부터 소정높이 돌출된 숫 결합부(32)가 형성되어 있다. 상기 숫 결합부(32)의 장축 양측면에는 숫 커넥터(30)의 길이 방향을 따라 복수의 제 1연결 접촉단자(34)가 형성되어 있으며, 이 제 1연결 접촉단자(34)는 일측이 긴 장방형의 전도성 금속재질로 되어있다. 제 1연결 접촉단자(34)는 숫 결합부(32)의 상부면에서부터 숫 커넥터의 몸체(31)를 관통하여 숫 커넥터 몸체(31)의 하부면까지 연장 형성되어 있으며, 연결부(도 2의 20)에 형성된 접촉핀(미도시)들과 접촉하여 상부판(도 1의 13)에 전기적 신호를 전달하는 역할을 한다.3 is a perspective view showing a male connector of a connector that connects a probe card and an upper plate, and the body 31 of the male connector 30 is formed in a rectangular shape as shown in the connecting portion (20 in FIG. 1). On the lower surface of the male connector 30 and the body 31, which is in contact with the surface of the connecting portion (20 of FIG. 1), a plurality of fixing pins fixed to the fixing holes (22 of FIG. 2) of the connecting portion (21 of FIG. 2) ( 33) are formed, the male connector 30, the upper region of the body 31 is formed with a male coupling portion 32 protruding a predetermined height from the upper surface of the male connector 30 body 31 is formed. A plurality of first connection contact terminals 34 are formed on both sides of the long axis of the male coupling portion 32 along the length direction of the male connector 30, and the first connection contact terminal 34 has a long side with a long side. It is made of a conductive metal material. The first connection contact terminal 34 is formed to extend from the upper surface of the male coupling part 32 to the lower surface of the male connector body 31 through the body 31 of the male connector, and the connection part (20 of FIG. 2) ) In contact with contact pins (not shown) formed to serve to transmit an electrical signal to the top plate (13 in FIG. 1).

도 4는 프로브 카드와 상부판을 결합시키는 커넥터의 암 커넥터를 나타낸 사시도로서, 암 커넥터(40)는 일측이 상부판(도 1의 13)에 장착되어 있고, 타측은 프로브 카드(도 1의 12)에 장착된 숫 커넥터의 숫 결합부(도 3의 32)가 삽입되어 결합될 수 있도록 소정의 공간을 형성한 암 결합부(42)가 마련되어 있다. 상기 암 결합부(42)는 숫 결합부(도 3의 32)의 모양에 맞추어 직사각형으로 형성되어 있고, 내측 면에는 숫 결합부(도 3의 32)의 외측 면에 형성된 제1연결 접촉단자(도 3의 34)들에 대응하여 연결 접촉되는 제2연결 접촉단자(43)가 길이 방향을 따라서 복수로 형성되어 있다. 제2연결 접촉단자(43) 역시 일측이 긴 장방형의 전도성 금속편으로 형성되어 있고, 반도체 기판(도 1의 10)의 칩으로부터 전달되는 전기적 신호를 제 1연결 접촉단자(도 3의 34)로부터 전달받아 테스터(도 1의 16)로 전달해주는 역할을 한다. 따라서 상부판(도 1의 13)에 연결된 암 커넥터(도 4의 40)와 프로브 카드(12)의 인쇄회로기판(도 2의 12)에 연결된 숫 커넥터(도 3의 30)가 결합함에 따라, 탐침부(12b)에 의해 전달되는 테스트 신호가 프로브 카드(12)와 상부판(도 1의 13)을 거쳐 테스터(도 1의 16)에 전달되게 된다.Figure 4 is a perspective view showing a female connector of the connector for coupling the probe card and the top plate, the female connector 40 is mounted on one side of the upper plate (13 in FIG. 1), the other side of the probe card (12 in FIG. A male coupling portion 42 is formed in a predetermined space so that the male coupling portion (32 of FIG. 3) of the male connector mounted on) can be inserted and coupled. The female coupling portion 42 is formed in a rectangular shape in accordance with the shape of the male coupling portion (32 in FIG. 3), and the first connection contact terminal formed on the outer surface of the male coupling portion (32 in FIG. 3) on the inner surface ( A plurality of second connection contact terminals 43 that are connected to each other corresponding to 34) of FIG. 3 are formed along the longitudinal direction. The second connection contact terminal 43 is also formed of a rectangular conductive metal piece having a long side, and transmits an electrical signal transmitted from the chip of the semiconductor substrate (10 of FIG. 1) from the first connection contact terminal (34 of FIG. 3). Take and serve as a tester (16 in FIG. 1). Therefore, as the female connector (40 in FIG. 4) connected to the top plate (13 in FIG. 1) and the male connector (30 in FIG. 3) connected to the printed circuit board (12 in FIG. 2) of the probe card 12 are engaged, The test signal transmitted by the probe unit 12b is transmitted to the tester (16 in FIG. 1) through the probe card 12 and the upper plate (13 in FIG. 1).

대한민국 등록번호 제10-0902376호 등록특허공보에는 커넥터가 기재되어 있다. 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이 커넥터(300)는 숫 커넥터(30)의 플러그(32)가 삽입-인출되는 공간(42)을 제공하는 하우징(41), 플러그(32)로부터 소정 간격 이격 배치되는 커넥터 핀(43), 플러그(32)에 구비된 콘택트 핀(접촉 단자)과 단속적으로 접촉하도록 커넥터 핀(43)을 가압시키는 가압부재(45b)와 가압부재(45b)를 선택적으로 구동시키는 구동부재(45a)로 이루어진 가압수단(45)을 포함한다.The connector is described in Korean Patent Registration No. 10-0902376. 5 to 7, the connector 300 is spaced a predetermined distance from the housing 41 and the plug 32 providing a space 42 through which the plug 32 of the male connector 30 is inserted and withdrawn. The pressing member 45b and the pressing member 45b that press the connector pin 43 to intermittently contact the contact pin (contact terminal) provided on the connector pin 43 and the plug 32 to be arranged are selectively driven. It includes a pressing means (45) made of a drive member (45a).

상기와 같은 종래 기술에 의한 테스트 장치의 커넥터 시스템은 프로브 카드(12)에 구비되는 숫 커넥터(30)가 돌출되며, 상부판(40)에 구비되는 암 커넥터(40)로 삽입되어 연결되는 구조이므로 서로 접촉되는 부피를 가져야 하므로 제한된 공간에서 제1연결 접촉단자(34)와 제2연결 접촉단자(43)의 개수를 충분하게 많게 할 수 없는 문제점이 있었다. 그리고 암 커넥터(40)는 숫 커넥터(30)가 삽입되어 접촉되는 구조이므로 서로 마주하여 접촉되는 커넥터 구조에서는 사용될 수 없는 문제점이 있었다.Since the connector system of the test apparatus according to the prior art is protruding, the male connector 30 provided in the probe card 12 is protruded, and is inserted into and connected to the female connector 40 provided in the top plate 40. Since the volume should be in contact with each other, there is a problem in that the number of the first connection contact terminal 34 and the second connection contact terminal 43 cannot be sufficiently increased in a limited space. In addition, since the female connector 40 is a structure in which the male connector 30 is inserted and contacted, there is a problem that it cannot be used in a connector structure that faces each other.

대한민국 특허공개 제10-2005-0087566호 공개특허공보Republic of Korea Patent Publication No. 10-2005-0087566 Patent Publication 대한민국 등록번호 제10-0902376호 등록특허공보Republic of Korea Registration No. 10-0902376 Patent Registration

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 삽입되지 않고 마주하여 접촉되는 구조로 동일 면적이 더 많은 접점을 형성하는 것이 가능하며, 접촉할 때 충격이 흡수될 수 있으며, 반복 사용에도 커넥터 핀이 이탈되는 것이 방지될 수 있는 커넥터 어셈블리, 커넥터 서브어셈블리 및 커넥터 핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been proposed to solve the above problems, and it is possible to form more contacts with the same area in a structure that faces each other without being inserted, and when contacted, shock can be absorbed and repeated use is also possible. It is an object to provide a connector assembly, a connector subassembly, and a connector pin that can be prevented from being detached from the connector pin.

상기와 같은 목적을 이루기 위하여 본 발명은 반도체 웨이퍼가 놓여지는 지지대와, 상기 지지대와 이격되어 설치되고 하측에 상면에 복수의 접촉단자가 구비되는 프로브 카드와 상부판이 장착되는 베이스 유닛으로 이루어지는 테스트 장치의 상부판에 구비되어 프로브 카드의 접촉단자에 접촉되며; 상하 방향으로 통공이 형성된 어셈블리본체와, 회로패널을 어셈블리본체에 결합시키는 결합수단과, 결합수단에 의하여 상기 어셈블리본체에 설치되며 통공에 삽입된 케이블에 연결된 판상의 회로패널과, 커넥터본체와 커넥터본체에 2열로 구비되는 복수의 커넥터 핀으로 이루어져 케이블의 반대쪽에서 상기 회로패널에 결합되는 커넥터 서브어셈블리로 이루어지는 커넥터 어셈블리를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a test apparatus consisting of a support unit on which a semiconductor wafer is placed, a base unit on which a probe card and a top plate are mounted, spaced apart from the support and provided with a plurality of contact terminals on the lower side. It is provided on the top plate to contact the contact terminal of the probe card; The assembly body having a through hole formed in the vertical direction, a coupling means for coupling a circuit panel to the assembly body, a circuit panel on a plate installed on the assembly body by a coupling means and connected to a cable inserted into the through hole, a connector body and a connector body It provides a connector assembly consisting of a plurality of connector pins provided in two rows in the connector sub-assembly coupled to the circuit panel on the opposite side of the cable.

상기에서, 상하 방향으로 관통된 커넥터 삽입부가 형성되며 상기 결합수단에 결합된 안내부재를 더 포함하며, 회로패널에 결합되어 구비되는 커넥터 서브어셈블리는 커넥터 삽입부에 삽입되어 위치하는 것을 특징으로 한다.In the above, the connector insertion portion penetrated in the vertical direction is further formed and further includes a guide member coupled to the coupling means, and the connector subassembly provided by being coupled to the circuit panel is inserted into the connector insertion portion and positioned therein.

상기에서, 어셈블리본체에는 하향 개구된 결합공이 서로 이격되어 오목하게 복수개 형성되고, 각 결합공에 연통되도록 측방으로 결합핀공이 복수개 관통 형성되며; 상기 결합수단은 상기 결합공에 삽입되는 제2 탄성체와, 측방에 오목하게 걸림턱부가 형성되며 상기 제2 탄성체를 가압하며 걸림턱부가 결합공 내에 위치하도록 결합공에 삽입되는 복수의 결합부재와, 상기 결합핀공에 삽입되어 걸림턱부에 걸리도록 구비되는 복수의 결합핀으로 이루어지고, 상기 결합핀공은 걸림턱부 내에서 상하 방향으로 유격을 가지며; 회로패널의 양측은 결합공 외측에서 상기 결합부재에 고정되어 구비되는 것을 특징으로 한다.In the above, the assembly main body is formed with a plurality of concave holes spaced apart from each other, and a plurality of coupling pin holes are formed through the side so as to communicate with each coupling hole; The coupling means includes a second elastic body inserted into the coupling hole, a plurality of coupling members inserted into the coupling hole such that a locking jaw portion is formed concavely on the side and presses the second elastic body and is located in the coupling hole, It is composed of a plurality of coupling pins that are inserted into the coupling pin hole to be engaged with the locking jaw portion, and the coupling pin hole has a clearance in the vertical direction within the locking jaw portion; Both sides of the circuit panel is characterized in that it is provided fixed to the coupling member from the outside of the coupling hole.

상기에서, 어셈블리본체에는 하향 개구된 결합공이 서로 이격되어 오목하게 복수개 형성되고, 각 결합공에 연통되도록 측방으로 결합핀공이 복수개 관통 형성되며; 상기 결합수단은 상기 결합공에 삽입되는 제2 탄성체와, 측방에 오목하게 걸림턱부가 형성되고 회로패널이 결합되는 부분을 지나 연장턱부를 형성하며 연장된 중공의 결합연장부가 구비되며 상기 제2 탄성체를 가압하며 걸림턱부가 결합공 내에 위치하도록 결합공에 삽입되는 복수의 결합부재와, 상기 결합핀공에 삽입되어 걸림턱부에 걸리도록 구비되는 복수의 결합핀으로 이루어지고, 상기 결합핀공은 걸림턱부 내에서 상하 방향으로 유격을 가지며; 회로패널의 양측은 결합공 외측에서 상기 결합부재에 고정되어 구비되며; 상기 안내부재에는 커넥터 삽입부의 측방에 위치하며 상하로 관통된 복수의 체결공이 형성되고, 각 체결공의 상부로 돌출된 돌출중공부가 구비되며; 체결공을 통하여 체결나사가 삽입되어 결합연장부에 체결되면서 안내부재가 결합부재에 결합되며, 상기 안내부재와 결합부재 사이에 일측은 돌출중공부가 삽입되고 타측으로는 결합연장부가 삽입되어 양측에서 가압되는 제1 탄성체가 구비된 것을 특징으로 한다.In the above, the assembly main body is formed with a plurality of concave holes spaced apart from each other, and a plurality of coupling pin holes are formed through the side so as to communicate with each coupling hole; The coupling means is provided with a second elastic body that is inserted into the coupling hole, a concave locking jaw portion is formed on the side, an extension jaw is formed past a portion where the circuit panel is coupled, and an extended hollow coupling extension portion is provided and the second elastic body is provided. It consists of a plurality of coupling members inserted into the coupling hole so that the locking jaw portion is located in the coupling hole while pressing, and a plurality of coupling pins inserted into the coupling pin hole to be engaged with the locking jaw portion, wherein the coupling pin hole is within the locking hole. Has a play in the vertical direction; Both sides of the circuit panel are fixed to the coupling member outside the coupling hole; The guide member is located on the side of the connector insertion portion is formed with a plurality of fastening holes penetrating up and down, and is provided with a protruding hollow portion projecting to the top of each fastening hole; As the fastening screw is inserted through the fastening hole and fastened to the engaging extension portion, the guide member is coupled to the engaging member, and between the guide member and the engaging member, a protruding hollow portion is inserted on one side and a engaging extension portion is inserted on the other side. It characterized in that the first elastic body is provided to be pressed.

상기에서, 체결나사 중 하나 이상은 머리부로부터 돌출된 구조를 가지며, 단부가 안내부재의 단면으로부터 돌출된 제1 가이드핀인 것을 특징으로 한다.In the above, at least one of the fastening screws has a structure protruding from the head, characterized in that the end is a first guide pin protruding from the cross section of the guide member.

한편, 본 발명은 반도체 웨이퍼가 놓여지는 지지대와, 상기 지지대와 이격되어 설치되고 하측에 상면에 복수의 접촉단자가 구비되는 프로브 카드와 복수의 커넥터 어셈블리가 구비된 상부판이 장착되는 베이스 유닛으로 이루어지는 테스트 장치의 커넥터 어셈블리를 이루어 프로브 카드의 접촉단자에 접촉되며; 양측으로 길이 방향을 따라 이격되어 복수의 커넥터본체부가 구비되어 커넥터본체부 사이에 슬릿홈이 형성된 합성수지로 이루어진 커넥터 본체와, 상기 슬릿홈에 삽입되어 커넥터 본체에 결합되는 전도성인 복수의 커넥터 핀으로 이루어진 커넥터 서브어셈블리를 제공한다.On the other hand, the present invention is a test consisting of a base unit on which a semiconductor wafer is placed, a support card on which a semiconductor wafer is placed, a probe card provided with a plurality of contact terminals on the lower surface, and an upper plate provided with a plurality of connector assemblies on the lower side. A connector assembly of the device to contact the contact terminal of the probe card; A connector body made of a synthetic resin having a plurality of connector body parts spaced apart in the longitudinal direction on both sides and having a slit groove formed between the connector body parts, and a plurality of conductive connector pins inserted into the slit groove and coupled to the connector body Provides connector subassemblies.

상기에서, 커넥터 본체의 커넥터본체부의 측면에는 하나 이상의 오목부가 형성되며, 슬릿홈에 커넥터 핀이 삽입되고 커넥터본체부가 열가압되어 오목부의 양측 돌출부분이 슬릿홈의 측방 개구 쪽으로 변형되면서 슬릿홈에 삽입된 커넥터 핀의 이탈이 방지되는 것을 특징으로 한다.In the above, at least one recess is formed on the side of the connector main body of the connector body, the connector pin is inserted into the slit groove, and the connector body is heat-pressed so that the protruding parts on both sides of the recess are deformed toward the lateral opening of the slit groove and inserted into the slit groove. Characterized in that the departure of the connector pin is prevented.

상기에서, 커넥터본체부는 커넥터본체부 사이에 위치하는 커넥터연결부에 의하여 연결되며; 상기 커넥터연결부에는 서로 배향하여 양측으로 개구되어 커넥터 핀이 삽입되는 핀삽입부가 형성되며, 커넥터본체부보다 하방으로 돌출된 지지돌부가 구비되며; 커넥터연결부의 핀삽입부에 삽입되어 구비되는 핀은 지지돌부보다 하향 돌출되는 것을 특징으로 한다. In the above, the connector body portion is connected by a connector connection portion located between the connector body portion; The connector connection portion is formed with a pin insertion portion which is oriented to each other and is opened to both sides to insert the connector pin, and is provided with a support protrusion protruding downward than the connector body portion; The pin inserted into the pin insertion portion of the connector connection portion is characterized in that it protrudes downward from the support protrusion.

그리고 본 발명은 반도체 웨이퍼가 놓여지는 지지대와, 상기 지지대와 이격되어 설치되고 하측에 상면에 복수의 접촉단자가 구비되는 프로브 카드와 복수의 커넥터 어셈블리가 구비된 상부판이 장착되는 베이스 유닛으로 이루어지는 테스트 장치의 커넥터 어셈블리에 구비되며; 상하 방향으로 연장된 핀본체부와, 상기 핀본체부의 일측 단부에서 측방으로 돌출된 제1 돌기부와, 상기 핀본체부의 타측 단부에 구비되는 탄성변형부와, 상기 제1 돌기부와 탄성변형부 사이에서 제1 돌기부의 돌출 방향으로 돌출된 제2 돌기부로 이루어지며; 상기 제2 돌기부가 커넥터 어셈블리로 삽입되어 결합되는 커넥터 핀을 제공한다.In addition, the present invention is a test apparatus comprising a support unit on which a semiconductor wafer is placed, a probe card installed spaced apart from the support and provided with a plurality of contact terminals on the lower surface and an upper plate equipped with a plurality of connector assemblies. Is provided in the connector assembly of; Between the pin body portion extending in the vertical direction, the first projection portion protruding laterally from one end of the pin body portion, the elastic deformation portion provided at the other end of the pin body portion, and between the first projection portion and the elastic deformation portion It is composed of a second protrusion protruding in the protruding direction of the first protrusion; The second protrusion is inserted into the connector assembly to provide a connector pin to be coupled.

상기에서, 탄성변형부는 제1 돌기부의 돌출 방향을 향하도록 절곡된 제1 절곡부와, 상기 제1 절곡부의 단부에서 핀본체부의 길이 방향이고 제2 돌기부와 반대쪽으로 연장되도록 절곡된 제2 절곡부와, 상기 제2 절곡부로부터 제2 돌기부의 돌출 방향과 반대 방향을 향하여 제2 절곡부와 예각을 이루어 연장되는 제3 절곡부로 이루어진 것을 특징으로 한다.In the above, the elastic deformation portion is a first bent portion bent to face the protruding direction of the first protrusion, and a second bent portion bent so as to extend in the longitudinal direction of the pin body portion at the end of the first bent portion and extends away from the second protrusion. And a third bent portion extending from the second bent portion to an opposite direction to the protruding direction of the second protrusion and making an acute angle with the second bent portion.

상기에서, 제3 절곡부의 단부에서 핀본체부를 향하도록 절곡된 제4 절곡부를 더 포함하며; 제4 절곡부는 단부로 갈수록 제2 절곡부와 가까워지도록 경사지게 연장된 것을 특징으로 한다.In the above, further comprising a fourth bent portion bent toward the pin body portion at the end of the third bent portion; The fourth bent portion is characterized in that it extends obliquely to approach the second bent portion toward the end.

상기에서, 제3 절곡부와 제4 절곡부의 연결 부분에는 면적이 증가하는 형태를 가지며 프로브 카드의 접촉단자와 접촉되는 핀돌부가 구비되며, 상기 핀돌부는 핀본체부의 중심선이 연장되는 선상에 위치하는 것을 특징으로 한다.In the above, the connecting portion of the third bent portion and the fourth bent portion has a form in which an area is increased, and a pin protrusion portion is provided in contact with the contact terminal of the probe card, and the pin protrusion portion is located on a line extending from the center line of the pin body portion. It is characterized by.

본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리, 커넥터 서브어셈블리 및 커넥터 핀에 의하면, 커넥터가 삽입되지 않고 마주하여 접촉되는 구조로 동일 면적이 더 많은 접점을 형성하는 것이 가능하며, 접촉할 때 충격이 흡수될 수 있으며, 반복 사용에도 커넥터 핀이 이탈되는 것이 방지될 수 있는 효과가 있다.According to the connector assembly, connector subassembly and connector pin according to the present invention, it is possible to form more contacts with the same area in a structure in which the connector is contacted without being inserted, and shock can be absorbed when contacting, Even in repeated use, there is an effect that the connector pin can be prevented from being released.

도 1은 프로브 카드와 상부판이 장착된 반도체 테스트 장치의 개략도이며,
도 2는 프로브 카드를 나타낸 평면도이며,
도 3은 프로브 카드와 상부판을 결합시키는 커넥터의 숫 커넥터를 나타낸 사시도이며,
도 4는 프로브 카드와 상부판을 결합시키는 커넥터의 암 커넥터를 나타낸 사시도이며,
도 5는 숫 커넥터와 암 커넥터의 결합을 설명하기 위하여 도시한 단면도이며,
도 6 및 도 7은 커넥터의 구동부재와 가압부재의 동작을 설명하기 위하여 도시한 단면도이며,
도 8은 본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리가 장착되는 테스트 장치를 설명하기 위하여 도시한 사시도이며,
도 9는 도 8에 도시한 상부판의 사시도이며,
도 10은 도 8에 도시한 프로브 카드의 사시도이며,
도 11은 도 10의 A부를 확대 도시한 것이며,
도 12는 상부판에 구비되는 본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리를 도시한 사시도이며,
도 13은 도 12에 도시한 커넥터 어셈블리의 일부 확대 사시도이며,
도 14는 도 12에 도시한 커넥터 어셈블리의 일부 구성 분해 사시도이며,
도 15는 도 12에 도시한 커넥터 어셈블리의 일부 구성 분해 사시도이며,
도 16은 본 발명에 따르는 커넥터 서브어셈블리를 도시한 분해 사시도이며,
도 17은 본 발명에 따르는 커넥터 핀을 도시한 사시도이며,
도 18은 커넥터 본체를 도시한 평면도이며,
도 19는 도 18의 A-A선에 따른 단면도이며,
도 20은 도 18의 A-A선에 따른 단면도로서 커넥터 핀이 결합된 상태를 도시한 것이다.1 is a schematic diagram of a semiconductor test apparatus equipped with a probe card and an upper plate,
2 is a plan view showing a probe card,
Figure 3 is a perspective view showing the male connector of the connector for coupling the probe card and the top plate,
Figure 4 is a perspective view showing the female connector of the connector for coupling the probe card and the top plate,
5 is a cross-sectional view illustrating the coupling of the male connector and the female connector,
6 and 7 are cross-sectional views illustrating the operation of the driving member and the pressing member of the connector,
8 is a perspective view illustrating a test apparatus in which a connector assembly according to the present invention is mounted,
9 is a perspective view of the top plate shown in FIG. 8,
10 is a perspective view of the probe card shown in FIG. 8,
11 is an enlarged view of part A of FIG. 10,
12 is a perspective view showing a connector assembly according to the present invention provided on the top plate,
13 is a partially enlarged perspective view of the connector assembly shown in FIG. 12,
14 is an exploded perspective view of a part of the connector assembly shown in FIG. 12;
15 is an exploded perspective view of a part of the connector assembly shown in FIG. 12;
16 is an exploded perspective view showing a connector subassembly according to the present invention,
17 is a perspective view showing a connector pin according to the present invention,
18 is a plan view showing the connector body,
19 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 18,
20 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 18, showing a state in which the connector pins are coupled.

이하에서 도면을 참조하여 본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리, 커넥터 서브어셈블리 및 커넥터 핀에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a connector assembly, a connector subassembly, and a connector pin according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 8은 본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리가 장착되는 테스트 장치를 설명하기 위하여 도시한 사시도이며, 도 9는 도 8에 도시한 상부판의 사시도이며, 도 10은 도 8에 도시한 프로브 카드의 사시도이며, 도 11은 도 10의 A부를 확대 도시한 것이며, 도 12는 상부판에 구비되는 본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리를 도시한 사시도이며, 도 13은 도 12에 도시한 커넥터 어셈블리의 일부 확대 사시도이며, 도 14는 도 12에 도시한 커넥터 어셈블리의 일부 구성 분해 사시도이며, 도 15는 도 12에 도시한 커넥터 어셈블리의 일부 구성 분해 사시도이며, 도 16은 본 발명에 따르는 커넥터 서브어셈블리를 도시한 분해 사시도이며, 도 17은 본 발명에 따르는 커넥터 핀을 도시한 사시도이며, 도 18은 커넥터 본체를 도시한 평면도이며, 도 19는 도 18의 A-A선에 따른 단면도이며, 도 20은 도 18의 A-A선에 따른 단면도로서 커넥터 핀이 결합된 상태를 도시한 것이다.8 is a perspective view illustrating a test apparatus in which the connector assembly according to the present invention is mounted, FIG. 9 is a perspective view of the top plate shown in FIG. 8, and FIG. 10 is a perspective view of the probe card shown in FIG. , FIG. 11 is an enlarged view of part A of FIG. 10, FIG. 12 is a perspective view showing a connector assembly according to the present invention provided on an upper plate, and FIG. 13 is a partially enlarged perspective view of the connector assembly shown in FIG. 12, 14 is an exploded perspective view of a part of the connector assembly shown in FIG. 12, FIG. 15 is an exploded perspective view of a part of the connector assembly shown in FIG. 12, and FIG. 16 is an exploded perspective view showing a connector subassembly according to the present invention. , FIG. 17 is a perspective view showing a connector pin according to the present invention, FIG. 18 is a plan view showing a connector body, FIG. 19 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 18, and FIG. 20 is taken along line AA in FIG. It is a cross-sectional view showing a state in which the connector pins are engaged.

이하에서 설명의 편의를 위하여 도 1의 세로 방향으로 상하 방향으로 하여 설명한다.Hereinafter, for convenience of description, it will be described in the vertical direction of FIG. 1 in the vertical direction.

본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리(100)는 반도체 웨이퍼가 놓여지는 지지대와, 상기 지지대와 이격되어 설치되고 하측에 상면에 복수의 접촉단자(1207)가 구비되는 프로브 카드(1200)와 상부판(1100)이 장착되는 베이스 유닛으로 이루어지는 테스트 장치에 구비되어 작동된다. 도 8에 도시된 바와 같이 상부판(1100)과 프로브 카드(1200)는 서로 마주하여 위치한다. 상부판(1100)에는 상하 방향으로 관통되 복수의 커넥터 설치공이 원주 방향을 따라 이격되어 형성되며, 각 커넥터 설치공에 커넥터 어셈블리(100)가 삽입되어 구비된다. 프로브 카드(1200)의 상면에 복수의 접촉단자(1207)가 구비된다. 접촉단자(1207)는 상부판(1100)에 삽입되어 구비되는 커넥터 어셈블리(100)의 커넥터 핀(220)의 핀돌부(226)와 마주하여 위치하며, 상부판(1100)에 구비된 커넥터 어셈블리(100)가 하향하면 핀돌부(226)가 접촉단자(1207)에 접하게 된다.The connector assembly 100 according to the present invention includes a support on which a semiconductor wafer is placed, a probe card 1200 and a top plate 1100 that are spaced apart from the support and are provided with a plurality of contact terminals 1207 on the lower surface. It is provided and operated in a test apparatus consisting of a mounted base unit. As illustrated in FIG. 8, the top plate 1100 and the probe card 1200 are positioned facing each other. The upper plate 1100 is formed through a plurality of connector installation holes spaced apart in the circumferential direction through the vertical direction, and the connector assembly 100 is inserted into each connector installation hole. A plurality of contact terminals 1207 are provided on the upper surface of the probe card 1200. The contact terminal 1207 is located facing the pin protrusion 226 of the connector pin 220 of the connector assembly 100 provided by being inserted into the top plate 1100, and the connector assembly provided in the top plate 1100 ( When 100) is downward, the pin protrusion 226 comes into contact with the contact terminal 1207.

도 10 및 도 11에서 도면부호 1201은 프로브 카드(1200)의 카드본체부를 도시한 것이고, 1203은 카드본체부(1201)에 상향 돌출되어 구비된 제2 가이드핀을 도시한 것이다. 제2 가이드핀(1203)은 원주 방향을 따라 이격되어 복수로 구비된다. 제2 가이드핀(1203)은 상부판본체(1110)에 하향 개구되며 원주 방향을 따라 이격되어 형성된 제2 가이드핀공(도시하지 않음)에 삽입되어, 상부판(1100)과 프로브 카드(1200)가 정확한 위치에 있도록 하는 작용을 한다. 도면부호 1205는 접촉단자(1207) 배열의 내경 쪽과 외경 쪽에 이격되어 위치한 제1 가이드핀공을 도시한 것이다. 접촉단자(1207) 배열은 제2 가이드핀(1203) 사이에 구비되나, 일부만 도시한 것이다.10 and 11, reference numeral 1201 denotes a card body portion of the probe card 1200, and 1203 denotes a second guide pin protruding upward to the card body portion 1201. The second guide pins 1203 are spaced apart along the circumferential direction and provided in plural. The second guide pin 1203 is opened downward to the top plate body 1110 and inserted into a second guide pin hole (not shown) formed spaced apart in the circumferential direction, so that the top plate 1100 and the probe card 1200 are correct. It acts to keep you in position. Reference numeral 1205 denotes a first guide pin hole positioned at an inner diameter side and an outer diameter side of the contact terminal 1207 arrangement. Arrangement of the contact terminal 1207 is provided between the second guide pins 1203, but only a part is illustrated.

도 12 내지 16에 도시된 바와 같이 상부판(1100)의 커넥터 설치공에 삽입되어 구비되는 본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리(100)는 상하 방향으로 통공이 형성된 어셈블리본체(110)와, 회로패널(150)을 어셈블리본체(110)에 결합시키는 결합수단(140)과, 결합수단(140)에 의하여 상기 어셈블리본체(110)에 설치되며 통공에 삽입된 복수의 케이블에 연결된 판상의 회로패널(150)과, 커넥터본체(210)와 커넥터본체(210)에 2열로 구비되는 복수의 커넥터 핀(220)으로 이루어져 케이블의 반대쪽에서 상기 회로패널(150)에 결합되는 커넥터 서브어셈블리(200)로 이루어진다.12 to 16, the connector assembly 100 according to the present invention, which is inserted into the connector installation hole of the top plate 1100, is provided with an assembly body 110 having a through hole in the vertical direction, and a circuit panel 150 ) Is coupled to the assembly body 110, the coupling means 140 and the plate-shaped circuit panel 150 installed in the assembly body 110 by the coupling means 140 and connected to a plurality of cables inserted into the through hole. , Consisting of a connector body 210 and a plurality of connector pins 220 provided in two rows in the connector body 210, and a connector subassembly 200 coupled to the circuit panel 150 at opposite sides of the cable.

어셈블리본체(110)에 대하여 설명한다.The assembly body 110 will be described.

상기 어셈블리본체(110)는 합성 수지로 제조되며, 단면은 대략 직사각형으로 형성된다. 중심부에 케이블이 삽입되는 복수의 통공(115)이 상하 방향으로 관통 형성되며, 복수의 통공(115)의 양측으로 복수의 결합공(113)이 하향 개구되어 형성된다. 상기 결합공(113)은 2열 또는 3열을 이루어 복수로 형성되며, 결합공(113)의 각열 사이에 복수의 통공(115)이 상하 방향으로 관통 형성된다. 1개 열은 복수개의 결합공(113), 예를 들면 4개의 결합공(113)으로 이루어진다. 상기 결합공(113)에 연통된 결합핀공(117)이 측방으로 연장 형성된다. 상기 결합핀공은 한 개 열을 이루는 복수의 결합공(113)에 연통되도록 형성된다.The assembly body 110 is made of synthetic resin, and the cross section is formed in a substantially rectangular shape. The plurality of through holes 115 through which the cable is inserted into the center is formed in the vertical direction, and the plurality of coupling holes 113 are formed by opening downwards on both sides of the plurality of through holes 115. The coupling hole 113 is formed in a plurality of two rows or three rows, and a plurality of through holes 115 are formed through each row of the coupling holes 113 in the vertical direction. One column consists of a plurality of coupling holes 113, for example, four coupling holes 113. The coupling pin hole 117 communicating with the coupling hole 113 is formed to extend laterally. The coupling pin hole is formed to communicate with a plurality of coupling holes 113 forming one row.

상기 어셈블리본체(110)의 양측면에는 돌출된 제4 가이드핀(111)이 구비된다. 상기 어셈블리본체(110)에 결합수단에 의하여 판상의 회로패널(150)이 하나 이상 설치된다.
On both sides of the assembly body 110, protruding fourth guide pins 111 are provided. One or more circuit boards 150 of the plate shape are installed on the assembly body 110 by coupling means.

결합수단(140)에 대하여 설명한다.The coupling means 140 will be described.

상기 결합수단(140)은 어셈블리본체(110)의 결합공(113)에 삽입되는 제2 탄성체(147)와, 측방에 오목하게 걸림턱부(1411)가 형성되며 상기 제2 탄성체(147)를 가압하며 걸림턱부(1411)가 결합공(113) 내에 위치하도록 결합공(113)에 삽입되는 복수의 결합부재(141)와, 상기 결합핀공(117)에 삽입되어 걸림턱부(1411)에 걸리도록 구비되는 복수의 결합핀(145)으로 이루어진다. 제2 탄성체(147)는 결합부재(141)의 단부와 결합공(113)의 바닥면 사이에서 가압되어 위치한다. 결합핀공(117)에 삽입된 결합핀(145)은 측방으로 복수의 결합공(113)을 가로 지르며, 결합공(113)에 삽입된 결합부재(141)의 걸림턱부(1411)에 위치한다. 걸림턱부(1411)의 상하 방향 길이는 결합핀(145)의 두께보다 크게 형성되어 상기 결합핀공(113)은 걸림턱부(1411) 내에서 상하 방향으로 유격을 가진다. 따라서 결합부재(141)는 유격만큼의 거리로 상하 방향으로 운동 가능하다. 결합부재(141)도 2열 또는 3열을 이루게 되며, 각열에는 복수의 결합부재(141)가 구비된다. The coupling means 140 is a second elastic body 147 is inserted into the coupling hole 113 of the assembly body 110, and a locking jaw portion 1411 is formed concave on the side and presses the second elastic body 147 And a plurality of engaging members 141 inserted into the engaging hole 113 so that the engaging jaw portion 1411 is located in the engaging hole 113 and the engaging pin hole 117 is inserted into the engaging jaw portion 1411 It consists of a plurality of coupling pins (145). The second elastic body 147 is positioned to be pressed between the end of the coupling member 141 and the bottom surface of the coupling hole 113. The coupling pin 145 inserted into the coupling pin hole 117 crosses a plurality of coupling holes 113 laterally and is located on the locking jaw portion 1411 of the coupling member 141 inserted into the coupling hole 113. The length of the locking jaw portion 1411 in the vertical direction is formed to be larger than the thickness of the coupling pin 145 so that the coupling pin hole 113 has a clearance in the vertical direction within the locking jaw portion 1411. Therefore, the coupling member 141 can move in the vertical direction at a distance equal to the clearance. The coupling member 141 also has two or three rows, and each row is provided with a plurality of coupling members 141.

결합공(113) 외측에 위치하는 걸림부재(141) 부분에 판상의 회로패널(150)이 체결나사(143)에 의하여 체결되어 결합된다. 회로패널(150)은 일측은 어느 한 열을 이루는 결합부재(141)의 측방에 고정되고 타측은 이웃하는 열을 이루는 결합부재(141)의 측방에 고정된다. 1개의 걸림부재(141)의 양측으로 회로패널(150)이 결합되어 구비된다. 복수의 회로패널(150)은 나란하게 되도록 걸림부재(141)에 결합되어 구비된다.
A plate-shaped circuit panel 150 is fastened by a fastening screw 143 to a portion of the locking member 141 located outside the coupling hole 113. The circuit panel 150 is fixed to one side of the coupling member 141 forming one row and the other side is fixed to the side of the coupling member 141 forming adjacent rows. The circuit panel 150 is coupled to both sides of one locking member 141. The plurality of circuit panels 150 are coupled to the locking member 141 so as to be parallel.

커넥터 서브어셈블리(200) 및 커넥터 핀(220)에 대하여 설명한다.The connector subassembly 200 and the connector pin 220 will be described.

상기 회로패널(150)에 결합되는 커넥터 서브어셈블리(200)는 도 16 및 도 18에 도시된 바와 같이 양측으로 길이 방향을 따라 이격되어 복수의 커넥터본체부(212)가 구비되어 커넥터본체부(212) 사이에 슬릿홈(211)이 형성된 합성수지로 이루어진 커넥터 본체(210)와, 상기 슬릿홈(211)에 삽입되어 커넥터 본체(210)에 결합되는 전도성인 복수의 커넥터 핀(220)으로 이루어진다. 슬릿홈(211)은 커넥터 본체(210)의 양측에 형성되며, 상하 방향 및 측방으로 개구된다. 상기 커넥터본체부(212) 사이에는 커넥터본체부(212)를 연결하는 커넥터연결부(214)가 구비된다. 상기 슬릿홈(211)은 커넥터연결부(214)의 양측으로 커넥터본체부(212) 사이에 형성된다. The connector sub-assembly 200 coupled to the circuit panel 150 is spaced apart along the lengthwise direction on both sides as shown in FIGS. 16 and 18 to be provided with a plurality of connector body parts 212 to provide a connector body part 212 ) Is formed of a connector body 210 made of synthetic resin having a slit groove 211 formed therebetween, and a plurality of conductive connector pins 220 inserted into the slit groove 211 and coupled to the connector body 210. Slit grooves 211 are formed on both sides of the connector body 210, and are opened in the vertical direction and side. Between the connector body portion 212, a connector connection portion 214 for connecting the connector body portion 212 is provided. The slit grooves 211 are formed between the connector body portions 212 on both sides of the connector connection portion 214.

상기 커넥터연결부(214)에는 양측에 서로 배향하여 오목하게 핀삽입부(211a)가 형성된다. 상기 핀삽입부(211a)에는 커넥터 핀(220)의 제2 돌기부(223)가 삽입된다. 상기 커넥터연결부(214)에는 폭 방향으로 중심부에 위치하며 하향 개구되어 회로패널(150)이 삽입되는 회로패널삽입부(214b)가 형성된다. 상기 커넥터연결부(214)는 핀삽입부(211a)의 하부에 하향 연장된 지지돌부(214a)가 구비된다. 상기 지지돌부(214a)의 단부는 커넥터본체부(212)의 단부보다 돌출된다. The connector connection portion 214 is formed with a pin insertion portion 211a concavely oriented to each other on both sides. The second protrusion 223 of the connector pin 220 is inserted into the pin insertion portion 211a. The connector connecting portion 214 is located in the center in the width direction and is opened downward to form a circuit panel inserting portion 214b into which the circuit panel 150 is inserted. The connector connection portion 214 is provided with a support protrusion 214a extending downwardly under the pin insertion portion 211a. The end of the support protrusion 214a protrudes from the end of the connector body portion 212.

커넥터 핀(220)의 제2 돌기부(223)가 핀삽입부(211a)에 삽입되면서 슬릿홈(211)에 위치할 때, 커넥터 핀(220)의 핀 돌부(226)는 지지돌부(214a)보다 하향 돌출된다. 커넥터 핀(220)의 핀 돌부(226)가 프로브 카드(1200)의 접촉단자(1207)에 접촉하면서 변형되고 프로브 카드(1200)는 지지돌부(214a)에 접하게 되고 따라서 더 이상의 가압이 방지된다. When the second protrusion 223 of the connector pin 220 is inserted into the pin insertion portion 211a and positioned in the slit groove 211, the pin protrusion 226 of the connector pin 220 is more than the support protrusion 214a. It protrudes downward. The pin protrusion 226 of the connector pin 220 is deformed while contacting the contact terminal 1207 of the probe card 1200, and the probe card 1200 is brought into contact with the support protrusion 214a, and thus further pressing is prevented.

커넥터 핀(220)은 커넥터 본체(210)에 2열을 이루어 커넥터 본체(210)의 길이 방향으로 슬릿홈(211)에 위치하여 구비된다.The connector pin 220 is provided in the slit groove 211 in the longitudinal direction of the connector body 210 by making two rows in the connector body 210.

상기 커넥터 본체(210)의 커넥터본체부(212)의 측면에는 하나 이상의 오목부(213)가 형성되며, 슬릿홈(211)에 커넥터 핀(230)이 삽입되고 커넥터본체부(212)가 열가압되어 오목부(213)의 양측 돌출부분이 슬릿홈(211)의 측방 개구 쪽으로 변형되면서 슬릿홈(211)에 삽입된 커넥터 핀(220)의 이탈이 방지될 수 있다. 돌출부분은 오목부(213)와 슬릿홈(211) 사이에 위치하며 오목부(213)보다 상대적으로 돌출된 부분을 의미한다.One or more concave portions 213 are formed on the side surface of the connector body portion 212 of the connector body 210, the connector pin 230 is inserted into the slit groove 211, and the connector body portion 212 is heat-pressed. As the protruding portions on both sides of the concave portion 213 are deformed toward the lateral opening of the slit groove 211, the detachment of the connector pin 220 inserted into the slit groove 211 can be prevented. The protruding portion is located between the concave portion 213 and the slit groove 211 and refers to a portion that protrudes relatively more than the concave portion 213.

상기 커넥터 핀(220)은 도 17에 도시된 바와 같이 상하 방향으로 연장된 핀본체부(221)와, 상기 핀본체부(221)의 일측 단부에서 측방으로 돌출된 제1 돌기부(225)와, 상기 핀본체부(221)의 타측 단부에 구비되는 탄성변형부와, 상기 제1 돌기부(225)와 탄성변형부 사이에서 제1 돌기부(225)의 돌출 방향으로 돌출된 제2 돌기부(223)로 이루어진다. The connector pin 220, as shown in Figure 17, the pin body portion 221 extending in the vertical direction, and the first protrusion 225 protruding laterally from one end of the pin body portion 221, An elastic deformation portion provided at the other end of the pin body portion 221, and a second protrusion 223 protruding in the protruding direction of the first protrusion 225 between the first protrusion 225 and the elastic deformation portion Is done.

상기 제2 돌기부(223)는 핀본체부(221)의 길이 방향 양측에 단부로 갈수록 폭이 감소하는 안내경사부(2231)가 형성되며, 안내경사부(2231)의 단부에는 핀본체부(221)를 향하는 쪽에 턱부가 형성된다. 커넥터 핀(220)은 제2 돌기부(223)가 마주하도록 양측에서 슬릿홈(211)에 삽입되고, 제2 돌기부(223)는 중앙 격벽에 강제 삽입된다. 제2 돌기부(223)가 안내경사부(2231)를 구비함으로써 삽입이 용이해지며, 턱부가 형성됨으로써 삽입 후 이탈이 방지된다.The second protrusion 223 is formed with a guide inclined portion 2231, which decreases in width as it goes toward the end on both sides in the longitudinal direction of the pin body portion 221, and at the end of the guide inclined portion 2231, the pin body portion 221 Chin is formed on the side facing. The connector pin 220 is inserted into the slit groove 211 from both sides so that the second protrusion 223 faces, and the second protrusion 223 is forcibly inserted into the central partition wall. The second protrusion 223 is provided with a guide inclined portion 2231 to facilitate insertion, and the jaw portion is formed to prevent departure after insertion.

상기 탄성변형부는 핀본체부(221)의 단부에서 제1 돌기부(225)의 돌출 방향을 향하도록 절곡된 제1 절곡부(227)와, 상기 제1 절곡부(227)의 단부에서 핀본체부(221)의 길이 방향이고 제2 돌기부(227)로부터 멀어지는 방향으로 절곡 연장된 제2 절곡부(229)와, 상기 제2 절곡부(229)로부터 제2 돌기부(223)의 돌출 방향과 반대 방향을 향하여 제2 절곡부(229)와 예각을 이루어 연장되는 제3 절곡부(222)로 이루어진다. 따라서 가압시 제3 절곡부의 단부에 구비되는 핀돌부(226)는 제2 돌기부의 돌출 방향과 반대 방향으로 이동된다. The elastic deformation portion is a first bending portion 227 bent to face the protruding direction of the first protrusion 225 at the end of the pin body portion 221, and the pin body portion at the end of the first bending portion 227 The second bending portion 229 extending in a direction away from the second protrusion 227 in the longitudinal direction of 221 and a direction opposite to the protruding direction of the second protrusion 223 from the second bending portion 229 It is composed of a second bent portion 229 and a third bent portion 222 extending at an acute angle toward the. Therefore, the pin protrusion 226 provided at the end of the third bent portion is moved in the opposite direction to the protruding direction of the second protrusion when pressed.

상기 탄성변형부는 핀본체부(221)보다 작은 단면적을 가진다. 상기 탄성변형부는 제3 절곡부(222)의 단부에서 핀본체부(221)를 향하도록 절곡된 제4 절곡부(224)를 더 포함한다. 제4 절곡부(224)는 단부로 갈수록 제2 절곡부(222)와 가까워지도록 경사지게 연장된다. 상기 제3 절곡부(222)와 제4 절곡부(224)의 연결 부분에는 면적이 증가하는 형태를 가지며 프로브 카드의 접촉단자와 접촉되는 핀돌부(226)가 구비된다. 상기 핀돌부(226)는 핀본체부(221)의 중심선이 연장되는 선상에 위치한다. The elastic deformation portion has a smaller cross-sectional area than the pin body portion (221). The elastic deformation portion further includes a fourth bent portion 224 bent toward the pin body portion 221 at the end of the third bent portion 222. The fourth bent portion 224 extends obliquely to be closer to the second bent portion 222 toward the end. The connecting portion of the third bent portion 222 and the fourth bent portion 224 has a shape in which an area is increased and a pin protrusion portion 226 that is in contact with a contact terminal of the probe card is provided. The pin protrusion 226 is positioned on a line where the center line of the pin body portion 221 extends.

커넥터 본체(220)의 양측에 형성된 슬릿홈에 삽입된 커넥터 핀의 제1 돌기부는 서로 마주한다. 회로패널은 상기 제1 돌기부(225) 사이로 삽입되며, 양측에서 제1 돌기부(225)에 접촉한다. 회로패널에는 상기 제1 돌기부(225)와 접촉되는 접촉단자가 구비된다.The first protrusions of the connector pins inserted into the slit grooves formed on both sides of the connector body 220 face each other. The circuit panel is inserted between the first protrusions 225 and contacts the first protrusions 225 on both sides. The circuit panel is provided with a contact terminal in contact with the first protrusion 225.

안내부재(130)에 대하여 설명하다.The guide member 130 will be described.

본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리(100)는 안내부재(130)를 더 포함한다. 상기 안내부재(130)는 단면이 직사각형으로서, 상하 방향으로 관통된 커넥터 삽입부(131)가 하나 이상 형성되며, 커넥터 삽입부(131)의 측방에 위치하며 상하로 관통된 복수의 체결공(135)이 형성된다. 상기 체결공(135)은 2열 또는 3열을 이루어 형성되며, 상기 체결공(135) 열 사이에 커넥터 삽입부(131)가 형성된다. 상기 각 체결공의 상부로 돌출된 중공의 돌출중공부(133)가 구비된다. 상기 돌출중공부(133)는 결합연장부(1415)의 하부로 이격되어 위치한다. 상기 체결공(135)은 결합연장부(1415)까지 연장되어 형성된다. 상기 체결공(135)은 안내부재(130)의 하면으로부터 상향 이격된 위치에 하향하는 턱부를 형성하며 단면적이 감소한다. The connector assembly 100 according to the present invention further includes a guide member 130. The guide member 130 has a rectangular cross section, and at least one connector insertion portion 131 penetrated in the vertical direction is formed, and is located on the side of the connector insertion portion 131, and a plurality of fastening holes 135 penetrated vertically. ) Is formed. The fastening hole 135 is formed in two or three rows, and a connector insertion portion 131 is formed between the fastening hole 135 rows. A hollow protruding hollow portion 133 protruding to the top of each fastening hole is provided. The protruding hollow portion 133 is spaced apart from the lower portion of the coupling extension portion 1415. The fastening hole 135 is formed to extend to the coupling extension portion 1415. The fastening hole 135 forms a downward chin portion at a position spaced upward from the lower surface of the guide member 130 and the cross-sectional area is reduced.

체결공(135)을 통하여 체결나사(144)가 삽입되어 결합연장부(1415)에 체결되면서 안내부재(130)가 결합부재(141)에 결합되며, 상기 안내부재(130)와 결합부재(141) 사이에 일측은 돌출중공부(133)가 삽입되고 타측으로는 결합연장부(1415)가 삽입되어 양측에서 가압되는 제1 탄성체(142)가 구비된다. 상기 제1 탄성체(142)는 코일 스프링으로 하는 것이 가능하다. 상기 돌출중공부(133)의 상단과 결합연장부(1415)의 하단은 서로 이격된다. 또는 상기 돌출중공부(133)의 내경이 결합연장부(1415)의 외경보다 크게 형성되어 결합연장부(1415)의 끝단 일부가 돌출중공부(133) 내로 삽입되어 위치할 수 있다. 상기 안내부재(130)는 체결나사(144)의 머리에 걸리어 하향 분리되지 않는다. 상기 체결나사(144) 중 하나 이상은 결합연장부(1415)에 나사 체결되며 안내부재(130)의 하면으로 돌출 연장된 제1 가이드핀(149)으로 할 수 있다. 상기 제1 가이드핀(149)의 돌출 부분은 프로브 카드(1200)의 제1 가이드핀공(1205)에 삽입되어 프로브 카드와 상부판이 정렬되도록 하는 작용을 한다.As the fastening screw 144 is inserted through the fastening hole 135 and fastened to the engaging extension portion 1415, the guide member 130 is coupled to the engaging member 141, and the guiding member 130 and the engaging member 141 ) Between the protruding hollow portion 133 is inserted and the other side is coupled to the extension portion 1415 is inserted is provided with a first elastic body 142 is pressed from both sides. The first elastic body 142 may be a coil spring. The upper end of the protruding hollow portion 133 and the lower end of the engaging extension portion 1415 are separated from each other. Alternatively, the inner diameter of the protruding hollow portion 133 is formed to be larger than the outer diameter of the engaging extension portion 1415 so that a portion of the end of the engaging extension portion 1415 may be inserted into the protruding hollow portion 133 and positioned. The guide member 130 is caught on the head of the fastening screw 144 and is not separated downward. At least one of the fastening screws 144 is screwed to the coupling extension portion 1415 and may be a first guide pin 149 protruding from the lower surface of the guide member 130. The protruding portion of the first guide pin 149 is inserted into the first guide pin hole 1205 of the probe card 1200 and serves to align the probe card and the top plate.

커넥터 어셈블리(100)가 하향 가압되면 안내부재(130)가 프로브 카드(1200)의 카드본체부(1201)에 접하여 가압되면서 상향 이동되어 제1 탄성체(142)가 압축되고 커넥터 핀(220)이 접촉단자에 접하게 된다. 따라서 안내부재(130)에 의하여 커넥터 핀(220)이 보호된다.When the connector assembly 100 is pressed downward, the guide member 130 is moved upward while being pressed against the card body portion 1201 of the probe card 1200 so that the first elastic body 142 is compressed and the connector pin 220 contacts Terminal. Therefore, the connector pin 220 is protected by the guide member 130.

커넥터 서브어셈블리(200)는 커넥터 삽입부(131)에 삽입되어 위치한다. 상기 결합부재는 회로패널이 결합되는 부분을 지나 연장턱부를 형성하며 연장된 중공의 결합연장부를 가진다.
The connector subassembly 200 is inserted into the connector insertion portion 131 to be located. The coupling member passes through a portion where the circuit panel is coupled, forms an extended jaw, and has an extended hollow coupling extension.

작동부재(120)에 대하여 설명한다.The operation member 120 will be described.

본 발명에 따르는 커넥터 어셈블리(100)에는 작동부재(120)가 구비된다. 상기 작동부재(120)는 대략 'ㄷ'자 형태를 이루며, 어셈블리본체(110)가 작동부재(120)로 삽입된다. 작동부재(120)의 양측에는 상기 제4 가이드핀(111)이 삽입되는 제1 안내부(121)가 오목하게 형성된다. 상기 제1 안내부(121)는 관통된 형태로 형성될 수 있다. 상기 제1 안내부(121)는 상하 방향으로 경사지게 형성되며 어셈블리본체(110)가 작동부재(120)로 삽입되는 방향으로 길이를 가지도록 형성된다. The connector assembly 100 according to the present invention is provided with an operating member 120. The operation member 120 has a substantially'U' shape, and the assembly body 110 is inserted into the operation member 120. The first guide portion 121 into which the fourth guide pin 111 is inserted is formed concavely on both sides of the operation member 120. The first guide portion 121 may be formed in a through shape. The first guide portion 121 is formed to be inclined in the vertical direction and is formed to have a length in the direction in which the assembly body 110 is inserted into the operating member 120.

커넥터 어셈블리(100)가 상부판(1100)에 구비되고, 작동부재(120)를 반경 방향을 전, 후진 시키면 커넥터 어셈블리(100)는 상하 방향을 운동하게 된다. 도 12에서 도면부호 123은 상기 작동부재(120)에 구비되며 하향 돌출된 제3 가이드핀을 도시한 것이다. 상기 제3 가이드핀(123)이 파지되어 작동부재(120)가 반경 방향으로 이동될 수 있다.When the connector assembly 100 is provided on the top plate 1100 and the operating member 120 is moved forward and backward in the radial direction, the connector assembly 100 moves in the vertical direction. In FIG. 12, reference numeral 123 is provided on the operating member 120 and shows a third guide pin protruding downward. The third guide pin 123 is gripped so that the operation member 120 can be moved in the radial direction.

100: 커넥터 어셈블리 200: 커넥터 서브어셈블리
220: 커넥터 핀100: connector assembly 200: connector subassembly
220: connector pin

Claims

The contact terminal of the probe card is provided on the upper plate of a test apparatus consisting of a support unit on which a semiconductor wafer is placed, a probe card installed spaced apart from the support and provided with a plurality of contact terminals on the lower side and a base unit on which the upper plate is mounted. Contact with; The assembly body having a through hole formed in the vertical direction, a coupling means for coupling a circuit panel to the assembly body, a circuit panel on a plate installed on the assembly body by a coupling means and connected to a cable inserted into the through hole, a connector body and a connector body Connector assembly, characterized in that consisting of a connector sub-assembly consisting of a plurality of connector pins provided in two rows coupled to the circuit panel on the opposite side of the cable.

The connector subassembly of claim 1, further comprising a guide member coupled to the coupling means, the connector subassembly provided being coupled to the circuit panel is inserted into the connector insert and positioned therein. Connector assembly.

According to claim 1, The assembly main body is formed with a plurality of concave spaced apart from each other open downwardly, a plurality of coupling pin holes are formed through the side so as to communicate with each coupling hole; The coupling means includes a second elastic body inserted into the coupling hole, a plurality of coupling members inserted into the coupling hole such that a locking jaw portion is formed concavely on the side and presses the second elastic body and is located in the coupling hole, It is composed of a plurality of coupling pins that are inserted into the coupling pin hole to be engaged with the locking jaw portion, and the coupling pin hole has a clearance in the vertical direction within the locking jaw portion; Connector assembly, characterized in that both sides of the circuit panel is fixed to the coupling member is provided outside the coupling hole.

The method according to claim 2, wherein the assembly main body is formed with a plurality of concave holes spaced apart from each other, and a plurality of coupling pin holes are formed through the side so as to communicate with each coupling hole; The coupling means is provided with a second elastic body that is inserted into the coupling hole, a concave locking jaw portion is formed on the side, an extension jaw is formed past a portion where the circuit panel is coupled, and an extended hollow coupling extension portion is provided and the second elastic body is provided. It consists of a plurality of coupling members inserted into the coupling hole so that the locking jaw portion is located in the coupling hole while pressing, and a plurality of coupling pins inserted into the coupling pin hole to be engaged with the locking jaw portion, wherein the coupling pin hole is within the locking hole. Has a play in the vertical direction; Both sides of the circuit panel are fixed to the coupling member outside the coupling hole; The guide member is located on the side of the connector insertion portion is formed with a plurality of fastening holes penetrating up and down, and is provided with a projecting hollow portion projecting to the top of each fastening hole; As the fastening screw is inserted through the fastening hole and fastened to the engaging extension portion, the guide member is coupled to the engaging member, and between the guide member and the engaging member, a protruding hollow portion is inserted on one side and a engaging extension portion is inserted on the other side. Connector assembly characterized in that the first elastic body is provided to be pressed.

The connector assembly according to claim 4, wherein at least one of the fastening screws has a structure protruding from the head, and the end is a first guide pin protruding from a cross section of the guide member.

A connector assembly of a test apparatus consisting of a base unit on which a semiconductor wafer is placed, a probe card installed spaced apart from the support and provided with a plurality of contact terminals on the lower surface and a top plate provided with a plurality of connector assemblies are mounted. Is made to contact the contact terminal of the probe card; The connector body is made of a synthetic resin having a plurality of connector body parts spaced along the lengthwise direction on both sides and having a slit groove formed between the connector body parts, and a plurality of conductive connector pins inserted into the slit groove and coupled to the connector body. Lose;
One or more concave portions are formed on the side surface of the connector body of the connector body, and connector pins are inserted into the slit grooves, and the connector body portions are heat-pressed, so that the protruding portions on both sides of the concave portions deform toward the lateral openings of the slit grooves, and are inserted into the slit grooves. A connector sub-assembly characterized by preventing the pin from coming off.

delete

According to claim 6, The connector body portion is connected by a connector connecting portion located between the connector body portion; The connector connecting portion is formed with a pin insertion portion which is oriented toward each other and is opened to both sides to insert the connector pin, and is provided with a support protrusion 214a protruding downward from the connector body portion; A connector subassembly characterized in that the pin inserted into the pin insertion portion of the connector connection portion protrudes downward from the support protrusion 214a.

To the connector assembly of the test apparatus consisting of a base unit on which a semiconductor wafer is placed, a probe card installed spaced apart from the support and provided with a plurality of contact terminals on the lower surface and a top plate provided with a plurality of connector assemblies. Provided; Between the pin body portion extending in the vertical direction, the first projection portion protruding laterally from one end of the pin body portion, the elastic deformation portion provided at the other end of the pin body portion, and between the first projection portion and the elastic deformation portion It is composed of a second protrusion protruding in the protruding direction of the first protrusion; Connector pin, characterized in that the second projection is inserted into the connector assembly is coupled.

10. The method of claim 9, The elastic deformation portion is a first bent portion bent to face the protruding direction of the first projection, and the length of the pin body portion at the end of the first bent portion is bent so as to extend opposite to the second projection It is composed of a second bent portion and a third bent portion extending from the second bent portion in an acute angle with the second bent portion in a direction opposite to the protruding direction of the second protrusion, and when pressed, the end of the third bent portion is the second bent portion Connector pin characterized in that it is moved in the opposite direction to the protruding direction of.

11. The method of claim 10, further comprising a fourth bent portion bent toward the pin body portion at the end of the third bent portion; Connector pins, characterized in that the fourth bent portion is extended obliquely to approach the second bent portion toward the end.

12. The method of claim 11, wherein the connecting portion of the third bent portion and the fourth bent portion has a form of increasing the area and is provided with a pin protrusion that contacts the contact terminal of the probe card, the pin protrusion is a line extending the center line of the pin body portion Connector pin, characterized in that located on.