KR102118266B1 - Tem sample holding device - Google Patents
Tem sample holding device Download PDFInfo
- Publication number
- KR102118266B1 KR102118266B1 KR1020180128410A KR20180128410A KR102118266B1 KR 102118266 B1 KR102118266 B1 KR 102118266B1 KR 1020180128410 A KR1020180128410 A KR 1020180128410A KR 20180128410 A KR20180128410 A KR 20180128410A KR 102118266 B1 KR102118266 B1 KR 102118266B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- sample
- thin plate
- support
- sample holder
- upper thin
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 20
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 208000002564 X-linked cardiac valvular dysplasia Diseases 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/36—Embedding or analogous mounting of samples
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
일 실시 예에 따른 시료 지지 장치는, 복수개의 시료를 수용 가능한 시료 홀더; 및 베이스와, 상기 베이스에 대하여 상기 시료 홀더를 상하 방향으로 이격된 상태에서 지지하도록 연결부를 포함하는 지지부를 포함할 수 있고, 상기 시료 홀더는, 복수개의 시료 수용 구멍을 포함하는 상측 박판; 상기 상측 박판의 하면에 배치되어 상기 시료 수용 구멍 중 적어도 하나 이상과 오버랩되어 상기 시료 수용 구멍에 수용된 상기 시료를 하측으로부터 지지하는 시료 지지부를 포함하는 하측 박판; 및 상기 상측 박판에 대해 상기 하측 박판을 가압함으로써 상기 하측 박판을 고정하는 지지 바를 포함할 수 있다.A sample support device according to an embodiment includes a sample holder capable of accommodating a plurality of samples; And a support portion including a base and a connection portion to support the sample holder in a state spaced apart in the vertical direction with respect to the base, wherein the sample holder includes: an upper thin plate including a plurality of sample accommodating holes; A lower thin plate which is disposed on a lower surface of the upper thin plate and overlaps at least one of the sample receiving holes to support a sample received in the sample receiving hole from a lower side; And a support bar for fixing the lower thin plate by pressing the lower thin plate against the upper thin plate.
Description
아래의 설명은 TEM 시료 지지 장치에 관한 것이다.The description below relates to a TEM sample support device.
전자 현미경은 전자선과 전자 렌즈를 사용하여 시료의 미세 구조를 관찰하는 장치로서, 크게 시료를 투과한 전자빔을 스캔하는 투과 전자 현미경(Transmission Electron Microscope, TEM)과 시료에서 충돌되어 반사된 전자빔을 스캔하는 주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)으로 구분된다.An electron microscope is a device that observes the microstructure of a sample using an electron beam and an electron lens.It scans the electron beam that is collided and reflected in the sample with a transmission electron microscope (TEM) that scans the electron beam that has largely transmitted through the sample. It is classified into a scanning electron microscope (SEM).
최근 원자 단위로 시료를 더 자세하게 분석하기 위해 주사 투과 전자 현미경(Scanning Transmission Electron Microscope, STEM)이 알려져 있다.Recently, a scanning transmission electron microscope (STEM) has been known to analyze a sample in more detail in atomic units.
STEM의 이미징을 위해 얇은 TEM 시료를 지지할 수 있는 장치가 필요하지만, 검출기마다 측정 위치 또는 방향이 상이하고, 챔버 내부의 공간이 협소하다는 문제점 때문에 해당 조건을 만족하는 시료 지지 장치를 구성하는 것에 제약에 존재하였으며, 또한, 시료로부터 반사된 전자빔이 시료 지지 장치에 조사되면서 반사, 간섭 또는 굴절되어 복수개의 검출기의 이미징 품질이 저하되고, 호환성이 떨어지는 문제점이 존재하였다.STEM imaging requires a device capable of supporting a thin TEM sample, but it has limitations in constructing a sample support device that satisfies the conditions due to the problem that the measurement position or direction is different for each detector and the space inside the chamber is narrow. In addition, as the electron beam reflected from the sample is irradiated to the sample support device, there is a problem in that the imaging quality of a plurality of detectors is deteriorated due to reflection, interference, or refraction.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.The above-described background technology is possessed or acquired by the inventor during the derivation process of the present invention, and is not necessarily a known technology disclosed to the public before the filing of the present invention.
일 실시 예의 목적은 전자 현미경용 시료 지지 장치를 제공하는 것이며, 나아가 광학 현미경에서도 사용할 수 있는 시료 지지 장치를 제공하는 것이다.An object of one embodiment is to provide a sample support device for an electron microscope, and furthermore, to provide a sample support device that can also be used in an optical microscope.
일 실시 예에 따른 시료 지지 장치는, 복수개의 시료를 수용 가능한 시료 홀더; 및 베이스와, 상기 베이스에 대하여 상기 시료 홀더를 상하 방향으로 이격된 상태에서 지지하도록 연결부를 포함하는 지지부를 포함할 수 있고, 상기 시료 홀더는, 복수개의 시료 수용 구멍을 포함하는 상측 박판; 상기 상측 박판의 하면에 배치되어 상기 시료 수용 구멍 중 적어도 하나 이상과 오버랩되어 상기 시료 수용 구멍에 수용된 상기 시료를 하측으로부터 지지하는 시료 지지부를 포함하는 하측 박판; 및 상기 상측 박판에 대해 상기 하측 박판을 가압함으로써 상기 하측 박판을 고정하는 지지 바를 포함할 수 있다.A sample support device according to an embodiment includes a sample holder capable of accommodating a plurality of samples; And a support portion including a base and a connection portion to support the sample holder in a state spaced apart in the vertical direction with respect to the base, wherein the sample holder includes: an upper thin plate including a plurality of sample accommodating holes; A lower thin plate which is disposed on a lower surface of the upper thin plate and overlaps at least one of the sample receiving holes to support a sample received in the sample receiving hole from a lower side; And a support bar for fixing the lower thin plate by pressing the lower thin plate against the upper thin plate.
상기 상측 박판의 상면은 평편하고, 상기 시료 홀더는 상기 상면으로부터 상측으로 돌출되는 부분을 갖지 않을 수 있다.The upper surface of the upper thin plate is flat, and the sample holder may not have a portion protruding upward from the upper surface.
상기 상측 박판은, 하면의 가장자리 양측으로부터 하측으로 돌출 형성되는 측면부를 더 포함하고, 상기 시료 홀더는, 상기 측면부를 측면에서 관통하여 상기 지지 바를 상기 상측 박판에 고정시키는 지지 바 고정 부재를 더 포함할 수 있다.The upper thin plate further includes a side portion protruding downward from both sides of an edge of the lower surface, and the sample holder further includes a supporting bar fixing member penetrating the side portion from the side and fixing the support bar to the upper thin plate. Can be.
상기 지지 바는, 상기 상측 박판의 하면에 접촉하는 접촉부; 및 상기 접촉부로부터 함몰 형성되고, 상기 하측 박판의 하면에 접촉하는 함몰부를 포함할 수 있다.The support bar includes a contact portion in contact with a lower surface of the upper thin plate; And a recessed portion formed from the contact portion and contacting a lower surface of the lower thin plate.
상기 복수개의 시료 수용 구멍은, 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되는 단차부를 포함할 수 있고, 상기 시료 지지부는 상기 단차부 중 직경이 넓은 부분에 맞물리도록 가장자리 부분이 상측으로 돌출 형성된 돌출부를 포함할 수 있고, 상기 시료는 상기 단차부 및 돌출부 사이에 수용될 수 있다.The plurality of sample accommodating holes may include a stepped portion having a larger diameter than the upper side, and the sample support portion may include a protruding portion with an edge portion protruding upward so as to engage a larger portion of the stepped portion. The sample may be accommodated between the stepped portion and the protruding portion.
상기 하측 박판이 상기 상측 박판과 결합될 경우, 상기 복수개의 시료 지지부의 돌출부 중 적어도 2 개 이상의 시료 지지부의 돌출부는 마주보는 적어도 2 개 이상의 시료 수용 구멍의 단차부에 형합되도록 맞물릴 수 있다.When the lower thin plate is combined with the upper thin plate, at least two or more of the plurality of sample support portions may be engaged so as to be matched with step portions of at least two or more sample receiving holes facing each other.
상기 시료 지지부는 상측보다 하측의 직경이 넓어지도록 확개되는 확개부를 더 포함할 수 있다.The sample support portion may further include an expansion portion that is expanded so that the diameter of the lower side is wider than the upper side.
상기 상측 박판은, 상기 연결부의 말단에 연결되어 고정될 수 있는 체결 봉을 더 포함할 수 있고, 상기 시료 홀더는 상기 지지부로부터 탈부착 가능할 수 있다.The upper thin plate may further include a fastening rod connected to and fixed to the end of the connecting portion, and the sample holder may be detachable from the supporting portion.
일 실시 예에 따른 시료 지지 장치는 상기 시료 홀더를 수용하는 안착부를 포함하는 광학 현미경용 가이드; 및 상기 베이스 및 시료 홀더 사이에 설치되어 광의 반사를 조절하는 반사 조절 플레이트를 더 포함할 수 있다.The sample support apparatus according to an embodiment includes: a guide for an optical microscope including a seating portion accommodating the sample holder; And a reflection control plate installed between the base and the sample holder to control reflection of light.
상기 복수개의 시료 수용 구멍은 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되는 단차부를 포함할 수 있고, 상기 시료 지지부는, 상기 단차부 중 직경이 넓은 부분에 맞물리도록 가장자리 부분이 상측으로 돌출 형성된 돌출부; 및 상측보다 하측의 직경이 넓어지도록 확개되는 확개부를 더 포함할 수 있다.The plurality of sample accommodating holes may include a step portion having a diameter lower than that of the upper side, and the sample support portion may include a protrusion having an edge portion protruding upward so as to engage a wider portion of the step portion; And it may further include an expanding portion that is expanded so that the diameter of the lower side is wider than the upper side.
상기 반사 조절 플레이트는 상기 지지부 또는 상기 광학 현미경용 가이드에 대해 상하 방향으로 슬라이딩 가능할 수 있다.The reflection adjustment plate may be slidable in the vertical direction with respect to the support or the optical microscope guide.
일 실시 예의 시료 지지 장치에 의하면, 시료 홀더의 상면 부분 중, 시료 수용 구멍을 제외한 부분은 홈, 굴곡, 체결부 또는 체결 부재가 없이 평편하게 형성됨에 따라서, 시료 홀더에 충돌한 이후 반사되는 전자빔이 검출기에 감지되는 경향을 최소화시킬 수 있다.According to the sample support device of one embodiment, the portion of the upper surface of the sample holder, except for the sample accommodating hole, is formed flat without a groove, a bend, a fastening part, or a fastening member. The tendency to be detected by the detector can be minimized.
일 실시 예의 시료 지지 장치에 의하면, 시료로부터 상측 박판의 상면까지의 높이를 최소화시키기 유리한 구조를 가지게 되므로, 전자빔이 시료 상에 조사되는 과정에서의 간섭을 감소시킬 수 있고, 더불어 시료로부터 반사되는 전자빔 또는 X-ray가 검출기를 향해 비행하는 과정에서의 간섭 역시 감소시킬 수 있기 때문에, 전자 현미경의 이미지 및 분석데이터 품질을 크게 향상시킬 수 있다.According to the sample support device of one embodiment, since it has an advantageous structure to minimize the height from the sample to the upper surface of the upper thin plate, it is possible to reduce the interference in the process of the electron beam being irradiated on the sample, and also the electron beam reflected from the sample Alternatively, since the interference in the process of the X-ray flying toward the detector can also be reduced, the quality of the image and analysis data of the electron microscope can be greatly improved.
일 실시 예의 시료 지지 장치에 의하면, 얇은 하측 박판을 통해 시료를 지지할 수 있기 때문에, 하측 박판의 시료 지지부의 구멍을 통과하는 전자빔의 간섭을 감소시킬 수 있으며, 더불어, 시료 지지부는 하측으로 확개되는 형상을 가지기 때문에, 전자빔이 시료를 투과하는 과정에서의 간섭을 최소화시킬 수 있다.According to the sample support device of one embodiment, since the sample can be supported through the thin lower thin plate, the interference of the electron beam passing through the hole of the sample supporting portion of the lower thin plate can be reduced, and the sample supporting portion is extended downward. Since it has a shape, it is possible to minimize interference in the process of electron beam passing through the sample.
도 1은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 분리 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 시료 홀더의 분리 사시도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 시료 홀더의 저면 사시도이다.
도 5는 도 2의 선 I-I를 따라 절취한 시료 홀더의 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 시료 홀더의 확대 단면도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 분리 사시도이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 정면도이다.
도 9는 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a sample support device according to an embodiment.
2 is an exploded perspective view of a sample support device according to an embodiment.
3 is an exploded perspective view of a sample holder according to an embodiment.
4 is a bottom perspective view of a sample holder according to an embodiment.
5 is a cross-sectional view of the sample holder taken along line II of FIG. 2.
6 is an enlarged cross-sectional view of the sample holder shown in FIG. 5.
7 is an exploded perspective view of a sample support device according to an embodiment.
8 is a front view of a sample support device according to an embodiment.
9 is a perspective view of a sample support device according to an embodiment.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail through exemplary drawings. It should be noted that in adding reference numerals to the components of each drawing, the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing the embodiments, when it is determined that detailed descriptions of related well-known configurations or functions interfere with understanding of the embodiments, detailed descriptions thereof will be omitted.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in describing the components of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a), (b), and the like can be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component, but another component between each component It should be understood that may be "connected", "coupled" or "connected".
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.Components included in any one embodiment and components including a common function will be described using the same name in other embodiments. Unless there is an objection to the contrary, the description described in any one embodiment may be applied to other embodiments, and a detailed description will be omitted in the overlapped range.
도 1은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 분리 사시도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 시료 홀더의 분리 사시도이고, 도 4는 일 실시 예에 따른 시료 홀더의 저면 사시도이고, 도 5는 도 2의 선 I-I를 따라 절취한 시료 홀더의 단면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 시료 홀더의 확대 단면도이다.1 is a perspective view of a sample support device according to an embodiment, FIG. 2 is an exploded perspective view of a sample support device according to an embodiment, FIG. 3 is an exploded perspective view of a sample holder according to an embodiment, and FIG. 4 is a 5 is a bottom perspective view of a sample holder according to an embodiment, FIG. 5 is a cross-sectional view of the sample holder taken along line II of FIG. 2, and FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of the sample holder shown in FIG.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(1)는, 전자 현미경에서 복수개의 시료(15)를 관찰하기 위해 복수개의 시료(15)를 수용하는 장치일 수 있다.1 to 6, the
예를 들어, 전자 현미경은 투과 전자 현미경(Transmission Electron Microscope, TEM), 주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 또는 주사 투과 전자 현미경(Scanning Transmission Electron Microscope, STEM)일 수 있다.For example, the electron microscope may be a Transmission Electron Microscope (TEM), a Scanning Electron Microscope (SEM), or a Scanning Transmission Electron Microscope (STEM).
예를 들어, 시료 지지 장치(1)는 투과전자 현미경(TEM)에서 사용되는 시료(15)를 주사전자 현미경(SEM)에서도 활용할 수 있는 시료 장치일 수 있다. 시료 지지 장치(1)는 예를 들어, 시료 지지 장치(1)는 전자 현미경에 구비되는 에너지 분산형 분광기(5)(Energy Dispersive Spectrometer, EDS)를 통해 전자빔이 시료(15)가 조사되어 반응하는 X-ray를 분석하여 시료(15)의 구조 및 화학 조성을 측정하는 EDS 분석에서도 사용 가능하다.For example, the
일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(1)는, 지지부(12) 및 시료 홀더(11)를 포함할 수 있다.The
지지부(12)는 전자 현미경의 챔버 내부에 수용되어 시료 홀더(11)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 지지부(12)는 베이스(121) 및 연결부(122)를 포함할 수 있다.The
베이스(121)는 시료 지지 장치(1)가 전자 현미경에 대해서 설치 또는 고정되는 부분일 수 있다.The base 121 may be a portion where the
연결부(122)는 베이스(121)로부터 연장되고, 연장된 말단으로 시료 홀더(11)를 고정할 수 있다.The
예를 들어, 연결부(122)는 수직 연장 부재(1221), 체결 단부(1222), 체결 구멍(1223) 및 체결 나사(1224)를 포함할 수 있다.For example, the
수직 연장 부재(1221)는, 베이스(121)로부터 STEM의 전자빔의 조사 방향과 평행한 방향으로 연장된 형상을 가질 수 있다.The vertically extending
체결 단부(1222)는, 수직 연장 부재(1221)의 말단으로서 시료 홀더(11)와 결합될 수 있다. 예를 들어, 체결 단부(1222)는 체결 봉(1112)과 연결되어 결합될 수 있다. 예를 들어, 체결 단부(1222)에는 체결 봉(1112)이 삽입되어 수용될 수 있는 구멍을 구비할 수 있다.The
체결 구멍(1223)은, 체결 단부(1222)에 체결 봉(1112)이 결합되는 부분에 설치되어 체결 나사(1224)를 통해 체결 봉(1112)을 체결 단부(1222)상에 단단히 고정하기 위한 나사 체결 구멍일 수 있다.The
체결 나사(1224)는 체결 구멍(1223)에 체결될 수 있다. 예를 들어, 체결 단부(1222)에 체결 봉(1112)이 결합된 이후, 체결 구멍(1223)에 체결 나사(1224)가 체결될 경우, 체결 나사(1224)는 체결 봉(1112)을 가압함으로써 체결 봉(1112)을 체결 단부(1222)에 고정시킬 수 있다.The
시료 홀더(11)는, 복수개의 시료를 수용할 수 있고, 지지부(12)에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다.The
예를 들어, 시료 홀더(11)는 상측 박판(111), 하측 박판(112), 지지 바(113) 및 지지 바 고정 부재(114)를 포함할 수 있다. For example, the
상측 박판(111)은, 복수개의 시료(15)를 수용할 수 있는 얇은 플레이트형 부재일 수 있다. 예를 들어, 상측 박판(111)의 부분 중 상면은 평편하게 형성되어 시료 홀더(11)의 상측으로 돌출되는 부분을 가지지 않을 수 있다. 예를 들어, 상측 박판(111)은 사각 형상을 가질 수 있다.The upper
예를 들어, 상측 박판(111)은 복수개의 시료 수용 구멍(1111), 체결 봉(1112) 및 측면부(1113)를 포함할 수 있다.For example, the upper
복수개의 시료 수용 구멍(1111)은, 상측 박판(111)을 수직 방향으로 관통하도록 형성되어 그 내부에 시료(15)를 수용할 수 있다. 예를 들어, 복수개의 시료 수용 구멍(1111)은 전자 현미경의 전자 총(4)으로부터 발생하는 전자빔이 시료(15)를 투과하여 하측으로 통과하는 경로를 형성할 수 있다.The plurality of
예를 들어, 시료(15)는 원형의 박판으로 형성될 수 있고, 복수개의 시료 수용 구멍(1111) 역시 원형의 형상을 가질 수 있다.For example, the
예를 들어, 복수개의 시료 수용 구멍(1111)은, 서로 일정한 간격으로 이격되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 복수개의 시료 수용 구멍(1111)은 격자 또는 그리드 형태로 배열되어 있을 수 있다.For example, the plurality of
예를 들어, 시료 수용 구멍(1111)의 상단의 직경은 시료(15)의 직경보다 작고, 하단의 직경은 시료(15)의 직경보다 크게 형성될 수 있어서, 시료(15)는 상측 박판(111)의 하측으로부터 삽입될 수 있다.For example, the diameter of the upper end of the
예를 들어, 시료 수용 구멍(1111)은 단차부(11111)를 포함할 수 있다.For example, the
단차부(11111)는, 복수개의 시료 수용 구멍(1111)의 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되도록 상측 박판(111)의 하면으로부터 단차지도록 함몰 형성된 부분일 수 있다.The
예를 들어, 단차부(11111)에는 시료(15)가 하측으로부터 수용될 수 있고, 시료(15)는 단차부(11111)에 의해 시료 홀더(11)의 상측으로 돌출되거나 이탈되지 않을 수 있다.For example, the
예를 들어, 단차부(11111)가 형성하는 공간의 직경은 원형의 시료(15)의 직경과 동일할 수 있어서, 시료(15)는 단차부(11111)에 정확히 맞물려 형합될 수 있다.For example, the diameter of the space formed by the stepped
예를 들어, 시료(15)로부터 시료 수용 구멍(1111)의 상단까지의 높이는 단차부(11111)가 형성하는 높이보다 작을 수 있다. 예를 들어, 시료(15)로부터 시료 수용 구멍(1111)의 상단까지의 높이는 시료(15)에 충돌하여 반사되는 전자빔의 간섭되는 경향을 최소화하기 위해 가능한 낮게 설계되는 것이 유리할 수 있다.For example, the height from the
체결 봉(1112)은 연결부(122)의 말단인 체결 단부(1222)에 연결되어 고정될 수 있다. 예를 들어, 체결 봉(1112)은 체결 단부(1222) 상에 함몰 형성된 구멍에 삽입되어 형성될 수 있다.The
측면부(1113)는, 상측 박판(111) 하면의 가장자리 양측으로부터 하측으로 돌출 형성되는 부재일 수 있다. 예를 들어, 측면부(1113)는 사각 형상의 상측 박판(111)의 서로 마주보는 2개의 모서리 부분에 형성될 수 있다.The
예를 들어, 측면부(1113)는 상측 박판(111)의 하측에 결합되는 하측 박판(112)을 고정하기 위한 지지 바(113)를 고정할 수 있다. 예를 들어, 서로 마주보는 2 개의 측면부(1113) 사이에 지지 바(113)가 수직한 방향으로 배치되어 지지 바(113)의 양단이 각각 마주보는 측면부(1113)에 고정될 수 있다.For example, the
예를 들어, 측면부(1113)는 제 1 고정 구멍(11131)을 포함할 수 있다. 제 1 고정 구멍(11131)은 2 개의 측면부(1113)가 마주보는 방향으로 관통 형성된 구멍으로서, 후술할 지지 바 고정 부재(114)를 통해 측면부(1113)와 지지 바(113)를 함께 체결하기 위한 구멍일 수 있다. 지지 바 고정 부재(114) 및 상기 구멍에는 각각 서로 대응하는 나사산이 형성되어, 나선 결합될 수 있다. For example, the
상측 박판(111)에 의하면, 상측 박판(111)의 상면의 부분 중, 시료 수용 구멍(1111)을 제외한 부분은 별도의 홈, 굴곡, 체결부 또는 체결 부재가 없이 평편하게 형성됨에 따라서, 시료 홀더(11)에 충돌한 이후 반사되는 전자빔이 검출기에 감지되어 노이즈를 형성하는 것을 방지할 수 있다.According to the upper
또한, 시료(15)로부터 상측 박판(111)의 상면까지의 높이를 아주 작게 설계하기 유리한 구조를 가지게 되므로, 전자빔이 시료(15) 상에 조사되는 과정에서의 간섭을 감소시킬 수 있고, 더불어 시료(15)로부터 반사되는 전자빔 또는 X-ray가 검출기 또는 EDS(5)를 향해 비행하는 과정에서의 간섭 역시 감소시킬 수 있기 때문에, 전자 현미경의 이미지 및 분석데이터 품질을 크게 향상시킬 수 있다.In addition, since it has an advantageous structure for designing a very small height from the
하측 박판(112)은, 상측 박판(111)의 하측으로부터 결합되는 얇은 플레이트형 부재일 수 있다. 하측 박판(112)은 상측 박판(111)의 복수개의 시료 수용 구멍(1111)에 수용된 시료(15)를 하측으로부터 지지할 수 있다.The lower
예를 들어, 하측 박판(112)은 상측 박판(111)의 복수개의 시료 수용 구멍(1111) 중 일부의 구멍(1111)의 하측을 커버할 수 있다. 예를 들어, 하측 박판(112)은 일방향으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 하측 박판(112)은 사각 형상의 상측 박판(111)의 2 개의 변의 길이 방향 중 하나의 방향으로 상측 박판(111)을 가로지르도록 설치될 수 있다. 예를 들어, 하측 박판(112)은 서로 마주보는 2 개의 측면부(1113)가 마주보는 방향과 수직한 방향을 따라서 상측 박판(111)을 가로지르도록 설치될 수 있다.For example, the lower
예를 들어, 하측 박판(112)은, 격자 형태로 배열된 복수개의 시료 수용 구멍(1111) 중 하나의 열을 형성하는 시료 수용 구멍(1111)의 하측만을 커버할 수 있다. 이 경우, 하측 박판(112)은 복수개로 구성되어 상측 박판(111)에 결합될 수도 있다는 점을 밝혀둔다.For example, the lower
예를 들어, 하측 박판(112)은 복수개의 시료 지지부(1121)를 포함할 수 있다.For example, the lower
복수개의 시료 지지부(1121)는 복수개의 시료 수용 구멍(1111) 중 적어도 하나 이상과 오버랩되어 시료 수용 구멍(1111)에 수용된 시료(15)를 하측으로부터 지지하는 동시에, 시료(15)를 투과하는 전자빔의 이동 경로를 형성할 수 있다.The plurality of
예를 들어, 시료 지지부(1121)는 돌출부(1122) 및 확개부(1123)를 포함할 수 있다.For example, the
돌출부(1122)는, 시료 지지부(1121)의 가장자리 부분을 따라서 상측으로 돌출 형성될 수 있다. 돌출부(1122)는 시료 수용 구멍(1111)의 하측으로부터 삽입되어 시료(15)와 접촉함으로써 시료(15)를 고정할 수 있다. 예를 들어, 돌출부(1122)는 단차부(11111)에 정확히 맞물려 형합될 수 있다.The protruding
위의 구조에 의하면, 시료 수용 구멍(1111)의 단차부(11111)에 시료(15)가 정확히 맞물려 수용된 상태에서, 돌출부(1122)가 단차부(11111)에 정확히 맞물려 결합됨으로써, 시료(15)는 상측 및 하측 양측으로부터 가압되어 시료 홀더(11) 상에 단단히 고정될 수 있다.According to the above structure, in the state in which the
하측 박판(112)이 상측 박판(111)과 결합될 경우, 복수개의 시료 지지부(1121)의 돌출부(1122) 중 적어도 2 개 이상의 시료 지지부(1121)의 돌출부(1122)는 마주보는 적어도 2 개 이상의 시료 수용 구멍(1111)의 단차부(11111)에 맞물리도록 형성될 수 있다.When the lower
위의 구조에 의하면, 하측 박판(112)이 상측 박판(111)에 결합된 상태에서 상하 방향을 제외한 방향으로 2 개의 박판(11, 12) 상대적으로 이동하거나 회전되는 것을 방지할 수 있으므로, 시료(15)를 더 효과적으로 고정할 수 있다.According to the above structure, since the lower
확개부(1123)는, 시료 지지부(1121) 내벽의 직경이 상측에서 하측으로 갈수록 넓어지도록 확개되는 부분일 수 있다.The expanded
예를 들어, 확개부(1123)는 시료 지지부(1121)의 상측보다 하측의 직경이 넓어지도록 테이퍼, 플레어, 또는 라운드 등의 형상을 갖도록 형성될 수 있다.For example, the expanded
확개부(1123)에 의하면, 시료(15)를 투과한 전자빔이 시료 지지부(1121)의 구멍을 통과하면서, 시료 지지부(1121)의 내벽에 간섭되는 경향을 감소시킬 수 있으므로, 시료(15)를 투과하는 전자빔으로 획득되는 이미지의 품질을 향상시킬 수 있다.According to the expanded
위의 구조에 의하면, 하측 박판(112)을 얇게 형성하기 유리한 구성을 갖게 되므로, 하측 박판(112)의 시료 지지부(1121)의 구멍을 통과하는 전자빔의 간섭을 감소시킬 수 있으며, 더불어, 시료 지지부(1121)는 하측으로 확개되는 형상을 가지기 때문에, 전자빔이 시료를 투과하는 과정에서의 간섭을 최소화시킬 수 있다.According to the above structure, since it has an advantageous configuration to form the lower
지지 바(113)는, 서로 마주보도로 형성된 측면부(1113) 사이에 고정되어 상측 박판(111)에 대해 하측 박판(112)을 상측으로 가압하여 하측 박판(112)이 상측 박판(111)으로부터 이탈되거나 이격되지 않도록 고정할 수 있다.The
예를 들어, 지지 바(113)는 일 방향을 따라서 상측 박판(111)의 하면을 가르지르도록 설치되는 하측 박판(112)을 가압하여 고정할 수 있다. 예를 들어, 지지 바(113)는 하측 박판(112)의 부분 중, 시료 지지부(1121)가 형성되지 않은 부분에 접촉될 수 있다. 예를 들어, 지지 바(113)는 2개의 측면부(1113) 각각의 말단 부분 사이에 설치될 수 있다.For example, the
예를 들어, 지지 바(113)는 2 개로 구성되어 각각의 측면부(1113)의 양단 사이에 설치되어 하측 박판(112)을 2 지점에서 가압할 수 있어서, 시료(15)의 보다 확실한 고정을 보장할 수 있다.For example, the
예를 들어, 지지 바(113)는 접촉부(1131) 및 함몰부(1132)를 포함할 수 있다.For example, the
접촉부(1131)는, 지지 바(113)의 양 단부로서 상측 박판(111)의 하면에 접촉할 수 있다. 예를 들어, 접촉부(1131)는 제 2 고정 구멍(11311)을 포함할 수 있다. 제 2 고정 구멍(11311)은 지지 바(113)가 연장된 방향을 따라서 각각의 접촉부(1131)의 측면으로부터 관통 형성된 구멍일 수 있다.The contacting
함몰부(1132)는, 양측의 접촉부(1131)로부터 하측으로 함몰 형성되는 부분일 수 있다. 함몰부(1132)는 상측 박판(111)에 결합된 하측 박판(112)의 하면에 접촉할 수 있다. 함몰부(1132)는 지지 바(113)의 중앙 부근에 형성되어 하측 박판(112)의 일부를 수용할 수 있는 홈으로 이해될 수 있다. The
예를 들어, 함몰부(1132)가 접촉부(1131)로부터 하측으로 함몰된 높이는 하측 박판(112)의 두께와 동일할 수 있어서, 지지 바(113)가 상측 박판(111) 및 하측 박판(112)의 하측에 결합될 경우, 접촉부(1131) 및 함몰부(1132)는 유격없이 각각 상측 박판(111) 및 하측 박판(112)의 하면에 접촉할 수 있다.For example, the height at which the recessed
지지 바 고정 부재(114)는, 측면부(1113) 사이에 배치된 지지 바(113)를 고정시키기 위한 나사일 수 있다. 예를 들어, 지지 바(113)는 각각의 접촉부(1131)에 형성된 제 2 고정 구멍(11311)이 측면부(1113)에 형성된 제 1 고정 구멍과 오버랩되도록 배치될 수 있다.The support
이후, 지지 바 고정 부재(114)는 양측마다 일렬로 정렬된 제 1 고정 구멍(11131) 및 제 2 고정 구멍(11311)에 각각 체결됨에 따라서, 하측 박판(112)을 고정하는 지지 바(113)가 상측 박판(111)으로부터 이탈되거나 이격되지 않도록 단단히 고정될 수 있다.Subsequently, the support
도 7은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 분리 사시도이고, 도 8은 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 정면도이다.7 is an exploded perspective view of a sample support device according to an embodiment, and FIG. 8 is a front view of a sample support device according to an embodiment.
도 7 및 도 8을 참조하면, 도 1 내지 도 6에 도시된 시료 지지 장치(1)와는 다른 실시 예의 구성을 갖는 시료 지지 장치(2)를 확인할 수 있다.7 and 8, a
일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2)는, 지지부(12), 시료 홀더(11), 광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(13)를 포함할 수 있다.The
예를 들어, 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2)는 도 1 내지 도 6에 도시된 시료 지지 장치(1)에 부가적으로 광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(13)가 추가된 구성으로 이해될 수 있으므로, 중복되는 구성에 있어서 자세한 설명은 생략하기로 한다.For example, in the
광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(13)는 전술한 실시 예에 따른 시료 지지 장치(1)를 광학 현미경(Optical Microscope)에서 사용하도록 할 수 있다. 예를 들어, 상기 광학 현미경은 시료에 빛을 비추어 시료를 통과한 빛을 대물 렌즈(6)를 통해 측정하는 광학 현미경일 수 있다. 다른 예로, 대물 렌즈(6) 쪽에 구비된 광원을 통해 조사된 광이 시료에서 반사되어 형성하는 반사광을 측정하는 반사 광 현미경(reflected light microscope)일 수 있다.The
광학 현미경용 가이드(14)는 시료 홀더(11)보다 넓은 플레이트 형상을 가지며, 시료 홀더(11)를 수용할 수 있다. 광학 현미경용 가이드(14)는 시료 홀더(11)를 광학 현미경의 재물대의 안정적으로 안착될 수 있도록 넓은 접촉 면적을 제공할 수 있다. 예를 들어, 광학 현미경용 가이드(14)는 광학 현미경의 재물대 상에 구비된 고정 부재를 통해 고정될 수 있다.The
다른 예로, 광학 현미경용 가이드(14)는 그 자체로 광학 현미경의 재물대의 구성을 대체할 수 있다.As another example, the
예를 들어, 광학 현미경용 가이드(14)는 안착부(141) 및 관통 구멍(142)을 포함할 수 있다.For example, the
안착부(141)는, 시료 홀더(11)가 안착되어 수용될 수 있도록 상측으로부터 함몰 형성된 부분일 수 있다. 예를 들어, 안착부(141)가 함몰된 형상은 시료 홀더(11)의 외부 형상과 동일하게 형성될 수 있어서, 시료 홀더(11)는 안착부(141)에 유격없이 맞물려 결합될 수 있다.The
관통 구멍(142)은, 시료 홀더(11)의 체결 봉(1112)이 통과할 수 있도록 안착부(141)의 내벽으로부터 관통 형성될 수 있다. 예를 들어, 시료 홀더(11)의 체결 봉(1112)이 관통 구멍(142)으로 최대한 삽입될 경우, 시료 홀더(11)는 안착부(141)의 형상에 정확히 맞물리도록 결합되는 동시에 체결 봉(1112)의 단부는 관통 구멍(142)을 통과하여 광학 현미경용 가이드(14)의 외측으로 돌출할 수 있다.The through
위의 구조에 의하면, 시료 홀더(11)에 추가적으로 광학 현미경용 가이드(14)를 결합하여 체결 봉(1112)을 지지부(12)에 결합시킴으로써 시료 홀더(11)를 광학 현미경에서 사용 가능하게 전환할 수 있다.According to the above structure, the
반사 조절 플레이트(13)는, 베이스(121) 및 시료 홀더(11) 사이에 설치되어 시료(15)를 하측으로 투과하는 광의 반사를 조절할 수 있다.The
예를 들어, 반사 조절 플레이트(13)는 시료(15)를 투과하는 광이 다시 반사되어 대물 렌즈(6)를 통한 이미징에 주는 영향을 줄이기 위해 광의 반사를 최소화시킬 수 있다.For example, the
예를 들어, 반사 조절 플레이트(13)는 플레이트부(132), 반사 억제부(133) 및 슬라이더부(131)를 포함할 수 있다.For example, the
플레이트부(132)는, 베이스(121) 및 시료 홀더(11) 사이에서 시료 홀더(11)와 상하 방향으로 중첩되도록 배치되는 플레이트형 부재일 수 있다.The
반사 억제부(133)는, 플레이트부(132)의 상면에 구성되어 시료(15)를 투과하는 광의 반사를 억제할 수 있다. 예를 들어, 반사 억제부(133)는 반사 조절 플레이트(13)의 다른 구성 요소들 보다 반사율이 적은 물질로 형성될 수 있다.The
슬라이더부(131)는, 지지부(12)에 대해서 플레이트부(132)의 상하 방향의 위치를 조절 또는 고정할 수 있다. 예를 들어, 슬라이더부(131)는 지지부(12)의 수직 연장 부재(1221)에 연결되어 수직 연장 부재(1221)의 길이 방향으로 슬라이딩 가능하게 구성될 수 있다.The
다른 예로, 슬라이더부(131)는, 베이스(121) 및 플레이트부(132) 사이에 설치되어 베이스(121)에 대해서 플레이트부(132)를 상하 방향으로 슬라이딩 시킬 수도 있다.As another example, the
예를 들어, 슬라이더부(131)는 위치 고정부(1311)를 포함할 수 있다. 위치 고정부(1311)는 플레이트부(132)가 시료 홀더(11)에 대해 소정의 간격을 형성하도록 슬라이딩된 이후, 상기 플레이트부(132)의 위치를 고정하기 위해 수직 연장 부재(1221) 및 슬라이더부(131)의 연결 부위를 단단히 가압하여 고정하는 조임 나사 또는 죔쇠일 수 있다.For example, the
도 9는 일 실시 예에 따른 시료 지지 장치의 사시도이다.9 is a perspective view of a sample support device according to an embodiment.
도 9를 참조하면, 도 7 및 도 8에 도시된 시료 지지 장치(2)와 다른 실시 예에 따른 시료 지지 장치(3)가 도시된다.Referring to FIG. 9, the
일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(3)는 광학 현미경에 사용되는 시료를 지지할 수 있다.The
예를 들어, 시료 지지 장치(3)는, 지지부(32), 시료 홀더(11), 광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(33)를 포함할 수 있다.For example, the
예를 들어, 시료 지지 장치(3)는 도 7 및 도 8에 도시된 시료 지지 장치(2)와 달리, 지지부(32)에 광학 현미경용 가이드(14) 및 반사 조절 플레이트(33)가 직접 연결된 구성으로 이해될 수 있다.For example, the
지지부(32)는 지면 또는 광학 현미경에 대해 고정되는 베이스(321) 및 상기 베이스(321)로부터 수직한 상측 방향으로 돌출하는 연결부(322)를 포함할 수 있다.The
연결부(322)는 외주면에 나사산이 형성된 원기둥형 부재로서, 하측으로부터 반사 조절 플레이트(33)를 통과하여 광학 현미경용 가이드(14)에 연결될 수 있다.The connecting
예를 들어, 연결부(322)는 회전 가능하게 설치되어 광학 현미경용 가이드(14) 및 베이스(321) 사이에서 회전할 수 있고, 연결부(322)가 회전할 경우 반사 조절 플레이트(33)는 연결부(322)의 연장 방향, 다시 말하면 상하 방향을 따라서 이동될 수 있다.For example, the
반사 조절 플레이트(33)는 베이스(321) 및 광학 현미경용 가이드(14) 사이에 설치되어 시료를 하측으로 투과하는 광의 반사를 조절할 수 있다.The
예를 들어, 반사 조절 플레이트(33)는 광학 현미경용 가이드(14)와 평행하게 배치되는 플레이트부(332), 플레이트부(332)의 상면에 설치되는 반사 억제부(333) 및 연결부(322)에 슬라이딩 가능하게 연결되는 슬라이더부(331)를 포함할 수 있다.For example, the
슬라이더부(331)는 연결부(322)를 수용하기 위해 플레이트부(332)에 함몰 형성된 구멍일 수 있다. 예를 들어, 슬라이더부(331)는 연결부(322)의 외주면에 형성된 나사산과 맞물리도록 연결부(322)와 접촉하는 부분에 나사산이 형성되어 있을 수 있다.The
위의 구조에 의하면, 연결부(322)가 회전될 경우 플레이트부(332)가 상측 또는 하측으로 이동됨에 따라서, 결과적으로 시료 홀더(11) 및 반사 억제부(333) 사이의 거리를 조절되어 시료로부터 측정되는 이미지의 밝기 또는 콘트라스트를 조절할 수 있다.According to the above structure, when the connecting
일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2, 3)에 의하면, 반사 광 현미경으로 시료를 측정할 경우, 시료를 투과한 빛의 영향으로 이미지의 품질이 저하되는 것을 완화할 수 있다.According to the
일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2, 3)에 의하면, 시료 홀더(11)의 상측으로 돌출되는 부분이 존재하지 않기 때문에 짧은 초점거리를 갖는 대물 렌즈(6)를 사용하여도 이미징이 가능할 수 있다.According to the
일 실시 예에 따른 시료 지지 장치(2, 3)에 의하면, STEM 용 시료가 얇은 박막 형태를 가진다는 점에 기인하여 반사광에 의한 경로차를 이용하여 시료의 이미징을 가능하게 할 수 있다.According to the
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.Although the embodiments have been described by the limited drawings as described above, a person having ordinary knowledge in the art can make various modifications and variations from the above description. For example, the described techniques may be performed in a different order than the described method, and/or components such as the structure, device, etc. described may be combined or combined in a different form from the described method, or may be applied to other components or equivalents. Even if replaced or substituted by, appropriate results can be achieved.
Claims (11)
베이스와, 상기 베이스에 대하여 상기 시료 홀더를 상하 방향으로 이격된 상태에서 지지하도록 연결부를 포함하는 지지부를 포함하고,
상기 시료 홀더는,
복수개의 시료 수용 구멍과, 하면의 가장자리 양측으로부터 하측으로 돌출 형성되는 측면부를 포함하는 상측 박판;
상기 상측 박판의 하면에 배치되어 상기 시료 수용 구멍 중 적어도 하나 이상과 오버랩되어 상기 시료 수용 구멍에 수용된 상기 시료를 하측으로부터 지지하는 시료 지지부를 포함하는 하측 박판; 및
상기 상측 박판에의 상기 측면부 사이에 고정되고 상기 상측 박판의 하면에 접촉하는 접촉부와, 상기 접촉부로부터 함몰 형성되고, 상기 하측 박판의 하면에 접촉하되 상기 시료 수용 구멍에 오버랩되지 않는 함몰부를 구비하는 지지 바를 포함하고,
상기 복수개의 시료 수용 구멍은, 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되는 단차부를 포함하고,
상기 시료 지지부는 상기 단차부 중 직경이 넓은 부분에 형합되어 맞물리도록 가장자리 부분이 상측으로 돌출 형성된 돌출부와, 하측으로 갈수록 상기 시료 수용 구멍의 직경보다 큰 직경을 갖도록 확개되는 중공으로 형성되는 확개부를 포함하고,
상기 시료는 상기 단차부 및 돌출부 사이에 수용되는 시료 지지 장치.
A sample holder that can accommodate a plurality of samples; And
A base, and a support portion including a connection portion to support the sample holder in a state spaced apart in the vertical direction with respect to the base,
The sample holder,
An upper thin plate including a plurality of sample accommodating holes and side portions protruding downward from both sides of an edge of the lower surface;
A lower thin plate disposed on a lower surface of the upper thin plate and overlapping at least one of the sample receiving holes to include a sample support portion supporting the sample received in the sample receiving hole from the lower side; And
Support provided with a contact portion fixed between the side portions of the upper thin plate and contacting a lower surface of the upper thin plate, recessed from the contact portion, and contacting a lower surface of the lower thin plate, but not overlapping the sample receiving hole Including a bar,
The plurality of sample accommodating holes includes a stepped portion having a lower diameter than the upper side,
The sample support portion includes a protrusion formed with an edge portion protruding upward so as to fit into and engage with a wider portion of the stepped portion, and a hollow portion formed with a hollow portion that expands to have a larger diameter than the diameter of the sample receiving hole toward the lower side. and,
The sample is a sample support device accommodated between the step portion and the protrusion.
상기 상측 박판의 상면은 평편하고, 상기 시료 홀더는 상기 상면으로부터 상측으로 돌출되는 부분을 갖지 않는 것을 특징으로 하는 시료 지지 장치.
According to claim 1,
The upper surface of the upper thin plate is flat, and the sample holder does not have a portion protruding upward from the upper surface.
상기 시료 홀더는, 상기 측면부를 측면에서 관통하여 상기 지지 바를 상기 상측 박판에 고정시키는 지지 바 고정 부재를 더 포함하는 시료 지지 장치.
According to claim 1,
The sample holder further comprises a support bar fixing member penetrating the side part from the side surface and fixing the support bar to the upper thin plate.
상기 하측 박판이 상기 상측 박판과 결합될 경우, 상기 복수개의 시료 지지부의 돌출부 중 적어도 2 개 이상의 시료 지지부의 돌출부는 마주보는 적어도 2 개 이상의 시료 수용 구멍의 단차부에 형합되도록 맞물리는 시료 지지 장치.
According to claim 1,
When the lower thin plate is combined with the upper thin plate, at least two or more sample supporting portions of the plurality of sample supporting portions are engaged with each other so as to be fitted to a step portion of at least two or more sample receiving holes facing each other.
상기 상측 박판은,
상기 연결부의 말단에 연결되어 고정될 수 있는 체결 봉을 더 포함하고,
상기 시료 홀더는 상기 지지부로부터 탈부착 가능한 시료 지지 장치.
According to claim 1,
The upper thin plate,
Further comprising a fastening rod that can be fixed to be connected to the end of the connecting portion,
The sample holder is a sample support device detachable from the support.
상기 시료 홀더를 수용하는 안착부를 포함하는 광학 현미경용 가이드; 및
상기 베이스 및 시료 홀더 사이에 설치되어 광의 반사를 조절하는 반사 조절 플레이트를 더 포함하는 시료 지지 장치.
According to claim 1,
A guide for an optical microscope including a seating portion accommodating the sample holder; And
The sample support device further comprises a reflection adjustment plate installed between the base and the sample holder to control reflection of light.
상기 복수개의 시료 수용 구멍은 상측보다 하측의 직경이 넓게 형성되는 단차부를 포함하고,
상기 시료 지지부는,
상기 단차부 중 직경이 넓은 부분에 맞물리도록 가장자리 부분이 상측으로 돌출 형성된 돌출부; 및
상측보다 하측의 직경이 넓어지도록 확개되는 확개부를 더 포함하는 시료 지지 장치.
The method of claim 9,
The plurality of sample accommodating holes includes a step portion formed to have a diameter lower than the upper side,
The sample support,
A protrusion having an edge portion protruding upward so as to engage a wide diameter portion of the step portion; And
A sample supporting device further comprising an expanding portion that is expanded to have a lower diameter than the upper side.
상기 반사 조절 플레이트는 상기 지지부 또는 상기 광학 현미경용 가이드에 대해 상하 방향으로 슬라이딩 가능한 것을 특징으로 하는 시료 지지 장치.
The method of claim 9,
The reflection control plate is a sample support device, characterized in that it is slidable in the vertical direction with respect to the support or the optical microscope guide.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180128410A KR102118266B1 (en) | 2018-10-25 | 2018-10-25 | Tem sample holding device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180128410A KR102118266B1 (en) | 2018-10-25 | 2018-10-25 | Tem sample holding device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200046791A KR20200046791A (en) | 2020-05-07 |
KR102118266B1 true KR102118266B1 (en) | 2020-06-03 |
Family
ID=70734183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020180128410A KR102118266B1 (en) | 2018-10-25 | 2018-10-25 | Tem sample holding device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102118266B1 (en) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006052993A (en) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Nara Institute Of Science & Technology | Cassette for forming circuit and its utilization method |
JP2010186593A (en) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Shimadzu Corp | Sample holder assembly, set of a plurality of sample holders, holder height adjustment tool, and sample holder base |
JP2011113640A (en) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | Holding method of sample for analysis and sample holder for analyzer |
JP2013533469A (en) * | 2010-05-25 | 2013-08-22 | アリックス インク | Methods and apparatus for detection of particle positional freedom in biological and chemical analysis and applications in immunodiagnostics |
JP2014062888A (en) * | 2012-08-29 | 2014-04-10 | Rigaku Corp | Sample holder for x-ray analyzer, attachment for x-ray analyzer and x-ray analyzer |
JP2015023011A (en) * | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Charged particle beam device |
-
2018
- 2018-10-25 KR KR1020180128410A patent/KR102118266B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006052993A (en) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Nara Institute Of Science & Technology | Cassette for forming circuit and its utilization method |
JP2010186593A (en) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Shimadzu Corp | Sample holder assembly, set of a plurality of sample holders, holder height adjustment tool, and sample holder base |
JP2011113640A (en) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | Holding method of sample for analysis and sample holder for analyzer |
JP2013533469A (en) * | 2010-05-25 | 2013-08-22 | アリックス インク | Methods and apparatus for detection of particle positional freedom in biological and chemical analysis and applications in immunodiagnostics |
JP2014062888A (en) * | 2012-08-29 | 2014-04-10 | Rigaku Corp | Sample holder for x-ray analyzer, attachment for x-ray analyzer and x-ray analyzer |
JP2015023011A (en) * | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Charged particle beam device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20200046791A (en) | 2020-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6560812B1 (en) | Structure and method for spatially resolving measurement using wavelength dispersive X-ray spectrometer | |
KR102104067B1 (en) | X-ray scatterometry apparatus | |
JP6079863B2 (en) | Fourier transform infrared spectrophotometer | |
EP3112844B1 (en) | Infrared imaging system with automatic referencing | |
US11300530B2 (en) | Kikuchi diffraction detector | |
KR20160146913A (en) | Confocal line inspection optical system | |
JP2009002805A (en) | Small angle/wide angle x-ray measuring device | |
JPWO2004086018A1 (en) | X-ray fluorescence analyzer | |
US7330534B2 (en) | Ray beam guiding apparatus and ray inspection system having the same | |
KR102118266B1 (en) | Tem sample holding device | |
JP2014178154A (en) | Transmission type ebsd method | |
US7436934B2 (en) | Collimator with adjustable focal length | |
JP2003157790A (en) | Micro ruggedness value measurement device and scanning electron microscope | |
US20130121460A1 (en) | X-ray intensity correction method and x-ray diffractometer | |
KR20190138736A (en) | Pattern measurement method, pattern measurement tool, and computer readable medium | |
DE102011082466B3 (en) | laser spectrometer | |
JP5817360B2 (en) | Scanning transmission electron microscope observation method and scanning transmission electron microscope | |
JP7030077B2 (en) | X-ray analyzer | |
JP6863578B2 (en) | Infrared microscope | |
JP2004294168A (en) | X-ray spectroscope for micro-portion analysis | |
CN108489613A (en) | A kind of volume holographic grating type space heterodyne Raman spectroscopy instrument light channel structure | |
JP5695589B2 (en) | X-ray intensity correction method and X-ray diffraction apparatus | |
WO2008091139A1 (en) | Source scanning x-ray microscope system | |
JP5228968B2 (en) | Sample holder assembly, set of multiple sample holders, holder height adjustment jig, and sample holder base | |
JP3819376B2 (en) | X-ray apparatus and its anti-scatter cap |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |