KR102103091B1 - Gas barrier film, transfer method of gas barrier film, wavelength conversion film, retardation film with gas barrier layer, and organic EL laminate - Google Patents

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Abstract

얇고, 전사 가능하며, 또한 전사 후에도 높은 가스 배리어성을 갖는 가스 배리어 필름 및 가스 배리어 필름의 전사 방법을 제공하고, 또 이 가스 배리어 필름을 이용한 파장 변환 필름, 가스 배리어층 부착 위상차 필름 및 유기 EL 적층체를 제공한다. 가스 배리어 필름은, 기판과 기판의 한쪽 면에 마련되는, 무기층 및 무기층의 형성면이 되는 유기층의 조합을 1세트 이상 갖는 가스 배리어층과, 기판과 가스 배리어층의 사이에 마련되어, 유기층과 밀착하고, 또한 기판과 박리하기 위한 박리 수지층을 갖는다.A thin, transferable, and gas barrier film having a high gas barrier property even after transfer is provided, and a method for transferring the gas barrier film is also provided, and a wavelength conversion film, a phase difference film with a gas barrier layer, and an organic EL lamination using the gas barrier film Sieve. The gas barrier film is provided between a substrate and a gas barrier layer and a gas barrier layer having at least one set of a combination of an inorganic layer provided on one side of the substrate and the substrate and an organic layer serving as the formation surface of the inorganic layer, and the organic layer and It adheres and has a release resin layer for peeling with the substrate.

Description

가스 배리어 필름, 가스 배리어 필름의 전사 방법, 파장 변환 필름, 가스 배리어층 부착 위상차 필름, 및 유기 EL 적층체Gas barrier film, transfer method of gas barrier film, wavelength conversion film, retardation film with gas barrier layer, and organic EL laminate

본 발명은, 가스 배리어 필름 및 가스 배리어 필름의 전사 방법과, 이 가스 배리어 필름을 이용한 파장 변환 필름, 가스 배리어층 부착 위상차 필름 및 유기 EL 적층체에 관한 것이다.The present invention relates to a gas barrier film and a method for transferring the gas barrier film, a wavelength conversion film using the gas barrier film, a retardation film with a gas barrier layer, and an organic EL laminate.

최근, 유기 EL 디바이스(유기 일렉트로 루미네선스 디바이스), 태양 전지, 양자 도트 필름 등의 디바이스 혹은 디스플레이 재료, 수분 또는 산소에 의하여 변질되는 약제를 수용하는 수액 백(bag) 등의 포장 재료에 있어서, 높은 가스 배리어성이 요구된다.In recent years, in organic EL devices (organic electroluminescence devices), solar cells, devices or display materials such as quantum dot films, packaging materials such as sap bags containing chemicals deteriorated by moisture or oxygen, High gas barrier properties are required.

이로 인하여, 이들 부재에서는, 필요한 가스 배리어성을 부여하기 위하여, 가스 배리어 필름을 첩착하거나, 가스 배리어 필름으로 밀봉하거나 하고 있다.For this reason, in these members, the gas barrier film is stuck or sealed with a gas barrier film in order to provide the necessary gas barrier properties.

가스 배리어 필름을 높은 가스 배리어성이 요구되는 분야에 이용하기 위하여, 특허문헌 1에는, 가스 배리어성을 향상시키는 방법으로서, 가스 배리어층으로서 무기층을 이용하는 구성, 가스 배리어층을 다층화하는 구성, 및 유리 전이 온도 Tg가 높은 수지 필름에 가스 배리어층을 형성하는 것이 기재되어 있다.In order to use a gas barrier film in a field where high gas barrier properties are required, Patent Document 1, as a method of improving gas barrier properties, uses a gas barrier layer as an inorganic layer, a gas barrier layer as a multilayer structure, and It is described that a gas barrier layer is formed on a resin film having a high glass transition temperature Tg.

높은 가스 배리어성을 갖는 가스 배리어 필름은 다양한 전자 디바이스나 기능성 필름에 전개되어, 종래, 밀봉하는 것이 곤란했던 재료를 밀봉하는 것을 가능하게 하고 있다.Gas barrier films having high gas barrier properties have been developed in various electronic devices and functional films, making it possible to seal materials that have been difficult to seal in the past.

예를 들면, 특허문헌 2에는, LCD 등의 백라이트 유닛에 이용되는 양자 도트 필름으로서, 양자 도트층(QD 형광체 재료 필름층)을 2매의 가스 배리어 필름으로 협지함으로써 양자 도트를 보호한, 적층형의 양자 도트 필름이 기재되어 있다.For example, in Patent Document 2, as a quantum dot film used in a backlight unit such as an LCD, a quantum dot layer (QD phosphor material film layer) is sandwiched between two gas barrier films to protect quantum dots, and is of a laminated type. Quantum dot films are described.

또, 특허문헌 3에는, 가스 배리어 필름을 이용하여 유기 EL 소자를 밀봉하는 것이 기재되어 있다.In addition, Patent Document 3 describes that an organic EL element is sealed using a gas barrier film.

이와 같이 가스 배리어성이 높은 가스 배리어 필름을 이용함으로써, 디스플레이 등의 다양한 전자 디바이스의 박형화, 경량화나 플렉시블화를 행할 수 있다. 따라서, 가스 배리어 필름을 추가로 박형화할 수 있으면, 전자 디바이스의 추가적인 박형화, 경량화 등을 행할 수 있다.By using a gas barrier film having a high gas barrier property in this way, it is possible to reduce the thickness, weight, and flexibility of various electronic devices such as displays. Therefore, if the gas barrier film can be further thinned, further thinning, weight reduction, and the like of the electronic device can be performed.

특허문헌 1 등에 기재되는 바와 같이, 이와 같은 가스 배리어 필름은, 수지 필름을 기판으로서, 이 기판 상에 가스 배리어층이 형성된 구성을 갖는다. 이로 인하여, 가스 배리어 필름을 박형화하기 위해서는, 기판을 박형화하는 것을 생각할 수 있다.As described in Patent Literature 1 and the like, such a gas barrier film has a configuration in which a gas barrier layer is formed on the substrate using a resin film as a substrate. For this reason, in order to make the gas barrier film thin, it is conceivable to thin the substrate.

여기에서, 높은 가스 배리어성을 갖는 가스 배리어층은, 얇은 무기층이다. 이로 인하여, 가스 배리어층은, 미소한 좌굴(buckling)이나 접촉 등으로도 균열되기 쉽고, 균열되면 성능이 저하되어 버린다. 이로 인하여, 박형의 기판에 가스 배리어층을 적층할 때에는, 기판이 좌굴되는 것을 방지할 수 있도록 반송을 안정화시킬 필요가 있다.Here, the gas barrier layer having high gas barrier properties is a thin inorganic layer. For this reason, the gas barrier layer is liable to crack even by minute buckling or contact, and when cracked, performance deteriorates. For this reason, when laminating a gas barrier layer on a thin substrate, it is necessary to stabilize the transport so that the substrate can be prevented from buckling.

특허문헌 4에서는, 기판의 이면 측에 보호 재료를 첩착함으로써, 기판의 자기 지지성을 확보할 수 있으며, 얇은 기판을 이용한 경우여도, 기판의 좌굴을 발생시키지 않고, 적정하게 가스 배리어층을 형성할 수 있는 것이 기재되어 있다.In Patent Document 4, the self-supporting property of the substrate can be secured by attaching a protective material to the back side of the substrate, and even when a thin substrate is used, a gas barrier layer can be appropriately formed without causing buckling of the substrate. What can be described is described.

이와 같은 방법을 이용하면, 십수 μm 정도의 얇은 기판에도 가스 배리어층을 형성하는 것이 가능해진다. 그러나, 이것보다 얇아지면, 얇은 기판을 반송하면서, 이 기판에 보강용 보호 재료를 첩합시키는 것 자체가 곤란해져 버린다.By using such a method, it is possible to form a gas barrier layer on a thin substrate of about several tens of μm. However, when it becomes thinner than this, it becomes difficult to attach a protective material for reinforcement to this substrate while conveying the thin substrate.

이와 같은 가스 배리어 필름의 박형화에 따른 문제를 해결하는 방법으로서, 가스 배리어층만을 밀봉 대상물(피전사체)에 전사하는 전사 방식이 제안되고 있다.As a method of solving the problem associated with thinning of such a gas barrier film, a transfer method has been proposed in which only the gas barrier layer is transferred to a sealing object (object to be transferred).

예를 들면, 특허문헌 5에는, 기판과 가스 배리어층의 사이에 이형층을 형성하고, 가스 배리어층을 기판으로부터 박리시켜 피전사체에 전사하는 것이 기재되어 있다.For example, Patent Document 5 describes that a release layer is formed between a substrate and a gas barrier layer, and the gas barrier layer is peeled off from the substrate and transferred to the transfer body.

미국 특허공보 5654084호United States Patent Publication No. 5654084 일본 공표특허공보 2013-544018호Japanese Patent Publication No. 2013-544018 일본 공개특허공보 2014-197537호Japanese Patent Publication No. 2014-197537 일본 공개특허공보 2015-66812호Japanese Patent Application Publication No. 2015-66812 일본 공개특허공보 2007-118564호Japanese Patent Application Publication No. 2007-118564

상술과 같이, 높은 가스 배리어성을 실현하기 위하여, 가스 배리어층에 무기층을 이용하는 구성이 있다.As described above, in order to realize high gas barrier properties, there is a configuration in which an inorganic layer is used as the gas barrier layer.

여기에서, 본 발명자의 검토에 의하면, 특허문헌 5에 기재되는, 가스 배리어층을 기판으로부터 박리하여 피전사체에 전사하는 전사 방식의 가스 배리어 필름에서는, 가스 배리어층과 기판을 박리할 때에, 가스 배리어층에 전단력이 가해지기 때문에, 이 전단력에 의하여 무기층이 균열되어 버려, 전사 후의 가스 배리어층이 충분한 가스 배리어성을 발현할 수 없는 경우가 있는 것을 알 수 있었다.Here, according to the examination of the inventors, in the gas barrier film of the transfer method in which the gas barrier layer described in Patent Document 5 is peeled from the substrate and transferred to the object to be transferred, when the gas barrier layer and the substrate are peeled, the gas barrier Since a shearing force is applied to the layer, it was found that the inorganic layer is cracked by this shearing force, and the gas barrier layer after transfer may not be able to express sufficient gas barrier properties.

본 발명의 목적은, 이와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하는 것에 있으며, 얇고, 전사 가능하며, 또한 전사 후에도 높은 가스 배리어성을 갖는 가스 배리어 필름 및 가스 배리어 필름의 전사 방법을 제공하고, 또 이 가스 배리어 필름을 이용한 파장 변환 필름, 가스 배리어층 부착 위상차 필름 및 유기 EL 적층체를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to solve the problems of the prior art, and provides a gas barrier film and a gas barrier film transfer method that is thin, transferable and has a high gas barrier property even after transfer. It is to provide a wavelength conversion film using a barrier film, a retardation film with a gas barrier layer, and an organic EL laminate.

본 발명자는, 상기 과제를 달성하기 위하여 예의 연구한 결과, 기판과, 기판의 한쪽 면 측에 마련되어, 무기층과 이 무기층의 형성면인 유기층의 조합을 1세트 이상 갖는 가스 배리어층과, 기판과 가스 배리어층의 사이에 마련되어, 유기층과 밀착하고, 또한 기판과 가스 배리어층을 박리하기 위한 박리 수지층을 갖는 것에 의하여, 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 발견하여, 본 발명을 완성시켰다.As a result of earnest research in order to achieve the above object, the present inventor has provided a substrate, a gas barrier layer provided on one side of the substrate, and having at least one set of a combination of an inorganic layer and an organic layer serving as a formation surface of the inorganic layer, and a substrate It was found that the above-mentioned problems can be solved by providing a release resin layer for providing a gap between the gas barrier layer and the organic layer and adhering to the substrate and the gas barrier layer, thereby completing the present invention.

즉, 본 발명은 이하의 구성의 가스 배리어 필름 및 가스 배리어 필름의 제조 방법과, 이 가스 배리어 필름을 이용한 파장 변환 필름, 가스 배리어층 부착 위상차 필름 및 유기 EL 적층체를 제공한다.That is, the present invention provides a gas barrier film and a gas barrier film production method having the following constitution, a wavelength conversion film using the gas barrier film, a retardation film with a gas barrier layer, and an organic EL laminate.

(1) 기판과,(1) a substrate,

기판의 한쪽 면 측에 마련되어, 무기층과 이 무기층의 형성면인 유기층의 조합을 1세트 이상 갖는 가스 배리어층과,A gas barrier layer provided on one side of the substrate and having at least one set of a combination of an inorganic layer and an organic layer serving as a formation surface of the inorganic layer,

기판과 가스 배리어층의 사이에 마련되어, 유기층과 밀착하고, 또한 기판과 가스 배리어층을 박리하기 위한 박리 수지층을 갖는 가스 배리어 필름.A gas barrier film provided between the substrate and the gas barrier layer, in close contact with the organic layer, and having a release resin layer for peeling the substrate and the gas barrier layer.

(2) 박리 수지층이 유기층보다 두꺼운 (1)에 기재된 가스 배리어 필름.(2) The gas barrier film according to (1), wherein the release resin layer is thicker than the organic layer.

(3) 박리 수지층의 형성 재료가, 유리 전이 온도 Tg가 100℃ 이상인 환상 올레핀 수지인, (1) 또는 (2)에 기재된 가스 배리어 필름.(3) The gas barrier film according to (1) or (2), wherein the material for forming the release resin layer is a cyclic olefin resin having a glass transition temperature Tg of 100 ° C or higher.

(4) 박리 수지층의 형성 재료가 사이클로올레핀 코폴리머인 (3)에 기재된 가스 배리어 필름.(4) The gas barrier film according to (3), in which the material for forming the release resin layer is a cycloolefin copolymer.

(5) 박리 수지층의 두께가 0.1~25μm인 (1) 내지 (4) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름.(5) The gas barrier film according to any one of (1) to (4), wherein the release resin layer has a thickness of 0.1 to 25 μm.

(6) 무기층의 형성 재료가, 질화 규소, 산화 규소, 또는 이들의 혼합물인 (1) 내지 (5) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름.(6) The gas barrier film according to any one of (1) to (5), wherein the material for forming the inorganic layer is silicon nitride, silicon oxide, or a mixture thereof.

(7) 유기층의 형성 재료가, 자외선 경화 수지 또는 전자선 경화 수지이며, 경화 후의 유리 전이 온도 Tg가 200℃ 이상인 (1) 내지 (6) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름.(7) The gas barrier film according to any one of (1) to (6), wherein the material for forming the organic layer is an ultraviolet curable resin or an electron beam cured resin, and the glass transition temperature Tg after curing is 200 ° C or higher.

(8) 유기층의 형성 재료가, 아다만테인 골격을 갖는 1관능 이상의 아크릴레이트를 5 중량% 이상, 50 중량% 미만 포함하는 (7)에 기재된 가스 배리어 필름.(8) The gas barrier film according to (7), wherein the material for forming the organic layer contains 5% by weight or more and less than 50% by weight of at least one acrylate having an adamantane skeleton.

(9) 유기층의 형성 재료가, 플루오렌 골격을 갖는 2관능 이상의 아크릴레이트를 5 중량% 이상, 50 중량% 미만 포함하는 (7)에 기재된 가스 배리어 필름.(9) The gas barrier film according to (7), wherein the material for forming the organic layer contains 5% by weight or more and less than 50% by weight of a bifunctional or higher acrylate having a fluorene skeleton.

(10) 유기층의 두께가 0.1~5μm인 (1) 내지 (9) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름.(10) The gas barrier film according to any one of (1) to (9), wherein the thickness of the organic layer is 0.1 to 5 μm.

(11) 가스 배리어층 상에 마련된, 보호 필름 또는 유기 보호층을 더 갖는 (1) 내지 (10) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름.(11) The gas barrier film according to any one of (1) to (10), further comprising a protective film or an organic protective layer provided on the gas barrier layer.

(12) 유기 보호층이 아크릴계 점착제인 (11)에 기재된 가스 배리어 필름.(12) The gas barrier film according to (11), wherein the organic protective layer is an acrylic adhesive.

(13) 유기 보호층 상에 마련된 보호 필름을 더 갖는 (11) 또는 (12)에 기재된 가스 배리어 필름.(13) The gas barrier film according to (11) or (12), further comprising a protective film provided on the organic protective layer.

(14) 유기 보호층의 두께가 0.1~50μm인 (11) 내지 (13) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름.(14) The gas barrier film according to any one of (11) to (13), wherein the thickness of the organic protective layer is 0.1 to 50 μm.

(15) 기판이, 이형층이 부여된 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름인 (1) 내지 (14) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름.(15) The gas barrier film according to any one of (1) to (14), wherein the substrate is a polyethylene terephthalate film provided with a release layer.

(16) 기판을 제거한 구성의 수증기 투과율이, 0.01g/(m2·day) 미만인 (1) 내지 (15) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름.(16) The gas barrier film according to any one of (1) to (15), wherein the water vapor transmittance of the structure in which the substrate is removed is less than 0.01 g / (m 2 · day).

(17) 기판을 제거한 구성의 가시광 투과율이 85% 이상, 리타데이션값이 30nm 이하인 (1) 내지 (16) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름.(17) The gas barrier film according to any one of (1) to (16), wherein the visible light transmittance of the structure in which the substrate is removed is 85% or more and the retardation value is 30 nm or less.

(18) 가스 배리어층 및 박리 수지층을 구비하는 전사층을, 피전사체에 전사하는 가스 배리어 필름의 전사 방법으로서, (1) 내지 (17) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름의 기판과는 반대 측의 면을 피전사체에 첩착하고, 기판을 박리하는 가스 배리어 필름의 전사 방법.(18) As a transfer method of a gas barrier film for transferring a transfer layer comprising a gas barrier layer and a release resin layer to an object to be transferred, as opposed to the substrate of the gas barrier film described in any one of (1) to (17). The gas barrier film transfer method of sticking the side surface to the object to be transferred and peeling the substrate.

(19) 피전사체가 파장 변환 재료, 위상차 필름, 유기 EL 소자, 및 유기 EL 소자 상에 형성된 패시베이션막 중 어느 하나인 (18)에 기재된 가스 배리어 필름의 전사 방법.(19) The method for transferring the gas barrier film according to (18), wherein the object to be transferred is any one of a wavelength conversion material, a retardation film, an organic EL element, and a passivation film formed on the organic EL element.

(20) 파장 변환층과,(20) a wavelength conversion layer,

파장 변환층 상에 적층된, (1) 내지 (17) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름으로부터 기판을 제거한, 가스 배리어층 및 박리 수지층을 구비하는 전사층을 갖는 파장 변환 필름.A wavelength conversion film having a transfer layer comprising a gas barrier layer and a release resin layer, the substrate being removed from the gas barrier film according to any one of (1) to (17), laminated on the wavelength conversion layer.

(21) 위상차 필름과,(21) a retardation film,

위상차 필름 상에 적층된, (1) 내지 (17) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름으로부터 기판을 제거한, 가스 배리어층 및 박리 수지층을 구비하는 전사층을 갖는 가스 배리어층 부착 위상차 필름.A retardation film with a gas barrier layer having a transfer layer comprising a gas barrier layer and a release resin layer, the substrate being removed from the gas barrier film according to any one of (1) to (17), laminated on the retardation film.

(22) 유기 EL 소자와,(22) an organic EL element,

유기 EL 소자 상에 적층된, (1) 내지 (17) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름으로부터 기판을 제거한, 가스 배리어층 및 박리 수지층을 구비하는 전사층을 갖는 유기 EL 적층체.An organic EL laminate having a transfer layer comprising a gas barrier layer and a release resin layer, which has a substrate removed from the gas barrier film according to any one of (1) to (17), laminated on an organic EL element.

(23) 유기 EL 소자와 전사층의 사이에, 패시베이션막을 갖는 (22)에 기재된 유기 EL 적층체.(23) The organic EL laminate according to (22), having a passivation film between the organic EL element and the transfer layer.

(24) 유기 EL 소자를 지지하는 소자 기판을 더 갖고, 이 소자 기판이, (1) 내지 (17) 중 어느 하나에 기재된 가스 배리어 필름으로부터 기판을 제거한, 가스 배리어층 및 박리 수지층을 구비하는 전사층을 포함하는 (22) 또는 (23)에 기재된 유기 EL 적층체.(24) A device substrate further supporting an organic EL device, wherein the device substrate is provided with a gas barrier layer and a release resin layer from which the substrate is removed from the gas barrier film described in any one of (1) to (17). The organic EL laminate according to (22) or (23) comprising a transfer layer.

이와 같은 본 발명에 의하면, 얇고, 전사 가능하며, 또한 전사 후에도 높은 가스 배리어성을 갖는 가스 배리어 필름 및 가스 배리어 필름의 제조 방법과, 이 가스 배리어 필름을 이용한 파장 변환 필름, 가스 배리어층 부착 위상차 필름 및 유기 EL 적층체를 제공할 수 있다.According to the present invention as described above, a gas barrier film and a gas barrier film production method that is thin, transferable and has high gas barrier properties even after transfer, a wavelength conversion film using the gas barrier film, and a phase difference film with a gas barrier layer And an organic EL laminate.

도 1에 있어서, 도 1(A)는, 본 발명의 가스 배리어 필름의 일례를 개념적으로 나타내는 도이며, 도 1(B)는, 도 1(A)의 가스 배리어 필름으로부터 기판을 박리하는 상태를 개념적으로 나타내는 도이다.
도 2에 있어서, 도 2(A) 및 도 2(B)는 각각, 본 발명의 가스 배리어 필름의 다른 일례를 개념적으로 나타내는 도이다.
도 3은, 본 발명의 가스 배리어 필름의 다른 일례를 개념적으로 나타내는 도이다.
도 4에 있어서, 도 4(A)~도 4(C)는, 본 발명의 가스 배리어 필름의 전사 방법을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 본 발명의 가스 배리어층 부착 위상차 필름의 일례를 개념적으로 나타내는 도이다.
도 6은 본 발명의 파장 변환 필름의 일례를 개념적으로 나타내는 도이다.
도 7에 있어서, 도 7(A)~도 7(C)는 각각, 본 발명의 유기 EL 적층체의 일례를 개념적으로 나타내는 도이다.
도 8에 있어서, 도 8(A) 및 도 8(B)는, 본 발명의 가스 배리어 필름을 제조하는 성막 장치의 일례를 개념적으로 나타내는 도이다.
In Fig. 1, Fig. 1 (A) is a diagram conceptually showing an example of the gas barrier film of the present invention, and Fig. 1 (B) shows a state in which the substrate is peeled from the gas barrier film in Fig. 1 (A). It is a conceptual diagram.
In FIG. 2, FIGS. 2 (A) and 2 (B) are diagrams conceptually showing another example of the gas barrier film of the present invention.
3 is a diagram conceptually showing another example of the gas barrier film of the present invention.
In FIG. 4, FIGS. 4 (A) to 4 (C) are conceptual views for explaining the method for transferring the gas barrier film of the present invention.
5 is a diagram conceptually showing an example of a retardation film with a gas barrier layer according to the present invention.
6 is a diagram conceptually showing an example of the wavelength conversion film of the present invention.
In Fig. 7, Figs. 7 (A) to 7 (C) are diagrams conceptually showing an example of the organic EL laminate of the present invention.
In FIG. 8, FIGS. 8 (A) and 8 (B) are diagrams conceptually showing an example of a film forming apparatus for producing the gas barrier film of the present invention.

이하, 본 발명의 가스 배리어 필름에 대하여, 도면에 나타나는 적합한 실시형태를 근거로, 상세하게 설명한다.Hereinafter, the gas barrier film of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the drawings.

본 발명의 가스 배리어 필름은, 기판과, 기판의 한쪽 면 측에 마련되어, 무기층과 이 무기층의 형성면인 유기층의 조합을 1세트 이상 갖는 가스 배리어층과, 기판과 가스 배리어층의 사이에 마련되어, 유기층과 밀착하고, 또한 기판과 박리하기 위한 박리 수지층을 갖는 가스 배리어 필름이다. 이 가스 배리어 필름은, 기판만을 박리하고, 가스 배리어층 및 박리 수지층을 포함하는 전사층을 피전사체에 전사하여 이용되는 것이다.The gas barrier film of the present invention is provided between a substrate and a gas barrier layer provided on one side of the substrate and having at least one set of a combination of an inorganic layer and an organic layer which is the formation surface of the inorganic layer, and the substrate and the gas barrier layer. It is a gas barrier film provided, in close contact with the organic layer, and having a release resin layer for peeling from the substrate. This gas barrier film is used by peeling only the substrate and transferring the transfer layer including the gas barrier layer and the peeling resin layer to the object to be transferred.

도 1(A)에, 본 발명의 가스 배리어 필름의 일례를 개념적으로 나타낸다.1 (A) conceptually shows an example of the gas barrier film of the present invention.

도 1(A)에 나타내는 가스 배리어 필름(10a)은, 기본적으로, 기판(12)과, 기판(12)의 한쪽 면에 적층되는, 유기층(14) 및 무기층(16)을 갖는 가스 배리어층(18)과, 기판(12)과 가스 배리어층(18)의 사이에 적층되는 박리 수지층(20)을 갖고 구성된다.The gas barrier film 10a shown in FIG. 1A is basically a gas barrier layer having a substrate 12 and an organic layer 14 and an inorganic layer 16, which are stacked on one surface of the substrate 12. (18) and a release resin layer (20) laminated between the substrate (12) and the gas barrier layer (18).

또, 도 1(A)에 나타내는 바와 같이, 가스 배리어층(18)은 유기층(14)을 박리 수지층(20) 측을 향하게 하여 적층되어 있으며, 무기층(16)은 유기층(14) 상에 적층되어 있다. 즉, 박리 수지층(20)은, 기판(12)과 유기층(14)의 사이에 적층되어 있다.Further, as shown in Fig. 1 (A), the gas barrier layer 18 is stacked with the organic layer 14 facing the release resin layer 20 side, and the inorganic layer 16 is on the organic layer 14. Stacked. That is, the release resin layer 20 is laminated between the substrate 12 and the organic layer 14.

여기에서, 도 1(B)에 나타내는 바와 같이, 가스 배리어 필름(10a)에 있어서, 박리 수지층(20)은, 유기층(14)과 밀착하고, 또한 기판(12)과의 계면에서 기판(12)과 박리 가능하게 구성되어 있다. 즉, 유기층(14)과 박리 수지층(20)의 박리력(밀착력)이, 기판(12)과 박리 수지층(20)의 박리력보다 크다.Here, as shown in FIG. 1 (B), in the gas barrier film 10a, the release resin layer 20 is in close contact with the organic layer 14 and further, the substrate 12 at the interface with the substrate 12 ) And peelable. That is, the peeling force (adhesion force) between the organic layer 14 and the peeling resin layer 20 is greater than the peeling force between the substrate 12 and the peeling resin layer 20.

이로써, 가스 배리어 필름(10a)은, 기판(12)만을 박리하고, 가스 배리어층(18) 및 박리 수지층(20)을 포함하는 전사층(30)을, 밀봉 대상물인 피전사체에 전사할 수 있다.Thereby, the gas barrier film 10a peels only the substrate 12, and the transfer layer 30 including the gas barrier layer 18 and the peeling resin layer 20 can be transferred to the object to be sealed. have.

또한, 전사층(30)의 피전사체에 대한 전사는, 기본적으로, 가스 배리어 필름(10a)의 가스 배리어층(18) 측을 피전사체에 첩합한 후에, 가스 배리어 필름(10a)으로부터 기판(12)을 박리하여, 전사층(30)을 피전사체에 전사하는 것이지만, 가스 배리어 필름(10a)으로부터 기판(12)을 박리하여 전사층(30)을 취출한 후, 전사층(30)을 피전사체에 첩합해도 된다.In addition, the transfer of the transfer layer 30 to the transfer object is basically carried out by bonding the gas barrier layer 18 side of the gas barrier film 10a to the transfer object, and then from the gas barrier film 10a to the substrate 12 ) To transfer the transfer layer 30 to the transfer body, but after peeling the substrate 12 from the gas barrier film 10a to take out the transfer layer 30, the transfer layer 30 is transferred. You may stick to

상술과 같이, 보다 박형의 가스 배리어 필름으로서, 기판과 가스 배리어층의 사이에 이형층을 형성하고, 가스 배리어층을 기판으로부터 박리시켜 피전사체에 전사하는 전사 방식의 가스 배리어 필름이 제안되고 있다.As described above, as a thinner gas barrier film, a gas barrier film of a transfer method has been proposed in which a release layer is formed between the substrate and the gas barrier layer, and the gas barrier layer is peeled off the substrate and transferred to the object to be transferred.

그러나, 본 발명자의 검토에 의하면, 이와 같은 전사 방식의 가스 배리어 필름에서는, 가스 배리어층과 기판을 박리할 때에, 가스 배리어층에 전단력이 가해지기 때문에, 이 전단력에 의하여 무기층이 균열되어 버려, 전사 후의 가스 배리어층이 충분한 가스 배리어성을 발현할 수 없는 경우가 있는 것을 알 수 있었다.However, according to the examination of the present inventors, in such a gas barrier film of the transfer method, when the gas barrier layer and the substrate are peeled off, a shear force is applied to the gas barrier layer, and the inorganic layer is cracked by this shear force. It has been found that the gas barrier layer after transfer may not be able to express sufficient gas barrier properties.

이에 대하여, 본 발명에 있어서는, 가스 배리어성을 발현하는 무기층(16)의 하지(下地)로서, 유기층(14)을 갖고, 이 유기층(14)과 기판(12)의 사이에, 박리 수지층(20)을 가지며, 이 박리 수지층(20)이, 유기층(14)과 밀착하고, 또한 기판(12)과의 계면에서 기판(12)과 박리 가능하게 구성되어 있다.On the other hand, in the present invention, as the base of the inorganic layer 16 that exhibits gas barrier properties, an organic layer 14 is provided, and between the organic layer 14 and the substrate 12, a release resin layer (20), and the release resin layer 20 is configured to be in close contact with the organic layer 14 and to be peelable from the substrate 12 at the interface with the substrate 12.

박리 시에, 박리 수지층(20)과 기판(12)의 계면에서 박리함으로써, 무기층(16)과 박리면의 사이에 존재하는 박리 수지층(20)이 응력 완화층이 되어, 기판(12)을 박리할 때에 가해지는 전단력에 의하여, 무기층(16)이 균열되어 버리는 것을 방지할 수 있다.At the time of peeling, by peeling at the interface between the peeling resin layer 20 and the substrate 12, the peeling resin layer 20 existing between the inorganic layer 16 and the peeling surface becomes a stress relaxation layer, and the substrate 12 ), It is possible to prevent the inorganic layer 16 from cracking due to the shear force applied when peeling.

여기에서, 상술과 같이, 박리 수지층(20)은, 기판(12)과의 계면에서 박리하도록 박리력을 조정할 필요가 있으며, 또 응력 완화층으로서의 기능도 갖게 할 필요가 있다. 이로 인하여, 무기층(16)의 하지층으로서 적절한 것으로 하는 것이 어렵다. 특히, 높은 가스 배리어성을 갖는 무기층(16)을 얻기 위해서는, 무기층(16)의 하지가 되는 층은, 적당한 경도(硬度)를 갖고, 또 보다 높은 내열성을 가질 필요가 있다.Here, as described above, the peeling resin layer 20 needs to adjust the peeling force so as to peel at the interface with the substrate 12, and also needs to have a function as a stress relaxation layer. For this reason, it is difficult to make it suitable as a base layer of the inorganic layer 16. In particular, in order to obtain the inorganic layer 16 having high gas barrier properties, the layer serving as the base of the inorganic layer 16 needs to have a suitable hardness and have higher heat resistance.

이로 인하여, 박리 수지층(20)과 무기층(16)의 사이에 유기층(14)을 갖지 않는 구성인 경우, 즉, 박리 수지층(20) 상에 직접, 무기층(16)을 형성한 경우에는, 무기층(16)을 적정하게 형성할 수 없어, 높은 가스 배리어성을 얻을 수 없다.For this reason, in the case where the organic layer 14 is not provided between the release resin layer 20 and the inorganic layer 16, that is, when the inorganic layer 16 is directly formed on the release resin layer 20, In, the inorganic layer 16 cannot be formed appropriately, and high gas barrier properties cannot be obtained.

이에 대하여, 본 발명의 가스 배리어 필름은, 무기층(16)의 형성면으로서, 박리 수지층(20) 상에 유기층(14)을 가지므로, 적합한 하지층을 구비한다. 이로 인하여, 무기층(16)을 적정하게 형성할 수 있어, 높은 가스 배리어성을 얻을 수 있다.On the other hand, the gas barrier film of the present invention has an organic layer 14 on the release resin layer 20 as the formation surface of the inorganic layer 16, and thus a suitable base layer is provided. For this reason, the inorganic layer 16 can be appropriately formed, and high gas barrier properties can be obtained.

또, 본 발명의 가스 배리어 필름은, 또한 가스 배리어층(18)(보다 구체적으로는 무기층(16))을 보호하기 위한 보호 필름을, 가스 배리어층(18) 상에 갖고 있는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the gas barrier film of the present invention further has a protective film on the gas barrier layer 18 for protecting the gas barrier layer 18 (more specifically, the inorganic layer 16).

보호 필름을 가짐으로써, 가스 배리어 필름의 반송 시나 권취 시에, 무기층(16)이 균열되는 것을 방지할 수 있다.By having a protective film, it is possible to prevent the inorganic layer 16 from cracking during transport or winding of the gas barrier film.

또한, 가스 배리어 필름이, 보호 필름을 갖는 경우에는, 이 보호 필름을 박리하여 가스 배리어층(18)을 표출시킨 후 피전사체에 대한 전사를 행하면 된다.In addition, when the gas barrier film has a protective film, the protective film may be peeled off to expose the gas barrier layer 18 and then transferred to the object to be transferred.

또, 도 2(A)에 나타내는 가스 배리어 필름(10b)과 같이, 가스 배리어층(18)(보다 구체적으로는 무기층(16)) 상에, 가스 배리어층(18)을 보호하기 위한 유기 보호층(24)을 갖고 있는 것도 바람직하다.Moreover, like the gas barrier film 10b shown in FIG. 2 (A), the organic protection for protecting the gas barrier layer 18 on the gas barrier layer 18 (more specifically, the inorganic layer 16) It is also desirable to have a layer 24.

유기 보호층(24)을 가짐으로써, 가스 배리어 필름의 반송 시나 권취 시에, 무기층(16)이 균열되는 것을 방지할 수 있다.By having the organic protective layer 24, it is possible to prevent the inorganic layer 16 from cracking during transport or winding of the gas barrier film.

또한, 유기 보호층(24)을 갖는 경우에는, 박리 수지층(20), 가스 배리어층(18) 및 유기 보호층(24)이 전사층(30)이 되고, 유기 보호층(24)은, 박리 수지층(20) 및 가스 배리어층(18)과 함께 피전사체에 전사된다.In addition, in the case of having the organic protective layer 24, the release resin layer 20, the gas barrier layer 18 and the organic protective layer 24 become the transfer layer 30, and the organic protective layer 24, The peeling resin layer 20 and the gas barrier layer 18 are transferred to the object to be transferred.

또, 유기 보호층(24)은, 점착성을 갖는 점착층이어도 된다.Moreover, the organic protective layer 24 may be an adhesive layer having adhesiveness.

유기 보호층(24)이 점착성을 가짐으로써, 전사층(30)을 피전사체에 전사할 때에, 점착제의 도포 등을 행하지 않고, 용이하게 전사를 행할 수 있다.Since the organic protective layer 24 has tackiness, when the transfer layer 30 is transferred to an object to be transferred, transfer can be performed easily without applying an adhesive or the like.

또, 도 2(B)에 나타내는 가스 배리어 필름(10c)과 같이, 가스 배리어층(18) 상에, 유기 보호층(24)을 갖고, 또한 유기 보호층(24) 상에 보호 필름(26)을 갖고 있어도 된다.Moreover, like the gas barrier film 10c shown in FIG. 2 (B), it has the organic protective layer 24 on the gas barrier layer 18, and also the protective film 26 on the organic protective layer 24 You may have

유기 보호층(24) 및 보호 필름(26)을 가짐으로써, 가스 배리어 필름의 반송 시나 권취 시에, 무기층(16)이 균열되는 것을 방지할 수 있다.By having the organic protective layer 24 and the protective film 26, it is possible to prevent the inorganic layer 16 from cracking during transport or winding of the gas barrier film.

또, 유기 보호층(24)이 점착층인 경우에는, 보호 필름(26)을 가짐으로써, 가스 배리어 필름의 반송이나 권취를 용이하게 할 수 있으며, 또 점착층에 이물 등이 부착되거나, 점착성이 저하되거나 하는 것을 방지할 수 있다.Moreover, when the organic protective layer 24 is an adhesive layer, by having the protective film 26, conveyance and winding of a gas barrier film can be facilitated, and a foreign material etc. adheres to the adhesive layer, or adhesiveness It can be prevented from being deteriorated.

또, 도 1(A)에 나타내는 예에서는, 가스 배리어층(18)은, 1층의 유기층(14)과 1층의 무기층(16)을 갖는 구성으로 했지만, 이것에 한정은 되지 않고, 유기층 및 무기층을 각각 1층 이상 갖고 있어도 되며, 무기층(16)과, 이 무기층(16)의 하지층이 되는 유기층(14)의 조합을 2세트 이상 갖고 있어도 된다.In addition, in the example shown in FIG. 1 (A), the gas barrier layer 18 is configured to have one layer of the organic layer 14 and one layer of the inorganic layer 16, but the organic layer is not limited to this. And one or more inorganic layers, or two or more sets of the inorganic layer 16 and the organic layer 14 serving as a base layer of the inorganic layer 16.

예를 들면, 도 3에 나타내는 가스 배리어 필름(10d)은, 박리 수지층(20) 상에, 유기층(14), 무기층(16), 유기층(14), 및 무기층(16)이 이 순서로 형성된 가스 배리어층(18)을 갖는다. 즉, 가스 배리어 필름(10d)의 가스 배리어층(18)은, 유기층(14)과 무기층(16)의 조합을 2세트 갖는 구성이다.For example, in the gas barrier film 10d shown in FIG. 3, the organic layer 14, the inorganic layer 16, the organic layer 14, and the inorganic layer 16 are in this order on the release resin layer 20. It has a gas barrier layer 18 formed of. That is, the gas barrier layer 18 of the gas barrier film 10d has a configuration having two sets of a combination of the organic layer 14 and the inorganic layer 16.

이와 같이, 유기층(14)과 무기층(16)의 조합을 2세트 이상 가짐으로써, 가스 배리어성을 보다 향상시킬 수 있다.Thus, by having two or more sets of the organic layer 14 and the inorganic layer 16 in combination, the gas barrier property can be further improved.

여기에서, 본 발명의 가스 배리어 필름에 있어서, 이 가스 배리어 필름으로부터 기판(12)을 제거한 구성의 수증기 투과율은, 0.01[g/(m2·day)] 미만인 것이 바람직하고, 0.005[g/(m2·day)] 이하인 것이 보다 바람직하며, 0.001[g/(m2·day)] 이하인 것이 특히 바람직하다. 예를 들면, 이 가스 배리어 필름이 기판(12)과, 가스 배리어층(18)과, 박리 수지층(20)으로 이루어지는 경우, 가스 배리어 필름으로부터 기판(12)을 제거한 구성은, 가스 배리어층(18)과 박리 수지층(20)으로 이루어지는 전사층(30)을 의미한다. 또, 가스 배리어 필름이 기판(12)과, 가스 배리어층(18)과, 박리 수지층(20)과, 유기 보호층(24)으로 이루어지는 경우, 가스 배리어 필름으로부터 기판(12)을 제거한 구성이란, 가스 배리어층(18)과, 박리 수지층(20)과, 유기 보호층(24)으로 이루어지는 전사층(30)을 의미한다.Here, in the gas barrier film of the present invention, the water vapor transmittance of the structure in which the substrate 12 is removed from the gas barrier film is preferably less than 0.01 [g / (m 2 · day)], and 0.005 [g / ( m 2 · day)] or less, more preferably 0.001 [g / (m 2 · day)] or less. For example, when the gas barrier film is composed of a substrate 12, a gas barrier layer 18, and a release resin layer 20, the configuration in which the substrate 12 is removed from the gas barrier film is a gas barrier layer ( 18) and a transfer layer 30 made of a release resin layer 20. In addition, when the gas barrier film is composed of a substrate 12, a gas barrier layer 18, a release resin layer 20, and an organic protective layer 24, with the configuration in which the substrate 12 is removed from the gas barrier film , It means a transfer layer 30 made of a gas barrier layer 18, a release resin layer 20, and an organic protective layer 24.

본 발명의 가스 배리어 필름은, 수증기 투과율이 낮은 것이 바람직하다.It is preferable that the gas barrier film of the present invention has a low water vapor transmission rate.

본 발명의 가스 배리어 필름은, 가스 배리어성이 높은 전사층(30)이어도, 무기층(16)의 균열 등을 방지하여, 높은 가스 배리어성을 유지한 채로, 적정하게 전사할 수 있다.Even if the gas barrier film of the present invention is a transfer layer 30 having a high gas barrier property, it is possible to transfer appropriately while preventing cracks or the like of the inorganic layer 16 and maintaining a high gas barrier property.

또, 본 발명의 가스 배리어 필름에 있어서, 이 가스 배리어 필름으로부터 기판(12)을 제거한 구성의 가시광 투과율은, 85% 이상인 것이 바람직하다. 또, 전사층(30)의 리타데이션값은 30nm 이하인 것이 바람직하다.Moreover, in the gas barrier film of this invention, it is preferable that the visible light transmittance of the structure which removed the board | substrate 12 from this gas barrier film is 85% or more. Moreover, it is preferable that the retardation value of the transfer layer 30 is 30 nm or less.

전사층(30)의 가시광 투과율 및 리타데이션값을 상기 범위로 함으로써, 본 발명의 가스 배리어 필름을 전사하여, 양자 도트 필름 등의 파장 변환층이나, 유기 EL 소자 등의 광학 부재를 밀봉하는 경우, 혹은, 위상차 필름 등의 광학 필름에 가스 배리어성을 부여하는 경우에, 이들 피전사체의 광학 성능에 영향을 미치지 않고, 광학 부재의 밀봉이나 가스 배리어성의 부여를 행할 수 있다.When the visible light transmittance and retardation value of the transfer layer 30 are within the above range, the gas barrier film of the present invention is transferred to seal a wavelength conversion layer such as a quantum dot film or an optical member such as an organic EL element. Alternatively, in the case of imparting gas barrier properties to an optical film such as a retardation film, sealing of the optical member or imparting gas barrier properties can be performed without affecting the optical performance of these objects.

다음으로, 본 발명의 가스 배리어 필름의 각 구성 요소의 재료 및 구성 등에 대하여 설명한다. 이하, 가스 배리어 필름(10a~10d)을, "가스 배리어 필름(10)"이라고 총칭하는 경우가 있다.Next, the material and configuration of each component of the gas barrier film of the present invention will be described. Hereinafter, the gas barrier films 10a to 10d may be collectively referred to as the “gas barrier film 10”.

가스 배리어 필름(10)에 있어서, 기판(12)은, 각종 가스 배리어 필름이나 각종 적층형의 가스 배리어 필름에 있어서 기판(지지체)으로서 이용되고 있는, 공지의 시트 형상물이, 각종, 이용 가능하다.In the gas barrier film 10, the board | substrate 12 can use various and well-known sheet-like thing used as the board | substrate (support) in various gas barrier films and various laminated gas barrier films.

기판(12)으로서는, 구체적으로는, 저밀도 폴리에틸렌(LDPE), 고밀도 폴리에틸렌(HDPE), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리아마이드(PA), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리 염화 바이닐(PVC), 폴리바이닐알코올(PVA), 폴리아크릴로나이트릴(PAN), 폴리이미드(PI), 투명 폴리이미드, 폴리메타크릴산 메틸 수지(PMMA), 폴리카보네이트(PC), 폴리아크릴레이트, 폴리메타크릴레이트, 폴리프로필렌(PP), 폴리스타이렌(PS), ABS, 사이클로올레핀·코폴리머(COC), 사이클로올레핀 폴리머(COP), 및 트라이아세틸셀룰로스(TAC) 등의, 각종 수지 재료로 이루어지는 필름(수지 필름)이, 적합하게 예시된다.As the substrate 12, specifically, low density polyethylene (LDPE), high density polyethylene (HDPE), polyethylene naphthalate (PEN), polyamide (PA), polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), poly Vinyl alcohol (PVA), polyacrylonitrile (PAN), polyimide (PI), transparent polyimide, polymethyl methacrylate resin (PMMA), polycarbonate (PC), polyacrylate, polymethacrylate, Films (resin films) made of various resin materials, such as polypropylene (PP), polystyrene (PS), ABS, cycloolefin copolymer (COC), cycloolefin polymer (COP), and triacetyl cellulose (TAC) , Suitably illustrated.

본 발명에 있어서는, 이와 같은 필름의 표면에, 보호층, 접착층, 광반사층, 반사 방지층, 차광층, 평탄화층, 완충층, 응력 완화층, 이형층 등의, 필요한 기능을 발현하는 층(막)이 형성되어 있는 것을, 기판(12)으로서 이용해도 된다.In the present invention, on the surface of such a film, a layer (membrane) that expresses the necessary functions, such as a protective layer, an adhesive layer, a light reflection layer, an antireflection layer, a light blocking layer, a planarization layer, a buffer layer, a stress relaxation layer, a release layer, etc. You may use what is formed as the board | substrate 12.

그 중에서도, 파단 신장률이 높아 반송 시에 파단되기 어렵기 때문에 보다 얇게 할 수 있는 것, 융점이 높아 내열성이 있는 것, 박리 수지층(20)과의 계면에서의 박리를 용이하게 할 수 있는 것, 저가인 것 등의 관점에서, 기판(12)으로서는, 이형층이 형성된 PET 필름이 바람직하다. 보다 구체적으로는, PET 필름의, 박리 수지층(20)이 형성되는 면에, 이형층이 형성된 것이 바람직하다.Among them, since the elongation at break is high and it is difficult to break at the time of conveyance, it can be made thinner, has a high melting point, has heat resistance, and can easily peel at the interface with the release resin layer 20, From the viewpoint of low cost and the like, as the substrate 12, a PET film having a release layer is preferable. More specifically, it is preferable that a release layer is formed on the surface of the PET film on which the release resin layer 20 is formed.

기판(12)의 두께는, 가스 배리어 필름(10)의 용도나 형성 재료 등에 따라, 적절히 설정하면 된다.The thickness of the substrate 12 may be appropriately set depending on the use of the gas barrier film 10 and the forming material.

본 발명자들의 검토에 의하면, 기판(12)의 두께는, 5~125μm가 바람직하고, 5~100μm가 보다 바람직하며, 10~50μm가 특히 바람직하다.According to the studies of the present inventors, the thickness of the substrate 12 is preferably 5 to 125 μm, more preferably 5 to 100 μm, and particularly preferably 10 to 50 μm.

기판(12)의 두께를, 상기 범위로 함으로써, 가스 배리어 필름(10)의 기계적 강도를 충분히 확보함과 함께, 전사 시에, 박리를 용이하게 행할 수 있는 등의 점에서 바람직하다.By setting the thickness of the substrate 12 within the above range, it is preferable in that the mechanical strength of the gas barrier film 10 is sufficiently secured and peeling can be easily performed during transfer.

유기층(14)은, 유기 화합물로 이루어지는 층으로, 기본적으로, 유기층(14)이 되는 모노머나 올리고머 등을 중합(가교)한 것이다.The organic layer 14 is a layer made of an organic compound, and is basically a polymer (crosslinked) of monomers, oligomers, and the like that form the organic layer 14.

유기층(14)은, 무기층(16)의 형성면이다. 구체적으로는, 유기층(14)은 주로, 가스 배리어 필름(10)에 있어서, 가스 배리어성을 발현하는 무기층(16)을 적정하게 형성하기 위한, 하지층으로서 기능한다.The organic layer 14 is the formation surface of the inorganic layer 16. Specifically, the organic layer 14 mainly functions as a base layer for appropriately forming the inorganic layer 16 that exhibits gas barrier properties in the gas barrier film 10.

이와 같은 유기층(14)을 가짐으로써, 박리 수지층(20)(혹은 하층의 무기층(16))의 표면의 요철이나, 박리 수지층(20)(혹은 하층의 무기층(16))의 표면에 부착되어 있는 이물 등을 포매(包埋)하여, 무기층(16)을 성막하는 면을, 이 무기층(16)의 성막에 적합한 상태로 할 수 있다. 이로써, 박리 수지층(20)(혹은 하층의 무기층(16))의 표면의 요철이나, 이물의 부착에 의한 요철과 같은, 무기층(16)을 형성하는 무기 화합물이 착막하기 어려운 영역을 없애, 박리 수지층(20)(혹은 하층의 무기층(16))의 표면 전체면에, 간극없이, 적정한 무기층(16)을 성막하는 것이 가능해져, 높은 가스 배리어성을 갖는 무기층(16)을 형성할 수 있다.By having such an organic layer 14, the surface of the peeling resin layer 20 (or lower layer inorganic layer 16) and the surface of the peeling resin layer 20 (or lower layer inorganic layer 16) The surface for forming the inorganic layer 16 by embedding foreign substances or the like attached to the film can be made into a state suitable for the film formation of the inorganic layer 16. Thereby, the area | region where the inorganic compound which forms the inorganic layer 16, such as the unevenness | corrugation of the surface of the peeling resin layer 20 (or the inorganic layer 16 of the lower layer) or the unevenness | corrugation by adhesion of a foreign material, is difficult to remove is removed. , It is possible to form an appropriate inorganic layer 16 on the entire surface of the release resin layer 20 (or the lower inorganic layer 16) without a gap, and the inorganic layer 16 having high gas barrier properties Can form.

또, 유기층(14)의 유리 전이 온도 Tg는, 박리 수지층(20)의 유리 전이 온도 Tg보다 높은 것이 바람직하고, 200℃ 이상인 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the glass transition temperature Tg of the organic layer 14 is higher than the glass transition temperature Tg of the release resin layer 20, and it is preferable that it is 200 degreeC or more.

유리 전이 온도 Tg가 200℃ 이상인 높은 내열성을 갖는 유기층(14)으로 함으로써, 무기층(16)을 적정하게 성막하는 것이 가능해진다.By setting the organic layer 14 having a high heat resistance having a glass transition temperature Tg of 200 ° C or higher, it is possible to appropriately form the inorganic layer 16.

또, 유기층(14)은, 무기층(16)의 균열 등을 방지하기 위하여 적당한 유연성을 갖는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the organic layer 14 has moderate flexibility in order to prevent the inorganic layer 16 from cracking or the like.

또한, 유리 전이 온도 Tg는, JIS K 7121에 준거하여 측정하면 된다.Note that the glass transition temperature Tg may be measured in accordance with JIS K 7121.

가스 배리어 필름(10)에 있어서, 유기층(14)의 형성 재료에는, 한정은 없고, 공지의 유기 화합물이, 각종, 이용 가능하다.In the gas barrier film 10, the material for forming the organic layer 14 is not limited, and various known organic compounds can be used.

구체적으로는, 폴리에스터, (메트)아크릴 수지, 메타크릴산-말레산 공중합체, 폴리스타이렌, 투명 불소 수지, 폴리이미드, 불소화 폴리이미드, 폴리아마이드, 폴리아마이드이미드, 폴리에터이미드, 셀룰로스아실레이트, 폴리유레테인, 폴리에터에터케톤, 폴리카보네이트, 지환식 폴리올레핀, 폴리아릴레이트, 폴리에터설폰, 폴리설폰, 플루오렌환 변성 폴리카보네이트, 지환 변성 폴리카보네이트, 플루오렌환 변성 폴리에스터, 아크릴 화합물 등의 열가소성 수지; 폴리실록세인이나, 그 외의 유기 규소 화합물의 막이 적합하게 예시된다. 이들은, 복수를 병용해도 된다.Specifically, polyester, (meth) acrylic resin, methacrylic acid-maleic acid copolymer, polystyrene, transparent fluorine resin, polyimide, fluorinated polyimide, polyamide, polyamideimide, polyetherimide, cellulose acylate , Polyurethane, polyether ether ketone, polycarbonate, alicyclic polyolefin, polyarylate, polyethersulfone, polysulfone, fluorene ring modified polycarbonate, alicyclic modified polycarbonate, fluorene ring modified polyester , Thermoplastic resins such as acrylic compounds; A film of polysiloxane or other organosilicon compounds is suitably exemplified. These may use a plurality.

그 중에서도, 유리 전이 온도나 강도가 우수한 것 등의 점에서, 라디칼 경화성 화합물 및/또는 에터기를 관능기에 갖는 양이온 경화성 화합물의 중합물로 구성된 유기층(14)은, 적합하다.Among them, the organic layer 14 composed of a polymer of a radically curable compound and / or a cationically curable compound having an ether group as a functional group is suitable from the viewpoint of excellent glass transition temperature or strength.

그 중에서도 특히, 굴절률이 낮은 것, 투명성이 높고 광학 특성이 우수한 것 등의 점에서, 아크릴레이트 및/또는 메타크릴레이트의 모노머나 올리고머의 중합체를 주성분으로 하는 아크릴 수지나 메타크릴 수지는, 유기층(14)으로서 적합하게 예시된다.Among them, acrylic resins and methacrylic resins mainly composed of polymers of monomers and oligomers of acrylates and / or methacrylates are mainly composed of organic layers (in terms of low refractive index, high transparency, and excellent optical properties). 14).

그 중에서도 특히, 다이프로필렌글라이콜다이(메트)아크릴레이트(DPGDA), 트라이메틸올프로페인트라이(메트)아크릴레이트(TMPTA), 다이펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트(DPHA) 등의, 2관능 이상, 특히 3관능 이상의 아크릴레이트 및/또는 메타크릴레이트의 모노머나 올리고머 등의 중합체를 주성분으로 하는 아크릴 수지나 메타크릴 수지는, 적합하게 예시된다. 또, 이들 아크릴 수지나 메타크릴 수지를, 복수, 이용하는 것도 바람직하다.Especially, dipropylene glycol di (meth) acrylate (DPGDA), trimethylolpropane tri (meth) acrylate (TMPTA), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (DPHA), etc. Acrylic resins and methacrylic resins mainly composed of polymers such as monomers and oligomers of bifunctional or higher, especially trifunctional or higher acrylate and / or methacrylate are exemplified as appropriate. Moreover, it is also preferable to use two or more of these acrylic resins and methacrylic resins.

여기에서, 유기층(14)의 형성 재료는, 자외선 경화 수지 또는 전자선 경화 수지인 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the material for forming the organic layer 14 is an ultraviolet curing resin or an electron beam curing resin.

유기층(14)의 형성 재료로서, 자외선 경화 수지 혹은 전자선 경화 수지를 이용함으로써, 자외선 혹은 전자선의 조사량에 의하여, 박리 수지층(20)과의 박리력을 용이하게 조정할 수 있으며, 강한 박리력을 실현할 수 있다. 따라서, 가스 배리어 필름(10)을, 박리 수지층(20)과 기판(12)의 계면에서 박리하는 구성으로 할 수 있다.By using an ultraviolet curing resin or an electron beam curing resin as a material for forming the organic layer 14, the peeling force with the peeling resin layer 20 can be easily adjusted by the irradiation amount of ultraviolet rays or electron beams, and a strong peeling force can be realized. You can. Therefore, it can be set as the structure which peels the gas barrier film 10 at the interface of the peeling resin layer 20 and the board | substrate 12.

또, 유기층(14)의 형성 재료는, 아다만테인 골격을 갖는 1관능 이상의 아크릴레이트를 5 중량% 이상, 50 중량% 미만 포함하는 수지 재료, 혹은, 플루오렌 골격을 갖는 2관능 이상의 아크릴레이트를 5 중량% 이상, 50 중량% 미만 포함하는 수지 재료인 것이 바람직하다.In addition, the material for forming the organic layer 14 is a resin material containing 5% by weight or more and less than 50% by weight of a monofunctional or higher acrylate having an adamantane skeleton, or a bifunctional or higher acrylate having a fluorene skeleton. It is preferable that it is a resin material containing 5% by weight or more and less than 50% by weight.

유기층(14)의 형성 재료로서, 아다만테인 골격을 갖는 1관능 이상의 아크릴레이트, 혹은, 플루오렌 골격을 갖는 2관능 이상의 아크릴레이트를 포함하는 수지 재료를 이용함으로써, 높은 유리 전이 온도 Tg를 유지한 채로, 경화 수축 시의 수축률을 낮게 할 수 있어, 유기층(14) 상에 형성된 무기층(16)이 균열되는 것을 방지할 수 있다.As a material for forming the organic layer 14, a high glass transition temperature Tg was maintained by using a resin material containing a monofunctional or higher acrylate having an adamantane skeleton or a bifunctional or higher acrylate having a fluorene skeleton. The shrinkage rate at the time of curing shrinkage can be lowered, and the inorganic layer 16 formed on the organic layer 14 can be prevented from cracking.

이와 같은 유기층(14)은, 형성하는 유기층(14)에 따라, 유기 화합물로 이루어지는 층을 형성하는 공지의 방법으로 형성(성막)하면 된다. 일례로서, 도포법이 예시된다.The organic layer 14 may be formed (deposited) by a known method of forming a layer made of an organic compound according to the organic layer 14 to be formed. As an example, a coating method is exemplified.

유기층(14)은, 예를 들면, 유기 용제, 유기층(14)이 되는 유기 화합물(모노머, 다이머, 트라이머, 올리고머, 폴리머 등), 및 가교제를 포함하는 도포 조성물을 조제하고, 이 도포 조성물을 박리 수지층(20) 상에 도포하여 도막을 형성하며, 도막을 건조 및 경화하여 형성할 수 있다.The organic layer 14 prepares a coating composition containing, for example, an organic solvent, an organic compound (monomer, dimer, trimer, oligomer, polymer, etc.) to be the organic layer 14, and a crosslinking agent, to prepare the coating composition. It can be formed by coating on the release resin layer 20 to form a coating film, and drying and curing the coating film.

도포법으로 형성함으로써, 얇은 유기층(14)이 얻어진다.By forming by a coating method, a thin organic layer 14 is obtained.

또한, 가스 배리어 필름(10)이 복수의 유기층(14)을 갖는 경우는, 각 유기층(14)의 두께는, 동일해도 되고, 서로 달라도 된다. 또, 각 유기층(14)의 형성 재료는, 동일해도 되고 달라도 된다.In addition, when the gas barrier film 10 has a plurality of organic layers 14, the thickness of each organic layer 14 may be the same or different from each other. Moreover, the formation material of each organic layer 14 may be the same or different.

무기층(16)은, 무기 화합물로 이루어지는 층이다.The inorganic layer 16 is a layer made of an inorganic compound.

가스 배리어 필름(10)에 있어서, 목적으로 하는 가스 배리어성은, 주로 무기층(16)에 의하여 발현한다.In the gas barrier film 10, the target gas barrier property is mainly expressed by the inorganic layer 16.

무기층(16)의 형성 재료에는, 한정은 없고, 가스 배리어성을 발현하는 무기 화합물로 이루어지는 층이, 각종, 이용 가능하다.The material for forming the inorganic layer 16 is not limited, and a layer made of an inorganic compound that exhibits gas barrier properties can be used in various ways.

구체적으로는, 산화 알루미늄, 산화 마그네슘, 산화 탄탈럼, 산화 지르코늄, 산화 타이타늄, 산화 인듐 주석(ITO) 등의 금속 산화물; 질화 알루미늄 등의 금속 질화물; 탄화 알루미늄 등의 금속 탄화물; 산화 규소, 산화 질화 규소, 산탄화 규소, 산화 질화 탄화 규소 등의 규소 산화물; 질화 규소, 질화 탄화 규소 등의 규소 질화물; 탄화 규소 등의 규소 탄화물; 이들의 수소화물; 이들 2종 이상의 혼합물; 및, 이들의 수소 함유물; 등의, 무기 화합물로 이루어지는 막이, 적합하게 예시된다. 또, 이들 2종 이상의 혼합물도, 이용 가능하다.Specifically, metal oxides such as aluminum oxide, magnesium oxide, tantalum oxide, zirconium oxide, titanium oxide, and indium tin oxide (ITO); Metal nitrides such as aluminum nitride; Metal carbides such as aluminum carbide; Silicon oxides such as silicon oxide, silicon oxynitride, silicon oxycarbide, and silicon oxynitride carbide; Silicon nitride such as silicon nitride and silicon carbide; Silicon carbide such as silicon carbide; Hydrides of these; Mixtures of two or more of these; And their hydrogen content; A film made of an inorganic compound such as is preferably exemplified. Moreover, mixtures of two or more of these can also be used.

특히, 금속 산화물 및 질화물, 구체적으로는, 질화 규소, 산화 규소, 산질화 규소, 산화 알루미늄, 이들 2종 이상의 혼합물은, 투명성이 높고, 또한 우수한 가스 배리어성을 발현할 수 있는 점에서, 적합하게 이용된다. 그 중에서도 특히, 질화 규소, 산화 규소, 이들의 혼합물은, 우수한 가스 배리어성에 더하여, 투명성도 높고, 또 유연성도 높기 때문에, 보다 적합하게 이용된다.Particularly, metal oxides and nitrides, specifically, silicon nitride, silicon oxide, silicon oxynitride, aluminum oxide, and mixtures of two or more of them, are highly transparent and can exhibit excellent gas barrier properties. Is used. Among these, silicon nitride, silicon oxide, and mixtures thereof are more suitably used because of their high transparency and high flexibility in addition to excellent gas barrier properties.

이와 같은 무기층(16)의 형성은, 무기층(16)의 형성 재료 등에 따라, CCP-CVD(용량 결합형 플라즈마 화학 기상 증착법), ICP-CVD(유도 결합형 플라즈마 화학 기상 증착법), 스퍼터링, 진공 증착 등의, 공지의 기상 성막법으로 행하면 된다.The formation of such an inorganic layer 16 is dependent on the material for forming the inorganic layer 16, CCP-CVD (capacity coupled plasma chemical vapor deposition method), ICP-CVD (inductively coupled plasma chemical vapor deposition method), sputtering, It may be performed by a known vapor phase film deposition method such as vacuum deposition.

무기층(16)의 막두께는, 형성 재료에 따라, 목적으로 하는 가스 배리어성을 발현할 수 있는 두께를, 적절히 결정하면 된다. 본 발명자들의 검토에 의하면, 무기층(16)의 두께는, 10~200nm가 바람직하고, 15~100nm가 보다 바람직하며, 20~75nm가 특히 바람직하다.The film thickness of the inorganic layer 16 may be appropriately determined depending on the material to be formed, a thickness capable of expressing a desired gas barrier property. According to the studies of the inventors, the thickness of the inorganic layer 16 is preferably 10 to 200 nm, more preferably 15 to 100 nm, and particularly preferably 20 to 75 nm.

무기층(16)의 두께를 10nm 이상으로 함으로써, 충분한 가스 배리어 성능을 안정적으로 발현한다. 또, 무기층(16)은, 일반적으로 부서지기 쉬워, 너무 두꺼우면, 균열이나 금, 박리 등을 발생시킬 가능성이 있지만, 무기층(16)의 두께를 200nm 이하로 함으로써, 균열이 발생하는 것을 방지할 수 있다.When the thickness of the inorganic layer 16 is 10 nm or more, sufficient gas barrier performance is stably exhibited. In addition, the inorganic layer 16 is generally brittle, and if it is too thick, cracks, cracks, peeling, and the like may occur. However, cracks are generated when the thickness of the inorganic layer 16 is 200 nm or less. Can be prevented.

또한, 가스 배리어 필름(10)이 복수의 무기층(16)을 갖는 경우에는, 각 무기층(16)의 두께는, 동일해도 되고 달라도 된다. 또, 각 무기층(16)의 형성 재료는, 동일해도 되고 달라도 된다.In addition, when the gas barrier film 10 has a plurality of inorganic layers 16, the thickness of each inorganic layer 16 may be the same or different. Moreover, the formation material of each inorganic layer 16 may be same or different.

가스 배리어 필름(10)에 있어서, 기판(12)과 유기층(14)의 사이에는, 박리 수지층(20)을 갖는다.In the gas barrier film 10, the release resin layer 20 is provided between the substrate 12 and the organic layer 14.

상술과 같이, 박리 수지층(20)은, 유기층(14)과 밀착하고, 또한 기판(12)과의 계면에서 이 기판(12)과 박리 가능한 수지층이다. 박리 수지층(20)은, 기판(12)과 가스 배리어층(18)을 박리한다. 박리 수지층(20)은, 기판(12)의 박리 시에 무기층(16)에 전단력이 가해지는 것을 억제하는 응력 완화층으로서도 기능하는 층이다. 또, 기판(12)의 박리 후에는, 박리 수지층(20)이, 지지체로서도 기능한다.As described above, the release resin layer 20 is a resin layer that is in close contact with the organic layer 14 and can be peeled from the substrate 12 at the interface with the substrate 12. The release resin layer 20 separates the substrate 12 and the gas barrier layer 18. The release resin layer 20 is a layer that also functions as a stress relaxation layer that suppresses the application of shear force to the inorganic layer 16 when the substrate 12 is peeled off. Moreover, after peeling of the board | substrate 12, the peeling resin layer 20 also functions as a support body.

박리 수지층(20)은, 함수성이 낮고, 내열성이 높은 것이 바람직하다.It is preferable that the peeling resin layer 20 has low water content and high heat resistance.

상술과 같이, 높은 가스 배리어성을 발현하는 무기층(16)은, 플라즈마 CVD 등의 진공 성막에 의하여 형성된다. 박리 수지층(20)의 함수성이 높으면, 진공화를 행해도, 수분을 방출하기 때문에, 진공도를 높게 할 수 없고, 무기층(16)을 형성할 수 없을 우려가 있다. 또, 무기층(16)을 형성한 경우여도, 수분의 흡수 및 방출에 의하여 박리 수지층(20)이 신축하면, 무기층(16)이 균열되어 버려, 높은 가스 배리어성을 얻을 수 없을 우려가 있다. 따라서, 박리 수지층(20)은, 함수성이 낮은 것이 바람직하다. 또, 플라즈마 CVD 등에 의하여 무기층(16)을 형성하기 위하여 내열성이 높은 것이 바람직하다.As described above, the inorganic layer 16 that exhibits high gas barrier properties is formed by vacuum deposition such as plasma CVD. If the water-repellent resin layer 20 has a high water content, even if vacuuming is performed, since moisture is released, the degree of vacuum cannot be increased, and there is a fear that the inorganic layer 16 cannot be formed. Further, even when the inorganic layer 16 is formed, when the release resin layer 20 expands and contracts due to absorption and release of moisture, there is a fear that the inorganic layer 16 may crack, and thus a high gas barrier property cannot be obtained. have. Therefore, it is preferable that the release resin layer 20 has a low water content. Further, it is preferable that the heat resistance is high in order to form the inorganic layer 16 by plasma CVD or the like.

기판(12) 및 유기층(14)과의 밀착성, 함수성 및 내열성 등의 관점에서, 박리 수지층(20)의 형성 재료로서는, 사이클로올레핀 코폴리머(COC), 사이클로올레핀 폴리머(COP) 등의 유리 전이 온도 Tg가 100℃ 이상인 환상 올레핀 수지인 것이 바람직하다.From the viewpoints of adhesion, moisture, and heat resistance to the substrate 12 and the organic layer 14, examples of the material for forming the release resin layer 20 include glass such as cycloolefin copolymer (COC) and cycloolefin polymer (COP). It is preferable that the transition temperature Tg is a cyclic olefin resin of 100 ° C or higher.

또, 상술과 같이, 박리 수지층(20) 상에는, 유기층(14)이 예를 들면 도포에 의하여 형성된다. 이로 인하여, 유기층(14)이 되는 도포 조성물의 도포성의 관점이나 용제 내성, 및 리타데이션 등의 광학 특성의 관점에서, 박리 수지층(20)의 형성 재료로서는, 사이클로올레핀 코폴리머(COC)를 이용하는 것이 바람직하다.Further, as described above, on the release resin layer 20, the organic layer 14 is formed, for example, by application. For this reason, cycloolefin copolymer (COC) is used as a material for forming the release resin layer 20 from the viewpoint of coating properties of the coating composition to be the organic layer 14, solvent resistance, and optical properties such as retardation. It is preferred.

이와 같은 박리 수지층(20)은, 예를 들면, 유기층(14)과 동일한, 도포법에 의하여 형성할 수 있다.Such release resin layer 20 can be formed by the coating method similar to the organic layer 14, for example.

도포법으로 형성함으로써, 얇은 박리 수지층(20)이 얻어진다.By forming by the coating method, a thin release resin layer 20 is obtained.

박리 수지층(20)의 두께는, 박리 수지층(20)의 형성 재료나, 유기층(14), 무기층(16) 및 기판(12)의 특성에 따라, 적절히 설정하면 된다. 본 발명자들의 검토에 의하면, 박리 수지층(20)의 두께는, 0.1~25μm로 하는 것이 바람직하고, 0.5~15μm로 하는 것이 보다 바람직하며, 1~10μm로 하는 것이 특히 바람직하다.The thickness of the release resin layer 20 may be appropriately set depending on the forming material of the release resin layer 20, the characteristics of the organic layer 14, the inorganic layer 16, and the substrate 12. According to the studies of the present inventors, the thickness of the release resin layer 20 is preferably 0.1 to 25 μm, more preferably 0.5 to 15 μm, and particularly preferably 1 to 10 μm.

박리 수지층(20)의 두께를 0.1μm 이상으로 함으로써, 기판(12) 및 유기층(14)과의 밀착성을 적절히 제어할 수 있으며, 기판(12)과의 계면에서의 박리를 용이하게 할 수 있고, 또 기판(12)의 박리 시에 무기층(16)에 가해지는 전단력을 저감시켜, 무기층(16)이 균열되는 것을 방지할 수 있다.By setting the thickness of the release resin layer 20 to 0.1 μm or more, adhesion between the substrate 12 and the organic layer 14 can be appropriately controlled, and peeling at the interface with the substrate 12 can be facilitated. In addition, the shear force applied to the inorganic layer 16 at the time of peeling of the substrate 12 can be reduced to prevent the inorganic layer 16 from cracking.

또 박리 수지층(20)의 두께를 25μm 이하로 함으로써, 박리 수지층(20)이 너무 두꺼운 것에 기인하는, 박리 수지층(20)의 크랙이나, 가스 배리어 필름(10)의 컬 등의 문제의 발생을, 적합하게 억제할 수 있으며, 또 가스 배리어 필름(10)을 롤 형상으로 권취하기 쉽게 할 수 있다.In addition, when the thickness of the release resin layer 20 is 25 μm or less, problems such as cracks in the release resin layer 20 and curling of the gas barrier film 10 due to the release resin layer 20 being too thick Generation can be suitably suppressed, and the gas barrier film 10 can be easily rolled up in a roll shape.

또, 기판(12)을 박리할 때의 응력 완화의 관점에서, 박리 수지층(20)의 경도는, 유기층(14)의 경도보다 낮은 것이 바람직하고, 또 박리 수지층(20)의 영률(young's modulus)은, 유기층(14)의 영률보다 낮은 것이 바람직하다. 즉, 박리 수지층(20)은 유기층(14)보다 부드러운 것이 바람직하다.Moreover, from the viewpoint of stress relaxation when peeling the substrate 12, the hardness of the release resin layer 20 is preferably lower than the hardness of the organic layer 14, and also Young's of the release resin layer 20 The modulus) is preferably lower than the Young's modulus of the organic layer 14. That is, it is preferable that the release resin layer 20 is softer than the organic layer 14.

여기에서, 박리 수지층(20)의 두께는, 유기층(14)의 두께보다 두꺼운 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the thickness of the release resin layer 20 is thicker than the thickness of the organic layer 14.

상술과 같이, 무기층(16)의 하지층이 되는 유기층(14)은, 내열성이 보다 높은 것이 바람직하다. 따라서, 유기층(14)의 형성 재료로서는 유리 전이 온도 Tg가 보다 높은 재료를 이용하는 것이 바람직하다. 여기에서, 일반적으로, 유리 전이 온도 Tg가 높은 재료는 단단하고, 신장하기 어려운 것이 되기 때문에, 단단한 유기층(14)의 두께를 얇게 하여, 부드러운 박리 수지층(20)의 두께를 두껍게 함으로써, 박리 수지층(20)을 응력 완화층으로서 적정하게 기능시킬 수 있어, 기판(12)을 박리할 때의 무기층(16)의 균열을 방지하여 높은 가스 배리어성을 얻을 수 있다.As described above, it is preferable that the organic layer 14 serving as the base layer of the inorganic layer 16 has higher heat resistance. Therefore, it is preferable to use a material having a higher glass transition temperature Tg as a material for forming the organic layer 14. Here, in general, a material having a high glass transition temperature Tg becomes hard and difficult to elongate, so that the thickness of the soft organic resin layer 14 is made thin and the thickness of the soft release resin layer 20 is increased. Since the base layer 20 can function properly as a stress relaxation layer, the crack of the inorganic layer 16 when peeling off the board | substrate 12 is prevented, and high gas barrier property can be obtained.

또, 박리 수지층(20)과 기판(12)의 박리력, 및 박리 수지층(20)과 유기층(14)의 박리력은, 박리 수지층(20)과 유기층(14)의 박리력이, 박리 수지층(20)과 기판(12)의 박리력보다 높으면, 한정은 없다.Moreover, the peeling force of the peeling resin layer 20 and the board | substrate 12, and the peeling force of the peeling resin layer 20 and the organic layer 14 are the peeling force of the peeling resin layer 20 and the organic layer 14, If it is higher than the peeling force of the release resin layer 20 and the substrate 12, there is no limitation.

또, 박리 수지층(20)과 기판(12)의 박리력은, 0.04N/25mm~1N/25mm가 바람직하다.The peeling force between the release resin layer 20 and the substrate 12 is preferably 0.04 N / 25 mm to 1 N / 25 mm.

박리 수지층(20)과 기판(12)의 박리력을 상기 범위로 함으로써, 박리력이 너무 약한 것에 의하여 반송 중 등에 박리해 버리는 것을 억제할 수 있으며, 또, 박리력이 너무 강한 것에 의하여 기판(12)을 박리할 때에 무기층(16)을 손상시켜 버리는 것, 가스 배리어 필름(10)이 변형되어 버리는 것 등의 문제를 억제할 수 있다.By setting the peeling force between the peeling resin layer 20 and the substrate 12 within the above range, peeling off during transportation due to the weak peeling force can be suppressed. When peeling off 12), problems such as damaging the inorganic layer 16 and deformation of the gas barrier film 10 can be suppressed.

또한, 박리력(밀착력)은, JIS Z 0237의 180° 박리 시험 방법에 준하여 측정하면 된다.In addition, peeling force (sticking force) may be measured according to the 180 ° peeling test method of JIS Z 0237.

유기 보호층(24)은, 유기 화합물로 이루어지는 층이며, 가스 배리어층(18)(보다 구체적으로는 무기층(16)) 상에 형성되어, 이 가스 배리어층(18)을 보호하는 층이다.The organic protective layer 24 is a layer made of an organic compound, and is formed on the gas barrier layer 18 (more specifically, the inorganic layer 16) to protect the gas barrier layer 18.

유기 보호층(24)의 형성 재료에는, 특별히 한정은 없고, 유기층(14)과 동일한, 공지의 유기 화합물이, 각종, 이용 가능하다.The material for forming the organic protective layer 24 is not particularly limited, and various known organic compounds similar to the organic layer 14 can be used.

유기 보호층(24)이 점착층인 경우, 그 형성 재료에는 한정은 없고, 다양한 공지의 점착 재료가 이용 가능하다.When the organic protective layer 24 is an adhesive layer, the forming material is not limited, and various known adhesive materials can be used.

광학 특성, 특히 리타데이션이나 헤이즈 등의 관점에서, 점착 재료로서 아크릴계의 점착제를 이용하는 것이 바람직하다.From the viewpoint of optical properties, particularly retardation or haze, it is preferable to use an acrylic pressure-sensitive adhesive as the pressure-sensitive adhesive material.

아크릴계 점착제로서는, SK 다인 시리즈(소켄 가가쿠 가부시키가이샤제) 등이 예시된다.As an acrylic adhesive, SK Dyne series (made by Soken Chemical Co., Ltd.) etc. are illustrated.

유기 보호층(24)의 두께는, 유기 보호층(24)의 형성 재료나 무기층(16)의 특성에 따라, 적절히 설정하면 된다. 본 발명자들의 검토에 의하면, 유기 보호층(24)의 두께는, 0.1~50μm로 하는 것이 바람직하고, 0.5~25μm로 하는 것이 보다 바람직하며, 1~10μm로 하는 것이 특히 바람직하다.The thickness of the organic protective layer 24 may be appropriately set depending on the material of the organic protective layer 24 and the characteristics of the inorganic layer 16. According to the studies of the inventors, the thickness of the organic protective layer 24 is preferably 0.1 to 50 μm, more preferably 0.5 to 25 μm, and particularly preferably 1 to 10 μm.

유기 보호층(24)의 두께를 0.1μm 이상으로 함으로써, 무기층(16)을 적정하게 보호할 수 있다. 또 유기 보호층(24)의 두께를 50μm 이하로 함으로써, 가스 배리어 필름(10)을 피전사체에 첩착할 때의 작업성을 향상시킬 수 있다.When the thickness of the organic protective layer 24 is 0.1 μm or more, the inorganic layer 16 can be appropriately protected. In addition, by setting the thickness of the organic protective layer 24 to 50 μm or less, it is possible to improve workability when the gas barrier film 10 is adhered to the object to be transferred.

보호 필름(26)은, 공지의 보호 필름으로서 이용되고 있는 공지의 시트 형상물이, 각종, 이용 가능하다.As for the protective film 26, various well-known sheet-shaped objects used as a well-known protective film can be used.

일례로서, 상술한 기판(12)으로 예시한 각종 수지 재료로 이루어지는 필름(수지 필름)이, 적합하게 예시된다.As an example, a film (resin film) made of various resin materials exemplified by the above-described substrate 12 is suitably illustrated.

보호 필름(26)을 가스 배리어층(18)(보다 구체적으로는 무기층(16))의 표면 상에 형성하는 경우는, 이 보호 필름(26)의 형성 재료는, 영률이 6GPa 이하인 것이 바람직하다. 이 경우, 보호 필름(26)은, 가스 배리어 필름(10)이 갖는 가스 배리어층(18)의 최상층이 되는 무기층(16) 상에 첩착되어, 가스 배리어 필름(10)을 전사할 때에는, 무기층(16)으로부터 박리되어 이용된다. 보호 필름(26)의 형성 재료의 영률을 6GPa 이하로 함으로써, 보호 필름(26)을 박리할 때에 있어서의 무기층(16)의 손상을, 보다 적합하게 방지할 수 있으며, 높은 가스 배리어성을 얻을 수 있다. 이 점을 고려하면, 보호 필름(26)의 형성 재료로서는, LDPE, HDPE, PP, PET, PEN, PVC, PI 등이 적합하게 예시된다.When the protective film 26 is formed on the surface of the gas barrier layer 18 (more specifically, the inorganic layer 16), the forming material of the protective film 26 preferably has a Young's modulus of 6 GPa or less. . In this case, the protective film 26 is affixed on the inorganic layer 16 which becomes the uppermost layer of the gas barrier layer 18 of the gas barrier film 10, and when transferring the gas barrier film 10, the inorganic It is peeled off from the layer 16 and used. By setting the Young's modulus of the material for forming the protective film 26 to 6 GPa or less, damage to the inorganic layer 16 when peeling the protective film 26 can be more suitably prevented, and high gas barrier properties are obtained. You can. In view of this, LDPE, HDPE, PP, PET, PEN, PVC, PI and the like are suitably exemplified as the material for forming the protective film 26.

보호 필름(26)의 두께는, 가스 배리어 필름(10)에 요구되는 두께, 보호 필름(26)의 형성 재료의 영률 등에 따라, 적절히 설정하면 된다.The thickness of the protective film 26 may be appropriately set depending on the thickness required for the gas barrier film 10, the Young's modulus of the material for forming the protective film 26, and the like.

본 발명자들의 검토에 의하면, 보호 필름(26)의 두께는, 10~300μm가 바람직하고, 30~50μm가 보다 바람직하다.According to the examination of the present inventors, the thickness of the protective film 26 is preferably 10 to 300 μm, and more preferably 30 to 50 μm.

보호 필름(26)의 두께를 10μm 이상으로 함으로써, 권취 시 등에 외부로부터 받는 충격 등에 기인하는 무기층(16)의 손상을 적합하게 방지할 수 있는 것, 반송 시의 주름 및 변형을 억제할 수 있는 것 등의 점에서 바람직하다.By setting the thickness of the protective film 26 to 10 µm or more, it is possible to appropriately prevent damage to the inorganic layer 16 due to impact or the like from the outside during winding, and to suppress wrinkles and deformation during transportation. It is preferable in terms of things.

보호 필름(26)의 두께를 300μm 이하로 함으로써, 가스 배리어 필름(10)이 불필요하게 두꺼워지는 것을 방지할 수 있는 등의 점에서 바람직하다.The thickness of the protective film 26 is preferably 300 μm or less in view of preventing the gas barrier film 10 from being unnecessarily thickened.

보호 필름(26)에 있어서, 무기층(16) 측의 면에, 점착층이 형성되어 있어도 된다.In the protective film 26, an adhesive layer may be formed on the surface of the inorganic layer 16 side.

다음으로, 본 발명의 가스 배리어 필름의 전사 방법("본 발명의 전사 방법"이라고도 함)에 대하여 설명한다.Next, the transfer method of the gas barrier film of the present invention (also referred to as "transfer method of the present invention") will be described.

본 발명의 가스 배리어 필름의 전사 방법은, 상기 가스 배리어 필름의 기판과는 반대 측의 면을 피전사체에 첩착하고, 기판을 박리함으로써, 가스 배리어층 및 박리 수지층을 구비하는 전사층을 피전사체에 전사한다.In the transfer method of the gas barrier film of the present invention, the transfer layer including the gas barrier layer and the release resin layer is transferred by attaching the surface on the opposite side of the substrate of the gas barrier film to the transfer body and peeling off the substrate. To warrior.

이하, 본 발명의 전사 방법에 대하여, 도 4(A)~도 4(C) 및 도 5를 이용하여 설명한다.Hereinafter, the transfer method of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 (A) to 4 (C) and FIG. 5.

도 4(A)~도 4(C)는, 가스 배리어 필름으로서, 도 2(A)에 나타내는, 점착층으로서 유기 보호층(24)을 갖는 가스 배리어 필름(10b)을 이용하여, 이 가스 배리어 필름(10b)을 피전사체인 위상차 필름(112)에 전사하는 예를 나타낸 것이다.4 (A) to 4 (C) are gas barrier films using the gas barrier film 10b having the organic protective layer 24 as the adhesive layer shown in FIG. 2 (A), and this gas barrier It shows an example of transferring the film 10b to the retardation film 112 as an image transfer object.

먼저, 도 4(A) 및 도 4(B)에 나타내는 바와 같이, 가스 배리어 필름(10b)의, 기판(12)과는 반대 측의 면, 즉, 유기 보호층(24) 측을, 위상차 필름(112) 측을 향하게 하여 첩합한다.First, as shown in FIG. 4 (A) and FIG. 4 (B), the surface of the gas barrier film 10b on the opposite side to the substrate 12, that is, the organic protective layer 24 side, is a retardation film. (112) It faces and sticks together.

첩합의 방법에는 한정은 없고, 공지의 필름 형상물의 첩합 방법이 각종, 이용 가능하다. 또, 이와 같은 첩합은, 매엽식으로 행해도 되고, 장척의 가스 배리어 필름(10b) 및 위상차 필름(112)을 이용하여, 롤·투·롤(이하, R to R이라고도 함)에 의하여 첩합을 행해도 된다.The method of bonding is not limited, and various known methods of bonding a film-like material can be used. In addition, such bonding may be performed in a single-leaf type, and bonding is performed by roll-to-roll (hereinafter also referred to as R to R) using a long gas barrier film 10b and a retardation film 112. You may do it.

또한, 도시예에 있어서는, 가스 배리어 필름(10b)이 점착층을 갖는 구성으로 했지만, 이것에 한정은 되지 않고, 가스 배리어 필름(10b)과의 첩합 전에, 피전사체에 점착제를 도포하여, 가스 배리어 필름(10b)과의 첩합을 행해도 된다.Moreover, in the example of illustration, although the gas barrier film 10b was made into the structure which has an adhesive layer, it is not limited to this, Before apply | bonding with the gas barrier film 10b, an adhesive is applied to a to-be-transferred body, and a gas barrier You may bond with the film 10b.

또, 유기 보호층(24)(혹은 무기층(16)) 상에 보호 필름(26)을 갖는 경우에는, 가스 배리어 필름을 피전사체에 첩합하기 전에, 보호 필름(26)을 박리하여 피전사체에 대한 첩합을 행하면 된다.In addition, when the protective film 26 is provided on the organic protective layer 24 (or the inorganic layer 16), the protective film 26 is peeled off before the gas barrier film is adhered to the object to be transferred to the object to be transferred. It is enough to perform affixation to Korea.

다음으로, 도 4(C)에 나타내는 바와 같이, 위상차 필름(112)에 첩합한 가스 배리어 필름(10b)으로부터 기판(12)을 박리한다.Next, as shown in FIG. 4 (C), the substrate 12 is peeled from the gas barrier film 10b bonded to the retardation film 112.

기판(12)의 박리 방법에도 한정은 없고, 공지의 필름 형상물의 박리 방법이 각종, 이용 가능하다.The method of peeling the substrate 12 is not limited, and various methods of peeling a known film-like material can be used.

또, 이와 같은 기판(12)의 박리는, 매엽식으로 행해도 되고, R to R에 의하여 행해도 된다.Moreover, such a peeling of the board | substrate 12 may be performed by single sheet type, or may be performed by R to R.

이와 같이 하여, 가스 배리어 필름(10b)의 전사층(30)을 피전사체인 위상차 필름(112)에 전사하여, 도 5에 나타내는 가스 배리어층 부착 위상차 필름(110)으로 할 수 있다.In this way, the transfer layer 30 of the gas barrier film 10b can be transferred to the phase difference film 112, which is an image transfer object, so that the phase difference film 110 with the gas barrier layer shown in Fig. 5 can be obtained.

본 발명의 가스 배리어 필름의 전사 방법은, 기판(12)의 박리 시에 무기층(16)이 균열되는 것을 방지할 수 있으므로, 높은 가스 배리어성을 유지한 채로, 전사층(30)을 피전사체에 전사할 수 있다.The transfer method of the gas barrier film of the present invention can prevent the inorganic layer 16 from cracking when the substrate 12 is peeled off, so that the transfer layer 30 is transferred while maintaining high gas barrier properties. Can be transferred to.

또, 전사층(30)의 두께를 매우 얇게 할 수 있으므로, 투명성이나, 리타데이션값 등의 광학 특성에 대한 영향을 저감시킬 수 있다.Moreover, since the thickness of the transfer layer 30 can be made very thin, the influence on optical properties such as transparency and retardation value can be reduced.

또한, 본 발명에 있어서, 가스 배리어 필름을 전사하는 피전사체에는 한정은 없다. 높은 가스 배리어성을 갖고, 또 투명성이 높으며, 저리타데이션으로 광학 특성이 우수한 점에서, 높은 가스 배리어성이 요구되는, 유기 EL 소자나 파장 변환 재료 등의 광학 부재의 밀봉에 적합하게 이용된다. 또, 각종 광학 필름에 높은 가스 배리어성을 부여하여, 광학 필름 겸 가스 배리어 필름으로서 이용하는 것도 가능하다.In addition, in this invention, there is no limitation in the to-be-transferred object which transfers a gas barrier film. Since it has high gas barrier properties, high transparency and excellent optical properties with low retardation, it is suitably used for sealing optical members such as organic EL elements and wavelength conversion materials, which require high gas barrier properties. Moreover, it is also possible to provide high gas barrier properties to various optical films, and to use them as optical film and gas barrier films.

이하, 본 발명의 가스 배리어 필름을 이용한 부재에 대하여 설명한다.Hereinafter, a member using the gas barrier film of the present invention will be described.

본 발명의 가스 배리어 필름을 이용한, 본 발명의 가스 배리어층 부착 위상차 필름의 일례인, 도 5에 나타내는 가스 배리어층 부착 위상차 필름(110)은, 유기 보호층(24), 무기층(16), 유기층(14) 및 박리 수지층(20)을 갖는 전사층(30)이, 위상차 필름(112) 상에 적층된 구성을 갖는다.The phase difference film 110 with a gas barrier layer shown in FIG. 5 which is an example of the phase difference film with a gas barrier layer of the present invention using the gas barrier film of the present invention includes an organic protective layer 24, an inorganic layer 16, The transfer layer 30 having the organic layer 14 and the release resin layer 20 has a structure stacked on the retardation film 112.

이 가스 배리어층 부착 위상차 필름(110)은, 전사층(30)의 두께가 매우 얇기 때문에, 두께의 증가를 억제한 채로, 위상차 필름 자체의 광학 특성에 더하여, 높은 가스 배리어성을 갖는 필름으로 할 수 있다.Since the thickness of the transfer layer 30 is very thin, the retardation film 110 with a gas barrier layer can be made into a film having high gas barrier properties in addition to the optical properties of the retardation film itself while suppressing the increase in thickness. You can.

도 6은, 본 발명의 가스 배리어 필름을 전사하여 파장 변환층을 밀봉한, 파장 변환 필름의 일례이다.6 is an example of a wavelength conversion film by transferring the gas barrier film of the present invention and sealing the wavelength conversion layer.

도 6에 나타내는 파장 변환 필름(100)은, 파장 변환층(102)과, 파장 변환층(102)의 한쪽 면에 적층된 가스 배리어 필름(104)과, 파장 변환층(102)의 다른 쪽 면에 적층된 전사층(30)을 갖는다.The wavelength conversion film 100 shown in FIG. 6 includes the wavelength conversion layer 102, the gas barrier film 104 laminated on one surface of the wavelength conversion layer 102, and the other surface of the wavelength conversion layer 102. It has a transfer layer 30 laminated on.

파장 변환층(102)은, 입사광의 파장을 변환하여 출사하는 기능을 갖는 것이며, 예를 들면, 양자 도트를 수지 등의 바인더 중에 분산하여 이루어지는 양자 도트층이다.The wavelength conversion layer 102 has a function of converting the wavelength of incident light and outputting it, and is, for example, a quantum dot layer formed by dispersing quantum dots in a binder such as resin.

양자 도트층에 함유되는 양자 도트의 종류에는 특별히 한정은 없고, 요구되는 파장 변환의 성능 등에 따라, 다양한 공지의 양자 도트를 적절히 선택하면 된다.The type of quantum dots contained in the quantum dot layer is not particularly limited, and various known quantum dots may be appropriately selected depending on the required wavelength conversion performance and the like.

또, 양자 도트층에 함유되는 바인더의 종류에도 특별히 한정은 없고, 양자 도트의 종류, 요구되는 성능 등에 따라, 다양한 공지의 바인더를 적절히 선택하면 된다.The type of the binder contained in the quantum dot layer is not particularly limited, and various known binders may be appropriately selected depending on the type of quantum dots, required performance, and the like.

가스 배리어 필름(104)은, 파장 변환층(102)을 밀봉하기 위한 것이며, 파장 변환층(102)의 밀봉에 요구되는 가스 배리어성을 갖는 것이면 특별히 한정은 없고, 공지의 가스 배리어 필름을 적절히 이용 가능하다.The gas barrier film 104 is for sealing the wavelength conversion layer 102, and is not particularly limited as long as it has a gas barrier property required for sealing the wavelength conversion layer 102, and a known gas barrier film is suitably used. It is possible.

도 6에 나타내는 바와 같이, 파장 변환 필름(100)은, 파장 변환층(102)의 한쪽 면을, 종래의 가스 배리어 필름(104)으로 밀봉하고, 다른 쪽 면을, 본 발명의 가스 배리어 필름(10)으로부터 전사한 전사층(30)을 이용하여 밀봉한 것이다.As shown in FIG. 6, the wavelength conversion film 100 seals one surface of the wavelength conversion layer 102 with a conventional gas barrier film 104 and the other surface of the gas barrier film of the present invention ( It is sealed using the transfer layer 30 transferred from 10).

이와 같이, 파장 변환층의 적어도 한쪽 면을 본 발명의 가스 배리어 필름으로 밀봉함으로써, 파장 변환 필름 전체의 두께를 얇게 할 수 있다.As described above, by sealing at least one surface of the wavelength conversion layer with the gas barrier film of the present invention, the entire thickness of the wavelength conversion film can be reduced.

또한, 도 6에 나타내는 예에서는, 파장 변환층의 한쪽 면을 본 발명의 가스 배리어 필름으로 밀봉하는 구성으로 했지만, 이것에 한정은 되지 않고, 파장 변환층의 양면을 본 발명의 가스 배리어 필름으로 밀봉하는 구성으로 해도 된다. 이로써, 파장 변환 필름 전체의 두께를 더 얇게 할 수 있다.In the example shown in Fig. 6, one side of the wavelength conversion layer is configured to be sealed with the gas barrier film of the present invention, but is not limited to this, and both surfaces of the wavelength conversion layer are sealed with the gas barrier film of the present invention. It may also be configured. Thereby, the thickness of the whole wavelength conversion film can be made thinner.

도 7(A)~도 7(C)는 각각, 본 발명의 가스 배리어 필름을 전사하여 유기 EL 소자를 밀봉한, 유기 EL 적층체의 일례이다.7 (A) to 7 (C) are examples of organic EL laminates in which the gas barrier film of the present invention is transferred to seal the organic EL element.

도 7(A)에 나타내는 유기 EL 적층체(120a)는, 소자 기판(122)과, 소자 기판(122) 상에 형성된 유기 EL 소자(124)와, 유기 EL 소자(124)를 덮어 적층된 전사층(30)을 갖는다.The organic EL stacked body 120a shown in FIG. 7A is transferred by laminating the element substrate 122, the organic EL element 124 formed on the element substrate 122, and the organic EL element 124. It has a layer 30.

소자 기판(122)은, 각종 유기 EL 장치에 이용되고 있는 소자 기판이, 모두 이용 가능하다. 구체적으로는, 유리, 플라스틱, 금속, 및 세라믹 등으로 이루어지는 소자 기판이 예시된다. 또, 수분 등에 의한 유기 EL 소자(124)의 열화를 방지하기 위하여, 수분 등이 소자 기판(122)을 투과하여 유기 EL 소자(124)에 이르는 것을 방지할 수 있는 것이 바람직하다. 이로 인하여, 소자 기판(122)은, 유리나 금속 등과 같이, 수분 등의 함유량이 낮고, 또한 수분 등의 투과율이 낮은 재료로 이루어지는 기판을 이용하는 것이 바람직하다.As the element substrate 122, any element substrate used in various organic EL devices can be used. Specifically, an element substrate made of glass, plastic, metal, ceramic, or the like is exemplified. In addition, in order to prevent deterioration of the organic EL element 124 due to moisture or the like, it is preferable to prevent moisture or the like from passing through the element substrate 122 and reaching the organic EL element 124. For this reason, it is preferable to use a substrate made of a material having a low content such as moisture and a low transmittance such as moisture, such as glass or metal.

또한, 도 7(B)에 나타내는 유기 EL 적층체(120b)와 같이, 소자 기판으로서, 본 발명의 가스 배리어 필름(10)(보다 구체적으로는 전사층(30))을 이용해도 된다. 혹은, 본 발명의 가스 배리어 필름(10)을 수지 기재(基材)에 전사한 것을 소자 기판으로서 이용해도 된다.Further, as the organic EL laminate 120b shown in Fig. 7B, the gas barrier film 10 (more specifically, the transfer layer 30) of the present invention may be used as the element substrate. Alternatively, the gas barrier film 10 of the present invention may be transferred to a resin substrate as an element substrate.

유기 EL 소자(124)는, 예를 들면, 유기 전계 발광층과, 유기 전계 발광층을 협지하는 전극쌍인 투명 전극 및 반사 전극을 갖는 공지의 유기 EL 소자이다.The organic EL element 124 is a known organic EL element having, for example, an organic electroluminescent layer and a transparent electrode and a reflective electrode that are electrode pairs that sandwich the organic electroluminescent layer.

도면에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 소자(124)는, 본 발명의 가스 배리어 필름(10)으로부터 전사된 전사층(30)에 의하여 밀봉되어 있다.As shown in the figure, the organic EL element 124 is sealed by the transfer layer 30 transferred from the gas barrier film 10 of the present invention.

이와 같이, 유기 EL 소자(124)를 본 발명의 가스 배리어 필름으로 밀봉함으로써, 유기 EL 적층체 전체의 두께를 얇게 할 수 있다.Thus, by sealing the organic EL element 124 with the gas barrier film of the present invention, the thickness of the entire organic EL laminate can be reduced.

또한, 유기 EL 적층체는, 전사층(30) 측으로부터 광을 출사하는 톱 이미션형이어도 되고, 소자 기판(122) 측으로부터 광을 출사하는 보텀 이미션형이어도 된다.Further, the organic EL laminate may be a top emission type that emits light from the transfer layer 30 side, or a bottom emission type that emits light from the element substrate 122 side.

또, 도 7(C)에 나타내는 유기 EL 적층체(120c)와 같이, 유기 EL 소자(124)와 전사층(30)의 사이에 패시베이션막(126)을 갖고 있어도 된다.Further, as in the organic EL laminate 120c shown in Fig. 7C, a passivation film 126 may be provided between the organic EL element 124 and the transfer layer 30.

즉, 유기 EL 소자(124)를 패시베이션막(126)으로 밀봉하고, 이 패시베이션막(126) 상에 전사층(30)을 전사하는 구성으로 해도 된다.That is, the organic EL element 124 may be sealed with a passivation film 126, and a transfer layer 30 may be transferred onto the passivation film 126.

패시베이션막(126)은, 수분이나 산소 등이 유기 EL 소자(124)에 이르러, 유기 EL 소자(124)가 열화되는 것을 방지하기 위한 것이다.The passivation film 126 is for preventing moisture or oxygen from reaching the organic EL element 124 and deteriorating the organic EL element 124.

이와 같은 패시베이션막(126)으로서는, 공지의 유기 EL 장치에 이용되는, 가스 배리어성을 발현하는 재료로 이루어지는 각종 막(층)이 이용 가능하다. 구체적으로는, 무기층(16)과 동일한 가스 배리어성을 갖는, 질화 규소, 산화 규소 등의 무기 화합물로 이루어지는 막이 예시된다.As the passivation film 126, various films (layers) made of a material that exhibits gas barrier properties, which are used in known organic EL devices, can be used. Specifically, a film made of an inorganic compound such as silicon nitride or silicon oxide having the same gas barrier properties as the inorganic layer 16 is exemplified.

패시베이션막(126)은, 막의 형성 재료에 따른 공지의 방법으로 성막하면 된다.The passivation film 126 may be formed by a known method according to the material for forming the film.

이하, 도 8(A) 및 도 8(B)를 참조하여, 본 발명의 가스 배리어 필름의 제조 방법을 설명한다.Hereinafter, the manufacturing method of the gas barrier film of this invention is demonstrated with reference to FIGS. 8 (A) and 8 (B).

또한, 이하의 예는, 바람직한 양태로서 장척의 기판(12)이나 보호 필름(26) 등을 이용하여, R to R에 의하여 가스 배리어 필름의 제조를 행하는 것이다. 주지하는 바와 같이, R to R이란, 장척의 피처리물을 권회하여 이루어지는 롤로부터 피처리물을 송출하여, 길이 방향으로 반송하면서 성막 등의 처리를 행하고, 처리가 완료된 피처리물을, 다시 롤 형상으로 권회하는 제조 방법이다.In addition, the following example is a manufacturing method of a gas barrier film by R to R using the elongate board | substrate 12, the protective film 26, etc. as a preferable aspect. As is well known, R to R means that the object to be processed is transported from a roll formed by winding a long object to be processed, and the film is processed while being conveyed in the longitudinal direction, and the object to be processed is rolled again. It is a manufacturing method of winding in shape.

먼저, 도 8(A)에 개념적으로 나타내는 성막 장치를 이용하여, 기판(12) 상에 박리 수지층(20)을 형성한다.First, the release resin layer 20 is formed on the substrate 12 using the film forming apparatus conceptually shown in Fig. 8A.

구체적으로는, 예를 들면, 유기 용제와, 박리 수지층(20)이 되는 유기 화합물을 포함하는 도포 조성물을 조제한다.Specifically, for example, a coating composition containing an organic solvent and an organic compound serving as the release resin layer 20 is prepared.

한편, 장척의 기판(12)을 롤 형상으로 권회하여 이루어지는 기판 롤(Ra)을, 유기 성막 장치의 소정 위치에 장전(裝塡)한다. 이어서, 기판 롤(Ra)로부터 기판(12)을 송출하여, 권취 위치에 도달하는 소정의 경로에 통지(通紙)한다. 또한 박리 수지층(20)이 되는 도포 조성물을 도포부(40)의 소정 위치에 충전(充塡)한다. 성막 장치는, 기판(12)을 소정의 경로에서 반송하기 위한 반송 롤러쌍(48)을 갖는다.On the other hand, the substrate roll Ra formed by winding the long substrate 12 in a roll shape is loaded at a predetermined position in the organic film forming apparatus. Subsequently, the substrate 12 is sent out from the substrate roll Ra, and is notified to a predetermined path reaching the winding position. Further, the coating composition serving as the release resin layer 20 is filled in a predetermined position of the coating unit 40. The film forming apparatus has a pair of conveying rollers 48 for conveying the substrate 12 in a predetermined path.

그 후에, 기판 롤(Ra)로부터 기판(12)을 송출하여, 길이 방향으로 반송하면서, 조제한 도포 조성물을 도포부(40)에 있어서 기판(12)에 도포하고, 이어서, 도포한 도포 조성물을 건조부(42)에 있어서 건조하고, 또한 필요에 따라 경화부(44)에 있어서 자외선 조사나 가열 등을 행하여, 박리 수지층(20)을 형성한다. 또한 기판(12) 상에 박리 수지층(20)이 형성된 장척의 필름을 롤 형상으로 권회하여, 기재 롤(Rb)로 한다.Thereafter, the substrate 12 is sent out from the substrate roll Ra, and the prepared coating composition is applied to the substrate 12 in the coating unit 40 while conveying in the longitudinal direction, and then the coated coating composition is dried. The part 42 is dried and, if necessary, the cured part 44 is irradiated with ultraviolet rays or heated to form the release resin layer 20. Moreover, the long film with the release resin layer 20 formed on the board | substrate 12 is wound up in roll shape, and it is set as the base material roll Rb.

또한, 도시는 생략하지만, 바람직한 양태로서, 박리 수지층(20)을 형성한 후, 보호 필름을 적층하고, 그 후, 권취를 행하여 기재 롤(Rb)로 한다.In addition, although illustration is omitted, as a preferable aspect, after forming the release resin layer 20, a protective film is laminated | stacked, and after that, it winds up and sets it as a base material roll Rb.

다음으로, 박리 수지층(20)을 형성한 기판(12)을 피성막 기재(Za)로서, 피성막 기재(Za)의 박리 수지층(20) 상에 유기층(14)을 형성한다. 유기층(14)의 형성은, 기본적으로, 도 8(A)에 나타내는 유기 성막 장치를 이용하여 박리 수지층(20)의 형성과 동일하게 행하면 된다.Next, the organic layer 14 is formed on the release resin layer 20 of the substrate to be formed as the substrate 12 on which the release resin layer 20 is formed as the substrate to be formed (Za). The formation of the organic layer 14 may basically be performed in the same manner as the formation of the release resin layer 20 using the organic film forming apparatus shown in Fig. 8A.

즉, 예를 들면, 유기 용제, 유기층(14)이 되는 유기 화합물, 및 중합 개시제를 포함하는 도포 조성물을 조제한다.That is, for example, a coating composition comprising an organic solvent, an organic compound serving as the organic layer 14, and a polymerization initiator is prepared.

또, 장척의 피성막 기재(Za)를 롤 형상으로 권회하여 이루어지는 기재 롤(Rb)을, 유기 성막 장치의 소정 위치에 장전한다. 이어서, 기재 롤(Rb)로부터 피성막 기재(Za)를 송출하여, 권취 위치에 도달하는 소정의 경로에 통지한다. 또한 유기층(14)이 되는 도포 조성물을 도포부(40)의 소정 위치에 충전한다.Moreover, the base material roll Rb formed by winding the long film-form base material Za into a roll shape is loaded in a predetermined position of the organic film-forming apparatus. Subsequently, the film-formed substrate Za is sent out from the substrate roll Rb, and a predetermined path reaching the winding position is notified. In addition, the coating composition serving as the organic layer 14 is filled in a predetermined position of the coating unit 40.

그 후에, 기재 롤(Rb)로부터 피성막 기재(Za)를 송출하여, 길이 방향으로 반송하면서, 조제한 도포 조성물을 도포부(40)에 있어서 박리 수지층(20) 상에 도포하고, 이어서, 도포한 도포 조성물을 건조부(42)에 있어서 건조하며, 경화부(44)에 있어서 자외선 조사 등에 의하여 유기 화합물을 중합(가교)하여 유기층(14)을 형성한다. 또한 유기층(14)을 형성한 장척의 피성막 기재(Za)를 롤 형상으로 권회하여, 기재 롤(Rc)로 한다.Thereafter, the film-formed substrate (Za) is delivered from the substrate roll (Rb), and the prepared coating composition is coated on the release resin layer (20) in the coating unit (40) while conveying in the longitudinal direction, and then applied One coating composition is dried in the drying unit 42, and the organic compound 14 is formed by polymerizing (crosslinking) the organic compound in the curing unit 44 by ultraviolet irradiation or the like. Moreover, the elongate film-form substrate Za which formed the organic layer 14 is wound in roll shape, and it is set as the base material roll Rc.

또한, 유기층(14)의 형성 후, 유기층(14)에 보호 필름을 첩착해도 된다. 보호 필름의 첩착은, 유기층(14)이 가이드 롤러 등의 다른 부재에 접촉하기 전에 행하는 것이 바람직하다.In addition, after formation of the organic layer 14, a protective film may be applied to the organic layer 14. It is preferable to adhere the protective film before the organic layer 14 contacts another member such as a guide roller.

이로써, 무기층(16)의 하지층인 유기층(14)이 손상되는 것을 방지할 수 있어, 평활한 유기층(14) 상에 적정하게 무기층(16)을 형성할 수 있으므로, 높은 가스 배리어성을 발현하는 가스 배리어 필름을 얻을 수 있다.Thereby, it is possible to prevent the organic layer 14, which is the underlying layer of the inorganic layer 16, from being damaged, and the inorganic layer 16 can be appropriately formed on the smooth organic layer 14, thereby providing high gas barrier properties. An expressing gas barrier film can be obtained.

또, 상기 예에서는, 박리 수지층(20)의 성막과, 유기층(14)의 성막을 각각 행하는 구성으로 했지만, 이것에 한정은 되지 않고, 박리 수지층의 성막 후, 권취를 행하지 않고, 계속해서, 유기층(14)의 성막을 행해도 된다. 즉, 기판(12)의 반송 경로 중에, 박리 수지층(20)을 형성하기 위한 도포부(40), 건조부(42) 및 경화부(44)와, 유기층(14)을 형성하기 위한 도포부(40), 건조부(42) 및 경화부(44)를 배치한 성막 장치를 이용하여, 박리 수지층(20)의 성막과, 유기층(14)의 성막을 연속적으로 행해도 된다.Moreover, in the said example, although it was set as the structure which respectively forms the film of the peeling resin layer 20 and the film of the organic layer 14, it is not limited to this, After coiling the film of the peeling resin layer, after winding up, it continues, , The organic layer 14 may be formed. That is, in the conveyance path of the substrate 12, the coating part 40 for forming the release resin layer 20, the drying part 42 and the curing part 44, and the coating part for forming the organic layer 14 (40), a film forming apparatus in which a drying unit 42 and a curing unit 44 are disposed may be used to continuously form the release resin layer 20 and the organic layer 14.

이어서, 도 8(B)에 개념적으로 나타내는 무기 성막 장치에 있어서, 박리 수지층(20) 및 유기층(14)을 형성한 기판(12)(이하, "피성막 기재(Zb)"라고 하는 경우가 있음)에 무기층(16)을 형성하고, 또한 무기층(16)에 보호 필름(26)을 첩착하여, 가스 배리어 필름(10)을 제작한다.Subsequently, in the inorganic film forming apparatus conceptually illustrated in Fig. 8B, the substrate 12 on which the release resin layer 20 and the organic layer 14 are formed (hereinafter referred to as "the film-forming substrate Zb") Is formed), and a protective film 26 is also attached to the inorganic layer 16 to produce a gas barrier film 10.

도 8(B)에 나타내는 무기 성막 장치는, 일례로서, CCP-CVD(용량 결합형 플라즈마 화학 기상 증착법)에 의하여 무기층(16)을 형성하는 것이며, 공급실(50)과, 성막실(52)과, 권취실(54)을 갖는다.As an example, the inorganic film forming apparatus shown in FIG. 8 (B) forms an inorganic layer 16 by CCP-CVD (capacity-coupled plasma chemical vapor deposition method), and includes a supply chamber 50 and a film deposition chamber 52. And, it has a winding chamber (54).

먼저, 공급실(50)의 소정 위치에 기재 롤(Rc)을 장전한다. 이어서, 기재 롤(Rc)로부터 피성막 기재(Zb)를 송출하여, 공급실(50)로부터 성막실(52)을 거쳐 권취실(54)에 도달하는 소정의 경로를 통지한다. 기재 롤(Rc)은, 유기층(14)이 성막실(52)에 있어서의 성막면이 되도록 장전한다.First, the base roll Rc is loaded at a predetermined position in the supply chamber 50. Subsequently, the film-forming substrate Zb is sent out from the substrate roll Rc, and a predetermined path reaching the winding chamber 54 from the supply chamber 50 through the film-forming chamber 52 is notified. The base roll Rc is loaded so that the organic layer 14 becomes a film forming surface in the film forming chamber 52.

또, 성막실(52)의 소정 위치에 보호 필름 롤(26R)을 장전한다. 이어서, 보호 필름 롤(26R)로부터 보호 필름(26)을 송출하여, 성막실(52)로부터 권취실(54)에 도달하는 소정의 경로를 통지한다.Further, the protective film roll 26R is loaded at a predetermined position in the film formation chamber 52. Subsequently, the protective film 26 is sent out from the protective film roll 26R, and a predetermined path from the film forming chamber 52 to the winding chamber 54 is notified.

이어서, 공급실(50)을 진공 배기 수단(50a)에 의하여, 성막실(52)을 진공 배기 수단(52a)에 의하여, 권취실(54)을 진공 배기 수단(54a)에 의하여, 각각 배기하여, 각 실을 소정의 압력으로 감압한다.Subsequently, the supply chamber 50 is evacuated by the vacuum evacuation means 50a, the film formation chamber 52 is evacuated by the vacuum evacuation means 52a, and the winding chamber 54 is evacuated by the vacuum evacuation means 54a, respectively. Each chamber is decompressed to a predetermined pressure.

각 실이 소정의 압력이 되면, 피성막 기재(Zb) 및 보호 필름(26)의 반송을 개시한다.When each seal reaches a predetermined pressure, the transfer of the film-forming base material Zb and the protective film 26 is started.

피성막 기재(Zb)는, 기재 롤(Rc)로부터 송출되고, 가이드 롤러(58)에 안내되어, 성막실(52)로 반송된다.The film-forming substrate Zb is sent out from the substrate roll Rc, is guided to the guide roller 58, and is conveyed to the film-forming chamber 52.

성막실(52)로 반송된 피성막 기재(Zb)는, 가이드 롤러(60)에 안내되어, 원통 형상의 드럼(62)의 둘레면에 감겨진다. 드럼(62)은, CCP-CVD에 있어서의 전극으로서도 작용하는 것이다. 또한, 드럼(62)은, 바람직한 양태로서 온도 조절 기능을 갖는다. 피성막 기재(Zb)는, 드럼(62)에 의하여 소정의 경로에서 반송되면서, CCP-CVD에 의하여 무기층(16)이 형성되어, 기판(12)에, 박리 수지층(20)과, 유기층(14) 및 무기층(16)의 조합이 형성된 적층 필름이 된다. CCP-CVD는, 드럼(62)과 샤워 전극(64)으로 이루어지는 전극쌍, 원료 가스 공급부(68), 및 고주파 전원(70) 등을 갖는 성막 수단이다.The film-forming base material Zb conveyed to the film forming chamber 52 is guided to the guide roller 60 and is wound around the circumferential surface of the cylindrical drum 62. The drum 62 also serves as an electrode in CCP-CVD. Further, the drum 62 has a temperature control function as a preferred aspect. The film-formed substrate Zb is transported in a predetermined path by the drum 62, and the inorganic layer 16 is formed by CCP-CVD, and the release resin layer 20 and the organic layer are formed on the substrate 12. It becomes a laminated film in which the combination of (14) and the inorganic layer 16 was formed. CCP-CVD is a film forming means having an electrode pair comprising a drum 62 and a shower electrode 64, a raw material gas supply unit 68, a high frequency power supply 70, and the like.

플라즈마 CVD에 의한 무기층(16)의 형성은, 무기층(16)의 형성 재료 등에 따른 공지의 방법으로 행하면 된다. 또, 무기층(16)의 형성은, CCP-CVD 이외에도, ICP-CVD(유도 결합형 플라즈마 화학 기상 증착법), 스퍼터링, 진공 증착 등, 공지의 기상 성막법이, 각종, 이용 가능하다.The formation of the inorganic layer 16 by plasma CVD may be performed by a known method according to the material for forming the inorganic layer 16 or the like. In addition, in addition to CCP-CVD, various inorganic vapor deposition methods, such as ICP-CVD (inductively coupled plasma chemical vapor deposition method), sputtering, and vacuum vapor deposition, can be used to form the inorganic layer 16.

한편, 이 피성막 기재(Zb)의 반송에 동기하여, 보호 필름 롤(26R)로부터 보호 필름(26)이 송출되어, 길이 방향으로 반송된다.On the other hand, in synchronization with the conveyance of this film-forming substrate Zb, the protective film 26 is sent out from the protective film roll 26R, and is conveyed in the longitudinal direction.

무기층(16)이 형성된 피성막 기재(Zb) 및 보호 필름(26)은, 적층 롤러쌍(72)에 의하여 적층 및 압착되어, 가스 배리어 필름(10)이 제작된다.The film-formed substrate Zb on which the inorganic layer 16 is formed and the protective film 26 are laminated and compressed by a lamination roller pair 72 to produce a gas barrier film 10.

또한, 보호 필름(26)의 무기층(16)과 대면하는 면에는 점착층이 형성되어 있어도 된다.In addition, an adhesive layer may be formed on the surface of the protective film 26 that faces the inorganic layer 16.

R to R에 의하여 가스 배리어 필름(10)을 제작할 때에는, 보호 필름(26)의 첩착은, 무기층(16)을 형성한 후, 무기층(16)이 가이드 롤러 등의 다른 부재에 접촉하기 전에 행하는 것이 바람직하다.When producing the gas barrier film 10 by R to R, the protective film 26 is adhered, after the inorganic layer 16 is formed, before the inorganic layer 16 contacts other members such as a guide roller. It is desirable to do.

이로써, 무기층(16)의 손상을 방지하여, 목적으로 하는 가스 배리어성을 발현하는 가스 배리어 필름(10)을 얻을 수 있다.Thereby, the gas barrier film 10 which prevents damage of the inorganic layer 16 and expresses the target gas barrier property can be obtained.

적층 롤러쌍(72)에 의한 적층 필름과 보호 필름(26)의 적층 및 첩착에 의하여 제작된 가스 배리어 필름(10)은, 성막실(52)로부터 권취실(54)로 반송되고, 가이드 롤러(76)에 의하여 소정의 경로에 안내되며, 권취되어, 장척의 가스 배리어 필름(10)을 권회한 가스 배리어 필름 롤(Rd)이 된다.The gas barrier film 10 produced by lamination and lamination of the laminated film and the protective film 26 by the laminated roller pair 72 is transferred from the film formation chamber 52 to the winding chamber 54, and the guide roller ( It is guided to a predetermined path by 76), and is wound up to become a gas barrier film roll Rd wound around the long gas barrier film 10.

또한, 피성막 기재(Zb)가, 유기층(14) 상에 보호 필름을 갖는 것인 경우에는, 무기층(16)의 성막 전에, 보호 필름을 박리하여 무기층(16)의 성막을 행하면 된다.In addition, when the film-forming base material Zb has a protective film on the organic layer 14, the protective film may be peeled off before the inorganic layer 16 is formed, and the inorganic layer 16 may be formed.

보호 필름의 박리는, 무기층(16)의 성막 수단에 이르는 경로로서, 유기층(14)에 접촉하는 가이드 롤러 등의 부재가 없는 위치에서 행하는 것이 바람직하다.The peeling of the protective film is a path leading to the film forming means of the inorganic layer 16, and is preferably performed at a position where there is no member such as a guide roller contacting the organic layer 14.

또한, 무기층(16) 상에 추가로, 유기 보호층(24)을 형성하는 경우에는, 박리 수지층(20), 유기층(14) 및 무기층(16)을 형성한 기판(12)을 피성막 기재로서, 도 8(A)에 나타내는 유기 성막 장치를 이용하여, 박리 수지층(20) 및 유기층(14)과 동일하게 하여 형성하면 된다.In addition, when the organic protective layer 24 is further formed on the inorganic layer 16, avoid the substrate 12 on which the release resin layer 20, the organic layer 14, and the inorganic layer 16 are formed. As the film-forming base material, the organic film-forming apparatus shown in Fig. 8 (A) may be used to form the same as the release resin layer 20 and the organic layer 14.

이상, 본 발명의 가스 배리어 필름에 대하여 상세하게 설명했지만, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정은 되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 각종 개량이나 변경을 행해도 되는 것은, 물론이다.As described above, the gas barrier film of the present invention has been described in detail, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various improvements or changes may be made in a range not departing from the gist of the present invention. Of course.

실시예Example

이하, 본 발명의 구체적 실시예를 들어, 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples of the present invention.

[실시예 1][Example 1]

실시예 1로서, 도 1(A)에 나타내는 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.As Example 1, a gas barrier film 10a shown in Fig. 1A was produced.

<박리 수지층(20)의 형성><Formation of the peeling resin layer 20>

기판(12)으로서, 폭 1000mm, 두께 50μm, 길이 100m의 장척의 PET 필름(도요보 가부시키가이샤제, 코스모샤인 A4100)을 이용했다.As the substrate 12, a long PET film having a width of 1000 mm, a thickness of 50 µm, and a length of 100 m (Toyobo Co., Ltd., Cosmoshine A4100) was used.

이 기판(12)의 미(未)언더코팅면 측에, 이하의 순서로 박리 수지층(20)을 형성했다.The release resin layer 20 was formed in the following procedure on the unundercoat surface side of this substrate 12.

박리 수지층(20)이 되는 도포액 A1로서, COC 수지(미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤제 APEL 6015T)를 사이클로헥세인으로 용해하여, 고형분 농도 10%의 도포액을 조제했다.As the coating solution A1 serving as the release resin layer 20, a COC resin (APEL 6015T manufactured by Mitsui Chemical Co., Ltd.) was dissolved with cyclohexane to prepare a coating solution having a solid content concentration of 10%.

이 도포액 A1을, 도 8(A)에 나타내는 R to R에 의한 성막 장치의 도포부(40)에 충전했다. 도포부(40)는 다이코터를 이용했다. 또, 기판(12)을 롤 형상으로 권회하여 이루어지는 기판 롤(Ra)을 소정의 위치에 장전하여, 기판(12)을 소정의 반송 경로에 삽통(揷通)했다.This coating liquid A1 was filled in the coating part 40 of the film forming apparatus by R to R shown in Fig. 8 (A). The coating part 40 used a die coater. Moreover, the substrate roll Ra formed by winding the substrate 12 in a roll shape was loaded at a predetermined position, and the substrate 12 was inserted into a predetermined conveyance path.

그 후에, 기판(12)을 길이 방향으로 반송하면서, 건조 막두께가 2μm가 되도록 도포부(40)에 의하여 도포액 A1을 기판(12)에 도포하고, 건조부(42)에 있어서, 건조 온도 100℃에서 3분간 건조시켜, 기판(12) 상에 박리 수지층(20)을 형성했다. 이 때에 있어서는, 경화부(44)는 사용하지 않았다.Subsequently, while conveying the substrate 12 in the longitudinal direction, the coating liquid A1 is applied to the substrate 12 by the coating unit 40 so that the dry film thickness is 2 μm, and in the drying unit 42, the drying temperature It dried at 100 degreeC for 3 minutes, and the release resin layer 20 was formed on the board | substrate 12. At this time, the hardened part 44 was not used.

즉, 박리 수지층(20)의 형성 재료는, 사이클로올레핀 코폴리머이다.That is, the material for forming the release resin layer 20 is a cycloolefin copolymer.

형성한 박리 수지층(20)의 유리 전이 온도 Tg를 고감도형 시차 주사 열량계(히타치 하이테크 사이언스사제, DSC7000X)에 의하여, JIS K 7121에 준거하여 측정한바, 145℃였다.The glass transition temperature Tg of the formed release resin layer 20 was measured according to JIS K 7121 by a high-sensitivity type differential scanning calorimeter (DSC7000X manufactured by Hitachi High-Tech Science), and was 145 ° C.

<유기층(14)의 형성><Formation of organic layer 14>

다음으로, 형성한 박리 수지층(20) 상에, 이하의 순서로 유기층(14)을 형성했다.Next, on the formed release resin layer 20, the organic layer 14 was formed in the following procedure.

유기층(14)이 되는 도포액 B1로서, A-DPH(신나카무라 가가쿠 고교 가부시키가이샤제) 및 광중합 개시제(BASF 재팬제 Irg819)를 준비하고, 중량 비율로서 97:3이 되도록 칭량하며, 이들을 메틸에틸케톤에 용해시켜, 고형분 농도 15%의 도포액을 조제했다.As the coating solution B1 to be the organic layer 14, A-DPH (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and a photopolymerization initiator (BASF Japan, Irg819) were prepared and weighed to be 97: 3 as a weight ratio, and these were weighed. Dissolved in methyl ethyl ketone, a coating solution having a solid content concentration of 15% was prepared.

이 도포액 B1을, 도 8(A)에 나타내는 R to R에 의한 성막 장치의 도포부(40)에 충전했다. 도포부(40)는 다이코터를 이용했다. 또, 박리 수지층(20)을 갖는 기판(12)(이하, "피성막 기재(Za)"라고 하는 경우가 있음)을 롤 형상으로 권회하여 이루어지는 기재 롤(Rb)을 소정의 위치에 장전하여, 피성막 기재(Za)를 소정의 반송 경로에 삽통했다.This coating liquid B1 was filled in the coating part 40 of the film forming apparatus by R to R shown in Fig. 8A. The coating part 40 used a die coater. Further, the substrate roll Rb formed by winding the substrate 12 having the release resin layer 20 (hereinafter sometimes referred to as a "film-forming substrate Za") in a roll shape is loaded at a predetermined position. , The film-formed substrate (Za) was inserted into a predetermined conveyance path.

그 후에, 피성막 기재(Za)를 길이 방향으로 반송하면서, 건조 막두께가 1μm가 되도록 도포부(40)에 의하여 도포액 B1을 피성막 기재(Za)의 박리 수지층(20) 상에 도포하고, 건조부(42)에 있어서, 건조 온도 50℃에서 3분간 건조시키며, 경화부(44)에 있어서, 자외선을 조사하여(적산 조사량 약 700mJ/cm2) 경화시켜, 박리 수지층(20) 상에 유기층(14)을 형성했다.Thereafter, the coating liquid B1 is applied onto the release resin layer 20 of the film-forming substrate Za by the coating unit 40 so that the dry film thickness is 1 μm while conveying the film-forming substrate Za in the longitudinal direction. Then, in the drying section 42, dried at a drying temperature of 50 ° C. for 3 minutes, and in the curing section 44, irradiated with ultraviolet rays (accumulated irradiation amount of about 700 mJ / cm 2 ) to cure to release the resin layer 20 On this, an organic layer 14 was formed.

또한, 유기층(14)을 경화시킨 후의, 유기층(14) 측의 면에 처음 접촉하는 롤에 접촉하기 전에, 유기층(14) 상에 폴리에틸렌의 보호 필름을 붙이고, 그 후에 권취했다.Moreover, after hardening the organic layer 14, a protective film of polyethylene was pasted onto the organic layer 14 before contacting the roll that first contacted the surface on the organic layer 14 side, and then wound up.

형성한 유기층(14)의 유리 전이 온도 Tg를 고감도형 시차 주사 열량계(히타치 하이테크 사이언스사제, DSC7000X)에 의하여, JIS K 7121에 준거하여 측정한바, 250℃ 이상의 측정 한계였다.The glass transition temperature Tg of the formed organic layer 14 was measured in accordance with JIS K 7121 by a high-sensitivity differential scanning calorimeter (DSC7000X manufactured by Hitachi High-Tech Science), and was a measurement limit of 250 ° C or higher.

<무기층(16)의 형성><Formation of inorganic layer 16>

다음으로, 형성한 유기층(14) 상에, 이하의 순서로 무기층(16)을 형성했다.Next, on the formed organic layer 14, the inorganic layer 16 was formed in the following procedure.

도 8(B)에 나타나는 성막 장치의 공급실(50)의 소정 위치에, 박리 수지층(20) 및 유기층(14)이 형성된 기판(12)(이하, "피성막 기재(Zb)"라고 하는 경우가 있음)을 롤 형상으로 권회하여 이루어지는 기재 롤(Rc)을 장전하고, 성막실(52)의 소정 위치에 보호 필름 롤(26R)을 장전했다. 또한 기재 롤(Rc)로부터 피성막 기재(Zb)를 송출하여, 공급실(50)로부터 성막실(52)을 거쳐 권취실(54)에 도달하는 소정의 반송 경로에 통지했다. 또, 보호 필름 롤(26R)로부터 보호 필름(26)을 송출하여, 성막실(52)로부터 권취실(54)에 도달하는 소정의 반송 경로에 통지했다.In the case where the release resin layer 20 and the organic layer 14 are formed on the substrate 12 at a predetermined position in the supply chamber 50 of the film forming apparatus shown in Fig. 8 (B) (hereinafter referred to as "film-forming substrate Zb") ), And the base material roll Rc formed by winding in a roll shape was loaded, and the protective film roll 26R was loaded at a predetermined position in the film formation chamber 52. Moreover, the film-formation base material Zb was sent out from the base material roll Rc, and the predetermined conveyance path which reached the winding-up chamber 54 from the supply chamber 50 through the film-forming chamber 52 was notified. Moreover, the protective film 26 was sent out from the protective film roll 26R, and the predetermined conveyance route which reached the winding chamber 54 from the film forming chamber 52 was notified.

이 상태에서, 피성막 기재(Zb)와 보호 필름(26)을 동기하여 반송하면서, 성막 직전의 막면 터치 롤을 통과 후에 피성막 기재(Zb)로부터 보호 필름을 박리하고, 성막실(52) 내의 드럼(62)에 지지/안내되는 피성막 기재(Zb)의 유기층(14)의 표면에 CCP-CVD에 의하여 무기층(16)으로서 질화 규소막을 형성했다. 이어서, 적층 롤러쌍(72)에 의하여, 무기층(16) 상에 보호 필름(26)을 적층 및 첩착하여, 도 1에 나타내는 가스 배리어 필름(10a)을 제작하고, 권취했다.In this state, the protective film is removed from the film-forming substrate Zb after passing through the film surface touch roll just before film-forming while synchronously conveying the film-forming substrate Zb and the protective film 26, and in the film-forming chamber 52 A silicon nitride film was formed as the inorganic layer 16 by CCP-CVD on the surface of the organic layer 14 of the film-forming substrate Zb supported / guided by the drum 62. Subsequently, the protective film 26 was laminated and adhered on the inorganic layer 16 by the lamination roller pair 72, and the gas barrier film 10a shown in FIG. 1 was produced and wound up.

무기층(16)의 형성에는, 원료 가스로서 실레인 가스(유량 160sccm), 암모니아 가스(유량 370sccm) 및 수소 가스(유량 2000sccm)를 이용했다. 전원은, 주파수 13.56MHz의 고주파 전원을 이용하고, 플라즈마 여기 전력은 8kW로 했다. 성막 압력은 40Pa로 했다. 무기층(16)의 막두께는 30nm였다.For forming the inorganic layer 16, silane gas (flow rate of 160 sccm), ammonia gas (flow rate of 370 sccm), and hydrogen gas (flow rate of 2000 sccm) were used as the source gas. A high-frequency power source with a frequency of 13.56 MHz was used as the power source, and the plasma excitation power was 8 kW. The film-forming pressure was 40 Pa. The film thickness of the inorganic layer 16 was 30 nm.

보호 필름(26)의 첩착은, 무기층(16)을 형성한 후, 무기층(16)이 다른 부재에 접촉하기 전에 행했다. 또, 보호 필름(26)으로서 폴리에틸렌 필름을 이용했다.After the inorganic layer 16 was formed, the protective film 26 was adhered before the inorganic layer 16 contacted another member. Moreover, a polyethylene film was used as the protective film 26.

[실시예 2][Example 2]

또한, 무기층(16) 상에 이하에 나타내는 유기 보호층(24)을 형성한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여, 도 2(A)에 나타내는 가스 배리어 필름(10b)을 제작했다.Moreover, the gas barrier film 10b shown in FIG. 2 (A) was produced in the same manner as in Example 1 except that the organic protective layer 24 shown below was formed on the inorganic layer 16.

유기 보호층(24)이 되는 도포액 C1로서, 유레테인 골격 아크릴 폴리머(다이세이 파인 케미컬 가부시키가이샤제 아크리트 8BR930), 광중합 개시제(BASF 재팬제 Irg184), 실레인 커플링제(신에쓰 실리콘 가부시키가이샤제 KBM5103), 연화제(도요보 가부시키가이샤제 바이론 U1400)를, 중량 비율로서 78:10:10:2가 되도록 칭량하고, 이들을 메틸에틸케톤에 용해시켜, 고형분 농도 15%의 도포액을 조제했다.As the coating liquid C1 which becomes the organic protective layer 24, a urethane skeleton acrylic polymer (Acryte 8BR930 manufactured by Daisei Fine Chemicals Co., Ltd.), a photopolymerization initiator (Irg184 manufactured by BASF Japan), a silane coupling agent (Shintsu Silicon KBM5103 manufactured by Kabuki Kaisha Co., Ltd., and a softener (byron U1400 manufactured by Toyobo Co., Ltd.) were weighed to 78: 10: 10: 2 as a weight ratio, dissolved in methyl ethyl ketone, and applied at a solid content of 15%. Was prepared.

이 도포액 C1을, 도 8(A)에 나타내는 R to R에 의한 성막 장치의 도포부(40)에 충전했다. 도포부(40)는 다이코터를 이용했다. 또, 박리 수지층(20), 유기층(14) 및 무기층(16)을 형성한 기판(12)(이하, "피성막 기재 Zc"라고 하는 경우가 있음)을 롤 형상으로 권회하여 이루어지는 기판 롤을 소정의 위치에 장전하여, 피성막 기재 Zc를 소정의 반송 경로에 삽통했다.This coating liquid C1 was filled in the coating part 40 of the film forming apparatus by R to R shown in Fig. 8 (A). The coating part 40 used a die coater. Further, the substrate roll formed by winding the substrate 12 (hereinafter sometimes referred to as "the film-formed substrate Zc") on which the release resin layer 20, the organic layer 14, and the inorganic layer 16 are formed is rolled. Was loaded at a predetermined position, and the film-formed substrate Zc was inserted into a predetermined conveyance path.

그 후에, 피성막 기재 Zc를 길이 방향으로 반송하면서, 건조 막두께가 1μm가 되도록 도포부(40)에 의하여 도포액 C1을 피성막 기재 Zc의 무기층(16) 상에 도포하고, 건조부(42)에 있어서, 건조 온도 100℃에서 3분간 건조시키며, 경화부(44)에 있어서, 자외선을 조사하여(적산 조사량 약 600mJ/cm2), 경화시켜 무기층(16) 상에 유기 보호층(24)을 형성했다.Subsequently, while conveying the film-formed substrate Zc in the longitudinal direction, the coating solution C1 was applied onto the inorganic layer 16 of the film-formed substrate Zc by the coating portion 40 so that the dry film thickness was 1 μm, and the drying portion ( (42), dried at a drying temperature of 100 ° C. for 3 minutes, and in the curing section 44, irradiated with ultraviolet rays (accumulated irradiation amount of about 600 mJ / cm 2 ) to cure the organic protective layer on the inorganic layer 16 ( 24).

[실시예 3][Example 3]

유기 보호층(24)이 되는 도포액으로서, 이하의 도포액 C2를 이용하여, 유기 보호층(24)의 두께를 3μm로 하고, 유기 보호층(24) 형성 후에, 앞과 동일하게 하여, 첫 번째 막면 터치 롤로, 보호 필름(26)으로서 세퍼레이터 필름(후지모리 고교 가부시키가이샤제 필름 바이나 BD)을 붙인 것 이외에는, 실시예 2와 동일하게 하여, 도 2(B)에 나타내는 가스 배리어 필름(10c)을 제작했다.As the coating liquid to be the organic protective layer 24, using the following coating liquid C2, the thickness of the organic protective layer 24 is 3 µm, and after forming the organic protective layer 24, the same as before, the first The gas barrier film 10c shown in Fig. 2 (B) is the same as in Example 2, except that a separator film (a film bar or BD manufactured by Fujimori High School) is applied as the protective film 26 as the second film surface touch roll. ).

도포액 C2는, SK 다인 NT21(소켄 가가쿠 가부시키가이샤제)에 경화제 L-45(소켄 가가쿠 가부시키가이샤제)를 100:2의 비율로 첨가한 것을 아세트산 뷰틸로 희석하여, 고형분 농도 15%로 조제했다.The coating liquid C2 was diluted with butyl acetate in a ratio of 100: 2 by adding a curing agent L-45 (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.) to SK Dyne NT21 (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.) at a ratio of 100: 2, and the solid content concentration was 15. %.

이 유기 보호층(24)은, 아크릴계 점착제이다.This organic protective layer 24 is an acrylic adhesive.

[실시예 4][Example 4]

유기 보호층(24)이 되는 도포액 C3으로서, 유레테인계 접착제(록 페인트 가부시키가이샤제 96번)를 이용한 것 이외에는 실시예 3과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10c)을 제작했다.A gas barrier film 10c was produced in the same manner as in Example 3 except that a urethane-based adhesive (No. 96 manufactured by Rock Paint Co., Ltd.) was used as the coating liquid C3 to be the organic protective layer 24.

이 유기 보호층(24)은, 유레테인계 접착제이다.The organic protective layer 24 is a urethane-based adhesive.

[실시예 5][Example 5]

박리 수지층(20)이 되는 도포액으로서, 이하의 도포액 A2를 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the following coating liquid A2 was used as the coating liquid to be the release resin layer 20.

도포액 A2는, COC 수지(미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤제 APEL 6509T)를 사이클로헥세인으로 용해하여, 고형분 농도가 10%가 되도록 조제했다.The coating liquid A2 dissolved the COC resin (Mitsui Chemical Co., Ltd. APEL 6509T) with cyclohexane to prepare a solid content concentration of 10%.

형성한 박리 수지층(20)의 유리 전이 온도 Tg를, 앞과 동일하게 하여 측정한바, 70℃였다.The glass transition temperature Tg of the formed release resin layer 20 was measured in the same manner as before, and was 70 ° C.

[실시예 6][Example 6]

박리 수지층(20)이 되는 도포액으로서, 이하의 도포액 A3을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the following coating liquid A3 was used as the coating liquid to be the release resin layer 20.

도포액 A3은, COC 수지(미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤제 APEL 6011T)를 사이클로헥세인으로 용해하여, 고형분 농도가 10%가 되도록 조제했다.The coating liquid A3 was prepared so that the COC resin (APEL 6011T manufactured by Mitsui Chemicals Co., Ltd.) was dissolved in cyclohexane, and the solid content concentration was 10%.

형성한 박리 수지층(20)의 유리 전이 온도 Tg를, 앞과 동일하게 하여 측정한바, 105℃였다.The glass transition temperature Tg of the formed release resin layer 20 was measured in the same manner as before, and was 105 ° C.

[실시예 7][Example 7]

박리 수지층(20)이 되는 도포액으로서, 이하의 도포액 A4를 이용한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the following coating liquid A4 was used as the coating liquid to be the release resin layer 20.

도포액 A4는, COP 수지(JSR 가부시키가이샤제 아톤 D4540)를 사이클로헥세인으로 용해하여, 고형분 농도가 10%가 되도록 조제했다.The coating liquid A4 was prepared such that the COP resin (Aton D4540 manufactured by JSR Corporation) was dissolved in cyclohexane to obtain a solid content concentration of 10%.

형성한 박리 수지층(20)의 유리 전이 온도 Tg를, 앞과 동일하게 하여 측정한바, 128℃였다.The glass transition temperature Tg of the formed release resin layer 20 was measured in the same manner as before, and was 128 ° C.

[실시예 8][Example 8]

박리 수지층(20)이 되는 도포액 A1의 고형분 농도 및 도포량을 변경하여, 건조 막두께를 20μm로 한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.The gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the solid content concentration and coating amount of the coating liquid A1 serving as the release resin layer 20 were changed, and the dry film thickness was set to 20 µm.

[실시예 9][Example 9]

박리 수지층(20)이 되는 도포액 A1의 고형분 농도 및 도포량을 변경하여, 건조 막두께를 10μm로 한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.The gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the solid content concentration and coating amount of the coating solution A1 serving as the release resin layer 20 were changed and the dry film thickness was set to 10 μm.

[실시예 10][Example 10]

박리 수지층(20)이 되는 도포액 A1의 고형분 농도 및 도포량을 변경하여, 건조 막두께를 0.5μm로 한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the solid content concentration and coating amount of the coating liquid A1 serving as the release resin layer 20 were changed and the dry film thickness was set to 0.5 μm.

[실시예 11][Example 11]

박리 수지층(20)이 되는 도포액 A1의 고형분 농도 및 도포량을 변경하여, 건조 막두께를 0.1μm로 한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.The gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the solid content concentration and coating amount of the coating solution A1 serving as the release resin layer 20 were changed and the dry film thickness was set to 0.1 μm.

[실시예 12][Example 12]

유기층(14)이 되는 도포액으로서, 이하의 도포액 B2를 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the following coating liquid B2 was used as the coating liquid to be the organic layer 14.

도포액 B2는, A-DPH(신나카무라 가가쿠 고교 가부시키가이샤제 Tg 250℃ 이상) 및 A-600(신나카무라 가가쿠 고교 가부시키가이샤제 Tg -22℃)을 4:1이 되도록 배합하여, 이것과 광중합 개시제(BASF 재팬제 Irg819)를 중량 비율로 97:3이 되도록 칭량하고, 메틸에틸케톤에 용해시켜, 고형분 농도 15%로 조제했다.The coating solution B2 was formulated so that A-DPH (Tg 250 ° C. or higher manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and A-600 (Tg-22 ° C. manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) became 4: 1. , This and the photopolymerization initiator (BASF Japan Irg819) were weighed to 97: 3 by weight ratio, dissolved in methyl ethyl ketone, and prepared at a solid content concentration of 15%.

형성한 유기층(14)의 유리 전이 온도 Tg를 앞과 동일하게 하여 측정한바 180℃였다.When the glass transition temperature Tg of the formed organic layer 14 was measured in the same manner as before, it was 180 ° C.

[실시예 13][Example 13]

유기층(14)이 되는 도포액으로서, 이하의 도포액 B3을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the following coating liquid B3 was used as the coating liquid to be the organic layer 14.

도포액 B3은, A-DPH(신나카무라 가가쿠 고교 가부시키가이샤제 Tg 250℃ 이상) 및 A-600(신나카무라 가가쿠 고교 가부시키가이샤제 Tg -22℃)을 1:1이 되도록 배합하여, 이것과 광중합 개시제(BASF 재팬제 Irg819)를 중량 비율로 97:3이 되도록 칭량하고, 메틸에틸케톤에 용해시켜, 고형분 농도 15%로 조제했다.The coating liquid B3 was formulated such that A-DPH (Tg 250 ° C. or higher manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and A-600 (Tg-22 ° C. manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) became 1: 1. , This and the photopolymerization initiator (BASF Japan Irg819) were weighed to 97: 3 by weight ratio, dissolved in methyl ethyl ketone, and prepared at a solid content concentration of 15%.

형성한 유기층(14)의 유리 전이 온도 Tg를 앞과 동일하게 하여 측정한바 114℃였다.When the glass transition temperature Tg of the formed organic layer 14 was measured in the same manner as before, it was 114 ° C.

[실시예 14][Example 14]

유기층(14)이 되는 도포액으로서, 이하의 도포액 B4를 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the following coating liquid B4 was used as the coating liquid to be the organic layer 14.

도포액 B4는, 다이셀 올넥스 가부시키가이샤제 EB3702(Tg 53℃) 및 광중합 개시제(BASF 재팬제 Irg819)를, 중량 비율로서 97:3이 되도록 칭량하고, 이들을 메틸에틸케톤에 용해시켜, 고형분 농도 15%로 조제했다.The coating solution B4 was weighed so as to make 97: 3 by weight ratio of EB3702 (Tg 53 ° C) manufactured by Daicel Allnex Co., Ltd. and photopolymerization initiator (BASF Japan Irg819), dissolved in methyl ethyl ketone, and solid content. It was prepared at a concentration of 15%.

형성한 유기층(14)의 유리 전이 온도 Tg를 앞과 동일하게 하여 측정한바 53℃였다.When the glass transition temperature Tg of the formed organic layer 14 was measured in the same manner as before, it was 53 ° C.

[실시예 15][Example 15]

유기층(14)이 되는 도포액으로서, 이하의 도포액 B5를 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the following coating liquid B5 was used as the coating liquid to be the organic layer 14.

도포액 B5는, A-DPH(신나카무라 가가쿠 고교 가부시키가이샤제 Tg 250℃ 이상) 및 1-ADMA(1-아다만틸메타크릴레이트 오사카 유키 가가쿠 고교 가부시키가이샤제 Tg 250℃)를 1:1이 되도록 배합하여, 이것과 광중합 개시제(BASF 재팬제 Irg819)를 중량 비율로 97:3이 되도록 칭량하고, 메틸에틸케톤에 용해시켜, 고형분 농도 15%로 조제했다.The coating liquid B5 is A-DPH (Tg 250 ° C or higher manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and 1-ADMA (1-adamantyl methacrylate Osaka Yuki Chemical Co., Ltd. Tg 250 ° C). It was formulated to be 1: 1, and this and a photopolymerization initiator (BASF Japan Irg819) were weighed to 97: 3 by weight, dissolved in methyl ethyl ketone, and prepared at a solid content concentration of 15%.

즉, 유기층의 형성 재료는, 아다만테인 골격을 갖는 1관능 이상의 아크릴레이트를 포함하는 것이다.That is, the material for forming the organic layer contains one or more acrylates having an adamantane skeleton.

형성한 유기층(14)의 유리 전이 온도 Tg를 앞과 동일하게 하여 측정한바 250℃였다.The glass transition temperature Tg of the formed organic layer 14 was measured in the same manner as before, and was 250 ° C.

[실시예 16][Example 16]

유기층(14)이 되는 도포액으로서, 이하의 도포액 B6을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the following coating liquid B6 was used as the coating liquid to be the organic layer 14.

도포액 B6은, A-DPH(신나카무라 가가쿠 고교 가부시키가이샤제 Tg 250℃ 이상) 및 EA-200(아크릴레이트 모노머 오사카 가스 케미컬 가부시키가이샤제 Tg 211℃)을 1:1이 되도록 배합하여, 이것과 광중합 개시제(BASF 재팬제 Irg819)를 중량 비율로 97:3이 되도록 칭량하고, 메틸에틸케톤에 용해시켜, 고형분 농도 15%로 조제했다.The coating liquid B6 was formulated such that A-DPH (Tg 250 ° C or higher manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and EA-200 (Tg 211 ° C manufactured by acrylate monomer Osaka Gas Chemical Co., Ltd.) became 1: 1. , This and the photopolymerization initiator (BASF Japan Irg819) were weighed to 97: 3 by weight ratio, dissolved in methyl ethyl ketone, and prepared at a solid content concentration of 15%.

즉, 유기층의 형성 재료는, 플루오렌 골격을 갖는 2관능 이상의 아크릴레이트를 포함하는 것이다.That is, the material for forming the organic layer contains a bifunctional or higher acrylate having a fluorene skeleton.

형성한 유기층(14)의 유리 전이 온도 Tg를 앞과 동일하게 하여 측정한바 230℃였다.The glass transition temperature Tg of the formed organic layer 14 was measured in the same manner as before, and was 230 ° C.

[실시예 17][Example 17]

무기층(16)으로서, 산화 알루미늄막(알루미나막)을 형성한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.As the inorganic layer 16, a gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that an aluminum oxide film (alumina film) was formed.

산화 알루미늄막은, 일반적인 스퍼터링 장치에 의하여 형성했다. 구체적으로는, 알루미나 소결체를 타겟으로서 이용하여, DC 마그네트론 스퍼터링에 의하여, 산화 알루미늄막으로 이루어지는 무기층(16)을 형성했다.The aluminum oxide film was formed by a general sputtering device. Specifically, an inorganic layer 16 made of an aluminum oxide film was formed by DC magnetron sputtering using an alumina sintered compact as a target.

[실시예 18][Example 18]

유기층(14)이 되는 도포액 B1의 고형분 농도 및 도포량을 변경하여, 건조 막두께를 5μm로 한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.The gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the solid content concentration and coating amount of the coating liquid B1 serving as the organic layer 14 were changed, and the dry film thickness was 5 μm.

[실시예 19][Example 19]

유기층(14)이 되는 도포액 B1의 고형분 농도 및 도포량을 변경하여, 건조 막두께를 0.1μm로 한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.The gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that the solid content concentration and coating amount of the coating liquid B1 serving as the organic layer 14 were changed, and the dry film thickness was set to 0.1 µm.

[실시예 20][Example 20]

기판(12)으로서 실리콘 박리 필름(후지모리 고교 가부시키가이샤제 필름 바이나 BD)을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 제작했다.A gas barrier film 10a was produced in the same manner as in Example 1 except that a silicon release film (film bar or BD manufactured by Fujimori High School Co., Ltd.) was used as the substrate 12.

[실시예 21][Example 21]

유기 보호층(24)이 되는 도포액 C2의 고형분 농도 및 도포량을 변경하여, 건조 막두께를 50μm로 한 것 이외에는, 실시예 3과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10c)을 제작했다.The gas barrier film 10c was produced in the same manner as in Example 3, except that the solid content concentration and coating amount of the coating liquid C2 serving as the organic protective layer 24 were changed and the dry film thickness was set to 50 μm.

[실시예 22][Example 22]

유기 보호층(24)이 되는 도포액 C2의 고형분 농도 및 도포량을 변경하여, 건조 막두께를 0.1μm로 한 것 이외에는, 실시예 3과 동일하게 하여 가스 배리어 필름(10c)을 제작했다.A gas barrier film 10c was produced in the same manner as in Example 3, except that the solid content concentration and coating amount of the coating liquid C2 serving as the organic protective layer 24 were changed and the dry film thickness was set to 0.1 µm.

[비교예 1][Comparative Example 1]

박리 수지층(20)의 형성을 행하지 않았던 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름을 제작했다.A gas barrier film was produced in the same manner as in Example 1 except that the release resin layer 20 was not formed.

[비교예 2][Comparative Example 2]

박리 수지층(20)을 형성할 때에, 건조 후에 자외선을 적산 조사량 약 3000mJ/cm2로 조사하고, 경화시켜 권취했다. 다음으로, 유기층(14)을 형성할 때의 자외선의 적산 조사량을 약 50mJ/cm2로 변경했다. 이들 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 가스 배리어 필름을 제작했다.When forming the release resin layer 20, after drying, ultraviolet rays were irradiated with a cumulative irradiation amount of about 3000 mJ / cm 2 , and then cured and wound. Next, the cumulative irradiation amount of ultraviolet rays when forming the organic layer 14 was changed to about 50 mJ / cm 2 . A gas barrier film was produced in the same manner as in Example 1 except for these.

이로써, 박리 수지층(20)과 기판(12)의 박리력을 강하게 하면서, 유기층(14)과 박리 수지층(20)의 박리력을 약하게 했다. 이로써, 유기층(14)과 박리 수지층(20)의 박리력을, 박리 수지층(20)과 기판(12)의 박리력보다 약하게 했다. 즉, 박리 수지층(20)과 유기층(14)의 사이에 박리하도록 했다.Thereby, the peeling force between the organic layer 14 and the peeling resin layer 20 was weakened while strengthening the peeling force between the peeling resin layer 20 and the substrate 12. Thereby, the peeling force of the organic layer 14 and the peeling resin layer 20 was made weaker than the peeling force of the peeling resin layer 20 and the substrate 12. That is, it was made to peel between the peeling resin layer 20 and the organic layer 14.

[평가][evaluation]

제작한 실시예 1~22 및 비교예 1, 2의 가스 배리어 필름에 대하여, 가스 배리어성 및 광학 특성의 평가를 행했다.The gas barrier films and optical properties of the produced gas barrier films of Examples 1 to 22 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated.

<가스 배리어성><Gas barrier property>

(전사 공정)(Transfer process)

피전사체로서, 후지탁(TD80 후지필름 가부시키가이샤제)에 광학 점착 필름(PDS1 파낙 가부시키가이샤제)을 첩합한, 점착층이 첩합된 평방 200mm의 TAC 필름을 준비했다.As an object to be transferred, a TAC film of 200 mm square, in which an adhesive layer was bonded to a Fuji Tak (manufactured by TD80 Fuji Film Co., Ltd.) with an optical adhesive film (manufactured by PDS1 Panak Corporation) was prepared.

제작한 가스 배리어 필름(10)의 보호 필름(26)을 박리한 후, 피전사체의 점착층과 가스 배리어 필름(10)의 무기층(16)이 접하도록 래미네이터(페로즈사제 프로테우스)에 의하여 첩합했다. 이로써, 평방 200mm의 첩합 필름을 얻었다. 래미네이트 압력 0.5MPa, 반송 속도 5m/min로 했다.After peeling off the protective film 26 of the produced gas barrier film 10, by a laminator (proteus manufactured by Fellows), the adhesive layer of the object to be transferred and the inorganic layer 16 of the gas barrier film 10 come into contact with each other. I put it together. Thereby, a 200 mm square bonding film was obtained. The lamination pressure was 0.5 MPa, and the conveying speed was 5 m / min.

첩합 후, 가스 배리어 필름(10)의 기판(12)을 박리했다. 기판(12)은, 이하와 같이 하여 박리했다. 먼저, 단부면이 확실히 박리되도록 평방 200mm의 첩합 필름을, 톰슨 날을 이용하여 평방 100mm로 펀칭했다. 이어서, TAC 필름 측을 아래로 하여, 평면성이 높은 흡착 플레이트에 의하여 TAC 필름면을 흡착 유지한 후에, 기판(12)을 잡기 위한 점착 테이프(닛토 셀로테이프(등록 상표))를 단부에 2cm 정도 붙였다. 이어서, 기판(12)이 180도 박리 시험과 마찬가지로 원호를 그리도록, 점착 테이프를 샘플과 평행하게 당겼다. 이와 같이 하여, 기판(12)을 박리했다. 박리 시에는, 온도 25℃ 습도 50%RH의 환경하에서 행했다.After bonding, the substrate 12 of the gas barrier film 10 was peeled off. The substrate 12 was peeled as follows. First, a 200 mm square bonded film was punched to 100 mm square using a Thompson blade so that the end faces were peeled off clearly. Subsequently, after the TAC film side was turned down and the TAC film surface was adsorbed and held by a highly planar adsorption plate, an adhesive tape (Nitto Cellotape (registered trademark)) for holding the substrate 12 was attached to the end portion of about 2 cm. . Subsequently, the adhesive tape was pulled parallel to the sample so that the substrate 12 arced like the 180 degree peel test. In this way, the substrate 12 was peeled off. At the time of peeling, it was performed in an environment at a temperature of 25 ° C and a humidity of 50% RH.

또한, 무기층(16) 상에 점착층이 되는 유기 보호층(24)을 갖는, 실시예 3, 4, 21 및 22에 대해서는, 점착 필름을 첩합하고 있지 않는 후지탁(TD80 후지필름 가부시키가이샤제)을 피전사체로 한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 전사를 행했다.In addition, with respect to Examples 3, 4, 21, and 22, which have an organic protective layer 24 serving as an adhesive layer on the inorganic layer 16, Fuji Tak (TD80 Fujifilm Co., Ltd.) does not adhere the adhesive film. The transfer was carried out in the same manner as in Example 1, except that () was a transfer object.

(수증기 투과율 측정)(Measurement of water vapor transmission rate)

피전사체에 전사하여 기판(12)을 박리한 가스 배리어 필름(10)의 수증기 투과율을, 칼슘 부식법(일본 공개특허공보 2005-283561호에 기재되는 방법)에 의하여 측정했다. 항온 항습 처리의 조건은, 온도 40℃, 상대 습도 90%RH로 했다.The water vapor transmission rate of the gas barrier film 10 transferred to an object to be transferred and peeling off the substrate 12 was measured by a calcium corrosion method (method described in JP 2005-283561 A). The conditions of the constant temperature and constant humidity treatment were set to a temperature of 40 ° C and a relative humidity of 90% RH.

또, 후지탁 단체(單體)의 수증기 투과율은 400[g/(m2·day)]이었다.Moreover, the water vapor transmittance of Fujitak simple substance was 400 [g / (m 2 · day)].

측정한 수증기 투과율에 근거하여, 이하의 기준으로 평가했다.Based on the measured water vapor transmission rate, evaluation was made based on the following criteria.

A: 수증기 투과율이 5×10-5[g/(m2·day)] 미만A: Water vapor transmittance is less than 5 × 10 -5 [g / (m 2 · day)]

B: 수증기 투과율이 5×10-5 이상 1×10-4[g/(m2·day)] 미만B: The water vapor transmission rate is 5 × 10 -5 or more and less than 1 × 10 -4 [g / (m 2 · day)]

C: 수증기 투과율이 1×10-4 이상 5×10-4[g/(m2·day)] 미만C: Water vapor transmission rate of 1 × 10 -4 or more and less than 5 × 10 -4 [g / (m 2 · day)]

D: 수증기 투과율이 5×10-4 이상 1×10-3[g/(m2·day)] 미만D: Water vapor transmittance is 5 × 10 -4 or more and less than 1 × 10 -3 [g / (m 2 · day)]

E: 수증기 투과율이 1×10-3[g/(m2·day)] 이상E: Water vapor transmission rate of 1 × 10 -3 [g / (m 2 · day)] or more

<광학 특성><Optical characteristics>

제작한 가스 배리어 필름(10)의 보호 필름(26)을 박리한 후에, 기판(12)을 박리하여, 박리 수지층(20) 및 가스 배리어층(18)(유기층(14) 및 무기층(16))을 포함하는 전사층(30)을 취출했다. 이어서, 이 전사층(30)의 전체 광선 투과율 및 리타데이션값을 측정했다.After peeling off the protective film 26 of the produced gas barrier film 10, the substrate 12 is peeled off, and the release resin layer 20 and the gas barrier layer 18 (organic layer 14 and inorganic layer 16) )) Was taken out. Subsequently, the total light transmittance and retardation value of the transfer layer 30 were measured.

(전체 광선 투과율)(Total light transmittance)

취출한 전사층(30)의 전체 광선 투과율을, 분광 광도계(닛폰 덴쇼쿠사제 헤이즈미터 SH7000)를 이용하여 측정했다.The total light transmittance of the taken-out transfer layer 30 was measured using a spectrophotometer (Hazemeter SH7000 manufactured by Nippon Denshoku Co., Ltd.).

측정한 전체 광선 투과율에 근거하여 이하의 기준으로 평가했다.It evaluated based on the following criteria based on the measured total light transmittance.

A: 전체 광선 투과율이 90% 이상A: Total light transmittance is 90% or more

B: 전체 광선 투과율이 88% 이상 90% 미만B: Total light transmittance is 88% or more and less than 90%

C: 전체 광선 투과율이 86% 이상 88% 미만C: Total light transmittance is 86% or more and less than 88%

D: 전체 광선 투과율이 84% 이상 86% 미만D: Total light transmittance is 84% or more and less than 86%

(리타데이션값)(Retardation value)

취출한 전사층(30)의 리타데이션값(Re값)을 KOBRA-WR(오지 게이소쿠 기키 가부시키가이샤제)로 측정했다.The retardation value (Re value) of the taken-out transfer layer 30 was measured by KOBRA-WR (Oji Scientific Instruments, Ltd.).

측정한 리타데이션값에 근거하여 이하의 기준으로 평가했다.It evaluated based on the following criteria based on the measured retardation value.

A: 리타데이션값이 5nm 이하A: Retardation value is 5 nm or less

B: 리타데이션값이 5nm 초과 10nm 이하B: The retardation value is more than 5 nm and less than 10 nm

C: 리타데이션값이 10nm 초과 20nm 이하C: Retardation value is more than 10nm and less than 20nm

D: 리타데이션값이 20nm 초과D: Retardation value exceeds 20 nm

결과를 하기의 표에 나타낸다.The results are shown in the table below.

[표 1][Table 1]

Figure 112018015090604-pct00001
Figure 112018015090604-pct00001

상기 표 1에 나타나는 바와 같이, 기판과 가스 배리어층의 사이에 박리 수지층을 갖고, 박리 수지층과 기판의 계면에서 박리하는 본 발명의 실시예는, 비교예와 비교하여, 가스 배리어성 및 광학 특성이 우수한 것을 알 수 있다.As shown in Table 1, the embodiment of the present invention having a release resin layer between the substrate and the gas barrier layer, and peeling at the interface between the release resin layer and the substrate, compared with the comparative example, gas barrier properties and optical It can be seen that the properties are excellent.

또, 실시예 1, 5 및 6의 대비로부터, 박리 수지층은, 유리 전이 온도 Tg가 100℃ 이상인 환상 올레핀 수지인 것이 바람직한 것을 알 수 있다.Moreover, from the contrast of Examples 1, 5, and 6, it turns out that it is preferable that the release resin layer is a cyclic olefin resin whose glass transition temperature Tg is 100 degreeC or more.

또, 실시예 1과 실시예 7의 대비로부터, 박리 수지층은, 사이클로올레핀 코폴리머인 것이 바람직한 것을 알 수 있다.Moreover, it turns out that it is preferable that a peeling resin layer is a cycloolefin copolymer from the contrast of Example 1 and Example 7.

또, 실시예 1 및 8~11의 대비로부터, 박리 수지층의 두께는, 0.1~25μm가 바람직하고, 0.5~15μm가 보다 바람직한 것을 알 수 있다.Moreover, from the contrast of Examples 1 and 8-11, it turns out that 0.1-25 micrometers is preferable and 0.5-15 micrometers of thickness of a peeling resin layer is more preferable.

또, 실시예 1, 12~14의 대비로부터, 유기층의 유리 전이 온도 Tg는, 200℃ 이상이 바람직한 것을 알 수 있다.Moreover, it can be seen from the contrast of Examples 1 and 12 to 14 that the glass transition temperature Tg of the organic layer is preferably 200 ° C or higher.

또, 실시예 1, 15 및 16의 대비로부터, 유기층은, 아다만테인 골격을 갖는 1관능 이상의 아크릴레이트를 5 중량% 이상, 50 중량% 미만 포함하는 것이 바람직하고, 혹은, 플루오렌 골격을 갖는 2관능 이상의 아크릴레이트를 5 중량% 이상, 50 중량% 미만 포함하는 것이 바람직한 것을 알 수 있다.Moreover, from the contrast of Examples 1, 15 and 16, the organic layer preferably contains 5% by weight or more and less than 50% by weight of a monofunctional or higher acrylate having an adamantane skeleton, or has a fluorene skeleton It can be seen that it is preferable to contain at least 5% by weight and less than 50% by weight of the bifunctional or higher acrylate.

또, 실시예 1, 18 및 19의 대비로부터, 유기층의 두께는 0.1~50μm인 것이 바람직하고, 0.1~5μm인 것이 보다 바람직하며, 0.2~3μm가 더 바람직한 것을 알 수 있다.Further, from the contrast of Examples 1, 18 and 19, it can be seen that the thickness of the organic layer is preferably 0.1 to 50 μm, more preferably 0.1 to 5 μm, and more preferably 0.2 to 3 μm.

또, 실시예 1과 실시예 17의 대비로부터, 무기층은 질화 규소인 것이 바람직한 것을 알 수 있다.In addition, it can be seen from the contrast between Examples 1 and 17 that the inorganic layer is preferably silicon nitride.

또, 실시예 2~4, 21, 22로부터, 무기층(16) 상에 유기 보호층(24)을 갖는 것이 바람직한 것을 알 수 있다.Moreover, it turns out that it is preferable to have the organic protective layer 24 on the inorganic layer 16 from Examples 2-4, 21, and 22.

또, 실시예 3과 실시예 4의 대비로부터, 유기 보호층(24)으로서 아크릴계 점착제를 이용하는 것이 바람직한 것을 알 수 있다.Moreover, it can be seen from the contrast between Examples 3 and 4 that it is preferable to use an acrylic pressure-sensitive adhesive as the organic protective layer 24.

또, 실시예 3, 21 및 22의 대비로부터 유기 보호층(24)의 두께는, 0.1~50μm가 바람직하고, 0.5~25μm가 보다 바람직한 것을 알 수 있다.Moreover, it can be seen from the contrast of Examples 3, 21, and 22 that the thickness of the organic protective layer 24 is preferably 0.1 to 50 μm, and more preferably 0.5 to 25 μm.

[실시예 23][Example 23]

제작한 가스 배리어 필름(10)을 이용하여, 도 6에 나타내는 파장 변환 필름(100)을 제작했다. 파장 변환 필름은, 파장 변환층으로서 양자 도트층을 갖는 양자 도트 필름으로 했다.The wavelength conversion film 100 shown in FIG. 6 was produced using the produced gas barrier film 10. The wavelength conversion film was a quantum dot film having a quantum dot layer as a wavelength conversion layer.

<양자 도트층 형성용 조성물의 조제><Preparation of composition for forming quantum dot layer>

하기의 양자 도트 함유 중합성 조성물 A를 조제하고, 구멍 직경 0.2μm의 폴리프로필렌제 필터로 여과한 후, 30분간 감압 건조하여 도포 조성물로서 이용했다. 이하의 톨루엔 분산액 중의 양자 도트 농도는, 1질량%였다.The following quantum dot-containing polymerizable composition A was prepared, filtered through a filter made of polypropylene having a pore diameter of 0.2 µm, dried under reduced pressure for 30 minutes, and used as a coating composition. The quantum dot concentration in the following toluene dispersion was 1% by mass.

(양자 도트 함유 중합성 조성물 A)(Polymer dot-containing polymerizable composition A)

·양자 도트 1의 톨루엔 분산액(발광 극대: 520nm) 10.0질량부Toluene dispersion of quantum dot 1 (maximum emission: 520 nm) 10.0 parts by mass

·양자 도트 2의 톨루엔 분산액(발광 극대: 630nm) 1.0질량부1.0 part by mass of quantum dot 2 toluene dispersion (luminescence maximum: 630 nm)

·라우릴메타크릴레이트 80.8질량부・ 80.8 parts by weight of lauryl methacrylate

·트라이메틸올프로페인트라이아크릴레이트 18.2질량부Trimethylolpropane triacrylate 18.2 parts by mass

·광중합 개시제 1.0질량부1.0 part by weight of photopolymerization initiator

(이르가큐어 819(BASF사제))(Irgacure 819 (manufactured by BASF))

<양자 도트 필름의 제작><Production of quantum dot film>

2개의 필름(제1 필름 및 제2 필름)으로서, 실시예 1의 가스 배리어 필름(10a)을 준비했다. 즉, 제1 필름 및 제2 필름으로서 동일한 구성의 것을 이용했다.As two films (first film and second film), the gas barrier film 10a of Example 1 was prepared. That is, the thing of the same structure was used as a 1st film and a 2nd film.

먼저, 제1 필름을, 1m/분, 60N/m의 장력으로 연속 반송하면서, 무기층(16) 상의 보호 필름(26)을 박리하고, 무기층(16) 상에, 상기에서 조제한 도포 조성물을 다이코터로 도포하여, 50μm의 두께의 도막을 형성했다.First, while continuously conveying the first film at a tension of 1 m / min and 60 N / m, the protective film 26 on the inorganic layer 16 is peeled off, and on the inorganic layer 16, the coating composition prepared above is prepared. It was applied with a die coater to form a 50 μm thick coating film.

이어서, 도막이 형성된 필름을 백업 롤러에 감았다. 제2 필름으로부터 보호 필름(26)을 박리하고, 무기층(16)면이 도막에 접하는 방향으로 래미네이팅했다. 이와 같이 하여, 제1 필름 및 제2 필름으로, 도막을 협지했다.Subsequently, the film on which the coating film was formed was wound on a backup roller. The protective film 26 was peeled from the second film, and the inorganic layer 16 was laminated in the direction in contact with the coating film. In this way, the coating film was pinched by the first film and the second film.

이 상태로 연속 반송하면서, 60℃의 가열 존을 3분간 통과시킨 후, 160W/cm의 공랭 메탈할라이드 램프(아이 그래픽스 가부시키가이샤제)를 이용하여, 자외선을 조사하고 경화시켜, 양자 도트를 함유하는 양자 도트층(파장 변환층(102))을 형성했다. 또한, 자외선의 조사량은 2000mJ/cm2였다.While continuously conveying in this state, the heating zone at 60 ° C. was passed for 3 minutes, and then irradiated with ultraviolet rays and cured using a 160 W / cm air-cooled metal halide lamp (manufactured by Eye Graphics Co., Ltd.) to contain quantum dots. A quantum dot layer (wavelength conversion layer 102) was formed. In addition, the irradiation amount of ultraviolet rays was 2000 mJ / cm 2 .

제1 필름 및 제2 필름 각각으로부터 기판(12)을 박리하여, 양자 도트 필름(파장 변환 필름(100))을 제작했다.The substrate 12 was peeled from each of the first film and the second film to produce a quantum dot film (wavelength conversion film 100).

[평가][evaluation]

제작한 실시예 23의 파장 변환 필름(100)에 대하여, 내구성의 평가를 행했다.The wavelength conversion film 100 of Example 23 produced was evaluated for durability.

구체적으로는, 제작 직후의 파장 변환 필름(100)의 휘도와, 온도 60℃, 습도 90%RH의 환경하에 1000시간 방치한 후(가습 후)의 휘도를 측정하고, 그 변화량으로부터 내구성을 평가했다.Specifically, the luminance of the wavelength conversion film 100 immediately after production, and the luminance after being left for 1000 hours in an environment at a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90% RH (after humidification) were measured, and durability was evaluated from the amount of change. .

휘도의 측정은, 이하와 같이 하여 행했다.The luminance was measured as follows.

먼저, 시판의 액정 표시 장치(Amazon사제 Kindle Fire HDX 7")를 분해하여, 청색 광원을 구비하는 백라이트 유닛을 취출했다. 다음으로, 백라이트 유닛의 도광판 상에 직사각형으로 잘라낸 파장 변환 필름을 두고, 그 위에, 상기 액정 표시 장치로부터 취출한 2매의 프리즘 시트를, 표면의 요철 패턴의 방향이 직교하도록 중첩하여 배치했다.First, a commercially available liquid crystal display device (Kindle Fire HDX 7 "manufactured by Amazon) was disassembled to take out a backlight unit having a blue light source. Next, a wavelength converting film cut into a rectangle was placed on the light guide plate of the backlight unit, and On the above, two prism sheets taken out from the liquid crystal display device were superimposed and arranged so that the direction of the uneven pattern on the surface was orthogonal.

백라이트 유닛을 점등하고, 백라이트 유닛의 전면(前面)으로부터 수직 방향 740mm의 위치에 설치한 휘도계(TOPCON사제 SR3)로 휘도를 측정했다.The backlight unit was turned on, and the luminance was measured with a luminance meter (SR3 manufactured by TOPCON) installed at a position of 740 mm in the vertical direction from the front side of the backlight unit.

측정의 결과, 가습 전후에서의 휘도의 변화는 1% 이하였다. 따라서, 본 발명의 가스 배리어 필름을 이용하여 밀봉한 파장 변환 필름은, 높은 내구성을 갖는 것을 알 수 있다.As a result of the measurement, the change in luminance before and after humidification was 1% or less. Therefore, it turns out that the wavelength conversion film sealed using the gas barrier film of this invention has high durability.

[실시예 24][Example 24]

제작한 가스 배리어 필름(10)을 이용하여, 도 5에 나타내는 가스 배리어층 부착 위상차 필름(110)을 제작했다.The retardation film 110 with a gas barrier layer shown in FIG. 5 was produced using the produced gas barrier film 10.

위상차 필름(112)으로서, 특수 폴리카보네이트 W138(데이진 가부시키가이샤제)을 이용했다.As the retardation film 112, special polycarbonate W138 (made by Teijin Co., Ltd.) was used.

먼저, 위상차 필름(112)에 광학 점착 필름(PDS1 파낙 가부시키가이샤제)을 첩합했다.First, an optical adhesive film (manufactured by PDS1 Panak Co., Ltd.) was pasted onto the retardation film 112.

다음으로, 실시예 1의 가스 배리어 필름(10a)의 보호 필름(26)을 박리한 후, 위상차 필름(112)의 점착층 측과 가스 배리어 필름(10)의 무기층(16)이 접하도록, 래미네이터(페로즈사제 프로테우스)에 의하여 첩합했다. 첩합 후, 가스 배리어 필름(10)의 기판(12)을 박리하여, 가스 배리어층 부착 위상차 필름(110)을 제작했다.Next, after peeling off the protective film 26 of the gas barrier film 10a of Example 1, the adhesive layer side of the retardation film 112 and the inorganic layer 16 of the gas barrier film 10 are in contact, Bonding was carried out by a laminator (Proteus manufactured by Peroz Corporation). After bonding, the substrate 12 of the gas barrier film 10 was peeled to produce a phase difference film 110 with a gas barrier layer.

[평가][evaluation]

제작한 실시예 24의 가스 배리어층 부착 위상차 필름(110)에 대하여, 광학 특성의 평가를 행했다.The optical property of the retardation film 110 with a gas barrier layer of Example 24 was evaluated.

구체적으로는, 위상차 필름(112) 단체, 및 가스 배리어층 부착 위상차 필름(110) 각각의 리타데이션값을 측정한바, 차는 2% 이하였다. 따라서, 본 발명의 가스 배리어 필름을 전사한 가스 배리어층 부착 위상차 필름(110)은, 광학 특성을 유지하면서, 높은 가스 배리어성을 갖는 것을 알 수 있다.Specifically, when the retardation values of the retardation film 112 alone and the retardation film 110 with the gas barrier layer were measured, the difference was 2% or less. Therefore, it can be seen that the retardation film 110 with the gas barrier layer transferred with the gas barrier film of the present invention has high gas barrier properties while maintaining optical properties.

[실시예 25][Example 25]

제작한 가스 배리어 필름(10)을 이용하여, 도 7(A)에 나타내는 유기 EL 적층체(120a)를 제작했다.Using the produced gas barrier film 10, an organic EL laminate 120a shown in Fig. 7A was produced.

<유기 EL 소자의 제작><Production of organic EL elements>

두께 500μm, 크기 20×20mm의 유리판을 소자 기판(122)으로서 준비했다.A glass plate having a thickness of 500 μm and a size of 20 × 20 mm was prepared as the element substrate 122.

이 소자 기판(122)의 주변 2mm를, 세라믹에 의하여 마스킹했다. 또한, 마스킹을 실시한 소자 기판을 일반적인 진공 증착 장치에 장전하고, 진공 증착에 의하여, 두께 100nm의 금속 알루미늄으로 이루어지는 전극을 형성하며, 또한 두께 1nm의 불화 리튬층을 형성했다. 이어서, 이 소자 기판(122)에, 진공 증착에 의하여, 이하의 유기 화합물층을, 순차 형성했다.The peripheral 2 mm of the element substrate 122 was masked with ceramic. Further, the masked device substrate was loaded in a general vacuum deposition apparatus, and an electrode made of metal aluminum having a thickness of 100 nm was formed by vacuum deposition, and a lithium fluoride layer having a thickness of 1 nm was formed. Subsequently, the following organic compound layers were sequentially formed on the device substrate 122 by vacuum deposition.

·(발광층 겸 전자 수송층) 트리스(8-하이드록시퀴놀리네이토)알루미늄: 막두께 60nm((Emission layer and electron transport layer) Tris (8-hydroxyquinolinate) aluminum: film thickness 60 nm

·(제2 정공 수송층) N,N'-다이페닐-N,N'-다이나프틸벤지딘: 막두께 40nm((Second hole transport layer)) N, N'-diphenyl-N, N'-dynaphthylbenzidine: film thickness 40 nm

·(제1 정공 수송층) 구리 프탈로사이아닌: 막두께 10nm((1st hole transport layer) copper phthalocyanine: film thickness 10 nm

또한, 이들 층을 형성한 소자 기판(122)을, 일반적인 스퍼터링 장치에 장전하여, ITO(Indium Tin Oxide 산화 인듐 주석)를 타겟으로 하여 이용하고, DC 마그네트론 스퍼터링에 의하여, 두께 0.2μm의 ITO 박막으로 이루어지는 투명 전극을 형성했다. 이와 같이 하여, 소자 기판(122) 상에, 유기 EL 재료를 이용하는 발광 소자인 유기 EL 소자(124)를 형성했다.In addition, the element substrate 122 having these layers was loaded into a general sputtering apparatus, and used as a target for ITO (Indium Tin Oxide Indium Tin Oxide), and by DC magnetron sputtering, into an ITO thin film having a thickness of 0.2 μm. A transparent electrode was formed. In this way, on the element substrate 122, an organic EL element 124, which is a light emitting element using an organic EL material, was formed.

<가스 배리어 필름의 전사><Transfer of gas barrier film>

이어서, 유기 EL 소자(124)를 형성한 소자 기판(122)으로부터, 마스킹을 제거했다. 마스킹을 제거한 소자 기판(122)에 아크릴계의 접착제를 도포했다. 다음으로, 실시예 1의 가스 배리어 필름(10a)으로부터 보호 필름(26)을 박리하고, 무기층(16) 측을 접착제면을 향하게 하여 가스 배리어 필름(10a)을 첩합하며, 그 후, 가스 배리어 필름(10a)의 기판을 박리하여, 유기 EL 적층체(120a)를 제작했다.Subsequently, masking was removed from the element substrate 122 on which the organic EL element 124 was formed. An acrylic adhesive was applied to the element substrate 122 with the masking removed. Next, the protective film 26 is peeled off from the gas barrier film 10a of Example 1, the gas barrier film 10a is pasted with the inorganic layer 16 facing the adhesive surface, and thereafter, the gas barrier The substrate of the film 10a was peeled to produce an organic EL laminate 120a.

[실시예 26][Example 26]

마스킹을 제거한 후에, 유기 EL 소자(124)가 형성된 소자 기판(122)을 일반적인 플라즈마 CVD 장치에 장전하여, 플라즈마 CVD(CCP-CVD)에 의하여, 질화 규소로 이루어지는, 두께 1500nm의 패시베이션막(126)을 형성한 것 이외에는, 실시예 25와 동일하게 하여, 도 7(C)에 나타내는 유기 EL 적층체(120c)를 제작했다.After removing the masking, the element substrate 122 on which the organic EL element 124 is formed is loaded in a general plasma CVD apparatus, and the passivation film 126 made of silicon nitride, made of silicon nitride by plasma CVD (CCP-CVD), is formed. An organic EL laminate 120c shown in Fig. 7C was produced in the same manner as in Example 25, except for forming.

[실시예 27][Example 27]

소자 기판(122)으로서, 실시예 1의 가스 배리어 필름(10a)을 이용한 것 이외에는 실시예 25와 동일하게 하여, 유기 EL 적층체(124)를 제작했다.An organic EL laminate 124 was produced in the same manner as in Example 25 except that the gas barrier film 10a of Example 1 was used as the element substrate 122.

구체적으로는, 후지탁(TD80 후지필름 가부시키가이샤제)에 광학 점착 필름(PDS1 파낙 가부시키가이샤제)을 첩합한, 점착층이 첩합된 TAC 필름에, 실시예 1의 가스 배리어 필름(10a)을 전사하고, 기판(12)을 박리한 적층체를 소자 기판(122)으로서 이용했다. 그리고, 이 소자 기판(122)의 박리 수지층(20) 상에 유기 EL 소자(124)를 형성했다.Specifically, the gas barrier film 10a of Example 1 is attached to a TAC film in which an adhesive layer is pasted, in which an optical adhesive film (manufactured by PDS1 Panak Co., Ltd.) is attached to Fuji Tak (manufactured by TD80 Fuji Film). Was transferred, and a laminate obtained by peeling off the substrate 12 was used as the element substrate 122. Then, the organic EL element 124 was formed on the release resin layer 20 of the element substrate 122.

그 후, 앞과 동일하게 하여, 또 다른 1매의 가스 배리어 필름(10a)으로 유기 EL 소자(124)를 밀봉하여 유기 EL 적층체(124)를 제작했다.Subsequently, the organic EL element 124 was sealed with another one gas barrier film 10a in the same manner as the above to produce an organic EL laminate 124.

[평가][evaluation]

제작한 실시예 25~27의 유기 EL 적층체에 대하여, 내구성의 평가를 행했다.The organic EL laminates of Examples 25 to 27 produced were evaluated for durability.

구체적으로는, 제작한 유기 EL 적층체(124)를, 온도 60℃, 습도 90%RH의 환경하에, 200시간 방치했다. 방치 후, 각 유기 EL 적층체(124)를, Keithlel사제의 SMU2400형 소스 메저 유닛을 이용하여 7V의 전압을 인가하여 발광시켰다. 현미경에 의하여, 가스 배리어 필름(10a) 측) 측으로부터 관측하고, 다크 스폿의 발생의 유무를 확인하여, 이하의 기준으로 평가했다.Specifically, the produced organic EL laminate 124 was left in an environment at a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90% RH for 200 hours. After standing, each organic EL laminate 124 was lighted by applying a voltage of 7 V using a SMU2400 type source measure unit manufactured by Keithlel. It observed with the microscope from the gas barrier film (10a side) side, the presence or absence of dark spot generation was confirmed, and it evaluated by the following criteria.

A: 다크 스폿의 발생이 전혀 보이지 않았음A: Dark spots were not observed at all.

B: 다크 스폿의 발생이 약간 보였음B: Dark spots were slightly observed.

C: 다크 스폿의 발생이 명확하게 확인되었음C: The occurrence of dark spots was clearly confirmed

D: 다크 스폿의 면적의 비율이 큼D: The proportion of the dark spot area is large

평가의 결과, 실시예 25~27의 유기 EL 적층체는 모두 A였다.As a result of the evaluation, all of the organic EL laminates of Examples 25 to 27 were A.

이상의 결과로부터, 본 발명의 효과는 명확하다.From the above results, the effect of the present invention is clear.

10 가스 배리어 필름
12 기판
14 유기층
16 무기층
18 가스 배리어층
20 박리 수지층
24 유기 보호층
26 보호 필름
30 전사층
40 도포부
42 건조부
44 경화부
48 반송 롤러쌍
50 공급실
50a, 52a, 54a 진공 배기 수단
52 성막실
54 권취실
58, 60, 76 가이드 롤러
62 드럼
64 샤워 전극
68 원료 가스 공급부
70 고주파 전원
72 적층 롤러쌍
100 파장 변환 필름
102 파장 변환층
104 가스 배리어 필름
110 가스 배리어층 부착 위상차 필름
112 위상차 필름
120 유기 EL 적층체
122 소자 기판
124 유기 EL 소자
126 패시베이션막
10 gas barrier film
12 substrate
14 organic layer
16 inorganic layers
18 gas barrier layer
20 release resin layer
24 organic protective layer
26 protective film
30 Warrior Layer
40 applicator
42 Drying section
44 Hardened part
48 transfer roller pairs
50 supply rooms
50a, 52a, 54a vacuum exhaust means
52 Tabernacle
54 winding room
58, 60, 76 guide rollers
62 drums
64 shower electrodes
68 Raw material gas supply
70 high frequency power
72 lamination roller pair
100 wavelength conversion film
102 wavelength conversion layer
104 gas barrier film
110 gas barrier layer retardation film
112 retardation film
120 organic EL laminate
122 element substrate
124 organic EL devices
126 passivation membrane

Claims (24)

기판과,
상기 기판의 한쪽 면 측에 마련되어, 무기층과 상기 무기층의 형성면인 유기층의 조합을 1세트 이상 갖는 가스 배리어층과,
상기 기판과 상기 가스 배리어층의 사이에 마련되어, 상기 유기층과 밀착하고, 또한 상기 기판과 상기 가스 배리어층을 박리하기 위한 박리 수지층을 갖고,
상기 유기층은 상기 박리 수지층보다 얇고, 상기 유기층의 유리 전이 온도가 상기 박리 수지층의 유리 전이 온도보다 높으며,
상기 박리 수지층의 형성 재료가 사이클로올레핀 코폴리머이고,
상기 유기층의 형성 재료가, 자외선 경화 수지 또는 전자선 경화 수지이며, 경화 후의 유리 전이 온도 Tg가 200℃ 이상이고,
상기 유기층의 형성 재료가, 아다만테인 골격을 갖는 1관능 이상의 아크릴레이트를 5 중량% 이상, 50 중량% 미만 포함하거나, 플루오렌 골격을 갖는 2관능 이상의 아크릴레이트를 5 중량% 이상, 50 중량% 미만 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 배리어 필름.
Substrate,
A gas barrier layer provided on one side of the substrate and having at least one set of a combination of an inorganic layer and an organic layer serving as a formation surface of the inorganic layer,
It is provided between the substrate and the gas barrier layer, is in close contact with the organic layer, and further has a release resin layer for peeling the substrate and the gas barrier layer,
The organic layer is thinner than the release resin layer, and the glass transition temperature of the organic layer is higher than the glass transition temperature of the release resin layer,
The material for forming the release resin layer is a cycloolefin copolymer,
The material for forming the organic layer is an ultraviolet curing resin or an electron beam curing resin, and the glass transition temperature Tg after curing is 200 ° C. or higher,
The material for forming the organic layer contains at least 5% by weight, less than 50% by weight of at least one acrylate having an adamantane skeleton, or at least 5% by weight, at least 50% by weight of acrylates having a fluorene skeleton. A gas barrier film comprising less than.
청구항 1에 있어서,
상기 박리 수지층의 형성 재료가, 유리 전이 온도 Tg가 100℃ 이상인 환상 올레핀 수지인, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 1,
The gas barrier film in which the material for forming the release resin layer is a cyclic olefin resin having a glass transition temperature Tg of 100 ° C or higher.
청구항 1에 있어서,
상기 박리 수지층의 두께가 0.1~25μm인, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 1,
The gas barrier film whose thickness of the said peeling resin layer is 0.1-25 micrometers.
청구항 1에 있어서,
상기 무기층의 형성 재료가, 질화 규소, 산화 규소, 또는 이들의 혼합물인, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 1,
The gas barrier film, wherein the material for forming the inorganic layer is silicon nitride, silicon oxide, or a mixture thereof.
청구항 1에 있어서,
상기 유기층의 두께가 0.1~5μm인, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 1,
A gas barrier film having a thickness of the organic layer of 0.1 to 5 μm.
청구항 1에 있어서,
상기 가스 배리어층 상에 마련된, 보호 필름 또는 유기 보호층을 더 갖는, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 1,
A gas barrier film further provided on the gas barrier layer, further comprising a protective film or an organic protective layer.
청구항 6에 있어서,
상기 유기 보호층이 아크릴계 점착제인, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 6,
The gas barrier film, wherein the organic protective layer is an acrylic adhesive.
청구항 6에 있어서,
상기 유기 보호층 상에 마련된 보호 필름을 더 갖는, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 6,
A gas barrier film further comprising a protective film provided on the organic protective layer.
청구항 6에 있어서,
상기 유기 보호층의 두께가 0.1~50μm인, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 6,
A gas barrier film having a thickness of the organic protective layer of 0.1 to 50 μm.
청구항 1에 있어서,
상기 기판이, 이형층이 부여된 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름인, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 1,
A gas barrier film, wherein the substrate is a polyethylene terephthalate film provided with a release layer.
청구항 1에 있어서,
상기 기판을 제거한 구성의 수증기 투과율이 0.01g/(m2·day) 미만인, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 1,
A gas barrier film having a water vapor transmission rate of less than 0.01 g / (m 2 · day) in a configuration in which the substrate is removed.
청구항 1에 있어서,
상기 기판을 제거한 구성의 가시광 투과율이 85% 이상, 리타데이션값이 30nm 이하인, 가스 배리어 필름.
The method according to claim 1,
A gas barrier film having a visible light transmittance of 85% or more and a retardation value of 30 nm or less in a configuration in which the substrate is removed.
가스 배리어층 및 박리 수지층을 구비하는 전사층을, 피전사체에 전사하는 가스 배리어 필름의 전사 방법으로서,
청구항 1에 기재된 가스 배리어 필름의 상기 기판과는 반대 측의 면을 피전사체에 첩착하고,
상기 기판을 박리하는, 가스 배리어 필름의 전사 방법.
As a transfer method of a gas barrier film for transferring a transfer layer comprising a gas barrier layer and a release resin layer to an image transfer body,
The surface of the gas barrier film according to claim 1, which is opposite to the substrate, is adhered to the transfer body,
A method of transferring a gas barrier film, wherein the substrate is peeled off.
청구항 13에 있어서,
상기 피전사체가, 파장 변환 재료, 위상차 필름, 유기 EL 소자, 및 유기 EL 소자 상에 형성된 패시베이션막 중 어느 하나인, 가스 배리어 필름의 전사 방법.
The method according to claim 13,
The method for transferring a gas barrier film, wherein the object to be transferred is any one of a wavelength conversion material, a retardation film, an organic EL element, and a passivation film formed on the organic EL element.
파장 변환층과,
상기 파장 변환층 상에 적층된, 청구항 1에 기재된 가스 배리어 필름으로부터 상기 기판을 제거한, 상기 가스 배리어층 및 상기 박리 수지층을 구비하는 전사층을 갖는, 파장 변환 필름.
A wavelength conversion layer,
The wavelength conversion film which has the transfer layer provided with the said gas barrier layer and the said peeling resin layer which removed the said board | substrate from the gas barrier film of Claim 1 laminated | stacked on the said wavelength conversion layer.
위상차 필름과,
상기 위상차 필름 상에 적층된, 청구항 1에 기재된 가스 배리어 필름으로부터 상기 기판을 제거한, 상기 가스 배리어층 및 상기 박리 수지층을 구비하는 전사층을 갖는, 가스 배리어층 부착 위상차 필름.
Retardation film,
The phase difference film with a gas barrier layer which has the transfer layer provided with the said gas barrier layer and the said peeling resin layer which removed the said board | substrate from the gas barrier film of Claim 1 laminated | stacked on the said phase difference film.
유기 EL 소자와,
상기 유기 EL 소자 상에 적층된, 청구항 1에 기재된 가스 배리어 필름으로부터 상기 기판을 제거한, 상기 가스 배리어층 및 상기 박리 수지층을 구비하는 전사층을 갖는, 유기 EL 적층체.
An organic EL element,
An organic EL laminate having a transfer layer comprising the gas barrier layer and the release resin layer, the substrate being removed from the gas barrier film according to claim 1 laminated on the organic EL element.
청구항 17에 있어서,
상기 유기 EL 소자와 상기 전사층의 사이에, 패시베이션막을 갖는, 유기 EL 적층체.
The method according to claim 17,
An organic EL laminate having a passivation film between the organic EL element and the transfer layer.
청구항 17에 있어서,
상기 유기 EL 소자를 지지하는 소자 기판을 더 갖고,
상기 소자 기판이, 상기 가스 배리어 필름으로부터 상기 기판을 제거한, 상기 가스 배리어층 및 상기 박리 수지층을 구비하는 전사층을 포함하는, 유기 EL 적층체.
The method according to claim 17,
Further having a device substrate for supporting the organic EL device,
The element substrate includes the transfer layer including the gas barrier layer and the release resin layer, from which the substrate is removed from the gas barrier film, and an organic EL laminate.
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