KR102097736B1

KR102097736B1 - 광 조사 장치

Info

Publication number: KR102097736B1
Application number: KR1020150046164A
Authority: KR
Inventors: 노리오 코바야시
Original assignee: 호야 칸데오 옵트로닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2014-04-08
Filing date: 2015-04-01
Publication date: 2020-04-07
Also published as: JP6067612B2; CN104806991B; TWI644591B; JP2015201329A; KR20150116780A; CN204534498U; CN104806991A; TW201540123A

Abstract

광 조사 장치 전체를 밀폐 케이스로 덮는 구성을 채용하면서도, 내부에 결로가 생기지 않는 광 조사 장치를 제공한다.
광 조사 장치가 기판과, 기판의 표면에 실장된 발광 소자를 가지고, 조사 대상물에 광을 출사하는 광원 모듈과, 기판의 이면에 맞닿도록 설치되고, 냉매가 흐르는 유로를 내부에 가지는 히트 싱크와, 광원 모듈과 히트 싱크를 밀폐하도록 설치된 밀폐 케이스와, 히트 싱크 상에 첩부되고, 밀폐 케이스 내의 습도를 조절하는 습도 조절 부재를 구비한다.

Description

광 조사 장치{LIGHT IRRADIATION APPARATUS}

본 발명은 밀폐된 케이스 내에 광원을 가지고, 조사 대상물에 광을 조사하는 광 조사 장치에 관한 것이다.

종래, 오프셋 매엽 인쇄용의 잉크로서, 자외광의 조사에 의해 경화하는 자외선 경화형 잉크가 사용되고 있다. 또, 액정 패널이나 유기 EL(Electro Luminescence) 패널 등, FPD(Flat Panel Display)의 시일제로서, 자외선 경화 수지가 사용되고 있다. 이러한 자외선 경화형 잉크나 자외선 경화 수지의 경화에는 일반적으로 자외광을 조사하는 자외광 조사 장치가 사용되고 있지만, 특히 오프셋 매엽 인쇄나 FPD의 용도에 있어서는, 폭이 넓은 직사각형 형상의 조사 영역에 높은 조사 강도의 자외광을 조사할 필요가 있기 때문에, 다수의 발광 소자를 기판 상에 늘어놓고, 조사 영역에 대향하여 배치한 광 조사 장치가 사용된다.

이러한 다수의 발광 소자를 사용하는 광 조사 장치에 있어서는, 발광 소자의 발열에 의해 온도가 상승하고, 발광 소자의 발광 효율이 현저하게 저하한다는 문제가 발생한다. 이 때문에, 기판에 밀착하도록 히트 싱크 등의 방열 수단을 설치하고, 히트 싱크 내부에 형성된 유로에 냉각수 등의 냉매를 흘림으로써, 발광 소자에서 발생하는 열을 강제적으로 방열하는 구성이 채용되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1).

일본 공개특허공보 2008-288456호

특허문헌 1의 광 조사 장치에 의하면, 방열 수단(방열 장치)이 발광 소자(LED칩)의 열을 기판으로부터 흡수하여 방열하기 때문에, 발광 소자를 효율적으로 냉각하는 것이 가능하게 된다. 이러한 방열 수단은 방열성이나 메인터넌스의 관점에서는 외부에 노출되어 있는 것이 바람직하기 때문에, 특허문헌 1의 광 조사 장치에 있어서는, 발광 소자나 기판도 포함하여 외부에 노출하는 구성을 채용하고 있다. 그러나, 발광 소자가 외부에 노출되면, 사용 환경에 따라서는 수분, 미스트, 먼지 등에 의해 오염되어, 조사 강도의 저하를 초래하거나, 최악의 경우 발광 소자의 쇼트를 야기한다는 문제가 있다.

이러한 문제를 해결하기 위해서는, 광 조사 장치 전체를 밀폐 케이스로 덮는다는 구성이 생각되는데, 이러한 구성으로 하면, 방열 수단에 의해 밀폐 케이스 내의 공기가 냉각되어, 밀폐 케이스의 내부와 외부에서 온도차가 생기기 때문에, 밀폐 케이스 내부에 결로가 생겨, 광이 출사되는 출사창이 뿌옇게 되어버린다는 문제가 발생한다. 또, 밀폐 케이스 내부에 결로가 생겨, 밀폐 케이스 내부의 습도가 상승하면, 기판 상의 회로 패턴을 구성하는 금속(예를 들면, 구리)으로의 수분의 흡수가 빨라지고, 이온 마이그레이션의 발생이 가속화되어, 이것에 의해 회로 패턴간(즉, 발광 소자의 애노드와 캐소드간)이 쇼트하기 쉬워진다는 문제도 우려된다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는 광 조사 장치 전체를 밀폐 케이스로 덮는 구성을 채용하면서도, 내부에 결로가 생기지 않는 광 조사 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 광 조사 장치는 기판과, 기판의 표면에 실장된 발광 소자를 가지고, 조사 대상물에 광을 출사하는 광원 모듈과, 기판의 이면에 맞닿도록 설치되고, 냉매가 흐르는 유로를 내부에 가지는 히트 싱크와, 광원 모듈과 히트 싱크를 밀폐하도록 설치된 밀폐 케이스와, 히트 싱크 상에 배치되고, 밀폐 케이스 내의 습도를 조절하는 습도 조절 부재를 구비한다.

이러한 구성에 의하면, 습도 조절 부재에 의해 밀폐 케이스 내부의 습도가 적합하게 조정되기 때문에, 밀폐 케이스 내부에 결로가 발생하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

또, 습도 조절 부재는 밀폐 케이스 내의 습도가 소정값을 넘었을 때에 공기 중의 수분을 흡착하고, 소정값 이하가 되었을 때에 흡착한 수분을 공기 중에 방출하는 것이 바람직하다. 또, 이 경우, 습도 조절 부재는 메소포러스(mesoporous silica) 실리카를 포함하는 것이 바람직하다.

또, 습도 조절 부재는 시트 형상의 부재인 것이 바람직하다. 또, 이 경우, 습도 조절 부재는 히트 싱크의 주위를 둘러싸도록 배치할 수 있다.

또, 냉매는 물 혹은 에틸렌글라이콜, 프로필렌글라이콜, 또는 그것들과 물의 혼합물인 것이 바람직하다.

또, 광원 모듈을 복수 구비하고, 복수의 광원 모듈은 소정의 방향으로 적어도 일렬로 늘어놓아 배치되어 있는 것이 바람직하다.

또, 발광 소자는 자외선 경화 수지에 작용하는 파장의 광을 발하는 것이 바람직하다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 광 조사 장치 전체를 밀폐 케이스로 덮는 구성을 채용하면서도, 내부에 결로가 생기지 않는 광 조사 장치가 실현된다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치를 도 1의 A-A선에서 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치에 탑재되는 광 조사 유닛의 확대 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치에 탑재되는 광 조사 유닛의 배면도 및 평면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면 중 동일 또는 상당 부분에는 동일한 부호를 붙이고 그 설명은 반복하지 않는다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치(1)의 정면도이다. 도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치(1)를 도 1의 A-A선에서 절단한 단면도이다. 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 오프셋 매엽 인쇄용의 잉크로서 사용되는 자외선 경화형 잉크나, FPD(Flat Panel Display) 등에서 시일제로서 사용되는 자외선 경화 수지를 경화시키는 광원 장치에 탑재되는 장치이며, 도시하지 않는 조사 대상물에 대향하여 배치되어, 조사 대상물의 소정의 에어리어에 라인 형상의 자외광을 출사한다.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 광 조사 장치(1)는 라인 형상의 자외광을 출사하는 광 조사 유닛(100)과, 광 조사 유닛(100)을 수용하는 밀폐 케이스(200)로 구성되어 있다. 이하, 본 명세서에 있어서는, 광 조사 장치(1)로부터 출사되는 라인 형상의 자외광의 길이(선 길이) 방향을 X축 방향, 폭 방향(즉, 도 1의 상하 방향)을 Y축 방향, X축 및 Y축과 직교하는 방향을 Z축 방향이라고 정의하여 설명한다.

밀폐 케이스(200)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 전면에 개구(210a)를 가지는 알루미늄제의 케이스 본체부(210)와, 개구(210a)에 끼워넣어진 유리제의 창부(220)로 구성되어 있고, 광 조사 유닛(100)을 기밀하게 수용하고 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 광 조사 유닛(100)은 32개의 광원 모듈(110)과, 한 쌍의 단자대(131, 132)와, 히트 싱크(150)와, 습도 조절 시트(300) 등을 구비하고 있다. 각 광원 모듈(110)은 직사각형 형상의 자외광을 출사하는 유닛이며, 본 실시형태에 있어서는, 히트 싱크(150) 상에 16개(X축 방향)×2열(Y축 방향)의 태양으로 조밀하게 늘어놓아 배치되고, 광 조사 장치(1)로부터는 X축 방향에 평행한 라인 형상의 자외광이 출사되도록 구성되어 있다.

도 3 및 도 4는 본 실시형태의 광 조사 유닛(100)의 구성을 설명하는 도면이다. 도 3은 광 조사 유닛(100)의 확대 정면도이며, 2개×2열의 광원 모듈(110)을 확대하여 나타내고 있다. 또, 도 4(a)는 광 조사 유닛(100)의 배면도이며, 도 4(b)는 광 조사 유닛(100)의 평면도이다. 또한, 도 3 및 도 4에 있어서는, 설명의 편의상, 밀폐 케이스(200)를 생략하고 있다.

히트 싱크(150)는 각 광원 모듈(110)을 고정함과 아울러, 각 광원 모듈(110)에서 발생한 열을 방열하기 위한 부재이며, 열전도율이 높은 구리 등의 금속에 의해 형성되어 있다. 도 2 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 히트 싱크(150)는 X축 방향으로 연장되는 사각기둥 형상의 부재이며, 히트 싱크(150)의 전면(150a)(도 3)은 광원 모듈(110)의 재치면으로 되어 있다. 또, 히트 싱크(150)의 상면 및 하면에는 도 2에 나타내는 바와 같이 단자대(131 및 132)가 각각 복수의 고정 나사(도시하지 않음)에 의해 부착되어 있다.

본 실시형태의 히트 싱크(150)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 소위 수냉용 히트 싱크이며, 내부에 냉매가 흐르는 유로(160)가 형성되어 있고, 히트 싱크(150)의 배면(150b)측에는 냉매를 공급하기 위한 공급구(170)와, 냉매를 배출하기 위한 배출구(175)가 설치되어 있다. 또, 상세는 후술하지만, 히트 싱크(150)의 배면(150b)에는 습도 조절 시트(300)가 첩부되어 있다. 또한, 냉매로서는 물이나 부동액(예를 들면, 에틸렌글라이콜, 프로필렌글라이콜, 또는 그것들과 물의 혼합물)을 사용할 수 있고, 또 부동액에는 몰리브덴산나트륨 수화물이나 탄소수 등의 방식제를 첨가한 것을 사용해도 된다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 단자대(131)는 애노드 단자(135a)와 캐소드 단자(135b)로 이루어지는 한 쌍의 전극 단자(135)를 X축 방향을 따라 복수 지지하는 수지제의 판 형상의 부재이다. 한 쌍의 전극 단자(135)(즉, 애노드 단자(135a)와 캐소드 단자(135b))는 각 광원 모듈(110)에 전력을 공급하기 위한 단자이며, 각 광원 모듈(110)의 전극판(125)에 접속된다. 본 실시형태에 있어서는, 단자대(131)측(즉, 히트 싱크(150)의 상면측)에 배치되는 16개의 광원 모듈(110)에 전력을 공급할 수 있도록, 16개의 애노드 단자(135a)와 16개의 캐소드 단자(135b)가 X축 방향을 따라 교대로 설치되어 있다. 또한, 상세는 후술하지만, 단자대(131)의 상면(131a)에는 습도 조절 시트(300)가 첩부되어 있다.

단자대(132)는 단자대(131)와 마찬가지로 애노드 단자(136a)와 캐소드 단자(136b)로 이루어지는 한 쌍의 전극 단자(136)를 X축 방향을 따라 복수 지지하는 수지제의 판 형상의 부재이다. 한 쌍의 전극 단자(136)(즉, 애노드 단자(136a)와 캐소드 단자(136b))는 각 광원 모듈(110)에 전력을 공급하기 위한 단자이며, 각 광원 모듈(110)의 전극판(125)에 접속된다. 본 실시형태에 있어서는, 단자대(132)측(단, 히트 싱크(150)의 하면측)에 배치되는 16개의 광원 모듈(110)에 전력을 공급할 수 있도록, 16개의 애노드 단자(136a)와 16개의 캐소드 단자(136b)가 X축 방향을 따라 교대로 설치되어 있다. 또한, 상세는 후술하지만, 단자대(132)의 하면(132a)에는 습도 조절 시트(300)가 첩부되어 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 각 광원 모듈(110)은 열전도율이 높은 질화알루미늄으로 형성된 직사각형 형상의 세라믹스 기판(115)과, 세라믹스 기판(115) 상에 정사각 격자 형상으로 다이본딩되어 배치된 복수의 LED(Light Emitting Diode) 다이(120)와, 세라믹스 기판(115) 상에 형성된 애노드 패턴(도시하지 않음) 및 캐소드 패턴(도시하지 않음)에 각각 납땜 등(예를 들면, 도전성 접착제(은 페이스트), 납재, 용접·용착, 확산 접합 등)으로 전기적으로 접속된 직사각형 형상의 한 쌍의 전극판(125)을 구비하고 있다.

전극판(125)은 구리 또는 황동, 인청동, 베릴륨동 등의 구리 합금에 의해 형성된 도전율이 높고, 유연성을 가지는 판 형상의 부재이다. 상기 서술한 바와 같이, 전극판(125)의 선단부는 세라믹스 기판(115)의 표면의 1변의 단부 근방에 있어서, 납땜 등에 의해 애노드 패턴 또는 캐소드 패턴에 전기적으로 접속되어 있고, 기단부는 세라믹스 기판(115)의 외측으로 돌출하도록 인출되어, 애노드 단자(135a(또는 136a)) 또는 캐소드 단자(135b(또는 136b))와 전기적으로 접속되어 있다.

각 광원 모듈(110)에는 X축 방향으로 20개, Y축 방향으로 11개의 LED 다이(120)가 세라믹스 기판(115)의 표면과 직교하는 방향(즉, Z축 방향)으로 광축의 방향을 맞추어 세라믹스 기판(115)의 표면에 정사각 격자 형상으로 늘어놓아 배치되어 있다. 각 LED 다이(120)의 애노드 단자(도시하지 않음) 및 캐소드 단자(도시하지 않음)는 도시하지 않는 본딩 와이어에 의해, 각각 애노드 패턴 및 캐소드 패턴에 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 애노드 패턴에 접속된 전극판(125)에 구동 전류(즉, 애노드 전류)가 공급되면, 각 광원 모듈(110)에 탑재된 모든 LED 다이(120)에 구동 전류가 흐르고, 각 LED 다이(120)로부터는 구동 전류에 따른 광량의 자외광이 출사되도록 되어 있다. 또한, 본 실시형태의 각 LED 다이(120)는 대략 동일한 전기적 특성을 가지고 있고, 각 LED 다이(120)로부터는 대략 동일한 조사 강도 분포의 자외광이 출사되도록 구성되어 있다. 각 LED 다이(120)를 흐른 구동 전류는 캐소드 패턴을 통과하고, 캐소드 패턴에 접속된 전극판(125)으로부터는 리턴 전류(즉, 캐소드 전류)가 리턴된다.

이와 같이, 각 광원 모듈(110)에 탑재된 모든 LED 다이(120)에 구동 전류가 흐르고, 각 LED 다이(120)로부터 자외광이 출사되면, LED 다이(120)의 자기 발열에 의해 온도가 상승하고, 발광 효율이 현저하게 저하한다는 문제가 발생한다. 이 때문에, 본 실시형태에 있어서는, 각 광원 모듈(110)에 밀착하도록 히트 싱크(150)를 설치하고, LED 다이(120)에서 발생하는 열을 강제적으로 방열하고 있다.

그러나, 본 실시형태에 있어서는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 광 조사 유닛(100)이 밀폐 케이스(200)에 의해 기밀하게 덮여 있기 때문에, 밀폐 케이스(200)의 내부와 외부에서 온도차가 생기게 된다. 그리고, 밀폐 케이스(200)의 내부와 외부에서 온도차가 생기면, 밀폐 케이스(200)의 내부에 결로가 생겨, 자외광이 출사되는 창부(220)가 뿌옇게 되어버린다는 문제가 발생한다. 그래서, 이러한 문제를 해결하기 위해서, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 밀폐 케이스(200)의 내부에 습도 조절 시트(300)를 구비하고 있다.

습도 조절 시트(300)는 메소포러스 실리카(mesoporous silica)를 함유하는 시트 형상의 부재이며, 예를 들면, 닛폰카세이 가부시키가이샤제의 상품명 「메소퓨어」(등록상표)이다. 메소포러스 실리카는 이산화규소(실리카)를 재질로 하여, 균일하며 규칙적인 세공(메소 구멍)을 가지고, 높은 흡습성을 가지는 물질이며, 메소포러스 실리카를 함유하는 습도 조절 시트(300)는 습도가 소정값을 넘었을 때에 수증기를 흡착하고, 소정값 이하가 되었을 때에 수증기를 방출하는 특성(즉, 히스테리시스 특성)을 가지고 있다. 이 때문에, 밀폐 케이스(200) 내에 배치하면, 밀폐 케이스(200) 내의 습도가 적합하게 조절된다. 또한, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)에 있어서는, 밀폐 케이스(200) 내에 있어서, 히트 싱크(150)의 표면 온도가 가장 낮아지기 때문에, 히트 싱크(150)가 가장 결로되기 쉬운 점에서, 습도 조절 시트(300)는 히트 싱크(150)의 배면(150b)에 첩부되어 있다(도 4(a)). 또, 습도 조정의 관점에서는 습도 조절 시트(300)의 면적은 될 수 있는 한 넓은 편이 바람직하다. 이 때문에, 본 실시형태에 있어서는, 히트 싱크(150)의 주위를 둘러싸도록, 히트 싱크(150)에 인접하여 배치되는 단자대(131)의 상면(131a 및 132)의 하면(132a)에도 습도 조절 시트(300)가 첩부되어 있다.

이와 같이, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 밀폐 케이스(200)의 내부에 습도 조절 시트(300)를 구비하고 있기 때문에, 광 조사 유닛(100)(즉, 광원 모듈(110) 및 히트 싱크(150))을 밀폐 케이스(200)에 의해 덮는 구성을 채용하면서도, 밀폐 케이스(200) 내부의 습도가 적합하게 조정된다. 따라서, 각 광원 모듈(110)을 확실하게 냉각하면서도, 밀폐 케이스(200) 내부의 결로를 방지할 수 있다. 또, 밀폐 케이스(200) 내부의 습도가 컨트롤되기 때문에, 세라믹스 기판(115) 상의 패턴의 이온 마이그레이션의 발생이 가속되는 일도 없다.

이상이 본 실시형태의 설명인데, 본 발명은 상기한 구성에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에 있어서 다양한 변형이 가능하다.

예를 들면, 본 실시형태에 있어서는, 히트 싱크(150)를 둘러싸도록 습도 조절 시트(300)를 배치했지만, 이러한 구성에 한정되는 것은 아니며, 습도 조절 시트(300)의 면적을 늘리기 위해서, 예를 들면, 밀폐 케이스(200)의 내면에 적당히 배치해도 된다.

또, 본 실시형태의 습도 조절 시트(300)는 메소포러스 실리카를 함유하는 시트 형상의 부재인 것으로 했지만, 다른 흡착형 흡습제를 사용하는 것도 가능하다. 습도 조절 시트(300)에 사용되는 흡착형 흡습제로서는 적어도 일종의 규소 화합물을 포함하는 것이 바람직하고, 예를 들면, 실리카, 제올라이트, 다공질 유리, 아파타이트, 규조토, 카올리나이트, 세피올라이트, 알로페인, 이모고라이트, 활성 백토, 실리카-알루미나 복합 산화물, 실리카-티타니아 복합 산화물, 실리카-지르코니아, 실리카-산화마그네슘, 실리카-산화란탄, 실리카-산화바륨, 실리카-산화스트론튬 등의 복합 금속 산화물 등을 들 수 있다.

또, 본 실시형태에 있어서는, 습도 조절 시트(300)의 일례로서, 닛폰카세이 가부시키가이샤제의 상품명 「메소퓨어」(등록상표)를 들었지만, 히스테리시스 특성을 가지는 동등품을 적용하는 것도 가능하다.

또한, 금회 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라, 특허청구의 범위에 의해 표시되며, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.

1…광 조사 장치 100…광 조사 유닛
110…광원 모듈 115…세라믹스 기판
120…LED 다이 125…전극판
131, 132…단자대 135, 136…전극 단자
135a, 136a…애노드 단자 135b, 136b…캐소드 단자
150…히트 싱크 160…유로
170…공급구 175…배출구
200…밀폐 케이스 210…케이스 본체부
210a…개구 220…창부
300…습도 조절 시트

Claims

서로 직교하는 제1 방향과 제2 방향에 의해 규정되는 평면에 평행한 기판과, 상기 기판의 표면에 실장된 발광 소자를 가지고, 조사 대상물에 상기 제1 방향으로 뻗는 라인상의 광을 출사하는 광원 모듈;
전면이 상기 기판의 이면에 맞닿도록 설치되고, 냉매가 흐르는 유로를 내부에 가지는 히트 싱크;
상기 히트 싱크의 상기 제2 방향 측면에 배치되어, 상기 광원 모듈에 전력을 공급하는 단자대;
상기 광원 모듈, 상기 히트 싱크 및 상기 단자대를 밀폐하도록 설치된 밀폐 케이스; 및
상기 히트 싱크의 배면 및 상기 단자대의 상기 제2 방향 외측면에 첩부되어 상기 밀폐 케이스 내의 습도를 조절하는 습도 조절 부재;를 구비하고,
상기 습도 조절 부재는 시트 형상의 부재인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 습도 조절 부재는 상기 밀폐 케이스 내의 습도가 정해진 값을 넘었을 때에 공기 중의 수분을 흡착하고, 정해진 값 이하가 되었을 때에 상기 흡착한 수분을 공기 중에 방출하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
제2 항에 있어서, 상기 습도 조절 부재는 메소포러스 실리카(mesoporous silica)를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 냉매가 물 혹은 에틸렌글라이콜, 프로필렌글라이콜, 또는 그것들과 물의 혼합물인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광원 모듈을 복수 구비하고,
상기 복수의 광원 모듈은 정해진 방향으로 적어도 일렬로 늘어놓아 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
제4 항에 있어서, 상기 광원 모듈을 복수 구비하고,
상기 복수의 광원 모듈은 정해진 방향으로 적어도 일렬로 늘어놓아 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
제 1항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 발광 소자는 자외선 경화 수지에 작용하는 파장의 광을 발하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
제 4항에 있어서, 상기 발광 소자는 자외선 경화 수지에 작용하는 파장의 광을 발하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
제 5항에 있어서, 상기 발광 소자는 자외선 경화 수지에 작용하는 파장의 광을 발하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
제 6항에 있어서, 상기 발광 소자는 자외선 경화 수지에 작용하는 파장의 광을 발하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
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