KR102090874B1 - Nand flash memory device reducing the number of high voltage transistor - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 낸드 플래쉬 메모리 장치에 관한 것으로서, 특히, 고전압 트랜지스터의 수를 저감할 수 있는 낸드 플래쉬 메모리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a NAND flash memory device, and more particularly, to a NAND flash memory device capable of reducing the number of high voltage transistors.
낸드 플래시 메모리 장치는 전원이 공급되지 않는 상태에서도 데이터를 보존할 수 있으며, 선택되는 블락의 셀 트랜지스터들에 대한 소거가 한꺼번에 수행될 수 있다.The NAND flash memory device can preserve data even when the power is not supplied, and erase of the selected cell transistors of the block can be performed at once.
도 1은 기존의 낸드 플래시 메모리 장치를 나타내는 도면이다. 낸드 플래쉬 메모리 장치는 고집적화를 위해 제어 게이트와 플로팅 게이트를 포함하는 N-채널형의 복수개의 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)이 직렬로 연결되는 스트링(STRe, STRo)을 구성한다. 이때, 상기 스트링(STRe, STRo)에는, 복수개의 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)은 양쪽에 배치되는 소스 선택 트랜지스터(TRa) 및 드레인 선택 트랜지스터(TRb)를 통하여 공통 소스 라인(CSL) 및 이븐/오드 비트라인(BLe/BLo)에 전기적으로 연결된다.1 is a view showing a conventional NAND flash memory device. The NAND flash memory device constitutes a string (STRe, STRo) in which a plurality of N-channel cell transistors MC <1: n> including a control gate and a floating gate are connected in series for high integration. In this case, in the strings STRE and STRo, a plurality of cell transistors MC <1: n> are common source lines CSL through source select transistors TRa and drain select transistors TRb disposed on both sides. And electrically connected to the even / od bit line BLe / BLo.
이때, 낸드 플래시 메모리 장치의 전형적인 소거 동작은 로우(low) 또는 음의 전압(negative voltage)을 복수개의 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)의 제어 게이트로 인가하는 동안 20V 정도의 고전압을 웰(WELL)에 인가하여 수행된다. 이 경우, 스트링(STRe, STRo)과 연결되는 이븐/오드 비트라인(BLe/BLo)의 전압도 20V 부근으로 상승될 수 있다. 그리고, 소거 동작이 수행된 후의 상기 이븐/오드 비트라인(BLe/BLo)은 디스차지 신호들(DISCHe, DISCHo)에 게이팅되는 디스차지 트랜지스터들(TRDe, TRDo)를 통해 바이어스 전압(VBIAS)으로 디스차지된다.At this time, a typical erase operation of the NAND flash memory device is a high voltage of about 20V while a low or negative voltage is applied to the control gates of the plurality of cell transistors MC <1: n>. (WELL). In this case, the voltage of the even / od bit line BLe / BLo connected to the strings STRE and STRo may also be raised to around 20V. Then, the even / od bit line BLe / BLo after the erase operation is performed is discharged to the bias voltage VBIAS through discharge transistors TRDe and TRDo gated to the discharge signals DISCHe and DISCHo. Is occupied.
한편, 낸드 플래시 메모리 장치에서는, 상당수의 트랜지스터들은 상기 소스 선택 트랜지스터(TRa) 및 드레인 선택 트랜지스터(TRb)와 동일한 두께의 게이트막을 가지며, 게이트 단자에 2.3V 정도의 전원전압(VDD)으로 제어되도록 설계된다. 이 경우, 이러한 트랜지스터들에 20V 정도로 상승한 이븐/오드 비트라인(BLe/BLo)이 직접 연결되는 경우, 게이트막이 파손될 수도 있다.On the other hand, in the NAND flash memory device, a large number of transistors have a gate film having the same thickness as the source select transistor TRa and the drain select transistor TRb, and are designed to be controlled by a power supply voltage (VDD) of about 2.3 V at the gate terminal. do. In this case, when the even / ode bit line BLe / BLo, which is raised to about 20V, is directly connected to these transistors, the gate film may be damaged.
그래서, 도 1의 기존의 낸드 플래시 메모리 장치에서는, 이러한 게이트막의 파손을 막기 위하여, 상기 이븐/오드 비트라인(BLe/BLo)에 연결되는 디스차지 트랜지스터들(TRDe, TRDo)은 게이트막의 두께를 크게 한 고전압 트랜지스터로 구성된다. 참고로, 이븐/오드 선택 신호들(BSLe/BSLo)에 의하여 게이팅되는이븐/오드 선택 트랜지스터들(TRSe/TRSo)도 고전압 트랜지스터로 구성된다.Thus, in the conventional NAND flash memory device of FIG. 1, in order to prevent such a gate film from being damaged, discharge transistors TRDe and TRDo connected to the even / od bit line BLe / BLo increase the thickness of the gate film. It consists of one high voltage transistor. For reference, even / odd selection transistors TRSe / TRSo gated by even / odd selection signals BSLe / BSLo are also composed of high voltage transistors.
그런데, 이러한 고전압 트랜지스터의 경우, 요구되는 레이아웃 소요 면적이 매우 크게 되며, 이는 낸드 플래시 메모리 장치의 고집적화에 부담으로 작용한다. However, in the case of such a high voltage transistor, the required layout required area becomes very large, which acts as a burden on the high integration of the NAND flash memory device.
따라서, 낸드 플래시 메모리 장치에서는, 사용되는 고전압 트랜지스터의 수를 저감하는 것이 요구된다.Therefore, in the NAND flash memory device, it is required to reduce the number of high voltage transistors used.
본 발명의 목적은 소요되는 고전압 트랜지스터의 수를 저감시켜, 전체적으로 레이아웃 면적을 감소시키는 낸드 플래시 메모리 장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a NAND flash memory device that reduces the number of high voltage transistors required and reduces the layout area as a whole.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면은 낸드 플래시 메모리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치는 이븐 비트라인; 오드 비트라인; 공통 소스라인; 이븐 셀 스트링 및 오드 셀 스트링을 포함하는 메모리 어레이로서, 상기 이븐 셀 스트링 및 상기 오드 셀 스트링 각각은 복수개의 셀 트랜지스터들, 소스 선택 트랜지스터 및 드레인 선택 트랜지스터를 포함하고, 상기 복수개의 셀 트랜지스터들은 낸드 스트링의 형태로 배치되며, 상기 소스 선택 트랜지스터는 소스 선택 신호에 응답하여 상기 복수개의 셀 트랜지스터들의 일단에 배치된 상기 셀 트랜지스터의 일측 접합을 상기 공통 소스라인에 연결하도록 구동되며, 상기 드레인 선택 트랜지스터는 드레인 선택 신호에 응답하여 상기 복수개의 셀 트랜지스터들의 다른 일단에 배치된 상기 셀 트랜지스터의 일측 접합을 대응하는 상기 이븐 비트라인 및 오드 비트라인에 연결하도록 구동되는 상기 메모리 어레이; 이븐 디스차지 신호에 응답하며, 일측접합이 상기 이븐 비트라인에 연결되는 이븐 디스차지 트랜지스터; 및 오드 디스차지 신호에 응답하며, 일측접합이 상기 오드 비트라인에 연결되는 오드 디스차지 트랜지스터를 구비한다. 이때, 상기 이븐 디스차지 트랜지스터의 다른 일측 접합 및 상기 오드 디스차지 트랜지스터의 다른 일측 접합 각각은 상기 공통 소스라인에 연결된다.One aspect of the present invention for achieving the above object relates to a NAND flash memory device. The NAND flash memory device of the present invention includes an even bit line; Odd bit line; Common source line; A memory array including an even cell string and an odd cell string, wherein each of the even cell string and the odd cell string includes a plurality of cell transistors, a source select transistor and a drain select transistor, and the plurality of cell transistors are NAND strings. The source select transistor is driven to connect one side junction of the cell transistor disposed at one end of the plurality of cell transistors to the common source line in response to a source select signal, and the drain select transistor is drain. The memory array driven to connect one side junction of the cell transistor disposed at the other end of the plurality of cell transistors to the corresponding even bit line and odd bit line in response to a selection signal; An even discharge transistor in response to the even discharge signal, wherein one side junction is connected to the even bit line; And an odd discharge transistor in response to the odd discharge signal, wherein one side junction is connected to the odd bit line. At this time, the other side junction of the even discharge transistor and the other side junction of the odd discharge transistor are each connected to the common source line.
상기와 같은 구성의 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치에서는, 디스차지 트랜지스터들의 다른 일측 접합이 공통 소스 라인에 연결된다. 그러므로, 디스차지 트랜지스터들은 소스/드레인 선택 트랜지스터들과 동일한 두께의 게이트막을 가지는 저전압 트랜지스터로 구현될 수 있다. 그 결과, 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치에 의하면, 소요되는 고전압 트랜지스터의 수가 저감되어, 전체적으로 소요되는 레이아웃 면적이 크게 감소된다.In the NAND flash memory device of the present invention having the above structure, the other side junction of discharge transistors is connected to a common source line. Therefore, discharge transistors can be implemented as a low voltage transistor having a gate film of the same thickness as the source / drain select transistors. As a result, according to the NAND flash memory device of the present invention, the number of high voltage transistors required is reduced, and the layout area required as a whole is greatly reduced.
본 발명에서 사용되는 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 기존의 낸드 플래시 메모리 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 낸드 플래시 메모리 장치를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 낸드 플래시 메모리 장치에 사용되는 모스 트랜지스터의 구조에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 2의 낸드 플래시 메모리 장치의 소거 동작시의 주요 신호 및 노드의 전압 레벨을 설명하기 위한 타이밍도이다.
도 5는 도 2의 낸드 플래시 메모리 장치의 페이지 버퍼(PB)의 일부를 나타내는 도면이다.A brief description of each figure used in the present invention is provided.
1 is a view showing a conventional NAND flash memory device.
2 is a diagram illustrating a NAND flash memory device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram for explaining the structure of a MOS transistor used in the NAND flash memory device of FIG. 2.
4 is a timing diagram for explaining voltage levels of main signals and nodes during an erase operation of the NAND flash memory device of FIG. 2.
FIG. 5 is a diagram illustrating a part of the page buffer PB of the NAND flash memory device of FIG. 2.
본 발명과 본 발명의 동작상의 잇점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. In order to fully understand the present invention and the operational advantages of the present invention and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the contents described in the accompanying drawings, which illustrate preferred embodiments of the present invention. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided to ensure that the disclosed contents are thorough and complete and that the spirit of the present invention is sufficiently conveyed to those skilled in the art.
한편, 본 명세서에서는 동일한 구성 및 작용을 수행하는 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호와 함께 < >속에 참조부호가 추가된다. 이때, 이들 구성요소들은 참조부호로 통칭한다. 그리고, 이들을 개별적인 구별이 필요한 경우에는, 참조부호 뒤에 '< >'가 추가된다.Meanwhile, in the present specification, reference numerals are added to <> together with the same reference numerals for components performing the same configuration and operation. At this time, these components are referred to as reference numerals. And, when it is necessary to distinguish them individually, '<>' is added after the reference sign.
본 발명의 내용을 명세서 전반에 걸쳐 설명함에 있어서, 개개의 구성요소들 사이에서 '전기적으로 연결된다', '연결된다', '접속된다'의 용어의 의미는 직접적인 연결뿐만 아니라 속성을 일정 정도 이상 유지한 채로 중간 매개체를 통해 연결이 이루어지는 것도 모두 포함하는 것이다. 개개의 신호가 '전달된다', '도출된다'등의 용어 역시 직접적인 의미뿐만 아니라 신호의 속성을 어느 정도 이상 유지한 채로 중간 매개체를 통한 간접적인 의미까지도 모두 포함된다. 기타, 전압 또는 신호가 '가해진다, '인가된다', '입력된다' 등의 용어도, 명세서 전반에 걸쳐 모두 이와 같은 의미로 사용된다.In describing the contents of the present invention throughout the specification, the meanings of the terms 'electrically connected', 'connected', and 'connected' between individual components are not only a direct connection, but also a property of a certain degree or more. This includes all connections made through an intermediate medium while being maintained. Terms such as 'transmitted' and 'lead' of each signal include not only the direct meaning but also the indirect meaning through an intermediate medium while maintaining the signal properties to some extent. In addition, terms such as 'applied,' 'applied', and 'input' to which a voltage or signal is applied are also used throughout this specification in the same sense.
본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 예시적인 실시 예를 설명하는 아래의 내용 및 첨부 도면에 기재된 내용을 함께 참조하여야만 한다.In order to fully understand the operational advantages of the present invention and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the following description and exemplary descriptions of the exemplary embodiments of the present invention.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 낸드 플래시 메모리 장치를 나타내는 도면이다. 2 is a diagram illustrating a NAND flash memory device according to an embodiment of the present invention.
먼저, 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치의 실시예를 기술하기에 앞서, 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치에 사용되는 모스 트랜지스터의 구조에 대해 살펴본다.First, before describing an embodiment of the NAND flash memory device of the present invention, the structure of a MOS transistor used in the NAND flash memory device of the present invention will be described.
도 3은 도 2의 낸드 플래시 메모리 장치에 사용되는 모스 트랜지스터의 구조에 대해 설명하기 위한 도면이다. 참고로, 도 3에서 여러 층(또는 막) 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께 및 길이가 확대 또는 축소되어 도시됨을 이해한다.FIG. 3 is a diagram for explaining the structure of a MOS transistor used in the NAND flash memory device of FIG. 2. For reference, it is understood that thickness and length are enlarged or reduced in order to clearly express various layers (or films) and regions in FIG. 3.
도 3을 참조하면, 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치에 사용되는 모스 트랜지스터는 크게 저전압 트랜지스터(LVTR)와 고전압 트랜지스터(HVTR)로 구분된다.Referring to FIG. 3, the MOS transistor used in the NAND flash memory device of the present invention is largely divided into a low voltage transistor (LVTR) and a high voltage transistor (HVTR).
상기 저전압 트랜지스터(LVTR)와 상기 고전압 트랜지스터(HVTR)는 모두 각자의 웰(WELL)내에 형성되며, 각자의 게이트 전극(ELGT1, ELGT2)와 게이트막(MGT1, MGT2)를 가진다.The low voltage transistor LVTR and the high voltage transistor HVTR are both formed in respective wells, and have respective gate electrodes ELGT1 and ELGT2 and gate films MGT1 and MGT2.
이때, 상기 저전압 트랜지스터(LVTR)의 게이트막(MGT1)은 상대적으로 얇으며, 상기 고전압 트랜지스터(HVTR)의 게이트막(MGT2)은 상대적으로 두껍다.At this time, the gate film MGT1 of the low voltage transistor LVTR is relatively thin, and the gate film MGT2 of the high voltage transistor HVTR is relatively thick.
여기서, 웰(WELL)에 형성되는 채널(CHN1, CHN2)과 게이트 전극(ELGT1, ELGT2) 사이에 전압이 큰 경우, 상기 고전압 트랜지스터(HVTR)은 상기 저전압 트랜지스터(LVTR)에 비하여 게이트막의 파손가능성이 매우 낮게 되는 장점을 지닌다.Here, when the voltage between the channels CHN1 and CHN2 formed in the well WELL and the gate electrodes ELGT1 and ELGT2 is large, the high voltage transistor HVTR has a higher probability of damage to the gate film than the low voltage transistor LVTR. It has the advantage of being very low.
하지만, 상기 고전압 트랜지스터(HVTR)은, 상기 저전압 트랜지스터(LVTR)에 비하여, 레이아웃 소요면적이 매우 크게 된다는 단점을 지닌다.However, the high voltage transistor HVTR has a disadvantage that a layout required area is very large compared to the low voltage transistor LVTR.
그러므로, 낸드 플래시 메모리 장치의 전체적인 소요면적을 저감하기 위해서는, 사용되는 고전압 트랜지스터의 수를 저감하는 것이 매우 중요하다.Therefore, in order to reduce the overall required area of the NAND flash memory device, it is very important to reduce the number of high voltage transistors used.
다시 도 2를 참조하면, 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치는 이븐 비트라인(BLe), 오드 비트라인(BLo), 공통 소스라인(CLS), 메모리 어레이(MARR), 이븐 디스차지 트랜지스터(TRDe) 및 오드 디스차지 트랜지스터(TRDo)를 구비한다.Referring to FIG. 2 again, the NAND flash memory device of the present invention includes an even bit line (BLe), an odd bit line (BLo), a common source line (CLS), a memory array (MARR), an even discharge transistor (TRDe), and An odd discharge transistor (TRDo) is provided.
상기 메모리 어레이(MARR)는 이븐 셀 스트링(STRe) 및 오드 셀 스트링(STRo)을 포함하며, 상기 이븐 셀 스트링(STRe) 및 오드 셀 스트링(STRo) 각각은 반도체 기판의 웰(WELL) 상에 배열되는 복수개의 셀 트랜지스터들(MC<1:n>), 소스 선택 트랜지스터(TRa) 및 드레인 선택 트랜지스터(TRb)를 구비한다.The memory array MARR includes an even cell string STRe and an odd cell string STRo, and each of the even cell string STRe and an odd cell string STRo is arranged on a well WELL of a semiconductor substrate. And a plurality of cell transistors MC <1: n>, a source select transistor TRa, and a drain select transistor TRb.
이때, 상기 복수개의 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)은 낸드 스트링의 형태로 배치되며, 대응하는 워드라인(WL<1:n>)에 의하여 제어된다. 그리고, 상기 소스 선택 트랜지스터(TRa)와 상기 드레인 선택 트랜지스터(TRb)는 상대적으로 얇은 두께의 게이트막을 가지는 저전압 트랜지스터(LVTR)로 구현된다.At this time, the plurality of cell transistors MC <1: n> are arranged in the form of a NAND string, and are controlled by corresponding word lines WL <1: n>. In addition, the source select transistor TRa and the drain select transistor TRb are implemented as a low voltage transistor LVTR having a relatively thin gate film.
상기 소스 선택 트랜지스터(TRa)는 소스 선택 신호(SSL)에 응답하여 상기 복수개의 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)의 일단에 배치된 상기 셀 트랜지스터(MC<n>)의 일측 접합을 상기 공통 소스라인(CSL)에 연결하도록 구동된다. 또한, 상기 드레인 선택 트랜지스터(TRb)는 드레인 선택 신호(DSL)에 응답하여 상기 복수개의 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)의 다른 일단에 배치된 상기 셀 트랜지스터(MC<1>)의 일측 접합을 대응하는 상기 이븐 비트라인(BLe) 및 오드 비트라인(BLo)에 연결하도록 구동된다.The source selection transistor TRa is a one side junction of the cell transistor MC <n> disposed at one end of the plurality of cell transistors MC <1: n> in response to the source selection signal SSL. It is driven to connect to the common source line (CSL). In addition, the drain select transistor TRb is one side of the cell transistor MC <1> disposed at the other end of the plurality of cell transistors MC <1: n> in response to the drain select signal DSL. It is driven to connect the junction to the corresponding even bit line (BLe) and odd bit line (BLo).
상기 이븐 디스차지 트랜지스터(TRDe)는 이븐 디스차지 신호(DISCHe)에 응답하여 상기 이븐 비트라인(BLe)을 상기 공통 소스라인(CSL)에 연결하도록 구동된다. 즉, 상기 이븐 디스차지 트랜지스터(TRDe)는 일측 접합이 상기 이븐 비트라인(BLe)에 연결되며, 다른 일측 접합은 상기 공통 소스라인(CSL)에 연결되는 모스 트랜지스터이다.The even discharge transistor TRDe is driven to connect the even bit line BLe to the common source line CSL in response to the even discharge signal DISCHe. That is, in the even discharge transistor TRDe, one junction is a MOS transistor connected to the even bit line BLe, and the other junction is connected to the common source line CSL.
그리고, 상기 오드 디스차지 트랜지스터(TRDo)는 오드 디스차지 신호(DISCHo)에 응답하여 상기 오드 비트라인(BLo)을 상기 공통 소스라인(CSL)에 연결하도록 구동된다. 즉, 상기 오드 디스차지 트랜지스터(TRDo)는 일측 접합이 상기 오드 비트라인(BLo)에 연결되며, 다른 일측 접합은 상기 공통 소스라인(CSL)에 모스 트랜지스터이다.In addition, the odd discharge transistor TRDo is driven to connect the odd bit line BLo to the common source line CSL in response to the odd discharge signal DISCHo. That is, one junction of the odd discharge transistor TRDo is connected to the odd bit line BLo, and the other junction is a MOS transistor to the common source line CSL.
바람직하기로는, 본 발명의 상기 낸드 플래시 메모리 장치는 이븐 선택 트랜지스터(TRSe), 오드 선택 트랜지스터(TRSo) 및 페이지 버퍼(PB)를 더 구비한다.Preferably, the NAND flash memory device of the present invention further includes an even select transistor TRSe, an odd select transistor TRSo, and a page buffer PB.
상기 이븐 선택 트랜지스터(TRSe) 및 상기 오드 선택 트랜지스터(TRSo)는 상기 이븐 비트라인(BLe) 및 상기 오드 비트라인(BLo) 중의 어느하나의 신호를 선택적으로 상기 페이지 버퍼(PB)에 전송하도록 구동된다.The even select transistor TRSe and the odd select transistor TRSo are driven to selectively transmit any one of the even bit line BLe and the odd bit line BLo to the page buffer PB. .
즉, 상기 이븐 선택 트랜지스터(TRSe)는 일측 접합이 상기 이븐 비트라인(BLe)에 연결되며, 이븐 선택 신호(BLSe)에 응답하여 턴온되어 상기 이븐 비트라인(BLe)의 신호를 공통 비트라인(BLCM)을 통해 상기 페이지 버퍼(PB)에 전송한다.That is, the even-selection transistor TRSe has one side junction connected to the even-bit line BLe, and is turned on in response to the even-select signal BLSe to transmit the signal of the even-bit line BLe to a common bit line BLCM. ) To the page buffer PB.
그리고, 상기 오드 선택 트랜지스터(TRSo)는 일측 접합이 상기 오드 비트라인(BLo)에 연결되며, 오드 선택 신호(BLSo)에 응답하여 턴온되어 상기 오드 비트라인(BLo)의 신호를 상기 공통 비트라인(BLCM)을 통해 상기 페이지 버퍼(PB)에 전송한다.In addition, the odd select transistor TRSo has one side connected to the odd bit line BLo, and is turned on in response to the odd select signal BLSo to transmit the signal of the odd bit line BLo to the common bit line ( BLCM) to the page buffer PB.
이때, 상기 이븐 선택 트랜지스터(TRSe) 및 상기 오드 선택 트랜지스터(TRSo)는 상대적으로 두꺼운 게이트막, 즉, 상기 소스 선택 트랜지스터(TRa) 및 상기 드레인 선택 트랜지스터(TRb) 보다 두꺼운 게이트막의 고전압 트랜지스터(HVTR)으로 형성되는 것이 바람직하다. 이 경우, 후술되는 소거 동작에서의 상기 이븐 비트라인(BLe) 및 상기 오드 비트라인(BLo)의 상승 전압에 의하여, 상기 이븐 선택 트랜지스터(TRSe) 및 상기 오드 선택 트랜지스터(TRSo)가 파손되는 현상을 방지할 수 있다.At this time, the even select transistor TRSe and the odd select transistor TRSo have a relatively thick gate film, that is, a high voltage transistor (HVTR) of a gate film thicker than the source select transistor TRa and the drain select transistor TRb. It is preferably formed. In this case, the phenomenon that the even select transistor TRSe and the odd select transistor TRSo are damaged by the rising voltages of the even bit line BLe and the odd bit line BLo in the erase operation described later. Can be prevented.
상기 페이지 버퍼(PB)는 상기 이븐 선택 트랜지스터(TRSe) 및 상기 오드 선택 트랜지스터(TRSo)를 통하여 전송되는 상기 이븐 비트라인 및 상기 오드 비트라인(BLo)의 신호를 저장하도록 구동된다.The page buffer PB is driven to store signals of the even bit line and the odd bit line BLo transmitted through the even select transistor TRSe and the odd select transistor TRSo.
상기와 같은 구조를 가지는 낸드 플래시 메모리 장치에서는, 상기 이븐 디스차지 트랜지스터(TRDe) 및 상기 오드 디스차지 트랜지스터(TRDo)는 상대적으로 얇은 게이트막 즉, 상기 소스 선택 트랜지스터(TRa) 및 상기 드레인 선택 트랜지스터(TRb)와 동일한 두께의 게이트막을 가지는 저전압 트랜지스터(LVTR)으로 구현될 수 있는 바, 계속하여 이에 대해 기술된다.In the NAND flash memory device having the above structure, the even discharge transistor TRDe and the odd discharge transistor TRDo are relatively thin gate films, that is, the source select transistor TRa and the drain select transistor ( As it can be implemented with a low voltage transistor (LVTR) having a gate film of the same thickness as TRb), it will be continuously described.
도 4는 도 2의 낸드 플래시 메모리 장치의 소거 동작시의 주요 신호 및 노드의 전압 레벨을 설명하기 위한 타이밍도이다.FIG. 4 is a timing diagram for explaining voltage levels of main signals and nodes during an erase operation of the NAND flash memory device of FIG. 2.
먼저, 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치에서 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)의 소거 원리에 대해 기술하면 다음과 같다.First, the erase principle of the cell transistors MC <1: n> in the NAND flash memory device of the present invention will be described as follows.
소거 동작의 소거 타이밍(P1)에서, 셀 스트링들(STRe, STRo)의 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)의 제어 게이트에 인가되는 워드라인들(WL<1:n>)은 '0V'로 제어된다. 그리고, 상기 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)의 벌크인 웰(WELL)에 소거전압(Vers, 약 '20V')이 인가된다.At the erase timing P1 of the erase operation, the word lines WL <1: n> applied to the control gates of the cell transistors MC <1: n> of the cell strings STRe and STRo are '0V. Is controlled by. In addition, an erase voltage Vers (approximately '20V') is applied to the bulk well WELL of the cell transistors MC <1: n>.
그러면, 상기 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)의 벌크인 웰(WELL)과 상기 제어 게이트 사이에 존재하는 플로팅 게이트에 트랩되어 있던 순수 전하(net charge)가 상기 웰(WEEL)로 터널링된다. 이에 따라, 상기 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)의 문턱전압(Vt)을 낮춘다. 그리고, 상기 문턱전압(Vt)이 충분히 낮아져, 상기 셀 트랜지스터(MC<1:n>)의 제어 게이트 및 소스에 '0V'가 인가되고 양의 전압이 드레인에 인가될 때, 상기 셀 트랜지스터(MC<1:n>)는 채널 전류를 도통한다. 이와 같이 낮은 문턱전압을 갖는 셀 트랜지스터(MC<1:n>)는 '소거된 셀(erased cell)' 또는 '소거된 상태(erased state)'라 불리며, '1'의 데이터값을 갖는다.Then, the net charge trapped in the floating gate existing between the bulk well WELL of the cell transistors MC <1: n> and the control gate is tunneled to the well WEEL. . Accordingly, the threshold voltage Vt of the cell transistors MC <1: n> is lowered. In addition, when the threshold voltage Vt is sufficiently low, '0V' is applied to the control gate and source of the cell transistor MC <1: n> and a positive voltage is applied to the drain, the cell transistor MC <1: n>) conducts the channel current. The cell transistor MC <1: n> having a low threshold voltage is referred to as an 'erased cell' or an 'erased state' and has a data value of '1'.
이 경우, 플로팅되어 있는 상기 공통 소스 라인(CSL)은 상기 웰(WELL) 사이의 전자 주입(charge injection)에 의하여 (Vers-Vt) 정도로 상승하게 된다(t11, 참조).In this case, the floating common source line CSL is raised to (Vers-Vt) by electron injection between the wells (see t11, t11).
그리고, 플로팅되어 있는 상기 소스 선택 신호(SSL) 및 상기 드레인 선택 신호(DSL)는 상기 공통 소스 라인(CSL)의 전압이 도통하는 상기 소스 선택 트랜지스터(TRa) 및 상기 드레인 선택 트랜지스터(TRb)의 채널 사이의 커플링에 의하여 (α x Vers)로 상승한다(t12, 참조).In addition, the floating source selection signal SSL and the drain selection signal DSL are channels of the source selection transistor TRa and the drain selection transistor TRb through which the voltage of the common source line CSL is conducted. It rises to (α x Vers) by the coupling between (t12, see).
한편, 플로팅되어 있는 상기 이븐 비트라인(BLe) 및 상기 오드 비트라인(BLo)도 상기 웰(WELL) 사이의 전자 주입(charge injection)에 의하여 (Vers-Vt) 정도로 상승하게 된다(t13, 참조).On the other hand, the floating even bit line BLe and the odd bit line BLo also rise to about (Vers-Vt) by electron injection between the wells (see t13, t13). .
그리고, 플로팅되어 있는 상기 이븐 디스차지 신호(DISCHe) 및 상기 이븐 디스차지 신호(DISCHe)는 상기 공통 소스 라인(CSL)의 전압이 도통하는 상기 이븐 디스차지 트랜지스터(TRDe) 및 상기 오드 디스차지 트랜지스터(TRDo)의 채널 사이의 커플링에 의하여 (α x Vers)로 상승한다(t14, 참조).Further, the even discharge signal DISCHe and the even discharge signal DISCHe that are floating may include the even discharge transistor TRDe and the odd discharge transistor through which the voltage of the common source line CSL is conducted. TRDo) rises to (α x Vers) by coupling between channels (t14, see).
즉, 상기 이븐 디스차지 트랜지스터(TRDe) 및 상기 오드 디스차지 트랜지스터(TRDo)에서의 게이트와 채널 사이의 전압은 상기 소스 선택 트랜지스터(TRa) 및 상기 드레인 선택 트랜지스터(TRb)에서의 게이트와 채널 사이의 전압과 동일하다.That is, the voltage between the gate and the channel in the even discharge transistor TRDe and the odd discharge transistor TRDo is between the gate and the channel in the source select transistor TRa and the drain select transistor TRb. Same as voltage.
그러므로, 상기 이븐 디스차지 트랜지스터(TRDe) 및 상기 오드 디스차지 트랜지스터(TRDo)는 상대적으로 얇은 상기 소스 선택 트랜지스터(TRa) 및 상기 드레인 선택 트랜지스터(TRb)와 동일한 두께의 게이트막을 가지도록 형성되는 것이 가능하다.Therefore, the even discharge transistor TRDe and the odd discharge transistor TRDo can be formed to have a gate film having the same thickness as the relatively thin source select transistor TRa and the drain select transistor TRb. Do.
그리고, 소거 타이밍(P1)에 이어서 진행되는 웰 디스차지 타이밍(P2)에서, 상기 셀 트랜지스터들(MC<1:n>)의 벌크인 웰(WELL)의 전압 상기 소거전압(Vers)에서 '0'로 다시 제어된다.Then, at the well discharge timing P2 that follows the erase timing P1, the voltage of the well WELL that is the bulk of the cell transistors MC <1: n> is' 0 at the erase voltage Vers. Is controlled again.
그러면, 커플링 등으로 인하여, 상기 공통 소스 라인(CSL), 상기 소스 선택 신호(SSL), 상기 드레인 선택 신호(DSL), 상기 이븐 디스차지 신호(DISCHe) 및 상기 이븐 디스차지 신호(DISCHe)와 함께 상기 이븐 비트라인(BLe) 및 상기 오드 비트라인(BLo)도 접지전압(VSS) 쪽으로 하강된다.Then, due to coupling, the common source line CSL, the source select signal SSL, the drain select signal DSL, the even discharge signal DISCHe and the even discharge signal DISCHe Together, the even bit line BLe and the odd bit line BLo also fall toward the ground voltage VSS.
한편, 본 발명의 반도체 메모리 장치에서, 상기 이븐 비트라인(BLe) 및 상기 오드 비트라인(BLo)에 잔존할 수 있는 전하는 페이지 버퍼(PB) 등을 이용하여 디스차지할 수도 있다.Meanwhile, in the semiconductor memory device of the present invention, charges that can remain on the even bit line BLe and the odd bit line BLO may be discharged using a page buffer PB or the like.
도 5는 도 2의 낸드 플래시 메모리 장치의 페이지 버퍼(PB)의 일부를 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a diagram illustrating a part of the page buffer PB of the NAND flash memory device of FIG. 2.
상기 페이지 버퍼(PB)는 감지 트랜지스터(10), 프리차아지 트랜지스터(20) 및 전송 트랜지스터(30)를 구비한다.The page buffer PB includes a
이 경우, 상기 페이지 버퍼(PB)와 전기적으로 연결되는 상기 이븐 비트라인(BLe) 및 상기 오드 비트라인(BLo)은 상기 감지 트랜지스터(10) 및 상기 프리차아지 트랜지스터(20)를 통해 전원전압(VCC)으로 디스차지될 수 있다.In this case, the even bit line (BLe) and the odd bit line (BLo) electrically connected to the page buffer (PB) is a power supply voltage (through the
또한, 상기 페이지 버퍼(PB)와 전기적으로 연결되는 상기 이븐 비트라인(BLe) 및 상기 오드 비트라인(BLo)은 상기 감지 트랜지스터(10) 및 상기 전송 트랜지스터(30)를 통해 접지전압(VSS)으로 디스차지될 수 있다. Further, the even bit line BLe and the odd bit line BLo that are electrically connected to the page buffer PB are connected to the ground voltage VSS through the
이러한 페이지 버퍼(PB)의 동작은 통상의 기술자라면 용이하게 구현할 수 있다. 그러므로, 본 명세서에서는, 이에 대한 구체적인 기술은 생략된다. The operation of the page buffer PB can be easily implemented by a person skilled in the art. Therefore, in this specification, a detailed description thereof is omitted.
정리하면, 상기와 같은 구조를 가지는 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치에서는, 상기 이븐 디스차지 트랜지스터(TRDe) 및 상기 오드 디스차지 트랜지스터(TRDo)는 상기 소스 선택 트랜지스터(TRa) 및 상기 드레인 선택 트랜지스터(TRb)와 동일한 두께의 게이트막을 가지는 저전압 트랜지스터로 구현가능하다. In summary, in the NAND flash memory device of the present invention having the above structure, the even discharge transistor TRDe and the odd discharge transistor TRDo are the source select transistor TRa and the drain select transistor TRb. It can be implemented as a low-voltage transistor having a gate film of the same thickness.
이에 따라, 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치에 의하면, 소요되는 고전압 트랜지스터의 수가 현저히 감소된다. 결과적으로, 본 발명의 낸드 플래시 메모리 장치에 의하면, 전체적으로 소요되는 레이아웃 면적이 현저히 저감된다.Accordingly, according to the NAND flash memory device of the present invention, the number of high voltage transistors required is significantly reduced. As a result, according to the NAND flash memory device of the present invention, the layout area required as a whole is significantly reduced.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, but this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and other equivalent embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
Claims (4)
이븐 비트라인;
오드 비트라인;
공통 소스라인;
이븐 셀 스트링 및 오드 셀 스트링을 포함하는 메모리 어레이로서, 상기 이븐 셀 스트링 및 상기 오드 셀 스트링 각각은 복수개의 셀 트랜지스터들, 소스 선택 트랜지스터 및 드레인 선택 트랜지스터를 포함하고, 상기 복수개의 셀 트랜지스터들은 낸드 스트링의 형태로 배치되며, 상기 소스 선택 트랜지스터는 소스 선택 신호에 응답하여 상기 복수개의 셀 트랜지스터들의 일단에 배치된 상기 셀 트랜지스터의 일측 접합을 상기 공통 소스라인에 연결하도록 구동되며, 상기 드레인 선택 트랜지스터는 드레인 선택 신호에 응답하여 상기 복수개의 셀 트랜지스터들의 다른 일단에 배치된 상기 셀 트랜지스터의 일측 접합을 대응하는 상기 이븐 비트라인 및 오드 비트라인에 연결하도록 구동되는 상기 메모리 어레이;
이븐 디스차지 신호에 응답하며, 일측접합이 상기 이븐 비트라인에 연결되는 이븐 디스차지 트랜지스터; 및
오드 디스차지 신호에 응답하며, 일측접합이 상기 오드 비트라인에 연결되는 오드 디스차지 트랜지스터를 구비하며,
상기 이븐 디스차지 트랜지스터의 다른 일측 접합 및 상기 오드 디스차지 트랜지스터의 다른 일측 접합 각각은
상기 공통 소스라인에 연결되는 것을 특징으로 하는 낸드 플래시 메모리 장치.
As a NAND flash memory device,
Even bit line;
Odd bit line;
Common source line;
A memory array including an even cell string and an odd cell string, wherein each of the even cell string and the odd cell string includes a plurality of cell transistors, a source select transistor and a drain select transistor, and the plurality of cell transistors are NAND strings. The source select transistor is driven to connect one side junction of the cell transistor disposed at one end of the plurality of cell transistors to the common source line in response to a source select signal, and the drain select transistor is drain. The memory array driven to connect one side junction of the cell transistor disposed at the other end of the plurality of cell transistors to the corresponding even bit line and odd bit line in response to a selection signal;
An even discharge transistor in response to the even discharge signal, wherein one side junction is connected to the even bit line; And
An odd discharge transistor in response to the odd discharge signal, wherein one side junction is connected to the odd bit line,
The other side junction of the even discharge transistor and the other side junction of the odd discharge transistor are each
And a NAND flash memory device connected to the common source line.
상기 소스 선택 트랜지스터의 게이트막 및 상기 드레인 선택 트랜지스터의 게이트막과 동일한 두께를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 낸드 플래시 메모리 장치.
The gate layer of the even discharge transistor and the odd discharge transistor is
And a gate film of the source select transistor and a gate film of the drain select transistor.
일측 접합이 상기 이븐 비트라인에 연결되며, 이븐 선택 신호에 응답하여 턴온되는 이븐 선택 트랜지스터로서, 상기 이븐 디스차지 트랜지스터보다 두꺼운 게이트막을 가지도록 형성되는 상기 이븐 선택 트랜지스터;
일측 접합이 상기 오드 비트라인에 연결되며, 오드 선택 신호에 응답하여 턴온되는 오드 선택 트랜지스터로서, 상기 오드 디스차지 트랜지스터보다 두꺼운 게이트막을 가지도록 형성되는 상기 오드 선택 트랜지스터; 및
상기 이븐 선택 트랜지스터 및 상기 오드 선택 트랜지스터를 통하여 전송되는 상기 이븐 비트라인 및 상기 오드 비트라인의 신호를 저장하도록 구동되는 페이지 버퍼를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 낸드 플래시 메모리 장치.
The method of claim 1, wherein the NAND flash memory device
An even select transistor connected to the even bit line and turned on in response to an even select signal, wherein the even select transistor is formed to have a thicker gate film than the even discharge transistor;
An odd select transistor connected to the odd bit line and turned on in response to an odd select signal, wherein the odd select transistor is formed to have a thicker gate film than the odd discharge transistor; And
And a page buffer driven to store signals of the even bit line and the odd bit line transmitted through the even select transistor and the odd select transistor.
상기 이븐 비트라인 및 상기 오드 비트라인의 전하를 디스차지할 수 있도록 구동되는 것을 특징으로 하는 낸드 플래시 메모리 장치.
The method of claim 3, wherein the page buffer
And a discharge device for discharging electric charges of the even bit line and the odd bit line.
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GRNT | Written decision to grant |