KR102075705B1

KR102075705B1 - 트랙을 형성하는 레일들의 폭 검사장치

Info

Publication number: KR102075705B1
Application number: KR1020180150739A
Authority: KR
Inventors: 김창윤
Original assignee: 주식회사 아셀
Priority date: 2018-11-29
Filing date: 2018-11-29
Publication date: 2020-03-02

Abstract

본 발명은 트랙 위를 롤러를 통해 이동함과 동시에 측정기를 통해 폭의 변화량을 측정함으로써 편의성 및 정확성을 극대화할 수 있고, 블록부와 탄성부, 가이드봉, 측정기가 볼트 체결로 고정되기 때문에 탈부착이 편리하여 장비점검 및 교체가 간편하게 이루어질 뿐만 아니라 측정 거리조절이 간단하게 이루어질 수 있는 트랙을 형성하는 레일들의 폭 검사장치에 관한 것이다.

Description

트랙을 형성하는 레일들의 폭 검사장치{A device for checking the width of rails forming a track}

본 발명은 트랙을 형성하는 레일들의 폭을 검사하는 검사장치에 관한 것으로, 상세하게로는 레일 위를 롤러로 이동함과 동시에 측정기에 의하여 폭의 변화량을 측정함으로써 편의성 및 정확성을 극대화시킬 수 있는 트랙을 형성하는 레일들의 폭 검사장치에 관한 것이다.

반도체 공정간 OHT(Overhead Hoist Transport : 반도체 웨이퍼가 담긴 통을 자동 운반하는 시스템)의 천장 반송을 위한 이동 경로인 트랙은 좌측레일과, 우측레일, 이 두 레일을 이어주는 연결체들로 이루어진다. 이러한 트랙은 시간의 경과에 따라 좌, 우측레일의 사이가 이격되거나 외부의 요인으로 인하여 변형 혹은 파손될 수 있다. 이로 인하여 레일 사이의 폭이 변화되고, 이러한 레일 폭의 변화는 정밀하고 미세한 공정을 필요로 하는 반도체 공정에서 이송대상의 파손을 유발할 수 있기 때문에 레일 폭의 변화를 정밀하게 측정하기 위한 트랙을 형성하는 레일들의 폭 검사장치에 대한 연구가 다양하게 진행되고 있다.

종래에는 레일의 폭을 검사원이 버니어 켈리퍼스를 이용하여 직접 측정하였다. 그러나 이러한 측정 방법은 인력에 의해 측정이 이루어지기 때문에 측정 오차가 발생할 뿐만 아니라 검사시간 및 검사인원이 증가하는 문제점이 발생한다.

이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 국내등록특허 제10-0797341호(발명의 명칭 : 레일 폭 측정장치)(이하 ‘종래기술’이라고 함)와 같이 편리하고 짧은 시간 동안 긴 거리의 폭을 측정하는 장치가 발명되었다.

도 1은 종래기술을 나타낸 분해사시도이다.

도 1의 종래기술은 프레임(20)과, 롤러부(42), (44)들, 탄성부재(60), 측정수단(80), 손잡이(90)를 포함한다.

또한 종래기술은 롤러부(42), (44)들을 통해 한 쌍의 레일을 따라 이동 가능하며 롤러부(42), (44)들 사이의 거리를 측정하는 측정수단(80)이 포함됨으로써 길게 진행되는 레일을 연속적으로 측정할 수 있다.

또한 측정수단(80)은 고정된 측정 로드(82)에 대해 측정 표시부(84)가 길이방향으로 이동함에 따라 측정수치가 나타난다.

또한 메인 프레임(26)은 허용범위를 표시하는 허용범위 표시판(28)을 포함하고, 측정 표시부(84)에 설치된 지시침(85)에 의해 레일 사이의 폭 측정 수치가 허용범위를 벗어나는지를 용이하게 파악할 수 있다.

그러나 종래기술은 고정된 형태의 메인 프레임(26)에 대해 서브 프레임(27)이 좌/우 방향으로 탄성부재(60)로 인해 탄성 되어 인장, 압축함으로써 폭을 측정한다. 이때, 서브 프레임(27)은 메인 프레임(26)의 내측에 삽입가능한 원통형 형상이며, 우 프레임(24)과 접하는 일단부에는 사각판재가 형성된다. 이 서브 프레임(27)은 사각판재가 메인 프레임(26)에 접하는 곳부터 원통형 형상이 메인 프레임(26)으로부터 이탈 되기 전까지의 범위 내에서만 이동이 가능하다. 이로 인해 측정 가능한 폭의 범위가 서브 프레임(27)의 원통형 부분의 길이로 제한되어 레일의 폭이 측정 가능한 범위를 넘어설 경우 별도의 측정장치가 필요하다는 단점을 갖는다.

또한 종래기술은 변형 불가능한 프레임 구조로 인하여 외측면의 폭 측정이 불가능하다. 정밀하고 미세한 공정을 필요로 하는 반도체 공정에서는 레일의 내측면의 폭 뿐만 아니라 레일을 따라 이동하는 수송체, 웨이퍼를 적재하는 케이스 등의 외측면의 폭 또한 이송과정에 영향을 미쳐 외측면의 폭 측정 또한 중요하지만 종래기술로는 외측면의 측정이 불가능하여 별도의 측정장치가 필요하다는 단점을 가진다.

또한 종래기술은 폭 측정 시 측정 로드(82)와 측정 표시부(84), 로드 고정판(88) 사이에 마찰이 발생하여 마모 및 변형이 일어날 뿐만 아니라 이로 인해 측정에 오차가 생기는 문제점이 발생한다.

또한 종래기술은 우 프레임(24)에 로드 고정판(88)이 제2 연결 프레임(26b)에 의해 연결되고 메인 프레임(26)에 헤드 고정판(87)이 제1 연결 프레임(26a)에 의해 연결되는 복잡한 형상으로 인하여 제작 시간이 길어지고 단가가 올라가며 대량생산이 어렵다는 단점을 갖는다.

즉 1)서로 다른 폭의 레일 측정에 가변적으로 대응할 수 있으며, 2)트랙을 형성하는 레일들의 내측간의 폭 뿐만 아니라, 외측의 레일 폭 또한 측정 가능하며, 3)복잡한 측정방식을 단순화하여 측정장치의 마모 및 변형을 줄일 수 있는 폭 검사장치에 관한 연구가 시급한 실정이다.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결과제는 검사장치의 측정폭을 트랙의 레일폭에 따라 변경할 수 있도록 구성함으로써 다양한 레일 폭들을 갖는 트랙들에 적용할 수 있는 폭 검사장치를 제공하기 위한 것이다.

또한 본 발명의 다른 해결과제는 트랙을 형성하는 레일들의 내측간의 폭 뿐만 아니라, 외측의 레일 폭 또한 측정 가능하도록 구성함으로써 레일, 레일을 따라 이동하는 수송체, 웨이퍼를 적재하는 케이스 등의 외측 폭 측정에도 적용할 수 있는 폭 검사장치를 제공하기 위한 것이다.

또한 본 발명의 또 다른 해결과제는 측정방식을 단순화하여 측정장치의 마모 및 변형을 줄임으로써 측정장치의 장비에러 및 고장을 방지할 수 있는 폭 검사장치를 제공하기 위한 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 해결수단은 제1 레일과 상기 제1 레일로부터 일정 거리 이격된 제2 레일로 형성된 트랙의 레일들의 간격을 측정하는 폭 검사장치에 있어서: 상기 트랙에 수직으로 설치되는 복수개의 가이드봉들; 상기 가이드봉들의 전단부에 설치되어 상기 제1 레일의 내측면과 접촉되는 고정블록; 상기 가이드봉들에 이동 가능하게 설치되어 상기 제2 레일의 내측면과 접촉되는 유동블록; 상기 가이드봉들에 이동 가능하게 설치되되 상기 고정블록과 상기 유동블록 사이에 위치하며 고정수단에 의해 설치위치가 고정되는 측정블록; 상기 유동블록과 상기 측정블록 사이에 각각 설치되어 상기 유동블록이 상기 제2 레일의 내측면과 접촉되었을 때 상기 유동블록이 상기 제2 레일의 내측면과 밀착 접촉되도록 탄성력을 가하는 탄성부들; 상기 측정블록에 결합되며 단부가 상기 유동블록의 일측면과 접촉되어 상기 유동블록의 변위량을 측정하는 측정기를 포함하고, 상기 트랙의 레일들에 상기 고정블록과 상기 유동블록이 밀착되도록 설치하였을 때, 상기 측정기의 단부가 상기 유동블록에 접촉되도록 상기 측정블록의 설치위치를 조절할 수 있는 것이다.

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또한 본 발명에서 상기 측정블록은 상기 가이드봉들 및 상기 측정기가 관통되는 설치공들이 형성되고, 상기 측정블록의 외면에는 개구부들이 각각 형성되고, 상기 개구부들은 상기 설치공들과 연통부들에 각각 연통되고, 상기 측정블록의 외측면에는 상기 연통부들을 각각 관통하는 볼트 체결부들이 형성되고, 각 볼트 체결부에 볼트가 체결되면 해당 연통부의 폭이 줄어들어 해당 설치공의 반경 또한 줄어들어 상기 가이드봉들 및 상기 측정기 상기 설치공들의 반경 또한 줄어들어 상기 가이드봉들 및 상기 측정기를 가압하여 고정하는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서 상기 탄성부들 각각은 상기 가이드봉들 중 어느 하나에 결합되는 탄성부재 고정부와, 일단부가 상기 탄성부재 고정부에 결합되고 타단부가 상기 유동블록에 결합되어 상기 유동블록을 탄발적으로 상기 제2 레일에 밀착 지지하는 탄성부재를 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결과제는 검사장치의 측정폭을 트랙의 레일폭에 따라 변경할 수 있도록 구성함으로써 다양한 레일 폭들을 갖는 트랙들에 적용할 수 있게 된다.

또한 본 발명에 의하면 트랙을 형성하는 레일들의 내측간의 폭 뿐만 아니라, 외측의 레일 폭 또한 측정 가능하도록 구성함으로써 레일, 레일을 따라 이동하는 수송체, 웨이퍼를 적재하는 케이스 등의 외측 폭 측정에도 적용할 수 있게 된다.

또한 본 발명에 의하면 측정방식을 단순화하여 측정장치의 마모 및 변형을 줄임으로써 측정장치의 장비에러 및 고장을 방지할 수 있게 된다.

도 1은 국내등록특허 제10-0797341호(발명의 명칭 : 레일 폭 측정장치)에 개시된 레일 폭 측정장치를 나타낸 분해사시도이다.
도 2는 도 2는 본 발명이 적용되는 일반적인 트랙을 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예인 트랙을 형성하는 레일들의 폭 검사장치를 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3의 측면도이다.
도 5는 도 3의 측정블록을 나타내는 정면투영도이다.
도 6은 도 3의 측정기를 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 3의 유동블록을 나타내는 분해사시도이다.
도 8은 도 3의 폭 검사장치로 폭이 다른 두 트랙의 폭을 측정하는 예시도이다.
도 9는 도 3의 폭 검사장치로 트랙의 내측면과 외측면의 폭을 측정하는 예시도이다.
도 10은 본 발명의 영점 조정 장치를 나타내는 분해사시도이다

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 설명한다.

본 발명의 일실시예인 트랙을 형성하는 레일들의 폭 검사장치(11)는 반도체 공정간 OHT(Overhead Hoist Transport : 반도체 웨이퍼가 담긴 통을 자동 운반하는 시스템)의 천장 반송을 위한 이동 경로인 트랙을 형성하는 레일들의 폭을 검사하는 검사장치로서, 롤러에 의해 레일 위를 이동하여 사용의 편의성을 증가시키고, 측정기를 통해 이격된 레일의 폭 변화량을 정확하게 측정하는 장치이다.

도 2는 본 발명이 적용되는 일반적인 트랙을 나타내는 사시도이다.

트랙(2)은 제1 레일(2a)과, 제1 레일(2a)에 대하여 일정간격 우측으로 이격된 제2 레일(2b)과, 이 두 레일(2a), (2b)을 이어주는 연결체(3)들로 이루어져 하나의 이동 경로를 이룬다. 이때 트랙(2)을 형성하는 레일(2a), (2b)들은 외부의 요인으로 인하여 레일(2a), (2b)들의 사이가 이격되거나 변형 혹은 파손될 수 있다. 이로 인하여 레일(2a), (2b)들 사이의 폭이 변화되고, 이러한 폭의 변화는 정밀하고 미세한 공정을 필요로 하는 반도체 공정에서 사용될 경우 이송대상의 파손을 유발할 수 있기 때문에 일정 기간마다 레일(2a), (2b)들 사이의 폭을 정밀하게 검사해야 정확한 반송이 이루어진다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 폭 검사장치를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 측면도이다.

폭 검사장치(11)는 도 3에 도시된 바와 같이, 전술하였던 도 2의 트랙(2)의 레일(2a), (2b)들 사이의 폭 방향으로 가로지르게 설치되는 한 쌍의 가이드봉(100)들과, 가이드봉(100)들의 선단부에 설치되는 고정블록(201)과 후단부에 설치되는 유동블록(203), 고정블록(201) 및 유동블록(203) 사이에 설치되어 가이드봉(100)들을 따라 이동 및 설치가 가능한 측정블록(202)으로 이루어지는 블록부(200)와, 유동블록(203)을 제2 레일(2b)에 밀착시키는 탄성부(400)와, 측정블록(202)에 설치되어 유동블록(203)의 변위량을 측정하는 측정기(500)로 이루어진다.

가이드봉(100)들은 동일한 길이를 갖는 두 개의 봉으로 이루어지며, 양단부에는 볼트공이 형성되며, 트랙(2)의 폭 방향으로 가로지르게 배치된다.

또한 가이드봉(100)들은 측정블록(202), 탄성부(400), 유동블록(203)을 관통하며 선단부가 고정블록(201)과 볼트에 의해 결합되고, 가이드봉(100)들의 후단부의 볼트공에는 탈락방지 볼트(101)가 체결된다. 이때, 탈락방지 볼트(101)는 가이드봉(100)의 지름보다 큰 헤드를 가진 볼트를 사용한다.

고정블록(201)은 도 4에 도시된 바와 같이 외측면에 상부롤러(300a)가, 하면에는 측부롤러(301a)가 설치된다. 상부롤러(300a)는 제1 레일(2a)의 상면에 안착되어 진행 가능하도록 구성되고, 측부롤러(301a)는 제1 레일(2a)의 내측면을 접하여 회전하며 진행하도록 구성된다.

이와 같이 구성되는 고정블록(201)은 폭 검사 시 상부롤러(300a)를 통해 제1 레일(2a)의 상면을 이동함과 동시에, 측부롤러(301a)를 통해 제1 레일(2a)의 내측면에 밀착시켜주는 역할을 한다.

도 5는 도 3의 측정블록을 나타내는 정면투영도이다.

측정블록(202)은 육면체 형상의 본체(2021)와, 본체(2021)의 양측단부에 하향 돌출된 하향 돌출부(2022), (2023)들과, 본체(2021)의 중간지점에 상향 돌출된 상향 돌출부(2024)로 이루어진다.

또한 본체(2021)의 양단부에는 두 개의 관통공인 가이드봉 설치공(2025), (2026)들이 형성된다. 이때 가이드봉 설치공(2025), (2026)들은 하향 돌출부(2022), (2023)들의 상부에 위치하며, 가이드봉(100)들이 각각 삽입되게 된다.

또한 상향 돌출부(2024)와 본체(2021)의 경계부에는 관통공인 측정기 설치공(2027)이 형성되고, 후술되는 측정기 고정부(5002)가 삽입된다.

하향 돌출부(2022), (2023)들의 하면에는 개구부가 형성되고, 개구부는 가이드봉 설치공(2025), (2026)들과 연통부(2028), (2029)들에 의하여 연통된다.

또한 하향 돌출부(2022), (2023)들의 외측면에는 외측면으로부터 내측으로 형성되어 내측면까지 연장되는 볼트 체결부(2031), (2032)들이 각각 형성된다. 이때 볼트 체결부(2031), (2032)들은 연통부(2028), (2029)들을 관통하게 된다.

상향 돌출부(2024)의 상면에는 개구부가 형성되고, 개구부는 측정기 설치공(2027)과 연통부(2030)에 의해 연통된다.

또한 상향 돌출부(2024)의 일측면에는 일측면으로부터 내측으로 형성되어 타측면까지 연장되는 볼트 체결부(2033)가 형성된다. 이때 볼트 체결부(2033)는 연통부(2030)를 관통하게 형성된다.

이러한 측정 블록(202)은 각 돌출부(2022), (2023), (2024)의 볼트 체결부(2031), (2032), (2033)들로 볼트가 체결되면 연통부(2028), (2029), (2030)들의 폭이 줄어들게 되고, 연통부(2028), (2029), (2030)들의 폭이 줄어들면 줄어들수록 해당 설치공(2025), (2026), (2027)들의 반경 또한 줄어들게 된다. 이러한 상태로 볼트의 체결이 지속되면 해당 설치공(2025), (2026), (2027)들로 삽입된 가이드봉(100)들 또는 측정기 고정부(5002)의 외주면은 해당 설치공의 내주면으로부터 가압되어 가이드봉(100)들 또는 측정기 고정부(5002)를 측정 블록(202)에 고정시킬 수 있게 된다. 이때 측정 블록(202)의 볼트 체결부(2031), (2032), (2033)들의 볼트가 해제되면, 측정블록(202)을 가이드봉(100)의 길이방향으로 이동시키거나 또는 측정기(500)를 측정블록(202)으로부터 분리시킬 수 있게 된다.

이와 같이 구성되는 측정블록(202)은 측정기(500)가 탈부착 가능한 상태로 결합됨과 동시에 가이드봉(100)들을 따라 이동 가능하게 구성됨으로써 측정 폭에 따라 측정블록(202)과 측정기(500)를 적절한 위치로 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라 측정기(500)의 점검, 교체 및 보관이 독립적으로 이루어질 수 있게 된다.

도 6은 도 3의 측정기를 나타내는 사시도이다.

측정기(500)는 통상적인 디지털 다이얼 게이지로, 변위량을 표시해주는 측정기 몸체(5001)와, 일단부에 개구부가 형성되는 파이프 형상으로 일단부가 측정기 몸체(5001)에 연결되며 측정기 장착공(2023)에 삽입되어 측정블록(202)과 고정되는 측정기 고정부(5002)와, 측정기 고정부(5002)의 개구부로 삽입되어 길이방향으로 직선운동이 가능하며 직선운동의 길이가 측정기 몸체(5001)에 변위량으로 표시되는 스핀들(5003)과, 스핀들(5003)의 끝단부에 위치하여 측정하려는 부분과 접하는 측정자(5004)로 이루어진다.

스핀들(5003)은 측정기 고정부(5002)의 개구부의 내경과 동일한 외경을 갖는 봉형상으로 형성되며, 일측이 측정기 고정부(5002)의 개구부로 삽입되어 수평 이동 가능하도록 설치된다.

이때 측정기 고정부(5002)의 내부에는 스핀들(5003)을 탄발지지하는 미도시된 스프링이 설치되어 항상 스핀들(5003)의 단부의 측정자(5004)가 유동블록(203)에 접촉되도록 하고 있다.

이와 같이 구성된 측정기(500)의 측정자(5004)는 유동블록(203)과 접하게 설치되고, 유동블록(203)이 길이 방향으로 움직임에 따라 레일 폭이 변화될 때 스핀들(5003)에 변위량이 발생하게 되고, 스핀들(5003)의 변위량은 측정기 몸체(5001)에 전달되어 측정기 몸체(5001)에 표시됨으로써 레일(2a), (2b)들의 폭 변화량이 정확하게 측정된다.

도 7은 도 3의 유동블록을 나타내는 분해사시도이다.

도 7의 유동블록(203)은 육면체 형상으로 형성되며, 가이드봉(100)들의 후단부에 설치된다.

또한 유동블록(203)은 양측에 관통공(2034), (2035)들이 대향되게 형성된다.

이때 관통공(2034), (2035)들의 중심과 일치하는 상면에는 개구부가 형성되고, 개구부는 관통공(2034), (2035)들과 연통부(2036), (2037)들에 의해 연통된다.

이때 유동블록(203)의 관통공(2034), (2035)들 내부에는 중공이 형성된 부싱(2038), (2039)들이 위치하고, 유동블록(203)의 외측면에는 외측면으로부터 내측으로 형성되는 볼트 체결부(2040), (2041)들이 각각 형성된다. 이때 볼트체결부(2040), (2041)들은 연통부(2036), (2037)들을 관통하게 형성된다.

이러한 유동블록(203)은 볼트체결부(2040), (2041)들에 볼트가 체결되면 유동블록(203)과 부싱(2038), (2039)들이 고정된다. 이때 부싱(2038), (2039)들의 중공에는 가이드봉(100)이 관통하고 부싱(2038), (2039)들은 가이드봉(100)을 따라 이동하기 때문에 내벽면에 윤활유가 주입되도록 하여 가이드봉(100)과의 마찰을 감소시키고 마모, 진동 및 소음을 줄여준다.

또한 부싱(2038), (2039)들의 전면에는 칼라(2042), (2043)들이 고정되고, 칼라(2042), (2043)들은 탄성부재(401)의 끝단과 결합된다.

또한 유동블록(203)은 도 4에 도시된 바와 같이 외측면에 상측롤러(300b)가, 하면에는 측부롤러(301b)가 설치된다. 이때, 상측롤러(300b)는 제2 레일(2b)의 상면과 접촉하고, 측부롤러(301b)는 제2 레일(2b)의 내측면과 접촉한다.

이와 같이 구성되는 유동블록(202)은 윤활 처리된 부싱(2038), (2039)들의 중공을 가이드봉(100)이 통과해서 수평 이동 가능하도록 설치되고, 롤러(300b), (301b)들에 의해 제2 레일(2b)과 접한다.

탄성부(400)들은 측정블록(202) 및 유동블록(203) 사이의 가이드봉(100)들 각각에 설치되며, 탄성부재(401)와 탄성부재 고정부(402)로 이루어진다.

탄성부재(401)는 일단부가 탄성부재 고정부(402)에 의해 가이드봉(100)의 특정 위치에 고정되며 타단부는 유동블록(203)의 칼라(2034)와 고정된다. 이러한 탄성부재(401)는 두 레일(2a), (2b) 사이의 폭이 증가 혹은 감소하였을 때 압축, 인장압력을 제공하여 유동블록(202)이 가이드봉(100)의 길이방향으로 압축, 인장되도록 하여 롤러(300), (301)들이 두 레일(2a),(2b)과 접촉을 유지 할 수 있도록 한다.

탄성부재 고정부(402)는 환형상이며, 내부의 중공으로 가이드봉(100)이 관통되고, 탄성부재(401)의 일단부와 결합된다. 이때 탄성부재 고정부(402)는 내주면과 외주면을 관통하는 볼트공들이 3개가 형성되고, 각각의 볼트공으로 볼트 체결 시, 가이드봉(100)을 가압하여 탄성부재 고정부(402)가 가이드봉(100)의 특정부위에 고정되게 된다. 이때, 볼트를 풀어주면 탄성부재 고정부(402)가 가이드봉(100)의 길이방향으로 이동이 가능하여 탄성부(400)의 위치 조절이 가능하다.

본 발명은 측정블록(202)과 탄성부(400)의 위치를 조절 가능하기 때문에, 서로 다른 레일폭을 갖는 트랙을 측정하는 경우에 유용하게 사용될 수 있으며, 다른 레일폭을 갖는 트랙을 측정하는 경우에 측정블록(202)과 탄성부(400)의 위치를 이동시켜 측정이 가능하다.

도 8은 도 3의 폭 검사장치로 폭이 다른 두 트랙의 폭을 측정하는 예시도이다.

도 8에 도시된 (a)는 두 레일(2a), (2b) 사이의 폭이 L 인 트랙(2)을 측정한 것이고, (b)는 폭 L과 L’의 차이가 측정기의 측정범위보다 큰 차이를 갖는 두 레일(2a’), (2b’) 사이의 폭이 L’ 인 트랙(2’)을 측정한 것이다. 폭 검사장치로 L 을 측정한 상태에서 그대로 측정기의 측정범위보다 큰 차이를 갖는 L’를 측정할 수 없기 때문에 새롭게 폭 검사장치를 배치하여야 한다.

본 발명의 폭 검사장치(11)는 (a)의 폭이 L인 트랙(2)을 측정한 후 (b)의 폭이 L’인 트랙(2‘)를 측정을 원할 경우, 측정기 고정부(5002)와 측정블록(202), 측정블록(202)과 가이드봉(100), 가이드봉(100)과 탄성부재 고정부(402)를 고정해주는 볼트들을 풀어주고, 측정블록(202)과 탄성부재 고정부(402)를 A에서 A’로 이동시키고 볼트를 체결시켜 가이드봉(100)과 고정하고, 측정기(500)를 측정범위에 알맞은 위치에 맞춰 측정기 고정부(5002)와 측정블록(202)을 고정시켜 준다.

이를 통해 폭 검사장치(11)는 L의 폭을 가진 트랙(2)과 L’의 폭을 가지는 트랙(2‘)에 모두 적용 가능하다.

한편, 도 3에서 트랙(2)의 내측면을 측정할 경우를 기준으로 설명하였으나, 정밀하고 미세한 공정을 필요로 하는 반도체 공정에서는 트랙(2)의 내측면의 폭 뿐만 아니라 트랙(2)을 따라 이동하는 수송체, 웨이퍼를 적재하는 케이스 등의 외측면의 폭 또한 이송과정에 영향을 미쳐 외측면의 측정도 필요하다.

도 9는 도 3의 폭 검사장치로 트랙의 내측면과 외측면의 폭을 측정하는 예시도이다.

도 9에 도시된 (a)는 폭 측정장치(11)로 두 레일(2a), (2b) 사이의 폭이 L 인 트랙(2)의 내측면의 폭을 측정한 것이고, (b)는 폭 측정장치(11)로 동일한 트랙(2)의 외측면의 폭을 측정한 것이다.

폭 측정장치(11)는 내측면의 폭을 측정할 때 (a)와 같이 탈락방지 볼트(101)를 기준으로 가이드봉(100)을 따라 유동블록(203), 탄성부(400), 측정블록(202), 고정블록(201)이 순서대로 형성되며, 상부롤러(300a), (300b)들이 외측면을 바라본다.

한편 위와 같이 내측면의 폭을 측정하던 형태의 폭 측정장치(11)는 목적에 의해 외측면의 폭을 측정하는 형태로 변형 가능하다. 고정블록(201), 탄성부(400), 측정블록(202)는 볼트를 풀어 폭 측정장치(11)로부터 분리 할 수 있다. 분리한 폭 측정장치(11)는 (b)와 같이 탈락방지 볼트(101)를 기준으로 가이드봉(100)을 따라 측정블록(202), 탄성부(400), 유동블록(203), 고정블록(201)을 순서대로 설치한다.

이때 고정블록(201)과 유동블록(203)은 내측면을 측정할 때와 달리 상부롤러(300a), (300b)가 서로를 바라보도록 내측면을 향하도록 한다.

또한 이렇게 설치된 폭 측정장치(11)는 측정블록(202)과 탄성부(400)를 트랙(2)의 측정에 알맞게 위치를 조정하여 볼트로 고정하면 트랙(2)의 외측면의 폭 측정이 가능하다.

한편, 두 레일(2a), (2b)은 시간의 경과에 따라 이격되거나 외부의 요인으로 인하여 변형 혹은 파손되기 때문에, 별도의 장치를 이용하여 기준을 맞춰 줘야한다.

도 10은 본 발명의 영점 조절 장치를 나타내는 분해사시도이다.

도 10에 도시된 바와 같이, 영점 조정 장치(600)는 몸체(601)와, 거리조절블록(602), 가이드볼트(603), 너트(604)들로 이루어져있다.

몸체(601)는 ‘L’자 형상의 판재들로 이루어지며, 상세하게로는 수평판(6011)과, 수평판(6011)의 단부에 수직 연결되는 수직판(6012)으로 이루어진다.

또한 수평판(6011)의 상면의 양측에는 가이드 홈들이 각각 형성된다. 이때 가이드 홈들로는 거리조절블록(602)의 하부에 형성되는 슬라이딩 돌부들이 슬라이딩 방식으로 삽입되고, 이에 따라 거리조절블록(602)은 수평판(6011)의 상면에서 슬라이딩 홈을 따라 이동 가능하게 된다.

또한 수평판(6011)의 상면의 양측에는 거리 눈금이 인쇄된 거리표시부(6013)들이 각각 형성된다. 수평판(6011)의 상면의 좌측에는 수직판(6012)의 내측면부터 거리조절 블록(602)의 내측면까지의 거리가 표시되고, 수평판(6011)의 상면의 우측에는 수직판(6012)의 외측면부터 거리조절블록(602)의 외측면까지의 거리가 표시되어 내측면뿐만 아니라 외측면의 폭 측정 시에도 영점 조정도 가능하도록 구성된다.

또한 수직판(6012)에는 양면을 관통하는 관통공이 형성된다. 이때 관통공으로는 가이드볼트(603)가 관통되고, 가이드볼트(603)는 너트(604)에 의해 체결됨으로써 수직판(6012)에 고정되게 된다.

거리조절블록(602)은 다면체로 형성되며, 전후면에 양면을 관통하는 관통공이 형성된다.

또한 거리조절블록(602)은 하면에 슬라이딩 돌부들이 돌출 형성되고, 슬라이딩 돌부들은 조립 시, 수평판(6011)의 가이드 홈들로 슬라이딩 방식으로 각각 삽입됨으로써 거리조절블록(602)이 가이드 홈들을 따라 수평 이동할 수 있게 된다.

이와 같이 구성되는 거리조절블록(602)은 수평판(6011)의 가이드 홈들을 따라 이동하되, 원하는 위치에서 가이드볼트(603) 및 너트(604)들의 체결에 의해 고정됨으로써 정확한 영점 조정이 가능하다.

즉, 본 발명은 검사하고자 하는 트랙(2)의 폭만큼 영점 조정 장치(600)의 거리조절블록(602)을 위치시킨 상태로 너트(604)로 고정한 후, 폭 검사장치(11)의 측정블록(202) 및 탄성부재 고정부(402)의 볼트를 풀어 영점 조정 장치(600)에 폭에 맞춰 검사하기 알맞은 위치에 고정한 후, 측정기(500)의 영점을 맞추고 트랙(2)의 폭 검사를 실시함으로써 트랙(2)의 폭 변화량을 정확하게 측정할 수 있게 된다.

2 : 트랙 11 : 트랙을 형성하는 레일들의 폭 검사장치
100 : 가이드봉 101 : 탈락방지 볼트
200 : 블록부 201 : 고정블록 202 : 측정블록
203 : 유동블록 300a, 300b : 상부롤러 301a, 301b : 측부롤러
400 : 탄성부 401 : 탄성부재 402: 탄성부재 고정부
500 : 측정기 600 : 영점 조정 장치 601 : 몸체
602 : 거리조절블록
603 : 가이드 볼트

Claims

제1 레일과 상기 제1 레일로부터 일정 거리 이격된 제2 레일로 형성된 트랙의 레일들의 간격을 측정하는 폭 검사장치에 있어서:
상기 트랙에 수직으로 설치되는 복수개의 가이드봉들;
상기 가이드봉들의 전단부에 설치되어 상기 제1 레일의 내측면과 접촉되는 고정블록;
상기 가이드봉들에 이동 가능하게 설치되어 상기 제2 레일의 내측면과 접촉되는 유동블록;
상기 가이드봉들에 이동 가능하게 설치되되 상기 고정블록과 상기 유동블록 사이에 위치하며 고정수단에 의해 설치위치가 고정되는 측정블록;
상기 유동블록과 상기 측정블록 사이에 각각 설치되어 상기 유동블록이 상기 제2 레일의 내측면과 접촉되었을 때 상기 유동블록이 상기 제2 레일의 내측면과 밀착 접촉되도록 탄성력을 가하는 탄성부들;
상기 측정블록에 결합되며 단부가 상기 유동블록의 일측면과 접촉되어 상기 유동블록의 변위량을 측정하는 측정기를 포함하고,
상기 트랙의 레일들에 상기 고정블록과 상기 유동블록이 밀착되도록 설치하였을 때, 상기 측정기의 단부가 상기 유동블록에 접촉되도록 상기 측정블록의 설치위치를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 폭 검사장치.
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청구항 제1항에 있어서, 상기 측정블록은 상기 가이드봉들 및 상기 측정기가 관통되는 설치공들이 형성되고,
상기 측정블록의 외면에는 개구부들이 각각 형성되고,
상기 개구부들은 상기 설치공들과 연통부들에 각각 연통되고,
상기 측정블록의 외측면에는 상기 연통부들을 각각 관통하는 볼트 체결부들이 형성되고, 각 볼트 체결부에 볼트가 체결되면 해당 연통부의 폭이 줄어들어 해당 설치공의 반경 또한 줄어들어 상기 가이드봉들 및 상기 측정기가 관통되는 상기 설치공들의 반경 또한 줄어들어 상기 가이드봉들 및 상기 측정기를 가압하여 고정하는 것을 특징으로 하는 폭 검사장치.
청구항 제4항에 있어서, 상기 탄성부들 각각은
상기 가이드봉들 중 어느 하나에 결합되는 탄성부재 고정부와, 일단부가 상기 탄성부재 고정부에 결합되고 타단부가 상기 유동블록에 결합되어 상기 유동블록을 탄발적으로 상기 제2 레일에 밀착 지지하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 폭 검사장치.