KR102071349B1 - 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 클린룸에 설치가능하되 필터를 교체시에 해당 필터 외면에 붙어있는 파티클이 클린룸 실내에 유출되지 않게 상기 필터가 구비된 분리체를 몸체에서 분리하여 이동 후, 안전한 곳에서 교체할 수 있는 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클린룸 바닥면에 소정의 높이를 갖도록 설치되되 제어신호에 의해 파티클을 강제 흡입하는 흡입모터가 상부에 구비되며, 하부에는 출입가능한 빈 공간의 설치공간부가 형성된 스탠드형 하우징과, 상기 설치공간부에 출입할 수 있도록 형성되되 제어신호에 의해 승강 가능하도록 설치되어 상기 스탠드형 하우징과 기밀이 유지될 수 있도록 연결되며, 상기 흡입모터에 의해 강제 흡입된 파티클을 걸러내기 위한 적어도 하나 이상의 원형상을 갖는 필터가 구비된 분리형 함체 및 상기 설치공간부 내측 바닥면에 제어신호에 제어되는 기압이나 유압에 의해 승강 가능하도록 구비되어 상기 설치공간부 내측으로 유입된 상기 분리형 함체가 상기 스탠드형 하우징과 기밀이 유지될 수 있도록 가압에 의해 밀착시키는 승강부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

클린룸 내부설치용 분리형 집진장치{Separation-type dust collecting device}
본 발명은 클린룸에 설치가능하되 필터를 교체시에 해당 필터 외면에 붙어있는 파티클이 클린룸 실내에 유출되지 않게 상기 필터가 구비된 분리체를 몸체에서 분리하여 이동 후, 안전한 곳에서 교체할 수 있는 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치에 관한 것이다.
최근들어 급속한 개발에 의하여 비약적인 발전을 거듭하고 있는 반도체 기술에 힘입어 고집적도, 고품질의 반도체 소자가 탄생하고 있으며, 고집적 반도체 소자에 의하여 전자, 전기, 컴퓨터, 디스플레이 장치등의 첨단 분야의 개발도 함께 촉진되고 있다.
이때, 고집적 반도체 소자의 제조 수율에 큰 영향을 미치는 요소는 무수히 많을 수 있지만 가장 큰 요인으로는 환경적인 요인에 의한 수율 저하를 지적할 수 있으며, 환경적인 요인으로는 반도체 소자 제조 공정이 진행되는 클린 룸 내부에 존재하는 미세 분진의 농도, 클린 룸 내부에서 작업하는 작업자의 신체에서 발생되는 수분, 땀 등에 섞여 있는 나트륨과 같은 원소 등이 있을 수 있다.
특히, 미세 분진의 경우 주요 반도체 공정중 하나인 포토 공정, 에칭 공정에서 치명적인 공정 불량을 유발시킨다.
이러한 불량의 발생률을 저감시키기 위해 클린 룸 내부의 온도를 항시 일정온도로 유지시켜 작업자에게서 배출되는 땀이나 수분의 발생을 방지하거나 클린 룸 내부와 연결된 집진장치를 사용하여 파티클에 의한 불량을 방지하는 노력이 이루어지고 있다.
그러나, 종래의 집진장치는 대규모로 건물 내부에 설치되어 있어 경제적인 부담이 많아 근래에는 각각의 클린 룸 실내측에 별도의 집진장치를 설치하여 사용하고 있는 것이 도출되어 있으나 이러한 집진장치는 소모성의 필터를 교체하기 위해 해당 집진장치 자체를 클린 룸 외부로 이동시켜 교체하거나 내부에서 교체한다고 하더라도 사용된 필터를 분리하는 과정에서 상기 필터 외면에 묻은 파티클이 유출되는 문제점을 갖게 된다.
국내등록특허 제10-0278605호(공고일:2001.01.15.) 국내공개특허 제10-2016-0113338호(공개일:2016.09.29.)
상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 파티클을 필터링한 필터를 교체시에 집진장치 자체를 클린 룸 외부로 옴기지 않고도 해당 필터의 교체가 가능함과 동시에 필터를 교체하는 과정에서 해당 필터 외면에 묻은 파티클이 클린 룸의 실내로 유출되는 것을 방지하여 교체할 수 있는 집진장치를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.
상술한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치는 제어부의 제어신호에 의해 클린룸에 설치된 장비기기에서 발생하는 파티클을 흡수하여 클린룸 외부로 배출하는 집진장치에 있어서, 클린룸 바닥면에 소정의 높이를 갖도록 설치되되 제어신호에 의해 파티클을 강제 흡입하는 흡입모터가 상부에 구비되며, 하부에는 출입가능한 빈 공간의 설치공간부가 형성된 스탠드형 하우징과, 상기 설치공간부에 출입할 수 있도록 형성되되 제어신호에 의해 승강 가능하도록 설치되어 상기 스탠드형 하우징과 기밀이 유지될 수 있도록 연결되며, 상기 흡입모터에 의해 강제 흡입된 파티클을 걸러내기 위한 적어도 하나 이상의 원형상을 갖는 필터가 구비된 분리형 함체 및 상기 설치공간부 내측 바닥면에 제어신호에 제어되는 기압이나 유압에 의해 승강 가능하도록 구비되어 상기 설치공간부 내측으로 유입된 상기 분리형 함체가 상기 스탠드형 하우징과 기밀이 유지될 수 있도록 가압에 의해 밀착시키는 승강부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 스탠드형 하우징은 속이 빈 함체 형상으로 이루어지되 내부에 상기 흡입모터가 구비되며, 하면에는 상기 분리형 함체 내부와 연통되는 통공이 천공형성된 몸체와, 상기 몸체 내부에 하방으로 공기압을 배출할 수 있도록 구비되되 그 배출되는 공기압에 의해 상기 필터 외면에 붙은 이물질이 상기 필터에서 분리될 수 있도록 하는 펄싱부재 및 상기 몸체 하부에 복수의 수직프레임과 수평프레임이 사각틀 형상으로 결합하여 상기 몸체가 클린룸 바닥면에서 소정높이를 갖도록 함과 동시에 내부에는 상기 분리형 함체가 출입하기 위한 상기 설치공간부를 형성하는 프레임부재를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 상기 펄싱부재는 소정길이를 갖는 관 형상으로 이루어지되 일측은 폐쇄되며, 타측은 개방된 주입관과, 상기 주입관의 개방된 타측에 관 연결되되 제어신호에 의해 개폐되며, 개방시에 기압탱크에 수용된 공기압이 소정의 토출압력으로 상기 주입관 내부에 배출될 수 있도록 하는 기압밸브 및 상기 주입관 내부와 연통되게 관 형상을 갖도록 하방으로 연장형성되되 상기 기압밸브를 통해 배출되는 공기압을 상기 필터 임의에 중앙부 방향으로 배출하여 상기 필터 외면에 고착된 파티클이 분리될 수 있도록 하는 배출관을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 상기 분리형 함체는 속이 빈 함체 형상으로 이루어지되 상부는 상기 스탠드형 하우징과 연통될 수 있도록 개방되며, 상면에는 상기 스탠드형 하우징과 밀폐 연결될 수 있게 띠 형상의 가스켓이 구비되고, 클린룸에 구비된 장비기기가 내부와 연통되게 관 연결된 분리체와, 판 형상으로 이루어지되 다수의 천공부가 형성되며, 각각의 상기 천공부 하부에는 상기 필터가 결합하여 상기 흡입모터에 의해 강제 흡입된 파티클이 상기 분리체 내부와 상기 필터를 관통하여 외부로 정화되어 배출될 수 있도록 구비되는 필터설치판 및 제어부와 전기적으로 연결될 수 있게 상기 분리체 외면에 구비되되 상기 분리체 내부 압력을 검측하는 차압센서를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 종래와는 차별적으로 클린룸 내부의 협소한 공간에 설치가능한 구조를 갖되 상기 집진장치의 필터 교체시기가 되면 상기 집진장치를 해당 클린룸 외부로 이동시키지 않고도 몸체와 분리 및 밀폐 결합가능한 분리체만 분리하여 이동시키도록 함으로써, 상기 분리체 내부에 구비된 필터에서 유출될 수 있는 파티클이 클린룸 실내로 유출되지 않게 교체할 수 있는 효과를 갖게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치를 나타낸 도면.
도 2는 도 1에 대한 분리형 함체가 스탠드형 하우징에서 분리되는 모습을 보인 도면.
도 3은 본 발명에 따른 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치의 스탠드형 하우징과 승강부를 나타낸 도면.
도 4는 도 3에 대한 정면도.
도 5는 도 3에 대한 저면에서 바라본 펄싱부재를 나타낸 도면.
도 6은 본 발명에 따른 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치의 분리형 함체를 나타낸 도면.
도 7은 본 발명에 따른 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치의 측면도.
도 8은 본 발명에 따른 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치의 정면도.
도 9는 도 8에 대한 A부분 확대도.
이하, 상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부 도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백히 드러나게 될 것이며, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치(이하, 간략하게 '집진장치'라 한다)에 대하여 상세히 설명한다. 설명에 앞서, 본 발명에서의 제어부(400)는 스탠드형 하우징(100) 외면에 설치되어 작업자에 의해 조작은 물론, 조작상황을 확인하기 위한 통상의 스위치와 디스플레이가 구비된 컨트롤러를 의미하는 것으로, 본 발명의 요지를 흐르지 않도록 상세한 설명은 생략하고 있음에 유의한다.
먼저, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에서의 집진장치(1)는 크게 스탠드형 하우징(100), 분리형 함체(200) 및 승강부(300)를 포함하는 구성으로 이루어져 있으며, 제어부(400)는 상기한 구성들을 제어신호에 의해 제어할 수 있는 설치된다.
더욱 상세하게 설명하면, 상기 스탠드형 하우징(100)은 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 클린룸에 구비되어 반도체를 제조하거나 검사하기 위한 적어도 하나 이상의 장비기기(미도시)와 관 연결되어 해당 장비기기에서 발생하는 파티클은 물론, 클린룸 실내의 이물질을 흡입하여 후술하는 분리형 함체(200) 내에 설치된 필터(223)에 의해 정화될 수 있도록 하기 위한 구성으로 본 발명에서는 예컨대 몸체(120), 펄싱부재(130) 및 프레임부재(140)를 포함한다.
몸체(120)는 전체적으로 속이 빈 함체의 형상을 갖도록 형성되되 하부에는 프레임부재(140)에 의해 클린룸 바닥면에서 소정의 높이를 갖도록 설치되어 클린룸 내부의 협소한 공간에도 설치가능한 구조를 갖도록 한다.
몸체(120) 전면에는 유지보수 등을 이유로 그 내부를 개폐하기 위한 도어가 경첩 등에 의해 회전가능하도록 힌지 결합되어 있으며, 상기 몸체(120) 내부에는 흡입모터(110)가 제어부(400)의 제어신호에 의해 동작 가능하도록 구비된다.(도 8 참조)
이때, 몸체(120) 하면에는 후술하는 분리체(210)의 개방된 상부와 연통되는 통공(121)이 천공형성되어 있으며, 상기 몸체(120) 내부에는 상기 통공(121)과 연통되게 흡입모터(110)가 제어부(400)의 제어신호에 의해 동작 가능하도록 구비되어 상기 흡입모터(110)의 강제 흡입력에 의해 클린룸의 이물질이나 장비기기의 카티클을 강제 흡입할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
아울러 흡입모터(110)는 도시하지 않았으나 몸체(120) 외면에서 연장된 배관(미도시)과 관 연결되어 강제 흡입된 파티클(이물질 포함)이 걸러진 정화된 공기가 상기 몸체(120) 외부로 유출없이 배출될 수 있도록 한다.
한편, 통공(121)이 형성된 몸체(120) 내부에는 후술하는 필터(223) 이외에 또 다른 판 형상의 보조필터(150)를 더 구비하여 분리체(210) 내부에 구비된 필터(223)에 의해 파티클이 필터링된 공기가 다시 재필터링하여 몸체(120) 외부로 배출될 수 있도록 함으로써, 정화의 효과를 극대화하는 것도 가능하다.(도 8 참조)
아울러 보조필터(150)는 교체시에 클린룸 내부가 아닌, 외부에서 도어의 개방을 통해 교체하여 혹시나 상기 보조필터(150)에 존재하는 파티클이 클린룸 실내로 유출되지 않도록 한다.
펄싱부재(130)는 후술하는 분리체(210) 내부에 구비된 필터(223)의 내구성이나 사용시간 등을 높이기 위한 용도로 사용되며, 그 구성은 예컨대 주입관(131), 기압밸브(133) 및 배출관(135)을 포함한다.
주입관(131)은 도시한 바와 같이, 몸체(120) 하부에 형성된 통공(121)과 후술하는 분리체(210)의 개방된 상부 사이에 적어도 하나 이상 배치될 수 있도록 설치되며, 전체적으로 원통의 관 형상을 갖되 일측은 폐쇄되어 있으며, 타측은 기압밸브(133)와 관 연결될 수 있도록 개구된 구조를 갖는다.
아울러 본 발명에서의 주입관(131)은 수평방향으로 길이를 갖는 기둥형상으로 도시되어 있으나 이에 한정하지 않으며, 후술하는 배출관(135)이 복수로 구비되는 각각의 필터(223) 임의의 중심부(P)를 향하도록 할 수 있으면 링 형상이나 회오리형상으로 형성되는 것도 가능하다.
기압밸브(133)는 일단이 주입관(131)의 타측과 관 연결되되 타단은 공기압을 공급하는 기압탱크(미도시)와 관 연결되어 있으며, 제어부(400)의 제어신호에 의해 전기적으로 개폐되어 소정의 토출압력으로 상기 주입관(131)에 공기압을 제공할 수 있도록 한다.
제어부(400)에 의해 제어되는 기압밸브(133)는 적업자가 기 설정하여 저장한 작동정보에 의해 간헐적으로 개방되어 기압탱크의 공기압이 주입관(131)을 지나 배출관(135)을 통해 필터(223) 중앙부로 배출될 수 있도록 하며, 필요에 따라 상기 기압밸브(133)의 동작은 후술하는 차압센서(213)의 측정정보에 따라 제어부(400)의 제어신호에 의해 기 저장된 동작정보와 상관없이 작동하는 것도 가능하다.
배출관(135)은 전체적으로 관 형상을 갖도록 주입관(131)의 길이방향을 따라 일정한 간격을 갖게 복수의 구성으로 형성될 수 있으며, 상부는 상기 주입관(131) 내부와 연통되게 이어지고, 타측은 분리체(210) 내부에 구비된 각각의 필터(223) 임의의 중심부(P)를 향하도록 개구되어 기압밸브(133)의 공기압이 상기 필터(223) 내측으로 배출될 수 있는 구조를 갖도록 한다.
이와 같은 구성의 펄싱부재(130)는 예컨대 차압센서(213)의 측정을 통해 분리체(210) 내부에 구비된 필터(223)의 필터링 능력이 저하되었다고 판단되면 제어부(400)는 기압밸브(133)에 제어신호를 입력하여 소정의 토출압력으로 공기압이 주입관(131)과 배출관(135)을 통해 필터(223) 내측으로 배출될 수 있도록 함으로써, 그 토출압력에 의해 상기 필터(223) 외면에 고착될 수 있는 파티클을 분리시킬 수 있도록 한다.
이때, 펄싱부재(130)에 의해 필터(223) 외면의 파티클이 용이하게 분리될 수 있도록 작업자는 분말형태의 제올라이트를 분리체(210) 내부에 함께 수용하여 기압밸브(133)의 토출 압력에 의해 파티클이 뭉쳐진 제올라이트가 용이하게 필터(223)에서 분리될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
프레임부재(140)는 상술한 몸체(120)를 클린룸 바닥면에서 소정높이를 갖도록 하여 협소한 해당 클린 실내에 설치가능하도록 함과 동시에 후술하는 분리체(210)가 그 내부로 출입할 수 있는 공간부를 제공하기 위한 구성이다.
프레임부재(140)는 도시한 바와 같이, 복수의 수직프레임(143)과 수평프레임(145)의 결합을 통해 사각의 틀 형상을 갖도록 형성하며, 전방이 개구된 구조를 갖도록 하여 그 개구된 곳을 통해 내부에 형성된 설치공간부(141)로 분리체(210)가 출입할 수 있는 구조를 갖도록 한다.
이때, 프레임부재(140)는 분리체(210) 외면에 구비된 매미고리 등과 같은 보조체결구(215)와 결합하기 위한 걸쇠(미도시)가 마련되어 있으며, 해당 걸쇠와 보조체결구(215)는 분리체(210)가 후술하는 승강부(300)를 통해 몸체(120)와 밀폐 결합한 이후에 체결되어 작업자의 부주의 등에 의해 상기 분리체(210)와 상기 몸체(120)가 분리되지 않아야 하는 순간에 상기 승강부(300)가 동작하여 분리되는 것을 방지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
또한 프레임부재(140)는 설치공간부(141) 내부로 분리체(210)가 인입시에 상기 분리체(210) 외면의 가압에 의해 스위칭되어 그 전기적인 신호를 제어부(400)에 전송하도록 함으로써, 상기 제어부(400)가 상기 분리체(210)의 존재 유무를 파악할 수 있도록 하는 가압센서(S)가 더 구비될 수 있다.
아울러 제어부(400)는 가압센서(S)에서 전달되는 입력신호가 전송되지 않으면 흡입모터(110) 등의 동작을 제한시킬 수 있도록 제어하는 것이 바람직한 제어방법이라 할 수 있다.
나아가 프레임부재(140)는 도시한 바와 같이, 설치공간부(141) 내측으로 분리체(210)가 출입시에 마찰력을 최소화함과 동시에 상기 분리체(210)의 손상 등을 방지할 수 있도록 볼 베어링(149)이 다수 구비되어 상기 볼 베어링(149)에 상기 분리체(210) 외면이 접촉하여 용이하게 슬라이드 이동방식으로 상기 설치공간부(141)에 출입할 수 있도록 한다.
그리고, 상기 분리형 함체(200)는 도 6 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 클린룸 내부나 장비기기에서 흡수한 파티클을 필터링하여 그 흡입된 공기를 정화하여 배출하되 필터(223)를 교체시에 해당 클린룸 내에서 집진장치(1) 전체를 들어내지 않고 상기 필터(223)가 구비된 분리체(210)만 몸체(120)에서 분리하여 용이하게 분리하고자 하는 장소로 이동시킬 수 있도록 하기 위한 구성으로 본 발명에서의 분리형 함체(200)는 분리체(210) 및 필터설치판(220)을 포함한다.
분리체(210)는 도시한 바와 같이, 전체적으로 속이 빈 함체 형상을 갖되 그 외면에는 유지보수 등을 위한 도어가 상기 분리체(210) 외면에 경첩 등으로 회전가능하게 힌지 결합되어 있으며, 상부는 몸체(120) 하면에 형성된 통공(121)과 서로 연통되어 흡입모터(110)의 흡입력에 의해 필터(223)에서 필터링된 정화공기가 상기 흡입모터(110)로 유입될 수 있도록 개구된 구조를 갖는다.
이때, 개구된 분리체(210) 상면에는 띠 형상의 가스켓(211)이 구비되어 승강부(300)의 상승에 의해 상기 분리체(210)가 몸체(120)와 결합시에 밀폐 결합하여 파티클이 클린룸 실내로 유출되는 것을 방지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
아울러 분리체(210) 외면에는 제어부(400)와 전기적으로 연결된 차압센서(213)가 구비되며, 상기 차압센서(213)는 상기 분리체(210) 내부 압력을 측정하여 필터(223)의 교체 여부 즉, 필터링 정도를 상기 제어부(400)에서 판단할 수 있는 정보를 제공하도록 한다.
또한, 분리체(210) 외면에는 그 내부와 연통되게 연결관(217)이 돌출 형성되어 있으며, 상기 연결관(217)은 클린룸 실내나 장비기기와 연결되어 흡입모터(110)의 강제 흡입에 의해 파티클이 상기 분리체(210) 내부로 유입되어 필터(223)를 통해 필터링 될 수 있도록 한다.
필터설치판(220)은 전체적으로 판 형상을 갖도록 형성되어 있으며, 그 하부에는 서로 등 간격을 갖도록 다수의 원통형상을 갖는 필터(223)가 수직방향으로 길이를 갖도록 탈착 가능하게 설치된다.
이때, 필터설치판(220)은 하부에 결합한 필터(223) 내부와 연통할 수 있는 천공부(221)가 다수 천공형성되도록 함으로써, 상기 필터(223) 외부를 통해 파티클이 필터링된 이후의 공기가 상기 천공부(221)를 통해 분리체(210)의 개방된 상부와 몸체(120) 하부에 형성된 통공(121)을 지나 흡입모터(110) 내부를 통해 상기 몸체(120) 외부로 배출될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
아울러 천공부(221)의 중심부는 도시한 바와 같이, 원통형상을 갖는 필터(223) 내측 임의의 중심부(P)와 수기방향으로 동일선상에 위치하도록 설치하도로 하며, 필터설치판(220)은 볼트 방식의 체결수단을 통해 분리체(210)와 탈착 가능하게 결합할 수 있도록 하여 필터(223)의 교체가 용이하도록 한다.
그리고, 승강부(300)는 도 3, 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 설치공간부(141)에 인입된 분리체(210)를 제어부(400)의 제어신호를 통해 승강시켜 상기 분리체(210)가 몸체(120)와 밀폐 결합하거나 또는 분리될 수 있도록 하기 위한 구성으로 본 발명에서는 안착판(310) 및 승강로드(320)를 포함한다.
안착판(310)은 상술한 프레임부재(140) 하부 즉, 설치공간부(141)의 바닥면을 형성할 수 있도록 전체적으로 판 형상을 갖게 형성되며, 그 외면에는 승강로드(320)가 출입하기 위한 개구부(311)가 적어도 하나 이상 천공형성된다.
이때, 안착판(310)은 그 내부에 승강로드(320)가 승강가능하게 설치될 수 있게 어느 정도의 설치공간을 제공하기 위한 돌출부(313)가 상방으로 돌출형성될 수 있도록 하며, 상기 돌출부(313)를 통해 그 양측에 이동로(315)가 형성될 수 있도록 하여 분리체(210)가 안정적으로 설치공간부(141)로 출입할 수 있는 구조를 갖도록 한다.
승강로드(320)는 안착판(310)에 형성된 개구부(311)를 통해 승강 가능하도록 상기 안착판(310) 내부에 구비되며, 제어부(400)를 통해 동작신호가 입력되면 기압이나 유압에 의한 실린더(미도시) 등에 의해 분리체(210) 하면과 접촉할 수 있도록 승강하여 그 승강에 의해 상기 분리체(210)가 몸체(120)와 밀폐 결합할 수 있도록 상승하거나 필터(223)의 교체를 위해 상기 몸체(120)에서 분리될 수 있도록 한다.
이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 집진장치(1)는 종래와는 차별적으로 클린룸 내부의 협소한 공간에 설치가능한 구조를 갖되 상기 집진장치(1)의 필터(223) 교체시기가 되면 상기 집진장치(1)를 해당 클린룸 외부로 이동시키지 않고도 몸체(120)와 분리 및 밀폐 결합가능한 분리체(210)만 분리하여 이동시키도록 함으로써, 상기 분리체(210) 내부에 구비된 필터(223)에서 유출될 수 있는 파티클이 클린룸 실내로 유출되지 않게 교체할 수 있는 효과를 갖게 된다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적인 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
1: 본 발명에 따른 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치
100: 스탠드형 하우징 110: 흡입모터
120: 몸체 121: 통공
130: 펄싱부재 131: 주입관
133: 기압밸브 135: 배출관
140: 프레임부재 141: 설치공간부
143: 수직프레임 145: 수평프레임
149: 볼 베어링
200: 분리형 함체 210: 분리체
211: 가스켓 213: 차압센서
215: 보조체결구 220: 필터설치판
221: 천공부 223: 필터
300: 승강부 310: 안착판
311: 개구부 313: 돌출부
315: 이동로 320: 승강로드
400: 제어부
P: 중심점 S: 가압센서

Claims (4)

  1. 제어부의 제어신호에 의해 클린룸에 설치된 장비기기에서 발생하는 파티클을 흡수하여 클린룸 외부로 배출하는 집진장치에 있어서,
    클린룸 바닥면에 소정의 높이를 갖도록 설치되되 제어신호에 의해 파티클을 강제 흡입하는 흡입모터(110)가 상부에 구비되며, 하부에는 출입가능한 빈 공간의 설치공간부(141)가 형성된 스탠드형 하우징(100);
    상기 설치공간부(141)에 출입할 수 있도록 형성되되 제어신호에 의해 승강 가능하도록 설치되어 상기 스탠드형 하우징(100)과 기밀이 유지될 수 있도록 연결되며, 상기 흡입모터(110)에 의해 강제 흡입된 파티클을 걸러내기 위한 적어도 하나 이상의 원형상을 갖는 필터(223)가 구비된 분리형 함체(200); 및
    상기 설치공간부(141) 내측 바닥면에 제어신호에 제어되는 기압이나 유압에 의해 승강 가능하도록 구비되어 상기 설치공간부(141) 내측으로 유입된 상기 분리형 함체(200)가 상기 스탠드형 하우징(100)과 기밀이 유지될 수 있도록 가압에 의해 밀착시키는 승강부(300);를 포함하되,
    상기 분리형 함체(200)는 속이 빈 함체 형상으로 이루어지되 상부는 상기 스탠드형 하우징(100)과 연통될 수 있도록 개방되며, 상면에는 상기 스탠드형 하우징(100)과 밀폐 연결될 수 있게 띠 형상의 가스켓(211)이 구비되고, 클린룸에 구비된 장비기기가 내부와 연통되게 관 연결된 분리체(210), 판 형상으로 이루어지되 다수의 천공부(221)가 형성되며, 각각의 상기 천공부(221) 하부에는 상기 필터(223)가 결합하여 상기 흡입모터(110)에 의해 강제 흡입된 파티클이 상기 분리체(210) 내부와 상기 필터(223)를 관통하여 외부로 정화되어 배출될 수 있도록 구비되는 필터설치판(220) 및 제어부와 전기적으로 연결될 수 있게 상기 분리체(210) 외면에 구비되되 상기 분리체(210) 내부 압력을 검측하는 차압센서(213)를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스탠드형 하우징(100)은
    속이 빈 함체 형상으로 이루어지되 내부에 상기 흡입모터(110)가 구비되며, 하면에는 상기 분리형 함체(200) 내부와 연통되는 통공(121)이 천공형성된 몸체(120);
    상기 몸체(120) 내부에 하방으로 공기압을 배출할 수 있도록 구비되되 그 배출되는 공기압에 의해 상기 필터(223) 외면에 붙은 이물질이 상기 필터(223)에서 분리될 수 있도록 하는 펄싱부재(130); 및
    상기 몸체(120) 하부에 복수의 수직프레임(143)과 수평프레임(145)이 사각틀 형상으로 결합하여 상기 몸체(120)가 클린룸 바닥면에서 소정높이를 갖도록 함과 동시에 내부에는 상기 분리형 함체(200)가 출입하기 위한 상기 설치공간부(141)를 형성하는 프레임부재(140);를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 펄싱부재(130)는
    소정길이를 갖는 관 형상으로 이루어지되 일측은 폐쇄되며, 타측은 개방된 주입관(131);
    상기 주입관(131)의 개방된 타측에 관 연결되되 제어신호에 의해 개폐되며, 개방시에 기압탱크에 수용된 공기압이 소정의 토출압력으로 상기 주입관(131) 내부에 배출될 수 있도록 하는 기압밸브(133); 및
    상기 주입관(131) 내부와 연통되게 관 형상을 갖도록 하방으로 연장형성되되 상기 기압밸브(133)를 통해 배출되는 공기압을 상기 필터(223) 임의에 중앙점(P) 방향으로 배출하여 상기 필터(223) 외면에 고착된 파티클이 분리될 수 있도록 하는 배출관(135);을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 내부설치용 분리형 집진장치.
  4. 삭제
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