KR20220049068A - 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템 - Google Patents

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KR20220049068A
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고태현
김동희
김태현
이지운
최해용
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Abstract

유출입 부재; 상기 유출입 부재에 연결되는 유입 연결관; 상기 유입 연결관에 결합되는 에어 컨베이어; 상기 유출입 부재에 연결되는 배출 연결관; 및 상기 배출 연결관에 결합되는 공기 증폭기; 를 포함하되, 상기 유출입 부재는: 내부공간을 제공하는 하우징; 유입통로를 제공하되 상기 하우징을 관통하는 유입관; 상기 내부공간에 연결되는 배출통로를 제공하는 배출관; 및 상기 내부공간 또는 상기 배출통로에 위치하는 필터; 를 포함하며, 상기 유입 연결관은 상기 유입관에 연결되고, 상기 배출 연결관은 상기 배출관에 연결되는 흡습제 교체 장치가 제공된다.

Description

흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템{Apparatus for desiccant replacement and air dry system including the same}
본 발명은 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자동으로 흡습제를 교체할 수 있는 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자는 다양한 공정에 의해 제조될 수 있다. 예를 들어, 반도체 소자는 식각 공정, 증착 공정, 현상 공정 및 테스트 공정 등을 거쳐 제조될 수 있다. 반도체 소자 제조 공정 간에 기체를 투입해야 할 필요가 있을 수 있다. 예를 들어, 반도체 소자를 제조하는 챔버 내에 공기를 투입해야 할 수 있다. 챔버 내에 공급되는 공기는 습도가 낮을 것이 요구될 수 있다. 이를 위해 챔버 내에 공급되는 공기를 건조 공기로 만드는 시스템이 필요할 수 있다. 공기를 건조 공기로 만들기 위해, 흡습제를 채운 탱크에 공기를 통과시키는 과정이 요구될 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 자동으로 흡습제를 교체할 수 있는 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 별도의 외부 동력 없이 흡습제를 교체할 수 있는 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 흡습제의 교체와 동시에 분진을 제거할 수 있는 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 흡습제 교체 장치는 유출입 부재; 상기 유출입 부재에 연결되는 유입 연결관; 상기 유입 연결관에 결합되는 에어 컨베이어; 상기 유출입 부재에 연결되는 배출 연결관; 및 상기 배출 연결관에 결합되는 공기 증폭기; 를 포함하되, 상기 유출입 부재는: 내부공간을 제공하는 하우징; 유입통로를 제공하되 상기 하우징을 관통하는 유입관; 상기 내부공간에 연결되는 배출통로를 제공하는 배출관; 및 상기 내부공간 또는 상기 배출통로에 위치하는 필터; 를 포함하며, 상기 유입 연결관은 상기 유입관에 연결되고, 상기 배출 연결관은 상기 배출관에 연결되는 흡습제 교체 장치가 제공될 수 있다.
상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 공기 건조 시스템은 흡습 공간을 제공하는 흡습제 탱크; 상기 흡습제 탱크에 연결되는 흡습제 교체 장치; 상기 흡습제 탱크에 결합되는 공기 연결관; 상기 흡습제 탱크에 결합되는 공기 배출관; 및 상기 공기 연결관에 연결되는 압축기; 를 포함하되, 상기 흡습제 탱크는: 상기 공기 연결관이 결합되는 공기 주입부; 상기 공기 배출관이 결합되는 공기 배출부; 상기 흡습제 교체 장치가 결합되는 흡습제 주입부; 및 흡습제를 배출하는 흡습제 배출부; 를 제공하고, 상기 흡습제 교체 장치는: 유출입 부재; 상기 유출입 부재에 연결되는 유입 연결관; 상기 유입 연결관에 결합되는 에어 컨베이어; 상기 유출입 부재에 연결되는 배출 연결관; 및 상기 배출 연결관에 결합되는 공기 증폭기; 를 포함하되, 상기 유출입 부재는: 내부공간을 제공하는 하우징; 유입통로를 제공하되 제1 방향으로 상기 하우징을 관통하는 유입관; 상기 제1 방향에 교차되는 제2 방향으로 연장되며 상기 내부공간에 연결되는 배출통로를 제공하는 배출관; 및 상기 내부공간에 위치하는 필터; 를 포함하며, 상기 하우징은 상기 흡습제 주입부에 결합되고, 상기 유입 연결관은 상기 유입관에 연결되며, 상기 배출 연결관은 상기 배출관에 연결될 수 있다.
상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 공기 건조 시스템은 흡습 공간을 제공하는 흡습제 탱크; 상기 흡습제 탱크에 연결되는 흡습제 교체 장치; 상기 흡습제 탱크에 결합되는 공기 연결관; 상기 흡습제 탱크에 결합되는 공기 배출관; 및 상기 공기 연결관에 연결되는 압축기; 를 포함하되, 상기 흡습제 탱크는: 상기 공기 연결관이 결합되는 공기 주입부; 및 상기 공기 배출관이 결합되는 공기 배출부; 를 제공하고, 상기 흡습제 교체 장치는: 유출입 부재; 상기 유출입 부재에 연결되는 유입 연결관; 상기 유입 연결관에 결합되는 에어 컨베이어; 상기 유출입 부재에 연결되는 배출 연결관; 및 상기 배출 연결관에 결합되는 공기 증폭기; 를 포함하되, 상기 유출입 부재는: 내부공간을 제공하는 하우징; 유입통로를 제공하되 상기 하우징을 관통하는 유입관; 상기 내부공간에 연결되는 배출통로를 제공하는 배출관; 및 상기 내부공간 또는 상기 배출통로에 위치하는 필터; 를 포함하며, 상기 유입 연결관은 상기 유입관에 연결되고, 상기 배출 연결관은 상기 배출관에 연결될 수 있다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템에 따르면, 자동으로 흡습제를 교체할 수 있다.
본 발명의 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템에 따르면, 별도의 외부 동력 없이 흡습제를 교체할 수 있다.
본 발명의 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템에 따르면, 흡습제의 교체와 동시에 분진을 제거할 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 공기 건조 시스템의 흡습제 탱크를 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재를 나타낸 절단 사시도이다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재를 나타낸 분해 단면도이다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재를 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치를 이용해 흡습제 탱크의 흡습제를 교체하는 과정을 나타낸 개략도이다.
도 8은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재의 작동 상태를 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재를 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 나타낸 개략도이다.
도 11은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 나타낸 개략도이다.
도 12는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 나타낸 개략도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들에 대하여 설명한다. 명세서 전문에 걸쳐 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지칭할 수 있다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 나타낸 개략도이다.
도 1을 참고하면, 공기 건조 시스템(S)이 제공될 수 있다. 공기 건조 시스템(S)은 공기의 습도를 낮출 수 있다. 보다 구체적으로, 공기 건조 시스템(S)은 공기의 수분을 제거하여, 반도체 공정에 사용되는 공기의 습도를 낮출 수 있다. 공기 건조 시스템(S)은 흡습제 탱크(T), 공기 연결관(B), 공기 배출관(A), 흡습제 교체 장치(E) 및 압축기(C) 등을 포함할 수 있다.
흡습제 탱크(T)는 공기의 습기를 제거할 수 있다. 흡습제 탱크(T) 내에 흡습제가 배치될 수 있다. 공기는 흡습제 탱크(T)를 지나며 습도가 낮아질 수 있다. 보다 구체적으로, 공기는 흡습제 탱크(T)를 지날 때, 흡습제 탱크(T) 내부의 흡습제에 의해 수분이 제거되어 습도가 낮아질 수 있다. 흡습제 탱크(T)에 대한 상세한 내용은 도 2를 참고하여 후술하도록 한다.
공기 연결관(B)은 흡습제 탱크(T)에 연결될 수 있다. 공기 연결관(B)은 공기가 흐르는 통로를 제공할 수 있다. 공기 연결관(B)을 흐르는 공기는 습도가 비교적 높은 공기일 수 있다. 공기 연결관(B)을 흐르는 공기는 흡습제 탱크(T)로 유입될 수 있다. 공기 연결관(B)은 압축기(C)에 연결될 수 있다. 공기 연결관(B)을 흐르는 공기는 압축기(C)에 의해 가속될 수 있다.
공기 배출관(A)은 흡습제 탱크(T)에 연결될 수 있다. 공기 배출관(A)은 공기가 흐르는 통로를 제공할 수 있다. 공기 배출관(A)을 흐르는 공기는 흡습제 탱크(T)로부터 유출된 공기일 수 있다. 즉, 공기는 공기 연결관(B)을 통해 흡습제 탱크(T)로 유입된 후, 공기 배출관(A)을 통해 유출될 수 있다. 공기는 흡습제 탱크(T)를 지나면서 습도가 낮아질 수 있다. 따라서 공기 배출관(A)을 흐르는 공기는 습도가 비교적 낮은 공기일 수 있다. 즉, 공기 배출관(A)을 흐르는 공기는 건조 공기일 수 있다. 공기 배출관(A)의 공기는 반도체 공정을 위해 반도체 장비에 투입될 수 있다.
흡습제 교체 장치(E)는 흡습제 탱크(T)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 흡습제 교체 장치(E)는 선택적으로 흡습제 탱크(T)에 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 흡습제 교체 장치(E)는 필요에 따라 흡습제 탱크(T)에 연결 또는 분리될 수 있다. 흡습제 교체 장치(E)는 유출입 부재(1), 유입 연결관(2), 에어 컨베이어(3), 배출 연결관(4), 공기 증폭기(5), 흡습제 공급부(7) 및 분진 포집기(9) 등을 포함할 수 있다.
유출입 부재(1)는 흡습제 탱크(T)에 연결될 수 있다. 유출입 부재(1)에 의해 흡습제 교체 장치(E)가 흡습제 탱크(T)에 연결될 수 있다. 유출입 부재(1)는 흡습제 탱크(T)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 후술하도록 한다.
유입 연결관(2)은 유출입 부재(1)에 연결될 수 있다. 유입 연결관(2)은 유출입 부재(1)를 향해 공기 및 흡습제 등을 보낼 수 있다.
에어 컨베이어(3)는 유입 연결관(2)에 결합될 수 있다. 에어 컨베이어(3)는 압축기(C)에 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 에어 컨베이어(3)는 압축기(C)에 선택적으로 연결될 수 있다. 에어 컨베이어(3)는 압축기(C)로부터 높은 압력의 기체를 제공받을 수 있다. 에어 컨베이어(3)는 유입 연결관(2) 내의 공기를 가속시킬 수 있다. 예를 들어, 에어 컨베이어(3)는 압축기(C)로부터 제공받은 높은 압력의 기체를 이용하여, 유입 연결관(2) 내의 공기를 가속시킬 수 있다. 에어 컨베이어(3)는 압축기(C)로부터 제공받은 높은 압력의 기체를 사용하여 코안다 효과(Coanda effect)에 의해 유입 연결관(2) 내의 공기를 가속시킬 수 있다. 에어 컨베이어(3)의 가속에 의해, 유입 연결관(2) 내의 공기는 이동할 수 있다. 이에 따라 유입 연결관(2) 내의 흡습제도 이동할 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 후술하도록 한다.
배출 연결관(4)은 유출입 부재(1)에 연결될 수 있다. 배출 연결관(4)은 유출입 부재(1)로부터 나온 분진 및 공기 등을 외부로 배출할 수 있다.
공기 증폭기(5)는 배출 연결관(4)에 결합될 수 있다. 공기 증폭기(5)는 압축기(C)에 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 공기 증폭기(5)는 압축기(C)에 선택적으로 연결될 수 있다. 공기 증폭기(5)는 압축기(C)로부터 높은 압력의 기체를 제공받을 수 있다. 공기 증폭기(5)는 배출 연결관(4) 내의 공기를 가속시킬 수 있다. 예를 들어, 공기 증폭기(5)는 압축기(C)로부터 제공받은 높은 압력의 기체를 이용하여, 배출 연결관(4) 내의 공기를 가속시킬 수 있다. 공기 증폭기(5)는 압축기(C)로부터 제공받은 높은 압력의 기체를 사용하여 코안다 효과(Coanda effect)에 의해 배출 연결관(4) 내의 공기를 가속시킬 수 있다. 공기 증폭기(5)의 가속에 의해, 배출 연결관(4) 내의 공기는 이동할 수 있다. 이에 따라 배출 연결관(4) 내의 분진도 이동할 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 후술하도록 한다.
흡습제 공급부(7)는 유입 연결관(2)에 연결될 수 있다. 흡습제 공급부(7)는 유입 연결관(2)에 흡습제를 공급할 수 있다. 흡습제 공급부(7)에 의해 공급된 흡습제는 유입 연결관(2)을 거쳐, 흡습제 탱크(T)로 들어갈 수 있다.
분진 포집기(9)는 배출 연결관(4)에 연결될 수 있다. 분진 포집기(9)는 배출 연결관(4)으로 배출된 분진을 포집할 수 있다. 보다 구체적으로, 분진 포집기(9)는 흡습제 탱크(T)로부터 배출 연결관(4)으로 배출된 분진을 포집할 수 있다.
압축기(C)는 공기 연결관(B), 유입 연결관(2) 및 배출 연결관(4)에 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 압축기(C)는 공기 연결관(B), 유입 연결관(2) 및 배출 연결관(4)에 선택적으로 연결될 수 있다. 압축기(C)는 공기 연결관(B), 유입 연결관(2) 및 배출 연결관(4)에 높은 압력을 제공할 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 후술하도록 한다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 공기 건조 시스템의 흡습제 탱크를 나타낸 단면도이다.
도 2를 참고하면, 흡습제 탱크(T)는 탱크 벽(Tw) 내부에 흡습 공간(Th)을 제공할 수 있다. 흡습 공간(Th)에 흡습제(H)가 채워질 수 있다. 흡습제(H)는 수분을 흡수하는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 흡습제(H)는 실리카 겔(Silica gel) 등을 포함할 수 있다. 흡습제(H)는 주변 공기의 습도를 낮출 수 있다. 흡습제(H)의 수명은 한정되어 있을 수 있다. 즉, 일정 시간이 지나면, 흡습제(H)의 흡습 능력이 저하될 수 있다. 따라서 일정 시간이 지나면 흡습제 탱크(T)의 흡습 공간(Th)에 차 있는 흡습제(H)를 교체해주어야 할 필요가 있을 수 있다. 흡습제(H)의 교체는 주기적으로 수행되어야 할 수 있다. 예를 들어, 흡습제(H)의 교체는 5년마다 한 번씩 수행되어야 할 수 있다. 그러나 이는 예시적인 것이며, 구체적 설계 적용 및 상황에 따라 흡습제(H)의 교체 주기는 다양한게 변경될 수 있다. 흡습제 탱크(T)는 공기 주입부(Ao), 공기 배출부(Ai), 흡습제 주입부(Hi) 및 흡습제 배출부(Ho) 등을 더 제공할 수 있다.
공기 주입부(Ao)는 흡습 공간(Th)에 연결될 수 있다. 실시 예들에서, 공기 주입부(Ao)를 통해 공기가 흡습 공간(Th)에 유입될 수 있다. 공기 주입부(Ao)에 주입 필터(Fo)가 결합될 수 있다. 주입 필터(Fo)는 공기 주입부(Ao)를 통해 흡습제(H)가 빠져나가는 것을 방지할 수 있다.
공기 배출부(Ai)는 흡습 공간(Th)에 연결될 수 있다. 실시 예들에서, 공기 배출부(Ai)를 통해 공기가 흡습 공간(Th)로부터 유출될 수 있다. 공기 배출부(Ai)에 배출 필터(Fi)가 결합될 수 있다. 배출 필터(Fi)는 공기 배출부(Ai)를 통해 흡습제(H)가 빠져나가는 것을 방지할 수 있다.
흡습제 주입부(Hi)는 흡습 공간(Th)에 연결될 수 있다. 흡습제 주입부(Hi)를 통해 흡습제(H)가 흡습 공간(Th)으로 유입될 수 있다. 실시 예들에서, 흡습제 주입부(Hi)는 흡습제 탱크(T)의 상측에 위치할 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 흡습제 주입부(Hi)는 필요에 따라 다양한 위치에 위치할 수 있다.
흡습제 배출부(Ho)는 흡습 공간(Th)에 연결될 수 있다. 흡습제 배출부(Ho)를 통해 흡습제(H)가 흡습 공간(Th)으로부터 유출될 수 있다. 실시 예들에서, 흡습제 배출부(Ho)는 흡습제 탱크(T)의 하측에 위치할 수 있다.
흡습제 탱크(T)에 공기 연결관(B), 공기 배출관(A) 및 유출입 부재(1) 등이 연결될 수 있다.
공기 연결관(B)은 공기 주입부(Ao)에 연결될 수 있다. 공기는 공기 연결관(B) 및 공기 주입부(Ao)를 통해 흡습 공간(Th)에 유입될 수 있다. 공기 연결관(B)을 통해 유입되는 공기는 습도가 상대적으로 높은 공기를 포함할 수 있다.
공기 배출관(A)은 공기 배출부(Ai)에 연결될 수 있다. 공기는 공기 배출부(Ai) 및 공기 배출관(A)을 통해 흡습 공간(Th)으로부터 유출될 수 있다. 공기 배출관(A)을 통해 유출되는 공기는 습도가 상대적으로 낮은 공기를 포함할 수 있다. 즉, 공기 연결관(B)을 통해 흡습제 탱크(T)에 유입된 높은 습도의 공기는, 흡습 공간(Th)에서 흡습제(H)에 의해 수분이 제거되어, 공기 배출관(A)을 통해 유출될 때는 습도가 낮은 상태가 될 수 있다.
유출입 부재(1)는 흡습제 주입부(Hi)에 결합될 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 도 3 내지 도 6을 참고하여 후술하도록 한다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재를 나타낸 사시도이다.
도 3을 참고하면, 유출입 부재(1)는 하우징(11), 유입관(13) 및 배출관(15) 등을 포함할 수 있다.
하우징(11)은 플랜지(11f)를 포함할 수 있다. 플랜지(11f)는 하우징(11)의 하부에 위치할 수 있다. 플랜지(11f)를 통해 유출입 부재(1)는 흡습제 주입부(Hi, 도 2 및 도 5 등 참고)에 결합될 수 있다.
유입관(13)은 하우징(11)을 관통할 수 있다. 유입관(13)은 하우징(11)을 제1 방향(D1)으로 관통하여, 하우징(11)의 밑으로 연장될 수 있다.
배출관(15)은 하우징(11)에 연결될 수 있다. 실시 예들에서, 배출관(15)은 제2 방향(D2)으로 연장되며 하우징(11)에 결합될 수 있다.
도 4는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재를 나타낸 절단 사시도이다.
도 4를 참고하면, 하우징(11)은 내부공간(11h)을 제공할 수 있다. 내부공간(11h)은 밑으로 개방되어 있을 수 있다. 하우징(11)은 유입구멍(11g)을 더 제공할 수 있다. 보다 구체적으로, 하우징(11)의 상벽에 유입구멍(11g)에 형성될 수 있다. 유입구멍(11g)을 통해 내부공간(11h)은 하우징(11)의 윗 공간과 연결될 수 있다. 유입구멍(11g)에 유입관(13)이 삽입될 수 있다.
플랜지(11f)는 결합공(11fh)을 제공할 수 있다. 결합공(11fh)은 상하로 연장되며 플랜지(11f)를 관통할 수 있다. 결합공(11fh)에 결합수단(미도시)이 삽입되어, 유출입 부재(1)를 다른 구성에 결합시킬 수 있다. 실시 예들에서, 결합공(11fh)은 복수 개가 제공될 수 있다. 그러나 이하에서 편의 상 결합공(11fh)은 단수로 기술하도록 한다.
유입관(13)은 유입구멍(11g) 및 내부공간(11h)을 지나며, 하우징(11)을 제1 방향(D1)으로 관통할 수 있다. 유입관(13)은 유입통로(13h)를 제공할 수 있다.
배출관(15)은 배출통로(15h)를 제공할 수 있다. 배출통로(15h)는 내부공간(11h)과 연결될 수 있다. 배출통로(15h)는 제1 방향(D1)에 교차되는 방향으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 배출통로(15h)는 제2 방향(D2)으로 연장될 수 있다.
유출입 부재(1)는 필터(17)를 더 포함할 수 있다. 필터(17)는 하우징(11)의 내부공간(11h) 및/또는 배출관(15)의 배출통로(15h) 내에 배치될 수 있다. 필터(17)가 하우징(11)의 내부공간(11h) 내에 위치하는 경우, 필터(17)는 내부공간(11h)의 하측을 막을 수 있다. 즉, 필터(17)는 내부공간(11h) 중 아래로 개방된 부분에 위치할 수 있다. 필터(17)는 공기는 통과시키되, 흡습제(H, 도 2 등 참고)는 통과시키지 아니하는 메쉬 구조를 포함할 수 있다. 이러한 필터(17)에 의해, 공기만 내부공간(11h)과 그 밑의 공간 사이를 흐르고, 흡습제(H)의 이동은 차단될 수 있다. 필터(17)는 관통공(17g)을 제공할 수 있다. 실시 예들에서, 관통공(17g)은 필터(17)의 중앙에 제공될 수 있다. 관통공(17g)은 상하로 연장될 수 있다. 관통공(17g)에 유입관(13)이 삽입될 수 있다. 유입관(13)은 유입구멍(11g), 내부공간(11h) 및 관통공(17g)에 삽입되어 제1 방향(D1)으로 연장되며, 하우징(11) 및 필터(17)를 관통할 수 있다. 유입관(13)이 관통공(17g)을 통해 필터(17)를 관통하므로, 유입통로(13h) 내부를 지나는 부피가 큰 물질은 필터(17)에 걸러지지 아니하고 이동할 수 있다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재와 흡습제 탱크의 흡습제 주입부를 나타낸 분해 단면도이고, 도 6은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재와 흡습제 탱크의 흡습제 주입부가 결합된 상태를 나타낸 단면도이다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 유출입 부재(1)는 흡습제 주입부(Hi)와 결합할 수 있다. 흡습제 주입부(Hi)는 도 2를 참고하여 설명한 흡습제 주입부와 실질적으로 동일한 구성을 의미할 수 있다. 흡습제 주입부(Hi)는 주입부 플랜지(Hif)를 포함할 수 있다. 유출입 부재(1)의 플랜지(11f)와 흡습제 주입부(Hi)의 플랜지(Hif)가 서로 결합할 수 있다. 플랜지 간 결합에 의해, 유출입 부재(1)와 흡습제 주입부(Hi)는 유체가 빠져나갈 틈이 없이 견고히 결합할 수 있다. 유출입 부재(1)의 플랜지(11f)와 흡습제 주입부(Hi)의 플랜지(Hif) 간의 결합에 의해, 유출입 부재(1)는 흡습제 탱크(T, 도 1 및 도 2 등 참고)에 고정 결합될 수 있다.
도 7은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치를 이용해 흡습제 탱크의 흡습제를 교체하는 과정을 나타낸 개략도이다.
도 7을 참고하면, 압축기(C)가 에어 컨베이어(3) 및/또는 공기 증폭기(5)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 압축기(C)와 에어 컨베이어(3)는 제1 압력 제공관(Pi)에 의해 연결될 수 있다. 또한, 압축기(C)와 공기 증폭기(5)는 제2 압력 제공관(Po)에 의해 연결될 수 있다.
흡습제 탱크(T)를 사용하여 공기의 습도를 낮추는 건조 작업 중에는, 압축기(C)와 에어 컨베이어(3) 및/또는 공기 증폭기(5)는 연결되지 아니할 수 있다. 공기의 습도를 낮추는 건조 작업을 중단하고, 흡습제 탱크(T) 내의 흡습제(H, 도 2 등 참고)를 교체하는 작업을 실시하기 위해, 압축기(C)를 에어 컨베이어(3) 및/또는 공기 증폭기(5)에 연결시킬 수 있다. 즉, 압축기(C)는 에어 컨베이어(3) 및/또는 공기 증폭기(5)에 필요에 따라 선택적으로 연결 또는 분리될 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 본 발명의 실시 예들에서, 에어 컨베이어(3)와 공기 증폭기(5)를 위한 별도의 압축기가 제공될 수도 있다. 이 경우 압축기는 흡습제 교체 장치(E)의 일부일 수 있다.
흡습제 탱크(T) 내의 흡습제(H, 도 2 등 참고)를 교체하기 위해, 먼저 흡습제 탱크(T)에 공급되던 공기를 차단할 수 있다. 흡습제 탱크(T) 내에 기존에 차 있던 흡습제(H, 도 2 등 참고)는 흡습제 탱크(T)로부터 제거될 수 있다. 예를 들어, 흡습제 탱크(T)의 흡습제 배출부(Ho, 도 2 참고)를 열어, 흡습제(H)를 흡습 공간(Th)으로부터 제거할 수 있다. 수분을 흡수하여 수명이 다한 흡습제(H)는 흡습제 탱크(T)에서 배출될 수 있다.
흡습제 탱크(T)에 흡습제(H)를 공급하기 위해, 압축기(C)는 에어 컨베어어(3)에 압축 공기를 제공할 수 있다. 보다 구체적으로, 압축기(C)는 제1 압력 제공관(Pi)을 통해 에어 컨베이어(3)에 압축 공기를 제공할 수 있다. 압축기(C)가 제공하는 압축 공기에 의해, 에어 컨베이어(3)는 유입 연결관(2) 내의 공기를 가속시킬 수 있다. 유입 연결관(2) 내의 공기는 유출입 부재(1)를 향해 흐를 수 있다. 유입 연결관(2) 내의 공기가 이동함에 따라, 흡습제 공급부(7)의 흡습제를 또한 같이 이동할 수 있다. 흡습제는 유입 연결관(2)을 따라 유출입 부재(1)를 향해 이송될 수 있다.
압축기(C)는 공기 증폭기(5)에 압축 공기를 제공할 수 있다. 보다 구체적으로, 압축기(C)는 제2 압력 제공관(Po)을 통해 공기 증폭기(5)에 압축 공기를 제공할 수 있다. 압축기(C)가 제공하는 압축 공기에 의해, 공기 증폭기(5)는 배출 연결관(4) 내의 공기를 가속시킬 수 있다. 배출 연결관(4) 내의 공기는 유출입 부재(1)로부터 배출될 수 있다. 유출입 부재(1)로부터 배출된 공기는 배출 연결관(4)을 따라 분진 포집기(9)로 흐를 수 있다.
실시 예들에서, 흡습제 교체 장치(E)를 흡습제 탱크(T)에 연결시켜 흡습제(H, 도 2 등 참고)를 교체하는 동안, 압축기(C)와 흡습제 탱크(T)의 연결은 해제될 수 있다. 보다 구체적으로, 공기 연결관(B, 도 2 참고)과 흡습제 탱크(T)의 연결이 해제되어, 압축기(C)와 흡습제 탱크(T)의 연결이 해제될 수 있다. 건조되어야 하는 공기가 공기 연결관(B)을 통해 흡습제 탱크(T)에 공급되는 것은 중단될 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 흡습제의 교체 작업 중에도 공기 연결관(B)은 흡습제 탱크(T)에 결합되어 있을 수 있다.
도 8은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재의 작동 상태를 나타낸 단면도이다.
도 8을 참고하면, 유입 연결관(2, 도 7 참고)을 통해 이동해온 공기(Xi)는 유입관(13)을 지나 흡습제 주입부(Hi)의 밑으로 유입될 수 있다. 즉, 공기(Xi)는 흡습제 주입부(Hi)를 통해 흡습제 탱크(T, 도 7 참고)로 들어갈 수 있다. 공기(Xi)는 흡습제 공급부(7, 도 7 참고)에서 함께 이동해온 흡습제(H)와 같이 흡습제 탱크(T)로 들어갈 수 있다.
배출 연결관(4, 도 7 참고)이 유출입 부재(1)로부터 공기를 밖으로 빼내므로, 흡습제 탱크(T)로 들어온 공기는 다시 배출관(15)을 통해 빠져나갈 수 있다. 즉, 공기(Xo)는 필터(17), 내부공간(11h) 및 배출관(15)을 거쳐 배출 연결관(4)으로 빠져나갈 수 있다. 공기와 함께 유입된 흡습제(H)는 부피가 커서 필터(17)를 통과하지 못할 수 있다. 따라서 흡습제 탱크(T) 내부에는 흡습제(H)만 남고, 공기(Xo)는 외부로 배출될 수 있다. 공기(Xo)가 흡습제 탱크(T)로부터 외부로 배출되면서, 흡습제(H)의 공급 과정에서 발생하는 분진도 같이 배출될 수 있다. 분진은 분진 포집기(9, 도 7 등 참고)에 포집될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템에 의하면, 자동으로 흡습제를 흡습제 탱크에 공급할 수 있다. 따라서 흡습제의 교체를 위해 많은 인원이 반복 작업을 수행할 필요가 없을 수 있다. 이에 따라 인력과 시간을 절감시킬 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템에 의하면, 흡습제의 공급과 동시에 공기를 외부로 배출시킬 수 있다. 또한 공기의 배출과 동시에, 흡습제의 공급 과정에서 발생할 수 있는 분진을 외부로 배출시킬 수 있다. 따라서 흡습제 탱크 내부에 분진을 줄일 수 있다. 이에 따라 흡습제 교체 작업 완료 후 공기 건조 작업을 재개했을 때, 분진 없는 깨끗한 건조 공기를 획득할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템에 의하면, 공기 건조를 위해 흡습제 탱크에 공기를 공급하던 압축기를 사용하여, 흡습제를 흡습제 탱크에 공급할 수 있다. 따라서 별도의 외부 전원이나 동력 장치가 요구되지 아니할 수 있다. 이에 따라 전체적인 설비가 간편해지고, 비용이 절감될 수 있다. 또한 흡습제 교체 장치의 설치가 간편하고 용이할 수 있다.
도 9는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치의 유출입 부재를 나타낸 단면도이다.
이하에서, 도 1 내지 도 8을 참고하여 설명한 것과 실질적으로 동일 또는 유사한 내용에 대한 것은 편의 상 그 설명을 생략할 수 있다.
도 9를 참고하면, 배출관(15)에 공기 증폭기(5')가 직접 결합될 수 있다. 즉, 도 1 등을 참고하여 설명한 것과는 달리, 공기 증폭기(5')는 배출 연결관(4, 도 1 참고)의 매개 없이, 직접 배출관(15)에 결합될 수 있다.
도 10은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 나타낸 개략도이다.
이하에서, 도 1 내지 도 9를 참고하여 설명한 것과 실질적으로 동일 또는 유사한 내용에 대한 것은 편의 상 그 설명을 생략할 수 있다.
도 10을 참고하면, 공기 건조 시스템(S')은 에어 컨베이어를 복수 개 제공할 수 있다. 즉, 유입 연결관(2)에 복수 개의 에어 컨베이어가 직렬로 결합될 수 있다. 예를 들어, 제1 에어 컨베이어(31) 및 제2 에어 컨베이어(33)가 유입 연결관(2)에 결합될 수 있다. 흡습제 공급부(7)가 흡습제 탱크(T)로부터 멀리 떨어져 있거나, 흡습제 탱크(T)의 높이가 높은 경우, 복수 개의 에어 컨베이어를 사용하여 흡습제의 전달력을 향상시킬 수 있다.
도 11은 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 나타낸 개략도이다.
이하에서, 도 1 내지 도 10을 참고하여 설명한 것과 실질적으로 동일 또는 유사한 내용에 대한 것은 편의 상 그 설명을 생략할 수 있다.
도 11을 참고하면, 공기 건조 시스템(S'')의 유출입 부재(1)는 공기가 배출되는 부분에서 흡습제 탱크(T)와 결합할 수 있다. 즉, 도 2에 도시한 것과는 달리, 흡습제 탱크(T)는 별도의 흡습제 주입부(Hi, 도 2 참고)를 제공하지 아니할 수 있다. 이 경우 유출입 부재(1)는 공기 배출부에 직접 결합될 수 있다. 이를 위해, 공기 배출관(A, 도 1 등 참고)은 흡습제 탱크(T)와 분리되어야 할 수 있다.
도 12는 본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템을 나타낸 개략도이다.
이하에서, 도 1 내지 도 11을 참고하여 설명한 것과 실질적으로 동일 또는 유사한 내용에 대한 것은 편의 상 그 설명을 생략할 수 있다.
도 12를 참고하면, 흡습제 교체 장치(E''')는 결합 포트(CP)를 포함할 수 있다. 결합 포트(CP)는 유입 연결관(2)에 연결될 수 있다. 도 12의 공기 건조 시스템(S''')은 도 1시 도시한 것과는 달리 흡습제 공급부(7)를 제공하지 아니할 수 있다. 유입 연결관(2)에 연결된 결합 포트(CP)는 외부 관 등과 결합될 수 있는 구성일 수 있다. 흡습제 교체 장치(E''')는 필요에 따라 결합 포트(CP)에 탈착 가능하게 결합되는 외부 관 등으로부터 흡습제를 공급받아, 흡습제 탱크(T)에 흡습제를 충전시킬 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
S: 공기 건조 시스템
E: 흡습제 교체 장치
T: 흡습제 탱크
C: 압축기
A: 공기 배출관
B: 공기 연결관
1: 유출입 부재
11: 유입관
11h: 유입통로
13: 하우징
13h: 내부공간
15: 배출관
15h: 배출통로
17: 필터
2: 유입 연결관
3: 에어 컨베이어
4: 배출 연결관
5: 공기 증폭기
7: 흡습제 공급부
9: 분진 포집기

Claims (10)

  1. 유출입 부재;
    상기 유출입 부재에 연결되는 유입 연결관;
    상기 유입 연결관에 결합되는 에어 컨베이어;
    상기 유출입 부재에 연결되는 배출 연결관; 및
    상기 배출 연결관에 결합되는 공기 증폭기; 를 포함하되,
    상기 유출입 부재는:
    내부공간을 제공하는 하우징;
    유입통로를 제공하되 상기 하우징을 관통하는 유입관;
    상기 내부공간에 연결되는 배출통로를 제공하는 배출관; 및
    상기 내부공간 또는 상기 배출통로에 위치하는 필터; 를 포함하며,
    상기 유입 연결관은 상기 유입관에 연결되고,
    상기 배출 연결관은 상기 배출관에 연결되는 흡습제 교체 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징은 상기 내부공간과 연결되는 유입구멍을 제공하되,
    상기 유입관은 상기 유입구멍에 삽입되는 흡습제 교체 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유입관은 제1 방향으로 연장되어 상기 하우징을 관통하고,
    상기 배출관은 상기 제1 방향에 교차되는 제2 방향으로 연장되는 흡습제 교체 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 필터는 상기 내부공간에 위치하되,
    상기 필터는 관통공을 제공하고,
    상기 유입관은 상기 관통공에 삽입되는 흡습제 교체 장치.
  5. 흡습 공간을 제공하는 흡습제 탱크;
    상기 흡습제 탱크에 연결되는 흡습제 교체 장치;
    상기 흡습제 탱크에 결합되는 공기 연결관;
    상기 흡습제 탱크에 결합되는 공기 배출관; 및
    상기 공기 연결관에 연결되는 압축기; 를 포함하되,
    상기 흡습제 탱크는:
    상기 공기 연결관이 결합되는 공기 주입부;
    상기 공기 배출관이 결합되는 공기 배출부;
    상기 흡습제 교체 장치가 결합되는 흡습제 주입부; 및
    흡습제를 배출하는 흡습제 배출부; 를 제공하고,
    상기 흡습제 교체 장치는:
    유출입 부재;
    상기 유출입 부재에 연결되는 유입 연결관;
    상기 유입 연결관에 결합되는 에어 컨베이어;
    상기 유출입 부재에 연결되는 배출 연결관; 및
    상기 배출 연결관에 결합되는 공기 증폭기; 를 포함하되,
    상기 유출입 부재는:
    내부공간을 제공하는 하우징;
    유입통로를 제공하되 제1 방향으로 상기 하우징을 관통하는 유입관;
    상기 제1 방향에 교차되는 제2 방향으로 연장되며 상기 내부공간에 연결되는 배출통로를 제공하는 배출관; 및
    상기 내부공간에 위치하는 필터; 를 포함하며,
    상기 하우징은 상기 흡습제 주입부에 결합되고,
    상기 유입 연결관은 상기 유입관에 연결되며,
    상기 배출 연결관은 상기 배출관에 연결되는 공기 건조 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 흡습제 탱크는:
    상기 공기 주입부에 결합되되 상기 흡습 공간에 위치하는 주입 필터; 및
    상기 공기 배출부에 결합되되 상기 흡습 공간에 위치하는 배출 필터; 를 더 포함하는 공기 건조 시스템.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 압축기는 선택적으로 상기 에어 컨베이어 또는 상기 공기 증폭기에 연결되는 공기 건조 시스템.
  8. 흡습 공간을 제공하는 흡습제 탱크;
    상기 흡습제 탱크에 연결되는 흡습제 교체 장치;
    상기 흡습제 탱크에 결합되는 공기 연결관;
    상기 흡습제 탱크에 결합되는 공기 배출관; 및
    상기 공기 연결관에 연결되는 압축기; 를 포함하되,
    상기 흡습제 탱크는:
    상기 공기 연결관이 결합되는 공기 주입부; 및
    상기 공기 배출관이 결합되는 공기 배출부; 를 제공하고,
    상기 흡습제 교체 장치는:
    유출입 부재;
    상기 유출입 부재에 연결되는 유입 연결관;
    상기 유입 연결관에 결합되는 에어 컨베이어;
    상기 유출입 부재에 연결되는 배출 연결관; 및
    상기 배출 연결관에 결합되는 공기 증폭기; 를 포함하되,
    상기 유출입 부재는:
    내부공간을 제공하는 하우징;
    유입통로를 제공하되 상기 하우징을 관통하는 유입관;
    상기 내부공간에 연결되는 배출통로를 제공하는 배출관; 및
    상기 내부공간 또는 상기 배출통로에 위치하는 필터; 를 포함하며,
    상기 유입 연결관은 상기 유입관에 연결되고,
    상기 배출 연결관은 상기 배출관에 연결되는 공기 건조 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 하우징은 상기 공기 배출부에 선택적으로 결합되어, 상기 흡습제 교체 장치가 상기 흡습제 탱크에 연결되는 공기 건조 시스템.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 유입 연결관에 결합되는 흡습제 공급부; 및
    상기 배출 연결관에 결합되는 분진 포집기; 를 더 포함하는 공기 건조 시스템.
KR1020200131711A 2020-10-13 2020-10-13 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템 KR20220049068A (ko)

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