KR102069804B1 - 열교환기 및 이를 구비한 열교환장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 제1유체가 흐르는 복수개의 제1채널이 각각 형성되며, 상하방향으로 서로 이격 배치되는 복수개의 제1플레이트; 상기 제1유체보다 온도가 낮은 제2유체가 흐르는 복수개의 제2채널이 형성되며, 상기 복수개의 제1플레이트의 사이에 배치되는 제2플레이트; 및 상기 제2유체보다 온도가 높은 제3유체가 흐르는 복수개의 제3채널이 각각 형성되며, 상기 복수개의 제1플레이트의 외측에 배치되어 상기 제1플레이트의 제1채널을 따라 흐르는 상기 제1유체가 결빙되는 것을 방지하는 복수개의 제3플레이트를 포함하는 열교환기 및 이를 구비한 열교환장치를 제공한다.
본 발명에 따른 열교환기 및 이를 구비한 열교환장치에 의하면, 제1플레이트의 외측으로 고온의 유체가 흐르는 제3플레이트를 적층함으로써, 제1플레이트를 따라 흐르는 유체가 제2플레이트를 따라 흐르는 극저온의 유체에 의해 냉각되어 결빙되는 것을 방지할 수 있다.

Description

열교환기 및 이를 구비한 열교환장치{Heat exchanger and heat exchanging device comprising the same}

본 발명은 열교환기 및 이를 구비한 열교환장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 저온의 유체를 고온의 유체로 가열시키는 열교환기 및 이를 구비한 열교환장치에 관한 것이다.

일반적으로, 열교환기란 고온의 유체와 저온의 유체 간에 서로 열을 주고받도록 하게 하는 장치를 의미한다. 열교환기에는 가열기, 냉각기, 응축기 등이 해당될 수 있으며, 열교환기는 가열(냉각)시키는 유체의 상태에 따라 수열식(수냉식) 또는 공열식(공냉식)으로 나뉘어질 수도 있고, 고온의 유체와 저온의 유체가 서로 혼합되는 방식에 따라 밀폐형 또는 개방형으로 나뉘어질 수도 있다.

이러한 열교환기 중에서, 인쇄기판형 열교환기(PCHE;Printed circuit heat exchanger)는 특성 길이가 마이크로미터에서 밀리미터 단위를 나타내는 마이크로채널이 형성된 열교환기를 의미한다. 인쇄기판형 열교환기는 정상상태의 관내 유동에서 관내 열전달계수가 관의 직경에 반비례한다는 것을 이용한 것으로, 폭이 좁은 마이크로채널을 만들고 그 채널로 유체를 흘려 고온의 유체와 저온의 유체가 서로 열교환하도록 한다.

이러한 인쇄기판형 열교환기는 채널의 크기가 작아지고 채널의 수가 늘어날수록 유동하는 유체의 단위체적당 전열면적이 커지게 되므로, 기존의 매크로(Macro) 단위의 열교환기와 비교하여 우수한 열교환 효율을 나타내며 장치의 소형화 및 경량화가 가능하다는 장점이 있다.

한편, 인쇄기판형 열교환기를 이용하여 액화천연가스(LNG;Liquefied natural gas)와 같은 극저온의 유체를 가열하고자 하는 경우, 상대적으로 유동성이 낮은 열교환기의 외측 부분을 따라 유동하는 고온의 유체가 이와 같은 극저온의 유체에 의해 냉각되어 결빙이 되는 문제가 있다.

등록실용신안 제20-0158732호(고안의 명칭 : 열교환기)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 극저온의 유체를 가열할 시에 고온의 유체가 냉각되어 결빙되는 것을 방지하는 열교환기 및 이를 구비한 열교환장치를 제공하는 데 목적이 있다.

본 발명의 일 측면에 따른 열교환기는, 제1유체가 흐르는 복수개의 제1채널이 각각 형성되며, 상하방향으로 서로 이격 배치되는 복수개의 제1플레이트; 상기 제1유체보다 온도가 낮은 제2유체가 흐르는 복수개의 제2채널이 형성되며, 상기 복수개의 제1플레이트의 사이에 배치되는 제2플레이트; 및 상기 제2유체보다 온도가 높은 제3유체가 흐르는 복수개의 제3채널이 각각 형성되며, 상기 복수개의 제1플레이트의 외측에 배치되어 상기 제1플레이트의 제1채널을 따라 흐르는 상기 제1유체가 결빙되는 것을 방지하는 복수개의 제3플레이트를 포함한다.

또한, 본 발명의 다른 측면에 의하면, 제1유체가 흐르는 복수개의 제1채널이 각각 형성되며 상하방향으로 서로 이격 배치되는 복수개의 제1플레이트와, 상기 제1유체보다 온도가 낮은 제2유체가 흐르는 복수개의 제2채널이 형성되며 상기 복수개의 제1플레이트의 사이에 배치되는 제2플레이트와, 상기 제2유체보다 온도가 높은 제3유체가 흐르는 복수개의 제3채널이 각각 형성되며 상기 복수개의 제1플레이트의 외측에 배치되어 상기 제1플레이트의 제1채널을 따라 흐르는 상기 제1유체가 결빙되는 것을 방지하는 복수개의 제3플레이트를 포함하는 열교환기; 상기 열교환기의 상하부에 각각 설치되어 상기 제1 내지 제3플레이트를 서로 고정시키는 한 쌍의 커버; 상기 커버에 설치되며 상기 제1플레이트와 제3플레이트로 상기 제1유체와 제3유체를 순환시키는 한 쌍의 순환구; 및 상기 커버에 설치되며 상기 제2플레이트로 상기 제2유체를 순환시키는 한 쌍의 헤더를 포함하는 열교환장치가 제공된다.

상기 복수개의 제3플레이트는, 최상측(Uppermost) 및 최하측(Lowermost)에 배치된 상기 제1플레이트의 상측과 하측에 각각 적어도 2개씩 배치될 수 있다.

상기 제2플레이트는, 복수개가 상기 복수개의 제1플레이트의 사이에 각각 배치될 수 있다.

상기 복수개의 제2채널은, 상기 제2유체가 유동하는 방향으로 보았을 때, 최좌측(Leftmost) 및 최우측(Rightmost)의 제1채널을 제외한 상기 복수개의 제1채널의 상측 및 하측에 각각 배치될 수 있다.

상기 복수개의 제1플레이트는, 상기 제2플레이트 하나를 기준으로 상하로 각각 2개씩 적층될 수 있다.

상기 제1유체가 유동하는 방향으로 보았을 때, 상기 제1채널은 단면이 사다리꼴 형상으로 형성되며, 상기 제2채널은 단면이 반원 형상으로 형성될 수 있다.

상기 제1채널의 단면은 사다리꼴의 두 밑변 중 긴 것이 하측을 향하도록 배치된 형상으로 형성되며, 상기 제2채널의 단면은 반원의 반지름이 상측을 향하도록 배치된 형상으로 형성될 수 있다.

상기 제1 내지 제3채널은, 에칭(Etching)에 의해 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 열교환기 및 이를 구비한 열교환장치에 의하면, 제1플레이트의 외측으로 고온의 유체가 흐르는 제3플레이트를 적층함으로써, 제1플레이트를 따라 흐르는 유체가 제2플레이트를 따라 흐르는 극저온의 유체에 의해 냉각되어 결빙되는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 열교환장치의 사시도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1에 나타낸 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 절단된 열교환기의 단면도이다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 열교환장치(100)는, 열교환기(110), 한 쌍의 커버(120), 한 쌍의 순환구(130) 및 한 쌍의 헤더(140)를 포함한다.

상기 열교환기(110)는 서로 다른 온도의 유체가 서로 열교환되는 것으로서, 서로 다른 온도의 유체가 흐르는 복수개의 채널(111a,112a,113a)이 형성된다. 이때, 상기 열교환기(110)는 인쇄기판형 열교환기(PCHE;Printed circuit heat exchanger)이며, 상기 채널(111a,112a,113a)은 화학적 에칭(Etching)에 의해 형성된 것일 수 있다. 에칭이란 산성(acid) 약품을 이용하여 금속이나 유리 등의 표면을 부식시키는 조작을 의미한다. 상기 열교환기(110)는, 플레이트(111,112,113)의 표면에 화학적 에칭을 통해 채널(111a,112a,113a)을 형성하고, 각각의 플레이트(111,112,113)를 접합함으로써 제조될 수 있다.

일반적으로 채널(111a,112a,113a)의 크기가 작아지고 채널(111a,112a,113a)의 수가 늘어날수록 열교환기(110)의 단위체적당 열교환면적은 커지게 된다. 따라서 이러한 방식으로 제조된 인쇄기판형의 열교환기(110)는, 다른 열교환기에 비해 크기가 작으면서도 열교환 성능이 매우 우수하며, 구조적으로 매우 안정된 특성을 나타낸다는 장점이 있다. 따라서 이러한 인쇄기판형 열교환기(110)는, 고온 고압의 유체가 이용되는 가스터빈 사이클 등에 매우 적합하다고 할 수 있다.

상기 한 쌍의 커버(120)는, 상기 열교환기(110)의 상부 및 하부에 각각 설치되어 상기 열교환기(110)를 이루는 플레이트(111,112,113)들을 서로 고정시킨다. 상기 한 쌍의 순환구(130)와 한 쌍의 헤더(140)는, 상기 커버(120)에 설치되어 각각 상기 열교환기(110)의 내부로 고온의 유체와 저온의 유체를 순환시킨다. 이때, 도 1에서는 상기 한 쌍의 헤더(140)가 상기 열교환기(110)의 측면에 설치된 것으로 도시되어 있으나, 이는 본 발명의 여러 실시예 중 하나에 불과하며, 상기 한 쌍의 헤더(140)는 상기 한 쌍의 순환구(130)와 같이 상기 한 쌍의 커버(120)의 상부면 또는 하부면에 설치되도록 실시될 수도 있다.

이하부터는, 도 2를 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 열교환기(110)에 대해 상세히 설명하도록 한다.

도 2를 참조하면, 상기 열교환기(110)는, 제1플레이트(111), 제2플레이트(112) 및 제3플레이트(113)를 포함한다. 상기 제1플레이트(111)는, 복수개가 상하방향으로 서로 이격되도록 배치되며, 제1유체가 흐르는 복수개의 제1채널(111a)이 형성된다. 상기 제2플레이트(112)는 상기 복수개의 제1플레이트(111)의 사이에 배치되며, 제2유체가 흐르는 복수개의 제2채널(112a)이 형성된다. 이때, 상기 제2유체는 액화천연가스(LNG;Liquefied natural gas)와 같은 극저온의 유체일 수 있으며, 상기 제1유체는 상기 제2유체보다 온도가 높은 유체(예를 들면 에틸렌글리콜(EG;Ethylene glycol) 또는 물)에 해당될 수 있다. 이에 따라 상기 열교환기(110)는, 고온의 제1유체를 통해 극저온의 제2유체를 가열하는 용도로 사용될 수 있다.

상기 제3플레이트(113)는, 복수개가 상기 제1플레이트(111)의 외측에 배치되며, 제3유체가 흐르는 복수개의 제3채널(113a)이 형성된다. 이때, 상기 제3유체는 상기 제2유체보다 온도가 높은 유체에 해당될 수 있다. 상기 제2유체는 액화천연가스와 같은 극저온의 유체에 해당하므로, 상기 제2플레이트(112)에 인접하도록 배치된 제1플레이트(111)의 내부로 유동하는 제1유체는 상기 제2유체에 의해 냉각되어 결빙될 수 있다. 상기 제3유체는 상기 제2유체에 의해 제1유체가 결빙되는 것을 방지하기 위하여, 상기 제1플레이트(111)에 인접하게 유동한다고 할 수 있다.

상기 제3유체는 제1유체와 동일한 종류의 유체일 수도 있고 다른 종류의 유체일 수도 있다. 만약 상기 제3유체가 제1유체와 동일한 종류의 유체라면, 도 1에 도시된 상기 순환구(130)로 제1유체와 제3유체가 함께 공급되어, 제1유체 및 제3유체가 상기 제1플레이트(111) 및 제3플레이트(113)를 따라 유동하도록 할 수 있다.

하지만 만약 상기 제3유체가 제1유체와 다른 종류의 유체라면, 상기 제1유체와 제3유체는 상기 순환구(130)를 통해 함께 상기 열교환기(110)로 공급될 수 없다. 왜냐하면 서로 다른 종류의 상기 제1유체와 제3유체가 하나의 순환구(130)를 통해 서로 섞이게 되기 때문이다. 따라서 상기 제1유체와 제3유체가 다른 종류의 유체인 경우에는, 상기 순환구(130)는 상기 제1유체가 공급되는 제1순환구(미도시)와 상기 제3유체가 공급되는 제3순환구(미도시)로 구분되어 상기 커버(120)에 설치될 수 있다. 이를 통해 상기 제1유체와 제3유체는 서로 다른 순환구(130)인 제1순환구와 제3순환구로 각각 공급되어, 상기 제1플레이트(111)와 제3플레이트(113)를 따라 유동할 수 있다.

한편, 상기 복수개의 제3플레이트(113)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 복수개의 제1플레이트(111) 중 최상측(Uppermost) 및 최하측(Lowermost)에 배치된 제1플레이트(111)의 상측과 하측에 각각 2개 이상씩 적층되도록 배치될 수 있다.

제1유체가 유동하는 방향으로 보았을 때(또는 도 2를 기준으로 하였을 때), 제1유체는 열교환기(110)의 외측 부분으로 공급되는 것보다 중심 부분으로 공급되는 것이 더 큰 유량을 나타낸다. 즉, 제1유체는 열교환기(110)의 중심 부분으로 공급되는 것에 비해 외측 부분으로 공급되는 것이 상기 제2유체에 의해 냉각되어 결빙되기가 훨씬 쉽다. 따라서 상기 열교환기(110)의 외측 부분으로 유동하는 제1유체의 결빙을 방지하기 위하여, 상기 복수개의 제3플레이트(113)는 최상측 및 최하측에 배치된 제1플레이트(111)의 상측과 하측에 적층된다고 할 수 있다.

다만, 도 2에서는 상기 제3플레이트(113)가 제1플레이트(111)의 상측과 하측에 각각 2개씩만 적층된 것으로 도시되어 있으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 상기 제3플레이트(113)가 상기 제1플레이트(111)의 상측과 하측에 3개 이상으로 적층될 수 있음은 물론이라 할 것이다.

상기 복수개의 제2채널(112a)은, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 열교환기(110)의 좌측 및 우측으로부터 내측으로 소정 간격 이격된 곳에서부터 내측으로 복수개가 형성될 수 있다.

더욱 상세하게는, 상기 제2플레이트(112)는 복수개가 구비되어 각각 상기 복수개의 제1플레이트(111)의 사이에 배치될 수 있다. 그리고 상기 복수개의 제2플레이트(112)는, 상기 제2채널(112a)이 상기 제1채널(111a)의 상측 및 하측에 각각 배치되도록 상기 복수개의 제1플레이트(111)의 사이에 배치될 수 있다. 이때, 상기 복수개의 제2채널(112a)은, 상기 제2유체가 유동하는 방향으로 보았을 때(또는 도 2를 기준으로 하였을 때), 최좌측(Leftmost) 및 최우측(Rightmost)의 상기 제1채널(111a)을 제외한 상기 복수개의 제1채널(111a)의 상측 및 하측에 각각 배치되도록 형성될 수 있다. 따라서 상기 열교환기(110)는 최좌측과 최우측으로 제1유체 및 제3유체만이 유동하도록 설계되어, 최좌측과 최우측으로 제2유체가 유동함에 따라 최좌측과 최우측으로 유동하는 제1유체가 제2유체에 의해 냉각되어 결빙되는 것을 방지할 수 있다.

즉, 상술한 바와 같이, 최상측 및 최하측의 제1플레이트(111)의 상측 및 하측으로 제3플레이트(113)가 각각 적층되고, 열교환기(110)의 최좌측과 최우측에는 제2채널(112a)이 형성되지 않는 구조로 상기 열교환기(110)가 설계되는 경우, 상대적으로 유동성(유량, 유속)이 낮은 외측 부분의 제1유체가 상기 제2유체에 의해 냉각되어 결빙되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라 본 발명의 실시예에 따른 열교환기(110)는 제1유체가 냉각됨에 따라 발생될 수 있는 열교환기(110)의 효율저하 및 손상 등의 문제를 원천적으로 차단할 수 있다.

이하부터는, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 제2 및 제3실시예에 따른 열교환기(110)에 대해 설명하도록 한다. 이때, 본 발명의 제1실시예에 따른 열교환기(110)와 차이가 있는 부분에 대해서만 설명하도록 한다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 열교환기(110)는, 상기 제2플레이트(112)가 복수개가 구비되어 상기 복수개의 제1플레이트(111)의 사이에 각각 배치될 수 있다. 이때, 상기 제1플레이트(111)와 제2플레이트(112)는 각각 2:1의 개수비로 적층될 수 있다. 즉, 상기 복수개의 제1플레이트(111)는, 상기 제2플레이트(112) 하나를 기준으로 상하로 각각 2개씩 적층될 수 있다. 이와 같이 상기 제1플레이트(111)와 제2플레이트(112)가 2:1의 개수비로 적층되는 경우, 상기 제2플레이트(112)를 따라 유동하는 제2유체에 의해 인접하는 제1플레이트(111)의 제1유체가 냉각되어 결빙되는 것을 방지할 수 있다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 열교환기(110)는, 상기 제1유체가 유동하는 방향으로 보았을 때(또는 도 4를 기준으로 하였을 때), 상기 제1채널(111a)의 단면이 사다리꼴(Trapezoid) 형상으로 형성되며, 상기 제2채널(112a)의 단면이 반원(Semi-circle) 형상으로 형성될 수 있다. 더욱 상세하게는, 상기 제1채널(111a)의 단면은, 사다리꼴의 두 밑변 중 긴 것이 하측을 향하도록 배치된 형상으로 형성되며, 상기 제2채널(112a)의 단면은 반원의 둘레 중 반지름 부분이 상측을 향하도록 배치될 수 있다.

이와 같이 상기 제1채널(111a)과 제2채널(112a)이 배치되도록 형성되는 경우, 상기 제1채널(111a)을 따라 유동하는 제1유체는 상기 제2채널(112a) 측에 보다 더 유량이 밀집되게 되므로, 상기 제2채널(112a)을 따라 유동하는 제2유체에 의해 상기 제1유체가 냉각되어 결빙되는 것을 방지할 수 있다.

100 : 열교환장치 110 : 열교환기
111 : 제1플레이트 112 : 제2플레이트
113 : 제3플레이트 120 : 커버
130 : 순환구 140 : 헤더

Claims (16)

1. 제1유체가 흐르는 복수개의 제1채널이 각각 형성되며, 상하방향으로 서로 이격 배치되는 복수개의 제1플레이트;
   상기 제1유체보다 온도가 낮은 제2유체가 흐르는 복수개의 제2채널이 형성되며, 상기 복수개의 제1플레이트의 사이에 배치되는 제2플레이트; 및
   상기 제2유체보다 온도가 높은 제3유체가 흐르는 복수개의 제3채널이 각각 형성되며, 상기 복수개의 제1플레이트의 외측에 배치되어 상기 제1플레이트의 제1채널을 따라 흐르는 상기 제1유체가 결빙되는 것을 방지하는 복수개의 제3플레이트를 포함하되,
   상기 제2플레이트는, 복수개가 상기 복수개의 제1플레이트의 사이에 각각 배치되며,
   상기 복수개의 제2채널은, 상기 제2유체가 유동하는 방향으로 보았을 때, 최좌측(Leftmost) 및 최우측(Rightmost)의 제1채널을 제외한 상기 복수개의 제1채널의 상측 및 하측에 각각 배치되는 열교환기.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 복수개의 제3플레이트는, 최상측(Uppermost) 및 최하측(Lowermost)에 배치된 상기 제1플레이트의 상측과 하측에 각각 적어도 2개씩 배치되는 열교환기.
3. 삭제
4. 삭제
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 복수개의 제1플레이트는, 상기 제2플레이트 하나를 기준으로 상하로 각각 2개씩 적층되는 열교환기.
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 제1유체가 유동하는 방향으로 보았을 때, 상기 제1채널은 단면이 사다리꼴 형상으로 형성되며, 상기 제2채널은 단면이 반원 형상으로 형성되는 열교환기.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 제1채널의 단면은 사다리꼴의 두 밑변 중 긴 것이 하측을 향하도록 배치된 형상으로 형성되며, 상기 제2채널의 단면은 반원의 반지름이 상측을 향하도록 배치된 형상으로 형성되는 열교환기.
8. 청구항 1, 청구항 2, 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 내지 제3채널은, 에칭(Etching)에 의해 형성된 열교환기.
9. 제1유체가 흐르는 복수개의 제1채널이 각각 형성되며 상하방향으로 서로 이격 배치되는 복수개의 제1플레이트와, 상기 제1유체보다 온도가 낮은 제2유체가 흐르는 복수개의 제2채널이 형성되며 상기 복수개의 제1플레이트의 사이에 배치되는 제2플레이트와, 상기 제2유체보다 온도가 높은 제3유체가 흐르는 복수개의 제3채널이 각각 형성되며 상기 복수개의 제1플레이트의 외측에 배치되어 상기 제1플레이트의 제1채널을 따라 흐르는 상기 제1유체가 결빙되는 것을 방지하는 복수개의 제3플레이트를 포함하는 열교환기;
   상기 열교환기의 상하부에 각각 설치되어 상기 제1 내지 제3플레이트를 서로 고정시키는 한 쌍의 커버;
   상기 커버에 설치되며 상기 제1플레이트와 제3플레이트로 상기 제1유체와 제3유체를 순환시키는 한 쌍의 순환구; 및
   상기 커버에 설치되며 상기 제2플레이트로 상기 제2유체를 순환시키는 한 쌍의 헤더를 포함하되,
   상기 제2플레이트는, 복수개가 상기 복수개의 제1플레이트의 사이에 각각 배치되며,
   상기 복수개의 제2채널은, 상기 제2유체가 유동하는 방향으로 보았을 때, 최좌측(Leftmost) 및 최우측(Rightmost)의 제1채널을 제외한 상기 복수개의 제1채널의 상측 및 하측에 각각 배치되는 열교환장치.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 복수개의 제3플레이트는, 최상측(Uppermost) 및 최하측(Lowermost)에 배치된 상기 제1플레이트의 상측과 하측에 각각 적어도 2개씩 배치되는 열교환장치.
11. 삭제
12. 삭제
13. 청구항 9에 있어서,
    상기 복수개의 제1플레이트는, 상기 제2플레이트 하나를 기준으로 상하로 각각 2개씩 적층되는 열교환장치.
14. 청구항 9에 있어서,
    상기 제1유체가 유동하는 방향으로 보았을 때, 상기 제1채널은 단면이 사다리꼴 형상으로 형성되며, 상기 제2채널은 단면이 반원 형상으로 형성되는 열교환장치.
15. 청구항 14에 있어서,
    상기 제1채널의 단면은 사다리꼴의 두 밑변 중 긴 것이 하측을 향하도록 배치된 형상으로 형성되며, 상기 제2채널의 단면은 반원의 반지름이 상측을 향하도록 배치된 형상으로 형성되는 열교환장치.
16. 청구항 9, 청구항 10, 청구항 13 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3채널은, 에칭(Etching)에 의해 형성된 열교환장치.

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