KR102068167B1 - 모듈형 형상 가변 거울 제조방법 - Google Patents

모듈형 형상 가변 거울 제조방법 Download PDF

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KR102068167B1
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강정민
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엘아이지넥스원(주)
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Abstract

본 발명은 MLCC공법을 이용하여 구현한 일체형 구동기 기술을 적용한 모듈형 형상 가변 거울의 제조방법에 관한 것, 종래의 개별적 구동기를 적용한 형상 가변 거울에서 존재하고 있는 각 구동기를 정렬하고, 본딩하는 과정에서 수 um 이상의 차이가 발생함으로써 규격화가 어렵고, 각 제품마다 편차가 매우 큰 문제점을 해결하기 위하여 다수의 구동기 모듈을 이용하여 소형화 및 고밀도화가 가능한 모듈형 형상 가변 거울을 제조할 수 있는 방법을 개발하는데 그 목적이 있으며, 종래의 개별적 구동기를 적용한 형상 가변 거울과 대비하여 각 구동기를 결합하는 과정에서의 차이가 발생할 가능성이 매우 적고, 제조방법의 규격화가 용이하여 제작되는 제품의 편차가 매우 적으므로 소형화 및 고밀도화가 가능함은 물론, 이에 따라 천문관측 및 우주물체 촬영 영상의 품질 향상, 레이저의 장거리 전송 품질 향상, 광 집속 품질 향상되는 효과를 제공할 수 있다.

Description

모듈형 형상 가변 거울 제조방법{modular shape Variable mirror manufacturing method}
본 발명은 형상 가변 거울의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 MLCC공법을 이용하여 구현한 일체형 구동기 기술을 적용한 모듈형 형상 가변 거울의 제조방법에 관한 것이다.
형상 가변 거울은 고에너지 레이저, 전자 광학 위성 감시 체계 등 다양한 무기체계에 적용할 수 있는 적응 광학 분야의 핵심부품이다.
최근에는 많은 무기체계에서 형상 가변 거울의 소형화, 고밀도화와 동시에 고성능이 요구되어 지고 있는 추세이며, 이에 따라 종래의 기술과는 다른 기술 반전 방향으로 새로운 설계 및 제작을 통해 형상 가변 거울의 소형화, 고밀도화를 추진해야 할 산업상 필요성이 강하게 요청되고 있다.
본 발명은 종래의 개별적 구동기를 적용한 형상 가변 거울에서 존재하고 있는 각 구동기를 정렬하고, 본딩하는 과정에서 수 um 이상의 차이가 발생함으로써 규격화가 어렵고, 각 제품마다 편차가 매우 큰 문제점을 해결하기 위하여 다수의 구동기 모듈을 이용하여 소형화 및 고밀도화가 가능한 모듈형 형상 가변 거울을 제조할 수 있는 방법을 개발하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법은 다수의 구동기 모듈을 접합하여 구동기 어레이를 제작하고, 상기 구동기 어레이의 하단면에 전극 다이싱 및 상단면에 다이싱 처리를 수행하는 단계;
구동기 베이스 몸체 및 구동기 베이스 판을 성형하고, 상기 성형된 구동기 베이스 몸체 및 구동기 베이스 판의 접합면을 연마하여 상기 각각의 접합면이 맞닿게 접합시켜 구동기 베이스를 제작하는 단계; 상기 구동기 어레이와 구동기 베이스를 접합하여 구동기 조립체를 제작하고, 상기 구동기 조립체의 상단면을 펠트 폴리싱하고 접착면을 연마하는 단계; 및 거울기판과 상기 구동기 조립체를 접합하여 형상 가변 거울을 제작하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 상기 구동기 어레이를 제작하는 단계는, 세라믹과 전극을 적층하여 전압 인가 시 변위가 발생하는 구동기 모듈을 성형하는 단계; 상기 성형된 구동기 모듈의 접합면을 연마하는 단계; 상기 연마된 다수의 구동기 모듈의 접합면이 각각 맞닿을 수 있도록 접합시켜 구동기 어레이를 제작하는 단계; 상기 제작된 구동기 어레이의 각 접합면을 가공 및 연마하고, 상기 구동기 어레이의 하단면에 전극 다이싱을 수행하는 단계; 상기 전극 다이싱의 규격과 동일하게 상기 구동기 어레이의 상단면에 다이싱을 수행하는 단계; 상기 구동기 어레이에 함침 처리를 수행하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 상기 구동기 어레이를 제작하는 단계는, 상기 다수의 구동기 모듈을 접합함에 있어서 접합면을 연마하는 단계; 및 상기 접합면에 수산화 촉매 접합을 위한 이산화 규소 처리 공정을 수행하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 상기 구동기 베이스는 상기 구동기 모듈과 유사한 열팽창 계수를 가지는 재질로 제작될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 상기 구동기 베이스를 제작하는 단계는, 상기 구동기 어레이와 접합될 구동기 베이스를 접합면을 연마하는 단계; 및 상기 접합면에 수산화 촉매 접합을 위한 이산화 규소 처리 공정을 수행하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 상기 거울기판은 실리콘, 알루미늄, 세라믹 유리 등의 재질로 제작될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 상기 형상 가변 거울과 알루미늄 재질의 구동기 하우징을 실리콘으로 접합하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 하우징과 접합된 형상 가변 거울에 내부 인터페이스 보드를 결합하는 단계; 및 상기 결합된 형상변형 거울과 고속 광파면 변형 거울 하우징을 조립하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 상기 형상 가변 거울을 제작하는 단계는, 상기 거울기판과 구동기 조립체를 접합하기 위하여, 상기 구동기 어레이에 위치하는 다수의 구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면에 이산화 규소 코팅을 수행하여 실리카 기반의 중간 매질을 형성하는 단계; 상기 구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면에 수산화물(NaOH)을 주입하는 단계; 및 상기 구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면이 수화 작용 및 에칭을 통해 중합 반응 및 탈수 작용으로 결합되는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 상기 하단면에 전극 다이싱 처리된 구동기 어레이의 하부는 연삭 영역, 전극, 다이싱 영역으로 구분될 수 있다.
본 발명에 따르면 종래의 개별적 구동기를 적용한 형상 가변 거울과 대비하여 각 구동기를 결합하는 과정에서의 차이가 발생할 가능성이 매우 적고, 제조방법의 규격화가 용이하여 제작되는 제품의 편차가 매우 적으므로 소형화 및 고밀도화가 가능함은 물론, 이에 따라 천문관측 및 우주물체 촬영 영상의 품질 향상, 레이저의 장거리 전송 품질 향상, 광 집속 품질 향상되는 효과를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 모듈형 형상 가변 거울 제조방법의 흐름도이다.
도 2은 본 발명의 일 실시 예에 따라 도 1의 구동기 어레이를 제작하는 단계를 더 세부적인 단계로 나타낸 모듈형 형상 가변 거울 제조방법의 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따라 도 1의 형상 가변 거울을 제작하는 단계를 더 세부적인 단계로 나타낸 모듈형 형상 가변 거울 제조방법의 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따라 도 1의 형상 가변 거울을 제작하는 단계를 더 세부적인 단계로 나타낸 모듈형 형상 가변 거울 제조방법의 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 모듈형 형상 가변 거울을 제조하기 위한 제조 순서를 세부적으로 나타낸 도면이다.
도 6는 본 발명의 일 실시 예에 따른 모듈형 형상 가변 거울을 제조하기 위한 부품 별 조립 과정을 나타낸 도면이다.
도 7, 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 거울기판과 구동기 조립체를 접합하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 구동기 어레이의 상단면 및 하단면의 다이싱 처리는 나타낸 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다.
그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 모듈형 형상 가변 거울 제조방법에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 모듈형 형상 가변 거울 제조방법의 흐름도이다.
도 1을 참조하면 본 발명의 실시 예에 따른 모듈형 형상 가변 거울 제조방법은 하기의 4단계를 거쳐 진행될 수 있다.
다수의 구동기 모듈을 접합하여 구동기 어레이를 제작한다(S10).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 다수의 구동기 모듈(100)을 접합하여 구동기 어레이(200)를 제작하고, 구동기 어레이의 하단면에 전극 다이싱(Dicing) (210) 및 상단면에 다이싱(Dicing) (220) 처리를 수행할 수 있다.
여기서 다이싱 가공이란 도 9에 도시된 바와 같이 경취 재료인 구동기 모서리부에 날카롭고 미세한 파괴층이 생성되는 것을 방지하기 위하여 연마공구로 연마를 수행하여 곡선의 모서리부를 가지는 일정한 가로, 세로 높이 길이를 가지는 다수의 육면체로 가공하고, 복수의 육면체 사이는 상호 일정한 간격을 가질 수 있도록 가공하는 것을 의미할 수 있다. 또한 전극 다이싱이란 다이싱을 수행한 다수의 육면체의 일면에 전극을 위치시켜 해당 전극을 통해 제어 신호(전기 신호)를 입력 받아 을 수 있도록 가공한 것을 의미할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 다수의 구동기 모듈(100)은 각 구동기 모듈(100)의 접합면이 서로 맞닿을 수 있도록 접합시킬 수 있으며, 일렬로 접합된 다수의 구동기 모듈을 2열 또는 다수열로 접합하여 구동기 어레이(200)를 생성할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 어레이(200)를 제작함에 있어 다수의 구동기 모듈(100)을 접합함에 있어서 접합면을 연마하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 이후 구동기 어레이의 접합면에 수산화 촉매 접합을 위한 이산화 규소 처리 공정을 수행하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 모듈(100)을 접합하기 위하여 에폭시를 이용한 접합 등의 방법이 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 접합된 다수의 구동기 모듈(100)로 이루어진 구동기 어레이(200)를 사용자가 필요한 구동기의 크기 및 간격대로 다이싱(Dicing)할 수 있다.
구동기 베이스 몸체 및 구동기 베이스 판의 접합면이 맞닿게 접합시켜 구동기 베이스를 제작한다(S20).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 베이스 몸체 및 구동기 베이스 판을 성형할 수 있다.
상기 실시 예에 따르면 성형된 구동기 베이스 몸체(310) 및 구동기 베이스 판(320)의 접합면을 연마할 수 있으며, 연마된 각각의 접합면이 맞닿게 접합시켜 구동기 베이스(300)를 제작할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 베이스(300)는 구동기 모듈(100)과 유사한 열팽창 계수를 가지는 재질로 제작될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 모듈(100)과 유사한 열팽창 계수를 가지는 재질로 구동기 베이스(300)에 실리콘(Si), 알루미늄 등의 재질이 사용될 수 있으나 이에 한정되지는 아니한다.
구동기 어레이(200)와 구동기 베이스(300)를 접합하여 구동기 조립체(400)를 제작한다(S30).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 어레이(200)와 구동기 베이스(300)를 접합하여 구동기 조립체(400)를 제작하고, 구동기 조립체(400)의 상단면을 펠트 폴리싱함으로써 접착면을 연마할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 어레이(200)와 접합될 구동기 베이스(300)를 접합면을 연마할 수 있으며, 연마된 접합면에 수산화 촉매 접합을 위한 이산화 규소 처리 공정을 수행할 수 있다.
거울기판(500)과 구동기 조립체(400)를 접합하여 형상 가변 거울(500)을 제작한다(S40).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 거울기판은 실리콘, 알루미늄, 세라믹 유리 등의 재질로 제작될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 조립체(400)의 접합면과 거울기판(500)접합면을 연마하고, 연마된 접착면을 수산화 촉매 접합을 위해 이산화 규소(Sio2)처리를 수행할 수 있다.
특히, 구동기 조립체(400)의 접합면은 한번에 연마하는 방식으로 연마를 수행할 수 있다.
도 2은 본 발명의 일 실시 예에 따라 도 1의 구동기 어레이를 제작하는 단계를 더 세부적인 단계로 나타낸 모듈형 형상 가변 거울 제조방법의 흐름도이다.
구동기 모듈을 성형한다(S11).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 세라믹과 전극을 적층하여 전압 인가 시 변위가 발생하는 구동기 모듈을 성형할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 PZT 계열의 세라믹과 전극이 적층시켜 전압 인가 시 변위가 발생하도록 구동기 모듈을 성형할 수 있다.
성형된 구동기 모듈의 접합면을 연마한다(S12).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 다수의 구동기 모듈이 접합함에 있어 서로 간 접합력의 향상을 위해 접합면을 연마할 수 있다.
다수의 구동기 모듈의 접합면을 접합시켜 구동기 어레이를 제작한다(S13).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 연마된 다수의 구동기 모듈(100)의 접합면이 각각 맞닿을 수 있도록 접합시켜 구동기 어레이(200)를 제작할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 어레이는 다수의 구동기 모듈(100)의 접합면이 서로 맞닿을 수 있도록 일렬로 길게 접합될 수 있으며, 일렬로 접합된 다수의 구동기 모듈을 2열 또는 다수열로 접합하여 구동기 어레이(200)를 생성할 수 있다.
구동기 어레이의 하단면에 전극 다이싱을 수행한다(S14).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 제작된 구동기 어레이의 각 접합면을 가공 및 연마하고, 상기 구동기 어레이의 하단면에 전극 다이싱을 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 하단면에 전극 다이싱 처리된 구동기 어레이의 하부는 연삭 영역, 전극, 다이싱 영역으로 구분될 수 있다.
구동기 어레이의 상단면에 다이싱을 수행한다(S15).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 하단부의 전극 다이싱의 규격과 동일하게 구동기 어레이의 상단면에 다이싱을 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 가로, 세로의 규격이 각각 3mm의 정사각형의 규격을 가지는 다이싱 처리가 수행될 수 잇다.
구동기 어레이에 함침 처리를 수행한다(S16).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 하단면 및 상단면에 다이싱 처리된 구동기 어레이에 함침 처리를 수행할 수 있다.
여기서 함침 처리는 다공성 재질의 구동기내 습기 침투 방지를 통해 구동기의 전극 보호 및 쇼트 방지를 위하여 액체를 금속 또는 그 외의 재료 안에 침투시키는 것을 의미하며, 본 발명에 일 실시 예에 따르면 함침 처리는 연마 이후 구동기 어레이(200)의 접합면에 이산화 규소를 침투시킴으로써 수산화 촉매 접합을 수행하여 다이싱 공정이 완료된 구동기 표면에 필연적으로 발생하는 기공 속에 포함된 불순물을 제거하고 특수물질(실리콘 액)으로 채워 습기 침투를 방지하여 전극보호 및 내구성 향상하는 것을 의미할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 어레이 접합면에 이산화 규소 코팅을 할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따라 도 1의 형상 가변 거울을 제작하는 단계를 더 세부적인 단계로 나타낸 모듈형 형상 가변 거울 제조방법의 흐름도이다.
구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면에 이산화 규소 코팅을 수행하여 실리카 기반의 중간 매질을 형성한다(S41).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면에 표면 처리를 수행하고, 이산화 규소의 코딩을 통해 실리카 기반의 중간 매질을 형성할 수 있다.
구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면에 수산화물을 주입한다(S42).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면에 수산화물을 주입하여 수화 작용 및 에칭을 진행시킬 수 있다.
구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면이 수화 작용 및 에칭을 통해
중합 반응 및 탈수 작용으로 결합한다(S43).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 중합반응 및 탈수 작용으로 구동기 모듈과 거울 기판의 접합이 가능할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따라 도 1의 형상 가변 거울을 제작하는 단계를 더 세부적인 단계로 나타낸 모듈형 형상 가변 거울 제조방법의 흐름도이다.
형상 가변 거울과 알루미늄 재질의 구동기 하우징을 실리콘으로 접합한다(S50).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 실리콘을 이용하여 형상 가변 거울과 알루미늄 재질의 구동기 하우징을 접합할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면 실리콘으로 RTV 실리콘이 이용될 수 있으며, 이는 조립성의 향상 및 이형 재질(알루미늄과 실리콘(SI))간의 선형 열팽창을 보상하기 위함이다.
상기 실시 예에 있어서 사용하는 하우징과 RTV 실리콘의 물성은 특정하게 지정되지는 아니한다.
구동기 하우징과 접합된 형상 가변 거울에 내부 인터페이스 보드를 결합한다(S60).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 구동기 하우징과 형상 변형의 제어를 지원할 내부 인터페이스 보드를 조립하는 방식으로 결합할 수 있다.
상기 실시 예에 따르면 내부 인터페이스 보드에 보호창을 결합할 수 있다.
결합된 형상변형 거울과 고속 광파면 변형 거울 하우징을 조립한다(S70).
본 발명의 일 실시 예에 따르면 결합된 형상변형 거울과 고속 광파면 변형 거울 하우징을 조립하고 케이블 및 브라켓까지 조립하여 고속 광파면 변형 거울을 생성할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 모듈형 형상 가변 거울을 제조하기 위한 제조 순서를 세부적으로 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면 발명의 일 실시 예에 따른 모듈형 형상 가변 거울을 제조하기 위한 제조 순서가 진행될 수 있으며, 이는 도 1 내지 4의 순서도와 동일한 방식으로 진행될 수 있다.
도 6는 본 발명의 일 실시 예에 따른 모듈형 형상 가변 거울을 제조하기 위한 부품 별 조립 과정을 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면 모듈형 형상 가변 거울에 필요한 각 부품들의 조립순서가 나타나 있으며 이러한 조립 순서에 따라 모듈형 형상 가변 거울이 제작될 수 있다.
도 7, 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 거울기판과 구동기 조립체를 접합하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 7과 같이 거울기판과 구동기 조립체는 수산화물 촉매 본딩(Bonding) 기법을 이용하여 접합될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 구동기 어레이의 상단면 및 하단면의 다이싱 처리는 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면 본 발명의 일 실시 예에 따라 구동기 어레이의 상단면 및 하단면에 다이싱 처리된 구조가 나타나 있다.
본 발명의 실시 예는 이상에서 설명한 장치 및/또는 방법을 통해서만 구현이 되는 것은 아니며, 이상에서 본 발명의 실시 예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (10)

  1. 다수의 구동기 모듈을 접합하여 구동기 어레이를 제작하고, 상기 구동기 어레이의 하단면에 전극 다이싱 및 상단면에 다이싱 처리를 수행하는 단계;
    구동기 베이스 몸체 및 구동기 베이스 판을 성형하고, 상기 성형된 구동기 베이스 몸체 및 구동기 베이스 판의 접합면을 연마하여 상기 연마된 구동기 베이스 몸체 및 구동기 베이스 판의 접합면이 맞닿게 접합시켜 구동기 베이스를 제작하는 단계;
    상기 구동기 어레이와 구동기 베이스를 접합하여 구동기 조립체를 제작하고, 상기 구동기 조립체의 상단면을 펠트 폴리싱하고 접착면을 연마하는 단계 및
    거울기판과 상기 구동기 조립체를 접합하여 형상 가변 거울을 제작하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서 상기 구동기 어레이를 제작하는 단계는,
    세라믹과 전극을 적층하여 전압 인가 시 변위가 발생하는 구동기 모듈을 성형하는 단계;
    상기 성형된 구동기 모듈의 접합면을 연마하는 단계;
    상기 연마된 다수의 구동기 모듈의 접합면이 각각 맞닿을 수 있도록 접합시켜 구동기 어레이를 제작하는 단계;
    상기 제작된 구동기 어레이의 각 접합면을 가공 및 연마하고, 상기 구동기 어레이의 하단면에 전극 다이싱을 수행하는 단계;
    상기 전극 다이싱의 규격과 동일하게 상기 구동기 어레이의 상단면에 다이싱을 수행하는 단계;
    상기 구동기 어레이에 함침 처리를 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서 상기 구동기 어레이를 제작하는 단계는,
    상기 다수의 구동기 모듈을 접합함에 있어서 접합면을 연마하는 단계; 및
    상기 접합면에 수산화 촉매 접합을 위한 이산화 규소 처리 공정을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동기 베이스는 상기 구동기 모듈과 유사한 열팽창 계수를 가지는 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서 상기 구동기 베이스를 제작하는 단계는,
    상기 구동기 어레이와 접합될 구동기 베이스를 접합면을 연마하는 단계; 및
    상기 접합면에 수산화 촉매 접합을 위한 이산화 규소 처리 공정을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 거울기판은 실리콘, 알루미늄, 세라믹 유리 중 적어도 하나의 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 형상 가변 거울과 알루미늄 재질의 구동기 하우징을 실리콘으로 접합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    구동기 하우징과 접합된 형상 가변 거울에 내부 인터페이스 보드를 결합하는 단계; 및
    상기 결합된 형상변형 거울과 고속 광파면 변형 거울 하우징을 조립하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
  9. 제 1 항에 있어서 상기 형상 가변 거울을 제작하는 단계는,
    상기 거울기판과 구동기 조립체를 접합하기 위하여,
    상기 구동기 어레이에 위치하는 다수의 구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면에 이산화 규소 코팅을 수행하여 실리카 기반의 중간 매질을 형성하는 단계;
    상기 구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면에 수산화물(NaOH)을 주입하는 단계; 및
    상기 구동기 모듈의 상단면 및 거울 기판의 하단면이 수화 작용 및 에칭을 통해 중합 반응 및 탈수 작용으로 결합되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 하단면에 전극 다이싱 처리된 구동기 어레이의 하부는 연삭 영역, 전극, 다이싱 영역으로 구분되는 것을 특징으로 하는 다수의 구동기 모듈을 이용한 모듈형 형상가변 거울 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008040299A (ja) * 2006-08-09 2008-02-21 Funai Electric Co Ltd 形状可変ミラー及び形状可変ミラーの製造方法
JP2008129099A (ja) * 2006-11-17 2008-06-05 Funai Electric Co Ltd デフォーマブルミラー
KR101448025B1 (ko) * 2013-08-26 2014-10-08 주식회사 원익큐엔씨 규소 함유 소재의 본딩 방법

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