KR102060562B1

KR102060562B1 - 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조

Info

Publication number: KR102060562B1
Application number: KR1020190002957A
Authority: KR
Inventors: 손동일
Original assignee: 손동일; 주식회사 금창이엔에스
Priority date: 2019-01-09
Filing date: 2019-01-09
Publication date: 2019-12-30

Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조에 관한 것이다.
본 발명의 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조는, 관상의 연장부(130)와, 상기 연장부(130)의 일측에 형성되어 있고 플라스틱관체(1)의 측부에 형성된 토출구(2)에 접합되며 외경이 상기 연장부(130) 외경보다 크게 이루어진 접합부(110)와, 상기 연장부(130)의 타측에 형성되어 있으며 상기 연장부(130) 외경보다 크게 이루어진 플랜지부(120)로 구성되고, 플랜지부(120)로부터 접합부(110)에 이르기까지 상기 토출구(2)와 연통되는 연결관통로부(121)가 형성되어 있는 플라스틱 재질의 연결관(100)과; 반원형의 금속 소재의 제1링(147)과 제2링(149)이 결합되어 상기 연장부(130)를 감싸도록 이루어져 있으며, 외주면은 단부측으로 갈수록 외경이 커지도록 경사면(141)으로 이루어지고, 경사면(141)의 단부에는 중심을 향해 평평한 면으로 이루어진 밀착면(142)으로 이루어지며, 중앙에는 상기 연장부(130)가 내측으로 끼워지는 고정링통로부(144)가 형성되어 있고, 상기 제1링(147)에는 제2링(149)과 마주한 단부면(147a)에 내경이 일정한 원통형을 이루면서 단부면(147a)에 직각 방향으로 일직선을 이루는 체결홈(146)이 형성되어 있고, 상기 제2링(149)에는 제1링(147)과 마주한 단부면(149a)상기 체결홈(146)에 끼워지는 체결돌기(148)가 형성되어 있으며, 상기 체결돌기(148)는 중심을 기준으로 일정한 반경을 형성하는 원호형을 이루되, 제2링(149)의 양측 체결돌기(148)가 서로 마주보는 방향으로 곡선을 이루고, 체결돌기(148)의 외경은 상기 체결홈(146) 내경보다 작게 이루어져 있어 체결돌기(148)의 체결홈(146) 측 단부(148a)는 내측면(148b)이 체결홈(146)의 일측 내주면에 밀착되고, 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c)는 외측면(148d)이 체결홈(146)의 타측 내주면(146b)에 밀착되고 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c)는 내측면(148e)이 체결홈(146)의 내주면과 이격된 틈(146c)을 형성하도록 이루어진 고정링(140)과; 내측 중심부에는 상기 연결관통로부(121)와 연통되는 관통공(202)이 형성되어 있고, 관통공(202) 외측의 단부가 상기 고정링(140)의 밀착면(142)과 밀착되도록 설치되는 탄성 재질의 실링부재(200)와; 반원형의 형상을 취하는 제1하우징(311)과, 일측이 상기 제1하우징(311)의 일단에 링크부재(370)를 통해 회전 가능하게 결합되는 반원형 형상을 취하며, 타측에 가이드홈(313)이 형성되어 있는 제2하우징(312)과, 상기 제1하우징의 타측에 고정핀(323)을 통해 회전 가능하게 설치되어 상기 가이드홈(313)에 끼워짐이 가능하도록 설치되어 있고 상부 외주면에 나사산이 형성되어 있는 고정볼트(321)와, 상기 고정볼트(321) 상부 외주면에 나사결합되고, 외경이 가이드홈(313)보다 크게 이루어져 제2하우징(312)의 이탈을 방지하는 가압너트(322)로 구성되되, 상기 제1하우징(311)과 제2하우징(312)은 서로 마주본 채 이격되어 있는 일측하우징(301)과 타측하우징(302)으로 이루어지고, 일측하우징(301)과 타측하우징(302)의 사이에는 상기 실링부재(200) 및 플랜지부(120)가 끼워지는 실링부재삽입홈(330)이 형성되어 있고, 실링부재삽입홈(330) 양측에는 벽면이 내광외협 형태를 이루도록 경사진 형태를 취하는 클램프경사면(341)이 형성되어 클램프경사면(341)과 실링부재삽입홈(330)의 사이에 고정링(140)이 끼워지는 고정링삽입홈(340)이 형성되고, 고정링(140)의 경사면(141)이 상기 클램프경사면(341)과 밀착되도록 이루어진 클램프(300);를 포함하여 구성된다.
본 발명에 의해, 플라스틱관의 연결 부위가 손상되는 것을 방지하며 플라스틱관의 연결을 용이하게 이룰 수 있고, 플라스틱관에 플랜지를 형성하고 이에 볼트와 너트를 체결하는 복잡한 연결과정 없이도 플라스틱관의 결합부위가 손상되는 것을 방지하며 신속하고 안정적인 결합을 이룰 수 있으며, 플라스틱관의 결합부위를 따라 이동되는 유체의 압력에도 견고하게 대응하며 견딜 수 있고, 플라스틱관의 결합과정을 단순화시켜 불필요한 작업시간 및 작업비용이 증대되는 것을 방지하여 플라스틱관 연결작업의 전체적인 비용을 절감할 수 있다.

Description

반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조{structure for connecting plastic pipes for treating wastewater of semiconductor manufacturing equipment}

본 발명은 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조에 관한 것으로서, 특히 기 설치된 배관을 연결 시공할 때 실수로 고정링을 미리 설치하지 못함으로 인해 발생하는 대규모 설비 교체를 하지 않더라도 용이하게 배관을 연결할 수 있도록 하고, 이음부에서의 균열, 파손을 방지하고 이음부를 경유하는 유체 압력에도 견고하게 견딜 수 있도록 하는, 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정에서 웨이퍼 상에 박막을 형성하기 위해 다양한 종류의 반응 가스를 사용한다.

이러한 반응가스는 산화성분, 인화성분 및 각종 유독성분을 포함하고 있는 바, 사용 후의 폐가스는 여러 가지 방식으로 세정 처리하게 된다.

이러한 세정 처리를 하는 과정에서 발생하는 폐수를 처리하기 위해 각종 배관이 연결되게 되는데, 관로는 직선식으로 연결될 뿐만 아니라 T자형, H자형 다양한 형태로 연결된다.

특히, 기 설치되어 나란히 위치한 플라스틱관체를 서로 연결하는 경우 고 기밀성을 유지하기 위하여 분기지관을 활용하는 것이 일반적이다.

그러나, 이러한 분기지관 접속 구조는 기밀 유지라는 장점을 가지나, 부품 수가 매우 많아 제품 비용이 상승할 뿐만 아니라 유체 흐름에 방해를 주게 되는 문제점도 있다.

이러한 문제를 해소하기 위한 기술로, "마개가 구비된 새들 플랜지"(한국 등록실용신안공보 제20-0479651호(한국 등록실용신안공보 제20-0479651호, 특허문헌 1)에는 길이 방향의 배관 일측을 절개하고 이 절개된 홀에 새들 플랜지를 설치한 후 필요에 따라 새들 플랜지를 이용하여 다른 배관을 연결하거나, 다른 배관을 연결하지 않을 경우 막아놓는 기술 내용이 공개되어 있다.

특허문헌 1에서는 새들 플랜지의 단부에 다른 배관을 플랜지 맞대음 방식으로 연결할 수 있다.

그런데, 플랜지 맞대음 구조의 경우 금속관체의 연결에는 높은 기밀성의 유지가 장기적으로 원할히 유지되는 것이 일반적이나, 플라스틱 배관의 경우 그렇지 못한 것이 실정이다.

그 이유로는 플라스틱 배관을 플랜지 방식으로 맞대어 볼팅 고정하는 경우 볼트 작업하는 순서, 토크 등에 따라 일부 부위에서는 강하게 밀착되고 상대적으로 다른 부위에서는 강하게 밀착되지 못하는 등 작업자의 숙련도가 떨어지는 경우 기밀성을 높게 유지하지 못하게 되는 문제점이 있다.

이러한 문제점의 해소와 관련된 기술로, 2점이나 3점 클램프를 이용한 기술이 공개되어 있다.

"배관 연결용 클램프 장치"(한국 등록특허공보 제10-1200719호, 특허문헌 2)에는 반도체 제조 설비에서 배관을 연결함에 있어서 플랜지 맞대음 결합 방식을 탈피하여 일측이 상호 회전 결합되고, 타측은 회동식 볼트와 너트를 이용하여 반원형의 부재가 배관을 감싼 채 서로 가압하여 고정되도록 하는 기술이 공개되어 있다.

"누설 여부 검지가 가능한 진공배관용 연결부재"(한국 등록특허공보 제10-1349313호, 특허문헌 3)에는 특허문헌 2와 같은 2점식 클램프를 이용하여 배관을 연결하는 구조가 제시되어 있다.

특허문헌 2에서는 연결하고자 하는 두 배관의 플랜지를 클램프 내측으로 끼운 상태에서 클램프를 조여 두 배관을 연결하도록 되어 있다.

그런데, 특허문헌 2, 3에 나타난 클램프를 이용하여 사용할 경우 플라스틱관체가 장기간 사용시 장기 체결에 의한 크리프, 배관을 통과하는 액체의 온도 변화가 반복됨에 따른 인장, 압축에 의한 변형이 발생하여 기밀성이 손상되는 문제점이 발생됨이 보고되고 있다.

장기간 사용시 수지 내부의 응력 및 열수축이 발생하게 될 경우 배관 말단의 액체와 접촉하는 부분에서 반경 방향 중심축을 향해 변형이 발생하고, 배관 말단의 단면이 변형이 발생하게 되는 바, 상호 체결 면압의 부족이 발생하게 되어 액체 유출이 발생하게 된다.

특히, 특허문헌 1에 소개된 바와 같이 나란히 위치한 두 배관을 상호 연결하기 위해서는 각각의 배관에 각기 두 개의 연결관을 접합 결합시킨 후, 클램프를 이용하여 두 연결관을 결합하게 되는데, 이를 위한 연결관의 형상은 일측 배관과 접합되는 부분의 경우 외주면에 절개부가 형성되고, 이를 막아야 하기 때문에 연결관의 중앙 부분에 비해 관경이 커지게 되며, 반대 편의 경우 상호 두 연결관을 연결하기 위해서 중앙 부분에 비해 관경이 커져야 하게 된다.

연결관이 플라스틱으로 이루어져 있는 경우 상기한 문제점을 해소하기 위해서는 특허문헌 4(일본 특허공개 특개 2013-151964호)에 나타난 것처럼 플라스틱으로 이루어져 있는 플랜지부를 가압하기 위한 금속 링을 필요로 하게 되는데, 전술한 것처럼 중앙 부위보다 양측의 직경이 큰 경우 중앙 부위의 배관을 조립식으로 구성(조립식으로 구성할 경우 또다른 연결 부위의 누수를 발생시키게 됨)하지 않을 경우 연결관의 일측 또는 양측의 큰 직경 부분을 시공 현장에서 용융 접합시키는 과정을 거쳐야만 하게 되는 바, 시공상에 큰 불편함을 초래하게 된다.

또, 특허문헌 4에 소개된 구조는 배관의 플랜지가 일정한 두께를 이루지 못하고 변형된 형태를 이루는데, 특허문헌 2나 3에 소개된 2점 클램프를 이용하여 가압할 경우 클램프의 수직력이 변형된 플랜지의 요철에 영향을 주게 되므로 수직력에 의한 플랜지의 변형이 가속화되는 문제점이 발생하게 된다.

KR 20-0479651 (2016.05.12) KR 10-1200719 (2012.11.05) KR 10-1349313 (2014.01.02) JP 특개2013-151964 (2013.08.08)

본 발명의 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조는 상기와 같은 종래 기술에서 발생하는 문제점을 해소하기 위한 것으로, 서로 나란히 배치된 플라스틱 관체를 연결함에 있어서 조립식 고정링을 이용하여 현장에서의 플라스틱 배관 융융 접합 등의 과정이 배제된 채 용이하게 배관을 상호 결합시킬 수 있게 하려는 것이다.

이를 위해 고정링을 반원형의 두 개의 링체가 홈과 돌기가 서로 맞물려 결합되는 방식으로 상호 결합되도록 구성하되, 홈은 접촉면에 직교한 방향으로 일직선을 이루고, 돌기는 링체의 곡률을 따라 라운드지게 형성하여 클램프에 의해 고정되기 전에 분리와 조립이 용이해질 수 있게 하려는 것이다.

특히, 체결홈에 연통되는 고정핀삽입홀이 형성되고, 고정핀삽입홀에 고정핀을 끼움으로써 직선 원통형의 체결홈 내부와, 원호형 체결돌기의 외주면 사이의 공간에 고정핀이 끼워지도록 함으로써 작업자의 작업 의도에 따라서만 두 링체의 조립과 분해가 이루어지게 함으로써 작업 편의성이 보다 향상될 수 있게 하려는 것이다.

또한, 플라스틱 연결관의 플랜지부는 일정한 두께로 형성됨과 더불어 그 외측에 금속의 경사면을 갖는 고정링이 설치됨으로써 클램프의 수직 방향 힘이 금속질의 고정링에서 수평 방향으로 원할히 전환된 후 플랜지부에 수평력으로 작용하게 됨으로써 플라스틱 플랜지부의 손상을 방지하면서 높은 기밀성을 유지할 수 있게 하려는 것이다.

즉, 플라스틱관체의 연결 부위가 손상되는 것을 방지하면서 플라스틱관체의 연결을 용이하게 하고, 복잡한 결합 구조가 아님에도 불구하고 플라스틱관체의 결합부위가 손상되는 것을 방지하며 신속하고 안정적인 결합을 이룰 수 있도록 할 뿐만 아니라 결합부위를 따라 이동되는 유체의 압력에도 견고하게 대응하며 견딜 수 있고, 결합과정을 단순화시켜 불필요한 작업시간 및 작업비용이 증대되는 것을 방지하여 플라스틱관체의 연결작업의 전체적인 비용을 절감할 수 있도록 하려는 것이다.

본 발명의 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조는 상기와 같은 과제를 해결하기 위하여, 관상의 연장부(130)와, 상기 연장부(130)의 일측에 형성되어 있고 플라스틱관체(1)의 측부에 형성된 토출구(2)에 접합되며 외경이 상기 연장부(130) 외경보다 크게 이루어진 접합부(110)와, 상기 연장부(130)의 타측에 형성되어 있으며 상기 연장부(130) 외경보다 크게 이루어진 플랜지부(120)로 구성되고, 플랜지부(120)로부터 접합부(110)에 이르기까지 상기 토출구(2)와 연통되는 연결관통로부(121)가 형성되어 있는 플라스틱 재질의 연결관(100)과; 반원형의 금속 소재의 제1링(147)과 제2링(149)이 결합되어 상기 연장부(130)를 감싸도록 이루어져 있으며, 외주면은 링의 두께 방향 단부측으로 갈수록 외경이 커지도록 경사면(141)으로 이루어지고, 경사면(141)과 대향하는 링의 두께 방향 단부는 평평한 면으로 형성되는 밀착면(142)을 형성하며, 중앙에는 상기 연장부(130)가 내측으로 끼워지는 고정링통로부(144)가 형성되어 있고, 상기 제1링(147)에는 제2링(149)과 마주한 원주방향 양측 단부면(147a)에 내경이 일정한 원통형을 이루면서 단부면(147a)에 직각 방향으로 일직선을 이루는 체결홈(146)이 형성되어 있고, 상기 제2링(149)에는 제1링(147)과 마주한 원주방향 양측 단부면(149a)에 각각 상기 체결홈(146)에 끼워지는 체결돌기(148)가 형성되어 있으며, 상기 체결돌기(148)는 소정의 중심을 기준으로 일정한 반경을 형성하는 원호형을 이루되, 제2링(149)의 양측 체결돌기(148)가 서로 마주보는 방향으로 곡선을 이루고, 체결돌기(148)의 외경은 상기 체결홈(146) 내경보다 작게 이루어져 있어 체결돌기(148)의 체결홈(146) 측 단부(148a)는 내측면(148b)이 체결홈(146)의 일측 내주면에 밀착되고, 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c)는 외측면(148d)이 체결홈(146)의 타측 내주면(146b)에 밀착되며, 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c)는 내측면(148e)이 체결홈(146)의 내주면과 이격된 틈(146c)을 형성하도록 이루어진 고정링(140)과; 내측 중심부에는 상기 연결관통로부(121)와 연통되는 관통공(202)이 형성되어 있고, 관통공(202) 외측의 단부가 상기 고정링(140)의 밀착면(142)과 밀착되도록 설치되는 탄성 재질의 실링부재(200)와; 반원형의 형상을 취하는 제1하우징(311)과, 일측이 상기 제1하우징(311)의 일단에 링크부재(370)를 통해 회전 가능하게 결합되는 반원형 형상을 취하며, 타측에 가이드홈(313)이 형성되어 있는 제2하우징(312)과, 상기 제1하우징의 타측에 고정핀(323)을 통해 회전 가능하게 설치되어 상기 가이드홈(313)에 끼워짐이 가능하도록 설치되어 있고 상부 외주면에 나사산이 형성되어 있는 고정볼트(321)와, 상기 고정볼트(321) 상부 외주면에 나사결합되고, 외경이 가이드홈(313)보다 크게 이루어져 제2하우징(312)의 이탈을 방지하는 가압너트(322)로 구성되되, 상기 제1하우징(311)과 제2하우징(312)은 서로 마주본 채 이격되어 있는 일측하우징(301)과 타측하우징(302)으로 이루어지고, 일측하우징(301)과 타측하우징(302)의 사이에는 상기 실링부재(200) 및 플랜지부(120)가 끼워지는 실링부재삽입홈(330)이 형성되어 있고, 실링부재삽입홈(330) 양측에는 벽면이 내광외협으로 경사진 클램프경사면(341)이 형성되어 클램프경사면(341)과 실링부재삽입홈(330)의 사이에 고정링(140)이 끼워지는 고정링삽입홈(340)이 형성되고, 고정링(140)의 경사면(141)이 상기 클램프경사면(341)과 밀착되도록 이루어진 클램프(300);를 포함하여 구성된다.

상기한 구성에 있어서, 상기 가압너트(322)는 상부에 요철이 형성된 헤드부(350)가 형성되어 있으며, 상기 헤드부(350) 상부에는 상기 가압너트(322)와 고정볼트(321)의 나사결합 방향과 반대 방향으로 나사 결합되는 풀림방지볼트(360)가 체결되는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 제1링(147)의 밀착면(142)으로부터 체결홈(146) 내부까지 연통되는 고정핀삽입홀(500)이 형성되어 있되, 상기 고정핀삽입홀(500)은 상기 틈(146c)까지 연장되고, 상기 고정핀삽입홀(500)에 고정핀(600)이 삽입되어 고정핀(600)의 단부가 상기 틈(146c)에 위치하여 상기 체결돌기(148)의 체결홈(146) 측 단부(148a) 내측면(148b)이 상기 고정핀(600)에 걸려 체결돌기(148)의 이탈을 방지하도록 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 고정핀삽입홀(500)과 고정핀(600)은 나사결합되고, 상기 고정핀삽입홀(500)의 상측에는 볼트머리수용홈(510)이 상기 고정핀삽입홀(500)의 직경보다 크게 형성되어 있고, 상기 고정핀(600)의 상부에는 상기 볼트머리수용홈(510)에 수용되는 볼트머리(610)가 형성되어 있으며, 볼트머리(610)에는 드라이버홈(611)이 형성되어 있어 드라이버를 이용하여 고정핀(600)의 진출입을 조절하도록 이루어진 것을 특징으로 한다.

더불어, 상기 체결홈(146)의 내주면에는 요철(146d)이 형성되어 있어 상기 체결돌기(148)의 체결홈(146) 측 단부(148a) 내측면(148b)이 상기 요철(146d)에 걸리도록 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의해, 서로 나란히 배치된 플라스틱 관체를 연결함에 있어서 조립식 고정링을 이용하여 현장에서의 플라스틱 배관 융융 접합 등의 과정이 배제된 채 용이하게 배관을 상호 결합시킬 수 있게 된다.

이를 위해 고정링을 반원형의 두 개의 링체가 홈과 돌기가 서로 맞물려 결합되는 방식으로 상호 결합되도록 구성하되, 홈은 접촉면에 직교한 방향으로 일직선을 이루고, 돌기는 링체의 곡률을 따라 라운드지게 형성하여 클램프에 의해 고정되기 전에 분리와 조립이 용이해질 수 있게 된다.

특히, 체결홈에 연통되는 고정핀삽입홀이 형성되고, 고정핀삽입홀에 고정핀을 끼움으로써 직선 원통형의 체결홈 내부와, 원호형 체결돌기의 외주면 사이의 공간에 고정핀이 끼워지도록 함으로써 작업자의 작업 의도에 따라서만 두 링체의 조립과 분해가 이루어지게 함으로써 작업 편의성이 보다 향상될 수 있게 된다.

또한, 플라스틱 연결관의 플랜지부는 일정한 두께로 형성됨과 더불어 그 외측에 금속의 경사면을 갖는 고정링이 설치됨으로써 클램프의 수직 방향 힘이 금속질의 고정링에서 수평 방향으로 원할히 전환된 후 플랜지부에 수평력으로 작용하게 됨으로써 플라스틱 플랜지부의 손상을 방지하면서 높은 기밀성을 유지할 수 있게 된다.

즉, 플라스틱관체의 연결 부위가 손상되는 것을 방지하면서 플라스틱관체의 연결을 용이하게 하고, 복잡한 결합 구조가 아님에도 불구하고 플라스틱관체의 결합부위가 손상되는 것을 방지하며 신속하고 안정적인 결합을 이룰 수 있도록 할 뿐만 아니라 결합부위를 따라 이동되는 유체의 압력에도 견고하게 대응하며 견딜 수 있고, 결합과정을 단순화시켜 불필요한 작업시간 및 작업비용이 증대되는 것을 방지하여 플라스틱관체의 연결작업의 전체적인 비용을 절감할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조의 일 예를 나타낸 분해 사시도.
도 2는 플라스틱관 결합 구조를 나타낸 사시도.
도 3은 플라스틱관 결합 구조의 분해 단면도.
도 4는 플라스틱관 결합 구조의 조립 상태를 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명에서 고정링을 나타낸 사진.
도 6은 본 발명에서 고정링의 요부 상태를 나타낸 분해 단면도 및 결합 단면도.
도 7은 본 발명에서 고정핀이 구비된 예를 나타낸 분해사시도 및 단면도.
도 8은 본 발명에서 체결홈에 요철이 형성된 예를 나타낸 요부 단면도.
도 9는 본 발명에서 클램프에 명판이 설치된 예를 나타낸 사시도.
도 10은 본 발명에서 고정핀이 클램프경사면까지 관통하여 형성된 예를 나타낸 단면도.

본 명세서 및 청구범위에서 사용하는 용어나 단어는, 통상적이거나 사전적인 의미로 한정하여 해석될 것이 아니라, '발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다'는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

또한, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시한 구성은, 본 발명의 바람직한 실시 예에 불과한 것일 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해해야 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조를 상세히 설명하기로 한다.

본 발명은 크게 연결관(100), 고정링(140), 실링부재(200) 및 클램프(300)를 포함하여 구성된다.

본 발명의 구성요소인 연결관(100)은 도 1, 2에 도시되어 있는 바와 같이 플라스틱관체(1)의 측부에 형성된 토출구(2)에 일측이 접합되고, 타측은 클램프(300)를 이용하여 상호 결합되거나, 단부 폐쇄 처리를 위하여 명판(400)이 설치된다.

보다 구체적으로 연결관(100)은 중앙에 연장부(130)가 형성되고, 연장부(130)의 일측으로는 접합부(110)가, 타측에는 플랜지부(120)가 형성된 구조를 취한다.

이러한 연결관(100)은 플라스틱관체(1)와 용융 접착 등의 방식으로 접합되기 위하여 플라스틱 재질로 이루어진다.

더하여, 접합부(130)로부터 플랜지부(120)까지 상기 토출구(2)와 연통되는 연결관통로부(121)가 형성되어 있다.

또한, 접합부(110)와 플랜지부(120)의 외경은 연장부(130)의 외경보다 크게 이루어진 것을 특징으로 한다.

이는 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 기 설치된 플라스틱관체(1)들을 상호 연결하기 위해 플라스틱관체(1)들에 홀 타공을 할 경우 타공된 홀의 크기를 관경에 정확히 일치시킬 수 있도록 타공하기 힘들기 때문에 보조 역할을 하는 접합부(110)를 연장부(130)보다 크게 형성하는 경우 작업이 편리해지기 때문이다.

반대편의 플랜지부(120)는 관이 상호 맞대어진 상태로 클램프(300)를 통해 연결될 때 서로 밀착면을 높여주기 위한 것으로 필요하다.

본 발명의 구성요소인 고정링(140)은 클램프(300)를 이용하여 두 연결관(100)을 서로 결합할 때 클램프(300)에서 가해지는 힘이 연결관(100)의 플랜지부(120)에 고르게 전달되고, 변형이 잘 되는 플라스틱재의 플랜지부(120)의 변형을 최대한 억제해주는 역할을 하게 된다.

따라서, 고정링(140)은 도 5에 도시된 것처럼 금속으로 이루어짐이 바람직하다.

이때, 본 발명은 연결관(100)의 연장부(130)가 양 단부에 비해 외경이 작은 상태로 이루어져 있는 점을 감안하여 고정링(140)이 조립이 가능하게 이루어지는 것을 특징으로 한다.

만일, 연결관(100)의 일부를 플라스틱 융착 방식을 이용하여 분리식으로 구성할 경우 현장에서의 플라스틱 융착 작업을 해야 하기 때문에 작업성이 극히 떨어지게 되며, 연결구를 이용하여 분리식으로 할 경우 또다른 연결 부위를 만들기 때문에 이 부분에서의 유체 유실이 발생할 수 있게 된다.

반면 고정링(140)을 분리 가능하게 할 경우 작업성을 현저하게 높일 수 있게 된다.

이를 위한 고정링(140)은 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 두 개의 원호형의 제1링(147)과 제2링(149)이 결합되며, 중앙에는 상기 연장부(130)가 내측으로 끼워지는 고정링통로부(144)가 형성되어 있다.

여기서 분리 가능한 구조로 2개 외에 3개 이상으로 구성될 수도 있으나, 이 경우는 후술하는 체결돌기(148)를 이용한 조립시 너무 쉽게 분리되는 문제점이 발생하게 되는 바, 2개로 구성됨이 바람직하다 할 것이다.

따라서, 즉, 제1링(147)과 제2링(149)은 평면상에서 반원형의 형태를 이루며, 상호 결합되어 상기 연장부(130)를 감싸도록 이루어져 있다.

더하여, 제1링(147)과 제2링(149)의 단면 구조는 외주면은 링의 두께 방향 단부측으로 갈수록 외경이 커지도록 경사면(141)으로 이루어지고, 경사면(141)과 대향하는 링의 두께 방향 단부는 평평한 면으로 형성되는 밀착면(142)을 형성한다.

제1링(147)과 제2링(149)이 서로 결합 분리되기 위한 구성을 구체적으로 설명하면, 상기 제1링(147)의 원주방향 양측 단부면(147a)에는 체결홈(146)이 형성되고, 제2링(149)에는 각 체결홈(146)에 끼워지도록 제1링(147)과 마주한 원주방향 양측 단부면(149a)에 각각의 체결돌기(148)가 형성되어 있다.

이때, 체결홈(146)은 제2링(149)과 마주한 원주방향 양측 단부면(147a)에 내경이 일정한 원통형을 이루면서 단부면(147a)에 직각 방향으로 일직선을 이루도록 형성되는 반면, 상기 체결돌기(148)는 고정링(140) 중심을 기준으로 일정한 반경을 형성하는 원호형을 이루되, 양측 체결돌기(148)가 서로 마주보는 방향으로 곡선을 이룬다.

더 나아가 체결돌기(148)의 외경은 상기 체결홈(146) 내경보다 작게 이루어져 있으며, 도 6에 도시되어 있는 바와 같이 체결돌기(148)의 체결홈(146) 측 단부(148a)는 내측면(148b)이 체결홈(146)의 일측 내주면에 밀착되고, 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c)는 외측면(148d)이 체결홈(146)의 타측 내주면(146b)에 밀착되고 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c)는 내측면(148e)이 체결홈(146)의 내주면과 이격된 틈(146c)을 형성하도록 이루어져 있다.

이때, 체결돌기(148)가 체결홈(146)에 밀착되지 않고 단순 접촉하거나, 0.1 ~ 0.5mm 정도 미세하게 이격된 상태가 될 수도 있다.

이러한 구성은 도 7의 단면도에서 체결돌기(148)가 체결홈(146) 내부에서 이탈이 가능한 구조를 취하되, 체결돌기(148)의 체결홈(146) 측 단부(148a) 내측면(148b)이 체결홈(146)의 일측 내주면에 밀착되고, 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c) 외측면(148d)이 체결홈(146)의 타측 내주면(146b)에 밀착되는 바 서로 맞은 편 두 지점에서의 밀착 접촉이 이루어져 어느 정도의 고정 상태를 제공할 수 있게 된다.

이때, 체결돌기(148)의 곡률 중심을 고정링(140) 중심이 아닌 편심되게 구성할 수도 있다.

더하여 체결돌기(148)의 형성은 제2링(149)에 라운드진 봉체를 용접 고정할 수도 있으나, 이 경우 용접 마감면의 처리가 어렵고 틈이 발생할 수 있는 바, 라운드진 철편을 설계보다 더 연장되게 형성한 후 단부를 절삭 가공하여 형성함이 바람직하다.

더하여, 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 상기 체결홈(146)의 내주면에 요철(146d)이 형성될 수도 있다.

이 경우 상기 체결돌기(148)의 체결홈(146) 측 단부(148a) 내측면(148b)이 상기 요철(146d)에 걸리게 되어 보다 견고한 고정이 이루어지도록 할 수 있다.

그런데, 기온에 의한 열적 수축과 팽창 등 다양한 변수로 인해 체결돌기(148)의 두 지점을 체결홈(146)의 두 지점에 완전히 밀착되도록 구성하는 것은 바람직하지 않다.

즉, 살짝 접촉하거나 미세하게 틈이 있는 상태가 좋은데, 이 경우 고정링(140)을 연장부(130) 둘레에 가조립시 자칫 서로 탈리될 우려가 있다.

이를 예방하기 위한 구성 일 예가 도 7에 도시되어 있다.

도면의 구성은 상기 제1링(147)의 밀착면(142)으로부터 체결홈(146) 내부까지 연통되는 고정핀삽입홀(500)이 형성되고, 상기 고정핀삽입홀(500)은 상기 틈(146c)까지 연장된 구성이다.

즉, 상기 고정핀삽입홀(500)에 고정핀(600)이 삽입되어 고정핀(600)의 단부가 상기 틈(146c)에 위치하여 상기 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c) 내측면(148e)이 상기 고정핀(600)에 걸려 체결돌기(148)의 이탈을 방지하도록 이루어진다.

이때, 고정핀(600)의 단부는 철사와 같이 변형이 가능한 재질로 구성될 수 있다.

또는 도시된 바와 같이 상기 고정핀삽입홀(500)과 고정핀(600)은 나사결합되고, 상기 고정핀삽입홀(500)의 상측에는 볼트머리수용홈(510)이 상기 고정핀삽입홀(500)의 직경보다 크게 형성되어 있고, 상기 고정핀(600)의 상부에는 상기 볼트머리수용홈(510)에 수용되는 볼트머리(610)가 형성되어 있으며, 볼트머리(610)에는 드라이버홈(611)이 형성되어 있어 드라이버를 이용하여 고정핀(600)의 진출입을 조절하도록 이루어질 수 있다.

이 경우 고정핀(600)은 안정적으로 필요에 따라 설치 및 분리할 수 있으며, 이를 통해 두 링을 필요에 따라 상호 고정된 상태를 이루게 하거나 분리된 상태에 이르게 할 수 있다.

더하여 두 링을 결합시킨 상태는 설치 과정에서 중력에 의해 두 링이 분리되는 것을 방지할 정도만 되면 되므로 상기한 구성은 적절하다 할 것이다.

상기한 고정핀(600)을 설치함에 있어서 도 10에 도시되어 있는 바와 같이 상기 고정핀삽입홀(500)이 체결홈(146)을 관통하여 경사면(141)까지 연통되도록 구성할 수 있다.

이 경우 고정핀(600) 역시 경사면(141)에 이르도록 설치되는데, 몸체의 길이가 경사면(141) 외측으로 돌출할 정도까지 형성하거나, 볼트머리수용홈(510)의 깊이를 볼트머리(610)의 두께보다 더 깊게 할 수 있다.

후자의 경우는 고정핀(600) 단부가 경사면(141) 외측으로 돌출되는 것을 선택적으로 취할 수 있기 때문에 전자의 경우보다 바람직하다.

이때, 후술하는 클램프(300)의 클램프경사면(341)에 상기 고정핀(600) 단부가 끼워지는 가이드홈(341a)을 형성할 수 있다.

가이드홈(341a)은 도면에 나타난 바와 같이 하부로 연장된 형태를 취해 수평으로 상호 끼워지는 방식이 아니라 도면상에서 고정링(140)에 클램프(300)를 조립할 때 위에서 내려오는 위치에 단순 가이드가 이루어진 형태를 취하면 된다.

이 경우 가이드홈(341a)의 위치에 따라 가설치 과정에서 두 개의 링으로 나뉘어져 구성된 고정링(140)을 원하는 면에 위치시킬 수 있게 된다.

일예로 클램프(300)의 제1하우징(311) 및 제2하우징(312)의 접하는 면을 두 고정링(140)이 접하는 면과 같은 면이 되도록 하거나, 교차되는 형태로 할 수 있다.

본 발명의 구성요소인 실링부재(200)는 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 내측 중심부에는 상기 연결관통로부(121)와 연통되는 관통공(202)이 형성되어 있고, 관통공(202) 외측의 단부가 상기 플랜지부(120)에 밀착되도록 설치된다.

실링부재(200)는 기밀성을 제공하기 위해 탄성을 갖는 고무 등의 재질로 이루어질 수 있다.

이러한 실링부재(200)는 두 연결관(100) 사이에 위치할 경우 연결관(100)들의 플랜지부(120)와 밀착되어 유체의 유출을 억제하고, 단부에 명판(400)이 설치되는 경우 명판(400)과 밀착되어 유체의 유출을 억제하게 된다.

실링부재(200)는 양 측면이 평평한 구조를 취한다.

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본 발명의 구성요소인 클램프(300)는 다양한 공지의 클램프로 이루어질 수 있으나, 도면과 같은 2점식 클램프로 구성됨이 바람직하다.

이러한 클램프(300)는, 본 발명의 구성요소인 클램프(300)는 제1하우징(311), 제2하우징(312), 고정볼트(321), 가압너트(322)로 이루어진다.

고정볼트(321)와 가압너트(322)는 상기 제1하우징(311)과 제2하우징(312)을 상호 가압 고정하는 체결수단(320)이다.

제1하우징(311)과 제2하우징(312)은 도시된 바와 같이 반원형의 형태를 취하며, 중앙에 반원형의 홈이 형성되어 연결관(100)을 내측으로 수용할 수 있는 구조를 취한다.

더하여, 도시된 바와 같이 제1하우징(311)과 제2하우징(312)은 링크부재(370)를 통해 일측이 힌지 결합되어 회전이 가능하게 결합되어 있다.

여기서, 도시된 바와 같이 제2하우징(312)의 타측에는 가이드홈(313)이 형성되어 있고, 제1하우징(311)의 타측에는 고정볼트(321)가 힌지에 의해 회전이 가능하게 설치되어 있어 회전에 따라 선택적으로 상기 가이드홈(313)에 끼워지도록 이루어져 있다.

도면에서 가이드홈(313)은 제2하우징(312)의 양측 벽면 사이를 이격시키고, 여기에 블록을 설치하고, 이 블록에 홈 가공이 이루어짐으로써 형성된 예가 도시되어 있다.

고정볼트(321) 역시 제1하우징(311)의 양측 벽면 사이를 이격시키고, 여기에 별도의 블록을 설치하면서 블록과 연결되는 힌지축을 양측 벽면 사이에 연결되도록 설치함으로써 블록의 회전에 따라 힌지축을 기준으로 회전하도록 한 예가 도시되어 있다.

더하여, 고정볼트(321)의 외주면에는 나사산이 형성되어 있어 가압너트(322)가 나사결합되어 가압너트(322)가 나사 결합 정도에 따라 고정볼트(321)를 따라 이동하게 되어 있다.

도면기호 321a는 고정볼트(321) 외주면에 형성된 나사산을 나타낸 것이다.

가압너트(322)는 외경이 가이드홈(313)보다 크게 이루어져 가이드홈(313)에 삽입되지 않게 되며, 제2하우징(312)의 이탈을 방지하게 된다.

도면을 살펴보면 가압너트(322)의 단부에는 가압너트(322)보다 직경이 큰 가압부재가 설치되어 있는데, 이 가압부재는 가압너트(322)의 회전에 의해 제1하우징(311)을 제2하우징(312) 측으로 가압하여 견고하게 밀실된 체결력을 제공해줄 수 있게 된다.

이때, 상기 제1하우징(311)과 제2하우징(312)은 서로 마주본 채 이격되어 있는 일측하우징(301)과 타측하우징(302)으로 이루어지고, 일측하우징(301)과 타측하우징(302)의 사이에는 상기 실링부재(200) 및 플랜지부(120)가 끼워지는 실링부재삽입홈(330)이 형성되어 있고, 실링부재삽입홈(330) 양측에는 벽면이 내광외협으로 경사진 클램프경사면(341)이 형성되어 클램프경사면(341)과 실링부재삽입홈(330)의 사이에 고정링(140)이 끼워지는 고정링삽입홈(340)이 형성된다.

이를 통해 고정링(140)의 경사면(141)이 상기 클램프경사면(341)과 밀착되어 가압너트(322)의 조작에 의해 제1하우징(311)과 제2하우징(312)이 서로 마주보는 방향으로 밀착되면서 고정링(140)에 수직 방향으로 가압하는 힘을 가하게 되고, 이 힘은 고정링(140)의 경사면을 통해 수평력으로 전환되어 두 플랜지부(120)가 사이의 실링부재(200)를 가압하여 밀착시키게 된다.

이때, 고정링삽입홈(340)의 클램프경사면(341)과 고정링(140)의 경사면(141)은 동일한 경사각을 이루어 서로 밀착되어 결합을 이루게 되며, 연결관(100)에 직접적인 손상을 방지해주게 된다.

이때, 경사면(141)의 경사 각도는 10~40도의 경사를 이룸이 바람직하다.

한편, 본 발명은 도시한 도 9에서와 같이, 상기 연결관(100)의 일측으로는 상기 클램프(300)를 통하여 연결관(100)의 연결관통로부(121)를 폐쇄하고자 하는 경우, 연결관(100)에 결합되는 실링부재(200)의 일측으로 명판(400)을 더 결합하여 구성한다.

이때, 상기 명판(400)은 상기 밀착면(142)과 대응되는 형상으로 테두리 부위 일측에는 상기 실링부재(200)의 벽면과 접촉하는 밀착면(410)을 형성하여 구성하고, 외측 중심부에는 상기 고정링(140)이 결합되는 돌출부(420)를 마련하여 구성된다.

도면에 나타난 바와 같이 돌출부(420)와 밀착면(410) 사이에는 단턱부(430)가 형성되어 있어 고정링(140)이 클램프경사면(341)과 단턱부(430) 사이에 설치되어 유동이 억제된다.

즉, 단턱부(430)에 고정링(140)이 안착되어 이탈이 방지되고, 고정링(140)의 밀착면(142)이 밀착면(410)을 통해 실링부재(200)를 가압하여 유체 유출을 억제하게 되는 것으로, 플라스틱관체(1)의 토출구(2)에 연결된 연결관(100)의 연결관통로부(121)를 상기 명판(400)으로 막아 연결관(100)의 연결관통로부(121)를 통하여 이송되는 유체가 노출되는 것을 방지하게 된다.

이상과 같이 구성된 클램프(300)는 한 쌍의 연결관(100)을 결합하고자 하는 경우에도 상기 고정링(140)의 경사면(141)에 클램프(300)의 고정링삽입홈(340) 내주면이 접촉될 수 있도록 구성하여, 경사진 면 접촉을 이룸에 따라 클램프(300)를 통한 연결관(100)의 체결력을 더욱 높일 수 있음은 물론이고, 한 쌍의 연결관(100)을 연결하는 과정에서도 클램프(300)의 압력으로 인하여 연결관(100)의 결합 부위가 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다.

이상과 같이 구성된 클램프(300) 조작 방법은 제1하우징(311)과 제2하우징(312)이 상호 미결합된 상태에서 제1하우징(311)의 실링부재삽입홈(330)에 실링부재(200)의 일부를 끼워 설치하고, 연결관(100)의 연장부(130)를 고정링(140)으로 감싼 다음 고정링삽입홈(340)에는 연결관(100)과 연결된 고정링(140)을 끼워 설치한 후, 제2하우징(312)을 회전시켜, 제2하우징의 고정링삽입홈(340) 및 실링부재삽입홈(330)에 노출되어 있던 고정링(140) 일부와 실링부재(200)가 삽입되도록 한 다음 고정볼트(321)를 도면상의 상방향으로 회전시켜 상기 가이드홈(313)에 끼워지도록 하고, 이어 가압너트(322)를 회전시켜 가압너트(322) 하부가 제1하우징(311)과 제2하우징(312)을 상호 가압시켜 고정하게 된다.

이때, 제1하우징(311)과 제2하우징(312)을 견고하게 밀착시키는 힘은 가압너트(322)의 회전 운동에 의해 이루어지며, 이러한 회전 운동의 말미는 인력이 아닌 렌치 등의 공구에 의해 이루어지게 된다.

그런데, 사용 과정에서 작업자의 부주의나 의도한 행동에 의해 공구를 이용하여 조여진 가압너트(322)를 풀게 되는 경우를 방지할 수 있어야 한다.

이를 위한 방안으로, 상기 가압너트(322)는 상부에 조이거나 푸는 작업을 위한 요철이 형성된 헤드부(350)가 형성되어 있으며, 상기 헤드부(350) 상부에는 상기 가압너트(322)와 고정볼트(321)의 나사결합 방향과 반대 방향으로 나사 결합되는 풀림방지볼트(360)가 체결되도록 할 수 있다.

더하여, 풀림방지볼트(360)는 볼트머리가 상기 헤드부(350)와 동일하게 이루어지거나 더 크게 이루어지도록 함으로써 렌치 등의 조임공구를 헤드부(350)에 장착하는 것을 방해하도록 구성될 수 있다.

즉, 작업을 하고자 하는 경우에 필히 풀림방지볼트(360)를 반대 방향으로 회전시켜 제거한 후에만이 헤드부(350)를 조작하도록 함으로써 안전 사고를 예방할 수 있게 된다.

이러한 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조를 이용한 플라스틱관 결합방법은 다음과 같다.

상기 연결관(100)의 접합부(110)을 플라스틱관체(1)의 측부에 형성된 토출구(2)에 융착, 접착 등의 방식으로 접합하고, 연장부(130)에는 전술한 것처럼 두 링을 상호 결합하여 감싼다.

이어 전술한 클램프(300)의 두 하우징을 도 2, 3과 같이 개방 상태로 회전시켜 놓은 상태에서 제1하우징(311) 또는 제2하우징(312)의 내측 실링부재삽입홈(330)에 실링부재(200)를 끼워넣는다.

그런 다음 클램프(300)의 양측 고정링삽입홈(340)에 고정링(140)과 플랜지부(120)를 끼워넣고, 이어 제2하우징(312)을 회동시켜 제2하우징(312)의 실링부재삽입홈(330) 및 고정링삽입홈(340)에 실링부재(200) 및 고정링(140)의 노출된 부분이 모두 끼워지도록 한다.

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그런 다음 고정볼트(321)를 회전시켜 가이드홈(313)에 끼워지도록 한 다음 가압너트(322)를 회전시켜 가압너트(322)가 두 하우징을 견고하게 밀착시키도록 한다.

이상과 같은 조립 방법은 종래에 다수 개의 볼트를 사용하여 클램핑 하던 방식과 비교하여 볼트 수를 현저하게 줄여 매우 간편하게 두 관을 연결할 수 있게 해주게 된다.

또한, 클램프(300)를 조이면서 배관 내경 방향을 향하는 힘이 직접 배관에 작용하지 않고 고정링(140)의 경사면(141)을 통해 길이 방향으로 전환되어 고정링(140)의 밀착면(142)이 상호간에 실링부재(200)를 가압하는 길이방향의 힘으로 전환되어 견고한 밀착 상태를 제공해주게 된다.

특히, 전술한 것처럼 두 개로 나뉘어 구성된 고정링(140)을 활용하므로 작업 편의성이 극대화된다.

이상과 같이 구성된 본 발명의 반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조의 성능을 확인하기 위하여 '두원기공'의 'Gas & Hydro Tester" 시험장비를 이용하여 수압 시험을 실시하였다.

배관 타입은 100A HDPE 관이었으며, 온도 21.5℃, 습도 35% 조건에서 1.1MPa 압력을 걸었으며, 내부 유체는 물로 하였으며, 24시간 동안 압력을 유지한 후 유체의 누수 상태를 확인하였다.

그 결과 누수 없음을 확인하였다.

본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 요지 또는 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개량 및 변경될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진자에게 있어서 자명할 것이다.

1 : 플라스틱관체 2: 토출구
100 : 연결관 110 : 접합부
120 : 플랜지부 121 : 연결관통로부
130 : 연장부 140 : 고정링
141 : 경사면 142 : 밀착면
144 : 고정링통로부
146 : 체결홈 146b : 체결홈의 타측 내주면
146c : 틈 147 : 제1링
147a : 제1링의 단부면 148 : 체결돌기
148a : 체결돌기의 체결홈 측 단부
148b : 체결돌기의 체결홈 측 단부 내측면
148c : 체결돌기의 단부면 측 단부
148d : 체결돌기의 단부면 측 단부 외측면
148e : 체결돌기의 단부면 측 단부 내측면
149 : 제2링 149a : 제2링의 단부면
200 : 실링부재
202 : 관통공 210 : 중앙실링부
220 : 외곽실링부 300 : 클램프
301 : 일측하우징 302 : 타측하우징
311 : 제1하우징 312 : 제2하우징
313 : 가이드홈 320 : 체결수단
321 : 고정볼트 321a : 나사산
322 : 가압너트 330 : 실링부재삽입홈
340 : 고정링삽입홈 341 : 클램프경사면
350 : 헤드부
360 : 풀림방지볼트 400 : 명판
410 : 밀착면 420 : 돌출부
430 : 단턱부 500 : 고정핀삽입홀
510 : 볼트머리수용홈 600 : 고정핀
610 : 볼트머리 611 : 드라이버홈

Claims

반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조에 있어서,
관상의 연장부(130)와, 상기 연장부(130)의 일측에 형성되어 있고 플라스틱관체(1)의 측부에 형성된 토출구(2)에 접합되며 외경이 상기 연장부(130) 외경보다 크게 이루어진 접합부(110)와, 상기 연장부(130)의 타측에 형성되어 있으며 상기 연장부(130) 외경보다 크게 이루어진 플랜지부(120)로 구성되고, 플랜지부(120)로부터 접합부(110)에 이르기까지 상기 토출구(2)와 연통되는 연결관통로부(121)가 형성되어 있는 플라스틱 재질의 연결관(100)과;
반원형의 금속 소재의 제1링(147)과 제2링(149)이 결합되어 상기 연장부(130)를 감싸도록 이루어져 있으며, 외주면은 링의 두께 방향 단부측으로 갈수록 외경이 커지도록 경사면(141)으로 이루어지고, 경사면(141)과 대향하는 링의 두께 방향 단부는 평평한 면으로 형성되는 밀착면(142)을 형성하며, 중앙에는 상기 연장부(130)가 내측으로 끼워지는 고정링통로부(144)가 형성되어 있고, 상기 제1링(147)에는 제2링(149)과 마주한 원주방향 양측 단부면(147a)에 내경이 일정한 원통형을 이루면서 단부면(147a)에 직각 방향으로 일직선을 이루는 체결홈(146)이 형성되어 있고, 상기 제2링(149)에는 제1링(147)과 마주한 원주방향 양측 단부면(149a)에 각각 상기 체결홈(146)에 끼워지는 체결돌기(148)가 형성되어 있으며, 상기 체결돌기(148)는 소정의 중심을 기준으로 일정한 반경을 형성하는 원호형을 이루되, 제2링(149)의 양측 체결돌기(148)가 서로 마주보는 방향으로 곡선을 이루고, 체결돌기(148)의 외경은 상기 체결홈(146) 내경보다 작게 이루어져 있어 체결돌기(148)의 체결홈(146) 측 단부(148a)는 내측면(148b)이 체결홈(146)의 일측 내주면에 밀착되고, 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c)는 외측면(148d)이 체결홈(146)의 타측 내주면(146b)에 밀착되며, 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c)는 내측면(148e)이 체결홈(146)의 내주면과 이격된 틈(146c)을 형성하도록 이루어진 고정링(140)과;
내측 중심부에는 상기 연결관통로부(121)와 연통되는 관통공(202)이 형성되어 있고, 관통공(202) 외측의 단부가 상기 플랜지부(120)에 밀착되도록 설치되는 탄성 재질의 실링부재(200)와;
반원형의 형상을 취하는 제1하우징(311)과, 일측이 상기 제1하우징(311)의 일측에 링크부재(370)를 통해 회전 가능하게 결합되는 반원형 형상을 취하며, 타측에 가이드홈(313)이 형성되어 있는 제2하우징(312)과, 상기 제1하우징의 타측에 고정핀(323)을 통해 회전 가능하게 설치되어 상기 가이드홈(313)에 끼워짐이 가능하도록 설치되어 있고 상부 외주면에 나사산이 형성되어 있는 고정볼트(321)와, 상기 고정볼트(321) 상부 외주면에 나사결합되고, 외경이 가이드홈(313)보다 크게 이루어져 제2하우징(312)의 이탈을 방지하는 가압너트(322)로 구성되되, 상기 제1하우징(311)과 제2하우징(312) 각각은 서로 마주본 채 이격되어 있는 일측하우징(301)과 타측하우징(302)으로 이루어지고, 일측하우징(301)과 타측하우징(302)의 사이에는 상기 실링부재(200) 및 플랜지부(120)가 끼워지는 실링부재삽입홈(330)이 형성되어 있고, 실링부재삽입홈(330) 양측에는 벽면이 내광외협으로 경사진 클램프경사면(341)이 형성되어 클램프경사면(341)과 실링부재삽입홈(330)의 사이에 고정링(140)이 끼워지는 고정링삽입홈(340)이 형성되고, 고정링(140)의 경사면(141)이 상기 클램프경사면(341)과 밀착되도록 이루어진 클램프(300);를 포함하여 구성된,
반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조.
제 1항에 있어서,
상기 가압너트(322)는 상부에 요철이 형성된 헤드부(350)가 형성되어 있으며,
상기 헤드부(350) 상부에는 상기 가압너트(322)와 고정볼트(321)의 나사결합 방향과 반대 방향으로 나사 결합되는 풀림방지볼트(360)가 체결되는 것을 특징으로 하는,
반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조.
제 1항에 있어서,
상기 제1링(147)의 밀착면(142)으로부터 체결홈(146) 내부까지 연통되는 고정핀삽입홀(500)이 형성되어 있되,
상기 고정핀삽입홀(500)은 상기 틈(146c)까지 연장되고,
상기 고정핀삽입홀(500)에 고정핀(600)이 삽입되어 고정핀(600)의 단부가 상기 틈(146c)에 위치하여
상기 체결돌기(148)의 단부면(149a) 측 단부(148c) 내측면(148e)이 상기 고정핀(600)에 걸려 체결돌기(148)의 이탈을 방지하도록 이루어진 것을 특징으로 하는,
반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조.
제 3항에 있어서,
상기 고정핀삽입홀(500)과 고정핀(600)은 나사결합되고,
상기 고정핀삽입홀(500)의 상측에는 볼트머리수용홈(510)이 상기 고정핀삽입홀(500)의 직경보다 크게 형성되어 있고,
상기 고정핀(600)의 상부에는 상기 볼트머리수용홈(510)에 수용되는 볼트머리(610)가 형성되어 있으며,
볼트머리(610)에는 드라이버홈(611)이 형성되어 있어 드라이버를 이용하여 고정핀(600)의 진출입을 조절하도록 이루어진 것을 특징으로 하는,
반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조.
제 4항에 있어서,
상기 체결홈(146)의 내주면에는 요철(146d)이 형성되어 있어 상기 체결돌기(148)의 체결홈(146) 측 단부(148a) 내측면(148b)이 상기 요철(146d)에 걸리도록 이루어진 것을 특징으로 하는,
반도체 제조 설비의 폐수 처리용 플라스틱관 결합 구조.