KR102046874B1 - 기판 세척장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 세척장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 세척하기 위하여 기판이 이송되는 이송레일이 형성된 본체에 세척유닛 및 건조유닛이 구비됨에 따라, 기판이 이동하면서 기판의 일면 또는 양면에 세척액을 분사하고 건조시켜 회수할 수 있도록 이루어지되, 상기 기판이 수직방향으로 세워져 이송됨에 따라 기판의 일면 또는 양면에 세척액이 고르게 분사되어 세척능력이 향상되고, 분사된 세척액은 보다 손쉽게 낙하되어 건조효율 또한 높일 수 있는 기판 세척장치에 관한 것이다.

Description

기판 세척장치{BOARD WASHING DEVICE}

본 발명은 기판 세척장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 세척하기 위하여 기판이 이송되는 이송레일이 형성된 본체에 세척유닛 및 건조유닛이 구비됨에 따라, 기판이 이동하면서 기판의 일면 또는 양면에 세척액을 분사하고 건조시켜 회수할 수 있도록 이루어지되, 상기 기판이 수직방향으로 세워져 이송됨에 따라 기판의 일면 또는 양면에 세척액이 고르게 분사되어 세척능력이 향상되고, 분사된 세척액은 보다 손쉽게 낙하되어 건조효율 또한 높일 수 있는 기판 세척장치에 관한 것이다.

일반적으로 기판, 반도체용 기판 등을 제조함에 있어 세척공정이 필수적으로 진행되어야 하며, 특히 기판의 표면에 잔류하는 작은 파티클이나 오염물 및 불필요한 막을 제거하는 방식으로, 기판에 형성되는 패턴이 미세화됨에 따라 세척 공정의 중요도 또한 더욱 커지고 있다.

종래기술로는 공개특허 제10-2009-0012701호 "기판 세척 장치"가 있는데,

상기 종래기술은 기판이 안착되는 지지부재와, 상기 지지부재의 상부에 배치되고 상기 기판을 세척하는 처리액을 상기 기판의 상면으로 동시에 분사하는 다수의 노즐을 구비하는 세척부 및 상기 세척부에 상기 처리액을 제공하는 처리액 공급부를 포함하여 단위 시간당 기판에 세척액이 분사되는 면적을 증가시킴으로서 공정 시간을 단축하고, 생산성을 향상시킬 수 있는 세척장치를 제시하고 있다.

그러나 상기 종래기술은 기판을 회전시켜 세척액을 분사하되, 기판의 일면에만 세척액이 분사됨에 따라 기판을 양면을 세척하기 위해서는 작업자가 일일이 기판을 뒤집어야 하는 번거로움이 발생하며, 뒤집는 경우, 상기 지지부재에 남아있는 이물질이 다시 묻을 수 있는 문제가 있다.

또한 종래기술로 등록특허 제10-0862231호 "세척액 분사 장치 및 이를 갖는 기판 세척 장치"가 있는데,

상기 종래기술은 세척액을 플로우시키는 제1 유로와, 제1 기체를 플로우시키고 제1 유로의 단부와 인접하게 단부를 위치시키고, 제1 기체에 의해 세척액을 액적 형태로 변화시켜 기판으로 제공하기 위한 제2 유로, 그리고 제1 유로에 연결되고, 세척액에 용해 가능한 제2 기체를 플로우시키며, 제2 기체에 의해 세척액으로부터 만들어지는 액적에서 발생하는 정전기를 방지하기 위한 제3 유로를 갖는다. 따라서, 세척액 분사 장치 및 이를 갖는 기판 세척 장치는 세척액의 액적에서 발생하는 정전기 방지가 가능하고, 세척 효율을 향상시킬 수 있는 기술을 제시하고 있다.

그러나 상기 종래기술은 앞선 종래기술과 마찬가지로 기판을 회전시키면서 일면에 세척액을 분사시켜 세척하는 방식으로, 세척 효율이 저하되고, 많은 양의 기판을 작업하기에는 그 작업속도가 저하될 수 밖에 없는 문제가 있다.

아울러 종래기술로 등록특허 제10-0962362호 "기판세척장치"가 있는데,

상기 종래기술은 프레임과, 기판을 로딩하는 로딩유닛을 구비하고 상기 프레임 일측에서 타측으로 기판을 이송하는 제1 수평 이송부와, 상기 제1 수평 이송부 측에/로부터 기판을 로딩/언로딩하면서 반입/반출하는 제1반출입용 이송수단 그리고, 상기 제1 수평 이송부의 로딩유닛으로부터 기판을 들어올려서 언로딩 상태로 거치할수 있도록 상기 프레임 상에 설치되는 제2 반출입용 이송수단을 포함하여 기판을 연속적으로 반입 및 반출하면서 세척 작업을 간편하게 진행할 수 있는 기술을 제시하고 있다.

그러나 상기 종래기술은 기판을 수평방향으로 이송시키면서 세척을 하는 방식으로, 수평방향 이송시에는 기판의 양측면에 고르게 세척액을 분사하기 어렵고, 상면에 묻어있던 이물질이 하면에 묻을 수도 있으며, 건조절차가 구비되지 않음으로서, 별도의 건조작업을 진행해야 하는 번거로움이 발생한다.

따라서 본 발명은 상기 문제를 해결하기 위해 안출한 것으로서,

기판이 공급되어 일방향으로 이송됨에 따라 세척 및 건조작업이 진행될 수 있도록 이송레일을 포함하는 본체와, 기판을 공급하는 공급유닛, 기판을 세척하는 세척유닛 및 건조유닛을 더 구비하되, 상기 기판이 이송레일에 수직방향으로 이송될 수 있도록 구현함에 따라 수평방식의 세척장치에 비하여 세척 및 건조능력을 보다 향상시킬 수 있는 기판 세척장치를 제공함을 목적으로 한다.

구체적으로 수직으로 이송되는 기판의 일면 또는 양면에 세척액을 분사함에 따라 보다 효과적이고 완벽하게 세척할 수 있는 기판 세척장치를 제공함을 목적으로 한다.

또한 보다 안정적으로 기판을 수직으로 안착시키기 위하여, 기판이 공급되는 공급부에는 경사지게 안착된 기판을 수직 배열시켜 이송되도록 하는 절곡경사부가 형성된 공급가이드레일을 구비하여 기판이 앞으로 쏟아지는 것을 방지함과 동시에 이송시에는 수직을 유지할 수 있도록 고안된 기판 세척장치를 제공함을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 세척장치는

기판이 공급되는 공급부와, 공급된 기판을 세척하는 세척부, 세척된 기판을 건조하는 건조부 및 건조된 기판을 수거하는 회수부가 구비되며, 상기 공급부, 세척부, 건조부, 회수부 순으로 기판을 이송시키는 이송레일을 포함하는 본체;

상기 공급부에 구비되어, 복수개의 기판이 적재되는 공급유닛;

상기 공급유닛에 적재된 기판을 상기 이송레일로 운반하는 운반유닛;

상기 세척부에 구비되어 이송된 기판의 일면 또는 양면에 세척액을 분사하는 세척유닛;

상기 건조부에 구비되어, 세척된 기판의 일면 또는 양면을 건조시키는 건조유닛; 및

상기 회수부에 구비되어, 건조된 기판을 수거하는 회수유닛;

을 포함하여 이루어지되,

상기 기판은 상기 이송레일을 따라 수직으로 안착되어 이송되는 것을 특징으로 한다.

이상과 같이 본 발명에 따른 기판 세척장치는

공급부, 세척부, 건조부 회수부 순으로 기판이 이송될 수 있도록 이송레일을 포함하는 본체에 있어, 상기 이송레일이 기판을 수직으로 세워 이송시킴에 따라 세척부에 위치한 세척유닛이 상기 기판의 일면 또는 양면에 세척액을 분사함에 따라 세척액이 흘러내리면서 이물질을 함께 제거할 수 있어 수평이동 방식에 비하여 세척효과가 뛰어나다.

또한 건조시에도 수직으로 배열됨에 따라 중력에 의해 세척액의 낙하가 이루어짐으로서 건조시간을 단축할 수 있으며, 일방향으로 이송되면서 상기 공정들이 진행됨으로서 연속적으로 기판을 세척 및 건조시킬 수 있어 작업효율이 향상되는 효과가 있다.

아울러, 기판을 수직으로 이송시키기 위해 이송레일에 기판을 배열함에 있어, 공급부에서 기판을 수직으로 안착시키면 기판이 앞으로 쓰러질 수 있는 문제를 해결하고자, 공급부에서는 기판을 경사지게 안착시키고 기판이 이동하면서 자동으로 수직으로 세워질 수 있도록 구성함으로서 작업 공정의 안정성을 높였으며,

회수부에서는 기판이 자연스럽게 전면으로 낙하되어 수거함에 적층될 수 있도록 함으로서, 연속적으로 기판의 세척 및 건조 작업을 진행할 수 있고 수거 또한 손쉽게 진행할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 세척장치의 개략도
도 2a는 본 발명에 따른 기판 세척장치의 공급부의 상세도
도 2b는 본 발명에 따른 기판 세척장치의 세척부의 상세도
도 2c는 본 발명에 따른 기판 세척장치의 건조부의 상세도
도 2d는 본 발명에 따른 기판 세척장치의 회수부의 상세도
도 3은 본 발명에 따른 기판 세척장치의 레일의 분해도
도 4는 본 발명에 따른 기판 세척장치의 공급부의 확대사진도
도 5는 본 발명에 따른 기판 세척장치의 회수부의 확대사진도

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

각 도면에서 동일한 참조부호, 특히 십의 자리 및 일의 자리 수, 또는 십의 자리, 일의 자리 및 알파벳이 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 기능을 갖는 부재를 나타내고, 특별한 언급이 없을 경우 도면의 각 참조부호가 지칭하는 부재는 이러한 기준에 준하는 부재로 파악하면 된다.

또 각 도면에서 구성요소들은 이해의 편의 등을 고려하여 크기나 두께를 과장되게 크거나(또는 두껍게) 작게(또는 얇게) 표현하거나, 단순화하여 표현하고 있으나 이에 의하여 본 발명의 보호범위가 제한적으로 해석되어서는 안 된다.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

본 발명에 따른 기판 세척장치(D)는 도1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본체(10)와, 상기 본체(10)에 구비되는 공급유닛(20), 세척유닛(40), 건조유닛(50)을 포함하여 이루어져 있으며, 각각의 구성에 대하여 보다 상세하게 설명하도록 한다.

본 명세서에서의 기판(T)은 구체적으로는 트레이, 보다 구체적으로는 반도체 칩 이송용 트레이를 말하는 것이나, 이에 권리범위를 제한 해석해서는 안 된다.

또한 본 명세서에서의 방향은 기판(T)이 이송되는 방향을 전진하는 방향이라 지칭하고, 도2를 기준으로 기판(T)의 상부가 기울어진 방향을 후단이라 지칭하도록 한다.

우선, 상기 본체(10)는 기판(T)이 공급되어 이송함에 따라 세척 및 건조 그리고 회수하는 일련의 공정을 진행할 수 있도록 이루어진 것으로서, 동작을 제어하기 위한 제어부(18)가 전면에 구비되어 있는 것이 바람직하며, 공급부(11), 세척부(12), 건조부(13), 회수부(14)로 구분될 수 있다.

각각의 부를 도면을 참고하여 보다 상세하게 설명하면,

먼저 상기 공급부(11)에는 기판(T)이 적재되는 공급유닛(20)이 구비되고, 이 공급유닛(20)에 적재된 최상단 기판(T)을 이송레일(16)에 안치시키는(로딩시키는) 운반유닛(30)을 포함하여 이루어져 있다.

공급유닛(20)에 대하여 도1, 도2a, 도4를 참고하여 보다 상세하게 설명하면,

상기 공급유닛(20)는 복수개의 기판(T)이 적층되어 수용될 수 있는 수용부(211)를 갖도록 복수개의 기둥프레임(21)으로 이루어지는 것으로, 상기 공급유닛(20)에는(상기 수용부(211)에는) 상하 승하강 가능한 푸쉬판(23)이 구비되고, 이 푸쉬판(23)은 상기 공급유닛(20) 양측에 구비되는 스크류봉(25)에 나사결합되어 상기 스크류봉(25)의 회전에 의해 푸쉬판(23)이 승하강 가능하도록 이루어진다. 따라서 복수개의 기판(T)은 상기 푸쉬판(23)의 상면에 적재되게 되며, 기판(T)이 로딩됨에 따라 상기 푸쉬판(23)이 상승하여 최상단의 기판(T)이 연속적으로 이송레일(16)에 로딩될 수 있도록 이루어진다.

상기 공급유닛(20)에 구비되는 기판(T)을 상기 이송레일(16)에 안착(로딩)시키기 위하여 상기 공급부(11)에는 운반유닛(30)이 더 구비되어 있으며, 상기 운반유닛(30)은 상기 공급부(11)에 회전 가능하게 구비되는 한 쌍의 암(31)과, 상기 각각의 암(31) 단부에 구비되어 공급유닛(20)에 쌓인 기판(T) 중 최상단부의 기판(T) 양측을 고정하는 홀더(33)로 이루어지게 된다.

보다 상세하게는 상기 암(31)은 암(31) 단부에 구비되는 홀더(33)가 기판(T)을 잡고 상기 이송레일(16)에 안착시킬 수 있도록 회전 가능하게 구비되는 것으로서, 상기 홀더(33)는 상기 암(31) 단부에서 내측으로 인출 가능하게 구비되어 상기 기판(T)의 양측을 잡고 회전시켜 상기 이송레일(16)에 기판(T)을 안착시킬 수 있도록 구성된다.

상기와 같이 기판(T)이 이송레일(16)에 안착되면, 상기 기판(T)이 이송레일(16)을 따라 전진하게 되고, 세척부 및 건조부(13)를 거쳐 회수부(14)로 수거됨에 따라 세척 및 건조가 가능하게 된다.

상기 이송레일(16), 보다 정확하게 공급부(11)에는 상기 이송레일(16)에 안착되는 기판(T)을 전진시키기 위하여 일정간격 이격된 돌기(111A)가 구비된 이송체인(111)이 구비되어 있으며, 이 이송체인(111)이 전진함에 따라 상기 돌기(111A)가 상기 기판(T)의 후단 아래를 밀어 이송레일(16)을 따라 기판(T)을 전진시키게 되며, 공급부(11)를 지난 기판(T)은 그 다음번 기판(T)이 공급됨에 따라 밀려 전진할 수 있도록 이루어진다.

이러한 구성은 기판(T)이 연속적으로 이송됨에 있어 간헐적으로 움직이게 하기 위함인데, 세척을 위한 시간 및 건조를 위한 시간을 확보하기 위한 것이다.

본 발명은 기판(T)이 수직으로 이송되어 세척 및 건조효율을 높이도록 하는 바, 이를 위하여 상기 이송레일(16)은 상기 기판(T)을 수직으로 세워 이송시키도록 이루어며, 이를 위하여 별도의 특별한 구조로 구성됨을 특징으로 한다.

우선 상기 이송레일(16)은 상기 기판(T)이 안착되는 공급부(11)에서 세척부(12) 및 건조부(13)까지 직선형의 레일로 상기 기판(T)의 하부를 전면과 후면에서 지지하는 구조로 이루어져 있으며, 상기 공급부(11)를 통과한 기판(T)의 상단부를 지지하도록 상부레일(17)이 상기 이송레일(16)과 동일한 형상으로 기판(T)의 상단부 양면에 위치할 수 있도록 회수부(14) 전단계까지 구성되어 있다.

즉, 상기 이송레일(16)과 상부레일(17)은 동일선상에 위치하는 것으로, 이들 레일을 통해 기판(T)은 수직으로 세워져 후술하는 세척부(12) 및 건조무를 통과할 수 있도록 이루어진다.

다시, 상기 공급부(11)의 이송레일(16)에 대하여 보다 상세하게 설명하면, 상기 공급부(11)에서는 상기 운반유닛(30)에 의해 기판(T)이 이송레일(16)에 안착되게 되는데, 상기 운반유닛(30)은 기판(T)을 안착시키는 원위치되는 동작을 하게 되고, 이로인해 기판(T)을 공급부(11) 내에 수직으로 세우게 되면, 기판(T)이 전면으로 쓰러질 수 있는 문제가 발생하게 된다.

따라서, 상기 운반유닛(30)은 상기 기판(T)을 공급부(11)내에서 비스듬하게 경사지도록 안착시킨 후 원위치되도록 이루어져 상기 기판(T)이 전면으로 쓰러지는 것을 방지하도록 한다.

이를 위하여 상기 공급부(11) 내의 이송레일(16)에는 상기 기판(T)의 하부 전면을 지지하는 가림부(115)가 더 구비되어, 상기 기판(T)을 경사지게 안착시키는 경우, 기판(T)의 하단부가 전면으로 미끄러지는 것을 방지하고 있으며,

상기 기판(T)의 상부를 지지하기 위하여 상기 공급부(11)에는 이송레일(16)보다 후방에 구비되는 공급가이드레일(113)이 더 구비되게 된다.

보다 구체적으로 상기 공급가이드레일(113)은 기판(T)을 지지함과 동시에, 상기 이송체인(111)에 의해 기판(T)이 전진하는 경우, 기판(T)의 상부를 세워 상부레일(17)에 인입될 수 있도록 하기 위함이며, 이를 위해 절곡경사부(113A)를 더 형성하는 것을 특징으로 한다.

도3은 상기 공급가이드레일(113)과 상부레일(17)을 도시한 도면으로, 상기 공급가이드레일(113)의 우측(전진방향, 상부레일(17)방향)에는 상기 전방으로 경사지도록 절곡된 절곡경사부(113A)가 형성되어 있으며, 상기 절곡경사부(113A)의 절곡정도는 상기 상부레일(17)에 기판(T)이 안착될 수 있을 정도로 이루어지게 된다.

이는 도3의 평면도를 보면 보다 손쉽게 확인할 수 있는 바, 상기 공급가이드레일(113)의 절곡경사부(113A)에 의해 기판(T)이 전진하면, 상기 기판(T)의 상부가 상기 절곡경사부(113A)를 따라 전방으로 나오고, 기판(T)의 하부는 그대로 이송레일(16)을 따라 이송함으로서, 상부가 후단으로 경사진 형태로 공급된 기판(T)은 점차 세워지면서 이송레일(16) 및 상부레일(17)로 인입되게 된다.

즉, 상기 절곡경사부(113A)에 의해 공급부(11)에 있던 기판(T)은 수직으로 세워져 후술하는 세척부(12)로 인입되게 된다.

아울러 이 때 상기 기판(T)이 보다 원활하게 상부레일(17)에 인입되도록 하기 위해, 상기 상부레일(17)의 단부에는 진입절곡부(171)가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

상기 진입절곡부(171)는 후단으로 절곡된 형상을 이루며, 상기 절곡경사부(113A)의 단부와 진입절곡부(171)의 단부가 일부 위치가 중첩되도록 구성되어 상기 진입절곡부(171)를 통해 기판(T) 상부가 앞으로 쏠리더라도 상기 진입절곡부(171)에 막혀 수직을 유지하며 이송레일(16)을 따라 전진할 수 있도록 이루어진다.

도2b는 상기 본체(10)에 구비되는 세척부(12)를 도시한 것으로서, 상기 세척부(12)에는 기판(T)의 일면 또는 양면에 세척액을 분사하기 위한 세척유닛(40)이 구비되게 된다.

상기 세척유닛(40)은 세척의 효율을 높이기 위하여 기판(T) 양면에 세척액을 동시에 분사할 수 있도록 이루어지는 것이 바람직하며,

상기 세척유닛(40)은 세척액 분사를 위한 복수개의 노즐(41)로 이루어져 있으며, 상기 노즐(41)로 세척액이 공급될 수 있는 공급라인(43)과, 도면에는 도시되지 않았지만 본체(10)에 구비되어 상기 세척액을 저장하는 저장통으로 이루어지게 된다.

여기서 세척액은 일반적으로 세척력 및 휘발성이 높은 에틸알코올로 이루어지는 것이 바람직하나, 이에 권리범위를 제한해석해서는 안 된다.

상기 기판(T)은 간헐적으로 이송됨에 따라, 상기 세척부(12)에서 일정시간 머무를 수 있으며, 이 머무르는 시간동안 기판(T) 양면에 세척액이 분사되어 세척효율을 향상시키고 있다.

참고로 여기서 말하는 일정시간이란, 상기 기판(T)의 이송방식에 의한 것으로, 기판(T)은 다음번 기판(T)이 로딩되면서 밀어줌에 따라 이송되는 방식으로, 상기 공급부(11)에서 기판(T)을 로딩하는 데 걸리는 시간을 의미한다.

이렇게 세척이 완료되면 도2c에 도시된 바와 같이, 상기 기판(T)은 상기 건조부(13)로 이송되게 되는데, 이 때 상기 세척부(12)와 건조부(13)는 일정간격 이격되어, 상기 기판(T)이 공기중에서 일부 자연건조 될 수 있는 시간을 벌어주게 된다.

상기 건조부(13)에는 건조유닛(50)이 구비되어 상기 기판(T)의 일면 또는 양면으로 에어를 불어 기판(T) 외면에 묻어있는 세척액을 건조시키게 되는데,

일반적으로 상기 건조유닛(50)은 송풍팬(51)으로 이루어져 있으며, 보다 효과적인 건조를 위하여 냉풍보다는 온풍이 공급될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하나, 이에 권리범위를 제한 해석해서는 안 된다.

상기와 같은 과정에 의해 세척 및 건조가 완료된 기판(T)은 상기 이송레일(16)로부터 이탈되어 회수부(14)로 이송되어 작업자가 손쉽게 회수할 수 있도록 구성된다.

도2d 및 도5를 참조하여 상기 회수부(14)에 대하여 보다 상세하게 설명하면,

상기 회수부(14)에는 기판(T)을 수거하는 회수유닛(60)이 구비되고, 상기 기판(T)의 상부를 지지하는 회수가이드레일(141)과, 상기 기판(T)의 하부가 지지되는 지지부(143)가 더 구비되게 된다.

우선, 회수유닛(60)은 추후에 보다 상세하게 설명하도록 하고, 상기 회수가이드레일(141)과 지지부(143)에 대하여 도2d 및 도5를 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.

본 발명에서의 특징 중 하나는 상기 지지부(143)가 상기 이송레일(16)보다 낮게 형성되는 것을 특징으로 한다.

즉, 상기 이송레일(16)로부터 돌출되는 기판(T)은 상기 지지부(143)에 안착되게 되는데, 상기 지지부(143)를 낮게 형성한 것은 보다 손쉽게 기판(T)을 지지부(143)로부터 전면으로 낙하시키기 위함이다.

예를들어 이송레일(16)과 지지부(143)가 동일선상에 위치하는 경우, 기판(T)이 이송레일(16)로부터 빠져나오더라도 완벽하게 빠져나오지 않으면 기판(T)의 일단이 상기 이송레일(16)에 걸리는 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위하여 상기 지지부(143)를 상기 이송레일(16)보다 낮게 형성하여, 결과적으로 기판(T)이 절반이상 돌출되면 기판(T)의 일측(전진방향을 기준으로 우측)이 무게중심에 의해 지지부(143)를 향해 기울어지게 되고, 기판(T)이 점점 이송됨에 따라 다음번 기판(T)이 밀어주는 힘과 기울어짐에 의한 중력으로 자연스럽게 보다 빠르게 이송레일(16)로부터 이탈될 수 있게 된다.

또한 상기 회수부(14)에는 상기 기판(T)의 상부가 후방으로 넘어가는 것을 방지하기 위하여 별도의 회수가이드레일(141)이 구비되어 있으며, 이 때 상기 회수가이드레일(141)은 상기 이송레일(16)과 지지부(143)의 단차만큼 아래로 절곡된 하강부(141A)가 더 형성되게 되며, 상기 하강부(141A) 이후에는 다시 수평방향의 상부레일(17)이 연장되어 기판(T)의 움직임에 대응하여 기판(T)의 상부 후단을 지지할 수 있도록 구성된다.

나아가 상기 기판(T)이 회수부(14)내에서 끝까지 전진하면 기판(T) 상부를 앞으로 밀어 전방으로 낙하시켜 회수유닛(60)에 안착시켜야 하는데, 이를 위하여 상기 회수가이드레일(141)의 단부에는 전방으로 돌출된 낙하돌기(141B)가 형성되어, 상기 기판(T)이 낙하돌기(141B)에 진입하면서 상부가 앞으로 기울어지게 되며, 이로 인해 중력의 힘을 통하여 전방으로 낙하될 수 있다.

또한 상기 지지부(143)의 후단에는 상기 기판(T)의 하부가 후방으로 기울어지는 것을 방지하기 위한 방지벽(143A)이 더 구비되어 있는 것이 바람직하다.

이하, 도2d 및 도5를 참조하여 회수유닛(60)에 대하여 보다 상세하게 설명하면,

상기 회수유닛(60)은 건조까지 완료된 기판(T)을 적층시키는 수거부가 형성되도록 복수의 기둥(61)으로 이루어진 구조로, 상기 수거부의 상부에는 양측에 구비된 외벽부(62)에 의해 임시보관부(63)를 형성하게 된다.

다시, 상기 임시보관부(63)는 회수유닛(60), 보다 정확하게 수거부에 낙하되기 전, 기판(T)을 정렬하는 것으로 기판(T)이 회수부(14)에서 낙하되는 동작은 기판(T)의 하부를 기준으로 포물선을 이루기 때문에 수거부에 기판(T)이 많이 쌓여있지 않으면 낙하되는 거리가 길어져 낙하되는 동안 어긋나 제대로 정렬이 이루어지지 않을 수 있다.

즉, 상기 기판(T)은 수거부에 수평을 유지한채 수직으로 낙하되는 것이 바람직하며, 이를 위하여 상기 임시보관부(63)가 형성되는 것이다.

상기 임시보관부(63)는 상기 수거부로 낙하되는 기판(T)을 임시적으로 멈추는 공간으로 상기 한 쌍의 외벽부(62)에는 임시보관부(63)로 돌출 가능한 스토핑바(64)가 구비되어 있으며, 이 스토핑바(64)가 임시보관부(63)로 돌출되어 낙하되는 기판(T)의 가장자리를 지지하여 더 이상 낙하가 이루어지지 않도록 한다.

이렇게 스토핑바(64)에 의해 기판(T)이 임시보관부(63)에 안착되면, 상기 스토핑바(64)는 임시보관부(63)로부터 동시에 이탈되면서 기판(T)을 중력에 의해 수직으로 수거부로 낙하시켜 앞서 언급한 문제점을 해결하고 있다.

아울러 임시보관부(63) 후단에는 임시보관부(63)로 낙하되는 기판(T)이 후퇴하지 않도록 막는 후퇴방지바(65)가 형성되어 있으며, 이 때 상기 후퇴방지바(65)는 지지부(143)단부에서 스토핑바(64)후단으로 경사진 형태로 구성하여 기판(T)이 안정적으로 낙하될 수 있도록 유도하고 있으며,

상기 임시보관부(63) 전방에도 낙하되는 기판(T)이 전방으로 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지봉(66)이 더 구비되어 기판(T)을 안정적으로 낙하시키는데 도움을 주게 된다.

또한 상기 회수유닛(60) 또한 상기 공급유닛(20)과 동일하게 바닥면이 승하강 가능하게 스크류 결합된 구조로 이루어져 기판(T)의 쌓이는 정도에 따라 바닥면이 하강하여 기판(T)을 파손없이 안정적으로 쌓을 수 있도록 이루어진다.

또 이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조 및 구성을 갖는 기판 세척장치를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능하고, 이러한 수정, 변경 및 치환은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.

D : 기판 세척장치 T : 기판
10 : 본체 11 : 공급부
111 : 이송체인 111A : 돌기
113 : 공급가이드레일 113A : 절곡경사부
115 : 가림부 12 : 세척부
13 : 건조부 14 : 회수부
141 : 회수가이드레일 141A : 하강부
141B : 낙하돌기 143 : 지지부
143A : 방지벽 16 : 이송레일
17 : 상부레일 171 : 진입절곡부
18 : 제어부 20 : 공급유닛
21 : 기둥프레임 211 : 수용부
23 : 푸쉬판 25 : 스크류봉
30 : 운반유닛 31 : 암
33 : 홀더 40 : 세척유닛
41 : 노즐 43 : 공급라인
50 : 건조유닛 51 : 송풍팬
60 : 회수유닛 61 : 기둥
62 : 외벽부 63 : 임시보관부
64 : 스토핑바 65 : 후퇴방지바
66 : 이탈방지봉

Claims (4)

1. 기판(T)이 공급되는 공급부(11)와, 공급된 기판을 세척하는 세척부(12), 세척된 기판을 건조하는 건조부(13) 및 건조된 기판을 수거하는 회수부(14)가 구비되며, 상기 공급부(11), 세척부(12), 건조부(13), 회수부(14) 순으로 기판(T)을 이송시키는 이송레일(16)을 포함하는 본체(10);
   상기 공급부(11)에 구비되어, 복수개의 기판(T)이 적재되는 공급유닛(20);
   상기 공급유닛(20)에 적재된 기판(T)을 상기 이송레일(16)로 운반하는 운반유닛(30);
   상기 세척부(12)에 구비되어 이송된 기판(T)의 양면에 세척액을 분사하는 세척유닛(40);
   상기 건조부(13)에 구비되어, 세척된 기판(T)의 일면 또는 양면을 건조시키는 건조유닛(50); 및
   상기 회수부(14)에 구비되어, 건조된 기판(T)을 수거하는 회수유닛(60);
   을 포함하여 이루어지되,
   상기 이송레일(16)은
   상기 기판(T)의 하부 전면과 후면을 지지하는 직선형의 레일로 이루어지고,
   상기 공급부(11)를 통과한 기판(T)의 상단부를 지지하도록 상기 이송레일(16)과 동일하게 상기 회수부(14) 전단계까지 상기 기판(T)의 상단부 양면을 지지하는 상부레일(17)이 더 구비되고,
   상기 기판(T)은 상기 이송레일(16)에 수직으로 안착되고,
   상기 공급부(11)에는
   이송레일(16)에 안착된 기판(T)의 상부가 지지되되, 상기 이송레일(16)보다 후방에 구비되어 기판(T)이 경사지게 안착될 수 있도록 하는 공급가이드레일(113)이 더 구비되되,
   상기 공급가이드레일(113)에는 상기 경사지게 안착된 기판(T)이 수직으로 세워지면서 상기 세척부(12)로 이송되도록 전방으로 절곡된 절곡경사부(113A)가 형성되고,
   상기 상부레일(17)에는 상기 절곡경사부(113A)의 단부와 일부 중첩되도록 이루어지며 후단으로 절곡된 진입절곡부(171)가 구비되어, 기판(T)이 앞으로 쏠리는 현상을 방지하여 수직을 유지하며 상기 이송레일(16)을 따라 이송될 수 있도록 이루어지고,
   상기 회수부(14)에는
   상기 기판(T)의 상부를 지지하는 회수가이드레일(141)과, 상기 기판(T)의 하부가 지지되는 지지부(143)가 더 구비되며,
   상기 지지부(143)는 상기 이송레일(16)보다 낮게 형성되되,
   상기 회수가이드레일(141)의 단부에는 전면으로 돌출된 낙하돌기(141B)가 형성되어,
   기판(T)이 상기 회수가이드레일(141)을 따라 회수부(14)로 이동하다가, 상기 낙하돌기(141B)에 의해 기판(T)의 상부가 전방으로 기울어져, 상기 회수유닛(60)으로 낙하되는 것을 특징으로 하는 기판 세척장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 운반유닛(30)은
   상기 공급부(11)에 회전 가능하게 구비되는 한 쌍의 암(31)과, 상기 각각의 암(31) 단부에 구비되어, 상기 공급유닛(20)에 적재된 기판 중 최상단부의 기판 양측을 고정하는 홀더(33)로 이루어져,
   상기 홀더(33)가 상기 기판의 양측을 잡고 상기 이송레일(16)에 안착시킬 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 세척장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 공급부(11)에는
   상기 이송레일(16)에 안착되는 기판을 전진시키기 위하여 일정간격 이격된 돌기(111A)가 구비되는 이송체인(111)이 구비되어,
   상기 이송체인(111)이 전진하면, 상기 돌기(111A)가 상기 수직으로 세워진 기판의 후단 하부를 밀도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 세척장치.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 회수유닛(60)은 건조 완료된 기판을 적층시키는 수거부가 형성되도록 복수의 기둥(61)으로 이루어지며,
   상기 수거부 상부 양측에는 외벽부(62)에 의해 임시보관부(63)가 형성되고,
   상기 외벽부(62)에는 상기 임시보관부(63)으로 돌출 가능하도록 이루어지는 스토핑바(64)가 구비되어,
   상기 스토핑바(64)가 상기 낙하된 기판의 양측을 지지하여 상기 기판이 임시보관부(63)에 안착되면, 상기 스토핑바(64)가 원위치되어 상기 기판이 수평을 유지한 채 수거부로 낙하되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 세척장치.
   

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