KR102042268B1 - Picker unit - Google Patents

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Abstract

본 발명은 소자를 픽업(Pick-up)하기 위한 픽커 유닛에 관한 것이다. 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 픽커 유닛은, 직선 왕복 이동 가능한 픽업 샤프트에 결합되며, 상기 픽업 샤프트에 의해 왕복 구동될 때에 진공 흡착에 의해 소자를 픽업하는 픽업 장치에 있어서, 일단에 픽업 샤프트가 결합되고, 내부에 상기 픽업 샤프트를 통해 제공되는 진공압이 공급되는 제1 관통 홀이 형성되며, 타단에 돌출부가 형성된 제1 몸체부; 및 일단에 상기 돌출부가 회전 가능하게 삽입되는 결합 홀이 형성되고, 내부에 상기 진공압이 공급되는 제2 관통 홀이 형성되며, 타단은 상기 진공압에 의해 형성된 흡착력을 이용하여 소자를 흡착하는 제2 몸체부를 포함하며, 상기 제1 몸체부는, 상기 돌출부가 상기 결합 홀의 축을 중심으로 회전하여 제1 각도 범위에 있을 때에, 상기 제2 몸체부에 삽입되거나 상기 제2 몸체부로부터 분리되고, 상기 돌출부가 상기 결합 홀에 삽입된 상태에서 상기 돌출부가 상기 결합 홀의 축을 중심으로 회전하여 제2 각도 범위에 있을 때에, 상기 제2 몸체부에 결합된다.The present invention relates to a picker unit for picking up a device. A picker unit according to a preferred embodiment of the present invention is coupled to a pickup shaft which can be linearly reciprocated, and the pickup shaft is coupled to one end in a pickup device that picks up an element by vacuum suction when driven reciprocally by the pickup shaft. A first through hole configured to supply a vacuum pressure provided through the pickup shaft, and a first body part having a protrusion at the other end thereof; And a coupling hole in which one of the protrusions is rotatably inserted, a second through hole through which the vacuum pressure is supplied, and the other end of the coupling hole adsorbing the device by using the suction force formed by the vacuum pressure. And a second body portion, wherein the first body portion is inserted into or separated from the second body portion when the protrusion is rotated about an axis of the coupling hole in a first angle range, and the protrusion portion When the protrusion is rotated about the axis of the coupling hole in the state of being inserted into the coupling hole is in the second angle range, it is coupled to the second body portion.

Description

픽커 유닛{Picker unit}Picker unit

본 발명은 픽커 유닛에 관한 것으로, 조금 더 상세하게는 픽커 유닛의 교체를 용이하게 하고 교체 작업 시간을 단축시켜 작업 효율성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 픽커 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a picker unit, and more particularly, to a picker unit that can facilitate replacement of the picker unit and shorten the replacement work time, thereby improving work efficiency and productivity.

일반적으로 반도체 칩과 같은 소자(이하, "소자"라고 칭함)의 제조 및 조립 공정을 수행하기 위해서는, 공급되는 소자를 픽업(Pick-up)하여 원하는 위치로 이동시켜 위치시키는 픽앤플레이스(Pick and place) 공정이 필수적이다.In order to perform a manufacturing and assembling process of a device such as a semiconductor chip (hereinafter, referred to as a "device"), a pick and place that picks up a supplied device and moves it to a desired position (Pick and place) Process is essential.

이러한 픽앤플레이스 공정을 수행하기 위해서는 소자를 파지하여 픽업하는 픽커 유닛, 일단에 픽커 유닛이 결합된 픽업 샤프트, 픽업 샤프트를 상하 방향으로 왕복 구동시키는 구동부를 포함하는 픽앤플레이스 장치를 사용한다.In order to perform the pick and place process, a pick and place device including a picker unit for holding and picking up an element, a pickup shaft having a picker unit coupled to one end, and a driving unit for reciprocating the pickup shaft in the vertical direction.

먼저, 소자를 파지하여 픽업하는 픽커 유닛은 크게 진공압에 의해 소자의 표면을 픽업하는 진공 흡착 방식과, 한 쌍의 그리퍼(Gripper)에 의해 소자의 양측면을 파지하여 픽업하는 그리퍼 방식으로 구분되나, 최근 기술의 발전에 따라 소자가 집적화되어 소형화되므로, 소자에 대한 손상을 최소화하기 위해 진공압에 의한 진공 흡착 방식이 주로 사용되고 있다.First, the picker unit for picking up and picking up the device is divided into a vacuum adsorption method for picking up the surface of the device by vacuum pressure and a gripper method for picking up both sides of the device by a pair of grippers. With the recent development of technology, devices are integrated and miniaturized, so that vacuum adsorption by vacuum is mainly used to minimize damage to the devices.

도 1은 일반적인 진공 흡착 방식의 픽커 유닛(11)이 구비된 픽앤플레이스 장치(10)를 보인 도면이다.FIG. 1 is a view illustrating a pick and place device 10 including a picker unit 11 of a general vacuum adsorption method.

도 1에 도시된 바와 같이, 진공 흡착 방식의 픽커 유닛(11)이 구비된 픽앤플레이스 장치(10)는, 진공 유로(11a)를 통해 공급된 진공압(P)에 의해 소자(S)를 파지하여 픽업하는 픽커 유닛(11), 일단에 픽커 유닛(11)이 결합되고 외부로부터 진공압(P)을 제공 받아 픽커 유닛(11)의 진공 유로(11a)에 진공압(P)을 공급하는 진공 유로(12a)가 형성된 픽업 샤프트(12), 픽업 샤프트(12)에 연결되어 픽업 샤프트(12)를 상하 방향으로 왕복 구동시키는 구동부(13)로 구성된다.As shown in FIG. 1, the pick-and-place apparatus 10 having the vacuum adsorption type picker unit 11 holds the element S by the vacuum pressure P supplied through the vacuum flow path 11a. Picker unit 11 to be picked up and picked up, the picker unit 11 is coupled to one end of the vacuum supplied with a vacuum pressure (P) from the outside to supply a vacuum pressure (P) to the vacuum flow path (11a) of the picker unit 11 It is composed of a pickup shaft 12 having a flow path 12a and a drive unit 13 connected to the pickup shaft 12 to reciprocally drive the pickup shaft 12 in the vertical direction.

비록 자세히 도시되지는 않았으나, 픽업 샤프트(12)를 왕복 구동시키는 구동부(13)는 서로 다른 경로로 유입되는 진공압에 의해 픽업 샤프트를 구동시키는 공압 실린더(Pneumatic cylinder)나, 모터 등 전기에 의해 픽업 샤프트를 구동시키는 전기 액츄에이터(Electric actuator)를 사용할 수 있다.Although not shown in detail, the driving unit 13 for reciprocating the pickup shaft 12 is picked up by a pneumatic cylinder or a motor such as a motor that drives the pickup shaft by vacuum pressure flowing into different paths. An electric actuator can be used to drive the shaft.

이와 같은 구조를 가지는 픽앤플레이스 장치(10)는 픽업 샤프트(12)가 구동부(13)에 의해 상하 방향으로 이동할 때에, 외부로부터 제공되는 진공압(P)에 의한 흡착력을 이용하여 소자(S)를 픽업(Pick-up)하거나 픽업 해제함으로써 소자(S)에 대한 픽앤플레이스 공정을 수행한다.The pick-and-place apparatus 10 having such a structure uses the suction force by the vacuum pressure P provided from the outside when the pickup shaft 12 is moved up and down by the drive unit 13 to pick up the element S. A pick-and-place process is performed on the device S by picking up or unpicking.

한편, 픽업 샤프트(12)의 일단에 결합되는 픽커 유닛(11)은 필요에 따라 교체를 위해 픽업 샤프트(12)로부터 분해되거나 재조립될 수 있다. 예를 들어, 픽커 유닛(11)은 픽업하고자 하는 소자(S)의 종류에 따라 교체되거나, 또는, 유지 보수 등의 이유로 교체될 필요가 있다.Meanwhile, the picker unit 11 coupled to one end of the pickup shaft 12 may be disassembled or reassembled from the pickup shaft 12 for replacement as necessary. For example, the picker unit 11 needs to be replaced depending on the type of element S to be picked up, or for maintenance reasons.

그러나, 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 픽커 유닛(11)은 픽업 샤프트(12)의 일단에 나사 결합(예를 들어, 픽업 샤프트(12)의 외주면에 형성된 수나사(12b)와, 픽커 유닛의 내주면에 형성된 암나사(11b)의 결합)되므로, 픽커 유닛(11)을 픽업 샤프트(12)로부터 분해하거나 조립하는 작업이 복잡하고, 교체 시간이 많이 소요되므로 작업 효율성 및 생산성이 저하된다는 문제점을 가지고 있었다.However, as shown in FIG. 1, the conventional picker unit 11 is screwed to one end of the pickup shaft 12 (for example, the male screw 12b formed on the outer circumferential surface of the pickup shaft 12 and the picker unit). Coupled to the female screw (11b) formed on the inner circumferential surface thereof, the work of disassembling or assembling the picker unit 11 from the pickup shaft 12 is complicated, the replacement time takes a lot of work efficiency and productivity is reduced there was.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 픽업 샤프트의 일단에 설치되는 픽커 유닛을 픽업 샤프트에 결합되는 제1 몸체부와, 제1 몸체부에 회전 가능하게 삽입되고 회전 각도 범위에 따라 제1 몸체부에 결합되거나 분리되는 제2 몸체부로 구성함으로써, 픽커 유닛의 교체를 용이하게 하고 교체 작업 시간을 단축시켜 작업 효율성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 픽커 유닛을 제공하는 것이다.The present invention is to solve the problems of the prior art as described above, the first body portion coupled to the pickup shaft and the picker unit installed on one end of the pickup shaft, the first body portion rotatably inserted and the rotation angle By configuring the second body portion coupled to or separated from the first body portion according to the range, it is to provide a picker unit to facilitate the replacement of the picker unit and to shorten the replacement work time to improve the work efficiency and productivity.

상기한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 픽커 유닛은, 직선 왕복 이동 가능한 픽업 샤프트에 결합되며, 상기 픽업 샤프트에 의해 왕복 구동될 때에 진공 흡착에 의해 소자를 픽업하는 픽업 장치에 있어서, 일단에 픽업 샤프트가 결합되고, 내부에 상기 픽업 샤프트를 통해 제공되는 진공압이 공급되는 제1 관통 홀이 형성되며, 타단에 돌출부가 형성된 제1 몸체부; 및 일단에 상기 돌출부가 회전 가능하게 삽입되는 결합 홀이 형성되고, 내부에 상기 진공압이 공급되는 제2 관통 홀이 형성되며, 타단은 상기 진공압에 의해 형성된 흡착력을 이용하여 소자를 흡착하는 제2 몸체부를 포함하며, 상기 제1 몸체부는, 상기 돌출부가 상기 결합 홀의 축을 중심으로 회전하여 제1 각도 범위에 있을 때에, 상기 제2 몸체부에 삽입되거나 상기 제2 몸체부로부터 분리되고, 상기 돌출부가 상기 결합 홀에 삽입된 상태에서 상기 돌출부가 상기 결합 홀의 축을 중심으로 회전하여 제2 각도 범위에 있을 때에, 상기 제2 몸체부에 결합된다.Pick-up unit according to a preferred embodiment of the present invention for solving the above object is coupled to the pickup shaft capable of linear reciprocation, pick-up device for picking up the element by vacuum suction when driven reciprocally by the pickup shaft A first body is coupled to one end of the pickup shaft, the first through-hole is provided with a vacuum pressure provided through the pickup shaft therein, the first body portion formed with a projection on the other end; And a coupling hole in which one of the protrusions is rotatably inserted, a second through hole through which the vacuum pressure is supplied, and the other end of the coupling hole adsorbing the device by using the suction force formed by the vacuum pressure. And a second body portion, wherein the first body portion is inserted into or separated from the second body portion when the protrusion is rotated about an axis of the coupling hole in a first angle range, and the protrusion portion When the protrusion is rotated about the axis of the coupling hole in the state of being inserted into the coupling hole is in the second angle range, it is coupled to the second body portion.

또한, 상기 픽커 유닛은, 상기 결합 홀의 내주면을 따라 적어도 하나 이상이 설치되며, 상기 돌출부가 상기 결합 홀에 삽입되어 회전할 때에 상기 돌출부에 대한 걸림 상태 또는 걸림 해제 상태가 되는 적어도 하나 이상의 걸림부를 더 포함하며, 상기 제1 몸체부는, 상기 돌출부가 상기 제1 각도 범위에 있을 때에, 상기 적어도 하나 이상의 걸림부가 상기 돌출부에 대한 걸림 해제 상태가 되어, 상기 제2 몸체부에 삽입되거나 상기 제2 몸체부로부터 분리되고, 상기 돌출부가 상기 결합 홀에 삽입된 상태에서 상기 제2 각도 범위에 있을 때에, 상기 적어도 하나 이상의 걸림부가 상기 돌출부에 대한 걸림 상태가 되어, 상기 제2 몸체부에 결합된다.In addition, the picker unit, at least one or more along the inner circumferential surface of the coupling hole is installed, when the projection is inserted into the coupling hole to rotate at least one or more locking portion which is in the locked state or the unlocked state with respect to the protrusion And the first body portion includes the at least one catch portion being in a state of being released from the protrusion portion when the protrusion is in the first angle range, and inserted into the second body portion or the second body portion. When the projection is in the second angle range in the state where the protrusion is inserted into the coupling hole, the at least one locking portion is engaged with the protrusion and is coupled to the second body portion.

또한, 상기 돌출부는, 외주면을 따라 길이 방향으로 형성되는 적어도 하나 이상의 걸림 해제단과, 외주면을 따라 상기 적어도 하나 이상의 걸림 해제단과 인접하여 폭 방향으로 길게 형성되는 적어도 하나 이상의 걸림단을 구비하며, 상기 적어도 하나 이상의 걸림부는, 상기 돌출부가 상기 제1 각도 범위에 있을 때에, 상기 적어도 하나 이상의 걸림 해제단과 인접하게 위치하여 걸림 해제 상태가 되고, 상기 돌출부가 상기 결합 홀에 삽입된 상태에서 상기 제2 각도 범위에 있을 때에, 상기 적어도 하나 이상의 걸림단에 걸림 상태가 된다.The protruding portion may include at least one locking end formed in a longitudinal direction along an outer circumferential surface, and at least one locking end extending in a width direction adjacent to the at least one locking release end along an outer circumferential surface. At least one locking portion is positioned adjacent to the at least one locking release end when the protrusion is in the first angle range, and becomes a latch release state, and the second angle range is in the state where the protrusion is inserted into the coupling hole. When in, the at least one engaging end is in a locked state.

또한, 상기 적어도 하나 이상의 걸림부는 각각, 상기 적어도 하나 이상의 걸림단에 걸림 상태가 되었을 때, 상기 적어도 하나 이상의 걸림단에 탄성력을 제공한다.In addition, the at least one locking portion, respectively, when the locking state is in the at least one or more locking end, provides an elastic force to the at least one or more locking end.

또한, 상기 적어도 하나 이상의 걸림부는 각각, 상기 결합 홀의 내주면을 따라 상기 결합 홀의 축과 수직한 방향을 향하도록 배치되며, 상기 적어도 하나 이상의 걸림단에 대응하는 단면 형상을 가지는 고정 핀; 및 상기 제2 몸체부의 외주면을 따라 상기 결합 홀에 연통하도록 형성된 적어도 하나 이상의 고정 홈에 설치되며, 상기 고정 핀의 양단을 지지한 상태로 상기 결합 홀의 축을 향하는 방향으로 상기 고정 핀에 탄성력을 제공하는 판 스프링(Flat spring)을 포함한다.In addition, each of the at least one locking portion, the fixing pin is disposed along the inner circumferential surface of the coupling hole in a direction perpendicular to the axis of the coupling hole, and having a cross-sectional shape corresponding to the at least one locking end; And at least one fixing groove formed to communicate with the coupling hole along the outer circumferential surface of the second body, and providing elastic force to the fixing pin in a direction toward the axis of the coupling hole while supporting both ends of the fixing pin. It includes a flat spring.

또한, 상기 고정 핀은, 양단이 상기 판 스프링에 의해 지지된 상태에서, 길이 방향을 따라 탄성력을 제공하는 핀 스프링(Pin spring)이다.In addition, the fixing pin is a pin spring that provides an elastic force along the longitudinal direction, with both ends supported by the leaf spring.

또한, 상기 제1 몸체부는, 상기 돌출부의 하단에 설치되며, 상기 돌출부가 상기 결합 홀에 삽입된 상태에서 상기 돌출부의 외주면과 상기 결합 홀의 내주면 사이의 기밀을 유지하기 위한 시일 부재를 포함한다.The first body portion may be installed at a lower end of the protrusion, and may include a seal member for maintaining airtightness between the outer circumferential surface of the protrusion and the inner circumferential surface of the coupling hole while the protrusion is inserted into the coupling hole.

상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 바람직한 실시예의한 픽커 유닛에 의하면, 픽업 샤프트의 일단에 설치되는 팍업 유닛을 픽업 샤프트에 결합되는 제1 몸체부와, 제1 몸체부에 회전 가능하게 삽입되고 회전 각도 범위에 따라 제1 몸체부에 결합되거나 분리되는 제2 몸체부로 구성함으로써, 픽커 유닛의 교체를 용이하게 하고 교체 작업 시간을 단축시켜 작업 효율성 및 생산성을 향상시킬 수 있다는 효과를 가진다.According to the picker unit according to the preferred embodiment of the present invention having the configuration as described above, the pack up unit installed at one end of the pickup shaft is rotatably inserted into the first body portion and the first body portion, By configuring the second body portion coupled to or separated from the first body portion according to the rotation angle range, the picker unit can be easily replaced and the replacement work time can be shortened to improve work efficiency and productivity.

또한, 걸림 해제단과 걸림단이 형성되고 제1 몸체부에 구비된 돌출부와, 제2 몸체부의 결합 홀에 구비된 걸림부에 의해 회전 각도 범위에 따라 제1 몸체부와 제2 결합부를 결합하거나 분리되도록 구성함으로써, 픽커 유닛의 교체를 보다 안정적이고 용이하게 수행할 수 있다는 효과를 가진다.In addition, the locking release end and the locking end is formed by the engaging portion provided in the first body portion and the engaging portion provided in the coupling hole of the second body portion coupled or separated according to the rotation angle range of the first body portion and the second coupling portion By so configured, there is an effect that replacement of the picker unit can be performed more stably and easily.

또한, 걸림부가 걸림단에 탄성력을 제공하도록 구성함으로써, 걸림부가 돌출부의 걸림단에 걸림 상태가 되었을 때 돌출부와 결합 홀을 안정적으로 결합시킬 수 있다는 효과를 가진다.In addition, by configuring the locking portion to provide an elastic force to the locking end, there is an effect that the projection and the coupling hole can be stably coupled when the locking portion is locked to the locking end of the protrusion.

도 1은 일반적인 진공 흡착 방식의 픽커 유닛이 구비된 픽앤플레이스 장치를 보인 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛의 구조를 보인 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛의 사용 상태를 보인 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛의 사용 상태를 보인 평면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛의 구체적인 구조를 보인 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛의 구체적인 구조를 보인 분해 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛를 구성하는 제1 몸체부에 형성된 돌출부의 구조를 보인 측면도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛를 구성하는 제1 몸체부에 형성된 돌출부의 구조를 보인 저면도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛를 구성하는 걸림부의 구조를 보인 분해 사시도.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛를 구성하는 걸림부의 사용 상태를 보인 도면.1 is a view showing a pick and place device equipped with a picker unit of a general vacuum adsorption method.
Figure 2 is a perspective view showing the structure of the picker unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing a state of use of the picker unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a plan view showing a state of use of the picker unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a perspective view showing a specific structure of the picker unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is an exploded perspective view showing a specific structure of the picker unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a side view showing the structure of the protrusion formed on the first body portion constituting the picker unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is a bottom view showing the structure of the protrusion formed on the first body portion constituting the picker unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 9 is an exploded perspective view showing the structure of the engaging portion constituting the picker unit according to an embodiment of the present invention.
10 is a view showing a state of use of the engaging portion constituting the picker unit according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)의 구성을 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described in detail the configuration of the picker unit 1 according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)의 구조를 보인 사시도이다.2 is a perspective view showing the structure of the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)은 제1 몸체부(100) 및 제2 몸체부(200)로 구성된다. 이러한 픽커 유닛(1)은 픽앤플레이스 장치(도 1의 10)의 구동부(도 1의 13)에 의해 직선 왕복 이동 가능한 픽업 샤프트(12)에 결합되며, 픽업 샤프트(12)에 의해 왕복 구동될 때에 진공 흡착에 의해 소자(S)를 픽업한다.As shown in FIG. 2, the picker unit 1 according to the exemplary embodiment of the present invention includes a first body part 100 and a second body part 200. This picker unit 1 is coupled to a pickup shaft 12 that can be linearly reciprocated by a drive unit (13 in FIG. 1) of the pick and place device (10 in FIG. 1), and when reciprocally driven by the pickup shaft 12. The element S is picked up by vacuum suction.

제1 몸체부(100)는 내부에 길이 방향을 따라 픽업 샤프트(12)의 진공 유로(12a)를 통해 제공되는 진공압(P)이 공급되는 제1 관통 홀(110)이 형성된다. 또한, 제1 몸체부(100)는 일단에 픽업 샤프트(12)가 결합되고, 타단에 제2 몸체부(200)의 결합 홀(220)과 결합되는 돌출부(120)가 형성된다. 이러한 제1 몸체부(100)의 구체적인 구조에 대해서는 도 5 내지 도 10을 참조하여 자세히 후술하기로 한다.The first body part 100 is provided with a first through hole 110 through which a vacuum pressure P provided through the vacuum flow passage 12a of the pickup shaft 12 is supplied along the length direction. In addition, the pickup body 12 is coupled to one end of the first body portion 100, and a protrusion 120 coupled to the coupling hole 220 of the second body portion 200 is formed at the other end thereof. A detailed structure of the first body part 100 will be described later with reference to FIGS. 5 to 10.

제2 몸체부(200)는 내부에 길이 방향을 따라 제1 관통 홀(110)과 연통하여 진공압(P)이 공급되는 제2 관통 홀(210)이 형성된다. 또한, 제2 몸체부(200)는 일단에 제1 몸체부(100)의 돌출부(120)가 회전 가능하게 삽입되는 결합 홀(220)이 형성되고, 타단에 진공압(P)에 의해 형성된 흡착력을 이용하여 소자(S)를 흡착하는 흡착 패드(230)가 구비된다. 이러한 제2 몸체부(200)의 구체적인 구조에 대해서는 도 5 내지 도 10을 참조하여 자세히 후술하기로 한다.The second body part 200 has a second through hole 210 in which the vacuum pressure P is supplied to communicate with the first through hole 110 along the longitudinal direction therein. In addition, the second body part 200 has a coupling hole 220 through which the protrusion 120 of the first body part 100 is rotatably inserted at one end thereof, and the suction force formed by the vacuum pressure P at the other end thereof. Adsorption pads 230 for adsorbing the element S by using are provided. A detailed structure of the second body part 200 will be described later with reference to FIGS. 5 to 10.

바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)을 구성하는 제1 몸체부(100)는, 돌출부(120)가 결합 홀(220)의 축을 중심으로 회전하여 제1 각도 범위에 있을 때에, 제2 몸체부(200)에 삽입되거나 제2 몸체부(200)로부터 분리되고, 돌출부(120)가 결합 홀(220)에 삽입된 상태에서 돌출부(120)가 결합 홀(220)의 축을 중심으로 회전하여 제2 각도 범위에 있을 때에, 제2 몸체부(200)에 결합되는 것을 특징으로 한다.Preferably, in the first body portion 100 constituting the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention, the protrusion 120 is rotated about the axis of the coupling hole 220 in the first angle range. When present, the protrusion 120 is inserted into the second body portion 200 or separated from the second body portion 200, and the protrusion 120 is inserted into the coupling hole 220. When rotated about an axis to be in the second angle range, it is coupled to the second body portion 200.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)의 사용 상태를 보인 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)의 사용 상태를 보인 평면도이다.3 is a perspective view showing a state of use of the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a plan view showing a state of use of the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4의 (a)에서는 제1 몸체부(100)가 제2 몸체부(200)에 삽입되거나 제2 몸체부(200)로부터 분리될 때의 모습을 나타내고, 도 3 및 도 4의 (b)에서는 제1 몸체부(100)가 제2 몸체부(200)에 결합된 모습을 나타낸다.3 and 4 (a) shows the state when the first body portion 100 is inserted into the second body portion 200 or separated from the second body portion 200, and of FIG. 3 and FIG. In (b) shows the first body portion 100 is coupled to the second body portion 200.

설명의 편의상, 도 3 및 도 4에서는 제1 몸체부(100)의 돌출부(120)가 제2 몸체부(200)의 결합 홀(220)을 중심으로 회전한 정도를 돌출부(120)의 외주면에 형성된 평면(M)(후술할 도 5의 걸림 해제단(121))이 향하는 방향(A)을 기준으로 설명하기로 한다.For convenience of description, in FIG. 3 and FIG. 4, the degree of rotation of the protrusion 120 of the first body part 100 about the coupling hole 220 of the second body part 200 is adjusted to the outer circumferential surface of the protrusion 120. It will be described with reference to the direction (A) facing the formed plane (M) (disengagement end 121 of Figure 5 to be described later).

먼저, 도 3 및 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 돌출부(120)가 결합 홀(220)의 축을 중심으로 회전하여 제1 각도 범위에 있을 때, 예를 들어, 돌출부(120)의 외주면에 형성된 평면(M)이 향하는 방향(A)이 기준 위치인 +X 방향(0 도)일 때에는, 제1 몸체부(100)는 제2 몸체부(200)에 삽입되거나 제2 몸체부(200)로부터 분리된다.First, as shown in FIGS. 3 and 4 (a), when the protrusion 120 rotates about the axis of the coupling hole 220 to be in the first angle range, for example, When the direction A toward which the plane M formed on the outer circumferential surface faces is the + X direction (0 degrees), which is a reference position, the first body part 100 is inserted into the second body part 200 or the second body part ( 200).

반면에, 도 3 및 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 돌출부(120)가 결합 홀(220)에 삽입된 상태에서 돌출부(120)가 결합 홀(220)의 축을 중심으로 시계 방향으로 약 90 도 회전하여 제2 각도 범위에 있을 때, 예를 들어, 돌출부(120)의 외주면에 형성된 평면(M)이 향하는 방향(A)이 -Y 방향(-90도)일 때에는, 제1 몸체부(100)는 제2 몸체부(200)에 결합된다.On the other hand, as shown in (b) of Fig. 3 and 4, the projection 120 is clockwise around the axis of the coupling hole 220 with the protrusion 120 is inserted into the coupling hole 220. The first body when rotated about 90 degrees in the second angle range, for example, when the direction A toward which the plane M formed on the outer circumferential surface of the protrusion 120 faces is -Y direction (-90 degrees) The part 100 is coupled to the second body part 200.

한편, 도 3 및 도 4에서는 돌출부(120)가 결합 홀(220)의 축을 중심으로 제1 각도 범위와 제2 각도 범위가 각각 특정 각도(+X 또는 -Y 방향)에 있을 때에 제1 몸체부(100)가 제2 몸체부(200)에 삽입/분리되거나 결합되는 예를 들고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 제1 각도 범위와 제2 각도 범위는 각각 연속적이거나 불연속적인 범위를 가질 수도 있다.Meanwhile, in FIGS. 3 and 4, when the protrusion 120 has a first angle range and a second angle range around the axis of the coupling hole 220, respectively, at a specific angle (+ X or -Y direction), the first body portion Although the example 100 is inserted / removed or coupled to the second body portion 200 is not limited thereto, the first angle range and the second angle range may each have a continuous or discontinuous range.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)은, 픽업 샤프트(12)의 일단에 설치되는 픽커 유닛(1)을 픽업 샤프트(12)에 결합되는 제1 몸체부(100)와, 제1 몸체부(100)에 회전 가능하게 삽입되고 회전 각도 범위에 따라 제1 몸체부(100)에 결합되거나 분리되는 제2 몸체부(200)로 구성함으로써, 픽커 유닛(1)의 교체를 용이하게 하고 교체 작업 시간을 단축시켜 작업 효율성 및 생산성을 향상시킬 수 있다.As such, the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention may include a first body part 100 coupled to the pickup shaft 12 by the picker unit 1 installed at one end of the pickup shaft 12. The second body portion 200 is rotatably inserted into the first body portion 100 and coupled to or separated from the first body portion 100 according to the rotation angle range, thereby replacing the picker unit 1. This improves work efficiency and productivity by facilitating and shortening the replacement time.

이하, 도 5 내지 도 10을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)의 구조를 자세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the structure of the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 5 to 10.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)의 구체적인 구조를 보인 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)의 구체적인 구조를 보인 분해 사시도이다.5 is a perspective view showing a specific structure of the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is an exploded perspective view showing a specific structure of the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)은 제1 몸체부(100) 및 제2 몸체부(200)로 구성되며, 제1 몸체부(100)는 돌출부(120)가 결합 홀(220)의 축을 중심으로 회전한 각도에 따라 제2 몸체부(200)에 삽입/분리되거나 결합된다.As described above, the picker unit 1 according to the exemplary embodiment of the present invention includes a first body part 100 and a second body part 200, and the first body part 100 is a protrusion 120. Is inserted / separated or coupled to the second body part 200 according to the angle rotated about the axis of the coupling hole 220.

제1 몸체부(100)는 전체적으로 원통 형상을 가지고, 내부에 길이 방향을 따라 제1 관통 홀(110)이 형성되며, 일단에 픽업 샤프트(12)가 결합되는 결합 홈(130)이 형성되고, 타단에 제2 몸체부(200)의 결합 홀(220)과 결합되는 돌출부(120)가 형성된다.The first body portion 100 has a cylindrical shape as a whole, the first through-hole 110 is formed in the longitudinal direction therein, the coupling groove 130 to which the pickup shaft 12 is coupled to one end is formed, At the other end, a protrusion 120 coupled with the coupling hole 220 of the second body 200 is formed.

비록 자세히 도시되지는 않았으나, 제1 몸체부(100)는 일단에 형성된 결합 홈(130)을 통해 픽업 샤프트(12)에 탈부착 가능하도록 결합된다. 또한, 제1 몸체부(100)는 돌출부(120)의 하단에 형성된 홈(123)에 설치되며, 돌출부(120)가 결합 홀(220)에 삽입된 상태에서 돌출부(120)의 외주면과 결합 홀(220)의 내주면 사이의 기밀을 유지하기 위한 오링(O-ring) 형태의 시일 부재(140)를 포함한다.Although not shown in detail, the first body part 100 is detachably coupled to the pickup shaft 12 through the coupling groove 130 formed at one end thereof. In addition, the first body part 100 is installed in the groove 123 formed at the lower end of the protrusion part 120, and the outer peripheral surface and the coupling hole of the protrusion part 120 in a state where the protrusion part 120 is inserted into the coupling hole 220. O-ring-shaped seal member 140 to maintain the airtight between the inner circumferential surface of the 220.

제2 몸체부(200)는 전체적으로 제1 몸체부(100)와 대응되는 원통 형상을 가지고, 내부에 길이 방향을 따라 제2 관통 홀(210)이 형성되며, 일단에 제1 몸체부(100)의 돌출부(120)가 회전 가능하게 삽입되는 결합 홀(220)이 형성된다. 또한, 제2 몸체부(200)는 타단에 제3 관통 홀(131)을 통해 제공되는 진공압(P)에 의해 소자(S)를 흡착하는 흡착 패드(230)가 탈부착 가능하게 결합된다.The second body portion 200 has a cylindrical shape corresponding to the first body portion 100 as a whole, the second through hole 210 is formed in the longitudinal direction therein, the first body portion 100 at one end The protrusion 120 of the coupling hole 220 is rotatably inserted. In addition, the second body part 200 is detachably coupled to the adsorption pad 230 that adsorbs the element S by the vacuum pressure P provided at the other end through the third through hole 131.

또한, 제2 몸체부(200)는 외주면을 따라 결합 홀(220)에 연통하도록 적어도 하나 이상의 고정 홈(240)이 형성된다. 후술하겠지만, 고정 홈(240)은 걸림부(300)가 고정 결합되며, 걸림부(300)의 개수와 동일한 개수만큼 형성된다.In addition, the second body portion 200 is formed with at least one fixing groove 240 to communicate with the coupling hole 220 along the outer circumferential surface. As will be described later, the fixing groove 240 is fixed to the engaging portion 300, is formed by the same number as the number of the locking portion (300).

바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)은, 돌출부(120)가 결합 홀(220)에 삽입되어 회전할 때에 돌출부(120)에 결합되거나 분리되는 적어도 하나 이상의 걸림부(300)를 포함한다.Preferably, the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention may include at least one hook portion that is coupled to or separated from the protrusion 120 when the protrusion 120 is inserted into the coupling hole 220 and rotates. 300).

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 걸림부(300)는 제2 몸체부(200)에 형성된 결합 홀(220)의 내주면을 따라 적어도 하나 이상이 설치된다. 즉, 걸림부(300)는 결합 홀(220)에 연통하도록 제2 몸체부(200)의 외주면을 따라 형성된 고정 홈(240)에 설치되며, 결합 홀(220)의 내주면으로부터 돌출부(120)를 향해 일부가 노출되어 돌출부(120)가 결합 홀(220)에 삽입되어 회전할 때에 돌출부(120)에 대한 걸림 상태가 되거나 걸림 해제 상태가 된다.5 and 6, at least one locking portion 300 is installed along the inner circumferential surface of the coupling hole 220 formed in the second body portion 200. That is, the locking portion 300 is installed in the fixing groove 240 formed along the outer circumferential surface of the second body portion 200 so as to communicate with the coupling hole 220, the projection 120 from the inner circumferential surface of the coupling hole 220 A part is exposed toward the protrusion 120 when the protrusion 120 is inserted into the coupling hole 220 and rotates to become a locked state or a released state of the protrusion 120.

따라서, 돌출부(120)가 제1 각도 범위에 있을 때에, 걸림부(300)는 돌출부(120)에 대한 걸림 해제 상태가 되어 제1 몸체부(100)가 제2 몸체부(200)에 삽입되거나 제2 몸체부(200)로부터 분리되도록 한다. 또한, 돌출부(120)가 결합 홀(220)에 삽입된 상태에서 제2 각도 범위에 있을 때에, 걸림부(300)는 돌출부(120)에 대한 걸림 상태가 되어 제1 몸체부(100)가 제2 몸체부(200)에 결합되도록 한다.Therefore, when the protrusion 120 is in the first angle range, the locking portion 300 is in a state of being released from the protrusion 120 so that the first body portion 100 is inserted into the second body portion 200, or It is to be separated from the second body portion 200. In addition, when the protrusion 120 is in the second angle range in a state where the protrusion 120 is inserted into the coupling hole 220, the catching part 300 is in a state of being caught by the protrusion 120, and thus the first body part 100 is removed. 2 to be coupled to the body portion 200.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)를 구성하는 제1 몸체부(100)에 형성된 돌출부(120)의 구조를 보인 측면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)를 구성하는 제1 몸체부(100)에 형성된 돌출부(120)의 구조를 보인 저면도이다.7 is a side view showing the structure of the protrusion 120 formed in the first body portion 100 constituting the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention, Figure 8 is according to an embodiment of the present invention The bottom view showing the structure of the protrusion 120 formed in the first body portion 100 constituting the picker unit (1).

도 7의 (a)에서는 도 6에 도시된 제1 몸체부(100)를 +Y 방향으로 바라본 모습을 나타내고, 도 7의 (b)에서는 도 6에 도시된 제1 몸체부(100)를 -X 방향으로 바라본 모습을 나타내며, 도 8의 (a)에서는 도 7의 (a)에 도시된 제1 몸체부(100)를 도 6의 +Z 방향으로 바라본 모습을 나타내고, 도 8의 (b)에서는 도 7의 (b)에 도시된 제1 몸체부(100)를 도 6의 +Z 방향으로 바라본 모습을 나타낸다.In FIG. 7A, the first body part 100 illustrated in FIG. 6 is viewed in a + Y direction, and in FIG. 7B, the first body portion 100 illustrated in FIG. FIG. 8A illustrates the first body portion 100 illustrated in FIG. 7A as viewed in the + Z direction of FIG. 6, and FIG. 8B. In FIG. 7B, the first body part 100 illustrated in FIG. 7B is viewed in the + Z direction of FIG. 6.

도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 몸체부(100)의 타단(도 7의 하단)에 형성된 돌출부(120)는 걸림부(300)에 대한 걸림 해제 상태 또는 걸림 상태가 되도록 적어도 하나 이상의 걸림 해제단(121)과 적어도 하나 이상의 걸림단(122)을 구비할 수 있다.As shown in FIGS. 7 and 8, at least one protrusion 120 formed at the other end of the first body part 100 (the lower end of FIG. 7) may be in a release state or a locked state with respect to the catching part 300. The locking release end 121 and at least one locking end 122 may be provided.

도 7 및 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 돌출부(120)의 걸림 해제단(121)은 돌출부(120)의 외주면을 따라 돌출부(120)의 길이 방향으로 돌출부(120)의 끝단까지 형성되므로, 돌출부(120)가 제1 각도 범위(예를 들어, 도 3의 (a)에서의 회전 각도)에 있을 때에, 걸림부(300)는 걸림 해제단(121)과 인접하게 위치하여 걸림 해제단(121)에 의해 돌출부(120)에 대한 걸림 해제 상태가 되므로, 제1 몸체부(100)가 제2 몸체부(200)에 삽입되거나 제2 몸체부(200)로부터 분리될 수 있도록 한다.As shown in FIG. 7 and FIG. 8A, the locking release end 121 of the protrusion 120 extends along the outer circumferential surface of the protrusion 120 to the end of the protrusion 120 in the longitudinal direction of the protrusion 120. Therefore, when the protrusion 120 is in the first angle range (for example, the rotation angle in FIG. 3A), the locking portion 300 is positioned adjacent to the locking release end 121 and locked. Since the release end 121 is in a state of releasing the protrusion 120, the first body part 100 may be inserted into or separated from the second body part 200. .

도 7 및 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이, 돌출부(120)의 걸림단(122)은 돌출부(120)의 외주면을 따라 걸림 해제단(121)과 인접하여 돌출부(120)의 폭 방향으로 길게 형성되므로, 돌출부(120)가 결합 홀(220)에 삽입된 상태에서 제2 각도 범위(예를 들어, 도 3의 (b)에서의 회전 각도)에 있을 때에, 걸림부(300)는 걸림단(122)에 의해 돌출부(120)에 대한 걸림 상태가 되어 제1 몸체부(100)가 제2 몸체부(200)에 결합될 수 있도록 한다.As shown in FIG. 7 and FIG. 8B, the locking end 122 of the protrusion 120 is adjacent to the locking release end 121 along the outer circumferential surface of the protrusion 120 and is in the width direction of the protrusion 120. Since the protrusion 120 is in the second angle range (for example, the rotation angle in FIG. 3B) in the state where the protrusion 120 is inserted into the coupling hole 220, the locking part 300 is The locking end 122 is locked to the protrusion 120 so that the first body 100 may be coupled to the second body 200.

한편, 도 5 내지 도 7에서는 픽커 유닛(1)이 제2 몸체부(200)의 외주면을 따라 180 도 간격으로 한 쌍의 걸림부(300)가 구비되고, 이에 따라 고정 홈(240), 걸림 해제단(121) 및 걸림단(122)이 각각 한 쌍이 형성된 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 걸림부(300)의 개수 및 배치 형태는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.Meanwhile, in FIGS. 5 to 7, the picker unit 1 is provided with a pair of locking portions 300 at intervals of 180 degrees along the outer circumferential surface of the second body portion 200. Although the release end 121 and the engaging end 122 is shown an example in which a pair is formed respectively, this is an example, the number and arrangement of the locking portion 300 can be changed by any person skilled in the art.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)은, 걸림 해제단(121)과 걸림단(122)이 형성되고 제1 몸체부(100)에 구비된 돌출부(120)와, 제2 몸체부(200)의 결합 홀(220)에 구비된 걸림부(300)에 의해 회전 각도 범위에 따라 제1 몸체부(100)와 제2 결합부를 결합하거나 분리되도록 구성함으로써, 픽커 유닛(1)의 교체를 보다 안정적이고 용이하게 수행할 수 있다.As described above, the picker unit 1 according to the exemplary embodiment of the present invention includes a protrusion 120 which is formed on the first body part 100 and includes a locking release end 121 and a locking end 122. The picker unit 1 is configured by engaging or separating the first body part 100 and the second coupling part according to the rotation angle range by the locking part 300 provided in the coupling hole 220 of the body part 200. ) Can be performed more stably and easily.

한편, 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)을 구성하는 걸림부(300)는 돌출부(120)에 형성된 걸림단(122)에 걸림 상태가 되었을 때, 걸림단(122)에 탄성력을 제공하도록 구성되는 것이 바람직하다.On the other hand, when the locking portion 300 constituting the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention is in the state of being locked to the locking end 122 formed on the protrusion 120, the elastic force is applied to the locking end 122. It is preferably configured to provide.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)를 구성하는 걸림부(300)의 구조를 보인 분해 사시도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)를 구성하는 걸림부(300)의 사용 상태를 보인 도면이다.9 is an exploded perspective view showing the structure of the catching part 300 constituting the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention, Figure 10 is a configuration of the picker unit 1 according to an embodiment of the present invention Figure is a view showing a state of use of the locking portion 300.

도 10의 (a)에서는 걸림부(300)가 돌출부(120)에 형성된 걸림단(122)에 의해 돌출부(120)에 대한 걸림 상태가 되었을 때의 측면 모습을 나타내고, 도 10의 (b)에서는 걸림부(300)가 돌출부(120)에 형성된 걸림단(122)에 의해 돌출부(120)에 대한 걸림 상태가 되었을 때의 저면 모습을 나타낸다.FIG. 10A illustrates a side view when the locking portion 300 is in a locking state with respect to the protrusion 120 by the locking end 122 formed on the protrusion 120. In FIG. When the locking portion 300 is in the locked state to the protrusion 120 by the locking end 122 formed on the protrusion 120, the bottom surface.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 걸림부(300)는 크게 고정 핀(310)과 판 스프링(Flat spring)(320)으로 구성된다.As shown in FIGS. 9 and 10, the locking part 300 is largely composed of a fixing pin 310 and a flat spring 320.

고정 핀(310)은 제2 몸체부(200)에 형성된 결합 홀(220)의 내주면을 따라 결합 홀(220)의 축과 수직한 방향을 향하도록 배치되며, 걸림단(122)에 대응하는 단면 형상을 가진다. 또한, 판 스프링(320)은 제2 몸체부(200)의 외주면을 따라 결합 홀(220)에 연통하도록 형성된 적어도 하나 이상의 고정 홈(240)에 설치되며, 고정 핀(310)의 양단을 지지한 상태로 결합 홀(220)의 축을 향하는 방향으로 고정 핀(310)에 탄성력을 제공한다.The fixing pin 310 is disposed to face in a direction perpendicular to the axis of the coupling hole 220 along the inner circumferential surface of the coupling hole 220 formed in the second body 200, and has a cross section corresponding to the locking end 122. It has a shape. In addition, the leaf spring 320 is installed in at least one fixing groove 240 formed to communicate with the coupling hole 220 along the outer circumferential surface of the second body portion 200, and supports both ends of the fixing pin 310 The elastic force is provided to the fixing pin 310 in the direction toward the axis of the coupling hole 220 in a state.

바람직하게는, 도 10에 도시된 바와 같이, 걸림부(300)는 돌출부(120)를 중심으로 서로 대향하도록 한 쌍이 구비될 수 있으며, 이 경우, 돌출부(120)는 결합 홀(220)에 안정적으로 결합될 뿐 아니라, 돌출부(120)는 결합 홀(220)에 삽입된 상태에서 돌출부(120)의 중심과 결합 홀(220)의 중심을 용이하게 맞출 수 있다는 장점이 있다.Preferably, as shown in Figure 10, the engaging portion 300 may be provided with a pair to face each other with respect to the protrusion 120, in this case, the protrusion 120 is stable in the coupling hole 220 In addition to being coupled to each other, the protrusion 120 has an advantage that the center of the protrusion 120 and the center of the coupling hole 220 can be easily fitted in the state inserted into the coupling hole 220.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 픽커 유닛(1)은, 걸림부(300)가 걸림단(122)에 탄성력을 제공하도록 구성함으로써, 걸림부(300)가 돌출부(120)의 걸림단(122)에 걸림 상태가 되었을 때 돌출부(120)와 결합 홀(220)을 안정적으로 결합시킬 수 있다.As such, the picker unit 1 according to the exemplary embodiment of the present invention is configured such that the locking portion 300 provides the elastic force to the locking end 122, such that the locking portion 300 stops the protrusion 120. When the latched state is 122, the protrusion 120 and the coupling hole 220 may be stably coupled.

한편, 고정 핀(310)은 양단이 판 스프링(320)에 의해 지지된 상태에서, 길이 방향을 따라 탄성력을 제공하는 핀 스프링(Pin spring)을 사용하는 것이 바람직하다. 이 경우, 걸림부(300)는 돌출부(120)에 형성된 걸림단(122)에 걸림 상태가 되었을 때, 고정 핀(310) 및 판 스프링(320)의 탄성력에 의해 걸림단(122)에 보다 안정적인 탄성력을 제공할 수 있다는 장점이 있다.On the other hand, the fixing pin 310, in a state in which both ends are supported by the leaf spring 320, it is preferable to use a pin spring (Pin spring) to provide an elastic force along the longitudinal direction. In this case, the locking portion 300 is more stable to the locking end 122 by the elastic force of the fixing pin 310 and the leaf spring 320 when the locking state is in the locking state 122 formed on the protrusion 120. The advantage is that it can provide elasticity.

한편, 도 9 및 도 10에서는 걸림부(300)는 고정 핀(310)과 판 스프링(320)으로 구성된 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 돌출부(120)의 걸림단(122)에 결합되었을 때에 돌출부(120)에 탄성력을 제공하는 구조라면 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.Meanwhile, in FIGS. 9 and 10, the locking part 300 is shown as an example consisting of the fixing pin 310 and the leaf spring 320, but as an example, the locking part 300 is coupled to the locking end 122 of the protrusion 120. If it is a structure that provides an elastic force to the protrusions 120 can be changed by any person skilled in the art.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible in the art without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 픽커 유닛
100: 제1 몸체부 110: 제1 관통 홀
120: 돌출부 130: 결합 홈
140: 시일 부재 200: 제2 몸체부
210: 제2 관통 홀 220: 결합 홀
230: 흡착 패드 240: 고정 홈
300: 걸림부 310: 고정 핀
320: 판 스프링<Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
1: picker unit
100: first body portion 110: first through hole
120: protrusion 130: coupling groove
140: seal member 200: second body portion
210: second through hole 220: coupling hole
230: adsorption pad 240: fixing groove
300: engaging portion 310: fixing pin
320: leaf spring

Claims (7)

직선 왕복 이동 가능한 픽업 샤프트에 결합되며, 상기 픽업 샤프트에 의해 왕복 구동될 때에 진공 흡착에 의해 소자를 픽업하는 픽커 유닛에 있어서,
일단에 픽업 샤프트가 결합되고, 내부에 상기 픽업 샤프트를 통해 제공되는 진공압이 공급되는 제1 관통 홀이 형성되며, 타단에 외주면을 따라 길이 방향으로 끝단까지 형성되는 적어도 하나 이상의 걸림 해제단과, 외주면을 따라 상기 적어도 하나 이상의 걸림 해제단과 인접하여 폭 방향으로 길게 형성되는 적어도 하나 이상의 걸림단을 구비된 돌출부가 형성된 제1 몸체부;
일단에 상기 돌출부가 회전 가능하게 삽입되는 결합 홀이 형성되고, 내부에 상기 진공압이 공급되는 제2 관통 홀이 형성되며, 타단은 상기 진공압에 의해 형성된 흡착력을 이용하여 소자를 흡착하는 제2 몸체부; 및
상기 결합 홀의 내주면을 따라 적어도 하나 이상이 설치되며, 상기 돌출부가 상기 결합 홀에 삽입되어 회전할 때에 상기 돌출부에 대한 걸림 상태 또는 걸림 해제 상태가 되는 적어도 하나 이상의 걸림부를 포함하며,
상기 제1 몸체부는,
상기 돌출부가 제1 각도 범위에 있을 때에, 상기 적어도 하나 이상의 걸림부가 상기 적어도 하나 이상의 걸림 해제단과 인접하게 위치하여 걸림 해제 상태가 되어, 상기 제2 몸체부에 삽입되거나 상기 제2 몸체부로부터 분리되고,
상기 돌출부가 상기 결합 홀에 삽입된 상태에서 제2 각도 범위에 있을 때에, 상기 적어도 하나 이상의 걸림부가 상기 적어도 하나 이상의 걸림단에 걸림 상태가 되어, 상기 제2 몸체부에 결합되는 픽커 유닛.A picker unit coupled to a pickup shaft capable of linear reciprocation and picking up elements by vacuum suction when reciprocally driven by the pickup shaft,
One end of the pick-up shaft is coupled, the first through-hole is provided with a vacuum pressure provided through the pickup shaft therein, at least one engaging release end is formed to the other end in the longitudinal direction along the outer peripheral surface, and the outer peripheral surface A first body part having a protrusion having at least one locking end extending in a width direction adjacent to the at least one locking release end;
A coupling hole in which the protrusion is rotatably inserted is formed at one end thereof, and a second through hole through which the vacuum pressure is supplied is formed therein, and the other end of the second hole adsorbs the element using the suction force formed by the vacuum pressure. Body portion; And
At least one or more is installed along the inner circumferential surface of the coupling hole, and includes at least one locking portion which is in a locked state or released state to the protrusion when the protrusion is inserted into the coupling hole to rotate,
The first body portion,
When the protruding portion is in the first angle range, the at least one catching portion is positioned adjacent to the at least one catching release end to become a catch release state and is inserted into or separated from the second body portion. ,
And the at least one locking portion is locked to the at least one locking end when the protrusion is in the second angle range while being inserted into the coupling hole, and is coupled to the second body portion. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 걸림부는 각각,
상기 적어도 하나 이상의 걸림단에 걸림 상태가 되었을 때, 상기 적어도 하나 이상의 걸림단에 탄성력을 제공하는 픽커 유닛.The method of claim 1,
Each of the at least one locking portion,
And a picker unit that provides an elastic force to the at least one locking end when the locking state is brought into contact with the at least one locking end. 제 4 항에 있어서,
상기 적어도 하나 이상의 걸림부는 각각,
상기 결합 홀의 내주면을 따라 상기 결합 홀의 축과 수직한 방향을 향하도록 배치되며, 상기 적어도 하나 이상의 걸림단에 대응하는 단면 형상을 가지는 고정 핀; 및
상기 제2 몸체부의 외주면을 따라 상기 결합 홀에 연통하도록 형성된 적어도 하나 이상의 고정 홈에 설치되며, 상기 고정 핀의 양단을 지지한 상태로 상기 결합 홀의 축을 향하는 방향으로 상기 고정 핀에 탄성력을 제공하는 판 스프링(Flat spring)을 포함하는 픽커 유닛.The method of claim 4, wherein
Each of the at least one locking portion,
A fixing pin disposed in a direction perpendicular to an axis of the coupling hole along an inner circumferential surface of the coupling hole and having a cross-sectional shape corresponding to the at least one locking end; And
A plate is provided in at least one fixing groove formed to communicate with the coupling hole along the outer circumferential surface of the second body portion, and provides an elastic force to the fixing pin in a direction toward the axis of the coupling hole while supporting both ends of the fixing pin. Picker unit including a flat spring. 제 5 항에 있어서,
상기 고정 핀은,
양단이 상기 판 스프링에 의해 지지된 상태에서, 길이 방향을 따라 탄성력을 제공하는 핀 스프링(Pin spring)인 픽커 유닛.The method of claim 5,
The fixing pin is
A picker unit, which is a pin spring that provides an elastic force along a longitudinal direction, with both ends supported by the leaf spring. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 몸체부는,
상기 돌출부의 하단에 설치되며, 상기 돌출부가 상기 결합 홀에 삽입된 상태에서 상기 돌출부의 외주면과 상기 결합 홀의 내주면 사이의 기밀을 유지하기 위한 시일 부재를 포함하는 픽커 유닛.The method of claim 1,
The first body portion,
And a seal member installed at a lower end of the protrusion, the seal member configured to maintain an airtightness between an outer circumferential surface of the protrusion and an inner circumferential surface of the coupling hole in a state where the protrusion is inserted into the coupling hole.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100807106B1 (en) * 2006-12-12 2008-02-26 주식회사 프로텍 Pick-up cylinder in one piece simultaneously having up-down and rotation drive
JP2014090000A (en) 2012-10-29 2014-05-15 Panasonic Corp Electronic component mounting apparatus and nozzle recognition metho in electronic component mounting apparatus
JP2014090044A (en) * 2012-10-30 2014-05-15 Nisshinbo Mechatronics Inc Method for replacing suction nozzle for component suction
KR101638996B1 (en) 2016-01-14 2016-07-13 제너셈(주) The moving apparatus of semiconductor package

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101422350B1 (en) * 2012-10-31 2014-07-23 세메스 주식회사 Method of mounting a collet to a pickup head
KR101422356B1 (en) * 2012-11-23 2014-07-23 세메스 주식회사 Die pickup unit and die bonder including the same
JP6391378B2 (en) * 2014-09-10 2018-09-19 ファスフォードテクノロジ株式会社 Die bonder and bonding method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100807106B1 (en) * 2006-12-12 2008-02-26 주식회사 프로텍 Pick-up cylinder in one piece simultaneously having up-down and rotation drive
JP2014090000A (en) 2012-10-29 2014-05-15 Panasonic Corp Electronic component mounting apparatus and nozzle recognition metho in electronic component mounting apparatus
JP2014090044A (en) * 2012-10-30 2014-05-15 Nisshinbo Mechatronics Inc Method for replacing suction nozzle for component suction
KR101638996B1 (en) 2016-01-14 2016-07-13 제너셈(주) The moving apparatus of semiconductor package

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