KR101717463B1

KR101717463B1 - Profiling device

Info

Publication number: KR101717463B1
Application number: KR1020140193361A
Authority: KR
Inventors: 히데카즈 이토
Original assignee: 시케이디 가부시키가이샤
Priority date: 2014-09-01
Filing date: 2014-12-30
Publication date: 2017-03-17
Also published as: JP2016051857A; TWI598205B; CN105364634A; KR20160026617A; JP6385760B2; TW201609339A; CN105364634B

Abstract

부상 하중 및 유지력의 저하와 열에 의한 열화(劣化)를 억제하면서 소형화할 수 있는 모방 장치를 제공한다. 모방 장치의 장치 기대(11)를 구성하는 고정 블록(12)은, 축방향으로부터의 평면시(平面視)에서, 장변 및 단변을 갖는 직사각형 형상이다. 오목 형상 구면(13a)은, 고정 블록(12)의 중앙을 중심으로 하고, 또한 고정 블록(12)의 단변보다 긴 직선(M)을 직경으로 한 가상원(C)을 고정 블록(12)에 투영했을 때, 고정 블록(12)에서 가상원(C)으로 둘러싸인 영역에 형성되어 있다.Provided is an imitation apparatus capable of downsizing while suppressing deterioration of a floating load and holding force and heat. The fixing block 12 constituting the apparatus base 11 of the imitation apparatus has a rectangular shape having a long side and a short side when viewed from the axial direction (in plan view). The concave spherical surface 13a has an imaginary circle C whose center is the center of the fixed block 12 and whose straight line M is longer than the short side of the fixed block 12, And is formed in the region surrounded by the imaginary circle C in the fixed block 12 when projected.

Description

PROFILING DEVICE

본 발명은, 모방 부재와 일체화되어 있는 맞닿음면(當接面)을, 대상물의 특정면에 대해서 평행하게 되도록 모방하게 하는 모방 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an imitation apparatus that imitates an abutting surface integrated with an imitation member so as to be parallel to a specific surface of an object.

모방 장치는, 오목 형상 반구면(半球面)을 갖는 장치 기대(基臺)와, 볼록 형상 반구면을 갖는 모방 부재를 구비하고 있다(예를 들면, 일본국 특개2002-359263호 공보 참조). 장치 기대의 오목 형상 반구면과 모방 부재의 볼록 형상 반구면은 동일한 곡률 반경으로 설정되어 있다. 모방 부재는, 양 반구면이 겹쳐지도록 장치 기대에 어셈블링되어 있다. 모방 부재는, 오목 형상 반구면으로부터 분출되는 에어에 의해 오목 형상 반구면으로부터 부상(浮上)하고, 오목 형상 반구면을 따라 요동한다.The imitation apparatus includes an apparatus base having a concave hemispherical surface and an imitation member having a convex hemispherical surface (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-359263). The concave hemispherical surface of the device base and the convex hemispherical surface of the imitation member are set to have the same radius of curvature. The imitation member is assembled to the device base so that both hemispheres overlap. The imitation member floats from the concave hemisphere surface by the air ejected from the concave hemisphere surface, and oscillates along the concave hemisphere surface.

이러한 종류의 모방 장치에서는, 워크의 특정면에 대해서 모방 부재의 맞닿음면을 대면, 워크의 특정면을 따라 모방 부재가 요동하고, 그 맞닿음면은 워크의 특정면과 평행하게 된다. 즉, 모방 부재가 워크에 대해서 모방(profiling)하게 된다. 이어서, 장치 기대의 오목 형상 반구면과 모방 부재의 볼록 형상 반구면 사이에 부압에 의한 흡인력을 발생시켜, 장치 기대에 모방 부재를 흡착시킨다. 이 흡착에 의해 모방 부재를 로킹(locking)함으로써, 그 모방 상태가 유지된다.In this type of imitation apparatus, the imitation member swings along a specific surface of the work when the abutment surface of the imitation member faces the specific surface of the work, and the abutment surface becomes parallel to the specific surface of the work. That is, the imitation member is made to be profiling with respect to the work. Subsequently, a suction force is generated between the concave hemispherical surface of the device base and the convex hemisphere of the imitation member by a negative pressure to attract the imitation member to the device base. By locking the imitation member by this attraction, the imitation state is maintained.

일본국 특개2002-359263호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-359263

모방 부재를 모방하게 하는 워크의 소형화 등의 이유에서, 모방 장치의 소형화가 요구되고 있다. 모방 장치를 소형화하면, 장치 기대의 오목 형상 반구면과 모방 부재의 볼록 형상 반구면의 유효 면적도 작아진다. 그 결과, 에어를 분출시켜 모방 부재를 부상시키는 힘(부상 하중) 및 에어를 흡인하여 모방 부재를 유지하는 힘(유지력)도 작아지게 된다. 또한, 모방 장치에서는, 모방 부재에 가열 장치를 장착하고, 그 가열 장치를 모방 부재의 일부로서 사용하는 경우가 있다. 이 경우, 모방 장치를 소형화해서, 오목 형상 반구면과 볼록 형상 반구면의 유효 면적을 작게 하면, 가열 장치로부터 전달되는 열이 모방 부재로부터 충분히 방산(放散)되지 않아, 모방 장치에 내장된 부재(예를 들면, 흡착용 마그네트나 에어 시일용 패킹)가, 열에 의해 열화(劣化)될 우려가 있다. There has been a demand for miniaturization of the mimic device for the reasons such as miniaturization of the workpiece imitating the mimic element. When the mimic device is miniaturized, the effective area of the concave hemispherical surface of the device base and the convex hemisphere of the mimic member is also reduced. As a result, the force (floating load) for blowing the air to float the imitation member and the force (holding force) for holding the imitation member by sucking the air are also reduced. Further, in the imitation apparatus, there is a case where a heating apparatus is mounted on the imitation member and the heating apparatus is used as a part of the imitation member. In this case, when the mimic device is downsized and the effective area of the concave hemispherical surface and the convex hemispherical surface is reduced, the heat transmitted from the heating device is not sufficiently dissipated from the imitation member, For example, the adsorption magnet or the air seal packing) may be deteriorated by heat.

본 발명은, 전술한 사정을 감안해서 이루어진 것이며, 그 목적은, 부상 하중 및 유지력의 저하와, 열에 의한 열화를 억제하면서 소형화할 수 있는 모방 장치를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide an imitation apparatus capable of downsizing while suppressing deterioration in floating load and holding force and deterioration due to heat.

상기 문제점을 해결하기 위한 모방 장치는, 볼록 형상 구면을 갖는 모방 부재와, 상기 볼록 형상 구면을 수용(受容)하는 오목 형상 구면을 갖는 장치 기대를 갖고, 상기 모방 부재는, 에어의 압력을 받음으로써 상기 장치 기대로부터 부상 가능하며, 상기 모방 부재를 상기 오목 형상 구면을 따라 요동시키면서, 상기 모방 부재와 일체화되어 있는 맞닿음면을 대상물에 맞닿게 하고, 상기 맞닿음면을 대상물의 특정면에 대해서 평행하게 되도록 모방하게 한다. 상기 장치 기대와 상기 모방 부재가 적층된 방향을 모방 장치의 축방향으로 하면, 상기 축방향으로부터의 평면시(平面視)에서, 상기 장치 기대는 장변 및 단변을 갖는 직사각형 형상이다. 상기 장치 기대의 중앙을 중심으로 하고, 또한 상기 장치 기대의 단변보다 긴 직경을 갖는 원을 상기 장치 기대에 상기 축방향으로부터 투영했을 때, 상기 원으로 둘러싸인 상기 장치 기대의 영역에 상기 오목 형상 구면이 형성되어 있다.An imitation apparatus for solving the above-described problem has an imitation member having a convex spherical surface and a device base having a concave spherical surface for receiving the convex spherical surface, And a contact surface that is flushable from the apparatus base and swings along the concave spherical surface while abutting the abutment surface integrated with the imitation member to the object, and the abutment surface is parallel to the specific surface of the object . When the device base and the imitation member are stacked in the axial direction of the mimic device, the device base has a rectangular shape with a long side and a short side in plan view from the axial direction. Wherein when projecting a circle having a diameter greater than the short side of the device base from the axial direction to the device base about the center of the device base and about the area of the device base surrounded by the circle, Respectively.

본 발명에 의하면, 부상 하중 및 유지력의 저하와, 열에 의한 열화를 억제하면서 소형화할 수 있는 모방 장치가 제공된다.According to the present invention, there is provided an imitation apparatus capable of downsizing while suppressing deterioration of floating load and holding force and deterioration due to heat.

도 1은, 실시형태의 모방 장치를 베이스 플레이트측에서 나타내는 사시도.
도 2는, 조립 도중의 도 1의 모방 장치를 모방 부재측에서 나타내는 사시도.
도 3은, 도 1의 모방 장치의 분해 사시도.
도 4의 (a)는 장변 방향에 따른 도 1의 모방 장치의 단면도이며, 도 4의 (b)는 단변 방향에 따른 도 1의 모방 장치의 단면도.
도 5의 (a)는, 도 1의 모방 장치에 있어서의 고리 형상 다공질재의 오목 형상 구면을 나타내는 사시도이며, 도 5의 (b)는 비교예의 고리 형상 다공질재의 오목 형상 구면을 나타내는 사시도.
도 6은, 모방 부재가 한쪽의 사이드 플레이트를 향해 요동한 상태를 나타내는 도 1의 모방 장치의 단면도.Brief Description of the Drawings Fig. 1 is a perspective view showing a mimic device of an embodiment on a base plate side; Fig.
Fig. 2 is a perspective view showing the imitation apparatus of Fig. 1 on the imitation member side during assembly; Fig.
Fig. 3 is an exploded perspective view of the imitation apparatus of Fig. 1; Fig.
Fig. 4 (a) is a cross-sectional view of the imitation apparatus of Fig. 1 along the long-side direction, and Fig. 4 (b) is a cross-sectional view of the imitation apparatus of Fig. 1 along the short side direction.
Fig. 5A is a perspective view showing a concave spherical surface of the annular porous material in the imitation apparatus of Fig. 1, and Fig. 5B is a perspective view showing a concave spherical surface of the annular porous material of the comparative example.
6 is a cross-sectional view of the imitation apparatus of Fig. 1 showing a state in which the imitation member swings toward one side plate; Fig.

본 발명의 일 실시형태에 의하면, 모방 장치는, 볼록 형상 구면을 갖는 모방 부재와, 상기 볼록 형상 구면을 수용하는 오목 형상 구면을 갖는 장치 기대를 갖고, 상기 모방 부재는, 에어의 압력을 받음으로써 상기 장치 기대로부터 부상 가능하며, 상기 모방 부재를 상기 오목 형상 구면을 따라 요동시키면서, 상기 모방 부재와 일체화되어 있는 맞닿음면을 대상물에 맞닿게 하고, 상기 맞닿음면을 대상물의 특정면에 대해서 평행하게 되도록 모방하게 한다. 상기 장치 기대와 상기 모방 부재가 적층된 방향을 모방 장치의 축방향으로 하면, 상기 축방향으로부터의 평면시에서, 상기 장치 기대는 장변 및 단변을 갖는 직사각형 형상이다. 상기 장치 기대의 중앙을 중심으로 하고, 또한 상기 장치 기대의 단변보다 긴 직경을 갖는 원을 상기 장치 기대에 상기 축방향으로부터 투영했을 때, 상기 원으로 둘러싸인 상기 장치 기대의 영역에 상기 오목 형상 구면이 형성되어 있다.According to one embodiment of the present invention, the mimic device has an imitation member having a convex spherical surface and a device base having a concave spherical surface for receiving the convex spherical surface, and the imitation member is configured to receive And a contact surface that is flushable from the apparatus base and swings along the concave spherical surface while abutting the abutment surface integrated with the imitation member to the object, and the abutment surface is parallel to the specific surface of the object . When the device base and the imitation member are stacked in the axial direction of the mimic device, the device base in the plane view from the axial direction has a rectangular shape with a long side and a short side. Wherein when projecting a circle having a diameter greater than the short side of the device base from the axial direction to the device base about the center of the device base and about the area of the device base surrounded by the circle, Respectively.

상기 원의 직경은, 상기 장치 기대의 장변 방향의 길이 이하인 것이 바람직하다.The diameter of the circle is preferably not more than the length in the long-side direction of the apparatus base.

상기 장치 기대는, 상기 축방향으로부터의 평면시에서, 한 쌍의 장측(長側) 가장자리와, 상기 한 쌍의 장측 가장자리의 일단(一端)끼리 및 타단끼리를 연결하는 한 쌍의 원호 가장자리를 갖는 고리 형상 다공질재를 포함하며, 상기 오목 형상 구면은 상기 고리 형상 다공질재에 설치되어 있는 것이 바람직하다.The apparatus base has a pair of long side edges and a pair of circular arc edges connecting one ends and the other ends of the pair of long side edges in a plan view from the axial direction And an annular porous material, and the concave spherical surface is preferably provided in the annular porous material.

상기 모방 부재의 상기 볼록 형상 구면은, 상기 축방향으로부터의 평면시에서, 한 쌍의 장측 가장자리와, 상기 한 쌍의 장측 가장자리의 일단끼리 및 타단끼리를 연결하는 한 쌍의 원호 가장자리를 갖는 것이 바람직하다.It is preferable that the convex spherical surface of the imitation member has a pair of long side edges and a pair of circular arc edges connecting one ends and the other ends of the pair of long side edges in a plan view from the axial direction Do.

상기 볼록 형상 구면의 상기 한 쌍의 원호 가장자리는, 상기 고리 형상 다공질재의 상기 한 쌍의 원호 가장자리와 겹쳐지도록 형성되어 있어도 된다.The pair of circular arc edges of the convex spherical surface may be formed so as to overlap with the pair of circular arc edges of the annular porous material.

상기 장치 기대의 단변측의 측면 각각은, 바깥쪽으로의 돌출부와, 상기 돌출부를 단변 방향의 양측에서 끼우며, 또한 상기 돌출부보다 오목한 2개의 부착 단차부를 갖고, 상기 단변측의 측면 각각에서, U자 형상의 사이드 플레이트가, 그 양단부 사이에 상기 돌출부를 끼우도록, 상기 2개의 부착 단차부에 부착되어 있고, 한 쌍의 사이드 플레이트 사이에 상기 모방 부재가 배설(配設)되어 있는 것이 바람직하다.Each of the side surfaces on the side of the short side of the device base has a projecting portion to the outside and two attachment step portions which are sandwiched on both sides in the short side direction and concave than the projecting portion, Shaped side plate is attached to the two attachment step portions so as to sandwich the protrusion between the both end portions and the imitation member is disposed between the pair of side plates.

모방 장치는, 상기 사이드 플레이트와 상기 돌출부에 의해 둘러싸인 개구부를 갖는 것이 바람직하며, 상기 모방 부재가 그 장측 가장자리를 따르는 방향으로 요동했을 때에, 상기 모방 부재의 한쪽의 단부가 상기 개구부에 들어간다.It is preferable that the mimic device has an opening surrounded by the side plate and the protrusion, and when the mimic member swings in the direction along the long side edge, one end of the mimic member enters the opening.

이하에, 본 발명에 의한 모방 장치의 일 실시형태를 도 1~도 6에 따라 설명한다. 이하의 설명에서는, 모방 장치의 상하(연직) 방향을 Z축 방향으로 하고, 이 Z축 방향에 대해서 직교하며, 또한 동일 수평면 위에서 서로 직교하는 방향을 X축 방향 및 Y축 방향으로 한다.Hereinafter, an embodiment of the imitation apparatus according to the present invention will be described with reference to Figs. 1 to 6. Fig. In the following description, the vertical direction of the imitating device is defined as the Z-axis direction, and the directions orthogonal to the Z-axis direction and orthogonal to each other on the same horizontal plane are the X-axis direction and the Y-axis direction.

도 3에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 모방 장치(10)는, 그 주요 구성 부재로서 장치 기대(11)와, 모방 부재(21)를 갖는다. 모방 장치(10)는, 바람직하게는, 커버(26)와, 자석 홀더(23)와, 한 쌍의 사이드 플레이트(31)와, 회전 방지 링(41)을 포함한다. 모방 장치(10)에서, 커버(26), 자석 홀더(23) 및 장치 기대(11)가 순차적으로 어셈블링됨과 함께, 장치 기대(11)의 측면에 한 쌍의 사이드 플레이트(31)가 장착되며, 그 사이드 플레이트(31)에 의해 회전 방지 링(41)이 요동 가능하게 지지된다. 커버(26)와, 자석 홀더(23)와, 장치 기대(11)와, 모방 부재(21)가 적층되는 방향 즉 Z축 방향이, 모방 장치(10)의 축방향이다.As shown in Fig. 3, the imitation apparatus 10 of the present embodiment has an apparatus base 11 and an imitation member 21 as its main constituent members. The mimic device 10 preferably includes a cover 26, a magnet holder 23, a pair of side plates 31, and a rotation preventing ring 41. In the mimic device 10, a pair of side plates 31 is mounted on the side of the device base 11, with the cover 26, the magnet holder 23 and the device base 11 being assembled sequentially , And the anti-rotation ring (41) is swingably supported by the side plate (31). The direction in which the cover 26, the magnet holder 23, the device base 11 and the mimic member 21 are stacked, that is, the Z-axis direction is the axial direction of the mimic device 10.

도 3 및 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 장치 기대(11)는, 사각통 형상의 고정 블록(12)과, 그 고정 블록(12)의 모방 부재(21)에의 대향면에 설치된 고리 형상 다공질재(13)를 포함한다. Z축 방향으로부터의 평면시에서는, 고정 블록(12)은, 장변 및 단변을 갖는 직사각형 형상이다. 고정 블록(12)은, 장변 방향의 중앙 또한 단변 방향의 중앙에, 고정 블록(12)을 축방향으로 관통하는 관통 구멍(12c)을 갖는다. 또한, 고정 블록(12)은, 관통 구멍(12c)을 둘러싸며, 또한 고리 형상 다공질재(13)를 향해 개구하는 고리 형상의 에어 급배(給排) 홈(15)을 갖는다. 이 에어 급배 홈(15)은, 에어 통로(15a)를 통해 고정 블록(12)에 설치된 에어 급배 포트(B)에 연통되어 있다. 또한, 고정 블록(12)은, 에어 급배 홈(15)을 둘러싸는 수용 오목부(12d)를 갖고, 이 수용 오목부(12d)의 내측에 고리 형상 다공질재(13)가 수용되어 있다.3 and 4A, the device base 11 includes a rectangular block-like fixing block 12, a ring (not shown) provided on a surface of the fixing block 12 facing the imitation member 21, And a porous material (13). In the plan view from the Z-axis direction, the fixed block 12 has a rectangular shape having a long side and a short side. The fixed block 12 has a through hole 12c passing through the fixed block 12 in the axial direction at the center in the long side direction and the center in the short side direction. The fixed block 12 has an annular air feed and discharge groove 15 surrounding the through hole 12c and opening toward the annular porous member 13. [ The air escape groove 15 communicates with an air supply port B provided in the stationary block 12 through an air passage 15a. The fixed block 12 has a receiving concave portion 12d surrounding the air feeding groove 15 and an annular porous material 13 is accommodated in the receiving concave portion 12d.

도시하지 않은 압력 공급원으로부터 가압 유체로서의 가압 에어가 에어 급배 포트(B)에 공급되면, 그 가압 에어는, 에어 통로(15a) 및 에어 급배 홈(15)을 통해 고리 형상 다공질재(13)에 공급되어, 고리 형상 다공질재(13) 전체에서 분출된다. 반대로, 에어 급배 포트(B)로부터 에어가 흡인되면, 고리 형상 다공질재(13) 전체에서 에어가 흡인된다.When pressurized air as a pressurized fluid from a pressure source (not shown) is supplied to the air supply port B, the pressurized air is supplied to the annular porous material 13 through the air passage 15a and the air feed groove 15 And is ejected from the entire annular porous member 13. On the other hand, when air is sucked from the air feed port B, air is sucked through the entire annular porous material 13.

고리 형상 다공질재(13)를 형성하는 재료로서는, 예를 들면 소결 알루미늄, 소결 동, 소결 스테인리스 등의 금속 재료를 사용할 수 있다. 그 밖에도, 소결 3불화 수지, 소결 4불화 수지, 소결 나일론 수지, 소결 폴리아세탈 수지 등과 같은 합성 수지 재료나, 소결 카본, 소결 세라믹스 등을 사용할 수 있다.As the material for forming the annular porous material 13, for example, metal materials such as sintered aluminum, sintered copper, and sintered stainless steel can be used. In addition, synthetic resin materials such as sintered tin fluoride resin, sintered tetrafluoride resin, sintered nylon resin, and sintered polyacetal resin, sintered carbon, sintered ceramics and the like can be used.

도 3에 나타내는 바와 같이, 모방 장치(10)의 Z축 방향으로부터의 평면시에서는, 고리 형상 다공질재(13)는, 중앙에 원형의 관통 구멍(13d)을 갖는 편평 형상, 즉 원의 양단부를 직선적으로 노치한 형상이다. 관통 구멍(13d)의 직경은, 고정 블록(12)의 관통 구멍(12c)의 직경보다 크다. 고리 형상 다공질재(13)는, 서로 평행한 한 쌍의 장측 가장자리(13b)를 가짐과 함께, 한 쌍의 장측 가장자리(13b)의 일단끼리 또는 타단끼리를 연결하는 한 쌍의 원호 가장자리(13c)를 갖는다. 고리 형상 다공질재(13)는, 구면의 일부를 따라 오목한 오목 형상 구면(13a)을 갖는다. 오목 형상 구면(13a)은, 고리 형상 다공질재(13)의 한 쌍의 장측 가장자리(13b)와, 한 쌍의 원호 가장자리(13c)와, 관통 구멍(13d)의 내주 가장자리에 의해 둘러싸인 영역에 형성되어 있다. 고리 형상 다공질재(13)의 외측 가장자리에 의해 획정(劃定)되는 편평 형상은, 수용 오목부(12d)의 내주 가장자리에 의해 획정되는 편평 형상과 거의 동일하며, 고리 형상 다공질재(13)는 수용 오목부(12d)에 수용되어 있다.3, in the plan view from the Z-axis direction of the imitation apparatus 10, the annular porous material 13 has a flat shape having a circular through hole 13d at the center, that is, It is a straight notched shape. The diameter of the through hole 13d is larger than the diameter of the through hole 12c of the fixed block 12. [ The annular porous member 13 has a pair of long side edges 13b parallel to each other and a pair of circular arc edges 13c connecting one ends or the other ends of the pair of long side edges 13b, . The annular porous member 13 has a concave spherical surface 13a concaved along a part of the spherical surface. The concave spherical surface 13a is formed in a region surrounded by a pair of long side edges 13b of the annular porous material 13, a pair of circular arc edges 13c, and an inner peripheral edge of the through hole 13d . The flat shape defined by the outer edge of the annular porous material 13 is almost the same as the flat shape defined by the inner peripheral edge of the accommodating recessed portion 12d and the annular porous material 13 And is accommodated in the accommodating concave portion 12d.

도 5의 (a)에, 고정 블록(12)의 장변 방향으로 연장되며, 또한 단변 방향의 중앙을 지나는 직선(M)을 직경으로 해서, 고정 블록(12)의 장변 방향의 중앙 또한 단변 방향의 중앙을 중심으로 하는 가상원(C)을 나타낸다. 직선(M)의 길이는, 고정 블록(12)의 단변의 길이보다 길지만, 고정 블록(12)의 장변 방향의 최대 길이를 초과하지 않는다. 오목 형상 구면(13a)의 외측 가장자리 중 한 쌍의 원호 가장자리(13c)는, 가상원(C) 위에 위치하며, 오목 형상 구면(13a)의 외측 가장자리 중 한 쌍의 장측 가장자리(13b)는, 고정 블록(12)의 장변을 따라 가상원(C)을 횡단한다. 따라서, 가상원(C)은, 고정 블록(12)의 단변의 길이를 직경으로 하는 원보다 큰 원이다. 상기 가상원(C)을 고정 블록(12)에 투영했을 때, 고리 형상 다공질재(13)(오목 형상 구면(13a))는 고정 블록(12) 위의 가상원(C)으로 둘러싸인 영역에 존재한다. 보다 구체적으로는, 고리 형상 다공질재(13)의 외측 가장자리의 일부는 가상원(C)의 원주의 일부와 일치한다.5 (a), the straight line M extending in the long-side direction of the fixed block 12 and passing through the center in the short-side direction is defined as a diameter, and the center of the fixed block 12 in the long- (C) centered on the center. The length of the straight line M is longer than the short side of the fixed block 12 but does not exceed the maximum length in the long side direction of the fixed block 12. [ A pair of circular arc edges 13c of the outer edges of the concave spherical surface 13a are located on the imaginary circle C and a pair of the long side edges 13b of the outer edges of the concave spherical surface 13a are fixed And traverses the virtual circle C along the long side of the block 12. Therefore, the imaginary circle C is a circle that is larger than the circle having the length of the short side of the fixed block 12 as the diameter. When the virtual circle C is projected onto the fixed block 12, the annular porous material 13 (concave spherical surface 13a) is present in a region surrounded by the imaginary circle C on the fixed block 12 do. More specifically, a part of the outer edge of the annular porous material 13 coincides with a part of the circumference of the imaginary circle (C).

모방 장치(10)에서, 고리 형상 다공질재(13)의 오목 형상 구면(13a)으로부터 분출한 에어는, 오목 형상 구면(13a)의 외주 가장자리를 통과해서 모방 장치(10)의 외부로 배출됨과 함께, 관통 구멍(13d)을 통과해서 중앙부로 배출된다. 에어의 배출을 원활하게 행하기 위해서, 고정 블록(12)에는, 그 내부로 통하는 배기 포트(도시 생략)가 설치되어 있다. 따라서, 고리 형상 다공질재(13)의 관통 구멍(13d)을 통과한 에어는, 배기 포트로부터 외부로 배출된다.The air ejected from the concave spherical surface 13a of the annular porous material 13 in the imitation apparatus 10 is discharged to the outside of the imitation apparatus 10 through the outer peripheral edge of the concave spherical surface 13a , Passes through the through hole (13d), and is discharged to the center. In order to smoothly discharge the air, the fixed block 12 is provided with an exhaust port (not shown) communicating with the inside thereof. Therefore, the air that has passed through the through hole 13d of the annular porous material 13 is discharged from the exhaust port to the outside.

도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 고정 블록(12)의 관통 구멍(12c)은, 에어 흡인 통로(17a)를 통해 고정 블록(12)에 설치된 진공 배기 포트(V)에 연통되어 있다. 도시하지 않은 흡인 펌프에 의해 진공 배기 포트(V) 및 에어 급배 포트(B)로부터 에어가 흡인되면, 관통 구멍(12c) 및 오목 형상 구면(13a)으로부터 에어가 흡인되어, 모방 부재(21)는, 장치 기대(11)에 흡착 고정된다.The through hole 12c of the fixed block 12 is communicated with the vacuum exhaust port V provided in the fixed block 12 through the air suction passage 17a as shown in Fig. Air is sucked from the through hole 12c and the concave spherical surface 13a when the air is sucked from the vacuum exhaust port V and the air supply port B by a suction pump not shown, , And is adsorbed and fixed to the apparatus base (11).

도 3, 도 4의 (a) 및 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 모방 장치(10)는, 고정 블록(12)에 부착된 자석 홀더(23)를 갖는다. 고정 블록(12)의 상면 즉 자석 홀더(23)가 부착되는 면에는, 관통 구멍(12c)을 둘러싸는 O링(12f)이 장착되어 있다. 자석 홀더(23)는, 고정 블록(12)의 관통 구멍(12c)에 삽입 통과되는 원통 형상의 홀더 본체(24)와, 홀더 본체(24)의 외주로부터 바깥쪽으로 연장되는 직사각형 판 형상의 플랜지(25)를 갖는다.As shown in Figs. 3, 4A and 4B, the imitation apparatus 10 has a magnet holder 23 attached to the fixed block 12. Fig. An O ring 12f surrounding the through hole 12c is mounted on the upper surface of the fixed block 12, that is, the surface to which the magnet holder 23 is attached. The magnet holder 23 includes a cylindrical holder body 24 to be inserted into the through hole 12c of the fixed block 12 and a rectangular flange portion 24 extending outwardly from the outer periphery of the holder body 24 25).

도 1, 도 2 또는 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 모방 장치(10)의 Z축 방향에서 자석 홀더(23)를 본 경우, 플랜지(25)의 평면시 형상은, 고정 블록(12)의 평면시 형상과 마찬가지로, 장변 및 단변을 갖는 직사각형 형상이다. 고정 블록(12)의 상면과, 이 상면에 대향하는 플랜지(25)의 면 사이에는 O링(12f)이 개재된다. O링(12f)에 의해, 고정 블록(12)과 플랜지(25) 사이가 시일되어 있다. 자석 홀더(23)는, 플랜지(25)에 삽입 통과된 나사(27)를 고정 블록(12)에 나사 결합시킴으로써, 고정 블록(12)에 부착되어 있다.When the magnet holder 23 is viewed in the Z axis direction of the mimic device 10 as shown in Fig. 1, Fig. 2 or Fig. 4 (a), the shape of the flange 25 in plan view, Like shape in the plan view, it is a rectangular shape having a long side and a short side. An O-ring 12f is interposed between the upper surface of the fixed block 12 and the surface of the flange 25 opposed to this upper surface. The O-ring 12f seals the space between the fixed block 12 and the flange 25. The magnet holder 23 is attached to the fixing block 12 by screwing the screw 27 inserted into the flange 25 into the fixing block 12. [

홀더 본체(24)의 선단 외주면에는, 원환(圓環) 형상의 마그네트(22)가 부착되어 있다. 마그네트(22)는, X축 및 Y축 방향에서, 고리 형상 다공질재(13)의 내주면에 대향하도록 배치되어 있다. 자석 홀더(23)는, 플랜지(25)의 상면으로부터 홀더 본체(24)를 향해 오목한 원형의 오목부(25a)를 갖고, 이 오목부(25a)는 홀더 본체(24)의 내부 공간과 연통되어 있다. 플랜지(25)에는, 오목부(25a)를 둘러싸는 O링(25b)이 장착되어 있다. 플랜지(25)에는 직사각형 판 형상의 커버(26)가 나사(26a)에 의해 부착되며, 커버(26)에 의해 폐색된 오목부(25a) 내에는, Z축 방향으로부터의 평면시에서 원형의 피스톤(40)이 수용되어 있다.A ring-shaped magnet 22 is attached to the outer peripheral surface of the tip end of the holder main body 24. The magnet 22 is disposed so as to face the inner peripheral surface of the annular porous material 13 in the X-axis and Y-axis directions. The magnet holder 23 has a circular concave portion 25a recessed from the upper surface of the flange 25 toward the holder main body 24 and the concave portion 25a communicates with the inner space of the holder main body 24 have. The flange 25 is provided with an O-ring 25b surrounding the concave portion 25a. A rectangular plate-like cover 26 is attached to the flange 25 by a screw 26a and a concave portion 25a closed by the cover 26 is provided with a circular piston (Not shown).

피스톤(40)의 외주면에는 피스톤 링(40a)이 장착되며, 피스톤(40) 및 피스톤 링(40a)의 존재에 의해, 오목부(25a)의 내부 공간은, 커버(26)에 가까운 제 1 압력 작용실(44)과, 홀더 본체(24)에 가까운 제 2 압력 작용실(45)로 구획되어 있다. 제 1 압력 작용실(44)에는, 커버(26)에 형성된 제 1 에어 급배 포트(N)를 통해 에어가 급배된다. 한편, 제 2 압력 작용실(45)에는, 플랜지(25)에 형성된 제 2 에어 급배 포트(R)를 통해 에어가 급배된다.A piston ring 40a is mounted on the outer circumferential surface of the piston 40. By the presence of the piston 40 and the piston ring 40a, the inner space of the concave portion 25a is closed by the first pressure (44) and a second pressure acting chamber (45) near the holder body (24). Air is fed to the first pressure acting chamber (44) through the first air supply port (N) formed in the cover (26). On the other hand, air is fed to the second pressure acting chamber 45 through the second air supply port R formed on the flange 25.

본 실시형태에서는, 피스톤(40) 및 로드(53)가 액추에이터를 구성하고 있고, 피스톤(40)에는, 나사(42)에 의해 로드(53)의 일단부(一端部)가 부착되어 있다. 로드(53)는, 홀더 본체(24)에 삽입 통과되어 있다. 홀더 본체(24)의 내주면에는 패킹(24b)이 장착되며, 홀더 본체(24)의 내주면과 로드(53)의 외주면 사이를 시일하고 있다. 로드(53)에서, 홀더 본체(24)로부터의 돌출단(突出端)에는 반구면이 형성되고, 그 반구면에 지지 부재(54)가 3차원 방향으로 회동 가능하게 지지되어 있다. 도 4의 (a) 및 도 4의 (b)는, 로드(53)가 로크(lock) 위치에 있는 경우를 나타내고 있으며, 모방 부재(21)는 지지 부재(54)를 통해 로드(53)에 지지됨과 함께, 장치 기대(11)에 밀착되어 유지되어 있다. 즉, 모방 부재(21)는, 장치 기대(11)에 로킹된 상태로 있다.In this embodiment, the piston 40 and the rod 53 constitute an actuator, and one end of the rod 53 is attached to the piston 40 by a screw 42. The rod 53 is inserted into the holder body 24. A packing 24b is mounted on the inner circumferential surface of the holder main body 24 and seals between the inner circumferential surface of the holder main body 24 and the outer circumferential surface of the rod 53. [ In the rod 53, a hemispherical surface is formed at a protruding end from the holder main body 24, and a supporting member 54 is supported on the hemispherical surface so as to be rotatable in three-dimensional directions. 4 (a) and 4 (b) show the case where the rod 53 is in the lock position, and the imitation member 21 is supported on the rod 53 via the support member 54 And is held in close contact with the apparatus base 11. That is, the imitation member 21 is in a state of being locked to the apparatus base 11.

모방 부재(21)는, Z축 방향으로부터의 평면시에서 편평 형상이며, Z축 방향에서 고리 형상 다공질재(13)와 대향하고 있다. 모방 부재(21)의 고리 형상 다공질재(13)와의 대향면은, 볼록 형상 구면(20a)으로서 형성되어 있다. 이 볼록 형상 구면(20a)의 곡률 반경은, 오목 형상 구면(13a)의 곡률 반경과 동일하다. 모방 부재(21)의 볼록 형상 구면(20a)은 고리 형상 다공질재(13)의 오목 형상 구면(13a)에 겹쳐지도록 수용되어 있고, 모방 부재(21)는 오목 형상 구면(13a)을 따라 요동 가능하다.The imitation member 21 is flat in a plan view from the Z-axis direction, and faces the annular porous member 13 in the Z-axis direction. The surface of the imitation member 21 opposed to the annular porous member 13 is formed as a convex spherical surface 20a. The radius of curvature of the convex spherical surface 20a is the same as the radius of curvature of the concave spherical surface 13a. The convex spherical surface 20a of the imitation member 21 is accommodated so as to overlap the concave spherical surface 13a of the annular porous material 13 and the imitation member 21 can swing along the concave spherical surface 13a Do.

도 3에 나타내는 바와 같이, 모방 부재(21)의 볼록 형상 구면(20a)의 외측 가장자리는, Z축 방향으로부터의 평면시에서 편평 형상이다. 구체적으로는, 볼록 형상 구면(20a)의 외측 가장자리는, 서로 평행한 한 쌍의 장측 가장자리(20b)를 가짐과 함께, 한 쌍의 장측 가장자리(20b)의 일단끼리 또는 타단끼리를 연결하는 한 쌍의 원호 가장자리(20c)를 갖는다. 볼록 형상 구면(20a)은, 한 쌍의 장측 가장자리(20b)와, 한 쌍의 원호 가장자리(20c)로 둘러싸인 영역에 형성되어 있다. 도 2 및 도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 볼록 형상 구면(20a)의 한 쌍의 원호 가장자리(20c)는, 고리 형상 다공질재(13)의 한 쌍의 원호 가장자리(13c)와 겹쳐지도록 형성되어 있다.As shown in Fig. 3, the outer edge of the convex spherical surface 20a of the imaginary element 21 has a flat shape in plan view from the Z-axis direction. Concretely, the outer edge of the convex spherical surface 20a has a pair of long side edges 20b parallel to each other, and a pair of long side edges 20b connecting one ends or the other ends of the pair of long side edges 20b And the arc edge 20c. The convex spherical surface 20a is formed in a region surrounded by a pair of long side edges 20b and a pair of circular arc edges 20c. A pair of circular arc edges 20c of the convex spherical surface 20a are superimposed on the pair of circular arc edges 13c of the annular porous material 13 as shown in Figures 2 and 5 (a) Respectively.

모방 부재(21)의 Z축 방향에 있어서의 볼록 형상 구면(20a)과 반대측의 면에는, 사각통 형상의 베이스부(28)가 형성되어 있다. 베이스부(28)의 대향하는 한 쌍의 측벽(28a)에는 회동 규제핀(32)이 장착되어 있다. 회동 규제핀(32)의 선단은, 베이스부(28)의 바깥쪽으로 돌출된다. 한 쌍의 회동 규제핀(32)은, 대향하는 한 쌍의 측벽(28a)과 직교하는 동일 축선 상에 배치된다.A rectangular tube-like base portion 28 is formed on the surface of the imitation member 21 opposite to the convex spherical surface 20a in the Z-axis direction. A rotation restricting pin (32) is mounted on a pair of opposed side walls (28a) of the base (28). The tip end of the rotation restricting pin (32) protrudes outward of the base portion (28). The pair of rotation restricting pins 32 are arranged on the same axis orthogonal to the pair of opposing side walls 28a.

Z축 방향으로부터의 평면시에서, 고정 블록(12)의 단변측의 측면(12h) 각각에는 사이드 플레이트(31)가 고정되어 있다. 고정 블록(12)의 측면(12h)에는 단차(段差)가 마련되어 있다. 구체적으로는, 각 측면(12h)은, 바깥쪽으로 돌출되는 돌출부(18a)와, 돌출부(18a)를 단변 방향의 양측에서 끼우고 또한 돌출부(18a)에 대해서 오목한 2개의 부착 단차부(18b)를 갖는다.In the plan view from the Z-axis direction, the side plates 31 are fixed to the side surfaces 12h on the short side of the fixed block 12, respectively. On the side surface 12h of the fixed block 12, a step difference is provided. Specifically, each side face 12h has a protruding portion 18a protruding outward and two attaching step portions 18b which sandwich the protruding portion 18a on both sides in the short side direction and are concave with respect to the protruding portion 18a .

도 1에 나타내는 바와 같이, 사이드 플레이트(31)는, 정면시(正面視)(Y축 방향에서 본 경우) U자 형상으로 형성되어 있다. 사이드 플레이트(31)는, 나사(35)에 의해 고정 블록(12)의 측면(12h)에 고정되어 있다. 측면(12h)에의 사이드 플레이트(31)의 고정은, 사이드 플레이트(31)의 양단부를, 그 양단부 사이에 돌출부(18a)가 끼워지도록 부착 단차부(18b)에 맞닿게 하고, 그 상태에서, 사이드 플레이트(31)를 부착 단차부(18b)에 대해서 나사(35)로 고정함으로써 행해진다. 사이드 플레이트(31)의 외면과, 돌출부(18a)의 외면은 일 면으로 되어 있다.As shown in Fig. 1, the side plate 31 is formed in a U-shape when viewed from the front (viewed from the Y-axis direction). The side plate 31 is fixed to the side surface 12h of the fixing block 12 by a screw 35. [ The side plates 31 are fixed to the side surfaces 12h by abutting both end portions of the side plates 31 against the attaching stepped portions 18b so that the projecting portions 18a are sandwiched between the both end portions of the side plates 31, And fixing the plate 31 to the attachment step portion 18b with the screw 35. [ The outer surface of the side plate 31 and the outer surface of the projecting portion 18a are one surface.

도 1 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 측면(12h)에 사이드 플레이트(31)를 부착함으로써, 사이드 플레이트(31)와 돌출부(18a)에 의해 둘러싸인 개구부(S)가 형성된다. 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 각 사이드 플레이트(31)에는, 회동 규제핀(34)이 장착되어 있다. 회동 규제핀(34)의 선단은, 베이스부(28)를 향해 돌출된다. 사이드 플레이트(31)가 고정 블록(12)에 장착되었을 때, 한 쌍의 회동 규제핀(34)은 동일 축선 상에 배치되며, 그 선단이 서로 대향한다. 본 실시형태에서 한 쌍의 회동 규제핀(34)은, Y축 방향을 따라 일직선 상에 배치된다.As shown in Figs. 1 and 6, by attaching the side plate 31 to the side surface 12h, an opening S surrounded by the side plate 31 and the projecting portion 18a is formed. As shown in Fig. 4 (a), a rotation restricting pin 34 is attached to each side plate 31. As shown in Fig. The tip of the rotation restricting pin (34) projects toward the base (28). When the side plate 31 is mounted on the fixed block 12, the pair of rotation restricting pins 34 are arranged on the same axis, and their tips are opposed to each other. In the present embodiment, the pair of rotation restricting pins 34 are arranged in a straight line along the Y-axis direction.

도 4의 (a) 및 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 각 회동 규제핀(32, 34)은, Z축 방향에서 동일한 높이에 배치되어 있다. 각 회동 규제핀(32, 34)의 중심축선은, 동일한 높이에 있다. 모방 부재(21)의 회동 규제핀(32)과 사이드 플레이트(31)의 회동 규제핀(34)은 직교 배치된다. 본 실시형태에서는, 회동 규제핀(32)과 회동 규제핀(34)은, X축과 Y축에 의해 형성되는 XY 평면에서 직교 배치되며, 또한 Z축 둘레에서 90° 간격으로 번갈아 배치된다.As shown in Figs. 4 (a) and 4 (b), the rotation restricting pins 32 and 34 are arranged at the same height in the Z-axis direction. The central axes of the rotation restricting pins 32, 34 are at the same height. The rotation restricting pin 32 of the imitation member 21 and the rotation restricting pin 34 of the side plate 31 are arranged orthogonally. In this embodiment, the rotation restricting pin 32 and the rotation restricting pin 34 are arranged orthogonally in the XY plane formed by the X-axis and the Y-axis and alternately arranged at intervals of 90 DEG around the Z-axis.

도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 회전 방지 링(41)은 사각형의 링 형상으로 형성되어 있다. 회전 방지 링(41)은, 그 내주면에 의해 모방 부재(21)의 베이스부(28)를 둘러싸도록, 모방 부재(21)의 회동 규제핀(32) 및 사이드 플레이트(31)의 회동 규제핀(34)에 의해 지지되어 있다. 회전 방지 링(41)에는, 4개의 핀 삽입홈(41a)이 등간격으로 형성되어 있다. 모방 부재(21)의 회동 규제핀(32) 및 사이드 플레이트(31)의 회동 규제핀(34)은, 각 핀 삽입홈(41a)에 슬라이딩 가능걸어 맞춰져 있다.As shown in Figs. 1 and 3, the rotation preventing ring 41 is formed into a rectangular ring shape. The rotation preventing ring 41 is provided on the rotation restricting pin 32 of the mimic member 21 and the rotation restricting pin 32 of the side plate 31 so as to surround the base portion 28 of the mimic member 21 by the inner circumferential surface thereof 34). In the rotation preventing ring 41, four pin insertion grooves 41a are formed at regular intervals. The rotation restricting pin 32 of the mimic member 21 and the rotation restricting pin 34 of the side plate 31 are slidably engaged with the respective pin insertion grooves 41a.

모방 부재(21)의 베이스부(28)에는, 나사(52)에 의해 베이스 플레이트(51)가 고정되고, 이 베이스 플레이트(51)에는 도시하지 않은 툴이 고정된다. 이 때문에, 툴은 베이스 플레이트(51)를 통해 모방 부재(21)와 일체화되며, 그 툴은 모방 부재(21)와 일체로 되어 요동한다. 따라서, 베이스 플레이트(51) 및 툴은, 모방 부재(21)의 일부라고 간주할 수 있다. 모방 부재(21)의 곡률 중심이, 도시하지 않은 툴(모방 부재(21))의 선단면에 있다는 점에서, 도시하지 않은 툴의 선단면이 워크에 맞닿는 면, 즉 맞닿음면이 된다.A base plate 51 is fixed to the base portion 28 of the imitation member 21 by a screw 52 and a tool not shown is fixed to the base plate 51. [ For this reason, the tool is integrated with the imitation member 21 through the base plate 51, and the tool swings integrally with the imitation member 21. Therefore, the base plate 51 and the tool can be regarded as a part of the imitation member 21. [ The distal end face of the tool (not shown) is a surface abutting against the work, that is, a contact surface, in that the center of curvature of the imitation member 21 is located on the distal end surface of a tool (imitation member 21)

도 5의 (a)에 본 실시형태의 고리 형상 다공질재(13)를 나타낸다. 한편, 도 5의 (b)에, 비교예의 고리 형상 다공질재(60)를 나타낸다. 비교예의 고정 블록(12)은, 수용 오목부(61)의 직경이 실시형태의 수용 오목부(12d)의 직경보다 작은 것을 제외하고, 실시형태의 것과 동일하다. 비교예에서, 고정 블록(12)에는, 관통 구멍(12c)과 동심원 형상으로 수용 오목부(61)가 형성되고, 그 수용 오목부(61)에는 원환(圓環) 형상의 고리 형상 다공질재(60)가 수용되어 있다. 고리 형상 다공질재(60)는 평면시 원환 형상의 오목 형상 구면(60a)을 갖는다. 비교예의 고리 형상 다공질재(60)(오목 형상 구면(60a))는, 고정 블록(12)의 단변과 거의 동일한 길이의 직경을 갖는 원을 고정 블록(12)에 투영했을 때, 그 원의 원주와, 관통 구멍(12c)의 내주 가장자리에 의해 둘러싸인 영역에 존재한다. 이 경우, 실시형태의 고리 형상 다공질재(13)의 오목 형상 구면(13a)의 면적은, 비교예의 고리 형상 다공질재(60)의 오목 형상 구면(60a)의 면적보다 크다.Fig. 5 (a) shows the annular porous material 13 of the present embodiment. On the other hand, Fig. 5 (b) shows the cyclic porous material 60 of the comparative example. The fixing block 12 of the comparative example is the same as that of the embodiment except that the diameter of the accommodation recess 61 is smaller than the diameter of the accommodation recess 12d of the embodiment. In the comparative example, the holding block 12 is formed with a receiving concave portion 61 concentrically with the through hole 12c, and the receiving concave portion 61 is provided with a ring-shaped annular porous material 60 are accommodated. The annular porous member 60 has a spherical concave spherical surface 60a in a planar shape in a plan view. The circular porous material 60 (concave spherical surface 60a) of the comparative example is obtained by projecting a circle having a diameter substantially equal to the short side of the fixed block 12 onto the fixed block 12, And the inner peripheral edge of the through hole 12c. In this case, the area of the concave spherical surface 13a of the annular porous material 13 of the embodiment is larger than the area of the concave spherical surface 60a of the annular porous material 60 of the comparative example.

이하에, 본 실시형태에 있어서의 모방 장치(10)의 동작 및 작용을 설명한다.Hereinafter, the operation and operation of the imitation apparatus 10 in the present embodiment will be described.

모방 장치(10)는, 예를 들면, 베이스 플레이트(51) 및 툴을 포함시킨 모방 부재(21)를 고정 블록(12)보다 하측에 배치한 상태에서 사용된다. 이 상태에서 제 1 에어 급배 포트(N)로부터 제 1 압력 작용실(44)에 에어가 공급되면, 피스톤(40)은 하방으로 변위되고, 로드(53) 및 지지 부재(54)는 하강해서 로크 해제 위치로 이동하여, 모방 부재(21)와 지지 부재(54)는 이간된다. 또, 로크 해제 위치란, 로드(53) 및 지지 부재(54)가 장치 기대(11)에 모방 부재(21)를 밀착시키지 않고, 모방 부재(21)를 요동 가능하게 하는 위치이다. 그 후, 모방 장치(10)의 에어 급배 포트(B)로부터 가압 에어가 공급되면, 에어 통로(15a) 및 에어 급배 홈(15)을 경유해서 오목 형상 구면(13a) 전체에서 가압 에어가 분출된다.The mimic device 10 is used in a state where the base plate 51 and the imitation member 21 including the tool are disposed below the fixing block 12. [ In this state, when air is supplied from the first air supply port N to the first pressure acting chamber 44, the piston 40 is displaced downward, and the rod 53 and the support member 54 are lowered, The imitation member 21 and the support member 54 are separated from each other. The unlocking position is a position at which the rod 53 and the support member 54 are capable of swinging the imitation member 21 without making the imitation member 21 adhere to the device base 11. Thereafter, when the pressurized air is supplied from the air supply port B of the imitation apparatus 10, the pressurized air is ejected from the entire concave spherical surface 13a via the air passage 15a and the air feed groove 15 .

모방 부재(21)의 볼록 형상 구면(20a)이 오목 형상 구면(13a)을 따라 요동 가능한 상태가 되어, 오목 형상 구면(13a)과 볼록 형상 구면(20a) 사이에 정압(靜壓)이 초래되고, 모방 부재(21)는, 가압 에어의 압력을 받아 장치 기대(11)(고정 블록(12))로부터 부상한다. 그와 동시에, 모방 부재(21)는, 마그네트(22)의 자력에 의해 고정 블록(12)으로 끌어 당겨진다. 모방 부재(21)를 장치 기대(11)로부터 부상시키는 힘(부상 하중)과 고정 블록(12)으로 끌어 당기는 힘이 균형을 이룸으로써, 모방 부재(21)는, 오목 형상 구면(13a)과 볼록 형상 구면(20a)이 접촉하지 않는 상태에서 요동 가능하게 유지된다.The convex spherical surface 20a of the imitation member 21 becomes swingable along the concave spherical surface 13a and a static pressure is generated between the concave spherical surface 13a and the convex spherical surface 20a , The imitation member 21 receives the pressure of the pressurized air and floats from the apparatus base 11 (fixed block 12). At the same time, the magnetizing member 21 is attracted to the stationary block 12 by the magnetic force of the magnet 22. By balancing the force (lifting load) for lifting the imitation member 21 from the device base 11 and the pulling force for pulling the fixation block 12, the imitation member 21 has a concave spherical surface 13a, And is swingably held in a state in which the shape spherical surface 20a is not in contact.

이 상태에서, 모방 부재(21)의 일부인 툴(도시 생략)의 선단면이 대상물(기판 등)의 특정면에 밀착된다. 이 때, 대상물이 Y축 방향에 대해서 경사져 있는 경우, 모방 부재(21)의 일부인 툴은, 대상물의 특정면의 경사 각도로 추종하도록 X축 주위에서 요동한다. 이 때, 도 6에 나타내는 바와 같이, 요동한 모방 부재(21)의 장측 가장자리의 한쪽의 단부(端部) 또는 모방 부재(21)의 Y축 방향에 있어서의 한쪽의 단부는, 개구부(S)에 들어간다.In this state, the distal end face of a tool (not shown), which is a part of the imitation member 21, is brought into close contact with a specific surface of the object (substrate or the like). At this time, when the object is inclined with respect to the Y-axis direction, the tool which is a part of the imitation member 21 rocks around the X-axis so as to follow the inclination angle of the specific surface of the object. 6, one end of the long side edge of the swinging imitation member 21 or one end of the imitation member 21 in the Y axis direction is in contact with the opening S, &Lt; / RTI >

이에 따라, 대상물이 Y축 방향에 대해서 경사져 있어도, 툴의 선단면은 대상물의 특정면에 대해서 평행하게 모방한다. 한편, 대상물이 X축 방향에 대해서 경사져 있는 경우, 모방 부재(21)의 일부인 툴은, 대상물의 특정면의 경사 각도로 추종하도록, Y축 둘레에서 요동한다. 이에 따라, 대상물이 X축 방향에 대해서 경사져 있어도, 툴의 선단면은 대상물의 특정면에 대해서 평행하게 모방한다.Accordingly, even if the object is inclined with respect to the Y-axis direction, the distal end surface of the tool is imitated parallel to the specific surface of the object. On the other hand, when the object is inclined with respect to the X-axis direction, the tool which is a part of the imitation member 21 rocks around the Y-axis so as to follow the inclination angle of the specific surface of the object. Accordingly, even when the object is inclined with respect to the X-axis direction, the distal end surface of the tool is imitated parallel to the specific surface of the object.

모방 동작이 종료되면, 에어 급배 포트(B)에의 가압 에어의 공급이 정지되어, 고리 형상 다공질재(13)로부터의 가압 에어의 분출이 정지된다. 계속해서, 진공 배기 포트(V) 및 에어 급배 포트(B)로부터의 에어의 진공 배기가 행해짐과 함께, 제 2 에어 급배 포트(R)로부터 제 2 압력 작용실(45)에 에어가 공급된다. 그 결과, 관통 구멍(12c) 및 오목 형상 구면(13a)으로부터 에어가 흡인됨과 함께, 피스톤(40)이 제 2 압력 작용실(45)의 압력을 받아, 로드(53) 및 지지 부재(54)를 로크 해제 위치로부터 로크 위치로 이동시킨다. 또, 로크 위치란, 로드(53) 및 지지 부재(54)가 장치 기대(11)에 모방하여 부재(21)를 밀착해서 유지하는 위치이다.When the imitation operation is completed, the supply of the pressurized air to the air supply port B is stopped, and the ejection of the pressurized air from the annular porous material 13 is stopped. Subsequently, air is evacuated from the vacuum exhaust port (V) and the air supply port (B), and air is supplied from the second air supply port (R) to the second pressure operation chamber (45). As a result, the air is sucked from the through hole 12c and the concave spherical surface 13a, and the piston 40 receives the pressure of the second pressure acting chamber 45, and the rod 53 and the support member 54, From the unlock position to the lock position. The lock position is a position at which the rod 53 and the support member 54 closely contact the member 21 with the device base 11 in close contact with each other.

진공 배기에 의한 흡인, 지지 부재(54)로부터의 압압(押壓) 및 마그네트(22)의 자력에 의해, 모방 부재(21)가 장치 기대(11)의 고리 형상 다공질재(13)에 밀착된다. 그 결과, 모방 부재(21)는 요동 불가능하게 장치 기대(11)에 유지되고, 모방 부재(21)의 일부인 툴은, 그 선단면이 대상물의 특정면에 모방한 상태로 유지된다. 이렇게, 모방 부재(21)의 볼록 형상 구면(20a)은, 진공 배기에 의한 흡인, 지지 부재(54)로부터의 압압 및 마그네트(22)의 자력에 의해 오목 형상 구면(13a)에 밀착되고, 이 유지력에 의해, 모방 부재(21)는 요동 불가능하게 로킹된다.The imitation member 21 is brought into close contact with the annular porous member 13 of the apparatus base 11 by the suction by the vacuum exhaust, the pressing by the support member 54 and the magnetic force of the magnet 22 . As a result, the imitation member 21 is held in the apparatus base 11 in a non-swingable manner, and the tool, which is a part of the imitation member 21, is kept in a state in which its distal end surface is imitated on a specific surface of the object. In this way, the convex spherical surface 20a of the imitation member 21 is brought into close contact with the concave spherical surface 13a by the suction by the vacuum exhaust, the pressing from the support member 54 and the magnetic force of the magnet 22, By the holding force, the imitation member 21 is locked so as not to swing.

상기 실시형태에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the above embodiment, the following effects can be obtained.

(1) 모방 장치(10)에 있어서, 고리 형상 다공질재(13)의 오목 형상 구면(13a)의 형상은, 한 쌍의 장측 가장자리(13b) 및 한 쌍의 원호 가장자리(13c)를 갖는 편평 형상이다. 이에 따라, 예를 들면, 오목 형상 구면(13a)의 외주 가장자리가 고정 블록(12)의 단변의 길이를 직경으로 하는 원형인 경우와 비교해서, 오목 형상 구면(13a)의 면적을 넓게 할 수 있다.(1) In the mimic device 10, the shape of the concave spherical surface 13a of the annular porous material 13 is a flat shape having a pair of long side edges 13b and a pair of arc edges 13c to be. This makes it possible to increase the area of the concave spherical surface 13a, for example, as compared with the case where the outer circumferential edge of the concave spherical surface 13a has a circular shape with the short side of the fixed block 12 as the diameter .

복수의 모방 장치(10)를 병설(竝設)하는 경우, 이들의 설치 스페이스를 가능한 한 작게 하는 것이 바람직하다. 평면시 정사각형의 보디(body)를 갖고, 원형의 오목 형상 구면을 갖는 모방 장치를 소형화하기 위해서는, 보디의 병설 방향의 길이가 짧아지도록, 보디를 박형화하는 것을 생각할 수 있다. 본 실시형태에서는, 보디를 박형화할 때에, 단순히 축경(縮徑)한 평면시 원형의 오목 형상 구면이 아니라, 장치 기대(11)의 장변 방향으로 확보할 수 있는 최대길이를 직경으로 하는 오목 형상 구면(13a)을 형성했다. 이 때문에, 오목 형상 구면을 단순히 축경한 평면시 원형의 오목 형상 구면과 비교하면, 오목 형상 구면(13a)의 면적을 넓게 할 수 있다. 그 결과, 모방 부재(21)의 부상 하중 및 유지력의 저하를 억제하면서 모방 장치(10)를 소형화할 수 있다.When a plurality of mimic devices 10 are installed side by side, it is preferable that the installation space of these is made as small as possible. In order to miniaturize a mimic device having a body having a square-shaped square body and a circular concave spherical surface, it is conceivable that the body is thinned so that the length of the direction in which the body is juxtaposed is shortened. In the present embodiment, when the body is made thin, it is not a concave spherical surface which is circular in plan view, but a concave spherical surface having a maximum length that can be secured in the long side direction of the apparatus base 11, (13a). Therefore, the area of the concave spherical surface 13a can be widened as compared with the spherical concave spherical surface when the concave spherical surface is simply reduced in size. As a result, the mimic device (10) can be miniaturized while suppressing deterioration of the flying height and holding force of the mimic member (21).

(2) 모방 장치(10)에 있어서, 고리 형상 다공질재(13)의 오목 형상 구면(13a)의 형상은, 한 쌍의 장측 가장자리(13b) 및 한 쌍의 원호 가장자리(13c)를 갖는 편평 형상이다. 이에 따라, 예를 들면, 오목 형상 구면(13a)의 외주 가장자리가 고정 블록(12)의 단변의 길이를 직경으로 하는 원형인 경우와 비교하면, 오목 형상 구면(13a)의 유효 면적이 넓어진다. 이 때문에, 모방 장치(10)를 소형화하는 것과 동시에, 오목 형상 구면(13a)의 유효 면적을 넓게 할 수 있다. 또한, 유효 면적을 넓게 한 오목 형상 구면(13a)과, 대향하는 볼록 형상 구면(20a) 사이에는 가압 에어가 급배되어, 공기층이 형성된다. 이 때문에, 베이스 플레이트(51)에 툴로서 예를 들면 가열 장치가 장착된 경우에는, 가열 장치로부터의 열이 이 공기층에 의해 차단됨으로써, 고리 형상 다공질재(13)로부터 고정 블록(12)측으로의 전열(傳熱)을 억제할 수 있다. 따라서, 고정 블록(12)측의 마그네트(22)나 피스톤 링(40a)의 열화를 억제할 수 있다.(2) In the imitation apparatus 10, the shape of the concave spherical surface 13a of the annular porous material 13 is a flat shape having a pair of long side edges 13b and a pair of circular arc edges 13c to be. As a result, the effective area of the concave spherical surface 13a is widened as compared with, for example, a case where the outer circumferential edge of the concave spherical surface 13a is circular in which the length of the short side of the fixed block 12 is a diameter. Therefore, the mimic device 10 can be downsized and the effective area of the concave spherical surface 13a can be widened. Further, pressurized air is intermittently supplied between the concave spherical surface 13a having a wider effective area and the opposed convex spherical surface 20a to form an air layer. Therefore, when a heating device, for example, as a tool is mounted on the base plate 51, the heat from the heating device is blocked by the air layer so that the heat from the annular porous material 13 to the fixed block 12 side It is possible to suppress heat transfer. Therefore, deterioration of the magnet 22 and the piston ring 40a on the fixed block 12 side can be suppressed.

(3) 오목 형상 구면(13a)과, 거기에 대향하는 볼록 형상 구면(20a) 사이에는 가압 에어가 급배된다. 가압 에어는, 볼록 형상 구면(20a) 및 오목 형상 구면(13a)을 따라 흐른 후, 각 구면(13a, 20a)의 외주 가장자리로부터 모방 장치(10)의 외부로 방출된다. 본 실시형태에서는, 오목 형상 구면(13a)의 유효 면적을 가능한 한 넓게 하고, 또한 오목 형상 구면(13a)의 외주의 길이를 가능한 한 길게 했다. 이 때문에, 가압 에어가 모방 장치(10)에 공급되고 나서 모방 장치(10)의 외부로 방출될 때까지, 오목 형상 구면(13a)을 따라 흐르는 가압 에어의 거리 및 유량을 확보할 수 있어, 오목 형상 구면(13a) 및 볼록 형상 구면(20a)과, 가압 에어의 열교환 효율을 높일 수 있다. 그 결과, 예를 들면, 베이스 플레이트(51)에 가열 장치가 장착된 경우에는, 가열 장치로부터의 열이 고리 형상 다공질재(13)로부터 고정 블록(12)측으로 전달되는 것을 억제할 수 있어, 고정 블록(12)측의 마그네트(22)나 피스톤 링(40a)의 열화를 억제할 수 있다. 또한, 각 구면(13a, 20a)의 외주 가장자리로부터 모방 장치(10)의 외부로 배출되는 가압 에어에 의해, 모방 장치(10)의 외측 표면의 온도 상승도 억제할 수 있다.(3) Pressurized air is vigorously fed between the concave spherical surface 13a and the convex spherical surface 20a opposed thereto. The pressurized air flows along the convex spherical surface 20a and the concave spherical surface 13a and then is discharged to the outside of the mimic device 10 from the outer peripheral edges of the spherical surfaces 13a and 20a. In this embodiment, the effective area of the concave spherical surface 13a is made as wide as possible, and the length of the outer circumference of the concave spherical surface 13a is made as long as possible. Therefore, the distance and the flow rate of the pressurized air flowing along the concave spherical surface 13a can be secured until the pressurized air is supplied to the imitation apparatus 10 and then discharged to the outside of the imitation apparatus 10, The shape spherical surface 13a and the convex spherical surface 20a and the heat exchange efficiency of the pressurized air can be increased. As a result, for example, when the heating device is mounted on the base plate 51, the heat from the heating device can be prevented from being transmitted from the annular porous material 13 to the fixed block 12 side, Deterioration of the magnet 22 and the piston ring 40a on the block 12 side can be suppressed. The temperature rise of the outer surface of the imitation apparatus 10 can also be suppressed by the pressurized air discharged from the outer peripheral edge of each of the spherical surfaces 13a and 20a to the outside of the imitation apparatus 10. [

(4) 모방 장치(10)는, 모방 부재(21)를 유지하기 위한 마그네트(22)를 구비한다. 이 마그네트(22)는 고리 형상 다공질재(13)의 관통 구멍(13d) 내에서 모방 부재(21)에 대향하고 있다. 따라서, 고리 형상 다공질재(13)는, 마그네트(22)를 노출시키는 관통 구멍(13d)을 갖는 것이 필요하다. 고리 형상 다공질재(13)가 작아지면, 오목 형상 구면(13a)의 면적이 작아지게 된다. 이에 대해서, 본 실시형태에서는 고리 형상 다공질재(13)가 편평 형상이기 때문에, 관통 구멍(13d)을 가지면서도, 오목 형상 구면(13a)의 유효 면적이 작아지지 않아, 모방 부재(21)를 마그네트(22)에 의해 유지할 수 있다.(4) The mimic device 10 has a magnet 22 for holding the mimic member 21. [ The magnet 22 is opposed to the imitation member 21 in the through hole 13d of the annular porous material 13. [ Therefore, the annular porous member 13 needs to have a through hole 13d for exposing the magnet 22. When the annular porous material 13 becomes smaller, the area of the concave spherical surface 13a becomes smaller. On the other hand, in the present embodiment, since the annular porous member 13 is flat, the effective area of the concave spherical surface 13a is not reduced even though the through hole 13d is provided, (22). &Lt; / RTI >

(5) 자석 홀더(23)는, 고정 블록(12)의 관통 구멍(12c)에 삽입 통과되는 홀더 본체(24)와, 고정 블록(12)에 적층되는 플랜지(25)를 갖는다. 또한, 자석 홀더(23)는, 플랜지(25)에 삽입 통과한 나사(27)를 고정 블록(12)에 나사 결합시킴으로써 고정 블록(12)에 고정된다. 따라서, 나사(27)를 나사 결합하는 장소를, 고정 블록(12)의 관통 구멍(12c) 내에 마련할 필요가 없어, 모방 장치(10)의 소형화에 기여할 수 있다.(5) The magnet holder 23 has a holder body 24 which is inserted into the through hole 12c of the fixing block 12 and a flange 25 which is laminated on the fixing block 12. The magnet holder 23 is fixed to the fixing block 12 by screwing the screw 27 inserted into the flange 25 into the fixing block 12. [ Therefore, it is not necessary to provide the threaded portion of the screw 27 in the through hole 12c of the fixed block 12, which contributes to miniaturization of the mimic device 10. [

(6) 고정 블록(12)의 수용 오목부(12d)는, 편평 형상의 고리 형상 다공질재(13)에 따라 편평 형상이다. 고정 블록(12)에서, 수용 오목부(12d)를 둘러싸는 부위는, 베어링으로서 기능하지 않는 부위이다. 부착 단차부(18b) 및 돌출부(18a)는 이 기능하지 않는 부위에 형성된다. 사이드 플레이트(31)는, 돌출부(18a)를 사이드 플레이트(31)의 양단부 사이에 끼우도록, 부착 단차부(18b)에 부착된다. 따라서, 모방 장치(10)의 기능에 관계없는 부위를 사이드 플레이트(31)의 부착에 유효 이용하여, 모방 장치(10)를 소형화할 수 있다.(6) The accommodating concave portion 12d of the fixing block 12 has a flat shape according to the flat annular porous material 13. In the fixed block 12, the portion surrounding the accommodating concave portion 12d is a portion that does not function as a bearing. The attaching stepped portion 18b and the projecting portion 18a are formed on the nonfunctional portion. The side plate 31 is attached to the attachment step portion 18b so as to sandwich the projecting portion 18a between the both end portions of the side plate 31. [ Therefore, the imitation apparatus 10 can be downsized by effectively utilizing the portion of the imitation apparatus 10, which is not related to the function of the imitation apparatus 10, for attaching the side plate 31. [

(7) 모방 장치(10)는, 모방 부재(21)를 유지하기 위한 마그네트(22)를 구비한다. 이 마그네트(22)는 고리 형상 다공질재(13)의 관통 구멍(13d) 내에서 모방 부재(21)에 대향하고 있다. 관통 구멍(13d)에는, 에어 급배 포트(B)로부터의 가압 에어가 방출된다. 이 때문에, 마그네트(22)의 주위에는 에어의 흐름이 생겨, 마그네트(22)의 방열성을 높일 수 있다. 그 결과, 마그네트(22)의 온도 상승이 억제되어, 마그네트(22)의 자력의 저하가 억제된다.(7) The imitation apparatus 10 has the magnet 22 for holding the imitation member 21. [ The magnet 22 is opposed to the imitation member 21 in the through hole 13d of the annular porous material 13. [ The pressurized air from the air supply port B is discharged to the through hole 13d. Therefore, a flow of air is generated around the magnet 22, and the heat dissipation of the magnet 22 can be enhanced. As a result, the temperature rise of the magnet 22 is suppressed, and the magnetic force of the magnet 22 is suppressed from lowering.

(8) 모방 장치(10)의 외곽은, 커버(26), 자석 홀더(23)의 플랜지(25), 고정 블록(12) 및 모방 부재(21)를 적층했을 때의 외곽과 일치한다. 커버(26), 플랜지(25), 고정 블록(12) 및 모방 부재(21)는 직육면체 또는 거의 직육면체이다. 이 때문에, 모방 장치(10)의 외곽을 거의 직육면체로 해서, 박형화할 수 있다.(8) The outer periphery of the imitation apparatus 10 coincides with the outer periphery when the cover 26, the flange 25 of the magnet holder 23, the fixing block 12, and the imitation member 21 are laminated. The cover 26, the flange 25, the fixing block 12 and the mimic member 21 are rectangular parallelepiped or almost rectangular parallelepiped. For this reason, the outer periphery of the imitation apparatus 10 can be formed into a substantially rectangular parallelepiped shape and can be made thin.

(9) 고정 블록(12)의 측면에 돌출부(18a)를 형성하고, 그 돌출부(18a)를 끼우도록 U자 형상의 사이드 플레이트(31)를 부착했다. 또한, 사이드 플레이트(31)와 돌출부(18a)에 의해 둘러싸인 개구부(S)를 설치했다. 또한, 모방 부재(21)가 Y축 방향(장측 가장자리를 따르는 방향)으로 요동했을 때, 모방 부재(21)의 단부가 사이드 플레이트(31)와 간섭하지 않도록, 그 모방 부재(21)의 단부가 개구부(S)에 들어가도록 했다. 따라서, 모방 장치(10)를 소형화해도, 모방 부재(21)의 요동 범위가 좁아지지 않는다.(9) A protrusion 18a is formed on the side surface of the fixing block 12, and a U-shaped side plate 31 is attached so as to sandwich the protrusion 18a. Further, an opening S surrounded by the side plate 31 and the projecting portion 18a was provided. The end portion of the imitation member 21 is formed so as not to interfere with the side plate 31 when the imitation member 21 swings in the Y axis direction So as to enter the opening S. Therefore, even if the imitation apparatus 10 is miniaturized, the swing range of the imitation member 21 is not narrowed.

(10) 고정 블록(12)의 돌출부(18a)를 끼우도록 U자 형상의 사이드 플레이트(31)를 부착하고, 사이드 플레이트(31)와 돌출부(18a)에 의해 둘러싸인 개구부(S)를 설치했다. 또한, 오목 형상 구면(13a)과 볼록 형상 구면(20a) 사이에 공급되어, 각 구면(13a, 20a)을 따라 흐른 가압 에어를, 개구부(S)로부터 모방 장치(10)의 외부로 배출시키도록 했다. 이 때문에, 개구부(S)로부터 배출되는 가압 에어에 의해 모방 장치(10)의 외측 표면의 온도 상승을 억제할 수 있다.(10) A U-shaped side plate 31 was attached so as to sandwich the projection 18a of the fixing block 12 and an opening S surrounded by the side plate 31 and the projection 18a was provided. The air is supplied between the concave spherical surface 13a and the convex spherical surface 20a so as to discharge the pressurized air flowing along the spherical surfaces 13a and 20a from the opening S to the outside of the mimic device 10. [ did. Therefore, the temperature rise of the outer surface of the mimic device (10) can be suppressed by the pressurized air discharged from the opening (S).

상기 실시형태는 이하와 같이 변경해도 된다.The above embodiment may be modified as follows.

○ 상기 실시형태에서는, 고정 블록(12)에 돌출부(18a) 및 부착 단차부(18b)를 형성하고, 그 부착 단차부(18b)에 사이드 플레이트(31)를 부착했다. 그러나, 고정 블록(12)에 돌출부(18a) 및 부착 단차부(18b)를 형성하지 않고, 평탄한 측면(12h)에 사이드 플레이트(31)를 부착해도 된다.In the above embodiment, the fixing block 12 is provided with the projecting portion 18a and the attaching stepped portion 18b, and the side plate 31 is attached to the attaching stepped portion 18b. However, the side plate 31 may be attached to the flat side surface 12h without forming the protruding portion 18a and the attaching step portion 18b in the fixed block 12.

○ 모방 부재(21)를 장치 기대(11)에 밀착 고정하는 액추에이터로서, 피스톤(40)과 로드(53)를 사용했지만, 피스톤(40) 대신에 다이어프램을 사용해도 된다.Although the piston 40 and the rod 53 are used as the actuator for closely fixing the imitation member 21 to the device base 11, a diaphragm may be used instead of the piston 40. [

○ 상기 실시형태의 모방 장치(10)는, 액추에이터로서의 피스톤(40)과 로드(53)에 의한 압압, 마그네트(22)의 자력 및 진공 배기에 의한 흡인에 의해 모방 부재(21)를 장치 기대(11)에 흡착해서, 유지한다. 그러나, 모방 부재(21)를 장치 기대(11)에 유지하는 방법은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 모방 장치(10)는, 액추에이터를 구비하지 않고, 진공 배기에 의한 흡인만으로, 모방 부재(21)를 장치 기대(11)에 유지해도 된다. 요컨대, 모방 부재(21)를 장치 기대(11)에 유지하는 방법은, 진공 배기에 의한 흡인, 액추에이터에 의한 압압 및 마그네트(22)의 자력 중 적어도 하나에서 임의로 선택해도 된다.The mimic device 10 of the above embodiment is a device in which the mimic member 21 is mounted on the device base (not shown) by pressing with the piston 40 as the actuator and the rod 53 and by the magnetic force of the magnet 22 and suction by vacuum evacuation 11). However, the method of holding the imitation member 21 on the apparatus base 11 is not limited to this. For example, the mimic device 10 may not have an actuator, but may hold the mimic member 21 on the device base 11 only by suction with vacuum exhaust. That is, the method of holding the imitation member 21 on the apparatus base 11 may be arbitrarily selected from at least one of suction by vacuum exhaust, pressing by the actuator, and magnetic force of the magnet 22.

○ 오목 형상 구면(13a)에서, 가상원(C)의 직경인 직선(M)의 길이는, 고정 블록(12)의 단변보다 길면, 적당히 변경해도 된다.In the concave spherical surface 13a, the length of the straight line M, which is the diameter of the virtual circle C, may be appropriately changed if it is longer than the short side of the fixed block 12. [

○ 피스톤(40)은, Z축 방향으로부터 평면시에서 원형일 필요는 없고, 타원형 등의 편평 형상이어도 된다.The piston 40 does not have to be circular in plan view from the Z-axis direction, but may have a flat shape such as an ellipse.

상기 실시형태 및 변경예로부터 파악할 수 있는 기술적 사상을 이하에 기재한다.Technical ideas that can be grasped from the above embodiments and modifications are described below.

(A) 상기 오목 형상 구면은, 축방향에서 보았을 때 편평 형상인 모방 장치.(A) The mimic device has a concave spherical surface that is flat when viewed in the axial direction.

(B) 상기 액추에이터는, 피스톤과 상기 피스톤에 일체화된 로드로 이루어지는 모방 장치.(B) The mimic device is composed of a piston and a rod integrally formed with the piston.

(C) 상기 액추에이터는, 상기 장치 기대에 상기 모방 부재를 밀착해서 유지하는 로크 위치와, 상기 장치 기대에 상기 모방 부재를 밀착하지 않는 로크 해제 위치 사이에서 이동 가능한 모방 장치.(C) The mimic device is movable between a lock position for holding the imitation member in close contact with the device base and an unlock position for not contacting the imitation member with the device base.

Claims

A profiling member having a convex spherical surface,
And a device base having a concave spherical surface for receiving the convex spherical surface,
Wherein the imitation member is capable of floating from the device base by receiving air pressure and is configured to swing the imitation member along the concave spherical surface to form an abutment surface integrally formed with the imitation member Face) of the object is brought into contact with the object, and the abutment surface is imitated so as to be parallel to the specific surface of the object,
Wherein when the device base and the imitation member are stacked in the axial direction of the imitation device, the device base in the plane view from the axial direction (in a plan view) is a rectangular shape having a long side and a short side, Characterized in that said concave spherical surface is formed in the region of said device base surrounded by said circle when a circle having a diameter of longer than the short side of said device base is projected from said axial direction to said device base Lt; / RTI >

The method according to claim 1,
Wherein the diameter of the circle is less than or equal to the length in the long-side direction of the device base.

3. The method of claim 2,
The apparatus base has a pair of long side edges and a pair of circular arc edges connecting one ends and the other ends of the pair of long side edges in a plan view from the axial direction And an annular porous material, wherein the concave spherical surface is provided in the annular porous material.

The method of claim 3,
Wherein the convex spherical surface of the imitation member has a pair of long side edges and a pair of circular arc edges connecting one ends and the other ends of the pair of long side edges in a plan view from the axial direction, .

5. The method of claim 4,
And the pair of circular arc edges of the convex spherical surface are formed so as to overlap with the pair of circular arc edges of the annular porous material.

6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein each of the side surfaces on the short side of the device base has a protruding portion to the outside and two attachment step portions which sandwich the protruding portion from both sides in the short side direction and are recessed with respect to the protruding portion, Shaped side plate is attached to the two attachment step portions so as to sandwich the protrusion between both end portions thereof and the imitation member is disposed between the pair of side plates.

The method according to claim 6,
The mimic device has an opening portion surrounded by the side plate and the protruding portion, and when the mimic member is swung in the direction along the long side edge thereof, the imitation device in which one end portion (end portion) of the mimic member enters the opening portion .