KR102037952B1 - 로더 포트 장치 - Google Patents

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Abstract

반도체 소자들이 형성된 기판들에 대해 검사 공정을 수행하는 기판 처리 모듈의 로더 유닛에 장착되어 기판 처리 모듈로 기판들을 반입 및 반출하기 위한 로더 포트 장치가 개시된다. 로더 포터 장치는, 로더 유닛에 탈착 가능하게 결합될 수 있으며 기판들을 수납할 수 있는 수납 용기와 기판 처리 모듈 간에 상기 기판들의 출입을 위한 개구부를 구비하는 메인 프레임과, 메인 프레임에 구비되고 상면에 수납 용기가 탑재될 수 있으며 전후로 이동 가능한 스테이지와, 메인 프레임의 상부 부위에 장착되고 기판 처리 모듈의 내부에 배치될 수 있으며 슬라이딩 방식으로 상하 이동하여 상기 개구부를 통해 상기 수납 용기의 도어를 개폐하는 도어 오프너 유닛을 포함할 수 있다. 이와 같이, 로더 포트 장치는 도어 오프너 유닛의 구동이 상부 공간에서 이루어지므로, 도어 오프너 유닛의 하부 공간을 다양하게 활용할 수 있다.

Description

로더 포트 장치{Loader port apparatus}
본 발명의 실시예들은 로더 포트 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 소자들이 형성된 기판을 처리하는 공정 설비로 기판들을 반입 및 반출하기 위한 로더 포트 장치에 관한 것이다.
일반적으로 집적 회로 소자들과 같은 반도체 소자들은 실리콘 웨이퍼와 같이 기판에 일련의 반복적인 미세 처리 공정들에 의해 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판 상에 박막을 형성하는 증착 공정, 기판 상의 박막을 특정 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 패턴들에 전기적인 특성을 부여하기 위한 이온 주입 공정 또는 확산 공정, 패턴들이 형성된 기판으로부터 불순물들을 제거하기 위한 세정 및 린스 공정 등을 반복적으로 수행함으로써 다양한 형태의 반도체 소자들이 기판 상에 형성될 수 있다.
기판들은 풉(Front Open Unified Pod: FOUP)과 같은 수납 용기에 수납되어 기판들에 대해 전기적 특성 검사와 같은 공정이 이루어지는 공정 설비로 운반된다. 공정 설비에는 풉이 탑재될 수 있는 로더 포트 모듈이 구비된다.
일반적으로 로더 포트 모듈은 풉의 도어를 개폐하기 위한 도어 오프너 유닛을 구비한다. 도어 오프너 유닛은 도어를 파지하는 도어 오프너와 이를 구동하기 위한 구동부를 구비한다. 그러나 종래의 도어 오프너는 구동부가 도어 오프너의 하측에 구비되어 있기 때문에 공간 활용에 많은 제약이 따르며 불필요한 공간을 차지하는 문제점이 있다.
한국등록특허 제10-0707881호 (2007.04.13.)
본 발명의 실시예들은 수납 용기의 도어를 개폐하는 도어 오프너의 구동부를 기판이 출입하는 영역의 상측에 설치하여 공간 활용도를 높일 수 있는 로더 포트 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따르면, 반도체 소자들이 형성된 기판들에 대해 검사 공정을 수행하는 기판 처리 모듈의 로더 유닛에 장착되어 상기 기판 처리 모듈로 상기 기판들을 반입 및 반출하기 위한 로더 포트 장치는, 상기 로더 유닛에 탈착 가능하게 결합될 수 있으며 상기 기판들을 수납할 수 있는 수납 용기와 상기 기판 처리 모듈 간에 상기 기판들의 출입을 위한 개구부를 구비하는 메인 프레임과, 상기 메인 프레임에 구비되고 상면에 상기 수납 용기가 탑재될 수 있으며 전후로 이동 가능한 스테이지와, 상기 메인 프레임의 상부 부위에 장착되고 상기 기판 처리 모듈의 내부에 배치될 수 있으며 슬라이딩 방식으로 상하 이동하여 상기 개구부를 통해 상기 수납 용기의 도어를 개폐하는 도어 오프너 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 도어 오프너 유닛은, 상기 도어를 개폐하기 위해 상기 개구부를 통해 상기 도어를 파지하는 도어 오프너와, 상기 도어 오프너에 결합되고 상기 메인 프레임에서 상기 개구부의 상측에 장착되며 상기 도어 오프너를 수직 방향으로 이동시키는 에어 실린더와, 상기 에어 실린더의 일측에 배치되며 상기 에어 실린더 구동 중 상기 도어 오프너가 이동하는 경로 상에서 비상 이벤트 발생시 상기 도어 오프너의 이동을 정지시키기 위해 상기 비상 이벤트를 감지하기 위한 이벤트 감지 센서를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 도어 오프너 유닛은, 상기 에어 실린더에 연결되고 상기 이벤트 감지 센서에서 상기 비상 이벤트를 감지할 경우 상기 에어 실린더 안에 공기를 가둬 상기 에어 실린더의 구동을 정지시키는 실린더 안전 장치를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 실린더 안전 장치는, 상기 에어 실린더로 공기를 주입 및 배출하는 한 쌍의 에어 라인에 연결되고 상기 비상 이벤트 발생 시 상기 에어 실린더 안에 공기를 가두기 위해 상기 에어 실린더로의 공기 주입과 배출을 제어하는 방향 제어 밸브와, 상기 에어 라인들 각각에 구비되고 상기 에어 라인에서 상기 에어 실린더에 연결된 지점과 상기 방향 제어 밸브에 연결된 지점 사이에 위치하며 상기 이벤트 발생시 상기 도어 오프너가 안전하게 정지하도록 상기 에어 라인의 유량을 조절하는 유량 조절부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 유량 조절부는, 상기 에어 라인에 장착되는 오리피스를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 유량 조절부는, 상기 오리피스를 사이에 두고서 양 단이 상기 에어 라인에 연결된 서브 라인에 장착되고 상기 에어 라인의 유량을 조절하는 체크 밸브를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 실린더 안전 장치는, 상기 에어 라인들에서 상기 유량 조절부와 상기 방향 제어 밸브 사이에 장착되고 상기 이벤트 발생시 상기 도어 오프너가 안전하게 정지하도록 상기 에어 라인들의 유량을 한 번 더 조절하는 체크 밸브 블럭을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 방향 제어 밸브는 솔레노이드 밸브일 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 도어 오프너 유닛은, 상기 메인 프레임에서 상기 개구부의 양측에 장착되며 상기 도어 오프너에 결합되고 상기 도어 오프너의 수직 이동을 가이드하기 위한 한 쌍의 엘엠 가이드와, 상기 메인 프레임에서 상기 수납 용기를 향하여 위치하는 전면부에 결합되고 상기 수납 용기의 도어에 대응하여 위치하는 기판 출입구를 구비하며 상기 개구부에서 상기 기판 출입구에 대응하는 부분을 제외한 나머지 부분을 밀폐하는 차단 플레이트를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 기판들은 상기 기판 출입구를 통해 상기 기판 처리 모듈로 출입하며, 상기 도어 오프너는 상기 기판 출입구를 통해 상기 도어를 파지할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따른 로더 포트 장치는, 도어 오프너를 구동하는 에어 실린더를 도어 오프너의 상측에 배치함으로써, 도어 오프너의 하부 공간을 활용할 수 있다. 이에 따라, 도어 오프너의 하부 공간에 칠러와 같은 장치를 설치할 수 있고 설비의 공간 활용도를 향상시킬 수 있으며, 종래 대비 로더 포트 장치를 컴팩트하게 구성하여 조립성을 향상시킬 수 있다.
더욱이, 로더 포트 장치는 도어 오프너의 안전한 구동을 위해 실린더 안전 장치를 구비함으로써, 기판들의 안전한 반출 및 반입을 도모하고 비상 이벤트 발생시 기판들의 파손을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로더 포트 장치가 장착될 수 있는 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로더 포트 장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 로더 포트 장치를 설명하기 위한 개략적인 배면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 실린더 안전 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로더 포트 장치가 장착될 수 있는 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 상기 기판 처리 장치(300)는 반도체 소자들이 형성된 기판들에 대해 처리 공정을 수행하는 기판 처리 모듈(100)과, 상기 기판 처리 모듈(100)로 상기 기판들을 반입 및 반출하기 위한 본 발명의 로더 포트 장치(200)를 구비할 수 있다. 여기서, 상기 기판 처리 모듈(100)은 프로버(미도시)를 이용하여 상기 기판들에 대해 전기적인 특성을 검사하는 공정을 수행할 수 있다.
상기 기판 처리 모듈(100)은 상기 로더 포트 장치(200)가 장착되는 로더 유닛(110)을 구비할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 로더 포트 장치(200)는 상기 기판 처리 모듈(100)에 탈착 가능하게 결합될 수 있으며, 상기 로더 유닛(110)에 탑재된다. 상기 로더 포트 장치(200)는 상기 기판들을 수납할 수 있는 수납 용기(10), 예컨대, 풉을 지지할 수 있으며, 상기 수납 용기(10)와 상기 기판 처리 모듈(100) 간에 상기 기판들을 반입 및 반출하기 위한 통로를 제공할 수 있다. 특히, 상기 로더 포트 장치(200)는 종래대비 컴팩트하게 구성되어 공간 활용도와 조립성을 향상시킬 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 상기 로더 포트 장치(200)의 구성에 대해 구체적으로 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로더 포트 장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 로더 포트 장치를 설명하기 위한 개략적인 배면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 로더 포트 장치(200)는 상기 기판 처리 모듈(100)에 탈착 가능하게 결합되는 메인 프레임(210)과, 상기 수납 용기(10)가 탑재될 수 있는 스테이지(220)와, 상기 스테이지(220)를 구동하기 위한 스테이지 구동부(230)와, 상기 수납 용기(10)의 도어를 개폐하기 위한 도어 오프너 유닛을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 메인 프레임(210)은 상기 로더 유닛(110)에 탈착 가능하게 결합될 수 있으며, 상기 기판 처리 모듈(100)의 일측부에 배치될 수 있다. 상기 메인 프레임(210)은 상기 수납 용기(10)와 상기 기판 처리 모듈(100) 간에 상기 기판들의 출입을 위한 개구부(212)를 구비할 수 있다.
상기 스테이지(220)는 상기 스테이지 구동부(230)의 상부면에 장착될 수 있으며, 상면에 상기 수납 용기(10)가 탑재될 수 있다.
상기 스테이지 구동부(230)는 상기 메인 프레임(210)의 전면측 장착될 수 있으며, 상기 스테이지(220)를 전후 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 스테이지 구동부(230)는 상기 스테이지(220) 상에 상기 수납 용기(10)가 안정적으로 탑재되도록 상기 스테이지(220)의 수평을 조절할 수 있다.
상기 도어 오프너 유닛은 상기 메인 프레임(210)의 배면측에 장착될 수 있으며, 상기 메인 프레임(210)의 상부 부위에 장착된다. 상기 도어 오프너 유닛은 상기 기판 처리 모듈(100)의 내부에 배치될 수 있으며, 슬라이딩 방식으로 상하 이동하여 상기 개구부(212)를 통해 상기 수납 용기(10)의 도어를 개폐할 수 있다.
구체적으로, 상기 도어 오프너 유닛은, 상기 도어를 개폐하기 위해 상기 개구부(212)를 통해 상기 도어를 파지하는 도어 오프너(240)와, 상기 도어 오프너(240)에 결합되고 상기 메인 프레임(210)에서 상기 개구부(212)의 상측에 장착되며 상기 도어 오프너(240)를 수직 방향으로 이동시키는 에어 실린더(250)와, 상기 에어 실린더(250)의 일측에 배치되며 상기 에어 실린더(250) 구동 중 상기 도어 오프너(240)가 이동하는 경로 상에서 비상 이벤트 발생시 상기 도어 오프너(240)의 이동을 정지시키기 위해 상기 비상 이벤트를 감지하기 위한 복수의 이벤트 감지 센서(272, 274)를 포함할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 도어 오프너 유닛은 상기 도어 오프너(240)를 구동하는 에어 실린더(250)를 상기 도어 오프너(240)의 상측에 배치한다. 이에 따라, 상기 기판 처리 모듈(100) 내부에서 상기 도어 오프너(240)의 하부 공간을 활용할 수 있으므로, 상기 하부 공간에 칠러와 같은 장치를 설치할 수 있고 공간 이용 효율을 향상시킬 수 있으며 설비 면적을 최소화할 수 있다.
상기 이벤트 감지 센서들(272, 274)은 상기 개구부(212)의 상측과 상기 도어 오프너(240)에 장착될 수 있으며, 상기 도어 오프너(240)의 상하 이동시 상기 비상 이벤트를 감지한다. 여기서, 상기 개구부(212)의 상측에 위치하는 이벤트 감지 센서(272)는 상기 도어 오프너(240)가 상측으로 이동시 상기 도어 오프너(240)의 상측에서 발생된 비상 이벤트를 감지할 수 있다. 반면, 상기 도어 오프너(240)에 장착된 이벤트 감지 센서(274)는 상기 도어 오프너(240)가 하측으로 이동시 상기 도어 오프너(240)의 하측에서 발생된 비상 이벤트를 감지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도어 오프너 유닛은 두 개의 감지 센서(272, 274)를 구비하나, 하나의 감지 센서를 구비할 수도 있다.
또한, 상기 도어 오프너 유닛은, 상기 메인 프레임(210)에서 상기 개구부(212)의 양측에 각각 장착되며 상기 도어 오프너(240)에 결합되고 상기 도어 오프너(240)의 수직 이동을 가이드하기 위한 한 쌍의 엘엠 가이드(260)와, 상기 메인 프레임(210)에서 상기 수납 용기(10)를 향하여 위치하는 전면부에 결합되고 상기 수납 용기(10)의 도어에 대응하여 위치하는 기판 출입구(282)를 구비하는 차단 플레이트(280)를 더 포함할 수 있다. 상기 차단 플레이트(280)는 상기 개구부(212)에서 상기 기판 출입구(282)에 대응하는 부분을 제외한 나머지 부분을 밀폐한다. 여기서, 상기 기판들은 상기 기판 출입구(282)를 통해 상기 기판 처리 모듈(100)로 출입할 수 있다. 상기 도어 오프너(240)는 상기 기판 출입구(282)를 통해 상기 도어를 파지한다.
한편, 상기 도어 오프너 유닛은, 상기 에어 실린더(250)에 연결되고 상기 이벤트 감지 센서에서 상기 비상 이벤트를 감지할 경우 상기 에어 실린더 안에 공기를 가둬 상기 에어 실린더의 구동을 정지시키는 실린더 안전 장치(290)를 더 포함할 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 실린더 안전 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 실린더 안전 장치(290)는, 상기 에어 실린더(250)로 공기를 주입 및 배출하는 한 쌍의 에어 라인(252, 254)에 연결되고 상기 비상 이벤트 발생 시 상기 에어 실린더(250) 안에 공기를 가두기 위해 상기 에어 실린더(250)로의 공기 주입과 배출을 제어하는 방향 제어 밸브(291)와, 상기 에어 라인(252, 254)들 각각에 구비되고 상기 에어 라인(252, 254)에서 상기 에어 실린더(250)에 연결된 지점과 상기 방향 제어 밸브(291)에 연결된 지점 사이에 위치하며 상기 이벤트 발생시 상기 도어 오프너(240)가 안전하게 정지하도록 상기 에어 라인(252, 254)의 유량을 조절하는 유량 조절부(292)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 방향 제어 밸브(291)는 상기 비상 이벤트 발생 유무에 따라 상기 에어 라인들(252, 254)이 연결되는 포트의 위치가 달라진다. 특히, 상기 방향 제어 밸브(291)는 상기 비상 이벤트가 발생할 경우 상기 에어 라인들(252, 254)로의 공기 주입과 배출을 차단하여 상기 에어 실린더(250) 안에 공기를 가둔다. 이에 따라, 상기 에어 실린더(250)의 구동이 중지되며, 그 결과, 상측 또는 하측으로 이동중이던 상기 도어 오프너(240)가 정지한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 방향 제어 밸브(291)는 솔레노이드 밸브일 수 있으며, 본 발명의 일례로 3 위치 5 포인트로 구성될 수 있다. 이렇게 상기 방향 제어 밸브(291)가 3 위치 5 포인트로 구성될 경우, 상기 방향 제어 밸브(291)가 중립에 위치할 때 상기 에어 실린더(250) 안의 공기를 가둘 수 있다.
한편, 상기 유량 조절부(292)는 상기 에어 라인(252, 254)에 장착되어 상기 에어 라인(252, 254)의 유량을 조절하는 오리피스(293)를 구비할 수 있다.
또한, 상기 유량 조절부(292)는 상기 에어 라인(252, 254)의 유량을 조절하는 체크 밸브(294)를 더 구할 수 있으며, 상기 체크 밸브(294)는 상기 오리피스(293)를 사이에 두고서 양 단이 상기 에어 라인(252, 254)에 연결된 서브 라인에 장착될 수 있다.
한편, 상기 실린더 안전 장치(290)는, 상기 에어 라인들(252, 254)에서 상기 유량 조절부(292)와 상기 방향 제어 밸브(291) 사이에 장착되고 상기 이벤트 발생시 상기 도어 오프너(240)가 안전하게 정지하도록 상기 에어 라인들(252, 254)의 유량을 한 번 더 조절하는 체크 밸브 블럭(295)을 더 포함할 수 있다.
상기 체크 밸브 블럭(295)은 상기 에어 라인들(252, 254)에 각각 장착되는 한 쌍의 체크 밸브(296, 297)를 구비할 수 있으며, 파일럿을 이용하여 상기 에어 라인들(252, 254)의 공기 흐름을 조절할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 로더 포트 장치(200)는 상기 도어 오프너(240)를 구동하는 상기 에어 실린더(250)를 상기 도어 오프너(240)의 상측에 구비함으로써, 상기 도어 오프너(240)의 하부 공간을 설비에 따라 다양하게 활용할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판 처리 모듈(100)의 공간 활용도를 향상시킬 수 있으며, 종래 대비 상기 로더 포트 장치(200)를 컴팩트하게 구성하여 조립성을 향상시킬 수 있다.
더욱이, 상기 로더 포트 장치(200)는 상기 도어 오프너(240)의 안전한 구동을 위해 상기 실린더 안전 장치(290)를 구비함으로써, 상기 기판들의 안전한 반출 및 반입을 도모하고 상기 비상 이벤트 발생시 상기 기판들의 파손을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 기판 처리 모듈 200 : 로더 포트 장치
300 : 기판 처리 장치

Claims (9)

  1. 반도체 소자들이 형성된 기판들에 대해 검사 공정을 수행하는 기판 처리 모듈의 로더 유닛에 장착되어 상기 기판 처리 모듈로 상기 기판들을 반입 및 반출하기 위한 로더 포트 장치에 있어서,
    상기 로더 유닛에 탈착 가능하게 결합될 수 있으며 상기 기판들을 수납할 수 있는 수납 용기와 상기 기판 처리 모듈 간에 상기 기판들의 출입을 위한 개구부를 구비하는 메인 프레임;
    상기 메인 프레임에 구비되고 상면에 상기 수납 용기가 탑재될 수 있으며 전후로 이동 가능한 스테이지; 및
    상기 메인 프레임의 상부 부위에 장착되고 상기 기판 처리 모듈의 내부에 배치될 수 있으며 슬라이딩 방식으로 상하 이동하여 상기 개구부를 통해 상기 수납 용기의 도어를 개폐하는 도어 오프너 유닛을 포함하되,
    상기 도어 오프너 유닛은, 상기 도어를 개폐하기 위해 상기 도어를 파지하는 도어 오프너와, 상기 도어 오프너에 결합되고 상기 메인 프레임에서 상기 개구부의 상측에 장착되며 상기 도어 오프너를 수직 방향으로 이동시키는 에어 실린더와, 상기 에어 실린더의 일측에 배치되며 상기 에어 실린더 구동 중 상기 도어 오프너가 이동하는 경로 상에서 비상 이벤트 발생시 상기 비상 이벤트를 감지하기 위한 이벤트 감지 센서와, 상기 비상 이벤트가 감지되는 경우 상기 에어 실린더 안에 공기를 가둬 상기 에어 실린더의 구동을 정지시키는 실린더 안전 장치를 포함하고,
    상기 실린더 안전 장치는, 상기 에어 실린더로 공기를 주입 및 배출하는 한 쌍의 에어 라인에 연결되고 상기 비상 이벤트 발생시 상기 에어 실린더 안에 공기를 가두기 위해 상기 에어 실린더로의 공기 주입과 배출을 제어하는 방향 제어 밸브와, 상기 에어 라인들 각각에 구비되고 상기 에어 라인들의 유량을 조절하는 유량 조절부와, 상기 에어 라인들에서 상기 유량 조절부와 상기 방향 제어 밸브 사이에 장착되고 상기 비상 이벤트 발생시 상기 도어 오프너가 안전하게 정지하도록 상기 에어 라인들의 유량을 한 번 더 조절하는 체크 밸브 블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 로더 포트 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 유량 조절부는, 상기 에어 라인에 장착되는 오리피스를 구비하는 것을 특징으로 하는 로더 포트 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 유량 조절부는, 상기 오리피스를 사이에 두고서 양 단이 상기 에어 라인에 연결된 서브 라인에 장착되고 상기 에어 라인의 유량을 조절하는 체크 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로더 포트 장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서, 상기 방향 제어 밸브는 솔레노이드 밸브인 것을 특징으로 하는 로더 포트 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 도어 오프너 유닛은,
    상기 메인 프레임에서 상기 개구부의 양측에 장착되며 상기 도어 오프너에 결합되고 상기 도어 오프너의 수직 이동을 가이드하기 위한 한 쌍의 엘엠 가이드; 및
    상기 메인 프레임에서 상기 수납 용기를 향하여 위치하는 전면부에 결합되고 상기 수납 용기의 도어에 대응하여 위치하는 기판 출입구를 구비하며 상기 개구부에서 상기 기판 출입구에 대응하는 부분을 제외한 나머지 부분을 밀폐하는 차단 플레이트를 더 포함하고,
    상기 기판들은 상기 기판 출입구를 통해 상기 기판 처리 모듈로 출입하며,
    상기 도어 오프너는 상기 기판 출입구를 통해 상기 도어를 파지하는 것을 특징으로 하는 로더 포트 장치.
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