KR102034701B1 - Processing method of Finishing for stepper-Baseframe with Large structure - Google Patents

Processing method of Finishing for stepper-Baseframe with Large structure Download PDF

Info

Publication number
KR102034701B1
KR102034701B1 KR1020190102958A KR20190102958A KR102034701B1 KR 102034701 B1 KR102034701 B1 KR 102034701B1 KR 1020190102958 A KR1020190102958 A KR 1020190102958A KR 20190102958 A KR20190102958 A KR 20190102958A KR 102034701 B1 KR102034701 B1 KR 102034701B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
frame
finishing
assembly
base frame
main frame
Prior art date
Application number
KR1020190102958A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이종량
Original Assignee
대산지오텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 대산지오텍 주식회사 filed Critical 대산지오텍 주식회사
Priority to KR1020190102958A priority Critical patent/KR102034701B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102034701B1 publication Critical patent/KR102034701B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23C—MILLING
    • B23C3/00—Milling particular work; Special milling operations; Machines therefor
    • B23C3/13—Surface milling of plates, sheets or strips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23C—MILLING
    • B23C1/00—Milling machines not designed for particular work or special operations
    • B23C1/06—Milling machines not designed for particular work or special operations with one vertical working-spindle
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70975—Assembly, maintenance, transport or storage of apparatus
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

The present invention relates to an assembly and finish cutting method for a base frame for a stepper having a large-area multi-stage division structure. When a base frame for a stepper having a large-area structure (length (10-12 m) × width (5-6 m)) is manufactured, the base frame is divided into one main frame and a plurality of side frames, casted, and primarily machined through individual rough cutting and finish cutting. Subsequently, when the main frame and side frames are fastened by bolting while the straightness thereof is accurately measured by a setting adjustment pin, the frames form the integrated base frame having a large-area structure. The entire area of the assembled frame is secondarily finish cut by a 5-face machining center, thereby significantly increasing machining accuracy in the manufacture of the base frame having a large-area structure. In particular, productivity can be significantly increased (no large casting equipment required), manufacturing costs such as conveyance or personnel expenses can be reduced, and excellent accuracy specifications can be ensured, thereby greatly increasing final target quality of the stepper.

Description

대면적 다단 분할식 구조의 노광기용 베이스 프레임의 조립 정삭 가공방법{Processing method of Finishing for stepper-Baseframe with Large structure}Processing method of Finishing for stepper-Baseframe with Large structure}

본 발명은 대면적(대형) 구조의 노광기용 베이스 프레임(길이: 10~12m 내외×폭: 5~6m 내외)을 제작함에 있어서, 상기 베이스 프레임은 하나의 메인 프레임과 복수의 사이드 프레임으로 분할하여 주물 제작한 뒤 개별 황삭과 정삭을 거치면서 1차 가공을 완료하도록 하되, 이후 메인 프레임과 사이드 프레임은 세팅조절핀으로 하여금 진직도가 정밀하게 측정되면서 볼팅 체결 조립되면 일체화된 대면적(대형) 구조의 베이스 프레임을 이루도록 하는 바, 이에 5면 가공기로 하여금 조립된 프레임의 전체 면적을 2차로 정밀 정삭하도록 함으로서 대면적(대형) 구조의 베이스 프레임 제작시 가공 정밀성이 크게 개선되도록 형성되고, 특히 제작성이 현저하게 개선(대형 주조주물 설비가 없어도 됨)됨은 물론 운반비나 인건비 등의 제조원가 절감을 도모하도록 형성되며, 우수한 정밀도 스팩이 보장되어 최종 목적하는 노광기의 품질이 크게 향상되는 것을 특징으로 하는 대면적 다단 분할식 구조의 노광기용 베이스 프레임의 조립 정삭 가공방법에 관한 것이다.According to the present invention, in manufacturing a large-area (large) structure exposure machine base frame (length: about 10 ~ 12m × width: about 5 ~ 6m), the base frame is divided into one main frame and a plurality of side frames After the casting process, the first machining is completed by individual roughing and finishing, but the main frame and the side frame are integrated with a large area (large) structure when the bolting assembly is assembled while the straightness is precisely measured by the setting adjustment pin. It is to form a base frame of the bar, which is to form a large surface (large) structure to greatly improve the processing precision when manufacturing a large-area (large) structure by allowing the five-side machine to precisely finish the entire area of the assembled frame, in particular Not only is it significantly improved (no need for large casting foundry equipment), but it is also designed to reduce manufacturing costs such as transportation and labor costs. Said, will ensure excellent accuracy specification is according to the final target of a large area multi-stage split structure for the base frame of the exposure machine, it characterized in that the exposure device is significantly improved quality of the assembly method of finish machining.

다시 말해, 본 발명은 실제 사용 환경과 동일하게 조립하여 정삭하는 것으로 고객 요구 스팩을 최대한 만족시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.In other words, the present invention is characterized by being able to meet the customer requirements as much as possible by assembling and finishing the same as the actual use environment.

일반적으로 노광기는 빛에 반응하는 물질인 감광액(photo-resist)이 코팅된 시료 위에 원하는 패턴이 형성된 마스크를 올려놓고 자외선을 쬐어주어 감광막에 원하는 패턴을 전사시키는 장치이다.In general, the exposure machine is a device for transferring a desired pattern to the photosensitive film by placing a mask on which a desired pattern is formed on a sample coated with a photo-resist, which is a material reacting with light, and exposing ultraviolet rays.

최근에는 반도체나 TFT, LCD 등의 제조 공정 중에 사용되는 것으로, 특히 글래스 패널의 양산시에는 그 효율을 높이기 위한 듀얼 패널을 사용하게 되는데 이로 인해 장비의 길이가 길어지는 특징이 있다.Recently, it is used during manufacturing processes of semiconductors, TFTs, LCDs, and the like, and in particular, when mass-producing glass panels, dual panels are used to increase their efficiency.

따라서, 이러한 노광기는 베이스 프레임의 대형화 또는 대면적화가 요구되고, 이러한 베이스 프레임은 통상 주물 공정을 통해 일부 면적이 분리된 형태로 제작된다.Therefore, such an exposure machine requires an enlargement or large area of the base frame, and the base frame is usually manufactured in a form in which some areas are separated through a casting process.

이는 주조 설비의 대형화(생산라인 플랜트 구축 비용이 너무 높게 소요됨)가 곤란하기도 하고, 한번에 큰 대형 중량물(주조물)을 생산하는 것은 설비적으로나 취급 운송 가공 등의 여러면에서 불합리하기 때문이다.This is because it is difficult to increase the size of the casting equipment (too high production line plant construction), and it is unreasonable in many respects, for example, in terms of equipment and handling transportation processing, to produce a large large weight (cast).

이에, 종래에는 가로 10m 이상의 길이와 폭 5m 내외의 간격을 갖는 베이스 프레임을 복수의 메인, 서브 프레임으로 분할하여 주물 제작한 뒤 개별 프레임마다 별도로 황삭 및 정삭을 하고, 이를 현장에 운반한 후 조립하여 세팅하도록 형성된다.Therefore, in the related art, a base frame having a length of 10 m or more in width and a width of about 5 m in width is divided into a plurality of main and sub frames to be cast, and then roughed and finished separately for each frame, transported to the site, and then assembled. It is configured to set.

그러나, 이와 같은 종래의 대면적 구조의 베이스 프레임 제작 가공 방법은 고객의 요구 스팩 정밀도를 원활하게 달성하기 어려운 것으로, 프레임을 개별적으로 분할하여 별도로 황삭, 정삭한 뒤 각 프레임을 조립하면 상호 진직도나 수평도가 맞지 않아 미세 차이가 발생되는 바, 이러한 상태에서 추가 정삭을 실시하더라도 현장에서 조립된 프레임의 상태는 스팩 아웃 현상이 발생되는 문제가 계속되고 있는 실정이다.However, such a conventional large-area base frame fabrication method is difficult to achieve the customer's required specification accuracy, and when the frames are individually divided, roughed and finished separately, each frame is assembled to achieve Since there is a fine difference due to the leveling is not correct, even if additional finishing in this state, the state of the frame assembled in the field is a situation that the problem continues to occur.

1. 대한만국 공개특허공보 제10-2015-0044652호(2015.04.27. 공개)1. Korean Patent Publication No. 10-2015-0044652 (published April 27, 2015)

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 실제 사용 환경과 동일하게 조립하여 정삭하는 것으로, 고객 요구 스팩을 최대한 만족시킬 수 있는 것을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above-described problems, the technical gist of the present invention is assembled and finished in the same manner as the actual use environment, the object is to provide that can satisfy the customer requirements specifications as possible.

이에, 본 발명은 대면적(대형) 구조의 노광기용 베이스 프레임을 제작함에 있어서, 상기 베이스 프레임은 하나의 메인 프레임과 복수의 사이드 프레임으로 분할하여 주물 제작한 뒤 개별 황삭과 정삭을 거치면서 1차 가공을 완료하도록 하되, 이후 메인 프레임과 사이드 프레임은 세팅조절핀으로 하여금 진직도가 정밀하게 측정되면서 볼팅 체결 조립되면 일체화된 대면적(대형) 구조의 베이스 프레임을 이루도록 하는 바, 이에 5면 가공기로 하여금 조립된 프레임의 전체 면적을 2차로 정밀 정삭하도록 함으로서 대면적(대형) 구조의 베이스 프레임 제작시 가공 정밀성이 크게 개선되도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.Thus, in the present invention, in manufacturing a base frame for an exposure machine having a large area (large) structure, the base frame is divided into one main frame and a plurality of side frames to produce a casting, and then subjected to individual roughing and finishing. Machining is completed, but the main frame and the side frame after the setting adjustment pin to accurately measure the straightness and bolted fastening assembly to form an integrated large area (large) structure of the base frame, which is a five-side processing machine It is an object of the present invention to provide a precision improvement in fabrication of a large area (large) structure of the base frame by allowing a second precision finishing of the entire area of the assembled frame.

즉, 본 발명은 제작성이 현저하게 개선(대형 주조주물 설비가 없어도 됨)됨은 물론 운반비나 인건비 등의 제조원가 절감을 도모하도록 형성되며, 우수한 정밀도 스팩이 보장되어 최종 목적하는 노광기의 품질이 크게 향상되는 것을 제공함에 그 목적이 있다.That is, the present invention is not only significantly improve the manufacturability (no need for large casting foundry equipment), but also to reduce manufacturing costs such as transportation and labor costs, and excellent precision specifications are guaranteed to greatly improve the quality of the final exposure machine. Its purpose is to provide something.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 주물 제작된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)에 대하여 5면 가공기(20)로 하여금 각각 개별적으로 황삭하도록 하는 개별 프레임 황삭단계(S100)와; 상기 황삭 가공된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)에 대하여 5면 가공기(20)로 하여금 각각 개별적으로 정삭하도록 하는 개별 프레임 1차 정삭단계(S200)와; 상기 1차 정삭된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)을 설계도에 따라 일체형 구조인 베이스 프레임(10)으로 조립하도록 하되, 상기 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 조립시에는 5면 가공기(20)의 워크 테이블(21) 위에 안착시 평탄도를 측정하면서 지그(30)를 세팅하도록 형성되고, 상기 지그(30)에 안착된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)은 세팅조절핀(40)으로 하여금 진직도를 측정하면서 이웃한 각 프레임(메인, 사이드 프레임) 간 밀착 이음부를 볼팅 체결하면서 전체 조립을 완료하도록 하는 각 프레임 조립단계(S300)와; 상기 조립이 완료된 베이스 프레임(10)에 대하여 설정된 횟수와 절삭 스팩에 따라 정삭을 수행하도록 하는 조립 후 2차 정삭단계(S400)가; 구성되어 이루어진다.In order to achieve the above object, the present invention provides an individual frame roughing step (S100) for allowing the five-face machine 20 to roughly individually cast the main frame 11 and the side frame 12, respectively; An individual frame primary finishing step (S200) for allowing the five-face machine 20 to finish the roughing of the main frame 11 and the side frame 12 respectively; The first finished main frame 11 and the side frame 12 to be assembled into a base frame 10 of an integral structure according to the design, but when the main frame 11 and the side frame 12 is assembled 5 It is formed to set the jig 30 while measuring the flatness when it is seated on the work table 21 of the surface processing machine 20, the main frame 11 and the side frame 12 seated on the jig 30 is set Each frame assembly step (S300) to allow the adjustment pin 40 to complete the entire assembly while bolting the close joint between adjacent frames (main, side frame) while measuring the straightness; After assembly the second finishing step (S400) to perform the finishing according to the set number and cutting specifications for the base frame 10 is completed; It is made up.

이에, 상기 각 프레임 조립단계(S300)는 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 상면 일측에 길이방향을 따라 연속된 동일 선상의 세팅 기준라인(50)이 각각 형성되도록 하되, 상기 세팅 기준라인(50)의 면상에는 핀 삽입 홀(60)이 형성되어 세팅조절핀(40)이 삽입된 후 기준점을 바탕으로 진직도를 측정하면서 베이스 프레임(10)을 조립하도록 형성된다.Thus, each frame assembly step (S300) is to be formed on the one side of the upper surface of the main frame 11 and the side frame 12, the continuous reference line setting line 50 is formed along the longitudinal direction, respectively, the setting criteria On the surface of the line 50, a pin insertion hole 60 is formed to assemble the base frame 10 while measuring the straightness based on the reference point after the setting adjustment pin 40 is inserted.

이때, 상기 각 프레임 조립단계(S300)는 지그(30)에 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)을 순서대로 안착하여 정밀 세팅하도록 하되, 상기 지그(30)에 안착된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 길이방향 일측 선단에는 각각 간격 조절구(70)가 형성되어 진직도의 수평화 미세 조정이 가능하도록 형성된다.At this time, the frame assembly step (S300) is to set the main frame 11 and the side frame 12 to the jig 30 in order to set precisely, the main frame 11 seated on the jig 30 At one end in the longitudinal direction of the side frame 12 and the spacing adjuster 70 is formed so as to enable horizontal fine-tuning of the straightness.

이에, 상기 조립 후 2차 정삭단계(S400)는 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)이 볼트 체결된 후 가장 낮은 면을 기준으로 변형량이 0.2~0.3mm 이내가 측정되면 정삭 가공을 수행하도록 형성된다.Therefore, the second finishing step (S400) after the assembly is to perform the finishing process when the deformation amount within 0.2 ~ 0.3mm based on the lowest surface after the main frame 11 and the side frame 12 is bolted fastening Is formed.

이때, 상기 조립 후 2차 정삭단계(S400)는 정삭 진행시 0.3mm->0.05mm->0.05mm 스팩으로 정삭 가공하도록 하는 것이 바람직하다.At this time, the second finishing step (S400) after the assembling is preferably to be finished in a 0.3mm-> 0.05mm-> 0.05mm specification during the finishing process.

이와 같이, 본 발명은 대면적(대형) 구조의 노광기용 베이스 프레임(길이: 10~12m 내외×폭: 5~6m 내외)을 제작함에 있어서, 상기 베이스 프레임은 하나의 메인 프레임과 복수의 사이드 프레임으로 분할하여 주물 제작한 뒤 개별 황삭과 정삭을 거치면서 1차 가공을 완료하도록 하되, 이후 메인 프레임과 사이드 프레임은 세팅조절핀으로 하여금 진직도가 정밀하게 측정되면서 볼팅 체결 조립되면 일체화된 대면적(대형) 구조의 베이스 프레임을 이루도록 하는 바, 이에 5면 가공기로 하여금 조립된 프레임의 전체 면적을 2차로 정밀 정삭하도록 함으로서 대면적(대형) 구조의 베이스 프레임 제작시 가공 정밀성이 크게 개선되도록 형성되고, 특히 제작성이 현저하게 개선(대형 주조주물 설비가 없어도 됨)됨은 물론 운반비나 인건비 등의 제조원가 절감을 도모하도록 형성되며, 우수한 정밀도 스팩이 보장되어 최종 목적하는 노광기의 품질이 크게 향상되는 효과가 있다.As described above, in the present invention, a base frame for an exposure machine having a large area (large) structure (length: about 10 to 12 m x width: about 5 to 6 m) is manufactured, wherein the base frame includes one main frame and a plurality of side frames. After the casting is made by dividing into parts, the first machining is completed by roughing and finishing, and then the main frame and the side frame are integrated with a large area ( It is to form a base frame of a large) structure, which is to form a five-side machine to precisely finish the entire area of the assembled frame to the secondary to greatly improve the processing precision when manufacturing the base frame of a large area (large) structure, In particular, the manufacturability is remarkably improved (there is no need for large casting foundry equipment) and manufacturing costs such as transportation and labor costs are reduced. It is formed so, there is an effect that high-precision exposure system specification is guaranteed quality of the final target is greatly improved.

즉, 본 발명은 실제 사용 환경과 동일하게 조립하여 정삭하는 것으로 고객 요구 스팩을 최대한 만족시킬 수 있는 효과가 있다.That is, the present invention has the effect that can be satisfied to meet the customer requirements as much as possible by assembling and finishing the same as the actual use environment.

도 1은 본 발명에 따른 대면적 다단 분할식 구조의 노광기용 베이스 프레임을 나타낸 조립 예시도,
도 2는 본 발명에 따른 5면 가공기의 워크 테이블에 지그의 평탄도가 측정되면서 세팅되는 것을 나타낸 예시도,
도 3은 본 발명에 따른 메인 프레임을 5면 가공기의 워크 테이블에 세팅하는 것을 나타낸 예시도,
도 4 내지 도 5는 본 발명에 따른 복수의 사이드 프레임을 메인 프레임을 기준으로 5면 가공기의 워크 테이블 위에 세팅하는 것을 나타낸 예시도,
도 6 내지 도 7은 본 발명에 따른 세팅조절핀에 의해 진직도를 측정하면서 각 프레임을 정밀 조립하는 것을 나타낸 예시도,
도 8은 본 발명에 따른 다단 분할식 구조의 노광기용 베이스 프레임이 조립 완료된 후 정삭 가공되는 것을 나타낸 예시도,
도 9는 본 발명에 따른 메인, 사이드 프레임 간 볼트 체결되어 조립된 상태를 나타낸 예시도,
도 10은 본 발명에 따른 간격 조절구를 나타낸 일 예시도,
도 11은 본 발명의 선택적인 실시예로서, 지그 평탄도 측정구를 나타낸 일 예시도이다.1 is an exemplary assembly view showing a base frame for an exposure machine of a large area multi-stage split type structure according to the present invention,
Figure 2 is an exemplary view showing that the flatness of the jig is set while measuring the work table of the five-side processing machine according to the present invention,
3 is an exemplary view showing setting a main frame according to the present invention on a work table of a five-side processing machine;
4 to 5 is an exemplary view showing setting a plurality of side frames according to the present invention on the work table of the five-side processing machine based on the main frame,
6 to 7 is an exemplary view showing precise assembly of each frame while measuring the straightness by the setting adjustment pin according to the present invention,
8 is an exemplary view showing that the base frame for the exposure machine of the multi-stage split type structure according to the present invention is finished after assembly is completed;
9 is an exemplary view showing a state assembled by fastening the bolt between the main frame, the side frame according to the present invention,
10 is an exemplary view showing a spacing device according to the present invention,
11 is an exemplary view showing a jig flatness measuring sphere as an optional embodiment of the present invention.

다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.The following describes the present invention in more detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명은 개별 프레임 황삭단계(S100), 개별 프레임 1차 정삭단계(S200), 각 프레임 조립단계(S300) 및 조립 후 2차 정삭단계(S400)로 크게 구성된다.First, as shown in Figures 1 to 11, the present invention, the individual frame roughing step (S100), the individual frame primary finishing step (S200), each frame assembly step (S300) and after the second finishing step (S400) It is largely composed of

이에, 상기 개별 프레임 황삭단계(S100)는 주물 제작된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)에 대하여 5면 가공기(20)로 하여금 각각 개별적으로 황삭하도록 형성된다.Thus, the individual frame roughing step (S100) is formed so that each of the five-face processing machine 20 for each of the main frame 11 and the side frame (12) manufactured by the rough roughly.

즉, 정밀한 정삭 전에 설계된 도면에 따라 어느 정도 제품(설비)의 윤곽이 잡힐 수 있도록 가공하는 것을 의미한다.That is, it means processing to be able to outline the product (equipment) to some extent according to the drawings designed before precise finishing.

참고로, 본 발명의 각 프레임들은 설계에 따라 요구된 대면적 노광기용 베이스 프레임(10)에 대하여 하나의 메인 프레임(11)과 복수의 사이드 프레임(12)으로 분할하여 각각 주물 제작하도록 형성된다.For reference, each frame of the present invention is formed to be cast by dividing each of the main frame 11 and the plurality of side frames 12 with respect to the base frame 10 for a large area exposure machine required by the design.

이는 황삭 또는 정삭 가공성을 최적화하기 위함이기도 하면서 주물 성능을 개선하고, 생산비 운반비 취급비 등 부차적인 주변 요소들의 효율적으로 이루어도록 하기 위함이다. This is not only to optimize roughing or finishing, but also to improve casting performance and to efficiently perform secondary peripheral factors such as production and transportation cost handling costs.

이에, 상기 개별 프레임 1차 정삭단계(S200)는 상기 황삭 가공된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)에 대하여 5면 가공기(20)로 하여금 각각 개별적으로 정삭하도록 형성된다.Thus, the individual frame primary finishing step (S200) is formed so as to individually finish the five-face machine 20 for the roughing main frame 11 and the side frame 12.

이는 후술되는 조립 후 2차 정삭단계 전에 개별 프레임에 대하여 고도의 정삭 처리가 이루어지도록 함으로서, 조립 후 2차 정삭단계에서 조립된 프레임들의 미세한 최후 정삭가공만 마무리 단계 형태로 이루어지도록 하기 위함이다.This is to ensure that a high-finish finishing process is performed on the individual frames before the second finishing step after assembly, so that only the fine final finishing of the frames assembled in the second finishing step after assembly is made in the form of a finishing step.

또한, 상기 각 프레임 조립단계(S300)는 상기 1차 정삭된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)을 설계도에 따라 일체형 구조인 베이스 프레임(10)으로 조립하도록 형성된다.In addition, each frame assembly step (S300) is formed to assemble the primary frame 11 and the side frame 12, the primary finished as a unitary structure base frame 10 according to the design.

이때, 상기 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 조립시에는 5면 가공기(20)의 워크 테이블(21) 위에 안착시 평탄도를 측정하면서 지그(30)를 세팅하도록 형성된다.At this time, the assembly of the main frame 11 and the side frame 12 is formed to set the jig 30 while measuring the flatness when seated on the work table 21 of the five-side processing machine 20.

이에, 상기 지그의 평탄도는 5면 가공기로 하여금 밀링 가공처럼 상부면을 평면 가공(엔드밀로 상면을 평편하게 쳐내는 것)하여 평탄도가 처리되도록 형성된다.Accordingly, the flatness of the jig is formed such that the flat surface is processed by a five-side machine such as milling to flatten the upper surface (by flattening the top surface with an end mill).

이에, 상기 각 프레임 조립단계(S300)는 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 상면 일측에 길이방향을 따라 연속된 동일 선상의 세팅 기준라인(50)이 각각 형성되도록 하되, 상기 세팅 기준라인(50)의 면상에는 핀 삽입 홀(60)이 형성되어 세팅조절핀(40)이 삽입된 후 기준점을 바탕으로 진직도를 측정하면서 베이스 프레임(10)을 조립하도록 형성된다.Thus, each frame assembly step (S300) is to be formed on the one side of the upper surface of the main frame 11 and the side frame 12, the continuous reference line setting line 50 is formed along the longitudinal direction, respectively, the setting criteria On the surface of the line 50, a pin insertion hole 60 is formed to assemble the base frame 10 while measuring the straightness based on the reference point after the setting adjustment pin 40 is inserted.

즉, 상기 지그(30)에 안착된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)은 세팅조절핀(40)으로 하여금 진직도를 측정하면서 이웃한 각 프레임(메인, 사이드 프레임) 간 밀착 이음부를 볼팅 체결하면서 전체 조립을 완료하도록 형성된다.That is, the main frame 11 and the side frame 12 seated on the jig 30 are bolted to the close joint between adjacent frames (main, side frame) while the setting adjustment pin 40 measures the straightness. It is formed to complete the entire assembly while tightening.

이때, 상기 세팅조절핀(40)은 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 조립시 일방향으로 나란하게 연속된 하나의 세팅 기준라인(50)으로부터 일측에 구비된 핀 삽입 홀에 삽입되어 5면 가공기의 다이얼 게이지를 통해 기준점 대비 진직도가 맞는지 확인하면서 후술되는 간격 조절구로 하여금 진직도를 조절하게 된다.At this time, the setting adjustment pin 40 is inserted into a pin insertion hole provided at one side from one setting reference line 50 continuously arranged side by side in one direction when the main frame 11 and the side frame 12 are assembled. While checking the straightness to the reference point through the dial gauge of the surface processing machine, the spacing adjuster described later adjusts the straightness.

다시 말해, 본 발명은 메인 프레임이 5면 가공기의 워크 테이블에 지그로 하여금 평탄도와 진직도가 1차 세팅되면 이후 복수의 사이드 프레임이 각각 순서대로 세팅조립되도록 형성된다.In other words, in the present invention, the main frame is formed such that when the jig is first set in the work table of the 5-side processing machine, the plurality of side frames are set and assembled in order.

이때, 상기 각 프레임 조립단계(S300)는 지그(30)에 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)을 순서대로 안착하여 정밀 세팅하도록 하되, 상기 지그(30)에 안착된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 길이방향 일측 선단에는 각각 간격 조절구(70)가 형성되어 진직도의 수평화 미세 조정이 가능하도록 형성된다.At this time, the frame assembly step (S300) is to set the main frame 11 and the side frame 12 to the jig 30 in order to set precisely, the main frame 11 seated on the jig 30 At one end in the longitudinal direction of the side frame 12 and the spacing adjuster 70 is formed so as to enable horizontal fine-tuning of the straightness.

이에, 상기 간격 조절구(70)는 도 10에서 보는 바와 같이, 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 진직도 세팅을 조정하도록 하는 것으로, 워크 테이블(21)의 상면에 지지브라켓(71)이 기립되도록 형성된다.Thus, as shown in Figure 10, the spacing adjuster 70 is to adjust the straightness setting of the main frame 11 and the side frame 12, the support bracket 71 on the upper surface of the work table 21 ) Is formed to stand.

이때, 상기 지지브라켓(71)의 일측에는 조임풀림볼트(72)가 형성되며, 상기 조임풀림볼트(72)는 가압블럭(73)의 일방향 가압을 수행하도록 형성되고, 상기 가압블럭(73)은 가이드블럭(74)의 상면에 안착된 상태에서 조임풀림볼트(72)로 하여금 메인 프레임(11) 또는 사이드 프레임(12)의 미세 수형화를 조정하여 진직도를 정밀하게 세팅하도록 형성된다.At this time, one side of the support bracket 71 is fastened loosening bolt 72 is formed, the fastening loosening bolt 72 is formed to perform one-way pressing of the pressure block 73, the pressure block 73 is In the state seated on the upper surface of the guide block 74, the fastening bolts 72 are formed to adjust the fine shaping of the main frame 11 or the side frame 12 to precisely set the straightness.

다시 말해, 상기 간격 조절구(70)는 각 프레임의 외주면을 밀어 일방향 밀림 이동을 수행하도록 가압블럭(73)이 형성되고, 그 후방에는 지지브라켓(71)을 관통하면서 조임 해제되는 조임풀림볼트(72)가 형성되어 진직도의 미세 조정을 수행하도록 형성된다.In other words, the spacer 70 is a pressing block 73 is formed to push the outer circumferential surface of each frame to perform a one-way push movement, the back of the tightening loosening bolt to be released while penetrating through the support bracket (71) ( 72 is formed to perform fine adjustment of the straightness.

한편, 상기 조립 후 2차 정삭단계(S400)는 상기 조립이 완료된 베이스 프레임(10)에 대하여 설정된 횟수와 절삭 스팩에 따라 정삭을 수행하도록 형성된다.On the other hand, the second finishing step (S400) after the assembly is formed to perform the finishing according to the set number and cutting specifications for the base frame 10, the assembly is completed.

이에, 상기 조립 후 2차 정삭단계(S400)는 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)이 볼트 체결된 후 가장 낮은 면을 기준으로 변형량이 0.2~0.3mm 이내가 측정되면 정삭 가공을 수행하도록 형성된다.Therefore, the second finishing step (S400) after the assembly is to perform the finishing process when the deformation amount within 0.2 ~ 0.3mm based on the lowest surface after the main frame 11 and the side frame 12 is bolted fastening Is formed.

이때, 상기 조립 후 2차 정삭단계(S400)는 정삭 진행시 0.3mm->0.05mm->0.05mm 스팩으로 정삭 가공하도록 하는 것이 바람직하다.At this time, the second finishing step (S400) after the assembling is preferably to be finished in a 0.3mm-> 0.05mm-> 0.05mm specification during the finishing process.

이는 미세 단차를 단계별(한번에 높은 단차를 가공하는 것이 아님)로 가공하도록 함으로서 정밀 가공성이 더욱 배가되도록 하기 위함이다.This is to further increase the precision workability by allowing the fine step to be processed step by step (not to process a high step at a time).

또한, 본 발명은 도 1에서 보는 바와 같이, 고객사의 요청에 따라 현장 설치시 기준이 되는 기준 핀 자리를 가공하도록 함으로서, 현장 조립시 가공 스팩에 정밀한 얼라인 기준점을 신속하고 정확하게 안내할 수 있도록 형성된다.In addition, the present invention, as shown in Figure 1, by processing the reference pin seat which is a reference when installing the site according to the customer's request, it is formed so as to quickly and accurately guide the precise alignment reference point on the machining specification during the site assembly do.

아울러, 본 발명은 도 11에서 보는 바와 같이, 선택적인 실시예로서 지그 평탄도 측정구(80)가 구비되어 상술한 지그의 평탄도(수평도)를 쉽고 간편하게 그리고 정밀하게 측정할 수 있도록 형성된다.In addition, as shown in Figure 11, the present invention is provided with a jig flatness measuring sphere 80 as an optional embodiment is formed to measure the flatness (horizontality) of the jig described above easily and simply and precisely .

즉, 상기 지그 평탄도 측정구(80)는 5면 가공기의 워크 테이블(21) 위에 지그(30)가 고정된 후 5면 가공기(20)에 의해 밀링 가공되면 평면상이 수평하게 처리되고, 이에 그 평탄도를 부차적으로 측정할 수 있도록 하기 위함이다.That is, the jig flatness measuring sphere 80 is processed by the five-side processing machine 20 after the jig 30 is fixed on the work table 21 of the five-side processing machine and the plane is horizontally processed. This is to enable the secondary measurement of flatness.

이에, 상기 지그 평탄도 측정구(80)는 기준 힌지핀(91)의 돌기축(93)을 기준으로 지그(30)의 상면 상에서 원주방향을 따라 선회하는 평탄도 측정봉(81)이 구비된다.Thus, the jig flatness measuring sphere 80 is provided with a flatness measuring rod 81 that rotates in the circumferential direction on the upper surface of the jig 30 with respect to the projection shaft 93 of the reference hinge pin (91). .

이때, 상기 평탄도 측정봉(81)은 길이방향 선단 일측 하부에 장착공(82)이 형성되어 돌기축(93)과 대응되면서 끼워진다.At this time, the flatness measuring rod 81 is fitted with a corresponding mounting hole 82 is formed in the lower side of the longitudinal front end side corresponding to the projection shaft (93).

이때, 상기 평탄도 측정봉(81)의 상측에는 브이형 홀더홈(83-1)을 갖는 지지체(83)가 구비된다.At this time, the upper surface of the flatness measuring rod 81 is provided with a support 83 having a V-shaped holder groove (83-1).

이에, 상기 지지체(83)는 하우징(84)의 수납부(84-1)에 장착되고, 지지체의 상측 측정면(83-2)에는 하우징의 결합홈(84-2)을 관통한 레벨게이지의 측정샤프트(85)가 조립되도록 형성된다.Thus, the support 83 is mounted on the receiving portion 84-1 of the housing 84, and the upper gauge surface 83-2 of the support of the level gauge penetrating the coupling groove 84-2 of the housing The measuring shaft 85 is formed to be assembled.

이를 보다 자세히 설명하면 지그의 상면 관통공(31)으로 기준 힌지핀(91)의 돌출축(93)이 관통 돌출되면, 기준 힌지핀의 하부측은 고정너트(92)에 의해 체결되면서 평탄도 측정봉(81)의 회전 기준점을 이루도록 형성된다.In more detail, when the protruding shaft 93 of the reference hinge pin 91 protrudes through the upper surface through hole 31 of the jig, the lower side of the reference hinge pin is fastened by the fixing nut 92 and the flatness measuring rod It is formed to achieve the rotation reference point of (81).

이때, 상기 평탄도 측정봉(81)은 일체의 환봉이거나, 투-피스로 분리된 두 개의 환봉이 서로 나사 체결되도록 형성된다.In this case, the flatness measuring rod 81 is formed as a single round bar, or two round bars separated by two-piece is screwed to each other.

예컨데, 두 개의 환봉 조합인 경우에는 둘 중 어느 하나는 장착공이 형성된 고정체이고, 나머지 환봉은 축심을 기준으로 회전하는 회전체로서, 해당 회전체는 내부 중앙에 체결공이 형성되어 장축 나사가 관통하면서 고정체 측의 환봉과 회전이 가능하도록 나사체결된 뒤 장착공과 돌출축을 기준으로 회전체인 환봉이 중심 축선을 기준으로 회전하면서 지그 상면 평탄도를 읽어 나가도록 형성된다.For example, in the case of two round bar combinations, one of the two is a fixed body having a mounting hole, and the other round bar is a rotating body that rotates about an axis, and the rotating body has a fastening hole formed in the inner center thereof, and the long shaft screw penetrates therethrough. After the screw is fastened to enable rotation with the round bar on the side of the fixture, the round bar, which is a rotational body based on the mounting hole and the protruding axis, is formed to read the flatness of the jig upper surface while rotating about the center axis.

즉, 레벨게이지의 측정샤프트(85)는 하단부 끝단에 측정핀이 형성되고 이는 지지체의 상부 측정면과 대응되면서 밀착되도록 형성된다.That is, the measuring shaft 85 of the level gauge is formed to be in close contact with the measuring pin is formed at the lower end of the lower end corresponding to the upper measuring surface of the support.

이후 측정을 위해서 레벨게이지로 하여금 1차 세팅 포인트가 설정되면 평탄도 측정봉이 장착공과 돌출축으로 하여금 원주방향 회전하면서 지그의 상면 평탄도를 측정하게 된다.After the level gauge is set for the first set point for the measurement, the flatness measuring rod is to measure the top flatness of the jig by rotating the mounting hole and the projection axis in the circumferential direction.

결국, 지그의 상면 평탄도가 맞지 않으면 환봉 또는 로울러의 회전에 따라 평탄도 측정봉으로 하여금 높낮이 차가 확인되고, 이는 지그의 상면 상에 미세한 들뜸 면 또는 과압착 표면이 확인되면서 그 차이가 레벨게이지로 하여금 측정되어 평탄도의 세팅 유무를 정밀하게 파악할 수 있도록 형성된다. As a result, if the top flatness of the jig does not match, the flatness measuring rod causes the difference in height according to the rotation of the round bar or roller, and the difference is level gauge as the fine lifting surface or the over-compression surface is confirmed on the top surface of the jig. It is formed so that it can be accurately measured whether the flatness is set or not.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.

S100 ... 개별 프레임 황삭단계 S200 ... 개별 프레임 1차 정삭단계
S300 ... 각 프레임 조립단계 S400 ... 조립 후 2차 정삭단계
10 ... 베이스 프레임 11 ... 메인 프레임
12 ... 사이드 프레임 20 ... 5면 가공기
21 ... 워크 테이블 30 ... 지그
40 ... 세팅조절핀 50 ... 세팅 기준라인
60 ... 핀 삽입 홀 70 ... 간격 조절구
80 ... 지그 평탄도 측정구S100 ... individual frame roughing step S200 ... individual frame first finishing step
S300 ... assembly step for each frame S400 ... second finishing step after assembly
10 ... Base Frame 11 ... Main Frame
12 ... side frame 20 ... 5-sided machine
21 ... worktable 30 ... jig
40 ... setting adjustment pin 50 ... setting reference line
60 ... pin insertion hole 70 ... spacer
80 ... Jig Flatness Tester

Claims (5)

주물 제작된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)에 대하여 5면 가공기(20)로 하여금 각각 개별적으로 황삭하도록 하는 개별 프레임 황삭단계(S100)와; 상기 황삭 가공된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)에 대하여 5면 가공기(20)로 하여금 각각 개별적으로 정삭하도록 하는 개별 프레임 1차 정삭단계(S200)와; 상기 1차 정삭된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)을 설계도에 따라 일체형 구조인 베이스 프레임(10)으로 조립하도록 하되, 상기 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 조립시에는 5면 가공기(20)의 워크 테이블(21) 위에 안착시 평탄도를 측정하면서 지그(30)를 세팅하도록 형성되고, 상기 지그(30)에 안착된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)은 세팅조절핀(40)으로 하여금 진직도를 측정하면서 이웃한 각 프레임(메인, 사이드 프레임) 간 밀착 이음부를 볼팅 체결하면서 전체 조립을 완료하도록 하는 각 프레임 조립단계(S300)와; 상기 조립이 완료된 베이스 프레임(10)에 대하여 설정된 횟수와 절삭 스팩에 따라 정삭을 수행하도록 하는 조립 후 2차 정삭단계(S400)가; 구성되어 이루어진 대면적 다단 분할식 구조의 노광기용 베이스 프레임의 조립 정삭 가공방법에 있어서,
상기 각 프레임 조립단계(S300)는 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 상면 일측에 길이방향을 따라 연속된 동일 선상의 세팅 기준라인(50)이 각각 형성되도록 하되, 상기 세팅 기준라인(50)의 면상에는 핀 삽입 홀(60)이 형성되어 세팅조절핀(40)이 삽입된 후 기준점을 바탕으로 진직도를 측정하면서 베이스 프레임(10)을 조립하도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 다단 분할식 구조의 노광기용 베이스 프레임의 조립 정삭 가공방법.An individual frame roughing step (S100) for allowing the five-face machine 20 to roughly individually cast the main frame 11 and the side frame 12, respectively; An individual frame primary finishing step (S200) for allowing the five-face machine 20 to finish the roughing of the main frame 11 and the side frame 12 respectively; The first finished main frame 11 and the side frame 12 to be assembled into a base frame 10 of an integral structure according to the design, but when the main frame 11 and the side frame 12 is assembled 5 It is formed to set the jig 30 while measuring the flatness when seated on the work table 21 of the surface processing machine 20, the main frame 11 and the side frame 12 seated on the jig 30 is set Each frame assembly step (S300) to allow the adjustment pin 40 to complete the entire assembly while bolting the close joint between adjacent frames (main, side frame) while measuring the straightness; After assembly second finishing step (S400) to perform the finishing according to the set number and cutting specifications for the base frame 10 is completed assembly; In the assembly finishing method of the base frame for the exposure machine of the large-area multi-stage divided structure which was comprised,
Each frame assembling step (S300) is such that the setting reference line 50 is arranged on the one side of the upper surface of the main frame 11 and the side frame 12 along the longitudinal direction, respectively, the setting reference line ( On the surface of 50), a pin insertion hole 60 is formed so that a large area multistage division is characterized in that the base frame 10 is assembled while measuring the straightness based on the reference point after the setting adjustment pin 40 is inserted. Assembly finishing method of base frame for exposure machine of formula type structure. 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 각 프레임 조립단계(S300)는
지그(30)에 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)을 순서대로 안착하여 정밀 세팅하도록 하되, 상기 지그(30)에 안착된 메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)의 길이방향 일측 선단에는 각각 간격 조절구(70)가 형성되어 진직도의 수평화 미세 조정이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 다단 분할식 구조의 노광기용 베이스 프레임의 조립 정삭 가공방법.According to claim 1, wherein each frame assembly step (S300)
The main frame 11 and the side frame 12 are seated in the jig 30 in order to precisely set them, but one end of the longitudinal side of the main frame 11 and the side frame 12 seated in the jig 30 is positioned. And a spacing adjuster (70) is formed to allow horizontal fine-tuning of the straightness, respectively. 제 1항에 있어서, 상기 조립 후 2차 정삭단계(S400)는
메인 프레임(11)과 사이드 프레임(12)이 볼트 체결된 후 가장 낮은 면을 기준으로 변형량이 0.2~0.3mm 이내가 측정되면 정삭 가공을 수행하도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 다단 분할식 구조의 노광기용 베이스 프레임의 조립 정삭 가공방법.According to claim 1, The second finishing step (S400) after the assembly is
Large-area multi-stage split type exposure machine, characterized in that the finishing process is performed when the deformation amount within 0.2 ~ 0.3mm based on the lowest surface after the main frame 11 and the side frame 12 is bolted Assembly and finishing method for base frame 제 1항에 있어서, 상기 조립 후 2차 정삭단계(S400)는
정삭 진행시 0.3mm->0.05mm->0.05mm 스팩으로 정삭 가공하도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 다단 분할식 구조의 노광기용 베이스 프레임의 조립 정삭 가공방법.
According to claim 1, The second finishing step (S400) after the assembly is
A method for assembling and finishing a base frame for an exposure machine with a large-sized, multi-stage split type structure, characterized in that the finishing operation is performed in a 0.3mm->0.05mm-> 0.05mm specification during finishing.
KR1020190102958A 2019-08-22 2019-08-22 Processing method of Finishing for stepper-Baseframe with Large structure KR102034701B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190102958A KR102034701B1 (en) 2019-08-22 2019-08-22 Processing method of Finishing for stepper-Baseframe with Large structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190102958A KR102034701B1 (en) 2019-08-22 2019-08-22 Processing method of Finishing for stepper-Baseframe with Large structure

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102034701B1 true KR102034701B1 (en) 2019-10-21

Family

ID=68460433

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190102958A KR102034701B1 (en) 2019-08-22 2019-08-22 Processing method of Finishing for stepper-Baseframe with Large structure

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102034701B1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200374683Y1 (en) * 2004-10-29 2005-02-02 현대중공업 주식회사 Auto Hydraulic Clamp Fixture for Cross Head Pin
KR100771375B1 (en) * 2006-11-17 2007-10-30 박대봉 An apparatus for manufacturing socket guide for testing semiconductor device
KR20150025182A (en) * 2013-08-28 2015-03-10 현대중공업 주식회사 Cylinder Frame and Method for Manufacturing Cylinder Frame
JP2015044652A (en) 2013-08-28 2015-03-12 東芝エレベータ株式会社 Elevator controller
KR101722536B1 (en) * 2016-11-07 2017-04-04 윤태열 Parts using the laser tracker assembly and the assembly error correction device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200374683Y1 (en) * 2004-10-29 2005-02-02 현대중공업 주식회사 Auto Hydraulic Clamp Fixture for Cross Head Pin
KR100771375B1 (en) * 2006-11-17 2007-10-30 박대봉 An apparatus for manufacturing socket guide for testing semiconductor device
KR20150025182A (en) * 2013-08-28 2015-03-10 현대중공업 주식회사 Cylinder Frame and Method for Manufacturing Cylinder Frame
JP2015044652A (en) 2013-08-28 2015-03-12 東芝エレベータ株式会社 Elevator controller
KR101722536B1 (en) * 2016-11-07 2017-04-04 윤태열 Parts using the laser tracker assembly and the assembly error correction device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5024002A (en) Apparatus with a supporting frame and process for manufacturing such a frame
CN102233545B (en) Fixture for processing continuous curved surface
KR100864610B1 (en) Method and device for precisely positioning a number of interacting roller or roll elements
CN2905311Y (en) Digital control machine tool fittings tray
JPH01271011A (en) Tool for press bending work
KR102034701B1 (en) Processing method of Finishing for stepper-Baseframe with Large structure
US5502882A (en) 90 degree speed reducer assembly, process, and measuring machine
KR100222057B1 (en) Method and apparatus for aligning of horizontal rolls
JP2004340653A (en) Measuring method of conical surface shape of tapered roller bearing
CN109365537B (en) Continuous mill housing and adjusting method of base thereof
RU2607887C1 (en) Method of controlling position of axis of continuous rolling mill
CN2455415Y (en) Arch and central aligning gauge for central alignment for repairing continuous casting apparatus
CN109551274B (en) V-shaped clamping lathe fixture
CN102909580B (en) Sliding valve tool for twin-screw compressor and sliding valve processing method
CN108723440B (en) Rolling mill stand column machining clamp and rolling mill stand column machining method
US3854188A (en) Method of assembling a curved roll-rack
CN112880566A (en) Special auxiliary reading device for large-scale length measuring machine and application thereof
US3841389A (en) Curved roll-rack frame construction
CN218926939U (en) Self-adaptive supporting tool for plane parts
JP3985869B2 (en) Support base and penetrating shaft
KR100910473B1 (en) Apparatus for aligning rolls
CN114102051B (en) Processing method of box body frame of cotton picking and packaging integrated machine
CN110509003B (en) Processing technology of cold rolling mill frame
CN109434708B (en) Jig frame for adjusting space angle and method for manufacturing inclined cross-shaped structural part
KR100956950B1 (en) Apparatus for alignment of sink roll assembly

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant