KR102033336B1

KR102033336B1 - 페이스트 디스펜서

Info

Publication number: KR102033336B1
Application number: KR1020120158332A
Authority: KR
Inventors: 유재경
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2012-12-31
Filing date: 2012-12-31
Publication date: 2019-10-17
Also published as: KR20140087738A

Abstract

본 발명은, Y축방향으로 이동 가능한 Y축 테이블, 상기 Y축 테이블 상에 θ축 구동장치에 의하여 회전 가능하게 설치되며 위에 기판이 로딩되는 스테이지, 상기 스테이지에 로딩된 기판 상에 페이스트를 도포하는 헤드 유닛, 상기 Y축 테이블에 상기 스테이지를 구속시켜 상기 Y축 테이블의 이동 시 상기 Y축 테이블 상에서 상기 스테이지가 진동되는 것을 방지하거나 구속을 해제하는 스테이지 구속장치를 포함하는 페이스트 디스펜서를 제공한다.

Description

페이스트 디스펜서 {Paste Dispenser}

본 발명은 기판 상에 실링(sealing), 접착 등을 위하여 페이스트를 도포하는 디스펜서에 관한 것이다.

근래에 들어, 디스플레이의 경량화, 평면화, 휴대화 등이 요구되면서 브라운관(Cathode Ray Tube；CRT)을 대신하여 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display；LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel；PDP), 전계 방출 디스플레이(Field Emission Display；FED), 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode；OLED)와 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display；FPD)가 크게 주목을 받고 있다.

이와 같은 평판 디스플레이(FPD)들 중에서 액정 디스플레이(LCD)는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 장치이다. 이러한 액정 디스플레이에 적용되는 액정패널의 제조방법을 살펴보면 다음과 같다.

상부기판에 컬러필터와 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대향하는 하부기판에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor；TFT)와 화소전극을 형성한다. 다음, 기판들에 각각 배향막을 도포하고, 이들 사이에 형성할 액정층 내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위하여 배향막을 러빙(rubbing)한다. 그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하고 액정이 외부로 새는 것을 방지하며 기판들 사이를 밀봉하기 위하여 어느 하나 또는 양쪽 기판에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 후, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정으로 진행된다.

살펴본 액정패널의 제조방법에 있어서, 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하는 공정에는 페이스트 디스펜서가 사용된다.

도 1은 일반적인 페이스트 디스펜서를 나타내는 평면도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 페이스트 디스펜서는, Y축방향으로 이동 가능한 Y축 테이블(12), Y축 테이블(12) 상에 회전 가능하게 설치된 스테이지(13), 스테이지(13)에 로딩된 기판(11)에 페이스트를 도포하는 복수 개의 헤드 유닛(14), 복수 개의 헤드 유닛(14)을 지지하는 헤드 유닛 지지대(15)를 포함한다. 헤드 유닛 지지대(15)는 Y축방향으로 이동 가능하고, 헤드 유닛(14)은 헤드 유닛 지지대(15)에 X축방향과 Z축방향으로 이동 가능하도록 장착된다. 이러한 페이스트 디스펜서는 스테이지(13) 상에 로딩된 기판(11)과 헤드 유닛(14)들에 마련된 노즐의 상대위치를 변화시키면서 기판(11) 상에 페이스트 패턴을 형성한다.

기판(11) 상에 페이스트 패턴을 형성하는 공정은 다음과 같다.

반송장치를 사용하여 스테이지(13)에 기판(11)을 로딩한다. 다음, 도 2와 같이, 로딩된 기판(11)이 X축방향, Y축방향과 일치하도록 기판(11)이 틀어진 각도(a)만큼 스테이지(13)를 회전시켜 기판(11)을 정위치로 얼라인한다. 그 다음, 헤드 유닛(14)을 시작위치에서 이동시키고 Y축 테이블(12)을 이동시켜 기판(11)을 함께 이동시키면서 기판(11)에 페이스트를 도포한다.

이와 같이 작동하는 페이스트 디스펜서는 Y축 테이블(12)과 스테이지(13) 사이에서 스테이지(13)를 회전 가능하도록 지지함과 아울러 스테이지(13)를 회전시키기 위하여 유기적으로 결합된 구성부품들 간에 유격이 반드시 존재하기 때문에, 기판(11) 얼라인 단계를 완료하여 스테이지(13)의 구동을 완전히 정지시킨 상태에서, 다음 단계인 페이스트 도포를 위하여 Y축 테이블(12)을 이동시키더라도 Y축 테이블(12)과 함께 이동되는 스테이지(13)에 미세한 각종 진동(미세하게 출렁거리는 현상 따위를 포함한다.)이 발생함으로써 기판(11)과 헤드 유닛(14)을 함께 이동시키면서 기판(11)에 페이스트 도포 시 불량이 야기되는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 기판 상에 페이스트 도포 시 스테이지에 각종 진동이 발생함에 따른 페이스트 도포 불량을 방지할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데 있다.

본 발명이 해결하려는 과제는 상기 과제에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 아래 기재로부터 명확하게 이해할 수 있을 것이다.

본 발명의 실시예에 따르면, Y축방향으로 이동 가능한 Y축 테이블과; 상기 Y축 테이블 상에 θ축 구동장치에 의하여 회전 가능하도록 설치되며 위에 기판이 로딩되는 스테이지와; 상기 스테이지에 로딩된 기판 상에 페이스트를 도포하는 헤드 유닛과; 상기 Y축 테이블에 상기 스테이지를 구속시켜 상기 Y축 테이블의 이동 시 상기 Y축 테이블 상에서 상기 스테이지가 진동되는 것을 방지하거나 구속을 해제하는 스테이지 구속장치를 포함하는 페이스트 디스펜서가 제공된다.

상기 θ축 구동장치는 상기 Y축 테이블과 상기 스테이지 사이에 설치되며 서로 짝을 이루어 상대운동을 하면서 상기 스테이지의 회전운동을 안내하는 고정부재와 이동부재로 구성된 안내부재를 가지는 적어도 하나의 스테이지 가이드를 포함하고, 상기 스테이지 구속장치는 상기 스테이지 가이드의 서로 짝을 이루는 안내부재를 클램핑, 언클램핑하여 상기 스테이지를 구속시키거나 구속을 해제하는 클램프로 구성될 수 있다.

구체적으로, 상기 스테이지 가이드는 복수로 구비되고 상기 스테이지의 센터 주위에 배치될 수 있다. 그리고, 상기 안내부재는, 상기 Y축 테이블에 X축방향과 Y축방향 중 어느 한쪽 방향으로 마련된 제1고정부재 및 상기 제1고정부재에 상기 제1고정부재를 따라 이동 가능하게 결합된 제1이동부재로 구성된 제1안내부재와; 상기 제1이동부재에 X축방향과 Y축방향 중 다른 쪽 방향으로 마련된 제2고정부재 및 상기 제2고정부재에 상기 제2고정부재를 따라 이동 가능하게 결합된 상태로 상기 스테이지에 장착된 제2이동부재로 구성될 수 있다. 즉, 두 안내부재를 조합시킨 구성일 수 있는 것이다.

상기 클램프는, 상기 이동부재에 장착되어 함께 이동하며 상기 고정부재를 사이에 두고 양쪽에서 각각 상기 고정부재에 대하여 전후이동 가능하여 이동방향에 따라 상기 고정부재를 압박하거나 압박을 해제하는 압박부재를 가지는 클램프 바디와; 상기 양쪽의 압박부재를 이동시키는 압박부재 구동유닛을 포함할 수 있다.

본 발명은 기판의 얼라인 후 스테이지 구속장치를 작동시키면 Y축 테이블에 스테이지가 구속되어 다음 단계인 페이스트 도포를 위하여 Y축 테이블의 이동 시 Y축 테이블 상에서 스테이지가 θ축 구동장치에 존재하는 유격으로 인하여 진동되는 것이 방지되므로 페이스트 패턴 공정의 신뢰도 향상을 기대할 있다.

특히, 페이스트 패턴의 라운드형 코너 부분을 형성하고자 페이스트를 도포할 때 진동을 억제, 코너 부분에 대한 페이스트 도포 불량을 방지함으로써 양호한 페이스트 패턴을 제공할 수 있다.

도 1은 일반적인 페이스트 디스펜서를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 페이스트 디스펜서에 의한 기판 얼라인 단계를 나타내는 개략도이다.
도 3, 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서를 나타내는 사시도, 평면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 스테이지 주변 가이드를 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 4에 도시된 스테이지 구동유닛을 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 5에 도시된 스테이지 구속장치 및 그 작동상태를 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서를 나타내는 평면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 스테이지 센터 가이드 및 이에 적용된 스테이지 구속장치를 나타내는 단면도이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명하는 데 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하겠다.

도 3, 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서를 나타내는 사시도 및 평면도이다.

도 3, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서는 베이스 프레임(20), Y축 테이블(30), 스테이지(40), 적어도 하나의 헤드 유닛(50), 적어도 하나의 헤드 유닛 지지대(60)를 포함한다. 베이스 프레임(20)의 상측에는 Y축 테이블(30)이 배치되고, Y축 테이블(30)의 상측에는 스테이지(40)가 배치되며, 스테이지(40) 상에는 기판(5)(이하, 도면부호의 병기는 생략한다.)이 로딩되고, 로딩된 기판 상에는 헤드 유닛(50)에 의하여 페이스트가 도포되어 페이스트 패턴이 형성된다.

Y축 테이블(30)은 베이스 프레임(20)에 테이블 이동장치(70)에 의하여 Y축방향으로 직선이동 가능하게 설치된다. 스테이지(40)는 Y축 테이블(30)에 θ축 구동장치(100)에 의하여 센터를 중심으로 회전 가능하게 설치됨으로써 센터를 중심으로 회전되는 한편, Y축 테이블(30)과 함께 Y축방향으로 이동될 수 있다.

헤드 유닛(50)은, 페이스트가 충전되는 시린지(syringe), 기판에 시린지로부터의 페이스트를 토출하는 노즐을 가진다. 헤드 유닛(50)을 지지하는 헤드 유닛 지지대(60)는, 스테이지(40)의 상측에 X축방향으로 배치된 X축 프레임, X축 프레임의 양단 부분으로부터 각각 Z축방향 하측으로 연장된 Z축 프레임을 포함한다.

헤드 유닛 지지대(60)는 그 양쪽 Z축 프레임이 베이스 프레임(20)에 각각 지지대 이동장치(80)에 의하여 Y축방향으로 직선이동 가능하게 장착된다. 헤드 유닛(50)은 헤드 유닛 지지대(60)의 X축 프레임에 X축 구동유닛과 Z축 구동유닛을 갖춘 헤드 유닛 이동장치(90)에 의하여 X축방향 및 Z축방향으로 직선이동 가능하게 설치됨으로써 X축방향 및 Z축방향으로 이동되는 한편, 헤드 유닛 지지대(60)와 함께 Y축방향으로 이동될 수 있다.

헤드 유닛(50)은 페이스트 패턴 형성공정의 속도를 개선하기 위하여 복수 개 구비하는 경우 헤드 유닛 지지대(60)의 X축 프레임에 X축방향으로 서로 이격되도록 일정한 간격으로 배치하는 것이 바람직하다. 헤드 유닛 지지대(60)를 복수 개 구비하는 경우, 복수의 헤드 유닛 지지대(60)는 Y축방향으로 서로 이격되도록 배치하는 것이 바람직하다.

테이블 이동장치(70)로는 일렬로 배치된 영구자석을 가지는 고정자와 전자석을 가지는 가동자를 포함하여 고정자와 가동자의 전자기적 상호작용에 의하여 동작하는 리니어 모터가 적용될 수 있다. 물론, 실시조건에 따라서는 이러한 리니어 모터 대신, 공압식 또는 유압식 실린더, 회전식 모터와 회전식 모터의 회전운동을 직선운동으로 바꾸어 전달하는 동력전달수단으로 구성된 기구 등 통상적으로 널리 사용되고 있는 직선운동기구가 적용될 수도 있다.

지지대 이동장치(80), 헤드 유닛 이동장치(90)의 X축 구동유닛과 Z축 구동유닛의 경우에도 테이블 이동장치(70)와 마찬가지로 리니어 모터 등 다양한 직선운동기구가 적용될 수 있다.

θ축 구동장치(100)는 Y축 테이블(30)과 스테이지(40) 사이에 배치되어 스테이지(40)를 회전 가능하게 지지함과 아울러 스테이지(40)를 회전시킨다. θ축 구동장치(100)는, Y축 테이블(30)에 설치되며 스테이지(40)가 Z축방향의 축선을 중심으로 회전될 수 있도록 스테이지(40)의 센터를 지지하는 스테이지 받침대(110), 스테이지 받침대(110)의 주위에 스테이지(40)의 센터를 중심으로 하는 원주방향을 따라 서로 이격되도록 배치되어 스테이지(40)의 주변 부분을 지지하면서 스테이지(40)의 회전운동을 안내하는 복수의 스테이지 주변 가이드(120), 스테이지(40)를 회전시키는 스테이지 구동유닛(130)을 포함한다.

스테이지 받침대(110)는 베어링을 포함하는 받침대일 수 있다. 예를 들어, Y축 테이블(30)에 장착되는 하부의 고정받침, 스테이지(40)에 장착되는 상부의 회전받침, 고정받침과 회전받침 사이에 개재된 베어링으로 구성된 받침대일 수 있는 것이다. 다른 예로, Y축 테이블(30)에 하부가 베어링에 의하여 회전 가능하게 장착되고 스테이지(40)에 상부가 고정된 축부재를 가지는 받침대일 수도 있다.

도 5는 스테이지 주변 가이드(120)를 나타내는 사시도이다.

스테이지 주변 가이드(120)는 사각형 구조인 스테이지(40)의 네 모서리 부분 측에 하나씩 구비되고 90도 간격으로 배치될 수 있다. 물론, 스테이지 주변 가이드(120)의 구비 개수나 배치는 스테이지(40)의 주변 부분을 보다 더 안정적으로 지지하거나 스테이지(40)의 회전운동을 보다 더 정확하게 안내할 목적으로 적절히 변경될 수 있다.

스테이지 주변 가이드(120)는 서로 짝을 이루어서 상대운동을 하는 안내부재를 포함한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 스테이지 주변 가이드(120)는, Y축 테이블(30)에 장착되고 일직선형의 제1안내면을 가지는 제1고정부재(122), 제1고정부재(122)에 제1안내면을 따라 직선이동 가능하도록 결합된 제1이동부재(124), 제1이동부재(124)에 장착되며 일직선형의 제2안내면을 가지는 제2고정부재(126), 제2고정부재(126)에 제2안내면을 따라 직선이동 가능하도록 결합된 상태로 스테이지(40)에 장착된 제2이동부재(128)를 포함한다. 제1고정부재(122)와 제1이동부재(124) 및 제2고정부재(126)와 제2이동부재(128)는 서로 짝을 이루어 상대운동을 하는 안내부재를 구성한다.

제1고정부재(122)는 그 제1안내면이 X축방향과 Y축방향 중 어느 한쪽 방향으로 배치되고, 제2고정부재(126)는 그 제2안내면이 제1안내면과 직교하도록 X축방향과 Y축방향 중 나머지 한쪽 방향으로 배치된다. 즉, 제1안내면이 X축방향으로 배치되면 제2안내면이 Y축방향으로 배치됨으로써 제1안내면과 제2안내면이 직교하는 것이다.

이와 같은 스테이지 주변 가이드(120)는 스테이지(40)를 소정 각도 회전시키면 제1이동부재(124)가 제1고정부재(122)의 제1안내면을 따라 직선이동(예를 들어, Y축방향 이동) 되어 제2고정부재(126)가 제1이동부재(124)와 함께 동일방향으로 이동됨과 아울러 제2이동부재(128)가 제2고정부재(126)의 제2안내면을 따라 직선이동(예를 들어, X축방향) 되면서 스테이지(40)의 회전운동을 안내한다.

스테이지 주변 가이드(120)가 스테이지(40)의 회전운동을 보다 자연스럽게 안내할 수 있게 하기 위하여, 제2고정부재(126)는 제1이동부재(124)의 상부에 베어링이나 중심축 등 회동수단에 의하여 회전 가능하게 결합될 수 있다.

도 6은 스테이지 구동유닛(130)을 나타내는 사시도이다.

스테이지 구동유닛(130)은 사각형 구조인 스테이지(40)의 네 변 중에서 어느 하나의 변 측에 배치될 수 있다. 스테이지 구동유닛(130)의 위치는 스테이지(40)의 네 모서리 부분 중 어느 세 모서리 부분 측에 스테이지 주변 가이드(120)를 하나씩 구비하고 남은 하나의 모서리 부분 측으로 하는 것도 가능하다.

도 6에 도시된 바와 같이, 스테이지 구동유닛(130)은, 외주에 길이방향을 따라 수나사부가 마련된 스크루 축(131), Y축 테이블(30)에 장착되며 스크루 축(131)의 양단 부분을 회전 가능하게 지지하는 마운팅 프레임(132), 스크루 축(131)에 회전력을 제공하는 구동모터(133), 스크루 축(131)에 나사결합이 된 너트부를 가지는 제1이동부재(134), 제1이동부재(134)의 상부에 베어링이나 중심축 등 회동수단에 의하여 Z축방향을 중심으로 회전 가능하게 결합된 회전부재(135), 회전부재(135)에 장착되며 직선형의 안내면을 가지는 안내부재(136), 안내부재(136)에 안내부재(136)의 안내면을 따라 이동 가능하도록 결합된 제2이동부재(137)를 포함한다.

여기에서, 스크루 축(131)은 스테이지(40)의 센터를 중심으로 하는 원주방향에 대한 접선방향과 나란하도록 배치되는 것이 바람직하다. 스크루 축(131)은 일반적인 볼 스크루의 구조를 가지도록 구성된 타입일 수 있다. 스테이지 구동유닛(130)의 제1이동부재(134)는 스크루 축(131)을 따라 이동하고, 스테이지 구동유닛(130)의 회전부재(135), 안내부재(136) 및 제2이동부재(137)는 스테이지(40)가 회전될 수 있게 제1이동부재(134)의 직선운동을 변환, 스테이지(40)에 전달한다. 안내부재(136)는 스크루 축(131)과 교차하도록 배치되는 것이 바람직하다.

이와 같은 스테이지 구동유닛(130)은 구동모터(133)를 작동시켜서 스크루 축(131)을 회전시키면 그 제1이동부재(134)가 스크루 축(131)을 따라 이동되고, 이로써 회전부재(135)가 회전되어 안내부재(136)가 회전부재(135)와 함께 동일방향으로 회전됨과 아울러 그 제2이동부재(137)가 안내부재(136)의 안내면을 따라 이동되면서 스테이지(40)에 구동모터(133)로부터의 동력을 전달하여 스테이지(40)를 회전시킨다.

스테이지(40)에 기판을 로딩하고, 로딩된 기판이 X축방향, Y축방향과 일치하도록 기판이 틀어진 소정의 각도만큼 스테이지(40)를 회전시켜 기판을 정위치로 얼라인한 후, 기판 상에 페이스트를 도포하기 위하여 헤드 유닛(50)과 함께 Y축 테이블(30)을 Y축방향으로 이동시키는 과정에서, 스테이지(40)에는 θ축 구동장치(100)에 존재하는 유격(스테이지 주변 가이드(120)를 구성하는 안내부재(122, 124)(126, 128) 간의 유격 등)으로 인하여 각종의 미세한 진동이 발생될 수 있고, 이로 인하여 기판에는 페이스트가 부적절하게 도포될 수 있다.

따라서, 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서는 기판의 얼라인 후 Y축 테이블(30)에 스테이지(40)를 구속시켜 페이스트 도포과정에서 Y축 테이블(30)을 Y축방향으로 이동 시 스테이지(40)에 미세 진동이 발생되는 것을 방지하는 스테이지 구속장치를 더 포함한다.

도 7은 스테이지 구속장치를 나타내는 단면도이다.

도 5 및 도 7을 참조하면, 스테이지 구속장치는 복수 개의 스테이지 주변 가이드(120) 중 적어도 어느 하나의 서로 짝을 이루는 제1고정부재(122)와 제1이동부재(124), 제2고정부재(126)와 제2이동부재(128)를 각각 클램핑, 언클램핑하여 스테이지(40)를 구속시키거나 구속을 해제하는 클램프(200)로 구성된다. 클램프(200)는 제1고정부재(122)와 제1이동부재(124)에든 제2고정부재(126)와 제2이동부재(128)에든 모두 동일하게 적용되므로 제1고정부재(122)와 제1이동부재(124)에 적용된 것을 중심으로 살펴본다.

클램프(200)는, 압박부재(210)를 가지는 클램프 바디(220), 압박부재(210)를 이동시키기 위한 압박부재 구동유닛(230)을 포함한다.

클램프 바디(220)는 제1이동부재(124)에 제1이동부재(124)와 함께 이동 가능하도록 장착된다. 압박부재(210)는 복수로 구비된다. 압박부재(210)는 클램프 바디(220)에 제1고정부재(122)를 사이에 두고 양쪽에서 각각 제1고정부재(122)에 대하여 전후이동 가능하도록 장착되어 이동방향에 따라 제1고정부재(122)를 압박하거나 압박을 해제한다.

압박부재 구동유닛(230)은 양쪽 압박부재(210)를 각각 이동시키는 공압식 또는 유압식 실린더로 구성될 수 있다. 압박부재 구동유닛(230)으로는 이러한 실린더 대신, 리니어 모터, 회전식 모터와 회전식 모터의 회전운동을 직선운동으로 바꾸어 전달하는 동력전달수단으로 구성된 기구 등이 적용될 수도 있다.

이와 같은 클램프(200)는 압박부재 구동유닛(230)을 작동시켜서 각각의 양쪽 압박부재(210)를 제1고정부재(122), 제2고정부재(126)에 대하여 전진시키면 도 7의 (B)에서와 같이 양쪽 압박부재(210)가 제1고정부재(122), 제2고정부재(126)를 각각 양쪽에서 압박한다. 이 때, 각 클램프(200)는 제1고정부재(122), 제2고정부재(126)에 고정되고, 이에 따라 제1이동부재(124), 제1이동부재(128)가 제1고정부재(122), 제2고정부재(126)에 각각 구속되면서, 스테이지(40)는 Y축 테이블(30)에 구속된다. 물론, 각각의 양쪽 압박부재(210)를 제1고정부재(122), 제2고정부재(126)에 대하여 후진시키면, 스테이지(40)의 구속은 해제된다.(도 7의 (A) 참조)

도시되지는 않았으나, 양쪽 압박부재(210)는 제1고정부재(122), 제2고정부재(126)와 접촉되는 끝 부분에 제1고정부재(122), 제2고정부재(126)와의 마찰력을 증대시키기 위한 미끄럼 방지재가 부착될 수 있다. 미끄럼 방지재는 고무 등 마찰력을 증대시킬 수 있는 다양한 재질로 이루어질 수 있다.

도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서를 나타내는 평면도이다. 도 8을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서는 제1실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 그 작용효과는 모두 동일한 것에 대하여, 스테이지 받침대(110) 대신 스테이지 센터 가이드(도면부호 140, 150 참조)가 적용된 점, 클램프(200)가 스테이지 센터 가이드에 적용된 점만이 상이하다. 이를 설명하면 다음과 같다.

도 9는 도 8에 도시된 스테이지 센터 가이드와 스테이지 센터 가이드에 적용된 클램프(200)를 나타내는 단면도이다.

스테이지 센터 가이드는 내측 센터 가이드(140) 및 내측 센터 가이드(140)의 외측에 배치되어 내측 센터 가이드(140)와 함께 스테이지(40)의 센터를 회전 가능하게 지지하는 외측 센터 가이드(150)로 구성된다.

내측 센터 가이드(140)는, Y축 테이블(30)에 장착되며 원형 링 형상의 안내면을 가지는 고정부재(142), 고정부재(142)에 고정부재(142)의 안내면을 따라 이동 가능하게 결합된 상태로 스테이지(40)에 장착된 단수 또는 복수의 이동부재(144)로 구성된다. 외측 센터 가이드(150)도 내측 센터 가이드(140)와 마찬가지로 고정부재와 이동부재로 구성될 수 있다. 다만, 외측 센터 가이드(150)는 고정부재를 복수로 구비하며 고정부재가 스테이지(40)의 센터를 중심으로 하는 호 형상의 안내면을 가진다.

클램프(200)는 내측 센터 가이드(140)와 외측 센터 가이드(150) 중에서 적어도 어느 하나에 적용된다. 물론, 스테이지 주변 가이드(120)에도 추가로 적용될 수 있다. 클램프(200)는 내측 센터 가이드(140)에든 외측 센터 가이드(150)에든 모두 동일하게 적용되므로 내측 센터 가이드(140)에 적용된 것을 중심으로 설명한다.

클램프 바디(220)는 내측 센터 가이드(140)의 이동부재(144)들 중 적어도 하나에 장착되어 이동부재(144)와 함께 이동된다. 압박부재(210)는 클램프 바디(220)에 내측 센터 가이드(140)의 고정부재(142)를 사이에 두고 양쪽에서 각각 고정부재(142)에 대하여 전후이동 가능하도록 장착되어서 이동방향에 따라 고정부재(142)를 압박하거나 압박을 해제한다. 따라서, 압박부재 구동유닛(230)을 작동시켜 양쪽 압박부재(210)를 내측 센터 가이드(140)의 고정부재(142)에 대하여 전진시키면, 클램프 바디(220)가 고정부재(142)에 고정되고, 이동부재(144)가 고정부재(142)에 구속되면서 스테이지(40)가 Y축 테이블(30)에 구속된다.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.

5 : 기판 20 : 베이스 프레임
30 : Y축 테이블 40 : 스테이지
50 : 헤드 유닛 100 : θ축 구동장치
110 : 스테이지 받침대 120 : 스테이지 주변 가이드
122 : 제1고정부재 124 : 제1이동부재
126 : 제2고정부재 128 : 제2이동부재
130 : 스테이지 구동유닛 140, 150 : 스테이지 센터 가이드
200 : 클램프 210 : 압박부재
220 : 클램프 바디 230 : 압박부재 구동유닛

Claims

Y축방향으로 이동 가능한 Y축 테이블과;
상기 Y축 테이블 상에 θ축 구동장치에 의하여 회전 가능하도록 설치되며 위에 기판이 로딩되는 스테이지와;
상기 스테이지에 로딩된 기판 상에 페이스트를 도포하는 헤드 유닛과;
상기 Y축 테이블에 상기 스테이지를 구속시켜 상기 Y축 테이블 상에서 상기 스테이지가 진동되는 것을 방지하거나 구속을 해제하는 스테이지 구속장치와;
상기 Y축 테이블에 장착되어 상기 스테이지를 회전 가능하게 지지하는 내측 센터 가이드와;
상기 Y축 테이블에 장착되고 상기 내측 센터 가이드의 외측에 배치되어 상기 내측 센터 가이드와 함께 상기 스테이지를 회전 가능하게 지지하는 외측 센터 가이드를 포함하고,
상기 내측 센터 가이드 및 상기 외측 센터 가이드는 각각 상기 Y축 테이블에 장착되며 원형 링 형상의 안내면을 갖는 고정부재와, 상기 고정부재의 안내면을 따라 이동 가능하도록 상기 스테이지에 장착되는 이동부재를 포함하고,
상기 스테이지 구속장치는 상기 고정부재 및 상기 이동부재를 클램핑하거나 언클램핑하여 상기 스테이지를 구속시키거나 구속을 해제하는 클램프로 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
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청구항 1에 있어서,
상기 클램프는,
상기 이동부재에 장착되어 함께 이동하며 상기 고정부재를 사이에 두고 양쪽에서 각각 상기 고정부재에 대하여 전후이동 가능하여 이동방향에 따라 상기 고정부재를 압박하거나 압박을 해제하는 압박부재를 가지는 클램프 바디와;
상기 양쪽의 압박부재를 이동시키는 압박부재 구동유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서.
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