KR102029634B1 - Automatic supplying apparatus of chemical - Google Patents

Automatic supplying apparatus of chemical Download PDF

Info

Publication number
KR102029634B1
KR102029634B1 KR1020190085895A KR20190085895A KR102029634B1 KR 102029634 B1 KR102029634 B1 KR 102029634B1 KR 1020190085895 A KR1020190085895 A KR 1020190085895A KR 20190085895 A KR20190085895 A KR 20190085895A KR 102029634 B1 KR102029634 B1 KR 102029634B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
hose connector
frame
mover
chemical
hose
Prior art date
Application number
KR1020190085895A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김형석
임정택
Original Assignee
(주)에이치앤에이치
김형석
임정택
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)에이치앤에이치, 김형석, 임정택 filed Critical (주)에이치앤에이치
Priority to KR1020190085895A priority Critical patent/KR102029634B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102029634B1 publication Critical patent/KR102029634B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L55/00—Devices or appurtenances for use in, or in connection with, pipes or pipe systems
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L3/00—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets
    • F16L3/01—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets for supporting or guiding the pipes, cables or protective tubing, between relatively movable points, e.g. movable channels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L33/00—Arrangements for connecting hoses to rigid members; Rigid hose connectors, i.e. single members engaging both hoses
    • F16L33/22—Arrangements for connecting hoses to rigid members; Rigid hose connectors, i.e. single members engaging both hoses with means not mentioned in the preceding groups for gripping the hose between inner and outer parts

Abstract

The present invention relates to an apparatus for automatically supplying chemicals. A hose connector holder is moved along a rail of a provided rail part to any one of a predetermined preparation point, an intermediate point, and a coupling point. The hose connector holder is moved to either the preparation point or the intermediate point by using a first mover which is unevenly coupled to a side portion of the hose connector holder. The hose connector holder is moved to either the intermediate point or the coupling point by using a second mover which is unevenly coupled to a bottom portion of the hose connector holder. Therefore, a chemical transport tank and a chemical storage tank are connected to supply a chemical from one side to the other side. According to the present invention, the hose connector holder is moved along a moving path provided by the rail part including the pair of rails without using a single stage or multi stages, thereby easily solving the conventional complexity and problem of limiting design freedom.

Description

케미컬 자동공급장치{AUTOMATIC SUPPLYING APPARATUS OF CHEMICAL}Chemical Automatic Feeding Equipment {AUTOMATIC SUPPLYING APPARATUS OF CHEMICAL}

본 발명은 케미컬 자동공급장치에 관한 것이며, 더욱 상세히는 단일 스테이지 혹은 다단 스테이지를 사용하지 않고 한 쌍의 레일을 포함하는 레일부에 의해 제공되는 이동로를 따라 호스 커넥터 거치대를 이동하여 케미컬을 공급하는 케미컬 자동공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical automatic supply device, and more particularly to supply the chemical by moving the hose connector holder along the movement path provided by the rail unit including a pair of rails without using a single stage or a multi-stage stage. The present invention relates to a chemical automatic feeding device.

일반적으로 반도체, 반도체 장치, LCD, OLED를 제조하는 회사와 제약회사 및 페인트 회사 등 유해화학물질을 사용하는 모든 회사에서는 다양한 종류의 케미컬이 사용되고 있으며, 이러한 케미컬을 안전하게 공급하는 방식도 다양화되고 있다.In general, all kinds of chemicals are used in companies that manufacture semiconductors, semiconductor devices, LCDs, OLEDs, and pharmaceutical and paint companies, and various types of chemicals have been diversified. .

이러한 케미컬은 케미컬 자동공급장치에 의해 건물 외부에 정차된 탱크로리(tank lorry)의 케미컬 운반 탱크에서 건물 내부에 설치된 케미컬 저장 탱크(chemical storage tank)로 이송된다.Such chemicals are transferred by chemical automatic feeders from chemical transport tanks of tank lorry stationed outside the building to chemical storage tanks installed inside the building.

상기와 같은 종래의 케미컬 자동공급장치에서는 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이에 ACQC 유닛(Automatic Clean Quick Coupler Unit, "자동 세정 약품 이송 유닛"이라고도 함)이라고 하는 케미컬 중계 장치가 구비되어, ACQC 유닛을 통해 케미컬 운반 탱크에 고압 질소를 공급하고 그 공급 질소의 압력으로 케미컬이 토출되어 ACQC 유닛을 통해 케미컬 저장 탱크에 저장된다.In the conventional chemical automatic feeding device as described above, a chemical relay called an ACQC unit (also referred to as an Automatic Clean Quick Coupler Unit) is provided between the chemical transport tank and the chemical storage tank. The high pressure nitrogen is supplied to the chemical delivery tank through the chemical and discharged at the pressure of the supply nitrogen is stored in the chemical storage tank through the ACQC unit.

특허문헌 1에서는 케미컬용 가동유닛이 제1이송수단 위에 적재된 상태에서 전후 이동되는 단일 스테이지의 구조로 된 케미컬탱크롤리와 ACQC 유닛간의 자동 체결 시스템을 개시하고 있다.Patent Document 1 discloses an automatic fastening system between a chemical tank roller and an ACQC unit having a single stage structure that is moved back and forth in a state where a chemical movable unit is mounted on a first transfer means.

이처럼, 단일 스테이지로 이루어진 경우, 거치대가 작업자로부터 거리가 멀어지게 되어 작업자의 불편을 초래하고, 수커넥터와 암커넥터의 완전한 결합을 유도하기 어려우며, 암커넥터가 설치되는 ACQC 유닛 측의 하우징 구조 및 이송수단의 특별한 설계가 요구되므로 설계 자유도가 떨어지는 문제점이 있다.As such, in the case of a single stage, the cradle is far from the operator, causing inconvenience to the operator, it is difficult to induce a complete coupling of the male connector and the female connector, and the housing structure and transportation on the ACQC unit side where the female connector is installed. Since a special design of the means is required, there is a problem of inferior design freedom.

특허문헌 2에서는 특허문헌 1의 문제점을 해소하기 위하여, 제2스테이지 위에 제1스테이지가 적층 방식으로 적재된 구조로 되어 있고, 상기 제1스테이지는 제2스테이지 상에서 제2스테이지 구동부에 의해 전후 이동되고, 거치대는 제1스테이지 상에서 제1스테이지 구동부에 의해 전후 이동되는 케미컬 자동공급장치를 개시하고 있다.In Patent Literature 2, in order to solve the problem of Patent Literature 1, the first stage is stacked on the second stage in a stacked manner, and the first stage is moved back and forth by the second stage driving unit on the second stage. The cradle discloses a chemical automatic feeding device which is moved back and forth by the first stage driving unit on the first stage.

이처럼, 다단 스테이지로 이루어진 구성으로 수커넥터와 암커넥터의 완전한 결합을 시킬 수는 있지만 다단 스테이지 구성에 따른 복잡성과 설계 자유도가 제한되는 문제점과, 반도체에 사용하는 케미컬 자동공급장치는 온도의 변화와 유동에 의한 간격이 미세하게 벌어지면 수커넥터와 암커넥터의 결합이 일치하지 않으면서 사고가 발생하는 위험이 항상 존재한다.In this way, the multi-stage configuration allows the complete coupling of the male and female connectors, but the complexity and design freedom of the multi-stage configuration are limited, and the chemical auto-supply device used in the semiconductor has a change in temperature and flow. If the spacing is small, there is always a risk that an accident occurs while the male and female connectors do not match.

특허문헌 2는 중간스테이지의 상부에 제1케미컬용 스테이지와 제1질소용 스테이지가 상부에 고정되어 제2스테이지를 따라서 전후로 이동하는 복잡한 구조를 가지고 있는 문제점과, 중간스테이지의 작동에 의해 케미컬용 수커넥터와 질소용 수커넥터가 항상 같이 이동해야 하는 문제점과, 케미컬용 또는 질소용 수커넥터에 고장이 발생할 경우 각구성을 분리시켜 작업을 진행할 수 없는 단점이 있다.Patent document 2 has a problem that the first chemical stage and the first nitrogen stage are fixed on the upper stage of the intermediate stage and have a complicated structure moving back and forth along the second stage, and the number of chemical agents by the operation of the intermediate stage. There is a problem in that the connector and the male connector for nitrogen must always move together, and in the event of a failure in the chemical or nitrogen male connector, it is impossible to separate the components and proceed with the work.

특허문헌 2는 제2스테이지의 상부에 볼트로 고정된 중간스테이지의 볼트가 풀리거나 유격이 발생하면 중간스테이지의 상부에 설치한 제1케미컬용 스테이지와 제1질소용 스테이지의 무게 중심이 기울어지면서 케미컬용 또는 질소용 수커넥터와 케미컬용 또는 질소용 암커넥터와의 결합이 불안정하면서 케미컬 또는 질소가 누출되는 사고의 위험이 있다.Patent Literature 2 discloses that when the bolt of the intermediate stage fixed to the upper part of the second stage is loosened or there is play, the center of gravity of the first chemical stage and the first nitrogen stage installed on the upper stage of the intermediate stage is inclined. There is a risk of accidental chemical or nitrogen leakage due to unstable coupling of the male or nitrogen male connector with the female or nitrogen female connector.

특허문헌 2는 제1케미컬용 스테이지와 제1질소용 스테이지의 상부에 설치한 케미컬용 또는 질소용 수커넥터가 중간스테이지의 양끝부분에 위치하여 중간스테이지를 따라서 이동하는 과정에서 흔들림이 발생하는 문제점과, 케이컬용 호스와 질소용 호스는 무게가 상당히 무겁기 때문에 케미컬용 또는 질소용 수커넥터가 제1스테이지의 끝부분까지 이동하면 무게중심이 아래로 쏠리면서 케미컬용 또는 질소용 암커넥터와의 결합이 미세하게 틀어지는 문제점이 있다.Patent Literature 2 discloses a problem in that shaking occurs when a chemical or nitrogen male connector installed on the upper stage of the first chemical stage and the first nitrogen stage is positioned at both ends of the intermediate stage and moves along the intermediate stage. Since the cable and nitrogen hoses are very heavy, when the chemical or nitrogen male connector moves to the end of the first stage, the center of gravity is moved downward and the coupling with the chemical or nitrogen female connector is fine. There is a problem that is wrong.

특허문헌 2는 케미컬용 또는 질소용 수커넥터의 전면에 케미컬용 또는 질소용 거치대와 제1스테이지 구동부가 돌출된 길이만큼 케미컬용 호스의 근접위치까지 이동하지못하므로 벽체의 개방부를 추가로 구성해야 하는 문제점과, 이송유닛을 개방부까지 전진시켜 배치해야 하는 불편함이 있다.Patent Literature 2 does not move to the proximity of the chemical hose as much as the protruding length of the chemical or nitrogen holder and the first stage drive on the front surface of the male or nitrogen male connector, so that the opening of the wall must be additionally configured. There is a problem, and the inconvenience to be arranged to move the transfer unit to the open portion.

특허문헌 2는 케미컬용 호스와 질소용 호스를 케미컬용 수커넥터와 질소용 수커넥터에 결합하는 구조가 복잡하고, 케미컬용 수커넥터와 질소용 수커넥터를 거치대에 결합시키는 구조 또한 복잡하며, 예전부터 케미컬용 호스와 질소용 호스에 수커넥터가 일체로 고정된 상태로 사용하고 있는데 반해서, 특허문헌 2는 케미컬용 호스와 질소용 호스에 별도의 수커넥터를 결합시키는 구조를 가지고 있으므로 제품제작의 어려움과, 제품단가가 높아지는 문제점이 있다.Patent Literature 2 has a complicated structure in which a chemical hose and a nitrogen hose are coupled to a chemical male connector and a nitrogen male connector, and a structure in which the chemical male connector and the nitrogen male connector are coupled to the holder is also complicated. While the male connector is fixedly used in the chemical hose and the nitrogen hose, Patent Literature 2 has a structure in which a separate male connector is coupled to the chemical hose and the nitrogen hose. There is a problem that the product cost increases.

특허문헌 3에서는 피반송체를 반송하는 반송 장치이며 서로 회동 가능하게 교차시킨 링크의 대를 수평면내의소정 방향에 팬터그래프장에 복수 연결시킨 신축 기구와； 상기 신축 기구의 일단에 고정되어 전기피반송체를 보관 유지 가능한 이재 슬라이더와 상기 이재 슬라이더에 대해 전기 소정방향에 상대 이동 가능한 적어도 1개의 슬라이더를 가지는 다단 슬라이더와； 상기 교차시킨링크의 대의 상대 각도를 변화시키는 것으로 전기 신축 기구를 신축시키는 구동 기구를 갖추는 반송 장치에 관한 기술을 개시하고 있다.Patent Document 3 is a conveying device for conveying a conveyed object, and a telescopic mechanism in which a plurality of links of the links intersected so as to rotate each other are connected to a pantograph field in a predetermined direction in a horizontal plane; A multi-stage slider having a transfer material slider capable of holding and a moving slider relative to the transfer material slider in a predetermined direction relative to the transfer material slider; and a drive mechanism for stretching and contracting the electric extension mechanism by changing a relative angle of the cross links. The technique regarding the conveyance apparatus provided is disclosed.

특허문헌 4에서는 다단식 슬라이드유닛은, 저면(24a)상에 소정의 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1가이드레일(113), 각 제1가이드레일에 따라서 각각 진퇴 하는 제1가동자(115) 및 각 제1가동자를 고정하는 제1슬라이드 테이블(117)을 가지는 제1슬라이드 유닛(110)과 제1슬라이드 테이블의 저면과의 비대향면에서 만나며 한 쌍의 제1 가이드 레일간에 상당하는 부위에 고정되는 제2 가이드 레일(133) 및 제2 가이드 레일에 의해 지지를 받아 제일 가동자와 병행에 진퇴 하는 제2 가동자(135)를 가지는 제2 슬라이드 유닛(130)을 구비하고, 제1 슬라이드 테이블은, 제2 가이드 레일을 지지한 부위가, 제1 가동자를 지지한 부위와 동일 평면상 또는 제1 가동자를 지지한 부위보다 베이스면에 가깝게 형성한 기술을 개시하고 있다.In Patent Literature 4, the multistage slide unit includes a pair of first guide rails 113 arranged on the bottom surface 24a at predetermined intervals, and a first movable member 115 that advances and retreats according to each of the first guide rails. And a first slide unit 110 having a first slide table 117 for fixing each first mover and a non-facing surface between the bottom surface of the first slide table and a portion corresponding to a pair of first guide rails. And a second slide unit (130) having a second guide rail (133) to be fixed and a second mover (135) supported by the second guide rail and advancing in parallel with the first mover. The table discloses a technique in which a portion supporting the second guide rail is formed on the same plane as the portion supporting the first mover or closer to the base surface than a portion supporting the first mover.

이처럼, 특허문헌 2의 다단 스테이지, 특허문헌 3,4의 다단 슬라이드로 구성되는 발명은 다단 스테이지와 슬라이드 구성에 따른 복잡성과 설계 자유도가 제한되는 문제점이 있다.As described above, the invention composed of the multi-stage stage of Patent Literature 2 and the multi-stage slide of Patent Literatures 3 and 4 has a problem in that the complexity and design freedom according to the multi-stage stage and the slide configuration are limited.

대한민국 특허등록공보 제10-1572537호Korean Patent Registration Publication No. 10-1572537 대한민국 특허등록공보 제10-1779493호Korean Patent Registration Publication No. 10-1779493 일본공개특허 제2007-250196호Japanese Laid-Open Patent No. 2007-250196 일본공개특허 제2013-239587호Japanese Laid-Open Patent No. 2013-239587

본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 이동로를 제공하는 레일부의 레일을 따라 미리 정해진 준비 지점과 중간 지점 및 결합 지점 중 어느 한 지점으로 호스 커넥터 거치대를 이동하되, 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합하는 제1 이동기로는 상기 준비 지점과 중간 지점 중 어느 한 지점으로 호스 커넥터 거치대를 이동시키고, 호스 커넥터 거치대의 저면부와 요철 결합하는 제2 이동기로는 상기 중간 지점과 결합 지점 중 어느 한 지점으로 호스 커넥터 거치대를 이동시킴으로써 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하는 케미컬 자동공급장치를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is to move the hose connector holder to any one of the predetermined preparation point, the intermediate point and the coupling point along the rail of the rail portion providing the moving path. However, as a first mover that is unevenly coupled to the side portion of the hose connector holder, the hose connector holder is moved to any one of the preparation point and the intermediate point, and the second mover that is unevenly coupled to the bottom portion of the hose connector holder. By moving the hose connector cradle to any one of the intermediate point and the coupling point is to provide a chemical automatic supply device for connecting the chemical transport tank and the chemical storage tank to supply the chemical from one side to the other side.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치는, 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하는 케미컬 자동공급장치로서, 전후좌우 4방으로 개구부가 형성된 프레임과; 상기 프레임의 전면부와 후면부를 가로질러 정해진 높이로 배치되는 한 쌍의 레일을 포함하고 상기 프레임의 전면부에서부터 후면부까지의 이동거리 상에 미리 정해진 준비 지점과 중간 지점 및 결합 지점 중 어느 한 지점으로 호스 커넥터 거치대가 이동하는 이동로를 제공하는 레일부; 상기 레일부의 한 쌍의 레일 위에 배치되고 케미컬 운반 탱크에 연결된 호스의 단부에 결합된 호스 커넥터가 고정되며 상기 레일을 따라 상기 준비 지점과 중간 지점 및 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동하는 호스 커넥터 거치대; 상기 프레임의 전면부에 배치되고 상기 호스 커넥터 거치대에 고정되는 호스 커넥터에 연결된 호스의 양측에 밀착되어 해당 호스의 진퇴 이동을 안내하는 한 쌍의 회전롤러를 포함하는 호스 안내대; 상기 프레임의 일 측면부에 배치되고 수평으로 왕복이동하는 잠금키에 의해 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합하고 제2 이동기의 잠금키가 잠금 해제된 상태에서 상기 호스 커넥터 거치대를 상기 준비 지점과 중간 지점 중 어느 한 지점으로 이동시키는 제1 이동기; 상기 프레임의 상면부에 배치되고 상기 프레임의 상면부에서 프레임의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하는 커넥터 지그에 상기 제1 이동기에 의해 중간 지점까지 이동한 상기 호스 커넥터의 단부를 삽착시켜 일치하는지 확인하는 제1 지그 이동기; 상기 프레임의 상면부에 상기 제1 지그 이동기와 정해진 간격을 두고 상기 프레임의 후면부에 근접하여 배치되고 상기 프레임의 상면부에서 프레임의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하는 캡 지그에 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛의 캡을 삽착시켜 고정하는 제2 지그 이동기; 상기 프레임의 후면부에 배치되고 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛의 캡을 잠금 혹은 잠금 해제하거나 제2 이동기에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛과 겹합한 호스 커넥터를 잠금 혹은 잠금 해제하는 잠금기; 및 상기 레일부의 한 쌍의 레일 사이에 배치되어 상기 프레임의 저면부에 의해 지지되고 수직으로 승강 이동하는 잠금키에 의해 상기 호스 커넥터 거치대의 저면부와 요철 결합하고 제1 이동기의 잠금키가 잠금 해제된 상태에서 상기 호스 커넥터 거치대를 상기 중간 지점과 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동시키는 제2 이동기;로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the automatic chemical feeding device according to the present invention is a chemical automatic feeding device for supplying the chemical from one side to the other side by connecting between the chemical transport tank and the chemical storage tank, A frame in which openings are formed in four directions; A pair of rails disposed at predetermined heights across the front and rear portions of the frame and at any one of a predetermined preparation point, an intermediate point, and a coupling point on the moving distance from the front portion to the rear portion of the frame; A rail unit providing a moving path through which the hose connector holder moves; A hose connector holder which is disposed on the pair of rails of the rail part and coupled to the end of the hose connected to the chemical transport tank is fixed and moves along the rail to any one of the preparation point, the intermediate point and the coupling point. ; A hose guide including a pair of rotary rollers disposed in front of the frame and in close contact with both sides of a hose connected to a hose connector fixed to the hose connector holder to guide the movement of the hose; The hose connector holder is positioned at one side of the frame and is unevenly coupled to the side portion of the hose connector holder by a locking key reciprocating horizontally, and the hose connector holder is positioned at an intermediate point with the preparation point in a state in which the lock key of the second mover is unlocked. A first mover for moving to any one of the points; Inserting the end of the hose connector is moved to the intermediate point by the first mover in the connector jig disposed on the upper surface of the frame and vertically moving up and down from the upper surface of the frame toward the center of the frame to confirm A first jig mover; An ACQC connected to a chemical storage tank on a cap jig disposed close to the rear part of the frame at a predetermined distance from the first jig mover on the upper surface of the frame and vertically moving up and down toward the center of the frame from the upper surface of the frame; A second jig mover for inserting and fixing a cap of the unit; A locker disposed at the rear of the frame and locking or unlocking the cap of the ACQC unit connected to the chemical storage tank or moving to the coupling point by the second mover to lock or unlock the hose connector overlapping with the corresponding ACQC unit; And a locking key disposed between the pair of rails of the rail part and supported by the bottom part of the frame and vertically moved up and down with the bottom part of the hose connector holder to lock the locking key of the first mover. And a second mover for moving the hose connector holder to any one of the intermediate point and the coupling point in the released state.

본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치에 있어서, 상기 호스 커넥터 거치대는 후면부에 요부가 형성된 본체와; 상기 본체의 요부에 걸리도록 안착한 호스 커넥터의 플랜지부 표면을 압박하는 제1 클램프; 상기 본체의 양 측면에 배치되어 제1 클램프를 진퇴 이동하는 진퇴 실린더; 상기 제1 클램프에 의해 플랜지부 표면이 압박된 호스 커넥터의 플랜지부 상단을 압박하는 제2 클램프; 상기 진퇴 실린더의 상면에 배치되어 상기 제2 클램프를 승강 이동하는 승강 실린더; 상기 본체의 일 측면에 설치되어 제1 이동기의 잠금키와 요철 결합하는 측면 요홈판; 및 상기 본체의 저면에 설치되어 제2 이동기의 잠금키와 요철 결합하는 저면 요홈판;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In the automatic chemical feeding device according to the present invention, the hose connector holder is the main body is formed with a recess in the rear portion; A first clamp for urging a surface of a flange portion of a hose connector seated to catch a recess of the main body; A retraction cylinder disposed on both sides of the main body and moving forward and backward of the first clamp; A second clamp pressing the upper end of the flange portion of the hose connector on which the flange portion surface is pressed by the first clamp; A lifting cylinder disposed on an upper surface of the retracting cylinder to move the second clamp up and down; A side groove plate installed at one side of the main body to couple the locking key of the first mover with the protrusion and recess; And a bottom groove plate installed on the bottom surface of the main body and coupled to the locking key of the second mobile device to concave and convex.

본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치에 있어서, 상기 제1 이동기는 상기 프레임의 일 측면부에 배치되어 고정되는 실린더부와; 상기 실린더부의 압력 작동에 의해 상기 프레임의 중앙부를 향해 수평으로 왕복이동하여 상기 잠금키를 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합하게 하는 잠금키 지지판; 및 일측 단부에 잠금키가 수평으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판의 수평 왕복이동에 의해 상기 잠금키가 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판의 일 측면에서 로드를 진퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대를 상기 준비 지점과 중간 지점 중 어느 한 지점으로 레일을 따라 이동시키는 잠금키판;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In the chemical automatic supply device according to the invention, the first mover and the cylinder portion is disposed and fixed to one side portion of the frame; A lock key support plate for reciprocating horizontally toward the center of the frame by pressure operation of the cylinder to allow the locking key to be unevenly coupled with the side portion of the hose connector holder; And a lock key protrudes horizontally from one end portion, and the rod is retracted from one side of the lock key support plate in a state in which the lock key is unevenly coupled with the side portion of the hose connector holder by horizontal reciprocating movement of the lock key support plate. And a locking key plate for moving the hose connector holder along the rail to any one of the preparation point and the intermediate point.

본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치에 있어서, 상기 제1 지그 이동기는 상기 프레임의 상면부에 배치되어 고정되는 실린더부; 및 상기 실린더부에 연결되어 상기 프레임의 상면부에서 프레임의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하고 하강 이동 시 상기 제1 이동기에 의해 중간 지점까지 이동한 상기 호스 커넥터의 단부를 삽착시켜 일치하는지 확인하는 커넥터 지그;로 구성되는 것을 특징으로 한다.In the automatic chemical supply device according to the invention, the first jig mover is a cylinder portion which is disposed and fixed to the upper surface portion of the frame; And a connector connected to the cylinder to vertically move up and down from the upper surface of the frame toward the center of the frame, and insert and insert the end of the hose connector moved to the intermediate point by the first mover when the lowering moves. Jig; characterized in that consisting of.

본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치에 있어서, 상기 제2 지그 이동기는 상기 프레임의 상면부에 상기 제1 지그 이동기와 정해진 간격을 두고 상기 프레임의 후면부에 근접하여 배치되어 고정되는 실린더부; 및 상기 실린더부에 연결되어 상기 프레임의 상면부에서 프레임의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하고 하강 이동 시 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛의 캡을 삽착시켜 고정하는 캡 지그;로 구성되는 것을 특징으로 한다.In the chemical automatic supply apparatus according to the present invention, the second jig mover is a cylinder portion which is disposed near and fixed to the rear portion of the frame at a predetermined distance from the first jig mover in the upper surface portion of the frame; And a cap jig connected to the cylinder to vertically move up and down from the upper surface of the frame toward the center of the frame and insert and fix the cap of the ACQC unit connected to the chemical storage tank during the lowering movement. .

본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치에 있어서, 상기 잠금기는 상기 프레임의 후면부에 배치되는 실린더부; 및 상기 실린더부의 로드와 연결되고 해당 로드의 진퇴 작동과 연동하는 캠로드에 의해 잠금 혹은 잠금 해제 작동함으로써 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛의 캡을 잠금 혹은 잠금 해제하거나 제2 이동기에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛과 겹합한 호스 커넥터를 잠금 혹은 잠금 해제하는 잠금캠;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In the automatic chemical supply device according to the invention, the locking device is a cylinder portion disposed on the rear portion of the frame; And locking or unlocking the cap of the ACQC unit connected to the chemical storage tank by the cam rod connected to the rod of the cylinder and interlocking with the retraction operation of the rod, or moving to the coupling point by the second mover. And a locking cam that locks or unlocks the hose connector overlapping with the corresponding ACQC unit.

본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치에 있어서, 상기 제2 이동기는 상기 레일부의 한 쌍의 레일 사이에 배치되어 상기 프레임의 저면부에 의해 지지되는 승강 실린더부와; 상기 실린더부의 압력 작동에 의해 수직으로 승강 이동하여 상기 잠금키를 상기 호스 커넥터 거치대의 저면부와 요철 결합하게 하는 잠금키 지지판; 및 로드의 단부에 잠금키가 수직으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판의 수직 승강 이동에 의해 상기 잠금키가 상기 호스 커넥터 거치대의 저면부와 요철 결합한 상태에서 상기 로드를 진퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대를 상기 중간 지점과 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동시키는 진퇴 실린더부;로 구성되는 것을 특징으로 한다.In the chemical automatic supply apparatus according to the present invention, the second mover and the lifting cylinder portion is disposed between the pair of rails of the rail portion supported by the bottom surface of the frame; A locking key support plate which vertically moves upward and downward by pressure operation of the cylinder part to couple the locking key to the bottom portion of the hose connector holder; And a lock key coupled to the end of the rod so as to vertically protrude, and the rod is moved forward and backward in a state in which the lock key is unevenly coupled to the bottom portion of the hose connector holder by vertical lifting and lowering of the lock key support plate. And a retraction cylinder unit for moving the cradle to any one of the intermediate point and the coupling point.

본 발명은 단일 스테이지 혹은 다단 스테이지를 사용하지 않고 한 쌍의 레일을 포함하는 레일부에 의해 제공되는 이동로를 따라 호스 커넥터 거치대를 이동하므로 종래의 복잡성과 설계 자유도가 제한되는 문제점을 쉽게 해소할 수 있다.The present invention can easily solve the problem of limiting the conventional complexity and design freedom because the hose connector holder is moved along the movement path provided by the rail unit including a pair of rails without using a single stage or a multi-stage stage. have.

본 발명은 레일부의 레일 위에 배치하는 호스 커넥터 거치대 내부에 호스 커넥터를 간편하게 삽입하고, 호스 커넥터는 제1 클램프와 제2 클램프에 의해 견고하게 고정된 상태를 유지하는 효과와, 무게가 상당히 무거운 호스 커넥터가 레일의 중심을 따라 안정적으로 이동하여 유닛의 연결구에 정밀하게 결합할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the hose connector is easily inserted into the hose connector holder disposed on the rail of the rail unit, and the hose connector has the effect of maintaining the state of being firmly fixed by the first clamp and the second clamp, and the hose having a considerably heavy weight. The connector moves stably along the center of the rail, so that the connector can be precisely coupled to the connector of the unit.

본 발명은 유닛 연결구와 암수 결합이 일치하는 지를 미리 확인할 수 있도록 프레임의 상면부에 제1 지그 이동기를 배치하고, 제1 지그 이동기에 수직으로 승강 이동하는 커넥터 지그를 설치하여 호스 커넥터의 단부가 커넥터 지그에 삽착시켜 일치하는지 미리 확인하여 부적합한 케미컬이 공급되는 사고를 방지하는 효과가 있다.The present invention arranges the first jig mover on the upper surface of the frame so as to confirm in advance whether the unit connector and the male and female coupling is matched, and installs a connector jig for vertically moving the first jig mover to the end of the hose connector It is effective to prevent accidental supply of inappropriate chemicals by inserting into the jig and confirming in advance.

본 발명은 호스 커넥터의 단부가 커넥터 지그에 삽착되지 않을 경우 작업자에게 음성안내 또는 경보를 통해 호스 커넥터를 커넥터 지그에 일치하는 적합한 것으로 신속하게 교체할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, when the end of the hose connector is not inserted into the connector jig, the operator can quickly replace the hose connector with a suitable one matching the connector jig through voice guidance or alarm.

본 발명은 호스 커넥터 거치대에 고정되는 호스 커넥터의 호스의 양 측면과 저면을 프레임에 설치된 회전롤러가 안정적으로 지지하여 호스 커넥터가 원활하게 이동할 수 있도록 한 효과가 있다.The present invention has an effect that the rotating roller is installed on the frame to support both sides and the bottom of the hose of the hose connector fixed to the hose connector holder stably to allow the hose connector to move smoothly.

본 발명은 한 쌍의 레일을 포함하는 레일부를 따라 이동하는 호스 커넥터 거치대는 미리 정해진 준비 지점, 중간 지점, 결합 지점 중 어느 한 지점으로 신속하게 이동하는 효과와, 레일부의 전체 길이를 최소화하여 제품의 원가를 절감시킨 효과가 있다.According to the present invention, a hose connector holder moving along a rail portion including a pair of rails has an effect of quickly moving to any one of a predetermined preparation point, a middle point, and a coupling point, and minimizes the overall length of the rail product. It has the effect of reducing the cost.

본 발명은 레일부를 따라서 이동하는 호스 커넥터 거치대를 중간 지점에서 준비 지점으로 이동시키는 제1 이동기를 호스 커넥터 거치대 측면에 구비하고, 호스 커넥터 거치대를 중간 지점에서 결합 지점으로 이동시키는 제2 이동기는 호스 커넥터 거치대의 전면부에 위치한 한 쌍의 레일 사이에 배치되어 케미컬 자동공급장치의 전체적인 부피를 최소화시킨 효과가 있다.The present invention is provided with a first mover on the side of the hose connector holder for moving the hose connector holder moving along the rail portion from the intermediate point to the preparation point, and the second mover for moving the hose connector holder from the intermediate point to the coupling point is a hose connector. It is arranged between a pair of rails located in the front part of the cradle to minimize the overall volume of the chemical automatic feeding device.

본 발명은 케미컬 자동공급장치의 구조를 개선하여 제품의 조립 및 생산성을 향상시킨 효과와, 케미컬용 호스 커넥터와 질소용 호스 커넥터에 각각 적용하여 개별적으로 작동시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect of improving the structure of the automatic chemical supply device to improve the assembly and productivity of the product, and can be applied to the chemical hose connector and the nitrogen hose connector respectively to operate individually.

도 1은 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1의 측면도.
도 3은 호스 커넥터 거치대에 호스 커넥터를 결합하기 위해 호스 커넥터 거치대를 준비 지점까지 이동시켜 놓은 상태를 나타낸 실시예.
도 4는 커넥터 지그 하강 상태를 나타낸 실시예.
도 5는 호스 커넥터 거치대에 호스 커넥터가 거치된 상태를 나타낸 실시예.
도 6은 커넥터 지그에 호스 커넥터가 삽착된 상태를 나타낸 실시예.
도 7은 커넥터 지그와 캡 지그의 상승 상태를 나타낸 실시예.
도 8은 호스 커넥터가 거치된 호스 커넥터 거치대를 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛을 향해 중간 지점까지 이동시킨 상태를 실시예.
도 9는 도 8의 상태에서 제1 이동기의 잠금키를 잠금 해제하고 제2 이동기의 잠금키를 잠금으로 변경한 상태를 나타낸 실시예.
도 10은 호스 커넥터가 거치된 호스 커넥터 거치대를 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛을 향해 결합 지점까지 이동시켜 호스 커넥터를 ACQC 유닛에 결합한 상태를 나타낸 실시예.
도 11은 케미컬 운반 탱크로부터 케미컬 저장 탱크로 케미컬 공급이 완료된 후 호스 커넥터를 ACQC 유닛에서 분리하고 호스 커넥터가 거치된 호스 커넥터 거치대를 케미컬 운반 탱크를 향해 중간 지점까지 이동시킨 상태를 나타낸 실시예.
도 12는 도 11의 상태에서 잠금 상태에 있던 제2 이동기의 잠금키를 잠금 해제하고 잠금 해제 상태에 있던 제1 이동기의 잠금키를 잠금으로 변경한 상태를 나타낸 실시예.
도 13은 호스 커넥터 거치대에서 호스 커넥터를 분리하기 위해 준비 지점까지 이동시킨 상태를 나타낸 실시예.
도 14는 호스 커넥터 거치대에서 호스 커넥터가 분리되는 과정을 나타낸 실시예.
도 15는 도 14의 상태에서 호스 커넥터가 분리된 후 호스 커넥터 거치대가 새로운 호스 커넥터와의 결합 대기를 위해 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛을 향해 중간 지점까지 이동한 상태를 나타낸 실시예.1 is a perspective view showing an automatic chemical supply device according to the present invention.
2 is a side view of FIG. 1;
Figure 3 is an embodiment showing a state in which the hose connector holder is moved to the preparation point to couple the hose connector to the hose connector holder.
4 is an embodiment showing a connector jig lowered state;
5 is an embodiment showing a state in which the hose connector is mounted on the hose connector holder.
6 is an embodiment showing a state in which a hose connector is inserted into the connector jig.
7 is an embodiment showing a raised state of a connector jig and a cap jig.
FIG. 8 illustrates a state in which a hose connector holder equipped with a hose connector is moved to an intermediate point toward an ACQC unit connected to a chemical storage tank.
9 is a view showing a state in which the lock key of the first mobile device is unlocked and the lock key of the second mobile device is changed to the lock in the state of FIG. 8;
10 is an embodiment showing a state in which the hose connector is coupled to the ACQC unit by moving the hose connector holder equipped with the hose connector to the coupling point toward the ACQC unit connected to the chemical storage tank.
11 is a view showing a state in which the hose connector is disconnected from the ACQC unit after the chemical supply from the chemical transport tank to the chemical storage tank and the hose connector holder equipped with the hose connector is moved to the intermediate point toward the chemical transport tank.
12 is a view illustrating a state in which the lock key of the second mobile device in the locked state is unlocked in the state of FIG. 11 and the lock key of the first mobile device in the unlocked state is changed to lock;
Figure 13 is an embodiment showing a state moved to the preparation point to remove the hose connector from the hose connector holder.
14 is an embodiment illustrating a process of separating a hose connector from a hose connector holder.
FIG. 15 illustrates an embodiment in which the hose connector holder is moved to an intermediate point toward an ACQC unit connected to a chemical storage tank to wait for engagement with a new hose connector after the hose connector is disconnected in the state of FIG. 14.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings an embodiment of the present invention will be described in more detail.

이하에서 설명하는 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치는 하기의 실시예에 한정되지 않고, 청구범위에서 청구하는 기술의 요지를 벗어남이 없이 해당 기술분야에 대하여 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변경하여 실시할 수 있는 범위까지 그 기술적 정신이 있다.Chemical automatic supply apparatus according to the present invention described below is not limited to the following embodiments, and anyone who has ordinary knowledge in the art without departing from the gist of the technology claimed in the claims The technical spirit is to the extent that it can be implemented.

도 1 내지 도 15를 참조하면, 본 발명에 따라 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하는 케미컬 자동공급장치(100)는 프레임(110)과 레일부(120), 호스 커넥터 거치대(130), 호스 안내대(140), 제1 이동기(150), 제1 지그 이동기(160), 제2 지그 이동기(170), 잠금기(180) 및 제2 이동기(190)를 포함하여 구성된다.1 to 15, the chemical automatic supply device 100 for supplying the chemical from one side to the other side by connecting between the chemical transport tank and the chemical storage tank in accordance with the present invention frame 110 and the rail portion 120 ), Hose connector holder 130, hose guide 140, the first mover 150, the first jig mover 160, the second jig mover 170, the locker 180 and the second mover 190 It is configured to include).

상기 프레임(110)은 전후좌우 4방으로 개구부가 형성된 것으로, 예컨대 육면체 형상으로 구성하는 것이 바람직하다.The frame 110 has openings formed in four directions, front, rear, left, and right, and is preferably configured in a hexahedral shape.

상기 레일부(120)는 상기 프레임(110)의 전면부와 후면부를 가로질러 정해진 높이로 배치되는 한 쌍의 레일(121)을 포함하고 상기 프레임(110)의 전면부에서부터 후면부까지의 이동거리 상에 미리 정해진 준비 지점과 중간 지점 및 결합 지점 중 어느 한 지점으로 호스 커넥터 거치대(130)가 이동하는 이동로를 제공한다.The rail unit 120 includes a pair of rails 121 disposed at predetermined heights across the front and rear parts of the frame 110 and on a moving distance from the front part to the rear part of the frame 110. The hose connector holder 130 provides a movement path to any one of the predetermined preparation point and the intermediate point and the coupling point.

상기 호스 커텍터 거치대(130)는 상기 레일부(120)의 한 쌍의 레일(121) 위에 배치되고 케미컬 운반 탱크에 연결된 호스(200)의 단부에 결합된 호스 커넥터(210)가 고정되며 상기 레일(121)을 따라 상기 준비 지점과 중간 지점 및 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동한다.The hose connector holder 130 is disposed on the pair of rails 121 of the rail unit 120 and the hose connector 210 coupled to the end of the hose 200 connected to the chemical transport tank is fixed and the rail Move to one of the preparation point, the intermediate point and the joining point along 121.

상기 호스 커넥터 거치대(130)의 본체(131)는 후면부에 요부(131a)를 형성하되, 상기 요부(131a)는 상기 호스 커넥터 플랜지부(211)의 외경보다 작게 U자 형상으로 형성되어 호스 커넥터 플랜지부(211)의 전면이 밀착되고, 상기 요부(131a)에 밀착되는 호스 커넥터 플랜지부(211)의 저면에는 후술할 지지판(134a)이 호스 커넥터 거치대(130) 바닥면에 형성된다.The main body 131 of the hose connector holder 130 forms a recessed portion 131a in the rear portion, the recessed portion 131a is formed in a U shape smaller than the outer diameter of the hose connector flange portion 211 hose connector plan A front surface of the branch 211 is in close contact with each other, and a support plate 134a, which will be described later, is formed on the bottom surface of the hose connector holder 130 at the bottom of the hose connector flange portion 211 in close contact with the recess 131a.

상기 호스 커넥터 거치대(130)의 제1 클램프(132)는 상기 본체(131)의 요부(131a)에 걸리도록 안착한 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면을 압박한다.The first clamp 132 of the hose connector holder 130 presses the surface of the flange portion 211 of the hose connector 210 seated so as to be caught by the recessed portion 131a of the main body 131.

상기 호스 커넥터 거치대(130)의 진퇴 실린더(133)는 상기 본체(131)의 양 측면에 배치되어 제1 클램프(132)를 진퇴 이동한다.The retraction cylinder 133 of the hose connector holder 130 is disposed on both side surfaces of the main body 131 to move forward and backward of the first clamp 132.

상기 호스 커넥터 거치대(130)의 제2 클램프(134)는 상기 제1 클램프(132)에 의해 플랜지부(211) 표면이 압박된 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 상단을 압박한다.The second clamp 134 of the hose connector holder 130 presses the upper end of the flange portion 211 of the hose connector 210 pressed by the surface of the flange portion 211 by the first clamp 132.

상기 호스 커넥터 거치대(130)의 승강 실린더(135)는 상기 진퇴 실린더(133)의 상면에 배치되어 상기 제2 클램프(134)를 승강 이동하여 호스 커넥터 플랜지부(211)를 견고하게 고정하되, 상기 제2 클램프(134)의 저면과 호스 커넥터 거치대(130) 바닥면에 지지판(134a)을 형성하여 호스 커넥터 플랜지부(211)의 둘레 면을 지지한다.The lifting cylinder 135 of the hose connector holder 130 is disposed on the upper surface of the retraction cylinder 133 to lift and move the second clamp 134 to firmly fix the hose connector flange 211, A support plate 134a is formed on the bottom surface of the second clamp 134 and the bottom surface of the hose connector holder 130 to support the circumferential surface of the hose connector flange portion 211.

상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면 요홈판(136)은 상기 본체(131)의 일 측면에 설치되어 제1 이동기(150)의 잠금키(153)와 요철 결합한다.The side groove plate 136 of the hose connector holder 130 is installed on one side of the main body 131 and is coupled to the concave-convex and the locking key 153 of the first mover 150.

상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면 요홈판(137)은 상기 본체(131)의 저면에 설치되어 제2 이동기(190)의 잠금키와 요철 결합한다.The bottom groove plate 137 of the hose connector holder 130 is installed on the bottom surface of the main body 131 and is coupled with the locking key of the second mover 190.

상기 호스 안내대(140)는 상기 프레임(110)의 전면부에 배치되고 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 고정되는 호스 커넥터(210)에 연결된 호스(200)의 양측에 밀착되어 해당 호스(200)의 진퇴 이동을 안내하는 한 쌍의 회전롤러(141)를 형성하되, 상기 회전롤러(141)는 상기 레일(121)의 단부에 보조 프레임을 수직으로 돌출하고, 상기 보조 프레임의 상면부에 한 쌍의 회전롤러(141)를 설치하며, 상기 회전롤러(141)와 회전롤러(141)의 사이 저면에 수평방향으로 회전롤러(141)를 더 형성한 것을 포함한다.The hose guide 140 is disposed on the front portion of the frame 110 and in close contact with both sides of the hose 200 connected to the hose connector 210 fixed to the hose connector holder 130, the corresponding hose 200 Form a pair of rotary rollers 141 for guiding the forward and backward movement of the rotary rollers 141 protrudes the auxiliary frame vertically to the end of the rail 121, a pair of the upper surface of the auxiliary frame The rotating roller 141 of the installation, and the rotary roller 141 and the rotary roller 141 includes a rotary roller 141 further formed in a horizontal direction on the bottom surface.

상기 제1 이동기(150)는 상기 프레임(110)의 일 측면부에 배치되고 수평으로 왕복이동하는 잠금키(153)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합하고 제2 이동기(190)의 잠금키(193)가 잠금 해제된 상태에서 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 준비 지점과 중간 지점 중 어느 한 지점으로 이동시킨다.The first mover 150 is unevenly coupled to the side surface of the hose connector holder 130 by a locking key 153 disposed on one side of the frame 110 and reciprocating horizontally and the second mover 190. In the state in which the lock key 193 of the unlocked state, the hose connector holder 130 is moved to any one of the preparation point and the intermediate point.

상기 제1 이동기(150)의 실린더부(151)는 상기 프레임(110)의 일 측면부에 배치되어 고정된다.The cylinder portion 151 of the first mover 150 is disposed and fixed to one side portion of the frame 110.

상기 제1 이동기(150)의 잠금키 지지판(152)은 상기 실린더부(151)의 압력 작동에 의해 상기 프레임(110)의 중앙부를 향해 수평으로 왕복이동하여 상기 잠금키(153)를 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합하게 한다.The lock key support plate 152 of the first mover 150 reciprocates horizontally toward the center portion of the frame 110 by the pressure operation of the cylinder portion 151 to move the lock key 153 to the hose connector. To be combined with the side portion of the cradle 130.

상기 제1 이동기(150)의 잠금키판(154)은 일측 단부에 잠금키(153)가 수평으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 왕복이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판(152)의 일 측면에서 로드를 진퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 준비 지점과 중간 지점 중 어느 한 지점으로 레일(121)을 따라 이동시킨다.The lock key plate 154 of the first mover 150 is coupled to one end of the lock key 153 to protrude horizontally, and the lock key 153 is moved by a horizontal reciprocating movement of the lock key support plate 152. Rails are moved to one of the preparation point and the intermediate point by moving the rod connector back and forth at one side of the lock key support plate 152 in a state in which the side of the hose connector holder 130 is unevenly coupled. Move along (121).

상기 제1 지그 이동기(160)는 상기 프레임(110)의 상면부에 배치되고 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하는 커넥터 지그(162)에 상기 제1 이동기(150)에 의해 중간 지점까지 이동한 상기 호스 커넥터(210)의 단부를 삽착시켜 일치하는지 확인한다.The first jig mover 160 is disposed on an upper surface of the frame 110 and the connector jig 162 moves up and down vertically from the upper surface of the frame 110 toward the center of the frame 110. 1 Insert the end of the hose connector 210 moved to the intermediate point by the mover 150 and check whether it matches.

상기 제1 지그 이동기(160)의 실린더부(161)는 상기 프레임(110)의 상면부에 배치되어 고정된다.The cylinder portion 161 of the first jig mover 160 is disposed and fixed to an upper surface portion of the frame 110.

상기 제1 지그 이동기(160)의 커넥터 지그(162)는 상기 실린더부(161)에 연결되어 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하고 하강 이동 시 상기 제1 이동기(150)에 의해 중간 지점까지 이동한 상기 호스 커넥터(210)의 단부를 삽착시켜 일치하는지 확인한다.The connector jig 162 of the first jig mover 160 is connected to the cylinder portion 161 to move up and down vertically from the upper surface of the frame 110 toward the center of the frame 110, and The end of the hose connector 210 moved to the intermediate point by the first mover 150 is inserted to check whether it matches.

상기 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되지 않으면 작업자에게 음성 안내 혹은 경보를 통해 상기 호스 커넥터(210)를 상기 커넥터 지그(162)에 일치하는 적합한 것으로 교체할 것을 알린다.If the end of the hose connector 210 is not inserted into the connector jig 162, the operator is informed to replace the hose connector 210 with a suitable match to the connector jig 162 by voice guidance or alarm.

상기 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되지 않는 경우는, 작업자의 부주의로 인해 상기 커넥터 지그(162)와 암수 결합하는 적합한 호스 커넥터(210)가 아닌 부적합한 호스 커넥터(210)의 결합이 시도되는 경우에 해당한다.If the end of the hose connector 210 is not inserted into the connector jig 162, inadequate hose connector 210 other than the suitable hose connector 210 for male and female coupling with the connector jig 162 due to the carelessness of the operator. This is the case when the combination of is attempted.

참고로, 호스(200)에 연결되는 호스 커넥터(210)는 케미컬 운반 탱크의 케미컬 종류에 따라 다른 형태를 나타낸다.For reference, the hose connector 210 connected to the hose 200 has a different form according to the chemical type of the chemical transport tank.

따라서, 상기 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되지 않을 때, 상기와 같이 작업자에게 음성 안내 혹은 경보를 통해 상기 호스 커넥터(210)를 상기 커넥터 지그(162)에 일치하는 적합한 것으로 교체하게 함으로써 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)으로 부적합한 케미컬이 공급되는 사고를 방지할 수 있다.Thus, when the end of the hose connector 210 is not inserted into the connector jig 162, it is suitable to match the hose connector 210 to the connector jig 162 through voice guidance or alarm to the operator as described above. By replacing it with one, it is possible to prevent an accident in which an inappropriate chemical is supplied to the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank.

적합한 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되어 고정되는 경우에만 호스(200)와 호스 커넥터(210)를 경유하여 ACQC 유닛(300)으로 적합한 케미컬이 공급되는 작업의 진행이 허가된다.Only when the end of the suitable hose connector 210 is inserted and fixed in the connector jig 162 is allowed to proceed with the operation of supplying the appropriate chemical to the ACQC unit 300 via the hose 200 and the hose connector 210. do.

상기 제2 지그 이동기(170)는 상기 프레임(110)의 상면부에 상기 제1 지그 이동기(160)와 정해진 간격을 두고 상기 프레임(110)의 후면부에 근접하여 배치되고 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하는 캡 지그(172)에 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 삽착시켜 고정한다.The second jig mover 170 is disposed close to the rear surface of the frame 110 at a predetermined distance from the upper surface of the frame 110 and the first jig mover 160 and the top surface of the frame 110. The cap 310 of the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank is inserted into and fixed to the cap jig 172 which moves up and down vertically toward the center of the frame 110.

상기 제2 지그 이동기(170)의 실린더부(171)는 상기 프레임(110)의 상면부에 상기 제1 지그 이동기(160)와 정해진 간격을 두고 상기 프레임(110)의 후면부에 근접하여 배치되어 고정된다.The cylinder part 171 of the second jig mover 170 is disposed close to the rear part of the frame 110 at a predetermined interval from the first jig mover 160 and fixed to an upper surface of the frame 110. do.

상기 제2 지그 이동기(170)의 캡 지그(172)는 상기 실린더부(171)에 연결되어 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하고 하강 이동 시 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 삽착시켜 고정한다.The cap jig 172 of the second jig mover 170 is connected to the cylinder part 171 to move up and down vertically from the upper surface of the frame 110 toward the center of the frame 110, The cap 310 of the ACQC unit 300 connected to the storage tank is inserted and fixed.

상기 잠금기(180)는 상기 프레임(110)의 후면부에 배치되고 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 잠금 혹은 잠금 해제하거나 제2 이동기(190)에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(210)를 잠금 혹은 잠금 해제한다.The locker 180 is disposed on the rear side of the frame 110 and locks or unlocks the cap 310 of the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank or is moved to the coupling point by the second mover 190. To lock or unlock the hose connector 210 overlapping with the corresponding ACQC unit 300.

상기 잠금기(180)의 실린더부(181)는 상기 프레임(110)의 후면부에 배치된다.The cylinder portion 181 of the locker 180 is disposed at the rear portion of the frame 110.

상기 잠금기(180)의 잠금캠(182)은 상기 실린더부(181)의 로드(181a)와 연결되고 해당 로드(181a)의 진퇴 작동과 연동하는 캠로드(182a)에 의해 잠금 혹은 잠금 해제 작동함으로써 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 잠금 혹은 잠금 해제하거나 제2 이동기(190)에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(130)를 잠금 혹은 잠금 해제한다.The locking cam 182 of the locker 180 is locked or unlocked by the cam rod 182a which is connected to the rod 181a of the cylinder portion 181 and cooperates with the advancing operation of the rod 181a. Thereby locking or unlocking the cap 310 of the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank or by moving to the joining point by the second mover 190 to close the hose connector 130 overlapping with the corresponding ACQC unit 300. Lock or unlock it.

상기 제2 이동기(190)는 상기 레일부(120)의 한 쌍의 레일(121) 사이에 배치되어 상기 프레임(110)의 저면부에 의해 지지되고 수직으로 승강 이동하는 잠금키(193)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면부와 요철 결합하고 제1 이동기(150)의 잠금키(153)가 잠금 해제된 상태에서 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 중간 지점과 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동시킨다.The second mover 190 is disposed between the pair of rails 121 of the rail part 120 by the locking key 193 supported by the bottom part of the frame 110 and moving up and down vertically. Any one of the intermediate point and the coupling point of the hose connector holder 130 is coupled to the bottom surface of the hose connector holder 130 and the uneven state and the locking key 153 of the first mover 150 is unlocked Move to.

상기 제2 이동기(190)의 승강 실린더부(191)는 상기 레일부(120)의 한 쌍의 레일(121) 사이에 배치되어 상기 프레임(110)의 저면부에 의해 지지된다.The lifting cylinder part 191 of the second mover 190 is disposed between the pair of rails 121 of the rail part 120 and is supported by the bottom part of the frame 110.

상기 제2 이동기(190)의 잠금키 지지판(192)은 상기 승강 실린더부(191)의 압력 작동에 의해 수직으로 승강 이동하여 상기 잠금키(193)를 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면부와 요철 결합하게 한다.The lock key support plate 192 of the second mover 190 is moved up and down vertically by the pressure operation of the lift cylinder 191 to move the lock key 193 with the bottom surface of the hose connector holder 130. Concave-convex.

상기 제2 이동기(190)의 진퇴 실린더부(194)는 로드의 단부에 잠금키(193)가 수직으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판(192)의 수직 승강 이동에 의해 상기 잠금키(193)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면부와 요철 결합한 상태에서 상기 로드를 진퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 중간 지점과 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동시킨다.The retraction cylinder 194 of the second mover 190 is coupled to the end of the rod so that the locking key 193 vertically protrudes, and the locking key 193 is moved vertically by the locking key support plate 192. ) Moves the rod connector holder 130 to any one of the intermediate point and the coupling point by moving the rod forward and backward in a state in which the bottom portion of the hose connector holder 130 is unevenly coupled.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치(100)는 다음과 같이 작동한다.The chemical automatic supply device 100 according to the present invention configured as described above operates as follows.

이하에서는 도 3 내지 도 15을 참조하여 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치(100)의 작동을 상세히 설명한다.3 to 15 will be described in detail the operation of the chemical automatic supply device 100 according to the present invention.

본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치(100)는 도 3 내지 도 15을 참조하여 설명하는 케미컬 공급 관련 작업을 진행하는 동안 스피커 등을 통해 작업 안내 음성을 출력할 수 있다. 작업 안내 음성을 출력하면 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하는 동안 작업자가 육안으로 뿐만 아니라 음성 안내를 통해 쉽게 작업 상황을 확인할 수 있다.The chemical automatic supply apparatus 100 according to the present invention may output a work guide voice through a speaker while performing the chemical supply related operation described with reference to FIGS. 3 to 15. Outputting the work guidance voice enables the operator to easily check the working status through the voice guidance as well as to the naked eye while supplying the chemical from one side to the other by connecting the chemical transport tank and the chemical storage tank.

도 3은 최초에 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)를 결합하기 위해 호스 커넥터 거치대(130)를 준비 지점까지 이동시켜 놓은 상태를 나타낸다.3 shows a state in which the hose connector holder 130 is initially moved to a preparation point in order to couple the hose connector 210 to the hose connector holder 130.

이 상태에서, 도 4에 나타낸 바와 같이, 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)를 결합하기 전에 먼저 상기 제1 지그 이동기(160)가 상기 커넥터 지그(162)를 하강시킨다.In this state, as shown in FIG. 4, the first jig mover 160 first lowers the connector jig 162 before coupling the hose connector 210 to the hose connector holder 130.

이어서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)가 거치된다.Subsequently, as shown in FIG. 5, the hose connector 210 is mounted on the hose connector holder 130.

도 5의 (a)는 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 상기 본체(131)에 있는 요부(131a)에 걸리도록 안착한 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면을 제1 클램프(132)가 압박하기 전 상태를 나타낸다.5 (a) shows that the first clamp 132 has a surface of the flange portion 211 of the hose connector 210 seated on the main portion 131a of the main body 131 of the hose connector holder 130. Indicates the state before pressing.

도 5의 (b)는 상기 제1 클램프(132)를 초기 직립 상태에서 90도 회전시킨 후 상기 진퇴 실린더(133)가 후퇴 이동한 상태를 나타낸다.FIG. 5B illustrates a state in which the retraction cylinder 133 retreats after the first clamp 132 is rotated 90 degrees in an initial upright state.

도 5의 (c)는 후퇴 이동한 진퇴 실린더(133)가 전진 이동하여 상기 제1 클램프(132)를 압박한 상태를 나타낸다.FIG. 5C shows a state in which the retraction cylinder 133, which has moved backward, moves forward and presses the first clamp 132. FIG.

도 5의 (d)는 상기 제1 클램프(132)에 의해 상기 본체(131)에 있는 요부(131a)에 걸리도록 안착한 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면이 압박된 상태에서 상기 승강 실린더(135)가 제2 클램프(134)를 하강 이동하여 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 상단을 압박함으로써 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)를 완전치 거치한 상태를 나타낸다.FIG. 5D illustrates the elevating in a state in which the surface of the flange portion 211 of the hose connector 210 seated to be caught by the first clamp 132 to be caught by the recess 131a of the main body 131 is pressed. The cylinder 135 moves down the second clamp 134 to press the upper end of the flange portion 211 of the hose connector 210 to completely mount the hose connector 210 on the hose connector holder 130. Indicates.

상기 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211)는 제2 클램프(134)의 저면과, 본체(131)와 본체(131)의 사이에 형성된 지지판(134a)에 의해 견고하게 지지된 상태를 유지하고, 상기와 같이 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)가 완전치 거치되고 나면, 이어서 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 지그 이동기(160)의 커넥터 지그(162)에 호스 커넥터(210)를 밀어 넣어 삽입한다.The flange portion 211 of the hose connector 210 is maintained firmly supported by the bottom surface of the second clamp 134 and the support plate 134a formed between the main body 131 and the main body 131. After the hose connector 210 is completely mounted on the hose connector holder 130 as described above, the hose connector 210 is connected to the connector jig 162 of the first jig mover 160 as shown in FIG. 6. ) And slide it in.

이때, 상기 제1 지그 이동기(160)에 삽착되는 상기 호스 커넥터(210)가 일치하지 않음에 따라 상기 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되지 않으면 작업자에게 음성 안내 혹은 경보를 통해 상기 호스 커넥터(210)를 상기 커넥터 지그(162)에 일치하는 적합한 것으로 교체할 것을 알린다.In this case, when the end of the hose connector 210 is not inserted into the connector jig 162 as the hose connector 210 inserted into the first jig mover 160 does not match, a voice guidance or an alarm is given to the operator. Inform the hose connector 210 to be replaced with a suitable one that matches the connector jig 162.

상기 제1 지그 이동기(160)에 삽착되는 상기 호스 커넥터(210)가 상기 커넥터 지그(162)에 일치하는 적합한 것이라면 상기 제1 지그 이동기(160)의 커넥터 지그(162)에 호스 커넥터(210)가 정상적으로 삽착된다.If the hose connector 210 inserted into the first jig mover 160 is suitable to match the connector jig 162, the hose connector 210 is connected to the connector jig 162 of the first jig mover 160. Inserted normally.

도 6과 같이, 상기 제1 지그 이동기(160)의 커넥터 지그(162)에 호스 커넥터(210)가 정상적으로 삽입되면, 도 7에 나타낸 바와 같이 상기 제1 지그 이동기(160)가 커넥터 지그(162)를 상승시켜 호스 커넥터(210)로부터 커넥터 지그(162)를 분리하고, 이어서 상기 잠금기(180)의 잠금캠(182)이 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 잠금 해제하면 상기 제2 지그 이동기(170)가 캡 지그(172)에 삽착시켜 고정한 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 상승시켜 캡(310)을 분리한다.As shown in FIG. 6, when the hose connector 210 is normally inserted into the connector jig 162 of the first jig mover 160, the first jig mover 160 is connected to the connector jig 162 as shown in FIG. 7. To release the connector jig 162 from the hose connector 210, and then the locking cam 182 of the locker 180 unlocks the cap 310 of the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank. When the second jig mover 170 is inserted into the cap jig 172, the cap 310 of the ACQC unit 300 fixed by the second jig mover 170 is lifted to separate the cap 310.

도 7에 나타낸 바와 같이, 커넥터 지그(162)와 캡 지그(172)가 모두 상승하고 나면, 이어서 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 이동기(150)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 준비 지점에서부터 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)을 향해 중간 지점까지 이동한다.As shown in FIG. 7, after both the connector jig 162 and the cap jig 172 are raised, the hose connector holder 130 is prepared by the first mover 150 as shown in FIG. 8. From the point it moves to an intermediate point towards the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank.

도 8의 상태에서, 상기 제2 이동기(190)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 결합 지점까지 이동할 수 있도록 하기 위해, 도 9의 (a)와 (b)에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 이동기(150)의 잠금키(153)를 잠금 해제하고 상기 제2 이동기(190)의 잠금키(193)를 잠금 상태로 변경한다.In the state of FIG. 8, in order to allow the hose connector holder 130 to move to the coupling point by the second mover 190, as shown in FIGS. 9A and 9B, the first The lock key 153 of the mobile unit 150 is unlocked and the lock key 193 of the second mobile unit 190 is changed to a locked state.

이어서, 도 10에 나타낸 바와 같이, 상기 제2 이동기(190)에 의해 상기 호스 커넥터(210)가 거치된 호스 커넥터 거치대(130)가 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)을 향해 중간 지점에서부터 결합 지점까지 이동함에 따라 상기 호스 커넥터(210)가 ACQC 유닛(300)의 캡(310)이 분리된 연결구에 결합한다.Subsequently, as shown in FIG. 10, the hose connector holder 130 on which the hose connector 210 is mounted by the second mover 190 is coupled from an intermediate point toward the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank. As the hose moves to the point 210 the cap 310 of the ACQC unit 300 is coupled to the disconnected connector.

도 10의 (a)는 상기 호스 커넥터(210)가 ACQC 유닛(300)의 캡(310)이 분리된 연결구에 결합된 상태를 나타내고, 도 10의 (b)는 상기 잠금기(180)의 잠금캠(182)이 제2 이동기(190)에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(130)를 잠금 상태를 나타낸다.FIG. 10A illustrates a state in which the hose connector 210 is coupled to a connector in which the cap 310 of the ACQC unit 300 is separated, and FIG. 10B illustrates the locking of the lock 180. The cam 182 is moved to the coupling point by the second mover 190 to indicate the locked state of the hose connector 130 overlapped with the ACQC unit 300.

도 10의 상태에서 케미컬 운반 탱크에서 케미컬 저장 탱크로 케미컬이 공급된다.Chemical is supplied from the chemical transport tank to the chemical storage tank in the state of FIG. 10.

케미컬 운반 탱크에서 케미컬 저장 탱크로의 케미컬 공급이 완료되고 나면, 도 11의 (a)에 나타낸 바와 같이, 상기 잠금기(180)의 잠금캠(182)이 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(130)를 잠금 해제한 후, 도 11의 (b)에 나타낸 바와 같이, 상기 제2 이동기(190)에 의해 상기 호스 커넥터(210)가 거치된 호스 커넥터 거치대(130)가 케미컬 운반 탱크를 향해 결합 지점에서부터 중간 지점까지 이동한다.After the chemical supply from the chemical transport tank to the chemical storage tank is completed, as shown in FIG. 11A, the locking cam 182 of the locker 180 overlaps the ACQC unit 300. After unlocking the 130, as shown in FIG. 11B, the hose connector holder 130 on which the hose connector 210 is mounted by the second mover 190 is directed toward the chemical transport tank. Move from the joining point to the middle point.

도 11의 상태에서 상기 제1 이동기(150)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 준비 지점까지 이동할 수 있도록 하기 위해, 도 12의 (a)와 (b)에 나타낸 바와 같이, 잠금 상태에 있던 제2 이동기(190)의 잠금키(193)를 잠금 해제하고 잠금 해제 상태에 있던 제1 이동기(150)의 잠금키(153)를 잠금 상태로 변경한다.In order to allow the hose connector holder 130 to move to the preparation point by the first mover 150 in the state of FIG. 11, as shown in FIGS. The lock key 193 of the second mover 190 is unlocked and the lock key 153 of the first mover 150 which is in the unlocked state is changed to the locked state.

이어서, 도 13에 나타낸 바와 같이, 호스 커넥터 거치대(130)에서 호스 커넥터(210)를 분리하기 위해 상기 제1 이동기(150)에 의해 상기 호스 커넥터(210)가 거치된 호스 커넥터 거치대(130)가 중간 지점에서부터 케미컬 운반 탱크를 향해 준비 지점까지 이동한다.Subsequently, as shown in FIG. 13, the hose connector holder 130 on which the hose connector 210 is mounted by the first mover 150 to separate the hose connector 210 from the hose connector holder 130 is provided. Move from the intermediate point to the preparation point towards the chemical delivery tank.

이어서, 도 14에 나타낸 바와 같이, 상기 호스 커넥터 거치대(130)에서 호스 커넥터(210)가 분리된다.Subsequently, as shown in FIG. 14, the hose connector 210 is separated from the hose connector holder 130.

도 14의 (a)는 상기 호스 커넥터(210)를 분리하기 전, 상기 승강 실린더(135)가 제2 클램프(134)를 하강 이동하여 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 상단을 압박하고 있는 상태를 나타낸다.FIG. 14A illustrates that the lifting cylinder 135 moves down the second clamp 134 to press the upper end of the flange portion 211 of the hose connector 210 before removing the hose connector 210. Indicates a state of presence.

도 14의 (b)는 상기 승강 실린더(135)가 제2 클램프(134)를 상승 이동하여 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 상단 압박을 해제한 상태를 나타낸다.FIG. 14B illustrates a state in which the lifting cylinder 135 lifts up the second clamp 134 to release the upper end of the flange portion 211 of the hose connector 210.

도 14의 (c)는 상기 진퇴 실린더(133)가 후진 이동하여 상기 제1 클램프(132)에 의해 상기 본체(131)에 있는 요부(131a)에 걸리도록 안착한 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면 압박을 해제한 상태를 나타낸다.14C illustrates a flange portion of the hose connector 210 seated such that the retraction cylinder 133 moves backward to be caught by the recess 131a in the main body 131 by the first clamp 132. 211) A state in which the surface compression is released.

도 14의 (d)는 상기 제1 클램프(132)가 상기 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면 압박을 해제한 후, 90도로 회전하여 상기한 초기 직립 상태로 복귀한 상태를 나타낸다.FIG. 14D illustrates a state in which the first clamp 132 releases the surface pressing of the flange portion 211 of the hose connector 210 and then rotates by 90 degrees to return to the initial upright state.

도 15의 (a)는 상기 제1 클램프(132)가 상기 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면 압박을 해제한 후, 90도로 회전하여 상기한 초기 직립 상태로 복귀한 측면 상태를 나타내고, 도 15의 (b)는 상기 호스 커넥터(210)가 호스 커넥터 거치대(130)에서 분리된 후, 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 새로운 호스 커넥터(130)와의 결합 대기를 위해 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)을 향해 중간 지점까지 이동한 상태를 나타낸다.15A illustrates a side state in which the first clamp 132 releases the surface of the flange portion 211 of the hose connector 210 and then rotates by 90 degrees to return to the initial upright state. 15 (b) shows that after the hose connector 210 is separated from the hose connector holder 130, the hose connector holder 130 is connected to the chemical storage tank to wait for coupling with the new hose connector 130. The state moved to the intermediate point toward the ACQC unit 300 is shown.

본 발명의 케미컬 자동공급장치는 케미컬용 호스 커넥터와 질소용 호스 커넥터에 각각 적용하여 개별적으로 작동시킬 수 있는 특징이 있다.The chemical automatic supply device of the present invention is characterized in that it can be operated individually by applying to the hose hose and the hose connector for nitrogen, respectively.

100: 케미컬 자동공급장치
110: 프레임
120: 레일부 121: 레일
130: 호스 커넥터 거치대 131: 본체
131a: 요부 132: 제1 클램프
133: 진퇴 실린더 134: 제2 클램프
135: 승강 실린더 136: 측면 요홈판
137: 저면 요홈판
140: 호스 안내대 141: 회전롤러
150: 제1 이동기 151: 실린더부
152: 잠금키 지지판 153: 잠금키
154: 잠금키판
160: 제1 지그 이동기 161: 실린더부
162: 커넥터 지그
170: 제2 지그 이동기 171: 실린더부
172: 캡 지그
180: 잠금기 181: 실린더부
181a: 로드 182: 잠금캠
182a: 캠로드
190: 제2 이동기 191: 승강 실린더부
192: 잠금키 지지판 193: 잠금키
194: 진퇴 실린더부
200: 호스 210: 호스 커넥터
211: 플랜지부
300: ACQC 유닛 310: 캡100: chemical automatic feeding device
110: frame
120: rail portion 121: rail
130: hose connector holder 131: main body
131a: main portion 132: first clamp
133: retraction cylinder 134: second clamp
135: lifting cylinder 136: side groove plate
137: bottom groove plate
140: hose guide 141: rotary roller
150: first mover 151: cylinder portion
152: lock key support plate 153: lock key
154: lock key plate
160: first jig mover 161: cylinder portion
162: connector jig
170: second jig mover 171: cylinder portion
172: cap jig
180: locking device 181: cylinder portion
181a: load 182: lock cam
182a: cam rod
190: second mover 191: lifting cylinder portion
192: lock key support plate 193: lock key
194: retraction cylinder
200: hose 210: hose connector
211: flange portion
300: ACQC unit 310: cap

Claims (9)

케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하는 케미컬 자동공급장치(100)로서,
전후좌우 4방으로 개구부가 형성된 프레임(110)과;
상기 프레임(110)의 전면부와 후면부를 가로질러 정해진 높이로 배치되는 한 쌍의 레일(121)을 포함하고 상기 프레임(110)의 전면부에서부터 후면부까지의 이동거리 상에 미리 정해진 준비 지점과 중간 지점 및 결합 지점 중 어느 한 지점으로 호스 커넥터 거치대(130)가 이동하는 이동로를 제공하는 레일부(120);
상기 레일부(120)의 한 쌍의 레일(121) 위에 배치되고 케미컬 운반 탱크에 연결된 호스(200)의 단부에 결합된 호스 커넥터(210)가 고정되며 상기 레일(121)을 따라 상기 준비 지점과 중간 지점 및 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동하는 호스 커넥터 거치대(130);
상기 프레임(110)의 전면부에 배치되고 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 고정되는 호스 커넥터(210)에 연결된 호스(200)의 양측에 밀착되어 해당 호스(200)의 진퇴 이동을 안내하는 한 쌍의 회전롤러(141)를 포함하는 호스 안내대(140);
상기 프레임(110)의 일 측면부에 배치되고 수평으로 왕복이동하는 잠금키(153)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합하고 제2 이동기(190)의 잠금키(193)가 잠금 해제된 상태에서 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 준비 지점과 중간 지점 중 어느 한 지점으로 이동시키는 제1 이동기(150);
상기 프레임(110)의 상면부에 배치되고 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하는 커넥터 지그(162)에 상기 제1 이동기(150)에 의해 중간 지점까지 이동한 상기 호스 커넥터(210)의 단부를 삽착시켜 일치하는지 확인하는 제1 지그 이동기(160);
상기 프레임(110)의 상면부에 상기 제1 지그 이동기(160)와 정해진 간격을 두고 상기 프레임(110)의 후면부에 근접하여 배치되고 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하는 캡 지그(172)에 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 삽착시켜 고정하는 제2 지그 이동기(170);
상기 프레임(110)의 후면부에 배치되고 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 잠금 혹은 잠금 해제하거나 제2 이동기(190)에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(210)를 잠금 혹은 잠금 해제하는 잠금기(180); 및
상기 레일부(120)의 한 쌍의 레일(121) 사이에 배치되어 상기 프레임(110)의 저면부에 의해 지지되고 수직으로 승강 이동하는 잠금키(193)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면부와 요철 결합하고 제1 이동기(150)의 잠금키(153)가 잠금 해제된 상태에서 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 중간 지점과 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동시키는 제2 이동기(190);
로 구성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치.As a chemical automatic supply device 100 is connected between the chemical transport tank and the chemical storage tank to supply the chemical from one side to the other side,
A frame 110 formed with openings in four directions:
A pair of rails 121 are disposed at predetermined heights across the front and rear portions of the frame 110, and the predetermined preparation point and the intermediate point on the moving distance from the front portion to the rear portion of the frame 110. A rail unit 120 providing a movement path through which the hose connector holder 130 moves to any one of a point and a coupling point;
The hose connector 210, which is disposed on the pair of rails 121 of the rail part 120 and coupled to the end of the hose 200 connected to the chemical transport tank, is fixed, and the preparation point along the rail 121. A hose connector holder 130 moving to any one of an intermediate point and a coupling point;
A pair disposed on the front surface of the frame 110 and in close contact with both sides of the hose 200 connected to the hose connector 210 fixed to the hose connector holder 130 to guide the retreat movement of the corresponding hose 200. Hose guide 140 including a rotating roller 141 of the;
The locking key 193 of the second mover 190 is locked by engaging with the side portion of the hose connector holder 130 by the locking key 153 disposed on one side of the frame 110 and reciprocating horizontally. A first mover 150 for moving the hose connector holder 130 to any one of the preparation point and the intermediate point in a released state;
Intermediate points by the first mover 150 on the connector jig 162 which is disposed on the upper surface of the frame 110 and moves up and down vertically from the upper surface of the frame 110 toward the center of the frame 110. A first jig mover (160) for confirming that the ends of the hose connector (210) moved up to and matched with each other;
The upper surface of the frame 110 is disposed close to the rear portion of the frame 110 at a predetermined distance from the first jig mover 160 and the central portion of the frame 110 in the upper surface of the frame 110 A second jig mover 170 for inserting and fixing the cap 310 of the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank to the cap jig 172 moving up and down vertically;
The ACQC unit 300 is disposed on the rear surface of the frame 110 and locks or unlocks the cap 310 of the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank or moves to the coupling point by the second mover 190. A locker 180 for locking or unlocking the hose connector 210 overlapping with the lock connector 180; And
The hose connector holder 130 is disposed between the pair of rails 121 of the rail part 120 and is supported by the bottom surface part of the frame 110 and moved up and down vertically. The second mover 190 which moves the hose connector holder 130 to any one of the intermediate point and the engagement point in a state in which the bottom portion is unevenly coupled and the lock key 153 of the first mover 150 is unlocked. );
Chemical automatic supply device, characterized in that consisting of. 제 1 항에 있어서, 상기 호스 커넥터 거치대(130)는
후면부에 요부(131a)가 형성된 본체(131)와;
상기 본체(131)의 요부(131a)에 걸리도록 안착한 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면을 압박하는 제1 클램프(132);
상기 본체(131)의 양 측면에 배치되어 제1 클램프(132)를 진퇴 이동하는 진퇴 실린더(133);
상기 제1 클램프(132)에 의해 플랜지부(211) 표면이 압박된 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 상단을 압박하는 제2 클램프(134);
상기 진퇴 실린더(133)의 상면에 배치되어 상기 제2 클램프(134)를 승강 이동하는 승강 실린더(135);
상기 본체(131)의 일 측면에 설치되어 제1 이동기(150)의 잠금키(153)와 요철 결합하는 측면 요홈판(136); 및
상기 본체(131)의 저면에 설치되어 제2 이동기(190)의 잠금키와 요철 결합하는 저면 요홈판(137);
으로 구성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치.The method of claim 1, wherein the hose connector holder 130 is
A main body 131 having a recessed portion 131a formed at a rear surface thereof;
A first clamp 132 for pressing the surface of the flange portion 211 of the hose connector 210 seated to catch the recessed portion 131a of the main body 131;
A retraction cylinder 133 disposed on both sides of the main body 131 to move forward and backward of the first clamp 132;
A second clamp 134 pressing the upper end of the flange portion 211 of the hose connector 210 on which the surface of the flange portion 211 is pressed by the first clamp 132;
A lifting cylinder 135 disposed on an upper surface of the retraction cylinder 133 to move up and down the second clamp 134;
A side groove plate 136 installed at one side of the main body 131 to be coupled to the lock key 153 of the first mover 150 in an uneven manner; And
A bottom groove plate 137 installed on the bottom surface of the main body 131 and coupled to the lock key of the second mover 190 in an uneven manner;
Chemical automatic supply device, characterized in that consisting of. 제 2 항에 있어서, 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 후면부에 형성된 요부(131a)는 상기 호스 커넥터 플랜지부(211)의 외경보다 작게 U자 형상으로 형성되어 호스 커넥터 플랜지부(211)의 전면이 밀착되고, 상기 제2 클램프(134)의 저면과 호스 커넥터 거치대(130) 바닥면에 지지판(134a)을 형성하여 호스 커넥터 플랜지부(211)의 둘레 면을 지지하는 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치.According to claim 2, wherein the recessed portion (131a) formed in the rear portion in the hose connector holder 130 is formed in a U-shape smaller than the outer diameter of the hose connector flange portion 211, so that the front surface of the hose connector flange portion 211 In close contact with the lower surface of the second clamp 134 and the bottom of the hose connector holder 130, the support plate 134a is formed to support the peripheral surface of the hose connector flange portion 211, characterized in that the automatic chemical supply device . 제 1 항에 있어서, 상기 제1 이동기(150)는
상기 프레임(110)의 일 측면부에 배치되어 고정되는 실린더부(151)와;
상기 실린더부(151)의 압력 작동에 의해 상기 프레임(110)의 중앙부를 향해 수평으로 왕복이동하여 상기 잠금키(153)를 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합하게 하는 잠금키 지지판(152); 및
일측 단부에 잠금키(153)가 수평으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 왕복이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판(152)의 일 측면에서 로드를 진퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 준비 지점과 중간 지점 중 어느 한 지점으로 레일(121)을 따라 이동시키는 잠금키판(154);
으로 구성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치.The method of claim 1, wherein the first mover 150 is
A cylinder unit 151 disposed on and fixed to one side of the frame 110;
Locking key support plate for reciprocating horizontally toward the center of the frame 110 by the pressure operation of the cylinder unit 151 to allow the locking key 153 to be unevenly coupled to the side portion of the hose connector holder 130 ( 152); And
The locking key 153 is coupled to one side end so as to protrude horizontally, and the locking key 153 is unevenly coupled to the side surface of the hose connector holder 130 by a horizontal reciprocating movement of the locking key support plate 152. A locking key plate 154 for moving the rod connector cradle 130 along one side of the preparation point and the intermediate point along the rail 121 to move the rod forward and backward on one side of the lock key support plate 152;
Chemical automatic supply device, characterized in that consisting of. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 지그 이동기(160)는
상기 프레임(110)의 상면부에 배치되어 고정되는 실린더부(161); 및
상기 실린더부(161)에 연결되어 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하고 하강 이동 시 상기 제1 이동기(150)에 의해 중간 지점까지 이동한 상기 호스 커넥터(210)의 단부를 삽착시켜 일치하는지 확인하는 커넥터 지그(162);
로 구성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치.The method of claim 1, wherein the first jig mover 160
A cylinder part 161 disposed on and fixed to an upper surface of the frame 110; And
The hose connected to the cylinder portion 161 is moved up and down vertically from the upper surface portion of the frame 110 toward the center portion of the frame 110 and moved to the intermediate point by the first mover 150 during the lowering movement A connector jig 162 for inserting and inserting an end of the connector 210 to confirm that it matches;
Chemical automatic supply device, characterized in that consisting of. 제 1 항에 있어서, 상기 제2 지그 이동기(170)는
상기 프레임(110)의 상면부에 상기 제1 지그 이동기(160)와 정해진 간격을 두고 상기 프레임(110)의 후면부에 근접하여 배치되어 고정되는 실린더부(171); 및
상기 실린더부(171)에 연결되어 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하고 하강 이동 시 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 삽착시켜 고정하는 캡 지그(172);
로 구성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치.The method of claim 1, wherein the second jig mover 170
A cylinder part 171 disposed close to the rear part of the frame 110 at a predetermined distance from an upper surface of the frame 110 at a predetermined distance from the first jig mover 160; And
The cap 310 of the ACQC unit 300 connected to the cylinder storage unit 171 is moved up and down vertically from the upper surface of the frame 110 toward the center of the frame 110 and connected to the chemical storage tank during the lowering movement. A cap jig 172 inserted and fixed;
Chemical automatic supply device, characterized in that consisting of. 제 1 항에 있어서, 상기 잠금기(180)는
상기 프레임(110)의 후면부에 배치되는 실린더부(181); 및
상기 실린더부(181)의 로드(181a)와 연결되고 해당 로드(181a)의 진퇴 작동과 연동하는 캠로드(182a)에 의해 잠금 혹은 잠금 해제 작동함으로써 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 잠금 혹은 잠금 해제하거나 제2 이동기(190)에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(130)를 잠금 혹은 잠금 해제하는 잠금캠(182);
으로 구성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치.The method of claim 1, wherein the lock (180)
A cylinder portion 181 disposed on a rear portion of the frame 110; And
Cap of the ACQC unit 300 connected to the chemical storage tank by locking or unlocking operation by the cam rod 182a which is connected to the rod 181a of the cylinder portion 181 and interlocks with the advance and retraction operation of the rod 181a. A locking cam 182 for locking or unlocking the 310 or moving to the coupling point by the second mover 190 to lock or unlock the hose connector 130 overlapping with the corresponding ACQC unit 300;
Chemical automatic supply device, characterized in that consisting of. 제 1 항에 있어서, 상기 제2 이동기(190)는
상기 레일부(120)의 한 쌍의 레일(121) 사이에 배치되어 상기 프레임(110)의 저면부에 의해 지지되는 승강 실린더부(191)와;
상기 승강 실린더부(191)의 압력 작동에 의해 수직으로 승강 이동하여 상기 잠금키(193)를 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면부와 요철 결합하게 하는 잠금키 지지판(192); 및
로드의 단부에 잠금키(193)가 수직으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판(192)의 수직 승강 이동에 의해 상기 잠금키(193)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면부와 요철 결합한 상태에서 상기 로드를 진퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 중간 지점과 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동시키는 진퇴 실린더부(194);
로 구성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치.The method of claim 1, wherein the second mover 190 is
A lifting cylinder part 191 disposed between the pair of rails 121 of the rail part 120 and supported by the bottom part of the frame 110;
A locking key support plate 192 which vertically moves up and down by pressure operation of the lifting cylinder 191 to allow the locking key 193 to be unevenly coupled to the bottom of the hose connector holder 130; And
The locking key 193 is coupled to the end of the rod so as to project vertically, and the locking key 193 is unevenly coupled to the bottom of the hose connector holder 130 by the vertical lifting and lowering of the locking key support plate 192. A retraction cylinder unit 194 for moving the rod forward and backward in a state to move the hose connector holder 130 to any one of the intermediate point and the coupling point;
Chemical automatic supply device, characterized in that consisting of. 제 1 항에 있어서, 상기 호스 안내대(140)는 상기 프레임(110)의 전면부에 배치하되, 상기 레일(121)의 단부에 보조 프레임을 수직으로 돌출하고, 상기 보조 프레임의 상면부에 한 쌍의 회전롤러(141)를 설치하며, 상기 회전롤러(141)와 회전롤러(141)의 사이 저면에 수평방향으로 회전롤러(141)를 더 형성한 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치.According to claim 1, wherein the hose guide 140 is disposed on the front portion of the frame 110, protruding the auxiliary frame vertically to the end of the rail 121, the upper surface of the auxiliary frame Chemical rollers, characterized in that a pair of rotary rollers (141) are installed, and a rotary roller (141) is further formed in a horizontal direction on the bottom surface between the rotary roller (141) and the rotary roller (141).
KR1020190085895A 2019-07-16 2019-07-16 Automatic supplying apparatus of chemical KR102029634B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190085895A KR102029634B1 (en) 2019-07-16 2019-07-16 Automatic supplying apparatus of chemical

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190085895A KR102029634B1 (en) 2019-07-16 2019-07-16 Automatic supplying apparatus of chemical

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102029634B1 true KR102029634B1 (en) 2019-10-07

Family

ID=68422106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190085895A KR102029634B1 (en) 2019-07-16 2019-07-16 Automatic supplying apparatus of chemical

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102029634B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210043809A (en) * 2019-10-14 2021-04-22 호산테크(주) Automatic clean connection apparatus for chemical transfer
JP2022153206A (en) * 2021-03-29 2022-10-12 ホサンテック カンパニー， リミテッド Apparatus and method for automatic clean connection

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007250196A (en) 2006-03-13 2007-09-27 Ricoh Co Ltd Carrier device and vacuum processing device
JP2013239587A (en) 2012-05-15 2013-11-28 Ricoh Co Ltd Multistage slide unit, conveying device, and vacuum processing apparatus
KR101347531B1 (en) * 2013-01-22 2014-01-10 미래산업 주식회사 Apparatus for spinning test tray of in-line test handler and in-line test handler
KR101572537B1 (en) 2015-06-15 2015-11-27 주식회사 에이치에스티 Auto-connecting system between chemical tank lorry and acqc
KR101779493B1 (en) 2016-12-06 2017-09-18 (주)에스티아이 Automatic supplying apparatus of chemical
KR101779495B1 (en) * 2017-01-16 2017-09-18 (주)에스티아이 Automatic supplying apparatus of chemical
KR101802900B1 (en) * 2016-12-29 2017-11-29 (주)에스티아이 Apparatus for assembling hose and connector of chemical automatic supplying apparatus
KR20180002238A (en) * 2016-06-29 2018-01-08 김태형 The male connector of the automatic cleaning device connected with a support device for transporting the chemical
KR101843383B1 (en) * 2016-12-07 2018-03-29 (주)에스티아이 Hose holding structure of chemical automatic supplying apparatus

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007250196A (en) 2006-03-13 2007-09-27 Ricoh Co Ltd Carrier device and vacuum processing device
JP2013239587A (en) 2012-05-15 2013-11-28 Ricoh Co Ltd Multistage slide unit, conveying device, and vacuum processing apparatus
KR101347531B1 (en) * 2013-01-22 2014-01-10 미래산업 주식회사 Apparatus for spinning test tray of in-line test handler and in-line test handler
KR101572537B1 (en) 2015-06-15 2015-11-27 주식회사 에이치에스티 Auto-connecting system between chemical tank lorry and acqc
KR20180002238A (en) * 2016-06-29 2018-01-08 김태형 The male connector of the automatic cleaning device connected with a support device for transporting the chemical
KR101779493B1 (en) 2016-12-06 2017-09-18 (주)에스티아이 Automatic supplying apparatus of chemical
KR101843383B1 (en) * 2016-12-07 2018-03-29 (주)에스티아이 Hose holding structure of chemical automatic supplying apparatus
KR101802900B1 (en) * 2016-12-29 2017-11-29 (주)에스티아이 Apparatus for assembling hose and connector of chemical automatic supplying apparatus
KR101779495B1 (en) * 2017-01-16 2017-09-18 (주)에스티아이 Automatic supplying apparatus of chemical

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210043809A (en) * 2019-10-14 2021-04-22 호산테크(주) Automatic clean connection apparatus for chemical transfer
KR102295510B1 (en) 2019-10-14 2021-08-31 호산테크 주식회사 Automatic clean connection apparatus for chemical transfer
JP2022153206A (en) * 2021-03-29 2022-10-12 ホサンテック カンパニー， リミテッド Apparatus and method for automatic clean connection
JP7280909B2 (en) 2021-03-29 2023-05-24 ホサンテック カンパニー， リミテッド Automatic cleaning connection device and method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102029634B1 (en) Automatic supplying apparatus of chemical
KR101883372B1 (en) The male connector feed driving device for the automatic cleaning device connected to feed the chemical
KR101328119B1 (en) Drilling and tapping machines of inside housing for mobile terminals
KR101894482B1 (en) Automatic insertion system of the automatic clean quick coupler device for transporting the chemical
KR101463473B1 (en) Transfer device
KR20180002238A (en) The male connector of the automatic cleaning device connected with a support device for transporting the chemical
KR101779495B1 (en) Automatic supplying apparatus of chemical
JP2018065655A (en) Article conveying facility
JP5080123B2 (en) Pallet delivery system
KR102056026B1 (en) Inspection machine for automatic supplying apparatus of chemical
KR102075302B1 (en) Transfer unit for automatic supplying apparatus of chemical
CN111470282B (en) Circuit board backflow conveying system
KR101634600B1 (en) Drawer device and storage device
KR102095679B1 (en) Transfer unit for automatic supplying apparatus of chemical
KR101504760B1 (en) Manual guided vehicle for transferring cassette
KR20200128800A (en) Lifting device
KR101133132B1 (en) Apparatus for supplying chip tray
KR20180002239A (en) Connector closing device for the automatic cleaning device connected for transferring the chemical
KR100259148B1 (en) Circulating type parts supplying apparatus
KR102462333B1 (en) film laminating device
JP2009184790A (en) Conveying device and conveying method
KR100825496B1 (en) Apparatus of molding battery pack and molding method of the same
KR102447119B1 (en) Automatic connection device for chemical transfer with sealing plug and sealing plug driving method for automatic connection device for chemical transfer
CN109422228B (en) Automatic chemical supply device and control method for automatic chemical supply device
JP2005247446A (en) Transfer device

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant