KR102075302B1 - Transfer unit for automatic supplying apparatus of chemical - Google Patents
Transfer unit for automatic supplying apparatus of chemical Download PDFInfo
- Publication number
- KR102075302B1 KR102075302B1 KR1020190085893A KR20190085893A KR102075302B1 KR 102075302 B1 KR102075302 B1 KR 102075302B1 KR 1020190085893 A KR1020190085893 A KR 1020190085893A KR 20190085893 A KR20190085893 A KR 20190085893A KR 102075302 B1 KR102075302 B1 KR 102075302B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- hose connector
- chemical
- connector holder
- hose
- support plate
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L55/00—Devices or appurtenances for use in, or in connection with, pipes or pipe systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/001—Feed or outlet devices as such, e.g. feeding tubes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L33/00—Arrangements for connecting hoses to rigid members; Rigid hose connectors, i.e. single members engaging both hoses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
Abstract
Description
본 발명은 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하는 케미컬 자동공급장치에 관한 것이며, 더욱 상세히는 케미컬 운반 탱크에 연결된 호스에 결합된 호스 커넥터가 고정되는 호스 커넥터 거치대를 이동시키는 케미컬 자동공급장치용 이동기에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical automatic supply device for supplying the chemical from one side to the other by connecting between the chemical transport tank and the chemical storage tank, more specifically a hose connector is fixed to the hose connector coupled to the hose connected to the chemical transport tank It relates to a mobile device for a chemical automatic feeding device for moving the cradle.
일반적으로 반도체, 반도체 장치, LCD, OLED를 제조하는 회사와 제약회사 및 페인트 회사 등 유해화학물질을 사용하는 모든 회사에서는 다양한 종류의 케미컬이 사용되고 있으며, 이러한 케미컬을 안전하게 공급하는 방식도 다양화되고 있다.In general, all kinds of chemicals are used in companies that manufacture semiconductors, semiconductor devices, LCDs, OLEDs, and pharmaceutical and paint companies, and various types of chemicals have been diversified. .
이러한 케미컬은 케미컬 자동공급장치에 의해 건물 외부에 정차된 탱크로리(tank lorry)의 케미컬 운반 탱크에서 건물 내부에 설치된 케미컬 저장 탱크(chemical storage tank)로 이송된다.Such chemicals are transferred by chemical automatic feeders from chemical transport tanks of tank lorry stationed outside the building to chemical storage tanks installed inside the building.
상기와 같은 종래의 케미컬 자동공급장치에서는 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이에 ACQC 유닛(Automatic Clean Quick Coupler Unit, "자동 세정 약품 이송 유닛"이라고도 함)이라고 하는 케미컬 중계 장치가 구비되어, ACQC 유닛을 통해 케미컬 운반 탱크에 고압 질소를 공급하고 그 공급 질소의 압력으로 케미컬이 토출되어 ACQC 유닛을 통해 케미컬 저장 탱크에 저장된다.In the conventional chemical automatic feeding device as described above, a chemical relay called an ACQC unit (also referred to as an Automatic Clean Quick Coupler Unit) is provided between the chemical transport tank and the chemical storage tank. The high pressure nitrogen is supplied to the chemical transport tank through the chemical and discharged at the pressure of the supply nitrogen is stored in the chemical storage tank through the ACQC unit.
특허문헌 1에서는 케미컬용 가동유닛이 제1이송수단 위에 적재된 상태에서 전후 이동되는 단일 스테이지의 구조로 된 케미컬탱크롤리와 ACQC 유닛간의 자동 체결 시스템을 개시하고 있다.Patent Document 1 discloses an automatic fastening system between a chemical tank roller and an ACQC unit having a single stage structure that is moved back and forth in a state where a chemical movable unit is mounted on a first transfer means.
이처럼, 단일 스테이지로 이루어진 경우, 거치대가 작업자로부터 거리가 멀어지게 되어 작업자의 불편을 초래하고, 수커넥터와 암커넥터의 완전한 결합을 유도하기 암커넥터가 설치되는 ACQC 유닛 측의 하우징 구조 및 이송수단의 특별한 설계가 요구되므로 설계 자유도가 떨어지는 문제점이 있다.As such, in the case of a single stage, the cradle is far from the operator, causing inconvenience to the operator, and the housing structure and the conveying means on the ACQC unit side where the female connector is installed to induce a complete coupling of the male connector and the female connector. Since a special design is required, there is a problem of inferior design freedom.
특허문헌 2에서는 특허문헌 1의 문제점을 해소하기 위하여, 제2스테이지 위에 제1스테이지가 적층 방식으로 적재된 구조로 되어 있고, 상기 제1스테이지는 제2스테이지 상에서 제2스테이지 구동부에 의해 전후 이동되고, 거치대는 제1스테이지 상에서 제1스테이지 구동부에 의해 전후 이동되는 케미컬 자동공급장치를 개시하고 있다.In Patent Literature 2, in order to solve the problem of Patent Literature 1, the first stage is stacked on the second stage in a stacked manner, and the first stage is moved back and forth by the second stage driving unit on the second stage. The cradle discloses a chemical automatic feeding device which is moved back and forth by the first stage driving unit on the first stage.
이처럼, 다단 스테이지로 이루어진 구성으로 수커넥터와 암커넥터의 완전한 결합을 시킬 수는 있지만 다단 스테이지 구성에 따른 복잡성과 설계 자유도가 제한되는 문제점과, 반도체에 사용하는 케미컬 자동공급장치는 온도의 변화와 유동에 의한 간격이 미세하게 벌어지면 수커넥터와 암커넥터의 결합이 일치하지 않으면서 사고가 발생하는 위험이 항상 존재한다.In this way, the multi-stage configuration allows the complete coupling of the male and female connectors, but the complexity and design freedom of the multi-stage configuration are limited, and the chemical auto-supply device used in the semiconductor has a change in temperature and flow. If the spacing is small, there is always a risk that an accident occurs while the male and female connectors do not match.
특허문헌 2는 중간스테이지의 상부에 제1케미컬용 스테이지와 제1질소용 스테이지가 상부에 고정되어 제2스테이지를 따라서 전후로 이동하는 복잡한 구조를 가지고 있는 문제점과, 중간스테이지의 작동에 의해 케미컬용 수커넥터와 질소용 수커넥터가 항상 같이 이동해야 하는 문제점과, 케미컬용 또는 질소용 수커넥터에 고장이 발생할 경우 각구성을 분리시켜 작업을 진행할 수 없는 단점이 있다.Patent document 2 has a problem in that the first chemical stage and the first nitrogen stage are fixed to the upper stage of the intermediate stage and have a complicated structure moving back and forth along the second stage. There is a problem in that the connector and the male connector for nitrogen must always move together, and in the event of a failure in the chemical or nitrogen male connector, it is impossible to separate the components and proceed with the work.
특허문헌 2는 제2스테이지의 상부에 볼트로 고정된 중간스테이지의 볼트가 풀리거나 유격이 발생하면 중간스테이지의 상부에 설치한 제1케미컬용 스테이지와 제1질소용 스테이지의 무게 중심이 기울어지면서 케미컬용 또는 질소용 수커넥터와 케미컬용 또는 질소용 암커넥터와의 결합이 불안정하면서 케미컬 또는 질소가 누출되는 사고의 위험이 있다.Patent Literature 2 discloses that when the bolt of the intermediate stage fixed to the upper part of the second stage is loosened or there is play, the center of gravity of the first chemical stage and the first nitrogen stage installed on the upper stage of the intermediate stage is inclined. There is a risk of accidental chemical or nitrogen leakage due to unstable coupling of the male or nitrogen male connector with the female or nitrogen female connector.
특허문헌 2는 제1케미컬용 스테이지와 제1질소용 스테이지의 상부에 설치한 케미컬용 또는 질소용 수커넥터가 중간스테이지의 양끝부분에 위치하여 중간스테이지를 따라서 이동하는 과정에서 흔들림이 발생하는 문제점과, 케이컬용 호스와 질소용 호스는 무게가 상당히 무겁기 때문에 케미컬용 또는 질소용 수커넥터가 제1스테이지의 끝부분까지 이동하면 무게중심이 아래로 쏠리면서 케미컬용 또는 질소용 암커넥터와의 결합이 미세하게 틀어지는 문제점이 있다.Patent document 2 relates to a problem that the shaking occurs in the process of moving the chemical or nitrogen male connectors installed on the upper stage of the first chemical stage and the first nitrogen stage at both ends of the intermediate stage and moving along the intermediate stage. Since the hose for nitrogen and the hose for nitrogen are considerably heavy, when the chemical or nitrogen male connector moves to the end of the first stage, the center of gravity is moved downward and the coupling with the female or nitrogen female connector is fine. There is a problem that is wrong.
특허문헌 2는 케미컬용 또는 질소용 수커넥터의 전면에 케미컬용 또는 질소용 거치대와 제1스테이지 구동부가 돌출된 길이만큼 케미컬용 호스의 근접위치까지 이동하지못하므로 벽체의 개방부를 추가로 구성해야 하는 문제점과, 이송유닛을 개방부까지 전진시켜 배치해야 하는 불편함이 있다.Patent Literature 2 does not move to the proximity of the chemical hose as much as the protruding length of the chemical or nitrogen holder and the first stage driving part on the front surface of the male or nitrogen male connector, so that the opening of the wall must be additionally configured. There is a problem, and the inconvenience to be arranged to move the transfer unit to the open portion.
특허문헌 2는 케미컬용 호스와 질소용 호스를 케미컬용 수커넥터와 질소용 수커넥터에 결합하는 구조가 복잡하고, 케미컬용 수커넥터와 질소용 수커넥터를 거치대에 결합시키는 구조 또한 복잡하며, 예전부터 케미컬용 호스와 질소용 호스에 수커넥터가 일체로 고정된 상태로 사용하고 있는데 반해서, 특허문헌 2는 케미컬용 호스와 질소용 호스에 별도의 수커넥터를 결합시키는 구조를 가지고 있으므로 제품제작의 어려움과, 제품단가가 높아지는 문제점이 있다.Patent Literature 2 has a complicated structure in which a chemical hose and a nitrogen hose are coupled to a chemical male connector and a nitrogen male connector, and a structure in which the chemical male connector and the nitrogen male connector are coupled to the holder is also complicated. While the male connector is fixedly used in the chemical hose and the nitrogen hose, Patent Literature 2 has a structure in which a separate male connector is coupled to the chemical hose and the nitrogen hose. There is a problem that the product cost increases.
특허문헌 3에서는 피반송체를 반송하는 반송 장치이며 서로 회동 가능하게 교차시킨 링크의 대를 수평면내의소정 방향에 팬터그래프장에 복수 연결시킨 신축 기구와; 상기 신축 기구의 일단에 고정되어 전기피반송체를 보관 유지 가능한 이재 슬라이더와 상기 이재 슬라이더에 대해 전기 소정방향에 상대 이동 가능한 적어도 1개의 슬라이더를 가지는 다단 슬라이더와; 상기 교차시킨링크의 대의 상대 각도를 변화시키는 것으로 전기 신축 기구를 신축시키는 구동 기구를 갖추는 반송 장치에 관한 기술을 개시하고 있다.Patent Document 3, a conveying device for conveying a conveyed object, and a telescopic mechanism in which a plurality of links of the links intersected rotatably with each other are connected to a pantograph field in a predetermined direction in a horizontal plane; A multi-stage slider having a transfer material slider capable of holding a moving object and at least one slider relative to the transfer material slider in an electric predetermined direction; and a drive mechanism for stretching and contracting the electric extension mechanism by changing a relative angle of the cross links. The technique regarding the conveying apparatus provided is disclosed.
특허문헌 4에서는 다단식 슬라이드유닛은, 저면(24a)상에 소정의 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1가이드레일(113), 각 제1가이드레일에 따라서 각각 진퇴 하는 제1가동자(115) 및 각 제1가동자를 고정하는 제1슬라이드 테이블(117)을 가지는 제1슬라이드 유닛(110)과 제1슬라이드 테이블의 저면과의 비대향면에서 만나며 한 쌍의 제1 가이드 레일간에 상당하는 부위에 고정되는 제2 가이드 레일(133) 및 제2 가이드 레일에 의해 지지를 받아 제일 가동자와 병행에 진퇴 하는 제2 가동자(135)를 가지는 제2 슬라이드 유닛(130)을 구비하고, 제1 슬라이드 테이블은, 제2 가이드 레일을 지지한 부위가, 제1 가동자를 지지한 부위와 동일 평면상 또는 제1 가동자를 지지한 부위보다 베이스면에 가깝게 형성한 기술을 개시하고 있다.In Patent Literature 4, the multi-stage slide unit includes a pair of first guide rails 113 arranged on the bottom surface 24a at predetermined intervals, and a first movable member 115 that advances and retreats according to each of the first guide rails. And a
이처럼, 특허문헌 2의 다단 스테이지, 특허문헌 3,4의 다단 슬라이드로 구성되는 발명은 다단 스테이지와 슬라이드 구성에 따른 복잡성과 설계 자유도가 제한되는 문제점이 있다.Thus, the invention comprised by the multistage stage of patent document 2 and the multistage slide of patent documents 3 and 4 has a problem that the complexity and design freedom according to a multistage stage and a slide structure are restrict | limited.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 이동로를 제공하는 레일부의 레일을 따라 케미컬 공급을 위하여 정한 준비 지점 혹은 중간 지점 혹은 결합 지점으로 호스 커넥터 거치대를 이동시킴으로써 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬이 공급되게 하는 케미컬 자동공급장치용 이동기를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention by moving the hose connector holder to the preparation point or intermediate point or coupling point for the chemical supply along the rail of the rail portion providing the moving path by By connecting between the chemical transport tank and the chemical storage tank is to provide a mover for a chemical automatic feeder to supply the chemical from one side to the other side.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기는, 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하기 위해, 상기 케미컬 운반 탱크에 연결된 호스에 결합된 호스 커넥터가 고정되는 호스 커넥터 거치대를 레일부 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 준비 지점 혹은 중간 지점 혹은 결합 지점으로 이동시키는 케미컬 자동공급장치용 이동기로서, 실린더부와; 상기 실린더부의 압력 작동에 의해 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부를 향해 수평으로 왕복이동하여 잠금키를 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합 혹은 요철 결합 해제하게 하는 잠금키 지지판; 및 일측 단부에 잠금키가 수평으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판의 수평 이동에 의해 상기 잠금키가 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판의 일 측면에서 로드를 전진 혹은 후퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대를 상기 레일부 상에서 상기 중간 지점 혹은 결합 지점으로 이동시키는 잠금키판;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the mover for the automatic chemical supply device according to the present invention, by connecting between the chemical transport tank and the chemical storage tank to supply the chemical from one side to the other side, the chemical transport tank A hose connector holder for fixing a hose connector coupled to a hose connected to a hose, the mover for an automatic chemical feeding device for moving a preparation point, an intermediate point, or a coupling point for chemical supply on a rail, comprising: a cylinder part; A lock-key support plate for reciprocating horizontally toward the side of the hose connector holder by the pressure operation of the cylinder to allow the locking key to be unevenly coupled or unevenly coupled to the side portion of the hose connector holder; And a lock key is protruded horizontally at one end and the rod is moved forward or at one side of the lock key support plate in a state in which the lock key is unevenly coupled with the side portion of the hose connector holder by the horizontal movement of the lock key support plate. And a locking key plate which moves backward to move the hose connector holder to the intermediate point or the coupling point on the rail part.
본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기에 있어서, 상기 실린더부는 실린더 몸체에 연결된 로드를 수평으로 왕복이동시키는 것을 특징으로 한다.In the mobile device for a chemical automatic feeder according to the present invention, the cylinder portion is characterized in that the reciprocating movement of the rod connected to the cylinder body horizontally.
본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기에 있어서, 상기 잠금키 지지판은 상기 실린더부의 로드와 연결되어 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부를 향해 수평으로 왕복이동하여 잠금키를 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합 혹은 요철 결합 해제하게 하는 것을 특징으로 한다.In the mobile device for a chemical automatic feeder according to the present invention, the lock key support plate is connected to the rod of the cylinder portion to reciprocate horizontally toward the side of the hose connector holder to couple the locking key to the side portion of the hose connector holder uneven. Or it characterized in that the uneven coupling.
본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기에 있어서, 상기 잠금키판은 실린더 몸체에 연결되어 진퇴 이동하는 로드의 일측 단부에 잠금키가 수평으로 돌출되도록 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.In the mobile device for a chemical automatic feeder according to the present invention, the locking key plate is connected to the cylinder body, characterized in that the locking key is coupled to the horizontal end projecting on one end of the rod moving forward and backward.
본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기에 있어서, 상기 잠금키판은 상기 잠금키 지지판의 수평 이동에 의해 상기 잠금키가 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판의 일 측면에서 상기 로드를 전진 이동시킴으로써 상기 호스 커넥터 거치대를 상기 레일부 상에서 케미컬 공급을 위하여 상기 호스 커넥터 거치대에 호스 커넥터를 고정 혹은 분리하도록 정한 준비 지점으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.In the mobile device for a chemical automatic feeder according to the present invention, the locking key plate is the one side of the lock key support plate in the state in which the lock key is unevenly coupled with the side portion of the hose connector holder by the horizontal movement of the lock key support plate. By moving the rod forward the hose connector holder is characterized in that to move to the preparation point determined to fix or remove the hose connector to the hose connector holder for chemical supply on the rail portion.
본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기에 있어서, 상기 잠금키판은 상기 잠금키 지지판의 수평 이동에 의해 상기 잠금키가 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판의 일 측면에서 상기 로드를 후퇴 이동시킴으로써 상기 호스 커넥터가 고정된 호스 커넥터 거치대를 상기 레일부 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 중간 지점으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.In the mobile device for a chemical automatic feeder according to the present invention, the locking key plate is the one side of the lock key support plate in the state in which the lock key is unevenly coupled with the side portion of the hose connector holder by the horizontal movement of the lock key support plate. Retracting the rod is characterized in that for moving the hose connector holder fixed to the hose connector on the rail portion to a predetermined intermediate point for the chemical supply.
본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기에 있어서, 상기 잠금키판이 상기 호스 커넥터가 고정된 호스 커넥터 거치대를 상기 레일부 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 중간 지점으로 이동시키면, 연이어서 상기 중간 지점에서 상기 잠금키 지지판의 수평 이동에 의해 상기 잠금키가 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합 해제되는 것을 특징으로 한다.In the mover for the automatic chemical feeding device according to the present invention, when the locking key plate moves the hose connector holder on which the hose connector is fixed to the intermediate point determined for chemical supply on the rail portion, the locking at the intermediate point successively By the horizontal movement of the key support plate, the locking key is characterized in that the uneven coupling with the side portion of the hose connector holder.
본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기에 있어서, 상기 중간 지점에서 상기 잠금키 지지판의 수평 이동에 의해 상기 잠금키가 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 요철 결합 해제된 후, 상기 호스 커넥터 거치대를 상기 레일부 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 준비 지점으로 다시 이동시켜야 하는 경우, 상기 잠금키 지지판의 수평 이동에 의해 상기 잠금키가 상기 호스 커넥터 거치대의 측면부와 다시 요철 결합된 후 상기 잠금키판이 상기 로드를 전진 이동시키는 것을 특징으로 한다.In the mobile device for a chemical automatic feeder according to the present invention, after the locking key is released from the side portion of the hose connector holder by the horizontal movement of the locking key support plate at the intermediate point, the hose connector cradle If it is necessary to move back to a predetermined preparation point for chemical supply on a part, the locking key moves forward the rod after the locking key is unevenly coupled with the side portion of the hose connector holder by the horizontal movement of the locking key support plate. It is characterized by.
본 발명에 따른 이동기는 단일 스테이지 혹은 다단 스테이지를 사용하지 않고 한 쌍의 레일을 포함하는 레일부에 의해 제공되는 이동로를 따라 호스 커넥터 거치대를 이동하므로 케미컬 자동공급장치 설계 시 종래의 복잡성과 설계 자유도가 제한되는 문제점을 쉽게 해소할 수 있다.Since the mover according to the present invention moves the hose connector holder along a moving path provided by a rail unit including a pair of rails without using a single stage or a multi-stage stage, the complexity and design freedom of the prior art when designing a chemical automatic feeder Can easily solve the problem that is limited.
본 발명은 제1 이동기를 호스 커넥터 거치대 측면에 설치하도록 구조를 개선하여 케미컬 자동공급장치의 전체적인 부피를 최소화시킨 효과가 있다.The present invention has an effect of minimizing the overall volume of the chemical automatic feeder by improving the structure to install the first mover on the side of the hose connector holder.
본 발명은 제1 이동기의 잠금키가 호스 커넥터 거치대의 측면 요홈판에 요철 결합하고, 잠금키의 전후 이동에 의해 레일부를 따라서 이동하는 호스 커넥터 거치대를 중간 지점에서 준비 지점으로 신속하게 이동시키는 효과가 있다.The present invention has an effect that the locking key of the first mover is unevenly coupled to the side recess plate of the hose connector holder, and quickly moves the hose connector holder moving along the rail part from the intermediate point to the preparation point by the forward and backward movement of the locking key. have.
본 발명은 케미컬 자동공급장치용 이동기의 구조를 개선하여 제품의 조립 및 생산성을 향상시킨 효과와, 케미컬용 호스 커넥터와 질소용 호스 커넥터에 각각 적용하여 개별적으로 작동시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect of improving the structure of the moving device for the automatic chemical feeder to improve the assembly and productivity of the product, and can be applied to the chemical hose connector and the nitrogen hose connector respectively to operate individually.
도 1은 본 발명에 따른 이동기가 적용된 케미컬 자동공급장치를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1의 측면도.
도 3은 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기의 분해 사시도.
도 4은 호스 커넥터 거치대에 호스 커넥터를 결합하기 위해 호스 커넥터 거치대를 준비 지점까지 이동시켜 놓은 상태를 나타낸 실시예.
도 5는 커넥터 지그 하강 상태를 나타낸 실시예.
도 6는 호스 커넥터 거치대에 호스 커넥터가 거치된 상태를 나타낸 실시예.
도 7은 커넥터 지그에 호스 커넥터가 삽입된 상태를 나타낸 실시예.
도 8은 커넥터 지그와 캡 지그의 상승 상태를 나타낸 실시예.
도 9은 호스 커넥터가 거치된 호스 커넥터 거치대를 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛을 향해 중간 지점까지 이동시킨 상태를 실시예.
도 10는 도 9의 상태에서 제1 이동기의 잠금키를 잠금 해제하고 제2 이동기의 잠금키를 잠금으로 변경한 상태를 나타낸 실시예.
도 11은 호스 커넥터가 거치된 호스 커넥터 거치대를 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛을 향해 결합 지점까지 이동시켜 호스 커넥터를 ACQC 유닛에 결합한 상태를 나타낸 실시예.
도 12은 케미컬 운반 탱크로부터 케미컬 저장 탱크로 케미컬 공급이 완료된 후 호스 커넥터를 ACQC 유닛에서 분리하고 호스 커넥터가 거치된 호스 커넥터 거치대를 케미컬 운반 탱크를 향해 중간 지점까지 이동시킨 상태를 나타낸 실시예.
도 13는 도 12의 상태에서 잠금 상태에 있던 제2 이동기의 잠금키를 잠금 해제하고 잠금 해제 상태에 있던 제1 이동기의 잠금키를 잠금으로 변경한 상태를 나타낸 실시예.
도 14은 호스 커넥터 거치대에서 호스 커넥터를 분리하기 위해 준비 지점까지 이동시킨 상태를 나타낸 실시예.
도 15는 호스 커넥터 거치대에서 호스 커넥터가 분리되는 과정을 나타낸 실시예.
도 16는 도 15의 상태에서 호스 커넥터가 분리된 후 호스 커넥터 거치대가 새로운 호스 커넥터와의 결합 대기를 위해 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛을 향해 중간 지점까지 이동한 상태를 나타낸 실시예.1 is a perspective view showing a chemical automatic supply device to which the mover according to the present invention is applied.
2 is a side view of FIG. 1;
3 is an exploded perspective view of a mobile device for a chemical automatic feeding device according to the present invention.
Figure 4 is an embodiment showing a state in which the hose connector holder is moved to the preparation point to couple the hose connector to the hose connector holder.
5 is an embodiment showing a connector jig lowered state;
Figure 6 is an embodiment showing a state in which the hose connector is mounted on the hose connector holder.
7 is an embodiment showing a state in which a hose connector is inserted into the connector jig.
8 is an embodiment showing a raised state of a connector jig and a cap jig.
FIG. 9 illustrates a state in which a hose connector holder equipped with a hose connector is moved to an intermediate point toward an ACQC unit connected to a chemical storage tank.
10 is a view showing a state in which the lock key of the first mobile device is unlocked and the lock key of the second mobile device is changed to the lock in the state of FIG. 9;
11 is an embodiment showing a state in which the hose connector is coupled to the ACQC unit by moving the hose connector holder equipped with the hose connector to the coupling point toward the ACQC unit connected to the chemical storage tank.
12 is an embodiment showing a state in which the hose connector is removed from the ACQC unit after the chemical supply from the chemical transport tank to the chemical storage tank and the hose connector holder equipped with the hose connector is moved to the intermediate point toward the chemical transport tank.
FIG. 13 illustrates an embodiment in which the lock key of the second mobile device in the locked state is released in the state of FIG. 12 and the lock key of the first mobile device in the unlocked state is changed to the lock;
Figure 14 is an embodiment showing a state moved to the preparation point to separate the hose connector from the hose connector holder.
15 is an embodiment illustrating a process of separating a hose connector from a hose connector holder.
FIG. 16 illustrates an embodiment in which the hose connector holder is moved to an intermediate point toward an ACQC unit connected to a chemical storage tank for waiting for engagement with a new hose connector after the hose connector is disconnected in the state of FIG. 15.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings an embodiment of the present invention will be described in more detail.
이하에서 설명하는 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치의 이동기는 하기의 실시예에 한정되지 않고, 청구범위에서 청구하는 기술의 요지를 벗어남이 없이 해당 기술분야에 대하여 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변경하여 실시할 수 있는 범위까지 그 기술적 정신이 있다.The moving device of the automatic chemical feeding device according to the present invention described below is not limited to the following embodiments, and anyone who has ordinary knowledge in the technical field without departing from the gist of the technology claimed in the claims. The technical spirit is to the extent that it can be modified and implemented.
이하에서는 도 1 내지 도 16을 참조하여, 본 발명에 따른 이동기가 적용된 케미컬 자동공급장치에 대하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, referring to FIGS. 1 to 16, a chemical automatic supply device to which a mobile device according to the present invention is applied will be described in detail.
도 1 내지 도 16에 있어서, 본 발명에 따른 이동기는 제1 이동기(150)로 식별 부호를 표시하며, 도 3에서는 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기, 이하 제1 이동기(150)의 분해 사시도를 나타낸다.1 to 16, the mobile device according to the present invention denotes an identification code by the first
본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치용 이동기인 제1 이동기(150)는 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하기 위해, 상기 케미컬 운반 탱크에 연결된 호스(200)에 결합된 호스 커넥터(210)가 고정되는 호스 커넥터 거치대(130)를 레일부(120) 상에서 정해진 지점(예컨대, 케미컬 공급을 위하여 정한 준비 지점 혹은 중간 지점)으로 이동시킨다.The first
도 1 내지 도 16를 참조하면, 본 발명에 따라 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하는 케미컬 자동공급장치(100)는 프레임(110)과 레일부(120), 호스 커넥터 거치대(130), 호스 안내대(140), 제1 이동기(150), 제1 지그 이동기(160), 제2 지그 이동기(170), 잠금기(180) 및 제2 이동기(190)를 포함하여 구성된다.1 to 16, the chemical
상기 프레임(110)은 전후좌우 4방으로 개구부가 형성된 것으로, 예컨대 육면체 형상으로 구성하는 것이 바람직하다.The
상기 레일부(120)는 상기 프레임(110)의 전면부와 후면부를 가로질러 정해진 높이로 배치되는 한 쌍의 레일(121)을 포함하고 상기 프레임(110)의 전면부에서부터 후면부까지의 이동거리 상에 미리 정해진 준비 지점과 중간 지점 및 결합 지점 중 어느 한 지점으로 호스 커넥터 거치대(130)가 이동하는 이동로를 제공한다.The
상기 호스 커텍터 거치대(130)는 상기 레일부(120)의 한 쌍의 레일(121) 위에 배치되고 케미컬 운반 탱크에 연결된 호스(200)의 단부에 결합된 호스 커넥터(210)가 고정되며 상기 레일(121)을 따라 상기 준비 지점과 중간 지점 및 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동한다.The
상기 호스 커넥터 거치대(130)의 본체(131)는 후면부에 요부(131a)를 형성하되, 상기 요부(131a)는 상기 호스 커넥터 플랜지부(211)의 외경보다 작게 U자 형상으로 형성되어 호스 커넥터 플랜지부(211)의 전면이 밀착되고, 상기 요부(131a)에 밀착되는 호스 커넥터 플랜지부(211)의 저면에는 후술할 지지판(134a)이 호스 커넥터 거치대(130) 바닥면에 형성된다.The
상기 호스 커넥터 거치대(130)의 제1 클램프(132)는 상기 본체(131)의 요부(131a)에 걸리도록 안착한 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면을 압박한다.The
상기 호스 커넥터 거치대(130)의 진퇴 실린더(133)는 상기 본체(131)의 양 측면에 배치되어 제1 클램프(132)를 진퇴 이동한다.The
상기 호스 커넥터 거치대(130)의 제2 클램프(134)는 상기 제1 클램프(132)에 의해 플랜지부(211) 표면이 압박된 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 상단을 압박한다.The
상기 호스 커넥터 거치대(130)의 승강 실린더(135)는 상기 진퇴 실린더(133)의 상면에 배치되어 상기 제2 클램프(134)를 승강 이동하여 호스 커넥터 플랜지부(211)를 견고하게 고정하되, 상기 제2 클램프(134)의 저면과 호스 커넥터 거치대(130) 바닥면에 지지판(134a)을 형성하여 호스 커넥터 플랜지부(211)의 둘레 면을 지지한다.The elevating
상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면 요홈판(136)은 상기 본체(131)의 일 측면에 설치되어 제1 이동기(150)의 잠금키(153)와 요철 결합한다.The
상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면 요홈판(137)은 상기 본체(131)의 저면에 설치되어 제2 이동기(190)의 잠금키와 요철 결합한다.The
상기 호스 안내대(140)는 상기 프레임(110)의 전면부에 배치되고 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 고정되는 호스 커넥터(210)에 연결된 호스(200)의 양측에 밀착되어 해당 호스(200)의 진퇴 이동을 안내하는 한 쌍의 회전롤러(141)를 형성하되, 상기 회전롤러(141)는 상기 레일(121)의 단부에 보조 프레임을 수직으로 돌출하고, 상기 보조 프레임의 상면부에 한 쌍의 회전롤러(141)를 설치하며, 상기 회전롤러(141)와 회전롤러(141)의 사이 저면에 수평방향으로 회전롤러(141)를 더 형성한 것을 포함한다.The
상기 제1 이동기(150)는 상기 프레임(110)의 일 측면부에 배치되고 수평으로 왕복이동하는 잠금키(153)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합 혹은 요철 결합 해제하고 제2 이동기(190)의 잠금키(193)가 잠금 해제된 상태에서 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일(121)을 따라 상기 준비 지점과 중간 지점 중 어느 한 지점으로 이동시킨다.The
상기 제1 이동기(150)의 실린더부(151)는 상기 프레임(110)의 일 측면부에 배치되어 고정된다.The
상기 실린더부(151)는 고저용 브래킷(151a')에 고정되어 있는 실린더 몸체(151a)에 연결된 로드(151b)를 수평으로 왕복이동시킨다.The
상기 제1 이동기(150)의 잠금키 지지판(152)은 상기 실린더부(151)의 압력 작동에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부를 향해 수평으로 왕복이동하여 잠금키(153)를 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합 혹은 요철 결합 해제하게 한다.The lock
상기 잠금키 지지판(152)은 상기 실린더부(151)의 로드(151b)와 연결되어 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부를 향해 수평으로 왕복이동하여 잠금키(153)를 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합 혹은 요철 결합 해제하게 한다.The lock
상기 제1 이동기(150)의 잠금키판(154)은 일측 단부에 잠금키(153)가 수평으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판(152)의 일 측면에서 로드(154b)를 전진 혹은 후퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 정해진 지점으로 이동시킨다.The lock
상기 잠금키판(154)은 실린더 몸체(154a)에 연결되어 진퇴 이동하는 로드(154b)의 일측 단부에 잠금키(153)가 수평으로 돌출되도록 결합되어 있다.The locking
상기 잠금키판(154)은 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판(152)의 일 측면에서 상기 로드(154b)를 전진 이동시킴으로써 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 케미컬 공급을 위하여 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)를 고정 혹은 분리하도록 정한 준비 지점으로 이동시킨다.The lock
상기 잠금키판(154)은 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판(152)의 일 측면에서 상기 로드(154b)를 후퇴 이동시킴으로써 상기 호스 커넥터(210)가 고정된 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 중간 지점으로 이동시킨다.The lock
상기 잠금키판(154)이 상기 호스 커넥터(210)가 고정된 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 중간 지점으로 이동시키면, 연이어서 상기 중간 지점에서 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합 해제된다.When the locking
상기 중간 지점에서 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합 해제된 후, 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 준비 지점으로 다시 이동시켜야 하는 경우, 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 다시 요철 결합된 후 상기 잠금키판(154)이 상기 로드(154b)를 전진 이동시킨다.After the locking
상기 잠금키(153)와의 요철 결합이 해제된 상기 호스 커넥터 거치대(130)는 다른 이동기, 예컨대 상기 제2 이동기(190)에 의해 상기 레일부(120) 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 결합 지점으로 이동된다.The
또한, 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 상기 제2 이동기(190)에 의해 케미컬 공급을 위하여 정한 결합 지점으로 이동된 후 케미컬 공급이 완료된 다음, 상기 제2 이동기(190)에 의해 중간 지점으로 다시 이동하면 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 준비 지점으로 다시 이동시켜야 한다. 이 경우, 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 다시 요철 결합된 후 상기 잠금키판(154)이 상기 로드(154b)를 전진 이동시킨다.In addition, after the
상기 제1 지그 이동기(160)는 상기 프레임(110)의 상면부에 배치되고 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하는 커넥터 지그(162)에 상기 제1 이동기(150)에 의해 중간 지점까지 이동한 상기 호스 커넥터(210)의 단부를 삽착시켜 일치하는지 확인한다.The
상기 제1 지그 이동기(160)의 실린더부(161)는 상기 프레임(110)의 상면부에 배치되어 고정된다.The
상기 제1 지그 이동기(160)의 커넥터 지그(162)는 상기 실린더부(161)에 연결되어 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하고 하강 이동 시 상기 제1 이동기(150)에 의해 중간 지점까지 이동한 상기 호스 커넥터(210)의 단부를 삽착시켜 일치하는지 확인한다.The
상기 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되지 않으면 작업자에게 음성 안내 혹은 경보를 통해 상기 호스 커넥터(210)를 상기 커넥터 지그(162)에 일치하는 적합한 것으로 교체할 것을 알린다.If the end of the
상기 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되지 않는 경우는, 작업자의 부주의로 인해 상기 커넥터 지그(162)와 암수 결합하는 적합한 호스 커넥터(210)가 아닌 부적합한 호스 커넥터(210)의 결합이 시도되는 경우에 해당한다.If the end of the
참고로, 호스(200)에 연결되는 호스 커넥터(210)는 케미컬 운반 탱크의 케미컬 종류에 따라 다른 형태를 나타낸다.For reference, the
따라서, 상기 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되지 않을 때, 상기와 같이 작업자에게 음성 안내 혹은 경보를 통해 상기 호스 커넥터(210)를 상기 커넥터 지그(162)에 일치하는 적합한 것으로 교체하게 함으로써 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)으로 부적합한 케미컬이 공급되는 사고를 방지할 수 있다.Thus, when the end of the
적합한 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되어 고정되는 경우에만 호스(200)와 호스 커넥터(210)를 경유하여 ACQC 유닛(300)으로 적합한 케미컬이 공급되는 작업의 진행이 허가된다.Only when the end of the
상기 제2 지그 이동기(170)는 상기 프레임(110)의 상면부에 상기 제1 지그 이동기(160)와 정해진 간격을 두고 상기 프레임(110)의 후면부에 근접하여 배치되고 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하는 캡 지그(172)에 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 삽착시켜 고정한다.The
상기 제2 지그 이동기(170)의 실린더부(171)는 상기 프레임(110)의 상면부에 상기 제1 지그 이동기(160)와 정해진 간격을 두고 상기 프레임(110)의 후면부에 근접하여 배치되어 고정된다.The
상기 제2 지그 이동기(170)의 캡 지그(172)는 상기 실린더부(171)에 연결되어 상기 프레임(110)의 상면부에서 프레임(110)의 중앙부를 향해 수직으로 승강 이동하고 하강 이동 시 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 삽착시켜 고정한다.The
상기 잠금기(180)는 상기 프레임(110)의 후면부에 배치되고 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 잠금 혹은 잠금 해제하거나 제2 이동기(190)에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(210)를 잠금 혹은 잠금 해제한다.The
상기 잠금기(180)의 실린더부(181)는 상기 프레임(110)의 후면부에 배치된다.The
상기 잠금기(180)의 잠금캠(182)은 상기 실린더부(181)의 로드(181a)와 연결되고 해당 로드(181a)의 진퇴 작동과 연동하는 캠로드(182a)에 의해 잠금 혹은 잠금 해제 작동함으로써 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 잠금 혹은 잠금 해제하거나 제2 이동기(190)에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(130)를 잠금 혹은 잠금 해제한다.The
상기 제2 이동기(190)는 상기 레일부(120)의 한 쌍의 레일(121) 사이에 배치되어 상기 프레임(110)의 저면부에 의해 지지되고 수직으로 승강 이동하는 잠금키(193)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면부와 요철 결합하고 제1 이동기(150)의 잠금키(153)가 잠금 해제된 상태에서 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 중간 지점과 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동시킨다.The
상기 제2 이동기(190)의 승강 실린더부(191)는 상기 레일부(120)의 한 쌍의 레일(121) 사이에 배치되어 상기 프레임(110)의 저면부에 의해 지지된다.The
상기 제2 이동기(190)의 잠금키 지지판(192)은 상기 승강 실린더부(191)의 압력 작동에 의해 수직으로 승강 이동하여 상기 잠금키(193)를 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면부와 요철 결합하게 한다.The lock
상기 제2 이동기(190)의 진퇴 실린더부(194)는 로드의 단부에 잠금키(193)가 수직으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판(192)의 수직 승강 이동에 의해 상기 잠금키(193)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 저면부와 요철 결합한 상태에서 상기 로드를 진퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 중간 지점과 결합 지점 중 어느 한 지점으로 이동시킨다.The
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치(100)는 다음과 같이 작동한다.The chemical
이하에서는 도 4 내지 도 16을 참조하여 본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치(100)의 작동을 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation of the chemical
본 발명에 따른 케미컬 자동공급장치(100)는 도 4 내지 도 16을 참조하여 설명하는 케미컬 공급 관련 작업을 진행하는 동안 스피커 등을 통해 작업 안내 음성을 출력할 수 있다. 작업 안내 음성을 출력하면 케미컬 운반 탱크와 케미컬 저장 탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하는 동안 작업자가 육안으로 뿐만 아니라 음성 안내를 통해 쉽게 작업 상황을 확인할 수 있다.The chemical
도 4는 최초에 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)를 결합하기 위해 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 제1 이동기(150)가 준비 지점까지 이동시켜 놓은 상태를 나타낸다.4 illustrates a state in which the
이 상태에서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)를 결합하기 전에 먼저 상기 제1 지그 이동기(160)가 상기 커넥터 지그(162)를 하강시킨다.In this state, as shown in FIG. 5, the
이어서, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)가 거치된다.Subsequently, as shown in FIG. 6, the
도 6의 (a)는 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 상기 본체(131)에 있는 요부(131a)에 걸리도록 안착한 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면을 제1 클램프(132)가 압박하기 전 상태를 나타낸다.FIG. 6A illustrates a surface of the
도 6의 (b)는 상기 제1 클램프(132)를 초기 직립 상태에서 90도 회전시킨 후 상기 진퇴 실린더(133)가 후퇴 이동한 상태를 나타낸다.FIG. 6B illustrates a state in which the
도 6의 (c)는 후퇴 이동한 진퇴 실린더(133)가 전진 이동하여 상기 제1 클램프(132)를 압박한 상태를 나타낸다.FIG. 6C shows a state in which the
도 6의 (d)는 상기 제1 클램프(132)에 의해 상기 본체(131)에 있는 요부(131a)에 걸리도록 안착한 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면이 압박된 상태에서 상기 승강 실린더(135)가 제2 클램프(134)를 하강 이동하여 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 상단을 압박함으로써 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)를 완전치 거치한 상태를 나타낸다.FIG. 6D illustrates the elevating in a state in which the surface of the
상기 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211)는 제2 클램프(134)의 저면과, 본체(131)와 본체(131)의 사이에 형성된 지지판(134a)에 의해 견고하게 지지된 상태를 유지하고, 상기와 같이 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)가 완전치 거치되고 나면, 이어서 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 지그 이동기(160)의 커넥터 지그(162)에 호스 커넥터(210)를 밀어 넣어 삽입한다.The
이때, 상기 제1 지그 이동기(160)에 삽착되는 상기 호스 커넥터(210)가 일치하지 않음에 따라 상기 호스 커넥터(210)의 단부가 커넥터 지그(162)에 삽착되지 않으면 작업자에게 음성 안내 혹은 경보를 통해 상기 호스 커넥터(210)를 상기 커넥터 지그(162)에 일치하는 적합한 것으로 교체할 것을 알린다.In this case, when the end of the
상기 제1 지그 이동기(160)에 삽착되는 상기 호스 커넥터(210)가 상기 커넥터 지그(162)에 일치하는 적합한 것이라면 상기 제1 지그 이동기(160)의 커넥터 지그(162)에 호스 커넥터(210)가 정상적으로 삽입된다.The
도 8과 같이, 상기 제1 지그 이동기(160)의 커넥터 지그(162)에 호스 커넥터(210)가 정상적으로 삽입되면, 도 9에 나타낸 바와 같이 상기 제1 지그 이동기(160)가 커넥터 지그(162)를 상승시켜 호스 커넥터(210)로부터 커넥터 지그(162)를 분리하고, 이어서 상기 잠금기(180)의 잠금캠(182)이 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 잠금 해제하면 상기 제2 지그 이동기(170)가 캡 지그(172)에 삽착시켜 고정한 ACQC 유닛(300)의 캡(310)을 상승시켜 캡(310)을 분리한다.As shown in FIG. 8, when the
도 8에 나타낸 바와 같이, 커넥터 지그(162)와 캡 지그(172)가 모두 상승하고 나면, 이어서 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 이동기(150)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 준비 지점에서부터 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)을 향해 중간 지점까지 이동한다.As shown in FIG. 8, after both the
상기 제1 이동기(150)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 준비 지점에서부터 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)을 향해 중간 지점까지 이동할 때, 상기 잠금키판(154)은 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판(152)의 일 측면에서 상기 로드(154b)를 후퇴 이동시킴으로써 상기 호스 커넥터(210)가 고정된 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 중간 지점으로 이동시킨다.When the
또한, 상기 잠금키판(154)이 상기 호스 커넥터(210)가 고정된 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 케미컬 공급을 위하여 정한 중간 지점으로 이동시키면, 연이어서 상기 중간 지점에서 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합 해제된다.In addition, when the locking
상기 잠금키(153)와의 요철 결합이 해제된 상기 호스 커넥터 거치대(130)는 다른 이동기인 상기 제2 이동기(190)에 의해 케미컬 공급을 위하여 정한 결합 지점으로 이동된다.The
도 9의 상태에서, 상기 제2 이동기(190)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 결합 지점까지 이동할 수 있도록 하기 위해, 도 10의 (a)와 (b)에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 이동기(150)의 잠금키(153)를 잠금 해제하고 상기 제2 이동기(190)의 잠금키(193)를 잠금 상태로 변경한다.In the state of FIG. 9, in order to allow the
이어서, 도 11에 나타낸 바와 같이, 상기 제2 이동기(190)에 의해 상기 호스 커넥터(210)가 거치된 호스 커넥터 거치대(130)가 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)을 향해 중간 지점에서부터 결합 지점까지 이동함에 따라 상기 호스 커넥터(210)가 ACQC 유닛(300)의 캡(310)이 분리된 연결구에 결합한다.Subsequently, as shown in FIG. 11, the
도 11의 (a)는 상기 호스 커넥터(210)가 ACQC 유닛(300)의 캡(310)이 분리된 연결구에 결합된 상태를 나타내고, 도 11의 (b)는 상기 잠금기(180)의 잠금캠(182)이 제2 이동기(190)에 의해 결합 지점까지 이동하여 해당 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(130)를 잠금한 상태를 나타낸다.FIG. 11A illustrates a state in which the
도 11의 상태에서 케미컬 운반 탱크에서 케미컬 저장 탱크로 케미컬이 공급된다.In the state of FIG. 11, the chemical is supplied from the chemical transport tank to the chemical storage tank.
케미컬 운반 탱크에서 케미컬 저장 탱크로의 케미컬 공급이 완료되고 나면, 도 12의 (a)에 나타낸 바와 같이, 상기 잠금기(180)의 잠금캠(182)이 ACQC 유닛(300)과 겹합한 호스 커넥터(130)를 잠금 해제한 후, 도 12의 (b)에 나타낸 바와 같이, 상기 제2 이동기(190)에 의해 상기 호스 커넥터(210)가 거치된 호스 커넥터 거치대(130)가 케미컬 운반 탱크를 향해 결합 지점에서부터 중간 지점까지 이동한다.After the chemical supply from the chemical transport tank to the chemical storage tank is completed, as shown in FIG. 12A, the locking
도 12의 상태에서 상기 제1 이동기(150)에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 준비 지점까지 이동할 수 있도록 하기 위해, 도 13의 (a)와 (b)에 나타낸 바와 같이, 잠금 상태에 있던 제2 이동기(190)의 잠금키(193)를 잠금 해제하고 잠금 해제 상태에 있던 제1 이동기(150)의 잠금키(153)를 잠금 상태로 변경한다.In order to allow the
이어서, 도 14에 나타낸 바와 같이, 호스 커넥터 거치대(130)에서 호스 커넥터(210)를 분리하기 위해 상기 제1 이동기(150)에 의해 상기 호스 커넥터(210)가 거치된 호스 커넥터 거치대(130)가 중간 지점에서부터 케미컬 운반 탱크를 향해 준비 지점까지 이동한다.Subsequently, as shown in FIG. 14, in order to separate the
상기 제1 이동기(150)에 의해 상기 호스 커넥터(210)가 거치된 호스 커넥터 거치대(130)가 중간 지점에서부터 케미컬 운반 탱크를 향해 준비 지점까지 이동할 때, 상기 잠금키판(154)은 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판(152)의 일 측면에서 상기 로드(154b)를 전진 이동시킴으로써 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 케미컬 공급을 위하여 상기 호스 커넥터 거치대(130)에 호스 커넥터(210)를 고정 혹은 분리하도록 정한 준비 지점으로 이동시킨다.When the
이어서, 도 15에 나타낸 바와 같이, 상기 호스 커넥터 거치대(130)에서 호스 커넥터(210)가 분리된다.Subsequently, as shown in FIG. 15, the
도 15의 (a)는 상기 호스 커넥터(210)를 분리하기 전, 상기 승강 실린더(135)가 제2 클램프(134)를 하강 이동하여 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 상단을 압박하고 있는 상태를 나타낸다.FIG. 15A illustrates that the
도 15의 (b)는 상기 승강 실린더(135)가 제2 클램프(134)를 상승 이동하여 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 상단 압박을 해제한 상태를 나타낸다.FIG. 15B illustrates a state in which the
도 15의 (c)는 상기 진퇴 실린더(133)가 후진 이동하여 상기 제1 클램프(132)에 의해 상기 본체(131)에 있는 요부(131a)에 걸리도록 안착한 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면 압박을 해제한 상태를 나타낸다.15C illustrates a flange portion of the
도 15의 (d)는 상기 제1 클램프(132)가 상기 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면 압박을 해제한 후, 90도로 회전하여 상기한 초기 직립 상태로 복귀한 상태를 나타낸다.FIG. 15D illustrates a state in which the
도 16의 (a)는 상기 제1 클램프(132)가 상기 호스 커넥터(210)의 플랜지부(211) 표면 압박을 해제한 후, 90도로 회전하여 상기한 초기 직립 상태로 복귀한 측면 상태를 나타내고, 도 16의 (b)는 상기 호스 커넥터(210)가 호스 커넥터 거치대(130)에서 분리된 후, 상기 호스 커넥터 거치대(130)가 새로운 호스 커넥터(130)와의 결합 대기를 위해 케미컬 저장 탱크에 연결된 ACQC 유닛(300)을 향해 중간 지점까지 이동한 상태를 나타낸다.FIG. 16A illustrates a side state in which the
본 발명의 케미컬 자동공급장치용 이동기는 케미컬용 호스 커넥터와 질소용 호스 커넥터에 각각 적용하여 개별적으로 작동시킬 수 있는 특징이 있다.The moving device for the automatic chemical feeding device of the present invention has a feature that can be applied to each of the chemical hose connector and nitrogen hose connector can be operated individually.
100: 케미컬 자동공급장치
110: 프레임
120: 레일부 121: 레일
130: 호스 커넥터 거치대 131: 본체
131a: 요부 132: 제1 클램프
133: 진퇴 실린더 134: 제2 클램프
135: 승강 실린더 136: 측면 요홈판
137: 저면 요홈판
140: 호스 안내대 141: 회전롤러
150: 제1 이동기 151: 실린더부
151a': 브래킷 151a: 실린더 몸체
151b: 로드 152: 잠금키 지지판
153: 잠금키 154: 잠금키판
154a: 실린더 몸체 154b: 로드
160: 제1 지그 이동기 161: 실린더부
162: 커넥터 지그
170: 제2 지그 이동기 171: 실린더부
172: 캡 지그
180: 잠금기 181: 실린더부
181a: 로드 182: 잠금캠
182a: 캠로드
190: 제2 이동기 191: 승강 실린더부
192: 잠금키 지지판 193: 잠금키
194: 진퇴 실린더부
200: 호스 210: 호스 커넥터
211: 플랜지부
300: ACQC 유닛 310: 캡100: chemical automatic feeding device
110: frame
120: rail portion 121: rail
130: hose connector holder 131: main body
131a: main portion 132: first clamp
133: retraction cylinder 134: second clamp
135: lifting cylinder 136: side groove plate
137: bottom groove plate
140: hose guide 141: rotary roller
150: first mover 151: cylinder portion
151a ':
151b: Rod 152: Locking Key Support Plate
153: lock key 154: lock key plate
154a:
160: first jig mover 161: cylinder portion
162: connector jig
170: second jig mover 171: cylinder portion
172: cap jig
180: lock 181: cylinder portion
181a: load 182: lock cam
182a: cam rod
190: second mover 191: lifting cylinder portion
192: lock key support plate 193: lock key
194: retraction cylinder
200: hose 210: hose connector
211: flange portion
300: ACQC unit 310: cap
Claims (8)
실린더부(151)와;
상기 실린더부(151)의 압력 작동에 의해 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부를 향해 수평으로 왕복이동하여 잠금키(153)를 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합 혹은 요철 결합 해제하게 하는 잠금키 지지판(152); 및
일측 단부에 잠금키(153)가 수평으로 돌출되도록 결합되어 있고 상기 잠금키 지지판(152)의 수평 이동에 의해 상기 잠금키(153)가 상기 호스 커넥터 거치대(130)의 측면부와 요철 결합한 상태에서 상기 잠금키 지지판(152)의 일 측면에서 로드(154b)를 전진 혹은 후퇴 이동시켜 상기 호스 커넥터 거치대(130)를 상기 레일부(120) 상에서 상기 중간 지점 혹은 결합 지점으로 이동시키는 잠금키판(154);
으로 구성되는 것을 특징으로 하는 케미컬 자동공급장치용 이동기.In order to connect the chemical transport tank and the chemical storage tank to supply the chemical from one side to the other side, the hose connector holder 130 is fixed to the hose connector 210 is fixed to the hose 200 connected to the chemical transport tank As a mobile unit 150 for the chemical automatic supply device 100 to move to the preparation point, the intermediate point or the coupling point determined for the chemical supply on the rail unit 120,
A cylinder portion 151;
By reciprocating horizontally toward the side portion of the hose connector holder 130 by the pressure operation of the cylinder unit 151 to release the locking key 153 and the uneven coupling or uneven coupling with the side portion of the hose connector holder 130. Lock key support plate 152; And
The lock key 153 is coupled to one side end so as to protrude horizontally, and the lock key 153 is unevenly coupled to the side portion of the hose connector holder 130 by the horizontal movement of the lock key support plate 152. A locking key plate 154 for moving the rod connector 154b forward or backward on one side of the lock key support plate 152 to move the hose connector holder 130 to the intermediate point or coupling point on the rail unit 120;
A mobile automatic moving device for chemical supply, characterized in that consisting of.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190085893A KR102075302B1 (en) | 2019-07-16 | 2019-07-16 | Transfer unit for automatic supplying apparatus of chemical |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190085893A KR102075302B1 (en) | 2019-07-16 | 2019-07-16 | Transfer unit for automatic supplying apparatus of chemical |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR102075302B1 true KR102075302B1 (en) | 2020-02-07 |
Family
ID=69569956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190085893A KR102075302B1 (en) | 2019-07-16 | 2019-07-16 | Transfer unit for automatic supplying apparatus of chemical |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102075302B1 (en) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007250196A (en) | 2006-03-13 | 2007-09-27 | Ricoh Co Ltd | Carrier device and vacuum processing device |
JP2013239587A (en) | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Ricoh Co Ltd | Multistage slide unit, conveying device, and vacuum processing apparatus |
KR101347531B1 (en) * | 2013-01-22 | 2014-01-10 | 미래산업 주식회사 | Apparatus for spinning test tray of in-line test handler and in-line test handler |
KR101572537B1 (en) | 2015-06-15 | 2015-11-27 | 주식회사 에이치에스티 | Auto-connecting system between chemical tank lorry and acqc |
KR101779493B1 (en) | 2016-12-06 | 2017-09-18 | (주)에스티아이 | Automatic supplying apparatus of chemical |
KR101779495B1 (en) * | 2017-01-16 | 2017-09-18 | (주)에스티아이 | Automatic supplying apparatus of chemical |
KR101802900B1 (en) * | 2016-12-29 | 2017-11-29 | (주)에스티아이 | Apparatus for assembling hose and connector of chemical automatic supplying apparatus |
KR20180002238A (en) * | 2016-06-29 | 2018-01-08 | 김태형 | The male connector of the automatic cleaning device connected with a support device for transporting the chemical |
KR101843383B1 (en) * | 2016-12-07 | 2018-03-29 | (주)에스티아이 | Hose holding structure of chemical automatic supplying apparatus |
-
2019
- 2019-07-16 KR KR1020190085893A patent/KR102075302B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007250196A (en) | 2006-03-13 | 2007-09-27 | Ricoh Co Ltd | Carrier device and vacuum processing device |
JP2013239587A (en) | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Ricoh Co Ltd | Multistage slide unit, conveying device, and vacuum processing apparatus |
KR101347531B1 (en) * | 2013-01-22 | 2014-01-10 | 미래산업 주식회사 | Apparatus for spinning test tray of in-line test handler and in-line test handler |
KR101572537B1 (en) | 2015-06-15 | 2015-11-27 | 주식회사 에이치에스티 | Auto-connecting system between chemical tank lorry and acqc |
KR20180002238A (en) * | 2016-06-29 | 2018-01-08 | 김태형 | The male connector of the automatic cleaning device connected with a support device for transporting the chemical |
KR101779493B1 (en) | 2016-12-06 | 2017-09-18 | (주)에스티아이 | Automatic supplying apparatus of chemical |
KR101843383B1 (en) * | 2016-12-07 | 2018-03-29 | (주)에스티아이 | Hose holding structure of chemical automatic supplying apparatus |
KR101802900B1 (en) * | 2016-12-29 | 2017-11-29 | (주)에스티아이 | Apparatus for assembling hose and connector of chemical automatic supplying apparatus |
KR101779495B1 (en) * | 2017-01-16 | 2017-09-18 | (주)에스티아이 | Automatic supplying apparatus of chemical |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102029634B1 (en) | Automatic supplying apparatus of chemical | |
KR101883372B1 (en) | The male connector feed driving device for the automatic cleaning device connected to feed the chemical | |
KR101328119B1 (en) | Drilling and tapping machines of inside housing for mobile terminals | |
KR101894482B1 (en) | Automatic insertion system of the automatic clean quick coupler device for transporting the chemical | |
KR101779495B1 (en) | Automatic supplying apparatus of chemical | |
US5676364A (en) | Plate material separating apparatus | |
JP4510089B2 (en) | Improved method of loading a mold set into a molding machine | |
KR20180002238A (en) | The male connector of the automatic cleaning device connected with a support device for transporting the chemical | |
JP5080123B2 (en) | Pallet delivery system | |
KR102075302B1 (en) | Transfer unit for automatic supplying apparatus of chemical | |
JP2008515678A (en) | Three-stage stack molding machine | |
KR102056026B1 (en) | Inspection machine for automatic supplying apparatus of chemical | |
KR101634600B1 (en) | Drawer device and storage device | |
KR102095679B1 (en) | Transfer unit for automatic supplying apparatus of chemical | |
KR101133132B1 (en) | Apparatus for supplying chip tray | |
KR101504760B1 (en) | Manual guided vehicle for transferring cassette | |
KR20180002239A (en) | Connector closing device for the automatic cleaning device connected for transferring the chemical | |
KR100825496B1 (en) | Apparatus of molding battery pack and molding method of the same | |
CN114212481B (en) | Pallet wheel part correcting assembly and comprehensive stacking system thereof | |
JP2730293B2 (en) | Transfer feeder for transfer press | |
KR102113688B1 (en) | Cutting apparatus of connector reinforcement plate | |
CN109422228B (en) | Automatic chemical supply device and control method for automatic chemical supply device | |
KR100448435B1 (en) | A vehicle lift gate which has carrier | |
KR102447119B1 (en) | Automatic connection device for chemical transfer with sealing plug and sealing plug driving method for automatic connection device for chemical transfer | |
CN210162736U (en) | Automatic feeding device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |