KR102023728B1 - 기판 코팅 장치 - Google Patents

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KR102023728B1
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엄호성
임민돈
김동현
강용구
정의찬
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주식회사 로스코
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Abstract

본 발명은 기판 코팅 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 측면에 따르면 기판의 표면에 약액을 균일하게 도포시키기 위해서 상기 기판을 위치 고정시키는 기판스테이지, 상기 기판스테이지에 고정된 상기 기판의 표면에 약액을 도포하는 분사부, 상기 약액이 도포된 상기 기판의 일면에 이격 배치되어 상기 약액의 두께를 조절하는 두께조절부재 및 상기 두께조절부재와 상기 기판스테이지를 상대적으로 이동시켜 약액을 균일하게 도포시키는 이송부를 포함한다.

Description

기판 코팅 장치 {APPARATUS FOR COATING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 코팅 장치에 관한 것이다.
LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.
그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.
일반적인 기판 코팅 장치는 피처리 기판을 기판척 상에 거치시킨 상태에서 약액을 피처리 기판의 표면에 도포한다. 이때, 종래의 기판 코팅 장치는 기판(G)에 도포되는 약액의 양 및 두께가 불균일해짐에 따라서 기판의 코팅 불량일 발생하는 문제점이 있다.
상기와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 본 발명은 기판의 표면에 약액을 균일하게 도포시킴으로써 기판 코팅 불량을 방지할 수 있는 기판 코팅 장치를 제공하고자 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판의 표면에 약액을 균일하게 도포시키기 위해서 상기 기판을 위치 고정시키는 기판스테이지; 상기 기판스테이지에 고정된 상기 기판의 표면에 약액을 도포하는 분사부; 상기 약액이 도포된 상기 기판의 일면에 이격 배치되어 상기 약액의 두께를 조절하는 두께조절부재 및 상기 두께조절부재와 상기 기판스테이지를 상대적으로 이동시켜 약액을 균일하게 도포시키는 이송부를 포함하는 기판 코팅 장치를 제공한다.
또한, 상기 분사부는 상기 기판의 표면에 약액을 분사하고 상기 두께조절부재의 일측에 결합되어 상기 두께조절부재의 타측에 형성된 분사구를 통해서 약액을 분사하는 분사노즐 및 상기 분사노즐과 액액관으로 연결되고 상기 액액을 상기 분사노즐에 제공하는 실린지 펌프를 포함할 수 있다.
또한, 상기 두께조절부재는 바 형상 또는 판 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 이송부는 상기 두께조절부재를 상하방향으로 이동시키는 수직이송부 및 상기 두께조절부재 또는 상기 기판스테이지를 전후방향으로 이동시키는 수평 이송부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 수직이송부는 상기 두께조절부재와 결합되는 수직이동부재 및 상기 수직이동부재를 상하방향으로 이동시키는 공압실린더를 포함할 수 있다.
또한, 상기 두께조절부재가 일측에 결합되는 제1 결합부재 및 상기 제1 결합부재를 가압함으로써 상기 두께조절부재를 상하방향으로 미세하게 이동시키는 미세손잡이를 포함할 수 있다.
또한, 상기 수평이송부는 상기 기판스테이지와 결합되어 상기 기판스테이지를 이동시키는 수평이동부재; 상기 수평이동부재와 나사 결합되고 외측면에 나사산이 형성되어 상기 수평이동부재가 상기 나사산을 따라서 이동되도록 하는 축부재 및 상기 축부재를 회전시키는 구동모터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 축부재가 내부에 위치하는 케이스; 상기 케이스의 상부측에 형성되는 가이드레일 및 상기 수평이동부재의 상단부에 결합되고 상기 가이드레일을 따라서 이동 가능하도록 형성되는 레일부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판스테이지가 일면에 고정되는 상부프레임; 상기 상부프레임의 타면에 결합되어 상기 공압실린더를 고정시키는 고정봉부재 및 상기 공압실린더의 힘을 상기 수직이동부재에 전달하는 전달부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판스테이지 내부에 형성되어 상기 기판상에 도포된 상기 약액이 경화되는 시간을 조절하기 위해 상기 약액에 열을 가하는 히팅부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치는 상부프레임 상에 두께조절부재를 이용하여 기판 상에 약액이 균일하게 도포되도록 함으로써 기판의 기능을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치는 기판스테이지에 형성된 진공홀을 통해서 기판을 진공 흡착시켜 견고하게 요동없이 고정시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치는 히팅부재를 통해서 약액이 도포된 기판에 열을 전달함으로써 약액이 기판상에서 용이하게 경화될 수 있도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치는 수평이송부를 통해서 두께조절부재의 하부측으로 약액이 도포된 기판을 이동시킴으로써 약액이 두께조절부재에 의해서 균일하게 도포될 수 있도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치는 이동체인을 통해서 기판스테이지가 이동할 때 이탈되지 않으면서 이동될 수 있도록 하고, 기판스테이지 이동시 이동 길이를 제한할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치는 수직이송부를 통해서 1차적으로 기판과 두께조절부재의 간격을 조절하고 미세손잡이를 통해서 2차적으로 미세한 범위의 간격을 조절할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 작동상태를 도시한 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 기판 및 기판스테이지의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 수평이송부를 도시한 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 수직이송부를 도시한 분해사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 미세손잡이를 도시한 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치를 나타낸 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 작동상태를 도시한 정면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 모터(73)에서 케이스(72) 쪽을 전방으로 규정하여 설명하고, 케이스(72)에서 모터(73)쪽을 후방으로 규정하여 설명하며, 기판(3)에서 두께조절부재(50) 쪽을 상방으로 규정하고 두께조절부재(50)에서 기판(3) 쪽을 하방으로 규정하여 설명한다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 기판 코팅 장치(1)는 기판(3) 표면에 약액을 균일하게 도포시키기 위해서 기판(3), 프레임부(10), 기판스테이지(20), 분사부(30), 제어부(40), 두께조절부재(50) 및 이송부(60)를 포함할 수 있다.
한편 도 1 및 도 2를 참고하면 기판(3)은 유리 재질로써 유리 기판일 수 있고 직사각형 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 기판(3)의 상부면에는 약액(5)이 도포될 수 다. 이때 약액(5)은 포토레지스트 등일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
도 1을 참고하면 프레임부(10)는 상부프레임(11), 하부프레임(13) 및 연결프레임(15)을 포함할 수 있다. 이때 상부프레임(11)과 하부프레임(13)은 상하 방향으로 이격 배치될 수 있다. 또한 상부프레임(11)과 하부프레임(13) 사이에는 연결프레임(15)이 위치될 수 있다.
이때, 연결프레임(15)은 전면을 개방할 수 있도록 설치될 수 있다. 또한, 프레임부(10) 상측 예를들어, 상부프레임(11)에 기판 코팅 장치(1)가 고정되어 설치될 수 있다. 또한, 도 1을 참고하면 프레임부(10)의 내부에는 중공부(미도시)가 형성되어 내부에 공압실린더(81), 고정봉부재(83), 고정판부재(85) 및 연결부재(88)가 배치될 수 있다.
도 1을 참조하면 제어부(40)는 연결프레임(15) 일측 상부에 설치될 수 있다. 이때, 제어부(40)는 측정부재(27)가 측정된 온도를 전송된 신호를 전송받아 히팅부재(25)의 온도를 조절할 수 있다. 또한 제어부(40)는 이송부(60)의 이동을 조절할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 기판 및 기판스테이지의 사시도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 기판스테이지(20)는 기판(3)을 상부면에 안착시킬 수 있도록 기판(3)과 대응되게 형성될 수 있다. 도 3을 참고하면, 기판스테이지(20)는 기판(3)을 진공 흡착시켜 견고하게 요동없이 고정시키기 위해서 상부면에 진공 배관(23)와 연통된 복수개의 진공홀(21)이 형성될 수 있다.
한편, 히팅부재(25)는 기판스테이지(20) 내부에 형성될 수 있다. 이때 히팅부재(25)는 관 형상으로 형성되어 기판(3)에 열을 전달함으로써 약액을 용이하게 경화될 수 있도록 한다.
또한 히팅부재(25)의 일측에는 측정부재(27)가 설치될 수 있다. 이때 측정부재(27)는 히팅부재(25)를 통해서 전달되는 열의 온도를 측정하여 제어부(40)로 전송할 수 있다. 이때 제어부(40)는 전송된 온도 정보를 통해 히팅부재(25)에서 발산되는 열의 온도를 조절할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 측면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 분사부(30)는 기판(3)의 표면에 약액을 분사할 수 있도록 분사노즐(32), 약액관(34) 및 실린지 펌프(36)를 포함할 수 있다. 이때 분사노즐(32)은 두께조절부재(50)의 상부측에 연결되어 두께조절부재(50)의 하부측에 형성된 분사구(52)를 통해 약액을 분사할 수 있다.
한편, 실린지 펌프(36)는 약액관(34)을 통해서 분사노즐(32)과 연결되어 분사노즐(32)을 통해 분사되는 약액의 양을 일정하게 조절할 수 있도록 한다. 이때 실린지 펌프(36)는 주사기 형상으로 형성될 수 있다.
이때, 실린지 펌프(36)는 6개의 주사기로 이루어질 수 있다. 또한 실린지 펌프(36)는 약액의 단위 시간당 공급량을 계산하여 설정된 농도로 정해진 약액의 양이 공급되도록 제어부(40)와 연결될 수 있다.
도 4를 참고하면 두께조절부재(50)는 바 또는 판 형상으로 형성될 수 있다. 두께조절부재(50)의 하부면에는 분사구(52)가 형성될 수 있다. 또한 두께조절부재(50)의 상부측에는 분사노즐(32)이 결합될 수 있다. 이때 분사노즐(32)을 통해 분사된 약액은 분사구(52)를 통해서 분사될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 수평이송부를 도시한 분해사시도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 수직이송부를 도시한 분해사시도이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 이송부(60)는 수평이송부(70) 및 수직이송부(80)를 포함할 수 있다.
수평이송부(70)는 두께조절부재(50)가 약액이 도포된 기판(3)과 상대 이동될 수 있도록 하기 위해서 지지부재(71), 케이스(72), 구동모터(73), 축부재(75), 수평이동부재(76) 및 이동체인(78)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치(1)는 수평이송부(70)를 통해서 두께조절부재(50)의 하부측으로 약액을 도포된 기판이 이동시킴으로써 약액이 두께조절부재(50)에 의해서 균일하게 도포될 수 있도록 한다.
도 5를 참고하면 지지부재(71)는 상부 프레임(11) 상단면에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때 지지부재(71)는 사각형의 판 형상으로 형성될 수 있다. 또한 지지부재(71)의 상부에는 케이스(72), 구동모터(73) 및 축부재(75)가 설치될 수 있다.
케이스(72)는 후단면에는 가이드홈(72a)이 형성될 수 있다. 이때 케이스(72)는 직육면체일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 케이스(72)의 상부측에는 가이드레일(72b)이 형성될 수 있다.
이때 후술할 레일부재(77)는 가이드레일(72b)을 따라서 이동될 수 있다. 또한, 케이스(72)의 후방에는 구동모터(73)가 설치될 수 있다. 구동모터(73)의 중심부에는 축부재(75)가 설치될 수 있다. 이때 구동모터(73)의 회전에 의해서 축부재(75)가 회전할 수 있다. 또한 축부재(75)는 케이스(72)에 형성된 가이드홈(72a) 내부에 위치될 수 있다.
또한, 축부재(75)는 외측에 수평이동부재(76)와 나사 결합됨으로써 수평이동부재(76)는 축부재(75)의 회전으로 인해서 전진 또는 후진될 수 있다. 수평이동부재(76)는 가이드홈(72a)의 후단에 삽입되도록 설치될 수 있다. 수평이동부재(76)는 직육면체 형상으로 내부에 나사홀(미도시)이 형성될 수 있다.
수평이동부재(76)의 상단부에는 레일부재(77)가 결합될 수 있다. 또한 레일부재(77)는 판 형상일 수 있다. 레일부재(77)는 양 측단부에 기판스테이지(20)가 결합될 수 있도록 상방으로 돌출 형성될 수 있다.
이때 레일부재(77)는 기판스테이지(20)와 결합됨으로써 내부에 이동홀(77a)이 형성될 수 있다. 또한 레일부재(77)는 케이스(72)에 형성된 가이드레일(72b)을 따라서 이동될 수 있다.
한편, 이동체인(78)은 기판스테이지(20) 측면에 설치될 수 있다. 이동체인(78)은 기판스테이지(20)가 이동할 때 이탈되지 않으면서 이동될 수 있도록 한다. 또한 이동체인(78)은 기판스테이지(20)가 이동할 때 이동 길이를 제한할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 수직이송부(80)는 두께조절부재(50)가 상하방향으로 이동시켜 약액의 두께를 조절하기 위해서 공압실린더(81), 수직이동부재(87) 및 전달부재(89)를 포함할 수 있다.
한편, 공압실린더(81)는 상부프레임(11)의 하측에 고정봉부재(83)를 통해서 고정될 수 있다. 이때 고정봉부재(83)는 봉 형상으로 형성될 수 있다. 고정봉부재(83)는 상단부가 상부프레임(11)의 하부면에 고정될 수 있다. 또한 고정봉부재(83)는 하단부가 고정판부재(85)와 결합될 수 있고 이를 통해서 공압실린더(81)와 결합될 수 있다.
수직이동부재(87)는 상부프레임(11)의 상부면에 상하방향으로 이동될 수 있도록 설치될 수 있다. 이때 수직이동부재(87)는 봉 형상으로 형성될 수 있다. 수직이동부재(87)는 4개로 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
수직이동부재(87)는 상부에서 연결부재(88)와 연결됨으로써 두께조절부재(50)와 연결될 수 있다. 또한 수직이동부재(87)는 하부에서 전달부재(89)와 연결됨으로써 공압실린더(81)의 힘을 받아 상하방향으로 이동될 수 있다.
이때 전달부재(89) 및 공압실린더(81)는 상부프레임(11)의 하부에 설치될 수 있다. 또한 전달부재(89) 및 연결부재(88)는 판 형상으로 형성됨으로써 복수개의 수직이동부재(87)가 함께 상하방향으로 이동될 수 있도록 한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치의 미세손잡이를 도시한 사시도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 연결부재(88)의 상부측에는 제1 결합부재(95)를 통해서 미세손잡이(91)가 결합될 수 있다. 이때 미세손잡이(91)는 제1 결합부재(95)의 상부측에 결합될 수 있다. 제1 결합부재(95)의 내측면에는 미세이동부재(97)가 상하방향으로 이동될 수 있도록 설치될 수 있다.
이때, 미세손잡이(91)의 상단부를 회전시키면 미세손잡이(91)의 하단부에 형성된 미세가압부재(93)가 상하방향으로 이동될 수 있다. 미세가압부재(93)는 미세이동부재(97)의 상단면을 선택적으로 가압함으로써 미세이동부재(97)을 상하방향으로 미세하게 이동시킬 수 있다.
도 7을 참고하면 미세이동부재(97)는 제2 결합부재(99)와 결합될 수 있다. 이때 제2 결합부재(99)의 하부측에는 두께조절부재(50)가 결합됨으로써 미세이동부재(97)의 이동으로 인해서 제2 결합부재(99) 및 두께조절부재(50)가 미세하게 상하방향으로 이동될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코팅 장치(1)는 미세손잡이(91)를 포함하여 공압실린더(81)를 통해 1차적으로 기판(3)과 두께조절부재(50)의 간격을 조절하고 2차적으로 미세한 범위의 간격을 조절할 수 있다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
1: 기판 코팅 장치 3 : 기판
5 : 약액 10 : 프레임부
11 : 상부프레임 13 : 하부프레임
15 : 연결프레임 20 : 기판스테이지
21 : 진공홀 23 : 진공배관
25 : 히팅부재 27 : 측정부재
30 : 분사부 32 : 분사노즐
34 : 약액관 36 : 실린지 펌프
40 : 제어부
50 : 두께조절부재 52 : 분사구
60 : 이송부 70 : 수평이송부
71 : 지지부재 72 : 케이스
72a : 가이드홈 72b: 가이드레일
73 : 구동모터 75 : 축부재
76 : 수평이동부재 77 : 레일부재
77a : 이동홀 78 : 이동체인
80 : 수직이송부 81 : 공압실린더
83 : 고정봉부재 85 : 고정판부재
87 : 수직이동부재 88 : 연결부재
89 : 전달부재
91 : 미세손잡이 93 : 미세가압부재
95 : 제1 결합부재 97 : 미세이동부재
99 : 제2 결합부재

Claims (10)

  1. 기판의 표면에 약액을 균일하게 도포시키는 기판 코팅 장치로서,
    상기 기판을 위치 고정시키는 기판스테이지;
    상기 기판스테이지에 고정된 상기 기판의 표면에 약액을 도포하는 분사부;
    상기 약액이 도포된 상기 기판의 일면에 이격 배치되어 상기 약액의 두께를 상기 기판과 두께조절부재 사이의 간격으로 조절하는 두께조절부재 및
    상기 두께조절부재와 상기 기판스테이지를 상대적으로 이동시켜 약액을 균일하게 도포시키는 이송부를 포함하고,
    상기 이송부는
    상기 두께조절부재를 1차적으로 상하방향으로 이동시키는 수직이송부 및
    상기 기판스테이지를 전후방향으로 이동시켜서 상기 기판에 도포된 약액이 상기 두께조절부재를 통과함으로써 상기 약액의 두께가 균일하도록 하는 수평이송부를 포함하며,
    상기 두께조절부재와 결합되어 2차적으로 상기 두께조절부재를 상하방향으로 이동시키도록 형성된 미세이동부재;
    상기 미세이동부재의 일면을 선택적으로 가압함으로써 상기 미세이동부재를 상하방향으로 이동시키는 미세가압부재 및
    상기 미세가압부재와 연결되고 상기 미세가압부재를 미세하게 상하방향으로 이동시키기 위해서 회전되도록 형성된 미세손잡이를 포함하는 기판 코팅 장치.
  2. 제1 항에 있어서
    상기 분사부는
    상기 기판의 표면에 약액을 분사하고 상기 두께조절부재의 일측에 결합되어 상기 두께조절부재의 타측에 형성된 분사구를 통해서 약액을 분사하는 분사노즐 및
    상기 분사노즐과 액액관으로 연결되고 상기 액액을 상기 분사노즐에 제공하는 실린지 펌프를 포함하는 기판 코팅 장치.
  3. 제1 항에 있어서
    상기 두께조절부재는 바 형상 또는 판 형상으로 형성되는 기판 코팅 장치.
  4. 제1 항에 있어서
    상기 기판스테이지는 일측에 설치되어 상기 기판스테이지가 이동할 때 이탈되지 않도록 이동을 제한할 수 있는 이동체인을 포함하는 기판 코팅 장치.
  5. 제1 항에 있어서
    상기 수직이송부는
    상기 두께조절부재와 결합되는 수직이동부재 및
    상기 수직이동부재를 상하방향으로 이동시키는 공압실린더를 포함하는 기판 코팅 장치.
  6. 제5 항에 있어서
    상기 기판스테이지가 일면에 고정되는 상부프레임;
    상기 상부프레임의 타면에 결합되어 상기 공압실린더를 고정시키는 고정봉부재 및
    상기 수직이동부재의 일측에 결합되어 상기 공압실린더의 힘을 상기 수직이동부재에 전달하는 전달부재를 포함하는 기판 코팅 장치.
  7. 제4 항에 있어서
    상기 수평이송부는
    상기 기판스테이지와 결합되어 상기 기판스테이지를 이동시키는 수평이동부재;
    상기 수평이동부재와 나사 결합되고 외측면에 나사산이 형성되어 상기 수평이동부재가 상기 나사산을 따라서 이동되도록 하는 축부재 및
    상기 축부재를 회전시키는 구동모터를 포함하는 기판 코팅 장치.
  8. 제7 항에 있어서
    상기 축부재가 내부에 위치하는 케이스;
    상기 케이스의 상부측에 형성되는 가이드레일 및
    상기 수평이동부재의 상단부에 결합되고 상기 가이드레일을 따라서 이동 가능하도록 형성되는 레일부재를 포함하는 기판 코팅 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    수직이동부재의 타측에 결합되는 판 형상의 연결부재 및
    일측은 상기 연결부재와 결합되고 타측은 상기 미세손잡이와 결합되고 내면에는 상기 미세이동부재가 상하방향으로 이동되도록 설치되는 제1 결합부재를 포함하는 기판 코팅 장치.
  10. 제1 항에 있어서
    상기 기판스테이지 내부에 형성되어 상기 기판상에 도포된 상기 약액이 경화되는 시간을 조절하기 위해 상기 약액에 열을 가하는 히팅부재를 포함하는 기판 코팅 장치.
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