KR102010067B1 - 산업용 가스 제조 설비 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 대기 중의 공기를 압축시켜 압축 공기를 공급하는 공기 압축기와, 압축 공기에 포함된 H2O와 CO2를 제거하는 흡착기와, H2O와 CO2가 제거된 압축 공기를 초저온의 한냉 가스와 열교환하는 열교환기와, 열교환된 압축 공기의 압력을 승압하는 공기 송풍기와, 승압된 압축 공기를 액산 펌프에서 공급된 액산과 열교환하는 액산 기화기와, 액산 기화기를 거친 압축 공기와 열교환된 압축 공기를 공급받고, 압축 공기들에 포함된 산업용 가스의 비점차에 기초하여 산업용 가스를 농축 및 정제하는 정류 장치와, 열교환된 압축 공기를 정류 장치에 공급하기 위한 메인 밸브와, 공기 송풍기로 공급되는 압축 공기를 액산 기화기로 바이패스하는 바이패스 밸브와, 송풍기의 이상이 발생하였을 때, 공기 송풍기로의 압축 공기의 인입 및 인출을 차단하고, 바이패스 밸브를 개방하여 압축 공기를 액산 기화기로 바이패스시키고, 메인 밸브의 개도율을 감소시키고, 공기 압축기로부터의 압축 공기의 토출 압력을 상승시키는 제어부를 포함하는 산업용 가스 제조 설비 및 이를 이용한 산업용 가스 제조 방법을 제공한다.

Description

산업용 가스 제조 설비 및 방법{EQUIPMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING INDUSTRIAL GASES}
본 발명은 산업용 가스 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대기 중 공기를 압축하여 산업용 가스(산소, 질소, 아르곤 등)를 제조하는 설비를 이용하여 산업용 가스를 제조하는 방법에 관한 것이다.
철강 플랜트 등에서는 각 공정에 사용되는 산소, 질소, 아르곤 등과 같은 산업용 가스의 수요가 많아 이를 안정적으로 공급하기 위하여 산업용 가스 제조 설비를 이용한다.
이러한 산업용 가스 제조 설비에서는 열교환기를 통해 공급받은 공기의 압력을 승압하여 액산 기화기에 공급하는 공기 송풍기가 이상이 발생하는 경우에는 정상적인 산업용 가스 제조 설비 운영이 어려워 전체 설비를 정지해야 하는 문제점이 있다.
따라서, 공기 송풍기에 이상이 생기는 경우에도 산업용 가스를 계속 제조할 수 있는 산업용 가스 제조 설비 및 방법이 요구된다.
공개특허공보 제10-2017-0104352호(2017.09.15)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 공기 송풍기에 이상이 생기는 경우에도 산업용 가스를 계속 제조할 수 있는 산업용 가스 제조 설비 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
일 양태에서, 본 발명의 일 실시예는, 대기 중의 공기를 압축시켜 압축 공기를 공급하는 공기 압축기와, 압축 공기에 포함된 H2O와 CO2를 제거하는 불순물 흡착기와, H2O와 CO2가 제거된 압축 공기를 초저온의 한냉 가스와 열교환하는 열교환기와, 열교환된 압축 공기의 압력을 승압하는 공기 송풍기와, 승압된 압축 공기를 액산 펌프에서 공급된 액산과 열교환하는 액산 기화기와, 액산 기화기를 거친 압축 공기와 열교환된 압축 공기를 공급받고, 압축 공기들에 포함된 산업용 가스의 비점차에 기초하여 산업용 가스를 농축 및 정제하는 정류 장치와, 열교환된 압축 공기를 정류 장치에 공급하기 위한 메인 밸브와, 공기 송풍기로 공급되는 압축 공기를 액산 기화기로 바이패스하는 바이패스 밸브와, 송풍기의 이상이 발생하였을 때, 공기 송풍기로의 압축 공기의 인입 및 인출을 차단하고, 바이패스 밸브를 개방하여 압축 공기를 액산 기화기로 바이패스시키고, 메인 밸브의 개도율을 감소시키고, 공기 압축기로부터의 압축 공기의 토출 압력을 상승시키는 제어부를 포함하는 산업용 가스 제조 설비를 제공한다.
일 실시예에서, 제어부는, 공기 송풍기의 이상 발생시, 액산 기화기로 공급되는 압축 공기의 압력이 공기 송풍기의 정상 동작시에 액산 기화기로 공급되는 압축 공기의 압력과 동일하게 되도록 공기 압축기로부터의 압축 공기의 토출 압력과 메인 밸브의 개도율을 조정할 수 있다.
일 실시예에서, 액산 펌프는, 정류 장치에서 생산된 액산을 액산 기화기로 공급할 수 있다.
다른 양태에서, 본 발명의 일 실시예는, 대기 중의 공기를 압축시켜 압축 공기를 공급하는 공기 압축기와, 압축 공기에 포함된 H2O와 CO2를 제거하는 불순물 흡착기와, H2O와 CO2가 제거된 압축 공기를 초저온의 한냉 가스와 열교환하는 열교환기와, 열교환된 압축 공기의 압력을 승압하는 공기 송풍기와, 승압된 압축 공기를 액산 펌프에서 공급된 액산과 열교환하는 액산 기화기와, 액산 기화기를 거친 압축 공기와 열교환된 압축 공기를 공급받고, 압축 공기들에 포함된 산업용 가스의 비점차에 기초하여 산업용 가스를 농축 및 정제하는 정류 장치와, 열교환된 압축 공기를 정류 장치에 공급하기 위한 메인 밸브와, 공기 송풍기로 공급되는 압축 공기를 액산 기화기로 바이패스하는 바이패스 밸브를 포함하는 산업용 가스 제조 설비를 이용하여 산업용 가스를 제조하는 산업용 가스 제조 방법에 있어서, 공기 송풍기의 이상 발생을 검출하였을 때, 공기 송풍기로의 압축 공기의 인입 및 인출을 차단하는 단계와, 바이패스 밸브를 개방하여 압축 공기를 공기 송풍기로부터 바이패스시키는 단계와, 메인 밸브의 개도율을 감소시키는 단계와, 공기 압축기로부터의 압축 공기의 토출 압력을 상승시키는 단계를 포함하는 산업용 가스 제조 방법을 제공한다.
일 실시예에서, 산업용 가스 제조 방법은, 공기 송풍기의 이상 발생시, 액산 기화기로 공급되는 압축 공기의 압력이 공기 송풍기의 정상 동작시에 액산 기화기로 공급되는 압축 공기의 압력과 동일하게 되도록 공기 압축기로부터의 압축 공기의 토출 압력과 메인 밸브의 개도율을 조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 액산 펌프는, 정류 장치에서 생산된 액산을 액산 기화기로 공급할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 산업용 가스 제조 설비 및 방법에 의하면, 공기 송풍기에 이상이 생기는 경우에도 산업용 가스를 계속 제조할 수 있다.
본 발명의 실시예가, 유사한 요소가 유사하거나 동일한 도면 부호로 도시된 다음과 같은 도면을 참조하여 설명된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 산업용 가스 제조 설비의 개략도를 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 산업용 가스 제조 방법의 순서도를 도시한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 산업용 가스 제조 설비 및 방법을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 산업용 가스 제조 설비(10)의 개략도를 도시한다. 본 발명에 따른 산업용 가스 제조 설비(10)는, 산소, 질소 아르곤 등과 같은 산업용 가스를 제조하기 위하여, 대기 중의 공기를 압축하여 산업용 가스를 제조하는 설비이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 산업용 가스 제조 설비(10)는, 산업용 가스 제조를 위한 설비(10)는 공기 압축기(1)와, 불순물 흡착기(2)와, 열교환기(3)와, 공기 송풍기(4)와, 액산 기화기(5)와, 정류 장치(6)와, 메인 밸브(7)와, 바이패스 밸브(8)와, 제어부(도면에는 미도시) 등을 포함한다.
공기 압축기(1)는 대기로부터의 공기를 다단 압축/냉각 과정을 거쳐 고압의 압축 공기를 생성한다. 공기 압축기(1)에서 압축된 공기는 공기 압축기(1)의 하단에 마련된 불순물 흡착기(2)로 공급된다. 불순물 흡착기(2)는 공기 압축기(1)에서 공급된 압축 공기 속에 함유된 수분(H20)과 이산화탄소(CO2)를 제거한다. 흡착기(2)의 내부에는 통상적으로 흡착제가 알루미나겔이나 몰시브겔과 같은 흡착제가 충전되고, 이러한 흡착제가 수분 및 기타 불순물을 흡착하여 후공정으로 이송되지 못하게 하여, 공기 중의 질소, 산소, 아르곤 등의 필요로 하는 성분만 후공정으로 이송한다.
불순물 흡착기(2)에서 불순물이 제거된 압축 공기는 열교환기(3)와 공기 송풍기(4)로 이송된다. 열교환기(3)는 공기 압축기(1)에서 압축된 상온의 송입 공기와 정류 장치(6)에서 발생되는 초저온의 한랭 가스(저순도 질소, 산소, 질소, 아르곤 등)가 열교환하여, 상온(통상의 공정에서는 15℃ 내외)의 압축 공기는 열교환기(3)를 통과하면서 저온인 -170℃까지 하락하게 되고, -170℃의 한랭 가스는 압축 공기와 열교환하여 상온으로 상승하게 된다.
공기 송풍기(4)는 불순물 흡착기(2)로부터 압축 공기를 공급받고, 압축 공기의 압력을 기설정된 압력으로 승압시켜 액산 기화기(5)로 공급한다. 일 실시예에서, 공기 송풍기(4)로부터의 승압된 공기는 액산 기화기(5)에서 요구되는 온도로 열교환기(3)를 통해 열교환될 수 있다. 액산 기화기(5)로 공급된 압축 공기는 액산 펌프(9)로부터 공급된 정류 장치(6)에서 생산된 액산과 열교환한다. 액산 기화기(5)에서, 공기 송풍기(4)로부터의 압축 공기가 저온의 액산과 열교환하여 저온의 압축 공기로서 정류 장치(6)로 공급되고, 액산 펌프(9)로부터의 액산은 공기 송풍기(4)로부터의 압축 공기와 열교환하여 산소 가스로서 공급된다. 따라서, 액산 기화기(5)는 압축 공기와의 열교환에 의해 정류 장치(6)에서 생산된 액산을 산소 가스로 변환하여 공급하는 역할을 한다.
메인 밸브(7)는 열교환기(3)에서 열교환된 압축 공기를 정류 장치(6)에 공급하는 밸브이다. 메인 밸브(7)의 개도율을 조절함으로써 정류 장치(6)에 공급되는 압축 공기의 유량을 조절할 수 있다.
바이패스 밸브(8)는 공기 압축기(1)로부터 공기 송풍기(4)로 공급되는 압축 공기를 액산 기화기(5)로 바이패스한다.
한편, 정류 장치(6)는 액산 기화기(5)에서 액산과 열교환된 압축 공기와 열교환기(3)에서 열교환된 압축 공기를 공급받아 공기를 구성하는 가스(산소, 질소, 아르곤 등)의 압력과 온도에 따른 비점차를 이용하여 각 가스를 정류 장치(6)의 특정 위치에 농축하고 정제하는 과정을 연속적으로 반복하여, 산소, 질소, 아르곤 등의 가스를 생산하는 장치이다. 예로서, 정류 장치는 메인 컬럼, 사이드 컬럼, 순아르곤(pure argon) 컬럼으로 분류되고, 각 컬럼은 상탑, 하탑, 리보일러 콘덴서(re-boiler Condenser), 정류 트레이를 구비하며, 과냉기, 액산 및 조아르곤 처리 펌프 등이 설치되어 있다.
메인 컬럼의 정류 과정을 설명하면 다음과 같다. 정류 장치 하탑으로 -174 ℃, 5kg/Cm2 압축 공기가 송입되고, 하탑 상부에는 상탑과 하탑이 열교환될 수 있도록 리보일러 콘덴서가 설치되어 상탑의 -180 ℃ 액체 산소와 열교환하고, 하탑의 공기는 상탑의 차가운 액체 산소에 의해 온도가 하락하여 액화되고, 상탑의 액체 산소는 하탑의 뜨거운 공기 열량을 얻어 기화되는 상호 잠열 교환을 한다. 이에 의해, 높은 압력의 하탑 공기는 액화되어 하부 트레이로 흘러 상승하는 혼합 공기 중 산소 성분 다량을 액화시켜 하탑 상부에는 질소 성분의 가스만 남게 된다. 상탑에서는 액산 중에 있는 질소, 아르곤 성분의 가스는 비점이 산소보다 낮기 때문에, 먼저 기화되어 상탑 상부에 자리하게 되고, 상탑 하부에는 99.5% 이상의 산소로 정제된다.
하탑의 상부에는 순질소가 형성되고, 중부에는 저순도 순질소 층이 형성되며, 하부에는 산소 성분이 약 40%에 상당하는 액체 공기가 농축된다. 정류 장치의 상탑 운전에서, 하탑에서 생성된 순액체 질소, 저순도 순액체 질소질, 액체 공기를 상탑 트레이의 상부, 중상부, 중부에 각각 적정 유량으로 배분하는 경우, 상탑의 정류도 하탑 정류 과정에서와 같이 최상부에 순질소층이 형성되고(순도 10ppm 이하), 그 아래에 저순도 순질소층이 형성되고(산소 함량 약 2.4%), 그 하단에 조아르곤 층이 형성되고 최하부에 산소층과 액체 산소가 형성된다.
사이드 컬럼의 정류과정을 설명하면 다음과 같다. 아르곤은 대기 중에 0.93% 밖에 존재하지 않으므로 메인 컬럼 상탑에서 8%로 농축된 알곤 가스를 상탑과 연결된 사이드 컬럼으로 송입하고 비점이 높은 산소 성분은 보일러 콘덴서에서 컬럼 상부의 액체 공기와 열교환하여 액화되어 트레이 하부로 모이게 되고, 이 액체 산소는 다시 메인 컬럼의 상탑으로 되돌려 보내고, 아르곤 성분은 비점이 낮기 때문에 트레이를 통과하면서 기화되어 컬럼 상부에 모이게 된다. 이러한 과정이 반복되면 8%의 아르곤 성분은 99.3% 이상의 아르곤 성분으로 농축된다.
순아르곤 컬럼의 정류 과정을 설명하면 다음과 같다. 사이드 컬럼에서 생산된 99.3% 의 아르곤 성분 외의 0.7%에 상당하는 질소 성분을 제거해야 하는데 순아르곤 정류탑 장치에서 리보일러 콘덴서를 통하여 메인 컬럼에서의 정류 과정과 유사하게 아르곤 성분 외의 질소는 비점차를 이용하여 비등시켜 외부로 제거하고, 이에 의해 99.999% 이상의 순알곤 제품을 생산하게 된다.
이와 같은 산업용 가스 제조 설비에서, 상탑의 최하부에 생성된 액체 산소(액산)는 전술한 바와 같이 액산 펌프를 통해 액산 기화기(5)에서 압축 공기와의 열교환을 통해 산소 가스로 기화되어 산소를 생산하게 된다. 따라서, 액산 기화기(5)에서 액산과의 교환에 사용되는 압축 공기를 액산 기화기(5)에 공급하는 공기 송풍기(4)에 이상이 생기는 경우, 산소 가스를 생산할 수 없게 되므로, 전체 설비의 가동을 중단하고 공기 송풍기(4)의 수리하여야 한다.
공기 송풍기(4)에 이상이 발생한 경우, 제어부는 먼저 공기 송풍기(4)로의 압축 공기의 인입 및 인출을 차단한다. 예를 들어, 공기 송풍기(4)의 인입측과 인출측에는 각각 인입 밸브와 인출 밸브가 구비될 수 있으며, 이 밸브들을 닫는 것으로 공기 송풍기(4)의 동작을 디스에이블시킬 수 있다. 그 다음, 제어부는 바이패스 밸브(8)를 개방하여 압축 공기를 액산 기화기(5)로 바이패스시킨다. 그 다음, 제어부는 메인 밸브(7)의 개도율을, 예를 들어, 기설정된 양만큼, 감소시키고, 공기 압축기(1)로부터의 압축 공기의 토출 압력을, 예를 들어, 기설정된 양만큼, 상승시킨다.
전술한 바와 같이, 공기 송풍기(4)는 공기 압축기(1)로부터 공급된 압축 공기의 압력을 기설정된 압력으로 승압시켜 액산 기화기(5)로 공급한다. 따라서, 공기 송풍기(4)의 이상 발생시 압축 공기를 바이패스 밸브(8)를 통해 바이패스시키면, 액산 기화기(5)로 공급되는 압축 공기의 압력이 이전에 비하여 감소되지만, 메인 밸브(7)의 개도율을, 예를 들어 100%에서 33%로, 감소시키면, 공기 압축기(1)로부터 공기 송풍기(4), 즉 바이패스 밸브(8)로 향하는 압축 공기의 압력도 상승하므로, 액산 기화기(5)로 공급되는 압축 공기의 압력이 상승한다. 또한, 이 경우에, 제어부는 공기 압축기(1)에서 공급되는 압축 공기의 압력도 이전보다 상승시키고, 이에 따라 액산 기화기(5)로 공급되는 압축 공기의 압력이 더 상승하게 된다.
일 실시예에서, 제어부는, 공기 송풍기(4)의 이상 발생시, 액산 기화기(5)로 공급되는 압축 공기의 압력이 공기 송풍기(4)의 정상 동작시에 액산 기화기(5)로 공급되는 압축 공기의 압력과 동일하게 되도록 공기 압축기(1)로부터의 압축 공기의 토출 압력과 메인 밸브(8)의 개도율을 조정할 수 있다.
이러한 과정을 통하여, 액산 기화기(5)에 공급되는 압축 공기의 압력이 공기 송풍기(4)의 이상 발생 전의 압력, 즉 정상 동작시의 압력과 동일하게 상승할 수 있어, 액산 기화기(5)에서 액산 펌프(9)로부터의 액산과 공기 송풍기(4)로부터의 압축 공기의 열교환에 의해 정상적인 산소의 생산이 가능하게 된다.
다음으로, 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 산업용 가스 제조 방법을 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 산업용 가스 제조 방법의 순서도를 도시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 산업용 가스 제조 방법은 도 1에 도시된 산업용 가스 제조 설비를 이용하여 산업용 가스를 제조하는 방법일 수 있으며, 따라서, 도 1의 산업용 가스 제조 설비(10)를 참조하여 설명한다. 방법은 공기 송풍기(4)의 이상을 검출하는 단계 S10에서 시작한다. 공기 송풍기(4)의 이상이 검출된 경우(S10-예), 방법은 단계 S11로 진행하여, 공기 송풍기(4)로의 압축 공기의 인입과 공기 송풍기로부터의 압축 공기의 인출을 차단한다.
다음으로, 단계 S12에서, 바이패스 밸브(8)를 개방하여 공기 송풍기(4)로의 압축 공기를 액산 기화기(5)로 바이패스한다. 그 다음, 단계 S13에서 메인 밸브(8)의 개도율을 감소시키고, 단계 S14에서 공기 압축기(1)로부터의 압축 공기의 토출 압력을 상승시킨다.
다음으로, 단계 S15에서, 액산 기화기(5)로 공급되는 압축 공기의 압력이 공기 송풍기(4)의 정상 동작시에 액산 기화기(5)로 공급되는 압축 공기의 압력과 동일한지 판단하고, 동일하면(S15-예) 본 방법은 종료한다. 동일하지 않은 경우(S15-아니오), 단계 S16에서, 메인 밸브(8)의 개도율과 공기 압축기로부터의 압축 공기의 토출 압력을 조정하고, 단계 S15로 복귀한다.
이러한 과정을 통하여, 액산 기화기(5)에 공급되는 압축 공기의 압력이 공기 송풍기(4)의 이상 발생 전의 압력과 동일하게 상승할 수 있어, 액산 기화기(5)에서 정상적인 산소의 생산이 가능하게 된다.
이상, 본 발명을 실시예를 이용해 설명하였지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시예에 기재된 범위로 한정되지는 않는다. 상기 실시예에, 다양한 변경 또는 개량을 더할 수 있다는 것이 당업자에게 분명하다. 그와 같은 변경 또는 개량을 더한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이 특허청구범위의 기재로부터 분명하다.
10: 산업용 가스 제조 설비
1: 공기 압축기
2: 불순물 흡착기
3: 열교환기
4: 공기 송풍기
5: 액산 기화기
6: 정류 장치
7: 메인 밸브
8: 바이패스 밸브
9: 액산 펌프

Claims (6)

  1. 대기 중의 공기를 압축시켜 압축 공기를 공급하는 공기 압축기;
    상기 압축 공기에 포함된 H2O와 CO2를 제거하는 불순물 흡착기;
    H2O와 CO2가 제거된 상기 압축 공기를 초저온의 한냉 가스와 열교환하는 열교환기;
    열교환된 상기 압축 공기의 압력을 승압하는 공기 송풍기;
    승압된 상기 압축 공기를 액산 펌프에서 공급된 액산과 열교환하는 액산 기화기;
    상기 액산 기화기를 거친 상기 압축 공기와 상기 열교환된 상기 압축 공기를 공급받고, 상기 압축 공기에 포함된 산업용 가스의 비점차에 기초하여 상기 산업용 가스를 농축 및 정제하는 정류 장치;
    상기 열교환된 상기 압축 공기를 상기 정류 장치에 공급하기 위한 메인 밸브;
    상기 공기 송풍기로 공급되는 상기 압축 공기를 상기 액산 기화기로 바이패스하는 바이패스 밸브; 및
    상기 공기 송풍기의 이상이 발생하였을 때, 상기 공기 송풍기로의 상기 압축 공기의 인입 및 인출을 차단하고, 상기 바이패스 밸브를 개방하여 상기 압축 공기를 상기 액산 기화기로 바이패스시키고, 상기 메인 밸브의 개도율을 감소시키고, 상기 공기 압축기로부터의 상기 압축 공기의 토출 압력을 상승시키는 제어부
    를 포함하는,
    산업용 가스 제조 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 공기 송풍기의 이상 발생시, 상기 액산 기화기로 공급되는 상기 압축 공기의 압력이 상기 공기 송풍기의 정상 동작시에 상기 액산 기화기로 공급되는 상기 압축 공기의 압력과 동일하게 되도록 상기 공기 압축기로부터의 상기 압축 공기의 토출 압력과 상기 메인 밸브의 개도율을 조정하는,
    산업용 가스 제조 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 액산 펌프는, 상기 정류 장치에서 생산된 액산을 상기 액산 기화기로 공급하는,
    산업용 가스 제조 설비.
  4. 대기 중의 공기를 압축시켜 압축 공기를 공급하는 공기 압축기와, 상기 압축 공기에 포함된 H2O와 CO2를 제거하는 불순물 흡착기와, H2O와 CO2가 제거된 상기 압축 공기를 초저온의 한냉 가스와 열교환하는 열교환기와, 열교환된 상기 압축 공기의 압력을 승압하는 공기 송풍기와, 승압된 상기 압축 공기를 액산 펌프에서 공급된 액산과 열교환하는 액산 기화기와, 상기 액산 기화기를 거친 상기 압축 공기와 상기 열교환된 상기 압축 공기를 공급받고, 상기 압축 공기에 포함된 산업용 가스의 비점차에 기초하여 상기 산업용 가스를 농축 및 정제하는 정류 장치와, 상기 열교환된 상기 압축 공기를 상기 정류 장치에 공급하기 위한 메인 밸브와, 상기 공기 송풍기로 공급되는 상기 압축 공기를 상기 액산 기화기로 바이패스하는 바이패스 밸브를 포함하는 산업용 가스 제조 설비를 이용하여 산업용 가스를 제조하는 산업용 가스 제조 방법에 있어서, 상기 공기 송풍기의 이상 발생을 검출하였을 때,
    상기 공기 송풍기로의 상기 압축 공기의 인입 및 인출을 차단하는 단계;
    상기 바이패스 밸브를 개방하여 상기 압축 공기를 상기 공기 송풍기로부터 바이패스시키는 단계;
    상기 메인 밸브의 개도율을 감소시키는 단계; 및
    상기 공기 압축기로부터의 상기 압축 공기의 토출 압력을 상승시키는 단계
    를 포함하는,
    산업용 가스 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 공기 송풍기의 이상 발생시, 상기 액산 기화기로 공급되는 상기 압축 공기의 압력이 상기 공기 송풍기의 정상 동작시에 상기 액산 기화기로 공급되는 상기 압축 공기의 압력과 동일하게 되도록 상기 공기 압축기로부터의 상기 압축 공기의 토출 압력과 상기 메인 밸브의 개도율을 조정하는 단계를 더 포함하는,
    산업용 가스 제조 방법.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 액산 펌프는, 상기 정류 장치에서 생산된 액산을 상기 액산 기화기로 공급하는,
    산업용 가스 제조 방법.
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