KR102009089B1 - 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼 - Google Patents

Abstract

가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼가 개시된다. 본 발명에 의한 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼는 진동체로부터 진동을 감지하여 진동신호를 위상반전기로 인가하는 센서; 상기 진동신호를 상쇄시키는 대응신호를 실시간으로 생성하여 출력하는 위상반전기; 및 상기 위상반전기로부터 인가된 대응신호에 따라 구동되는 액추에이터를 포함한다. 이때, 액추에이터에 의하여 가공장비의 표면에 역상의 대응신호를 인가함으로써 가공장비로부터 발생되는 진동을 실시간으로 상쇄한다.

Description

가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼{Active damper for canceling vibration of manufacturing equipments}

본 발명은 가공장비의 진동을 제어하기 위한 액티브 댐퍼에 관한 것이다. 더 구체적으로는 가공장비의 진동을 감지하여 위상반전한 다음 액추에이터로 위상반전된 신호를 공급하여 진동을 상쇄하는 능동댐퍼에 관한 것이다.

일반적으로 진동은 회전체의 회전에 의하여 발생하는 원심력이나 구조물 내외의 충격으로부터 발생되어 구조물 전체로 전달된다.

진동은 작동 속도의 제곱에 비례하여 증가하는데, 산업발전에 따라 가공 및 이송속도가 크게 빨라지고 있어 진동으로 인한 정밀 성형, 절삭 가공장비의 생산성이나 내구성 저하의 가장 중요한 원인이 되고 있을 뿐 아니라, 검사 장비의 측정효율저하 및 오류 발생에도 큰 영향을 미치고 있다.

이에 따라, 최근에는 가공장비의 진동 억제가 매우 중요한 이슈로 부각되고 있다.

예컨대, 반도체 및 디스플레이 산업의 경우 웨이퍼 및 패널의 표면 사양이 급속도로 엄격해지고 있으며, 이에 따라 웨이퍼 가공 및 검사 공정에서 허용진동 또한 매우 엄격해지고 있다. 표면 사양의 강화로 인해 상당수의 기존 장비들은 교체가 필요한 실정이다.

이외에, 태양광 전지 산업의 근간이 되는 잉곳(Ingot) 생산을 위한 그로워(Grower)와 잉곳 가공 및 절단장비에서도 태양전지 웨이퍼 품질 향상 및 결정 성장의 균질성 확보를 위해 장비의 진동 제어가 매우 중요하다. 소잉(Sawing) 작업시 진동으로 인해 잉곳 절단면에 평행한 힘(Shear Stress)외의 수직방향 힘(Normal Stress)이 인가되어 파손(Breakage)이 발생하는 문제가 있다.

뿐만 아니라, 금속공업 분야 전반에 걸쳐 널리 사용되는 압연 및 압출기의 경우에도 압연속도에 비례하여 진동이 증가하는데, 진동 발생으로 인해 가공면에 필수적인 응력이외의 추가응력이 인가되어 제품 표면에 미세한 크랙이 일어나는 등 수율저하의 주요 원인이 되고 있다.

이외에도 진동은 제조공정 가운데 생산성 감소, 불량증가, 산업재해로 인한 인명사고에 이르기까지 다양한 문제점을 발생시킨다.

이와 같은 진동의 제어를 위해 댐퍼가 가장 일반적으로 사용되고 있다. 댐퍼는 수동 댐퍼(Passive Damper)와 능동댐퍼(Active Damper)로 분류된다.

도 1은 종래기술에 의한 수동 댐퍼의 구조를 도시하며, 도 2는 종래기술에 의한 능동댐퍼의 구조를 도시한다.

수동 댐퍼는, 스프링이나 진동흡수재를 진동부위에 추가하여 진동하는 물체의 내부 응력, 마찰 에너지를 소산시켜 진동을 흡수하는 장치이다. 그런데, 수동 댐퍼를 설치할 경우 구조물의 강성이 낮아져, 경우에 따라 진동의 전체적인 크기가 더 커질 수도 있으므로, 제품 품질 및 내구성 신뢰도가 저하될 수 있다.

한편, 일반적으로 능동댐퍼는, 감지된 진동신호를 주파수분석기에 전달하여 진동신호를 분석하고, 이 진동신호를 억제할 수 있는 대응신호를 신호발생기를 통하여 발생시켜 액추에이터로 전달함으로써 진동을 경감시키는 장치이다.

하지만, 주파수 분석기는 가격이 고가이며 연산과정이 복잡하여 신호를 분석하는 과정에만 2~4초(시간영역 신호를 주파수영역 신호로 전환하는 시간)가 소요되어 진동 발생 후 수십 주기(주파수가 10Hz일 경우 20~40주기)가 지난 후에야 비로서 반응이 가능해지므로 실시간 진동제어가 불가능 하여 제어 효율이 낮은 한계가 있다.

문헌 1. 일본등록특허 제5632701호, "アクティブ除振裝置(액티브제진장치)" 문헌 2. 미국등록특허 US7,047,109, "MACHINERY FOR IMPROVING PERFORMANCE IRREGULARITIES ARISING FROM VIBRATIONS" 문헌 3. 일본공개특허 특개2009-114821호, "建物用制振裝置(건물용제진장치)"

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은 가공장비로부터 발생하는 진동을 측정하고 실시간으로 위상반전된 역상의 신호를 생성하여 액추에이터에 공급함으로써 진동을 제어하는 능동댐퍼의 제공에 있다.

나아가, 고가의 주파수 분석기를 사용하지 않으므로 경제적이며, 부피가 작아 기존의 가공장비에 용이하게 설치가 가능한 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼의 제공을 목적으로 한다.

상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 본 발명에 의한 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼는 진동체로부터 진동을 감지하여 진동신호를 위상반전기로 인가하는 센서;

상기 진동신호를 상쇄시키는 대응신호를 실시간으로 생성하여 출력하는 위상반전기; 및

상기 위상반전기로부터 인가된 대응신호에 따라 구동되는 액추에이터를 포함한다.

이때, 액추에이터에 의하여 가공장비의 표면에 역상의 대응신호를 인가함으로써, 상기 가공장비의 진동을 상쇄시킨다.

한편, 상기 위상반전기는, 진동신호를 입력받는 입력부;

상기 진동신호를 상쇄시키는 대응신호를 생성하는 마이크로컨트롤러; 및

상기 마이크로컨트롤러의 제어에 따라 액추에이터 구동 전류량을 조절하는 전류 출력 조절 장치;를 구비할 수 있다.

한편, 상기 대응신호는 상기 진동신호의 전체에 대응하여 출력되는 것일 수 있다.

상기 액추에이터와 하우징 사이에 구비되어 상기 액추에이터로부터의 진동을 차단하는 제1 아이솔레이션, 고정부와 액추에이터 사이에 구비되어 액추에이터로부터의 진동을 차단하는 제2 아이솔레이션이 더 구비될 수 있다.

한편, 액추에이터는 가공장비에 결합되어 설치될 수 있으며, 가공장비와 분리되어 설치될 수도 있다. 후자의 경우, 상기 액추에이터는 가공장비 이외의 영역에 고정된 고정용 지그에 결합되어 고정됨이 바람직하다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼에 따르면, 진동신호를 그대로 반전시켜 대응하므로, 주파수분석기가 불필요하여 제조 단가를 크게 낮출 수 있다.

또한, 능동 댐핑 키트를 소형으로 제작하는 것이 가능해져 다양한 기존의 가공장비 라인에 설치하는 것이 가능해진다.

뿐만 아니라, 능동 댐핑 키트 내에서 주파수 분석을 수행하지 않으므로 분석에 소요되는 딜레이를 제거하는 것이 가능하여 진동에 대한 실시간 대응이 가능하다는 효과가 있다.

한편, 액추에이터를 진동체에서 분리하고 액추에이터 구동부와 능동 댐핑 키트 사이에 진동을 절연(Isolation)하도록 설계함으로써, 공진 발생 가능성을 미리 차단하여 정확한 진동 제어가 이루어질 수 있다는 효과가 있다.

도 1은 종래기술에 의한 수동 댐퍼의 구조를 도시하는 구성도이며,
도 2는 종래기술에 의한 능동댐퍼의 구조를 도시하는 구성도이며,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 능동댐퍼가 가공장비에 부착된 형태를 설명하는 개념도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 의한 능동댐퍼의 구조를 나타내는 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 의한 능동댐퍼의 구성요소간 연결관계를 설명하는 참고도이다.
도 6은 능동댐퍼의 일 구성요소인 위상반전기의 세부구성을 설명하는 구성도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 의한 능동댐퍼의 작동 과정을 설명하는 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 의한 액추에이터의 구조도이다.
도 9는 본 발명의 제1 실시예에 의한 PCB 사진이다.
도 10은 가공장비로부터 측정되는 진동신호를 나타낸 파형도이다.
도 11은 진동신호에 역상의 신호를 인가하여 진동 제어가 이루어지는 모습을 설명하는 파형도이다.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예 및 첨부하는 도면을 참고하여 본 발명을 상세히 설명하되, 도면의 동일한 참고부호는 동일한 구성요소를 지칭함을 전제하여 설명하기로 한다.

발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에서 어느 하나의 구성요소가 다른 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 당해 구성요소만으로 이루어지는 것으로 한정되어 해석되지 아니하며, 다른 구성요소들을 더 포함할 수 있는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에서 "~수단", "~부", "~모듈", "~블록"으로 명명된 구성요소들은 적어도 하나 이상의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이들 각각은 소프트웨어 또는 하드웨어, 또는 이들의 결합에 의하여 구현될 수 있다.

본 발명에서는, 진동체의 진동을 측정하고, 측정된 진동 신호의 반대 위상 신호를 공급함으로써 진동을 상쇄한다. 진동의 반대위상 신호를 공급하므로 능동 댐핑 키트에 고가의 주파수분석기를 설치할 필요가 없으며, 이에 따라 부피가 작고 경제적인 능동 댐핑 키트의 구성이 가능하게 된다. 이는 능동 댐핑 키트 내에 신호 분석 과정이 필요 없음을 의미하며, 따라서 기존 능동댐퍼의 문제점인 딜레이를 근본적으로 해결하여 실시간 대응이 가능하게 된다.

이하에서는 본 발명의 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼가 구현된 일 예를 특정한 실시예를 통해 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 능동댐퍼가 가공장비에 부착된 형태를 설명하는 개념도이다.

본 발명에 의한 능동댐퍼(100)는 바람직하게는 도 3에 예시된 바와 같이 진동을 발생시키는 진동체인 가공장비에 결합될 수 있으나, 가공장비로부터 분리되어 설치될 수도 있다.

능동댐퍼(100)가 가공장비에 결합되어 설치되는 경우에는, 액추에이터(130)와 하우징 사이에 진동 차단을 위한 아이솔레이션(Isolation), 즉 수동 댐퍼를 설치하여 액추에이터(130)의 진동이 진동체로 전달되는 것을 억제하여 공진을 차단할 수 있다.

능동댐퍼(100)가 가공장비로부터 분리되어 설치되는 경우에는, 별도의 고정용 지그(미도시)를 이용하여 진동 방향에 대응하여 적어도 하나 이상의 능동댐퍼(100)를 설치한다. 이때, 고정용 지그(미도시)는 가공장비 이외의 영역에 고정되는 것이 바람직하다.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 의한 능동댐퍼의 구성도이며, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 의한 능동댐퍼의 구성요소간 연결관계를 설명하는 참고도이다.

도 4에 의할 때, 본 발명의 능동댐퍼(100)는 진동체로부터 진동을 감지하여 진동신호를 전달하는 센서(110),

진동신호를 상쇄시키는 대응신호를 활성화하여 출력하는 위상반전기(120),

대응신호에 대응하여 구동되는 액추에이터(130)를 갖는다.

이외에, 액추에이터(130)와 위상반전기(120)가 실장되는 하우징(151), 하우징(151)을 가공장비의 일면으로부터 소정 거리 이격된 채 고정하는 고정부(152)를 더 구비할 수 있다.

한편, 액추에이터 본체(131)와 하우징(151)의 내측면에 사이에 구비되어 진동을 차단하는 제1 아이솔레이션(Isolation : 141), 상기 고정부(152)와 상기 하우징(151)의 사이 구간에 구비되어 액추에이터(130)로부터의 진동을 차단하는 제2 아이솔레이션(142)를 더 구비할 수 있다.

제1 아이솔레이션(141) 및 제2 아이솔레이션(142)은 종래기술에 의한 수동 댐퍼를 사용할 수 있다.

액추에이터(130)는 인가된 역상의 신호에 따라 액추에이터 구동부(132)를 왕복운동시키는 액추에이터 본체(130), 액추에이터 구동부(132)의 끝단부에 구비되어 가공장비에 직접 타격하는 어댑터(133)를 구비한다.

어댑터(133)는 가공장비 표면 형상에 대응하는 형상을 가진다. 예컨대, 가공장비 표면이 곡면인 경우, 어댑터(133) 또한 이와 동일한 곡면 형상을 갖도록 함으로써 액상의 대응신호가 정확하게 가공장비 표면으로 전달될 수 있도록 한다.

이러한 어댑터(133)는 실제 시공되는 가공장비 표면 형상에 따라 맞춤형으로 제작되며, 시공시에 액추에이터 구동부(132) 끝단에 고정된다.

한편, 고정부(142)가 가공장비의 외측면에 체결됨에 따라 센서(110)는 가공장비에 소정거리 이내로 이격된 채 고정된다. 가공장비로부터 진동이 발생함에 따라 센서(110)는 이를 감지하여 진동신호를 위상반전기(120)로 인가한다.

도 6은 능동댐퍼의 일 구성요소인 위상반전기의 세부구성을 도시한다.

위상반전기(120)는 센서(110)가 감지한 가공장비의 진동신호의 위상을 반대로 전환함으로써 역상의 신호를 생성하며, 입력부(121), 마이크로컨트롤러(122), 출력부(123) 및 전류 출력 조절 장치(124)를 구비한다.

입력부(121)는 센서(110)와 전기적으로 연결되며, 센서(110)로부터 진동신호를 입력받는다.

한편, 마이크로컨트롤러(122)는 입력받은 진동신호를 역상으로 반전함으로써 대응신호를 생성한다.

출력부(123)는 이와 같이 생성된 역상의 대응신호를 액추에이터(130)로 출력한다.

이때, 진동을 온전하게 상쇄시키기 위해서는 액추에이터 구동 전류량의 조절이 필요하다. 전류 출력 조절 장치(124)는 마이크로컨트롤러(122)의 제어에 따라 액추에이터(130) 구동 전류량을 조절한다.

이와 같은 구성을 갖는 위상반전기(120)는, 능동댐퍼(100) 내부에서 신호를 입/출력하며, 센서(110)와 액추에이터(130)간의 인터페이스 역할을 수행한다.

즉, 센서(110)에서 진동신호가 감지되면 마이크로컨트롤러(122)에서 대응신호를 발생시켜 액추에이터(130)로 공급하는 것이다.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에 의한 능동댐퍼의 작동 과정을 설명하는 흐름도이다.

도 7을 참고하면, 본 발명의 능동댐퍼의 작동 과정은 아래의 3단계로 대별될 수 있다.

- 1단계 : 가공장비의 진동을 측정

- 2단계 : 가공장비에서 발생한 진동을 위상반전기를 이용하여 위상반전

- 3단계 : 반전된 신호를 출력하여 액추에이터 구동

즉, 측정된 가공장비의 진동신호에 대한 주파수 분석 과정이 생략되며, 따라서 주파수 분석에 소요되는 시간만큼의 딜레이가 발생하는 기존 능동댐퍼의 문제가 근본적으로 해소된다.

도 8은 본 발명의 제1 실시예에 의한 액추에이터의 구조도이다.

액추에이터(130)는 일측 방향을 따라 왕복운동을 하는 액추에이터 구동부(moving component : 132)와 상기 액추에이터 구동부(132)의 적어도 일부가 실장되며, 위상반전기(120)로부터 인가된 대응신호에 따라 상기 액추에이터 구동부(132)를 구동하는 액추에이터 본체(131)를 갖는다.

액추에이터(130)는 도 8에 도시된 바와 같이 푸쉬 플레이트(Push Plate), 상기 푸쉬 플레이트 저면의 돌출부에 끼워지는 오링(O-ring), 상기 오링을 감싸며 상기 푸쉬 플레이트 저면에 순차 배열되는 하우징 커버, 솔레노이드 코어, 솔레노이드 코일, 코어 커버를 갖는다.

그리고, 그 내부에 순차 실장되는 캡, 영구자석, 지지부재(Support), 리니어 가이드, 탄성스프링을 더 구비한다.

이들 요소가 실장된 하우징과 하우징 저면부를 구성하는 보텀 플레이트(Bottom Plate)가 더 구비될 수 있다.

이때, 액추에이터 구동부(132)는 푸쉬 플레이트, 캡, 영구자석, 지지부재 및 리니어 가이드로 구성되며, 상기 리니어 가이드의 저면을 탄성 스프링이 지지하는 구조가 된다.

이러한 액추에이터(130)는 바람직하게는 유선으로 위상반전기(120)와 연결된다. 무선으로 구성하는 경우 액추에이터(130) 전력 공급을 위한 대형의 배터리와 신호를 공급받기 위한 안테나 등 유선이 비하여 부가적 요소들이 증가하기 때문에 장치의 크기가 불가피하게 증가하게 되며, 실제 설치시 이러한 요소들이 진동에 영향을 주기 때문에 성능저하로 이어지는 문제가 확인되었다.

도 9는 본 발명의 제1 실시예에 의한 PCB 사진이다.

도 9에서 "1"로 표시된 부분은 입력부(121)를 지시한다.

그리고, "2"로 표시된 부분은 마이크로컨트롤러(122)를, "3"으로 표시된 부분은 출력부(123)이다. 한편, "4"로 표시된 부분은 전류 출력 조절장치를 지시한다.

도 10은 가공장비로부터 측정되는 진동신호를 나타낸 파형도이다.

진동의 양상은 일반적으로 충격에 의한 진동(층간소음, 코골이, 순간적인 감속 가속에 의한 진동), 조화적인 힘에 의한 진동(모터 축 등 회전체의 원심력으로부터 발생한 진동), 랜덤 진동(지진)으로 구분할 수 있다. 각 진동의 양상에 대하여 진동 억제를 위한 접근방법은 서로 상이할 수 있다.

임펄스는 '충격'을 의미하며, 임펄스 진동(Impulse Vibration)의 예로는 코골이, 아이들 발자국 소리, 망치소리, 물건 떨어뜨리는 소리 등이 있다. 즉, 임펄스 진동은 짧고 큰 충격에 의한 진동을 의미한다.

도 11은 진동신호에 역상의 신호를 인가하여 진동 제어가 이루어지는 모습을 설명하는 파형도이다.

본 발명에서는 센서(110)에서 감지된 신호를 이용하여 반대신호를 액추에이터(130)에 직접 전달한다. 이 방법은 진동신호의 반대신호 전체를 공급해야 하므로, 본 발명의 능동댐퍼(100)가 진동체, 즉 가공장비에 결합되어야 한다. 능동댐퍼(100)와 진동체간의 결합상태에서 역진동을 공급하기 위한 능동댐퍼의 진동수는 가공장비의 진동수와 같으므로, 공진 발생 가능성이 매우 높다.

이에, 종래 기술의 문제점인 공진 발생 가능성을 미리 방지하기 위해, 제1 아이솔레이션 및 제2 아이솔레이션을 구비함으로써 액추에이터(130)로부터의 진동을 차단(isolation)한다.

도 11의 좌측 상단은 센서에서 감지된 가공장비의 진동신호이며, 좌측 하단은 위상반전기(120)로부터 생성된 역상의 대응신호를 도시한다.

도 11의 우측은 가공장비의 진동신호와 액추에이터(130)를 통해 인가된 역상의 신호가 서로 상쇄된 후의 진동을 나타낸다. 실험결과 역상의 대응신호를 실시간으로 인가함으로써 진동이 90% 이상 소멸됨을 확인할 수 있었다.

실험에서는 센서(110)에서 진동을 측정하여 신호를 위상반전기(120)로 전송하고, 위상반전기(120)에서 그 신호의 위상을 반전시킨 후 액추에이터(130)로 전달하는데 걸리는 지연 시간(신호 발생과 공급 사이의 시간 차)를 10 ms 이하로 유지하였으며 최적의 위상반전각도와 연관시키는 것에 의하여 진동을 효과적으로 소멸시킬 수 있었다.

본 발명에 따르면, 첫째, 센서가 감지한 진동신호에 대해 실시간으로 역상의 대응신호를 생성하여 인가함으로써 진동을 소멸시키므로 복잡한 신호에 대응하는 과정에서 생기는 딜레이 타임과 노이즈 및 에러를 줄일 수 있으며,

둘째, 복잡한 모드에 대응하기 위하여 액추에이터(130)를 여러 곳에 설치할 필요가 없으며,

셋째, 액추에이터(130)를 진동체에서 분리하고 액추에이터 구동부와 능동 댐퍼 키트 사이에 진동을 절연(Isolation)하도록 설계하여 공진의 가능성을 차단할 수 있다.

이상 몇 가지의 실시예를 통해 본 발명의 기술적 사상을 살펴보았다.

본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기재사항으로부터 상기 살펴본 실시예를 다양하게 변형하거나 변경할 수 있음은 자명하다. 또한, 비록 명시적으로 도시되거나 설명되지 아니하였다 하여도 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기재사항으로부터 본 발명에 의한 기술적 사상을 포함하는 다양한 형태의 변형을 할 수 있음은 자명하며, 이는 여전히 본 발명의 권리범위에 속한다. 첨부하는 도면을 참고하여 설명된 상기의 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 목적으로 기술된 것이며 본 발명의 권리범위는 이러한 실시예에 국한되지 아니한다.

100 : 능동댐퍼
110 : 센서
120 : 위상반전기
121 : 입력부
122 : 마이크로컨트롤러
123 : 출력부
124 : 전류 출력 조절 장치
130 : 액추에이터
131 : 액추에이터 본체
132 : 액추에이터 구동부
133 : 어댑터
141 : 제1 아이솔레이션
142 : 제2 아이솔레이션
151 : 하우징
152 : 고정부

Claims (12)

1. 가공장비로부터 진동을 감지하여 진동신호를 위상반전기로 인가하는 센서;
   상기 진동신호를 상쇄시키는 대응신호를 생성하여 출력하는 위상반전기; 및
   상기 위상반전기로부터 인가된 대응신호에 따라 구동되는 액추에이터를 포함하되,
   상기 센서, 위상반전기 및 액추에이터를 하우징에 내장시키고 상기 하우징을 상기 가공장비에 결합시키며,
   상기 하우징과 상기 액추에이터 사이에 구비되어 상기 액추에이터로부터의 진동을 차단하는 제1 아이솔레이션과, 상기 가공장비에 고정되는 고정부와 상기 하우징 사이에 구비되어 상기 액추에이터로부터의 진동을 차단하는 제2 아이솔레이션을 포함하는 수동댐퍼를 더 구비하고,
   상기 액추에이터는, 인가된 역상의 대응신호에 따라 구동이 이루어지는 액추에이터 본체와, 상기 액추에이터 본체의 구동에 대응하여 왕복운동이 이루어지는 액추에이터 구동부와, 상기 액추에이터 구동부의 끝단부에 구비되어 상기 가공장비에 직접 타격하는 어댑터를 포함하며,
   상기 액추에이터에 의하여 상기 가공장비의 표면에 역상의 대응신호를 인가함으로써, 상기 가공장비의 진동을 상쇄시키는 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 위상반전기는 상기 진동신호의 위상을 반전시킴으로써 실시간으로 대응신호를 생성하는 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 위상반전기는,
   진동신호를 입력받는 입력부;
   상기 진동신호를 상쇄시키는 대응신호를 생성하는 마이크로컨트롤러; 및
   상기 마이크로컨트롤러의 제어에 따라 액추에이터 구동 전류량을 조절하는 전류 출력 조절 장치;를 더 포함하는 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼.
   
4. 제2항에 있어서,
   상기 대응신호는 상기 진동신호의 전체에 대응하여 출력되는 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼.
   
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제
8. 제1항에 있어서,
   상기 어댑터는 가공장비의 표면 형상에 대응하는 형상을 갖는 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 어댑터는 곡면형상을 갖는 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼.
   
10. 제2항에 있어서,
    상기 위상반전기에서 입력신호의 위상을 반전시킨 후 액추에이터로 전달하는데 소요되는 지연시간은 10 ms 이하인 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼.
    
11. 제2항에 있어서,
    상기 액추에이터는 고정부에 의해 가공장비의 표면에 결합되어 설치되는 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼.
    
12. 제2항에 있어서,
    상기 액추에이터는 가공장비 이외의 영역에 고정된 고정용 지그에 결합되는 가공장비 진동 제어를 위한 능동댐퍼.

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