KR101992249B1 - Optical Bench Transfer Device and System for Thermal Vacuum Test to Adjust the Level of the Optical Bench - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치는, 열진공 시험실에 설치된 열진공 챔버의 내부에서 외부까지 이어진 레일 상에서 슬라이딩 이동할 수 있는 이송용 대차, 상기 이송용 대차 위에 배치되며 공기 주입 호스를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구를 포함하여, 광학 벤치를 띄워 올릴 수 있는 에어 패드, 상기 광학 벤치의 기울어짐을 감지할 수 있는 센싱 장치 및 상기 센싱 장치로부터 신호를 수신하여 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 제어 장치를 포함한다.An optical bench transfer apparatus for thermal vacuum testing according to an embodiment of the present invention includes a transfer bogie capable of sliding movement on a rail extending from the inside to the outside of a thermal vacuum chamber provided in a thermal vacuum test chamber, An air pad capable of raising the optical bench, a sensing device capable of sensing the tilting of the optical bench, and a controller for receiving a signal from the sensing device, And a control device for adjusting the air injection intensity of the air outlet.

Description

광학 벤치의 수평도를 조절할 수 있는 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치 및 시스템{Optical Bench Transfer Device and System for Thermal Vacuum Test to Adjust the Level of the Optical Bench}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical bench transfer apparatus and system for a thermal vacuum test capable of adjusting the level of an optical bench,

본 발명은 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치 및 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an optical bench transfer apparatus and system for thermal vacuum testing.

인공위성 및 이의 탑재 장비는 온도 변화가 크고 진공인 우주 환경에서 작동하기 때문에, 우주 환경에서의 신뢰성 시험을 위한 열진공 시험(heat vaccum test)을 거치는 것이 일반적이다. 이때 내부가 진공으로 유지되고 고온/저온 상태를 오갈 수 있는 열진공 챔버(heat vaccum chamber)에서 각종 시험이 수행된다. Because satellites and their mounting equipment operate in a space environment with large temperature variations and vacuum, it is common to undergo a heat vacuum test for reliability testing in space. At this time, various tests are carried out in a heat vacuum chamber in which the interior is maintained in a vacuum and can go into a high / low temperature state.

열진공 챔버는 일반적으로 개폐도어에 의해 밀폐되는 구조를 가지는바, 개폐되는 면을 통해 시험대상물을 열진공 챔버 내부에 탑재시키게 된다. 이때 소형 위성체와 같은 저중량의 물체는 인력으로 운반할 수 있으나, 광학 장비(optical device)를 지지하는 광학 벤치(optical bench)와 같은 대형 물체의 경우 인력으로는 운반할 수 없어 크레인 또는 별도의 로딩 장치를 사용한다. The thermal vacuum chamber has a structure that is generally closed by an opening / closing door so that the test object is mounted inside the thermal vacuum chamber through the open / close surface. In this case, a lightweight object such as a small satellite can be transported by gravity, but in the case of a large object such as an optical bench supporting an optical device, it can not be transported by gravity, so that a crane or a separate loading device Lt; / RTI >

한국등록특허 제10-1658370호 (공고일 2016.09.21)Korean Registered Patent No. 10-1658370 (Notification Date 2016.09.21)

본 발명은 수평도를 유지하며 광학 벤치를 열진공 챔버 내부에 정밀하고 안정적으로 이송할 수 있는 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치 및 시스템을 제공하는 것을 일 목적으로 한다. It is an object of the present invention to provide an optical bench transfer apparatus and system for thermal vacuum testing capable of accurately and stably transferring an optical bench into a thermal vacuum chamber while maintaining a horizontal level.

본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치는, 열진공 시험실에 설치된 열진공 챔버의 내부에서 외부까지 이어진 레일 상에서 슬라이딩 이동할 수 있는 이송용 대차; 상기 이송용 대차 위에 배치되며, 공기 주입 호스를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구를 포함하여, 광학 벤치를 띄워 올릴 수 있는 에어 패드; 상기 광학 벤치의 기울어짐을 감지할 수 있는 센싱 장치; 및 상기 센싱 장치로부터 신호를 수신하여 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 제어 장치;를 포함한다.An optical bench transfer apparatus for thermal vacuum testing according to an embodiment of the present invention includes: a transfer bogie capable of sliding movement on a rail extending from the inside to the outside of a thermal vacuum chamber provided in a thermal vacuum chamber; An air pad disposed on the transporting carriage and including a plurality of air outlets for spraying the air transferred through the air inlet hose to float the optical bench; A sensing device capable of sensing tilting of the optical bench; And a controller that receives a signal from the sensing device and adjusts an air jet intensity of the air jet.

일 실시예에 따르면, 상기 센싱 장치는, 상기 광학 벤치 상에 배치되는 기울기 센서일 수 있다. According to one embodiment, the sensing device may be a tilt sensor disposed on the optical bench.

일 실시예에 따르면, 상기 센싱 장치는, 상기 이송용 대차 상에 배치되어 상기 광학 벤치와 상기 에어 패드의 거리를 감지할 수 있는 거리 측정 센서일 수 있다. According to one embodiment, the sensing device may be a distance measuring sensor disposed on the transporting truck and capable of sensing a distance between the optical bench and the air pad.

일 실시예에 따르면, 상기 제어 장치는, 상기 광학 벤치를 상승시킬 때, 상기 거리 측정 센서로부터 측정된 거리가 기정된 값에 이를 때까지 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 증가시킬 수 있다. According to one embodiment, when raising the optical bench, the control device may increase the air injection intensity of the air ejection port until the distance measured from the distance measurement sensor reaches a predetermined value.

일 실시예에 따르면, 상기 제어 장치는, 상기 거리 측정 센서로부터 측정된 거리가 기정된 값에 이른 시점의 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 유지할 수 있다. According to an embodiment, the control device can maintain the air injection intensity of the air ejecting opening at a time when the distance measured from the distance measuring sensor reaches a predetermined value.

일 실시예에 따르면, 상기 제어 장치는, 상기 공기 분출구에 연결된 제어 밸브를 통해 상기 복수 개의 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하여, 상기 광학 벤치의 롤링(rolling)과 피칭(pitching)을 조절하여 상기 광학 벤치의 수평을 맞출 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the control device adjusts the air injection intensity of the plurality of air outlets through a control valve connected to the air outlets to control rolling and pitching of the optical bench, The optical bench can be leveled.

본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템은, 열진공 시험실에 설치된 열진공 챔버의 내부에서 외부까지 이어진 레일; 상기 레일 상에서 슬라이딩 이동할 수 있는 이송용 대차; 상기 이송용 대차 위에 배치되며, 공기 주입 호스를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구를 포함하여, 광학 벤치를 띄워 올릴 수 있는 에어 패드; 상기 광학 벤치의 기울어짐을 감지할 수 있는 센싱 장치; 상기 센싱 장치로부터 신호를 수신하여 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 제어 장치; 상기 레일 바깥에 배치되고, 상기 열진공 챔버 외부에 배치되어 상기 광학 벤치가 상기 열진공 챔버 외부에 위치할 때 상기 열진공 챔버를 지지할 수 있는 복수 개의 플로어 포스트; 및 상기 레일 바깥에 배치되고, 상기 열진공 챔버 내부에 배치되어 상기 광학 벤치가 상기 열진공 챔버 내부에 위치할 때 상기 열진공 챔버를 지지할 수 있는 복수 개의 챔버 포스트;를 포함한다. An optical bench transfer system for thermal vacuum testing according to an embodiment of the present invention includes a rail extending from the inside to the outside of a thermal vacuum chamber provided in a thermal vacuum test chamber; A transport bogie capable of sliding movement on the rail; An air pad disposed on the transporting carriage and including a plurality of air outlets for spraying the air transferred through the air inlet hose to float the optical bench; A sensing device capable of sensing tilting of the optical bench; A control device for receiving a signal from the sensing device and adjusting an air injection intensity of the air injection port; A plurality of floor posts disposed outside the rail and disposed outside the thermal vacuum chamber to support the thermal vacuum chamber when the optical bench is located outside the thermal vacuum chamber; And a plurality of chamber posts disposed outside the rail and disposed within the thermal vacuum chamber to support the thermal vacuum chamber when the optical bench is located within the thermal vacuum chamber.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해 질 것이다. Other aspects, features, and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims, and the detailed description of the invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치에 따르면, 센싱 장치에 의해 감지된 광학 벤치의 기울기 정보를 제어 장치에 피드백하여, 수평을 유지하며 광학 벤치를 열진공 챔버 내부로 정밀하고 안정적으로 이송할 수 있다. 한편 압축 공기를 이용하여 광학 벤치를 이송하므로, 열진공 시험실, 열진공 챔버 및 광학 장치의 오염을 방지하여 청정도를 높게 유지할 수 있다.According to the optical bench transfer apparatus for thermal vacuum testing according to the embodiment of the present invention, the tilt information of the optical bench sensed by the sensing device is fed back to the control device to maintain the optical bench in the thermal vacuum chamber Stable transport can be achieved. On the other hand, since the optical bench is conveyed by using the compressed air, contamination of the thermal vacuum test chamber, the thermal vacuum chamber and the optical device can be prevented, and the cleanliness can be kept high.

본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템에 따르면, 무거워 운반하기 어려운 광학 벤치를 손쉽고 안정적으로 이동할 수 있다. 또한, 에어 패드를 이용하여 광학 벤치를 아래에서부터 들어올려 이송함으로써, 윗면이 막혀 있어 와이어 및 크레인을 사용하기 어려운 열진공 챔버 내부로도 손쉽게 광학 벤치를 이송할 수 있다. 또한, 센싱 장치를 이용하여 광학 벤치의 기울기를 감지해 제어 장치로 피드백하여, 광학 벤치의 수평을 유지하면서 광학 벤치를 이송할 수 있다. According to the optical bench transfer system for thermal vacuum testing according to the embodiment of the present invention, it is possible to easily and stably move the optical bench which is difficult to carry heavy. In addition, the optical bench can be lifted from below by using an air pad to easily transport the optical bench even inside a thermal vacuum chamber where the top surface is clogged and wires and cranes are difficult to use. Further, the inclination of the optical bench can be sensed using a sensing device and fed back to the control device to transfer the optical bench while maintaining the level of the optical bench.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 센싱 장치를 포함하는 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 제어 장치가 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 방법을 나타낸 그림이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 5는 복수 개의 에어 패드를 포함하는 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템을 나타낸 사시도이고, 도 7은 광학 벤치가 이송용 대차 위에 로드(load)된 상태를 나타낸 사시도이다.
도 8은 광학 벤치가 플로어 포스트 또는 챔버 포스트에 의해 지지되는 상태를 나타낸 그림이고, 도 9는 광학 벤치가 에어 패드에 의해 공중에 뜬 상태를 나타낸 그림이다.
도 10 내지 도 13은 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템을 이용하여 광학 벤치를 열진공 챔버로 이송한 후 열진공 시험을 수행하는 과정을 순차적으로 나타낸 도면들이다. 1 is a schematic side view of an optical bench transfer apparatus for thermal vacuum testing according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view schematically showing an optical bench transfer apparatus for thermal vacuum testing including a sensing apparatus according to another embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating a method of controlling the air injection intensity of the air ejection port according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to FIG.
4 is a perspective view schematically showing an optical bench transfer apparatus for thermal vacuum testing according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view schematically showing an optical bench transfer apparatus for thermal vacuum test including a plurality of air pads.
FIG. 6 is a perspective view showing an optical bench transfer system for thermal vacuum testing according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a perspective view showing an optical bench loaded on a transfer bogie.
FIG. 8 is a view showing a state in which the optical bench is supported by a floor post or a chamber post, and FIG. 9 is a view showing a state where the optical bench is opened in the air by an air pad.
FIGS. 10 to 13 sequentially show a process of transferring an optical bench to a thermal vacuum chamber using an optical bench transfer system for thermal vacuum testing, and then conducting a thermal vacuum test. FIG.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in the detailed description. The effects and features of the present invention and methods of achieving them will be apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be implemented in various forms.

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용된다.In the following embodiments, the terms first, second, etc. are used for the purpose of distinguishing one element from another element, rather than limiting.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, the singular forms "a", "an" and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.In the following embodiments, terms such as inclusive or possessive are intended to mean that a feature, or element, described in the specification is present, and does not preclude the possibility that one or more other features or components may be added.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 '위'에 또는 '상'에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.In the following embodiments, when a portion of a film, an area, a component or the like is referred to as being "above" or "above" another portion, Elements and the like are interposed.

이하의 실시예에서, '왼쪽' 또는 '오른쪽'은 도면에 도시된 X방향을 기준으로 설정될 수 있다. In the following embodiments, 'left' or 'right' may be set based on the X direction shown in the drawing.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 단계는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 단계는 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 수행될 수도 있다.If certain embodiments are otherwise feasible, the specific steps may be performed differently from the described order. For example, two successively described steps may be performed substantially concurrently, or may be performed in a reverse order to that described.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, components may be exaggerated or reduced in size for convenience of explanation. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and thus the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치(100)를 개략적으로 나타낸 측면도이다. 1 is a schematic side view of an optical bench transfer apparatus 100 for thermal vacuum testing according to an embodiment of the present invention.

일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치(100)는 이송용 대차(40), 에어 패드(50), 센싱 장치(70) 및 제어 장치(60)를 포함한다. 도 1을 참조하면, 이송용 대차(40)는 레일(10) 상에서 슬라이딩 이동할 수 있다. 이송용 대차(40)의 밑면에는 바퀴 또는 LM 블록(41)이 설치될 수 있다. 이송용 대차(40)의 일단에는 수직으로 돌출된 손잡이(42)가 형성될 수 있다. 사용자는 손잡이(42)를 밀거나 당겨 이송용 대차(40)를 레일(10) 상에서 슬라이딩 이동시킬 수 있다. An optical bench transport apparatus 100 for thermal vacuum testing according to one embodiment includes a transport bogie 40, an air pad 50, a sensing device 70 and a control device 60. Referring to Fig. 1, the transport bogie 40 can slide on the rail 10. A wheel or an LM block 41 may be installed on the underside of the conveying truck 40. A handle 42 protruding vertically may be formed at one end of the conveying bogie 40. The user can push or pull the handle 42 to slide the conveying carriage 40 on the rail 10. [

이송용 대차(40) 위에는 에어 패드(50)가 배치된다. 에어 패드(50)는 외부의 공기 주입 호스(50H)를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구(50AH)를 포함한다. An air pad 50 is disposed on the conveying truck 40. The air pad 50 includes a plurality of air outlets 50AH for ejecting the air received through the external air inlet hose 50H.

에어 패드(50)의 공기 분출구(50AH)는, 고압의 공기를 통해 압력(PA)을 가하여 광학 벤치(optical bench, OB)를 공중으로 띄워 올릴 수 있다. 에어 패드(50)는 직사각형 형태의 광학 벤치(OB)의 밑면을 꼭짓점 부근에서 '4점 지지'하기 위한 적어도 4개의 공기 분출구(50AH)를 포함할 수 있다. 또는, 에어 패드(50)는 격자 형태로 배치된 다수 개의 공기 분출구(50AH)를 통해 실질적으로 에어 패드(50)의 모든 위치에서 광학 벤치(OB)에 공기압을 가할 수 있다. The air blowing port 50AH of the air pad 50 can raise the optical bench OB in the air by applying the pressure P A through the high pressure air. The air pad 50 may include at least four air outlets 50AH for 'four point support' in the vicinity of the vertex of the bottom surface of the rectangular optical bench OB. Alternatively, the air pad 50 can apply air pressure to the optical bench OB at substantially all positions of the air pad 50 through a plurality of air ejection holes 50AH arranged in a lattice form.

이때 에어 패드(50)는 광학 벤치(OB)에 대칭적으로 공기압을 가하는 것이 바람직하다. 즉 복수 개의 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 균일하게 조절할 수 있다. At this time, the air pad 50 preferably applies air pressure symmetrically to the optical bench OB. That is, the air jet intensity of the plurality of air blowing outlets 50AH can be uniformly controlled.

한편, 에어 패드(50)에서 분출되는 기체는 대기압 상태에서의 '공기(air)'일 수 있다. 즉 본 발명의 일 실시예에서는 질소 기체 등 단일 기체가 아닌 통상의 '공기(air)'가 사용되는데, 이 경우 에어 패드(50)를 사용할 때 열진공 챔버(HVC) 또는 열진공 시험실(HVL) 내의 특정 기체의 농도가 높아져 사용자가 중독을 일으키는 것을 예방할 수 있다. 한편, 에어 패드(50)는 오일(oil)을 사용하지 않고 압축 공기를 분사할 수 있다. 이 경우 오일에 의한 열진공 챔버(HVC) 및 광학 장치(OD)의 오염을 방지하여 청정도를 높게 유지할 수 있다. On the other hand, the gas ejected from the air pad 50 may be 'air' at atmospheric pressure. That is, in an embodiment of the present invention, a conventional 'air' is used instead of a single gas such as nitrogen gas. In this case, when using the air pad 50, a thermal vacuum chamber (HVC) It is possible to prevent the user from causing the poisoning due to an increase in the concentration of the specific gas in the gas. On the other hand, the air pad 50 can inject compressed air without using oil. In this case, contamination of the thermal vacuum chamber (HVC) and the optical device (OD) by the oil can be prevented and the cleanliness can be kept high.

센싱 장치(70)는, 에어 패드(50)에 의해 공중에 떠 있게 된 광학 벤치(OB)의 기울어짐을 감지한다. 일 실시예에 따르면, 센싱 장치(70)는 광학 벤치(OB) 상에 배치되는 기울기 센서(tilt sensor, 70T)일 수 있다. 이때 기울기 센서(70T)는 광학 벤치(OB)의 X축 회전(롤링), Y축 회전(피칭)을 감지할 수 있는 2축 기울기 센서일 수 있다. 또는, 기울기 센서(70T)는 광학 벤치(OB)의 X축 회전(롤링, rolling), Y축 회전(피칭, pitching), Z축 회전(요잉, yawing)을 감지할 수 있는 3축 기울기 센서일 수 있다. 센싱 장치(70)는 광학 벤치(OB)의 정중앙에 고정될 수 있다. The sensing device 70 senses the inclination of the optical bench OB that has been floating in the air by the air pad 50. [ According to one embodiment, the sensing device 70 may be a tilt sensor 70T disposed on the optical bench OB. At this time, the tilt sensor 70T may be a two-axis tilt sensor capable of sensing X-axis rotation (rolling) and Y-axis rotation (pitching) of the optical bench OB. Alternatively, the tilt sensor 70T is a three-axis tilt sensor capable of sensing the X-axis rotation (rolling), the Y-axis rotation (pitching), and the Z-axis rotation (yawing) of the optical bench OB . The sensing device 70 may be fixed in the center of the optical bench OB.

제어 장치(60)는 센싱 장치(70)로부터 신호를 수신하여, 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 조절한다. 제어 장치(60)는 에어 패드(50)의 공기 분출구(50AH)와 전기적/기계적으로 연결될 수 있다. 제어 장치(60)를 통해 사용자는 공기 분출구(50AH)의 작동 여부(on/off), 분출 세기 등을 조절할 수 있다. 한편, 제어 장치(60)는 에컨대 이송용 대차(40) 위에 배치될 수 있다. The control device 60 receives a signal from the sensing device 70 and adjusts the air jet intensity of the air jet 50AH. The control device 60 can be electrically / mechanically connected to the air ejection port 50AH of the air pad 50. [ The user can adjust the on / off state of the air blowing out port 50AH, the blowing intensity, and the like through the control device 60. [ On the other hand, the control device 60 can be disposed on the conveying truck 40, for example.

일 실시예에 따르면 각각의 공기 분출구(50AH)는 제어 밸브(valve, 50V)와 연결될 수 있고, 제어 장치(60)는 복수 개의 제어 밸브(50V)를 통해 복수 개의 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 다르게 조절할 수 있다. 이에 따라, 광학 벤치(OB)의 롤링(rolling)과 피칭(pitching)을 조절할 수 있고 되고, 광학 벤치(OB)의 수평을 맞출 수 있게 된다. 이에 따라 광학 벤치(OB)의 이송 중, 광학 벤치(OB) 위에 탑재되는 광학 장치(optical device, OD)가 균형을 잃고 쓰러지는 현상을 방지할 수 있다. According to one embodiment, each of the air outlets 50AH can be connected to a control valve 50V, and the control device 60 can control the air injection of the plurality of air outlets 50AH through the plurality of control valves 50V, The strength can be adjusted differently. Thus, the rolling and pitching of the optical bench OB can be adjusted, and the optical bench OB can be leveled. Accordingly, it is possible to prevent the optical device (OD) mounted on the optical bench (OB) from being out of balance and collapsing during the transportation of the optical bench (OB).

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 센싱 장치(70)를 포함하는 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치(200)를 개략적으로 나타낸 측면도이다. 2 is a schematic side view of an optical bench transfer device 200 for thermal vacuum testing comprising a sensing device 70 according to another embodiment of the present invention.

일 실시예에 따른 센싱 장치(70)는, 이송용 대차(40) 상에 배치되어 광학 벤치(OB)와 에어 패드(50)의 거리를 감지할 수 있는 거리 측정 센서(70D)일 수 있다. The sensing device 70 according to one embodiment may be a distance measuring sensor 70D disposed on the transporting truck 40 and capable of sensing the distance between the optical bench OB and the air pad 50. [

도 2를 참조하면, 거리 측정 센서(70D)는 이송용 대차(40) 위, 광학 벤치(OB) 밑에 배치될 수 있다. 거리 측정 센서(70D)는 에어 패드(50) 위로 노출되지 않도록 에어 패드(50)에 삽입될 수 있다. 거리 측정 센서(70D)는 예컨대 적외선을 방출하는 송신부 및 광학 벤치(OB)로부터 반사된 빛을 감지하는 수신부를 포함하는 적외선 센서일 수 있다. 예컨대 거리 측정 센서(70D)는 에어 패드(50)의 네 개의 꼭짓점 또는 네 개의 모서리에 대칭적으로 배치될 수 있다. 2, the distance measurement sensor 70D may be disposed below the optical bench OB on the transport bogie 40. [0050] FIG. The distance measuring sensor 70D may be inserted into the air pad 50 so as not to be exposed on the air pad 50. [ The distance measurement sensor 70D may be, for example, an infrared sensor including a transmitter for emitting infrared light and a receiver for sensing light reflected from the optical bench OB. For example, the distance measuring sensor 70D may be symmetrically disposed at four corners or four corners of the air pad 50. [

복수 개의 거리 측정 센서(70D)를 통해, 광학 벤치(OB)의 롤링 각(rolling angle) 및 피칭 각(pitching angle)을 산출할 수 있다. 예컨대 도 2에서처럼 X 방향을 기준으로 앞뒤로 배치된 거리 측정 센서(70DF, 70DB)는 각각 에어 패드(50)와 광학 벤치(OB)의 앞부분/뒷부분 사이의 거리를 측정할 수 있다. 예컨대 앞에 배치된 거리 측정 센서(70DB)에서 측정된 거리가 뒤에 배치된 거리 측정 센서(70DB)에서 측정된 거리보다 큰 경우, 제어 장치(60)는 광학 벤치(OB)의 피칭 각이 양수인 상태라고 인식할 수 있고, 기 주어진 거리 측정 센서(70D) 사이의 거리 및 광학 벤치(OB)의 두께, 폭 등의 정보를 통해 광학 벤치(OB)의 피칭 각을 산출할 수 있다. The rolling angle and the pitching angle of the optical bench OB can be calculated through the plurality of distance measuring sensors 70D. For example, as shown in FIG. 2, the distance measurement sensors 70DF and 70DB arranged in the X direction as the front and rear can measure the distance between the air pad 50 and the front / rear portion of the optical bench OB, respectively. For example, when the distance measured by the distance measuring sensor 70DB disposed in front is larger than the distance measured by the distance measuring sensor 70DB disposed behind, the control device 60 determines that the pitch angle of the optical bench OB is positive The pitch angle of the optical bench OB can be calculated through information such as the distance between the distance measuring sensor 70D and the thickness and width of the optical bench OB.

도 3은 일 실시예에 따른 제어 장치(60)가 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 조절하는 방법을 나타낸 그림이다.FIG. 3 is a diagram illustrating a method of controlling the air injection intensity of the air blowing port 50AH by the controller 60 according to an embodiment.

제어 장치(60)는 제어 밸브(50V)를 통해 광학 벤치(OB)가 일정 높이 이상으로 띄워지도록 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 조절할 수 있다. 그런데 광학 벤치(OB) 자체의 무게는 일정하나, 광학 벤치(OB) 위에 배치되어 실험 대상이 되는 광학 장치(OD)의 무게는 실험마다 일정치 않을 수 있다. The control device 60 can adjust the air jet intensity of the air ejection port 50AH such that the optical bench OB floats above the predetermined height via the control valve 50V. However, the weight of the optical bench (OB) itself is constant, but the weight of the optical device (OD) to be tested may not be constant for each experiment because it is placed on the optical bench (OB).

도 3의 (a), (b)는 각각 다른 무게의 광학 장치(OD)가 광학 벤치(OB) 위에 배치된 상태를 나타낸다. (a)와 같이 가벼운 무게의 광학 장치(OD)가 탑재된 경우에는 기정된 임계 높이(dT)까지 광학 벤치(OB)를 들어올리기 위한 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기 또는 공기압(PA)이 비교적 작다. 이와 달리 (b)와 같이 무거운 무게의 광학 장치(OD)가 탑재된 경우에는 기정된 임계 높이(dT)까지 광학 벤치(OB)를 들어올리기 위한 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기 또는 공기압(PA)이 비교적 크다. 3 (a) and 3 (b) show a state in which optical devices OD having different weights are disposed on the optical bench OB. (a) when the optical device (OD) of the light weight mounted as shown, the air injection intensity or air pressure of the air jet port (50AH) for lifting the optical bench (OB) to a predefined threshold height (d T) (P A ) Is relatively small. On the other hand, in the case where the heavy optical device OD is mounted as shown in (b), the air jet intensity of the air blowing out port 50AH for raising the optical bench OB up to the predetermined threshold height d T or the air pressure P A ) is relatively large.

일 실시예에 따르면, 제어 장치(60)는, 광학 벤치(OB)를 상승시킬 때 거리 측정 센서(70D)로부터 측정된 거리가 기정된 값에 이를 때까지 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 증가시킬 수 있다. According to one embodiment, the controller 60 controls the air injection intensity of the air outlet 50AH until the measured distance from the distance measuring sensor 70D reaches a predetermined value when raising the optical bench OB .

도 3의 (c)는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어 장치(60)의 공기 분사 세기 제어 방법에 따른 시간-공기 분사 세기 그래프를 나타낸다. (a), (b) 그래프를 비교하면, 광학 장치(OD)의 무게가 더 가벼운 (a)의 경우 공기 분사 세기가 더 작더라도 광학 벤치(OB)가 일정 높이(dT)에 도달할 수 있다. 즉 광학 벤치(OB)를 일정 높이(dT)에 도달시키기 위한 공기 분사 세기가 (b)의 경우보다 낮다. FIG. 3 (c) shows a time-air injection intensity graph according to the air injection intensity control method of the controller 60 according to an embodiment of the present invention. Comparing the graphs (a) and (b), it can be seen that the optical bench OB can reach a constant height d T even though the air jet intensity is smaller in the case of the lighter weight (a) have. That is, the air jet intensity for reaching the optical bench OB at a constant height d T is lower than that in the case of (b).

일 실시예에 따르면, 제어 장치(60)는 거리 측정 센서(70D)로부터 측정된 거리가 기정된 값(dT)에 이른 시점의 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 유지할 수 있다. 즉, 광학 벤치(OB)가 일정 높이가 되면, 그때부터 공기 분사 세기는 더 이상 증가하지 않고 일정한 상태를 유지할 수 있다. 예컨대, 도 3의 (c)를 참조하면, 가벼운 광학 장치(OD)가 광학 벤치(OB) 위에 놓여진 (a)의 경우 광학 벤치(OB)의 높이가 일정 값(dT)이 된 시점(ta) 이후부터 공기 분사 세기가 A로 일정하게 유지된다. 한편 무거운 광학 장치(OD)가 광학 벤치(OB) 위에 놓여진 (b)의 경우 광학 벤치(OB)의 높이가 일정 값(dT)이 된 시점(tb) 이후부터 공기 분사 세기가 B로 일정하게 유지된다. 이때 각각의 경우에, 최대 공기 분사 세기(A, B)는 광학 장치(OD)의 무게에 따라 변하게 된다. According to one embodiment, the control device 60 can maintain the air jet intensity of the air blowing out port 50AH at the time when the distance measured from the distance measuring sensor 70D reaches the predetermined value d T. That is, when the optical bench OB becomes a certain height, the air jet intensity can be maintained constant without increasing any more. For example, referring to FIG. 3 (c), when a light optical device OD is placed on the optical bench OB, the time t when the height of the optical bench OB becomes a predetermined value d T a ) Since then, the air jet intensity is kept constant at A. On the other hand, in the case of (b) in which the heavy optical device OD is placed on the optical bench OB, the air jet intensity is constantly changed to B from the time point t b at which the height of the optical bench OB becomes the predetermined value d T Lt; / RTI > At this time, in each case, the maximum air jet intensity A, B varies depending on the weight of the optical device OD.

즉 제어 장치(60)의 공기 분사 세기는 일률적으로 정해지는 것이 아니라 광학 장치(OD)의 무게에 맞추어 가변적으로 변할 수 있다. 이와 같은 경우, 특히 가벼운 광학 장치(OD)를 들어올릴 때 과도한 공기가 분사되는 것을 방지할 수 있다. That is, the air jet intensity of the control device 60 is not uniformly determined, but can be variably changed in accordance with the weight of the optical device OD. In this case, excessive air can be prevented from being injected particularly when lifting the light optical device OD.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치(100)를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 4에서는 네 꼭짓점 부근에서 각각 공기 분출구(50AH)를 가지는 에어 패드(50)를 예시하나, 공기 분출구(50AH)의 배치 구조가 도 4의 예시에 제한되지 않음은 물론이다. 4 is a perspective view schematically showing an optical bench transfer apparatus 100 for thermal vacuum testing according to an embodiment of the present invention. 4A and 4B illustrate an air pad 50 having an air ejection opening 50AH in the vicinity of the four corners, but the arrangement of the air ejection opening 50AH is not limited to the example shown in FIG.

도 4의 X 방향을 기준으로, 왼쪽의 공기 분출구(50AH_LF, 50AH_LB)와 오른쪽의 공기 분출구(50AH_RF, 50AH_RB)는 서로 대칭으로 배치될 수 있다. 또한, 앞쪽의 공기 분출구(50AH_LF, 50AH_RF)와 뒤쪽의 공기 분출구(50AH_LB, 50AH_RB)는 서로 대칭으로 배치될 수 있다.The left air outlets 50AH_LF and 50AH_LB and the right air outlets 50AH_RF and 50AH_RB can be symmetrically arranged with respect to the X direction in FIG. Further, the front air outlets 50AH_LF and 50AH_RF and the rear air outlets 50AH_LB and 50AH_RB may be disposed symmetrically with respect to each other.

이때, 제어 장치(60)는 센싱 장치(70)로부터 얻은 데이터를 통해 광학 벤치(OB)의 X축 또는 Y축 수평이 맞지 않는다고 판단할 수 있다. 예컨대 센싱 장치(70)가 도 1에서 예시한 기울기 센서(70T)인 경우, 제어 장치(60)는 기울기 센서(70T)로부터 바로 광학 벤치(OB)의 기울기 정보를 획득할 수 있다. 또는 센싱 장치(70)가 도 2에서 예시한 거리 측정 센서(70D)인 경우, 제어 장치(60)는 각 거리 측정 센서(70D)에서 측정한 거리 및 기 저장되어 있는 거리 측정 센서(70D) 사이의 거리, 광학 벤치(OB)의 폭, 두께 등의 정보를 이용하여 광학 벤치(OB)의 기울기 정보를 산출할 수 있다. At this time, the control device 60 can determine that the X-axis or Y-axis of the optical bench OB does not match with the data obtained from the sensing device 70. [ For example, when the sensing device 70 is the tilt sensor 70T exemplified in Fig. 1, the control device 60 can acquire the tilt information of the optical bench OB directly from the tilt sensor 70T. Or when the sensing device 70 is the distance measuring sensor 70D exemplified in Fig. 2, the controller 60 determines the distance between the distance measuring sensor 70D and the distance measuring sensor 70D The inclination information of the optical bench OB can be calculated using information such as the distance of the optical bench OB, the width of the optical bench OB, the thickness, and the like.

일 실시예에 따르면, 센싱 장치(70)로부터 신호를 수신한 제어 장치(60)는 복수 개의 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 다르게 조절하여 광학 벤치(OB)의 롤링(rolling)과 피칭(pitching)을 조절해 광학 벤치(OB)의 수평을 맞출 수 있다. According to one embodiment, the controller 60 that receives the signal from the sensing device 70 adjusts the air jet intensity of the plurality of air outlets 50AH to perform rolling and pitching of the optical bench OB pitch can be adjusted to level the optical bench OB.

예컨대 광학 벤치(OB)의 Y 방향 수평이 맞지 않는 경우, 제어 장치(60)는 왼쪽의 공기 분출구(50AH_LF, 50AH_LB) 또는 오른쪽의 공기 분출구(50AH_RF, 50AH_RB)의 공기 분사 세기를 다르게 조절하여 광학 벤치(OB)의 롤링(rolling)을 제어할 수 있다. 예컨대 광학 벤치(OB)가 왼쪽으로 기울어진 경우, 제어 장치(60)는 에어 패드(50)의 왼쪽에 배치된 공기 분출구(50AH_LF, 50AH_LB)의 공기 분사 세기를 오른쪽의 공기 분출구(50AH_RF, 50AH_RB)의 공기 분사 세기보다 더 세게 하여, 광학 벤치(OB)가 다시 수평을 이루도록 할 수 있다. For example, when the optical bench OB is not horizontally aligned in the Y direction, the control device 60 adjusts the air injection intensity of the air injection ports 50AH_LF and 50AH_LB on the left side or the air injection ports 50AH_RF and 50AH_RB on the right side, The rolling of the object OB can be controlled. When the optical bench OB is tilted to the left, the control device 60 sets the air injection intensity of the air blowing outlets 50AH_LF and 50AH_LB disposed on the left side of the air pad 50 to the air blowing outlets 50AH_RF and 50AH_RB on the right side, It is possible to make the optical bench OB horizontal again.

만약 광학 벤치(OB)의 X 방향 수평이 맞지 않는 경우, 제어 장치(60)는 앞쪽의 공기 분출구(50AH_LF, 50AH_RF) 또는 뒤쪽의 공기 분출구(50AH_LB, 50AH_RB)의 공기 분사 세기를 다르게 조절하여 광학 벤치(OB)의 롤링(rolling)을 제어할 수 있다. 예컨대 광학 벤치(OB)가 앞쪽으로 기울어진 경우, 제어 장치(60)는 에어 패드(50)의 앞쪽에 배치된 공기 분출구(50AH_LB, 50AH_RB)의 공기 분사 세기를 뒤쪽의 공기 분출구(50AH_LB, 50AH_RB)의 공기 분사 세기보다 더 세게 하여, 광학 벤치(OB)가 다시 수평을 이루도록 할 수 있다. If the optical bench OB is not horizontally aligned in the X direction, the controller 60 adjusts the air injection intensity of the front air outlets 50AH_LF and 50AH_RF or the rear air outlets 50AH_LB and 50AH_RB differently, The rolling of the object OB can be controlled. When the optical bench OB is tilted forward, the controller 60 controls the air injection intensity of the air blowing outlets 50AH_LB and 50AH_RB disposed at the front side of the air pad 50 to the air blowing outlets 50AH_LB and 50AH_RB at the rear side, It is possible to make the optical bench OB horizontal again.

도 5는 복수 개의 에어 패드(50)를 포함하는 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치(500)를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 5 is a perspective view schematically showing an optical bench transfer apparatus 500 for thermal vacuum testing including a plurality of air pads 50. As shown in FIG.

하나의 에어 패드(50)를 가지는 도 4의 실시예와 달리, 이송해야 하는 광학 벤치(OB)의 길이에 맞추어, 에어 패드(50)는 이송용 대차(40) 위에 복수 개 배치될 수도 있다. 도 5에서는 예시적으로 에어 패드(50)가 이송용 대차(40)의 양단(51, 53)과 가운데(52)에 각각 하나씩 배치된 것을 도시하였으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. Unlike the embodiment of Fig. 4 having one air pad 50, a plurality of air pads 50 may be disposed on the conveying bogie 40, in accordance with the length of the optical bench OB to be conveyed. In FIG. 5, the air pads 50 are disposed at both ends 51, 53 and the middle 52 of the conveying bogie 40, but the present invention is not limited thereto.

한편, 이송용 대차(40)의 평행부(40P)는 가운데를 지나는 연결부(40B)를 통해 이어질 수 있고, 에어 패드(50)는 연결부(40B) 위에 배치될 수 있다. 예컨대 2개의 에어 패드(50)를 가지는 이송용 대차(40)를 위에서 보았을 때, 이송용 대차(40)는 두 개의 평행부(40P) 사이에 구멍(40H)이 형성된 'ㅁ'자 형태를 가질 수 있다. 도 5에서는 3개의 에어 패드(51, 52, 53) 사이사이에 각각 구멍(40H)이 형성되어, 이송용 대차(40)가 위에서 보았을 때 날 일(日)자 형태를 가지는 것을 예시하였으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 구멍(40H)에 의해, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치(100)의 무게가 감소할 수 있다. 한편, 평행부(40P)와 연결부(40B)는 체결부에 의해 결합된 것일 수 있으며, 일체로 구성된 것일 수도 있다. Meanwhile, the parallel portion 40P of the conveying truck 40 may be connected to the connecting portion 40B passing through the center, and the air pad 50 may be disposed on the connecting portion 40B. For example, when viewed from above, the transport bogie 40 having the two air pads 50 has a "ch" shape with a hole 40H formed between the two parallel portions 40P . In FIG. 5, holes 40H are formed between the three air pads 51, 52, and 53, respectively, to illustrate that the transport bogie 40 has a dagger shape when viewed from above. However, But is not limited thereto. By the hole 40H, the weight of the optical bench transporting apparatus 100 for thermal vacuum test can be reduced. On the other hand, the parallel portion 40P and the connecting portion 40B may be combined by a fastening portion, or they may be integrally formed.

에어 패드(50)가 복수 개 사용되는 경우, 복수 개의 에어 패드(50)는 이송해야 하는 광학 벤치(OB)의 X축 및 Y축을 기준으로 대칭으로 배치되어, 광학 벤치(OB)에 대칭적인 힘을 가할 수 있다. 또한 제어 장치(60)는 각각의 에어 패드(50)의 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 다르게 조절하여 광학 벤치(OB)가 수평을 이루도록 할 수 있다. When a plurality of air pads 50 are used, the plurality of air pads 50 are arranged symmetrically with respect to the X axis and the Y axis of the optical bench OB to be conveyed, . In addition, the controller 60 may adjust the air jet intensity of the air blowing holes 50AH of the respective air pads 50 to make the optical bench OB horizontal.

예컨대 광학 벤치(OB)의 Y 방향 수평이 맞지 않는 경우, 제어 장치(60)는 X 에어 패드(50)의 왼쪽의 공기 분출구 또는 오른쪽의 공기 분출구의 공기 분사 세기를 다르게 조절하여 광학 벤치(OB)의 롤링(rolling)을 제어할 수 있다. 예컨대 광학 벤치(OB)가 왼쪽으로 기울어진 경우, 제어 장치(60)는 에어 패드(50)의 왼쪽에 배치된 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 오른쪽의 공기 분출구의 공기 분사 세기보다 더 세게 하여, 광학 벤치(OB)가 다시 수평을 이루도록 할 수 있다. For example, when the optical bench OB is not horizontally aligned in the Y direction, the controller 60 adjusts the air jet intensity of the air ejection port on the left side of the X air pad 50 or the air ejection port on the right side, Can be controlled. For example, when the optical bench OB is tilted to the left, the controller 60 controls the air jet intensity of the air jet 50AH disposed on the left side of the air pad 50 to be higher than the air jet intensity of the right air jet So that the optical bench OB can be made horizontal again.

만약 광학 벤치(OB)의 X 방향 수평이 맞지 않는 경우, 제어 장치(60)는 복수 개의 에어 패드(50)의 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 다르게 조절하여 광학 벤치(OB)의 롤링(rolling)을 제어할 수 있다. 예컨대 광학 벤치(OB)가 앞쪽으로 기울어진 경우, 제어 장치(60)는 상대적으로 앞쪽에 배치된 에어 패드(53)의 공기 분출구(53AH)의 공기 분사 세기를 뒤쪽의 공기 분출구(51AH)의 공기 분사 세기보다 더 세게 하여, 광학 벤치(OB)가 다시 수평을 이루도록 할 수 있다. If the optical bench OB is not horizontally aligned in the X direction, the controller 60 adjusts the air jet intensity of the air blowing holes 50AH of the plurality of air pads 50 differently, rolling. For example, when the optical bench OB is tilted forward, the control device 60 controls the air jet intensity of the air blowing port 53AH of the air pad 53 disposed at the relatively front side to the air of the air blowing port 51AH It is possible to make the optical bench OB horizontal again.

한편, 만약 거리 측정 센서(70D) 형태의 센싱 장치(70)가 사용되는 경우, 거리 측정 센서(70D)는 가장 앞쪽에 배치된 에어 패드(53) 및 가장 뒤쪽에 배치된 에어 패드(51)에 각각 삽입될 수 있다. 한편, 거리 측정 센서(70D)는 에어 패드(50) 내에 삽입되지 않고, 에어 패드(50)의 사이에 배치될 수 있다. 예컨대 거리 측정 센서(70D)는 평행부(40P)에 배치될 수 있다. 도 5에서는 거리 측정 센서(70D)가 가장 앞쪽에 배치된 에어 패드(53)의 바로 뒤에, 가장 뒤쪽에 배치된 에어 패드(51)의 바로 앞에 4개 배치된 것을 예시하였으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.On the other hand, if the sensing device 70 in the form of the distance measuring sensor 70D is used, the distance measuring sensor 70D may be mounted on the most upstream air pad 53 and the most rear air pad 51 Respectively. On the other hand, the distance measuring sensor 70D can be disposed between the air pads 50 without being inserted into the air pads 50. [ For example, the distance measuring sensor 70D may be disposed on the parallel portion 40P. In FIG. 5, four distance sensors 70D are arranged immediately in front of the air pads 51 arranged immediately behind the air pads 53 disposed at the frontmost position. However, the present invention is not limited thereto It is not.

본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치(100, 200, 300, 500)에 따르면, 센싱 장치(70)에 의해 감지된 광학 벤치(OB)의 기울기 정보를 제어 장치(60)에 피드백하여, 수평을 유지하며 광학 벤치(OB)를 열진공 챔버(HVC) 내부로 정밀하고 안정적으로 이송할 수 있다. 한편 압축 공기를 이용하여 광학 벤치(OB)를 이송하므로, 열진공 시험실(HVL), 열진공 챔버(HVC) 및 광학 장치(OD)의 오염을 방지하여 청정도를 높게 유지할 수 있다.According to the optical bench transfer device 100, 200, 300, 500 for thermal vacuum testing according to the embodiment of the present invention, the inclination information of the optical bench OB sensed by the sensing device 70 is transmitted to the control device 60, So that the optical bench OB can be precisely and stably transferred into the thermal vacuum chamber HVC while maintaining the horizontal position. On the other hand, since the optical bench OB is conveyed by using the compressed air, contamination of the thermal vacuum chamber (HVL), the thermal vacuum chamber (HVC) and the optical device (OD) can be prevented and the cleanliness can be kept high.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템을 나타낸 사시도이고, 도 7은 광학 벤치(OB)가 이송용 대차(40) 위에 로드(load)된 상태를 나타낸 사시도이다. FIG. 6 is a perspective view showing an optical bench transfer system for thermal vacuum testing according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a perspective view showing a state where an optical bench OB is loaded on a conveyance truck 40. FIG.

열진공 시험실(heat vacuum lab, HVL)에는 열진공 챔버(heat vaccum chamber, HVC)가 설치된다. A heat vacuum lab (HVL) is equipped with a heat vacuum chamber (HVC).

열진공 챔버(HVC)의 내부에서 외부까지는 레일(10)이 이어진다. 레일(10)의 일부는 열진공 챔버(HVC) 내부의 바닥에 설치될 수 있다. 레일(10)은 높이의 변화 없이 열진공 챔버(HVC)의 내부에서 외부까지 이어질 수 있다. 열진공 챔버(HVC) 외부에서 레일(10)을 지지하기 위해, 열진공 시험실(HVL)의 바닥에는 높이 조절용 부재(F)가 배치될 수 있다. 레일(10)은 이송용 대차(40)가 정해진 경로를 따라 움직일 수 있게 한다. 도 6 및 도 7에서는 두 개의 레일(10)이 평행하게 배치된 것을 예시하였으나, 이와 달리 모노레일(monorail) 또는 3개 이상의 레일(10)이 사용될 수도 있다. A rail 10 extends from the inside to the outside of the thermal vacuum chamber (HVC). A portion of the rail 10 may be installed at the bottom of a thermal vacuum chamber (HVC). The rail 10 can extend from the interior to the exterior of the thermal vacuum chamber (HVC) without any change in height. To support the rail 10 outside the thermal vacuum chamber HVC, a height adjusting member F may be disposed at the bottom of the thermal vacuum test room HVL. The rail 10 allows the transport bogie 40 to move along a predetermined path. 6 and 7 illustrate that two rails 10 are arranged in parallel, but monorail or three or more rails 10 may be used.

이송용 대차(40)는 레일(10) 상에서 슬라이딩 이동할 수 있다. 이송용 대차(40)의 밑면에는 레일(10)을 따라 이동할 수 있는 바퀴가 설치될 수 있다. 또는, 레일(10)이 LM 가이드(linear motion guide)인 경우, 이송용 대차(40)의 밑면에는 LM 가이드를 따라 움직일 수 있는 LM 블록(41, 도 1 참조)이 설치될 수 있다. 이송용 대차(40)는 열진공 시험 전 광학 벤치(OB)를 열진공 챔버(HVC) 내부로 넣거나, 열진공 시험 후 광학 벤치(OB)를 열진공 챔버(HVC)로부터 빼낼 때 사용될 수 있다. The conveying truck 40 can slide on the rail 10. A wheel capable of moving along the rail 10 can be installed on the bottom surface of the conveying truck 40. Alternatively, when the rail 10 is an LM guide, an LM block 41 (see FIG. 1) which can move along the LM guide may be installed on the bottom of the transporting truck 40. The transport bogie 40 may be used to place the optical bench OB before the thermal vacuum test into a thermal vacuum chamber HVC or to withdraw the optical bench OB from the thermal vacuum chamber HV after a thermal vacuum test.

이송용 대차(40) 위에는 에어 패드(50)가 배치된다. 에어 패드(50)는 이송용 대차(40) 위에 1개 이상 배치될 수 있다. 도 7에서는 에어 패드(50)가 이송용 대차(40) 위에 3개 배치된 것을 예시하였으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. An air pad 50 is disposed on the conveying truck 40. One or more air pads 50 may be disposed on the transport bogie 40. In FIG. 7, three air pads 50 are disposed on the transporting carriage 40, but the present invention is not limited thereto.

에어 패드(50)는 외부의 공기 주입 호스(50H, 도 1 참조)를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구(50AH)를 포함한다. 공기 분출구(50AH)는 공기를 고압으로 분출하여 에어 패드(50) 상에 놓인 광학 벤치(OB)를 공중으로 띄울 수 있다. 이때 광학 벤치(OB)는 에어 패드(50)에서 분출되는 공기압에 의해 '지지'된다.The air pad 50 includes a plurality of air outlets 50AH for ejecting the air transmitted through an external air inlet hose 50H (see FIG. 1). The air blowing out port 50AH blows air at a high pressure and can float the optical bench OB placed on the air pad 50 into the air. At this time, the optical bench OB is supported by the air pressure ejected from the air pad 50.

에어 패드(50)는 광학 벤치(OB)를 '3점 지지'하기 위한 적어도 3개의 공기 분출구(50AH)를 포함할 수 있다. 또는, 에어 패드(50)는 직사각형 형태의 광학 벤치(OB)의 밑면을 꼭짓점 부근에서 '4점 지지'하기 위한 적어도 4개의 공기 분출구(50AH)를 포함할 수 있다. The air pad 50 may include at least three air outlets 50AH for 'three-point support' of the optical bench OB. Alternatively, the air pad 50 may include at least four air outlets 50AH for 'four-point support' in the vicinity of the vertex of the bottom surface of the rectangular optical bench OB.

센싱 장치(70)는, 에어 패드(50)에 의해 공중에 떠 있게 된 광학 벤치(OB)의 기울어짐을 감지한다. 센싱 장치(70)는 광학 벤치(OB) 위에 고정되는 기울기 센서 또는 광학 벤치(OB) 아래 놓이는 거리 측정 센서(70D)일 수 있다. The sensing device 70 senses the inclination of the optical bench OB that has been floating in the air by the air pad 50. [ The sensing device 70 may be a tilt sensor fixed on the optical bench OB or a distance measuring sensor 70D placed under the optical bench OB.

제어 장치(60)는 센싱 장치(70)로부터 신호를 수신하여 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 조절한다. 제어 장치(60)는 에어 패드(50) 공기 분출구(50AH)와 전기적/기계적으로 연결될 수 있다. 즉 제어 장치(60)를 통해 사용자는 공기 분출구(50AH)의 작동 여부(on/off), 분출 세기 등을 조절할 수 있다. 한편, 제어 장치(60)는 예컨대 이송용 대차(40) 위에 배치될 수 있다.The control device 60 receives a signal from the sensing device 70 and adjusts the air injection intensity of the air injection port 50AH. The control device 60 can be electrically / mechanically connected to the air ejecting port 50AH of the air pad 50. That is, the user can control the on / off state of the air blowing port 50AH, the blowing intensity, and the like through the control device 60. On the other hand, the control device 60 can be disposed, for example, on the conveying truck 40. [

열진공 챔버(HVC) 외부의 레일(10) 바깥에는 복수 개의 플로어 포스트(20)(floor post)가 배치된다. 플로어 포스트(20)는 높이 조절용 부재(F) 위에 배치되거나, 높이 조절용 부재(F)에 형성된 구멍에 삽입될 수 있다. 도 6 및 도 7에서는 플로어 포스트(20)가 높이 조절용 부재(F)에 형성된 구멍에 삽입된 형태를 예시하였으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. 플로어 포스트(20)는, 열진공 시험 전 열진공 챔버(HVC) 외부에 위치한 광학 벤치(OB)의 밑면을 지지한다. 복수 개의 플로어 포스트(20)는 지지되는 광학 벤치(OB)가 균형을 잃지 않도록 하는 적합한 위치에 배치될 수 있다. 예컨대 플로어 포스트(20)는 레일(10)의 왼쪽과 오른쪽에 각각 2개 이상 배치될 수 있어, 광학 벤치(OB)를 4점 지지할 수 있다. A plurality of floor posts 20 are disposed outside the rails 10 outside the thermal vacuum chamber (HVC). The floor post 20 can be placed on the height adjusting member F or inserted into the hole formed in the height adjusting member F. [ 6 and 7, the floor post 20 is inserted into the hole formed in the height adjusting member F. However, the present invention is not limited thereto. The floor posts 20 support the underside of the optical bench OB located outside the thermal vacuum chamber (HVC) before the thermal vacuum test. The plurality of floor posts 20 can be disposed at suitable positions such that the optical bench OB supported is not out of balance. For example, two or more floor posts 20 can be disposed on the left and right sides of the rail 10, respectively, so that the optical bench OB can be supported at four points.

한편, 열진공 챔버(HVC) 내부의 레일(10) 바깥에는 복수 개의 챔버 포스트(30)(chamber post)가 배치된다. 챔버 포스트(30)는, 열진공 챔버(HVC)에서 열진공 시험이 수행될 때, 광학 벤치(OB)가 열진공 챔버(HVC) 바닥에 닿지 않도록 광학 벤치(OB)의 밑면을 지지한다. 복수 개의 챔버 포스트(30)는 지지되는 광학 벤치(OB)가 균형을 잃지 않도록 하는 적합한 위치에 배치될 수 있다. 예컨대 챔버 포스트(30)는 레일(10)의 왼쪽과 오른쪽에 각각 2개 이상 배치될 수 있어, 광학 벤치(OB)를 4점 지지할 수 있다. 도 6 및 도 7에서는 플로어 포스트(20)와 챔버 포스트(30)가 왼쪽과 오른쪽에 각각 5개씩 일렬로 배치된 것을 예시하였으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.On the other hand, a plurality of chamber posts 30 are disposed outside the rails 10 in the thermal vacuum chamber HVC. The chamber post 30 supports the bottom surface of the optical bench OB so that the optical bench OB does not touch the bottom of the thermal vacuum chamber (HVC) when a thermal vacuum test is performed on the thermal vacuum chamber (HVC). The plurality of chamber posts 30 can be disposed at suitable positions such that the optical bench OB supported is not out of balance. For example, two or more chamber posts 30 may be disposed on the left and right sides of the rail 10, respectively, so that the optical bench OB can be supported at four points. In FIGS. 6 and 7, five floor posts 20 and five chamber posts 30 are arranged on the left and right sides, respectively, but the present invention is not limited thereto.

플로어 포스트(20) 및 챔버 포스트(30)는 진동 감쇄 장치를 포함할 수 있다. 진동 감쇄 장치의 충격 흡수(damping) 기능에 의해, 지진 등으로 열진공 시험실(HVL) 주위에 강한 진동이 발생하더라도 플로어 포스트(20) 또는 챔버 포스트(30)에 의해 지지되는 광학 벤치(OB)는 균형을 유지할 수 있다. The floor posts 20 and the chamber posts 30 may include vibration damping devices. The damping function of the vibration damping device causes the optical bench OB supported by the floor post 20 or the chamber post 30 to be damaged even if a strong vibration occurs around the thermal vacuum test room HVL due to an earthquake or the like Balance can be maintained.

이하 도 8 및 도 9를 참조하여, 광학 벤치(OB)를 이송하는 방법에 관해 서술한다. Hereinafter, with reference to Figs. 8 and 9, a method of conveying the optical bench OB will be described.

도 8은 광학 벤치(OB)가 플로어 포스트(20) 또는 챔버 포스트(30)에 의해 지지되는 상태를 나타낸 그림이고, 도 9는 광학 벤치(OB)가 에어 패드(50)에 의해 공중에 뜬 상태를 나타낸 그림이다. Fig. 8 is a view showing a state in which the optical bench OB is supported by the floor post 20 or the chamber post 30, Fig. 9 is a view showing a state in which the optical bench OB is in the air- Respectively.

도 8을 참조하면, 에어 패드(50)의 윗면의 높이(h50)는 플로어 포스트(20) 및 챔버 포스트(30)의 윗면의 높이(h20, h30)보다 낮을 수 있다. 에어 패드(50)의 윗면의 높이(h50)가 플로어 포스트(20) 및 챔버 포스트(30)의 윗면의 높이(h20, h30)보다 낮으므로, 밑면이 평평한 광학 벤치(OB)는 플로어 포스트(20) 또는 챔버 포스트(30)의 윗면과는 닿지만 에어 패드(50)의 윗면과는 닿지 않을 수 있다. 즉 열진공 시험을 위해 열진공 챔버(HVC)에 삽입되기 전 '대기' 중인 상태 또는 열진공 챔버(HVC)에 삽입된 후 열진공 시험을 수행하는 중에, 광학 벤치(OB)는 플로어 포스트(20) 또는 챔버 포스트(30)에 의하여만 지지될 수 있다.8, the height h 50 of the upper surface of the air pad 50 may be lower than the height h 20 , h 30 of the upper surface of the floor post 20 and the chamber post 30. [ Height (h 50) the floor post 20 and the height is lower than that (h 20, h 30), the optical bench the bottom of a flat (OB) of the upper surface of the chamber post 30 of the upper surface of the air pad 50 is floor The upper surface of the post 20 or the chamber post 30 may be in contact with the upper surface of the air pad 50. The optical bench OB is in the "waiting" state before being inserted into the thermal vacuum chamber (HVC) for thermal vacuum testing, or during the thermal vacuum test after being inserted into the thermal vacuum chamber (HVC) ) Or the chamber post (30).

도 9는 에어 패드(50)에 의해 광학 벤치(OB)가 공중에 띄워진 상태를 나타낸 그림이다. 에어 패드(50)의 공기 분출구(50AH)로부터 분사되는 공기의 압력(PA)에 의해, 광학 벤치(OB)는 에어 패드(50) 위에서 공중에 띄워질 수 있다. 이때 일 실시예에 따르면, 에어 패드(50)는 광학 벤치(OB)를 플로어 포스트(20) 및 챔버 포스트(30)의 높이(h20, h30)보다 높게 띄울 수 있다. Fig. 9 is a view showing a state in which the optical bench OB is floated in the air by the air pad 50. Fig. The optical bench OB can float above the air pad 50 by the pressure P A of the air ejected from the air ejection port 50AH of the air pad 50. [ According to one embodiment, the air pad 50 may raise the optical bench OB higher than the height h 20 , h 30 of the floor post 20 and the chamber post 30.

한편, 에어 패드(50)의 윗면의 높이(h50)와 플로어 포스트(20) 및 챔버 포스트(30)의 높이(h20, h30) 차가 너무 큰 경우, 공기 분출구(50AH)에서 공기를 분사하더라도 에어 패드(50)가 광학 벤치(OB)를 띄우지 못할 수 있다. 따라서 에어 패드(50)가 공기의 압력을 통해 광학 벤치(OB)를 띄울 수 있는 Z축 방향 변위는 에어 패드(50)의 높이(h50)와 플로어 포스트(20) 및 챔버 포스트(30)의 높이(h20, h30)의 차보다 클 수 있다. 예컨대, 에어 패드(50)가 광학 벤치(OB)를 띄울 수 있는 최대 변위(dmax)가 10cm인 경우, 에어 패드(50)의 윗면의 높이(h50)와 플로어 포스트(20) 및 챔버 포스트(30)의 높이(h20, h30)의 차는 10cm보다 작을 수 있다. On the other hand, when the difference between the height h 50 of the upper surface of the air pad 50 and the height h 20 , h 30 of the floor post 20 and the chamber post 30 is too large, air is blown from the air outlet 50AH The air pad 50 may not be able to illuminate the optical bench OB. The displacement in the Z axis in which the air pad 50 can float the optical bench OB through the pressure of the air is equal to the height h 50 of the air pad 50 and the height h 50 of the floor post 20 and the chamber post 30 It may be greater than the difference in height (h 20, h 30). For example, when the air pad 50 has a maximum displacement d max of 10 cm at which the optical bench OB can float, the height h 50 of the upper surface of the air pad 50 and the height h 50 of the floor post 20 and the chamber post The difference between the heights (h 20 , h 30 ) of the hatch 30 may be less than 10 cm.

도 10 내지 도 13은 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템을 이용하여 광학 벤치(OB)를 열진공 챔버(HVC)로 이송한 후 열진공 시험을 수행하는 과정을 순차적으로 나타낸 도면들이다. FIGS. 10 to 13 are diagrams sequentially showing a process of transferring an optical bench OB to a thermal vacuum chamber (HVC) using an optical bench transfer system for thermal vacuum testing and performing a thermal vacuum test.

열진공 시험을 위해 광학 벤치(OB) 및 광학 벤치(OB) 위에 배치된 광학 장치(OD)를 열진공 챔버(HVC) 내로 이송하기 전, 광학 벤치(OB)는 열진공 챔버(HVC)의 바깥에서 '대기' 상태에 있다. 이때 광학 벤치(OB)는 도 8의 설명에서 상술한대로 플로어 포스트(20)에 의해 지지될 수 있다. Before transferring the optical device (OD) placed on the optical bench (OB) and the optical bench (OB) for the thermal vacuum test into the thermal vacuum chamber (HVC), the optical bench OB is placed outside the thermal vacuum chamber In the "waiting" state. At this time, the optical bench OB can be supported by the floor posts 20 as described in the description of Fig.

이후 도 10을 참조하면, 우선 에어 패드(50)의 공기 분출구(50AH)에서 공기를 분사시켜 공기압(PA)을 통해 광학 벤치(OB)를 공중에 띄우는 단계가 수행된다. 일 실시예에 따르면 제어 장치(60)는 광학 벤치(OB)의 이송 시에는 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 증가시켜 광학 벤치(OB)를 띄울 수 있다. 이때 광학 벤치(OB)는 에어 패드(50)뿐만 아니라 플로어 포스트(20)와도 맞닿지 않은 상태가 되므로, 앞뒤 방향으로 이동할 때 마찰력이 작용하지 않는다. 광학 벤치(OB)가 띄워진 상태에서 이송용 대차(40)에 설치된 손잡이(42) 등을 통해 이송용 대차(40)를 밀면, 이송용 대차(40)는 레일(10)을 따라 움직이고, 광학 벤치(OB)는 공중에 뜬 상태로 이송용 대차(40)와 함께 이동하게 된다. Referring to FIG. 10, a step of blowing air from the air blowing port 50AH of the air pad 50 to float the optical bench OB through the air pressure P A is performed. According to one embodiment, the control device 60 can increase the air jet intensity of the air blowing out port 50AH to lift the optical bench OB when the optical bench OB is conveyed. At this time, since the optical bench OB is not in contact with the floor post 20 as well as the air pad 50, no frictional force acts on the optical bench OB when moving in the front-back direction. The transport bogie 40 moves along the rails 10 when the transport bogie 40 is pushed through the handle 42 provided on the transport bogie 40 in a state where the optical bench OB is floated, The bench OB is moved together with the transportation bogie 40 in a floating state.

광학 벤치(OB)가 공중에 뜨고 이송용 대차(40)에 의해 앞뒤 방향으로 이동하는 동안, 센싱 장치(70)는 광학 벤치(OB)의 기울기 정보를 제어 장치(60)에 제공할 수 있다. 제어 장치(60)는 센싱 장치(70)로부터 수신 받은 기울기 정보를 통해 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 조절할 수 있다. 이를 통해 광학 벤치(OB)는 수평을 유지하며 이송될 수 있다.The sensing device 70 can provide the tilt information of the optical bench OB to the control device 60 while the optical bench OB is floating in the air and moved back and forth by the transporting bogie 40. [ The control device 60 can adjust the air injection intensity of the air injection port 50AH through the inclination information received from the sensing device 70. [ This allows the optical bench (OB) to be transported in a horizontal position.

도 11은 이송용 대차(40)에 의해 광학 벤치(OB)가 열진공 챔버(HVC) 내부까지 진입한 상태를 나타낸다. 진입 시점까지, 광학 벤치(OB)는 공기압(PA)에 의해 공중에 띄워져 있다. 이때 광학 벤치(OB)가 띄워진 높이, 즉 광학 벤치(OB)의 아랫면의 높이는 챔버 포스트(30)의 높이보다 높을 수 있다. 이에 따라, 광학 벤치(OB)가 띄워진 상태에서는 광학 벤치(OB)가 챔버 포스트(30)와 닿지 않고 챔버 포스트(30)의 '위'에 위치할 수 있다. 11 shows a state in which the optical bench OB is advanced to the inside of the thermal vacuum chamber (HVC) by the conveying truck 40. Fig. Until the entry point, the optical bench OB is in the air by the air pressure P A. At this time, the height at which the optical bench OB is floated, that is, the height of the lower surface of the optical bench OB, may be higher than the height of the chamber post 30. [ Accordingly, the optical bench OB can be positioned " above " the chamber post 30 without touching the chamber post 30 in a state where the optical bench OB is floated.

도 12는 광학 벤치(OB)가 챔버 포스트(30)에 의해 지지된 상태를 나타낸다. 일 실시예에 따르면, 제어 장치(60)가 광학 벤치(OB)를 플로어 포스트(20) 또는 챔버 포스트(30)에 안착시킬 때는 공기 분출구(50AH)의 공기 분사 세기를 감소시킬 수 있다. 그러면 광학 벤치(OB)는 높이가 점차 낮아지다가 결국에는 챔버 포스트(30) 상에 안착할 수 있다. 이때 에어 패드(50)의 높이는 챔버 포스트(30)의 높이보다 낮으므로, 광학 벤치(OB)는 챔버 포스트(30)에 의해 지지될 수 있지만 에어 패드(50)와는 접촉하지 않을 수 있다. 따라서, 에어 패드(50)와 광학 벤치(OB) 사이의 마찰 없이 이송용 대차(40)가 열진공 챔버(HVC)를 빠져나올 수 있다. 12 shows a state in which the optical bench OB is supported by the chamber post 30. Fig. According to one embodiment, when the control device 60 places the optical bench OB in the floor post 20 or the chamber post 30, it is possible to reduce the air injection intensity of the air ejection opening 50AH. The optical bench OB may then be gradually lowered and eventually rest on the chamber post 30. [ The height of the air pad 50 is lower than the height of the chamber post 30 so that the optical bench OB can be supported by the chamber post 30 but not the air pad 50. [ Thus, the transport bogie 40 can exit the thermal vacuum chamber (HVC) without friction between the air pad 50 and the optical bench OB.

도 13은 열진공 시험이 수행되는 상태를 나타낸다. 광학 벤치(OB)가 챔버 포스트(30)에 안착된 후에는, 이송용 대차(40)가 열진공 챔버(HVC) 바깥으로 빠져나올 수 있다. 이후, 열진공 챔버(HVC)의 입구를 캡(C)으로 닫은 후 열진공 챔버(HVC)를 진공으로 만들 수 있다. 이때 열진공 챔버(HVC)의 밀폐 작업을 원활하게 하기 위해, 레일(10)은 열진공 챔버(HVC)의 입구를 경계로 내부 레일(10I)과 외부 레일(10O)로 쉽게 분리될 수 있다. 13 shows a state in which a thermal vacuum test is performed. After the optical bench OB is seated in the chamber post 30, the transport bogie 40 may escape out of the thermal vacuum chamber (HVC). The thermal vacuum chamber (HVC) can then be evacuated after closing the inlet of the thermal vacuum chamber (HVC) to the cap (C). At this time, in order to facilitate the sealing operation of the thermal vacuum chamber (HVC), the rail 10 can be easily separated into the inner rail 10I and the outer rail 100 with the boundary of the entrance of the thermal vacuum chamber HVC.

열진공 시험이 완료된 후에는, 도 10 내지 도 13의 순서를 반대로 하여 광학 벤치(OB)를 다시 열진공 챔버(HVC)에서 빼낸 뒤 플로어 포스트(20)에 안착시킬 수 있다. After the thermal vacuum test is completed, the optical bench OB can be taken out of the thermal vacuum chamber (HVC) again and placed on the floor post 20 by reversing the order of FIGS. 10 to 13.

본 발명의 일 실시예에 따른 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템에 따르면, 무거워 운반하기 어려운 광학 벤치(OB)를 손쉽고 안정적으로 이동할 수 있다. 또한, 에어 패드(50)를 이용하여 광학 벤치(OB)를 아래에서부터 들어올려 이송함으로써, 윗면이 막혀 있어 와이어 및 크레인을 사용하기 어려운 열진공 챔버(HVC) 내부로도 손쉽게 광학 벤치(OB)를 이송할 수 있다. 또한, 센싱 장치(70)를 이용하여 광학 벤치(OB)의 기울기를 감지해 제어 장치(60)로 피드백하여, 광학 벤치(OB)의 수평을 유지하면서 광학 벤치(OB)를 이송할 수 있다. According to the optical bench transfer system for thermal vacuum testing according to the embodiment of the present invention, it is possible to easily and stably move the optical bench OB which is difficult to carry heavy. Further, the optical bench OB is lifted from below by using the air pad 50 to easily mount the optical bench OB in the inside of a thermal vacuum chamber (HVC) where the upper surface is clogged and wires and a crane are difficult to use Can be transported. Further, the inclination of the optical bench OB can be sensed using the sensing device 70 and fed back to the control device 60, so that the optical bench OB can be transferred while maintaining the optical bench OB in a horizontal position.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

10: 레일 20: 플로어 포스트
30: 챔버 포스트 40: 이송용 대차
41: LM 블록 42: 손잡이
50: 에어 패드 50H: 공기 주입 호스
50V: 제어 밸브 50AH: 공기 분출구
60: 제어 장치 70: 센싱 장치
70D: 거리 측정 센서 70T: 기울기 센서
100, 200, 300, 500: 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치
OB: 광학 벤치 OD: 광학 장치
HVC: 열진공 챔버10: rail 20: floor post
30: chamber post 40: conveying truck
41: LM block 42: handle
50: air pad 50H: air inlet hose
50V: Control valve 50AH: Air outlet
60: control device 70: sensing device
70D: Distance measuring sensor 70T: Tilt sensor
100, 200, 300, 500: Optical bench transfer device for thermal vacuum test
OB: Optical bench OD: Optical device
HVC: Thermal Vacuum Chamber

Claims (7)

열진공 시험실에 설치된 열진공 챔버의 내부에서 외부까지 이어진 레일 상에서 슬라이딩 이동할 수 있는 이송용 대차;
상기 이송용 대차 위에 배치되며, 공기 주입 호스를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구를 포함하여, 광학 벤치를 띄워 올릴 수 있는 에어 패드;
상기 광학 벤치의 기울어짐을 감지할 수 있는 센싱 장치; 및
상기 센싱 장치로부터 신호를 수신하여 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 제어 장치;를 포함하고,
상기 센싱 장치는, 상기 광학 벤치 상에 배치되는 기울기 센서를 포함하는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치.
A transport bogie capable of sliding movement on a rail extending from the interior to the exterior of a thermal vacuum chamber provided in a thermal vacuum chamber;
An air pad disposed on the transporting carriage and including a plurality of air outlets for spraying the air transferred through the air inlet hose to float the optical bench;
A sensing device capable of sensing tilting of the optical bench; And
And a control device for receiving a signal from the sensing device and adjusting an air jet intensity of the air jetting port,
Wherein the sensing device comprises a tilt sensor disposed on the optical bench.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 센싱 장치는, 상기 이송용 대차 상에 배치되어 상기 광학 벤치와 상기 에어 패드의 거리를 감지할 수 있는 거리 측정 센서를 포함하는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the sensing device comprises a distance measuring sensor disposed on the transporting carriage and capable of sensing a distance between the optical bench and the air pad.
제3항에 있어서,
상기 제어 장치는, 상기 광학 벤치를 상승시킬 때, 상기 거리 측정 센서로부터 측정된 거리가 기정된 값에 이를 때까지 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 증가시키는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치.
The method of claim 3,
Wherein the controller increases the air injection intensity of the air ejection port until the distance measured from the distance measurement sensor reaches a predetermined value when raising the optical bench.
제3항에 있어서,
상기 제어 장치는, 상기 거리 측정 센서로부터 측정된 거리가 기정된 값에 이른 시점의 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 유지하는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치.
The method of claim 3,
Wherein the control device maintains the air jet intensity of the air blowing port when the distance measured from the distance measuring sensor reaches a predetermined value.
제1항에 있어서,
상기 제어 장치는,
상기 공기 분출구에 연결된 제어 밸브를 통해 상기 복수 개의 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하여, 상기 광학 벤치의 롤링(rolling)과 피칭(pitching)을 조절하여 상기 광학 벤치의 수평을 맞추는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 장치.
The method according to claim 1,
The control device includes:
And a control unit for controlling the air injection intensity of the plurality of air blowing outlets through a control valve connected to the air blowing out port to adjust the rolling and pitching of the optical bench to level the optical bench, Bench transfer device.
열진공 시험실에 설치된 열진공 챔버의 내부에서 외부까지 이어진 레일;
상기 레일 상에서 슬라이딩 이동할 수 있는 이송용 대차;
상기 이송용 대차 위에 배치되며, 공기 주입 호스를 통해 전달받은 공기를 분출하는 복수 개의 공기 분출구를 포함하여, 광학 벤치를 띄워 올릴 수 있는 에어 패드;
상기 광학 벤치의 기울어짐을 감지할 수 있는 센싱 장치;
상기 센싱 장치로부터 신호를 수신하여 상기 공기 분출구의 공기 분사 세기를 조절하는 제어 장치;
상기 레일 바깥에 배치되고, 상기 열진공 챔버 외부에 배치되어 상기 광학 벤치가 상기 열진공 챔버 외부에 위치할 때 상기 광학 벤치를 지지할 수 있는 복수 개의 플로어 포스트; 및
상기 레일 바깥에 배치되고, 상기 열진공 챔버 내부에 배치되어 상기 광학 벤치가 상기 열진공 챔버 내부에 위치할 때 상기 광학 벤치를 지지할 수 있는 복수 개의 챔버 포스트;를 포함하고,
상기 센싱 장치는, 상기 광학 벤치 상에 배치되는 기울기 센서를 포함하는, 열진공 시험용 광학 벤치 이송 시스템.A rail extending from the inside to the outside of the thermal vacuum chamber provided in the thermal vacuum chamber;
A transport bogie capable of sliding movement on the rail;
An air pad disposed on the transporting carriage and including a plurality of air outlets for spraying the air transferred through the air inlet hose to float the optical bench;
A sensing device capable of sensing tilting of the optical bench;
A control device for receiving a signal from the sensing device and adjusting an air injection intensity of the air injection port;
A plurality of floor posts disposed outside the rail and disposed outside the thermal vacuum chamber to support the optical bench when the optical bench is located outside the thermal vacuum chamber; And
A plurality of chamber posts disposed outside the rail and disposed within the thermal vacuum chamber to support the optical bench when the optical bench is located within the thermal vacuum chamber,
Wherein the sensing device comprises a tilt sensor disposed on the optical bench.
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