KR101985338B1 - 적응적 홈 포커싱 및 레벨링 장치 및 방법 - Google Patents

적응적 홈 포커싱 및 레벨링 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

측정 대상(400)의 표면의 높이와 기울기를 측정하기 위한, 적응적인 홈 포커싱 및 레벨링 장치가 개시된다. 상기 측정 대상(400)은 표면에 주기적인 홈(401)을 포함하고 이동식 테이블에 의해 지지된다. 상기 포커싱 및 레벨링 장치는 순차적으로 조명부, 투영부, 검출부 및 검출기(212)를 포함하되, 상기 측정 대상(400)은 광 경로를 따라 투영부와 검출부 사이에 배치되고, 투영부는 투영 슬릿(203)을 구비하고 측정 대상(400) 상에 복수 개의 측정점(501)을 형성하기 위해 사용되며, 상기 복수 개의 측정점들(501) 각각은 적어도 세 개의 측정용 자식 광 스팟들(502)을 포함하며, 상기 적어도 세 개의 측정용 자식 광 스팟들(502)은 다른 간격으로 배열됨으로써, 상기 복수 개의 측정점들(501)이 측정 대상(400)의 표면에 투영될 시, 상기 복수 개의 측정점들(501) 각각의 상기 적어도 세 개의 측정용 자식 광 스팟들(502) 중 적어도 두 개는 홈(401) 바깥에 위치게 되고 측정 대상(400)의 높이와 기울기를 측정하게 된다.

Description

적응적 홈 포커싱 및 레벨링 장치 및 방법{ADAPTIVE GROOVE FOCUSING AND LEVELING DEVICE AND METHOD}
본 발명은 투영 리소그래피 도구에 관한 것으로서, 특히 투영 리소그래피 도구에서 이용하기 위한, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치 및 방법에 관한 것이다.
투영 리소그래피 도구는 액정 디스플레이(LCD) 분야에서 핵심 공정 장비로 사용되는 도구 중 하나이다. 관통 실리콘 비아(TSV)는 칩들이나 웨이퍼들 사이에 형성된 수직 도전성 비아에 의해 칩들을 서로 연결하는 최신 기술을 나타낸다. TSV는 작은 패키지 사이즈, 빠른 신호 송신, 낮은 전력 소비 등의 장점을 제공한다. 수 많은 TSV 공정을 거치게 되는 표준 웨이퍼의 가장자리 부분에 결합 불균일성, 비동심도, 마모, 스크라이브 라인, 표면상의 스퍼터링된 금속이나 절연 물질, 또는 뒤틀림이 관찰된다. 이러한 복잡한 조건 하에서, 포커싱 및 레벨링 장치는 측정을 실시할 수 없는 경우가 많다.
도 1에 도시된 바와 같이, 포커싱 및 레벨링을 위한 종래의 검출 장치는 투영 대상(20)의 광축의 양측에 연장된 측정 광 경로를 구비한다. 상기 측정 광 경로에는 조명부, 투영부, 검출부, 및 릴레이부가 차례로 배치된다. 검출 장치 전체에 대한 조명을 제공하기 위해, 상기 조명부의 광원(21)에서 방출된 빛은 광원 렌즈군(22)에서 수렴되고, 이후 광 섬유에 의해 상기 투영부로 안내된다. 상기 조명부는 투영 슬릿(23), 전면 투영 렌즈군(24), 투영 반사기군(25), 후면 투영 렌즈군(26) 등을 구비한다. 상기 빛은 투영 슬릿과 렌즈(24)를 통해 전달되고 반사기(25)에 의해 반사되어 렌즈(26)를 통과한 후, 유리 기판 표면의 현재 노광 영역에서 측정용 광 스팟을 형성한다. 상기 검출부는 전면 검출 렌즈군(27), 검출 반사기군(28), 후면 검출 렌즈군(29), 및 기타 구성요소를 포함한다. 상기 릴레이부는 릴레이 반사기(30), 릴레이 렌즈군(31), 검출기(32), 산술부(33), 제어기(34) 및 기타 구성요소를 포함한다. 상기 광 스팟의 빛은 릴레이부를 통해 진행하여 검출기에서 수신됨으로써, 측정 대상(예를 들면, 유리 기판)의 표면 높이 정보를 포함하는 광도 신호를 형성한다. 이러한 측정 방식을 위해서는 측정 대상의 표면이 평평해야 하지만, 이동식 캐리어 스테이지(35) 상에서 운반되는, 웨이퍼나 유리 기판과 같은 측정 대상(36)은 서로 다른 가공 층들 때문에 트렌치(41) (도 3 참조)를 가진다.
도 2A 및 도 2B에 도시된 바와 같이, 상기 트렌치(41) 문제에 대한 해결책이 제안되었으며, 이 해결책에 따르면, 측정 대상의 표면 불규칙성으로 인해 이미지에 발생하여 측정 오류를 야기할 수 있는 그림자를 줄이기 위해, 개구수 A가 투영 개구수 B와 검출 개구수 M의 곱 이상이 되도록 설계되고, 상기 투영 개구수 B와 검출 개구수 M의 곱은 검출 개구수 M과 측정 대상의 기울기 W의 합 이상이 되도록 설계된다 (즉, A≥B*M≥M+W). 많은 경우, 교차(interlaced) 패턴과 배선들이 웨이퍼 표면상에 형성된다. 결과적으로, 반사로 인해 다양한 방향에서 편차 또한 발생한다. 투영 개구 조리개(50)는 십자 모양으로 형성되어, 검출 광빔과 투영 광빔 사이의 거리가 d가 되어, 감소된 측정 에러로 검출 광빔(51)의 수신을 용이하게 한다. 이러한 방식은 (도 3에 도시된 바와 같이) 상대적으로 큰 트렌치(41)에 대해, 어느 정도 측정 대상의 표면 불규칙성의 결과를 완화할 수 있지만, 투영 광빔이 트렌치의 내벽 표면에 입사되면, 측정은 여전히 불가능할 것이다.
웨이퍼나 유리 기판과 같은 실제 대상(36)의 표면에는 대개 수 밀리미터 정도, 예를 들면 5mm 피치로 트렌치가 주기적으로 종종 형성되는데, 이는 측정에 불리하다. 상기 트렌치는 수백 마이크론, 예를 들면 100 ㎛ 크기를 가지기 때문에, 측정용 광 스팟의 전부 또는 일부가 트렌치들 중 하나에 형성될 가능성이 있다. 이로 인해 측정 오류가 야기되거나 심지어 측정 자체가 불가능하게 될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 측정용 광 스팟의 전부 또는 일부가 이 트렌치들 중 하나에 형성되면, 반사광이 집광되지 못하고 대상의 측정에 악 영향을 미치도록 상기 광 경로상에서 반사가 일어날 것이다. 상기 반사광이 트렌치에 의해 완전히 반사되면, 측정을 실시할 수 없다.
종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 목적은 측정 대상의 높이와 기울기를 측정하는데 이용하기 위해, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 측정 대상의 표면의 높이와 기울기를 측정하기 위하여 사용되는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치를 제공한다. 상기 트렌치는 이동식 스테이지 상에서 운반되는 측정 대상의 표면에 형성된다. 상기 포커싱 및 레벨링 장치는 순차적으로 배치된, 조명부, 투영부, 검출부 및 검출기를 포함한다. 상기 측정 대상은 광 경로를 따라 투영부와 검출부 사이에 배치된다. 상기 투영부는 측정 대상 상에 복수 개의 측정점을 형성하도록 구성된 투영 슬릿을 포함하고, 상기 복수 개의 측정점들 각각은 비-등간격으로 배열된 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들을 포함하여, 상기 복수 개의 측정점들이 측정 대상의 표면에 투영될 시, 상기 복수 개의 측정점들 각각의 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 적어도 두 개는 트렌치 바깥에 위치함으로써 측정 대상의 높이와 기울기를 측정 가능케 한다.
또한, 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 각각의 크기는 트렌치들 각각의 너비보다 클 수 있다.
또한, 상기 복수 개의 측정점들 각각은 세 개, 네 개, 또는 다섯 개의 측정용 광 스팟들을 포함할 수 있다.
또한, 처음과 마지막 측정용 광 스팟들 간의 거리는 트렌치 피치의 배수와 동일하지 않을 수 있다.
또한, 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 둥 어느 두 개의 인접한 측정용 광 스팟들 간의 거리는 트렌치 피치의 배수와 동일하지 않을 수 있다.
또한, 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 둥 어느 두 개의 측정용 광 스팟들 간의 거리는 트렌치 피치의 배수와 동일하지 않을 수 있다.
또한, 상기 트렌치들의 피치는 2mm이고, 상기 복수 개의 측정점들 각각은 세 개의 측정용 광 스팟들을 포함하며, 상기 측정용 광 스팟들 중 인접 측정용 광 스팟들 간의 거리는 각각 1.5mm 및 1mm일 수 있다.
또한, 상기 복수 개의 측정점들을 측정 대상의 표면에 투영할 시, 상기 복수 개의 측정점들 각각에 대하여, 상기 세 개의 측정용 광 스팟들 중 트렌치 바깥에 위치한 적어도 두 개의 측정용 광 스팟들은 상기 검출기에 의해 검출된 측정용 광 스팟들 간의 거리(들)에 근거하여 식별될 수 있다.
또한, 상기 조명부는 광원과 광원 렌즈군을 순차적으로 구비하고, 상기 투영부는 광 경로를 따라 순차적으로 배치된, 투영 슬릿, 전면 투영 렌즈군, 투영 반사기군, 및 후면 투영 렌즈군을 구비하고, 상기 검출부는 광 경로를 따라 순차적으로 배치된, 전면 검출 렌즈군, 검출 반사기군, 및 후면 검출 렌즈군을 구비하고, 릴레이부는 검출부와 검출기 사이에 제공되며, 상기 릴레이부는 광 경로를 따라 순차적으로 배치된 릴레이 반사기와 릴레이 렌즈군을 구비할 수 있다.
본 발명에 따른, 상기 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치에서, 상기 조명부는 각 측정점을 다수개의 비-등간격 부분으로 분할하는 투영부의 투영 슬릿을 통해 빛을 측정 대상의 표면으로 조사함으로써, 측정 대상의 표면에 투영되는 각 측정점은 동일 개수의 비-등간격 측정용 광 스팟을 포함한다. 측정 대상 표면의 상기 측정용 광 스팟에서 반사되는 빛은 검출부에 의해 집광되고 이후 검출기에 입력된다. 상기 측정용 광 스팟들 중 어느 하나가 트렌치들 중 하나에 위치하는 경우, 상기 검출기는 유효 측정용 광 스팟들 간의 검출 거리(들)에 기초하여 이들 유효 측정용 광 스팟을 식별하여, 유효 측정용 광 스팟들에 따라, 트렌치가 형성된 측정 대상의 높이 및 기울기 측정이 가능해진다. 여기서 유효 측정용 광 스팟이란 측정 대상에서 트렌치 외부에 위치한 측정용 광 스팟을 지칭하고, 반면에 유효하지 않은 측정용 광 스팟은 측정 대상에서 트렌치들 중 하나에 형성된 측정용 광 스팟을 지칭한다.
본 발명은 또한 측정 대상의 표면의 높이와 기울기를 측정하기 위하여 사용되는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 방법을 제공한다. 상기 트렌치는 이동식 스테이지 상에서 운반되는 상기 측정 대상의 표면에 주기적으로 형성된다. 상기 방법은 포커싱 및 레벨링 장치에 의해서, 측정 대상의 표면에 복수 개의 측정점을 형성하고, 각 측정점은 비-등간격으로 배열된 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들을 포함하는 단계, 복수 개의 측정점이 측정 대상의 표면에 투영될 시, 복수 개의 측정점 각각의 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 적어도 두 개가 트렌치 바깥에 위치하도록, 이동식 스테이지를 이동하고, 따라서 이동식 스테이지 상에 운반되는 측정 대상을 이동시키는 단계, 및 상기 포커싱 및 레벨링 장치에 의해 측정 대상 표면의 높이와 기울기를 측정하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 방법은 상기 이동식 스테이지를 초기 위치로 이동하는 단계, 상기 포커싱 및 레벨링 장치에 의해 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 간의 거리들을 검출하는 단계, 및 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 적어도 하나가 트렌치들 중 하나에 위치하면, 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 적어도 두 개가 트렌치 바깥에 위치하도록, 이동식 스테이지를 통하여 상기 측정 대상을 이동시켜 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들을 측정 대상의 표면에 재배치하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 이동식 스테이지를 통하여 상기 측정 대상을 이동하는 단계는, 트렌치들이 제 1 수평 방향을 따라 분포된 피치의 1/10 내지 1/2에 해당하는 거리만큼 제 1 수평 방향으로 이동식 캐리어 스테이지를 이동시키는 단계, 및 트렌치들이 제 2 수평 방향을 따라 분포된 피치의 1/10 내지 1/2에 해당하는 거리만큼 제 2 수평 방향으로 이동식 캐리어 스테이지를 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 복수 개의 측정점이 측정 대상의 표면에 투영될 시, 복수 개의 측정점 각각에 대하여, 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 트렌치 바깥에 위치하는 적어도 두 개의 측정용 광 스팟들을 검출기에 의해 검출된 상기 측정용 광 스팟들 간의 거리(들)에 기초하여 식별할 수 있다.
본 발명에 따른, 상기 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 방법에서, 상기에서 정의한 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치를 사용하여, 상기 측정용 광 스팟들 중 어느 하나가 트렌치들 중 하나에 위치하는 경우, 포커싱 및 레벨링 장치에 의해 검출된, 유효 측정용 광 스팟들 간의 거리(들)에 기초하여 이들 유효 측정용 광 스팟을 식별하여, 유효 측정용 광 스팟들에 따라, 트렌치가 형성된 측정 대상의 높이 및 기울기 측정을 가능케 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 포커싱 및 레벨링 장치를 도시하는 개략적인 구조도이다.
도 2A는 종래 기술에 따른 투영된 광 스팟을 개략적으로 도시하는 도면이다
도 2B는 종래 기술에 따른 투영된 광 스팟상의 공차 측정을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 3은 종래 기술에 따라 트렌치가 어떻게 광 경로에 영향을 주는지 개략적으로 도시한다.
도 4는 본 발명에 따른 포커싱 및 레벨링 장치를 도시하는 개략적인 구조도이다.
도 5는 본 발명에 따른 측정점 및 측정용 광 스팟들의 배열을 개략적으로 도시한다.
도 6은 도 5에 도시된 측정용 광 스팟들 둥 하나를 도시하는 확대도이다.
도 7A는 세 개의 등간격 광 스팟들의 배열을 개략적으로 도시한다.
도 7B는 도 7A에 도시된 세 개의 등간격 광 스팟들 각각이 트렌치 내에 위치할 경우 획득한 이미지를 도시한다.
도 7C는 본 발명의 일 실시예에 따라, 세 개의 비-등간격 광 스팟들의 배열을 개략적으로 도시한다.
도 7D는 도 7C에 도시된 세 개의 비-등간격 광 스팟들 중 일부가 각각 트렌치 내에 위치할 경우 획득한 이미지를 도시한다.
도 7E는 본 발명의 일 실시예에 따른, 네 개의 비-등간격 광 스팟들의 배열을 개략적으로 도시한다.
도 7F는 도 7E에 도시된 네 개의 비-등간격 광 스팟들 중 일부가 각각 트렌치 내에 위치할 경우 획득한 이미지를 도시한다.
도 7G는 본 발명의 일 실시예에 따른, 다섯 개의 비-등간격 광 스팟들의 배열을 개략적으로 도시한다.
도 7H는 도 7G에 도시된 다섯 개의 비-등간격 광 스팟들 중 일부가 각각 트렌치 내에 위치할 경우 획득한 이미지를 도시한다.
도 8은 본 발명에 따라 세 개의 광 스팟들과 2mm 피치로 서로 떨어져 배열된 트렌치들 간의 위치 관계를 개략적으로 도시한다.
도 9는 주기적인 트렌치들을 개략적으로 도시한다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른, 포커싱 및 레벨링 방법을 도식화한 흐름도이다.
첨부된 도면을 참조하여, 본 발명을 하기에 상세히 설명할 것이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명은 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치를 제공하되, 상기 장치는 투영 대상(100)의 광축의 양 측에 연장된 측정 광 경로를 구비하고, 상기 측정 광 경로를 따라 조명부, 투영부, 검출부, 릴레이부 및 검출기가 차례로 배열된다.
도 4를 참조하면, 상기 조명부는 순차적으로 배열된 광원(201)과 광원 렌즈군(202)를 포함한다. 상기 광원(201)은 본 발명에 의해 제공되는 광원이다. 상기 광원 렌즈군(202)은 광원(201)에서 나오는 광빔을 병렬 광빔으로 변환하도록 구성된다.
도 4, 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 투영부는, 광 경로에 순차적으로 배치된 투영 슬릿(203), 전면 투영 렌즈군(204), 투영 반사기군(205) 및 후면 투영 렌즈군(206)을 포함한다. 상기 투영 슬릿(203)에 의해, 다수의 측정 점들(501)이 측정 대상(400)(예를 들면, 웨이퍼나 유리 기판)상에 형성된다. 측정점들(501)의 분포 예시가 도 5에 개략적으로 나타나 있다. 각 측정점(501)은, 예를 들면 도 6에 도시된 바와 같이, 비-등간격으로 분포된 다수의 측정용 광 스팟(502)을 포함한다. 병렬 빔은 투영 슬릿(203), 전면 투영 렌즈군(204), 투영 반사기군(205), 및 후면 투영 렌즈군(206)을 통해 전파된 후, 웨이퍼와 같은 측정 대상(400) 표면의 노광 영역에 측정점들(501), 따라서 측정용 광 스팟들(502)을 형성한다.
도 4를 참조하면, 상기 검출부는, 광 경로에 순차적으로 배열된 전면 검출 렌즈군(207), 검출 반사기군(208), 및 후면 검출 렌즈군(209)을 포함한다. 상기 전면 검출 렌즈군(207)은 측정 대상(400)의 표면상에 형성된 측정점들(501), 따라서 측정용 광 스팟들(502)로부터 나오는 광을 집광하도록 구성된다. 측정점들(501), 따라서 측정용 광 스팟들(502)로부터 집광한 광의 광 경로 방향은 검출 반사기군(208)에 의해 꺾여 후면 검출 렌즈군(209)을 통과하면서 후면 검출 렌즈군(209)에 의해 포커싱된다.
도 4를 참조하면, 상기 릴레이부는 광 경로를 따라 순차적으로 배열된 릴레이 반사기(210)와 릴레이 렌즈군(211)을 포함한다. 상기 릴레이 반사기(210)는 상기 포커싱된 광을 휘도록 함으로써, 상기 광이 릴레이 렌즈군(211)을 통과해서 좀 더 포커싱되며 이후 검출기(212)에 입사되도록 구성된다. 측정 대상의 높이와 기울기를 측정하기 위해, 상기 검출기(212)는 측정용 광 스팟들(502)간의 검출 거리(들)에 근거하여 측정용 광 스팟들(502) 중 유효한 측정용 광 스팟(들)(502)을 식별하도록 구성된다.
도 4를 참조하면, 상기 포커싱 및 레벨링 장치는 산술부(213)와 제어기(214)를 포함한다. 상기 제어기(214)는, 상부에 측정 대상(400)이 운반되는 이동식 캐리어 스테이지(300)에 연결된 회로를 포함한다. 상기 산술부(213)는 검출기(212)에 의해 검출된 유효 광 스팟들(502)에 해당하는 광 신호를 전기 신호로 변환할 수 있다. 상기 전기 신호의 값에 근거하여, 상기 제어기(214)는 여섯 개의 자유도(DoF) 방향의 변화를 통해 측정 대상의 높이와 기울기를 조정할 지 여부를 결정한다. 이동식 캐리어 스테이지(300)의 여섯 개의 자유도란 세 개의 직교 좌표축들 X, Y 및 Z 상의 이동 자유 및 이들 좌표축들에 대한 회전을 나타낸다.
검출기(212)를 통해 유효 광 스팟들(502)이 검출되지 않으면, 측정 대상(400)이 과도하게 위치 편차가 있어, 측정 대상(400)의 표면상에 광 스팟들(502)을 재배치되도록 측정 대상(400)의 위치를 이동식 캐리어 스테이지(300)에 의해 조정해야 한다고 알려져 있다. 이 경우에, 상기 측정 대상(400)의 위치 조정은 상기 포커싱 및 레벨링 장치에 구비된 산술부(213)와 제어기(214)에 의해 실행할 수 있다.
상기 검출기(212)에 의해 단 하나의 유효 광 스팟(502)만 검출되면, 다른 유효한 광 스팟(502)이 부재하여 다른 광 스팟(502)과의 거리에 근거하여 상기 광 스팟(502)의 ID를 결정할 수 없기 때문에, 상기 측정용 광 스팟들(502) 중 어느 것이 유효한지 알 수 없다. 이 경우, 보다 더 정확한 측정 결과를 얻기 위해, 측정 대상(400)의 표면상에 광 스팟들(502)을 재배치하여 두 개 이상의 유효 측정용 광 스팟들(502)이 이들 간의 거리에 따라 검출될 수 있도록, 측정 대상(400)의 위치를 이동식 캐리어 스테이지(300)에 의해 조정할 수 있다.
본 발명에 따르면, 각 렌즈군은 하나 혹은 복수 개의 렌즈를 구비할 수 있고, 각 반사기군은 하나 혹은 복수 개의 반사기를 구비할 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 상기 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치에서, 각 측정용 광 스팟(502)의 사이즈는 트렌치(401)의 너비 Lg보다 크다. 예를 들면, 측정용 광 스팟(502)이 원형일 경우, 측정용 광 스팟(502)의 직경은 트렌치(401)의 너비보다 클 수 있고, 측정용 광 스팟(502)이 정사각형일 경우, 측정용 광 스팟(502)의 변의 길이는 트렌치(401)의 너비보다 클 수 있다.
투영 리소그래피 도구에서, 포커싱 및 레벨링을 위한 검출 장치는 대개 웨이퍼 표면의 특정 영역의 높이와 기울기 측정을 위해 사용된다. 이 검출 장치는 일반적으로 동작시 웨이퍼를 손상하지 않으면서 높은 정확도를 제공해야 한다. 웨이퍼 표면이 투영 대상의 유효 깊이 범위내에 위치하도록 웨이퍼의 동작을 제어 가능하도록 하기 위해, 웨이퍼의 지형적 불균일성(즉, 높이들과 기울기들)을 측정한다. 본 실시예에서, 상기 포커싱 및 레벨링 장치는 적어도 세 개의 측정점, 본 실시예에서는 네 개의 측정점을 가진다. 이들 측정점에 의해 정의되는 공간면은 측정 대상의 표면을 나타내는 것으로 간주되고, 포커싱 및 레벨링 과정은 이 공간면이 투영 대상의 최적 초점면에 들도록 하기 위함이다. 본 발명에 따르면, 각 측정점에는 적어도 세 개의 측정용 광 스팟이 존재하고 이들 광 스팟은 서로 다른 간격으로 떨어져 있어야 한다.
도 3은 트렌치가 어떻게 광 경로에 영향을 미치는 지를 개략적으로 도시한다. 도 3을 참조하면, 측정 대상의 표면에 트렌치가 있을 경우, 반사된 광이 검출부를 통과해서 검출기에 도달하지 못할 가능성이 있다. 도 9는 측정 대상의 표면에 형성된 트렌치들을 개략적으로 도시한다. 도 9를 참조하면, 투영 리소그레피 도구에 의한 노광시, 다양한 공정으로 인해 주기적인 트렌치들(401)이 측정 대상의 표면에 형성되고, 트렌치(401)는 대개 이동식 캐리어 스테이지의 방향에 평행하거나 수직이다. 일반적으로, 상기 트렌치들은 수 밀리미터 정도의 피치로 서로 떨어져 있고, 이들의 너비와 깊이는 수백 마이크론 정도이다. 상기 포커싱 및 레벨링 장치에 의한 측정시, 어느 측정 점이 상기 트렌치들 중 하나에 위치하면, 측정 실패가 일어날 수 있다. 또한, 트렌치 영역들은 측정 대상(400)의 표면상에 있는 노광 영역 전체의 지형을 반영할 수 없기 때문에, 대개 상기 포커싱 및 레벨링 장치에 의해 쉽게 측정되지 않는다.
본 실시예에서는, 세 개의 등간격 측정용 광 스팟들, 세 개의 비-등간격 측정용 광 스팟들, 네 개의 비-등간격 측정용 광 스팟들, 그리고 다섯 개의 비-등간격 측정용 광 스팟들을 포함하는 각 측정점을 예를 들어 측정 원리를 설명한다.
도 7A, 7C, 7E 및 7G를 참조하면, 각각의 경우 측정용 광 스팟(502)의 전체 거리는 6mm이다. 트렌치(들)(401)에 측정용 광 스팟(들)(502)이 위치함에 따른 결과를 논하기 위해, 트렌치(401)의 피치는 3mm이고 각 경우에 두 개의 최외곽 측정용 광 스팟들은 각각의 트렌치(401)에 위치한다고 가정한다.
도 7A 및 도 7B를 참조하면, 세 개의 등간격 측정용 광 스팟들(이후, "광 스팟들"로 지칭)(502)에게 식별자 P1, P2 및 P3과 주어지며, 여기서 |P1-P2|=3 및 |P2-P3|=3 이다. 이 경우, 상기 세 개의 광 스팟들 P1, P2 및 P3 각각은 각각의 트렌치(401)에 위치한다. 결과적으로, 도 7B에 도시된 바와 같이, 상기 검출기에 의해 얻은 이미지에는 아무런 광 스팟이 나타나지 않는다.
도 7C 및 도 7D를 참조하면, 세 개의 광 스팟들 P1, P2 및 P3는 비-등간격으로 배열되고 여기서, |P1-P2|=2 및 |P2-P3|=4이다. 이 경우, 두 개의 최외곽 측정용 광 스팟들 P1과 P3는 각각의 트렌치(401)에 위치한다. 결과적으로, 도 7D에 도시된 바와 같이, 상기 검출기에 의해 단 하나의 광 스팟이 유효한 것으로 검출된다. 그러나 상기 광 스팟의 식별자를 모르기 때문에, 여전히 측정이 불가능하다.
도 7E 및 7F를 참조하면, 네 개의 비-등간격 광 스팟들 P1, P2, P3 및 P4가 배열되고 여기서, |P1-P2|=2, |P2-P3|=3 및 |P3-P4|=1이다. 이 경우, 두 개의 최외곽 측정용 광 스팟들 P1과 P4는 각각의 트렌치(401)에 위치하고, 상기 검출기에 의해 획득한 이미지는 도 7F에 나타나 있다. 상기 이미지로부터, 광 스팟들 중 두 개를 식별할 수 있다. 이들 유효 광 스팟들간의 거리에 근거하여 이들의 식별자 P2 및 P3를 알 수 있다. 이들 알려진 유효 광 스팟들이 지니는 위치 정보에 근거하여 측정을 실시할 수 있다.
도 7G 및 도 7H를 참조하면, 다섯 개의 비-등간격 광 스팟들 P1, P2, P3, P4 및 P5가 배열되고 여기서, |P1-P2|=1.7, |P2-P3|=1, |P3-P4|=1.3 및 |P3-P4|=2이다. 이 경우, 두 개의 최외곽 측정용 광 스팟들 P1고 P5는 각각의 트렌치(401)에 위치하고, 상기 검출기에 의해 얻은 이미지는 도 7H에 도시된다. 상기 이미지로부터 식별가능한 유효 광 스팟들(502)간의 거리에 근거하여, 이들 식별자가 P2, P3 및 P4임을 알 수 있다. 이들 알려진 유효 광 스팟들이 지니는 위치 정보에 근거하여 측정을 실시할 수 있다.
상기에서 설명한 비-등간격 광 스팟들의 배열과 검출 결과로부터 명확히 알 수 있듯이, 본 발명은 트렌치가 측정 대상(400)상의 높이 및 기울기 측정 결과에 미치는 영향을 제거한다. 특히, 네 개 혹은 다섯 개의 비-등간격 광 스팟들의 배열로부터 보다 나은 측정 결과를 얻을 수 있다. 유효 광 스팟의 개수가 증가할수록, 광 스팟의 식별자를 결정하기가 더 쉬워질 것이다. 또한, 보다 더 유효한 광 스팟은 결과의 신뢰성과 정확도를 증가시킨다.
특정 피치로 상호 떨어져있는 트렌치들과, 각각이 트렌치들 중 하나에 위치한 두 개 이상의 광 스팟들을 포함하는 3개 내지 5개, 혹은 그 이상의 비-등간격 광 스팟들에 대한 몇 가지 시나리오를 상기에서 분석하였다. 트렌치가 5mm 보다 큰 피치로 측정 대상에 형성되는 경우, 상기 포커싱 및 레벨링 장치가 인접 광 스팟들이 서로 약 3mm 간격으로 분리된 측정용 광 스팟을 형성하도록 구성되고, 트렌치들(401)이 각 단일 광 스팟의 사이즈 보다 작은 너비를 가지도록 형성되면, 두 개 이상의 광 스팟이 동시에 유효하지 않은 상황은 발생하지 않을 것이다. 이런 식으로 유효 광 스팟들간의 거리(들)에 근거하여 상기 유효 광 스팟들의 식별자를 결정함으로써, 보다 정확한 측정 결과를 얻을 수 있다.
본 발명의 장점을 더 설명하기 위해, 트렌치가 2mm의 피치로 형성되고 각 측정점은 위치와 상관없이 세 개의 광 스팟만을 포함하는 조건하에서, 상기 광 스팟들은 상호간의 거리(들)에 근거하여 식별자가 쉽게 결정될 수 있으면서 항상 트렌치로부터 가능한한 멀리 떨어져 위치하게 되는 실시예를 하기에 제시한다. 도 8은 수직 방향의 주기적 트렌치들 중 세 개를 개략적으로 도시한다. 여기서, 상기 세 개의 측정용 광 스팟들(502)중 식별자 P1 및 P2를 가지는 측정용 광 스팟들은 1.5mm 간격으로 떨어져있고, 식별자 P2 및 P3를 가지는 측정용 광 스팟들은 1mm 간격으로 떨어져있다. 트렌치(401)에 위치한 즉 유효하지 않은 광 스팟 P1의 경우, P2와 P3는 유효하고 상기 유효 광 스팟들과 트렌치들(401)간의 거리들 중 가장 작은 거리는 0.5mm이다. 예를 들어 P3는 좌측 최외곽에서 두번째 트렌치로부터 0.5mm 떨어져 있다. 트렌치(401)에 위치한 즉 유효하지 않은 광 스팟 P2의 경우, P1과 P3는 유효하고 상기 유효 광 스팟들과 트렌치들(401)간의 거리들 중 가장 작은 거리는 0.5mm이다. 예를 들어, P1은 좌측 최외곽 트렌치에서 0.5mm 떨어져 있다. 트렌치(401)에 위치한 즉 유효하지 않은 광 스팟 P3의 경우, P1과 P2는 유효하고 상기 유효 광 스팟들과 트렌치들(401)간의 거리들 중 가장 작은 거리는 0.5mm이다. 예를 들어, P1은 좌측 최외곽에서 두번째 트렌치에서 0.5mm 떨어져 있다. 요약하면, 광 스팟들 중 소정 광 스팟이 유효하지 않은 경우에도, 유효 광 스팟들 중 하나는 항상 가장 가까운 트렌치로부터 0.5mm 떨어져있다. 또한, 광 스팟들간의 거리 차이도 0.5mm이다. 이는 측정 대상(400)상에서 높이 및 기울기 측정을 가능하게 하면서, 광 스팟들의 식별자를 쉽게 결정 가능하게 할 뿐만 아니라, 측정 신호에 아무런 영향을 미치지 못하게 한다.
본 발명에 따른, 상기 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치에서, 각 측정점(501)은 투영 슬릿(203)에 의해 다수의 비-등간격 측정용 광 스팟들(502)로 분할됨으로써, 측정 대상(401)의 표면상 투영된 각 측정점은 동일 개수의 비-등간격 측정 광스팟들을 포함한다. 상기 측정용 광 스팟들(502)중 어느 하나가 트렌치들(401)중 하나에 위치하는 경우, 트렌치 바깥에 형성된 유효 측정 광 스팟들(502)의 식별자는 그들간의 거리(들)에 기초하여 결정될 수 있고, 측정 대상의 높이와 기울기는 이들 유효 측정 광 스팟들(502)이 지니는 위치 정보에 기초하여 결정될 수 있다.
본 발명에 따르면, 측정 광스팟들이 비-등간격으로 배열됨으로써, 검출된 측정 광 스팟들의 식별자를 결정하기 용이하고, 따라서 이들에 해당하는 위치에서 측정 대상의 높이와 기울기를 얻기 쉽다. 또한, 상기 측정 광 스팟들이 비-등간격으로 배열됨으로써 트렌치에 두 개 이상의 측정 광 스팟이 동시에 위치할 가능성이 없어져, 트렌치에 적응적으로 측정 대상의 높이와 기울기를 측정할 수 있다.
본 발명에 따르면, 비-등간격 측정 광 스팟(502)들의 수는 적어도 3이다. 따라서, 단일 측정점 사용 또는 트렌치(401)내에 모든 광 스팟들이 위치함으로 인해, 트렌치의 영향에 적응적으로 측정 대상상에서 높이와 기울기를 측정하지 못하게 되는 상황은 피할 수 있다.
바람직한 실시예에서, 본 발명에 따른, 상기 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치에서, 각 측정점(501)의 첫째 측정용 광 스팟(502)과 마지막 측정 광 스팟(502)간의 거리는 트렌치(401)의 피치의 배수와 동일하지 않다. 따라서, 첫째 측정 광 스팟(502)이나 마지막 측정 광 스팟(502)이 트렌치들(401) 중 하나에 위치하는 경우가 방지된다.
바람직한 실시예에서, 본 발명에 따른, 상기 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치에서, 상기 측정용 광 스팟들(502)중 어느 두 개의 인접 광 스팟들간의 거리는 트렌치(141)의 피치의 배수와 동일하지 않다. 이로써, 상기 측정용 광 스팟들(502)중 어느 두 개의 인접 광 스팟들은 모두 각각의 트렌치(401)에 위치하게 되는 경우가 방지된다.
측정용 광 스팟들(502)과 트렌치 피치의 배수간의 상기 관계로부터 알 수 있듯이, 본 발명에 따라 측정용 광 스팟들(502)을 비-등간격으로 배열함은 유효 측정용 광 스팟들(502)의 수를 증가하여 더 많은 유효 측정용 광 스팟들이 측정 대상의 높이 및 기울기 측정을 위한 바탕의 역할을 하도록 상기 측정용 광 스팟들(502)을 주기적인 트렌치(401)에서 벗어나도록 하기 위함이다.
도 10을 참조하면, 본 발명은 또한 상기 설명한 바와 같은 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치를 사용하여, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링을 실시하기 위한 방법을 제공한다. 상기 방법은 상기 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치에 의해 측정 대상(400)의 표면에 복수 개의 측정점(501)을 형성하고, 각 측정점(501)은 비-등간격으로 배열된 다수의 측정용 광 스팟들을 포함한다는 개념에 바탕하고, 이후 이동식 캐리어 스테이지(300)를 초기 위치로 이동하고, 상기 포커싱 및 레벨링 장치의 검출기(212)로 측정용 광 스팟들(502)를 검출하고, 트렌치들(401) 중 하나에 상기 측정용 광 스팟들(502)중 어느 하나가 위치하는 경우, 상기 포커싱 및 레벨링 장치에 의해 검출된 유효 광 스팟들(502)간의 거리(들)에 근거하여 상기 측정용 광 스팟들(502) 중 유효한 측정용 광 스팟들을 식별하고, 그리고 측정 대상의 높이와 기울기를 측정하는 단계를 포함한다.
측정 대상(400)에서 트렌치(401) 외부에 두 개 이상의 측정용 광 스팟들(502), 즉 두 개 이상의 유효 측정용 광 스팟들(502)이 존재하는 경우, 측정 대상(400)의 높이와 기울기는 이들 유효 측정용 광 스팟들(502)에 근거하여 측정한다. 그렇지 않으면, 측정 대상(400)의 표면에 형성된 측정용 광 스팟들(502)은 트렌치(401)로부터 떨어지도록 재배치된다. 본 발명에 따르면, 이동식 캐리어 스테이지의 6개의 자유도 방향들을 측정 대상(400)의 높이와 기울기에 근거하여 조정하여, 측정 대상을 조정하게 된다. 여기서 유효 측정용 광 스팟이란 측정 대상에서 트렌치 외부에 위치한 측정용 광 스팟을 지칭하고, 반면에 유효하지 않은 측정용 광 스팟은 측정 대상에서 트렌치들 중 하나에 전부 혹은 일부분이 위치하여 왜곡되고 검출되지 않는 측정용 광 스팟을 지칭한다.
바람직한 실시예에서, 상기 제안된 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 방법에 따르면, 상기 측정용 광 스팟들(502) 중 어느 하나가 상기 트렌치들(410)중 하나에 위치한 경우, 측정 대상(400)의 표면에 투영된 측정용 광 스팟들(502)은 측정 대상(400)을 운반하는 이동식 캐리어 스테이지(300)를 조정하여 상기 트렌치(401)로부터 벗어나도록 재배치된다. 측정 대상(400)상에 광 스팟들(502)의 재배치는 측정 대상(400)을 운반하는 이동식 캐리어 스테이지(300)의 수평 및 수직 자유도 방향을 변경함으로써 실행된다. 측정 대상(400)상의 광 스팟들(502)의 재배치는 결국 측정점의 재배치이다.
본 실시예에서, 이동식 캐리어 스테이지(300)의 조정은, 구체적으로, 트렌치들(401)이 수평 방향을 따라 분포된 피치 Lx의 1/2에 해당하는 거리만큼 수평 방향으로 이동식 캐리어 스테이지(300)를 이동시키고, 트렌치들(401)이 수직 방향을 따라 분포된 피치 Ly의 1/2에 해당하는 거리만큼 수직 방향으로 이동식 캐리어 스테이지(300)를 이동시킴으로써 실행된다. 도 9에서, Lg는 트렌치들(401)의 너비를 나타낸다. 즉, 수평 및 수직 자유도 방향으로 이동식 캐리어 스테이지(300)의 위치 조정은 측정 대상(400) 상에 분포된 트렌치들(401)의 수평 및 수직 피치들과 관련이 있다. 상기 수평 또는 수직 위치 조정시, 이동 거리는 트렌치 피치의 1/2에 한정 되지 않고, 트렌치 피치의 1/3, 1/4, 1/5, 1/7, 1/7, 1/8, 1/9, 1/10 또는 그 외 값이 될 수 있다. 또한, 실제 이동 거리는 트렌치의 피치에 따라 조정될 수 있다. 본 발명에 따른, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 방법에서, 상기에서 정의한, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치를 사용한다. 따라서, 측정용 광 스팟들 중 어느 하나가 트렌치들 중 하나에 형성된 경우, 상기 포커싱 및 레벨링 장치에 의해 검출된 유효 측정용 광 스팟들간의 거리(들)에 근거하여 상기 유효 측정용 광 스팟들을 식별할 수 있고, 이로써 트렌치가 형성된 측정 대상의 높이 및 기울기의 측정이 가능해진다.
20: 투영 대상 21: 광원
22: 광원 렌즈군 23: 투영 슬릿
24: 전면 투영 렌즈군 25: 투영 반사기군
26: 후면 투영 렌즈군 27: 전면 검출 렌즈군
28: 검출 반사기군 29: 후면 검출 렌즈군
30: 릴레이 반사기 31: 릴레이 렌즈군
32: 검출기 33: 산술부
34: 제어기 35: 이동식 캐리어 스테이지
36: 측정 대상 41: 트렌치
50: 투영 개구 조리개 51: 검출 광빔
100: 투영 대상 201: 광원
202: 광원 렌즈군 203: 투영 슬릿
204: 전면 투영 렌즈군 205: 투영 반사기군
206: 후면 투영 렌즈군 207: 전면 검출 렌즈군
208: 검출 반사기군 209: 후면 검출 렌즈군
210: 릴레이 반사기 211: 릴레이 렌즈군
212: 검출기 213: 산술부
214: 제어기 300: 이동식 캐리어 스테이지
400: 측정 대상 401: 트렌치
500: 광빔 501: 측정점
502: 측정용 광 스팟 P1: 제 1 광 스팟
P2: 제 2 광 스팟 P3: 제 3 광 스팟
P4: 제 4 광 스팟 P5 : 제 5 광 스팟

Claims (13)

  1. 측정 대상의 표면의 높이와 기울기를 측정하기 위하여 사용되며, 상기 측정 대상은 표면에 형성된 트렌치를 포함하고 이동식 스테이지 상에서 운반되는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치에 있어서,
    순차적으로 배치된, 조명부, 투영부, 검출부 및 검출기를 포함하되,
    상기 측정 대상은 광 경로를 따라 투영부와 검출부 사이에 배치되고, 투영부는 측정 대상 상에 복수 개의 측정점을 형성하도록 구성된 투영 슬릿을 포함하고, 상기 복수 개의 측정점들 각각은 비-등간격으로 배열된 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들을 포함하여, 상기 복수 개의 측정점들이 측정 대상의 표면에 투영될 시, 상기 복수 개의 측정점들 각각의 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 적어도 두 개는 트렌치 바깥에 위치함으로써 측정 대상의 높이와 기울기를 측정 가능케 하고, 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 둥 어느 두 개의 측정용 광 스팟들 간의 거리는 트렌치 피치의 배수와 동일하지 않음을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 각각의 크기는 트렌치들 각각의 너비보다 큼을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 측정점들 각각은 세 개, 네 개, 또는 다섯 개의 측정용 광 스팟들을 포함함을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    처음과 마지막 측정용 광 스팟들 간의 거리는 트렌치 피치의 배수와 동일하지 않음을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 둥 어느 두 개의 인접한 측정용 광 스팟들 간의 거리는 트렌치 피치의 배수와 동일하지 않음을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 트렌치들의 피치는 2mm이고,
    상기 복수 개의 측정점들 각각은 세 개의 측정용 광 스팟들을 포함하며,
    상기 측정용 광 스팟들 중 인접 측정용 광 스팟들 간의 거리는 각각 1.5mm 및 1mm임을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 측정점들을 측정 대상의 표면에 투영할 시, 상기 복수 개의 측정점들 각각에 대하여, 상기 세 개의 측정용 광 스팟들 중 트렌치 바깥에 위치한 적어도 두 개의 측정용 광 스팟들은 상기 검출기에 의해 검출된 측정용 광 스팟들 간의 거리들 중 적어도 하나에 근거하여 식별함을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 조명부는 광원과 광원 렌즈군을 순차적으로 구비하고,
    상기 투영부는 광 경로를 따라 순차적으로 배치된, 투영 슬릿, 전면 투영 렌즈군, 투영 반사기군, 및 후면 투영 렌즈군을 구비하고,
    상기 검출부는 광 경로를 따라 순차적으로 배치된, 전면 검출 렌즈군, 검출 반사기군, 및 후면 검출 렌즈군을 구비하고,
    릴레이부는 검출부와 검출기 사이에 제공되며, 상기 릴레이부는 광 경로를 따라 순차적으로 배치된 릴레이 반사기와 릴레이 렌즈군을 구비함을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 장치.
  10. 측정 대상의 표면의 높이와 기울기를 측정하기 위하여 사용되며, 상기 측정 대상은 표면에 주기적으로 형성된 트렌치를 포함하고 이동식 스테이지 상에서 운반되는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 방법에 있어서,
    포커싱 및 레벨링 장치에 의해서, 측정 대상의 표면에 복수 개의 측정점을 형성하고, 각 측정점은 비-등간격으로 배열된 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들을 포함하는 단계;
    복수 개의 측정점이 측정 대상의 표면에 투영될 시, 복수 개의 측정점 각각의 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 적어도 두 개가 트렌치 바깥에 위치하도록, 이동식 스테이지를 이동하고, 따라서 이동식 스테이지 상에 운반되는 측정 대상을 이동시키는 단계: 및
    상기 포커싱 및 레벨링 장치에 의해 측정 대상 표면의 높이와 기울기를 측정하는 단계를 포함하며,
    상기 방법은, 상기 이동식 스테이지를 초기 위치로 이동하는 단계; 상기 포커싱 및 레벨링 장치에 의해 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 간의 거리들을 검출하는 단계; 및 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 적어도 하나가 트렌치들 중 하나에 위치하면, 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 적어도 두 개가 트렌치 바깥에 위치하도록, 이동식 스테이지를 통하여 상기 측정 대상을 이동시켜 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들을 측정 대상의 표면에 재배치하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 방법.
  11. 삭제
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 이동식 스테이지를 통하여 상기 측정 대상을 이동하는 단계는
    트렌치들이 제 1 수평 방향을 따라 분포된 피치의 1/10 내지 1/2에 해당하는 거리만큼 제 1 수평 방향으로 이동식 캐리어 스테이지를 이동시키는 단계; 및
    트렌치들이 제 2 수평 방향을 따라 분포된 피치의 1/10 내지 1/2에 해당하는 거리만큼 제 2 수평 방향으로 이동식 캐리어 스테이지를 이동시키는 단계를 포함함을 특징으로 하는 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    복수 개의 측정점이 측정 대상의 표면에 투영될 시, 복수 개의 측정점 각각에 대하여, 상기 적어도 세 개의 측정용 광 스팟들 중 트렌치 바깥에 위치하는 적어도 두 개의 측정용 광 스팟들을 검출기에 의해 검출된 상기 측정용 광 스팟들 간의 거리들 중 적어도 하나에 기초하여 식별함을 특징으로 하는, 트렌치에 적응적인 포커싱 및 레벨링 방법.
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