JP2018502298A - アダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
Description
該方法は、表面に周期的なグルーブを有し、かつ可動ステージに載置される測定対象物の表面の高さと傾斜度を測定するために用いられるものであって、
前記方法は、
焦点合わせレベリング装置が測定対象物表面上に複数の測定点を形成するものであって、各測定点は三つ以上の異なる間隔で配列された測定子斑点を有し、
可動ステージが測定対象物を載置して移動させることによって、前記複数の測定点を測定対象物の表面に投影させる時に、各測定点の前記三つ以上の測定子斑点の内の二つ以上がグルーブの外側に位置し、これにより、焦点合わせレベリング装置が測定対象物表面の高さと傾斜度を測定する、
ステップを含む。
前記可動ステージを初期位置に移動させ、
焦点合わせレベリング装置によって、前記三つ以上の測定子斑点の間隔を測定し、一つ以上の測定子斑点がグルーブの内側に位置する時に、前記可動ステージによって測定対象物の位置を調節し、前記三つ以上の測定子斑点が測定対象物の表面に投影される位置を変更させ、これにより、前記三つ以上の測定子斑点の内の二つ以上をグルーブの外側に位置させる、
ステップを含む。
20―投影対物レンズ、21―光源、22―光源レンズユニット、23―投影スリット、24―前側投影レンズユニット、25―投影反射鏡ユニット、26―後側投影レンズユニット、前側検出レンズユニット、28―検出反射鏡ユニット、29―後側検出レンズユニット、30―リレー反射鏡、31―リレーレンズユニット、32―検出器、33―演算ユニット、34―制御装置、35―可動キャリアステージ、36―測定対象物、41―グルーブ、50―投影開口絞り、51―検出光束。
本発明の図面において、
100―投影対物レンズ、201―光源、202―光源レンズユニット、203―投影スリット、204―前側投影レンズユニット、205―投影反射鏡ユニット、206―後側投影レンズユニット、207―前側検出レンズユニット、208―検出反射鏡ユニット、209―後側検出レンズユニット、210―リレー反射鏡、211―リレーレンズユニット、212―検出器、213―演算ユニット、214―制御装置、300―可動キャリアステージ、400―測定対象物、401―グルーブ、500―光束、501―測定点、502―測定子斑点、P1―第一子斑点、P2―第二子斑点、P3―第三子斑点、P4―第四子斑点、P5―第五子斑点。
Claims (13)
- 表面にグルーブを有し、かつ可動ステージに載置される測定対象物の表面の高さと傾斜度を測定するために用いられる、アダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置であって、
前記焦点合わせレベリング装置は、
順に照明ユニットと、投影ユニットと、検出ユニットと検出器とを有し、
前記測定対象物が光路に沿って前記投影ユニットと検出ユニットの間に位置し、前記投影ユニットが投影スリットを有し、前記測定対象物上に複数の測定点を形成するために用いられ、
前記各測定点は三つ以上の測定子斑点を有し、更に、前記三つ以上の測定子斑点が不均等な間隔の配列方式で設置されることによって、前記複数の測定点を測定対象物の表面に投影させる時に、各測定点の前記三つ以上の測定子斑点の内、二つ以上が前記グルーブの外側に位置させることにより、測定対象物表面の高さと傾斜度を測定可能とする、
ことを特徴とするアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置。 - 前記三つ以上の測定子斑点のサイズがいずれも前記グルーブの幅より大きい、
ことを特徴とする請求項1に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置。 - 各前記測定点が三つ、四つ又は五つの測定子斑点を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置。 - 各前記測定点の内、第一の測定子斑点と最後の一つの測定子斑点の間の距離が前記グルーブの周期の倍数と等しくない、
ことを特徴とする請求項1に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置。 - 前記三つ以上の測定子斑点の内、隣接する測定子斑点の間隔が前記グルーブの周期の倍数と等しくない、
ことを特徴とする請求項4に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置。 - 前記三つ以上の測定子斑点の任意の二つの間隔がいずれも前記グルーブの周期の倍数と等しくない、
ことを特徴とする請求項1に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置。 - 前記グルーブの周期が2mmであって、各前記測定点が三つの測定子斑点を有し、隣接する測定子斑点の間隔がそれぞれ1.5mm及び1mmである、
ことを特徴とする請求項1に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置。 - 前記複数の測定点が測定対象物の表面に投影される時に、前記検出器は検出した前記複数の測定子斑点の間隔に基づき、各前記測定点の前記三つ以上の測定子斑点の内の二つ以上が前記グルーブの外側に位置していることを識別する、
ことを特徴とする請求項1に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置。 - 前記照明ユニットが順に光源と光源レンズユニットとを有し、
前記投影ユニットは光入射経路に沿って順に投影スリットと、前側投影レンズユニットと、投影反射鏡ユニットと、後側投影レンズユニットとを有し、
前記検出ユニットは光入射経路に沿って順に前側検出レンズユニットと、検出反射鏡ユニットと、後側検出レンズユニットとを有し、
前記検出ユニットと検出器の間には更にリレーユニットを有し、
前記リレーユニットが光入射経路に沿って順にリレー反射鏡とリレーレンズユニットとを有する、
ことを特徴とする請求項1に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング装置。 - 表面に周期的なグルーブを有し、かつ可動ステージに載置される測定対象物の表面の高さと傾斜度を測定するために用いられる、アダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング方法であって、
前記方法は、
焦点合わせレベリング装置が前記測定対象物表面上に複数の測定点を形成し、各前記測定点は三つ以上の異なる間隔で配列された測定子斑点を有し、
前記可動ステージが前記測定対象物を載置して移動させることによって、前記複数の測定点を前記測定対象物の表面に投影させる時に、各前記測定点の前記三つ以上の測定子斑点の内の二つ以上が前記グルーブの外側に位置し、これにより焦点合わせレベリング装置が前記測定対象物表面の高さと傾斜度を測定する、
というステップを含む、
ことを特徴とするアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング方法。 - 更に、前記可動ステージを初期位置に移動させ、
前記焦点合わせレベリング装置によって、前記三つ以上の測定子斑点の間隔を測定し、一つ以上の測定子斑点が前記グルーブの内側に位置する時に、前記可動ステージによって前記測定対象物の位置を調節し、前記三つ以上の測定子斑点が前記測定対象物の表面に投影する位置を変更させ、これにより、前記三つ以上の測定子斑点の内の二つ以上を前記グルーブの外側に位置させる、
ステップを含む、
ことを特徴とする請求項10に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング方法。 - 前記可動ステージによって前記測定対象物の位置を調節するステップに、前記可動ステージを第一水平方向において移動させるステップを含み、その移動距離が前記グルーブの第一水平方向の分布周期の1/10から1/2に等しく、
更に、前記可動ステージを第二水平方向において移動させるステップを含み、その移動距離が前記グルーブの第二水平方向の分布周期の1/10から1/2に等しい、
ことを特徴とする請求項11に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング方法。 - 前記複数の測定点が前記測定対象物の表面に投影される時に、前記検出器が検出した前記複数の測定子斑点の間隔に基づき各測定点の前記三つ以上の測定子斑点の内の二つ以上が前記グルーブの外側に位置していることを識別する、
ことを特徴とする請求項10に記載のアダプティブなグルーブ焦点合わせレベリング方法。
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