KR101982656B1 - System for Prevent Condensation of high-pressure CO2 valve maniforder box line - Google Patents

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KR101982656B1 KR1020190003841A KR20190003841A KR101982656B1 KR 101982656 B1 KR101982656 B1 KR 101982656B1 KR 1020190003841 A KR1020190003841 A KR 1020190003841A KR 20190003841 A KR20190003841 A KR 20190003841A KR 101982656 B1 KR101982656 B1 KR 101982656B1
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구봉길
김영식
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Abstract

The present invention relates to a high-pressure carbon dioxide VMB line condensation preventing system, including: a carbon dioxide supply unit supplied with carbon dioxide; a carbon dioxide refinement unit refining the carbon dioxide supplied through the carbon dioxide supply unit; and a carbon dioxide injection unit supplying the carbon dioxide to a cleaning device after phrase-changing the carbon dioxide refined by the carbon dioxide refinement unit, wherein the carbon dioxide supply unit and the carbon dioxide injection unit respectively have vent lines. A condensation preventing unit is installed on the vent line of the carbon dioxide supply unit or the vent line of the carbon dioxide injection unit.

Description

고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템{System for Prevent Condensation of high-pressure CO2 valve maniforder box line}[0001] The present invention relates to a system for preventing condensation of a high-pressure carbon dioxide VMB line,

본 발명은 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정장치 특히 이산화탄소 가스를 이용한 건식 웨이퍼 세정장치에 고압 이산화탄소를 공급하기 위한 고압 이산화탄소 VMB(valve maniforder box) 라인에 설치되어 결로발생을 예방하도록 함으로써, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 라인이 손상되는 것을 방지하도록 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a high pressure carbon dioxide VMB line condensation prevention system, and more particularly, to a high pressure carbon dioxide VMB line condensation prevention system for supplying high pressure carbon dioxide to a cleaning apparatus, particularly a dry type wafer cleaning apparatus using carbon dioxide gas, Pressure VMB line condensation prevention system that prevents damage to component lines such as electrical products due to dew condensation.

일반적으로, 전계발광표시장치(ELD ; Electroluminiscent Display), 액정표시장치(LCD ; Liquid Crystal Display), 플라즈마표시패널(PDP ; Plasma Display Panel) 등의 평면표시장치(FPD ; Flat-Panel Display)는 생산성 향상 및 대량생산을 위하여 넓은 면적의 기판에 동일한 패턴을 일정하게 배열하여 다수 형성한 다음, 각각 패턴이 형성된 셀(cell)을 하나씩 절단하여 구동회로와 연결 사용한다.2. Description of the Related Art In general, a flat-panel display (FPD) such as an electroluminescent display (ELD), a liquid crystal display (LCD), and a plasma display panel (PDP) For the purpose of improvement and mass production, a plurality of the same patterns are uniformly arranged on a wide area substrate, and then cells having patterns formed thereon are cut one by one and connected to a driving circuit.

여기서, 기판을 각 패턴이 형성된 셀로 나누어 절단한 후에는 절단면의 날카로움 및 거스러미를 제거하기 위하여 연마를 행하며, 연마 시에 발생하는 기판의 입자나 연마입자 등의 오염물질을 제거하기 위한 세정작업을 수행하게 된다.Here, after the substrate is divided into cells each having the pattern formed thereon, the substrate is polished to remove the sharpness and roughness of the cut surface, and a cleaning operation is performed to remove contaminants such as particles or abrasive particles .

종래의 세정작업은 각 셀을 트레이(Tray)에 적재하고, 이 트레이를 초음파조에 침적하여 세정하고 린스한 다음, 열풍건조에 의해 건조하는 순서로 진행한다.In the conventional cleaning operation, each cell is loaded on a tray, and the tray is immersed in an ultrasonic bath to clean and rinse, followed by drying by hot air drying.

이러한 세정작업은 습식으로 이루어짐으로써, 특히 수분에 매우 취약한 전계발광표시장치의 경우에는 불량률이 높으며, 세정하고 린스하는 공정에서 다량의 물 및 화학약품을 사용하므로 산업용 폐수가 필수적으로 발생하여 환경을 오염시키고 자연보호에 역행하는 결과를 초래하게 되는 단점이 있었다.Such a cleaning operation is performed in a wet state. Especially, in the case of an electroluminescence display device which is very vulnerable to moisture, a defective rate is high. Since a large amount of water and chemicals are used in a cleaning and rinsing process, industrial wastewater is essentially generated, And it has the disadvantage that it causes the result that it is against the nature protection.

또 종래의 세정공정은 스프레이세정, 2단계의 초음파세정, 스프레이린스, 4단계의 초음파린스, 순수열탕조, 열풍건조로 등의 10여 단계로 이루어짐으로써, 그 작업공정이 복잡하고, 설비가 장대해지며 유지비용이 많이 소요되고, 설치공간이 대규모로 필요하며, 설비의 트러블이 발생할 가능성이 높은 단점도 있었다.The conventional cleaning process is performed in 10 steps such as spray cleaning, two-stage ultrasonic cleaning, spray rinse, four-stage ultrasonic rinse, pure water heating, hot air drying, etc., There is a disadvantage in that it takes a lot of maintenance cost, requires a large installation space, and there is a high possibility of troubles in equipment.

이에, 최근에는 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 이산화탄소와 질소 가스를 이용하여 세정을 행하는 방법이 사용되고 있다. 즉 가스를 이용하여 세정하므로 산업용 폐수가 발생하지 않고, 세정공정이 간단하고 소요공간을 최소화할 수 있는 건식 세정공정이 사용되고 있는 실정이다.In order to solve the above-mentioned problems, recently, a method of cleaning using carbon dioxide and nitrogen gas has been used. That is, since the cleaning is performed using gas, industrial wastewater is not generated, and a dry cleaning process is used in which a cleaning process is simple and a space can be minimized.

종래에 가스를 이용한 세정장치는 트레이에 적재된 셀에 세정용 가스인 이산화탄소와 분위기용 가스인 질소를 분사하는 다수의 노즐이 내부에 설치되는 세정챔버가 설치된다.Conventionally, a cleaning apparatus using a gas is provided with a cleaning chamber in which a plurality of nozzles for spraying carbon dioxide, which is a cleaning gas, and nitrogen, which is an atmospheric gas, are installed in a cell mounted on a tray.

상기와 같이 구성되는 종래의 이산화탄소를 이용한 세정장치에 있어서, 이산화탄소를 노즐을 통해 분사 시에 기체상태의 이산화탄소는 대략 5% 정도만이 이산화탄소 스노우(Snow)로 변경되고 95% 정도의 기체상태로 분사되며, 액체상태의 이산화탄소는 45% 정도가 이산화탄소 스노우로 변경되고 55% 정도는 기체상태로 분사된다.In the conventional cleaning apparatus using carbon dioxide, when the carbon dioxide is injected through the nozzle, only about 5% of the carbon dioxide in the gaseous state is changed into carbon dioxide snow and is sprayed in a gaseous state of about 95% , About 45% of liquid carbon dioxide is changed to carbon dioxide snow, and about 55% is injected into the gaseous state.

이 경우에 있어서 스노우로 분사되는 이산화탄소가 많을수록 세정력이 증대되므로, 가능하면 기체상태의 이산화탄소를 액체상태의 이산화탄소로 상변화시켜 분사하는 것이 바람직한바, 세정장치로 공급되는 이산화탄소를 액화시킨 상태로 주입시키기 위한 이산화탄소 공급라인이 설치된다.In this case, the greater the amount of carbon dioxide injected into the snow, the greater the washing power. Therefore, it is preferable to inject carbon dioxide gas in a liquid state while changing the phase of the carbon dioxide gas into liquid carbon dioxide if possible. A carbon dioxide supply line is installed.

이러한 이산화탄소 공급라인은, 이산화탄소 공급부와, 이산화탄소 정제부 및 이산화탄소 주입부를 포함하여 구성된다.The carbon dioxide supply line includes a carbon dioxide supply unit, a carbon dioxide purification unit, and a carbon dioxide injection unit.

여기서, 이산화탄소 공급부로 공급된 이산화탄소는 가동 시 일부가 금속 분석부로 공급되어 이산화탄소 중 금속 함유량을 측정하게 되고, 이산화탄소 주입부를 통해 세정장치로 이산화탄소가 공급되는 과정에서 세정장치로의 이산화탄소 공급이 잠시 중단되는 등의 경우 벤트라인을 통해 이산화탄소를 외부로 배출시키게 된다.Here, the carbon dioxide supplied to the carbon dioxide supply unit is partially supplied to the metal analysis unit at the time of operation to measure the metal content of the carbon dioxide, and in the process of supplying carbon dioxide to the cleaning apparatus through the carbon dioxide injection unit, the supply of carbon dioxide to the cleaning apparatus is temporarily stopped The carbon dioxide is discharged to the outside through the vent line.

그런데, 이 경우 금속 분석부로 이산화탄소가 공급될 때, 압력 변화에 따른 온도 변화로 인해 결로가 발생될 우려가 있고, 또한 세정장치로의 이산화탄소 공급이 잠시 중단되는 등의 경우 벤트라인을 통해 이산화탄소가 외부로 배출될 때에도 압력 변화에 따른 온도 변화로 인해 결로가 발생될 우려가 있었다.In this case, when carbon dioxide is supplied to the metal analysis unit, condensation may occur due to a temperature change due to a pressure change. In addition, when the supply of carbon dioxide to the cleaning apparatus is temporarily stopped, There is a possibility that condensation may occur due to a temperature change due to a pressure change.

이와 같이 이산화탄소 공급라인에서 결로가 발생하는 경우, 결로수가 이산화탄소 공급라인의 각 전장품으로 낙하되어 쇼트 등을 발생시키는 등, 각종 부품을 손상시킬 우려가 큰 문제점이 있었다.When dew condensation occurs on the carbon dioxide supply line, there is a problem that various components are damaged, such as dew condensation drops on each electrical component of the carbon dioxide supply line, resulting in a short circuit or the like.

한국등록특허 제10-0863953호(2008.10.10.)Korean Patent No. 10-0863953 (October 10, 2008)

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점에 착안하여 안출된 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 세정장치 특히 이산화탄소 가스를 이용한 건식 웨이퍼 세정장치에 고압 이산화탄소를 공급하기 위한 고압 이산화탄소 VMB(valve maniforder box) 라인에 설치되어 결로발생을 예방하도록 함으로써, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 라인이 손상되는 것을 방지하도록 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and an object of the present invention is to provide a cleaning apparatus, particularly a dry wafer cleaning apparatus using carbon dioxide gas, which comprises a high pressure carbon dioxide VMB ) Line to prevent the occurrence of dew condensation, thereby preventing damage to parts lines such as electrical products due to the number of dew condensation, and to provide a high pressure carbon dioxide VMB line condensation prevention system.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템은, 고압의 이산화탄소가 공급되는 이산화탄소 공급부; 상기 이산화탄소 공급부를 통해 공급된 이산화탄소를 정제하는 이산화탄소 정제부; 상기 이산화탄소 정제부에 의해 정제된 이산화탄소를 상 변화시킨 후 세정장치로 공급하는 이산화탄소 주입부를 포함하고, 상기 이산화탄소 공급부 및 상기 이산화탄소 주입부에는 각각 벤트라인이 형성되되, 상기 이산화탄소 공급부의 벤트라인 상 또는 상기 이산화탄소 주입부의 벤트라인 상에는 결로발생 방지부가 설치되는 구성으로 이루어질 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a high pressure carbon dioxide VMB line dew condensation preventing system comprising: a carbon dioxide supply unit for supplying high pressure carbon dioxide; A carbon dioxide refining unit for refining the carbon dioxide supplied through the carbon dioxide supplying unit; And a carbon dioxide injection unit for converting the carbon dioxide purified by the carbon dioxide purification unit into a phase change and then supplying the carbon dioxide to the cleaning unit, wherein a vent line is formed in each of the carbon dioxide supply unit and the carbon dioxide injection unit, And a dew condensation preventing portion may be provided on the vent line of the carbon dioxide injection portion.

여기서, 상기 이산화탄소 공급부의 벤트라인은 금속 분석부와 연결되고, 상기 이산화탄소 공급부로 공급된 이산화탄소는 일부가 벤트라인 및 결로발생 방지부를 통해 결로가 방지된 상태로 금속 분석부에 공급되어 금속 함유량이 분석된 후, 금속 분석부에 의한 분석 값이 설정 값 이하인 경우 금속 분석부로의 공급이 폐쇄되고 배관을 통해 이산화탄소 정제부로 공급이 이루어지며, 상기 이산화탄소 주입부의 벤트라인은 외부로 연결되고, 상기 이산화탄소 주입부로 공급된 이산화탄소가 세정장치로의 공급이 중단되는 경우, 상기 이산화탄소 주입부의 벤트라인 및 결로발생 방지부를 통해 결로가 방지된 상태로 외부로 배출되는 구성으로 이루어질 수 있다.Here, the vent line of the carbon dioxide supply unit is connected to the metal analysis unit, and the carbon dioxide supplied to the carbon dioxide supply unit is supplied to the metal analysis unit in a state where a part of the carbon dioxide is prevented from condensation through the vent line and the condensation occurrence prevention unit, The supply to the metal analysis unit is closed and the supply to the carbon dioxide refining unit is performed through the pipe. The vent line of the carbon dioxide injection unit is connected to the outside, and the carbon dioxide injection unit When the supply of the supplied carbon dioxide to the cleaning device is interrupted, the carbon dioxide may be discharged to the outside through the vent line of the carbon dioxide injection part and the condensation occurrence prevention part in a state where the condensation is prevented.

한편, 상기 결로발생 방지부는, 밀폐 공간을 갖는 본체; 상기 본체의 일측을 통해 내부로 연통되는 입구단과, 상기 본체의 타측을 통해 내외부로 연통되는 출구단 및 상기 입구단과 출구단을 연결하되, 상기 본체의 내부 공간에 나선형으로 형성되어 볼록부와 오목 공간부가 형성되는 이산화탄소 유동 라인; 상기 본체의 일측을 통해 내부로 연통되는 건조공기 공급관; 및 상기 본체의 타측을 통해 내외부로 연통되는 건조공기 배출관을 포함하는 구성일 수 있다.On the other hand, the condensation occurrence preventing portion includes a main body having a closed space; An outlet end communicating with the inside and outside through the other side of the main body, and an outlet end communicating with the inlet end and the outlet end through the one side of the main body, spirally formed in the internal space of the main body, A carbon dioxide flow line formed additionally; A dry air supply pipe communicating with the inside through one side of the main body; And a drying air discharge pipe communicating with the inside and the outside through the other side of the main body.

이 때, 상기 건조공기 공급관에서 본체의 내부에 배치되는 선단부는, 한쪽 방향으로 경사지게 경사판이 형성될 수 있다.At this time, the leading end portion disposed inside the main body in the dry air supply pipe may be formed with an inclined plate inclined in one direction.

또한, 상기 오목 공간부와 횡 방향으로 마주보는 위치에는 상기 본체의 내벽면으로부터 횡 방향으로 연장되는 일정 길이의 차폐부가 형성될 수 있다.In addition, a shielding portion having a predetermined length extending transversely from the inner wall surface of the body may be formed at a position facing the concave space portion in the lateral direction.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the invention are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템에 의하면, 세정장치 특히 고압의 이산화탄소를 공급하는 VMB 라인에 결로발생이 예방됨으로써, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 라인이 손상되는 것이 방지되어 제품의 신뢰도가 크게 향상되는 효과가 제공될 수 있다.According to the high pressure carbon dioxide VMB line condensation prevention system according to the embodiment of the present invention, condensation is prevented from occurring in the cleaning apparatus, particularly, the VMB line for supplying high-pressure carbon dioxide, thereby preventing damage to component lines such as electrical components due to the number of condensation An effect that the reliability of the product is greatly improved can be provided.

즉, 이산화탄소 공급부를 통해 공급된 고압의 이산화탄소가 금속 분석부로 유동하는 과정에서 결로수의 발생이 예방되고, 이산화탄소 주입부를 통해 세정장치로 고압의 이산화탄소의 공급이 잠시 중단되는 과정에서 고압의 이산화탄소가 벤트라인을 통해 외부로 배출되는 경우에도 결로수의 발생이 예방됨으로써, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 라인이 손상됨이 방지되어 결국 제품의 신뢰도가 크게 향상되는 효과가 제공될 수 있다.That is, the generation of condensation water is prevented in the course of the high-pressure carbon dioxide supplied through the carbon dioxide supply unit to the metal analysis unit, and the supply of high-pressure carbon dioxide is temporarily stopped by the cleaning unit through the carbon dioxide injection unit. The generation of dew condensation water is prevented even when the liquid is discharged to the outside through the line, so that the damage of the component line such as the electric component is prevented by the condensation water, and the reliability of the product is greatly improved.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the specification.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템의 전체 구성을 개략적으로 도시한 블록도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에서 이산화탄소 공급부의 구성을 도시한 구성도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에서 이산화탄소 주입부의 구성을 도시한 구성도.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에 적용되는 결로방지부의 내부 구성을 도시한 단면도.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템 구성을 개략적으로 도시한 구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram schematically showing the entire configuration of a high pressure carbon dioxide VMB line condensation preventing system according to an embodiment of the present invention; FIG.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a high-pressure carbon dioxide (VMB)
3 is a configuration diagram showing a configuration of a carbon dioxide injection unit in a high-pressure carbon dioxide VMB line according to an embodiment of the present invention.
4A and 4B are sectional views showing the internal construction of the dew condensation preventing portion applied to the high pressure carbon dioxide VMB line according to the embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a schematic view showing a configuration of a high pressure carbon dioxide VMB line condensation preventing system according to an embodiment of the present invention; FIG.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

따라서, 몇몇 실시 예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.Thus, in some embodiments, well known process steps, well-known structures, and well-known techniques are not specifically described to avoid an undue interpretation of the present invention.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계 및/또는 동작 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계 및/또는 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 의미로 사용한다. 그리고, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. It should be understood that the terms comprising and / or comprising the terms used in the specification do not exclude the presence or addition of one or more other components, steps and / or operations other than the stated components, steps and / . And " and / or " include each and any combination of one or more of the mentioned items.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 사시도, 단면도, 측면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함되는 것이다. 또한, 본 발명의 실시 예에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다.Further, the embodiments described herein will be described with reference to the perspective view, cross-sectional view, side view, and / or schematic views, which are ideal illustrations of the present invention. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. Therefore, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in the forms that are generated according to the manufacturing process. In addition, in the respective drawings shown in the embodiments of the present invention, the respective constituent elements may be somewhat enlarged or reduced in view of convenience of description.

이하, 본 발명의 실시 예에 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a high pressure carbon dioxide VMB line condensation prevention system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템의 전체 구성을 개략적으로 도시한 블록도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에서 이산화탄소 공급부의 구성을 도시한 구성도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에서 이산화탄소 주입부의 구성을 도시한 구성도이다.FIG. 1 is a block diagram schematically showing the overall configuration of a high-pressure carbon dioxide VMB line condensation prevention system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view showing a configuration of a carbon dioxide supply unit in a high pressure carbon dioxide VMB line according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a configuration diagram illustrating a configuration of a carbon dioxide injection unit in a high-pressure carbon dioxide VMB line according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인에 적용되는 결로방지부의 내부 구성을 도시한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템 구성을 개략적으로 도시한 구성도이다.4A and 4B are sectional views showing the internal construction of the dew condensation preventing portion applied to the high pressure carbon dioxide VMB line according to the embodiment of the present invention, Fig. 2 is a configuration diagram schematically showing the configuration.

먼저 도 1 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 결로방지 시스템이 적용되는 고압 이산화탄소 VMB 라인은, 이산화탄소가 공급되는 이산화탄소 공급부(10)와, 이 이산화탄소 공급부(10)를 통해 공급된 이산화탄소를 정제하는 이산화탄소 정제부(20)와, 이 이산화탄소 정제부(20)에 의해 정제된 이산화탄소를 상 변화시킨 후 세정장치(300)로 공급하는 이산화탄소 주입부(30)를 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.1 and 5, a high-pressure carbon dioxide VMB line to which a dew condensation prevention system according to an embodiment of the present invention is applied includes a carbon dioxide supply unit 10 to which carbon dioxide is supplied, A carbon dioxide refining unit 20 for refining carbon dioxide and a carbon dioxide injecting unit 30 for phase-changing the carbon dioxide purified by the carbon dioxide refining unit 20 and then supplying the carbon dioxide to the cleaning device 300 have.

또한, 고압 이산화탄소 VMB 라인은, 이산화탄소 공급부(10)로 공급된 이산화탄소에서 금속 함유량을 분석하기 위한 금속 분석부(40)를 더 포함할 수 있다.Further, the high-pressure carbon dioxide VMB line may further include a metal analysis unit 40 for analyzing the metal content in the carbon dioxide supplied to the carbon dioxide supply unit 10.

따라서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 제1 유입구(12)를 통해 이산화탄소 공급부(10)로 이산화탄소가 공급되면, 공급되는 이산화탄소는 복수의 제1 배관(14)을 통해 이산화탄소 정제부(20)로 유동이 이루어지게 되는데, 이 때 이산화탄소 정제부(20)로 유동이 이루어지기에 앞서 최초에 공급되는 이산화탄소는 제1 벤트라인(16)을 통해 금속 분석부(40)로 유동되어 이산화탄소 중 금속의 함유량이 분석되게 된다.1 and 2, when carbon dioxide is supplied to the carbon dioxide supplying unit 10 through the first inlet 12, the supplied carbon dioxide is supplied to the carbon dioxide refining unit 20 through the plurality of first pipes 14 The carbon dioxide initially supplied to the carbon dioxide refining unit 20 flows to the metal analyzing unit 40 through the first vent line 16 and is supplied to the carbon dioxide refining unit 20. In this case, Is analyzed.

즉, 제1 유입구(12)를 통해 이산화탄소 공급부(10)로 이산화탄소가 공급되는 시점에서는 제1 벤트라인(16)의 밸브가 개방되고 제1 배관(14)들의 밸브는 폐쇄됨으로써, 최초에 공급되는 이산화탄소는 제1 벤트라인(16)을 통해 금속 분석부(40)로 공급이 이루어지게 된다.That is, when the carbon dioxide is supplied to the carbon dioxide supplying unit 10 through the first inlet 12, the valves of the first vent line 16 are opened and the valves of the first pipes 14 are closed, The carbon dioxide is supplied to the metal analysis unit 40 through the first vent line 16.

이 때, 제1 벤트라인(16)을 통해 금속 분석부(40)로 이산화탄소가 공급되는 경우, 제1 벤트라인(16)을 통과하는 이산화탄소의 압력 변화에 따른 온도 변화에 의해 제1 벤트라인(16)에는 결로가 발생될 수 있으므로, 이를 방지하기 위하여 제1 벤트라인(16) 상에는 제1 결로발생 방지부(100)가 설치될 수 있다.At this time, when carbon dioxide is supplied to the metal analysis unit 40 through the first vent line 16, the temperature of the first vent line 16 is changed by the temperature change due to the pressure change of the carbon dioxide passing through the first vent line 16 16, condensation may be generated. To prevent this, a first condensation prevention part 100 may be installed on the first vent line 16. [

한편, 금속 분석부(40)로 공급되어진 이산화탄소에 대한 금속 함유량 분석이 이루어진 상태에서, 금속 함유량이 설정 값 이하인 것으로 판정되는 경우, 제1 벤트라인(16)의 밸브는 폐쇄되어 더 이상 이산화탄소가 금속 분석부(40)로 유동되지 않도록 하고, 제1 배관(14)들의 밸브를 개방시켜서 제1 유입구(12)를 통해 유입되는 이산화탄소를 제1 배관(14)들을 통해 이산화탄소 정제부(20)로 유동이 이루어지도록 한다.On the other hand, if it is determined that the metal content is below the set value in the state where the metal content analysis for the carbon dioxide supplied to the metal analysis unit 40 is performed, the valve of the first vent line 16 is closed, So that the carbon dioxide flowing through the first inlet 12 flows into the carbon dioxide refining section 20 through the first pipes 14 by opening the valves of the first pipes 14, .

상기한 바와 같이, 제1 벤트라인(16)에 설치될 수 있는 제1 결로발생 방지부(100)는, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 밀폐 공간을 갖도록 내부가 차폐된 제1 본체(102)와, 이 제1 본체(102)의 일측을 통해 내부로 연통되되 제1 개폐밸브(106)가 설치된 제1 입구단(104)과 제1 본체(102)의 타측을 통해 내외부로 연통되는 제1 출구단(108)및 제1 입구단(104)과 제1 출구단(108)을 연결하되 제1 본체(102)의 내부에 나선형으로 형성되어 제1 볼록부(100b)와 제1 오목 공간부(110)가 연속해서 형성된 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)과, 제1 본체(102)의 일측을 통해 내부로 연통되되 제2 개폐밸브(122)가 설치된 제1 건조공기(CDA) 공급관(120) 및 제1 본체(102)의 타측을 통해 내외부로 연통되는 제1 건조공기 배출관(126)을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.4A and 4B, the first condensation occurrence preventing portion 100, which can be installed in the first vent line 16, (104) communicating with the interior of the first main body (102) through the first opening / closing valve (106) and the other side of the first main body (102) The first convex portion 100b and the first convex portion 100b are connected to each other by a first outlet end 108 and a first inlet end 104 and a first outlet end 108, A first carbon dioxide flow line 100a in which the concave space 110 is formed continuously and a first dry air CDA communicating with the inside through the first body 102 and having a second on- And a first drying air discharge pipe 126 communicating with the inside and the outside through the supply pipe 120 and the other side of the first main body 102.

이 때, 제1 건조공기 공급관(120)에서 제1 본체(102)의 내부에 배치되는 선단부는 한쪽 방향으로 경사지게 제1 경사판(124)이 형성됨으로써, 제1 건조공기 공급관(120)을 통해 공급되는 건조공기는 제1 본체(102)의 내부에서 종 방향이 아닌 횡 방향으로 토출이 이루어지게 된다.At this time, the first swash plate 124 is formed in the first dry air supply pipe 120 so as to be inclined in one direction so that the first swash plate 124 is supplied through the first dry air supply pipe 120 The drying air is discharged in the lateral direction, not in the longitudinal direction, inside the first main body 102.

한편, 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)은, 앞서 설명한 바와 같이 제1 본체(102)의 내부에 나선형으로 형성되는바, 제1 볼록부(100b)와 제1 오목 공간부(110)가 서로 대향되게 형성될 수 있는데, 이 때 제1 오목 공간부(110)와 횡 방향으로 마주보는 위치에는 제1 본체(102)의 내벽면로부터 횡 방향으로 연장되는 일정 길이의 제1 차폐부(112)가 형성될 수 있다.The first carbon dioxide flow line 100a is spirally formed in the first body 102 as described above so that the first convex portion 100b and the first concave space portion 110 are opposed to each other At this time, a first shielding portion 112 having a predetermined length extending in the transverse direction from the inner wall surface of the first body 102 is provided at a position facing the first concave space portion 110 in the lateral direction .

따라서, 제1 건조공기 공급관(120)을 통해 공급된 건조공기는 제1 본체(102)의 내부로 유입됨과 동시에 제1 경사판(124)에 의해 횡 방향으로 토출이 이루어지게 되며, 이와 같이 횡 방향으로 토출이 이루어진 건조공기는 제1 본체(102)의 내벽면으로부터 횡 방향으로 연장되게 형성되되 지그재그 형태로 설치된 복수의 제1 차폐부(112)들에 의해 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)을 따라 나선 형으로 상향 이동이 이루어지게 된다.Accordingly, the dry air supplied through the first dry air supply pipe 120 flows into the first main body 102 and is discharged in the lateral direction by the first swash plate 124. In this way, The dry air discharged along the first carbon dioxide flow line 100a is formed by a plurality of first shielding portions 112 formed in a zigzag form so as to extend in the transverse direction from the inner wall surface of the first main body 102 The upward movement is performed in a spiral shape.

즉, 제1 건조공기 공급관(120)을 통해 제1 본체(102)의 내부로 유입되는 건조공기는 종 방향으로 이동되지 않고 제1 경사판(124) 및 복수의 제1 차폐부(112)들에 의해 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)의 형상을 따라 나선 형으로 상향 이동이 이루어지게 됨으로써, 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)을 통과하는 이산화탄소와의 접촉 면적 및 접촉 시간이 증대됨으로써, 제1 이산화탄소 유동 라인(100a)을 통과하는 이산화탄소가 압력 변화에 따른 온도 변화로 발생되는 결로를 예방시키게 된다.That is, the dry air flowing into the first main body 102 through the first dry air supply pipe 120 is not moved in the longitudinal direction, but flows to the first swash plate 124 and the plurality of first shielding parts 112 The first carbon dioxide flow line 100a is spirally upwardly moved along the shape of the first carbon dioxide flow line 100a so that the contact area with the carbon dioxide passing through the first carbon dioxide flow line 100a and the contact time are increased, The carbon dioxide passing through the line 100a prevents condensation caused by the temperature change due to the pressure change.

따라서, 제1 결로발생 방지부(100)를 통과한 이산화탄소는 건조공기와의 열 교환에 의해 결로 발생 없이 제1 벤트라인(16)을 통과하여 금속 분석부(40)로 공급이 이루어지게 됨으로써, 이산화탄소 공급부(10)에서는 결로 발생의 우려가 불식될 수 있다.Therefore, the carbon dioxide that has passed through the first condensation preventing portion 100 passes through the first vent line 16 and is supplied to the metal analyzing portion 40 by heat exchange with the dry air without condensation, The concern of the occurrence of condensation may be eliminated in the carbon dioxide supply unit 10.

한편, 이산화탄소 공급부(10)의 각 제1 배관(14)들을 통과하여 이산화탄소 정제부(20)로 공급되어 정제가 이루어진 후, 이산화탄소 주입부(30)로 공급이 이루어지게 된다.On the other hand, the carbon dioxide is supplied to the carbon dioxide refining unit 20 through the first pipes 14 of the carbon dioxide supplying unit 10, purified and then supplied to the carbon dioxide injecting unit 30.

즉, 이산화탄소 정제부(20)를 통과하여 정제된 이산화탄소가 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 유입구(32)를 통해 이산화탄소 주입부(30)로 공급되면, 공급되는 이산화탄소는 복수의 제2 배관(34)을 통해 세정장치(300)로 토출이 이루어지게 된다.That is, when the purified carbon dioxide passing through the carbon dioxide refining unit 20 is supplied to the carbon dioxide injecting unit 30 through the second inlet 32 as shown in FIGS. 1 and 3, And discharged to the cleaning device 300 through the second pipe 34.

이 때, 세정장치(300)로의 이산화탄소 토출이 잠시 중단되는 경우, 제2 배관(34)들의 밸브는 폐쇄되고, 제2 벤트라인(36)을 통해 이산화탄소를 외부로 배출시키게 되는바, 이산화탄소 주입부(30)에도 제2 벤트라인(36)이 설치된다.At this time, when the discharge of the carbon dioxide into the cleaning device 300 is temporarily stopped, the valves of the second pipes 34 are closed and the carbon dioxide is discharged to the outside through the second vent line 36, And the second vent line 36 is also provided in the second vent line 30.

그런데, 제2 벤트라인(36)을 통해 외부로 이산화탄소가 배출되는 경우, 제2 벤트라인(36)을 통과하는 이산화탄소의 압력 변화에 따른 온도 변화에 의해 제2 벤트라인(36)에도 결로가 발생될 수 있으므로, 이를 방지하기 위하여 제2 벤트라인(36) 상에도 제2 결로발생 방지부(200)가 설치될 수 있다.However, when carbon dioxide is discharged to the outside through the second vent line 36, condensation also occurs in the second vent line 36 due to the temperature change due to the pressure change of the carbon dioxide passing through the second vent line 36 The second condensation prevention part 200 may be installed on the second vent line 36 to prevent the condensation.

한편, 제2 벤트라인(36)을 통해 외부로 이산화탄소가 배출되는 시점에서 다시 세정장치(300)로 이산화탄소를 토출시키고자 하는 경우, 제2 벤트라인(36)에 설치되는 밸브는 폐쇄시키고, 제2 배관(34)들의 밸브를 개방시킴으로써, 이산화탄소 주입부(30)의 제2 유입구(32)를 통해 유입되는 이산화탄소는 세정장치(300)로 토출이 이루어지도록 할 수 있다.On the other hand, when the carbon dioxide is discharged to the outside through the second vent line 36, the valve installed in the second vent line 36 is closed, The carbon dioxide flowing through the second inlet 32 of the carbon dioxide injection unit 30 can be discharged to the cleaning apparatus 300 by opening the valves of the two pipes 34. [

상기한 바와 같이, 제2 벤트라인(36)에 설치될 수 있는 제2 결로발생 방지부(200)는, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 내부가 차폐되어 밀폐 공간을 이루는 제2 본체(202)와, 이 제2 본체(202)의 일측을 통해 내부로 연통되되 제3 개폐밸브(206)가 설치된 제2 입구단(204)과 제2 본체(202)의 타측을 통해 내외부로 연통되는 제2 출구단(208) 및 제2 입구단(204)과 제2 출구단(208)을 연결하되 제2 본체(202)의 내부 공간에 나선형으로 형성되어 제2 볼록부(200b)와 제2 오목 공간부(210)가 연속해서 형성된 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)과, 제2 본체(202)의 일측을 통해 내부로 연통되되 제4 개폐밸브(222)가 설치된 제2 건조공기(CDA) 공급관(220) 및 제2 본체(202)의 타측을 통해 내외부로 연통되는 제2 건조공기 배출관(226)을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.4A and 4B, the second condensation occurrence preventing part 200, which can be installed in the second vent line 36, may include a second body A second inlet end 204 communicating with the inside through one side of the second main body 202 and provided with a third opening and closing valve 206 and a second inlet end 204 communicating with the inside and the outside through the other side of the second main body 202, And the second outlet end 208 and the second outlet end 208 are connected to each other so as to be spirally formed in the inner space of the second body 202 to form the second convex portion 200b, A second carbon dioxide flow line 200a in which two recessed space portions 210 are formed continuously and a second dry air CDA ) Supply pipe 220 and a second dry air discharge pipe 226 communicating with the inside and the outside through the other side of the second main body 202.

이 때, 제2 건조공기 공급관(220)에서 제2 본체(202)의 내부에 배치되는 선단부는 경사지게 형성된 제2 경사판(224)이 형성됨으로써, 제2 건조공기 공급관(220)을 통해 공급되는 건조공기는 제2 본체(202)의 내부에서 종 방향이 아닌 횡 방향으로 토출이 이루어지게 된다.At this time, the tip of the second dry air supply pipe 220 disposed inside the second main body 202 is formed with the second swash plate 224 formed obliquely, so that the drying air supplied through the second dry air supply pipe 220 The air is discharged in the lateral direction, not in the longitudinal direction, inside the second body 202.

한편, 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)은, 앞서 설명한 바와 같이 제2 본체(202)의 내부에 나선형으로 형성되는바, 제2 볼록부(200b)와 제2 오목 공간부(210)가 서로 대향되게 형성될 수 있는데, 이 때 제2 오목 공간부(210)와 횡 방향으로 마주보는 위치에는 제2 본체(202)의 내벽변으로부터 횡 방향으로 연장되는 일정 길이의 제2 차폐부(212)가 형성될 수 있다.The second carbon dioxide flow line 200a is spirally formed in the second body 202 as described above so that the second convex portion 200b and the second concave space portion 210 are opposed to each other At this time, a second shielding portion 212 of a certain length extending in the transverse direction from the inner wall side of the second body 202 is provided at the position facing the second concave space portion 210 in the transverse direction .

따라서, 제2 건조공기 공급관(220)을 통해 공급된 건조공기는 제2 본체(202)의 내부로 유입됨과 동시에 제2 경사판(224)에 의해 횡 방향으로 토출이 이루어지게 되며, 이와 같이 횡 방향으로 토출이 이루어진 건조공기는 제2 본체(202)의 내벽면으로부터 횡 방향으로 연장되게 형성되되 지그재그 형태로 설치된 복수의 제2 차폐부(212)들에 의해 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)을 따라 나선 형으로 상향 이동이 이루어지게 된다.Accordingly, the dry air supplied through the second dry air supply pipe 220 flows into the second main body 202 and is discharged in the lateral direction by the second swash plate 224. Thus, The dry air discharged in the second main body 202 flows along the second carbon dioxide flow line 200a by a plurality of second shielding portions 212 provided in a zigzag shape extending in the transverse direction from the inner wall surface of the second main body 202. [ The upward movement is performed in a spiral shape.

즉, 제2 건조공기 공급관(220)을 통해 제2 본체(202)의 내부로 유입되는 건조공기는 종 방향으로 이동되지 않고 제2 경사판(224) 및 복수의 제2 차폐부(212)들에 의해 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)의 형상을 따라 나선 형으로 상향 이동이 이루어지게 됨으로써, 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)을 통과하는 이산화탄소와의 접촉 면적 및 접촉 시간이 증대됨으로써, 제2 이산화탄소 유동 라인(200a)을 통과하는 이산화탄소가 압력 변화에 따른 온도 변화로 발생되는 결로를 예방시키게 된다.That is, the dry air flowing into the second main body 202 through the second dry air supply pipe 220 is not moved in the longitudinal direction but is transferred to the second swash plate 224 and the plurality of second shielding parts 212 The second carbon dioxide flow line 200a is moved upwards in a spiral manner along the shape of the second carbon dioxide flow line 200a so that the contact area with the carbon dioxide passing through the second carbon dioxide flow line 200a and the contact time are increased, The carbon dioxide passing through the line 200a prevents condensation caused by the temperature change due to the pressure change.

따라서, 제2 결로발생 방지부(200)를 통과한 이산화탄소는 건조공기와의 열 교환에 의해 결로 발생없이 제2 벤트라인(36)을 통과하여 외부로 배출됨으로써, 이산화탄소 주입부(30)에서도 결로 발생의 우려가 불식될 수 있다.Therefore, the carbon dioxide that has passed through the second condensation occurrence preventing portion 200 passes through the second vent line 36 without being condensed by the heat exchange with the dry air and is discharged to the outside, There is a possibility that the risk of occurrence may be reduced.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템에 의하면, 도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 이산화탄소 공급부(10)로 유입된 이산화탄소가 제1 벤트라인(16)을 통해 금속 분석부(40)로 유동될 때, 제1 결로발생 방지부(100)에 의해 결로발생이 방지되고, 이산화탄소 주입부(30)로 유입된 이산화탄소가 제2 벤트라인(36)을 통해 외부로 배출될 때, 제2 결로발생 방지부(200)에 의해 결로 발생이 방지되는바, 결로수에 의하여 전장품 등의 부품 들이 쇼트가 발생되는 등, 손상의 우려가 불식되는 매우 유용한 효과가 제공될 수 있다.As described above, according to the high pressure carbon dioxide VMB line condensation prevention system according to the embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 and 5, the carbon dioxide introduced into the carbon dioxide supply unit 10 flows into the first vent line 16 The condensation is prevented by the first condensation preventing portion 100 and the carbon dioxide introduced into the carbon dioxide injecting portion 30 flows into the second vent line 36 The condensation is prevented from being generated by the second condensation preventing portion 200 when the condensed water is discharged to the outside through the condensation portion 200. As a result, Can be provided.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

10 : 이산화탄소 공급부 12 : 제1 유입구
14 : 제1 배관 16 : 제1 벤트라인
20 : 이산화탄소 정제부 30 : 이산화탄소 주입부
32 : 제2 유입구 34 : 제2 배관
36 : 제2 벤트라인 40 : 금속 분석부
100 : 제1 결로발생 방지부 100a : 제1 이산화탄소 유동 라인
100b : 제1 볼록부 102 : 제1 본체
104 : 제1 입구단 106 : 제1 개폐밸브
108 : 제1 출구단 110 : 제1 오목 공간부
112 : 제1 차폐부 1 20 : 제1 건조공기 공급관
122 : 제2 개폐밸브 124 : 제1 경사판
126 : 제1 건조공기 배출관 200 : 제2 결로발생 방지부
200a : 제2 이산화탄소 유동 라인
200b : 제2 볼록부 202 : 제2 본체
204 : 제2 입구단 206 : 제3 개폐밸브
208 : 제2 출구단 210 : 제2 오목 공간부
212 : 제2 차폐부 220 : 제2 건조공기 공급관
222 : 제4 개폐밸브 224 : 제2 경사판
226 : 제2 건조공기 배출관 300 : 세정장치10: carbon dioxide supply part 12: first inlet
14: first piping 16: first vent line
20: carbon dioxide refining unit 30: carbon dioxide injection unit
32: second inlet port 34: second piping
36: Second vent line 40: Metallic analysis section
100: first condensation occurrence preventing portion 100a: first CO 2 flow preventing line
100b: first convex portion 102: first body
104: first inlet port 106: first opening / closing valve
108: first outlet end 110: first recessed space
112: first shielding portion 1 20: first dry air supply pipe
122: second opening / closing valve 124: first swash plate
126: first dry air discharge pipe 200: second condensation occurrence prevention part
200a: second carbon dioxide flow line
200b: second convex portion 202: second body
204: second inlet stage 206: third opening / closing valve
208: second outlet end 210: second concave space
212: second shielding portion 220: second dry air supply pipe
222: fourth open / close valve 224: second swash plate
226: second drying air discharge pipe 300: cleaning device

Claims (5)

고압의 이산화탄소가 공급되는 이산화탄소 공급부; 상기 이산화탄소 공급부를 통해 공급된 이산화탄소를 정제하는 이산화탄소 정제부; 상기 이산화탄소 정제부에 의해 정제된 이산화탄소를 상 변화시킨 후 세정장치로 공급하는 이산화탄소 주입부를 포함하고, 상기 이산화탄소 공급부 및 상기 이산화탄소 주입부에는 각각 벤트라인이 형성되되, 상기 이산화탄소 공급부의 벤트라인 상 또는 상기 이산화탄소 주입부의 벤트라인 상에는 결로발생 방지부가 설치된 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템에 있어서,
상기 이산화탄소 공급부의 벤트라인은 금속 분석부와 연결되고, 상기 이산화탄소 공급부로 공급된 이산화탄소는 일부가 벤트라인 및 결로발생 방지부를 통해 결로가 방지된 상태로 금속 분석부에 공급되어 금속 함유량이 분석된 후, 금속 분석부에 의한 분석 값이 설정 값 이하인 경우 금속 분석부로의 공급이 폐쇄되고 배관을 통해 이산화탄소 정제부로 공급이 이루어지며,
상기 이산화탄소 주입부의 벤트라인은 외부로 연결되고, 상기 이산화탄소 주입부로 공급된 이산화탄소가 세정장치로의 공급이 중단되는 경우, 상기 이산화탄소 주입부의 벤트라인 및 결로발생 방지부를 통해 결로가 방지된 상태로 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템.
A carbon dioxide supply unit for supplying high-pressure carbon dioxide; A carbon dioxide refining unit for refining the carbon dioxide supplied through the carbon dioxide supplying unit; And a carbon dioxide injection unit for converting the carbon dioxide purified by the carbon dioxide purification unit into a phase change and then supplying the carbon dioxide to the cleaning unit, wherein a vent line is formed in each of the carbon dioxide supply unit and the carbon dioxide injection unit, A high pressure carbon dioxide VMB line condensation prevention system in which a condensation occurrence preventing section is provided on a vent line of a carbon dioxide injection section,
The vent line of the carbon dioxide supplying part is connected to the metal analyzing part and the carbon dioxide supplied to the carbon dioxide supplying part is supplied to the metal analyzing part in a state where a part of the carbon dioxide is prevented from being condensed through the vent line and the condensation occurrence preventing part, If the analysis value by the metal analysis unit is lower than the set value, the supply to the metal analysis unit is closed and the supply to the carbon dioxide refining unit is performed through the pipe,
The vent line of the carbon dioxide injection unit is connected to the outside. When the supply of carbon dioxide to the carbon dioxide injection unit is stopped, the vent line of the carbon dioxide injection unit and the condensation occurrence prevention unit are connected to the outside Pressure VMB line condensation prevention system.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 결로발생 방지부는,
밀폐 공간을 갖는 본체;
상기 본체의 일측을 통해 내부로 연통되는 입구단과, 상기 본체의 타측을 통해 내외부로 연통되는 출구단 및 상기 입구단과 출구단을 연결하되, 상기 본체의 내부 공간에 나선형으로 형성되어 볼록부와 오목 공간부가 형성되는 이산화탄소 유동 라인;
상기 본체의 일측을 통해 내부로 연통되는 건조공기 공급관; 및
상기 본체의 타측을 통해 내외부로 연통되는 건조공기 배출관을 포함하는 것을 특징으로 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템.
The method according to claim 1,
The dew condensation preventing portion
A body having a closed space;
An outlet end communicating with the inside and outside through the other side of the main body, and an outlet end communicating with the inlet end and the outlet end through the one side of the main body, spirally formed in the internal space of the main body, A carbon dioxide flow line formed additionally;
A dry air supply pipe communicating with the inside through one side of the main body; And
And a dry air discharge pipe communicating with the inside and outside through the other side of the main body.
제 3항에 있어서,
상기 건조공기 공급관에서 본체의 내부에 배치되는 선단부는, 한쪽 방향으로 경사지게 경사판이 형성된 것을 특징으로 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템.
The method of claim 3,
Wherein the front end portion of the drying air supply pipe disposed inside the main body has a swash plate inclined in one direction.
제 3항에 있어서,
상기 오목 공간부와 횡 방향으로 마주보는 위치에는 상기 본체의 내벽면으로부터 횡 방향으로 연장되는 일정 길이의 차폐부가 형성되는 것을 특징으로 하는 고압 이산화탄소 VMB 라인 결로방지 시스템.
The method of claim 3,
And a shielding portion having a predetermined length extending transversely from the inner wall surface of the main body is formed at a position facing transversely to the concave space portion.
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