KR101976796B1 - 가압착을 이용한 라미네이팅 방법 및 라미네이팅 장치 - Google Patents

가압착을 이용한 라미네이팅 방법 및 라미네이팅 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판이나 필름 등 2개 이상의 대상물을 서로 접합시키는 가압착을 이용한 라미네이팅 방법에 관한 것으로서, 제 1 헤드에 제 1 대상물을 척킹하고, 제 2 헤드에 제 2 대상물을 척킹하는 척킹 단계; 상기 제 1 대상물의 상방에 상기 제 2 대상물이 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 1차 얼라인하는 1차 얼라인 단계; 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 가압착하는 가압착 단계; 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 서로 가압착된 상태에서 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 2차 얼라인하는 2차 얼라인 단계; 및 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 최종 압착하는 최종 압착 단계;를 포함할 수 있다.

Description

가압착을 이용한 라미네이팅 방법 및 라미네이팅 장치{Laminating method and apparatus using preliminary pressing}
본 발명은 가압착을 이용한 라미네이팅 방법 및 라미네이팅 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판이나 필름 등 2개 이상의 대상물을 서로 접합시키는 가압착을 이용한 라미네이팅 방법 및 라미네이팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 기판이나 웨이퍼나 디스플레이 기판이나 수지 기판이나 각종 필름 등 2개 이상의 대상물들을 서로 접합시킬 수 있는 라미네이팅 장치는 롤투롤 방식의 압착 롤러를 이용하거나 프레스 방식의 압착 헤드를 이용하는 등 매우 다양한 방식의 라미네이팅 장치들이 사용되고 있다.
그 중에서 압착 헤드를 이용하는 프레스 방식은 각각의 헤드에 대상물을 고정시킬 수 있는 정전척(Electrostatic)이나 클램퍼나 진공척 등의 고정 장치들이 설치될 수 있다.
한편, 2개 이상의 대상물들을 서로 정확한 위치에 접합하기 위해서는 각종 얼라인 센서나 얼라인 이동 장치나 얼라인 스테이지 등 별도의 얼라인 장치들이 설치될 수 있다.
일반적으로 얼라인 마크를 확인하는 각종 비젼 장치나 센서 등을 이용하여 제 1 대상물 상에 제 2 대상물을 위치시키는 얼라인 작업을 마친 후, 프레스 장치를 이용하여 예컨대, 제 1 대상물 방향으로 상기 제 2 대상물을 가압함으로써 상기 대상물들을 서로 접합시킬 수 있다.
그러나, 이러한 종래의 얼라인 장치를 이용한 라미네이팅 장치는, 얼라인 작업을 마친 후, 프레스 장치에 의해 상기 제 2 대상물이 상기 제 1 대상물 방향으로 가압되는 동안에 얼라인 위치가 미세하게 달라질 수 있다.
예컨대, 프레스 장치에 의해 가압이 시작되는 초기에 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물 사이에는 서로 미세하게 미끄러지거나 미세한 슬립 현상이 발생될 수 있는 접착 물질들이 도포되어 있고, 이러한 접착 물질들은 경화되기 전에는 연질화되어 유동이 가능하기 때문에 이러한 슬립 현상이 쉽게 발생될 수 있다.
따라서, 얼라인 작업을 마쳤다 하더라도 최종적으로 접합된 결과물은 제 위치를 벗어나서 불량품이 발생되는 등 많은 문제점들이 있었다.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 제 1 대상물과 제 2 대상물이 1차 얼라인 단계 이후에 가압착된 상태에서 2차 얼라인될 수 있기 때문에 최종 가압시 얼라인 변경 현상이나 슬립 현상 등을 방지할 수 있어서 접합 작업의 정밀도와 균일도를 향상시킬 수 있고, 이를 통해서 불량률을 줄이며, 제품의 생산성을 크게 향상시킬 수 있게 하는 가압착을 이용한 라미네이팅 방법 및 라미네이팅 장치를 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 가압착을 이용한 라미네이팅 방법은, 제 1 헤드에 제 1 대상물을 척킹하고, 제 2 헤드에 제 2 대상물을 척킹하는 척킹 단계; 상기 제 1 대상물의 상방에 상기 제 2 대상물이 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 1차 얼라인하는 1차 얼라인 단계; 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 가압착하는 가압착 단계; 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 서로 가압착된 상태에서 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 2차 얼라인하는 2차 얼라인 단계; 및 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 최종 압착하는 최종 압착 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물은 적어도 보호 커버, 플랙시블 보호 커버, 터치 패널, 플랙시블 터치 패널, 디스플레이 기판, 플렉시블 디스플레이 패널, 압력 감지 패널, 플랙시블 압력 감지 패널, 접착 테이프, 임시 접착용 박리지 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 가압착 단계는, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 제 1 압력 또는 제 1 온도로 가압착하고, 상기 최종 압착 단계는, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 상기 제 1 압력 보다 높은 제 2 압력 또는 상기 제 1 온도 보다 높은 제 2 온도로 최종 압착할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 압력 및 상기 제 1 온도는 경화가 발생되는 물성 변화치 미만이고, 상기 제 2 압력 또는 상기 제 2 온도는, 상기 물성 변화치 이상일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 가압착 단계 이전에, 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물에 UV 경화제가 도포되고, 상기 최종 압착 단계에서, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물에 UV 광이 조사될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 헤드는, 고정된 하부 진공 챔버의 내부에 설치된 제 1 정전척을 포함하고, 상기 제 2 헤드는, 상기 하부 진공 챔버와 밀착되어 내부에 진공 환경을 형성할 수 있는 상부 진공 챔버의 내부에 설치된 제 2 정전척을 포함하며, 상기 가압착 단계는, 상기 하부 진공 챔버와 상기 상부 진공 챔버가 개방된 대기압 상태에서 이루어지고, 상기 최종 압착 단계는, 상기 하부 진공 챔버와 상기 상부 진공 챔버가 밀폐된 진공 상태에서 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 1차 얼라인 단계는, 상기 제 1 헤드를 이동시키는 헤드 이동 장치를 이용하여 얼라인되고, 상기 2차 얼라인 단계는, XY쎄타축 스테이지를 이용하여 얼라인될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 가압착 단계는, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물의 중심부 또는 에지부가 부분적으로 서로 먼저 가압착되고, 상기 최종 압착 단계는, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물의 나머지 부분들까지 최종 압착될 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 라미네이팅 장치는, 제 1 헤드에 제 1 대상물을 척킹하고, 제 2 헤드에 제 2 대상물을 척킹하는 척킹 장치; 상기 제 1 대상물의 상방에 상기 제 2 대상물이 거시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 1차 얼라인하는 1차 얼라인 장치; 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 가압착하는 가압착 장치; 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 서로 가압착된 상태에서 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 미시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 2차 얼라인하는 2차 얼라인 장치; 및 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 최종 압착하는 최종 압착 장치;를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 제 1 대상물과 제 2 대상물이 1차 얼라인 단계 이후에 가압착된 상태에서 2차 얼라인될 수 있기 때문에 가압시 얼라인 변경 현상이나 슬립 현상 등을 방지할 수 있어서 접합 작업의 정밀도와 균일도를 향상시킬 수 있고, 이를 통해서 불량률을 줄이며, 제품의 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 가압착을 이용한 라미네이팅 방법을 나타내는 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 라미네이팅 장치의 척킹 단계를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 3은 도 2의 라미네이팅 장치의 1차 얼라인 단계를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 4는 도 3의 라미네이팅 장치의 가압착 단계를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 5는 도 4의 라미네이팅 장치의 2차 얼라인 단계를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 6은 도 5의 라미네이팅 장치의 최종 압착 단계를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 7은 도 2의 라미네이팅 장치에 의해 라미네이팅되는 제 1 대상물 또는 제 2 대상물의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 8은 도 2의 라미네이팅 장치에 의해 라미네이팅되는 제 1 대상물 또는 제 2 대상물의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 9는 도 2의 라미네이팅 장치에 의해 라미네이팅되는 제 1 대상물 또는 제 2 대상물의 또 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 가압착을 이용한 라미네이팅 방법 및 라미네이팅 장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 가압착을 이용한 라미네이팅 방법을 나타내는 순서도이다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 가압착을 이용한 라미네이팅 방법은, 크게 척킹 단계(S1)와, 1차 얼라인 단계(S2)와, 가압착 단계(S3)와, 2차 얼라인 단계(S4) 및 최종 압착 단계(S5)를 포함하여 이루어질 수 있다.
이러한 각각의 단계들을 더욱 구체적으로 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 라미네이팅 장치(1000)를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 라미네이팅 장치(1000)는, 크게 척킹 장치(100)와, 1차 얼라인 장치(200)와, 가압착 장치(300)와, 2차 얼라인 장치(400) 및 최종 압착 장치(500)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 척킹 장치(100)는, 제 1 헤드(H1)에 제 1 대상물(1)을 척킹하고, 제 2 헤드(H2)에 제 2 대상물(2)을 척킹할 수 있는 장치로서, 더욱 구체적으로는, 상기 척킹 장치(100)는, 상기 제 1 헤드(H1)에 고정되고, 하부 진공 챔버(C1)의 내부에 설치되는 제 1 정전척(P1) 및 상기 제 2 헤드(H2)에 고정되고, 상기 하부 진공 챔버(C1)와 밀착되어 내부에 진공 환경을 형성할 수 있는 상부 진공 챔버(C2)의 내부에 설치된 제 2 정전척(P2)을 포함할 수 있다.
그러나, 이러한 상기 척킹 장치(100)는 상술된 상기 정전척들 이외에도 각종 진공척이나 기타 홀더나 클램퍼나 픽커 등 매우 다양한 척킹 장치들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 1차 얼라인 장치(200)는, 상기 제 1 대상물(1)의 상방에 상기 제 2 대상물(2)이 거시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물(1) 또는 상기 제 2 대상물(2)을 1차 얼라인하는 장치로서, 예컨대, 상기 1차 얼라인 장치(200)는, 얼라인 센서(S)와, 상기 제 1 헤드(H1)를 이동시키는 헤드 이동 장치(10)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 얼라인 센서(S)는 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)에 표시된 각종 얼라인 마크를 촬영할 수 있는 각종 비젼 카메라나 모니터나 레이저 센서 등 각종 얼라인 센서들이 모두 적용될 수 있고, 상기 헤드 이동 장치(10)는 상기 제 1 헤드(H1)를 왕복 이송시킬 수 있는 각종 모터나, 리니어 모터나, 유압 실린더나, 공압 실린더나, 랙/피니언기어 조합이나, 가동대/나사봉 조합이나, 벨트/풀리 조합, 체인/스프로킷휠 조합이나, 와이어/풀리 조합 등 매우 다양한 구동원과 동력전달장치가 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 가압착 장치(300)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 가압착하는 프레스 장치(P)일 수 있다.
이러한 상기 프레스 장치(P)는, 예컨대, 상기 제 2 대상물(2)을 상기 제 1 대상물(1) 방향으로 미세 얼라인이 가능한 정도로 약한 가압착력을 인가할 수 있는 장치일 수 있다. 또한, 상기 프레스 장치(P)는 가압착력만 인가하는 별도의 장치가 설치될 수 있으나, 장치의 활용도 측면에서 후술될 최종 압착도 가능한 프레스 장치가 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 2차 얼라인 장치(400)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)이 서로 가압착된 상태에서 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)이 미시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물(1) 또는 상기 제 2 대상물(2)을 2차 얼라인하는 장치로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 2차 얼라인 장치(400)는, 상기 제 2 헤드(H2)에 설치되는 XY쎄타축 스테이지(20)를 포함할 수 있다.
이러한 상기 XY쎄타축 스테이지(20)는, 1차 얼라인에서 얼라인되었으나 가압착시, 상기 제 1 대상물(1)을 기준으로 미세하게 틀어진 상기 제 2 대상물(2)을 X축, Y축으로 미세 이동시키거나, 쎄타축으로 미세하게 각회전시킬 수 있는 장치일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 2차 얼라인 장치(400)는 이외에도 각종 XYZ축 스테이지나, 쎄타축 스테이지 등 매우 다양한 미세 정렬 장치가 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 최종 압착 장치(500)는, 프레스 장치(P)를 이용하여 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 최종 압착하는 프레스 장치(P)가 적용될 수 있다.
따라서, 이러한 본 발명이 일부 실시예들에 따른 라미네이팅 장치(1000)의 작동 과정을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 라미네이팅 장치(1000)의 척킹 단계(S1)를 개략적으로 나타내는 개략도이고, 도 3은 도 2의 라미네이팅 장치(1000)의 1차 얼라인 단계(S2)를 개략적으로 나타내는 개략도이고, 도 4는 도 3의 라미네이팅 장치(1000)의 가압착 단계(S3)를 개략적으로 나타내는 개략도이고, 도 5는 도 4의 라미네이팅 장치(1000)의 2차 얼라인 단계(S4)를 개략적으로 나타내는 개략도이고, 도 6은 도 5의 라미네이팅 장치(1000)의 최종 압착 단계(S5)를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명이 일부 실시예들에 따른 라미네이팅 장치(1000)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 헤드(H1)에 제 1 대상물(1)을 척킹하고, 제 2 헤드(H2)에 제 2 대상물(2)을 척킹할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)은 OLED 디스플레이 패널이나, LCD 디스플레이 패널 등을 이루는 부품들로 이루어질 수 있는 것으로서, 적어도 보호 커버, 플랙시블 보호 커버, 터치 패널, 플랙시블 터치 패널, 디스플레이 기판, 플렉시블 디스플레이 패널, 압력 감지 패널, 플랙시블 압력 감지 패널, 접착 테이프, 임시 접착용 박리지 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.
이어서, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 대상물(1)의 상방에 상기 제 2 대상물(2)이 거시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물(1) 또는 상기 제 2 대상물(2)을 1차 얼라인할 수 있다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 가압착하는 가압착할 수 있다.
이 때, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 제 1 압력 또는 제 1 온도로 가압착할 수 있는 것으로서, 이러한 상기 제 1 압력 또는 상기 제 1 온도는, 최종 압착시 제 2 압력 또는 제 2 온도 보다 낮은 압력 또는 온도로 이루어질 수 있다.
또한, 이러한 가압착 과정은 온도와 압력의 제한을 받지 않기 때문에, 상기 하부 진공 챔버(C1)와 상기 상부 진공 챔버(C2)가 개방된 대기압 상태에서 이루어지는 것도 가능하다.
이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)이 서로 가압착된 상태에서 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)이 미시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물(1) 또는 상기 제 2 대상물(2)을 2차 얼라인할 수 있다.
이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 최종 압착할 수 있다.
이 때, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 상기 제 1 압력 보다 높은 제 2 압력 또는 상기 제 1 온도 보다 높은 제 2 온도로 최종 압착할 수 있다.
예컨대, 상기 제 1 압력 및 상기 제 1 온도는 경화가 발생되는 물성 변화치 미만이고, 상기 제 2 압력 또는 상기 제 2 온도는, 상기 물성 변화치 이상일 수 있다.
또한, 최종 압착시, 상기 하부 진공 챔버(C1)와 상기 상부 진공 챔버(C2)가 밀폐된 진공 상태에서 이루어지는 것도 가능하다.
그러나, 반드시 이에 국한되지 않고, 이외에도, 가압착 이전에 상기 제 1 대상물(1) 또는 상기 제 2 대상물(2)에 UV 경화제가 도포되고, 최종 압착시, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)에 UV 광이 조사되는 것도 가능하다.
그러므로, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)이 1차 얼라인 단계 이후에 가압착된 상태에서 2차 얼라인될 수 있기 때문에 가압시 얼라인 변경 현상이나 슬립 현상 등을 방지할 수 있어서 접합 작업의 정밀도와 균일도를 향상시킬 수 있고, 이를 통해서 불량률을 줄이며, 제품의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
한편, 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 가압착을 이용한 라미네이팅 방법은, 제 1 헤드(H1)에 제 1 대상물(1)을 척킹하고, 제 2 헤드(H2)에 제 2 대상물(2)을 척킹하는 척킹 단계(S1)와, 상기 제 1 대상물(1)의 상방에 상기 제 2 대상물(2)이 거시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물(1) 또는 상기 제 2 대상물(2)을 1차 얼라인하는 1차 얼라인 단계(S2)와, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 가압착하는 가압착 단계(S3)와, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)이 서로 가압착된 상태에서 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)이 미시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물(1) 또는 상기 제 2 대상물(2)을 2차 얼라인하는 2차 얼라인 단계(S4) 및 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 최종 압착하는 최종 압착 단계(S5)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 가압착 단계(S3)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 제 1 압력 또는 제 1 온도로 가압착하고, 상기 최종 압착 단계(S5)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)을 상기 제 1 압력 보다 높은 제 2 압력 또는 상기 제 1 온도 보다 높은 제 2 온도로 최종 압착할 수 있다.
또한, 상기 제 1 압력 및 상기 제 1 온도는 경화가 발생되는 물성 변화치 미만이고, 상기 제 2 압력 또는 상기 제 2 온도는, 상기 물성 변화치 이상일 수 있다.
또한, 상기 가압착 단계(S3) 이전에, 상기 제 1 대상물(1) 또는 상기 제 2 대상물(2)에 UV 경화제가 도포되고, 상기 최종 압착 단계(S5)에서, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)에 UV 광이 조사될 수 있다.
또한, 상기 제 1 헤드(H1)는, 고정된 하부 진공 챔버(C1)의 내부에 설치된 제 1 정전척(P1)을 포함하고, 상기 제 2 헤드(H2)는, 상기 하부 진공 챔버(C1)와 밀착되어 내부에 진공 환경을 형성할 수 있는 상부 진공 챔버(C2)의 내부에 설치된 제 2 정전척(P2)을 포함하며, 상기 가압착 단계(S3)는, 상기 하부 진공 챔버(C1)와 상기 상부 진공 챔버(C2)가 개방된 대기압 상태에서 이루어지고, 상기 최종 압착 단계(S5)는, 상기 하부 진공 챔버(C1)와 상기 상부 진공 챔버(C2)가 밀폐된 진공 상태에서 이루어질 수 있다.
또한, 상기 1차 얼라인 단계(S2)는, 얼라인 센서(S)와, 상기 제 1 헤드(H1)를 이동시키는 헤드 이동 장치(10)를 이용하여 얼라인되고, 상기 2차 얼라인 단계(S4)는, XY쎄타축 스테이지(20)를 이용하여 얼라인될 수 있다.
도 7은 도 2의 라미네이팅 장치에 의해 라미네이팅되는 제 1 대상물(1) 또는 제 2 대상물(2)의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 상기 가압착 단계(S3)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)의 중심부(C) 또는 에지부(E)가 부분적으로 서로 먼저 가압착되고, 상기 최종 압착 단계(S5)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)의 나머지 부분들까지 최종 압착될 수 있다.
따라서, 예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이, 1차 얼라인을 마친후, 상기 중심부(C)가 먼저 가압착된 후, 2차 얼라인을 통해서 나머지 부분들까지 보다 정밀하고 정확한 상태로 최종 압착될 수 있다.
도 8은 도 2의 라미네이팅 장치에 의해 라미네이팅되는 제 1 대상물(1) 또는 제 2 대상물(2)의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 상기 가압착 단계(S3)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)의 중심부(C) 또는 4개의 모서리의 에지부(E)가 부분적으로 서로 먼저 가압착되고, 상기 최종 압착 단계(S5)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)의 나머지 부분들까지 최종 압착될 수 있다.
도 9는 도 2의 라미네이팅 장치에 의해 라미네이팅되는 제 1 대상물(1) 또는 제 2 대상물(2)의 또 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
이외에도, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 가압착 단계(S3)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)의 제 1 에지부(E1) 또는 제 3 에지부(E3)가 먼저 부분적으로 가압착되고, 상기 최종 압착 단계(S5)는, 상기 제 1 대상물(1)과 상기 제 2 대상물(2)의 나머지 제 2 에지부(E2) 또는 제 4 에지부(E4)까지 최종 압착될 수 있다. 그러나 이에 국한되지 않고 다양한 순서로 가압착된 후, 최종 압착되는 것이 가능하다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 제 1 대상물
2: 제 2 대상물
H1: 제 1 헤드
H2: 제 2 헤드
C1: 하부 진공 챔버
C2: 상부 진공 챔버
P1: 제 1 정전척
P2: 제 2 정전척
S: 얼라인 센서
10: 헤드 이동 장치
20: XY쎄타축 스테이지
C: 중심부
E: 에지부
100: 척킹 장치
200: 1차 얼라인 장치
300: 가압착 장치
400: 2차 얼라인 장치
500: 최종 압착 장치
1000: 라미네이팅 장치

Claims (9)

  1. 제 1 헤드에 제 1 대상물을 척킹하고, 제 2 헤드에 제 2 대상물을 척킹하는 척킹 단계;
    상기 제 1 대상물의 상방에 상기 제 2 대상물이 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 1차 얼라인하는 1차 얼라인 단계;
    상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 가압착하는 가압착 단계;
    상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 서로 가압착된 상태에서 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 2차 얼라인하는 2차 얼라인 단계; 및
    상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 최종 압착하는 최종 압착 단계;
    를 포함하는, 가압착을 이용한 라미네이팅 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물은 적어도 보호 커버, 플랙시블 보호 커버, 터치 패널, 플랙시블 터치 패널, 디스플레이 기판, 플렉시블 디스플레이 패널, 압력 감지 패널, 플랙시블 압력 감지 패널, 접착 테이프, 임시 접착용 박리지 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어지는, 가압착을 이용한 라미네이팅 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압착 단계는, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 제 1 압력 또는 제 1 온도로 가압착하고,
    상기 최종 압착 단계는, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 상기 제 1 압력 보다 높은 제 2 압력 또는 상기 제 1 온도 보다 높은 제 2 온도로 최종 압착하는, 가압착을 이용한 라미네이팅 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 압력 및 상기 제 1 온도는 경화가 발생되는 물성 변화치 미만이고,
    상기 제 2 압력 또는 상기 제 2 온도는, 상기 물성 변화치 이상인, 가압착을 이용한 라미네이팅 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압착 단계 이전에, 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물에 UV 경화제가 도포되고,
    상기 최종 압착 단계에서, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물에 UV 광이 조사되는, 가압착을 이용한 라미네이팅 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 헤드는, 고정된 하부 진공 챔버의 내부에 설치된 제 1 정전척을 포함하고,
    상기 제 2 헤드는, 상기 하부 진공 챔버와 밀착되어 내부에 진공 환경을 형성할 수 있는 상부 진공 챔버의 내부에 설치된 제 2 정전척을 포함하며,
    상기 가압착 단계는, 상기 하부 진공 챔버와 상기 상부 진공 챔버가 개방된 대기압 상태에서 이루어지고,
    상기 최종 압착 단계는, 상기 하부 진공 챔버와 상기 상부 진공 챔버가 밀폐된 진공 상태에서 이루어지는, 가압착을 이용한 라미네이팅 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 1차 얼라인 단계는, 상기 제 1 헤드를 이동시키는 헤드 이동 장치를 이용하여 얼라인되고,
    상기 2차 얼라인 단계는, XY쎄타축 스테이지를 이용하여 얼라인되는, 가압착을 이용한 라미네이팅 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압착 단계는, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물의 중심부 또는 에지부가 부분적으로 서로 먼저 가압착되고,
    상기 최종 압착 단계는, 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물의 나머지 부분들까지 최종 압착되는, 가압착을 이용한 라미네이팅 방법.
  9. 제 1 헤드에 제 1 대상물을 척킹하고, 제 2 헤드에 제 2 대상물을 척킹하는 척킹 장치;
    상기 제 1 대상물의 상방에 상기 제 2 대상물이 거시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 1차 얼라인하는 1차 얼라인 장치;
    상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 가압착하는 가압착 장치;
    상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 서로 가압착된 상태에서 상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물이 미시적으로 정렬될 수 있도록 상기 제 1 대상물 또는 상기 제 2 대상물을 2차 얼라인하는 2차 얼라인 장치; 및
    상기 제 1 대상물과 상기 제 2 대상물을 최종 압착하는 최종 압착 장치;
    를 포함하는, 라미네이팅 장치.
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