KR101970060B1 - Optical element inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 광학부재 검사장치는, 광원; 광원으로부터의 광이 광학부재에서 반사되어 입사되는 광학렌즈; 광학렌즈를 통과한 광으로 광학부재의 이미지가 획득될 수 있는 카메라; 및 카메라에서 획득한 광학부재의 이미지로 상기 광학부재에서 이물질의 위치를 판별할 수 있는 영상 처리장치를 포함하는 이물질 위치 판별장치를 포함할 수 있다.An optical member inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a light source; An optical lens in which light from a light source is reflected and incident on an optical member; A camera capable of acquiring an image of the optical member with light passing through the optical lens; And an image processing apparatus capable of discriminating the position of a foreign object in the optical member with an image of an optical member obtained from the camera.

Description

광학부재 검사장치{OPTICAL ELEMENT INSPECTION APPARATUS}OPTICAL ELEMENT INSPECTION APPARATUS [0001]

본 발명의 실시예는 이물질 위치 판별장치를 포함하는 광학부재 검사장치에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to an optical member inspection apparatus including a foreign matter position determining apparatus.

일반적으로 반도체 포토 리소그래피 공정에서는 감광액이 도포된 웨이퍼를 노광할 때 패턴 형성을 위해 마스크를 사용하게 된다. 마스크에는 웨이퍼에 전사될 패턴이 형성되어 있는데, 마스크 위에 패턴 결함이나 먼지 등의 이물질(foreign particle or foreign substance)이 존재하게 되면, 이물질이 대상 패턴과 함께 웨이퍼 위에 전사되어 제품 수율을 크게 저하시킬 수 있다.Generally, in a semiconductor photolithography process, a mask is used for pattern formation when exposing a wafer to which a photosensitive liquid is applied. When a foreign particle or foreign substance such as a pattern defect or dust is present on the mask, the foreign matter is transferred onto the wafer together with the object pattern, and the yield of the product is greatly reduced. have.

따라서, 마스크를 이물질로부터 보호하기 위해, 펠리클막이 사용된다. 펠리클막은 마스크와 일정 간격 이격되어 마스크 표면 상부에 놓여져 마스크를 이물질이나 외부 오염으로부터 보호할 수 있다. 하지만, 마스크를 보호하기 위한 펠리클막을 사용함에도 이물질이 부착되거나 마스크가 오염된 경우 검사를 통해 불량으로 판정하게 된다. 이때, 보호막 역할을 하는 펠리클막 표면의 상부에 존재하는 이물질은 마스크에는 전혀 영향을 줄 수 없으므로 불량으로 판정될 경우 제품의 생산 효율이 떨어지게 된다.Therefore, in order to protect the mask from foreign matter, a pellicle membrane is used. The pellicle membrane is spaced apart from the mask and placed on the mask surface to protect the mask from foreign matter or external contamination. However, even if a pellicle membrane is used to protect the mask, it is judged to be defective by inspection when a foreign substance is adhered or the mask is contaminated. At this time, the foreign substance existing on the surface of the pellicle membrane serving as the protective film can not affect the mask at all, and if it is judged as defective, the production efficiency of the product is lowered.

대한민국 등록특허공보 제10-0484812호 (2005.04.13)Korean Patent Registration No. 10-0484812 (Apr. 13, 2005)

본 발명의 실시예는 광학부재 검사장치를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide an optical member inspection apparatus.

본 발명의 실시예는 광학부재에서 이물질 존재여부를 검사하여 불량 또는 정상으로 판별함에 있어서, 광학부재의 표면 상부 및 하부 중 어디에 이물질이 존재하는지를 판별할 수 있는 이물질 위치 판별장치를 포함하는 광학부재 검사장치를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention provides an optical member inspection apparatus including a foreign substance position discriminating device capable of discriminating whether foreign substances are present on the upper surface or the lower surface of an optical member in discriminating whether an optical member exists or not, Device.

본 발명의 실시예에 따른 광학부재 검사장치는, 광원; 광원으로부터의 광이 광학부재에서 반사되어 입사되는 광학렌즈; 광학렌즈를 통과한 광으로 광학부재의 이미지가 획득될 수 있는 카메라; 및 카메라에서 획득한 광학부재의 이미지로 상기 광학부재에서 이물질의 위치를 판별할 수 있는 영상 처리장치를 포함하는 이물질 위치 판별장치를 포함할 수 있다.An optical member inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a light source; An optical lens in which light from a light source is reflected and incident on an optical member; A camera capable of acquiring an image of the optical member with light passing through the optical lens; And an image processing apparatus capable of discriminating the position of a foreign object in the optical member with an image of an optical member obtained from the camera.

영상 처리장치는, 이물질의 위치가 광학부재의 표면 상부 또는 하부 중 어디인지를 판별할 수 있다.The image processing apparatus can determine whether the position of the foreign substance is on the upper surface or the lower surface of the optical member.

광원으로부터의 광은, 라인 형태의 광이고, 카메라는, 라인 형태의 광이 스캔하는 광학부재의 이미지를 획득할 수 있다.The light from the light source is light in the form of a line, and the camera can acquire an image of the optical member that the line-shaped light scans.

광원으로부터의 광은, 면 형태의 광이고, 카메라는, 면 형태의 광이 스캔하는 광학부재의 이미지를 획득할 수 있다.The light from the light source is light in the form of a plane, and the camera can acquire an image of the optical member that the light in the form of a plane scans.

영상 처리장치는, 광학부재의 이미지에 왜곡 또는 변형이 발생하면, 이물질의 위치가 광학부재의 표면 상부인 것으로 판별할 수 있다.When the image of the optical member is distorted or deformed, the image processing apparatus can determine that the position of the foreign substance is the upper surface of the optical member.

영상 처리장치는, 광학부재의 이미지에 왜곡 또는 변형이 발생하지 않으면, 이물질의 위치가 광학부재의 표면 하부인 것으로 판별할 수 있다.The image processing apparatus can judge that the position of the foreign matter is the lower part of the surface of the optical member if no distortion or deformation occurs in the image of the optical member.

광학부재는 광학막 및 광학 프레임을 포함하고, 광학막에서 이물질의 존재여부를 판별하는 제1 광학계; 및 광학 프레임에서 이물질의 존재여부를 판별하는 제2 광학계를 더 포함하고, 상기 영상 처리장치는, 카메라에서 획득한 광학부재의 이미지로 광학부재에서 이물질의 위치를 판별할 수 있다.A first optical system including an optical film and an optical frame, for discriminating the presence or absence of a foreign substance in the optical film; And a second optical system for discriminating the presence or absence of a foreign substance in the optical frame, wherein the image processing apparatus can determine the position of the foreign object in the optical member with the image of the optical member acquired by the camera.

영상 처리장치는, 카메라에서 획득한 광학부재의 이미지로 광학부재에서 이물질의 존재여부를 판별할 수 있다.The image processing apparatus can determine whether or not a foreign object exists in the optical member with the image of the optical member acquired by the camera.

광학부재는 펠리클체이고, 펠리클체는 펠리클막 및 펠리클 프레임을 포함하고, 펠리클막에서 이물질의 존재여부를 판별하는 제1 광학계; 및 펠리클 프레임에서 이물질의 존재여부를 판별하는 제2 광학계를 더 포함하고, 상기 영상 처리장치는, 카메라에서 획득한 광학부재의 이미지로 광학부재에서 이물질의 위치를 판별할 수 있다.The optical member is a pellicle body, the pellicle body includes a pellicle film and a pellicle frame, and a first optical system for determining presence or absence of a foreign substance in the pellicle film; And a second optical system for determining presence or absence of a foreign substance in the pellicle frame, wherein the image processing apparatus can determine the position of the foreign object in the optical member with the image of the optical member obtained from the camera.

본 발명의 실시예에 의하면 이물질 위치 판별장치는, 광학부재의 표면을 검사함에 있어서 광학부재의 표면 상부 또는 하부 중 어디에 이물질이 존재하는지를 판별할 수 있다. 이로 인해, 이물질의 존재여부 검출만으로 불량으로 판정되어 제품의 생산 효율이 크게 떨어지는 과검출의 문제를 해결할 수 있게 된다.According to the embodiment of the present invention, when inspecting the surface of the optical member, the foreign substance position determining apparatus can determine whether foreign matter exists on the upper surface or the lower surface of the optical member. Therefore, it is possible to solve the problem of over detection, which is judged to be defective only by the presence or absence of a foreign substance, thereby greatly reducing the production efficiency of the product.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학부재의 일 예인 펠리클체의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학부재 검사장치를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 광학계를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 광학계를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 펠리클 프레임이 제2 광학계에 의해 촬상되는 것을 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 이물질 위치 판별장치에서 펠리클막이 촬상되는 것을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 이물질 위치 판별장치에서 펠리클막이 촬상되는 것을 나타내는 도면.1 is a perspective view of a pellicle body which is an example of an optical member according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing an optical member inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 shows a first optical system according to an embodiment of the invention.
4 shows a second optical system according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing that a pellicle frame is picked up by a second optical system according to an embodiment of the present invention;
6 is a view showing a pellicle film image picked up by a foreign substance position determining apparatus according to an embodiment of the present invention;
7 is a view showing a pellicle film image picked up by a foreign substance position determining device according to an embodiment of the present invention;

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, this is merely an example and the present invention is not limited thereto.

본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In the following description, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The following terms are defined in consideration of the functions of the present invention, and may be changed according to the intention or custom of the user, the operator, and the like. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

본 발명의 기술적 사상은 특허청구범위에 의해 결정되며, 이하 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.The technical idea of the present invention is determined by the claims, and the following embodiments are merely a means for effectively explaining the technical idea of the present invention to a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs.

그리고, 본 발명의 일 실시예인 광학부재 검사장치(도 2의 참조번호 '1')는 광학부재 표면의 이물질을 검출하고 위치를 판별하기 위한 장치로서, 광학부재 표면의 상부 또는 하부 중 어디에 있는지를 판별할 수 있다. 한편, 광학부재 표면의 이물질 검출 시 광학계에서 획득한 이미지의 영상 처리방법은 당업자에 의하여 선택될 수 있으며, 이하의 영상 처리방법은 일 예에 불과하다.An optical member inspection apparatus (reference numeral 1 'in FIG. 2), which is an embodiment of the present invention, is an apparatus for detecting foreign substances on the surface of an optical member and determining the position thereof. Can be distinguished. On the other hand, a method of image processing of an image obtained by an optical system at the time of detecting a foreign substance on the surface of the optical member can be selected by a person skilled in the art, and the following image processing method is merely an example.

이러한 광학부재 검사장치(도 2의 참조번호 '1')는 이하에서, 펠리클체(도 1의 참조번호 '10') 표면의 이물질을 검출하기 위한 과정 및 검출된 이물질의 위치를 판별하기 위한 과정을 수행하는 것을 예로 들어 설명하고자 한다.The optical member inspecting apparatus (reference numeral '1' in FIG. 2) will hereinafter be described as a process for detecting a foreign substance on the surface of the pellicle body (reference numeral 10 'in FIG. 1) and a process for determining the position of the detected foreign substance As an example.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학부재의 일 예인 펠리클체(10)의 사시도이다.1 is a perspective view of a pellicle body 10 which is an example of an optical member according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 광학부재는 광학막 및 광학 프레임을 포함할 수 있다. 예를 들어, 펠리클체(10)는 반도체 포토 리소그래피 공정에서 웨이퍼측에 가까운 최하부에 배치되는 마스크(11), 마스크(11)의 상측에 형성되는 펠리클 프레임(13) 및 펠리클 프레임(13)에 의해 마스크(11)의 상부에 일정 간격 이격되어 고정 지지되는 펠리클막(15)을 포함할 수 있다.Referring to Fig. 1, the optical member may include an optical film and an optical frame. For example, the pellicle body 10 is formed by a mask 11, a pellicle frame 13 formed on the upper side of the mask 11 and a pellicle frame 13, which are disposed at the lowermost part near the wafer side in the semiconductor photolithography process And a pellicle film 15 fixedly supported at an upper portion of the mask 11 at a predetermined distance.

마스크(11)의 형태는 예를 들어 원형 또는 다각 형상으로 이루어질 수 있다. 또한, 펠리클 프레임(13)은 보호대상인 마스크(11)의 형태에 따라 원형 또는 다각 형상으로 형성될 수 있다.The shape of the mask 11 may be, for example, circular or polygonal. Further, the pellicle frame 13 may be formed in a circular or polygonal shape depending on the shape of the mask 11 to be protected.

이때, 펠리클막(15)은 펠리클 프레임(13)의 상측에 부착된 형태로 고정 지지될 수 있다. 또한, 펠리클 프레임(13)의 중간부에 삽입된 형태로 고정 지지될 수 있음은 물론이다.At this time, the pellicle membrane 15 can be fixedly supported in a form attached to the upper side of the pellicle frame 13. [ Needless to say, it can be fixedly supported in the form of being inserted into the middle part of the pellicle frame 13. [

하지만, 펠리클체(10)는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사대상의 예들 중 하나일 뿐이며, 검사대상이 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예에 따르면 검사대상은 표면에 이물질이 부착될 수 있어 이물질의 검출이 필요한 모든 광학부재가 검사대상에 포함될 수 있다.However, the pellicle body 10 is only one example of an object to be inspected according to an embodiment of the present invention, and the object to be inspected is not limited thereto. According to the embodiment of the present invention, an object to be inspected may be adhered to a surface, and all optical members requiring detection of a foreign object may be included in the object of inspection.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학부재 검사장치(1)를 나타내는 도면이다.2 is a view showing an optical member inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.

도 2을 참조하면, 광학부재 검사장치는 펠리클막(15) 표면의 이물질의 존재여부를 판별하기 위한 제1 광학계(100), 펠리클막(15)을 지지하는 프레임의 이물질의 존재여부를 판별하기 위한 제2 광학계(200), 및 이물질이 펠리클막(15)의 표면 상부 또는 하부 중 어디에 위치하는지를 판별하기 위한 이물질 위치 판별장치(300)를 포함할 수 있다. 이물질 위치 판별장치(300)는 펠리클막(15)의 표면 상부 또는 하부 중 어디에 위치하는지를 판별하는 것만으로 한정되지는 아니하고, 실시예에 따라 이물질의 존재여부 및 이물질의 위치를 동시에 판별할 수 있음은 물론이다. 이 경우에는 제1 광학계(100)와 제2 광학계(200)가 포함되지 않을 수도 있으나, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서는 이물질 위치 판별장치(300)와 별도로 제1 광학계(100)와 제2 광학계(200)를 포함하는 경우에 대해서 주로 설명하도록 한다.Referring to FIG. 2, the optical member inspection apparatus includes a first optical system 100 for determining presence or absence of a foreign substance on the surface of the pellicle film 15, a second optical system 100 for determining presence or absence of a foreign substance in the frame supporting the pellicle film 15 And a foreign matter position determining device 300 for determining whether a foreign substance is located on the upper surface or the lower surface of the pellicle membrane 15. The foreign substance position determination device 300 is not limited to determining whether the pellicle membrane 15 is positioned above or below the surface of the pellicle membrane 15. It is possible to simultaneously determine the presence of foreign matter and the position of the foreign matter according to the embodiment Of course. In this case, the first optical system 100 and the second optical system 200 may not be included. However, in describing the embodiment of the present invention, the first optical system 100 and the second optical system 200, Optical system 200 will be mainly described.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 광학부재 검사장치를 설명함에 있어 설명의 편의를 위하여 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)를 먼저 설명하도록 한다.Meanwhile, in explaining the optical member inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, the first optical system 100 and the second optical system 200 will be described first for convenience of explanation.

제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)는 이물질 위치 판별장치(300)보다 우선하여 이물질의 존재여부를 검사하기 위한 펠리클체(10) 이송방향에 대해서 전(前)측에 위치할 수 있다. 물론, 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)가 별도의 장치로써 이물질 위치 판별장치(300)와 분리된 형태로 포함될 수 있고, 또는 하나의 장치로써 펠리클체(10) 이송방향에 대해서 이물질 위치 판별장치(300)와 동일한 장치로 포함될 수도 있다. The first optical system 100 and the second optical system 200 may be placed on the front side with respect to the conveying direction of the pellicle body 10 for inspecting the presence or absence of a foreign substance in preference to the foreign object position determining device 300 have. Of course, the first optical system 100 and the second optical system 200 may be included separately from the foreign substance position determining device 300 as a separate device, or may be included as one device in the direction of conveyance of the pellicle body 10 Or may be included in the same apparatus as the foreign substance position determining apparatus 300.

나아가, 이물질 위치 판별장치(300)가 광학부재의 이물질 존재여부까지 동시에 판단하는 경우에는 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)가 별도로 포함되지 않을 수도 있음은 물론이다.Furthermore, it is needless to say that the first optical system 100 and the second optical system 200 may not be included separately when the foreign substance position determination apparatus 300 determines whether or not the foreign substance exists in the optical member at the same time.

더불어, 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)의 배치는 달라질 수 있다. 이를 좀더 구체적으로 설명하면, 펠리클체(10)가 도 2에서 좌측에서 우측으로 이송될 경우, 좌측부터 제1 광학계(100), 제2 광학계(200) 및 이물질 위치 판별장치(300)의 순서로 배치되어, 제1 광학계(100)에서 펠리클막(15) 표면이 검사된 후 제2 광학계(200)에서 펠리클 프레임(13)이 검사되어 이물질이 발견되면, 이물질 위치 판별장치(300)에 의하여 이물질이 펠리클막(15) 표면의 상부 또는 하부 중 어디에 위치하는지가 판별될 수 있다.In addition, the arrangement of the first optical system 100 and the second optical system 200 may be different. 2, the first optical system 100, the second optical system 200, and the foreign matter position determination device 300 are arranged in this order from the left side in the order from left to right. And the pellicle frame 13 is inspected by the second optical system 200 after the surface of the pellicle film 15 is inspected by the first optical system 100. When the foreign object is detected, Which is located on the upper or lower surface of the pellicle membrane 15 can be determined.

또한, 펠리클체(10)가 도 2에서 좌측에서 우측으로 이송될 경우, 좌측부터 제2 광학계(200), 제1 광학계(100) 및 이물질 위치 판별장치(300)의 순서로 배치되어, 제2 광학계(200)에서 펠리클 프레임(13)이 검사된 후 제1 광학계(100)에서 펠리클막(15) 표면이 검사되어 이물질이 발견되면, 이물질 위치 판별장치(300)에 의하여 이물질이 펠리클막(15) 표면의 상부 또는 하부 중 어디에 위치하는지가 판별될 수 있다.2, the second optical system 200, the first optical system 100, and the foreign matter position determining device 300 are arranged in this order from the left side, and the second optical system 200, When the surface of the pellicle film 15 is inspected in the first optical system 100 after the pellicle frame 13 is inspected by the optical system 200 and a foreign substance is found, the foreign substance position determination device 300 detects the foreign substance by the pellicle film 15 Quot; surface ") surface can be determined.

물론, 이에 한정되는 것은 아니며 검사대상의 형태에 따라 도 2에 도시되지 않은 다른 형태의 장치가 사용될 수 있다. 예를 들어, 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)가 별도의 광학계로 마련되지 않고, 하나의 광학계에서 펠리클막(15) 및 펠리클 프레임(13)이 검사될 수 있음은 물론이다. 이 경우에는 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)가 하나의 광학계로써 마련될 수 있다.Of course, the present invention is not limited to this and other types of apparatuses not shown in Fig. 2 may be used depending on the type of the object to be inspected. For example, it is needless to say that the first optical system 100 and the second optical system 200 are not provided as separate optical systems, and that the pellicle film 15 and the pellicle frame 13 can be inspected in one optical system. In this case, the first optical system 100 and the second optical system 200 may be provided as one optical system.

나아가, 이물질 위치 판별장치(300)가 펠리클막(15) 및 펠리클 프레임(13)의 이물질 존재여부까지 판별하는 경우에는, 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)가 포함되지 않고 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)의 기능을 이물질 위치 판별장치(300)에서 수행할 수 있다. 이 경우에는 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)가 별도의 장치 또는 하나의 장치에 포함되지 않고 이물질 위치 판별장치(300)에서 그 기능을 수행할 수 있음은 물론이다.The first optical system 100 and the second optical system 200 are not included and the first optical system 100 and the second optical system 200 are not included in the case where the foreign substance position determination device 300 determines whether or not the foreign substance exists in the pellicle film 15 and the pellicle frame 13. [ The functions of the optical system 100 and the second optical system 200 can be performed by the foreign substance position determination apparatus 300. [ In this case, it is needless to say that the first optical system 100 and the second optical system 200 are not included in a separate apparatus or a single apparatus but can perform the function in the foreign matter position determining apparatus 300.

펠리클체(10)는 검사가 진행되는 방향으로 이송되는 장치에 놓여질 수 있다. 예를 들어, 펠리클체(10)는 보트에 안착되고 리니어 모터 시스템(미도시)이 이용되어 보트가 이동됨으로써 각 광학계의 하측을 경유하도록 이송될 수 있다. 여기서, 광학계의 하측은 광학계에서 펠리클체(10)를 촬상할 수 있는 경로상 위치를 지칭할 수 있다.The pellicle body 10 can be placed in a device which is transported in the direction in which the inspection is proceeded. For example, the pellicle body 10 is seated on a boat and a linear motor system (not shown) may be used to move the boat so that it passes under each optical system. Here, the lower side of the optical system may refer to a position on the path where the pellicle body 10 can be imaged by the optical system.

구체적으로, 보트에 안착된 펠리클체(10)는 제1 광학계(100)의 하측을 지날 때, 펠리클막(15)의 표면이 촬상되어 이물질 존재여부가 판별될 수 있다. 또한, 제2 광학계(200)의 하측을 지날 때, 펠리클 프레임(13)이 촬상되어 이물질 존재여부가 판별될 수 있다. 판별 결과에 따라, 이물질 위치 판별장치(300)의 하측을 지나며 이물질이 펠리클막(15)의 표면 상부 또는 하부 중 어디에 위치하는지가 판별될 수 있다. 좀더 구체적으로 설명하면, 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)에 의하여 이물질이 존재한다고 판별되면 이물질 위치 판별장치(300)의 하측을 경유하도록 할 수 있고, 혹은 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)를 통해서 이물질이 존재하지 않는다고 판별되면 이물질 위치 판별장치(300)의 하측을 경유하지 않는 별도의 경로로 이동될 수 있음은 물론이다. 또한, 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)에 의하여 이물질 존재여부의 판별 결과에 관계없이 이물질 위치 판별장치(300)의 하측을 경유하도록 될 수 있음은 물론이다.Specifically, when the pellicle body 10 seated on the boat passes the lower side of the first optical system 100, the surface of the pellicle film 15 is picked up and it can be judged whether or not there is a foreign substance. Further, when passing the lower side of the second optical system 200, the pellicle frame 13 is picked up and it can be judged whether or not there is a foreign substance. According to the discrimination result, it can be determined whether the foreign matter is located on the upper surface or the lower surface of the pellicle film 15 by passing under the foreign substance position determining device 300. The first optical system 100 and the second optical system 200 may pass the lower part of the foreign object position determination device 300 or may be disposed on the first optical system 100. [ And the second optical system 200, it can be moved to a separate path that does not pass through the lower side of the foreign object position determining apparatus 300. [ In addition, it goes without saying that the first optical system 100 and the second optical system 200 can pass through the lower side of the foreign substance position determining device 300 irrespective of the determination result of presence or absence of the foreign substance.

다만, 이물질 위치 판별장치(300)가 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)의 기능을 동시에 수행하는 경우에는, 즉, 이물질 위치 판별장치(300)가 펠리클막(15)과 펠리클 프레임(13)의 이물질 존재여부까지 판별하는 경우에는, 이물질 위치 판별장치(300)의 하측만을 지남으로써 이물질 존재여부 및 그 위치까지 판별될 수 있음은 물론이다.When the foreign substance position determining apparatus 300 simultaneously performs the functions of the first optical system 100 and the second optical system 200, that is, when the foreign substance position determining apparatus 300 detects the position of the pellicle film 15 and the pellicle frame 200, It is of course possible to determine whether or not the foreign object exists and its position by passing only the lower side of the foreign object position determining device 300. [

여기서 제1 광학계(100), 제2 광학계(200) 및 이물질 위치 판별장치(300)의 하측을 지나는 것은, 촬상에 소정의 시간이 필요한 경우에는 기 결정된 시간만큼 정지할 수도 있고, 연속적인 공정의 수행을 위해서 빠른 시간 내에 광학계에서 촬상이 가능한 경우에는 정지되지 않고 지속적으로 이동하면서 지나갈 수 있다.Here, passing the lower side of the first optical system 100, the second optical system 200, and the foreign matter position determining device 300 may be stopped for a predetermined period of time if a predetermined time is required for imaging, If imaging is possible in the optical system within a short period of time for execution, it can be continuously moved without stopping.

전술한 내용은 본 발명의 일 실시예일 뿐이며, 광학부재 검사장치는 1개 내지 복수 개의 광학계가 다양한 형태로 포함될 수 있다. 예를 들어, 이물질 위치 판별장치(300)가 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200) 중 어느 하나의 기능을 동시에 수행할 수 있는 경우에는, 이물질 위치 판별장치(300)와, 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200) 중 하나만 포함될 수 있음은 물론이다. 물론 이에 한정되는 것은 아니며, 이물질 위치 판별장치(300)가 이물질의 존재여부까지 판별할 수 있는 경우에는 이물질 위치 판별장치(300)만 포함될 수 있음은 물론이다.The above description is only an embodiment of the present invention, and the optical member inspection apparatus may include one or more optical systems in various forms. For example, when the foreign substance position determination device 300 can perform the functions of either the first optical system 100 or the second optical system 200 simultaneously, the foreign substance position determination device 300, It goes without saying that only one of the optical system 100 and the second optical system 200 may be included. Of course, the present invention is not limited to this, and it is needless to say that the foreign object location determining apparatus 300 may include only the foreign object location determining apparatus 300 when the foreign object location determining apparatus 300 can determine whether or not the foreign object exists.

도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)를 나타내는 도면이다.3 and 4 are views showing a first optical system 100 and a second optical system 200 according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)는 펠리클막(15) 및 펠리클 프레임(13) 표면의 이물질 존재여부를 판별하는 역할을 할 수 있다. 따라서, 검사대상인 펠리클체(10)의 이송방향에 대해서 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)가 이물질 위치 판별장치(300)의 전측에 순차적으로 배치될 수 있다. 또한, 펠리클체(10)의 이송방향에 대해서 제2 광학계(200) 및 제1 광학계(100)의 순서로 이물질 위치 판별장치(300)의 전측에 배치될 수 있음은 물론이다.Referring to FIGS. 3 and 4, the first optical system 100 and the second optical system 200 may function to discriminate the existence of foreign substances on the surface of the pellicle film 15 and the pellicle frame 13. Therefore, the first optical system 100 and the second optical system 200 can be sequentially disposed on the front side of the foreign substance position determining device 300 with respect to the conveyance direction of the pellicle body 10 to be inspected. It goes without saying that the second optical system 200 and the first optical system 100 may be arranged in front of the foreign substance position determining device 300 in the order of the pellicle body 10 conveying direction.

도 3을 참조하면, 제1 광학계(100)는 제1 카메라(110) 및 제1 카메라(110)에 광학적으로 연결되는 제1 광학렌즈(120)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the first optical system 100 may include a first optical lens 120 optically connected to the first camera 110 and the first camera 110.

펠리클체(10)가 제1 광학계(100)의 하측으로 이송될 때, 제1 광학렌즈(120)에 의하여 펠리클체(10)가 놓여진 평면에 대하여 수직 방향으로 촬상되어 펠리클막(15) 표면의 수직 영상 이미지가 획득될 수 있다. 그리고, 획득된 이미지는 제1 영상 처리장치(130)로 전송되어 이물질 존재여부가 판별될 수 있다. 예를 들어, 제1 영상 처리장치(130)는 촬상된 이미지를 이물질이 존재하지 않는 정상 이미지과 비교하여 이미지에 색조 또는 음영 등의 왜곡 또는 변형이 발생한 부분이 존재하는 경우에, 이를 이물질이 존재하는 것으로 판별할 수 있다.When the pellicle body 10 is transferred to the lower side of the first optical system 100, the first optical lens 120 picks up the image in a direction perpendicular to the plane on which the pellicle body 10 is placed, A vertical image image can be obtained. Then, the obtained image is transmitted to the first image processing apparatus 130, and it can be determined whether or not there is foreign matter. For example, when the first image processing apparatus 130 compares a captured image with a normal image in which no foreign matter exists, and there is a portion where distortion or deformation such as hue or shading occurs in the image, .

또한, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 영상 처리장치(130)가 별도로 존재하지 않고, 획득된 이미지가 외부 디스플레이 장치로 전송되어 이물질의 존재여부가 판별될 수도 있음은 물론이다.However, the present invention is not limited to this, and it is needless to say that the first image processing apparatus 130 does not exist separately, and the obtained image is transmitted to the external display device to determine whether or not there is foreign matter.

이때, 펠리클체(10)는 제1 광학계(100)의 하측에서 등속으로 이송될 수 있다. 다만 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 광학계(100)의 하측에서 기 결정된 시간만큼 정지된 후 이송될 수 있음은 물론이다.At this time, the pellicle body 10 can be transported from the lower side of the first optical system 100 at a constant velocity. However, the present invention is not limited to this, and it is needless to say that the first optical system 100 can be stopped after being stopped for a predetermined time and then transferred.

펠리클체(10)가 제1 광학계(100)를 지나면 제2 광학계(200)의 하측에서 멈추게 되고, 펠리클 프레임(13)의 이물질 존재여부가 판별될 수 있다. 다만 여기서, 펠리클체(10)는 제1 광학계(100)에서와 마찬가지로 제2 광학계(200)의 하측에서 멈추지 않고 등속으로 이송되면서 촬상될 수 있음은 물론이다.When the pellicle body 10 passes through the first optical system 100, it stops at the lower side of the second optical system 200, and the presence or absence of foreign matter in the pellicle frame 13 can be determined. It is needless to say that the pellicle body 10 can be picked up while being transported at a constant speed without stopping at the lower side of the second optical system 200 as in the first optical system 100. [

도 4를 참조하면, 제2 광학계(200)는 제2 카메라(210) 및 제2 카메라(210)에 광학적으로 연결되는 제2 광학렌즈(220)를 포함할 수 있다. 제2 광학계(200)의 하측에서는 펠리클체(10)가 이송되어 멈추면 제2 광학렌즈(220)에 의하여 펠리클 프레임(13)의 측면에 경사를 이루며 촬상되어 펠리클 프레임(13)의 측면 이미지가 획득될 수 있다. 그리고, 획득된 이미지는 제2 영상 처리장치(230)로 전송되어 제1 광학계(100)에서와 마찬가지로 이물질이 존재하지 않는 정상 이미지와 비교하여 획득된 이미지에 왜곡 또는 변형이 발생한 부분이 존재하는 경우에, 이를 이물질이 존재하는 것으로 판별할 수 있다.Referring to FIG. 4, the second optical system 200 may include a second optical lens 220 optically connected to the second camera 210 and the second camera 210. When the pellicle body 10 is transported and stopped at the lower side of the second optical system 200, the side surface of the pellicle frame 13 is imaged by being inclined at the side surface of the pellicle frame 13 by the second optical lens 220, ≪ / RTI > The acquired image is transmitted to the second image processing apparatus 230. As in the first optical system 100, when there is a portion where distortion or deformation occurs in an image obtained by comparison with a normal image in which no foreign matter exists , It can be determined that foreign matter exists.

또한, 제1 광학계(100)에서와 마찬가지로 제2 영상 처리장치(230)가 별도로 존재하지 않고, 획득된 이미지가 외부 디스플레이 장치로 전송되어 이물질의 존재여부를 판별할 수도 있음은 물론이다.Also, as in the case of the first optical system 100, it is needless to say that the second image processing device 230 does not exist separately, and the obtained image is transmitted to the external display device to determine whether or not the foreign substance exists.

펠리클 프레임(13)은 마스크(11)의 형상에 따라 원형 또는 다각 형상으로 이루어져 있으므로, 제2 광학계(200)의 하측에서 정지한 펠리클체(10)는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전되며 촬상될 수 있다. 또한, 펠리클체(10)는 회전되지 않고, 제2 광학계(200)의 제2 광학렌즈(220)가 펠리클체(10) 둘레를 따라 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하며 촬상을 할 수 있음은 물론이다. 또한, 펠리클 프레임(13)이 촬상되는 것이 빠른 시간 내에 가능한 경우, 펠리클체(10)가 멈추지 않고 등속으로 회전하며 이송되면서 펠리클 프레임(13)이 촬상될 수 있음은 물론이다.Since the pellicle frame 13 is formed in a circular or polygonal shape depending on the shape of the mask 11, the pellicle body 10 stopped at the lower side of the second optical system 200 is rotated clockwise or counterclockwise, . It should be noted that since the pellicle body 10 is not rotated and the second optical lens 220 of the second optical system 200 rotates clockwise or counterclockwise around the pellicle body 10, Of course. It goes without saying that when the pellicle frame 13 can be picked up within a short time, the pellicle frame 13 can be picked up while the pellicle body 10 is rotated at a constant speed without stopping.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 검사대상이 될 수 있는 펠리클 프레임(13)이 제2 광학계(200)에 의하여 촬상되는 것을 나타내는 도면이다.Fig. 5 is a view showing that the pellicle frame 13, which can be inspected according to an embodiment of the present invention, is picked up by the second optical system 200. Fig.

도 5를 참조하면, 제2 광학계(200)는 제2 카메라(210), 제2 카메라(210)에 광학적으로 연결되는 제2 광학렌즈(220) 및 제2 광학계(200)를 수직으로 이동시킬 수 있는 수직 이동부를 포함할 수 있다. 이를 구체적으로 설명하면, 제2 광학계(200)의 하측에서 펠리클 프레임(13)이 촬상될 때 제2 광학렌즈(220)는 펠리클 프레임(13)의 측면과 일정한 각을 이루는 형태로 배치될 수 있다. 따라서 펠리클 프레임(13)의 높이에 따라 제2 광학렌즈(220)가 펠리클 프레임(13)의 측면을 촬상할 수 있도록 제2 광학계(200)를 수직으로 이동시킬 수 있는 수직 이동부가 포함될 수 있다.5, the second optical system 200 includes a second camera 210, a second optical lens 220 optically connected to the second camera 210, and a second optical system 220 that vertically moves the second optical system 200 And a vertical moving part which can be moved. More specifically, when the pellicle frame 13 is picked up from the lower side of the second optical system 200, the second optical lens 220 can be arranged at a predetermined angle with the side surface of the pellicle frame 13 . A vertical moving part capable of vertically moving the second optical system 200 so that the second optical lens 220 can pick up the side surface of the pellicle frame 13 along the height of the pellicle frame 13 can be included.

즉, 펠리클체(10)가 제2 광학계(200)의 하측에서 멈추면, 제2 광학계(200)의 수직 이동부에 의하여 펠리클 프레임(13)의 높이에 맞추어 제2 광학계(200)가 수직 방향으로 이동되며 촬상할 수 있다. 또한, 펠리클체(10)가 회전을 하며 펠리클 프레임(13)의 각 측면이 모두 촬상되어 이미지가 획득될 수 있다. 획득된 이미지는 제2 영상 처리장치(230)로 전송되어 펠리클 프레임(13) 표면의 이물질 존재여부가 판별될 수 있다.That is, when the pellicle body 10 stops at the lower side of the second optical system 200, the second optical system 200 is moved vertically in accordance with the height of the pellicle frame 13 by the vertically moving part of the second optical system 200 So that the image can be captured. Further, the pellicle body 10 rotates, and all the sides of the pellicle frame 13 can be picked up and an image can be obtained. The obtained image is transmitted to the second image processing device 230 so that the presence or absence of foreign matter on the surface of the pellicle frame 13 can be determined.

하지만 이에 한정되지 않고, 제2 영상 처리장치(230)가 별도로 존재하지 않고, 외부 디스플레이 장치로 전송되어 이물질의 존재여부를 판별할 수도 있다.However, the present invention is not limited to this, and the second image processing apparatus 230 may be transmitted to an external display device to discriminate the existence of a foreign object.

제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)에서 실시한 검사를 통해 이물질 존재여부가 판별되면, 펠리클체(10)는 이물질 위치 판별장치(300)의 하측으로 이송될 수 있다. 이물질 위치 판별장치(300)는 이물질의 위치가 어디인지를 판별할 수 있다. 예를 들어, 이물질 위치 판별장치(300)는 이물질의 위치가 펠리클막(15)의 표면 상부 또는 하부 중 어디인지를 판별할 수 있다. 이때, 펠리클체(10)는 이물질 위치 판별장치(300)의 하측에서 등속으로 이송될 수 있다. 이에 한정되지 않고, 펠리클체(10)는 이물질 위치 판별장치(300) 하측에서 정지한 상태로 이물질의 존재여부 및 위치가 판별될 수 있음은 물론이다.The pellicle body 10 can be conveyed to the lower side of the foreign matter position determination device 300 when the presence or absence of the foreign substance is determined through the inspection performed by the first optical system 100 and the second optical system 200. [ The foreign object position determination device 300 can determine the position of the foreign object. For example, the foreign object location determination device 300 can determine whether the position of the foreign object is above or below the surface of the pellicle film 15. [ At this time, the pellicle body 10 can be conveyed at a constant speed from the lower side of the foreign matter position determining device 300. It is needless to say that the presence or the position of the foreign object can be determined in a state where the pellicle body 10 is stationary below the foreign object position determination device 300.

이물질 위치 판별장치(300)는 카메라(310) 및 카메라(310)에 광학적으로 연결되는 광학렌즈(320)를 포함할 수 있다. 이로써, 광원(340)으로부터 제공되는 광이 펠리클체(10)를 스캐닝 할 수 있다. 이를 위해서, 광원(340)으로부터 제공되는 광을 펠리클체(10)의 표면에 집중시키는 포커싱 렌즈(360)를 포함할 수 있음은 물론이다.The foreign object position determining apparatus 300 may include an optical lens 320 optically connected to the camera 310 and the camera 310. [ Thus, the light provided from the light source 340 can scan the pellicle body 10. It is of course possible to include a focusing lens 360 focusing the light provided from the light source 340 on the surface of the pellicle body 10.

이때, 카메라(310)는 라인 형태로 이미지를 획득할 수 있는 라인 스캔 카메라를 포함할 수 있다. 이를 구체적으로 설명하면, 이물질 위치 판별장치(300)는 라인 스캔 카메라 및 라인 스캔 카메라에 광학적으로 연결되는 광학렌즈(320)를 포함할 수 있다. 이때, 광원(340)은 라인의 형태로 펠리클체(10)를 스캐닝 할 수 있으며 이를 위해서, 광원(340)은 선광원을 만들기 위한 슬릿(350) 또는 선광원을 더욱 선명하게 만들기 위한 슬릿(350)을 포함할 수 있고, 광원(340)으로부터 제공되는 선광원을 펠리클체(10)의 표면에 집중시키는 포커싱 렌즈(360)를 포함할 수 있다.At this time, the camera 310 may include a line scan camera capable of acquiring images in a line form. Specifically, the foreign object position determination apparatus 300 may include an optical lens 320 optically connected to the line scan camera and the line scan camera. At this time, the light source 340 can scan the pellicle body 10 in the form of a line. For this purpose, the light source 340 includes a slit 350 for making a linear light source or a slit 350 And a focusing lens 360 that focuses the light source provided from the light source 340 on the surface of the pellicle body 10. [

물론 이에 한정되는 것은 아니며, 이물질 위치 판별장치(300)의 카메라(310)는 면(또는 에어리어;area)의 형태로 이미지를 획득할 수 있는 면 스캔 카메라(또는 에어리어 스캔 카메라;area scan camera;)를 포함할 수 있다. 좀더 구체적으로 설명하면, 이물질 위치 판별장치(300)의 광원(340)이 면의 형태로 펠리클체(10)를 스캐닝하는 경우, 이를 위해서, 광원(340)은 면광원 및 면광원을 펠리클체(10)의 표면에 맞는 배율로 조절할 수 있는 포커싱 렌즈(360)를 포함할 수 있음은 물론이다.The camera 310 of the foreign matter position determining apparatus 300 may be a surface scan camera (or an area scan camera) capable of acquiring an image in the form of a surface (or an area) . ≪ / RTI > More specifically, when the light source 340 of the foreign substance position determining apparatus 300 scans the pellicle body 10 in the form of a surface, the light source 340 may be configured to scan the surface light source and the surface light source to the pellicle body The focusing lens 360 can be adjusted to a magnification suitable for the surface of the imaging lens 10.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 이물질 위치 판별장치(300)에서 펠리클막이 촬상되는 것을 나타내는 도면이다.6 is a diagram showing a pellicle film picked up by the foreign substance position determining apparatus 300 according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 이물질 위치 판별장치(300)의 카메라(310)로 라인 스캔 카메라가 사용되는 경우, 펠리클체(10)가 이물질 위치 판별장치(300)의 하측으로 이송될 때, 펠리클막(15) 표면에 라인 형태의 광이 입사되어 펠리클막(15)이 라인의 형태의 이미지로 스캔될 수 있다. 여기서, 라인 형태의 광은 포커싱 렌즈(360)를 통해 펠리클막(15) 표면에 집중될 수 있음은 물론이다.6, when a line scan camera is used as the camera 310 of the foreign substance position determining apparatus 300, when the pellicle body 10 is transferred to the lower side of the foreign matter position determining apparatus 300, 15) light is incident on the surface of the pellicle film 15 so that the pellicle film 15 can be scanned into an image in the form of a line. Needless to say, the light in the form of a line can be focused on the surface of the pellicle film 15 through the focusing lens 360.

좀더 구체적으로 설명하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 펠리클막(15) 표면에 이물질(20)이 존재하지 않는 경우, 이물질 위치 판별장치(300)에서 라인 스캔된 이미지는 균일한 라인의 형태로 나타날 수 있다. 균일한 라인의 형태란, 예를 들어, 도 6c에 도시한 바와 같이 이송방향에 수직인 일직선이 연속적으로 나타날 수 있음을 의미할 수 있다.More specifically, in the case where the foreign matter 20 is not present on the surface of the pellicle membrane 15 according to an embodiment of the present invention, the line-scanned image in the foreign matter position determining apparatus 300 is formed in the form of a uniform line . The shape of the uniform line may mean that a straight line perpendicular to the conveying direction may continuously appear, for example, as shown in Fig. 6C.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)에 의하여 이물질 존재여부의 판별 결과가 이물질이 존재하는 것으로 판별되고, 이물질 위치 판별장치(300)에서 이물질(20)의 위치가 판별되는 경우, 도 6b에 도시된 바와 같이 이물질(20)의 위치가 펠리클막(15)의 표면 하부일 때 이물질(20)이 존재하는 부분에 광이 입사되어 라인 스캔된 이미지는 이물질(20)의 영향을 전혀 받지 않고 균일한 라인의 형태로 나타날 수 있다. The determination result of the presence or absence of the foreign substance by the first optical system 100 and the second optical system 200 according to an embodiment of the present invention is determined as a foreign substance. The light is incident on a portion where the foreign substance 20 is present when the position of the foreign substance 20 is below the surface of the pellicle film 15 as shown in FIG. Can be displayed in the form of a uniform line without being influenced by the foreign matter 20 at all.

나아가, 이물질 위치 판별장치(300)에서 펠리클막(15)이 라인 스캔된 이미지는 디스플레이 장치로 전송되어 사용자가 인식할 수 있는 정보의 형태로 출력될 수 있을 뿐만 아니고, 별도의 영상 처리장치(330)로 전송되어 균일한 라인의 형태로 나타나는지가 모니터링 될 수 있다.In addition, the image obtained by line-scans of the pellicle membrane 15 in the foreign substance location determining apparatus 300 can be transmitted to the display device and output in the form of information recognizable by the user, ) And appear in the form of a uniform line can be monitored.

물론 이에 한정되는 것은 아니며, 이물질 위치 판별장치(300)의 카메라(310)로 면 스캔 카메라가 사용되는 경우, 펠리클체(10)가 이물질 위치 판별장치(300)의 하측으로 이송될 때, 펠리클막(15) 표면에 면 형태의 광이 입사되어 펠리클막(15)이 면의 형태의 이미지로 스캔될 수 있다.When the face scan camera is used as the camera 310 of the foreign object position determining device 300 and when the pellicle body 10 is transferred to the lower side of the foreign substance position determining device 300, A light in the form of a plane is incident on the surface of the pellicle film 15 so that the pellicle film 15 can be scanned into an image in the form of a face.

좀더 구체적으로 설명하면, 펠리클막(15)의 표면에 이물질(20)이 존재하지 않거나 또는 펠리클막(15)의 표면 하부에 이물질(20)이 존재하는 경우, 이물질 위치 판별장치(300)에서 면 스캔된 이미지는 균일한 면의 형태로 나타날 수 있다. 균일한 면의 형태란, 예를 들어, 색조 또는 음영 등의 왜곡 또는 변형이 발생하지 않고 균일하게 나타날 수 있음을 의미한다.More specifically, in the case where the foreign matter 20 is not present on the surface of the pellicle membrane 15 or the foreign matter 20 exists on the lower surface of the pellicle membrane 15, The scanned image may appear in the form of a uniform surface. The shape of the uniform surface means that, for example, distortion or deformation such as color tone or shading does not occur and can appear uniformly.

나아가, 이물질 위치 판별장치(300)에서 펠리클막(15)이 면 스캔된 이미지는 디스플레이 장치로 전송되어 사용자가 인식할 수 있는 정보의 형태로 출력될 수 있을 뿐만 아니고, 별도의 영상 처리장치(330)로 전송되어 균일한 면의 형태로 나타나는지가 모니터링 될 수 있다.In addition, the images scanned by the pellicle membrane 15 in the foreign substance location determination device 300 can be transmitted to the display device and output in the form of information that can be recognized by the user, To be displayed in the form of a uniform surface can be monitored.

이로 인해, 펠리클막(15)의 표면 하부에 이물질(20)이 위치하는 경우에는, 펠리클체(10)가 불량으로 판별되어 처리될 수 있거나 또는 불량임을 알 수 있는 결과가 외부 출력장치로 전송되어 처리될 수 있다.Therefore, when the foreign substance 20 is located on the lower surface of the pellicle membrane 15, the result of the pellicle body 10 being judged as defective and being processed or being defective is transmitted to the external output device Lt; / RTI >

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 이물질 위치 판별장치(300)에서 펠리클막이 촬상되는 것을 나타내는 도면이다.FIG. 7 is a view showing that a pellicle film is picked up by the foreign substance position determining apparatus 300 according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 도 6에서와 마찬가지로 본 발명의 일 실시예에 따라 펠리클막(15) 표면에 이물질(20)이 존재하지 않는다면, 이물질 위치 판별장치(300)의 카메라(310)로 라인 스캔 카메라 또는 면 스캔 카메라가 사용되는 경우에 이물질 위치 판별장치(300)에서 라인 스캔된 이미지 또는 면 스캔된 이미지는 균일한 라인 또는 면의 형태로 나타날 수 있다.6, if the foreign substance 20 is not present on the surface of the pellicle membrane 15 according to an embodiment of the present invention, the camera 310 of the foreign substance position determining apparatus 300 may perform line scan In the case where a camera or a face scan camera is used, the line scanned image or the plane scanned image in the foreign matter position determining device 300 may appear in the form of a uniform line or face.

반면에, 도 7b에 도시된 바와 같이 펠리클막(15) 표면 상부에 이물질(20)이 존재하고, 이물질 위치 판별장치(300)의 카메라(310)로 라인 스캔 카메라가 사용되는 경우에 이물질 위치 판별장치(300)에서 라인 스캔된 이미지는 이물질(20)이 존재하는 부분을 지날 때 왜곡 또는 변형이 발생할 수 있다. 왜곡 또는 변형이란, 예를 들어, 절곡 또는 굴곡을 가진 불균일한 라인의 형태로 나타날 수 있음을 의미한다.On the other hand, when the foreign substance 20 exists on the upper surface of the pellicle membrane 15 as shown in FIG. 7B and the line scan camera is used as the camera 310 of the foreign substance position discriminating apparatus 300, The line scanned image in the apparatus 300 may be distorted or distorted as it passes through the portion where the foreign matter 20 exists. Distortion or deformation means that it can appear in the form of a non-uniform line having, for example, bending or bending.

좀더 구체적으로 설명하면, 광이 이물질(20)이 존재하는 부분에 조사될 때 이물질(20)이 점유하는 부피 또는 이물질(20)의 체적으로 인해 외형을 따라서 형성되기 때문에 굴곡 또는 절곡 등의 불균일한 라인의 형태로 나타날 수 있다.More specifically, when the light is irradiated to a portion where the foreign matter 20 exists, the foreign matter 20 is formed along the outer shape due to the volume occupied by the foreign matter 20 or the volume of the foreign matter 20, so that unevenness such as bending or bending It can appear in the form of a line.

즉, 도 7b에 도시된 바와 같이 펠리클막(15)의 표면 상부에 이물질(20)이 존재하는 경우, 이물질(20)의 외형을 따라서 왜곡 또는 변형이 발생할 수 있음을 알 수 있다.That is, as shown in FIG. 7B, when the foreign substance 20 is present on the surface of the pellicle membrane 15, it can be seen that distortion or deformation may occur along the external shape of the foreign substance 20.

나아가, 이물질 위치 판별장치(300)에서 펠리클막(15)이 라인 스캔된 이미지는 디스플레이 장치로 전송되어 사용자가 인식할 수 있는 정보의 형태로 출력될 수 있을 뿐만 아니고, 별도의 영상 처리장치(330)로 전송되어 라인 스캔 이미지가 모니터링 될 수 있다.In addition, the image obtained by line-scans of the pellicle membrane 15 in the foreign substance location determining apparatus 300 can be transmitted to the display device and output in the form of information recognizable by the user, ) So that the line scan image can be monitored.

물론 이에 한정되는 것은 아니며, 펠리클막(15) 표면 상부에 이물질(20)이 존재하고, 이물질 위치 판별장치(300)의 카메라(310)로 면 스캔 카메라가 사용되는 경우에, 이물질 위치 판별장치(300)에서 면 스캔된 이미지는 이물질(20)이 존재하는 부분을 지날 때 왜곡 또는 변형이 발생할 수 있다. 여기서, 왜곡 또는 변형이란, 예를 들어 이물질(20)이 존재하는 위치에서 색조 또는 음영의 변화가 발생하는 것을 의미할 수도 있음은 물론이다.The present invention is not limited to this and the foreign substance 20 may be present on the upper surface of the pellicle film 15. When the face scan camera is used as the camera 310 of the foreign substance position determining device 300, 300 may be distorted or deformed when passing the portion where the foreign matter 20 exists. Here, the distortion or deformation may mean, for example, that a change in hue or shade occurs at the position where the foreign matter 20 exists.

하지만 광의 형태는 이에 한정되지 않으며, 이물질 위치 판별장치(300)의 카메라(310)로 면 스캔 카메라가 사용되는 경우에도, 펠리클막(15) 표면에 라인 형태의 광이 입사되어 펠리클막(15)이 면의 형태의 이미지로 스캔될 수도 있음은 물론이다.However, the shape of the light is not limited to this, and even when the face scan camera is used as the camera 310 of the foreign substance position determining device 300, the light in the form of a line is incident on the surface of the pellicle membrane 15, It is needless to say that the image may be scanned in the form of this surface.

나아가, 이물질 위치 판별장치(300)에서 펠리클막(15)이 면 스캔된 이미지는 디스플레이 장치로 전송되어 사용자가 인식할 수 있는 정보의 형태로 출력될 수 있을 뿐만 아니고, 별도의 영상 처리장치(330)로 전송되어 면 스캔 이미지가 모니터링 될 수 있음은 물론이다.In addition, the images scanned by the pellicle membrane 15 in the foreign substance location determination device 300 can be transmitted to the display device and output in the form of information that can be recognized by the user, ) So that the facet scan image can be monitored.

이로 인해, 펠리클막(15)의 표면 상부에 이물질(20)이 위치하는 경우에는, 이물질이 보호대상인 펠리클체(10)의 외부에 있으므로, 펠리클체(10)가 정상으로 판별되어 처리될 수 있거나 또는 정상임을 알 수 있는 결과가 외부 출력장치로 전송되어 처리될 수 있다.Therefore, when the foreign substance 20 is located on the upper surface of the pellicle membrane 15, since the foreign substance is located outside the pellicle body 10 to be protected, the pellicle body 10 can be discriminated as normal and treated Or a result indicating that it is normal can be transmitted to the external output device and processed.

상술한 내용은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사대상이 펠리클체(10)인 경우 제1 광학계(100), 제2 광학계(200) 및 이물질 위치 판별장치(300)가 포함된 광학부재 검사장치(1)를 통해 이물질(20)의 존재여부 및 위치를 판별하는 것을 설명한 것에 불과하며, 이물질 위치 판별장치(300)가 제1 광학계(100) 및 제2 광학계(200)의 기능을 동시에 수행하는 경우 이물질 위치 판별장치(300)만 포함된 광학부재 검사장치(1)를 통해 이물질(20)의 존재여부 및 위치를 판별할 수 있음은 물론이다.The optical system inspection apparatus 100 includes the first optical system 100, the second optical system 200, and the foreign matter position determination apparatus 300 in the case where the inspection object is the pellicle body 10 according to the embodiment of the present invention. It is merely a description of the presence and position of the foreign substance 20 through the first optical system 100 and the foreign substance position determination apparatus 300 simultaneously performs the functions of the first optical system 100 and the second optical system 200 It is needless to say that the existence and position of the foreign substance 20 can be determined through the optical member inspection apparatus 1 including only the foreign substance position determination apparatus 300.

1 : 광학부재 검사장치
10 : 펠리클체
11 : 마스크
13 : 펠리클 프레임
15 : 펠리클막
20 : 이물질
100 : 제1 광학계
110 : 제1 카메라
120 : 제1 광학렌즈
130 : 제1 영상 처리장치
200 : 제2 광학계
210 : 제2 카메라
220 : 제2 광학렌즈
230 : 제2 영상 처리장치
300 : 이물질 위치 판별장치
310 : 카메라
320 : 광학렌즈
330 : 영상 처리장치
340 : 광원
350 : 슬릿
360 : 포커싱 렌즈1: Optical member inspection apparatus
10: Pellicle body
11: Mask
13: Pellicle frame
15: Pellicle membrane
20: Foreign matter
100: first optical system
110: First camera
120: first optical lens
130: first image processing device
200: Second optical system
210:
220: second optical lens
230: second image processing device
300: Foreign object position discriminator
310: camera
320: Optical lens
330: Image processing device
340: Light source
350: slit
360: focusing lens

Claims (9)

웨이퍼 측에 가까운 최하부에 배치되는 마스크의 상측에 구비되고, 펠리클 프레임으로 구비된 광학 프레임 및 상기 광학 프레임에 의하여 상기 마스크로부터 상부에 일정 간격 이격되어 고정 지지되고, 펠리클 막으로 구비된 광학막을 포함하는 광학부재;
상기 광학부재로 광을 제공하는 광원;
상기 광학부재 중 상기 펠리클 막의 표면으로부터 이미지를 촬상하여 획득하는 카메라를 포함하는 제1 광학계;
상기 광학부재 중 상기 펠리클 프레임으로부터 이미지를 촬상하여 획득하는 카메라를 포함하는 제2 광학계;
상기 제1 광학계 또는 상기 제2 광학계에서 획득한 상기 광학부재의 이미지로 상기 광학부재에서 이물질의 위치를 판별할 수 있는 영상 처리장치; 를 포함하고,
상기 제2 광학계는, 상기 펠리클 프레임의 측면과 일정한 각을 이루는 형태로 배치되되, 수직으로 이동시키는 수직 이동부를 포함하는, 광학부재 검사장치.
And an optical film provided on an upper side of a mask disposed at a lowermost position close to the wafer side and provided with an optical frame provided with a pellicle frame and a pellicle film fixedly supported at an upper portion spaced apart from the mask by the optical frame, An optical member;
A light source for providing light to the optical member;
A first optical system including a camera which picks up and acquires an image from a surface of the pellicle film among the optical members;
A second optical system including a camera that picks up and acquires an image from the pellicle frame of the optical member;
An image processing device capable of determining the position of a foreign substance in the optical member with an image of the optical member acquired in the first optical system or the second optical system; Lt; / RTI >
Wherein the second optical system includes a vertically moving part arranged to form a predetermined angle with the side surface of the pellicle frame and vertically moving the side surface of the pellicle frame.
청구항 1에 있어서,
상기 영상 처리장치는, 상기 이물질의 위치가 상기 광학부재의 표면 상부 또는 하부 중 어디인지를 판별하는, 광학부재 검사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the image processing device determines whether the position of the foreign matter is on the upper surface or the lower surface of the optical member.
청구항 1에 있어서,
상기 광원으로부터의 상기 광은, 라인 형태의 광이고,
상기 카메라는, 상기 라인 형태의 상기 광이 스캔하는 상기 광학부재의 상기 이미지를 획득할 수 있는, 광학부재 검사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the light from the light source is light in a line form,
Wherein the camera is capable of obtaining the image of the optical member scanned by the light in the form of a line.
청구항 1에 있어서,
상기 광원으로부터의 상기 광은, 면 형태의 광이고,
상기 카메라는, 상기 면 형태의 상기 광이 스캔하는 상기 광학부재의 상기 이미지를 획득할 수 있는, 광학부재 검사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the light from the light source is light in the form of a plane,
Wherein the camera is capable of obtaining the image of the optical member that the light of the surface form scans.
청구항 1에 있어서,
상기 영상 처리장치는, 상기 광학부재의 상기 이미지에 왜곡 또는 변형이 발생하면, 상기 이물질의 위치가 상기 광학부재의 표면 상부인 것으로 판별하는, 광학부재 검사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the image processing apparatus determines that the position of the foreign matter is above the surface of the optical member when the image of the optical member is distorted or deformed.
청구항 1에 있어서,
상기 영상 처리장치는, 상기 광학부재의 상기 이미지에 왜곡 또는 변형이 발생하지 않으면, 상기 이물질의 위치가 상기 광학부재의 표면 하부인 것으로 판별하는, 광학부재 검사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the image processing apparatus determines that the position of the foreign matter is below the surface of the optical member if no distortion or deformation occurs in the image of the optical member.
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