KR101964788B1 - Substrate rotation type injection spray apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 회전형 약물 분사장치에 관한 것으로서, 특히 평판 형상으로 이루어진 기판의 전체 고르고 균일하게 약물이 분사되도록 할 수 있는 기판 회전형 약물 분사장치에 관한 것이다.
본 발명의 기판 회전형 약물 분사장치는, 지지체와; 평판형상으로 이루어져 상기 지지체에 회전 가능하게 장착된 회전체와; 상기 회전체를 상기 지지체에 회전 가능하게 결합시키는 회전결합부와; 상기 회전체에 결합되어 평판형상의 기판을 상기 회전체에 결합시키는 고정부재와; 상기 회전체를 상기 지지체에 대하여 회전시키는 구동부와; 상기 지지체의 일측 또는 양측에 배치되어, 상기 회전체에 결합된 상기 기판의 일면 또는 양면에 약물을 분사하는 분사부;를 포함하여 이루어지되, 상기 구동부에 의한 상기 회전체의 회전에 의해 상기 기판은 회전되고, 상기 분사부는 회전하는 기판에 약물을 분사하는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a substrate rotation type drug injection device, and more particularly, to a substrate rotation type drug injection device capable of uniformly and uniformly spraying a substrate having a flat plate shape.
A substrate rotation type drug injection device of the present invention comprises: a support; A rotating body formed in a flat plate shape and rotatably mounted on the supporting body; A rotation coupling portion rotatably coupling the rotator to the support; A fixing member coupled to the rotating body to couple the flat substrate to the rotating body; A driving unit for rotating the rotating body with respect to the support; And a jetting part disposed on one side or both sides of the support and jetting the drug onto one or both sides of the substrate coupled to the rotating body, wherein the rotation of the rotating body by the driving part And the injecting portion injects the drug onto the rotating substrate.

Description

기판 회전형 약물 분사장치 { SUBSTRATE ROTATION TYPE INJECTION SPRAY APPARATUS }Description SUBSTRATE ROTATION TYPE INJECTION SPRAY APPARATUS [0002]

본 발명은 기판 회전형 약물 분사장치에 관한 것으로서, 특히 평판 형상으로 이루어진 기판의 전체 고르고 균일하게 약물이 분사되도록 할 수 있는 기판 회전형 약물 분사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a substrate rotation type drug injection device, and more particularly, to a substrate rotation type drug injection device capable of uniformly and uniformly spraying a substrate having a flat plate shape.

반도체용 기판, LCD, 태양전지, PCB 등의 기판을 제조하기 위해, 일반적으로 증착, 식각, 세정 등의 다양한 기판 처리 공정들이 수행된다.Various substrate processing processes such as deposition, etching, cleaning and the like are generally carried out in order to manufacture substrates for semiconductors, LCDs, solar cells, and PCBs.

이러한 기판 처리 공정은 다양한 방법으로 이루어지는데, 기판에 약물을 분사하여 처리하는 방법도 있다.Such a substrate processing process is performed by various methods, and there is also a method of processing a substrate by spraying a drug.

위와 같이 기판이 수직으로 배치되어 상기 기판에 약물을 분사하는 경우에는, 기판에 약물을 분사하게 되면 상기 기판에 도포된 약물이 중력에 의해 하강하면서 상기 기판 전체에 약물이 고르게 균일하게 도포되지 않게 되는 문제가 발생한다.When the substrate is vertically disposed and the drug is sprayed onto the substrate, when the drug is sprayed onto the substrate, the drug applied to the substrate is lowered due to gravity, so that the drug is not uniformly applied over the entire substrate A problem arises.

공개특허 제10-2008-0054225호Published Patent No. 10-2008-0054225

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 수직으로 배치된 기판에 약물을 분사할 경우 기판 전체에 약물이 고르고 균일하게 도포되도록 할 수 있는 기판 회전형 약물 분사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a substrate rotation type drug injection device capable of uniformly and uniformly applying a drug to the entire substrate when a drug is injected onto a vertically arranged substrate .

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판 회전형 약물 분사장치는, 제1관통공이 좌우방향으로 관통하여 형성된 지지체와;
상기 제1관통공보다 큰 평판형상으로 이루어져 상기 지지체의 일면에 배치되고, 중심에 상기 제1관통공과 연통되는 제2관통공이 좌우방향으로 관통하여 형성되며, 상기 제1관통공 및 제2관통공을 수직으로 관통하는 수평축을 중심으로 상기 지지체에 대하여 회전 가능하게 장착된 회전체와;
상기 제1관통공의 내주면을 통해 상기 회전체를 상기 지지체에 회전 가능하게 결합시키는 회전결합부와;
상기 회전체에 결합되어 평판형상의 기판을 상기 회전체에 상하방향으로 결합시키는 고정부재와;
상기 회전체를 상기 지지체에 대하여 회전시키는 구동부와;
상기 제1관통공 및 제2관통공을 수직으로 관통하는 상기 수평축 방향인 상기 지지체의 양측에 배치되어, 상기 회전체에 결합된 상기 기판의 양면에 약물을 분사하는 분사부;를 포함하여 이루어지되,
상기 기판은 일면이 수평방향으로 배치되는 상기 제1관통공 및 제2관통공을 통해 외부로 노출되면서 상기 회전체에 결합되고,
상기 구동부에 의한 상기 회전체의 회전에 의해 상기 기판은 상기 제1관통공과 제2관통공을 수직으로 관통하는 상기 수평축을 중심으로 상기 지지체에 대하여 회전되며,
상기 회전결합부는,
상기 회전체의 일면에서 상기 제1관통공 방향으로 돌출되어 상기 제1관통공을 관통하고, 상기 제1관통공의 내주면 둘레를 따라 배치되는 다수개의 회전축과; 상기 회전축에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전체의 회전시 상기 제1관통공의 내주면을 따라 이동하는 회전롤러;를 포함하여 이루어지며,
상기 분사부는 상기 회전체에 결합되어 상기 수평축을 중심으로 회전하는 기판의 양면에 약물을 분사하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate rotation type drug injection device comprising: a support having a first through hole penetrating therethrough;
And a second through hole communicating with the first through hole is formed in a center of the first through hole, the first through hole being formed in a flat plate shape larger than the first through hole and disposed on one surface of the support, A rotator mounted rotatably with respect to the support about a horizontal axis passing vertically;
A rotation coupling portion for rotatably coupling the rotator to the support through an inner circumferential surface of the first through hole;
A fixing member coupled to the rotating body and coupling the flat plate-shaped substrate to the rotating body in a vertical direction;
A driving unit for rotating the rotating body with respect to the support;
And a spraying portion disposed on both sides of the support member in the horizontal axis direction passing vertically through the first through hole and the second through hole and spraying the drug onto both surfaces of the substrate coupled to the rotating body ,
Wherein the substrate is coupled to the rotating body while being exposed to the outside through the first through hole and the second through hole,
Wherein the substrate is rotated with respect to the support about the horizontal axis passing vertically through the first through hole and the second through hole by rotation of the rotating body by the driving unit,
The rotary coupling unit includes:
A plurality of rotation shafts protruding from the one surface of the rotating body in the first through hole direction and passing through the first through holes and disposed along the inner circumferential surface of the first through hole; And a rotating roller rotatably coupled to the rotating shaft and moving along the inner circumferential surface of the first through hole when the rotating body rotates,
The injection unit injects a drug onto both surfaces of a substrate coupled to the rotating body and rotating about the horizontal axis.

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상기 지지체는, 베이스부재와; 상기 베이스부재의 상부에 상하방향으로 배치되는 수직지지부재;를 포함하여 이루어지되, 상기 수직지지부재에는 상기 제1관통공이 형성된다.The support includes: a base member; And a vertical support member vertically disposed on the upper portion of the base member, wherein the vertical support member has the first through hole.

상기 베이스부재는 하부에 배치되는 이송롤러에 의해 일방향으로 이송된다.The base member is conveyed in one direction by a conveying roller disposed at the lower side.

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상기 지지체에는 상기 제1관통공의 둘레를 따라 단차지게 형성된 회전지지홈이 형성되고, 상기 회전롤러는 상기 회전지지홈에 안착되어 상기 회전체의 회전시 상기 회전지지홈을 따라 이동되며, 상기 회전체는 상기 회전롤러가 상기 회전지지홈을 형성하는 지지턱에 걸려 상기 지지체로부터의 분리가 저지된다.The support body is formed with a rotation support groove formed stepwise along the circumference of the first through-hole. The rotation roller is seated in the rotation support groove and is moved along the rotation support groove when the rotation body rotates, The rotation roller is caught by the supporting jaw forming the rotation supporting groove, and separation from the supporting member is prevented.

상기 회전체의 외주면에는 외측기어가 형성되고, 상기 구동부는, 모터와, 상기 모터에 의해 회전하면서 상기 외측기어에 맞물리는 피니언기어로 이루어진다.An outer gear is formed on the outer circumferential surface of the rotating body, and the driving unit includes a motor and a pinion gear engaged with the outer gear while being rotated by the motor.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 기판 회전형 약물 분사장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the substrate rotating type drug injection device of the present invention as described above, the following effects can be obtained.

수직으로 배치된 기판을 수평축을 중심으로 회전시키면서 약물을 분사함으로써, 기판 전체에 약물이 고르고 균일하게 도포되도록 할 수 있다.By spraying the drug while rotating the vertically disposed substrate about the horizontal axis, the drug can be evenly and uniformly applied to the entire substrate.

이를 통해 약물에 의해 전체가 고르게 처리되는 양질의 기판을 제조 및 가공할 수 있다.This makes it possible to manufacture and process high-quality substrates that are uniformly processed entirely by the drug.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 회전형 약물 분사장치의 일방향 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 회전형 약물 분사장치의 타방향 사시도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 회전형 약물 분사장치의 정면도,
도 4는 도 1의 A-A선을 취하여 본 단면구조도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 회전형 약물 분사장치의 사용상태도,FIG. 1 is a perspective view of a substrate rotating type drug injection device according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a perspective view of the substrate rotating type drug injection device according to the embodiment of the present invention,
FIG. 3 is a front view of the substrate rotation type drug ejection apparatus according to the embodiment of the present invention,
Fig. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of Fig. 1,
FIG. 5 is a use state diagram of the substrate rotation type drug injection device according to the embodiment of the present invention,

본 발명의 기판 회전형 약물 분사장치는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 지지체(10)와, 회전체(20)와, 회전결합부(30)와, 고정부재(40)와, 구동부(50)와, 분사부(60)를 포함하여 이루어진다.1 to 4, a substrate rotating type drug injection device according to the present invention includes a support 10, a rotating body 20, a rotation coupling portion 30, a fixing member 40, (50), and a jetting section (60).

상기 지지체(10)는 베이스부재(11)와 수직지지부재(12)로 이루어진다.The support (10) comprises a base member (11) and a vertical support member (12).

상기 베이스부재(11)는 대략 수평방향 형성되고, 하부에는 상기 지지체(10)를 일방향으로 이송시키는 이송롤러(70)가 배치된다.The base member 11 is formed in a substantially horizontal direction, and a conveying roller 70 for conveying the support body 10 in one direction is disposed at a lower portion thereof.

따라서, 상기 이송롤러(70)의 상부에 상기 베이스부재(11)의 하부가 접함으로써, 상기 이송롤러(70)가 회전됨에 따라 상기 지지체(10)는 일방향으로 이송되게 된다.Accordingly, the support member 10 is conveyed in one direction as the conveying roller 70 is rotated by contacting the lower portion of the base member 11 to the upper portion of the conveying roller 70.

상기 수직지지부재(12)는 상기 베이스부재(11)의 상부에서 상하방향으로 배치된다.The vertical support members 12 are arranged in the vertical direction at the upper portion of the base member 11.

이러한 상기 수직지지부재(12)에는 상기 제1관통공(13)이 좌우방향으로 형성된다.In the vertical support member 12, the first through hole 13 is formed in the left-right direction.

그리고, 상기 베이스부재(11)는 상면이 상기 수직지지부재(12)를 중심으로 양측방향으로 경사지게 형성되어 후술하는 바와 같이 분사된 약물이 상기 베이스부재(11)의 상부에서 경사진 방향으로 잘 흐르도록 함이 바람직하다.The upper surface of the base member 11 is inclined in both lateral directions around the vertical support member 12 so that the injected drug flows smoothly in the direction of inclination from the upper portion of the base member 11 .

상기 회전체(20)는 평판 형상으로 이루어져 상기 지지체(10)에 회전 가능하게 장착된다.The rotating body 20 has a flat plate shape and is rotatably mounted on the support body 10.

보다 구체적으로 상기 회전체(20)는 상기 수직지지부재(12)에 회전 가능하게 장착된다.More specifically, the rotary body 20 is rotatably mounted on the vertical support member 12. [

이러한 상기 회전체(20)는 상기 수직지지부재(12)에 대하여 수평축을 중심으로 회전 가능하게 장착된다.The rotating body 20 is rotatably mounted on the vertical support member 12 about a horizontal axis.

상기 회전체(20)는 원판 형상으로 이루어지고, 중심에는 상기 제1관통공(13)과 연통되는 제2관통공(23)이 형성되어 있다.The rotating body 20 has a circular plate shape, and a second through hole 23 communicating with the first through hole 13 is formed at the center thereof.

상기 회전체(20)는 상기 제1관통공(13)보다 크게 형성되어 상기 지지체(10)의 일면에 배치된다.
구체적으로, 상기 회전체(20)는 상기 제1관통공(13)과 제2관통공(23)을 수직으로 관통하는 상기 수평축을 중심으로 상기 지지체(10)의 수직지지부재(12)에 대하여 회전 가능하게 장착된다.The rotating body 20 is formed larger than the first through hole 13 and disposed on one surface of the support body 10.
Specifically, the rotating body 20 is rotated with respect to the vertical supporting member 12 of the supporting body 10 about the horizontal axis passing vertically through the first through hole 13 and the second through hole 23 And is rotatably mounted.

경우에 따라 상기 회전체(20)는 상기 제1관통공(13)의 내부에 배치될 수도 있다.The rotating body 20 may be disposed inside the first through hole 13 as the case may be.

그리고, 상기 회전체(20)의 외주면에는 상기 구동부(50)에 의해 상기 회전체(20)가 회전될 수 있도록 외측기어(25)가 형성되어 있다.An outer gear 25 is formed on an outer circumferential surface of the rotating body 20 so that the rotating body 20 can be rotated by the driving unit 50.

상기 회전결합부(30)는 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)에 회전 가능하게 결합시킨다.The rotary coupling unit 30 rotatably couples the rotary body 20 to the support body 10.

이러한 상기 회전결합부(30)는 상기 제1관통공(13)을 통해 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)의 수직지지부재(12)에 회전 가능하게 결합시킨다.The rotary coupling portion 30 rotatably couples the rotary body 20 to the vertical support member 12 of the support body 10 through the first through hole 13.

본 실시예에서 상기 회전결합부(30)는 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이 회전축(31)과 회전롤러(32)로 이루어진다.In the present embodiment, the rotary coupling unit 30 includes a rotary shaft 31 and a rotary roller 32, as shown in FIGS.

상기 회전축(31)은 상기 회전체(20)의 일면에서 돌출되어 상기 제1관통공(13)을 관통하고, 다수개가 상기 제1관통공(13)의 내주면 둘레를 따라 일정한 간격을 유지하면서 배치된다.The rotating shaft 31 protrudes from one surface of the rotating body 20 and penetrates through the first through hole 13. A plurality of the rotating shaft 31 are arranged at a predetermined interval around the inner circumferential surface of the first through hole 13 do.

상기 회전롤러(32)는 상기 회전축(31)에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전체(20)의 회전시 상기 제1관통공(13)을 따라 이동한다.The rotating roller 32 is rotatably coupled to the rotating shaft 31 and moves along the first through hole 13 when the rotating body 20 rotates.

보다 구체적으로, 상기 수직지지부재(12)에는 상기 제1관통공(13)의 내주면 둘레를 따라 단차진 회전지지홈(14)이 형성되어 있다.More specifically, the vertical support member 12 is formed with a stepped rotation support groove 14 along the inner circumferential surface of the first through hole 13. As shown in FIG.

본 실시예에서 상기 회전지지홈(14)은 상기 회전체(20)의 반대방향에 배치된 상기 수직지지부재(12)의 일면에서 상기 제1관통공(13)의 내주면 둘레를 따라 단차지게 형성되어 있다.The rotation support grooves 14 are formed on one surface of the vertical support member 12 disposed in a direction opposite to the rotating body 20 so as to be stepped along the inner circumferential surface of the first through hole 13 .

그리고, 상기 수직지지부재(12)에는 상기 회전지지홈(14)을 형성함에 의해 지지턱(15)이 형성된다.The vertical support member 12 is formed with the support protrusions 15 by forming the rotation support grooves 14 therein.

상기 지지턱(15)은 상기 제1관통공(13)의 내주면을 이룬다.The support jaw (15) forms an inner peripheral surface of the first through hole (13).

상기 회전롤러(32)는 상기 회전지지홈(14)에 안착되어 상기 회전체(20)의 회전시 상기 회전지지홈(14)을 따라 이동된다.The rotation roller 32 is seated in the rotation support groove 14 and is moved along the rotation support groove 14 when the rotation body 20 rotates.

그리고 상기 회전체(20)는 상기 회전롤러(32)가 상기 회전지지홈(14)을 형성하는 상기 지지턱(15)에 걸려 상기 지지체(10)로부터의 분리가 저지된다.The rotation of the rotating body 20 is interrupted by the support jaws 15 forming the rotation support grooves 14 and separation of the rotation body 20 from the support body 10 is prevented.

즉, 상기 회전지지홈(14)에 안착된 상기 회전롤러(32)가 상기 지지턱(15)에 걸려 상기 회전체(20)가 상기 수직지지부재(12)로부터 분리되지 않게 된다.That is, the rotary roller 32 seated in the rotary support groove 14 is caught by the support jaw 15 so that the rotary member 20 is not separated from the vertical support member 12.

위와 같은 상기 회전결합부(30)는 상술한 구조 이외에 다른 구조를 이용하여, 상기 회전체(20)를 상기 수직지지부재(12)에 회전 가능하게 결합시킬 수도 있다.The rotary coupling unit 30 may be rotatably coupled to the vertical support member 12 using a structure other than the above-described structure.

상기 고정부재(40)는 상기 회전체(20)에 결합되어 평판형상의 기판(80)을 상기 회전체(20)에 상하방향으로 결합시킨다.The fixing member 40 is coupled to the rotating body 20 to couple the flat substrate 80 to the rotating body 20 in a vertical direction.

상기 고정부재(40)에 의해 상기 기판(80)은 상기 회전체(20)에 고정되어 상기 회전체(20)와 함께 상기 수평축을 중심으로 회전하게 된다.The substrate 80 is fixed to the rotating body 20 by the fixing member 40 and is rotated about the horizontal axis together with the rotating body 20. [

위와 같이 상기 기판(80)이 상기 고정부재(40)에 의해 상기 회전체(20)에 고정됨으로써, 상기 수직지지부재(12)에 형성된 상기 제1관통공(13)과 상기 회전체(20)에 형성된 상기 제2관통공(23)을 통해 상기 기판(80)의 일면은 외부로 노출된다.The substrate 80 is fixed to the rotating body 20 by the fixing member 40 so that the first through hole 13 formed in the vertical supporting member 12 and the rotating body 20 formed in the vertical supporting member 12, The first surface of the substrate 80 is exposed to the outside through the second through-hole 23 formed in the substrate.

그리고, 상기 기판(80)의 타면은 상기 회전체(20)와 접하는 반대방향을 향해 외부로 노출된다. The other surface of the substrate 80 is exposed to the outside in a direction opposite to the direction in contact with the rotating body 20.

상기 구동부(50)는 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)에 대하여 회전시킨다.The driving unit 50 rotates the rotating body 20 about the support body 10.

이러한 상기 구동부(50)는 다양한 구조로 이루어져 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)에 대하여 회전시킬 수 있다.The driving unit 50 may have various structures to rotate the rotating body 20 with respect to the supporting body 10.

본 실시예에서 상기 구동부(50)는 모터(51)와 피니언기어(52)로 이루어져 있다.In this embodiment, the driving unit 50 includes a motor 51 and a pinion gear 52.

상기 피니언기어(52)는 상기 모터(51)에 의해 회전하면서 상기 회전체(20)의 외측면에 형성된 상기 외측기어(25)에 맞물려, 상기 회전체(20)가 상기 수직지지부재(12)에 대하여 회전될 수 있도록 한다.The pinion gear 52 is engaged with the outer gear 25 formed on the outer surface of the rotating body 20 while being rotated by the motor 51 so that the rotating body 20 is rotated by the vertical supporting member 12, As shown in Fig.

상기 분사부(60)는 상기 제1관통공(13) 및 제2관통공(23)을 수직으로 관통하는 상기 수평축 방향인 상기 지지체(10)의 일측 또는 양측에 배치되어, 상기 회전체(20)에 결합된 상기 기판(80)의 일면 또는 양면에 약물을 분사한다.The jetting section 60 is disposed on one side or both sides of the support 10 in the horizontal axis direction passing vertically through the first through hole 13 and the second through hole 23, (Not shown).

즉 상기 분사부(60)가 상기 지지체(10)의 일측에 배치된 경우에는 상기 기판(80)의 일면에만 약물을 분사하게 되고, 상기 분사부(60)가 상기 지지체(10)의 양측에 배치된 경우에는 상기 기판(80)의 양면에 약물을 분사하게 된다.That is, when the injection unit 60 is disposed on one side of the support 10, the drug is injected only to one side of the substrate 80, and the injection unit 60 is disposed on both sides of the support 10 The drug is sprayed on both sides of the substrate 80. [

상기 분사부(60)가 상기 지지체(10)의 양측에 배치된 경우에는, 상기 제1관통공(13)과 제2관통공(23)을 통해 외부로 노출된 상기 기판(80)의 일면과 그 반대면인 타면에 상기 분사부(60)에서 분사된 약물이 도포되게 된다.When the ejector portion 60 is disposed on both sides of the support body 10, the one surface of the substrate 80 exposed to the outside through the first through hole 13 and the second through hole 23, And the drug sprayed from the jetting section 60 is applied to the other surface, which is the opposite surface.

상기 약물은 상기 기판(80)의 식각하는 약물, 코팅하는 약물 등 다양한 물질로 이루어질 수 있다.The drug may be made of various materials such as a drug for etching the substrate 80, a drug for coating, and the like.

본 실시예에서는 상기 기판(80)이 상하방향으로 배치되어, 상기 기판(80)의 양측에서 약물이 분사되는 것을 설명하였지만, 경우에 따라 상기 기판(80)이 수평방향으로 배치고 상기 기판(80)의 상부와 하부에서 약물이 분사될 수도 있다.The substrate 80 is arranged in the vertical direction and the drug is sprayed from both sides of the substrate 80 in the present embodiment. However, in some cases, the substrate 80 is arranged in the horizontal direction, The drug may be injected at the top and bottom of the chamber.

이하, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 작동과정에 대하여 살펴본다.Hereinafter, an operation process of the present invention having the above-described configuration will be described.

상기 고정부재(40)를 이용하여 상기 기판(80)을 상기 회전체(20)에 고정결합시킨다.And the substrate 80 is fixedly coupled to the rotating body 20 by using the fixing member 40.

그 후 상기 이송롤러(70)에 의해 상기 지지체(10)는 상기 분사부(60)가 있는 곳까지 이동한다.Thereafter, the support body 10 is moved to the position where the jetting section 60 is located by the conveying roller 70.

상기 분사부(60)에서는 액상의 약물을 공기에 함께 상기 기판(80)에 분사한다.In the jetting unit (60), liquid medicines are sprayed onto the substrate (80) together with air.

이때, 상기 구동부(50)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 회전체(20)를 상기 지지체(10)에 대하여 회전시킨다.At this time, the driving unit 50 rotates the rotating body 20 about the support body 10 as shown in FIG.

상기 회전체(20)가 회전됨에 따라 상기 회전체(20)에 결합된 상기 지지체(10)도 함께 회전하게 된다.As the rotating body 20 rotates, the supporting body 10 coupled to the rotating body 20 rotates together.

따라서, 상기 분사부(60)는 회전하는 상기 기판(80)에 약물을 분사하는 것이 된다.Therefore, the jetting unit 60 ejects the drug onto the rotating substrate 80. [0064]

위와 같이 상기 기판(80)을 회전시키면서 상기 분사부(60)에서 상기 기판(80)에 약물을 분사함으로써, 상기 기판(80)의 상하좌우가 바뀌면서 상기 기판(80) 전체에 상기 약물이 고르게 분사될 수 있고, 또한 약물이 상기 기판(80)에 균일한 두께로 도포되게 할 수 있어, 기판(80) 전체에서 균일하고 고르게 코팅, 식각, 도포 등의 처리작업이 이루어지도록 할 수 있다.The medicine is sprayed onto the substrate 80 from the jetting unit 60 while rotating the substrate 80 so that the drug is uniformly sprayed on the entire surface of the substrate 80, And the drug can be applied to the substrate 80 with a uniform thickness so that uniform processing of coating, etching, coating, etc. can be performed uniformly over the entire substrate 80.

본 발명인 기판 회전형 약물 분사장치은 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.The substrate rotation type drug ejection apparatus of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be variously modified and practiced within the scope of the technical idea of the present invention.

10 : 지지체, 11 : 베이스부재, 12 : 수직지지부재, 13 : 제1관통공, 14 : 회전지지홈, 15 : 지지턱,
20 : 회전체, 23 : 제2관통공, 25 : 외측기어,
30 : 회전결합부, 31 : 회전축, 32 : 회전롤러,
40 : 고정부재,
50 : 구동부, 51 : 모터, 52 : 피니언기어,
60 : 분사부,
70 : 이송롤러,
80 : 기판.The present invention relates to a supporting member for supporting a base member, a supporting member for supporting the supporting member,
20: rotating body, 23: second through hole, 25: outer gear,
30: rotation coupling portion, 31: rotation shaft, 32: rotation roller,
40: fixing member,
50: drive unit, 51: motor, 52: pinion gear,
60: Injection section,
70: Feed roller,
80: substrate.

Claims (8)

제1관통공이 좌우방향으로 관통하여 형성된 지지체와;
상기 제1관통공보다 큰 평판형상으로 이루어져 상기 지지체의 일면에 배치되고, 중심에 상기 제1관통공과 연통되는 제2관통공이 좌우방향으로 관통하여 형성되며, 상기 제1관통공 및 제2관통공을 수직으로 관통하는 수평축을 중심으로 상기 지지체에 대하여 회전 가능하게 장착된 회전체와;
상기 제1관통공의 내주면을 통해 상기 회전체를 상기 지지체에 회전 가능하게 결합시키는 회전결합부와;
상기 회전체에 결합되어 평판형상의 기판을 상기 회전체에 상하방향으로 결합시키는 고정부재와;
상기 회전체를 상기 지지체에 대하여 회전시키는 구동부와;
상기 제1관통공 및 제2관통공을 수직으로 관통하는 상기 수평축 방향인 상기 지지체의 양측에 배치되어, 상기 회전체에 결합된 상기 기판의 양면에 약물을 분사하는 분사부;를 포함하여 이루어지되,
상기 기판은 일면이 수평방향으로 배치되는 상기 제1관통공 및 제2관통공을 통해 외부로 노출되면서 상기 회전체에 결합되고,
상기 구동부에 의한 상기 회전체의 회전에 의해 상기 기판은 상기 제1관통공과 제2관통공을 수직으로 관통하는 상기 수평축을 중심으로 상기 지지체에 대하여 회전되며,
상기 회전결합부는,
상기 회전체의 일면에서 상기 제1관통공 방향으로 돌출되어 상기 제1관통공을 관통하고, 상기 제1관통공의 내주면 둘레를 따라 배치되는 다수개의 회전축과; 상기 회전축에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전체의 회전시 상기 제1관통공의 내주면을 따라 이동하는 회전롤러;를 포함하여 이루어지며,
상기 회전체의 외주면에는 외측기어가 형성되고,
상기 구동부는, 모터와, 상기 모터에 의해 회전하면서 상기 외측기어에 맞물리는 피니언기어로 이루어지며,
상기 분사부는 상기 회전체에 결합되어 상기 수평축을 중심으로 회전하는 기판의 양면에 약물을 분사하는 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.A support having a first through hole penetrating therethrough in the lateral direction;
And a second through hole communicating with the first through hole is formed in a center of the first through hole, the first through hole being formed in a flat plate shape larger than the first through hole and disposed on one surface of the support, A rotator mounted rotatably with respect to the support about a horizontal axis passing vertically;
A rotation coupling portion for rotatably coupling the rotator to the support through an inner circumferential surface of the first through hole;
A fixing member coupled to the rotating body and coupling the flat plate-shaped substrate to the rotating body in a vertical direction;
A driving unit for rotating the rotating body with respect to the support;
And a spraying portion disposed on both sides of the support member in the horizontal axis direction passing vertically through the first through hole and the second through hole and spraying the drug onto both surfaces of the substrate coupled to the rotating body ,
Wherein the substrate is coupled to the rotating body while being exposed to the outside through the first through hole and the second through hole,
Wherein the substrate is rotated with respect to the support about the horizontal axis passing vertically through the first through hole and the second through hole by rotation of the rotating body by the driving unit,
The rotary coupling unit includes:
A plurality of rotation shafts protruding from the one surface of the rotating body in the first through hole direction and passing through the first through holes and disposed along the inner circumferential surface of the first through hole; And a rotating roller rotatably coupled to the rotating shaft and moving along the inner circumferential surface of the first through hole when the rotating body rotates,
An outer gear is formed on an outer peripheral surface of the rotating body,
The drive unit includes a motor and a pinion gear engaged with the outer gear while being rotated by the motor,
Wherein the injection unit injects a drug onto both surfaces of a substrate coupled to the rotating body and rotating about the horizontal axis. 삭제delete 청구항1에 있어서,
상기 지지체는,
베이스부재와;
상기 베이스부재의 상부에 상하방향으로 배치되고, 좌우방향으로 상기 제1관통공이 형성된 수직지지부재;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.The method according to claim 1,
Wherein the support comprises:
A base member;
And a vertical support member vertically disposed on an upper portion of the base member and having the first through hole formed in the left and right direction. 청구항3에 있어서,
상기 베이스부재는 하부에 배치되는 이송롤러에 의해 일방향으로 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.The method of claim 3,
Wherein the base member is conveyed in one direction by a conveying roller disposed at a lower portion thereof. 삭제delete 삭제delete 청구항1에 있어서,
상기 지지체에는 상기 제1관통공의 내주면 둘레를 따라 단차지게 형성된 회전지지홈이 형성되고,
상기 회전롤러는 상기 회전지지홈에 안착되어 상기 회전체의 회전시 상기 회전지지홈을 따라 이동되며,
상기 회전체는 상기 회전롤러가 상기 회전지지홈을 형성하는 지지턱에 걸려 상기 지지체로부터의 분리가 저지되는 것을 특징으로 하는 기판 회전형 약물 분사장치.The method according to claim 1,
The support body is formed with a rotation support groove formed stepwise along the inner circumferential surface of the first through hole,
Wherein the rotation roller is seated in the rotation support groove and is moved along the rotation support groove when the rotation body rotates,
Wherein the rotation body is caught by a support jaw forming the rotation support groove of the rotation roller to prevent separation from the support body. 삭제delete
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