KR101187802B1 - Aerosol jetting apparatus - Google Patents

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강현욱
성형진
고승환
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Abstract

본 발명에 따른 에어로졸 분사 장치는 에어로졸이 분사되는 하부 분사구를 가지고 있는 내측 하부 부재, 상기 내측 하부 부재와 제1 간격만큼 이격되어 피복 가스 챔버를 이루며 상기 하부 분사구와 중첩하는 상부 분사구를 가지고 있는 내측 상부 부재, 상기 내측 하부 부재 및 상기 내측 상부 부재와 결합되어 있는 외측 상부 부재를 포함하고, 상기 피복 가스 챔버의 제1 간격은 조절 가능하다. 따라서, 본 발명에 따른 에어로졸 분사 장치는 피복 가스가 분사되는 내측 하부 부재와 내측 상부 부재 사이의 제1 간격을 조절함으로써 박막 패턴의 선폭을 조절할 수 있다.An aerosol injection device according to the present invention includes an inner lower member having a lower injection port through which an aerosol is injected, an inner upper part having an upper injection port spaced apart from the inner lower member by a first interval to form a covered gas chamber, and overlapping the lower injection port. And an outer upper member engaged with the inner lower member and the inner upper member, wherein the first gap of the covering gas chamber is adjustable. Therefore, the aerosol injection device according to the present invention can adjust the line width of the thin film pattern by adjusting the first gap between the inner lower member and the inner upper member to which the coating gas is injected.

Description

에어로졸 분사 장치{AEROSOL JETTING APPARATUS}Aerosol Injection Device {AEROSOL JETTING APPARATUS}

본 발명은 에어로졸 분사 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 박막 패턴을 형성할 수 있는 에어로졸 분사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an aerosol injection device, and more particularly to an aerosol injection device capable of forming a thin film pattern.

에어로졸 분사 장치는 별도의 마스크 없이 박막 패턴을 증착할 수 있는 장치로서, 에어로졸 분사 장치의 이송 가스(carrier gas)를 이용하여 에어로졸 물질을 반송하고, 이송 가스에 의해 반송된 에어로졸 물질은 피복 가스(sheath gas)에 의해 포커싱(focusing)되어 기판에 박막 패턴으로 증착된다.The aerosol injection device is a device capable of depositing a thin film pattern without a separate mask, and conveys the aerosol material using a carrier gas of the aerosol injection device, and the aerosol material conveyed by the carrier gas is a sheath gas. It is focused by gas and deposited in a thin film pattern on a substrate.

이러한 피복 가스의 각도와 속도를 조절하여 증착되는 박막 패턴의 선폭을 조절할 수 있다. 피복 가스의 각도는 에어로졸 분사 장치의 피복 가스 경로의 각도에 의해 결정되고, 피복 가스의 속도는 질량 흐름 제어기(Mass Flow Control, MFC)에 의해 조절된다.The line width of the deposited thin film pattern may be adjusted by adjusting the angle and speed of the coating gas. The angle of the cladding gas is determined by the angle of the cladding gas path of the aerosol injector, and the velocity of the cladding gas is controlled by a Mass Flow Control (MFC).

그러나, 에어로졸 분사 장치의 피복 가스 경로는 이미 결정되어 있으므로, 에어로졸 분사 공정 시 박막 패턴의 선폭을 조절하는 경우, 박막 패턴의 선폭은 질량 흐름 제어기에 의해서만 조절된다. 이와 같이, 박막 패턴의 선폭을 조절하기 위해 별도의 질량 흐름 제어기를 사용하므로 이에 의해 제조 비용이 증가한다. 또한, 질량 흐름 제어기만으로 박막 패턴의 선폭을 조절하므로 다양한 형상의 박막 패턴을 형성하는 것도 어렵다.However, since the coating gas path of the aerosol injection apparatus is already determined, when the line width of the thin film pattern is adjusted in the aerosol injection process, the line width of the thin film pattern is controlled only by the mass flow controller. As such, a separate mass flow controller is used to adjust the line width of the thin film pattern, thereby increasing the manufacturing cost. In addition, since the line width of the thin film pattern is controlled only by the mass flow controller, it is also difficult to form a thin film pattern having various shapes.

본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 박막 패턴의 선폭을 조절할 수 있는 에어로졸 분사 장치를 제공하고자 한다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the background art, to provide an aerosol injection apparatus that can adjust the line width of the thin film pattern.

본 발명의 일 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치는 에어로졸이 분사되는 하부 분사구를 가지고 있는 내측 하부 부재, 상기 내측 하부 부재와 제1 간격만큼 이격되어 피복 가스 챔버를 이루며 상기 하부 분사구와 중첩하는 상부 분사구를 가지고 있는 내측 상부 부재, 상기 내측 하부 부재 및 상기 내측 상부 부재와 결합되어 있는 외측 상부 부재를 포함하고, 상기 피복 가스 챔버의 제1 간격은 조절 가능하다.An aerosol injection device according to an embodiment of the present invention comprises an inner lower member having a lower injection hole through which an aerosol is injected, an upper injection hole spaced apart from the inner lower member by a first interval to form a covered gas chamber, and overlapping the lower injection hole. And an inner upper member, an inner lower member, and an outer upper member engaged with the inner upper member, wherein the first gap of the covering gas chamber is adjustable.

상기 제1 간격은 상기 내측 상부 부재의 승강에 의해 조절될 수 있다.The first gap may be adjusted by lifting and lowering the inner upper member.

상기 내측 상부 부재의 상면은 상기 외측 상부 부재의 저면과 제2 간격만큼 이격되어 있다.An upper surface of the inner upper member is spaced apart from the bottom of the outer upper member by a second interval.

상기 제1 간격과 상기 제2 간격의 크기는 반비례할 수 있다.The magnitude of the first interval and the second interval may be inversely proportional.

상기 내측 상부 부재와 상기 외측 상부 부재 사이에 설치되어 있으며, 상기 내측 상부 부재를 승강시키는 제1 승강 수단을 더 포함할 수 있다.It may be further provided between the inner upper member and the outer upper member, the first lifting means for elevating the inner upper member.

상기 제1 승강 수단은 볼 베어링 또는 스크류일 수 있다.The first lifting means may be a ball bearing or a screw.

상기 내측 상부 부재의 중심 축에 연결되어 있는 구동 수단을 더 포함할 수있고, 상기 구동 수단은 모터 또는 액추에이터일 수 있다. The drive means may further comprise a drive means connected to the central axis of the inner upper member, wherein the drive means may be a motor or an actuator.

또한, 상기 제1 간격은 상기 내측 상부 부재와 상기 외측 상부 부재의 승강에 의해 조절될 수 있고, 상기 내측 상부 부재와 상기 외측 상부 부재는 서로 고정되어 있을 수 있다.The first gap may be adjusted by lifting and lowering the inner upper member and the outer upper member, and the inner upper member and the outer upper member may be fixed to each other.

상기 외측 상부 부재와 결합되어 있으며 상기 내측 하부 부재를 감싸고 있는 외측 하부 부재를 더 포함할 수 있다. It may further include an outer lower member coupled to the outer upper member and surrounding the inner lower member.

상기 외측 상부 부재와 상기 외측 하부 부재 사이에 설치되어 있으며, 상기 내측 상부 부재와 상기 외측 상부 부재를 동시에 승강시키는 제2 승강 수단을 더 포함할 수 있고, 상기 제2 승강 수단은 볼 베어링 또는 스크류일 수 있다.It is provided between the outer upper member and the outer lower member, and may further include a second lifting means for simultaneously lifting the inner upper member and the outer upper member, the second lifting means is a ball bearing or screw Can be.

상기 내측 상부 부재의 중심 축에 연결되어 있는 구동 수단을 더 포함할 수있고, 상기 구동 수단은 모터 또는 액추에이터일 수 있고, 상기 제1 간격을 통하여 피복 가스가 분사될 수 있다. It may further comprise a driving means connected to the central axis of the inner upper member, the driving means may be a motor or an actuator, the coating gas may be injected through the first interval.

본 발명에 따르면, 피복 가스가 분사되는 내측 하부 부재와 내측 상부 부재 사이의 제1 간격을 조절함으로써 박막 패턴의 선폭을 조절할 수 있다.According to the present invention, the line width of the thin film pattern can be adjusted by adjusting the first gap between the inner lower member and the inner upper member to which the coating gas is injected.

또한, 박막 패턴의 선폭을 조절하기 위해 별도의 질량 흐름 제어기를 사용하지 않으므로 제조 비용이 절감된다. In addition, the manufacturing cost is reduced because a separate mass flow controller is not used to adjust the line width of the thin film pattern.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치의 단면도로서, 제1간격을 좁게 한 상태의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치의 단면도로서, 제1간격을 넓게 한 상태의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치의 단면도로서, 제1간격을 좁게 한 상태의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치의 단면도로서, 제1간격을 넓게 한 상태의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of an aerosol jetting apparatus according to a first embodiment of the present invention, in which the first interval is narrowed.
2 is a cross-sectional view of the aerosol injection device according to the first embodiment of the present invention, in which the first interval is widened.
3 is a cross-sectional view of the aerosol injection device according to the second embodiment of the present invention, in which the first interval is narrowed.
4 is a cross-sectional view of the aerosol injection device according to the second embodiment of the present invention, in which the first interval is widened.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

그러면 본 발명의 제1 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치에 대하여 도 1 및 도 2를 참고로 상세하게 설명한다.Next, the aerosol injection device according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치의 단면도로서, 제1간격을 작게 한 상태의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치의 단면도로서, 제1 간격을 크게 한 상태의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an aerosol jetting apparatus according to a first embodiment of the present invention, which is a cross-sectional view of a first interval being reduced, and FIG. 2 is a cross-sectional view of an aerosol jetting apparatus according to a first embodiment of the present invention. It is sectional drawing of the state which enlarged the space | interval.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치는 이송 가스(1)에 의해 반송된 에어로졸 물질(aerosol material)(2)이 분사되는 하부 분사구(110)를 가지고 있는 내측 하부 부재(100), 내측 하부 부재(100)와 제1 간격(t1)만큼 이격되어 있는 내측 상부 부재(200), 내측 하부 부재(100) 및 내측 상부 부재(200)와 결합되어 있는 외측 상부 부재(300)를 포함한다. 그리고, 외측 상부 부재(300)의 측면에는 피복 가스(3)가 유입되는 피복 가스 유입부(400)가 설치되어 있다. As shown in FIG. 1, the aerosol injection device according to the first embodiment of the present invention has a lower injection port 110 through which an aerosol material 2 conveyed by the transfer gas 1 is injected. The outer upper part coupled to the inner lower member 100, the inner lower member 100, and the inner upper member 200 spaced apart from the inner lower member 100 by the first interval t1, and the inner lower member 100 and the inner upper member 200. The member 300 is included. The cover gas inlet 400 through which the cover gas 3 flows is provided at the side surface of the outer upper member 300.

에어로졸 물질(2)은 기체 속에 고체 및 액체가 섞인 상태의 물질로서, 분무기(atomizer)에 의해 형성된다. 이송 가스(1)는 에어로졸 물질(2)을 고압으로 반송하며, 피복 가스(3)는 에어로졸 물질(2)을 포커싱하여 기판에 박막 패턴으로 증착시킨다.The aerosol substance 2 is a substance in which a solid and a liquid are mixed in a gas, and is formed by an atomizer. The conveying gas 1 conveys the aerosol substance 2 at high pressure, and the coating gas 3 focuses the aerosol substance 2 and deposits it in a thin film pattern on a substrate.

내측 하부 부재(100)는 원통형 형상으로서, 그 상면은 외부에서 중심부로 경사지게 함몰되는 원추형의 개구부(120)를 가지고 있으며, 원추형의 개구부(120)의 최저부가 하부 분사구(110)에 해당한다. 내측 하부 부재(100)의 돌출된 외측면(130)은 외측 상부 부재(300)와 접촉하고 있으며, 가스 유출을 방지하기 위해 내측 하부 부재(100)와 외측 상부 부재(300)의 접촉면에는 오링(O-ring)(10)이 설치되어 있다. The inner lower member 100 has a cylindrical shape, the upper surface of which has a conical opening 120 that is inclined from the outside to the center, and the lowest portion of the conical opening 120 corresponds to the lower injection hole 110. The protruding outer surface 130 of the inner lower member 100 is in contact with the outer upper member 300, and in order to prevent gas outflow, the contact surface of the inner lower member 100 and the outer upper member 300 has an O-ring ( O-ring 10 is provided.

내측 상부 부재(200)의 중심부에는 이송 가스(1)가 분사되는 분사 홀(220)이 형성되어 있다. 내측 상부 부재(200)의 저면(230)은 원추형 형상으로 돌출되어 있으며, 원추형 형상의 꼭지점에는 분사 홀(220)의 최저부인 상부 분사구(210)가 형성되어 있다. 내측 상부 부재(200)의 상부 분사구(210)는 내측 하부 부재(100)의 하부 분사구(110)와 중첩한다. 내측 상부 부재(200)의 상면은 원통형 형상으로 돌출되어 중심 축(240)을 형성한다. 중심 축(240)의 중심부까지 분사 홀(220)이 연장되어 있다. In the center portion of the inner upper member 200, an injection hole 220 through which the transfer gas 1 is injected is formed. The bottom surface 230 of the inner upper member 200 protrudes in a conical shape, and an upper injection hole 210 that is the lowest portion of the injection hole 220 is formed at a vertex of the conical shape. The upper injection hole 210 of the inner upper member 200 overlaps the lower injection hole 110 of the inner lower member 100. An upper surface of the inner upper member 200 protrudes in a cylindrical shape to form a central axis 240. The injection hole 220 extends to the center of the central shaft 240.

내측 상부 부재(200)의 저면과 내측 하부 부재(100)의 상면 사이는 피복 가스(3)가 분사되는 피복 가스 챔버(150)를 이루며, 피복 가스 챔버(150)는 제1 간격(t1)을 가진다. 내측 상부 부재(200)의 측면에는 가스 유입 홀(250)이 형성되어 있다. 가스 유입 홀(250)은 외측 상부 부재(300)의 피복 가스 유입부(400)를 통해 유입된 피복 가스(3)가 피복 가스 챔버(150)로 유입될 수 있도록 한다. Between the bottom surface of the inner upper member 200 and the upper surface of the inner lower member 100 forms a covering gas chamber 150 into which the covering gas 3 is injected, and the covering gas chamber 150 defines the first interval t1. Have The gas inlet hole 250 is formed at the side of the inner upper member 200. The gas inflow hole 250 allows the cover gas 3 introduced through the cover gas inlet 400 of the outer upper member 300 to flow into the cover gas chamber 150.

외측 상부 부재(300)는 원통형 형상으로서 그 저면에 원통형 홈(310)을 가지며, 원통형 홈(310)의 중심부에 원통형 홀(320)을 가지고 있다. 외측 상부 부재(300)의 원통형 홈(310)에는 내측 상부 부재(200) 및 내측 하부 부재(100)가 삽입되어 있으며, 내측 상부 부재(200)의 중심 축(240)은 외측 상부 부재(300)의 원통형 홀(320)을 관통하고 있다.The outer upper member 300 has a cylindrical shape and has a cylindrical groove 310 at the bottom thereof, and has a cylindrical hole 320 at the center of the cylindrical groove 310. The inner upper member 200 and the inner lower member 100 are inserted into the cylindrical groove 310 of the outer upper member 300, and the central axis 240 of the inner upper member 200 is the outer upper member 300. It penetrates through the cylindrical hole 320 of.

외측 상부 부재(300)의 원통형 홀(320)과 내측 상부 부재(200)의 중심 축(240) 사이에는 내측 상부 부재(200)를 승강시키는 제1 승강 수단(500)이 설치되어 있다. 제1 승강 수단(500)은 외측 상부 부재(300)의 원통형 홀(320)의 표면과 내측 상부 부재(200)의 중심 축(240)의 표면에 각각 형성된 스크류일 수 있다. 또한, 스크류 내부에 볼 베어링을 두어 회전을 원활히 할 수도 있다. The first lifting means 500 for elevating the inner upper member 200 is provided between the cylindrical hole 320 of the outer upper member 300 and the central axis 240 of the inner upper member 200. The first lifting means 500 may be screws formed on the surface of the cylindrical hole 320 of the outer upper member 300 and the surface of the central shaft 240 of the inner upper member 200, respectively. In addition, it is possible to smoothly rotate by placing a ball bearing inside the screw.

내측 상부 부재(200)의 상면은 외측 상부 부재(300)의 저면과 제2 간격(t2)만큼 이격되어 있다. 제1 승강 수단(500)에 의해 내측 상부 부재(200)가 회전하여 승강함으로써 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)은 조절된다. 도 1에 도시한 바와 같이, 내측 상부 부재(200)가 하강하는 경우에는 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)은 좁아지나, 내측 상부 부재(200)의 상면과 외측 상부 부재(300)의 저면 사이의 제2 간격(t2)은 넓어진다. 반면에 도 2에 도시한 바와 같이, 내측 상부 부재(200)가 상승하는 경우에는 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)은 넓어지나, 내측 상부 부재(200)의 상면과 외측 상부 부재(300)의 저면 사이의 제2 간격(t2)은 좁아진다. 따라서, 제1 간격(t1)과 제2 간격(t2)의 크기는 반비례한다.The upper surface of the inner upper member 200 is spaced apart from the bottom of the outer upper member 300 by a second interval t2. The first interval t1 of the covering gas chamber 150 is adjusted by rotating the inner upper member 200 by the first elevating means 500. As shown in FIG. 1, when the inner upper member 200 descends, the first interval t1 of the covering gas chamber 150 is narrowed, but the upper surface and the outer upper member 300 of the inner upper member 200 are narrowed. The second interval t2 between the bottoms of the () is widened. On the other hand, as shown in FIG. 2, when the inner upper member 200 rises, the first interval t1 of the covering gas chamber 150 becomes wider, but the upper surface and the outer upper member of the inner upper member 200 are widened. The second interval t2 between the bottoms of the 300 is narrowed. Therefore, the magnitude of the first interval t1 and the second interval t2 is inversely proportional.

이와 같이, 피복 가스(3)가 분사되는 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)을 조절함으로써 피복 가스 챔버(150)를 흐르는 피복 가스(3)의 작용 압력을 증가시키거나 감소시킬 수 있으므로 이송 가스(1)에 의해 반송된 에어로졸 물질(2)의 집속 정도를 조절할 수 있다. 따라서, 에어로졸 물질(2)이 기판에 증착되어 형성되는 박막 패턴의 선폭을 조절할 수 있다. As such, by adjusting the first interval t1 of the coating gas chamber 150 into which the coating gas 3 is injected, the working pressure of the coating gas 3 flowing through the coating gas chamber 150 may be increased or decreased. Therefore, the degree of focusing of the aerosol substance 2 conveyed by the conveying gas 1 can be adjusted. Accordingly, the line width of the thin film pattern formed by depositing the aerosol material 2 on the substrate may be adjusted.

또한, 박막 패턴의 선폭을 조절하기 위해 별도의 질량 흐름 제어기를 사용하지 않으므로 제조 비용이 절감된다. In addition, the manufacturing cost is reduced because a separate mass flow controller is not used to adjust the line width of the thin film pattern.

내측 상부 부재(200)의 중심 축에는 구동 수단(600)이 연결되어 있다. 구동 수단(600)은 내측 상부 부재(200)를 회전시키는 구동력을 제공한다. 이러한 구동 수단(600)은 모터 또는 액추에이터일 수 있다.The driving means 600 is connected to the central axis of the inner upper member 200. The driving means 600 provides a driving force for rotating the inner upper member 200. Such drive means 600 may be a motor or an actuator.

한편, 제1 실시예에서는 내측 하부 부재(100) 및 외측 상부 부재(300)를 고정시키고 내측 상부 부재(200)를 승강시켜 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)을 조절하였으나, 내측 하부 부재(100)를 고정시키고 내측 상부 부재(200) 및 외측 상부 부재(300)를 동시에 승강시켜 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)을 조절할 수 있다.Meanwhile, in the first embodiment, the inner lower member 100 and the outer upper member 300 are fixed and the inner upper member 200 is lifted to adjust the first interval t1 of the covering gas chamber 150. The first gap t1 of the covering gas chamber 150 may be adjusted by fixing the lower member 100 and simultaneously lifting and lowering the inner upper member 200 and the outer upper member 300.

이하에서, 본 발명의 제2 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치에 관하여 이하에서 도 3 및 도 4를 참고로 상세히 설명한다. Hereinafter, an aerosol injection apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치의 단면도로서, 제1간격을 좁게 한 상태의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치의 단면도로서, 제1 간격을 넓게 한 상태의 단면도이다. 3 is a cross-sectional view of an aerosol injection device according to a second embodiment of the present invention, a cross-sectional view of a narrow first interval, and FIG. 4 is a cross-sectional view of an aerosol injection device according to a second embodiment of the present invention. 1 is a cross-sectional view of a state where the interval is widened.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 에어로졸 분사 장치는 이송 가스(1)에 의해 반송된 에어로졸 물질(2)이 분사되는 하부 분사구(110)를 가지고 있는 내측 하부 부재(100), 내측 하부 부재(100)와 제1 간격(t1)만큼 이격되어 있는 내측 상부 부재(200), 내측 하부 부재(100) 및 내측 상부 부재(200)와 결합되어 있는 외측 상부 부재(300), 외측 상부 부재와 결합되어 있으며 내측 하부 부재를 감싸고 있는 외측 하부 부재(700)를 포함한다. 그리고, 외측 상부 부재(300)의 측면에는 피복 가스(3)가 유입되는 피복 가스 유입부(400)가 설치되어 있다.As shown in Figs. 3 and 4, the aerosol injection device according to the second embodiment of the present invention has an inner side having a lower injection port 110 through which the aerosol material 2 conveyed by the transfer gas 1 is injected. The outer upper member coupled to the lower member 100, the inner upper member 200, and the inner lower member 100 and the inner upper member 200 spaced apart from the inner lower member 100 by a first interval t1. 300, an outer lower member 700 coupled to the outer upper member and surrounding the inner lower member. The cover gas inlet 400 through which the cover gas 3 flows is provided at the side surface of the outer upper member 300.

내측 하부 부재(100)는 원통형 형상으로서, 그 상면은 외부에서 중심부로 경사지게 함몰되는 원추형의 개구부(120)를 가지고 있으며, 원추형의 개구부(120)의 최저부가 하부 분사구(110)에 해당한다. 내측 하부 부재(100)의 돌출된 외측면(130)은 외측 상부 부재(300)와 접촉하고 있으며, 가스 유출을 방지하기 위해 내측 하부 부재(100)와 외측 상부 부재(300)의 접촉면에는 오링(O-ring)(10)이 설치되어 있다. The inner lower member 100 has a cylindrical shape, the upper surface of which has a conical opening 120 that is inclined from the outside to the center, and the lowest portion of the conical opening 120 corresponds to the lower injection hole 110. The protruding outer surface 130 of the inner lower member 100 is in contact with the outer upper member 300, and in order to prevent gas outflow, the contact surface of the inner lower member 100 and the outer upper member 300 has an O-ring ( O-ring 10 is provided.

내측 상부 부재(200)의 중심부에는 이송 가스(1)가 분사되는 분사 홀(220)이 형성되어 있다. 내측 상부 부재(200)의 저면(230)은 원추형 형상으로 돌출되어 있으며, 원추형 형상의 꼭지점에는 분사 홀(220)의 최저부인 상부 분사구(210)가 형성되어 있다. 내측 상부 부재(200)의 상부 분사구(210)는 내측 하부 부재(100)의 하부 분사구(110)와 중첩한다. 내측 상부 부재(200)의 상면은 원통형 형상으로 돌출되어 중심 축(240)을 형성한다. 중심 축(240)의 중심부까지 분사 홀(220)이 연장되어 있다. In the center portion of the inner upper member 200, an injection hole 220 through which the transfer gas 1 is injected is formed. The bottom surface 230 of the inner upper member 200 protrudes in a conical shape, and an upper injection hole 210 that is the lowest portion of the injection hole 220 is formed at a vertex of the conical shape. The upper injection hole 210 of the inner upper member 200 overlaps the lower injection hole 110 of the inner lower member 100. An upper surface of the inner upper member 200 protrudes in a cylindrical shape to form a central axis 240. The injection hole 220 extends to the center of the central shaft 240.

내측 상부 부재(200)의 저면과 내측 하부 부재(100)의 상면 사이는 피복 가스(3)가 분사되는 피복 가스 챔버(150)를 이루며, 피복 가스 챔버(150)는 제1 간격(t1)을 가진다. 내측 상부 부재(200)의 측면에는 가스 유입 홀(250)이 형성되어 있다. 가스 유입 홀(250)은 외측 상부 부재(300)의 피복 가스 유입부(400)를 통해 유입된 피복 가스(3)가 피복 가스 챔버(150)로 유입될 수 있도록 한다. Between the bottom surface of the inner upper member 200 and the upper surface of the inner lower member 100 forms a covering gas chamber 150 into which the covering gas 3 is injected, and the covering gas chamber 150 defines the first interval t1. Have The gas inlet hole 250 is formed at the side of the inner upper member 200. The gas inflow hole 250 allows the cover gas 3 introduced through the cover gas inlet 400 of the outer upper member 300 to flow into the cover gas chamber 150.

외측 상부 부재(300)는 원통형 형상으로서 그 저면에 원통형 홈(310)을 가지며, 원통형 홈(310)의 중심부에 원통형 홀(320)을 가지고 있다. 외측 상부 부재(300)의 원통형 홈(310)에는 내측 상부 부재(200) 및 내측 하부 부재(100)가 삽입되어 있으며, 내측 상부 부재(200)의 중심 축(240)은 외측 상부 부재(300)의 원통형 홀(320)을 관통하고 있다.The outer upper member 300 has a cylindrical shape and has a cylindrical groove 310 at the bottom thereof, and has a cylindrical hole 320 at the center of the cylindrical groove 310. The inner upper member 200 and the inner lower member 100 are inserted into the cylindrical groove 310 of the outer upper member 300, and the central axis 240 of the inner upper member 200 is the outer upper member 300. It penetrates through the cylindrical hole 320 of.

내측 상부 부재의 상면과 외측 상부 부재의 저면은 서로 접촉하여 고정되어 있으므로 내측 상부 부재와 외측 상부 부재는 함께 움직인다. Since the upper surface of the inner upper member and the bottom of the outer upper member are fixed in contact with each other, the inner upper member and the outer upper member move together.

외측 상부 부재(300)의 외측면과 외측 하부 부재(700)의 내측면 사이에는 내측 상부 부재(200)와 외측 상부 부재(300)를 동시에 승강시키는 제2 승강 수단(800)이 설치되어 있다. 제2 승강 수단(800)은 외측 상부 부재(300)의 외측면과 외측 하부 부재(700)의 내측면에 각각 형성된 스크류일 수 있다. 또한, 스크류 내부에 볼 베어링을 두어 회전을 원활히 할 수도 있다. Second lifting means 800 for simultaneously lifting and lowering the inner upper member 200 and the outer upper member 300 is provided between the outer surface of the outer upper member 300 and the inner surface of the outer lower member 700. The second elevating means 800 may be a screw formed on the outer surface of the outer upper member 300 and the inner surface of the outer lower member 700, respectively. In addition, it is possible to smoothly rotate by placing a ball bearing inside the screw.

제2 승강 수단(800)에 의해 내측 상부 부재(200) 및 외측 상부 부재(300)가 동시에 회전하여 승강함으로써 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)은 조절된다. 즉, 도 3에 도시한 바와 같이, 내측 상부 부재(200) 및 외측 상부 부재(300)가 동시에 가 하강하는 경우에는 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)은 좁아진다. 반면에 도 4에 도시한 바와 같이, 내측 상부 부재(200) 및 외측 상부 부재(300)가 동시에 상승하는 경우에는 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)은 넓어진다. As the inner upper member 200 and the outer upper member 300 are rotated and lifted at the same time by the second elevating means 800, the first interval t1 of the covering gas chamber 150 is adjusted. That is, as shown in FIG. 3, when the inner upper member 200 and the outer upper member 300 simultaneously descend and descend, the first interval t1 of the covering gas chamber 150 becomes narrow. On the other hand, as shown in FIG. 4, when the inner upper member 200 and the outer upper member 300 are raised at the same time, the first interval t1 of the covering gas chamber 150 is widened.

이와 같이, 피복 가스(3)가 분사되는 피복 가스 챔버(150)의 제1 간격(t1)을 조절함으로써 피복 가스 챔버(150)를 흐르는 피복 가스(3)의 작용 압력을 증가시키거나 감소시킬 수 있으므로 이송 가스(1)에 의해 반송된 에어로졸 물질(2)의 집속 정도를 조절할 수 있다. 따라서, 에어로졸 물질(2)이 기판에 증착되어 형성되는 박막 패턴의 선폭을 조절할 수 있다. As such, by adjusting the first interval t1 of the coating gas chamber 150 into which the coating gas 3 is injected, the working pressure of the coating gas 3 flowing through the coating gas chamber 150 may be increased or decreased. Therefore, the degree of focusing of the aerosol substance 2 conveyed by the conveying gas 1 can be adjusted. Accordingly, the line width of the thin film pattern formed by depositing the aerosol material 2 on the substrate may be adjusted.

또한, 박막 패턴의 선폭을 조절하기 위해 별도의 질량 흐름 제어기를 사용하지 않으므로 제조 비용이 절감된다. In addition, the manufacturing cost is reduced because a separate mass flow controller is not used to adjust the line width of the thin film pattern.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the following claims. Those who are engaged in the technology field will understand easily.

100: 내측 하부 부재 200: 내측 상부 부재
300: 외측 상부 부재 700: 외측 하부 부재100: inner lower member 200: inner upper member
300: outer upper member 700: outer lower member

Claims (16)

에어로졸이 분사되는 하부 분사구를 가지고 있는 원통형 형상의 내측 하부 부재,
상기 내측 하부 부재와 제1 간격만큼 이격되어 피복 가스 챔버를 이루며 상기 하부 분사구와 중첩하는 상부 분사구를 가지고 있는 원추형 형상의 내측 상부 부재,
상기 내측 하부 부재의 외측면 및 상기 내측 상부 부재의 외측면과 결합되어 있는 원통형 형상의 외측 상부 부재
를 포함하고,
상기 피복 가스 챔버의 제1 간격은 조절 가능한 에어로졸 분사 장치.A cylindrical inner lower member having a lower injection port through which an aerosol is injected,
An inner upper member having a conical shape spaced apart from the inner lower member by a first interval to form a covered gas chamber and having an upper injection hole overlapping the lower injection hole;
An outer upper member having a cylindrical shape coupled to an outer surface of the inner lower member and an outer surface of the inner upper member.
Including,
An aerosol injection device in which the first interval of the coating gas chamber is adjustable. 제1항에서,
상기 제1 간격은 상기 내측 상부 부재의 승강에 의해 조절되는 에어로졸 분사 장치. In claim 1,
The first spacing is an aerosol injection device is adjusted by the lifting of the inner upper member. 제1항에서,
상기 내측 상부 부재의 상면은 상기 외측 상부 부재의 저면과 제2 간격만큼 이격되어 있는 에어로졸 분사 장치.In claim 1,
An upper surface of the inner upper member is spaced apart from the bottom of the outer upper member by a second spacing device. 제3항에서,
상기 제1 간격과 상기 제2 간격의 크기는 반비례하는 에어로졸 분사 장치.4. The method of claim 3,
An aerosol injection device, the magnitude of the first interval and the second interval is inversely proportional. 제1항에서,
상기 내측 상부 부재와 상기 외측 상부 부재 사이에 설치되어 있으며, 상기 내측 상부 부재를 승강시키는 제1 승강 수단을 더 포함하는 에어로졸 분사 장치.In claim 1,
And an first elevating means provided between the inner upper member and the outer upper member to elevate the inner upper member. 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 6 has been abandoned due to the setting registration fee. 제1항에서,
상기 제1 승강 수단은 볼 베어링 또는 스크류인 에어로졸 분사 장치. In claim 1,
And the first elevating means is a ball bearing or a screw. 제5항에서,
상기 내측 상부 부재의 중심 축에 연결되어 있는 구동 수단을 더 포함하는 에어로졸 분사 장치.The method of claim 5,
And a drive means connected to the central axis of the inner upper member. 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 8 was abandoned when the registration fee was paid. 제7항에서,
상기 구동 수단은 모터 또는 액추에이터인 에어로졸 분사 장치.In claim 7,
And said drive means is a motor or an actuator. 제1항에서,
상기 제1 간격은 상기 내측 상부 부재와 상기 외측 상부 부재의 승강에 의해 조절되는 에어로졸 분사 장치. In claim 1,
And the first gap is controlled by lifting the inner upper member and the outer upper member. 제9항에서,
상기 내측 상부 부재와 상기 외측 상부 부재는 서로 고정되어 있는 에어로졸 분사 장치. The method of claim 9,
And the inner upper member and the outer upper member are fixed to each other. 제10항에서,
상기 외측 상부 부재와 결합되어 있으며 상기 내측 하부 부재를 감싸고 있는 외측 하부 부재를 더 포함하는 에어로졸 분사 장치.11. The method of claim 10,
And an outer lower member coupled to the outer upper member and surrounding the inner lower member. 제11항에서,
상기 외측 상부 부재와 상기 외측 하부 부재 사이에 설치되어 있으며, 상기 내측 상부 부재와 상기 외측 상부 부재를 동시에 승강시키는 제2 승강 수단을 더 포함하는 에어로졸 분사 장치.12. The method of claim 11,
And a second elevating means provided between the outer upper member and the outer lower member and simultaneously elevating the inner upper member and the outer upper member. 청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 13 was abandoned upon payment of a registration fee. 제12항에서,
상기 제2 승강 수단은 볼 베어링 또는 스크류인 에어로졸 분사 장치.The method of claim 12,
And the second elevating means is a ball bearing or a screw. 제13항에서,
상기 내측 상부 부재의 중심 축에 연결되어 있는 구동 수단을 더 포함하는 에어로졸 분사 장치.In claim 13,
And a drive means connected to the central axis of the inner upper member. 청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 15 is abandoned in the setting registration fee payment. 제14항에서,
상기 구동 수단은 모터 또는 액추에이터인 에어로졸 분사 장치.The method of claim 14,
And said drive means is a motor or an actuator. 청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 16 has been abandoned due to the setting registration fee. 제1항에서,
상기 제1 간격을 통하여 피복 가스가 분사되는 에어로졸 분사 장치.In claim 1,
An aerosol spraying device in which the coating gas is injected through the first interval.
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