KR101963578B1 - 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 디스플레이장치를 제조하기 위한 제1기판과 제2기판을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛, 상기 챔버유닛 내부에 위치하고, 제1기판을 지지하기 위한 제1스테이지, 상기 제1스테이지로부터 이격되어 상기 챔버유닛 내부에 위치하는 제2스테이지, 및 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판을 향해 낙하하는 제2기판의 위치를 가이드하도록 상기 제2스테이지에 설치되는 복수개의 가이드기구를 포함하는 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 제1기판과 제2기판을 합착할 때 기판들의 움직임을 제한하여 정밀하게 합착시킴으로써 제1기판과 제2기판이 합착하여 형성되는 합착기판 및 합착기판을 사용하여 제조되는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

Description

디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법{Apparatus for Attaching Substrate and Method for Manufacturing Attached Substrate using the same}

본 발명은 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 캐리어기판을 합착시키기 위한 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법에 관한 것이다.

LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치는 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정에는 기판을 절단(Scribing)하는 절단공정, 및 탭(TAB, Taped Automated Bonding) 공정 등이 포함된다.

최근 업계에서는 디스플레이장치에 대한 디자인적인 측면 강조 등을 위해 슬림(Slim)화된 디스플레이장치에 대한 수요가 증가하고 있다. 이에 따라, 최근 업계에서는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 슬림화된 디스플레이장치를 제조하기 위한 방안으로 얇은 두께로 형성된 기판을 이용하는 방법이 제안되었다. 그러나, 이와 같은 방안은 다음과 같은 문제가 있다.

첫째, 상기와 같은 방안은 기판이 얇은 두께로 형성됨에 따라 기판이 갖는 내구성이 저하된다. 이에 따라, 얇은 두께로 형성된 기판에 대해 절단공정, 탭 공정 등이 이루어지는 과정에서, 기판이 쉽게 손상되는 문제가 있다. 따라서, 상기와 같은 방안은 디스플레이장치에 대한 제조 수율을 저하시키고, 나아가 디스플레이장치에 대한 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다.

둘째, 상술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 방안으로 강화 글래스 등과 같이 얇은 두께라도 강한 내구성을 갖는 기판을 이용하여 디스플레이장치를 제조하는 방법이 제안되었다. 그러나, 이와 같은 방안은 강화 글래스 등이 상당한 고가이어서 재료비를 상승시키고, 이에 따라 디스플레이장치에 대한 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고 안출된 것으로, 두 기판을 합착하여 슬림화된 디스플레이장치를 제조하는 공정을 진행하고, 두 기판을 합착하는 과정에서 기판의 이동을 제한할 수 있는 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치는 디스플레이장치를 제조하기 위한 제1기판과 제2기판을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛; 상기 챔버유닛 내부에 위치하고, 제1기판을 지지하기 위한 제1스테이지; 상기 제1스테이지로부터 이격되어 상기 챔버유닛 내부에 위치하는 제2스테이지; 및 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판을 향해 낙하하는 제2기판의 위치를 가이드하도록 상기 제2스테이지에 설치되는 복수개의 가이드기구를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 제1기판을 제1스테이지에 위치시키는 단계; 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판과 합착되는 제2기판을 제2스테이지에 위치시키는 단계; 제1기판과 제2기판의 위치를 정렬하는 단계; 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판을 향해 낙하하는 제2기판의 위치를 가이드하는 단계; 및 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판에 제2기판이 접촉되면, 제1기판과 제2기판을 합착시키는 단계를 포함하고, 상기 제2기판의 위치를 가이드하는 단계는 제2기판의 변들 각각에 인접하게 복수개의 가이드기구를 위치하게 하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.

본 발명은 제1기판과 제2기판을 합착할 때 기판들의 움직임을 제한하여 정밀하게 합착시킴으로써 제1기판과 제2기판이 합착하여 형성되는 합착기판 및 합착기판을 사용하여 제조되는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치의 개략적인 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치의 개략적인 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 가이드기구를 설명하기 위한 개략적인 도면.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가이드기구를 설명하기 위한 개략적인 도면.
도 5 및 도 6은 본 발명의 변형 실시예에 따른 가이드기구를 설명하기 위한 개략적인 도면.
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 정렬기구를 설명하기 위한 개략적인 도면.
도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 가이드기구와 구동유닛의 여러 실시예를 나타낸 도면.
도 11a 및 도 11b는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치의 안착기구에 의해 제1스테이지에 제1기판이 안착되는 것을 나타낸 도면.
도 12는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치가 제1기판과 제2기판을합착시키는 작동상태를 나타낸 도면.

이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 디스플레이장치를 제조하기 위한 제1기판(100)에 제2기판(200)을 합착시키기 위한 것이다. 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 서로 합착되어 합착기판을 형성한다. 상기 제1기판(100) 또는 상기 제2기판(200)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치에 사용되는 패널 기판이다. 상기 제1기판(100) 또는 상기 제2기판(200)은 3D 영상을 표시하는 디스플레이장치에 사용되는 패널 기판일 수 있다. 상기 제1기판(100) 또는 상기 제2기판(200)은 글래스(Glass)로 제조될 수 있다. 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200) 중 하나가 패널 기판인 경우, 다른 하나의 기판은 캐리어기판일 수 있다. 캐리어기판은 패널 기판에 합착됨으로써, 패널 기판의 내구성을 보강한다. 캐리어기판은 패널 기판의 내구성을 보강할 수 있는 재료로 제조될 수 있다. 예컨대, 캐리어기판은 글래스로 제조될 수 있다.

즉, 상기 제1기판(100)이 디스플레이장치에 사용되는 패널 기판인 경우 상기 제2기판(200)은 캐리어기판이 되고, 상기 제1기판(100)이 캐리어기판인 경우 상기 제2기판(200)은 패널 기판이 된다.

이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이과 합착된 합착기판 상태로 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 이루어지도록 함으로써, 패널 기판이 얇은 두께로 형성된 것이더라도 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 이루어지는 과정에서 패널 기판이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 강한 내구성을 갖는 강화 글래스 등을 이용하지 않고도 디스플레이장치에 사용되는 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있으므로, 강화 글래스를 이용하는 것과 비교할 때 슬림화된 디스플레이장치에 대한 제조 단가를 낮출 수 있다.

상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 대략 일치하는 형태로 형성된다. 즉, 디스플레이장치에 사용되는 패널기판과 캐리어기판은 대략 일치하는 형태로 형성된다. 캐리어기판은 디스플레이장치를 제조하는 공정이 이루어지는 과정에서 패널기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 두께로 제조될 수 있다. 예컨대, 상기 제1기판(100)이 패널기판이고, 상기 제2기판(200)이 캐리어기판인 경우, 상기 제2기판(200)은 상기 제1기판(100)에 비해 두꺼운 두께로 제조될 수 있다. 상기 제2기판(200)은 상기 제1기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있는 두께이면, 상기 제1기판(100)에 비해 얇은 두께로 제조될 수도 있고, 상기 제1기판(100)과 대략 일치하는 두께로 제조될 수도 있다.

상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 완료되기 전에 분리되어, 슬림화된 디스플레이장치가 구현될 수 있도록 한다.

도 1을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛(2), 상기 제1기판(100)을 지지하기 위한 제1스테이지(3), 및 상기 제1스테이지(3)로부터 이격되게 설치되는 제2스테이지(4)을 포함한다. 상기 제2기판(200)은 상기 제2스테이지(4)에서 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하여 상기 제1기판(100)에 접촉됨으로써, 상기 제1기판(100)과 합착된다. 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 합착되어 합착기판을 형성한다.

여기서, 상기 제2기판(200)이 상기 제2스테이지(4)에서 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하여 상기 제1기판(100)과 접촉할 때, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200) 사이에 존재하는 공기층에 의한 마찰로 인해 상기 제2기판(200)이 슬라이딩 할 수 있다. 즉, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 서로 틀어진 상태로 합착되는 문제가 발생한다.

상술한 바와 같이, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 서로 틀어져서 합착되어 형성되면, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 합착되어 형성되는 합착기판은 품질이 저하될 뿐만 아니라 불량품으로서 디스플레이장치에 사용할 수 없게 될 수도 있다. 이렇게 되면 디스플레이장치의 품질도 저하되고, 디스플레이장치의 제조비용이 상승하게 되는 문제가 있다. 이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 다음과 같은 구성을 더 포함한다.

도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 상기 제2기판(200)의 위치를 가이드하는 복수개의 가이드기구(5)를 더 포함한다. 상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2스테이지(4)에 설치된다.

상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)에 인접하게 배치된다. 상기 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 변(邊)들에 인접하게 배치된다. 상기 가이드기구(5)는 상기 제2스테이지(4)에서 상기 제2기판(200)이 지지되는 면에서 상기 제1스테이지(3)에서 상기 제1기판(100)이 지지되는 면까지 연장되어 형성된다. 즉, 상기 제2스테이지(4)에서 상기 제1기판(200)을 향해 낙하하는 상기 제2기판(200)의 경로를 따라 연장되어 형성된다. 이렇게 상기 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 낙하 경로를 따라 연장되어 형성되어 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 상기 제2기판(200)의 위치를 가이드한다. 상기 가이드기구(5)는 상기 제2스테이지(4)에서 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 상기 제2기판(200)의 움직임을 제한한다. 상기 제2기판(200)은 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하면서, 수직한 방향으로는 움직일 수 있으나 수평 방향으로는 상기 가이드기구(5)에 의해 움직임이 제한된다.

이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제2기판(200)을 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 과정에서 상기 제2기판(200)이 슬라이딩하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 슬립화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

이하에서는 상기 챔버유닛(2), 상기 제1스테이지(3), 상기 제2스테이지(4), 상기 가이드기구(5)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.

도 2를 참고하면, 상기 챔버유닛(2)은 상기 제1스테이지(3)를 지지한다. 상기 챔버유닛(2) 내부에서는 상기 제1기판(100)에 상기 제2기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어진다. 상기 챔버유닛(2)은 전체적으로 내부가 비어 있는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1기판(100)에 상기 제2기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어질 수 있는 작업공간을 제공할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.

상기 챔버유닛(2)은 제1챔버(21) 및 제2챔버(22)를 포함할 수 있다. 상기 제1챔버(21)와 상기 제2챔버(22)는 서로 접하거나 이격되게 이동될 수 있다. 상기 제1챔버(21)와 상기 제2챔버(22)가 이격되면, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입되거나 상기 챔버유닛(2)으로부터 외부로 반출될 수 있다. 상기 제1챔버(21)와 상기 제2챔버(22)가 접하면, 상기 챔버유닛(2)에서는 상기 제1기판(100)에 상기 제2기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어질 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 챔버유닛(2)은 개폐기구를 포함할 수도 있다. 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 상기 개폐기구를 통해 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입되거나 상기 챔버유닛(2)으로부터 외부로 반출될 수 있다. 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 별도의 이송장치(미도시)에 의해 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입되거나 상기 챔버유닛(2) 외부로 반출될 수 있다.

도 2를 참고하면, 상기 제1스테이지(3)는 상기 제1기판(100)을 지지한다. 상기 제1스테이지(3)는 상기 챔버유닛(2) 내부에 위치되게 설치된다. 상기 제1스테이지(3) 는 상기 제2스테이지(4)의 아래에 위치되게 상기 챔버유닛(2)에 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1기판(100)은 상기 제2기판(200)의 아래에 위치되게 상기 제1스테이지(3)에 지지될 수 있다.

도 2를 참고하면, 상기 제2스테이지(4)는 상기 제2기판(200)을 지지한다. 상기 제2스테이지(4)는 상기 챔버유닛(2) 내부에 위치되게 설치된다. 상기 제2스테이지(4)는 상기 제1스테이지(3)로부터 소정 거리 이격되게 상기 챔버유닛(2)에 설치된다. 상기 제2스테이지(4)는 상기 제1스테이지(3)의 위에 위치되게 상기 챔버유닛(2)에 설치된다.

상기 제2기판(200)은 흡입력에 의해 상기 제2스테이지(4)에 부착될 수 있다. 이를 위해, 상기 제2스테이지(4)는 흡입장치(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 흡입장치는 유체를 흡입함으로써, 상기 제2스테이지(4)에 지지된 제2기판(300)을 상기 제2스테이지(4)에 부착시킬 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 제2스테이지(4)는 정전척(ESC, Electrostatic Chuck)일 수도 있다. 이 경우, 상기 제2기판(200)은 정전력에 의해 상기 제2스테이지(4)에 부착될 수 있다. 상기 제2스테이지(4)는 상기 제2기판(200)을 상기 제2스테이지(4)에 부착시키기 위한 적어도 하나의 전극(미도시)을 포함할 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 제2스테이지(4)는 적어도 하나의 점착고무(미도시)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 제2기판(200)은 점착고무가 갖는 점착성에 의해 상기 제2스테이지(4)에 부착될 수 있다.

도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 상기 제2기판(200)의 위치를 가이드한다. 상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 상기 제2기판(200)의 수평 방향 움직임을 제한한다. 즉, 상기 제2기판(200)은 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 과정에서 상기 가이드기구(5)에 의해 슬라이딩하지 않게 된다.

상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 변(邊)들에 인접하게 배치된다. 상기 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 변들과 접촉하여 배치될 수도 있고, 상기 제2기판(200)의 변들과 소정거리 이격되어 배치될 수도 있다.

다만, 상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)에서 소정의 거리 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)에서 소정의 거리 이격되어 배치되어, 상기 제2기판(200)과 접촉을 최소화할 수 있기 때문이다. 즉, 상기 제2기판(200)이 슬라이딩하는 경우 상기 제2기판(200)과 접촉하여 상기 제2기판(200)이 위치를 유지할 수 있도록 하지만, 상기 제2기판(200)이 슬라이딩하지 않으면 상기 제2기판(200)과 접촉하지 않기 위함이다. 상기 제2기판(200)은 두께가 매우 얇은 것으로서 상기 가이드기구(5)와 접촉이 많아질수록 휘거나 찌그러질 염려가 있기 때문이다. 따라서, 상기 제2기판(200)과 상기 가이드기구(5)를 포함한 다른 구성과 접촉을 최소화하는 것이 바람직하다.

도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 가이드기구(5)는 얇은 봉 형상으로 형성된다. 상기 가이드기구(5)는 상기 제2스테이지(4)에 설치된다. 상기 가이드기구(5)는 상기 제2스테이지(4)에 설치되며, 상기 제2스테이지(4)에서 상기 제1스테이지(3)까지 연장되어 형성된다. 즉, 상기 가이드기구(5)는 상기 제2스테이지(4)에서 상기 제1스테이지(3)에 이르는 얇은 봉 내지 핀 형상으로 형성된다.

상기 제2기판(200)은 디스플레이장치의 형상에 대응되도록 직사각형 형상으로 형성된다. 이러한 상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 네 변(邊) 각각에 하나씩 배치된다. 즉, 상기 제2기판(200)의 네 변은 각각 하나의 가이드기구(5)에 의해 가이드된다. 상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 네 변에 각각 인접하게 배치되어 상기 제2기판(200)이 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 경우에 상기 제2기판(200)의 네 변을 구속하여 상기 제2기판(200)의 슬라이딩을 방지한다.

또한, 상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 네 변에 모두 인접하게 배치되어 상기 제2기판(200)이 회전하는 것을 방지한다. 상기 제2기판(200)의 일부 변에만 인접하게 상기 가이드기구(5)가 배치되면, 상기 제2기판(200)이 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 과정에서 상기 제2기판(200)의 중심을 기준으로 수평 방향을 따라 회전할 수 있다. 이렇게 상기 제2기판(200)이 회전하는 경우에도 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 서로 틀어져서 합착된다. 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 서로 틀어져서 합착되어 형성되면, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 합착되어 형성되는 합착기판은 품질이 저하될 뿐만 아니라 불량품으로서 디스플레이장치에 사용할 수 없게 될 수도 있다. 다만, 상기 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 네 변 각각에 모두 배치되어 상기 제2기판(200)의 회전을 방지한다. 또한, 상술한 바와 같이 상기 제2기판(200)이 슬라이딩하는 것을 방지하므로 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 틀어져서 합착되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 디스플레이장치의 품질을 향상시킬 수 있다.

도 4를 참고하면, 상기 복수개의 가이드기구(5)은 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 인접하게 복수개가 설치될 수 있다. 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 배치된 복수개의 가이드기구는 서로 이격되어 설치될 수 있다. 상기 제2기판(200)의 각 변(邊)들은 복수개의 가이드기구(5)에 의해 구속된다. 도면에 도시된 바에 의하면 사익 제2기판(200)의 각 변들은 2개의 가이드기구(5)에 의해 구속된다. 가이드기구(5)의 수는 2개보다 많을 수 있다.

상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 복수개가 배치되어, 상기 제2기판(200)의 변들 각각을 안정적으로 구속할 수 있다. 즉, 상기 제2기판(200)이 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 과정에서 일어나는 슬라이딩이나 회전을 안정적으로 방지할 수 있다. 상기 제2기판(200)이 회전하거나 슬라이딩하여 상기 복수개의 가이드기구(5)와 접촉하는 경우에 복수개의 가이드기구(5)와 접촉하게 되므로 상기 가이드기구(5)와 상기 제2기판(200) 사이에 발생하는 충격이 분산된다. 상기 가이드기구(5)와 상기 제2기판(200) 사이에 발생하는 충격이 분산되므로 상기 가이드기구(5)와 상기 제2기판(200)이 접촉하면서 발생하는 상기 제2기판(200)의 파손을 저하시킬 수 있다. 따라서, 상기 복수개의 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)을 더욱 안정적으로 가이드할 수 있다.

도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 가이드기구(5)는 판 형상으로 형성될 수 있다. 상기 가이드기구(5)는 가이드면(51)을 포함할 수 있다. 상기 가이드기구(5)는 상기 가이드면(51)이 상기 제2기판(200)의 각 변에 인접하도록 배치된다. 상기 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 적어도 하나씩 설치된다. 즉, 상기 제2기판(200)의 변들 각각에는 적어도 하나의 상기 가이드기구(5)가 설치된다.

상기 가이드면(51)은 수직한 방향으로는 상기 제1스테이지(3)에서 상기 제2스테이지(4)에 이를 수 있는 크기로 형성된다. 또한, 상기 가이드면(51)은 수평한 방향으로는 상기 제2기판(200)의 각 변들을 안정적으로 가이드할 수 있을 정도의 크기로 형성된다. 상기 가이드면(51)이 수평한 방향으로 넓게 형성될수록 상기 제2기판(200)을 더욱 안정적으로 가이드할 수 있을 것이다.

상기 가이드기구(5)의 상기 가이드면(51)은 상기 제2기판(200)의 변들 각각을 구속하여 상기 제2기판(200)의 슬라이딩과 회전을 방지한다. 특히, 상기 제2기판(200)이 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 과정에서 슬라이딩하거나 회전하는 경우에, 상기 제2기판(200)의 각 변들은 상기 가이드면(51)과 넓은 면적으로 접촉하게 된다. 따라서, 상기 제2기판(200)과 상기 가이드기구(5) 사이에 발생하는 충격이 분산된다. 이로 인해, 상기 제2기판(200)과 상기 가이드기구(5)가 접촉하여 발생하는 상기 제2기판(200)의 파손을 저하시킬 수 있다.

도 7 및 도8을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 위치를 감지하는 정렬기구(6)를 포함할 수 있다. 상기 정렬기구(6)는 상기 제2스테이지(4)에 설치된다. 상기 정렬기구(6)는 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 위치를 감지하여 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 정렬될 수 있도록 한다.

상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 투명한 글래스 상태의 기판으로 그 자체에 정렬마크가 형성되어 있지 않다. 따라서, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 정렬하기 위해서 상기 정렬기구(6)가 필요하다. 특히, 상기 정렬기구(6)는 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 위치를 감지하여 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 정렬되도록 한다. 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 코너 부분 또는 각 변(邊)들의 위치를 감지하여 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 정렬되도록 한다.

예를 들면, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200) 각각의 4개의 코너부분의 위치를 감지하여 좌표화한다. 좌표화된 상기 코너 부분의 위치를 통해 상기 제1기판(100)의 중심인 제1중심(UC)과 상기 제2기판(200)의 중심인 제2중심(BC)을 확인한다. 확인된 상기 제1중심(UC)과 상기 제2중심(BC)을 동일한 수직선 상에 위치하도록 하여 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 1차적으로 정렬한다. 다음으로, 상기 제1기판(100)의 변들 중 하나와 상기 제2기판(200)의 변들 중 하나를 선택한다. 선택된 상기 제1기판(100)의 변과 상기 제2기판(200)의 변이 나란하게 배치되도록 2차적으로 정렬한다. 이렇게 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 정렬한 후 상기 제2기판(200)을 상기 제1기판(100)을 향해 낙하시킨다.

상기 정렬기구(6)는 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 각 변의 위치를 감지할 수도 있다. 상기 정렬기구(6)가 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 각 변의 위치를 감지하는 경우에도 상술한 것과 같이 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 중심을 통해 1차적으로 정렬한 후 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 변들이 나란하게 배치되도록 2차적으로 정렬을 수행할 수 있다.

앞에서 상기 정렬기구는 2단계를 통해 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 정렬하였으나, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 정렬할 수 있으면, 하나의 단계만을 거쳐 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 정렬할 수도 있다. 즉, 앞에서 설명한 1차정렬과 2차정렬 중 하나만 수행될 수도 있다.

상기 정렬기구(6)는 비전센서를 포함할 수 있다. 다만, 상기 정렬기구(6)는 비전센서에 한정되는 것은 아니고 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 위치를 감지할 수 있는 다른 수단도 포함할 수 있다 .

상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 정렬하는 과정에서 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200) 중 적어도 하나를 이동시킬 필요가 있다. 도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 위치를 정렬하기 위해 상기 제1스테이지(3)와 상기 제2스테이지 중 적어도 하나를 이동시키는 이동수단을 포함할 수 있다. 상기 이동수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터(Linear Motor) 등을 이용한 방식 등이 사용될 수 있다.

도 7을 참고하면, 상기 정렬기구(6)는 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 코너 부분을 감지할 수 있는 위치에 위치하도록 상기 제2스테이지(4)에 설치된다. 도면에 도시된 바에 의하면 상기 제2스테이지(4)는 코너 부분이 개방되어 전체적으로 십자 형상으로 형성된다. 상기 정렬기구(6)는 상기 제2스테이지(4)의 코너 부분에 각각 설치된다. 다만, 도면에 도시된 바와 달리 상기 제2스테이지(4)는 사각형 형상으로 형성되고, 상기 정렬기구(6)는 상기 제2스테이지(4)를 관통하여 설치될 수도 있다.

상기 정렬기구(6)는 상기 제2스테이지(4)가 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상기 정렬기구(6)는 이동하면서 상기 제1기판(100)와 상기 제2기판(200)의 코너 부분 또는 각 변들을 감지할 수 있다.

도 9 및 도 10을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는상기 가이드기구(5)를 구동시키는 구동유닛(52)을 더 포함할 수 있다.

상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 상기 제1스테이지(3) 및 상기 제2스테이지(4)에 지지될 때 항상 같은 위치에 지지될 수는 없다. 따라서, 상기 가이드기구(5)의 위치가 고정되어 있으면 상기 제2기판(200)이 상기 정렬기구(6)에 의해 정렬된 위치와 다른 방향으로 가이드되어 상기 제1기판(100)과 합착될 수도 있다.

또한, 상기 제2기판(200)의 각 변과 상기 가이드기구(5)는 인접할수록 상기 가이드기구(5)가 정확하게 상기 제2기판(200)을 가이드할 수 있는데, 상기 가이드기구(5)가 상기 제2기판(200)과 최대한 인접하게 배치되어 고정되어 있으면, 상기 제2기판(200)을 상기 제2스테이지(4)에 지지할 때 정밀하게 지지시켜야 하므로 어려움이 있다. 혹시, 상기 제2기판(200)을 정밀하게 조정하지 못하여 상기 제2기판(200)과 상기 가이드기구(5)가 충돌하게 되면 상기 제2기판(200)이 파손될 염려가 있다.

따라서, 상기 가이드기구(5)는 상기 제2기판(200)에서 소정의 거리 이격된 상태로 위치하고, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 정렬이 완료된 후에 상기 가이드기구(5)가 상기 제2기판(200)에 인접하게 이동하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 정렬된 상태대로 상기 가이드기구(5)가 상기 제2기판(200)을 가이드할 수 있다. 또한, 상기 제2기판(200)을 상기 제2스테이지(4)에 지지시키는 때에도 상기 제2기판(200)을 정밀하게 조정하지 않아도 상기 가이드기구(5)와 충돌하는 것을 방지할 수 있다.

도 9를 참고하면, 상기 구동유닛(52)은 상기 가이드기구(5)를 직선 이동시켜 상기 가이드기구(5)를 이동시킨다. 상기 구동유닛(52)은 상기 제2기판(200)에서 이격되어 있는 상기 가이드기구(5)를 직선운동시켜 상기 제2기판(200)에 인접하게 위치하게 한다. 상기 구동유닛(52)은 상기 가이드기구(5)을 직선 이동시킬 수 있는 수단을 포함한다. 예를 들어 상기 구동유닛(52)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터 등을 이용한 방식일 수 있다.

도 10을 참고하면, 상기 구동유닛(52)은 상기 가이드기구(5)를 회전 이동시켜 상기 가이드기구(5)를 이동시킨다. 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 구동유닛(52)과 상기 가이드기구(5)를 연결하는 캠유닛(53)을 더 포함할 수 있다.

상기 캠유닛(53)의 중심은 상기 구동유닛(52)에 연결된다. 상기 가이드기구(5)는 상기 캠유닛(53)의 중심에서 일측으로 치우쳐 상기 캠유닛(53)에 연결된다. 상기 구동유닛(52)은 상기 캠유닛(53)을 회전시킨다. 상기 캠유닛(53)이 회전하면, 상기 캠유닛(53)의 중심에서 일측으로 치우쳐 있는 상기 구동유닛(52)은 상기 캠유닛(53)의 중심을 회전축으로하여 원을 그리면서 회전 이동을 한다. 이러한 상기 구동유닛(52)의 회전 이동에 의해 상기 제2기판(200)과 이격되어 있던 상기 구동유닛(52)이 상기 제2기판(200)에 인접하게 위치된다.

상기 구동유닛(52)은 상기 캠유닛(53)을 회전시킬 수 있는 수단을 포함한다. 예를 들어 상기 구동유닛(52)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터 등을 이용한 방식일 수 있다.

도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1기판(100)을 상기 제1스테이지(3)에 안착시키는 안착기구(7)를 포함할 수 있다. 상기 안착기구(7)는 상기 제1기판(100)을 상기 제1스테이지(3) 상에 부드럽게 안착시킨다.

상기 제1기판(100)을 상기 제1스테이지(3) 상에 안착시킬 때에 압착 등을 이용하는 경우, 상기 제1기판(100)의 두께가 너무 얇기 때문에 상기 제1기판(100)이 휘어지거나 파손되는 문제가 있다. 따라서, 상기 안착기구(7)를 이용하여 상기 제1기판(100)을 상기 제1스테이지(3)에 부드럽게 안착시키고 상기 제1기판(100)의 파손을 방지한다.

상기 안착기구(7)는 상기 제1스테이지(3)를 관통하여 설치된다. 즉, 상기 안착기구(7)의 단부가 상기 제1스테이지(3)의 상부로 돌출되도록 상기 제1스테이지(3)에 설치된다. 상기 제1기판(100)은 먼저 상기 안착기구(7) 상에 안착된다. 즉, 상기 제1기판(100)은 상기 안착기구(7)의 단부에 안착된다. 상기 제1기판(100)이 안착된 상기 안착기구(7)는 하강하면서 상기 제1기판(100)을 상기 제1스테이지(3) 상에 부드럽게 안착시킨다. 상기 안착기구(7)는 상기 안착기구(7)의 단부가 상기 제1스테이지(3)의 상부로 돌출되지 않도록 하강한다.

상기 안착기구(7)는 상기 제1기판(100)이 안착되는 안착부(71)와 상기 제1기판(100)의 이동을 제한하는 제한부(72)를 포함할 수 있다. 상기 안착부(71)와 상기 제한부(72)는 얇은 핀 형상으로 형성될 수 있다. 상기 안착부(71)와 상기 제한부(72)는 상기 제1스테이지(3)를 관통하도록 상기 제1스테이지(3)에 설치된다. 상기 안착부(71)와 상기 제한부(72)는 일체로 형성될 수도 있다.

상기 안착부(71)는 얇은 핀 형상을 가져 상기 제1기판(100)이 그 위에 안착되더라도 상기 제1기판(100)과 접촉을 최소화한다. 상기 제1기판(100)과 상기 안착기구(7)의 상기 안착부(71)의 접촉이 최소화되면 상기 제1기판(100)의 파손을 최소화할 수 있다.

상기 제한부(72)는 상기 제1기판(100)의 이동을 방지한다. 상기 제1기판(100)은 상기 제2기판(200)과 달리 낙하하거나 이동하지 않지만, 합착 공정이 진행되는 중에 이동할 수가 있다. 특히, 상기 제2기판(200)과 정렬하는 중에 상기 제1스테이지(3)가 이동하면서 상기 제1기판(100)이 위치에서 이동할 수 있다. 또한, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 합착하는 공정이 진공 중에서 진행되는 때에 상기 공정챔버 내부를 진공으로 만드는 과정에서 상기 제1기판(100)이 움직일 수 있다.

이렇게 상기 제1기판(100)이 이동하게 되면 정렬된 상기 제2기판(200)와 틀어진 상태로 합착될 수 있다. 또한, 상기 제1기판(100)이 이동하면서 상기 제1스테이지(3)에서 벗어나 파손될 염려가 있다. 상기 제한부(72)는 위와 같은 문제를 해결하기 위해 상기 제1기판(100)의 각 변을 구속하여 상기 제1기판(100)의 이탈을 방지하는 기능을 수행한다.

이하에서는 본 발명에 따른 합착기판 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2 내지 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 디스플레이장치를 제조하기 위해 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 합착함으로써, 합착기판을 제조하기 위한 것이다. 상기 합착기판은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정을 거쳐 슬림화된 디스플레이장치로 제조될 수 있다. 상기 합착기판은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 완료되기 전에, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)이 분리됨으로써, 슬림화된 디스플레이장치로 제조될 수 있다. 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상술한 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치를 이용하여 수행될 수 있다. 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.

우선, 상기 제1기판(100)을 상기 제1스테이지(3)에 위치시킨다. 이러한 공정은, 상기 안착기구(7)에 상기 제1기판(100)이 1차적으로 안착된 후에, 상기 안착기구(7)가 하강하면서 상기 제1기판(100)을 상기 제1스테이지(3) 상에 안착시키면서 이루어진다. 상기 제1기판(100)의 파손을 방지하기 위해 상기 안착기구(7)가 상기 제1기판(100)을 상기 제1스테이지(3)에 부드럽게 안착시킨다.

다음, 상기 제1스테이지(3)에 지지된 상기 제1기판(100)과 합착되는 상기 제2기판(200)을 상기 제2스테이지(4)에 위치시킨다. 이러한 공정은, 상기 제2기판(200)이 흡입력, 정선력, 점착력 중에서 어느 하나에 의해 상기 제2스테이지(4)에 부착되면서 이루어질 수 있다.

다음, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 위치를 정렬한다. 이러한 공정은, 상기 정렬기구(6) 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 위치를 감지한 후에, 상기 제1스테이지(3)와 상기 제2스테이지(4) 중 적어도 하나가 움직이면서 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 이동시키면서 이루어질 수 있다.

다음, 상기 제2스테이지(4)에서 상기 제1스테이지(3)에 지지된 상기 제1기판(100)을 향해 낙하하는 상기 제2기판(200)의 위치를 가이드한다. 이러한 공정은, 상기 가이드기구(5)가 낙하하는 상기 제2기판(200)의 이동을 구속하면서 이루어질 수 있다.

상기 제2기판(200)의 위치를 가이드하는 공정은 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 인접하게 복수개의 상기 가이드기구(5)를 위치하게 하는 공정을 포함할 수 있다. 상기 가이드기구(5)는 상기 제2스테이지(4)에서 상기 제1스테이지(3)에 이르기까지 연장되어 형성된다. 위와 같은 상기 가이드기구(5)가 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 인접하게 배치되면서 상기 제2기판(200)의 변들을 구속하고, 이에 의해 상기 제2기판(200)의 슬라이딩 또는 회전이 방지된다.

다음, 상기 제1스테이지(3)에 지지된 상기 제1기판(100)에 상기 제2기판(200)이 접촉되면, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 합착시킨다. 이러한 공정은 상기 제2기판(200)이 상기 제2스테이지(4)에서 이격되어 상기 제1기판(100)과 접촉하면서 이루어질 수 있다.

도 2 내지 도 12를 참고하면, 상기 제2기판(200)의 위치를 가이드하는 공정은 상기 복수개의 가이드기구(5)가 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 인접하도록 상기 가이드기구(5)를 이동하는 공정을 포함할 수 있다. 이러한 공정은 상기 구동유닛(52)이 상기 제2기판(200)에서 이격되어 위치하는 상기 가이드기구(5)를 이동하게 하여 이루어질 수 있다. 상기 구동유닛(52)은 상기 가이드기구(5)를 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 인접하도록 이동시킨다.

도 2 내지 도 12를 참고하면, 상기 제1기판과 제2기판의 위치를 정렬하는 공정은, 먼저 제1기판과 제2기판의 위치를 감지한다. 이러한 공정은 상기 정렬기구가 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 코너 부분 또는 각 변의 위치를 감지하여 이루어질 수 있다.

다음, 상기 제1기판(100)의 중심과 상기 제2기판(200)의 중심이 정렬되도록 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 이동시킨다. 상기 정렬기구(6)에 의해 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 코너 부분 또는 각 변의 위치가 감지되면, 이를 좌표화하여 상기 제1기판(100)의 제1중심(UC)과, 상기 제2기판(200)의 제2중심(BC)을 검출한다. 그 후, 상기 제1스테이지(3)와 상기 제2스테이지(4) 중 적어도 하나가 이동하면서 상기 제1중심과, 상기 제2중심(BC)이 동일한 수직선 상에 위치하도록 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)을 정렬한다.

도 2 내지 도 12를 참고하면, 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 위치를 정렬하는 공정이 상기 제2기판(200)의 변들의 위치를 감지하는 공정을 포함하면, 상기 제2기판(200)의 위치를 가이드하는 공정은 감지된 상기 제2기판(200)의 위치에 따라 상기 복수개의 가이드기구(5)를 상기 제2기판(200)의 변들에 인접하게 이동시킨다. 상기 정렬기구(6)에 의해 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)의 코너 부분 또는 변들의 위치를 감지되면, 상기 제2기판(200)의 변들 각각의 위치가 좌표로 검출된다. 상기 제2기판(200)의 변들 각각의 위치가 좌표로 검출되면, 상기 구동유닛(52)이 상기 가이드기구(5)를 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 인접하게 이동시킨다. 상기 구동유닛(52)이 상기 제2기판(200)의 변들 각각에 인접하게 되면, 상기 가이드기구(5)이 상기 제2기판(200)을 안정적으로 가이드할 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 한편, 상기에서는 상기 제1기판(100)과 제2기판(200)이 글래스로 제조되는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 제1기판(100)과 상기 제2기판(200)은 유연성(Flexibility)을 갖는 플라스틱 기판, 메탈 기판 등으로 제조될 수도 있다.

1 : 합착장치 2 : 챔버유닛
3 : 제1스테이지 4 : 제2스테이지
21 : 제1챔버 22 : 제2챔버
100 : 제1기판 200 : 제2기판

Claims (10)

1. 디스플레이장치를 제조하기 위한 제1기판과 제2기판을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛;
   상기 챔버유닛 내부에 위치하고, 제1기판을 지지하기 위한 제1스테이지;
   상기 제1스테이지로부터 이격되어 상기 챔버유닛 내부에 위치하는 제2스테이지;
   상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판을 향해 낙하하는 제2기판의 위치를 가이드하도록 상기 제2스테이지에 설치되는 복수개의 가이드기구; 및
   상기 제1스테이지를 관통하여 설치되고 상기 제1기판이 안착되는 안착부와 상기 제1기판의 이동을 제한하는 제한부를 포함하는 안착기구;를 포함하고,
   상기 가이드기구는 상기 제2스테이지에서 상기 제2기판이 지지되는 면에서 상기 제1스테이지에서 상기 제1기판이 지지되는 면까지 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 복수개의 가이드기구는 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판을 향해 낙하하는 제2기판의 움직임을 제한하도록 제2기판의 변들 각각에 인접하게 설치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 복수개의 가이드기구는 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판을 향해 낙하하는 제2기판의 회전을 방지하도록 제2기판의 변들 각각에 복수개 설치되고,
   제2기판의 변들 각각에 배치된 복수개의 가이드기구는 서로 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 복수개의 가이드기구는 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판을 향해 낙하하는 제2기판의 움직임과 회전을 방지하는 가이드면을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 제1스테이지에 지지된 제1기판과 상기 제2스테이지에서 제1기판을 향해 낙하하는 제2기판의 위치를 감지하는 정렬기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 복수개의 가이드기구는 제2기판에 인접하게 위치되도록 상기 제2스테이지에 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.
7. 제1기판을 제1스테이지에 위치시키는 단계;
   상기 제1스테이지에 지지된 제1기판과 합착되는 제2기판을 제2스테이지에 위치시키는 단계;
   제1기판과 제2기판의 위치를 정렬하는 단계;
   상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지에 지지된 제1기판을 향해 낙하하는 제2기판의 위치를 가이드하는 단계; 및
   상기 제1스테이지에 지지된 제1기판에 제2기판이 접촉되면, 제1기판과 제2기판을 합착시키는 단계를 포함하고,
   상기 제1기판을 상기 제1스테이지에 위치시키는 단계는 상기 제1스테이지를 관통하여 설치된 안착기구의 안착부가 상기 제1스테이지의 상부로 돌출되지 않게 하강하면서 상기 제1기판을 상기 제1스테이지 상에 안착시키며, 상기 안착부의 양측에 설치된 제한부는 상기 제1 기판의 각각의 변을 구속하여 이탈을 방지하면서 이루어지고,
   상기 제2기판의 위치를 가이드하는 단계는 제2기판의 변들 각각에 인접하게 복수개의 가이드기구를 위치하게 하는 단계를 포함하며,
   상기 가이드기구는 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지까지 연장되어 형성된 것을 특징으로 하는 합착기판 제조방법.
8. 제7항에 있어서,
   상기 제2기판의 위치를 가이드하는 단계는 상기 복수개의 가이드기구가 제2기판의 변들 각각에 인접하도록 상기 가이드기구를 이동하는 단계를 포함하는 합착기판 제조방법.
9. 제7항에 있어서, 상기 제1기판과 제2기판의 위치를 정렬하는 단계는,
   제1기판과 제2기판의 위치를 감지하는 단계;
   제1기판의 중심과 제2기판의 중심이 정렬되도록 제1기판과 제2기판을 이동시키는 단계를 포함하는 합착기판 제조방법.
10. 제7항에 있어서,
    상기 제1기판과 제2기판의 위치를 정렬하는 단계는 제2기판의 변들의 위치를 감지하는 단계를 포함하고,
    상기 제2기판의 위치를 가이드하는 단계는 감지된 제2기판의 위치에 따라 상기 복수개의 가이드기구를 제2기판의 변들에 인접하게 이동시키는 단계를 포함하는 합착기판 제조방법.

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