KR101962842B1 - 마그네틱 콜릿 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 소자를 픽업 및 이송하는 마그네틱 콜릿에 관한 것으로,
보다 상세하게는 콜릿의 일부 구성인 플레이트와 러버 간의 결합에 있어서, 구간 별 블록화된 결합수단을 도입함으로써, 다운 포스 시 뒤틀림 등과 같은 외력에 대한 저항성이 강하고, 고속 동작 하에서도 그 내구성이 탁월한 마그네틱 콜릿 및 그 제조방법에 관한 것이다.

Description

마그네틱 콜릿 및 그 제조방법{MAGNETIC COLLET AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 반도체 소자를 픽업 및 이송하는 마그네틱 콜릿에 관한 것으로,
보다 상세하게는 콜릿의 일부 구성인 플레이트와 러버 간의 결합에 있어서, 구간 별 블록화된 결합수단을 도입함으로써, 다운 포스 시 뒤틀림 등과 같은 외력에 대한 저항성이 강하고, 고속 동작 하에서도 그 내구성이 탁월한 마그네틱 콜릿 및 그 제조방법에 관한 것이다.
반도체 패키지는 반도체 소자를 외부 환경으로부터 보호하며 전자 시스템에 물리적으로 접합하고 전기적으로 접속시키는 기능을 가진다. 오늘날의 패키지 기술은 반도체 소자의 성능과 최종 제품의 가격, 성능, 신뢰성 등을 좌우할 만큼 그 중요성이 매우 커지고 있다.
일반적으로 반도체 패키지 조립 공정 중에서 개별 소자(또는 다이, die)를 웨이퍼(Wafer)에서 분리하여 리드프레임 또는 인쇄회로기판(PCB)과 같은 기판에 에폭시 접착제를 이용하여 붙이는 공정을 소자 부착 공정이라 한다. 이는 웨이퍼 상에 그룹으로 있던 소자들을 개별적으로 분리하여 제품화하는 첫 단계이며, 이에 따라 소자 부착 공정을 수행하기 위해서는 웨이퍼를 개별 소자 단위로 절단하여 분리시키는 공정이 선행되어야 한다.
이와 같이 반도체 소자 패키지 공정은 복수 개의 소자가 형성된 웨이퍼를 개별 소자 단위로 절단하고, 절단된 개별 소자를 패키지 본체에 접착하는 소자 부착 공정을 위해, 절단된 개별 소자를 픽업하여 패키지 본체의 실장부에 이송하는 공정이 요구된다. 이때 웨이퍼로부터 반도체 소자를 픽업(Pick-up)하여 이송하는 반도체 소자 이송장치 중 소자와 직접 접하여 픽업하는 부분을 바로 콜릿(collet)이라고 한다.
일반적으로 콜릿은 바디, 플레이트 및 러버로 이루어지는데, 특히 플레이트와 러버, 그 중에서도 러버는 잦은 교체를 위해 착탈식으로 결합되는 것이 일반적이다. 이를 위해 마그네틱 콜릿은 바디에 마그네트를 구비하고, 플레이트를 자성체 금속(자석에 달라붙는 성질을 가진 금속)으로 구성하여 바디와 [플레이트-러버] 간의 결합 및 분리가 용이하게 이루어지도록 하였다.
이러한 마그네틱 콜릿에 관한 종래의 기술로, 등록특허 제10-1385444호(2014년04월09일)[반도체 칩 픽업 이송용 콜렛](이하 종래기술)이 있는데, 종래기술은 플레이트와 러버(해당 문헌에서는 흡착러버) 간의 결합을 위해 러버 결합공(220, 220`)을 구비하여, 플레이트와 러버 간의 결합력을 강화하고 있다.
그러나 러버 결합공(이하 인서트-홀)의 구비는, 다운포스 시 발생하는 뒤틀림 등과 같은 외력에 대한 저항성을 약화시키고, 특히 고속 동작 시에는 내구성이 저하되는 문제점을 가지고 있다. 따라서 이를 해결할 수 있는 기술의 필요성이 재고되는 바이다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로,
순차 배열된 돌기-홈 또는 홈-돌기 구조를 갖는 제1 및 제2결합부를 플레이트와 러버에 각각 구비함으로써, 플레이트와 러버 간의 결합에 있어서, 다운 포스 시 뒤틀림 등과 같은 외력에 대한 저항성이 강하고, 고속 동작 하에서도 그 내구성이 탁월한 마그네틱 콜릿을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 고유의 접착제를 통해 플레이트와 러버 간의 결합력을 보다 강화시키는 것을 목적으로 한다.
아울러 고유의 바디, 장착수단 및 탈착수단을 제시함으로써, 바디와 [플레이트-러버] 간의 결합 및 분리를 용이하게 하며, 이를 통해 작업의 편의성 형상, 작업 공정 단순화, 공임 절감, 원가 절감 등의 효과를 제공하는 것을 목적으로 한다.
나아가 플레이트와 러버 간의 접착을 냉온 가공을 통해 실현하여, 고온에 의해 접착제가 흘러서 결합력이 약화되거나 또는 제품 성능 저하가 발생하는 것을 방지하고, 고온 열팽창에 의해 제품 결함 발생률이 상승하는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 갖는 본 발명에 따른 마그네틱 콜릿은,
제1결합부를 구비한 플레이트, 그리고 상기 제1결합부에 상응하는 제2결합부를 구비한 러버를 포함하되, 상기 제1결합부는 순차 배열된 돌기와 홈으로 이루어지고, 상기 제2결합부는 순차 배열된 홈과 돌기로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제1 및 제2결합부의 경계에 구비되는 접착제를 더 포함하되, 상기 접착제는, 메탄올(Methanol), 1-뷰탄올(1-Butanol), 티탄(4+) 염류(Titanium(4+) salt) 및, 아세토아세트산 에틸(Ethyl acetoacetate)을 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
아울러 상기 플레이트를 수용하는 수용부를 포함하는 바디, 그리고 상기 수용부에 구비된 마그네트 및, 상기 바디의 일 측면에는 형성된 오목홈을 포함하여, 상기 플레이트를 상기 수용부에 결합시키는 장착수단, 그리고 상기 바디에 형성된 설치공 및, 상기 설치공에 삽입되어 일단은 외부로 노출되고 타단은 상기 수용부 측으로 돌출되어 상기 플레이트에 접촉하는 누름부재를 포함하여, 상기 수용부로부터 상기 플레이트를 분리하는 탈착수단을 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
나아가 본 발명에 따른 마그네틱 콜릿의 제조방법은, 상기 제1결합부와 상기 제2결합부를 결합함으로써, 상기 플레이트와 상기 러버를 결합시키는 단계(S1) 및, 상기 제1 및 제2결합부의 경계에 상기 접착제를 도포하는 단계(S2)를 포함하되, 상기 (S2)단계는, 100 ~ 150℃에서 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 구성, 단계 및 특징으로 이루어진 본 발명은
플레이트와 러버 간의 결합에 있어서, 다운 포스 시 뒤틀림 등과 같은 외력에 대한 저항성이 강하고, 고속 동작 하에서도 그 내구성이 탁월하며, 또한 고유의 접착제를 통해 플레이트와 러버 간의 결합력이 보다 강화되었고, 아울러 바디와 [플레이트-러버] 간의 결합 및 분리를 용이하게 함으로써 작업의 편의성 형상, 작업 공정 단순화, 공임 절감, 원가 절감 등의 효과를 갖고, 나아가 냉온 가공을 통해 고온에 의해 접착제가 흘러서 결합력이 약화되거나 또는 제품 성능 저하가 발생하는 것을 방지하고, 고온 열팽창에 의해 제품 결함 발생률이 상승하는 것을 방지할 수 있다는 효과를 갖는다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 사시도.
도 3은 본 발명의 측면도 및 평면도.
도 4는 본 발명의 추가적인 구성에 관한 상세도.
도 5는 본 발명의 일 실시예.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 명세서에서 기재한 ~제1~, ~제2~ 등은 서로 다른 구성 요소들임을 구분하기 위해서 지칭할 것일 뿐, 제조된 순서에 구애받지 않는 것이며, 발명의 상세한 설명과 청구범위에서 그 명칭이 일치하지 않을 수 있다.
본 발명은 콜릿의 일부 구성인 플레이트와 러버 간의 결합에 있어서, 구간 별 블록화된 결합수단을 도입함으로써, 다운 포스 시 뒤틀림 등과 같은 외력에 대한 저항성이 강하고, 고속 동작 하에서도 그 내구성이 탁월한 마그네틱 콜릿 및 그 제조방법에 관한 것이다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 마그네틱 콜릿(이하 본 장비(C)) 및 그 제조방법(이하 본 방법)에 대해 상세하게 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 사시도이고, 도 3은 측면도와 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 장비(C)는 상호 결합되는 플레이트(1)와 러버(2)를 포함한다. 또한 추가적인 구성으로, 바디(4)를 더 포함할 수 있다.
보다 구체적으로, 플레이트(1)는 바디(4)에 결합되는 구성인데, 본 장비(C)는 마그네틱 콜릿에 관한 것인 바, 플레이트(1)와 바디(4) 간의 결합은 자성을 이용한 착탈 결합으로 이루어지게 된다. 이에 따라 플레이트(1)는 강자성체, 즉 자석에 달라붙는 성질을 가진 금속으로 이루어져야 한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 플레이트(1)는 러버(2)가 결합될 수 있도록 제1결합부(11)를 구비하는데, 특히 제1결합부(11)는 순차 배열된 돌기(111)와 홈(112)으로 이루어지고, 더하여 결합력 강화와 구간 별 블록 설정을 가능하게 하기 위해 제1결합부(11)의 돌기(111)와 홈(112)은 플레이트(1)의 전체 길이에 걸쳐서 형성되는 것이 바람직하다.
다음으로, 러버(2)는 반도체 소자가 흡착 및 접촉되는 구성으로, 상기한 플레이트(1)에 결합되며, 이를 위해 제1결합부(11)에 상응하는 제2결합부(21)를 구비한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 제2결합부(21)는 순차 배열된 홈(211)과 돌기(212)로 이루어지는데, 제1결합부(11)의 돌기(111)와 제2결합부(21)의 홈(211)이 상호 결합되고, 제1결합부(11)의 홈(112)과 제2결합부(21)의 돌기(212)가 상호 결합된다.
물론 상기한 바와 같이, 제1결합부(11)의 돌기(111)와 홈(112)이 플레이트(1) 전체 길이에 걸쳐 형성되는 경우, 제2결합부(21)의 홈(211)과 돌기(212)도 러버(2)의 전체 길이에 걸쳐 형성되는 것이 바람직할 것이다.
상기 구성 및 특징을 갖는 본 발명은 제1결합부(11)와 제2결합부(21)를 통해 접착제만으로 부족한 결합력을 보다 강화하여 장비의 내구성 향상을 제공하며, 특히 플레이트(1)에서 러버(2)가 착탈 가능하게 결합되기 때문에 러버(2)의 유지 및 보수가 용이하게 이루어진다는 효과가 있다.
아울러 러버(2)의 결합을 위한 인서트-홀과 같은 추가적인 결합수단을 마련하지 않아도 되므로, 제조 용이성 및 이에 따르는 공임, 제조원가 등의 절감 효과를 동반할 수 있다.
나아가 인서트-홀의 삭제를 통해, 다운포스 시 발생하는 뒤틀림 등과 같은 외력에 대한 저항성이 강화되고, 고속 동작 하에서도 우수한 내구성을 보장할 수 있다.
추가로 본 발명은 금형을 통한 러버(2)의 제작 시, 플레이트(1)가 금형의 역할을 한다는 점에서 또 다른 장점을 갖는다.
이하 첨부된 도면을 참고하여, 본 발명의 보다 세부적인 특징, 추가적인 특징 및 그 효과에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 본 장비(C)는 제1 및 제2결합부(11)(21)의 경계에 구비되는 접착제를 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
상기한 바와 같이, 기본적으로 본 발명은 플레이트(1)와 러버(2) 간의 착탈 결합을 기본으로 하지만, 필요에 따라 플레이트(1)의 제1결합부(11)와 러버(2)의 제2결합부(21) 사이에 접착제를 도포하여 그 결합력을 보다 강화할 수 있다.
특징적인 것은, 본 발명에서 사용되는 접착제가 메탄올(Methanol), 1-뷰탄올(1-Butanol), 티탄(4+) 염류(Titanium(4+) salt) 및, 아세토아세트산 에틸(Ethyl acetoacetate)을 포함할 수 있다는 것이다.
각 조성물 별로, 메탄올에 관한 내용은 이미 널리 공지된 사항이므로, 구체적인 설명은 생략하기로 하며, 이러한 메탄올은 접착제 100 중량부에 대하여 70 내지 80 중량부가 사용될 수 있으며, 70 중량부 미안인 경우 접착성이 저하되고, 80 중량부 초과인 경우 호흡기계 자극, 중추신경계, 시신경계에 독성을 미칠 수 있다.
1-뷰탄올은 아세톤뷰탄올 발효에 의해 아세톤과 함께 제조될 수 있고, 메탄올에 대한 용제로 사용된다.
티탄(4+) 염류는 상기한 다른 조성물과 함께 작용하여 접착성을 제공하기 위해 사용되며, 1-뷰탄올과 티탄(4+) 염류는 둘을 합쳐, 접착제 100 중량부에 대하여 1 내지 10 중량부가 사용되는 것이 바람직하다.
아세토아세트산 에틸은 아세트산에틸에 나트륨을 작용시켜 증류하거나 또는 에틸알코올과 디케텐에서 산염기 촉매의 존재로 제조될 수 있고, 역시 상기한 다른 조성물과 함께 작용하여 접착성을 갖추기 위해 사용된다. 이러한 아세토아세트산 에틸은 접착제 100 중량부에 대하여 1 내지 10 중량부가 사용되는 것이 바람직하며, 1 중량부 미만인 경우 접착성이 저하되고, 10 중량부 초과인 경우 호흡기계 자극, 점액 점막에 독성을 미칠 수 있다.
도 4는 본 발명의 추가적인 구성인, 바디(4), 장착수단(5) 및 탈착수단(6)에 관한 상세도이다.
먼저 본 장비(C)는 플레이트(1)가 착탈 결합되는 바디(4)를 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 바디(4)는 플레이트(1)가 착탈 결합되는 구성으로, 플레이트(1)를 수용하는 수용부(41)를 포함하는데, 이러한 바디(4)는 직사각형의 블록 형태로 구성될 수 있으며, 이러한 바디(4)의 4방향의 측벽에 의해 플레이트(1)를 수용하는 수용부(41)가 형성된다.
또한 바디(4)는 반도체 소자의 이송을 위해 암(Arm) 등과 같은 이송수단과 결합되며, 진공 흡입력을 부가하는 흡입수단과 결합된다. 이송수단 및 흡입수단에 관한 구체적인 내용은 공지된 기술들을 참조할 수 있다.
부가적으로, 플레이트(1)에는 상기한 흡입수단에 의한 흡입력이 러버(2), 보다 명확하게는 러버(2)에 흡착되는 반도체 소자에 도달할 수 있도록 흡기공(13)이 구비되는데, 이러한 흡기공(13)은 러버(2)의 전체에 걸쳐 고른 흡입력을 구비하기 위해 'H'자 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다.
다음으로, 본 장비(C)는 플레이트(1)가 바디(4)에 착탈 결합되도록 하는 장착수단(5)을 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 이러한 장착수단(5)은 수용부(41)에 구비된 마그네트(51) 및, 바디(4)의 일 측면에는 형성된 오목홈(52)을 포함한다.
이에 따라 플레이트(1)는 마그네트(51)의 자성에 의해 바디(4)에 부착되며, 이 때 바디(4)의 일 측면에 형성된 오목홈(52)은 수용부(41) 또는 마그네트(51)에 의해 수용부(41) 내에 결합되는 플레이트(1)에 사용자의 손이 보다 쉽게 접근할 수 있도록 하여, 플레이트(1)와 바디(4) 간의 결합 용이성을 향상시킨다.
이러한 오목홈(52)은 바디(4)의 일 측면에 구비되는 것이 바람직하고, 바디(4)의 4측면 모두에 구비될 수도 있으며, 실시자의 선택에 따라 그 위치의 변경이 가능하다.
다음으로, 본 장비(C)는 바디(4)에 결합된 플레이트(1)를 분리하는 탈착수단(6)을 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 이러한 탈착수단(6)은 바디(4)에 형성된 설치공(61) 및, 설치공(61)에 삽입되어 일단은 외부로 노출되고 타단은 수용부(41) 측으로 돌출되어 플레이트(1)에 접촉하는 누름부재(62)를 포함한다.
여기에서 설치공(61)은 바디(4)의 상면에 형성되는 것이 바람직하고, 이에 따라 사용자는 누름부재(62)를 상측에서 하측으로 가압하여 바디(4)의 수용부(41) 내에 부착된 플레이트(1)를 하측으로 밀어내어 분리할 수 있다.
상기 구성 및 특징을 갖는 본 발명은, 바디(4)와 플레이트(1) 간의 결합에 있어서, 상기한 장착수단(5)으로 인한 자성 착탈 결합을 통해 바디(4)와 플레이트(1)를 결합시키고, 상기한 탈착수단(6)으로 인한 가압 분리를 통해 바디(4)와 플레이트(1)를 분리함으로써, 바디(4)와 플레이트(1), 나아가 바디(4)와 [플레이트(1)+러버(2)] 간의 결합 및 분리를 용이하게 할 수 있고, 이는 결과적으로 작업의 편의성 형상, 작업 공정 단순화, 공임 절감, 원가 절감 등의 효과를 제공한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 장비(C)는 플레이트(1)가 흡기공(13)의 양측에 형성된 릴리스홈(7)을 더 포함할 수 있음을 특징으로 한다.
이러한 릴리스홈(7)은 금속과 고무의 열팽창성 차이를 완화하여 평탄도를 상승시키는 구성으로, 고온에서 러버(2)를 성형하고 다시 상온으로 내리는 과정에서 릴리스홈(7)에 러버(2)가 채워짐으로써, 금속으로 이루어진 플레이트(1)와 고무로 이루어진 러버(2) 간의 열 팽창성 차이로 인해 결합 후 휘어짐이 발생하는 문제를 해결한다.
도 5에서 확인 가능한 바와 같이, 이러한 릴리스홈(7)은 흡기공(13)의 양측에 대칭 구비되는 것이 바람직하며, 가공 용이성을 위해 사각홀의 형상을 갖는 것이 바람직하다.
이하 본 발명의 추가적인 특징으로, 본 장비(C)의 제조 방법인 본 방법에 대해 설명하기로 한다.
본 방법은 플레이트-러버 결합단계(S1) 및 접착제 도포단계(S2)를 포함한다.
각 단계 별로, 플레이트-러버 결합단계(S1)는 상기한 본 장비(C)에서, 제1결합부(11)와 제2결합부(21)를 결합함으로써, 플레이트(1)와 러버(2)를 결합시키는 단계이다. 이 단계(S1)의 구체적인 설명은 상기한 본 장비(C)에 대한 설명과 중복되기 때문에 상기의 설명으로 대체하여 생략하기로 한다.
다음, 접착제 도포단계(S2)는 제1 및 제2결합부(11)(21)의 경계에 상기 접착제를 도포하는 단계(S2)로, 역시 상기 설명으로 대체하기로 한다.
특징적인 것은, 본 장비(C)에서 접착제 도포단계(S2)는 냉온 가공으로 이루어진다는 것인데, 여기에서 '냉온 가공'이란 종래의 기술들과 비교하여 상대적인 개념이며, 보다 구체적으로 상기 (S2)단계는 100 ~ 150℃에서 이루어지는 것을 특징으로 한다는 것이다.
이러한 냉온 가공을 통해 본 방법은 고온에 의해 접착제가 흘러서 결합력이 약화되거나 또는 제품 성능 저하가 발생하는 것을 방지할 수 있고, 고온 열팽창에 의해 제품 결함 발생률이 상승하는 것을 방지할 수 있다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 설명한 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
C: 본 장비(마그네틱 콜릿)
1: 플레이트 11: 제1결합부
2: 러버 21: 제2결합부
4: 바디 41: 수용부
5: 장착수단 51: 마그네트
52: 오목홈
6: 탈착수단 61: 설치공
62: 누름부재

Claims (4)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 제1결합부를 구비한 플레이트;
    상기 제1결합부에 상응하는 제2결합부를 구비한 러버;
    상기 플레이트를 수용하는 수용부를 포함하는 바디;
    상기 수용부에 구비된 마그네트 및 상기 바디의 일 측면에 형성된 오목홈을 포함하여, 상기 플레이트를 상기 수용부에 결합시키는 장착수단; 및
    상기 바디에 형성된 설치공 및 상기 설치공에 삽입되어 일단은 외부로 노출되고 타단은 상기 수용부 측으로 돌출되어 상기 플레이트에 접촉하는 누름부재를 포함하여, 상기 수용부로부터 상기 플레이트를 분리하는 탈착수단;
    을 포함하는 마그네틱 콜릿.
  4. 청구항 3에 기재된 마그네틱 콜릿의 제조 방법에 있어서,
    상기 제1결합부와 상기 제2결합부를 결합함으로써, 상기 플레이트와 상기 러버를 결합시키는 단계(S1); 및
    상기 제1 및 제2결합부의 경계에 접착제를 도포하는 단계(S2);
    를 포함하되,
    상기 (S2)단계는, 100 ~ 150℃에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 마그네틱 콜릿의 제조 방법.
KR1020170075987A 2017-03-08 2017-06-15 마그네틱 콜릿 및 그 제조방법 KR101962842B1 (ko)

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