KR101956642B1 - Clean room air conditioning system and system ceiling for clean room - Google Patents

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KR101956642B1
KR101956642B1 KR1020180063760A KR20180063760A KR101956642B1 KR 101956642 B1 KR101956642 B1 KR 101956642B1 KR 1020180063760 A KR1020180063760 A KR 1020180063760A KR 20180063760 A KR20180063760 A KR 20180063760A KR 101956642 B1 KR101956642 B1 KR 101956642B1
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mold bar
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김세헌
임유승
함정환
최영호
이건상
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삼성엔지니어링 주식회사
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Abstract

Disclosed are a clean room air conditioning system and a system ceiling for a clean room. The disclosed clean room air conditioning system comprises: a system ceiling disposed on a ceiling portion of the clean room to divide an inner portion and an upper portion of the clean room, and supplying air to the inner portion of the clean room through selectively disposed air conditioning equipment; and a vertical air duct disposed in the vicinity of the clean room and transferring the air discharged from a lower portion of the clean room to an upper portion of the system ceiling. Moreover, a direction of the air discharged from the vertical air duct can be switched at an angle of 90 degrees or more when the air is introduced to the upper portion of the system ceiling.

Description

클린룸 공조 시스템 및 클린룸용 시스템 실링{Clean room air conditioning system and system ceiling for clean room}{Clean room air conditioning system and system ceiling for clean room}

클린룸 공조 시스템 및 클린룸용 시스템 실링이 개시된다. 보다 상세하게는, 클린룸으로 순환되는 기류의 급격한 방향 전환을 완화시켜 기류의 압력 손실을 저감할 수 있도록 구성된 클린룸 공조 시스템 및 클린룸용 시스템 실링이 개시된다.The clean room air conditioning system and the clean room system sealing are started. More particularly, the present invention relates to a clean room air conditioning system and a clean room system sealing which are configured to mitigate a sudden change of direction of an air flow circulating in a clean room to reduce a pressure loss of an air flow.

일반적으로 클린룸은 실내의 공기 중의 부유입자를 정해진 제한 값 이하로 제어하는 룸을 말하며, 이러한 클린룸은 일반적으로 반도체, 전자부품, 정밀기기 또는 식품·의약품 공업 등에서의 생산시설, 검사실, 연구실 및 병원의 의료시설 등 고도의 먼지 방지 기능이 요구되는 다양한 분야에서 이용되고 있다.In general, a clean room refers to a room in which airborne particles in an indoor air are controlled to a predetermined limit value or less. Such a clean room is generally used for production facilities, laboratories, laboratories, and the like in semiconductors, electronic components, precision instruments or food / It is used in various fields requiring high dust prevention function such as hospital medical facilities.

이러한 클린룸을 구성하는 방식 중 천장에 배치한 공조 설비에 의해 실내 공기를 순환시키고 실내 공기가 공조 설비 내부의 필터를 통과하면서 먼지 등 미세입자가 제거되도록 하는 방식이 가장 일반적이다.Among the methods of constructing such a clean room, the most common method is to circulate the indoor air by the air conditioner installed on the ceiling and to allow the room air to pass through the filter inside the air conditioner to remove fine particles such as dust.

구체적으로, 천장에 배치된 팬과 고효율 입자 여과장치가 결합된 공조 설비를 빠져나온 공기는 생산실 내부를 거쳐 바닥에 미세한 통공이 형성된 타일을 경유하여 하부층으로 빠져나간다. 하부층의 공기는 수직풍도를 통하여 천장 상부로 보내지고 공조 설비 내부의 고효율 입자 여과장치에 의해서 여과된 고순도의 청정 공기가 생산실로 보내지는 일련의 순환 과정에 의하여 클린룸의 청정도를 유지하게 된다. 이러한 전체 순환 과정에서 발생하는 공기의 압력손실을 극복하기 위한 동력은 공조설비 내부의 팬이 담당한다.Specifically, the air that has escaped from the air conditioner combined with the fan arranged on the ceiling and the high-efficiency particle filtering device passes through the production room, and passes through the tile having the minute through-hole on the bottom. The air in the lower layer is sent to the upper part of the ceiling through the vertical airflow, and the clean air of the clean room is maintained by a series of circulation processes in which clean air of high purity filtered by the high efficiency particle filtering device in the air conditioner is sent to the production room. The power to overcome the pressure loss of the air that occurs in the whole circulation process is the fan inside the air conditioner.

이때, 상기 클린룸의 상측인 천장에는 시스템 실링이 배치된다. 이와 같은 시스템 실링은 천장의 슬래브에 고정배치되고, 상기 시스템 실링을 구성하는 복수개의 천장 그리드 각각에는 공기 차단을 위한 블라인드 패널 또는 팬 필터 유닛이 선택적으로 배치된다. 구체적으로, 상기 클린룸의 천장에는 복수개의 천장 그리드로 이루어진 시스템 실링이 장착되고, 상기 각 천장 그리드의 개구에는 블라인드 패널이나 팬 필터 유닛 등이 선택적으로 배치된다.At this time, a system seal is disposed on the ceiling above the clean room. Such a system seal is fixedly disposed on a slab of a ceiling, and a blind panel or a fan filter unit for air blocking is selectively disposed in each of the plurality of ceiling grids constituting the system sealing. Specifically, a system ceiling including a plurality of ceiling grids is mounted on the ceiling of the clean room, and a blind panel, a fan filter unit, and the like are selectively disposed on the openings of the ceiling grids.

이와 같은 천장 그리드에 관한 대표적인 예가 한국공개특허공 제2012-0026222호에 개시되어 있다.A representative example of such a ceiling grid is disclosed in Korean Patent Publication No. 2012-0026222.

그러나, 종래의 구조는 순환 풍량이 최대로 형성되는 수직풍도와 시스템 실링 입구 구간이 직각으로 연결되면서 풍도에서 시스템 실링 상부로 유입되는 기류의 방향을 급격하게 전환시켜 압력 손실이 크게 발생한다. 또한 구조적으로 수직풍도와 시스템 실링 연결구간의 상부에 위치하는 보 및 거더에 의해 유로가 좁아지면서 통과풍속이 빨라져서 압력손실이 가중되는 경우가 많다.However, in the conventional structure, the vertical air flow rate at which the circulating air flow is maximized and the system sealing inlet section are connected at a right angle, and the direction of the airflow flowing into the upper portion of the system seal from the air flow is rapidly switched. Also, due to the structure of the vertical wind direction and the beam and girder located at the upper part of the system sealing connection section, the flow path becomes narrower and the passing wind speed becomes faster, so that the pressure loss is often increased.

본 발명의 일 구현예는 경사진 모서리를 갖는 클린룸용 시스템 실링을 제공한다.One embodiment of the present invention provides a system seal for a cleanroom having sloped corners.

본 발명의 다른 구현예는 상기 클린룸용 시스템 실링을 포함하는 클린룸 공조 시스템을 제공한다.Another embodiment of the present invention provides a clean room air conditioning system including the system seal for the clean room.

본 발명의 일 측면은,According to an aspect of the present invention,

클린룸의 천장부에 배치되어 클린룸의 내부와 상부를 구획하고 선택 배치된 공조 설비 등을 통해 상기 클린룸 내부로 공기를 공급하도록 구성된 시스템 실링; 및A system sealing arranged in a ceiling portion of the clean room to partition the inside and the upper portion of the clean room and configured to supply air into the clean room through a selectively arranged air conditioner or the like; And

상기 클린룸의 주변부에 배치되어 상기 클림룸의 하부에서 배출된 공기를 상기 시스템 실링 상부로 이송하도록 구성된 수직풍도를 포함하고, 상기 수직풍도에서 배출된 공기가 상기 시스템 실링 상부로 유입될 때 90°이상의 각도로 방향 전환 되도록 구성된 클린룸 공조 시스템을 제공한다.And a vertical air flow direction disposed at a periphery of the clean room and configured to transfer the air discharged from the lower portion of the clean room to the upper portion of the system seal, wherein when the air discharged from the vertical air flow is introduced into the upper portion of the system seal, The air conditioning system comprising:

상기 시스템 실링은 상기 수직풍도와 직교하는 방향인 수평방향으로 배치된 제1 그리드 집합체 및 이에 경사지게 결합된 제2 그리드 집합체를 포함할 수 있다.The system seal may include a first grid assembly disposed in a horizontal direction that is orthogonal to the vertical wind direction and a second grid assembly coupled to the first grid assembly in an inclined manner.

상기 제1 그리드 집합체 및 상기 제2 그리드 집합체는 각각 서로 독립적으로 1개 이상의 몰드바 및 이들을 결합하는 1종 이상의 조인트로 구성된 그리드를 포함할 수 있다.The first grid assembly and the second grid assembly may each include a grid, each of which is independently formed of at least one mold bar and at least one joint joining them.

본 발명의 다른 측면은,According to another aspect of the present invention,

수평방향으로 배치된 제1 그리드 집합체; 및 A first grid assembly arranged in a horizontal direction; And

상기 제1 그리드 집합체에 경사지게 결합된 제2 그리드 집합체를 포함하는 클린룸용 시스템 실링을 제공한다.And a second grid assembly inclinedly coupled to the first grid assembly.

상기 제1 그리드 집합체 및 상기 제2 그리드 집합체는 각각 서로 독립적으로 개구의 형상, 개구의 크기 및 조인트의 구조 중 적어도 하나가 다른 3종 이상의 그리드를 포함할 수 있다.The first grid assembly and the second grid assembly may include three or more different grids, at least one of the shape of the opening, the size of the opening, and the structure of the joint being independent of each other.

상기 제1 그리드 집합체는 1종 이상의 직각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 티 조인트, 1종 이상의 둔각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 몰드바 및 1종 이상의 둔각 몰드바를 포함할 수 있다.The first grid assembly may include at least one right angle cross joint, at least one right angle tee joint, at least one obtuse angle cross joint, at least one right angle mold bar, and at least one obtuse angle mold bar.

상기 제1 그리드 집합체는 제1 그리드 및 제2 그리드를 포함하고, 상기 제1 그리드는 제1 둔각 몰드바, 제1 둔각 크로스 조인트, 제1 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 제2 직각 몰드바, 또 다른 제1 직각 크로스 조인트, 또 다른 제1 직각 몰드바 및 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고, 상기 제2 그리드는 제2 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 제3 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 또 다른 제2 직각 몰드바, 또 다른 제1 직각 크로스 조인트, 또 다른 제3 직각 몰드바 및 또 다른 제1 직각 크로스 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고, 상기 제1 그리드 및 상기 제2 그리드는 상기 제2 직각 몰드바들 중 1개 및 상기 제1 직각 크로스 조인트들 중 2개를 서로 공유할 수 있다.Wherein the first grid assembly comprises a first grid and a second grid, the first grid comprising a first obtuse angle mold bar, a first obtuse angle cross joint, a first right angle mold bar, a first right angle cross joint, Bar, another first right angled cross joint, another first right angled mold bar and another first obtuse angled cross joint are connected in this order to form a rectangular shape, and the second grid has a second right angled mold bar, A second right angle cross bar joint, another first right angle cross bar joint, another third right angle mold bar, and another first right angle cross bar joint, a second right angle cross bar joint, The first grid and the second grid may share one of the second right angle mold bars and two of the first right angle cross joints.

상기 제1 그리드 집합체는 제3 그리드를 더 포함하고, 상기 제3 그리드는 제1 둔각 몰드바, 제2 둔각 크로스 조인트, 제2 둔각 몰드바, 제1 둔각 크로스 조인트, 제2 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 제1 직각 몰드바 및 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고, 상기 제1 그리드 및 상기 제3 그리드는 상기 제1 직각 몰드바들 중 1개, 상기 제1 직각 크로스 조인트들 중 1개 및 상기 제1 둔각 크로스 조인트들 중 1개를 서로 공유할 수 있다.Wherein the first grid assembly further comprises a third grid and the third grid comprises a first obtuse angle mold bar, a second obtuse angle cross joint, a second obtuse angle mold bar, a first obtuse angle cross joint, a second right angle mold bar, 1 < / RTI > rectangular cross bar joint, a first right angle mold bar and another first obtuse angle cross joint are connected and joined together in this order, the first grid and the third grid being connected to one of the first right angled mold bars, One of the first right angle cross joints and one of the first right angle cross joints may be shared with each other.

상기 제2 그리드 집합체는 1종 이상의 엘 조인트, 1종 이상의 예각 티 조인트, 1종 이상의 둔각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 몰드바, 1종 이상의 예각 몰드바 및 1종 이상의 둔각 몰드바를 포함할 수 있다.The second grid assembly may include at least one elbow joint, at least one acute angle tee joint, at least one obtuse angle cross joint, at least one right angle mold bar, at least one acute angle mold bar, and at least one obtuse mold bar .

상기 제2 그리드 집합체는 제4 그리드, 제5 그리드 및 제6 그리드를 포함하고, 상기 제4 그리드는 제1 예각 몰드바, 예각 티 조인트, 제4 직각 몰드바, 제1 둔각 크로스 조인트, 제1 둔각 몰드바, 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트, 또 다른 제4 직각 몰드바 및 또 다른 예각 티 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고, 상기 제5 그리드는 제1 예각 몰드바, 예각 티 조인트, 제4 직각 몰드바, 제2 둔각 크로스 조인트, 제1 둔각 몰드바, 제1 둔각 크로스 조인트, 또 다른 제4 직각 몰드바 및 또 다른 예각 티 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고, 상기 제6 그리드는 제2 예각 몰드바, 엘 조인트, 또 다른 제2 예각 몰드바, 예각 티 조인트, 제4 직각 몰드바, 제2 둔각 크로스 조인트, 또 다른 제4 직각 몰드바 및 또 다른 예각 티 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고, 상기 제4 그리드 및 상기 제5 그리드는 상기 제4 직각 몰드바들 중 1개, 상기 제1 둔각 크로스 조인트들 중 1개 및 상기 예각 티 조인트들 중 1개를 서로 공유하고, 상기 제5 그리드 및 상기 제6 그리드는 상기 제4 직각 몰드바들 중 1개, 상기 제2 둔각 크로스 조인트들 중 1개 및 상기 예각 티 조인트들 중 1개를 서로 공유할 수 있다.The fourth grid includes a first acute angle mold bar, an acute angle tee joint, a fourth right angle mold bar, a first obtuse angle cross joint, a first oblique angle joint, and a second obtuse angle joint, A fourth oblique mold bar, another oblong angle mold bar, another fourth oblique mold bar, another fourth oblique mold bar and another further angular tea joint are connected in this order to form a combined shape, said fifth grid comprising a first acute angle mold bar, A fourth oblique angle mold bar, a second obtuse angle cross joint, a first obtuse angle mold bar, a first obtuse angle cross joint, another fourth right angle mold bar and another acute angle joint are connected in this order to form a rectangular shape , The sixth grid comprises a second acute angle mold bar, an elbow joint, another second acute angle mold bar, an acute angle tee joint, a fourth right angle mold bar, a second obtuse angle cross joint, another fourth right angle mold bar, Tee joint Wherein said fourth grid and said fifth grid are arranged in one of said fourth right angle mold bars, one of said first obtuse angle joints and one of said acute angle joints And the fifth grid and the sixth grid share one of the fourth right angle molded bars, one of the second obtuse angle joints, and one of the acute angle joints.

본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템 및 클린룸용 시스템 실링은 하기와 같은 효과를 얻을 수 있다.The clean room air conditioning system and the system sealing for a clean room according to an embodiment of the present invention can achieve the following effects.

(1) 클린룸으로 순환되는 기류의 풍도와 급기 플리넘(Supply Plenum) 구간의 급격한 방향 전환을 완화시켜 기류의 압력 손실을 저감할 수 있다.(1) It is possible to alleviate the sudden change of direction of the air flow rate circulating in the clean room and the supply plenum section, thereby reducing the air flow pressure loss.

(2) 클린룸으로 순환되는 기류의 통과 면적을 확보하여 기류의 속도를 낮춤으로써 압력 손실을 저감할 수 있다.(2) The pressure loss can be reduced by securing the passage area of the air flow circulated to the clean room, thereby reducing the velocity of the airflow.

(3) 줄어든 압력 손실량만큼 팬 가동 동력을 저감시키거나, 기존 압력 손실량과 동일하게 유지하는 경우 급기 플리넘의 높이를 저감시켜 전체 건물 층고를 줄일 수 있다. (3) If the fan operation power is reduced by the reduced pressure loss amount or the same pressure loss amount is maintained, the height of the supply plenum can be reduced to reduce the total building floor height.

(4) 클린룸 내부의 기류의 정체 구간을 줄여 공기 청정도를 향상시킬 수 있다.(4) Air cleanliness can be improved by reducing stagnation of the airflow inside the clean room.

도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템의 개략적인 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템의 개략적인 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템의 부분 사시도이다.
도 4는 도 3의 클린룸 공조 시스템의 일 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸용 시스템 실링의 부분 사시도이다.
도 6a는 도 5의 단면 1을 따라 절취한 단면도이다.
도 6b는 도 5의 단면 2를 따라 절취한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸용 시스템 실링의 모서리 부분의 부분 사시도다.
도 8은 도 7의 모서리 부분을 더욱 확대하여 나타낸 부분 사시도이다.
도 9는 도 5 내지 도 8에 도시된 각종 조인트 및 각종 몰드바의 사시도(ISO VIEW) 및 단면도(SECTION VIEW)이다.
도 10은 도 4의 클린룸 공조 시스템의 일 단면 및 이에 대응되는 비교 클린룸 공조 시스템의 일 단면에서의 기류 속도 분포를 비교 형식으로 나타낸 도면이다.
도 11은 도 4의 클린룸 공조 시스템의 일 단면 및 이에 대응되는 비교 클린룸 공조 시스템의 일 단면에서의 급기 플리넘 모서리부 압력 손실을 비교 형식으로 나타낸 도면이다.
도 12는 도 4의 클린룸 공조 시스템의 일 단면 및 이에 대응되는 비교 클린룸 공조 시스템의 일 단면에서의 급기 플리넘의 높이를 비교 형식으로 나타낸 도면이다(단, 압력 손실량이 동일한 경우).
도 13은 도 4의 클린룸 공조 시스템의 일 단면 및 이에 대응되는 비교 클린룸 공조 시스템의 일 단면에서의 기류의 정체 구간의 크기를 비교 형식으로 나타낸 도면이다.
1 is a schematic plan view of a clean room air conditioning system in accordance with an embodiment of the present invention.
2 is a schematic side view of a clean room air conditioning system according to an embodiment of the present invention.
3 is a partial perspective view of a clean room air conditioning system in accordance with an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of the clean room air conditioning system of FIG.
5 is a partial perspective view of a system seal for a clean room in accordance with an embodiment of the present invention.
6A is a cross-sectional view taken along section 1 of FIG.
FIG. 6B is a cross-sectional view taken along section 2 of FIG. 5. FIG.
7 is a partial perspective view of a corner portion of a system seal for a clean room according to an embodiment of the present invention.
8 is a partially enlarged partial perspective view of the corner portion of Fig.
9 is a perspective view (ISO VIEW) and a sectional view (SECTION VIEW) of various joints and various mold bars shown in Figs. 5 to 8. Fig.
FIG. 10 is a diagram showing a cross section of a clean room air conditioning system of FIG. 4 and a flow velocity distribution in a cross section of a comparative clean room air conditioning system corresponding thereto in a comparative form.
FIG. 11 is a view showing a pressure loss of the supply air plenum at the one end surface of the clean room air conditioning system of FIG. 4 and one cross section of the comparative clean room air conditioning system corresponding thereto in a comparative form.
FIG. 12 is a view showing a comparison between the height of the supply plenum in one section of the clean room air conditioning system of FIG. 4 and the corresponding one of the comparative clean room air conditioning systems (when the amount of pressure loss is the same).
FIG. 13 is a diagram showing a cross section of the clean room air conditioning system of FIG. 4 and a size of a stagnation section of the air flow in one cross section of the comparative clean room air conditioning system corresponding thereto in a comparative form.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템 및 클린룸용 시스템 실링을 상세히 설명한다.Hereinafter, a clean room air conditioning system and a clean room system sealing according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 명세서에서, "시스템 실링"이란 천장 마무리재에 조명기구나 설비기를 짜넣은 복합 부품을 의미한다.In the present specification, the term "system sealing" means a composite part in which a fixture or equipment is assembled to a ceiling finish material.

또한 본 명세서에서, "풍도"란 클린룸의 하부에서 배출된 공기를 클린룸의 상부로 이송하도록 하기 위해 구성된 수직 통로이며, 일반적으로 순환공기가 집적되어 최대 풍량이 형성되는 구간을 의미한다.In the present specification, the term " airiness "means a vertical passage configured to transfer the air discharged from the lower portion of the clean room to the upper portion of the clean room. Generally, the circulation air is integrated to form the maximum air volume.

또한 본 명세서에서, "그리드"란 개구를 갖는 격자 형상의 구조물을 의미한다.As used herein, the term "grid " means a lattice-like structure having an opening.

또한 본 명세서에서, "직각 몰드바"란 "

Figure 112018054413976-pat00001
"와 같이 본체부와 양측 바닥부가 각각 직각을 이루는 몰드바를 의미한다.Also, in this specification, the term "right angle mold bar"
Figure 112018054413976-pat00001
Quot; as used herein means a mold bar having a body portion and both side bottom portions at right angles.

또한 본 명세서에서, "예각 몰드바"란 "

Figure 112018054413976-pat00002
"와 같이 본체부와 일측 바닥부는 직각을 이루고 본체부와 타측 바닥부는 예각을 이루는 몰드바를 의미한다.Also, in the present specification, the term "acute angle mold bar"
Figure 112018054413976-pat00002
Quot; as used herein means a molded bar having a body portion and a bottom portion at right angles and a body portion and a bottom portion at an acute angle.

또한 본 명세서에서, "둔각 몰드바"란 "

Figure 112018054413976-pat00003
" 와 같이 본체부와 일측 바닥부는 직각을 이루고 본체부와 타측 바닥부는 둔각을 이루는 몰드바를 의미한다.Also, in the present specification, the term "obtuse mold bar"
Figure 112018054413976-pat00003
Quot; means a mold bar having a body portion and a bottom portion at right angles and a body portion and a bottom portion at an obtuse angle.

또한 본 명세서에서, "제1 둔각 크로스 조인트"란 2개의 직각 몰드바 및 2개의 둔각 몰드바의 각 단부를 서로 결합하되, 상기 2개의 직각 몰드바 중 1개의 직각 몰드바를 둔각으로 결합하도록 구성된 조인트를 의미한다.Also, in the present specification, the term "first obtuse angle cross joint" means a joint formed by joining the ends of two right angle mold bars and two obtuse angle mold bars together, wherein a right angle mold bar of one of the right angle mold bars is obtuse- .

또한 본 명세서에서, "제2 둔각 크로스 조인트"란 2개의 둔각 몰드바 및 2개의 직각 몰드바의 각 단부를 서로 결합하되, 상기 2개의 직각 몰드바 모두를 둔각으로 결합하도록 구성된 조인트를 의미한다.As used herein, the term "second obtuse angle cross joint " means a joint configured to couple two ends of two obtuse-angled mold bars and two orthogonal mold bars together, and to connect both of the two orthogonal mold bars at an obtuse angle.

또한 본 명세서에서, "직각 크로스 조인트"란 4개의 직각 몰드바의 각 단부를 서로 결합하도록 구성된 조인트를 의미한다.As used herein, "right angle cross joint" means a joint configured to join each end of four right angle mold bars to each other.

또한 본 명세서에서, "예각 티 조인트"란 1개의 직각 몰드바 및 2개의 예각 몰드바의 각 단부를 서로 결합하되, 상기 1개의 직각 몰드바를 예각으로 결합하도록 구성된 조인트를 의미한다.As used herein, the term "acute angle tee joint " means a joint configured to join one end of a right angle mold bar and two acute angle mold bars to each other, and to join the one right angle mold bar at an acute angle.

또한 본 명세서에서, "엘 조인트"란 2개의 예각 몰드바 또는 2개의 직각 몰드바의 각 단부를 서로 결합하도록 구성된 조인트를 의미한다.As used herein, the term "elbow joint" means a joint configured to join two ends of two acute angle mold bars or two right angle mold bars to each other.

본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템은 시스템 실링 및 수직풍도를 포함한다.A clean room air conditioning system according to an embodiment of the present invention includes a system ceiling and a vertical wind direction.

상기 시스템 실링은 클린룸의 천장부에 배치되어 클린룸의 내부와 상부를 구획하고 선택 배치된 팬 필터 유닛 등을 통해 상기 클린룸의 내부로 공기를 공급하도록 구성된다.The system sealing is arranged in a ceiling portion of a clean room to partition the inside and the upper portion of the clean room and supply air into the clean room through a fan filter unit or the like selectively disposed.

상기 수직풍도는 상기 클린룸의 주변부에 배치되어 상기 클림룸의 하부에서 배출된 공기를 상기 시스템 실링 상부로 이송하도록 구성된다.And the vertical wind direction is disposed at a peripheral portion of the clean room so as to transfer the air discharged from the lower portion of the clean room to the upper portion of the system seal.

상기 클린룸 공조 시스템은 상기 수직풍도에서 배출된 공기가 상기 시스템 실링쪽으로 유입될 때 90°이상(예를 들어, 120~150°, 150~120°, 130~140° 또는 135°)의 각도로 방향 전환을 하도록 구성된다. 따라서, 상기 클린룸 공조 시스템은 (i) 클린룸으로 순환되는 기류의 급격한 방향 전환을 완화시켜 기류의 압력 손실을 저감할 수 있고, (ii) 팬 가동 동력을 저감시키거나, 기존 압력 손실량과 동일하게 유지하는 경우 급기 플리넘(Supply Plenum)의 높이를 저감시켜 전체 층고를 줄일 수 있고, (iii) 클린룸 내부 기류의 정체 구간을 줄여 공기 청정도를 향상시킬 수 있다. The clean room air conditioning system may be configured such that when the air discharged from the vertical airflow is introduced into the system sealing side at an angle of 90 ° or more (for example, 120-150 °, 150-120 °, 130-140 ° or 135 °) Direction. Accordingly, the clean room air conditioning system can reduce (i) the sudden change of direction of the airflow circulating in the clean room, thereby reducing the pressure loss of the airflow, (ii) reducing the fan driving power, The height of the supply plenum can be reduced to reduce the total floor height, and (iii) the purity of the air flow in the clean room can be reduced to improve air cleanliness.

한편 본 발명과는 달리, 수직풍도에서 배출된 공기가 시스템 실링쪽으로 유입될 때 90°의 각도로 방향 전환을 하도록 구성될 경우에는, 클린룸의 청정도를 유지하기 위한 순환 공기가 풍도를 지나 급기 플리넘(SUPPLY PLENUM)으로 들어가는 입구에서 많은 양의 압력 손실(Pressure Loss)이 발생하게 된다. 이는 풍속이 빠르고 동시에 급격한 방향 전환이 이루어지는 구간에서 가장 많은 양의 순환 공기가 통과하기 때문이다. 또한, 급기 플리넘 상부의 Girder 또는 Beam에 의해 순환 공기의 유로(流路)가 좁아지기 때문에 입구 부분의 압력 강하가 더 커지는 경우가 많다. 다만, 이 구간을 벗어나면 팬 필터 유닛(FFU: FAN FILTER UNIT)을 통해 클린룸으로 공기가 계속 빠져나가기 때문에 급기 플리넘을 지나가는 순환 풍량이 줄어들면서 단위 구간당 압력 손실량이 급격히 줄어들게 된다.On the other hand, unlike the present invention, when the air discharged from the vertical wind direction is configured to be turned at an angle of 90 ° when the air flows into the system sealing side, the circulating air for maintaining the cleanliness of the clean room passes through the air- A large amount of pressure loss occurs at the inlet to the SUPPLY PLENUM. This is because the greatest amount of circulating air passes through the region where the wind speed is fast and the direction is rapidly changed. In addition, since the flow path of the circulating air is narrowed by the girder or the beam on the upper portion of the supply plenum, the pressure drop at the inlet portion often becomes larger. However, since the air is continuously discharged to the clean room through the fan filter unit (FFU), the circulating air volume passing through the air supply plenum is reduced and the pressure loss per unit section is drastically reduced.

상술한 내용들에 대하여는 도 10 내지 도 13을 참조하여 뒤에서 더욱 상세히 설명하기로 한다.The above-mentioned contents will be described later in detail with reference to FIGS. 10 to 13.

도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템의 개략적인 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템의 개략적인 측면도이고, 도 3은 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템의 부분 사시도이고, 도 4는 도 3의 클린룸 공조 시스템의 일 단면도이다.FIG. 1 is a schematic plan view of a clean room air conditioning system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic side view of a clean room air conditioning system according to an embodiment of the present invention. 4 is a partial cross-sectional view of the clean room air conditioning system of FIG.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템은 클린룸(CLEAN ROOM) 및 이를 둘러싸도록 배치된 풍도를 포함한다.Referring to FIG. 1, a clean room air conditioning system according to an embodiment of the present invention includes a clean room and air conditioners arranged to surround the clean room.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템에서 액세스 플로어(ACCESS FLOOR)를 통해 클린룸(CLEAN ROOM)에서 배출된 공기는 환기 플리넘(RETURN PLENUM)을 통과한 후 수직풍도를 따라 이동하여 급기 플리넘(SUPPLY PLENUM)을 거쳐 경사진 모서리를 갖는 시스템 실링의 개구에 설치된 팬과 고효율 입자 여과장치가 결합된 공조 설비(예를 들어, FFU: FAN FILTER UNIT)를 통과하여 클린룸내로 유입된다.Referring to FIG. 2, in a clean room air conditioning system according to an embodiment of the present invention, air discharged from a clean room through an access floor (ACCESS FLOOR) passes through a ventilation plenum, (Eg, FFU: FAN FILTER UNIT) which is connected to a fan installed in the opening of the system sealing having inclined edges through a supply plenum and a high efficiency particle filtering device And enters the clean room.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템은 경사진 모서리를 갖는 시스템 실링(SYSTEM CEILING), 액세스 플로어(ACCESS FLOOR) 및 수직풍도를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, a clean room air conditioning system according to an embodiment of the present invention may include a system ceiling having an inclined corner, an access floor (ACCESS FLOOR), and a vertical wind direction.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸 공조 시스템은 경사진 모서리를 갖는 시스템 실링(SYSTEM CEILING), 팬 필터 유닛(FFU: FAN FILTER UNIT), 드라이 쿨링 코일(DCC: DRY COOLING COIL), 액세스 플로어(ACCESS FLOOR) 및 수직풍도를 포함할 수 있다.4, a clean room air conditioning system according to an embodiment of the present invention includes a system ceiling system having slanted corners, a fan filter unit (FFU), a dry cooling coil (DCC: DRY COOLING) COIL), an access floor (ACCESS FLOOR), and a vertical wind direction.

상기 시스템 실링은 상기 수직풍도와 직교하는 방향인 수평방향으로 배치된 제1 그리드 집합체 및 이에 경사지게 결합된 제2 그리드 집합체를 포함할 수 있다.The system seal may include a first grid assembly disposed in a horizontal direction that is orthogonal to the vertical wind direction and a second grid assembly coupled to the first grid assembly in an inclined manner.

상기 제1 그리드 집합체 및 상기 제2 그리드 집합체는 각각 서로 독립적으로 1개 이상의 몰드바 및 이들을 결합하는 1종 이상의 조인트로 구성된 그리드를 포함할 수 있다.The first grid assembly and the second grid assembly may each include a grid, each of which is independently formed of at least one mold bar and at least one joint joining them.

상기 제1 그리드 집합체 및 상기 제2 그리드 집합체는 각각 서로 독립적으로 개구의 형상, 개구의 크기 및 조인트의 구조 중 적어도 하나가 다른 3종 이상의 그리드를 포함할 수 있다.The first grid assembly and the second grid assembly may include three or more different grids, at least one of the shape of the opening, the size of the opening, and the structure of the joint being independent of each other.

상기 제1 그리드 집합체는 1종 이상의 직각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 티 조인트, 1종 이상의 둔각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 몰드바 및 1종 이상의 둔각 몰드바를 포함할 수 있다.The first grid assembly may include at least one right angle cross joint, at least one right angle tee joint, at least one obtuse angle cross joint, at least one right angle mold bar, and at least one obtuse angle mold bar.

상기 제2 그리드 집합체는 1종 이상의 엘 조인트, 1종 이상의 예각 티 조인트, 1종 이상의 둔각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 몰드바, 1종 이상의 예각 몰드바 및 1종 이상의 둔각 몰드바를 포함할 수 있다.The second grid assembly may include at least one elbow joint, at least one acute angle tee joint, at least one obtuse angle cross joint, at least one right angle mold bar, at least one acute angle mold bar, and at least one obtuse mold bar .

도 5는 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸용 시스템 실링의 부분 사시도이고, 도 6a는 도 5의 단면 1을 따라 절취한 단면도이고, 도 6b는 도 5의 단면 2를 따라 절취한 단면도이고, 도 7은 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸용 시스템 실링의 모서리 부분의 부분 사시도이고, 도 8은 도 7의 모서리 부분을 더욱 확대하여 나타낸 부분 사시도이다.FIG. 5 is a partial perspective view of a clean room system seal according to an embodiment of the present invention, FIG. 6A is a sectional view taken along section 1 of FIG. 5, FIG. 6B is a sectional view taken along section 2 of FIG. 5, FIG. 7 is a partial perspective view of a corner portion of the system seal for a clean room according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a partial perspective view showing a further enlarged corner portion of FIG.

도 5 및 도 7을 참조하면, 상기 제1 그리드 집합체는 제1 그리드(G1), 제2 그리드(G2) 및 선택적으로 제3 그리드(G3)를 포함할 수 있다.5 and 7, the first grid assembly may include a first grid G1, a second grid G2, and optionally a third grid G3.

도 5를 참조하면, 제1 그리드(G1)는 제1 둔각 몰드바(11), 제1 둔각 크로스 조인트(J1), 제1 직각 몰드바(12), 제1 직각 크로스 조인트(J2), 제2 직각 몰드바(13), 또 다른 제1 직각 크로스 조인트(J2), 또 다른 제1 직각 몰드바(12) 및 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트(J1)가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상일 수 있다. 여기서, 제1 직각 몰드바(12) 및 제2 직각 몰드바(13)는 서로 동일하거나 상이한 것일 수 있다.5, the first grid G1 includes a first obtuse angle mold bar 11, a first obtuse angle cross joint J1, a first right angle mold bar 12, a first right angle cross joint J2, 2 rectangular orthogonal cross-joint J2, another first right-angled mold bar 12 and another first obtuse-angled cross joint J1 are connected in this order to form a rectangular shape Lt; / RTI > Here, the first right angle mold bar 12 and the second right angle mold bar 13 may be the same or different from each other.

또한 도 5를 참조하면, 제2 그리드(G2)는 제2 직각 몰드바(13), 제1 직각 크로스 조인트(J2), 제3 직각 몰드바(14), 제1 직각 크로스 조인트(J2), 또 다른 제2 직각 몰드바(13), 또 다른 제1 직각 크로스 조인트(J2), 또 다른 제3 직각 몰드바(14) 및 또 다른 제1 직각 크로스 조인트(J2)가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상일 수 있다. 여기서, 제2 직각 몰드바(13) 및 제3 직각 몰드바(14)는 서로 동일하거나 상이한 것일 수 있다.5, the second grid G2 includes a second right angle mold bar 13, a first right angle cross joint J2, a third right angle mold bar 14, a first right angle cross joint J2, Another second right angled mold bar 13, another first right angled cross joint J2, another third right angled mold bar 14 and another first right angled cross joint J2 are connected in this order, And may have a rectangular shape. Here, the second right angle mold bar 13 and the third right angle mold bar 14 may be the same or different from each other.

또한 도 5를 참조하면, 제1 그리드(G1) 및 제2 그리드(G2)는 제2 직각 몰드바들(13) 중 1개 및 제1 직각 크로스 조인트들(J2) 중 2개를 서로 공유할 수 있다.5, the first grid G1 and the second grid G2 may share one of the second right angle mold bars 13 and two of the first right angle cross joints J2 have.

또한 도 7을 참조하면, 제3 그리드(G3)는 제1 둔각 몰드바(11), 제2 둔각 크로스 조인트(J3), 제2 둔각 몰드바(15), 제1 둔각 크로스 조인트(J1), 제2 직각 몰드바(13), 제1 직각 크로스 조인트(J2), 제1 직각 몰드바(12) 및 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트(J1)가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상일 수 있다. 여기서, 제1 둔각 몰드바(11) 및 제2 둔각 몰드바(15)는 서로 동일하거나 상이한 것일 수 있다.7, the third grid G3 includes a first obtuse angle mold bar 11, a second obtuse angle cross joint J3, a second obtuse angle mold bar 15, a first obtuse angle cross joint J1, The second right angle mold bar 13, the first right angle cross joint J2, the first right angle mold bar 12 and another first oblong angle cross joint J1 are connected in this order and joined together in a rectangular shape . Here, the first obtuse-angled mold bar 11 and the second obtuse-angled mold bar 15 may be the same or different from each other.

또한 도 7을 참조하면, 제1 그리드(G1) 및 제3 그리드(G3)는 제1 직각 몰드바들(12) 중 1개, 제1 직각 크로스 조인트들(J2) 중 1개 및 제1 둔각 크로스 조인트들(J1) 중 1개를 서로 공유할 수 있다.7, the first grid G1 and the third grid G3 include one of the first right angled mold bars 12, one of the first right angled cross joints J2, and one of the first obtuse- One of the joints J1 can be shared with each other.

또한 도 7을 참조하면, 제2 그리드(G2) 및 제3 그리드(G3)는 제1 직각 크로스 조인트들(J2) 중 1개만을 서로 공유할 수 있다.Also, referring to FIG. 7, the second grid G2 and the third grid G3 may share only one of the first right-angled cross joints J2.

또한 도 5 및 도 7을 참조하면, 상기 제2 그리드 집합체는 제4 그리드(G4), 제5 그리드(G5) 및 제6 그리드(G6)를 포함할 수 있다.5 and 7, the second grid aggregate may include a fourth grid G4, a fifth grid G5, and a sixth grid G6.

도 5를 참조하면, 제4 그리드(G4)는 제1 예각 몰드바(18), 예각 티 조인트(J4), 제4 직각 몰드바(17), 제1 둔각 크로스 조인트(J1), 제1 둔각 몰드바(11), 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트(J1), 또 다른 제4 직각 몰드바(17) 및 또 다른 예각 티 조인트(J4)가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상일 수 있다.5, the fourth grid G4 includes a first acute angle mold bar 18, an acute angle tee joint J4, a fourth right angle mold bar 17, a first obtuse angle joint J1, a first obtuse angle joint J4, A mold bar 11, another first obtuse angle joint J1, another fourth right angle mold bar 17 and another acute angle tee joint J4 may be connected in this order to form a rectangular shape.

또한 도 7을 참조하면, 제5 그리드(G5)는 제1 예각 몰드바(18), 예각 티 조인트(J4), 제4 직각 몰드바(17), 제2 둔각 크로스 조인트(J3), 제1 둔각 몰드바(11), 제1 둔각 크로스 조인트(J1), 또 다른 제4 직각 몰드바(17) 및 또 다른 예각 티 조인트(J4)가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상일 수 있다.7, the fifth grid G5 includes the first acute angle mold bar 18, the acute angle tee joint J4, the fourth right angle mold bar 17, the second obtuse angle cross joint J3, The obtuse-angled mold bar 11, the first obtuse-angled cross joint J1, another fourth right angled mold bar 17 and another acute-angled tee joint J4 may be connected in this order to form a rectangular shape.

또한 도 7을 참조하면, 제4 그리드(G4) 및 제5 그리드(G5)는 제4 직각 몰드바들(17) 중 1개, 제1 둔각 크로스 조인트들(J1) 중 1개 및 예각 티 조인트들(J4) 중 1개를 서로 공유할 수 있다.7, the fourth grid G4 and the fifth grid G5 may include one of the fourth right angle molded bars 17, one of the first obtuse angle joints J1, (J4) can be shared with each other.

또한 도 5를 참조하면, 제4 그리드(G4) 및 제1 그리드(G1)는 제1 둔각 몰드바들(11) 중 1개 및 제1 둔각 크로스 조인트들(J1) 중 2개를 서로 공유할 수 있다.5, the fourth grid G4 and the first grid G1 may share one of the first obtuse-angled mold bars 11 and two of the first obtuse-angle cross joints J1 have.

또한 도 7을 참조하면, 제5 그리드(G5) 및 제3 그리드(G3)는 제1 둔각 몰드바들(11) 중 1개, 제1 둔각 크로스 조인트들(J1) 중 1개 및 제2 둔각 크로스 조인트들(J3) 중 1개를 서로 공유할 수 있다.7, the fifth grid G5 and the third grid G3 include one of the first obtuse-angled mold bars 11, one of the first obtuse-angle joints J1 and the second obtuse- One of the joints J3 can be shared with each other.

또한 도 7 및 도 8을 참조하면, 제6 그리드(G6)는 제2 예각 몰드바(19), 엘 조인트(J5), 또 다른 제2 예각 몰드바(19), 예각 티 조인트(J4), 제4 직각 몰드바(17), 제2 둔각 크로스 조인트(J3), 또 다른 제4 직각 몰드바(17) 및 또 다른 예각 티 조인트(J4)가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상일 수 있다. 여기서, 제1 예각 몰드바(18), 제2 예각 몰드바(19), 제3 예각 몰드바(20) 및 제4 예각 몰드바(21)는 서로 동일하거나 상이한 것일 수 있다.7 and 8, the sixth grid G6 includes the second acute angle mold bar 19, the elbow joint J5, another second acute angle mold bar 19, the acute angle tee joint J4, A fourth right angle mold bar 17, a second obtuse angle cross joint J3, another fourth right angle mold bar 17 and another acute angle tee joint J4 may be connected in this order and connected in a rectangular shape . Here, the first acute angle mold bar 18, the second acute angle mold bar 19, the third acute angle mold bar 20 and the fourth acute angle mold bar 21 may be the same or different from each other.

또한 도 7을 참조하면, 제5 그리드(G5) 및 제6 그리드(G6)는 제4 직각 몰드바들(17) 중 1개, 제2 둔각 크로스 조인트들(J3) 중 1개 및 예각 티 조인트들(J4) 중 1개를 서로 공유할 수 있다.7, the fifth grid G5 and the sixth grid G6 may include one of the fourth right angle molded bars 17, one of the second obtuse angle joints J3, (J4) can be shared with each other.

또한 도 7을 참조하면, 제6 그리드(G6) 및 제3 그리드(G3)는 제2 둔각 크로스 조인트들(J3) 중 1개만을 서로 공유할 수 있다.Referring to FIG. 7, the sixth grid G6 and the third grid G3 may share only one of the second obtuse-angle cross joints J3.

도 9는 도 5 내지 도 8에 도시된 각종 조인트 및 각종 몰드바의 사시도(ISO VIEW) 및 단면도(SECTION VIEW)이다.9 is a perspective view (ISO VIEW) and a sectional view (SECTION VIEW) of various joints and various mold bars shown in Figs. 5 to 8. Fig.

도 9를 참조하면, 제1 둔각 크로스 조인트(J1), 예각 티 조인트(J4), 제2 둔각 크로스 조인트(J3), 제1, 제2 둔각 몰드바(11, 15) 및 제1, 제2, 제3, 제4 예각 몰드바(18, 19, 20, 21)가 이 순서대로 도시되어 있다.9, the first obtuse-angled cross joint J1, the acute-angled tee joint J4, the second obtuse-angled cross joint J3, the first and second obtuse-angled mold bars 11 and 15, and the first and second , And third and fourth acute angle mold bars 18, 19, 20, and 21 are shown in this order.

도 9에서, 제1 둔각 크로스 조인트(J1)의 각도(θ1)는 135°일 수 있고, 예각 티 조인트(J4)의 각도(θ2)는 45°일 수 있고, 제2 둔각 크로스 조인트(J3)의 각도(θ3)는 135°일 수 있고, 제1, 제2 둔각 몰드바(11, 15)의 각도(θ4)는 135°일 수 있고, 제1, 제2, 제3, 제4 예각 몰드바(18, 19, 20, 21) 각도(θ5)는 45°일 수 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 각도들(θ1~θ5)은 둔각 조건 또는 예각 조건을 만족하는 한 다른 다양한 값을 가질 수 있다.In Fig. 9, the angle [theta] 1 of the first obtuse angle cross joint J1 may be 135 [deg.], The angle [theta] 2 of the acute angle joint J4 may be 45 [ Angle 3 of the first and second oblique mold bars 11 and 15 may be 135 and the angle 4 of the first and second obtuse-angled mold bars 11 and 15 may be 135 deg., And the first, second, third, The angle? 5 of the bars 18, 19, 20 and 21 may be 45 degrees. However, the present invention is not limited thereto, and the angles? 1 to? 5 may have various other values as long as they satisfy the obtuse angle condition or the acute angle condition.

이하, 실시예들을 들어 본 발명에 관하여 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명이 이러한 실시예들에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these embodiments.

실시예 1Example 1

도 3의 클린룸 공조 시스템에 대하여 컴퓨터 시뮬레이션(Autodesk CFD)을 수행하였다.A computer simulation (Autodesk CFD) was performed on the clean room air conditioning system of FIG.

비교예 1Comparative Example 1

도 3의 클린룸 공조 시스템에서 경사진 모서리를 직각 모서리로 대체한 비교 클린룸 공조 시스템에 대하여 컴퓨터 시뮬레이션(Autodesk CFD)을 수행하였다.In the clean room air conditioning system of FIG. 3, a computer simulation (Autodesk CFD) was performed on a comparative cleanroom air conditioning system in which sloping corners were replaced with right angled corners.

평가예 1: 기류 속도 분포 평가Evaluation Example 1: Evaluation of Air Velocity Distribution

상기 실시예 1 및 비교예 1에서 수행한 컴퓨터 시뮬레이션의 한 결과로서, 도 4의 클린룸 공조 시스템의 일 단면 및 이에 대응되는 비교 클린룸 공조 시스템의 일 단면에서의 기류 속도 분포를 도 10에 비교 형식으로 나타내었다. 도 10의 (a)는 비교예 1의 결과이고, 도 10의 (b)는 실시예 1의 결과이다. 도 10 및 도 11에서, "FAB"은 클린룸 및 클린룸을 구성하기 위한 환기 플리넘(Return Plenum), 수직 풍도, 급기 플리넘(Supply Plenum)등을 포함하는 제반 설비들을 지칭하는 것으로서, 일반적으로는 클린룸만을 지칭한다.As a result of the computer simulation performed in Example 1 and Comparative Example 1, a cross section of the clean room air conditioning system of Fig. 4 and an air stream velocity distribution in one cross section of the comparative clean room air conditioning system corresponding thereto are shown in Fig. Respectively. 10 (a) is a result of Comparative Example 1, and Fig. 10 (b) is a result of Example 1. Fig. 10 and 11, "FAB" refers to various facilities including a ventilation plenum, a vertical air flow, an air supply plenum, and the like for constituting a clean room and a clean room. Refers only to clean rooms.

도 10을 참조하면, 상기 실시예 1에서와 같이 수직풍도와 급기 플리넘(Supply Plenum) 사이의 코너부를 경사면으로 구성하는 경우에는, 상기 비교예 1에서와 같이 당해 코너부를 직각면으로 구성하는 경우에 비해 공기의 급격한 방향 전환을 완화시킬 수 있으며, 동시에 유로(流路)를 확보할 수 있기 때문에 기류 속도 분포를 개선할 수 있음을 확인할 수 있다. Referring to FIG. 10, when the corner portion between the vertical wind direction and the supply plenum is formed as an inclined plane as in the first embodiment, when the corner portion is formed as a right angle surface as in Comparative Example 1 It is possible to alleviate the sudden change of direction of the air compared with the case of FIG.

평가예 2: 압력 손실량 평가Evaluation example 2: Evaluation of pressure loss

상기 실시예 1 및 비교예 1에서 수행한 컴퓨터 시뮬레이션의 한 결과로서, 도 4의 클린룸 공조 시스템의 일 단면 및 이에 대응되는 비교 클린룸 공조 시스템의 일 단면에서의 압력 손실량을 도 11에 비교 형식으로 나타내었다. 도 11의 (a)는 비교예 1의 결과이고, 도 11의 (b)는 실시예 1의 결과이다.As a result of the computer simulation performed in Example 1 and Comparative Example 1, one end surface of the clean room air conditioning system of Fig. 4 and the pressure loss amount at one end surface of the comparative clean room air conditioning system corresponding thereto are shown in Fig. Respectively. 11 (a) is the result of Comparative Example 1, and Fig. 11 (b) is the result of Example 1. Fig.

도 11을 참조하면, 상기 실시예 1에서와 같이 수직풍도와 급기 플리넘(Supply Plenum) 사이의 코너부를 경사면으로 구성하는 경우에는, 상기 비교예 1에서와 같이 당해 코너부를 직각면으로 구성하는 경우에 비해 공기의 급격한 방향 전환을 완화시킬 수 있으며, 동시에 유로(流路)를 확보할 수 있기 때문에 압력 손실량(Pressure Loss)을 현저히 저감시킬 수 있음을 확인할 수 있다. 11, in the case where the corner portion between the vertical wind direction and the supply plenum is formed as an inclined plane as in the first embodiment, when the corner portion is formed as a right angle surface as in Comparative Example 1 It is possible to mitigate the sudden change of direction of the air compared to the case of the first embodiment, and at the same time, it is possible to secure the flow path, so that the pressure loss can be remarkably reduced.

평가예 3: 급기 플리넘의 높이 평가Evaluation Example 3: Evaluation of the height of the supply plenum

상기 실시예 1 및 비교예 1에서 수행한 컴퓨터 시뮬레이션의 한 결과로서, 도 4의 클린룸 공조 시스템의 일 단면 및 이에 대응되는 비교 클린룸 공조 시스템의 일 단면에서의 급기 플리넘의 높이를 도 12에 비교 형식으로 나타내었다(단, 압력 손실량이 동일한 경우). 도 12의 (a)는 비교예 1의 결과이고, 도 12의 (b)는 실시예 1의 결과이다.As a result of the computer simulation performed in Example 1 and Comparative Example 1, one end surface of the clean room air conditioning system of FIG. 4 and the height of the supply air plenum at one end surface of the comparative clean room air conditioning system corresponding thereto are shown in FIG. 12 (Where the pressure loss is the same). 12 (a) is a result of Comparative Example 1, and Fig. 12 (b) is a result of Example 1. Fig.

도 12를 참조하면, 상기 실시예 1에서와 같이 수직풍도와 급기 플리넘(Supply Plenum) 사이의 코너부를 경사면으로 구성하는 경우에는, 상기 비교예 1에서와 같이 당해 코너부를 직각면으로 구성하는 경우에 비해 압력 손실량을 동일하게 유지하는 경우 급기 플리넘의 높이를 저감시켜 전체 층고를 줄일 수 있음을 확인할 수 있다. Referring to FIG. 12, when the corner portion between the vertical wind direction and the supply plenum is formed of an inclined plane as in the first embodiment, when the corner portion is formed as a right angle surface as in Comparative Example 1 It can be seen that the height of the supply plenum can be reduced and the total height of the stack can be reduced.

또한 도면에는 도시되지 않았지만, 압력 손실량을 동일하게 유지하는 경우, 실시예 1은 비교예 1에 비해 수직풍도의 폭을 줄여 클린룸의 구성을 위한 부대면적을 줄일 수 있음을 확인하였다. Although it is not shown in the drawings, it was confirmed that, in the case of maintaining the same amount of pressure loss, Example 1 can reduce the width of the vertical wind direction compared with Comparative Example 1, thereby reducing the area required for the construction of the clean room.

평가예 4: 기류의 정체 구간 크기 평가Evaluation Example 4: Evaluation of stagnation zone size of airflow

상기 실시예 1 및 비교예 1에서 수행한 컴퓨터 시뮬레이션의 한 결과로서, 도 4의 클린룸 공조 시스템의 일 단면 및 이에 대응되는 비교 클린룸 공조 시스템의 일 단면에서의 기류의 정체 구간의 크기를 도 13에 비교 형식으로 나타내었다. 도 13의 (a)는 비교예 1의 결과이고, 도 13의 (b)는 실시예 1의 결과이다.As a result of the computer simulation performed in the embodiment 1 and the comparative example 1, the one end surface of the clean room air conditioning system shown in Fig. 4 and the size of the stagnation section of the air current in one cross section of the comparative clean room air conditioning system corresponding thereto 13. Fig. 13 (a) is the result of Comparative Example 1, and Fig. 13 (b) is the result of Example 1. Fig.

도 13을 참조하면, 상기 실시예 1에서와 같이 수직풍도와 급기 플리넘(Supply Plenum) 사이의 코너부를 경사면으로 구성하는 경우에는, 상기 비교예 1에서와 같이 당해 코너부를 직각면으로 구성하는 경우에 비해 클린룸 내부에서 벽체와 천장이 만나는 모서리부와 같이 기류가 정체될 수 있는 구간(즉, 청정도 유지 측면에서 매우 불리한 구간)이 현저히 축소되어 청정도 유지 관점에서 유리한 장점이 있음을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 13, when the corner portion between the vertical wind direction and the supply plenum is formed as an inclined plane as in the first embodiment, when the corner portion is formed as a right angle surface as in Comparative Example 1 (Ie, a very disadvantageous area in terms of maintaining cleanliness), such as the corner where the wall and the ceiling meet in the clean room, can be stagnated, which is advantageous in terms of maintaining cleanliness have.

본 발명은 도면 및 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 구현예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다. Although the present invention has been described with reference to the drawings and embodiments, it is to be understood that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

10: 시스템 실링 11~21: 몰드바
J1~J5: 조인트 G1~G6: 그리드
10: System sealing 11 to 21: Molded bar
J1 to J5: joints G1 to G6: grid

Claims (10)

수평방향으로 배치된 제1 그리드 집합체; 및
상기 제1 그리드 집합체에 경사지게 결합된 제2 그리드 집합체를 포함하고,
상기 제1 그리드 집합체 및 상기 제2 그리드 집합체는 각각 서로 독립적으로 개구의 형상, 개구의 크기 및 조인트의 구조 중 적어도 하나가 다른 3종 이상의 그리드를 포함하고,
상기 제1 그리드 집합체는 1종 이상의 직각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 티 조인트, 1종 이상의 둔각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 몰드바 및 1종 이상의 둔각 몰드바를 포함하고,
상기 제1 그리드 집합체는 제1 그리드 및 제2 그리드를 포함하고,
상기 제1 그리드는 제1 둔각 몰드바, 제1 둔각 크로스 조인트, 제1 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 제2 직각 몰드바, 또 다른 제1 직각 크로스 조인트, 또 다른 제1 직각 몰드바 및 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고,
상기 제2 그리드는 제2 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 제3 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 또 다른 제2 직각 몰드바, 또 다른 제1 직각 크로스 조인트, 또 다른 제3 직각 몰드바 및 또 다른 제1 직각 크로스 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고,
상기 제1 그리드 및 상기 제2 그리드는 상기 제2 직각 몰드바들 중 1개 및 상기 제1 직각 크로스 조인트들 중 2개를 서로 공유하는 클린룸용 시스템 실링.
A first grid assembly arranged in a horizontal direction; And
And a second grid aggregate inclinedly coupled to the first grid aggregate,
Wherein the first grid assembly and the second grid assembly each independently include at least three different types of grids, at least one of the shape of the opening, the size of the opening, and the structure of the joint,
Wherein the first grid assembly comprises at least one right angle cross joint, at least one right angle tee joint, at least one obtuse angle cross joint, at least one right angle mold bar and at least one obtuse angle mold bar,
Wherein the first grid aggregate comprises a first grid and a second grid,
Wherein the first grid comprises a first obtuse angle mold bar, a first obtuse angle cross joint, a first right angle mold bar, a first right angle cross bar, a second right angle mold bar, another first right angle cross bar, And another first obtuse angled cross joint are connected in this order and joined together,
Wherein the second grid comprises a second right angle mold bar, a first right angle cross bar, a third right angle mold bar, a first right angle cross bar, another second right angle mold bar, another first right angle cross bar, A mold bar and another first right-angled cross joint are connected in this order to form a combined rectangular shape,
Wherein the first grid and the second grid share one of the second right angle mold bars and two of the first right angle cross joints.
제1항에 있어서,
상기 제1 그리드 집합체는 제3 그리드를 더 포함하고,
상기 제3 그리드는 제1 둔각 몰드바, 제2 둔각 크로스 조인트, 제2 둔각 몰드바, 제1 둔각 크로스 조인트, 제2 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 제1 직각 몰드바 및 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고,
상기 제1 그리드 및 상기 제3 그리드는 상기 제1 직각 몰드바들 중 1개, 상기 제1 직각 크로스 조인트들 중 1개 및 상기 제1 둔각 크로스 조인트들 중 1개를 서로 공유하는 클린룸용 시스템 실링.
The method according to claim 1,
Wherein the first grid aggregate further comprises a third grid,
The third grid includes a first obtuse angle mold bar, a second obtuse angle cross bar, a second obtuse angle bar, a first obtuse angle cross bar, a second right angle mold bar, a first right angle cross bar, 1 < / RTI > oblique cross joints are connected in this order to form a combined rectangular shape,
Wherein the first grid and the third grid share one of the first right angle mold bars, one of the first right angle cross joints and one of the first oblong angle cross joints.
제1항에 있어서,
상기 제2 그리드 집합체는 1종 이상의 엘 조인트, 1종 이상의 예각 티 조인트, 1종 이상의 둔각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 몰드바, 1종 이상의 예각 몰드바 및 1종 이상의 둔각 몰드바를 포함하는 클린룸용 시스템 실링.
The method according to claim 1,
Wherein the second grid aggregate comprises at least one elbow joint, at least one acute angle tee joint, at least one obtuse angle cross joint, at least one right angle mold bar, at least one acute angle mold bar, and at least one obtuse angle mold bar for a clean room System sealing.
제3항에 있어서,
상기 제2 그리드 집합체는 제4 그리드, 제5 그리드 및 제6 그리드를 포함하고,
상기 제4 그리드는 제1 예각 몰드바, 예각 티 조인트, 제4 직각 몰드바, 제1 둔각 크로스 조인트, 제1 둔각 몰드바, 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트, 또 다른 제4 직각 몰드바 및 또 다른 예각 티 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고,
상기 제5 그리드는 제1 예각 몰드바, 예각 티 조인트, 제4 직각 몰드바, 제2 둔각 크로스 조인트, 제1 둔각 몰드바, 제1 둔각 크로스 조인트, 또 다른 제4 직각 몰드바 및 또 다른 예각 티 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고,
상기 제6 그리드는 제2 예각 몰드바, 엘 조인트, 또 다른 제2 예각 몰드바, 예각 티 조인트, 제4 직각 몰드바, 제2 둔각 크로스 조인트, 또 다른 제4 직각 몰드바 및 또 다른 예각 티 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고,
상기 제4 그리드 및 상기 제5 그리드는 상기 제4 직각 몰드바들 중 1개, 상기 제1 둔각 크로스 조인트들 중 1개 및 상기 예각 티 조인트들 중 1개를 서로 공유하고,
상기 제5 그리드 및 상기 제6 그리드는 상기 제4 직각 몰드바들 중 1개, 상기 제2 둔각 크로스 조인트들 중 1개 및 상기 예각 티 조인트들 중 1개를 서로 공유하는 클린룸용 시스템 실링.
The method of claim 3,
The second grid aggregate includes a fourth grid, a fifth grid, and a sixth grid,
The fourth grid comprises a first acute angled mold bar, an acute angle tee joint, a fourth right angle mold bar, a first obtuse angle cross joint, a first obtuse angle mold bar, another first obtuse angle cross joint, another fourth right angle mold bar, And another serrated tee joint is connected in this order to form a combined rectangular shape,
Wherein the fifth grid comprises a first acute angled mold bar, an acute angle tee joint, a fourth right angle mold bar, a second obtuse angle cross joint, a first obtuse angle mold bar, a first obtuse angle cross joint, another fourth right angle mold bar, Tee joints are connected in this order to form a combined rectangular shape,
The sixth grid includes a second acute angle mold bar, an elbow joint, another second acute angle mold bar, an acute angle tee joint, a fourth right angle mold bar, a second obtuse angle cross joint, another fourth right angle mold bar, Joints are connected in this order to form a combined rectangular shape,
Wherein the fourth grid and the fifth grid share one of the fourth right angle mold bars, one of the first obtuse angle joints and one of the acute angle joints,
Wherein the fifth grid and the sixth grid share one of the fourth right angle molded bars, one of the second obtuse angle joints and one of the acute angle joints.
클린룸의 천장부에 배치되어 클린룸의 내부와 상부를 구획하고 공조 설비를 통해 상기 클린룸 내부로 공기를 공급하도록 구성된, 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 클린룸용 시스템 실링; 및
상기 클린룸의 주변부에 배치되어 상기 클린룸의 하부에서 배출된 공기를 상기 시스템 실링 상부로 이송하도록 구성된 수직풍도를 포함하는 클린룸 공조 시스템.
A system seal for a clean room according to any one of claims 1 to 4, arranged in a ceiling of a clean room to partition the inside and the top of the clean room and supply air into the clean room through an air conditioning system. And
And a vertical air flow direction disposed in the periphery of the clean room and configured to transfer air discharged from a lower portion of the clean room to an upper portion of the system seal.
제5항에 있어서,
상기 클린룸 공조 시스템은 상기 수직풍도에서 배출된 공기가 상기 시스템 실링 상부로 유입될 때 90°이상의 각도로 방향 전환 되도록 구성된 클린룸 공조 시스템.
6. The method of claim 5,
Wherein the clean room air conditioning system is configured to change direction at an angle of 90 ° or more when air discharged from the vertical air flow is introduced into the upper portion of the system ceiling.
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