KR101955454B1 - Tv oled 증착용 개별 마스크 및 이의 제조방법 - Google Patents

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유명훈
탁윤흥
이재훈
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풍원정밀(주)
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Abstract

본 발명은 TV OLED 증착용 개별 마스크 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 지지영역과 비지지영역을 포함하는 TV OLED 증착용 개별 마스크가 상기 지지영역에 지지대를 포함하는 것에 의해 TFT 글라스에 데미지를 최소화하는 TV OLED 증착용 개별 마스크 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 지지 영역 및 비지지 영역을 포함하며, 상기 지지 영역은 TFT glass와의 접촉에 의한 데미지를 없앨 수 있는 지지대를 포함하고, 상기 비지지 영역은 관통홀을 포함하며, 상기 지지대의 높이는 전체 두께의 50 내지 75%의 두께이고, 재질은 SUS 300계열 또는 Ni 합금인 TV OLED 증착용 개별 마스크를 제공한다. 또한, 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 일면에 보호필름이 부착된 금속기판의 양 표면을 세척하는 정면단계; 상기 금속기판의 타면에 감광필름을 라미네이션(Lamination) 시킨 후 건조시키는 라미단계; 상기 감광필름이 라미된 금속기판의 표면에 포토 마스크를 위치시키고 UV 조사를 통하여 상기 감광필름에 원하는 형상을 패턴화(Patterning)하는 노광단계; 상기 노광단계에서 노광되지 않은 부분을 제거하는 현상단계; 상기 감광필름이 제거된 금속기판의 표면을 에칭액으로 부식시켜 스틱 형태로 제작되는 에칭 단계; 및 상기 에칭 단계로 만들어진 스틱 표면에 지지대를 부착시키는 부착단계;를 포함하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법을 제공한다.

Description

TV OLED 증착용 개별 마스크 및 이의 제조방법{SEPARATE MASK USED AT DEPOSITION STEP OF TV OLED AND THE MANUFACTURING METHODE THEREOF}
본 발명은 TV OLED 증착용 개별 마스크 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 지지영역과 비지지영역을 포함하는 TV OLED 증착용 개별 마스크가 상기 지지영역에 지지대를 포함하는 것에 의해 TFT 글라스에 데미지를 최소화하는 TV OLED 증착용 개별 마스크 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
최근 수요자들의 니즈에 따라 65인치를 넘어 77인치 또는 85인치 그 이상으로 TV가 대면적화 되면서 TV 증착 공정에 필요한 오픈 마스크(Open mask)와 관련된 기술 분야 역시 지속적으로 연구되고 있으며, 대면적 TV의 양산을 위해 증착에 필요한 오픈 마스크 또한 기술적으로 중요시 되고 있다.
OLED 디스플레이는 TFT 글라스 위에 OLED 발광을 위한 다양한 공통층들, R/G/B 층 및 최종 Encap. 층으로 이루어져 형성된다. 상기 OLED 디스플레이를 제작하기 위해서는 공통층을 증착해야 하며, 상기 공통층을 증착하기 위해서는 마스크가 반드시 필요하다.
OLED 모바일용 증착 장비에는 6세대가 주로 사용되고 있으며, 이음새가 없이 한장의 금속박판으로 가공 및 제작되는 원장 형태의 마스크는 그의 절반 수준인 1,700mm×1,100mm(G6H) 사이즈가 현재 이용할 수 있는 사이즈로 한계이다. 그러나, OLED TV 증착 장비는 8세대가 주로 사용되는 사이즈에 해당하며, 10.5세대까지 가능한 것으로 당업계에서는 인식되어 있다. 다만 6세대 이상의 마스크는 원장 형태로 제작이 불가능하여, 스틱 형태를 개별 인장하여 마스크를 제작해야 하는 문제점이 있었다. 다만, TV 공통층 증착시 종래의 공정에서 발생하는 문제점들을 해결하는 경우 대면적 TV들의 양산 수율을 끌어 올릴 것으로 예상된다.
TV용 오픈 마스크는 상기 공통층 레이어(layer) 증착 시 마스크의 역할과 증착 공정에서 사용되는 대면적 TFT 글라스의 지지대 역할을 해야 할 것을 요구한다.
한편, 증착 공정 과정에서 대면적 TFT 글라스와 마스크 간의 컨택 정도에 따라 스크레치가 발생하며, 컨택이 심할 경우 TFT 글라스가 깨지는 문제가 발생한다. 결국 국부적으로 TFT 글라스와 컨택하면서 스크레치를 최소화 할 수 있는 마스크를 갖춰야 한다. 따라서, TFT 글라스와 컨택되는 마스크 영역은 스크레치를 최소화하기 위해 TFT 글라스와 지지대 간의 간격과 지지대의 위치가 중요하다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여, 금속기판을 구현하기 위한 방법으로 TV OLED 증착용 개별 마스크 가공 공정에서 슬리팅(slitting) 단계 또는 에칭(etching) 단계를 포함하며, TFT 글라스와의 간격을 유지하기 위한 방법으로 마스크 면에 지지대를 형성하기 위한 지지대 용접 단계 또는 프레스 엠보싱(Press embossing) 단계, 즉 프레스 단계를 포함한다.
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, TV 증착 공정에서 대면적 TFT 글라스와의 간격을 유지하는 동시에 스크레치 발생을 최소화할 수 있는 TV OLED 증착용 개별 마스크를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 본 발명의 기재로부터 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 지지 영역 및 비지지 영역을 포함하며, 상기 지지 영역은 TFT 글라스와의 접촉에 의한 데미지를 없앨 수 있는 지지대를 포함하며, 상기 비지지 영역은 관통홀을 포함하며, 상기 지지대의 높이는 전체 두께의 50 내지 75%의 두께이고, 재질은 SUS 300계열, SUS 400계열 또는 Ni 합금인 TV OLED 증착용 개별 마스크를 제공한다.
본 발명에서 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 두께는 0.03mm 내지 0.5mm인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 폭은 5mm 내지 100mm인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 관통홀은 원형 또는 타원형인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대는 하나 이상인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대가 2 이상인 경우, 상기 지지대 사이의 간격은 1mm 내지 100mm인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대가 3 이상인 경우, 상기 지지대는 규칙적인 간격 또는 불규칙적인 간격으로 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대가 3 이상인 경우, 상기 지지대는 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 일축과 평행하게 배치되거나 수직하게 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대의 폭과 길이는 1mm 내지 20mm이며, 상기 지지대의 높이는 0.3mm 내지 0.8mm인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대의 면적은 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 총 면적의 5% 내지 50%인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대의 형상은 사각형 또는 원통의 형상인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대는 일단층 이상인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대는 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크와 일체로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 지지대는 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 표면에 용접에 의하여 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 일면에 보호필름이 부착된 금속기판의 양 표면을 세척하는 정면단계; 상기 금속기판의 타면에 감광필름을 라미네이션(Lamination) 시킨 후 건조시키는 라미단계; 상기 감광필름이 라미된 금속기판의 표면에 포토 마스크를 위치시키고 UV 조사를 통하여 상기 감광필름에 원하는 형상을 패턴화(Patterning)하는 노광단계; 상기 노광단계에서 노광되지 않은 부분을 제거하는 현상단계; 상기 감광필름이 제거된 금속기판의 표면을 에칭액으로 부식시켜 스틱 형태로 제작되는 에칭 단계; 상기 에칭 단계로 만들어진 스틱 표면에 지지대를 부착시키는 부착단계;를 포함하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 있어서, 상기 부착단계는 레이저 용접에 의하여 지지대를 부착시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 용접의 파워는 90 내지 120V이며, 상기 용접의 시간은 3.5 내지 4.0 ms인 것이 바람직하다.
한편, 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 일면에 보호필름이 부착된 금속기판의 양 표면을 세척하는 정면단계; 상기 금속기판의 타면에 감광필름을 라미네이션(Lamination) 시킨 후 건조시키는 라미단계; 상기 감광필름이 라미된 금속기판의 표면에 포토 마스크를 위치시키고 UV 조사를 통하여 상기 감광필름에 원하는 형상을 패턴화(Patterning)하는 노광단계; 상기 노광단계에서 노광되지 않은 부분을 제거하는 현상단계; 상기 감광필름이 제거된 금속기판의 표면을 에칭액으로 부식시켜 스틱 형태로 제작되는 에칭 단계; 상기 에칭 단계로 만들어진 스틱 표면에 프레스 방법을 이용하여 지지대를 형성하는 프레스 단계;를 포함하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 있어서, 상기 프레스 단계는 상기 지지대가 원통형으로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 프레스 방법은 1 내지 10톤의 힘을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명의 TV OLED 증착용 개별 마스크에 의하면, TV 증착공정에서 대면적 TFT 글라스를 지지하며, 동시에 스크레치 발생을 제거할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래기술에 따른 TV OLED 증착용 개별 마스크의 구성도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 TV OLED 증착용 개별 마스크의 구성도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 지지영역 확대도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 단면도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 지지영역 확대도.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 단면도.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 지지영역 확대도.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 단면도.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 접착형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 지지영역 제1확대도.
도 10는 본 발명의 일실시예에 따른 접착형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 지지영역 제2확대도.
도11은 본 발명의 일실시예에 따른 접착형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 단면도.
도12는 본 발명의 일실시예에 따른 접착형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 단면도.
도13은 본 발명의 일실시예에 따른 접착형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법의 순서도.
도14는 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법의 순서도.
도15는 본 발명의 일실시예에 따른 에칭을 이용한 지지대 형성 이전의 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법의 단계별 구성도.
도16은 본 발명의 일실시예에 따른 슬리팅을 이용한 지지대 형성 이전의 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법의 순서도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 또한, 본 발명은 하기에 제시된 도면의 형태에 국한되지 않고 다양한 형태로 구현이 가능하다. 도면들은 축척에 맞게 도시되지 않았으며 그 형태, 치수 등에 있어 명확성 및 편의를 위해 과장되게 도시되었으며 임의의 치수 또한 설명하기 위한 예시적인 것으로, 실시 예에 불과하다.
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, TV OLED 증착용 개별 마스크 및 이의 제조방법에 관한 것이며, 일 관점으로 보면 TV OLED 증착용 개별 마스크에 관한 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 TV OLED 증착용 개별 마스크(10)의 구성도이다. 기술의 발전과 소비자들의 요구에 의하여 점차 대형 TV에 대한 수요가 증가하고 있다. 이에 부응하는 OLED 디스플레이를 제조하기 위해서는 반드시 요구되는 공정으로 TFT 글라스에 공통층을 증착하는 공정이 존재한다.
종래의 TV용 공통층을 증착하는 공정에서는 오픈 마스크(Open Mask)가 반드시 요구되었으나, OLED 디스플레이 제조과정에서 이용되는 TFT 글라스의 면적이 대면적화 되어 감에 따라 이음새가 없는 원장 형태의 오픈 마스크(Open Mask)를 제작할 수 없는 문제가 발생하였다. 이를 위하여 대면적의 오픈 마스크를 구성하기 위한 도 1과 같은 TV OLED 증착용 개별 마스크를 제조하였지만 상기 대면적 TFT 글라스의 처짐에 의해 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크와의 접촉으로 스크레치가 발생하는 문제가 발생하였다.
상기 TFT 글라스에 상기 스크레치가 발생하는 경우 공통층 증착 과정 또는 다른 증착 과정에서 상기 TFT 글라스가 파손될 위험이 존재하였다.
상술한 문제점인 상기 TFT 글라스의 파손을 방지하기 위하여, TV OLED 증착용 개별 마스크는 지지영역 및 비지지영역을 포함하며, 상기 지지 영역은 TFT 글라스와의 접촉에 의한 데미지를 없앨 수 있는 지지대를 포함한다.
또한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 재질은 SUS 300계열, SUS 400계열 또는 Ni 합금인 것이 바람직하다. 이는 증착 공정의 고온 환경에서 마스크의 변형을 최소화할 수 있는 효과가 있기 때문이며, 타 재질로 형성된 TV OLED 증착용 개별 마스크의 경우에는 증착공정에서 고온에 의해 마스크의 변형이 발생하여 증착 공정의 정밀도를 저하시키는 문제점이 발생한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 TV OLED 증착용 개별 마스크의 구성도(100)이다. 도 2와 같은 TV OLED 증착용 개별 마스크는 지지영역(110)과 비지지영역(120)을 포함하며, 상기 지지영역은 TFT　글라스와 접촉하며, 상기 TFT 글라스는 증착 과정에서 스크레치가 발생하더라도 TFT 회로에 영향을 주지 않는 영역에 위치하여 증착 과정에서의 발생하는 문제점을 방지할 수 있다.
또한, 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 두께는 0.03mm 내지 0.5mm인 것이 바람직하다. 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 두께가 0.03mm미만인 경우 TFT 글라스와의 접촉면이 TFT 글라스의 하중을 버티지 못하는 문제점이 발생하며, 0.5mm 이상의 두께를 갖는 TV OLED 증착용 개별 마스크는 치수 품질의 문제가 발생한다.
나아가, 도 2와 같이 본 발명에 있어서 TV OLED 증착용 개별 마스크에 관통홀(130)이 형성되어 있는 것을 확인할 수 있으며, 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 비지지영역에는 도 2와 같이 원형 또는 타원형의 관통홀(130)이 포함되는 것이 바람직하다.
더불어, 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크는 상기 지지대를 하나 이상 포함하는 것이 바람직하며, 상기 지지대가 2 이상인 경우, 상기 지지대 사이의 간격은 1mm 내지 100mm인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 10mm 내지 100mm인 것이 바람직하다.
상기 지지대의 면적은 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 총 면적의 0%초과 내지 100%미만인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 5% 내지 50%인 것이 바람직하며, TFT 글라스의 데미지-프리 또는 스크레치-프리(scratch-free)가 필요한 면적에 따라 상기 지지대의 면적을 변화시킬 수 있다. 상기 지지대의 면적은 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 총 면적의 5% 미만인 경우 TFT 글라스를 지지할 때 글라스의 무게에 대한 분산이 효과적으로 이루어지지 않아 지지대가 변형되는 문제점이 발생하며, 50% 초과인 경우 TV OLED 증착용 개별 마스크가 변형되는 문제점이 발생한다.
상기 지지대는 TV OLED 증착용 개별 마스크 두께의 100 내지 300%의 두께를 갖는 것이 바람직하다. 즉, 지지대의 높이는 전체 두께의 50% 내지 75%의 두께인 것이 바람직하다. 상기 지지대의 높이가 TV OLED 증착용 개별 마스크 두께의 100% 미만인 경우 TFT 글라스와 TV OLED 증착용 개별 마스크가 접촉되는 문제점이 발생하며, 300% 초과인 경우 지지대를 일체로 형성할 때 적용되는 프레스 공정에서 마스크가 찢어지는 문제점이 발생한다.
또한 상기 지지대의 높이는 0.3 내지 0.8mm로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 지지대의 높이가 0.3mm 미만인 경우 TFT 글라스와 TV OLED 증착용 개별 마스크와 접촉이 발생되는 문제점이 있으며, 0.8mm을 초과하는 경우 프레스 공정에서 TV OLED 증착용 개별 마스크가 찢어지는 문제점이 발생한다.
나아가. 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크는 일 측면이 긴 사각형의 형태인 것이 바람직하며, 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 지지대는 사각형 또는 원통의 형상인 것이 바람직하다. 상기 지지대가 사각형 또는 원통인 경우에는 접촉되는 면적에 의한 TFT 글라스의 데미지가 최소화되는 효과가 발생한다.
더불어. 상기 지지대는 하나의 층 이상을 포함하는 것이 바람직하며, 하나의 층 이상으로 구성되는 경우 TFT 글라스와 TV OLED 증착용 개별 마스크와의 접촉이 최소화되는 효과가 발생한다.
상기 지지대는 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크와 일체로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 지지대는 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 표면에 용접에 의하여 형성되는 것이 바람직하다.
상기 지지대가 3 이상인 경우, 상기 지지대는 규칙적인 간격 또는 불규칙적인 간격으로 배치되는 것이 바람직하다.
더불어, 상기 지지대의 크기는 지름 4mm이내 인 것이 바람직하며, 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 지지대의 크기는 20mm×10mm이내인 것이 바람직하다. 상기 지지대의 크기를 초과하는 경우 TFT 글라스의 스크레치 프리영역을 침투하게 되는 문제점이 발생한다.
한편, 본 발명에 있어서, 상기 지지대가 TFT 글라스에 데미지를 없앨 수 있게 하기 위해서는 지지대의 형상을 설계하는 것이 중요하다. 또한, 상기 지지대는 TFT 글라스 무게에 대한 내구성 및 TFT 글라스에 데미지를 없앨 수 있는 형상을 가져야 하는 것이 바람직하다. 도 3, 도 5, 도 7 및 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크의 지지영역 확대도이다. 도 3, 도 5, 도 7 및 도 9와 같이 TV OLED 증착용 개별 마스크에 지지대가 포함되어 있는 것을 확인할 수 있다. 즉, TFT 글라스 무게에 대한 내구성을 향상시키거나 TFT 글라스에 데미지를 최소화할 수 있도록 상기 지지대가 도 3과 같이 원형의 형상을 갖을 수 있으며, 도 5 및 도 7과 같이 사각형의 형상을 갖을 수 있고, 도9와 같이 일체형이 아닌 접착형으로 형성이 가능하다.
나아가, TFT 글라스에 데미지를 최소화하기 위하여 지지대는 도 3, 도 5 및 도 7과 같이 TV OLED 증착용 개별 마스크와 일체로 형성되어 일체형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크가 구성되거나 도 9 및 도 10과 같이 지지대가 TV OLED 증착용 개별 마스크에 부착되어 접착형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크가 형성될 수 있다.
또한, 상기 도 3, 도 5, 도 7 및 도 9에서 원형 또는 사각형 형상으로 한정하였으나, TFT 글라스의 데미지를 최소화하기 위하여 원형 또는 사각형와 유사한 효과를 나타내는 다양한 형상의 지지대가 적용될 수 있으며, 도면에 제시된 형태에 한정되지 않는다.
또한, 도 4, 도 6, 도 8, 도 11 및 도 12와 같이 금속기판의 일 표면에 지지대가 돌출되어 있는 것을 확인할 수 있으며, 상기 돌출된 지지대에 의하여 TFT 글라스에 지지대만이 접촉될 수 있는 것을 확인할 수 있다.
한편, 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 TV OLED 증착용 개별 마스크 및 이의 제조방법에 있어서, 다른 일 측면에서 살펴보면, TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법에 해당한다.
보다 구체적으로 살펴보면, 도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 접착형 지지대를 포함한 TV OLED 증착용 개별 마스크 제조방법의 순서도이다. 일면에 보호필름(210)이 부착된 금속기판(200)의 양 표면을 세척하는 정면단계(S101); 상기 금속기판의 타면에 감광필름(220)을 라미네이션(Lamination) 시킨 후 건조시키는 라미단계(S103); 상기 감광필름이 라미된 금속기판의 표면에 포토 마스크(230)를 위치시키고 UV(240) 조사를 통하여 상기 감광필름에 원하는 형상을 패턴화(Patterning)하는 노광단계(S105); 상기 노광단계에서 노광되지 않은 부분(250)을 제거하는 현상단계(S107); 상기 감광필름이 제거된 금속기판의 표면을 에칭액으로 부식시켜 스틱 형태로 제작되는 에칭 단계(S109); 및 상기 에칭 단계로 만들어진 스틱 표면에 지지대를 부착시키는 부착단계(S111);를 포함하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 있어서, 상기 에칭단계에서 제작되는 스틱 형태의 금속기판, 즉 TV OLED 증착용 개별 마스크의 폭은 5 내지 100mm인 것이 바람직하다. 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 폭이 5mm 미만인 경우 공통층 증착과정에서 공통층이 증착되는 영역을 초과하는 문제점이 발생하며, 100mm 초과인 경우 공통층 증착과정에서 공통층이 증착되는 영역이 부족하게 되는 문제점이 발생한다.
또한, 상기 에칭단계에서 제작되는 스틱 형태의 금속기판, 즉 TV OLED 증착용 개별 마스크의 길이는 2 내지 4.5m인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 2 내지 3.1m인 것이 바람직하다. 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 폭이 2m미만인 경우 공통층 증착과정에서 공통층이 증착되는 영역이 부족하게 되는 문제점이 발생하며, 4.5m 초과인 경우 공통층이 증착되는 영역이 초과되는 문제점이 발생한다.
상기 부착단계는 레이져 용접에 의하여 지지대를 부착시키는 것이 바람직하며, 상기 용접의 파워는 90 내지 120V이며, 상기 용접의 시간은 3.5 내지 4.0 ms인 것이 바람직하다. 용접의 파워가 90V 미만이거나 용접의 시간이 3.5 ms 미만인 경우 지지대가 떨어져 나가기 쉬우며, 용접의 파워가 120V 초과하거나 용접의 시간이 4.0 ms가 초과되면 TV OLED 증착용 개별 마스크에 변형이 발생되는 문제점이 있다.
상기 지지대의 용접에 있어서 용접량이 적으면 증착 공정 시 지지대 탈리 현상이 발생하는 문제점이 있으며, 용접량이 많아지면 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 변형을 유발한다. 따라서, 지지대 용접 시 12 내지 16번 정도 용접을 진행하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명은 일면에 보호필름(210)이 부착된 금속기판(200)의 양 표면을 세척하는 정면단계(S201); 상기 금속기판의 타면에 감광필름(200)을 라미네이션(Lamination) 시킨 후 건조시키는 라미단계(S203); 상기 감광필름이 라미된 금속기판의 표면에 포토 마스크(230)를 위치시키고 UV(240) 조사를 통하여 상기 감광필름에 원하는 형상을 패턴화(Patterning)하는 노광단계(S205); 상기 노광단계에서 노광되지 않은 부분(250)을 제거하는 현상단계(S207); 상기 감광필름이 제거된 금속기판의 표면을 에칭액으로 부식시켜 스틱 형태로 제작되는 에칭 단계(S209); 및 상기 에칭 단계로 만들어진 스틱 표면에 프레스 방법을 이용하여 지지대를 형성하는 프레스 단계(S211);를 포함하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서 상기 프레스 단계는 상기 지지대가 원통형으로 형성되는 것이 바람직하다. 나아가, 상기 프레스 방법은 1 내지 10톤의 힘을 갖는 것이 바람직하다. 만일 1톤 미만의 힘으로 프레스 작업하는 경우 원하는 높이의 지지대를 얻기 힘들어 TFT 글라스와 TV OLED 증착용 개별 마스크가 접촉에 의하여 데미지가 발생하는 문제점이 있으며, 10톤을 초과하는 힘으로 프레스 작업을 하는 경우 지지대의 높이가 과도하게 높거나 프레스 작업 중 마스크가 찢어지는 문제점이 발생한다.
도15은 본 발명의 일실시예에 따른 에칭을 이용한 지지대 형성 이전의 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법의 단계별 구성도이다. 구체적으로 살펴보면, 도 15(b)와 같이 금속기판의 일면에 보호필름을 부착시킨다. 이후 상기 보호필름이 부착된 금속기판의 양면을 세척한다. 이후 도 15(c)와 같이 상기 금속기판의 타면에 감광필름을 라미네이션 시킨 후 건조시킨다. 이 후 도 15(d)와 같이 상기 감광필름이 라미네이션된 금속기판에 포토 마스크를 위치시키고 UV 조사를 통하여 노광시켜 도 15(e)와 같이 상기 감광필름에 특정한 형상을 패턴화시킨다. 이후 도 15(f)와 같이 감광필름에서 노광되지 않은 부분을 제거하고 도 15(g)와 같이 감광필름이 제거된 금속기판의 표면을 에칭액으로 부식시킨다.
본 발명에서 지지대 형성하기 이전의 TV OLED 증착용 개별 마스크는 에칭을 이용하여 형성하였지만 이에 한정되지 않으며, 금속기판을 스틱 형태로 형성시킬 수 있는 다양한 방법이 적용될 수 있다. 대표적으로 슬리팅(slitting) 및 샤링(shearing)에 의한 스틱 형태의 금속기판 제작 또는 레이져 커팅(laser cutting)을 통한 스틱 형태의 금속기판 제작이 가능하며, 이에 한정되지 않는다.
도16은 본 발명의 일실시예에 따른 슬리팅을 이용한 지지대 형성 이전의 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법의 순서도이다. 구체적으로 살펴보면, 롤(roll) 형태로 감겨진 금속기판 코일을 슬리팅 기계의 권출부에 부착한다(S301). 이후, 상기 감겨진 코일을 풀어 금속기판을 나이프로 이송시킨다(S303). 기계에 부착된 나이프를 통해 금속기판을 슬리팅(slitting) 한다(S305). 상기 공정으로 만들어진 금속기판을 용도에 맞게 샤링한다(S307). 이후, 상기 절단된 금속기판에 원형 또는 타원형의 관통 홀을 펀칭 공법으로 가공한다(S309). 상기 공정으로 만들어진 금속기판의 버(Burr) 제거를 위해 디버링(De-burring) 단계를 거친다(S311).
한편, 상기 에칭 또는 상기 슬리팅으로 제조된 지지대 형성 이전의 TV OLED 증착용 개별 마스크에 일체형 지지대를 형성하는 방법은 구체적으로 다음과 같다.
상기 상기 에칭 또는 상기 슬리팅으로 제조된 지지대 형성 이전의 TV OLED 증착용 개별 마스크를 프레스 장치의 로딩(loading)부에 안착시킨다. 이후 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크를 프레스 지점까지 이동시킨다. 상기 이동된 TV OLED 증착용 개별 마스크에 압력을 가하여 지지대를 형성한다. 이후 일정 이격된 간격을 주고 프레스 엠보 작업을 반복한다. 작업과 동시에 상기 프레스된 TV OLED 증착용 개별 마스크는 언로딩(unloading)부를 통해 반대편으로 이송된다. 또한, 본 발명에서 상기 프레스의 압력은 1 내지 10 톤의 힘을 갖는 것이 바람직하다.
나아가, 본 발명에서는 에칭 방법이 필요하며 에칭방법으로는 정면 단계 - 라미 단계 - 노광 단계 - 현상 단계 - 에칭 단계를 포함할 수 있으며, 추가적으로 에칭된 TV OLED 증착용 개별 마스크의 노광된 감광필름을 박리하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 라미단계에서는 감광필름을 이용할 수 있으나, 이외에도 감광액 또는 감광성 물질을 코팅 및 건조하여 감광층을 형성하는 것을 이용할 수 있다. 상기 감광성 물질로는 건식 혹은 습식 형태의 물질이 사용될 수 있다.
또한, 슬리팅 방법으로 코일 권출부 적재 단계 - 나이프 이송 단계 - 슬리팅 단계 - 샤링 단계 - 펀칭 단계 - 디버링 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 에칭 또는 슬리팅에 의하여 제조된 지지대 형성 이전의 TV OLED 증착용 개별 마스크의 경우, 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크에 의해 TFT 글라스에 데미지가 갈 위험이 많아 지지대를 형성하는 것이 바람직하다.
지지대가 형성되지 않은 TV OLED 증착용 개별 마스크에 상기 지지대를 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 일면에 부착 또는 프레스를 통해 엠보를 형성하여 지지대를 구성한다.
상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 지지대는 부착을 통하여 형성되는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 일정 위치에 용접을 하여 지지대를 부착하여 형성시키는 것이 바람직하다.
상기 지지대는 하나 이상의 층으로 구성되는 것이 바람직하다. 지지대가 하나 이상의 층으로 구성되는 경우 TFT 글라스와 TV OLED 증착용 개별 마스크와의 접촉을 최소화시킬 수 있는 효과가 발생한다.
상기 용접에 의하여 하나 이상의 지지대를 부착시키는 경우 지지대 별로 12 내지 16회 용접을 진행하는 것이 바람직하다. 용접 횟수가 12회 미만인 경우 증착 공정 시 지지대 탈리 현상이 발생하는 문제점이 있으며, 용접횟수가 16회 초과하는 경우 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 변형을 유발하는 문제가 있다.
상기 용접에서 지지대 용접의 파워는 90 내지 120V인 것이 바람직하며, 상기 용접에서 지지대 용접의 시간은 3.5 내지 4.0ms인 것이 바람직하다.
상기 지지대의 높이는 0.3 내지 0.8mm로 구성되는 것이 바람직하다. 지지대의 높이가 0.3mm 미만인 경우 시 TFT 글라스와 TV OLED 증착용 개별 마스크와 접촉이 발생하여 TFT 글라스에 데미지를 주는 문제가 있으며, 0.8mm 초과인 경우 프레스 공정 시 TV OLED 증착용 개별 마스크가 찢어지는 문제점이 발생한다.
추가적으로 지지대의 크기는 지름 4mm 이내인 것이 바람직하다. 만일 지지대의 크기가 지름 4mm 초과하는 경우 스크레치 프리 영역을 침투하는 문제점이 있다.
또한 상기 프레스 단계는 1 내지 10톤의 힘을 갖는 것이 바람직하다. 만일 1톤 이하의 힘으로 프레스 작업하는 경우 지지대의 높이가 낮아 TFT 글라스와 TV OLED 증착용 개별 마스크와 접촉이 발생하여 TFT 글라스에 데미지를 주는 문제가 있으며, 10톤 초과의 힘으로 프레스 작업 시 TV OLED 증착용 개별 마스크가 찢어지는 문제점이 발생한다.
본 발명은 TV OLED 증착용 개별 마스크에 지지대를 포함하는 것을 통하여, TFT 글라스에 스크레치를 제거할 수 있어 대형 OLED 디스플레이 제조과정 중 일부인 공통층 증착과정에서 상기 글라스의 파손을 방지하고 TV 대면적화를 가능하게 하며, 불량률을 제거하는 동시에 생산비용을 절감하는 장점이 있다.
이상 본 발명의 구체적 실시형태와 관련하여 본 발명을 설명하였으나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 설명된 실시형태를 변경 또는 변형할 수 있으며, 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
10 : 종래 기술의 TV OLED 증착용 개별 마스크
100 : 본 발명의 TV OLED 증착용 개별 마스크
110 : 지지영역
120 : 비지지영역
130 : 관통홀
200 : 금속기판
210 : 보호필름
220 : 감광필름
230 : 포토 마스크
240 : UV
250 : 노광되지 않은 부분
S101 : 정면단계
S103 : 라미단계
S105 : 노광단계
S107 : 현상단계
S109 : 에칭단계
S111 : 부착단계
S201 : 정면단계
S203 : 라미단계
S205 : 노광단계
S207 : 현상단계
S209 : 에칭단계
S211 : 프레스 단계
S301 : 코일 권출부 적재 단계
S303 : 나이프 이송 단계
S305 : 슬리팅 단계
S307 : 샤링 단계
S309 : 펀칭 단계
S311 : 디버링 단계

Claims (20)

  1. 지지 영역 및 비지지 영역을 포함하며,
    상기 지지 영역은 TFT 글라스와의 접촉에 의한 데미지를 없앨 수 있는 지지대를 포함하고,
    상기 비지지 영역은 관통홀을 포함하며,
    상기 지지대의 높이는 전체 두께의 50 내지 75%의 두께이고,
    재질은 SUS 300계열, SUS 400계열 또는 Ni 합금이며,
    상기 지지대의 폭과 길이는 1mm 내지 20mm이며,
    상기 지지대의 높이는 0.3mm 내지 0.8mm이고,
    상기 지지대의 면적은 TV OLED 증착용 개별 마스크의 총 면적의 5% 내지 50%인 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 두께는 0.03mm 내지 0.5mm인 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 폭은 5mm 내지 100mm인 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 관통홀은 원형 또는 타원형의 관통홀인 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지대는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 지지대가 2 이상인 경우, 상기 지지대 사이의 간격은 1mm 내지 100mm인 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 지지대가 3 이상인 경우, 상기 지지대는 규칙적인 간격 또는 불규칙적인 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 지지대가 3 이상인 경우, 상기 지지대는 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 일축과 평행하게 배치되거나 수직하게 배치되는 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제1항에 있어서,
    상기 지지대의 형상은 사각형 또는 원통의 형상인 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 지지대는 일 층 이상인 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 지지대는 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 지지대는 상기 TV OLED 증착용 개별 마스크의 표면에 용접에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크.
  15. 일면에 보호필름이 부착된 금속기판의 양 표면을 세척하는 정면단계; 상기 금속기판의 타면에 감광필름을 라미네이션(Lamination) 시킨 후 건조시키는 라미단계;
    상기 감광필름이 라미된 금속기판의 표면에 포토 마스크를 위치시키고 UV 조사를 통하여 상기 감광필름에 원하는 형상을 패턴화(Patterning)하는 노광단계;
    상기 노광단계에서 노광되지 않은 부분을 제거하는 현상단계; 상기 감광필름이 제거된 금속기판의 표면을 에칭액으로 부식시켜 스틱 형태로 제작되는 에칭 단계; 및
    상기 에칭 단계로 만들어진 스틱 표면에 지지대를 부착시키는 부착단계;를 포함하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 부착단계는 레이져 용접에 의하여 지지대를 부착시키는 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 용접의 파워는 90 내지 120V이며, 상기 용접의 시간은 3.5 내지 4.0 ms인 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법.
  18. 일면에 보호필름이 부착된 금속기판의 양 표면을 세척하는 정면단계; 상기 금속기판의 타면에 감광필름을 라미네이션(Lamination) 시킨 후 건조시키는 라미단계;
    상기 감광필름이 라미된 금속기판의 표면에 포토 마스크를 위치시키고 UV 조사를 통하여 상기 감광필름에 원하는 형상을 패턴화(Patterning)하는 노광단계;
    상기 노광단계에서 노광되지 않은 부분을 제거하는 현상단계; 상기 감광필름이 제거된 금속기판의 표면을 에칭액으로 부식시켜 스틱 형태로 제작되는 에칭 단계; 및
    상기 에칭 단계로 만들어진 스틱 표면에 프레스 방법을 이용하여 지지대를 형성하는 프레스 단계;를 포함하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 프레스 단계는 상기 지지대가 원통형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 프레스 방법은 1 내지 10톤의 힘을 갖는 것을 특징으로 하는 TV OLED 증착용 개별 마스크의 제조방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116511842A (zh) * 2023-04-27 2023-08-01 寰采星科技(宁波)有限公司 一种精密金属掩模板的制作方法及精密金属掩模板

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006052438A (ja) * 2004-08-11 2006-02-23 Eastman Kodak Co 蒸着用マスク
JP2007095411A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Toppan Printing Co Ltd 有機ｅｌ用メタルマスク及び有機ｅｌ素子の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006052438A (ja) * 2004-08-11 2006-02-23 Eastman Kodak Co 蒸着用マスク
JP2007095411A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Toppan Printing Co Ltd 有機ｅｌ用メタルマスク及び有機ｅｌ素子の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116511842A (zh) * 2023-04-27 2023-08-01 寰采星科技(宁波)有限公司 一种精密金属掩模板的制作方法及精密金属掩模板
CN116511842B (zh) * 2023-04-27 2023-10-03 寰采星科技(宁波)有限公司 一种精密金属掩模板的制作方法及精密金属掩模板

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