KR101943272B1 - 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템 - Google Patents

헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 장치에 관한 것으로, 압축공기 및 헬륨가스를 공급하는 공급부; 상기 공급부에 의해 각각 공급되는 압축공기와 헬륨가스를 혼합하여 테스트용 혼합가스로 이루어진 2차 혼합가스를 제조 및 저장하는 혼합 및 저장부; 상기 2차 혼합가스를 열풍을 이용하여 건조하면서 유수분을 제거하는 에어 드라이어와, 상기 에어 드라이어를 통과한 2차 혼합가스에 남아 있는 잔존의 유수분을 제거하는 유수분 필터부로 구성된 제2유수분 제거부; 및 상기 공급부의 개폐 여부를 제어하고, 상기 2차 혼합가스의 제조 및 제조된 2차 혼합가스를 테스트할 장비로 배출되도록 상기 혼합 및 저장부의 구동을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템{Gas leakage testing system using helium gas and compressed air}
본 발명은 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공배관 및 가스 라인에 동시에 사용할 수 있는 헬륨가스와 압축공기를 혼합하여 테스트용 혼합가스를 제조하여 공급함으로써, 하나의 장치로 압축공기와 헬륨가스를 이용한 각각의 사전 테스트를 모두 수행할 수 있는 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장비, LCD, 화학 분야 등에서는 제품 생산시 다양한 공정 가스들을 사용하고 있으며, 제품 생산을 하기 위하여 상기 공정 가스의 누설 여부에 대한 사전 테스트가 반드시 수행되어야 한다.
종래의 공정 가스의 누설 여부 사전 테스트는 헬륨가스와 압축공기를 이용하여 수행되고 있으며, 진공배관과 같은 구성에는 진공 테스트만을 수행하고, 또한 가스 전체 라인에 대해서는 내부 압력에 대해서만 테스트를 수행하고 있어 미세한 누설 여부에 대한 정밀한 테스트가 어려운 문제점이 있다.
이에, 최근에는 공정 가스에 대한 미세한 리크 검출이 가능한 헬륨가스가 많이 이용되고 있다. 헬륨가스는 밀도가 작고 비활성기체로서 미세한 리크를 검출하는 데 매우 적합한 물성을 지니고 있다. 따라서 헬륨가스를 피검사물의 내측 또는 외측으로 투입하고 투입한 반대측에서 헬륨 검출기를 이용하여 헬륨가스를 검출함으로써 누설여부를 검사하는 방식이 이용되고 있다.
이러한 헬륨가스를 이용한 누설 검사 방식은 제품 제작시 또는 사용 중 누설검사로인한 제품 손상이 발생할 우려가 없고, 인체에 무해한 가스로서 취급하기 용이하며, 일반 대기에서 실시한다 하더라도 누설검사에 대한 신뢰도가 매우 높은 장점이 있다.
그러나, 전술한 헬륨가스를 이용한 누설 검사 방식은 상기 진공배관의 누설 여부에 대해서만 한정하여 누설 검사가 이루어질 뿐이어서 진공배관 뿐만 아니라, 가스라인 전체에 대한 누설 검사를 테스트하는 경우, 헬륨 누설 가스 테스트 장치와 압축공기 누설 가스 테스트 장치를 각각 개별적으로 운영하여야만 하므로, 작업자의 이동성에 대한 상당한 제약이 발생하는 문제점이 있다.
또한, 상기 헬륨 누설 가스 테스트 장치의 경우, 헬륨가스가 저장된 용기를 별도 구비하여야만 하므로, 테스트 공정 수행 도중 주변 설비와의 간섭 등에 따라 헬륨 저장 용기의 파손이 발생하여 테스트 공정에 대한 안정성을 위해시키는 요인이 되고 있다.
대한민국 공개특허 제10-2005-0060188호
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 전술한 배경기술에 의해서 안출된 것으로, 진공배관 및 가스 라인에 동시에 사용할 수 있는 헬륨가스와 압축공기를 혼합하여 테스트용 혼합가스를 제조하여 공급함으로써, 하나의 장치로 압축공기와 헬륨가스를 이용한 각각의 사전 테스트를 모두 수행할 수 있는 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 하나의 장치 만을 이용하여 사전 테스트가 가능함에 따라 최소한의 인원으로도 사전 테스트가 가능하여 인건비 및 테스트 비용을 절감할 수 있는 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 하나의 장치만을 이용하기 때문에 작업자의 이동성을 향상시켜 사전 테스트를 보다 효율적으로 수행할 수 있는 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
다만, 본 발명의 목적은 이에만 제한되는 것은 아니며, 명시적으로 언급하지 않더라도 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 이에 포함됨은 물론이다.
이와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 압축공기 및 헬륨가스를 공급하는 공급부; 상기 공급부에 의해 각각 공급되는 압축공기와 헬륨가스를 혼합하여 테스트용 혼합가스로 이루어진 2차 혼합가스를 제조 및 저장하는 혼합 및 저장부; 상기 2차 혼합가스를 열풍을 이용하여 건조하면서 유수분을 제거하는 에어 드라이어와, 상기 에어 드라이어를 통과한 2차 혼합가스에 남아 있는 잔존의 유수분을 제거하는 유수분 필터부로 구성된 제2유수분 제거부; 및 상기 공급부의 개폐 여부를 제어하고, 상기 2차 혼합가스의 제조 및 제조된 2차 혼합가스를 테스트할 장비로 배출되도록 상기 혼합 및 저장부의 구동을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 공급부는, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 압축공기를 공급, 또는 차단하는 제1공급밸브와, 상기 압축공기에 포함된 유수분을 제거하는 제1필터부재와, 상기 압축공기의 공급 압력을 측정하고, 측정된 결과를 상기 제어부로 전송하는 제1게이지로 구성된 에어 공급라인; 및 상기 제어부의 제어에 따라 상기 헬륨가스를 공급, 또는 차단하는 제2공급밸브와, 상기 헬륨가스의 공급량을 조절하는 가스 공급 조절부와, 상기 혼합 및 저장부로 공급되는 헬륨가스의 공급 압력을 측정하여 제어부로 전송하는 제2게이지와, 상기 헬륨가스에 포함된 유수분을 제거하는 제2필터부재로 구성된 가스 공급라인;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 공급라인에는 상기 제2필터부재를 통과한 헬륨가스가 역류하는 것을 방지하고, 상기 혼합 및 저장부로만 공급이 이루어지도록 하는 체크밸브가 더 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 혼합 및 저장부는, 상기 압축공기와 헬륨가스를 공급받고, 공급된 압축공기와 헬륨가스가 일정 비율로 혼합이 이루어지도록 정량 공급하는 정량 공급부; 상기 정량 공급부에 의해 공급되는 압축공기와 헬륨가스를 1차 혼합하는 1차 믹싱부; 상기 1차 믹싱부에 의해 혼합된 1차 혼합가스를 필터링하여 상기 1차 혼합가스에 포함된 유분 및 수분을 제거하는 제1유수분 제거부; 상기 제1유수분 제거부에 의해 필터링이 이루어진 1차 혼합가스와 일정량의 압축공기 또는 헬륨가스 중 어느 하나를 더 혼합하여 상기 2차 혼합가스를 제조하는 2차 믹싱부; 및 상기 2차 혼합가스를 저장하고,상기 제어부의 제어에 따라 저장된 2차 혼합가스를 방출하는 혼합가스 저장부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1유수분 제거부는, 상기 1차 혼합가스에 포함된 유분 및 수분을 1차 필터링하는 유수분 필터부재와, 상기 유수분 필터부재와 분리되게 구성되며, 1차 필터링이 이루어진 1차 혼합가스에 소정의 열을 가하면서 2차 필터링을 수행하는 열건조 필터부재와, 상기 유수분 필터부재와 열건조 필터부재가 각각 분리되게 구성되도록 분할하는 분할패널과, 상기 분할패널의 하부에 구성되고 상기 유수분 필터부재의 하부로 이동한 1차 혼합가스를 상기 열건조 필터부재로 공급하는 공급수단으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 2차 믹싱부에는 상기 정량 공급부와 연결되며, 상기 제어부의 제어에 따라 압축공기, 또는 헬륨가스 중 어느 하나를 상기 2차 믹싱부로 더 공급하는 2차 공급라인이 더 구성되는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명의 실시예에 의하면, 진공배관 및 가스 라인에 동시에 사용할 수 있는 헬륨가스와 압축공기를 혼합하여 테스트용 혼합가스를 제조하여 공급함으로써, 하나의 장치로 압축공기와 헬륨가스를 이용한 각각의 사전 테스트를 모두 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 하나의 장치 만을 이용하여 사전 테스트가 가능함에 따라 최소한의 인원으로도 사전 테스트가 가능하여 인건비 및 테스트 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 하나의 장치만을 이용하기 때문에 작업자의 이동성을 향상시켜 사전 테스트를 보다 효율적으로 수행할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템을 개략적으로 나타낸 구성도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 헬륨가스 및 압축공기를 혼합하는 혼합 및 저장부를 개략적으로 나타낸 구성도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합 및 저장탱크의 제1유수분 제거부를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속" 된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템과 혼합 및 저장부를 개략적으로 나타낸 구성도, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 혼합 및 저장탱크의 제1유수분 제거부를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 가스 누설 테스트 시스템은 공급부(100), 혼합 및 저장부(200), 제2유수분 제거부(300) 및 제어부(400)를 포함하여 구성된다.
공급부(100)는 혼합 및 저장부(200)로 압축공기와 헬륨가스를 각각 공급하는 것으로, 상기 압축공기를 공급하는 에어 공급라인(110)과, 헬륨가스를 공급하는 가스 공급라인(120)으로 구성된다.
에어 공급라인(110)은 압축공기를 공급하는 압축공기 콤프레셔(102)와 혼합 및 저장부(200)에 구성되는 정량 공급부(210)를 연결하고, 제어부(400)의 제어에 따라 일정량의 압축공기가 상기 정량 공급부(210)로 공급이 이루어지도록 구성된다.
이러한 에어 공급라인(110)은 제어부(400)의 제어에 따라 상기 압축공기를 공급, 또는 공급을 차단하는 제1공급밸브(112)와, 상기 압축공기의 공급시 압축공기에 포함된 유수분을 제거하는 제1필터부재(114) 및 압축공기의 공급 압력을 측정하고, 측정된 결과를 제어부(400)로 전송하는 제1게이지(116)로 구성된다.
여기서, 제1공급밸브(112)는 제어부(400)의 제어에 따라 개폐량이 제어되도록 구성됨이 바람직하며, 이에 압축공기의 공급량 제어가 가능하도록 구성될 수 있을 것이다.
또한, 제1필터부재(114)는 제1공급밸브(112)의 개방시 공급되는 압축공기에 포함된 유분 및 수분을 제거하는 구성요소로서, 통상의 유수분 필터부재로 이루어질 수 있다.
제1게이지(116)는 상기 제1필터부재(114)를 통과한 압축공기의 공급 압력을 측정하고, 측정된 결과값을 제어부(400)로 전송하여 상기 제1공급밸브(112)의 개폐량에 대한 제어가 이루어지도록 구성된다.
가스 공급라인(120)은 일단이 헬륨가스가 저장되는 헬륨 저장탱크(104)와 연결되고, 타단이 혼합 및 저장부(200)와 연결되어 정량 공급부(210)로 일정량의 헬륨가스의 공급이 이루어지도록 구성되는 것이다.
이러한 가스 공급라인(120)은 제어부(400)의 제어에 따라 개폐 작동이 이루어지면서 헬륨가스의 공급, 또는 공급을 차단하는 제2공급밸브(122)와, 공급이 이루어지는 헬륨가스의 공급량을 조절하는 가스 공급 조절부(124)와, 공급이 이루어지는 헬륨가스의 공급 압력을 측정하여 제어부(400)로 전송하는 제2게이지(126) 및 헬륨가스에 포함된 유수분을 제거하는 제2필터부재(128)을 포함하여 구성된다.
제2공급밸브(122)는 제어부(400)의 개폐 신호에 따라 가스 공급라인(120)을 개방, 또는 폐쇄하여 헬륨가스의 공급, 또는 공급 차단이 이루어지도록 구성된다.
이때, 제2공급밸브(122)는 상기 제1공급밸브(112)와 같이 제어부(400)의 제어에 따라 개폐량의 제어가 이루어지도록 구성됨이 바람직하나, 이에 한정하는 것은 아니다.
또한, 가스 공급 조절부(124)는 가스 공급라인(120)을 통해 공급되는 헬륨가스의 공급량을 조절하는 것으로, 특히 후술할 혼합 및 저장부(200)의 2차 믹싱부(240)로 공급되는 헬륨가스의 공급량을 조절하도록 구성된다.
이러한 가스 공급 조절부(124)는 테스트용 혼합가스의 제조시 헬륨가스의 혼합비율을 압축공기에 비해 높게 형성되도록 함으로써, 헬륨가스를 이용한 누설 검사가 가능하도록 한다.
또한, 제2필터부재(126)는 제2공급밸브(122)의 개방시 공급되는 헬륨가스에 포함된 유분 및 수분을 제거하는 구성요소로서, 통상의 유수분 필터부재로 이루어질 수 있다.
제2게이지(128)는 상기 제2필터부재(122)를 통과한 헬륨가스의 공급 압력을 측정하고, 측정된 결과값을 제어부(400)로 전송하여 상기 제2공급밸브(122)의 개폐량에 대한 제어가 이루어지도록 구성된다
이러한 가스 공급라인(120)에는 상기 제2필터부재(128)를 통해 유수분에 대한 필터링이 이루어진 헬륨가스가 역류하는 것을 방지하고, 혼합 및 저장부(200)로만 공급이 이루어지도록 하는 체크밸브(130)가 더 구성됨이 바람직하다.
혼합 및 저장부(200)는 상기 에어 공급라인(110) 및 가스 공급라인(120)에 의해 각각 공급되는 압축공기와 헬륨가스를 혼합하여 테스트용 혼합가스를 제조하함과 동시에 제조된 테스트용 혼합가스를 저장하는 구성요소이다.
이러한 혼합 및 저장부(200)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 공급부(100)로부터 공급된 압축공기와 헬륨가스를 정량 공급하는 정량 공급부(210)와, 상기 정량 공급부(210)에 의해 공급되는 압축공기와 헬륨가스를 1차 혼합하는 1차 믹싱부(220)와, 상기 1차 혼합가스에 포함된 유분 및 수분을 제거하는 제1유수분 제거부(230)와, 유수분이 제거된 상기 1차 혼합가스와 일정량의 압축공기 또는 헬륨가스 중 어느 하나를 더 혼합하여 2차 혼합가스를 제조하는 2차 믹싱부(240) 및 상기 2차 믹싱부(240)에 의해 제조되는 상기 2차 혼합가스를 저장하는 혼합가스 저장부(250)로 구성된다.
정량 공급부(210)는 상기 에어 공급라인(110) 및 가스 공급라인(120)으로부터 각각 압축공기와 헬륨가스를 공급받으며, 제어부(400)의 제어에 따라 1차 믹싱부(220)로 동일한 양의 압축공기와 헬륨가스를 동시에 공급하도록 구성된다.
즉, 본 발명은 상기 공급부(100)로부터 압축공기와 헬륨가스가 각각의 공급 압력에 따라 공급이 이루어진다 하더라도 정량 공급부(210)에 의해 동일한 양으로 1차 믹싱부(220)에 공급하여 1차 혼합가스의 제조가 이루어지도록 하는 것이다.
이때, 정량 공급부(210)는 내부에 상기 압축공기 및 헬륨가스를 각각 개별적으로 공급받을 수 있도록 독립적인 공간을 제공하는 복수의 공급챔버(212)가 더 구성될 수 있다.
이와 같은 정량 공급부(210)에는 상기 압축공기 및 헬륨가스를 1차 믹싱부(220)로 공급하기 위하여 별도의 공급팬(미도시)이 상기 복수의 공급챔버(212) 내부에 더 구성됨이 바람직할 것이다.
또한, 정량 공급부(210)는 제어부(400)의 제어에 따라 일정량의 압축공기, 또는 헬륨가스 중 어느 하나를 2차 믹싱부(240)로 공급하여 2차 혼합가스의 제조가 이루어지도록 구성된다.
1차 믹싱부(220)는 상기 정량 공급부(210)로부터 공급되는 압축공기와 헬륨가스를 1차 혼합하는 것으로, 특히 부피 기준으로 1:1의 비율로 혼합하여 1차 혼합가스의 제조가 이루어지도록 구성되는 것이다.
이때, 1차 믹싱부(220)는 상기 정량 공급부(210)로부터 공급되는 공급 압력에 의해 혼합이 이루어지도록 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 내부 하단부에 별도의 혼합팬이 더 구성될 수도 있으며, 상기 혼합팬은 제어부(400)의 제어에 따라 구동 여부 및 회전 속도 등의 제어가 이루어지도록 구성될 수 있을 것이다.
제1유수분 제거부(230)는 1차 믹싱부(220)에 의해 혼합된 1차 혼합가스를 필터링하여 상기 1차 혼합가스에 포함된 유분 및 수분을 제거하는 것으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 1차 혼합가스에 포함된 유분 및 수분을 1차 필터링하는 유수분 필터부재(232)와, 상기 유수분 필터부재(232)와 분리되게 구성되며, 1차 필터링이 이루어진 1차 혼합가스에 소정의 열을 가하면서 2차 필터링을 수행하는 열건조 필터부재(234)로 구성된다.
유수분 필터부재(232)는 상부 일측으로 1차 혼합가스의 공급이 이루어지고, 공급된 1차 혼합가스가 하향 이동하면서 유수분의 필터링이 이루어지도록 구성된다.
이러한 유수분 필터부재(232)는 다수의 층으로 이루어질 수 있으며, 금속재의 유수분 필터로 구성될 수 있다.
열건조 필터부재(234)는 내부에 소정의 열을 발산하는 코일이 구성되며, 상기 코일로부터 발산되는 열기에 의해 유수분 필터부재(232)를 통과한 1차 혼합가스에 남아 있는 유수분을 제거하는 것으로, 하부로부터 상향 이동하는 1차 혼합가스로부터 잔여 유수분의 제거가 이루어지도록 구성된다.
아울러, 본 발명의 제1유수분 제거부(230)에는 유수분 필터부재(232)와 열건조 필터부재(234)가 각각 분리되게 구성되도록 하고, 상기 유수분 필터부재(232)로 공급된 1차 혼합가스가 유수분 필터부재(232)를 통과한 상태에서만 열건조 필터부재(234)로 공급될 수 있도록 하는 분할패널(238)이 구성된다.
또한, 분할패널(238)의 하부에는 상기 유수분 필터부재(232)의 하부로 이동한 1차 혼합가스를 열건조 필터부재(234)로 공급하는 공급수단(236)이 구성된다.
여기서, 공급수단(236)은 중공의 관 형태로 형성될 수 있으며, 내부에 흡입 및 배출팬이 구성되어 상기 유수분 필터부재(232)의 하부에서 1차 혼합가스를 흡입하여 상기 유수분 필터부재(232)로 상기 1차 혼합가스가 통과될 수 있도록 구성되고, 공급수단(236)으로 흡입된 1차 혼합가스를 열건조 필터부재(234)로 배출하여 잔여 유수분의 제거가 이루어지도록 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
2차 믹싱부(240)는 상기 1차 믹싱부(210)에 의해 제조된 1차 혼합가스에 압축공기, 또는 헬륨가스를 더 혼합하여 2차 혼합가스를 제조하는 것으로, 추가 혼합되는 압축공기, 또는 헬륨가스의 혼합 비율에 따라 압축공기로 이루어진 누설 검사, 또는 헬륨가스로 이루어진 누설 검사가 이루어지도록 한다.
즉, 본 발명은 2차 믹싱부(240)에 의해 제조되는 2차 혼합가스의 형태에 따라 압축공기 및 헬륨가스를 이용한 누설 검사를 모두 수행이 가능하고, 테스트가 이루어질 장비에 따라 혼합가스의 비율을 달리 조절하여 배출이 이루어지도록 구성되는 것이다.
이때, 상기 2차 믹싱부(240)에는 상기 정량 공급부(210)와 연결되며, 제어부(400)의 제어에 따라 압축공기, 또는 헬륨가스 중 어느 하나를 공급하는 2차 공급라인(260)이 더 구성될 수 있다.
2차 공급라인(260)은 상기 정량 공급부(210)에 구성된 공급챔버(212)와 2차 믹싱부(240)를 연결하는 것으로, 압축공기와 헬륨가스가 각각 개별적으로 공급이 이루어지도록 복수 구성된다.
이러한 2차 믹싱부(240)는 압축공기를 이용한 누설 검사를 실시하고자 하는 경우, 상기 제어부(400)의 제어에 따라 1차 혼합가스 및 압축공기, 또는 헬륨가스가 부피 기준으로 1 : 1 내지 1 : 3의 비율로 혼합이 이루어지도록 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
혼합가스 저장부(250)는 2차 믹싱부(240)에 의해 제조된 2차 혼합가스가 저장되며, 제어부(400)의 제어에 따라 개폐 작동이 이루어지면서 저장된 2차 혼합가스를 배출하는 구성요소이다.
이러한 혼합가스 저장부(250)는 후술할 제2유수분 제거부(300)와 연결되어 상기 필터부(300)로 배출이 이루어지도록 구성됨이 바람직하다.
제2유수분 제거부(300)는 상기 혼합가스 저장부(250)로부터 공급되는 2차 혼합가스를 2차 필터링을 수행하여 테스트가 이루어질 장비로 배출이 이루어지도록 구성된다.
이러한 제2유수분 제거부(300)는 장비 검사를 위해 배출이 이루어지는 2차 혼합가스를 열풍을 이용하여 건조하면서 유수분을 제거하는 에어 드라이어(310)와, 상기 에어 드라이어(310)를 통과한 2차 혼합가스에 남아 있는 잔존의 유수분을 제거하는 유수분 필터부(320)로 구성된다.
이때, 상기 공급부(100)에 구성된 제1 및 제2필터부재(114, 126)와 혼합 및 저장부(200)에 구성되는 유수분 필터부재(232)와 제2유수분 제거부(300)에 구성되는 유수분 필터부(320)는 모두 동일한 구성으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
제어부(400)는 2차 혼합가스의 제조 및 제조된 2차 혼합가스를 테스트할 장비로 배출되도록 제어하는 구성요소이다.
이러한 제어부(400)는 테스트할 장비에 따라 압축공기가 주성분으로 이루어지는 2차 혼합가스, 또는 헬륨가스가 주성분으로 이루어지는 2차 혼합가스를 선택하여 제조가 가능하도록 상기 정량 공급부(210) 및 2차 믹싱부(240)의 구동에 대한 제어가 이루어지도록 구성된다.
또한, 제조된 2차 혼합가스를 테스트할 장비로 배출하도록 별도의 배출밸브(410)를 구성할 수 있으며, 상기 제어부(400)의 제어에 따라 배출밸브(410)의 개폐 작동 및 개폐량의 제어가 이루어지도록 구성된다.
한편, 본 발명에 구성되는 밸브들은 모두 제어부(400)의 제어에 따라 개폐 작동이 이루어지는 제어밸브로 이루어질 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하며, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다.
또한, 이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 공급부 102: 에어 공급부
104: 가스 공급부 110: 에어 공급라인
120: 가스 공급라인 130: 체크밸브
200: 혼합 및 저장부 210: 정량 공급부
220: 1차 믹싱부 230: 제1유수분 제거부
240: 2차 믹싱부 250: 혼합가스 저장부
300: 제2유수분 제거부 310: 에어 드라이어
320: 유수분 필터부 400: 제어부
410: 배출밸브

Claims (6)

  1. 압축공기 및 헬륨가스를 공급하는 공급부;
    상기 공급부에 의해 각각 공급되는 압축공기와 헬륨가스를 혼합하여 테스트용 혼합가스로 이루어진 2차 혼합가스를 제조 및 저장하는 혼합 및 저장부;
    상기 2차 혼합가스를 열풍을 이용하여 건조하면서 유수분을 제거하는 에어 드라이어와, 상기 에어 드라이어를 통과한 2차 혼합가스에 남아 있는 잔존의 유수분을 제거하는 유수분 필터부로 구성된 제2유수분 제거부; 및
    상기 공급부의 개폐 여부를 제어하고, 상기 2차 혼합가스의 제조 및 제조된 2차 혼합가스를 테스트할 장비로 배출되도록 상기 혼합 및 저장부의 구동을 제어하는 제어부;를 포함하고,
    상기 혼합 및 저장부는,
    상기 압축공기와 헬륨가스를 공급받고, 공급된 압축공기와 헬륨가스가 일정 비율로 혼합이 이루어지도록 정량 공급하는 정량 공급부;
    상기 정량 공급부에 의해 공급되는 압축공기와 헬륨가스를 1차 혼합하는 1차 믹싱부;
    상기 1차 믹싱부에 의해 혼합된 1차 혼합가스를 필터링하여 상기 1차 혼합가스에 포함된 유분 및 수분을 제거할 수 있도록 상기 1차 혼합가스에 포함된 유분 및 수분을 1차 필터링하는 유수분 필터부재와, 상기 유수분 필터부재와 분리되게 구성되며, 1차 필터링이 이루어진 1차 혼합가스에 소정의 열을 가하면서 2차 필터링을 수행하는 열건조 필터부재와, 상기 유수분 필터부재와 열건조 필터부재가 각각 분리되게 구성되도록 분할하는 분할패널과, 상기 분할패널의 하부에 구성되고 상기 유수분 필터부재의 하부로 이동한 1차 혼합가스를 상기 열건조 필터부재로 공급하는 공급수단으로 구성되는 제1유수분 제거부;
    상기 제1유수분 제거부에 의해 필터링이 이루어진 1차 혼합가스와 일정량의 압축공기 또는 헬륨가스 중 어느 하나를 더 혼합하여 상기 2차 혼합가스를 제조하는 2차 믹싱부; 및
    상기 2차 혼합가스를 저장하고,상기 제어부의 제어에 따라 저장된 2차 혼합가스를 방출하는 혼합가스 저장부;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 공급부는,
    상기 제어부의 제어에 따라 상기 압축공기를 공급, 또는 차단하는 제1공급밸브와, 상기 압축공기에 포함된 유수분을 제거하는 제1필터부재와, 상기 압축공기의 공급 압력을 측정하고, 측정된 결과를 상기 제어부로 전송하는 제1게이지로 구성된 에어 공급라인; 및
    상기 제어부의 제어에 따라 상기 헬륨가스를 공급, 또는 차단하는 제2공급밸브와, 상기 헬륨가스의 공급량을 조절하는 가스 공급 조절부와, 상기 혼합 및 저장부로 공급되는 헬륨가스의 공급 압력을 측정하여 제어부로 전송하는 제2게이지와, 상기 헬륨가스에 포함된 유수분을 제거하는 제2필터부재로 구성된 가스 공급라인;
    으로 구성되는 것을 특징으로 하는 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가스 공급라인에는 상기 제2필터부재를 통과한 헬륨가스가 역류하는 것을 방지하고, 상기 혼합 및 저장부로만 공급이 이루어지도록 하는 체크밸브가 더 구성되는 것을 특징으로 하는 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 2차 믹싱부에는 상기 정량 공급부와 연결되며, 상기 제어부의 제어에 따라 압축공기, 또는 헬륨가스 중 어느 하나를 상기 2차 믹싱부로 더 공급하는 2차 공급라인이 더 구성되는 것을 특징으로 하는 헬륨가스 및 압축공기를 이용한 가스 누설 테스트 시스템.
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