KR101931993B1

KR101931993B1 - Heat treatment jig

Info

Publication number: KR101931993B1
Application number: KR1020167036302A
Authority: KR
Inventors: 다이스케 미나미
Original assignee: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date: 2014-07-18
Filing date: 2015-07-02
Publication date: 2018-12-24
Also published as: CN106662402B; JP6337962B2; WO2016009849A1; CN106662402A; KR20170009990A; JPWO2016009849A1

Abstract

열처리용 지그(101)는 열처리해야 할 대상물을 얹기 위한 흑연 시트로 이루어지는 적재 부재(3)를 구비하고, 적재 부재(3)의 주표면은 오목부를 갖는다.The heat treatment jig 101 is provided with a loading member 3 made of a graphite sheet for placing an object to be heat-treated, and the main surface of the loading member 3 has a concave portion.

Description

HEAT TREATMENT JIG

본 발명은 열처리용 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment jig.

트레이 푸셔 방식으로 대상물을 열처리하기 위한 불활성 분위기 연속로가, 일본 특허공개 2004-132674호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다. 이 로에 있어서는 흑연제의 로바닥 상을 흑연제의 트레이가 슬라이딩하는 구조로 되어 있다. 로바닥 상에는 홈을 갖는 안내 수단이 설치되어 있다. 여기에서 사용되고 있는 트레이는, 두께가 7㎜이고 한 변이 120㎜인 정방형의 흑연제 판이다. 열처리의 대상물은 각 트레이 상에 적재되어 복수의 트레이가 연속해서 로 내로 보내어진다.An inert atmosphere continuous furnace for heat-treating an object by a tray pusher method is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-132674 (Patent Document 1). In this furnace, the tray of the graphite slides on the roving bed of graphite. A guiding means having a groove is provided on the lobe surface. The tray used here is a square graphite plate having a thickness of 7 mm and a side of 120 mm. The object to be heat treated is placed on each tray, and a plurality of trays are successively sent into the furnace.

일본 특허공개 2004-132674호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-132674

특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이 1개의 흑연제의 트레이에 다수의 대상물을 실어서 연속로의 내부를 반송할 경우, 트레이의 표면이 평탄하므로 반송시에 대상물이 수평 방향으로 이동하여 대상물끼리의 충돌에 의한 균열이나 깨짐을 발생시킬 우려가 있다. 또한, 트레이의 표면에 있어서의 대상물의 위치가 정해지지 않으므로, 다수의 대상물을 1개의 트레이에 실어서 열처리를 행할 경우 대상물이 트레이 상에서 불규칙하게 위치하게 되어, 트레이 상의 부위에 따라서 대상물의 소밀의 차가 생기고, 온도의 편차가 생길 우려가 있다.When a plurality of objects are loaded on one tray made of graphite and the inside of the continuous furnace is transported as described in Patent Document 1, the surface of the tray is flat, so that the object moves in the horizontal direction during transportation, There is a risk of causing cracks or cracks due to collision. In addition, since the position of the object on the surface of the tray is not determined, when the plurality of objects are placed on one tray and subjected to the heat treatment, the object is irregularly positioned on the tray, , There is a possibility that a temperature deviation occurs.

그래서, 본 발명은 다수의 대상물을 1개의 부재에 실어서 열처리를 행할 경우에도 대상물끼리의 충돌에 의한 균열이나 깨짐을 되도록이면 방지하고, 대상물의 소밀의 차에 의한 온도의 편차도도 저감할 수 있는 열처리용 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, even when a plurality of objects are placed on one member and subjected to a heat treatment, cracks or cracks due to collision of the objects are prevented as much as possible, and variation in temperature due to differences in the density of the object is also reduced The present invention provides a heat-treating jig having the above-mentioned structure.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의거한 열처리용 지그는 열처리해야 할 대상물을 싣기 위한, 흑연 시트로 이루어지는 적재 부재를 구비하고, 상기 적재 부재의 주표면은 오목부를 갖는다.In order to achieve the above object, a heat treatment jig according to the present invention includes a loading member made of a graphite sheet for loading an object to be heat-treated, and the main surface of the loading member has a concave portion.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명에 의하면, 다수의 대상물을 1개의 부재에 실어서 열처리를 행할 경우에도 대상물끼리의 충돌에 의한 균열이나 깨짐을 되도록 방지하고, 소밀의 차에 의한 온도의 편차도 저감할 수 있다.According to the present invention, even when a plurality of objects are placed on one member and heat treatment is performed, it is possible to prevent cracks or cracks due to collision of the objects, and to reduce variations in temperature due to the difference in density.

도 1은 본 발명에 기초한 실시형태 1에 있어서의 열처리용 지그의 분해도이다.
도 2는 본 발명에 기초한 실시형태 1에 있어서의 열처리용 지그에 포함되는 적재 부재의 부분 확대 평면도이다.
도 3은 도 2에 있어서의 III-III선에 관한 화살표 방향으로 본 단면도이다.
도 4는 본 발명에 기초한 실시형태 1에 있어서의 열처리용 지그에 대상물을 실은 상태의 부분 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명에 기초한 실시형태 2에 있어서의 열처리용 지그에 포함되는 적재 부재의 부분 확대 단면도이다.
도 6은 본 발명에 기초한 실시형태 2에 있어서의 열처리용 지그의 변형예에 포함되는 적재 부재의 부분 확대 단면도이다.
도 7은 본 발명에 기초한 실시형태 1, 실시형태 2에 있어서의 열처리용 지그의 제 1 예의 프레임부 근방의 부분 확대 단면도이다.
도 8은 본 발명에 기초한 실시형태 1, 실시형태 2에 있어서의 열처리용 지그의 제 2 예의 프레임부 근방의 제 1 부분 확대 단면도이다.
도 9는 본 발명에 기초한 실시형태 1, 실시형태 2에 있어서의 열처리용 지그의 제 2 예의 프레임부 근방의 제 2 부분 확대 단면도이다.
도 10은 본 발명에 기초한 실시형태 3에 있어서의 열처리용 지그의 분해도이다.
도 11은 본 발명에 기초한 실시형태 3에 있어서의 열처리용 지그에 포함되는 적재 부재의 부분 확대 평면도이다.
도 12는 도 11에 있어서의 XII-XII선에 관한 화살표 방향으로 본 단면도이다.
도 13은 본 발명에 기초한 실시형태 3에 있어서의 열처리용 지그에 대상물을 실은 상태의 부분 확대 단면도이다.
도 14는 본 발명에 기초한 실시형태 4에 있어서의 열처리용 지그의 사시도이다.
도 15는 본 발명에 기초한 실시형태 4에 있어서의 열처리용 지그에 포함되는 적재 부재의 측면도이다.
도 16은 본 발명에 기초한 실시형태 4에 있어서의 열처리용 지그의 평면도이다.
도 17은 도 16에 있어서의 Z부의 부분 확대 설명도이다.
도 18은 본 발명에 기초한 실시형태 4에 있어서의 열처리용 지그의 변형예의 부분 확대 단면도이다.Fig. 1 is an exploded view of a heat treatment jig according to the first embodiment based on the present invention. Fig.
2 is a partially enlarged plan view of a loading member included in a heat treatment jig in Embodiment 1 based on the present invention.
3 is a sectional view taken along the line III-III in Fig.
Fig. 4 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which an object is placed in a heat treatment jig in Embodiment 1 based on the present invention. Fig.
5 is a partially enlarged cross-sectional view of a loading member included in a heat treatment jig according to Embodiment 2 based on the present invention.
6 is a partially enlarged cross-sectional view of a loading member included in a modified example of the heat treatment jig according to the second embodiment based on the present invention.
7 is a partially enlarged cross-sectional view of the vicinity of the frame portion of the first example of the heat treatment jig in the first and second embodiments based on the present invention.
8 is a first partial enlarged cross-sectional view of the vicinity of the frame portion of the second example of the heat treatment jig in the first and second embodiments based on the present invention.
Fig. 9 is a second partial enlarged cross-sectional view of the vicinity of the frame portion of the second example of the heat treatment jig in the first and second embodiments based on the present invention.
Fig. 10 is an exploded view of a heat treatment jig according to the third embodiment based on the present invention. Fig.
11 is a partially enlarged plan view of a loading member included in a heat treatment jig according to Embodiment 3 based on the present invention.
12 is a sectional view taken along the line XII-XII in Fig.
Fig. 13 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which an object is placed on a heat treatment jig according to the third embodiment based on the present invention. Fig.
Fig. 14 is a perspective view of a heat treatment jig according to the fourth embodiment based on the present invention. Fig.
Fig. 15 is a side view of a stacking member included in the heat treatment jig according to the fourth embodiment of the present invention. Fig.
16 is a plan view of a heat treatment jig according to Embodiment 4 based on the present invention.
17 is a partial enlarged explanatory view of the Z portion in Fig.
18 is a partially enlarged cross-sectional view of a modified example of the heat treatment jig according to the fourth embodiment based on the present invention.

(실시형태 1)(Embodiment 1)

도 1∼도 3을 참조하여 본 발명에 기초한 실시형태 1에 있어서의 열처리용 지그에 대하여 설명한다.The heat treatment jig in the first embodiment based on the present invention will be described with reference to Figs. 1 to 3. Fig.

본 실시형태에 있어서의 열처리용 지그(101)의 분해도를 도 1에 나타낸다. 열처리용 지그(101)는 프레임부(1)와, 적재 부재(3)를 구비한다. 적재 부재(3)는 프레임부(1)에 의해 지지된다. 프레임부(1)는 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)를 포함한다. 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)는 도시하지 않은 공지기술에 의해서 서로 고정된다. 적재 부재(3)의 둘레 가장자리부는 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)에 의해 끼워넣어진다. 적재 부재(3)는 흑연 시트를 이용하여 형성된 것이다. 적재 부재(3)는 주표면 전체에 걸쳐 평탄한 흑연 시트가 아니라, 흑연 시트의 주표면에 오목부를 형성한 것이다.An exploded view of the heat treatment jig 101 in this embodiment is shown in Fig. The heat treatment jig 101 includes a frame portion 1 and a loading member 3. [ The loading member 3 is supported by the frame portion 1. The frame part (1) includes a lower frame part (2) and an upper frame part (4). The lower frame portion 2 and the upper frame portion 4 are fixed to each other by a known technique not shown. The peripheral edge portion of the loading member 3 is sandwiched by the lower frame portion 2 and the upper frame portion 4. [ The loading member 3 is formed using a graphite sheet. The loading member 3 is not a flat graphite sheet over the entire main surface but a recess formed on the main surface of the graphite sheet.

바꿔 말하면, 열처리용 지그(101)는 열처리해야 할 대상물을 싣기 위한, 흑연 시트로 이루어지는 적재 부재(3)를 구비하고, 적재 부재(3)의 주표면은 오목부를 갖는다.In other words, the heat treatment jig 101 is provided with a loading member 3 made of a graphite sheet for loading an object to be heat-treated, and the main surface of the loading member 3 has a concave portion.

적재 부재(3)를 구성하는 흑연 시트의 두께는, 예를 들면 0.05㎜로부터 0.1㎜ 정도이다. 적재 부재(3)의 소재로서는, 예를 들면 두께 50㎛, 70㎛, 100㎛ 등으로 칭해져서 시판되고 있는 흑연 시트가 채용 가능하다. 프레임부(1)의 재질은, 예를 들면 카본, 세라믹, 내열 금속이면 된다. 여기에서 말하는 내열 금속이란, 예를 들면 인코넬, 니켈 등을 들 수 있다.The thickness of the graphite sheet constituting the loading member 3 is, for example, about 0.05 mm to about 0.1 mm. As the material of the loading member 3, for example, a commercially available graphite sheet having a thickness of 50 mu m, 70 mu m, 100 mu m or the like can be employed. The frame 1 may be made of, for example, carbon, ceramic, or a heat resistant metal. Examples of the heat resistant metal include, for example, inconel and nickel.

도 1에 나타낸 예에서는, 하측 프레임부(2)는 두께 5㎜, 적재 부재(3)는 두께 0.05㎜, 상측 프레임부(4)는 두께 1.3㎜이다. 도 1에 나타낸 예에서는, 평면적으로 보았을 때의 프레임부(1)의 외형은 한 변이 150㎜의 정방형으로 되어 있다. 평면적으로 보았을 때의 프레임부(1)의 폭은 5㎜이다. 단, 여기에서 예시한 각 치수는 어디까지나 일례이다.In the example shown in Fig. 1, the lower frame portion 2 has a thickness of 5 mm, the stacking member 3 has a thickness of 0.05 mm, and the upper frame portion 4 has a thickness of 1.3 mm. In the example shown in Fig. 1, the outer shape of the frame portion 1 in a plan view is a square with one side of 150 mm. The width of the frame portion 1 when viewed in plan view is 5 mm. However, the dimensions exemplified here are only examples.

적재 부재(3)로서의 흑연 시트의 주표면에 형성되는 오목부는 열처리해야 할 대상물이 걸려서 그자리에 머무는 정도의 크기인 것이 바람직하다. 대상물이 적재 부재(3)에 실려진 상태에서 적재 부재(3)를 다소 기울게 해도 대상물이 걸려서 머무는 것이 기대된다. 특히, 적재 부재의 주표면에 형성되는 것이 오목부일 경우에는 열처리해야 할 대상물보다 큰 사이즈의 오목부인 것이 바람직하다. 이 오목부가 1개의 대상물이 완전하게 수습될 만큼의 크기인 것은 바람직하지만, 그러한 크기가 필수라고 하는 것은 아니다. 오목부는 1개의 대상물의 일부가 수습되는 정도의 크기라도 된다.It is preferable that the concave portion formed on the main surface of the graphite sheet as the loading member 3 has a size such that the object to be heat-treated is caught and stays there. It is expected that even if the loading member 3 is slightly tilted while the object is loaded on the loading member 3, the object is caught and stuck. Particularly, when the main surface of the mounting member is a concave portion, it is preferable that the concave portion is a concave portion having a larger size than the object to be heat-treated. It is preferable that the concave portion is large enough so that one object is completely fixed, but such a size is not necessarily required. The concave portion may be of a size such that a part of one object is captured.

도 1에 있어서의 적재 부재(3)를 평면적으로 보았을 때의 부분 확대도를 도 2에 나타낸다. 적재 부재(3)의 주표면에 오목부(5)가 매트릭스 형상으로 배열되어 있다. 도 2에 있어서의 III-III선에 관한 화살표 방향으로 본 단면도를 도 3에 나타낸다. Fig. 2 is a partially enlarged view of the loading member 3 in Fig. 1 viewed in a plan view. The concave portions 5 are arranged in a matrix on the main surface of the loading member 3. Fig. 3 shows a cross-sectional view taken along the line III-III in Fig.

본 실시형태에 있어서의 열처리용 지그에 의하면, 반송 중 또는 열처리 중의 대상물이 원치 않게 어긋날 확률을 줄일 수 있다. 따라서, 다수의 대상물을 1개의 열처리용 지그에 실어서 열처리를 행할 경우에도 대상물끼리의 충돌에 의한 균열이나 깨짐을 되도록이면 방지하고, 대상물의 소밀의 차에 의한 온도의 편차도 저감할 수 있다. 또한, 대상물이 적재 부재 상에서 벗어나서 이동하는 것은 적재 부재의 마모 열화를 빠르게 하는 것으로도 될 수 있지만, 그러한 이동을 줄임으로써 적재 부재의 내용 수명을 길게 할 수도 있다.According to the heat treatment jig in the present embodiment, the probability that an object during transportation or heat treatment is shifted unintentionally can be reduced. Therefore, even when a plurality of objects are placed on one heat treatment jig and heat treatment is performed, it is possible to prevent cracks or breakage due to collision of the objects with each other, and to reduce variations in temperature due to differences in density of objects. Also, moving the object away from the loading member can be made to accelerate the wear deterioration of the loading member, but it is also possible to lengthen the content life of the loading member by reducing such movement.

본 실시형태에 있어서의 열처리용 지그에서는 적재 부재의 주표면에 오목부가 형성되어 있음으로써 적재 부재의 표면적이 증대하고 있으므로, 적재 부재의 수열 면적의 증대에 의한 가열 효율의 개선의 결과 승온 속도를 높일 수 있다. 또한, 표면적이 증대하고 있음으로써 1개의 적재 부재 중에서의 부위에 따른 온도 편차를 개선할 수 있다.In the heat treatment jig according to the present embodiment, since the surface area of the loading member is increased due to the recessed portion formed on the main surface of the loading member, the heating efficiency is improved by increasing the hydrothermal area of the loading member, . In addition, since the surface area is increased, a temperature deviation according to a part in one loading member can be improved.

또한, 본 실시형태에서 나타낸 바와 같이, 적재 부재(3)의 주표면에는 오목부로서 각각이 독립한 오목 형상의 만곡면이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 도 3에서는 이 조건을 만족시키는 오목부의 예로서 오목부(5)가 나타내어져 있다. 오목부(5)는 오목 형상의 만곡면(31)을 갖는다. 이 구성을 채용함으로써 대상물을 분산하여 유지할 수 있다. 특히 오목 형상의 만곡면은 일정 간격으로 규칙 바르게 배열되어 있는 것이 바람직하다. 왜냐하면 이러한 구성이면, 대상물을 만곡면에 유지 함으로써 다수 존재하는 대상물을, 도 4에 나타낸 바와 같이 오목 형상의 만곡면마다 분산하여 일정 간격으로 유지할 수 있기 때문이다. 도 4에서는 다수의 대상물(10)을 적재 부재(3)에 실어서 열처리하는 모양을 나타내고 있다. 대상물(10)은 1개씩 정확하게 위치를 지정해서 배치하지 않아도, 적재 부재(3)의 상면에 다수 한꺼번에 싣고, 적재 부재(3)에 다소의 요동을 가하면, 도 4에 나타낸 바와 같이 대상물(10)이 저절로 적당하게 분산되어서 오목부(5)에 수습된다. 1개의 오목부(5)에 수습되는 대상물(10)은 1개라고는 한정하지 않고, 1개의 오목부(5)에 복수개의 대상물(10)이 동시에 수습되어도 좋다. 이와 같이, 대상물(10)을 적당량씩 분산하여 유지할 수 있으므로 양호한 열처리를 행할 수 있다.Further, as shown in the present embodiment, it is preferable that the main surface of the loading member 3 is formed with concave curved surfaces which are independent as the concave portions. In Fig. 3, the concave portion 5 is shown as an example of the concave portion satisfying this condition. The concave portion 5 has a concave curved surface 31. By employing this configuration, the object can be dispersed and held. In particular, it is preferable that the concave curved surfaces are regularly arranged at regular intervals. This is because, with such a configuration, by keeping the object on the curved surface, a large number of objects can be dispersed for every concave curved surface as shown in Fig. 4 and can be maintained at a constant interval. Fig. 4 shows a state in which a plurality of objects 10 are placed on the loading member 3 and heat-treated. As shown in Fig. 4, when the object 10 is loaded on the upper surface of the loading member 3 at a time without a precise positional arrangement of the objects 10, Is appropriately dispersed by itself, and the concave portion (5) is repaired. The number of objects 10 to be held in one concave portion 5 is not limited to one and the plurality of objects 10 may be simultaneously held in one concave portion 5. [ As described above, since the object 10 can be dispersed and maintained in an appropriate amount, good heat treatment can be performed.

도 2, 도 3에 나타낸 오목부(5)는「딤플」이라고도 불린다. 이 경우의 오목부(5)의 만곡면(31)은 구면의 일부이어도 좋다. 시트 형상의 소재에 이러한 오목부를 형성하는 가공은 「딤플 가공」이라고도 불린다. 딤플 가공은 흑연 시트에 대하여도 행할 수 있다. 흑연 시트에 미리 딤플 가공을 행함으로써 적재 부재(3)를 얻을 수 있다.The recesses 5 shown in Figs. 2 and 3 are also referred to as " dimples ". In this case, the curved surface 31 of the concave portion 5 may be a part of the spherical surface. Processing for forming such concave portions in a sheet-like material is also called " dimple processing ". The dimple processing can also be performed on the graphite sheet. The loading member 3 can be obtained by preliminarily performing dimpling on the graphite sheet.

도 2, 도 3에 나타낸 오목부(5)는 매트릭스 형상으로 배열되어 있었지만, 서로 인접하는 열끼리에서는 반 피치씩 어긋나도록 배치해도 좋다. 평면적으로 보았을 때의 오목부(5)의 위치는 그 밖의 배열 패턴에 따라도 좋다.Although the concave portions 5 shown in Figs. 2 and 3 are arranged in a matrix, they may be arranged so as to be shifted from each other by a half pitch from each other. The position of the concave portion 5 when viewed in a plan view may be in accordance with other arrangement patterns.

상기 주표면 중 상기 만곡면끼리를 분리하는 부분은 평탄하게 되어 있는 것이 바람직하다. 도 3에 나타낸 예에서는 이 조건이 만족시켜져 있다. 즉, 도 3에 있어서는 적재 부재(3)의 만곡면(31)끼리를 분리하는 부분은 평탄면(32)으로 되어 있다. 이렇게 되어 있으면, 평탄면(32)에 실린 대상물(10)은 옆쪽으로 미끄러지기 쉬우므로, 적재 부재(3) 상에서 오목부(5)에 아직 들어가 있지 않은 대상물(10)이 있을 경우에도 다소 흔듬으로써 대상물(10)은 어느 하나의 오목부(5)에 안내된다.It is preferable that a portion separating the curved surfaces of the main surfaces is flat. In the example shown in Fig. 3, this condition is satisfied. 3, the portion separating the curved surfaces 31 of the loading member 3 is a flat surface 32. [ The object 10 placed on the flat surface 32 tends to slip sideways so that even when there is the object 10 that has not yet entered the concave portion 5 on the loading member 3, The object 10 is guided to one of the concave portions 5.

본 발명에 기초한 열처리용 지그에 있어서, 여기에서 나타낸 프레임부(1)의 존재는 필수적이지는 않다. 단, 적재 부재는 평면적으로 보아서 직사각 형상이며, 열처리용 지그는 적재 부재의 4변을 둘러싸도록 해서 적재 부재를 지지하는 프레임부를 구비하는 것이 바람직하다. 프레임부를 구비하고 있으면, 적재 부재는 안정되게 자세를 유지할 수 있고, 열처리용 지그의 취급도 용이하게 되기 때문이다. 이것은 이하의 실시형태에 있어서도 같다.In the heat treatment jig based on the present invention, the presence of the frame portion 1 shown here is not essential. It is preferable that the loading member has a rectangular shape in a plan view, and the heat treatment jig includes a frame portion for supporting the loading member so as to surround the four sides of the loading member. If the frame portion is provided, the loading member can stably maintain the posture, and handling of the heat treatment jig becomes easy. This also applies to the following embodiments.

열처리용 지그에 프레임부(1)가 구비되어 있을 경우에, 프레임부(1)가 상하 2개로 나뉘어져 있는 것은 필수적이지는 않다. 단, 프레임부(1)는 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)를 포함하고, 프레임부(1)는 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)에 의하여 적재 부재(3)를 끼워넣음으로써 적재 부재(3)를 지지하고 있는 것이 바람직하다. 이 구성을 채용 함으로써 적재 부재(3)를 확실하게 유지할 수 있기 때문이다.It is not essential that the frame portion 1 is divided into two upper and lower portions when the frame portion 1 is provided in the heat treatment jig. The frame portion 1 includes a lower frame portion 2 and an upper frame portion 4 and the frame portion 1 is fixed to the loading member 3 It is preferable that the loading member 3 be supported. This is because the loading member 3 can be reliably held by adopting this configuration.

또한, 필요에 따라서 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)를 분리함으로써 적재 부재(3)만을 교환할 수 있는 것으로 해도 된다. 이 경우, 적재 부재(3)를 교환한 후도, 프레임부(1)는 계속해서 같은 것을 사용할 수 있다.It is also possible that only the loading member 3 can be exchanged by separating the lower frame portion 2 and the upper frame portion 4 as necessary. In this case, even after replacing the stacking member 3, the same frame member 1 can be used continuously.

(실시형태 2)(Embodiment 2)

실시형태 1에서는 개개의 오목부(5)는 오목 형상의 만곡면(31)으로 되어 있었지만, 도 5에 나타내는 적재 부재(3i)와 같이, 개개의 오목부(5)는 원통형의 것 이어도 좋다. 본 발명에 기초한 실시형태 2에 있어서의 열처리용 지그는, 이러한 적재 부재(3i)를 구비한다. 다른 구성은 실시형태 1에서 나타낸 것과 같다.In the first embodiment, the individual concave portions 5 are concave curved surfaces 31. However, like the loading member 3i shown in Fig. 5, the individual concave portions 5 may be cylindrical. The heat treatment jig according to the second embodiment based on the present invention includes such a loading member 3i. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

본 실시형태에 있어서도 실시형태 1과 동일한 효과를 얻을 수 있다.Also in this embodiment, the same effect as in Embodiment 1 can be obtained.

또는, 다른 변형예로서는 도 6에 나타내는 적재 부재(3j)와 같이, 원추대를 반대로 엎어놓은 것 같은 형상의 오목부(5)를 갖는 것이라도 좋다. 오목부(5)의 형상은 이것들에 한하지 않고 다른 임의의 형상이라도 좋다.Alternatively, as another modification, it may have a concave portion 5 having a shape such that the truncated cone is inverted as in the case of the loading member 3j shown in Fig. The shape of the concave portion 5 is not limited to these, and any other shape may be used.

(프레임부에 의한 적재 부재의 고정)(Fixing of the loading member by the frame portion)

또한, 실시형태 1, 실시형태 2의 어느 것에 있어서나, 프레임부(1)는 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)에 의해 적재 부재를 끼워넣어서 고정한다고 하는 구성이었지만, 이 경우, 예를 들면 도 7에 나타내게 된다. 도 7에 나타낸 예에서는, 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)가 적재 부재(3)를 완전하게 간극 없이 압박하고 있지만, 도 8에 나타내는 바와 같이 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)가 간극을 갖도록 적재 부재(3)를 느슨하게 끼우고 있는 구성이라도 된다. 즉, 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)는 서로 이격하면서 적재 부재(3)를 끼워넣고 있다. 이러한 구성은, 도 9에 나타낸 바와 같이 어깨나사(6)를 사용함으로써 실현 가능하다. 도 9는 도 8에 나타낸 열처리용 지그의 다른 부위를 다른 방향으로부터 본 단면도이며, 적재 부재(3)는 어깨나사(6)에 대응하는 개소에 관통구멍 또는 노치를 갖고 있다. 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)가 서로 이격리하면서 적재 부재(3)를 끼워 넣는 것으로 하면, 적재 부재(3)가 프레임부(1)에 의해 완전하게는 구속되어 있지 않고 약간의 변위가 가능하므로, 열처리용 지그가 사용되어서 온도가 변화되었을 때에 적재 부재(3)가 원활하게 팽창 또는 수축할 수 있다. 그 결과, 사용시에 적재 부재(3)나 프레임부(1)에 과도 한 부하를 주거나 파손되거나 하는 것을 되도록 회피할 수 있다.In any of Embodiments 1 and 2, the frame portion 1 has a configuration in which the loading member is sandwiched and fixed by the lower frame portion 2 and the upper frame portion 4. In this case, For example, as shown in Fig. In the example shown in Fig. 7, the lower frame portion 2 and the upper frame portion 4 press the loading member 3 completely without gap. However, as shown in Fig. 8, the lower frame portion 2 and the upper frame portion 4, The loading member 3 may be loosely fitted so that the portion 4 has a clearance. That is, the lower frame portion 2 and the upper frame portion 4 are spaced apart from each other and sandwich the loading member 3 therebetween. This configuration can be realized by using the shoulder screws 6 as shown in Fig. Fig. 9 is a sectional view of another portion of the heat treatment jig shown in Fig. 8 viewed from another direction, and the loading member 3 has a through hole or a notch at a position corresponding to the shoulder screw 6. Fig. 8 and 9, when the lower frame portion 2 and the upper frame portion 4 are spaced apart from each other and the loading member 3 is fitted, the loading member 3 is inserted into the frame portion 1, So that the loading member 3 can smoothly expand or shrink when the temperature is changed by using the jig for heat treatment. As a result, it is possible to avoid an excessive load or damage to the loading member 3 or the frame portion 1 during use.

(실시형태 3)(Embodiment 3)

도 10∼도 12를 참조하여 본 발명에 기초한 실시형태 3에 있어서의 열처리용 지그에 대하여 설명한다.The heat treatment jig according to the third embodiment based on the present invention will be described with reference to Figs. 10 to 12. Fig.

본 실시형태에 있어서의 열처리용 지그(102)의 분해도를 도 10에 나타낸다. 열처리용 지그(102)는 프레임부(1)와, 적재 부재(3k)를 구비한다. 적재 부재(3k)는 프레임부(1)에 의해 지지되어 있다. 프레임부(1)의 상세한 것은 실시형태 1에서 설명한 것과 같다. 도 10에 나타내어지는 적재 부재(3k)의 부분 확대 평면도를 도 11에 나타낸다. 도 11에 있어서의 XII-XII선에 관한 화살표 방향으로 본 단면도를 도 12에 나타낸다. 적재 부재(3k)는 흑연 시트를 이용하여 형성된 것이며, 기본적으로는 실시형태 1에서 설명한 것과 같지만, 적재 부재(3k)에는 딤플 대신에 선상 곡부(7)가 형성되어 있다. 선상 곡부(7)에 의해 오목부(5)가 실현되어 있다.An exploded view of the heat treatment jig 102 in this embodiment is shown in Fig. The heat treatment jig 102 includes a frame portion 1 and a loading member 3k. The loading member 3k is supported by the frame portion 1. [ The details of the frame section 1 are the same as those described in the first embodiment. Fig. 11 shows a partially enlarged plan view of the loading member 3k shown in Fig. Fig. 12 shows a cross-sectional view taken along arrow line XII-XII in Fig. The loading member 3k is formed using a graphite sheet and is basically the same as that described in Embodiment 1, but the loading member 3k is provided with the linearly curved portion 7 instead of the dimple. The concave portion 5 is realized by the linearly curved portion 7.

본 실시형태에 있어서의 열처리용 지그(102)에 있어서는 적재 부재(3k)의 주표면에는 오목부로서 서로 교차하도록 제 1 방향(41) 및 제 2 방향(42)으로 각각 복수개씩 연장되는 선상 곡부(7)가 형성되어 있다.In the heat treatment jig 102 of the present embodiment, on the main surface of the stacking member 3k, a plurality of linearly curved portions 41a and 41b extending in the first direction 41 and the second direction 42, (7) are formed.

본 실시형태에서는 선상 곡부(7)는 평면적으로 보아서 격자상으로 배치되어 있다.In this embodiment, the linearly curved portions 7 are arranged in a lattice pattern in a plan view.

본 실시형태에 있어서의 열처리용 지그(102)에 의하면, 다수의 대상물(10)을 적재 부재(3)에 실어서 열처리할 때에, 도 13에 나타내는 바와 같이 선상 곡부(7)에 의해 형성된 오목부(5)에 대상물(10)이 적당하게 분산되어서 수습된다. 대상물(10)을 소량씩 분산하여 유지할 수 있으므로 양호한 열처리를 행할 수 있다. 이렇게 해서, 본 실시형태에 있어서도 실시형태 1, 실시형태 2와 동일한 효과를 얻을 수 있다.According to the heat treatment jig 102 of the present embodiment, when a plurality of objects 10 are loaded on the mounting member 3 and subjected to heat treatment, as shown in Fig. 13, the concave portions 7 formed by the linearly- The object 10 is appropriately dispersed and water-repellent on the substrate 5. The object 10 can be dispersed and held in small quantities, so that good heat treatment can be performed. In this manner, the same effects as those of the first and second embodiments can be obtained also in this embodiment.

여기에서는, 제 1 방향(41)과 제 2 방향(42)은 서로 수직인 관계에 있는 것으로서 설명했지만, 양자는 서로 수직이라고는 한정하지 않는다. 제 1 방향(41)과 제 2 방향(42)이 이루는 각도는 90°라고는 한정하지 않고, 예각이라도 된다. 제 1 방향(41)과 제 2 방향(42)의 어느 한쪽이 프레임부(1)의 변과 평행일 필요도 없다.Here, although the first direction 41 and the second direction 42 are described as being perpendicular to each other, they are not necessarily perpendicular to each other. The angle formed by the first direction 41 and the second direction 42 is not limited to 90 degrees and may be an acute angle. Either the first direction 41 or the second direction 42 need not be parallel to the sides of the frame portion 1. [

또한, 적재 부재의 주표면의 오목부는 엠보싱 가공에 의해 형성된 것이 바람직하다. 엠보싱 가공에 의하면, 용이하게 넓은 면적에 걸쳐 원하는 배치의 오목부를 형성할 수 있기 때문이다. 본 실시형태에서는 선상 곡부를 엠보싱 가공으로 형성한 것을 상정해서 설명했지만, 엠보싱 가공에 의해 형성되는 형상은 이것에 한정되지 않는다. 대상물을 각 부위에 붙들어서 유지할 수 있는 형상이면 다른 패턴의 요철 형상이라도 된다.It is also preferable that the concave portion of the main surface of the mounting member is formed by embossing. According to the embossing process, it is possible to easily form a concave portion of a desired arrangement over a large area. Although the present embodiment has been described on the assumption that the linearly curved portion is formed by embossing, the shape formed by embossing is not limited to this. But it may be a concavo-convex shape of another pattern as long as the object can be held by holding it on each part.

(실시형태 4)(Fourth Embodiment)

도 14∼도 18을 참조하여 본 발명에 기초한 실시형태 4에 있어서의 열처리용 지그에 대하여 설명한다.14 to 18, a heat treatment jig according to the fourth embodiment of the present invention will be described.

본 실시형태에 있어서의 열처리용 지그(103)의 사시도를 도 14에 나타낸다. 열처리용 지그(103)는 프레임부(1)와 적재 부재(3w)를 구비한다. 적재 부재(3w)는 프레임부(1)에 의해 지지되어 있다. 프레임부(1)의 상세는 실시형태 1에서 설명한 것과 같다. 적재 부재(3w)를 단독으로 인출한 곳의 측면도를 도 15에 나타낸다. 열처리용 지그(103)의 평면도를 도 16에 나타낸다. 도 16에 있어서의 Z부를 잘라내어 인출했을 경우의 사시도를 도 17에 나타낸다.Fig. 14 is a perspective view of the heat treatment jig 103 in this embodiment. The heat treatment jig 103 includes a frame portion 1 and a loading member 3w. The loading member 3w is supported by the frame portion 1. [ Details of the frame section 1 are the same as those described in the first embodiment. Fig. 15 shows a side view of the place where the loading member 3w is taken out alone. A plan view of the heat treatment jig 103 is shown in Fig. Fig. 17 shows a perspective view when the Z portion in Fig. 16 is cut out and taken out.

열처리용 지그(103)에 있어서는, 적재 부재(3w)는 흑연 시트를 옆쪽으로부터 보았을 때에 산접기 및 골짜기접기가 교대로 반복되는 형상으로 되는 파형 형상으로 한 것이며, 적재 부재(3w)는 평면적으로 보아서 직사각 형상이고, 열처리용 지그(103)는 적재 부재(3w)의 4변을 둘러싸도록 해서 적재 부재(3w)를 지지하는 프레임부(1)를 구비한다.In the heat treatment jig 103, the stacking member 3w is formed into a waveform shape in which the mountain fold and the valley fold are alternately repeated when the graphite sheet is viewed from the side, and the stacking member 3w is formed in a plan view And the heat treatment jig 103 has a frame portion 1 for supporting the stacking member 3w so as to surround the four sides of the stacking member 3w.

도 16 및 도 17에 나타내는 바와 같이, 적재 부재(3w)의 외주 중 파형 형상의 꺾은선과 평행한 방향으로 연장하는 2개의 변(35)에 있어서는, 적재 부재(3w)의 단부가 하측 프레임부(2)와 상측 프레임부(4)에 의해 끼워넣어져서 고정되어 있다. 적재 부재(3w)의 외주 중 파형 형상의 꺾은선과 수직인 방향으로 연장하는 2개의 변(36)에 있어서는, 하측 프레임부(2)가 상측 프레임부(4)보다 내측을 향해서 돌출한 구조로 되어 있고, 적재 부재(3w)의 단부는 하측 프레임부(2)가 돌출한 부분에 실려 있다. 이 예에서는, 적재 부재(3w)는 4변 중 서로 대향하는 2변에 있어서만 프레임부(1)에 끼워진 구조로 되어 있지만, 이러한 지지의 방법이라도 된다. 단, 이것은 파형 형상의 적재 부재(3w)를 지지하는 구조의 일례이며, 이러한 구조에 한정하는 것은 아니다. 예를 들면 도 18에 단면도로서 나타내는 바와 같이, 하측 프레임부(2)의 상면 및 상측 프레임부(4)의 하면에 각각 파형의 요철을 형성해 두고, 이것들에 의해 파형 형상의 적재 부재(3w)를 끼워넣는 구조라도 된다.16 and 17, in the two sides 35 extending in the direction parallel to the wavy line of the waveform in the outer periphery of the loading member 3w, the end of the loading member 3w is connected to the lower frame portion 2 and the upper frame portion 4 and is fixed. The lower side frame portion 2 protrudes inward from the upper side frame portion 4 in the two sides 36 extending in the direction perpendicular to the wavy line of the waveform in the outer periphery of the loading member 3w And the end portion of the loading member 3w is put on a portion where the lower frame portion 2 protrudes. In this example, the loading member 3w is structured so as to be fitted to the frame portion 1 only on two sides facing each other out of the four sides, but such a supporting method may also be used. However, this is merely an example of a structure for supporting the loading member 3w having a wavy shape, and the present invention is not limited to this structure. For example, as shown in the sectional view in Fig. 18, corrugated irregularities are formed on the upper surface of the lower frame portion 2 and the lower surface of the upper frame portion 4, respectively, It may be a structure for fitting.

본 실시형태에서는 적재 부재(3w)의 파형 형상의 골짜기접기의 부분이 적재 부재(3w)의 주표면에 형성된 오목부에 해당하고, 열처리의 때에는 이 오목부에 대상물이 수습되어서 머물게 된다.In the present embodiment, the corrugated folded portion of the loading member 3w corresponds to the concave portion formed on the main surface of the loading member 3w, and when the heat treatment is performed, the object remains in the concave portion.

본 실시형태에 있어서도 적재 부재(3w)의 전체에 걸쳐 형성되어 있는 곡부에 의해 대상물이 유지될 수 있으므로, 다수의 대상물(10)을 적재 부재(3)에 실어서 열처리할 때에 대상물(10)을 적당하게 분산시켜서 유지할 수 있고, 양호한 열처리를 행할 수 있다. 이렇게 해서, 본 실시형태에 있어서도 지금까지의 실시혀태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.The object can be held by the curved portion formed all over the loading member 3w in the present embodiment and therefore the object 10 can be held in place when the plurality of objects 10 are loaded on the loading member 3 and heat- It can be appropriately dispersed and maintained, and a favorable heat treatment can be performed. In this way, the same effects as those of the above embodiments can be obtained also in this embodiment.

또한, 열처리해야 할 대상물의 종류는 특별하게 한정되지 않지만, 대상물은 예를 들면 전자부품이어도 좋고, 특히 칩 형상의 전자부품이면 좋다. 여기에서 말하는 전자부품으로서는, 주로 미소한 것이 상정되고, 한 변이 수㎜ 또는 1㎜ 이하의 치수를 갖는 칩 형상의 전자부품이 상정될 수 있다.The kind of the object to be heat-treated is not particularly limited, but the object may be, for example, an electronic component, and in particular, a chip-shaped electronic component. As the electronic part referred to here, a chip-shaped electronic part having a dimension of several millimeters or 1 mm or less on one side is assumed, which is assumed to be mainly small.

또한, 금회 개시한 상기 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라 청구범위에 의해 나타내어지고, 청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경을 포함하는 것이다.In addition, the above-described embodiment started this time is an example in all aspects and is not restrictive. The scope of the invention is indicated by the appended claims rather than by the foregoing description, and includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the claims.

1 : 프레임부 2 : 하측 프레임부
3, 3i, 3j, 3k, 3w : 적재 부재 4 : 상측 프레임부
5 : 오목부 6 : 어깨나사
7 : 선상 곡부 10 : 대상물
31 : 만곡면 32 : 평탄면
35, 36 : 변 41 : 제 1 방향
42 : 제 2 방향 101, 102, 103 : 열처리용 지그.1: frame part 2: lower frame part
3, 3i, 3j, 3k, 3w: stacking member 4:
5: recess 6: shoulder screw
7: Linear portion 10: Object
31: curved surface 32: flat surface
35, 36: side 41: first direction
42: second direction 101, 102, 103: jig for heat treatment.

Claims

And a loading member made of a graphite sheet for loading an object to be heat treated,
Wherein the main surface of the loading member has a concave portion,
Wherein the main surface is formed with an indented concave curved surface as each of the concave portions,
And a portion of the main surface separating the curved surfaces is flat.

delete

The method according to claim 1,
And the concave portion of the main surface is formed by embossing.

The method according to claim 1,
Wherein the stacking member is rectangular in plan view and the heat treatment jig has a frame portion for supporting the stacking member so as to surround four sides of the stacking member.

delete

The method according to claim 6,
Wherein the frame portion includes a lower frame portion and an upper frame portion, and the frame portion supports the stacking member by fitting the stacking member by the lower frame portion and the upper frame portion.

9. The method of claim 8,
Wherein the lower frame portion and the upper frame portion are spaced apart from each other and sandwich the loading member.