JP2014080240A - Workpiece housing container and optical element housing container using the same - Google Patents

Workpiece housing container and optical element housing container using the same Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a workpiece housing container and an optical element housing container which have less attachment of impurity due to heat treatment.SOLUTION: According to the workpiece housing container 1,11,12,13 of the present invention, the container comprises a plate-like body 2 having recesses 3 for housing a workpiece 10, in which a recess 3f which is positioned at the outermost circumferential side of the plate-like body 2 and the outside of the plate-like body 2 are connected by a through-hole 5, so that gas generated in performing heat treatment to the workpiece 10 can be discharged to the outside via the through-hole 5, and gas cooled down on a temperature-decreasing stage of heat treatment can be prevented from becoming impurity and attaching to the workpiece 10. Further, the optical element housing container 21 of the present invention consists of the workpiece housing container 12 of the present invention, and optical elements 23 are housed in the recesses 3, so that attaching of impurity on the surface of the optical element 23 can be suppressed.

Description

本発明は、ワーク収納用容器およびこれを用いた光学素子収納用容器に関する。   The present invention relates to a work storage container and an optical element storage container using the same.

ワークを熱処理するときに、ワークを個別に収納するための容器として、耐熱性の高い鋼材やセラミックスで作製された容器を使用することが知られている。   When heat-treating a workpiece, it is known to use a container made of a steel material or ceramic having high heat resistance as a container for individually storing the workpiece.

例えば、特許文献1には、セラミックシートの積層体からなる基体の一方の主面側に複数のポケットを設けた熱処理用トレーが開示されている。   For example, Patent Document 1 discloses a heat treatment tray in which a plurality of pockets are provided on one main surface side of a substrate made of a laminate of ceramic sheets.

特開2005-213086号公報JP 2005-213086 JP

しかしながら、特許文献1に記載の熱処理用トレーでは、ワークをポケットに収納し、熱処理をした場合に、ポケット内に収納したワークから発生したガスがポケット内に滞留し易く、熱処理後にはそのガスが、不純物となってワークの表面に付着するおそれがあった。   However, in the heat treatment tray described in Patent Document 1, when the work is stored in the pocket and the heat treatment is performed, the gas generated from the work stored in the pocket tends to stay in the pocket, and after the heat treatment, the gas is There was a risk of becoming an impurity and adhering to the surface of the workpiece.

本発明は、上記課題を解決するために案出されたものであり、ワーク表面の付着物を抑制することができるワーク収納用容器およびこれを用いた光学素子収納用容器を提供することを目的とするものである。   The present invention has been devised to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a work storage container that can suppress deposits on the work surface and an optical element storage container using the same. It is what.

本発明のワーク収納用容器は、ワークを収納するための凹部を有する板状体を備え、該板状体の最も外周側に位置する前記凹部と前記板状体の外部とが貫通孔にて繋がっていることを特徴とするものである。   The workpiece storage container of the present invention includes a plate-like body having a recess for storing a workpiece, and the recess located on the outermost peripheral side of the plate-like body and the outside of the plate-like body are through holes. It is characterized by being connected.

本発明の光学素子収納用容器は上記構成のワーク収納用容器からなり、前記凹部に光学素子を収納されることを特徴とするものである。   The optical element storage container of the present invention comprises the work storage container having the above-described configuration, and the optical element is stored in the concave portion.

本発明のワーク収納用容器によれば、ワークを収納するための凹部を有する板状体を備え、該板状体の最も外周側に位置する前記凹部と前記板状体の外部とが貫通孔にて繋がっていることから、凹部内に滞留したガスを貫通孔から外部に排出することができ、ワーク表面における不純物の付着を抑制することができる。   According to the workpiece storage container of the present invention, the plate-like body having a recess for storing the workpiece is provided, and the recess located on the outermost peripheral side of the plate-like body and the outside of the plate-like body are through holes. Therefore, the gas staying in the recess can be discharged from the through hole to the outside, and the adhesion of impurities on the workpiece surface can be suppressed.

また、本発明の光学素子収納用容器は、上記構成のワーク収納用容器からなり、前記凹部に光学素子が収納されることから、光学素子の表面における不純物の付着を抑制することができる。   Further, the optical element storage container of the present invention is composed of the work storage container having the above-described configuration, and the optical element is stored in the concave portion, so that the adhesion of impurities on the surface of the optical element can be suppressed.

本実施形態のワーク収納用容器の一例を示す、(a)はワーク収納用容器を構成する板状体の斜視図であり、(b)は板状体の一方の主面側の平面図であり、(c)は(a)のA−A’線の断面図である。An example of the workpiece storage container of the present embodiment is shown, (a) is a perspective view of a plate-like body constituting the workpiece storage container, (b) is a plan view of one main surface side of the plate-like body. (C) is a cross-sectional view taken along line AA ′ of (a). 本実施形態のワーク収納用容器の第1の凹部の開口部の一例を示す、(a)〜(c)は一方の主面側からみた開口部の平面図であり、それぞれ円形状、四角形状および六角形状である。An example of the opening part of the 1st recessed part of the container for workpiece | work storage of this embodiment is shown, (a)-(c) is a top view of the opening part seen from the one main surface side, respectively, circular shape and square shape And a hexagonal shape. 本実施形態のワーク収納用容器の第1の凹部の底面の一例を示す、(a)〜(d)は一方の主面側からみた平面図であり、それぞれ円形状、四角形状、六角形状および十字形状である。An example of the bottom face of the 1st recessed part of the workpiece | work storage container of this embodiment is shown, (a)-(d) is a top view seen from the one main surface side, respectively, circular shape, square shape, hexagonal shape, and It is a cross shape. 本実施形態のワーク収納用容器の他の一例を示す、(a)はワーク収納用容器を構成する板状体の斜視図であり、(b)は板状体の一方の主面側の平面図であり、(c)は(a)のB−B’線の断面図である。The other example of the container for workpiece | work storage of this embodiment is shown, (a) is a perspective view of the plate-shaped body which comprises the container for workpiece | work storage, (b) is the plane of one main surface side of a plate-shaped body. It is a figure, (c) is sectional drawing of the BB 'line | wire of (a). 本実施形態のワーク収納用容器のさらに他の一例を示す平面図である。It is a top view which shows another example of the container for workpiece | work storage of this embodiment. 図6は、図5のC−C’線に示す本実施形態のワーク収納用容器の貫通孔の形成位置の一例を示す部分的な断面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing an example of the formation position of the through hole of the work storage container of the present embodiment shown by the C-C ′ line in FIG. 5. 本実施形態のワーク収納用容器のさらに他の一例を示す凹部を含む周囲の部分的な断面図であり、板状体が積層体からなることを示している。It is a partial sectional view of the circumference including a recess showing still another example of the workpiece storage container of the present embodiment, and shows that the plate-like body is made of a laminate. 図5のC−C’線に示す本実施形態のワーク収納用容器の貫通孔の形成位置の一例を示す部分的な断面図であり、(a)〜(c)は第1の凹部の底面でワークが支持され貫通孔が第1の凹部の底面より下方にあり、(d)は貫通孔の位置は(a)と同一であるがワークの支持が第2の凹部の底面である。It is a fragmentary sectional view showing an example of the formation position of the penetration hole of the container for work storage of this embodiment shown in the CC 'line of Drawing 5, and (a)-(c) is the bottom of the 1st crevice. The workpiece is supported and the through hole is below the bottom surface of the first recess. (D) is the same as (a) in the position of the through hole, but the support of the workpiece is the bottom surface of the second recess. (a)は本実施形態のワーク収納用容器の図8(b)に示す波線で囲んだD部または図8(d)に示す波線で囲んだE部を拡大した断面図であり、(b)は第1の凹部の底面または第2の凹部の底面を平面視した粒子レベルでみたときの模試図である。(A) is sectional drawing to which the D section enclosed with the wavy line shown in FIG.8 (b) of the container for workpiece storage of this embodiment or the E section enclosed with the wavy line shown in FIG.8 (d) was expanded, (b ) Is a schematic diagram when the bottom surface of the first recess or the bottom surface of the second recess is viewed at a particle level in plan view. 本実施形態のワーク収納用容器の他の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows another example of the workpiece | work storage container of this embodiment. 本実施形態の光学素子収納用容器の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the container for optical element accommodation of this embodiment.

以下、本発明の実施の形態について説明する。   Embodiments of the present invention will be described below.

本発明の流路部材の実施の形態の一例を、図1〜図3を用いて説明する。   An example of the embodiment of the flow path member of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1は、本実施形態のワーク収納用容器の一例を示す、(a)はワーク収納用容器を構成する板状体の斜視図であり、(b)は板状体の一方の主面側の平面図であり、(c)は(a)のA−A’線の断面図である。   1A and 1B show an example of a work storage container according to the present embodiment. FIG. 1A is a perspective view of a plate-like body constituting the work storage container, and FIG. 1B is one main surface side of the plate-like body. (C) is sectional drawing of the AA 'line of (a).

また、図2は、本実施形態のワーク収納用容器の第1の凹部の開口部の一例を示す、(a)〜(c)は一方の主面側からみた開口部の平面図であり、それぞれ円形状、四角形状および六角形状であり、図3は、本実施形態のワーク収納用容器の第1の凹部の底面の一例を示す、(a)〜(d)は一方の主面側からみた平面図であり、それぞれ円形状、四角形状、六角形状および十字形状である。   Moreover, FIG. 2 shows an example of the opening part of the 1st recessed part of the container for workpiece | work storage of this embodiment, (a)-(c) is a top view of the opening part seen from one main surface side, FIG. 3 shows an example of the bottom surface of the first concave portion of the work storage container of the present embodiment. (A) to (d) are from one main surface side. It is the seen top view, and is circular shape, square shape, hexagon shape, and cross shape, respectively.

図1に示すワーク収納用容器1は、ワーク10を収納するための凹部3を有する板状体2を備え、板状体2の最も外周側に位置する凹部3と板状体2の外部とが貫通孔5にて繋がっていることが重要である。   A workpiece storage container 1 shown in FIG. 1 includes a plate-like body 2 having a recess 3 for storing a workpiece 10, and includes a recess 3 located on the outermost side of the plate-like body 2 and the outside of the plate-like body 2. It is important that these are connected at the through hole 5.

本実施形態のワーク収納用容器1によれば、板状体2の一方の主面2a側にワーク10を収納するための凹部3を備え、板状体2の最も外周側に位置する凹部3と板状体2の外部とが貫通孔5によって繋がっていることから、たとえば、熱処理用の容器として用いてワーク10を熱処理したときに、ワーク10から発生したガスが、凹部3内から貫通孔5を介して外部に排出されることとなる。それにより熱処理の降温の段階で冷却されたガスが不純物となってワーク10に付着することを抑制できる。   According to the workpiece storage container 1 of the present embodiment, the recess 3 for storing the workpiece 10 is provided on the one main surface 2 a side of the plate-like body 2, and the recess 3 located on the outermost peripheral side of the plate-like body 2. Since the workpiece 10 and the outside of the plate-like body 2 are connected by the through-hole 5, for example, when the workpiece 10 is heat-treated using it as a heat treatment container, the gas generated from the workpiece 10 passes through the through-hole from the inside of the recess 3. 5 will be discharged to the outside through 5. Thereby, it is possible to suppress the gas cooled in the temperature lowering stage of the heat treatment from becoming an impurity and adhering to the workpiece 10.

また、貫通孔5を介して外部の熱をワーク収納用容器1に伝達することができる。それによりワーク収納用容器1内での温度バラツキを抑制でき、ワーク10の熱処理による寸法や強度等のバラツキを抑制することもできる。   Also, external heat can be transmitted to the work storage container 1 through the through hole 5. Thereby, temperature variation in the workpiece storage container 1 can be suppressed, and variations in size, strength, and the like due to heat treatment of the workpiece 10 can also be suppressed.

また、本実施形態のワーク収納容器1においては、ワーク収納用容器1の凹部3が、断面視において、第1の凹部3aと、第1の凹部3aよりも幅の狭い第2の凹部3bとからなり、ワーク10を第1の凹部3aの底面3cで支持している例を示している。なお、凹部3の形状は、必ずしも第1の凹部3aと第2の凹部3bとを備えている必要はなく、例えば、凹部3の内側面がストレート状やまたはテーパ状であってもよい。さらには、ワーク10を第2の凹部3bに収納する形態としてもよい。   In the work storage container 1 of the present embodiment, the recess 3 of the work storage container 1 includes a first recess 3a and a second recess 3b that is narrower than the first recess 3a in a cross-sectional view. In this example, the workpiece 10 is supported by the bottom surface 3c of the first recess 3a. In addition, the shape of the recessed part 3 does not necessarily need to be provided with the 1st recessed part 3a and the 2nd recessed part 3b, For example, the inner surface of the recessed part 3 may be straight shape or a taper shape. Furthermore, it is good also as a form which accommodates the workpiece | work 10 in the 2nd recessed part 3b.

さらに、第1の凹部3aの開口部の平面形状は、図2(a)の円形状、(b)の四角形状、または(c)の六角形状などの方形状など、熱処理するワークが収容できる形状であれば良くこれに限定されるものでもない。   Furthermore, the planar shape of the opening of the first recess 3a can accommodate a workpiece to be heat-treated, such as a circular shape in FIG. 2A, a rectangular shape in FIG. 2B, or a hexagonal shape in FIG. The shape is not limited to this as long as it has a shape.

また、第1の凹部の底面3cおよび第2の凹部3bの開口部は、図3(a)の円形状、(b)の四角形状、(c)の六角形状、または(d)の十字形状など、熱処理するワークが収容できる形状であれば良くこれに限定されるものでもない。   Further, the bottom surface 3c of the first recess and the opening of the second recess 3b have a circular shape in FIG. 3 (a), a square shape in (b), a hexagonal shape in (c), or a cross shape in (d). The shape is not limited to this as long as it can accommodate the workpiece to be heat-treated.

さらにまた、貫通孔5の断面形状については、円形状、四角形状、三角形状など、ワーク収納用容器1の強度に問題がなく、外部へガスが排出できればこれに限定されるものでもない。   Furthermore, the cross-sectional shape of the through-hole 5 is not limited to a circular shape, a square shape, a triangular shape, or the like as long as there is no problem in the strength of the work storage container 1 and gas can be discharged to the outside.

なお、図1においては、ワーク収納用容器1が凹部3を2行2列の計4つ有する例を示しているが、これに限られるものではなく、例えば凹部3が1つであってもよい。   Although FIG. 1 shows an example in which the workpiece storage container 1 has a total of four recesses 3 in two rows and two columns, the present invention is not limited to this. For example, even if there is one recess 3 Good.

図4は、本実施形態のワーク収納用容器の他の一例を示す、(a)はワーク収納用容器を構成する板状体の斜視図であり、(b)は板状体の一方の主面側の平面図であり、(c)は(a)のB−B’線の断面図である。   4A and 4B show another example of the work storage container according to the present embodiment. FIG. 4A is a perspective view of a plate-like body constituting the work storage container, and FIG. 4B is one main body of the plate-like body. It is a top view of a surface side, (c) is sectional drawing of the BB 'line of (a).

図4に示すワーク収納用容器11は、板状体2の一方の主面2a側に複数の凹部3を備えており、図4において上下方向に並列された凹部3同士が貫通孔5にて連通している。なお、以下の図において、外部と連通する貫通孔を有する凹部を3fとし、それ以外の凹部を3gとして示すものとする。また、本実施形態において、最も外周側に位置する凹部3の全てが外部と連通している必要はなく、凹部3同士が連通していれば、最も外周側に位置する凹部3のうち少なくとも1つが外部と連通する貫通孔を有していればよい。   A workpiece storage container 11 shown in FIG. 4 includes a plurality of recesses 3 on one main surface 2 a side of the plate-like body 2, and the recesses 3 aligned in the vertical direction in FIG. Communicate. In the following drawings, a recess having a through hole communicating with the outside is denoted by 3f, and the other recess is denoted by 3g. Further, in the present embodiment, it is not necessary that all of the concave portions 3 positioned on the outermost peripheral side communicate with the outside, and if the concave portions 3 communicate with each other, at least one of the concave portions 3 positioned on the outermost peripheral side. It is only necessary that one has a through hole communicating with the outside.

このように、凹部3fおよび凹部3g同士が貫通孔5で連通して外部と連通しているときには、本実施形態のワーク収納用容器11にワークを収容して熱処理容器として用いる場合に、凹部3gで発生したガスを外周側に位置する凹部3fに設けられた貫通孔5を介して外部に排出することができる。それにより複数の凹部3を備えるワーク収容容器を熱処理の降温の段階で冷却されたガスが不純物となってワーク10に付着することを抑制できる。   As described above, when the recess 3f and the recess 3g communicate with each other through the through-hole 5 and communicate with the outside, the recess 3g is used when the workpiece is stored in the workpiece storage container 11 of this embodiment and used as a heat treatment container. Can be discharged to the outside through the through hole 5 provided in the recess 3f located on the outer peripheral side. As a result, it is possible to suppress the gas that has cooled the workpiece storage container including the plurality of recesses 3 from being cooled at the stage of the heat treatment and becoming attached to the workpiece 10 as impurities.

また、凹部3fおよび凹部3g同士が貫通孔5によって外部まで連通していることから、貫通孔5を介して外部の熱をワーク収納用容器11に伝達することができる。それによりワーク収納用容器11内での温度バラツキを抑制でき、ワーク10の熱処理による寸法や強度等のバラツキを抑制することもできる。   Further, since the recess 3 f and the recess 3 g communicate with each other through the through hole 5, external heat can be transmitted to the workpiece storage container 11 through the through hole 5. As a result, temperature variations in the workpiece storage container 11 can be suppressed, and variations in dimensions, strength, and the like due to heat treatment of the workpiece 10 can also be suppressed.

ここまで、本実施形態のワーク収納用容器1、11では、貫通孔5は、複数の凹部3に対
して、一方向にのみ形成した構成で説明してきたが、例えば、貫通孔5を格子状に設けたものであってもよい。
Up to this point, in the work storage containers 1 and 11 according to the present embodiment, the through holes 5 have been described as being formed in only one direction with respect to the plurality of recesses 3. May be provided.

図5は、本実施形態のワーク収納用容器のさらに他の一例を示す平面図であり、複数の凹部3に対して、貫通孔5を格子状に形成したワーク収納用容器12を示している。   FIG. 5 is a plan view showing still another example of the work storage container of the present embodiment, and shows a work storage container 12 in which through holes 5 are formed in a lattice shape with respect to the plurality of recesses 3. .

このように格子状に貫通孔5を設けることによって、さらにワーク10を熱処理するときに発生するガスを外部に容易に排出することができる。それにより熱処理の降温の段階で冷却されたガスが不純物となってワーク10に付着することをさらに抑制できる。   Thus, by providing the through holes 5 in a lattice shape, the gas generated when the workpiece 10 is further heat-treated can be easily discharged to the outside. Thereby, it is possible to further suppress the gas cooled in the temperature lowering stage of the heat treatment from becoming an impurity and adhering to the workpiece 10.

また、貫通孔5を介して外部の熱をワーク収納用容器1内に効率よく伝達することができることから、ワーク収納用容器12内での温度バラツキを抑制でき、ワーク10の熱処理による寸法や強度等のバラツキをさらに抑制することもできる。   In addition, since external heat can be efficiently transferred into the workpiece storage container 1 through the through hole 5, temperature variation in the workpiece storage container 12 can be suppressed, and the dimensions and strength of the workpiece 10 due to heat treatment can be suppressed. Such variations can be further suppressed.

なお、貫通孔5を、一方方向または格子状に形成した場合について説明したが、ワーク10を熱処理するときに発生するガスを外部に排出することができるようなっていれば良く、ワークから発生するガスの種類、収納容器1、11、12の強度、焼成の雰囲気等に適宜合わせ貫通孔5の場所、本数、形状等を適宜設定すれば良い。   Although the case where the through-holes 5 are formed in one direction or in a lattice shape has been described, it is sufficient that the gas generated when the workpiece 10 is heat-treated can be discharged to the outside. What is necessary is just to set suitably the place of the through-hole 5, a number, a shape, etc. according to the kind of gas, the intensity | strength of the storage containers 1,11,12, the firing atmosphere, etc. suitably.

ところでこのような熱処理に用いられるワーク収納容器は、ワークを収納容器に入れやすくするために、予めワークと収納容器の凹部の内周面との間にはある程度のクリアランスが設けられている。そのため、凹部にワークは入れやすいものの、運搬や、各装置での移動時に凹部内でワークが動いてしまい、熱処理にムラが生じてしまうおそれや、凹部から飛び出してしまうおそれがあった。   By the way, in the work storage container used for such heat treatment, a certain amount of clearance is provided in advance between the work and the inner peripheral surface of the recess of the storage container in order to make it easier to put the work into the storage container. Therefore, although it is easy to put the workpiece into the concave portion, the workpiece may move in the concave portion during transportation or movement in each device, and there is a possibility that unevenness may occur in the heat treatment or jump out of the concave portion.

図6は、図5のC−C’線に示す本実施形態のワーク収納用容器の貫通孔の形成位置の一例を示す部分的な断面図である。このワーク収納容器12においては、凹部3の内側面3hの底面側に凸部4が設けられている。なお、図6においては、ワーク10を第1の凹部3aの底面3cに載置する場合を示し、第1の凹部3aの底面3c側に凸部4が設けられている例を示している。   FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing an example of the formation position of the through hole of the work storage container of the present embodiment shown by the C-C ′ line in FIG. 5. In the work storage container 12, the convex portion 4 is provided on the bottom surface side of the inner side surface 3 h of the concave portion 3. FIG. 6 shows a case where the workpiece 10 is placed on the bottom surface 3c of the first recess 3a, and shows an example in which the projection 4 is provided on the bottom surface 3c side of the first recess 3a.

このような構成とすることで、一方の主面2a側では、ワーク10と第1の凹部3aとのクリアランスを広く設けることでワーク10を第1の凹部3aに入れやすくなる。また、底面3c側に凸部4を設けることでクリアランスが狭くなり、ワーク10が第1の凹部3a内で動くことを抑制できる。それにより、熱処理にムラが生じてしまうおそれや、ワーク10が凹部から飛び出すことを抑制することができる。あわせて、凸部4を設けることで、第1の凹部3aの表面積を広くでき、第1の凹部3aからの放射熱を増やすことができることから、ワーク10の熱処理時間を短縮することもできる。   With such a configuration, it is easy to put the workpiece 10 into the first recess 3a by providing a wide clearance between the workpiece 10 and the first recess 3a on the one main surface 2a side. Further, by providing the convex portion 4 on the bottom surface 3c side, the clearance is narrowed, and it is possible to suppress the workpiece 10 from moving in the first concave portion 3a. Thereby, it is possible to suppress the possibility of unevenness in the heat treatment and the workpiece 10 from jumping out of the recess. In addition, by providing the convex portion 4, the surface area of the first concave portion 3 a can be increased and the radiant heat from the first concave portion 3 a can be increased, so that the heat treatment time of the workpiece 10 can be shortened.

なおこのような構成とするためにはワーク10の外形や厚みにもよるが、第1の凹部3aとワーク10とのクリアランスを、一方の主面2a側では0.3〜2.5mmとし、底面3c側の凸部4の場所では0.05mm〜1.0mm(凸部4の高さとしては0.02mm〜0.50mm)とな
るようにすればよい。
In order to obtain such a configuration, although it depends on the outer shape and thickness of the workpiece 10, the clearance between the first recess 3a and the workpiece 10 is set to 0.3 to 2.5 mm on the one main surface 2a side, and the bottom surface 3c side. What is necessary is just to make it become 0.05 mm-1.0 mm (the height of the convex part 4 is 0.02 mm-0.50 mm) in the location of the convex part 4.

また、凸部4は、凸部4の頂点がワーク10の外周面における高さ(厚み)方向の範囲内に位置するように設けられていることが好ましく、この場合において、凹部3の内側面の周方向の全周に有していることが好ましいが、全周の長さの1/10以下の長さのものを複数設けた構成とすることもできる。ちなみに、凸部4の高さは均一であることが好ましく、この場合、ワーク10を第1の凹部3aの底面3cにおける中央付近に収納することができ、ワーク10の熱処理による寸法や強度等のバラツキをさらに抑制することもできる。   Moreover, it is preferable that the convex part 4 is provided so that the vertex of the convex part 4 may be located in the range of the height (thickness) direction on the outer peripheral surface of the workpiece 10, and in this case, the inner surface of the concave part 3 is provided. However, it is also possible to adopt a configuration in which a plurality of ones having a length of 1/10 or less of the entire circumference is provided. Incidentally, it is preferable that the height of the convex portion 4 is uniform. In this case, the workpiece 10 can be accommodated near the center of the bottom surface 3c of the first concave portion 3a. Variation can be further suppressed.

なおここでいう、凸部4の高さとは、一個の凹部3を3箇所でカットして、そのカットした各断面視において、内側面3hの凸部4以外の任意の場所を5点取りその平均の場所を基準としたときの、凸部4の一番高い場所との距離のことをいう。また、凸部4の高さが均一であるとは、凸部4の任意の場所を6点取った際の高さのバラツキが、凸部4の高さ寸法の40%の範囲内に入っていればよい。   In addition, the height of the convex part 4 here means that one concave part 3 is cut at three points, and in each cut sectional view, an arbitrary place other than the convex part 4 on the inner side surface 3h is taken at five points, and the average It is the distance from the highest place of the convex part 4 when the place of (2) is used as a reference. Moreover, the height of the convex part 4 being uniform means that the variation in height when taking six points on the convex part 4 falls within the range of 40% of the height dimension of the convex part 4. It only has to be.

なお、凸部の高さの測定は、収納容器の第1の凹部が入るように切断した切断面を公知の光学顕微鏡やマイクロスコープなどを用いて確認することができる。   In addition, the measurement of the height of a convex part can confirm the cut surface cut | disconnected so that the 1st recessed part of a storage container may enter using a well-known optical microscope, a microscope, etc.

ちなみに、上述の例においては、凸部4を第1の凹部3aに設けた場合の構成について説明したが、例えば第2の凹部3bにワーク10を収納する場合には、凸部4を第2の凹部3bに設ければよい。なお、本実施形態のワーク収納容器1,11においても同様である。   Incidentally, in the above-described example, the configuration in which the convex portion 4 is provided in the first concave portion 3a has been described. However, for example, when the workpiece 10 is stored in the second concave portion 3b, the convex portion 4 is provided in the second concave portion 3b. What is necessary is just to provide in the recessed part 3b. The same applies to the work storage containers 1 and 11 of the present embodiment.

本実施形態のワーク収納用容器1,11,12の板状体2は、セラミックからなることが好ましくは、例えば、熱処理用の容器として用いれば、耐熱性に富み繰り返し熱処理に用いることができる。また、例えば、ワーク収納用容器1,11,12をワーク10の保存用や滅菌用の容器として用いる場合に、金属であれば腐蝕するようなガスや液体の雰囲気に曝しても耐食性の高いセラミックで形成されることで、腐蝕等の問題の発生を抑制できる。   The plate-like body 2 of the work storage containers 1, 11, 12 of the present embodiment is preferably made of ceramic. For example, when used as a heat treatment container, it has high heat resistance and can be used for repeated heat treatment. Also, for example, when the work storage containers 1, 11 and 12 are used as storage or sterilization containers for the work 10, a ceramic having high corrosion resistance even if exposed to a gas or liquid atmosphere corroding if it is metal. By forming with, it is possible to suppress the occurrence of problems such as corrosion.

なお、ここで、ワーク収納用容器1,11,12に用いるセラミックスとしては、アルミナ,窒化珪素,窒化アルミニウム,ムライト,炭化珪素,炭化硼素,コージェライト,ジルコニアおよびこれらの複合体などや、または炭化珪素の板状体2の少なくとも凹部3の表層に炭素成分がワーク10に付着しないようにアルミナやジルコニアなどを被着したものであってもよい。   Here, ceramics used for the work storage containers 1, 11, 12 include alumina, silicon nitride, aluminum nitride, mullite, silicon carbide, boron carbide, cordierite, zirconia, and composites thereof, or carbonized. The silicon plate-like body 2 may be coated with alumina, zirconia or the like so that the carbon component does not adhere to the workpiece 10 on the surface layer of at least the recess 3.

さらに、板状体本体を耐熱鋼で作製し少なくとも凹部3の表層にアルミナなどのセラミックスを被着したものでもよい。   Further, the plate body may be made of heat-resistant steel, and at least the surface layer of the recess 3 may be coated with ceramics such as alumina.

また、セラミックスからなる板状体2の作製は、セラミックグリーンシートにレーザやプレス成型により孔加工したものを複数積層し焼成する方法や、粉末プレス成型により凹部3を備えた成型体を作製したあとにドリル加工で貫通孔5を形成し焼成する方法や、焼成した板状体2にレーザ加工や切削加工、ブラスト加工またはドリル加工などの単一工程または複数の工程の組合せにより作製する方法がある。   The plate-like body 2 made of ceramic is produced by a method of laminating and firing a plurality of ceramic green sheets that have been drilled by laser or press molding, or after forming a molded body having the recesses 3 by powder press molding. There is a method of forming the through-hole 5 by drilling and firing, and a method of producing the fired plate-like body 2 by a single process or a combination of a plurality of processes such as laser processing, cutting, blasting or drilling. .

図7は、本実施形態のワーク収納用容器のさらに他の一例を示す凹部を含む周囲の部分的な断面図であり、板状体が積層体からなる例を示している。   FIG. 7 is a partial sectional view of the periphery including a recess showing still another example of the work storage container of the present embodiment, and shows an example in which the plate-like body is formed of a laminate.

本実施形態のワーク収納用容器1,11,12の板状体2が、シート2dを複数積層した積層体からなるときには、複雑な凹部3の形状や貫通孔5の形状の配置であっても、容易に作製することができる。   When the plate-like body 2 of the work storage containers 1, 11, 12 of the present embodiment is a laminated body in which a plurality of sheets 2 d are laminated, even if the shape of the concave portion 3 or the shape of the through hole 5 is complicated. Can be easily manufactured.

例えば、積層体がセラミックからなるときは、未焼成のセラミックグリーンシートの成形体に、凹部3となる貫通孔をレーザや打ち抜きで、凸部4となる部分をレーザなどで形成し、また、貫通孔5となる溝を成形体にレーザや打ち抜きで成形し、これらのセラミックグリーンシートを積層し加圧後に所定の温度で焼成することにより所望の板状体2を作製することができる。   For example, when the laminated body is made of ceramic, a through-hole that becomes the recess 3 is formed in the green ceramic green sheet by laser or punching, and a portion that becomes the protrusion 4 is formed by laser or the like. A desired plate-like body 2 can be produced by forming grooves to be the holes 5 in the formed body by laser or punching, laminating these ceramic green sheets, and firing them at a predetermined temperature after pressing.

本実施形態のワーク収納用容器は、凹部が、板状体の一方の主面に開口する第1の凹部と、第1の凹部と繋がってかつ断面視において第1の凹部よりも幅の狭い第2の凹部とを
備えるとともに、貫通孔が第1の凹部または第2の凹部と連通していることが好ましい。
In the work storage container of the present embodiment, the recess is connected to the first recess that opens on one main surface of the plate-like body, and the first recess, and is narrower than the first recess in a cross-sectional view. It is preferable that the through hole is in communication with the first concave portion or the second concave portion.

図1に示すワーク収納用容器1は、板状体2に複数の凹部3が備えられ、凹部3は、板状体2の第1の主面2a側に開口する第1の凹部3aと、第1の凹部3aと繋がってかつ断面視において第1の凹部3aよりも幅の狭い第2の凹部3bとを備えるとともに、貫通孔5が第1の凹部3aと連通している。   1 is provided with a plurality of recesses 3 in a plate-like body 2, and the recesses 3 include a first recess 3 a that opens on the first main surface 2 a side of the plate-like body 2, and The second recess 3b is connected to the first recess 3a and is narrower than the first recess 3a in cross-sectional view, and the through hole 5 communicates with the first recess 3a.

ここで、凹部3が、第1の凹部3aと、第1の凹部3aと繋がってかつ断面視において第1の凹部3aよりも幅の狭い第2の凹部3bとを有することで、第1の凹部3aの底面3cにワーク10を安定して支持することができる。それにより、ワーク10の下面側は直接第2の凹部3bの底面3dと接触することもなく、ワーク10の上面側と下面側の熱処理による寸法や強度等のバラツキが大きくなることも抑制できる。   Here, the concave portion 3 includes the first concave portion 3a and the second concave portion 3b that is connected to the first concave portion 3a and is narrower than the first concave portion 3a in a cross-sectional view. The workpiece 10 can be stably supported on the bottom surface 3c of the recess 3a. Thereby, the lower surface side of the workpiece 10 is not directly in contact with the bottom surface 3d of the second recess 3b, and it is possible to suppress an increase in variations in dimensions, strength, and the like due to heat treatment between the upper surface side and the lower surface side of the workpiece 10.

なお、図1においては、貫通孔5が第1の凹部3aに連通している例を示しているが、貫通孔5が第2の凹部3bに連通していてもよい。   1 shows an example in which the through hole 5 communicates with the first recess 3a, the through hole 5 may communicate with the second recess 3b.

さらに、この場合において貫通孔5が第1の凹部3aまたは第2の凹部3bと連通していることにより、ワーク10を熱処理するときに発生するガスを外部に容易に排出することができる。それにより熱処理の降温の段階で冷却されたガスが不純物となってワーク10に付着することをさらに抑制できる。なお、貫通孔5の形成位置について以下に例示する。   Further, in this case, since the through hole 5 communicates with the first recess 3a or the second recess 3b, the gas generated when the workpiece 10 is heat-treated can be easily discharged to the outside. Thereby, it is possible to further suppress the gas cooled in the temperature lowering stage of the heat treatment from becoming an impurity and adhering to the workpiece 10. In addition, the formation position of the through-hole 5 is illustrated below.

図8は、図5(a)のC−C’線に示す本実施形態のワーク収納用容器の貫通孔の形成位置の一例を示す部分的な断面図であり、(a)〜(c)は第1の凹部の底面でワークが支持され貫通孔が第1の凹部の底面より下方にあり、(d)は貫通孔の位置は(a)と同一であるがワークの支持が第2の凹部の底面である例を示している。   FIG. 8 is a partial cross-sectional view showing an example of the formation position of the through hole of the work storage container of the present embodiment shown by the CC ′ line in FIG. 5 (a), (a) to (c). The workpiece is supported by the bottom surface of the first recess and the through hole is below the bottom surface of the first recess. (D) is the same as (a), but the workpiece is supported by the second hole. The example which is a bottom face of a recessed part is shown.

図1に示すワーク収納用容器1は、第1の凹部3aの底面3cより開口部に近い位置に貫通孔5が設けられているのに対し、図8(a)〜(d)においては、貫通孔5が、第1の凹部3aの底面3cより第2の凹部3bの底面3d側に設けられている。   The work storage container 1 shown in FIG. 1 is provided with a through hole 5 at a position closer to the opening than the bottom surface 3c of the first recess 3a, whereas in FIGS. 8 (a) to (d), The through hole 5 is provided on the bottom surface 3d side of the second recess 3b from the bottom surface 3c of the first recess 3a.

そして、図8(a)〜(c)においては、ワーク10は第1の凹部3aの底面3cで支持されており、板状体2の外部と繋がる貫通孔5を、凹部3bと連通するように設けていることから、ワーク10の下面側のワークを熱処理した時に発生する時のガスの質量が大きい場合に、ガスをより効率よく外部へ排出することができ、凹部3bの底面3d側に滞留することを抑制できる。それにより熱処理の降温の段階で冷却されたガスが不純物となってワーク10に付着することをさらに抑制できる。   8A to 8C, the work 10 is supported by the bottom surface 3c of the first recess 3a, and the through hole 5 connected to the outside of the plate-like body 2 is communicated with the recess 3b. Therefore, when the mass of the gas generated when the workpiece on the lower surface side of the workpiece 10 is heat-treated is large, the gas can be discharged to the outside more efficiently and on the bottom surface 3d side of the recess 3b. It can suppress staying. Thereby, it is possible to further suppress the gas cooled in the temperature lowering stage of the heat treatment from becoming an impurity and adhering to the workpiece 10.

特に、ワーク10から発生するガスのうち、ワーク10に付着するようなガスは質量が大きい場合が多く、質量の大きいガスは凹部3の底面3d側に溜まりやすいため、貫通孔5は凹部3bのうち、ワーク10の支持位置より底面3d側に連通していることがより好ましい。   In particular, among the gases generated from the work 10, the gas that adheres to the work 10 often has a large mass, and the gas having a large mass tends to accumulate on the bottom surface 3 d side of the recess 3. Among them, it is more preferable that the workpiece 10 communicates with the bottom surface 3d side from the support position.

一方、ワーク10から発生するガスの質量が小さい場合には、図1に示したように貫通孔5を第1の凹部3aに連通するように設けることが好ましく、特にはワーク10の支持位置よりも開口部側に設けることが好ましい。   On the other hand, when the mass of the gas generated from the workpiece 10 is small, it is preferable to provide the through hole 5 so as to communicate with the first recess 3a as shown in FIG. Is also preferably provided on the opening side.

なお、図5に示す、本実施形態のワーク収納用容器12のように、複数の凹部3に対して、格子状の貫通孔5があるときには、縦方向、横方向の貫通孔5の位置は同一でもよいが、図1(c)に示すワーク10より開口部側となる第1の凹部3aに一方向の貫通孔5が形成され、他方の貫通孔5は図7(a)〜(c)に示すワーク10より底面3d側となる第2
の凹部3bに形成することがより好ましい。それにより、熱処理時にワーク10から発生するガスの排出もスムーズにでき、ワーク10の上面、下面の熱処理がより均一にできる。
As shown in FIG. 5, when there are lattice-like through holes 5 with respect to the plurality of recesses 3 as in the work storage container 12 of the present embodiment, the positions of the vertical and horizontal through holes 5 are as follows. Although the same may be sufficient, the through-hole 5 of one direction is formed in the 1st recessed part 3a which becomes an opening part side from the workpiece | work 10 shown in FIG.1 (c), and the other through-hole 5 is shown in FIG.7 (a)-(c). 2) which is on the bottom surface 3d side from the workpiece 10 shown in FIG.
More preferably, it is formed in the recess 3b. Thereby, the gas generated from the workpiece 10 during the heat treatment can be discharged smoothly, and the heat treatment of the upper surface and the lower surface of the workpiece 10 can be made more uniform.

本実施形態のワーク収納用容器は、板状体がセラミックからなるとともに、第1の凹部および第2の凹部の少なくとも一方の底面が焼き肌面とされていることが好ましい。   In the work storage container of the present embodiment, it is preferable that the plate-like body is made of ceramic and that the bottom surface of at least one of the first recess and the second recess is a burnt surface.

図9(a)は本実施形態のワーク収納用容器の図8(b)に示す波線で囲んだD部または図8(d)に示す波線で囲んだE部を拡大した断面図であり、(b)は第1の凹部3aの底面または第2の凹部3bの底面を平面視した粒子レベルでみたときの模試図である。   9A is an enlarged cross-sectional view of a part D surrounded by a wavy line shown in FIG. 8B or an E part surrounded by a wavy line shown in FIG. (B) is a schematic diagram when the bottom surface of the first recess 3a or the bottom surface of the second recess 3b is viewed at a particle level in plan view.

本実施形態のワーク収納用容器1,11,12は、板状体2がセラミックからなるとともに、第1の凹部3aおよび第2の凹部3bのそれぞれの底面3c,3dの少なくとも一方が焼き肌面であるときには、図9(b)に示すように、ワーク10を支持する底面3c,3dの表面を粒子レベルでみたとき、セラミック粒子8がランダムに突出し、ワーク10は点接触で支持されることとなる。   In the work storage containers 1, 11, and 12 of this embodiment, the plate-like body 2 is made of ceramic, and at least one of the bottom surfaces 3 c and 3 d of the first recess 3 a and the second recess 3 b is a burnt surface. 9B, as shown in FIG. 9B, when the surfaces of the bottom surfaces 3c and 3d supporting the workpiece 10 are viewed at the particle level, the ceramic particles 8 protrude randomly, and the workpiece 10 is supported by point contact. It becomes.

それにより、ワーク10が第1の凹部3aの底面3cで支持されているときは、底面3cの表面の突出したセラミック粒子8間の谷間がマイクロ流路9aとなって機能し、ワーク10を熱処理した時に発生するガスが、凹部3に収納されたワーク10の上面側の空間と下面側の空間とに流通し、貫通孔5を介してより効率よく外部に排出することができる。   Thereby, when the workpiece 10 is supported by the bottom surface 3c of the first recess 3a, the valley between the protruding ceramic particles 8 on the surface of the bottom surface 3c functions as a micro flow path 9a, and the workpiece 10 is heat treated. The gas generated at this time flows through the space on the upper surface side and the space on the lower surface side of the workpiece 10 accommodated in the recess 3, and can be discharged to the outside more efficiently through the through hole 5.

また、図8(d)に示すように、ワーク10が第2の凹部3bの底面3dで支持されているときには、ワーク10を支持する底面3dとの間にもマイクロ流路9aが存在するから、ワーク10を熱処理した場合に、ワーク10の第2の凹部3b側に発生するガスをこのマイクロ流路9aを利用して逃がすことができ、貫通孔5を介してより効率よく外部に排出することができる。   Further, as shown in FIG. 8D, when the workpiece 10 is supported by the bottom surface 3d of the second recess 3b, the micro flow path 9a also exists between the bottom surface 3d that supports the workpiece 10. When the workpiece 10 is heat-treated, the gas generated on the second concave portion 3b side of the workpiece 10 can be released using the microchannel 9a, and is discharged to the outside more efficiently through the through hole 5. be able to.

図10は、本実施形態のワーク収納用容器の他の一例を示す斜視図であり、ワーク10を収納するための凹部3を備えた板状体2の一方の主面2a側に凹部3を塞ぐための蓋体22を備えていることから、本実施形態のワーク収納用容器13を、例えば、ワーク10の熱処理用の容器として用いれば、ワーク10に熱処理雰囲気中に存在する粉塵などが直接ワーク10に付着することを抑制できるとともに、熱処理時に発生したガスは貫通孔5によって外部に排出することがきるので、熱処理の降温の段階で冷却されたガスが不純物となってワーク10に付着することをさら抑制することができる。   FIG. 10 is a perspective view showing another example of the work storage container according to the present embodiment, in which the concave portion 3 is provided on the one main surface 2a side of the plate-like body 2 provided with the concave portion 3 for storing the workpiece 10. Because the work storage container 13 of the present embodiment is used as a heat treatment container for the workpiece 10, for example, dust or the like present in the heat treatment atmosphere is directly applied to the work storage container 13 because the lid 22 for closing is provided. Adhering to the workpiece 10 can be suppressed, and the gas generated during the heat treatment can be discharged to the outside through the through-hole 5, so that the gas cooled at the temperature lowering stage of the heat treatment becomes an impurity and adheres to the workpiece 10. This can be further suppressed.

なお、ここまでは、貫通孔5については、本実施形態のワーク収納用容器1,11,12に
おいては、板状体2の最も外周側に位置する凹部3と板状体2の外部とが貫通するものについて説明してきたが、板状体2の一方の主面2aに、凹部3と板状体2の外部とが繋がる溝を設けて、板状体2の一方の主面2a側に凹部3を塞ぐための蓋体22を備えることによって溝が貫通孔5の役目となるように構成されてもよい。
Up to this point, with respect to the through-hole 5, in the work storage containers 1, 11, and 12 of this embodiment, the concave portion 3 positioned on the outermost peripheral side of the plate-like body 2 and the outside of the plate-like body 2 are Although what penetrated was demonstrated, the groove | channel which connects the recessed part 3 and the exterior of the plate-shaped body 2 is provided in one main surface 2a of the plate-shaped body 2, and the one main surface 2a side of the plate-shaped body 2 is provided. By providing a lid 22 for closing the recess 3, the groove may serve as the role of the through hole 5.

図11は、本実施形態の光学素子収納用容器の一例を示す断面図である。   FIG. 11 is a cross-sectional view showing an example of the optical element storage container of the present embodiment.

図11に示すように、本実施形態の光学素子収納用容器21は、本実施形態のワーク収納用容器13を用いてなるもので、凹部3に光学素子23が収納されることから、たとえば、本実施形態の光学素子収納用容器21を光学素子23の熱処理用の容器として用いたときには、光学素子22に熱処理雰囲気中の塵芥が直接付着することも抑制でき、光学素子23から発生するガスが光学素子22の表面に付着することも抑制できるとともに、光学素子23の均一な熱処理をおこなうことができる。   As shown in FIG. 11, the optical element storage container 21 of the present embodiment is formed using the work storage container 13 of the present embodiment, and the optical element 23 is stored in the recess 3. When the optical element storage container 21 of the present embodiment is used as a heat treatment container for the optical element 23, it is possible to prevent dust in the heat treatment atmosphere from directly adhering to the optical element 22, and gas generated from the optical element 23 is generated. Adhesion to the surface of the optical element 22 can be suppressed, and the optical element 23 can be uniformly heat-treated.

この光学素子23が、ガラスレンズであるときには、屈折率調整を目的とする熱処理や、樹脂コーティング後の熱処理などの容器としても有用である。   When the optical element 23 is a glass lens, it is also useful as a container for heat treatment for adjusting the refractive index and heat treatment after resin coating.

1、11、12、13:ワーク収納用容器
2:板状体
2a:一方の主面、2b:反対側の主面、2c:側端面、2d:シート
3:凹部
3a:第1の凹部、3b:第2の凹部、3c:第1の凹部の底面、3d:第2の凹部の底面、3f:外周側に位置する凹部、3g:外周側に位置する凹部以外の凹部、3h:内側面
4:凸部
5:貫通孔
8:セラミック粒子
9a:マイクロ流路
10:ワーク
21:光学素子収納用容器
22:蓋体
23:光学素子
1, 11, 12, 13: Work storage container 2: Plate-like body 2a: One main surface, 2b: Main surface on the opposite side, 2c: Side end surface, 2d: Sheet 3: Recess 3a: First recess 3b: second recess, 3c: bottom surface of the first recess, 3d: bottom surface of the second recess, 3f: recess located on the outer periphery side, 3g: recesses other than the recess located on the outer periphery side, 3h: inner surface 4: convex part 5: through-hole 8: ceramic particle 9a: microchannel
10: Work
21: Optical element storage container
22: Lid
23: Optical element

Claims (9)

ワークを収納するための凹部を有する板状体を備え、該板状体の最も外周側に位置する前記凹部と前記板状体の外部とが貫通孔にて繋がっていることを特徴とするワーク収納用容器。   A workpiece comprising a plate-like body having a recess for storing a workpiece, wherein the recess located on the outermost peripheral side of the plate-like body and the outside of the plate-like body are connected by a through hole. Container for storage. 前記凹部を複数備えるとともに該凹部同士が貫通孔にて連通していることを特徴とする請求項1に記載のワーク収納用容器。   The work storage container according to claim 1, wherein a plurality of the recesses are provided and the recesses communicate with each other through a through hole. 前記凹部の内側面の底面側に、凸部が設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のワーク収納用容器。   The workpiece storage container according to claim 1, wherein a convex portion is provided on a bottom surface side of the inner side surface of the concave portion. 前記板状体がセラミックからなることを特徴とする請求項1乃至請求項3のうちいずれかに記載のワーク収納用容器。   The said plate-shaped body consists of ceramics, The container for workpiece | work storage in any one of Claim 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned. 前記板状体が積層体からなることを特徴とする請求項4に記載のワーク収納用容器。   The work storage container according to claim 4, wherein the plate-like body is a laminated body. 前記凹部が、前記板状体の一方の主面に開口する第1の凹部と、該第1の凹部と繋がってかつ断面視において前記第1の凹部よりも幅の狭い第2の凹部とを備えるとともに、前記貫通孔が前記第1の凹部または前記第2の凹部と連通していることを特徴とする請求項1乃至請求項5のうちいずれかに記載のワーク収納用容器。   The concave portion has a first concave portion that opens on one main surface of the plate-like body, and a second concave portion that is connected to the first concave portion and that is narrower than the first concave portion in a sectional view. The work storage container according to claim 1, wherein the through hole communicates with the first recess or the second recess. 前記第1の凹部および前記第2の凹部の少なくとも一方の底面が焼き肌面とされていることを特徴とする請求項6または請求項7に記載のワーク収納用容器。   The work storage container according to claim 6 or 7, wherein a bottom surface of at least one of the first recess and the second recess is a burnt surface. 前記凹部を塞ぐための蓋体をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至請求項7のうちいずれかに記載のワーク収納用容器。   The work storage container according to claim 1, further comprising a lid for closing the recess. 請求項8に記載のワーク収納用容器からなり、前記凹部に光学素子が収納されることを特徴とする光学素子収納用容器。   An optical element storage container comprising the work storage container according to claim 8, wherein an optical element is stored in the recess.
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