KR101930649B1 - 희생 양극을 구비하는 센서 - Google Patents

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KR101930649B1
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intermediate layer
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야콥 쉴링거
디트마 후버
슈테판 귄트너
토마스 피셔
로타 비브리셔
미카엘 슐마이스터
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콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게
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Abstract

본 발명은, 측정될 물리적인 변수(16)에 의존하는 물리적인 센서 필드(32, 38)를 검출하기 위한 센서(14)에 관한 것이며, 이 센서는 - 어셈블리 아일랜드(58)(assembly island), 인터페이스(54), 및 인터페이스(54)로부터 어셈블리 아일랜드(58)로 안내하는 하나 이상의 도체 경로(62)를 갖는 리드 프레임(48), - 센서 필드(32, 38)를 검출하기 위해 그리고 센서 필드(32, 38)에 의존하는 센서 신호(26, 28)를 인터페이스(54)를 통해서 출력하기 위해 리드 프레임(48)의 어셈블리 아일랜드(58) 상에 지지된 센서 회로(46), 및 - 리드 프레임(48)의 도체 경로(62)와 센서 회로(46)를 접촉시키기 위한 본딩 와이어(50), - 본딩 와이어(50)를 리드 프레임(48)에 전기적으로 연결하기 위해 리드 프레임(48)의 도체 경로(62)에 전기적으로 연결된 접촉층(56), 및 - 리드 프레임(48)의 도체 경로(62) 상에 지지되어 있고, 리드 프레임(48)의 도체 경로(62)로부터 관찰했을 때 그 위에 접촉층(56)이 지지되어 있는 중간층(64)을 포함하며, 이 경우 중간층(64)은 접촉층(56) 및 리드 프레임(48)의 전기 음성도(electronegativity)보다 큰 전기 음성도를 갖는다.

Description

희생 양극을 구비하는 센서{SENSOR COMPRISING A SACRIFICIAL ANODE}
본 발명은, 측정될 물리적인 변수에 의존하는 물리적인 센서 필드를 검출하기 위한 센서에 관한 것이다.
WO 2010/037 810 A1호에는, 측정될 물리적인 변수에 의존하는 물리적인 센서 필드를 통해서, 측정될 물리적인 변수에 의존하는 센서 신호를 출력하도록 설계된 센서 회로를 갖춘 센서가 공지되어 있다.
본 발명의 과제는, 이와 같은 센서를 개선하는 것이다.
상기 과제는, 독립 청구항들의 특징들에 의해서 해결된다. 바람직한 개선예들은 종속 청구항들의 대상이다.
본 발명의 일 양상에 따라, 측정될 물리적인 변수에 의존하는 물리적인 센서 필드를 검출하기 위한 센서는, 어셈블리 아일랜드(assembly island), 인터페이스 및 이 인터페이스로부터 어셈블리 아일랜드로 안내하는 하나 이상의 도체 경로를 갖는 리드 프레임, 센서 필드를 검출하기 위해 그리고 센서 필드에 의존하는 센서 신호를 인터페이스를 통해서 출력하기 위해 리드 프레임의 어셈블리 아일랜드 상에 지지된 센서 회로, 및 리드 프레임의 도체 경로와 센서 회로를 접촉시키기 위한 본딩 와이어, 본딩 와이어를 리드 프레임에 전기적으로 연결하기 위해 리드 프레임의 도체 경로에 전기적으로 연결된 접촉층, 및 리드 프레임의 도체 경로 상에 지지되어 있고, 리드 프레임의 도체 경로로부터 관찰했을 때 그 위에 접촉층이 지지되어 있는 중간층을 포함하며, 이 경우 중간층은 접촉층 및 리드 프레임의 전기 음성도(electronegativity)보다 큰 전기 음성도를 갖는다.
본 명세서에 소개된 센서는, 센서 회로가 연결 요소로서의 본딩 와이어를 통해서 리드 프레임의 도체 경로에 전기적으로 연결될 때에는, 본딩 와이어가 추후에 재차 리드 프레임으로부터 분리되지 않고 센서 회로와 도체 경로 간의 전기 접속이 중단되지 않도록 하기 위하여, 접촉층이 반드시 리드 프레임 상에 있는 본딩 와이어의 충분히 높은 기계적인 강도를 보장해 주어야만 한다는 생각을 토대로 한다.
이 경우, 리드 프레임은 오염된 액체 또는 가스와 같은 예상되는 특정의 환경 부하에 대하여 저항성을 갖도록 설계되어야만 한다. 따라서, 예를 들어 차량의 경우에는, 황으로 오염된 액체 또는 가스에 대한 안정성을 갖도록 리드 프레임을 설계하는 것이 필수적일 수 있다. 하지만, 이와 같은 설계 방식은, 리드 프레임이 전기 음성도 측면에서 접촉층에 대하여 완전히 독립적으로 형성될 수 없다는 단점을 갖는다. 그렇기 때문에, 센서 내부로 유입되는 액체가 황에 의해 오염된 경우에는, 황화물 또는 다른 황 화합물로의 변환에 의해서 접촉층이 파괴될 수 있으며, 이와 같은 상황은 추후에 센서의 고장을 유발할 수 있는데, 그 이유는 본딩 와이어와 리드 프레임의 도체 경로 간의 기계적인 접촉이 중단되고, 그 결과로 또한 전기적인 접촉도 중단되기 때문이다.
본 명세서에서 소개된 센서는, 중간층 형태의 희생 양극 층을 통해서 접촉층을 리드 프레임으로부터 분리시키려는 생각으로부터 출발한다. 이와 같은 희생 양극 층에 의해서, 접촉층의 화학적인 특성은 리드 프레임의 재료와 무관하다. 희생 양극 층은 결합체 내에서 가장 큰 전기 음성도를 갖고, 이로써 유입되는 액체에 의해서 가장 먼저 공격을 받는다. 이 경우에는 접촉층이 더 오래 유지됨으로써, 센서의 수명은 인식할 수 있을 정도로 증가될 수 있다.
그 경우에는 접촉층의 전기 음성도가 완전히 자유롭게 선택될 수 있는데, 다시 말하자면 리드 프레임의 전기 음성도보다 작게 선택될 수도 있다.
특별한 일 개선예에서는, 소개된 센서가 적어도 도체 경로 상에 있는 접촉층 및 중간층을 둘러싸는 오염 물질을 포함한다. 이와 같은 오염 물질은 예를 들어 전술된 액체와 같은 환경 영향으로부터 센서를 보호해야만 한다. 예를 들어 리드 프레임의 도체 경로에 대한 인장 하중 및/또는 온도 교체에 의해서 야기될 수 있는 기계적인 과부하가 보호 물질과 리드 프레임 간의 연결을 파괴할 수 있음으로써, 결과적으로 리드 프레임과 보호 물질 사이에서는 간극이 형성되고, 이 간극은 앞에서 언급된 액체를 위한 접촉 핀을 외부로 노출시킨다. 하지만, 이때 희생 양극으로서 작용하는 중간층은 접촉층을 보호하고, 이 접촉층의 충분히 긴 수명을 보장해준다.
이 경우, 희생 양극으로서 작용하는 중간층은 적어도 유입 확률이 가장 높게 나타나는 영역에서는 가급적 큰 표면을 가져야만 한다. 이와 같은 이유에서, 상기와 같은 가급적 큰 표면을 보장하기 위하여, 본 명세서에서 소개된 센서의 특별한 일 개선예에서는 중간층이 적어도 부분적으로 접촉층 앞으로 돌출한다.
바람직한 일 개선예에서는, 대안적으로 또는 추가로, 중간층과 접촉층 사이에 있는 한 절단 평면에서 관찰했을 때 중간층이 면적 상으로 적어도 접촉층과 동일한 크기로 형성될 수 있다. 이로써, 유입되는 액체가 접촉층을 공격하기 전에, 또한 실제로도 중간층이 유입되는 액체에 의해서 먼저 공격을 받는 상황이 보장되었다.
그러나 특히 바람직한 일 개선예에서는, 중간층과 접촉층 사이에 있는 한 절단 평면에서 방향으로 관찰했을 때 중간층이 면적 상으로 접촉층보다 크게 형성되어야만 하는데, 그 이유는 상응하는 크기의 희생 층 면적이 증가된 반응 면적을 제공해주고, 이로써 접촉층의 개선된 보호를 제공해주기 때문이다.
본 명세서에서 소개된 센서의 다른 일 개선예에서는, 중간층과 접촉층 사이에 있는 한 절단 평면에 대해 법선 방향으로 관찰했을 때 중간층이 접촉층보다 얇게 형성되어 있음으로써, 본 명세서에서 소개된 센서는 매우 설치 공간 절약적으로 구현된다.
접촉층을 위한 재료로서는 은이, 리드 프레임을 위한 재료로서는 구리 합금 또는 철-니켈-합금이, 그리고 중간층을 위한 재료로서는 구리가 선택될 수 있다.
본 명세서에서 소개된 센서는 차량용 에어백-가속도 센서, 휠 회전수 센서 또는 관성 센서일 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 양상에 따라, 한 대의 차량은 본 명세서에서 소개된 하나의 센서를 포함한다.
본 발명의 전술된 특성, 특징 및 장점 그리고 이와 같은 특성, 특징 및 장점에 도달하기 위한 유형 및 방식은, 도면과의 관계 안에서 더 상세하게 설명되는 실시예들에 대한 이하의 상세한 설명과의 관계 안에서 더 명확하고도 분명하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 운전 다이내믹 조절 장치를 갖춘 차량의 개략도;
도 2는 도 1의 차량 내에 있는 관성 센서의 개략도;
도 3은 도 2에 도시된 관성 센서의 일 실시예의 개략적인 단면도;
도 4는 회로 기판상에 있는 도 3에 도시된 관성 센서의 개략적인 측면도; 및
도 5는 도 4에 도시된 관성 센서의 일 단면을 도시한 도면.
각각의 도면에서 동일한 기술적인 요소들에는 동일한 참조 부호가 제공되며, 이들 요소는 단 한 번만 기술된다.
자체적으로 공지된 운전 다이내믹 조절 장치를 갖춘 차량(2)의 개략도를 보여주는 도 1이 참조된다. 이와 같은 운전 다이내믹 조절 장치에 대한 상세한 설명은 예를 들어 DE 10 2011 080 789 A1호에서 인용될 수 있다.
차량(2)은 하나의 섀시(4) 및 4개의 휠(6)을 포함한다. 도면에 도시되어 있지 않은 도로상에서 차량(2)의 동작을 감속하기 위하여, 각각의 휠(6)은 섀시(4)에 단단히 고정된 브레이크(8)를 통해서 섀시(4)에 대하여 감속될 수 있다.
이 경우, 차량(2)의 휠(6)이 자신의 바닥 접착력을 상실하고, 심지어 차량(2)이 과소 제어 또는 과대 제어에 의하여 예를 들어 도면에 도시되지 않은 스티어링 휠을 통해 사전에 설정된 궤도로부터 멀어지는 상황은 당업자에게 공지된 방식으로 발생할 수 있다. 이와 같은 상황은 ABS(Anti-lock Brake System) 및 ESP(Electronic Stability Program)와 같은 자체적으로 공지된 조절 회로에 의해서 피해진다.
이를 위해, 본 실시예에서 차량(2)은 휠(6)에 회전수 센서(10)를 구비하며, 이들 센서는 휠(6)의 회전수(12)를 검출한다. 또한, 차량(2)은 관성 센서(14)를 구비하며, 이 관성 센서는, 예를 들어 차량(2)의 피치 각 속도(pitch rate), 롤링 각 속도, 요각 속도(yaw rate), 횡 방향 가속도, 종 방향 가속도 및/또는 수직 가속도를 포함할 수 있고 이하에서 운전 다이내믹 데이터(16)로서 언급되는 차량(2)의 관성 데이터를 검출한다.
검출된 회전수(12) 및 검출된 운전 다이내믹 데이터(16)를 토대로 해서, 조절기(18)가 당업자에게 공지된 방식으로, 차량(2)이 차도 상에서 미끄러지는지 또는 심지어 전술된 사전에 설정된 궤도로부터 벗어나는지 그리고 그에 상응하게 자체적으로 공지된 조절기 출력 신호(20)로써 그에 반응하는지를 결정할 수 있다. 그 다음에는, 미끄러짐 및 사전에 설정된 궤도로부터의 이탈에 자체적으로 공지된 방식으로 반응하는 브레이크(8)와 같은 조절 부재를 조절 신호(24)를 이용해서 제어하기 위하여, 조절기 출력 신호(20)가 조절 장치(22)에 의해서 사용될 수 있다.
조절기(18)는 예를 들어 차량(2)의 자체적으로 공지된 엔진 제어 장치 내부에 집적될 수 있다. 또한, 조절기(18) 및 설정 장치(22)는 하나의 공통 조절 장치로서 형성될 수 있고, 선택적으로 전술된 엔진 제어 장치 내부에 집적될 수 있다.
이하의 설명을 간략하게 하기 위해서는, 비-제한적인 방식으로, 관성 센서(14)가 도 2에 명시되어 있는 차량에 대한 횡 방향 가속도(26) 그리고 차량(2)을 자체 수직축을 중심으로 회전시키는 요각 속도(28)를 차량 다이내믹 데이터(16)로서 검출한다는 사실로부터 출발해야만 하는데, 그 이유는 이와 같은 데이터가 일반적으로는 이전에 언급된 안정성 프로그램(Stability Program)의 틀 안에서 사용되기 때문이다.
본 발명은 관성 센서(14)를 참조해서 더 상세하게 설명되지만, 본 발명은 예를 들어 전술된 회전수 센서(10)와 같은 임의의 센서에 적용될 수 있다.
이하에서는, 관성 센서(14)에 대한 가능한 원리가 도 2 및 도 3을 참조해서 더 상세하게 설명될 것이다.
횡 방향 가속도(26)를 검출하기 위하여, 관성 센서(14) 내에 횡 방향 가속도 측정 센서(30)가 배치되어 있다. 횡 방향 가속도 측정 센서(30)는 원심력 필드(32) 형태의 물리적인 센서 필드에 노출되어 있으며, 이 센서 필드는 횡 방향 가속도 측정 센서(30)에 작용하고, 검출될 횡 방향 가속도(26)로써 차량(2)을 가속시킨다. 그 다음에 이어서, 검출된 횡 방향 가속도(26)가 신호 처리 회로(34)로 출력된다.
요각 속도(28)를 검출하기 위하여, 관성 센서(14) 내에 코리올리 가속도 측정 센서(36)가 배치되어 있다. 코리올리 가속도 측정 센서(36)는 코리올리 힘 필드(38) 형태의 물리적인 센서 필드에 노출되어 있다. 코리올리 힘 필드(38)에 대한 응답으로서, 코리올리 가속도 측정 센서(36)가 센서 신호(40)를 출력하고, 그 다음에 이 센서 신호가 경우에 따라 코리올리 가속도 측정 센서(36)에 속하는 평가 장치(42) 내에서 요각 속도(28)로 환산될 수 있다. 요각 속도(28)가 코리올리 힘 필드(38)를 토대로 해서 어떻게 검출될 수 있는지에 대한 예는 간행물 DE 10 2010 002 796 A1호에 기술되어 있기 때문에, 본 명세서에서는 간략화를 위해 그에 대한 기술이 생략되었다. 검출된 요각 속도(28)도 신호 처리 회로(34)로 출력된다.
신호 처리 회로(34) 내에서는, 예를 들어 잡음 대역 간격을 줄이고 신호 강도를 높이기 위하여, 상기와 같이 검출된 횡 방향 가속도(26) 및 요각 속도(28)가 후 처리될 수 있다. 이와 같이 처리된 횡 방향 가속도(26) 및 요각 속도(28)가 그 다음에 인터페이스(44)로 출력될 수 있고, 그 다음에 이 인터페이스가 검출된 2개의 신호를 차량 다이내믹 데이터(16)로서 조절기(18)로 송신한다. 상기 인터페이스(44)는 예를 들어 PSI5-표준 또는 CAN-표준을 토대로 해서 구성될 수 있다.
본 실시예의 틀 안에서는, 2개의 측정 센서(30, 36)와 신호 처리 회로(34)가 하나의 센서 회로(46)를 형성하며, 이 센서 회로는 리드 프레임(48)으로서 구현된 회로 캐리어 상에서 지지 및 접속되어 있다. 경우에 따라 리드 프레임(48) 상에서 구현될 수 없는 회로 결선이 본 실시예에서는 본딩 와이어(50) 형태의 전기 라인을 통해서 구현될 수 있다. 인터페이스(44)는 신호 처리 회로(34) 내부에 집적될 수 있고, 이하에서 ASIC(Application-Specific Integrated Circuit)(34)로 언급되는 응용 주문형 집적 회로로서 형성될 수 있다.
센서 회로(46)는 또한 글로브 톱(globe top)-질량(51)으로도 언급되고 실리콘 재료 형태인 기계식 분리(decoupling) 재료(51)에 의해서 둘러싸일 수 있으며, 이 재료는 재차 예를 들어 에폭시 수지(52) 형태의 듀로 플라스틱과 같은, 사출 성형 재료(52)로서 형성된 보호 질량(52) 내에서 함께 캡슐화될 수 있다.
마지막으로, 관성 센서(14)로부터는, 도면에 도시되지 않은 케이블, 플러그 또는 상위 스위칭 회로에 대한 인터페이스(54)로서 사용될 수 있는, 예를 들어 조절기(18)와 같은 스위칭 회로와의 전기 접촉을 형성하기 위한 도 2에 도시된 소형 레그와 같은 상응하는 접촉 가능성이 돌출한다.
관성 센서(14)의 일 개선예가 도시되어 있는 도 4 및 도 5가 참조된다.
본 실시예들의 틀 안에서는, 이하의 설명을 간략하게 하기 위하여, 전체 센서 회로(46)가 단 하나의 블록으로서 도시되어 있다.
본 실시예의 틀 안에서는, 리드 프레임(48) 상에서의 센서 회로(46) 및 본딩 와이어(50)의 접촉이 접촉층(56)을 통해서 이루어진다. 이 접촉층은 예를 들어 은으로부터 형성될 수 있다. 본딩 와이어(50)가 금으로부터 제조되었다면, 은-접촉층(56)이 리드 프레임(48) 상에서의 본딩 와이어(50)의 안정적인 전기적 및 기계적 연결을 보장해준다.
그에 비해, 센서 회로(46)는 은-접촉층(56) 상에서 접촉 접착제 층(58)을 통해 기계적으로 고정될 수 있고, 전기적으로 접촉될 수 있다.
리드 프레임(48) 및 특히 인터페이스(54)를 날씨 현상 및 다른 외부 영향에 대하여 보호하기 위하여, 리드 프레임(48)은 이와 같은 외부 영향들을 견딜 수 있는 재료로부터 제조되어야만 한다. 경험에 따르면, 관성 센서(14)는 전술된 차량(2)에 사용할 때 일반적으로 황을 함유하는 액체 또는 가스에 노출된다. 리드 프레임(48)은 이와 같은 황을 함유하는 액체 또는 가스를 견딜 수 있어야만 하고, 분해되어서는 안 된다. 그렇기 때문에, 리드 프레임(48)은 주로, 황을 함유하는 가스 및 액체에 의해서 공격을 받을 수 없는 구리 합금 또는 철-니켈-합금으로부터 제조된다.
하지만, 이와 같은 합금들에 비해 접촉층(56)의 은이 더 큰 전기 음성도를 가지며, 이와 같은 사실은 황을 함유하는 가스 및 액체가 접촉층(56)의 은을 은 황화물 또는 다른 황 화합물로 변환시킬 수 있는 상황을 유도하고, 이로 인해 리그 프레임과 본딩 와이어(50)의 전기 접촉이 파괴된다. 특히, 이와 같은 상황은, 예컨대 온도 교체 또는 리드 프레임(48)에 가해지는 인장력으로 인한 기계적인 초과 응력에 의해서 보호 질량(52)이 파괴되고, 리드 프레임(48)과 보호 질량(52) 사이에 간극(60)이 생성되는 경우에 발생할 수 있다. 이 간극(60) 내에서는 황으로 오염된 액체가 본딩 위치(62)까지 진행하고, 이 본딩 위치에서 본딩 와이어(50)가 은-접촉층(56) 상에 전기적으로 접촉하게 된다.
상기와 같은 상황을 피하기 위하여, 본 실시예의 틀 안에서는, 은-접촉층(56) 앞에서 희생 양극으로서 공격을 받는 중간층(64)을 은-접촉층(56)과 리드 프레임(48) 사이에 삽입하는 것이 제안된다. 이 목적을 위해, 중간층(64)은, 리드 프레임(48) 및 은-접촉층(56)의 전기 음성도보다 큰 전기 음성도를 가져야만 한다. 이와 같은 상황은, 전술된 물질들의 틀 안에서는, 중간층(64)이 구리층으로서 형성됨으로써 달성된다. 이로써, 중간층(64)은 리드 프레임(48)을 은-접촉층(56)으로부터 분리시키고, 은-접촉층(56)을 고려하지 않고서도 리드 프레임의 화학적인 특성이 센서 내부로 유입되는 오염된 가스 및 액체에 매칭되게끔 해준다.
도 4에 도시된 단면(66)을 참조해서 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 본 실시예에서 중간층(64)은 은-접촉층(56)에 대하여 돌출부(68)를 구비해야만 하며, 이 돌출부의 범위 안에서 중간층(64)이 은-접촉층(56)에 대한 평면도 상으로 볼 때 상기 은-접촉층으로부터 돌출한다. 상기 돌출부(68)는 국부적으로 형성될 수 있지만, 이 돌출부는 또한 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 은-접촉층(56) 전체 둘레에 걸쳐서 뻗을 수도 있다. 이와 같은 방식에 의해, 은-접촉층(56)과 중간층(64) 사이에서 절단 평면(72)에 대해 평행하게 놓여 있는 중간층(64)의 표면(70)은 은-접촉층(56)의 상응하는 표면보다 크게 형성되며, 이로 인해 희생 양극으로서 형성된 중간층(56)이 작용할 수 있는 것보다 큰 화학적인 반응 면적이 제공된다. 이때, 돌출부(68)는 적어도 은-접촉층의 층 두께(74) 만큼의 폭을 가져야만 한다.
하지만, 다른 한 편으로, 중간층(64)의 층 두께(76)는 은-접촉층(56)의 상응하는 층 두께(74)보다 얇게 형성될 수 있다.

Claims (10)

  1. 측정될 물리적인 변수(16)에 의존하는 물리적인 센서 필드(32, 38)를 검출하기 위한 센서(14)로서,
    - 어셈블리 아일랜드(58), 인터페이스(54), 및 상기 인터페이스(54)로부터 상기 어셈블리 아일랜드(58)로 안내하는 하나 이상의 도체 경로(62)를 갖는 리드 프레임(48),
    - 센서 필드(32, 38)를 검출하기 위해 그리고 상기 센서 필드(32, 38)에 의존하는 센서 신호(26, 28)를 인터페이스(54)를 통해서 출력하기 위해 리드 프레임(48)의 어셈블리 아일랜드(58) 상에 지지된 센서 회로(46), 및
    - 리드 프레임(48)의 도체 경로(62)와 센서 회로(46)를 접촉시키기 위한 본딩 와이어(50),
    - 본딩 와이어(50)를 리드 프레임(48)에 전기적으로 연결하기 위해 리드 프레임(48)의 도체 경로(62)에 전기적으로 연결된 접촉층(56), 및
    - 리드 프레임(48)의 도체 경로(62) 상에 지지되어 있고, 리드 프레임(48)의 도체 경로(62)로부터 관찰했을 때 그 위에 접촉층(56)이 지지되어 있는 중간층(64)을 포함하며, 상기 중간층(64)이 접촉층(56) 및 리드 프레임(48)의 전기 음성도보다 큰 전기 음성도를 가지고, 상기 중간층(64)이 상기 접촉층(56) 앞에 적어도 부분적으로 돌출부(68)를 구비하는, 센서(14).
  2. 제1항에 있어서, 상기 접촉층(56)의 전기 음성도가 상기 리드 프레임(48)의 전기 음성도보다 작은, 센서(14).
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 도체 경로 상에서 적어도 중간층(64) 및 접촉층(56)을 둘러싸는 보호 질량(52)을 포함하는, 센서(14).
  4. 삭제
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 중간층(64)과 접촉층(56) 사이에 있는 한 절단 평면(72)에서 관찰했을 때 상기 중간층(64)이 면적 상으로 상기 접촉층(56)과 적어도 동일한 크기로 형성되어 있는, 센서(14).
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 중간층(64)과 접촉층(56) 사이에 있는 한 절단 평면(72)에서 관찰했을 때 상기 중간층(64)이 면적 상으로 상기 접촉층(56)보다 크게(70) 형성되어 있는, 센서(14).
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 중간층(64)과 접촉층(56) 사이에 있는 한 절단 평면(72)에 대해 법선 방향으로 관찰했을 때 상기 중간층(64)이 상기 접촉층(56)보다 얇게 형성되어 있는, 센서(14).
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 접촉층(56)이 은 층인, 센서(14).
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 리드 프레임(48)이 구리 합금 또는 철-니켈-합금을 함유하는 재료로부터 형성되어 있는, 센서(14).
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 중간층(64)이 구리층인, 센서(14).
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