KR101930616B1 - 임플란트 처리 장치 - Google Patents

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KR101930616B1
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Abstract

본 발명은 임플란트 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 임플란트 처리 장치는, 임플란트를 처리하기 위한 처리 공간을 제공하는 챔버부; 상기 챔버부 내에서 상기 임플란트를 지지하는 지지부; 플라즈마를 발생시켜 상기 챔버부로 공급하는 플라즈마 발생부; 상기 챔버부로부터 가스를 배기하는 배기부; 및 상기 가스에 포함된 부산물을 제거하는 부산물 제거부를 포함할 수 있다.

Description

임플란트 처리 장치{IMPLANT PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 임플란트 처리 장치에 관한 것이다.
인공 치아라고도 불리는 임플란트는 치아의 결손이 있는 부위나 치아를 뽑은 자리의 턱뼈에 골 이식, 골 신장술 등의 부가적인 수술을 실시한 뒤 생체 적합적인 임플란트 본체를 심어 자연치의 기능을 회복시켜준다. 임플란트 시술은 드릴링을 통해 턱뼈 안에 임플란트가 들어갈 공간을 만들어주어 주로 나사 형태의 골 내 임플란트를 턱뼈에 심는 과정으로 진행된다.
일반적으로 임플란트 시술에 사용되는 임플란트 픽스쳐(fixture)는 골형성을 바르게 유도하기 위하여 티타늄으로 코팅되고 있다. 그러나, 티타늄 임플란트는 공장에서 제작된 뒤 시간 경과에 의해 표면에 산화막이 형성되면 친수성에서 소수성을 띄게 되어 골 결합 능력이 현저하게 저하된다.
이에, 유통 과정 중 임플란트 표면에 형성된 산화막을 제거하여 시술 후 골 유착을 빠르게 유도할 수 있는 임플란트 산화막 제거 장치가 개발되고 있다. 이러한 임플란트 산화막 제거 장치는 플라즈마를 발생시켜 임플란트 표면에 형성된 산화막을 제거하는데, 플라즈마를 이용하여 임플란트를 처리하는 경우 플라즈마가 공기 중의 산소와 반응하여 다량의 오존이 발생하게 된다. 그러나, 공기 중에 오존이 다량으로 존재하는 경우 인체, 특히 호흡기관에 유해한 영향을 미치므로, 플라즈마를 이용한 임플란트 처리 장치의 사용 시 부산물로 생성되는 오존의 적절한 처리가 필요하다.
특허문헌1: 공개특허공보 제10-2016-0049683호(2016.05.10.)
본 발명의 실시예는 플라즈마를 이용한 임플란트 처리 시 발생하는 부산물을 제거하거나 감소시키기 위한 임플란트 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 실시예는 부산물 제거 시 소요되는 전력을 감소시킬 수 있는 임플란트 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임플란트 처리 장치는, 임플란트를 처리하기 위한 처리 공간을 제공하는 챔버부; 상기 챔버부 내에서 상기 임플란트를 지지하는 지지부; 플라즈마를 발생시켜 상기 챔버부로 공급하는 플라즈마 발생부; 상기 챔버부로부터 가스를 배기하는 배기부; 및 상기 가스에 포함된 부산물을 제거하는 부산물 제거부를 포함할 수 있다.
상기 부산물은 오존을 포함할 수 있다.
상기 부산물 제거부는: 상기 챔버부의 처리 공간을 가열하는 챔버 가열부를 포함할 수 있다.
상기 챔버 가열부는: 상기 챔버부의 내측에 설치되는 챔버 히터를 포함할 수 있다.
상기 부산물 제거부는: 상기 챔버부로부터 배기되는 가스를 가열하는 배기 가스 가열부를 포함할 수 있다.
상기 배기부는: 상기 챔버부로부터 연장되는 제 1 배기관; 및 상기 제 1 배기관을 통해 상기 챔버부로부터 가스를 흡입하는 제 1 흡입 펌프를 포함할 수 있다.
상기 배기 가스 가열부는: 상기 제 1 배기관에 설치되는 제 1 히터를 포함할 수 있다.
상기 제 1 히터는: 상기 제 1 배기관을 따라 상기 제 1 배기관의 둘레에 감긴 코일을 포함할 수 있다.
상기 임플란트 처리 장치는: 상기 임플란트 처리 장치의 구동에 사용되는 부품을 수용하는 하우징을 더 포함하고, 상기 제 1 배기관은 상기 하우징 내에서 구부러져 배치될 수 있다.
상기 부산물 제거부는: 상기 챔버부로부터 배기되는 가스를 액체에 통과시키는 액체 통과부를 포함할 수 있다.
상기 액체 통과부는: 상기 액체를 수용하고, 상기 제 1 배기관이 안으로 연장되어 상기 액체에 잠기는 액체 용기; 및 상기 제 1 배기관을 통해 나오는 상기 가스를 상기 액체 용기로부터 배출시키도록 상기 액체 용기로부터 연장되는 제 2 배기관을 포함할 수 있다.
상기 액체 통과부는: 상기 액체 용기에 설치되어 상기 액체를 가열하는 액체 히터를 더 포함할 수 있다.
상기 액체 통과부는: 상기 제 2 배기관에 설치되는 제 2 히터를 더 포함할 수 있다.
상기 제 1 및 제 2 배기관 중 적어도 하나는 상기 액체 용기를 둘러싸도록 배치될 수 있다.
상기 부산물 제거부는: 상기 제 1 배기관 및 상기 제 2 배기관 중 적어도 하나에 구비되어 상기 부산물을 여과하는 부산물 필터를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 플라즈마를 이용한 임플란트 처리 시 발생하는 부산물을 제거하거나 감소시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 부산물 제거 시 소요되는 전력량을 감소시켜 임플란트 처리 장치의 에너지 효율을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임플란트 처리 장치의 예시적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 부산물 제거부를 포함하는 임플란트 처리 장치의 예시적인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 포함하는 임플란트 처리 장치의 예시적인 사시도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 포함하는 임플란트 처리 장치의 예시적인 사시도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 포함하는 임플란트 처리 장치의 예시적인 사시도이다.
도 6은 도 5의 부산물 제거부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및/또는 이 동사의 다양한 활용형들 예를 들어, '포함', '포함하는', '포함하고', '포함하며' 등은 언급된 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 본 명세서에서 '및/또는' 이라는 용어는 나열된 구성들 각각 또는 이들의 다양한 조합을 가리킨다.
이하, 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임플란트 처리 장치(1)의 예시적인 사시도이다.
도 1을 참조하면, 상기 임플란트 처리 장치(1)는 챔버부(11), 지지부(12), 플라즈마 발생부(13), 배기부(14) 및 부산물 제거부(미도시)를 포함한다.
상기 챔버부(11)는 임플란트(10)를 처리하기 위한 처리 공간을 제공한다. 상기 지지부(12)는 상기 챔버부(11) 내에서 임플란트(10)를 지지한다. 상기 플라즈마 발생부(13)는 플라즈마를 발생시켜 상기 챔버부(11)로 공급한다. 상기 배기부(14)는 상기 챔버부(11)로부터 가스를 배기한다. 상기 부산물 제거부는 가스에 포함된 부산물을 제거한다.
상기 챔버부(11)는 상기 플라즈마 발생부(13)에 의해 발생된 플라즈마가 임플란트(10)의 표면과 반응하여 임플란트(10)가 처리되는 공간을 제공한다. 상기 챔버부(11)는 임플란트(10)가 드나들 수 있는 도어를 구비한다. 그리고, 상기 챔버부(11)는 플라즈마에 의해 임플란트(10)가 처리되는 동안에는 밀폐되어 상기 챔버부(11) 안의 가스가 밖으로 유출되지 않고, 반대로 상기 챔버부(11) 밖의 공기가 안으로 유입되지 않도록 한다.
상기 지지부(12)는 상기 챔버부(11) 내에 구비되어 임플란트(10)를 지지한다. 상기 지지부(12)는 임플란트(10)에서 표면 처리가 요구되는 부분이 상기 플라즈마 발생부(13)에서 플라즈마가 분사되는 부분에 위치하도록 임플란트(10)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 상기 지지부(12)는 임플란트(10)에서 턱뼈에 삽입되어 골 유착이 진행되는 나사 부분이 상기 챔버부(11)의 윗 부분을 향하도록 임플란트(10)의 크라운 또는 지대주 부분을 고정시킬 수 있다.
상기 플라즈마 발생부(13)는 플라즈마를 발생시켜 임플란트(10)에 제공한다. 상기 플라즈마 발생부(13)는 기체를 고전압으로 방전시켜 방전 공간 내 기체를 전자와 이온으로 분리시킬 수 있다. 이와 같이 상기 플라즈마 발생부(13)에 의해 플라즈마 상태로 여기된 기체는 상기 챔버부(11) 안으로 공급되어 상기 지지부(12)에 의해 지지된 임플란트(10)와 반응할 수 있다.
상기 플라즈마 발생부(13)는 플라즈마를 발생시키기 위한 소스 가스로 대기를 사용할 수 있다. 그러나, 상기 플라즈마 발생부(13)에 의해 사용되는 소스 가스는 대기로 제한되지 않고, 아르곤, 헬륨과 같은 불활성 기체를 포함할 수도 있다.
또한, 상기 플라즈마 발생부(13)는 소스 가스를 플라즈마 상태로 여기시키기 위해 전원 장치(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 플라즈마 발생부(13)는 전원 장치로부터 전원 신호를 인가받아 서로 마주보는 전극 사이에서 소스 가스를 방전시킬 수 있다.
상기 배기부(14)는 상기 챔버부(11)로부터 임플란트(10)의 처리로 인해 발생되는 가스를 배기한다. 앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 임플란트 처리 장치(1)는 임플란트(10)의 표면 처리를 위해 플라즈마를 이용하므로 처리 과정에서 부산물로 오존이 발생한다. 특히, 상기 플라즈마 발생부(13)가 소스 가스로 대기를 사용하는 경우, 플라즈마가 대기에 포함된 산소와 지속적으로 반응하여 상기 챔버부(11) 내에 오존이 축적된다. 상기 배기부(14)는 플라즈마를 이용한 임플란트(10)의 처리 시 상기 챔버부(11)로부터 공정 부산물을 포함하는 가스를 배기하여 상기 챔버부(11) 내 부산물의 농도를 감소시킨다.
상기 부산물 제거부는 가스에 포함된 부산물을 제거한다. 앞서 설명한 바와 같이 상기 부산물은 오존을 포함하며, 이하에서는 상기 부산물 제거부가 상기 챔버부(11)로부터 배기되는 가스에서 오존을 제거하는 실시예들을 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 부산물 제거부를 포함하는 임플란트 처리 장치(1)의 예시적인 사시도이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 부산물 제거부는 상기 챔버부(11)의 처리 공간을 가열하는 챔버 가열부(150)를 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 2를 참조하면, 상기 챔버 가열부(150)는 상기 챔버부(11)의 내측에 설치된 챔버 히터를 포함할 수 있다. 상기 챔버 히터는 상기 챔버부(11)의 내측 면에 하나 또는 그 이상이 설치되어 상기 챔버부(11) 안의 공간을 가열할 수 있다.
상기 챔버 히터는 전원 장치(1501)로부터 전류를 공급받아 발열하는 열선을 포함할 수 있다. 그러나, 상기 챔버 히터는 상기 챔버부(11)의 내부를 사전에 설정된 온도로 가열할 수 있도록 구성되는 한 그 종류는 제한되지 않는다.
이와 같이 상기 챔버 가열부(150)는 상기 챔버부(11) 안의 처리 공간을 사전에 설정된 온도로 가열함으로써 오존을 열분해시킬 수 있다. 오존은 상온에서 자발적으로 분해되어 산소로 환원되나, 온도가 높아질수록 분해가 촉진된다. 따라서, 이 실시예에서 상기 부산물 제거부는 상기 챔버부(11)의 처리 공간을 가열하는 챔버 가열부(150)를 포함하여, 플라즈마를 이용한 임플란트(10)의 처리 시 발생하는 오존을 상온에서의 자연 분해보다 더 빠르게 분해시킬 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 포함하는 임플란트 처리 장치(1)의 예시적인 사시도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 부산물 제거부는 상기 챔버부(11)로부터 배기되는 가스를 가열하는 배기 가스 가열부(151)를 포함할 수 있다.
이 실시예에 따르면, 상기 배기부(14)는 상기 챔버부(11)로부터 연장되는 제 1 배기관(1411), 및 상기 제 1 배기관(1411)에 구비되어 상기 제 1 배기관(1411)을 통해 상기 챔버부(11)로부터 가스를 흡입하는 제 1 흡입 펌프(1412)를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 배기 가스 가열부(151)는 상기 제 1 배기관(1411)에 설치된 제 1 히터를 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 히터는 상기 챔버부(11)로부터 연장되어 가스가 배출되는 경로를 제공하는 제 1 배기관(1411)에 설치될 수 있다. 구체적으로, 상기 제 1 히터는 상기 제 1 배기관(1411)을 따라 상기 제 1 배기관의 둘레에 감긴 코일을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 히터는 전원 장치(1501)로부터 전류를 공급받아 열을 발산할 수 있다. 그러나, 상기 제 1 히터는 상기 제 1 배기관(1411)을 사전에 설정된 온도로 가열할 수 있도록 구성되는 한 그 종류는 제한되지 않는다.
또한, 도 3에서 상기 제 1 히터는 상기 제 1 배기관(1411)에서 상기 제 1 흡입 펌프(1412)의 하류에 설치되었으나, 상기 제 1 히터의 설치 위치는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 상기 제 1 히터는 상기 제 1 배기관(1411)에서 상기 제 1 흡입 펌프(1412)의 상류에 설치될 수도 있으며, 상기 제 1 흡입 펌프(1412)의 상류와 하류 둘 모두에 설치될 수도 있다.
앞서 도 2를 참조하여 설명한 실시예는 오존을 제거하기 위해 상기 챔버부(11) 내 처리 공간을 가열하기 때문에 임플란트(10)의 처리가 끝난 뒤 곧바로 상기 챔버부(11)를 개방하여 임플란트(10)를 반출하기 어렵다. 이 경우, 임플란트(10)의 처리가 끝나도 사용자는 상기 챔버부(11) 안의 온도가 임플란트(10)를 꺼내기에 안전한 수준으로 감소할 때까지 상당한 시간 동안 대기하여야 한다. 그 결과, 도 2의 실시예는 임플란트(10)의 시술을 위한 준비 시간이 길어지는 부담이 있다.
그러나, 도 3의 실시예는 오존을 제거하기 위해 상기 챔버부(11)의 내부 공간을 가열하는 것이 아니라 제 1 배기관(1411)에 제 1 히터를 설치하여 상기 챔버부(11)로부터 배기되는 가스를 가열하므로 상기 챔버부(11)의 내부 공간은 온도 상승이 일어나지 않는다. 그 결과, 도 3의 실시예는 임플란트(10)의 처리가 끝난 뒤 상기 챔버부(11)가 냉각될 때까지 기다리지 않고 곧바로 임플란트(10)를 반출할 수 있는 장점이 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 포함하는 임플란트 처리 장치(1)의 예시적인 사시도이다.
이 실시예에 따르면, 상기 임플란트 처리 장치(1)는 상기 임플란트 처리 장치(1)의 구동에 사용되는 부품을 수용하는 하우징(16)을 더 포함할 수 있다. 즉, 상기 하우징(16)은 상기 챔버부(11)와 별도로 구비되어 상기 임플란트 처리 장치(1)의 구동에 사용되는 각종 부품들(예컨대, 전원, 펌프, 컨트롤러 등)을 수용할 수 있다.
그리고, 상기 제 1 배기관(1411)은 상기 하우징(16) 내에서 구부러져 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 히터가 설치된 상기 제 1 배기관(1411)은 상기 하우징(16) 내에서 한 번 이상 구부러져 배치될 수 있다.
이 실시예에서 상기 제 1 히터가 설치된 상기 제 1 배기관(1411)은 상기 하우징(16) 내에 수용되므로, 온도가 높아진 제 1 배기관(1411)이 장치의 외부에 노출되어 사용자에게 화상을 입히는 등 안전사고의 위험을 줄일 수 있다.
또한, 제 1 배기관(1411)이 하우징(16) 내에서 구부러져 배치되므로, 상기 챔버부(11)로부터 배출되는 오존이 상기 제 1 배기관(1411)을 따라 이동하는 과정에서 충분한 시간 동안 열분해될 수 있다. 다시 말해, 도 4의 실시예에서 상기 제 1 배기관(1411)은 하우징(16) 내에서 구불구불하게 형성되므로, 상기 챔버부(11)로부터 배출되는 오존이 상기 하우징(16) 내의 한정된 공간 안에서 상기 제 1 배기관(1411)에 설치된 제 1 히터에 의해 열분해되기에 충분한 시간을 확보할 수 있어 오존을 보다 효과적으로 제거할 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 포함하는 임플란트 처리 장치(1)의 예시적인 사시도이다.
이 실시예에 따르면, 상기 부산물 제거부는 상기 챔버부(11)로부터 배기되는 가스를 액체에 통과시키는 액체 통과부를 포함할 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 액체 통과부는 액체(1520)를 수용하는 액체 용기(1521) 및 상기 액체 용기(1521)로부터 가스를 배출하는 제 2 배기관(1522)을 포함할 수 있다.
이 실시예에 따르면, 상기 제 1 배기관(1411)은 상기 액체 용기(1521) 안으로 연장되어 액체(1520)에 잠길 수 있다. 그리고, 상기 제 2 배기관(1522)은 상기 제 1 배기관(1411)을 통해 나오는 가스를 액체 용기(1521)로부터 배출시키도록 상기 액체 용기(1521)로부터 연장될 수 있다.
도 6은 도 5의 부산물 제거부를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 챔버부(11)로부터 연장되는 제 1 배기관(1411)은 액체(1520)를 수용하는 액체 용기(1521) 안으로 연장된다. 또한, 앞서 설명한 바와 같이 상기 제 1 배기관(1411)에는 상기 챔버부(11)로부터 가스를 흡입하는 제 1 흡입 펌프(1412)가 설치되므로, 상기 챔버부(11)로부터 배출되는 가스는 제 1 배기관(1411)을 따라 이동하여 액체 용기(1521) 안으로 유입된다.
또한, 제 1 배기관(1411)이 액체 용기(1521) 안에서 액체(1520)에 잠기므로, 상기 제 1 배기관(1411)에서 나오는 가스는 액체(1520)를 지나 상기 액체 용기(1521)의 상부 빈 공간으로 이동하게 된다. 그리고, 액체(1520)를 지나온 가스는 제 2 배기관(1522)을 통해 상기 액체 용기(1521) 밖으로 빠져나간다.
오존은 그 자체가 불안정한 화합물이기 때문에 공기 중에서 자발적으로 분해되나, 물 속에서는 공기 중에서보다 빠르게 분해되는 특성을 갖는다. 이러한 오존의 특성을 응용하여 도 5 및 도 6의 실시예는 상기 챔버부(11)로부터 배출되는 가스를 물과 같은 액체에 통과시켜 가스에 포함된 오존을 보다 효과적으로 제거할 수 있다.
나아가, 이 실시예에 따르면, 상기 액체 통과부는 상기 액체 용기(1521)에 설치되어 액체(1520)를 가열하는 액체 히터(1523)를 더 포함할 수 있다. 상기 액체 히터(1523)는 상기 액체 용기(1521)의 바닥면 등에 설치되고 전원 장치(1501)로부터 전류를 공급받아 발열하는 열선을 포함할 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 오존은 공기 중에서보다 물 속에서 더 빠르게 분해되며 온도가 높아질수록 분해 속도가 증가한다. 이 실시예는 액체 용기(1521)에 액체 히터(1523)를 설치하고 가스가 통과하는 액체(1520)를 사전에 설정된 온도로 가열함으로써 가스에 포함된 오존을 보다 효과적으로 제거할 수 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 개략적으로 도시한 도면이다.
이 실시예에 따르면, 상기 액체 통과부는 둘 이상의 액체 용기와 그 액체 용기들을 연결하는 배기관을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 액체 통과부는 제 1 액체 용기(1521) 및 제 2 액체 용기(1531)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 및 제 2 액체 용기(1521, 1531)는 액체(1520)를 수용한다.
그리고, 상기 챔버부(11)로부터 연장되는 제 1 배기관(1411)은 제 1 액체 용기(1521) 안으로 연장되어 액체(1520)에 잠기며, 상기 제 1 액체 용기(1521)로부터 연장되는 제 2 배기관(1522)은 제 2 액체 용기(1531) 안으로 연장되어 액체(1520)에 잠긴다. 또한, 상기 액체 통과부는 상기 제 2 액체 용기(1531)로부터 연장되는 제 3 배기관(1532)을 포함한다.
앞서 설명한 실시예들과 마찬가지로 상기 제 1 배기관(1411)에는 상기 챔버부(11)로부터 가스를 흡입하는 제 1 흡입 펌프(1412)가 설치된다. 그리고, 이 실시예에서는 제 1 액체 용기(1521)와 제 2 액체 용기(1531)를 연결하는 제 2 배기관(1522)에도 상기 제 1 액체 용기(1521)로부터 가스를 흡입하는 제 2 흡입 펌프(1530)가 설치될 수 있다.
나아가, 상기 제 1 및 제 2 액체 용기(1521, 1531)에는 각각 액체(1520)를 가열하기 위한 제 1 및 제 2 액체 히터(1523, 1533)가 설치될 수 있다.
이 실시예에 따르면, 상기 챔버부(11)로부터 배출되는 가스가 둘 이상의 액체 용기(1521, 1531)에 순차적으로 유입되어 액체(1520)를 통과하므로 하나의 액체 용기(1521)만을 이용하는 도 6의 실시예에 비해 가스에 포함된 오존을 보다 효과적으로 제거할 수 있다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 개략적으로 도시한 도면이다.
이 실시예는 상기 액체 통과부가 액체(1520)를 수용하는 액체 용기(1521) 및 상기 액체 용기(1521)로부터 연장되는 제 2 배기관(1522)을 포함하고, 상기 챔버부(11)로부터 연장되는 제 1 배기관(1411)이 상기 액체 용기(1521) 안으로 연장되어 액체(1520)에 잠기는 점에서 도 6의 실시예와 동일하다.
그러나, 도 8에 도시된 바와 같이, 이 실시예는 제 1 및 제 2 배기관(1411, 1522)에 각각 제 1 및 제 2 히터(151, 152)가 설치되어 상기 제 1 및 제 2 배기관(1411, 1522)을 지나는 가스를 가열하는 점에서 도 6의 실시예와 차이가 있다.
이 실시예에 따르면, 상기 부산물 제거부는 상기 챔버부(11)로부터 배기되는 가스가 제 1 및 제 2 배기관(1411, 1522)을 따라 이동하는 도중 가스를 가열하여 공기 중에서 오존을 열분해시키는 열분해 과정과, 가스를 물과 같은 액체(1520)에 통과시켜 오존을 물 속에서 분해시키는 수중 분해 과정을 함께 수행함으로써, 플라즈마를 이용한 임플란트(10)의 처리에 의해 발생된 오존을 더욱 효과적으로 제거할 수 있다.
도 8에서는 제 1 및 제 2 배기관(1411, 1522) 둘 모두에 히터(151, 152)가 설치되었으나, 실시예에 따라 제 1 배기관(1411)에만 제 1 히터(151)가 설치될 수 있으며, 제 2 배기관(1522)에만 제 2 히터(152)가 설치될 수도 있다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부산물 제거부를 개략적으로 도시한 도면이다.
이 실시예에 따르면, 상기 제 1 히터가 설치된 제 1 배기관(1411)은 상기 액체 용기(1521)를 둘러싸도록 배치될 수 있다.
예를 들어, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 배기관(1411)에는 상기 챔버부(11)로부터 배기되는 가스를 가열하기 위한 제 1 히터(151)가 설치되고, 상기 제 1 배기관(1411)은 액체(1520)가 담긴 액체 용기(1521)의 주위에서 상기 액체 용기(1521)를 둘러싸도록 배치될 수 있다.
상기 제 1 배기관(1411)을 지나온 가스가 상기 액체 용기(1521)에 유입되어 액체(1520)를 통과하고 제 2 배기관(1522)을 통해 상기 액체 용기(1521)로부터 빠져나가는 점은 앞서 설명한 실시예들과 동일하다.
앞서 설명한 실시예들과 달리, 이 실시예에서는 제 1 히터(151)가 설치된 제 1 배기관(1411)이 액체 용기(1521)를 둘러싸도록 배치됨으로써, 상기 제 1 히터(151)가 상기 액체 용기(1521)에도 열을 전달하여 액체(1520)를 가열할 수 있다.
다시 말해, 상기 제 1 히터(151)에서 발생된 열 에너지가 상기 제 1 배기관(1411)을 지나가는 가스를 가열하면서 동시에 액체 용기(1521) 내의 액체(1520)도 가열할 수 있어 오존을 제거하기 위해 가동되는 부산물 제거부의 에너지 효율을 향상시킬 수 있다.
도 8의 실시예에서는 제 1 히터(151)가 설치된 제 1 배기관(1411)이 액체 용기(1521)와 열적으로 접촉하지 않고 분리되어 설치됨으로써 제 1 배기관(1411)을 지나가는 가스를 가열하고 남은 열이 공기 중으로 발산되므로 오존 제거를 위해 필요한 에너지를 효율적으로 활용하는데 한계가 있다.
그러나, 도 9의 실시예는 제 1 배기관(1411) 내 가스를 가열하고 남은 열이 대부분 액체 용기(1521)로 전달되어 액체(1520)를 가열하기 위해 사용되므로 열 손실이 줄어들고 에너지 효율이 높아지는 효과를 달성할 수 있다.
도 9에서는 제 1 히터(151)가 설치된 제 1 배기관(1411)이 액체 용기(1521)를 둘러싸도록 배치되었으나, 실시예에 따라 제 2 히터(152)가 설치된 제 2 배기관(1522)이 액체 용기(1521)를 둘러싸도록 배치될 수 있으며, 제 1 및 제 2 배기관(1411, 1522) 둘 모두가 액체 용기(1521)를 둘러싸도록 배치될 수도 있다.
또한, 실시예에 따라, 제 1 배기관(1411)에 설치된 제 1 히터(151)로부터 제공되는 열 에너지가 액체 용기(1521) 내 액체(1520)를 사전에 설정된 온도로 가열하기에 충분하다면 상기 액체 통과부는 상기 액체 용기(1521)에 설치되는 액체 히터(1523)를 포함하지 않을 수 있다.
그러나, 상기 제 1 히터(151)로부터 액체 용기(1521)로 전달되는 열 에너지의 양을 제어하기 어려워 액체(1520)의 온도를 원하는 온도로 조절하기 힘든 경우, 상기 액체 통과부는 액체 용기(1521) 내 액체(1520)의 온도를 측정하는 온도계(미도시)와 상기 액체 히터(1523)를 더 구비하여 액체(1520)의 온도를 보다 정밀하게 조절할 수 있다. 이 경우, 액체(1520)의 가열에 주로 사용되는 열 에너지는 제 1 히터(151)로부터 제공되고, 액체 히터(1523)로부터 제공되는 열 에너지는 액체(1520)의 온도를 미세하게 조절하기 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 부산물 제거부는 제 1 배기관(1411) 및 제 2 배기관(1522) 중 적어도 하나에 구비되어 부산물을 여과하는 부산물 필터(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 부산물 필터는 오존을 분해할 수 있는 화합물이 사용된 오존 필터를 포함할 수 있다.
이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.
1: 임플란트 처리 장치
10: 임플란트
11: 챔버부
12: 지지부
13: 플라즈마 발생부
14: 배기부
15: 부산물 제거부
16: 하우징

Claims (16)

  1. 임플란트를 처리하기 위한 처리 공간을 제공하는 챔버부;
    상기 챔버부 내에서 상기 임플란트를 지지하는 지지부;
    플라즈마를 발생시켜 상기 챔버부로 공급하는 플라즈마 발생부;
    상기 챔버부로부터 가스를 배기하는 배기부; 및
    상기 가스에 포함된 부산물을 제거하는 부산물 제거부를 포함하되,
    상기 부산물 제거부는:
    상기 챔버부로부터 배기되는 가스를 가열하는 배기 가스 가열부를 포함하는 임플란트 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 부산물은 오존을 포함하는 임플란트 처리 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 부산물 제거부는:
    상기 챔버부의 처리 공간을 가열하는 챔버 가열부를 포함하는 임플란트 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 챔버 가열부는:
    상기 챔버부의 내측에 설치되는 챔버 히터를 포함하는 임플란트 처리 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 배기부는:
    상기 챔버부로부터 연장되는 제 1 배기관; 및
    상기 제 1 배기관을 통해 상기 챔버부로부터 가스를 흡입하는 제 1 흡입 펌프를 포함하는 임플란트 처리 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 배기 가스 가열부는:
    상기 제 1 배기관에 설치되는 제 1 히터를 포함하는 임플란트 처리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 히터는:
    상기 제 1 배기관을 따라 상기 제 1 배기관의 둘레에 감긴 코일을 포함하는 임플란트 처리 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 임플란트 처리 장치는:
    상기 임플란트 처리 장치의 구동에 사용되는 부품을 수용하는 하우징을 더 포함하고,
    상기 제 1 배기관은 상기 하우징 내에서 구부러져 배치되는 임플란트 처리 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 부산물 제거부는:
    상기 챔버부로부터 배기되는 가스를 액체에 통과시키는 액체 통과부를 포함하는 임플란트 처리 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 액체는 물을 포함하는 임플란트 처리 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 액체 통과부는:
    상기 액체를 수용하고, 상기 제 1 배기관이 안으로 연장되어 상기 액체에 잠기는 액체 용기; 및
    상기 제 1 배기관을 통해 나오는 상기 가스를 상기 액체 용기로부터 배출시키도록 상기 액체 용기로부터 연장되는 제 2 배기관을 포함하는 임플란트 처리 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 액체 통과부는:
    상기 액체 용기에 설치되어 상기 액체를 가열하는 액체 히터를 더 포함하는 임플란트 처리 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 액체 통과부는:
    상기 제 2 배기관에 설치되는 제 2 히터를 더 포함하는 임플란트 처리 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 배기관 중 적어도 하나는 상기 액체 용기를 둘러싸도록 배치되는 임플란트 처리 장치.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 부산물 제거부는:
    상기 제 1 배기관 및 상기 제 2 배기관 중 적어도 하나에 구비되어 상기 부산물을 여과하는 부산물 필터를 더 포함하는 임플란트 처리 장치.
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