KR101930457B1

KR101930457B1 - Heating unit, evaporation source having the same and method for assembling the same

Info

Publication number: KR101930457B1
Application number: KR1020160183257A
Authority: KR
Inventors: 박지훈; 이승환; 이재진
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2016-12-30
Filing date: 2016-12-30
Publication date: 2019-03-11
Also published as: KR20180078486A

Abstract

본 발명은 가열유닛, 이를 포함하는 증착원 및 가열유닛 조립방법에 관한 것으로서, 복수의 가열부를 지지대와 효율적으로 조립 및 분리할 수 있는 가열유닛, 이를 포함하는 증착원 및 가열유닛 조립방법에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛은 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 갖는 띠 형상의 가열부; 및 상기 가열부의 적어도 일부가 수용되는 수용홀과, 상기 수용홀로부터 외부로 연장 형성되어 상기 가열부의 삽입 경로를 제공하는 삽입구를 구비하며, 상기 가열부를 지지하는 지지대;를 포함하고, 상기 삽입구의 폭은 상기 가열부의 두께 이상일 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heating unit, an evaporation source including the evaporation source and a heating unit assembly method, and more particularly, to a heating unit capable of efficiently assembling and separating a plurality of heating units with a support, .
According to an embodiment of the present invention, there is provided a heating unit comprising: a strip-shaped heating unit having a first surface and a second surface opposite to each other; And a support table having a receiving hole for receiving at least a part of the heating part and an insertion hole extending outwardly from the receiving hole to provide an insertion path of the heating part and supporting the heating part, May be equal to or greater than the thickness of the heating portion.

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a heating unit, an evaporation source including the heating unit, and a method of assembling the heating unit.

본 발명은 가열유닛, 이를 포함하는 증착원 및 가열유닛 조립방법에 관한 것으로서, 가열부를 지지대와 효율적으로 조립 및 분리할 수 있는 가열유닛, 이를 포함하는 증착원 및 가열유닛 조립방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heating unit, an evaporation source including the evaporation source, and a heating unit assembly method, and more particularly, to a heating unit capable of efficiently assembling and separating a heating unit with a support,

종래의 판형(Sheet-type) 발열체(Heater)는 발열체 고정자(Holder)와의 조립 시 장착 방법이 복잡하며, 응력이 가해지면 발열체가 쉽게 손상을 입거나 소성 변형(plastic deformation)되기 때문에, 조립에 상당히 높은 숙련도를 요구한다. 이로 인해 조립이 복잡하며, 제작 불량을 쉽게 야기하여 결과적으로 증착원(evaporation source)의 원가 상승을 야기한다. 또한, 한 번 장착하면 발열체를 손상시키지 않는 한 탈착이 상당히 어렵기 때문에, 증착원의 유지/보수 작업에서 발열체를 재사용하는 것이 어렵다. 그리고 발열체는 일반적으로 금속 재료로 구성되어있기 때문에 발열체가 발열할 때는 상당한 열팽창을 동반하고, 이때 발열체 고정자가 응력을 주게 되면 발열체의 소성 변형을 야기할 수 있다. 이로 인해, 발열체 제작 조립 및 공정 사용시 발열체 불량이 발생할 가능성이 높아지게 되고, 이는 증착원 장치의 신뢰성을 저해한다.Conventional sheet-type heating elements are complicated in mounting method when assembled with a heating element holder, and when a stress is applied, the heating element is easily damaged or plastic deformed, Requires high proficiency. As a result, the assembly is complicated, and manufacturing defects are easily caused, resulting in an increase in the cost of the evaporation source. Also, once mounted, it is difficult to remove the heating element as long as it does not damage the heating element, so that it is difficult to reuse the heating element in the maintenance / maintenance work of the evaporation source. Since the heating element is generally made of a metal material, when the heating element generates heat, it accompanies a considerable thermal expansion. If the heating element stator gives stress, plastic deformation of the heating element may occur. As a result, there is a high possibility that a heating element is defective when manufacturing and assembling the heating element and using the process, which hinders the reliability of the evaporation source apparatus.

한국공개특허공보 제10-2015-0112120호Korean Patent Publication No. 10-2015-0112120

본 발명은 가열부를 간단하게 지지대에 조립하고 지지대에서 분리할 수 있는 가열유닛, 이를 포함하는 증착원 및 가열유닛 조립방법을 제공한다.The present invention provides a heating unit, a vapor source and a method of assembling the heating unit, wherein the heating unit can be easily assembled to a support base and separated from a support base.

본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛은 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 갖는 띠 형상의 가열부; 및 상기 가열부의 적어도 일부가 수용되는 수용홀과, 상기 수용홀로부터 외부로 연장 형성되어 상기 가열부의 삽입 경로를 제공하는 삽입구를 구비하며, 상기 가열부를 지지하는 지지대;를 포함하고, 상기 삽입구의 폭은 상기 가열부의 두께 이상일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a heating unit comprising: a strip-shaped heating unit having a first surface and a second surface opposite to each other; And a support table having a receiving hole for receiving at least a part of the heating part and an insertion hole extending outwardly from the receiving hole to provide an insertion path of the heating part and supporting the heating part, May be equal to or greater than the thickness of the heating portion.

상기 삽입구는 상기 가열부가 상기 수용홀에 수용된 상태에서의 상기 제1 면의 수직 방향과 교차하여 형성될 수 있다.The insertion port may be formed so as to intersect a vertical direction of the first surface in a state where the heating portion is accommodated in the accommodation hole.

상기 지지대는 상기 수용홀의 내부면에 상기 수용홀의 내부로 돌출되어 형성되는 돌기부를 포함할 수 있다.The supporting base may include a protrusion formed on the inner surface of the receiving hole to protrude into the receiving hole.

상기 돌기부는 연성일 수 있다.The protrusions may be flexible.

상기 가열부는 복수개 구비되고, 복수의 상기 가열부 간을 연결하는 연결부;를 더 포함할 수 있다.The heating unit may further include a plurality of heating units connected to each other.

상기 가열부는 복수개 구비되고, 상기 지지대는 고리 형상일 수 있다.A plurality of the heating units may be provided, and the supporting unit may be annular.

상기 지지대는 일측면 또는 타측면에 형성되는 돌출부를 포함하고, 상기 수용홀은 상기 돌출부에 형성되며, 상기 삽입구는 상기 돌출부의 측면에 형성될 수 있다.The supporting base may include a protrusion formed on one side surface or the other side surface, the receiving hole may be formed on the protrusion, and the insertion hole may be formed on a side surface of the protrusion.

상기 돌출부의 간격은 상기 가열부의 폭 이상일 수 있다.The distance between the projecting portions may be equal to or greater than the width of the heating portion.

본 발명의 다른 실시예에 따른 증착원은 일면에 개구면이 형성되는 도가니; 상기 도가니의 주위에 배치되는 본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛; 및 상기 개구면에 제공되는 분사 노즐;을 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an evaporation source comprising: a crucible having an opening on one side; A heating unit disposed around the crucible according to an embodiment of the present invention; And an injection nozzle provided on the opening surface.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가열유닛 조립방법은 띠 형상의 복수의 가열부를 포함하는 발열체를 마련하는 과정; 고리 형상의 지지대의 내측 또는 외측에 상기 발열체를 배치하는 과정; 상기 발열체를 일방향으로 이동 또는 회전시켜 상기 지지대의 내측면 또는 외측면에 형성된 상기 지지대의 삽입구에 상기 가열부를 삽입하는 과정; 및 상기 가열부를 상기 삽입구와 연통되는 상기 지지대의 수용홀에 수용하는 과정;을 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of assembling a heating unit, including the steps of: providing a heating element including a plurality of heating units in strip form; Placing the heating element on the inside or outside of the annular support; Inserting the heating unit into the insertion port of the support formed on the inner or outer surface of the support by moving or rotating the heating element in one direction; And accommodating the heating unit in a receiving hole of the support member communicating with the insertion port.

상기 발열체를 배치하는 과정은 상기 지지대의 내측 둘레 또는 외측 둘레를 따라 상기 복수의 가열부를 배치하는 과정을 포함하고, 상기 가열부를 삽입하는 과정은 상기 발열체를 회전시키는 과정을 포함할 수 있다.The step of disposing the heating element may include disposing the plurality of heating elements along the inner circumference or the outer circumference of the support, and the step of inserting the heating element may include a step of rotating the heating element.

상기 수용홀의 내부면에 형성된 돌기부를 이용하여 상기 가열부를 지지하는 과정;을 더 포함할 수 있다.And supporting the heating unit using a protrusion formed on the inner surface of the receiving hole.

상기 수용홀 내에서 상기 가열부의 위치를 조정하는 과정;을 더 포함할 수 있다.And adjusting the position of the heating unit in the receiving hole.

본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛은 지지대에 형성된 삽입구를 통해 일방향(또는 단방향)으로 가열부를 삽입할 수 있고, 이에 따라 복수의 가열부를 외부 손상 및 응력 없이 한 번에 삽입(또는 조립)할 수 있다. 또한, 가열부의 분리시에 복수의 가열부의 동시 탈착도 가능할 수 있다.The heating unit according to an embodiment of the present invention can insert the heating part in one direction (or unidirectional) through the insertion hole formed in the support, thereby inserting (or assembling) the plurality of heating parts at once without external damage and stress . Further, simultaneous desorption of a plurality of heating portions at the time of separation of the heating portion may be possible.

그리고 지지대의 돌기부를 통해 외부 응력 없이 가열부의 위치 및 형태를 안정적으로 고정할 수 있으며, 가열부의 발열 이후에도 소성 변형 없이 원상 복귀가 가능하도록 가열부를 안정적으로 고정할 수 있다.Also, the position and shape of the heating part can be stably fixed without external stress through the protrusion of the support, and the heating part can be stably fixed so as to return to the original state without plastic deformation even after the heating of the heating part.

이에, 가열유닛의 조립시에 조립 시간의 단축을 통한 생산성을 향상시킬 수 있으며, 조립 비용의 감소로 인한 원가 절감이 가능할 수 있다. 또한, 가열유닛의 조립시에 발생할 수 있는 불량률을 효과적으로 감소시킬 수 있다. 그리고 안정적인 가열(heating) 공정을 통해 증착원의 장기 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 가열유닛의 유지/보수 작업시에 가열부의 탈착을 통해 가열부의 재사용이 가능할 수 있다.Accordingly, the productivity can be improved by shortening the assembly time at the time of assembling the heating unit, and the cost can be reduced by reducing the assembly cost. In addition, it is possible to effectively reduce the defective rate that may occur at the time of assembling the heating unit. The long term reliability of the evaporation source can be improved through a stable heating process, and the heating unit can be reused by attaching / detaching the heating unit during maintenance / repair work of the heating unit.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛을 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 지지대와 발열체를 나타내는 사시도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 지지대와 발열체의 조립을 설명하기 위한 개념도.
도 4는 본 발명의 변형예에 따른 지지대와 발열체의 조립을 설명하기 위한 개념도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착원을 나타낸 단면도.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가열유닛 조립방법을 나타낸 순서도.1 is a perspective view of a heating unit according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view showing a support and a heating element according to an embodiment of the present invention;
3 is a conceptual diagram for explaining assembly of a support and a heating element according to an embodiment of the present invention;
4 is a conceptual view for explaining assembly of a heating element and a support according to a modification of the present invention;
5 is a cross-sectional view illustrating an evaporation source according to another embodiment of the present invention.
6 is a flowchart showing a heating unit assembling method according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하고, 도면은 본 발명의 실시예를 정확히 설명하기 위하여 크기가 부분적으로 과장될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, It is provided to let you know. In the description, the same components are denoted by the same reference numerals, and the drawings are partially exaggerated in size to accurately describe the embodiments of the present invention, and the same reference numerals denote the same elements in the drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a heating unit according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛(100)은 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 갖는 띠 형상의 가열부(111); 및 상기 가열부(111)의 적어도 일부가 수용되는 수용홀(121)과, 상기 수용홀(121)로부터 외부로 연장 형성되어 상기 가열부(111)의 삽입 경로를 제공하는 삽입구(122)를 구비하며, 상기 복수의 가열부(111)를 지지하는 지지대(120);를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a heating unit 100 according to an embodiment of the present invention includes a strip heating unit 111 having a first surface and a second surface opposite to each other; A receiving hole 121 for receiving at least a part of the heating part 111 and an insertion hole 122 extending outward from the receiving hole 121 and providing an insertion path of the heating part 111 And a support 120 supporting the plurality of heating units 111.

가열부(111)는 서로 대향하는 제1 면과 제2 면, 및 상기 제1 면과 상기 제2 면의 둘레를 따라 형성되는 둘레면(또는 두께면)을 가질 수 있고, 띠(band) 형상일 수 있다. 이때, 상기 제1 면과 상기 제2 면은 전면(front)과 배면(back) 또는 상부면과 하부면일 수 있고, 상기 둘레면은 측면(side)일 수 있다. 여기서, 가열부(111)의 두께는 상기 제1 면과 상기 제2 면의 거리일 수 있으며, 가열부(111)의 폭은 띠 형상의 단측 최장폭일 수 있고, 가열부(111)의 길이는 띠 형상의 장측 최장폭일 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 면과 상기 제2 면이 직사각형 형상이며 크기가 같은 경우에는 상기 제1 면과 상기 제2 면의 단측이 가열부(111)의 폭일 수 있고, 상기 제1 면과 상기 제2 면의 장측이 가열부(111)의 길이일 수 있다.The heating portion 111 may have a first surface and a second surface facing each other and a circumferential surface (or thickness surface) formed along the circumference of the first surface and the second surface, and may have a band shape Lt; / RTI > At this time, the first surface and the second surface may be front and back, or the upper surface and the lower surface, and the circumferential surface may be the side. Here, the thickness of the heating portion 111 may be the distance between the first surface and the second surface, the width of the heating portion 111 may be the longest width on the short side of the strip shape, and the length of the heating portion 111 It may be the longest side of the belt-like long side. For example, if the first surface and the second surface are rectangular and have the same size, the first surface and the second surface may have a width of the heating portion 111, And the long side of the second surface may be the length of the heating part 111. [

그리고 가열부(111)는 바(bar) 형상 또는 판상(Plate-type)일 수 있으며, 상기 제1 면과 상기 제2 면이 전면(또는 상부면)과 배면(또는 하부면)일 수 있고, 상기 제1 면과 상기 제2 면의 이격 거리만큼 두께를 가질 수 있다. 여기서, 가열부(111)의 두께는 가열부(111)의 폭 및 길이보다 작을 수 있고, 가열부(111)는 얇은 판상(Sheet-type)일 수도 있다. 가열부(111)가 판상인 경우에는 가열물(예를 들어, 도가니)를 향하는 발열면의 면적이 늘어날 수 있고, 이에 따라 상기 가열물을 가열하는 열효율이 향상될 수 있다. 또한, 단일의 가열부(111)가 측벽을 형성하거나 복수의 가열부(111)가 단일폐곡선(simple closed curve)을 형성하는 경우에는 가열부(111)가 상기 가열물의 측벽을 이루게 되어 보온 효과가 향상될 수도 있다. 여기서, 단일폐곡선은 다각형, 원, 타원 등과 같이 직선이나 곡선 위에 한 점을 찍었을 때에 시작점과 끝점이 같은 닫힌 도형을 의미한다.The heating unit 111 may be a bar or a plate-type, and the first surface and the second surface may be a front surface (or an upper surface) and a rear surface (or a lower surface) And may have a thickness corresponding to a distance between the first surface and the second surface. Here, the thickness of the heating part 111 may be smaller than the width and length of the heating part 111, and the heating part 111 may be a thin sheet-type. In the case where the heating portion 111 is in the form of a plate, the area of the heat generating surface facing the heated object (for example, the crucible) can be increased, thereby improving the thermal efficiency of heating the heated object. When the single heating portion 111 forms a sidewall or the plurality of heating portions 111 forms a simple closed curve, the heating portion 111 forms a sidewall of the heated object, May be improved. Here, a single closed curve means a closed figure having the same starting point and ending point when a point is drawn on a straight line or a curve, such as a polygon, a circle, or an ellipse.

한편, 가열부(111)는 금속 재료 및 합금 재료를 포함할 수 있고, 소정의 외부 응력(stress)을 견딜 수 있도록 탄성을 가질 수 있다. 여기서, 상기 금속 재료는 탄탈(Ta)을 포함할 수 있고, 상기 합금 재료는 칸탈(kanthal), 슈퍼 칸탈(super kanthal), 니크롬(nichrome) 등일 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 가열부(111)는 열전도성이 우수하며 고온에 강한 다양한 재료를 사용하여 형성될 수 있다.On the other hand, the heating portion 111 may include a metal material and an alloying material, and may have elasticity so as to withstand a predetermined external stress. Here, the metal material may include tantalum (Ta), and the alloy material may be a kanthal, a super kanthal, a nichrome, or the like. However, the present invention is not limited thereto, and the heating unit 111 can be formed using various materials having excellent thermal conductivity and being resistant to high temperature.

지지대(Holder, 120)는 가열부(111)를 지지할 수 있고, 가열부(111)의 적어도 일부가 수용되는 수용홀(121) 및 수용홀(121)로부터(또는 상기 수용홀의 내부면에서) 외부(또는 상기 지지대의 외부공간)로 연장 형성되어 가열부(111)의 삽입 경로를 제공하는 삽입구(122)를 구비할 수 있다. 여기서, 지지대(120)의 형상은 직선형(line) 형상 또는 절곡(bending)된 형상을 포함할 수 있다. 이때, 지지대(120)의 적어도 한 측면은 상기 가열물을 향할 수 있으며, 상기 가열물을 향하는 지지대(120)의 측면을 지지대(120)의 내측면이라고 할 수도 있고, 상기 내측면의 반대쪽 측면을 지지대(120)의 외측면이라고 할 수도 있다.The holder 120 can support the heating unit 111 and can receive the heating unit 111 from the receiving hole 121 and the receiving hole 121 (or from the inner surface of the receiving hole) And an insertion port 122 extending from the outside (or an outer space of the support) to provide an insertion path of the heating unit 111. Here, the shape of the support base 120 may include a line shape or a bending shape. At this time, at least one side of the support base 120 can be directed to the heated object, and the side surface of the support base 120 facing the heated object can be referred to as the inner surface of the support base 120, It may be referred to as the outer surface of the support base 120.

수용홀(121)은 지지대(120)가 상하로 관통되어 형성될 수 있고, 수용홀(121)에는 가열부(111)의 적어도 일부가 수용될 수 있으며, 가열부(111)의 폭 방향 둘레가 둘러지도록 가열부(111)의 적어도 일부가 수용홀(121)에 수용될 수 있다. 이때, 가열부(111)의 제1 면 또는 제2 면이 상기 가열물을 향할 수 있도록 수용홀(121)이 형성될 수 있다. 그리고 지지대(120)에는 복수의 수용홀(121)이 형성될 수도 있으며, 복수의 수용홀(121)은 상기 가열물을 향하는 측면을 따라 형성될 수 있고, 복수의 수용홀(121)에는 가열부(111)가 각각 수용될 수 있다. 여기서, 복수의 수용홀(121)에는 각각 삽입구(122)가 형성될 수 있다.The receiving hole 121 may be formed by vertically penetrating the support 120. At least a part of the heating part 111 may be accommodated in the receiving hole 121 and the width of the heating part 111 may be At least a part of the heating portion 111 can be accommodated in the accommodation hole 121 so as to surround it. At this time, the receiving hole 121 may be formed so that the first surface or the second surface of the heating part 111 can be directed to the heated object. A plurality of receiving holes 121 may be formed in the support base 120 and a plurality of receiving holes 121 may be formed along the side faces toward the heated object. (111), respectively. Here, the insertion holes 122 may be formed in the plurality of receiving holes 121, respectively.

또한, 복수의 수용홀(121)은 장측폭이 가열부(111)의 폭보다 클 수 있다. 이에 따라 가열부(111)의 발열에 의한 열팽창시에도 수용홀(121)의 내측벽이 가열부(111)와 밀착(또는 접촉)되지 않을 수 있어 가열부(111)에 응력을 주지 않을 수 있고, 가열부(111)의 위치 및 형태를 유지할 수 있다. 이를 통해, 소성 변형 없이 원상 복귀가 가능하도록 가열부(111)를 안정적으로 고정할 수 있다.The long side width of the plurality of receiving holes 121 may be larger than the width of the heating portion 111. The inner wall of the receiving hole 121 may not be in tight contact with (or contact with) the heating part 111 even when the thermal expansion due to the heating of the heating part 111 is performed, so that the heating part 111 may not be stressed , The position and shape of the heating unit 111 can be maintained. Thus, the heating unit 111 can be stably fixed so as to return to the original state without plastic deformation.

한편, 수용홀(121)의 수평 단면 형상은 가열부(111)의 단측(또는 폭) 단면 형상과 동일할 수도 있고, 가열부(111)의 폭보다 큰 변을 갖는 직사각형 형상일 수도 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 수용홀(121)의 장측폭이 가열부(111)의 폭보다 커서 가열부(111)의 열팽창시에 수용홀(121)의 내측벽이 가열부(111)와 밀착되지 않을 수 있으면 족하다.On the other hand, the horizontal cross-sectional shape of the receiving hole 121 may be the same as the cross-sectional shape (or width) of the heating portion 111, or may be a rectangular shape having a side larger than the width of the heating portion 111. However, the present invention is not limited thereto, and the inner wall of the receiving hole 121 may be in close contact with the heating portion 111 at the time of thermal expansion of the heating portion 111 because the long side width of the receiving hole 121 is larger than the width of the heating portion 111 I can not afford it.

삽입구(Insertion Entryway, 122)는 수용홀(121)로부터(또는 상기 수용홀의 내부면에서) 수용홀(121)의 외부(또는 상기 지지대의 외부공간)로 연장 형성되어 가열부(111)의 삽입 경로(insertion path)를 제공할 수 있으며, 삽입구(122)를 통해 수용홀(121)이 지지대(120)의 외부공간과 연통될 수 있다. 이를 통해 지지대(120)의 외부에 위치하는 가열부(111)가 수용홀(121)에 수용될 수 있다.The insertion entranceway 122 extends from the receiving hole 121 (or from the inner surface of the receiving hole) to the outside of the receiving hole 121 (or the outer space of the supporting rods) and the receiving hole 121 can communicate with the external space of the support 120 through the insertion port 122. [ So that the heating part 111 located outside the support 120 can be received in the receiving hole 121.

삽입구(122)의 폭(또는 상기 삽입구의 양측 내측벽 사이의 최단 거리)은 가열부(111)의 두께 이상일 수 있다. 즉, 삽입구(122)의 폭은 가열부(111)의 두께와 같거나 가열부(111)의 두께보다 클 수 있다. 이에 따라 가열부(111)가 상기 두께면(또는 상기 둘레면)부터 상기 폭 방향으로 삽입구(122)에 삽입될 수 있다. 이때, 가열부(111)가 삽입구(122)의 내측벽(또는 상기 삽입구의 내부를 향하는 측벽)과의 마찰 없이 안정적으로 삽입될 수 있도록 삽입구(122)의 폭은 가열부(111)의 두께보다 큰 것이 바람직할 수 있다.The width of the insertion port 122 (or the shortest distance between the inner side walls on both sides of the insertion port) may be equal to or greater than the thickness of the heating section 111. [ That is, the width of the insertion port 122 may be equal to or greater than the thickness of the heating section 111. Accordingly, the heating unit 111 can be inserted into the insertion port 122 from the thickness surface (or the circumferential surface) in the width direction. At this time, the width of the insertion port 122 is set to be less than the thickness of the heating part 111 so that the heating part 111 can be stably inserted into the inner side wall of the insertion hole 122 (or the side wall facing the inside of the insertion hole) A larger one may be desirable.

또한, 삽입구(122)의 폭은 가열부(111)의 폭 이하일 수 있다. 즉, 삽입구(122)의 폭은 가열부(111)의 폭과 같거나 가열부(111)의 폭보다 작을 수 있다. 이러한 경우, 가열부(111)의 제1 면과 제2 면이 아니라 가열부(111)의 두께면부터 가열부(111)의 폭 방향으로 삽입구(122)에 삽입될 수 있고, 가열부(111)에 가해지는 응력 없이 자연스럽게 안정적으로 삽입구(122)를 통해 가열부(111)가 수용홀(121)에 수용될 수 있다. 이에 따라 삽입구(122)에 의해 수용홀(121)의 내부면에 형성되는 틈(예를 들어, 상하방향 틈)이 작아질 수 있어 가열부(111)가 안정적으로 지지될 수 있는 수용홀(121)의 내부면(즉, 지지면)을 확보할 수 있다.Further, the width of the insertion port 122 may be less than or equal to the width of the heating section 111. That is, the width of the insertion port 122 may be equal to or smaller than the width of the heating section 111. In this case, the first and second surfaces of the heating unit 111 can be inserted into the insertion port 122 in the width direction of the heating unit 111 from the thickness surface of the heating unit 111, and the heating unit 111 The heating part 111 can be received in the receiving hole 121 through the insertion port 122 naturally and stably without stress applied to the heating part 111. [ The gap formed in the inner surface of the receiving hole 121 can be reduced by the insertion hole 122 so that the heating portion 111 can be stably supported by the receiving hole 121 (That is, the supporting surface) of the supporting member.

그리고 삽입구(122)의 높이는 지지대(120)의 두께와 같을 수 있다. 이에 따라 삽입구(122)는 수용홀(121)의 내부면에 상하방향으로 선형의 틈을 형성할 수 있고, 수용홀(121)의 외측방향에 해당하는 지지대(120)의 일측면(또는 내측면) 또는 타측면(또는 외측면)에도 상하방향 틈이 형성될 수 있다. 여기서, 가열부(111)는 상하로 길게 세워진 상태에서 가열부(111)의 두께면 중 장측면(즉, 길이방향으로 연장되는 폭방향 측면)이(또는 장측면부터) 상기 상하방향 틈으로 삽입구(122)에 삽입될 수 있다. 이때, 가열부(111)에 가해지는 응력을 최소화하기 위해 수용홀(121)이 충분한 공간(또는 장측폭과 단측폭)을 가질 수 있으며, 수용홀(121)의 장측폭이 가열부(111)의 폭보다 큰 경우에는 가열부(111)의 폭 끝부분까지 안정적으로 삽입구(122)를 빠져나와 수용홀(121)에 수용될 수 있다. 이에 따라 가열부(111)에 가해지는 응력을 효과적으로 줄일 수 있어 안정적으로 삽입구(122)를 통해 가열부(111)가 삽입되도록 할 수 있다. 또한, 수용홀(121)의 장측면(즉, 상기 가열물을 향하는 면)에 상기 상하방향 틈(또는 상기 삽입구)이 형성되는 경우에는 수용홀(121)의 단측폭이 가열부(111)의 두께보다 크게 되면, 가열부(111)가 수용홀(121)의 내측벽에 부딪치거나 수용홀(121)의 내측벽에 막혀 휘어지는 것을 방지할 수 있고, 이를 통해 가열부(111)에 가해지는 응력을 최소화할 수 있다.The height of the insertion port 122 may be the same as the thickness of the support 120. The insertion hole 122 can form a linear gap in the vertical direction on the inner surface of the receiving hole 121 and can be formed in one side of the supporting table 120 corresponding to the outer direction of the receiving hole 121 ) Or the other side (or the outer side surface). Here, the heating portion 111 is formed so that the long side (that is, the widthwise side extending in the longitudinal direction) of the thickness portion of the heating portion 111 (or the widthwise side extending from the long side) (Not shown). At this time, the receiving hole 121 may have a sufficient space (or a long side width and a short side width) to minimize the stress applied to the heating part 111, It is possible to stably extend from the insertion opening 122 to the width end portion of the heating part 111 and be accommodated in the accommodation hole 121. [ Accordingly, the stress applied to the heating part 111 can be effectively reduced, and the heating part 111 can be stably inserted through the insertion opening 122. [0051] When the vertical gap (or the insertion port) is formed on the long side of the receiving hole 121 (that is, the surface facing the heated object), the width of the short side of the receiving hole 121 is smaller than that of the heating portion 111 It is possible to prevent the heating portion 111 from bumping against the inner wall of the receiving hole 121 or from being clogged by the inner wall of the receiving hole 121, Stress can be minimized.

한편, 수용홀(121)의 내부면에 형성된 상기 상하방향 틈에서 수용홀(121)의 단측면(즉, 상기 가열물을 향하는 면과 교차하는 면) 중 삽입구(122)에 먼저 삽입되는 가열부(111)의 장측면이 향하는(또는 상기 가열부의 삽입 방향의) 단측면까지의 거리는 가열부(111)의 폭 이상일 수 있다. 이러한 경우, 가열부(111)의 폭 끝부분까지 안정적으로 삽입구(122)를 빠져나와 수용홀(121)에 수용될 수 있을 뿐만 아니라 가열부(111)가 수용홀(121)에 삽입되면서 수용홀(121)의 단측면에 부딪치거나 접촉하지 않을 수 있다. 여기서, 상기 상하방향 틈이 수용홀(121)의 단측면에 형성되는 경우에는 수용홀(121)의 내부면에 형성된 상기 상하방향 틈에서 상기 삽입구(122)에 먼저 삽입되는 가열부(111)의 장측면이 향하는 단측면이 가열부(111)의 폭일 수 있다. 그리고 상기 상하방향 틈이 수용홀(121)의 장측면에 형성되는 경우에는 가열부(111)가 수용홀(121)에 수용된 후에 가열부(111)의 장측면이 상기 상하방향 틈을 향하지 않기 때문에 가열부(111)가 수용홀(121)에서 빠져나가지 않게 될 수 있고, 안정적으로 수용홀(121)에 수용(또는 지지)될 수 있다.The heating portion 121 is first inserted into the insertion hole 122 of the receiving hole 121 in the vertical direction formed on the inner surface of the receiving hole 121 (that is, the surface crossing the surface facing the heated object) (Or in the inserting direction of the heating section) of the heating section 111 may be equal to or greater than the width of the heating section 111. [ The heating part 111 can be stably received in the receiving hole 121 and the heating part 111 can be inserted into the receiving hole 121. In this way, (Not shown). In the case where the vertical gap is formed on the side surface of the receiving hole 121, the heating part 111 inserted into the insertion hole 122 in the vertical direction gap formed in the inner surface of the receiving hole 121 The short side toward which the long side faces may be the width of the heating part 111. When the vertical gap is formed on the long side of the receiving hole 121, the long side of the heating portion 111 does not face the vertical gap after the heating portion 111 is received in the receiving hole 121 The heating portion 111 can be prevented from coming out of the receiving hole 121 and can be received (or supported) in the receiving hole 121 stably.

가열부(111)는 복수개 구비될 수 있고, 복수의 가열부(111)가 일정 간격으로 배치될 수 있다. 지지대(120)는 내측에 오픈부(25)를 갖는 중공의 고리(ring) 형상일 수 있으며, 중공의 오픈부(25)를 형성하는 틀(frame) 또는 테(rim)일 수 있다. 여기서, 상기 고리 형상은 단일폐곡선을 포함할 수 있고, 다각형, 원, 타원 등일 수 있으며, 가장자리부(125)를 중심으로 지지대(120)의 내측(또는 내부)과 외측(또는 외부)을 나눌 수 있다. 이때, 지지대(120)의 오픈부(25)를 향하는 측면이 지지대(120)의 내측면일 수 있고, 지지대(120)의 오픈부(25)에서 먼 측면이 지지대(120)의 외측면일 수 있으며, 오픈부(25)에 상기 가열물이 배치될 수 있다. 그리고 가장자리부(125)는 절연성이면서 가열부(111)로부터 열을 빼앗지 않을 수 있으며, 고온에 잘 견뎌 고온에서도 그 형태를 유지하여 변형되지 않을 수 있다. 또한, 가장자리부(125)는 항상 그 형태를 유지할 수 있도록 탄성이 거의 없을 수 있고, PBN 등의 세라믹 재료로 이루어질 수 있다.A plurality of heating units 111 may be provided, and a plurality of heating units 111 may be disposed at regular intervals. The support 120 may be in the form of a hollow ring having an open portion 25 on the inside and may be a frame or a rim forming a hollow open portion 25. Here, the annular shape may include a single closed curve, and may be a polygon, a circle, an ellipse, or the like, and may divide the inside (or inside) and the outside (or outside) of the support 120 about the edge 125 have. At this time, the side surface of the support 120 facing the open portion 25 may be the inner surface of the support 120, and the side far from the open portion 25 of the support 120 may be the outer surface of the support 120 And the heated object may be disposed in the open portion 25. [ The edge portion 125 may be insulative and may not take heat from the heating portion 111, and may be resistant to high temperature and may maintain its shape even at a high temperature and may not be deformed. The edge portion 125 may have almost no elasticity so as to maintain its shape, and may be made of a ceramic material such as PBN.

수용홀(121)은 오픈부(25)의 둘레를 따라 위치할 수 있다. 이때, 오픈부(25)의 둘레를 따라 지지대(120)에 하나의 수용홀(121)이 형성될 수도 있고, 지지대(120)에 오픈부(25)의 둘레를 따라 복수의 수용홀(121)이 배치될 수도 있다. 복수의 수용홀(121)은 오픈부(25)의 둘레를 따라 일정 간격으로 이격되어 배치될 수 있고, 안정적으로 복수의 가열부(111)를 지지하기 위해 지지대(120)에 복수의 수용홀(121)이 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 이때, 가열부(111)의 제1 면 또는 제2 면이 오픈부(25)를 향할 수 있도록 수용홀(121)이 형성될 수 있으며, 복수의 수용홀(121)이 형성되는 경우에는 오픈부(25)의 내접원의 접선(또는 상기 지지대 내측면의 접선)과 나란하게 복수의 수용홀(121)이 배치될 수도 있고, 가열부(111)의 제1 면 또는 제2 면이 오픈부(25)의 중심을 향하도록 복수의 수용홀(121)이 형성(또는 배치)될 수도 있다. 예를 들어, 오픈부(25)가 원형인 경우에는 가열부(111)의 제1 면 또는 제2 면이 오픈부(25)의 중심을 향하도록 수용홀(121)을 형성할 수 있고, 오픈부(25)가 정다각형(예를 들어, 정사각형 등)인 경우에는 가열부(111)의 제1 면 또는 제2 면이 오픈부(25)를 향하도록 각 변과 나란하게 수용홀(121)을 형성할 수 있다. 여기서, 복수의 수용홀(121)에는 복수의 가열부(111)가 각각 수용될 수 있다.The receiving hole 121 may be located along the periphery of the open portion 25. At this time, one receiving hole 121 may be formed in the support 120 along the periphery of the open portion 25, and a plurality of receiving holes 121 may be formed in the support 120 along the periphery of the open portion 25. [ May be disposed. The plurality of receiving holes 121 may be spaced apart from each other at a predetermined interval along the circumference of the open portion 25 and may be provided with a plurality of receiving holes 121 may be formed. At this time, the receiving hole 121 may be formed so that the first surface or the second surface of the heating part 111 may be directed to the open part 25. If a plurality of receiving holes 121 are formed, A plurality of receiving holes 121 may be arranged in parallel with the tangent line of the inscribed circle of the heating member 25 (or the tangent line of the inner surface of the support member), and the first surface or the second surface of the heating unit 111 may be the open portion 25 A plurality of receiving holes 121 may be formed (or arranged) so as to face the center of the receiving hole 121. For example, when the open portion 25 is circular, the receiving hole 121 can be formed so that the first surface or the second surface of the heating portion 111 faces the center of the open portion 25, The first or second surface of the heating part 111 faces the open part 25 when the part 25 is a regular polygon (for example, a square) . Here, a plurality of heating portions 111 can be accommodated in the plurality of receiving holes 121, respectively.

삽입구(122)는 지지대(120)의 외측과 수용홀(121)의 사이 또는 지지대(120)의 내측(또는 상기 오픈부)과 수용홀(121)의 사이에 형성될 수 있다. 이때, 지지대(120)의 내측면(상기 지지대의 내측과 상기 수용홀의 사이에 상기 삽입구가 형성된 경우) 또는 외측면(상기 지지대의 외측과 상기 수용홀의 사이에 상기 삽입구가 형성된 경우)에 가열부(111)가 삽입될 수 있는 상기 상하방향 틈이 형성될 수 있다.The insertion port 122 may be formed between the outside of the support base 120 and the accommodation hole 121 or between the inside (or the open portion) of the support 120 and the accommodation hole 121. At this time, a heating unit (not shown) is attached to the inner surface of the support base 120 (in the case where the insertion port is formed between the inside of the support and the accommodation hole) or the outer surface (when the insertion hole is formed between the outside of the support and the accommodation hole) 111 may be inserted in the vertical direction.

수용홀(121)이 하나로 형성되는 경우에는 삽입구(122)가 하나일 수도 있고, 복수일 수도 있다. 여기서, 삽입구(122)가 하나인 경우에는 하나의 삽입구(122)를 통해 복수의 가열부(111)가 수용홀(121)에 수용되도록 하여야 하기 때문에 시간이 오래 걸리지만, 삽입구(122)가 복수인 경우에는 복수의 가열부(111)를 한 번에(또는 동시에) 복수의 삽입구(122)를 통해 삽입할 수 있어 가열유닛(100)의 조립 시간을 줄일 수 있다.In the case where the receiving holes 121 are formed as one, there may be one or two or more insertion ports 122. In the case of one insertion port 122, it takes a long time to accommodate the plurality of heating units 111 in the receiving hole 121 through one insertion port 122, The plurality of heating units 111 can be inserted at once (or simultaneously) through the plurality of insertion ports 122, thereby reducing the assembling time of the heating unit 100. FIG.

수용홀(121)이 복수인 경우에는 복수의 삽입구(122)가 형성될 수 있으며, 복수의 삽입구(122)는 각각의 수용홀(121)과 오픈부(25)의 사이 또는 각각의 수용홀(121)과 지지대(120)의 외측 사이에 형성되어 복수의 가열부(111)의 삽입 경로를 제공할 수 있다. 이에 따라 복수의 삽입구(122)를 통해 동시에 복수의 가열부(111)를 복수의 수용홀(121)에 각각 수용되도록 할 수 있다.A plurality of insertion openings 122 may be formed in the case of a plurality of receiving openings 121 and a plurality of insertion openings 122 may be formed between each of the receiving openings 121 and the openings 25, 121 and the outside of the support base 120 to provide a path for inserting a plurality of heating units 111. The plurality of heating portions 111 can be accommodated in the plurality of receiving holes 121 at the same time through the plurality of insertion openings 122. [

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 지지대와 발열체를 나타내는 사시도로, 도 2(a)는 지지대의 사시도이고, 도 2(b)는 발열체의 사시도이다.Fig. 2 is a perspective view showing a support member and a heating element according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 (a) is a perspective view of a support and Fig. 2 (b) is a perspective view of a heating element.

도 2를 참조하면, 삽입구(122)는 가열부(111)가 수용홀(121)에 수용된 상태에서의 상기 제1 면의 수직 방향과 교차하여 형성될 수 있다. 즉, 삽입구(122)는 수용홀(121)의 상기 가열물(또는 상기 오픈부)을 향하는 면(또는 장측면)에 대해 수직인 방향과 상이한 방향으로(또는 교차하여) 형성될 수 있으며, 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면에 대해 수직인 방향과 상이한 방향으로 상기 삽입 경로를 형성할 수 있다. 이때, 삽입구(122)는 지지대(120)의 내측면 또는 외측면에 상기 상하방향 틈을 형성하도록 형성될 수 있다. 다시 말하면, 삽입구(122)는 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면에 대해 90°보다 작은 기울기각(또는 경사각)으로 형성될 수 있다. 즉, 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면과 삽입구(122)의 내부면(또는 내측면)이 90°보다 작은 사잇각을 가질 수 있다.2, the insertion port 122 may be formed so as to intersect the vertical direction of the first surface in a state where the heating portion 111 is received in the receiving hole 121. That is, the insertion port 122 may be formed in a direction different from (or intersecting with) the direction perpendicular to the surface (or the long side) of the receiving hole 121 facing the heated object (or the open portion) The insertion path can be formed in a direction different from a direction perpendicular to the surface of the hole 121 facing the heated object. At this time, the insertion port 122 may be formed on the inner surface or the outer surface of the supporter 120 to form the vertical gap. In other words, the insertion port 122 may be formed at an inclination angle (or an inclination angle) smaller than 90 degrees with respect to the surface of the receiving hole 121 facing the heated object. That is, the surface of the receiving hole 121 facing the heated object and the inner surface (or inner surface) of the insertion port 122 may have an angle smaller than 90 degrees.

종래와 같이, 가열부가 수용홀의 상기 가열물을 향하는 면에 대해 수직인 방향에서 삽입되면, 수용홀의 상기 가열물을 향하는 면과 대응되는 가열부의 배치방향과 가열부의 삽입방향이 교차하게 되어 가열부에 가해지는 응력이 커지게 되거나 가열부에 가해지는 응력을 줄이기 위해 수용홀(또는 수용홀의 단측폭)이 너무 커지게 된다. 또한, 가열부의 배치방향과 가열부의 삽입방향을 일치시키기 위해 가열부의 제1 면 또는 제2 면부터 삽입하게 되는 경우에는 가열부를 고정(또는 지지)시키기 위해 가열부가 삽입되는 부분을 좁게 하거나 수용홀(또는 수용홀의 장측폭)을 좁게 형성한다. 이로 인해, 좁은 공간으로 가열부를 삽입시키기 위해 가열부에 큰 응력이 가해지거나 가열부의 측면이 수용홀의 내부면에 밀착되어 가열부의 열팽창시에 응력이 생기게 된다.When the heating portion is inserted in a direction perpendicular to the surface of the receiving hole facing the heated object, the arrangement direction of the heating portion corresponding to the surface of the receiving hole facing the heated object intersects with the insertion direction of the heating portion, The applied stress becomes large or the receiving hole (or the short side width of the receiving hole) becomes too large in order to reduce the stress applied to the heating portion. When the first or second surface of the heating part is to be inserted from the first surface or the second surface in order to align the arrangement direction of the heating part with the insertion direction of the heating part, Or a long side width of the receiving hole). As a result, a large stress is applied to the heating portion for inserting the heating portion into the narrow space, or the side surface of the heating portion is brought into close contact with the inner surface of the receiving hole, so that stress is generated at the time of thermal expansion of the heating portion.

하지만, 본 발명에서와 같이, 삽입구(122)가 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면에 대해 수직인 방향과 상이한 방향으로 형성되어 가열부(111)가 상기 수직인 방향과 상이한 방향으로 삽입되는 경우에는 가열부(111)의 삽입방향이 가열부(111)의 배치방향과 가까워져서(또는 유사하여 져서) 가열부(111)에 가해지는 응력을 줄일 수 있다. 여기서, 가열부(111)의 응력을 효과적으로 줄이기 위해 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면에 대한 삽입구(122)의 기울기각은 0 내지 30°일 수 있다.However, as in the present invention, the insertion port 122 is formed in a direction different from the direction perpendicular to the surface of the receiving hole 121 facing the heated object, so that the heating portion 111 is moved in a direction different from the vertical direction The insertion direction of the heating part 111 becomes close to (or is similar to) the arrangement direction of the heating part 111, so that the stress applied to the heating part 111 can be reduced. Here, in order to effectively reduce the stress of the heating part 111, the inclination angle of the insertion opening 122 with respect to the surface of the receiving hole 121 facing the heated object may be 0 to 30 degrees.

상기 삽입구(122)의 기울기각이 0 내지 30°를 벗어나면, 삽입구(122)를 통과한 가열부(111)의 장측면이 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면을 향하게 되어 가열부(111)를 수용홀(121)에 수용시키기 위해 가열부(111)에 큰 응력이 가해지게 된다. 하지만, 상기 삽입구(122)의 기울기각이 0 내지 30°인 경우에는 삽입구(122)를 통과한 가열부(111)의 장측면이 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면을 향하지 않을 수 있어(또는 상기 수용홀의 단측면을 향할 수 있어) 가열부(111)에 큰 응력을 가해주지 않아도 자연스럽게 가열부(111)가 수용홀(121)에 수용될 수 있다. 또한, 자연스럽게 가열부(111)가 수용홀(121)에 수용될 수 있어 수용홀(121)의 단측폭(또는 면적)을 줄일 수 있다.When the inclination angle of the insertion port 122 is out of the range of 0 to 30 degrees, the long side of the heating part 111 passing through the insertion port 122 is directed to the surface of the accommodation hole 121 facing the heated object, A large stress is applied to the heating portion 111 in order to accommodate the heating portion 111 in the receiving hole 121. However, when the inclination angle of the insertion port 122 is 0 to 30 degrees, the long side of the heating part 111 passing through the insertion hole 122 may not face the surface of the accommodation hole 121 facing the heated object The heating part 111 can be accommodated in the receiving hole 121 naturally without applying a large stress to the heating part 111 (or can be directed to the short side of the receiving hole). Also, the heating portion 111 can be naturally accommodated in the receiving hole 121, and the width (or area) of the receiving hole 121 can be reduced.

한편, 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면(또는 장측면)에 삽입구(122)가 형성되는 경우에는 상기 삽입구(122)의 기울기각이 20 내지 30°일 수 있다. 상기 삽입구(122)의 기울기각이 30°보다 큰 경우에는 삽입구(122)를 통과한 가열부(111)의 장측면이 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면을 향하게 된다. 그리고 상기 삽입구(122)의 기울기각이 20°보다 작으면, 상기 삽입 경로가 길어져 가열부(111)의 단측 끝부분까지 안정적으로 삽입구(122)를 빠져나올 수 있는 수용홀(121)의 공간 확보가 어려워지고, 수용홀(121)의 면적(또는 장측폭)이 너무 커질 수 있으며, 상기 삽입구(122)의 기울기각이 0°와 같이 너무 작은 경우에는 가열부(111)가 수용홀(121)에 수용될 수 없게 된다.On the other hand, when the insertion hole 122 is formed in the surface (or the long side) of the receiving hole 121 facing the heated object, the inclination angle of the insertion hole 122 may be 20 to 30 degrees. When the inclination angle of the insertion port 122 is larger than 30 degrees, the long side of the heating portion 111 passing through the insertion port 122 faces the surface of the accommodation hole 121 facing the heated object. When the inclination angle of the insertion port 122 is less than 20 degrees, the insertion path becomes long and the space of the accommodation hole 121, which can stably escape from the insertion port 122 to the end portion of the end portion of the heating unit 111, The heating portion 111 may be inserted into the receiving hole 121 when the inclination angle of the insertion hole 122 is too small as 0 °, Lt; / RTI >

그리고 복수의 삽입구(122)는 일정 간격으로 형성될 수 있고, 수용홀(121)이 복수인 경우에는 각 수용홀(121)에 대응되어 삽입구(122)가 각각 형성될 수 있다. 또한, 복수의 삽입구(122)는 동일한 상기 삽입구(122)의 기울기각으로 형성될 수 있다.The plurality of insertion ports 122 may be formed at regular intervals. When the plurality of reception holes 121 are plural, the insertion holes 122 may be formed corresponding to the respective reception holes 121. In addition, the plurality of insertion ports 122 may be formed at the same inclination angle of the insertion port 122.

지지대(120)는 수용홀(121)의 내부면에 수용홀(121)의 내부로 돌출되어 형성되는 돌기부(123)를 포함할 수 있다. 돌기부(123)는 수용홀(121)의 내부면 중 적어도 어느 하나의 면에 형성될 수 있으며, 가열부(111)의 표면에 접촉되어 가열부(111)를 지지할 수 있다. 이때, 돌기부(123)는 가열부(111)에 응력을 가하지 않도록 가열부(111)의 표면에 압착(또는 밀착)되지 않고, 살짝 접촉만 되도록 할 수 있다. 여기서, 돌기부(123)는 절연성이면서 가열부(111)로부터 열을 빼앗지 않는 재질을 포함할 수 있고, 고온의 내부 공간에서 녹지(또는 용융되지) 않을 수 있다. 수용홀(121)의 내부면에 돌기부(123)가 형성되면, 수용홀(121)의 수평 단면(예를 들어, 상기 수용홀의 장측폭 또는 단측폭)이 가열부(111)의 단측 단면(예를 들어, 상기 가열부의 두께 또는 폭)보다 큰 경우에 가열부(111)를 안정적으로 지지할 수 있다. 또한, 돌기부(123)를 통해 오픈부(25)의 둘레를 따라 지지대(120)에 하나의 수용홀(121)이 형성되는 경우에도 복수의 가열부(111)가 각각의 위치에 고정(또는 지지)될 수 있다.The support base 120 may include a protrusion 123 protruding from the inner surface of the receiving hole 121 into the receiving hole 121. The protrusion 123 may be formed on at least one of the inner surfaces of the receiving hole 121 and may contact the surface of the heating part 111 to support the heating part 111. At this time, the protruding portion 123 may not be pressed (or tightly contacted) with the surface of the heating portion 111 so as not to apply stress to the heating portion 111, but may be slightly contacted. Here, the protruding portion 123 may include a material that is insulating and does not take heat from the heating portion 111, and may not be melted (or melted) in a high-temperature internal space. (For example, a long side width or a short side width of the accommodation hole) of the accommodation hole 121 is formed in the end surface of the heating portion 111 The heating portion 111 can be stably supported when it is larger than the thickness or the width of the heating portion. Even when one receiving hole 121 is formed in the support base 120 along the periphery of the open portion 25 through the protrusion 123, a plurality of heating portions 111 are fixed (or supported) ).

그리고 돌기부(123)는 하나로 이루어질 수도 있고, 복수개가 형성될 수도 있다. 여기서, 돌기부(123)가 하나로 이루어진 경우에는 돌기부(123)가 상하로 연장되어 형성되는 등 큰 하나의 몸체로 형성될 수 있다. 또한, 가열부(111)를 안정적으로 지지하면서도 가열부(111)에 가해지는 응력을 최소화하기 위해 가열부(111)와 접촉하는 면적을 줄일 수 있으면서 가열부(111)가 안정적으로 지지되는 돌기부(123)의 개수와 크기를 알맞게 정할 수 있다.The protrusions 123 may be formed as a single unit, or a plurality of protrusions 123 may be formed. Here, when the protrusion 123 is formed as a single unit, the protrusion 123 may be formed as a single body that is formed to extend vertically. In order to minimize stress applied to the heating part 111 while stably supporting the heating part 111, the area of contact with the heating part 111 can be reduced, and the protrusion part 123) can be appropriately determined.

한편, 돌기부(123)는 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면(또는 장측면)에 수용홀(121)의 내측으로 돌출되어 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 돌기부(123)가 수용홀(121)의 내부면 중 상기 수용홀(121)의 단측면에 형성되는 경우에는 돌기부(123)가 폭이 좁은 가열부(111)의 두께면에 접촉되어 가열부(111)를 지지해야 하기 때문에 안정적으로 가열부(111)를 지지할 수 없고, 시트(sheet) 형상의 가열부(111)인 경우에는 지지가 불가능할 수도 있다. 또한, 가열부(111)의 폭 방향은 열팽창이 심하므로, 돌기부(123)가 가열부(111)의 두께면에 접촉되어 가열부(111)를 지지하는 경우에는 돌기부(123)가 연성의 재질로 이루어진다 하더라도 가열부(111)의 열팽창에 의해 변형(또는 압축)될 수 있는 데에 한계가 있어 가열부(111)에 응력이 가해질 수 있다.The protrusion 123 may be formed to protrude inward of the receiving hole 121 on the surface of the receiving hole 121 facing the heated object. When the protruding portion 123 is formed on the side surface of the receiving hole 121 in the inner surface of the receiving hole 121, the protruding portion 123 is brought into contact with the thickness surface of the narrow heating portion 111, The heating unit 111 can not be stably supported because the heating unit 111 is required to support the heating unit 111. In the case of the heating unit 111 having a sheet shape, Since the thermal expansion of the heating portion 111 is severe, when the protrusion 123 contacts the thickness of the heating portion 111 to support the heating portion 111, the protrusion 123 is made of a soft material (Or compressed) due to the thermal expansion of the heating part 111 even though the heating part 111 is made of the same material as the heating part 111, stress can be applied to the heating part 111.

그러나 돌기부(123)가 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면에 수용홀(121)의 내측으로 돌출되어 형성되는 경우에는 돌기부(123)가 열팽창이 비교적 적은 가열부(111)의 제1 면과 제2 면에 접촉되어 지지할 수 있어 가열부(111)에 가해지는 응력을 줄일 수 있다. 돌기부(123)는 수용홀(121)의 상기 가열물을 향하는 면 중 적어도 어느 하나의 면에 형성될 수 있으며, 상기 상하방향 틈이 형성된 면과 대향하는 면에 돌기부(123)가 형성되는 경우에는 가열부(111)가 삽입구(122)를 통해 수용홀(121)에 삽입되면서 돌기부(123)에 걸리거나 간섭될 수 있으므로, 상기 상하방향 틈이 형성된 면에 돌기부(123)가 형성될 수 있다. 이때, 가열부(111)는 상기 제1 면과 상기 제2 면 중 어느 하나의 면이 돌기부(123)와 접촉하여 지지될 수 있고, 나머지 하나의 면은 상기 상하방향 틈이 형성된 면과 대향하는 면에 접촉되어 지지될 수 있다. 이에 따라 가열부(111)의 지지면이 충분히 확보되어 가열부(111)가 안정적으로 지지될 수 있다. 여기서, 돌기부(123)의 끝에서부터 상기 상하방향 틈이 형성된 면과 대향하는 면까지의 거리는 가열부(111)를 안정적으로 지지하면서 가열부(111)에 가해지는 압력(또는 응력)을 최소화하기 위해 가열부(111)의 두께와 동일할 수 있다.However, when the protrusion 123 is protruded to the inside of the receiving hole 121 on the surface of the receiving hole 121 facing the heated object, the protrusion 123 is formed in the first part of the heating part 111, So that the stress applied to the heating unit 111 can be reduced. The protrusion 123 may be formed on at least one surface of the receiving hole 121 facing the heated object. When the protrusion 123 is formed on a surface of the receiving hole 121 facing the surface on which the gap is formed, The heating portion 111 may be inserted or interfered with the protrusion 123 while being inserted into the receiving hole 121 through the insertion opening 122 so that the protrusion 123 may be formed on the surface having the vertical gap. At this time, any one of the first surface and the second surface of the heating unit 111 can be supported by being in contact with the protrusion 123, and the other surface is opposed to the surface formed with the vertical gap And can be supported in contact with the surface. Accordingly, the supporting surface of the heating part 111 is sufficiently secured, and the heating part 111 can be stably supported. The distance from the end of the protrusion 123 to the surface facing the gap with the up and down direction gap is set so as to minimize the pressure (or stress) applied to the heating portion 111 while stably supporting the heating portion 111 May be the same as the thickness of the heating section 111. [

그리고 돌기부(123)는 연성일 수 있다. 가열부(111)의 제1 면과 제2 면은 열팽창이 비교적 적지만, 열팽창이 전혀 없는 것은 아니므로, 약간의 열팽창이 발생하여도 가열부(111)에 응력이 가해지지 않을 수 있도록 돌기부(123)가 연성 재질로 이루어질 수 있다. 돌기부(123)가 연성 재질로 이루어지는 경우에는 가열부(111)의 제1 면과 제2 면의 비교적 적은 열팽창에 의해 가열부(111)에 가해지는 응력까지 억제(또는 차단)할 수 있다. 여기서, 가열부(111)의 제1 면과 제2 면이 열팽창하는 경우에는 돌기부(123)가 눌려(또는 압축되어) 가열부(111)에 가해지는 응력(또는 압력)을 상쇄(또는 감쇄)시킬 수 있다.The protrusion 123 may be flexible. Since the first and second surfaces of the heating portion 111 have relatively little thermal expansion, they do not have any thermal expansion. Therefore, even if a slight thermal expansion occurs, 123 may be made of a soft material. When the protruding portion 123 is made of a soft material, the stress applied to the heating portion 111 by the relatively small thermal expansion of the first surface and the second surface of the heating portion 111 can be suppressed (or blocked). Here, when the first surface and the second surface of the heating portion 111 are thermally expanded, the protrusion 123 is pressed (or compressed) to cancel (or attenuate) the stress (or pressure) applied to the heating portion 111, .

한편, 돌기부(123)의 형상은 반구형일 수 있으며, 돌기부(123)의 형상이 반구형인 경우에는 가열부(111)에 접촉되는 면적을 최소화할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 효과적인 가열부(111)의 지지와 가열부(111)에 가해지는 응력의 최소화를 위해 다양한 형상으로 돌기부(123)가 형성될 수 있다.On the other hand, the protrusion 123 may have a hemispherical shape, and when the protrusion 123 has a hemispherical shape, the area contacted to the heating portion 111 can be minimized. However, the present invention is not limited thereto, and protrusions 123 may be formed in various shapes in order to effectively support the heating portion 111 and minimize the stress applied to the heating portion 111.

본 발명에 따른 가열유닛(100)은 복수의 가열부(111) 간을 연결하는 연결부(112);를 더 포함할 수 있다. 연결부(112)는 복수의 가열부(111) 간을 연결할 수 있으며, 인접한 두 가열부(111) 사이(예를 들어, 상기 두께면이 인접한 두 상기 가열부의 사이)를 서로 연결할 수 있다. 이때, 연결부(112)는 가열부(111)의 면 중 가열부(111)의 둘레면에 연결될 수 있고, 가열부(111)의 둘레면 중 일단(또는 상단)의 단측면 또는 타단(또는 하단)의 단측면에 연결될 수 있으며, 가열부(111)와 동일한 판상일 수도 있고, 와이어 형태일 수도 있다. 여기서, 연결부(112)는 절곡된 형상일 수 있으며, “∪” 또는 “∩” 형상, “∨” 또는 “∧” 형상, “└┘” 또는 “┌┐” 형상, 오각 형상, 육각 형상을 포함할 수 있다. 복수의 가열부(111)는 연결부(112)를 통해 모두 연결되어 발열체(Heater, 110)를 이룰 수 있다. 그리고 연결부(112)는 복수의 가열부(111)가 일직선으로(또는 일렬로) 배치되도록 복수의 가열부(111)를 직선형으로 연결할 수도 있고, 복수의 가열부(111)가 둥글게 배치되도록 복수의 가열부(111)를 원형으로 연결할 수도 있으며, 복수의 가열부(111)가 삼각형, 사각형 등의 다각 형태를 이루도록 복수의 가열부(111)를 연결할 수도 있다. 이때, 연결부(112)는 상기 두께면이 서로 인접하도록 복수의 가열부(111) 간을 연결할 수 있다.The heating unit 100 according to the present invention may further include a connection part 112 connecting the plurality of heating parts 111. The connecting portion 112 can connect the plurality of heating portions 111 and can connect the adjacent two heating portions 111 (for example, between the two heating portions adjacent to each other in thickness). The connecting portion 112 may be connected to the circumferential surface of the heating portion 111 in the surface of the heating portion 111 and may be connected to the end surface or the other end And may be in the form of a plate similar to that of the heating unit 111, or may be in the form of a wire. Here, the connecting portion 112 may have a bent shape and may include a shape of "∪" or "∩", a shape of "∨" or "∧", a shape of "└┘" can do. The plurality of heating units 111 may be connected to each other through the connection unit 112 to form a heater 110. The connection portion 112 may connect the plurality of heating portions 111 in a straight line so that the plurality of heating portions 111 are arranged in a straight line (or in a line) The heating unit 111 may be connected in a circular shape or a plurality of heating units 111 may be connected to form a plurality of heating units 111 in a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle. At this time, the connection part 112 can connect the plurality of heating parts 111 so that the thickness surfaces are adjacent to each other.

본 발명에서는 지지대(120)에 복수의 삽입구(122)가 형성되는 경우, 각 가열부(111)를 각각의 삽입구(122)에 맞추고 발열체(110)를 일방향으로 이동시키거나 회전시키는 것만으로 복수의 가열부(111)를 수용홀(121)에 외부 손상 및 응력 없이 한 번에(또는 동시에) 삽입할 수 있다.In the present invention, when a plurality of insertion openings 122 are formed in the support base 120, by merely aligning the respective heating portions 111 with the respective insertion holes 122 and moving or rotating the heating body 110 in one direction, The heating portion 111 can be inserted into the receiving hole 121 at once (or simultaneously) without external damage and stress.

또한, 연결부(112)는 복수의 가열부(111)의 사이사이를 연결할 수 있고, 복수개일 수 있으며, 연결부(112)의 수는 가열부(111)의 수보다 하나가 적거나 가열부(111)의 수와 같을 수도 있고, 연결부(112)가 상기 일단의 단측면과 상기 타단의 단측면을 모두 연결하는 경우에는 연결부(112)의 수가 가열부(111)의 수의 2배가 되거나 가열부(111)의 수의 2배에서 하나 또는 2개가 적을 수도 있다.The number of the connection portions 112 is one less than the number of the heating portions 111 or the number of the connection portions 112 may be less than the number of the heating portions 111, The number of the connecting portions 112 may be twice the number of the heating portions 111 or may be equal to the number of the heating portions 111. In the case where the connection portion 112 connects both the one end side surface and the other end side surface, 111), the number may be one or two.

연결부(112)는 복수의 가열부(111)의 일단(즉, 상기 일단의 단측면)과 타단(즉, 상기 타단의 단측면)을 교번하여 연결할 수 있다. 즉, 어느 하나의 가열부(111)가 일측(예를 들어, 좌측)에 위치한 가열부(111)와는 상기 일단이 서로 연결되고, 타측(예를 들어, 우측)에 위치한 가열부(111)와는 상기 타단이 서로 연결될 수 있으며, 이러한 방식으로 복수의 연결부(112)가 복수의 가열부(111)의 일단과 타단을 교번하여 연결할 수 있다. 따라서, 연결부(112)를 통해 복수의 가열부(111) 간을 연결하여 발열체(110)를 지그재그 구조로 구성할 수 있다. 이러한 경우, 연결부(112)가 서로 겹치지 않으면서 연결부(112)의 수를 최소화할 수 있고, 연결부(112)에서도 발열할 수 있도록 구성하는 경우에는 연결부(112)의 수가 최소화되면서도 상기 일단과 상기 타단에 연결부(112)가 고르게 배치되어 상기 일단의 가열 영역과 상기 타단의 가열 영역의 온도 편차를 최소화할 수 있다.The connecting portion 112 may alternately connect one end (i.e., the end surface of the one end) of the plurality of heating units 111 with the other end (i.e., the end surface of the other end). That is, one end of the heating section 111 is connected to the heating section 111 located at one side (for example, the left side) and the heating section 111 at the other side (for example, the right side) The other ends may be connected to each other. In this manner, the plurality of connection portions 112 can alternately connect one end and the other end of the plurality of heating portions 111. Accordingly, the plurality of heating units 111 are connected to each other through the connection unit 112, so that the heating elements 110 can be configured in a zigzag structure. In this case, the number of the connection portions 112 can be minimized without overlapping the connection portions 112, and the number of the connection portions 112 can be minimized when heat is generated in the connection portion 112, The temperature difference between the heating region at the one end and the heating region at the other end can be minimized.

발열체(110)는 복수의 가열부(111)와 연결부(112)를 포함할 수 있고, 복수의 가열부(111)에 열원(예를 들어, 전기 등)을 공급하는 열원공급부(113)를 더 포함할 수 있다. 열원공급부(113)는 복수의 가열부(111)에 열원을 공급할 수 있으며, 복수의 가열부(111)가 전열선 등의 전열 방식인 경우에는 전기(또는 전류)를 공급할 수 있고, 전원공급부일 수 있다. 열원공급부(113)를 각각의 가열부(111)에 모두 연결할 수도 있지만, 연결부(112)를 이용하여 복수의 가열부(111)를 연결하는 경우에는 연결부(112)를 통해 상기 열원이 복수의 가열부(111) 간에 전달될 수 있도록 구성함으로써, 하나의 가열부(111)에만 열원공급부(113)를 연결하여 상기 열원을 공급할 수도 있다. 예를 들어, 복수의 가열부(111)와 연결부(112)를 포함하는 발열체(110)가 전열선인 경우에는 어느 하나의 가열부(111)에 전류가 공급되어 연결부(112)를 통해 어느 하나의 가열부(111)의 일측에 위치한 가열부(111)부터 일측 방향으로 전류가 모든 가열부(111)에 전달된 후에 마지막으로 전류가 전달된 가열부(111)에서 전류가 빠져나갈 수 있다. 이때, 복수의 가열부(111)가 원형 등으로 연결되어 어느 하나의 가열부(111)의 타측에 위치한 가열부(111)에 마지막으로 전류가 전달되는 경우에는 어느 하나의 가열부(111)의 타측에 위치한 가열부(111)에서 전류가 빠져나갈 수 있고, 어느 하나의 가열부(111)는 어느 하나의 가열부(111)의 타측에 위치한 가열부(111)와는 연결되지 않을 수 있다.The heating element 110 may include a plurality of heating portions 111 and a connection portion 112 and may further include a heat source supply portion 113 for supplying a plurality of heating portions 111 with a heat source . The heat source supply unit 113 can supply a heat source to the plurality of heating units 111. When the plurality of heating units 111 is an electric heating system such as a heating line, it can supply electricity (or current) have. The heat source supply unit 113 may be connected to each of the heating units 111. When the plurality of heating units 111 are connected using the connection unit 112, The heat source supply unit 113 may be connected to only one heating unit 111 to supply the heat source. For example, when a heating element 110 including a plurality of heating elements 111 and a connection element 112 is an electric heating element, a current is supplied to any one of the heating elements 111, A current can be discharged from the heating unit 111 in which the current is finally transmitted after the current is transmitted to all the heating units 111 from the heating unit 111 located at one side of the heating unit 111. In this case, when a plurality of heating units 111 are connected to each other by a circle so that a current is finally delivered to the heating unit 111 located at the other side of one heating unit 111, The current can be discharged from the heating unit 111 located on the other side and any one heating unit 111 may not be connected to the heating unit 111 located on the other side of any one heating unit 111.

그러나 복수의 가열부(111), 연결부(112) 및 열원공급부(113)를 포함하는 발열체(110)의 구성은 이에 한정되지 않고, 다양하게 구성될 수 있다.However, the configuration of the heating element 110 including the plurality of heating portions 111, the connecting portion 112, and the heat source supplying portion 113 is not limited to this, and may be variously configured.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 지지대와 발열체의 조립을 설명하기 위한 개념도로, 도 3(a)는 지지대의 내측과 수용홀의 사이에 삽입구가 형성된 지지대이고, 도 3(b)는 지지대의 외측과 수용홀의 사이에 삽입구가 형성된 지지대이다.FIG. 3 is a conceptual view for explaining assembly of a support and a heating element according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 (a) is a support stand having an insertion port formed between the inside of the support and the accommodation hole, And an insertion hole is formed between the outer side of the receiving hole and the receiving hole.

도 3을 참조하면, 도 3(a)와 같이 복수의 가열부(111)가 지지대(120) 내측의 오픈부(25)에 위치하도록 복수의 가열부(111)와 연결부(112)로 이루어진 발열체(110)를 배치하고, 발열체(110)를 일방향으로 회전시켜 복수의 가열부(111)를 복수의 삽입구(122)에 삽입함으로써 복수의 가열부(111)가 복수의 수용홀(121)에 수용되도록 할 수 있다. 이를 통해 간단하게 발열체(110)와 지지대(120)를 조립할 수 있다. 그리고 발열체(110)를 반대방향으로 회전시켜 복수의 가열부(111)가 복수의 삽입구(122)를 통해 복수의 수용홀(121)에서 빠져나오도록 함으로써 간단하게 발열체(110)와 지지대(120)를 분리할 수도 있다. 여기서, 발열체 지그(미도시)를 통해 발열체(110)를 회전시킬 수 있고, 각각의 가열부(111)에 연결되거나 접촉되는 복수의 가열부 지그(미도시)를 통해 가열부(111)의 각도를 조정하여 복수의 가열부(111)가 복수의 삽입구(122)에 잘 삽입되도록 유도(또는 가이드)할 수 있다. 이때, 발열체 지그(미도시)의 정지 상태에서는 가열부 지그(미도시)가 가열부(111)의 각도를 고정하고, 발열체 지그(미도시)가 발열체(111)를 회전시키는 동작 상태에서는 가열부(111)의 각도가 자연스럽게 조절되도록 가열부 지그(미도시)가 가열부(111)의 각도를 풀어줄 수 있다. 따라서, 본 발명의 가열유닛(100)은 발열체 지그(미도시) 및/또는 복수의 가열부 지그(미도시)를 이용하여 조립될 수 있다.3, a plurality of heating units 111 are disposed at openings 25 inside the support base 120 as shown in FIG. 3 (a). The heating units 111 include a plurality of heating units 111 and connection units 112, A plurality of heating parts 111 are inserted into the plurality of receiving holes 121 by inserting a plurality of heating parts 111 into the plurality of insertion holes 122 by rotating the heating element 110 in one direction, . Thus, the heating element 110 and the support 120 can be simply assembled. The plurality of heating portions 111 are rotated in opposite directions by rotating the heating body 110 so that the plurality of heating portions 111 come out of the plurality of receiving holes 121 through the plurality of insertion holes 122, . Here, the heating element 110 can be rotated through a heating body jig (not shown), and the angle of the heating part 111 through the plurality of heating part jigs (not shown) connected to or in contact with the respective heating parts 111 So that the plurality of heating units 111 can be guided (or guided) to be inserted into the plurality of insertion ports 122. At this time, in the stopped state of the heating body jig (not shown), the heating unit jig (not shown) fixes the angle of the heating unit 111, and when the heating body jig (not shown) rotates the heating body 111, A heating unit jig (not shown) can release the angle of the heating unit 111 so that the angle of the heating unit 111 is naturally adjusted. Therefore, the heating unit 100 of the present invention can be assembled using a heating body jig (not shown) and / or a plurality of heating part jigs (not shown).

발열체 지그(미도시)는 발열체(110)에 전체적으로 연결되어 발열체(110)를 회전시킬 수 있다. 이에 따라 간단하게 발열체(110)와 지지대(120)를 조립 및 분리할 수 있다.The heating body jig (not shown) is entirely connected to the heating body 110 to rotate the heating body 110. Accordingly, the heating element 110 and the support base 120 can be easily assembled and separated.

가열부 지그(미도시)는 각각의 가열부(111)에 연결 또는 접촉되어 가열부(111)의 각도를 개별적으로 조정할 수 있다. 이에 따라 발열체(110)의 회전시에 가열부(111)가 삽입구(122)에 잘 삽입되도록 유도할 수 있다. 여기서, 가열부(111)는 소정의 탄성을 가져 가열부(111)의 각도를 소정 범위 내에서 조절하면 가열부(111)의 손상이나 변형을 방지할 수 있다. 또한, 상기 가열부 지그(미도시)는 가열부(111)를 수용홀(121)로부터 제거하는 경우에도 가열부(111)의 각도를 조정하여 가열부(111)가 삽입구(122)에 잘 삽입되도록 유도함으로써, 가열부(111)가 삽입구(122)를 통과하여 잘 빠져나오도록 할 수 있다. 그리고 상기 가열부 지그(미도시)는 가열부(111)에서 탈착되는 가열유닛(100) 이외의 구성일 수도 있고, 지지대(120)에 설치되는 가열유닛(100)의 일부 구성일 수도 있다. 상기 가열부 지그(미도시)가 지지대(120)에 설치되는 경우에는 삽입구(122)가 형성된 지지대(120)의 내측면 또는 외측면과 삽입구(122)가 형성된 수용홀(121)의 내부면 및/또는 삽입구(122)가 형성된 수용홀(121) 내부면의 대향면에 설치될 수 있다. 예를 들어, 삽입구(122)가 형성된 지지대(120)의 내측면 또는 외측면에는 삽입구(122)의 옆(즉, 상기 삽입구에 삽입하기 위해 상기 가열부가 배치되는 위치)에 상기 가열부 지그(미도시)를 설치함으로써, 상기 가열부의 일측(또는 좌측) 또는 타측(또는 우측)을 잡아당기거나 밀어서 가열부(111)의 장측면이 삽입구(122)를 향하게 할 수 있으며, 삽입구(122)가 형성된 수용홀(121)의 내부면에는 수용홀(121)에 수용된 가열부(111)의 폭 끝부분을 잡아당겨 가열부(111)의 폭 끝부분이 삽입구(122)를 향하게 할 수 있도록 상기 가열부 지그(미도시)를 설치할 수 있고, 삽입구(122)가 형성된 수용홀(121) 내부면의 대향면에는 수용홀(121)에 수용된 가열부(111)의 폭 끝부분을 밀어 가열부(111)의 폭 끝부분이 삽입구(122)를 향하게 할 수 있도록 상기 가열부 지그(미도시)를 설치할 수 있다.The heating unit jig (not shown) may be connected to or contact with each heating unit 111 to adjust the angle of the heating unit 111 individually. Accordingly, the heating unit 111 can be guided to be inserted into the insertion port 122 when the heating body 110 rotates. Here, the heating unit 111 has a predetermined elasticity, and if the angle of the heating unit 111 is adjusted within a predetermined range, damage or deformation of the heating unit 111 can be prevented. Even when the heating unit 111 is removed from the receiving hole 121, the heating unit jig (not shown) adjusts the angle of the heating unit 111 so that the heating unit 111 is inserted So that the heating portion 111 is allowed to pass through the insertion opening 122 and to be easily released. The heating unit jig (not shown) may have a structure other than the heating unit 100 that is detached from the heating unit 111 or a part of the heating unit 100 installed on the supporting base 120. When the heating unit jig (not shown) is installed on the support base 120, the inner surface or the outer surface of the support base 120 formed with the insertion hole 122, the inner surface of the receiving hole 121 formed with the insertion hole 122, Or the inner surface of the receiving hole 121 in which the insertion port 122 is formed. For example, on the inner side or outer side of the support base 120 on which the insertion port 122 is formed, the heating unit jig (not shown) is provided on the side of the insertion port 122 (i.e., the position where the heating unit is inserted to be inserted into the insertion port) (Or left side) or the other side (or the right side) of the heating part can be pulled or pushed so that the long side of the heating part 111 faces the insertion opening 122. When the insertion opening 122 is formed The widthwise end portion of the heating portion 111 accommodated in the receiving hole 121 is pulled on the inner surface of the receiving hole 121 so that the wide end portion of the heating portion 111 can be directed toward the insertion port 122, And the width of the heating part 111 accommodated in the receiving hole 121 is pushed against the inner surface of the receiving hole 121 in which the insertion hole 122 is formed, (Not shown) can be installed so that the width end portion of the heating unit jig The.

한편, 도 3(b)와 같이 삽입구(122)가 지지대(120)의 외측과 수용홀(121)의 사이에 형성된 경우에는 복수의 가열부(111)가 지지대(120)의 외측에 위치하도록 복수의 가열부(111)와 연결부(112)로 이루어진 발열체(110)를 배치하고, 발열체(110)를 일방향으로 회전시켜 복수의 가열부(111)를 복수의 삽입구(122)에 삽입함으로써 복수의 가열부(111)가 복수의 수용홀(121)에 수용되도록 할 수 있다. 또한, 발열체(110)를 반대방향으로 회전시켜 복수의 가열부(111)가 복수의 삽입구(122)를 통해 복수의 수용홀(121)에서 빠져나오도록 함으로써 발열체(110)와 지지대(120)를 분리할 수도 있다.3 (b), when the insertion port 122 is formed between the outer side of the support base 120 and the receiving hole 121, a plurality of heating units 111 are arranged on the outer side of the support base 120 A plurality of heating parts 111 are inserted into the plurality of insertion holes 122 by rotating the heating element 110 in one direction so that a plurality of heating parts 111 So that the portion 111 can be received in the plurality of receiving holes 121. The heating element 110 is rotated in the opposite direction so that a plurality of heating portions 111 are allowed to come out of the plurality of receiving holes 121 through the plurality of insertion ports 122, It may be separated.

도 4는 본 발명의 변형예에 따른 지지대와 발열체의 조립을 설명하기 위한 개념도이다.4 is a conceptual diagram for explaining assembly of a heating element and a support according to a modified example of the present invention.

도 4를 참조하면, 지지대(120)는 일측면(또는 내측면) 또는 타측면(또는 외측면)에 형성된 돌출부(124)를 포함할 수 있고, 돌출부(124)는 복수개가 서로 이격 배치되어 일측면 또는 타측면에 요철구조를 형성할 수 있다. 수용홀(121)은 상기 요철구조 중 일측(또는 내측) 또는 타측(또는 외측)으로 돌출부(124)에 형성될 수 있으며, 삽입구(122)는 돌출부(124)의 측면에 형성될 수 있다. 이러한 경우, 삽입구(122)를 수용홀(121)의 장측에서 연장되는 방향으로 형성할 수 있으며, 이에 따라 가열부(111)에 가해지는 외부 응력 없이 안정적으로 가열부(111)가 삽입구(122)를 통해 수용홀(121)에 삽입(또는 수용)될 수 있다. 또한, 가열부(111)가 삽입구(122)에 잘 삽입되도록 가열부(111)의 각도를 조정할 필요가 없어서 상기 가열부 지그(미도시)를 사용하지 않을 수 있고, 가열유닛(100)의 구성이 간단해질 수 있다.4, the support 120 may include a protrusion 124 formed on one side (or inner side) or the other side (or outer side), and the protrusion 124 may be a plurality of spaced- The concavo-convex structure can be formed on the side surface or the other side surface. The receiving hole 121 may be formed in the protruding portion 124 at one side (or inside) or the other side (or outside) of the concavo-convex structure, and the insertion port 122 may be formed at the side of the protruding portion 124. In this case, the insertion port 122 can be formed in a direction extending from the long side of the receiving hole 121, so that the heating part 111 can be stably inserted into the insertion hole 122 without external stress applied to the heating part 111, (Or accommodated) into the receiving hole 121 through the through hole 121. It is not necessary to adjust the angle of the heating part 111 so that the heating part 111 is inserted into the insertion port 122 well so that the heating part jig may not be used and the configuration of the heating unit 100 This can be simplified.

돌출부(124)의 간격은 가열부(111)의 폭 이상일 수 있다. 즉, 돌출부(124)의 간격은 가열부(111)의 폭과 같을 수 있고, 가열부(111)의 폭보다 클 수 있다. 이에 따라 가열부(111)가 돌출부(124)의 사이에 안정적으로 위치할 수 있으므로, 가열부(111)가 삽입구(122)에 대응되어 배치될 때에 가열부(111)에 가해지는 외부 응력 없이 안정적으로 배치될 수 있다. 또한, 가열부(111)가 수용홀(121)에서 빠져나올 때에도 가열부(111)가 안정적으로 빠져나올 수 있는 충분한 공간을 확보할 수 있다.The distance between the projecting portions 124 may be equal to or greater than the width of the heating portion 111. That is, the distance between the protruding portions 124 may be equal to the width of the heating portion 111, and may be larger than the width of the heating portion 111. The heating section 111 can be stably positioned between the protrusions 124 so that the heating section 111 can be stably positioned without the external stress applied to the heating section 111 when the heating section 111 is disposed corresponding to the insertion port 122. [ As shown in FIG. Further, even when the heating portion 111 comes out of the receiving hole 121, it is possible to secure a sufficient space for allowing the heating portion 111 to escape stably.

한편, 돌출부(124)의 간격이 가열부(111)의 폭과 너무 똑같으면, 가열부(111)를 돌출부(124)의 사이에 배치할 때에 불편함이 있을 수 있고, 돌출부(124)의 간격이 너무 넓으면, 가열부(111)의 배치 면적(즉, 가열 면적)이 줄어들 수 있으므로, 돌출부(124)의 간격이 알맞게 정해질 수 있다.On the other hand, if the distance between the protruding portions 124 is equal to the width of the heating portion 111, it may be inconvenient when the heating portion 111 is arranged between the protruding portions 124, (That is, the heating area) of the heating portion 111 can be reduced, the spacing of the projecting portions 124 can be appropriately determined.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착원을 나타낸 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating an evaporation source according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착원을 보다 상세히 살펴보는데, 본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛과 관련하여 앞서 설명된 부분과 중복되는 사항들은 생략하도록 한다.Referring to FIG. 5, the evaporation source according to another embodiment of the present invention will be described in detail. However, the elements overlapping with those described above in connection with the heating unit according to the embodiment of the present invention will be omitted.

본 발명의 다른 실시예에 따른 증착원(200)은 일면에 개구면이 형성되는 도가니(210); 상기 도가니(210)의 주위에 배치되는 본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛(100); 및 상기 개구면에 제공되는 분사 노즐(220);을 포함할 수 있다.The evaporation source 200 according to another embodiment of the present invention includes a crucible 210 having an opening on one side thereof; A heating unit 100 according to an embodiment of the present invention disposed around the crucible 210; And an injection nozzle 220 provided on the opening surface.

도가니(210)는 일면에 개구면이 형성될 수 있고, 지지대(120)가 고리 형상인 경우에는 지지대(120)의 오픈부(25)에 삽입되어 수용될 수도 있다. 도가니(210)는 증착 물질을 수용할 수 있고, 상기 개구면을 통해 상기 증착 물질이 출입할 수 있다. 그리고 도가니(210)는 증착 물질의 효과적인 가열을 위해서 열전도도가 우수한 금속 재료(예를 들어, 탄탈(Ta) 등)로 형성될 수도 있고, 금속 물질을 포함하는 복합 재료로 형성될 수도 있다.The crucible 210 may have an open surface on one side and may be inserted and accommodated in the open portion 25 of the support base 120 when the support base 120 is annular. The crucible 210 can receive a deposition material, and the deposition material can enter and exit through the opening surface. The crucible 210 may be formed of a metal material having excellent thermal conductivity (for example, tantalum (Ta) or the like) for effective heating of the evaporation material, or may be formed of a composite material containing a metal material.

한편, 도가니(210)는 외측 용기(211)와 내측 용기(212)로 구성될 수 있다. 외측 용기(211)는 금속 재료 또는 금속 물질을 포함하는 복합 재료로 형성될 수 있다. 내측 용기(212)는 상기 증착 물질과의 반응성이 낮은 재료(예를 들어, PBN, 흑연 등)로 이루어질 수 있고, 외측 용기(211)의 내부에 수용되어 이중구조의 도가니(210)를 형성할 수 있다. 여기서, 내측 용기(212)는 1 내지 5 ㎜ 정도의 두께로 형성될 수 있다. 이때, 내측 용기(212)의 열전도도가 외측 용기(211)의 열전도도보다 낮을 수 있으므로, 두께를 5 ㎜ 이하로 하면 상기 증착 물질로 전달되는 열전도량을 보다 증가시킬 수 있다. 내측 용기(212)는 외측 용기(211)의 내부에 위치하기 때문에 안정적으로 지지될 수 있으므로, 열전도를 좋게 하기 위해 상기 증착 물질과의 화학적 안정성을 유지하는 범위 내에서 두께를 최대한 얇게 할 수 있다. 상기 증착 물질의 효과적인 가열을 위해서는 열전도도가 우수한 금속 재료로 형성된 도가니(210)를 사용하는 것이 좋지만, 금속 재료는 증착 물질(특히, 금속 물질)과의 반응성이 높아 도가니(210)의 내부에서 도가니(210)의 내측 표면과 상기 증착 물질의 화학 반응이 발생함으로써, 증착 박막의 순도를 떨어뜨릴 수 있다.Meanwhile, the crucible 210 may include an outer container 211 and an inner container 212. The outer container 211 may be formed of a metal material or a composite material containing a metal material. The inner container 212 may be made of a material having a low reactivity with the deposition material (for example, PBN, graphite or the like) and may be accommodated in the outer container 211 to form a crucible 210 having a dual structure . Here, the inner container 212 may have a thickness of about 1 to 5 mm. At this time, since the thermal conductivity of the inner container 212 may be lower than the thermal conductivity of the outer container 211, if the thickness is 5 mm or less, the amount of heat transferred to the deposition material can be further increased. Since the inner container 212 is located inside the outer container 211, it can be stably supported. Therefore, in order to improve the thermal conductivity, the thickness of the inner container 212 can be minimized within a range of maintaining the chemical stability with the deposition material. In order to effectively heat the deposition material, it is preferable to use a crucible 210 formed of a metal material having excellent thermal conductivity. However, since the metal material has high reactivity with a deposition material (in particular, a metal material) The chemical reaction of the deposition material with the inner surface of the substrate 210 may occur, thereby lowering the purity of the deposited thin film.

가열유닛(100)은 도가니(210)의 주위에 배치될 수 있으며, 도가니(210)의 둘레를 둘러쌀 수 있다. 그리고 가열유닛(100)은 본 발명의 일실시예에 따른 가열유닛(100)일 수 있으며, 복수의 가열부(111)와 지지대(120)를 포함할 수 있고, 복수의 가열부(111)와 지지대(120)의 조립체일 수 있다. 또한, 복수의 가열부(111)는 연결부(112)에 의해 연결되어 발열체(110)를 이룰 수 있다.The heating unit 100 may be disposed around the crucible 210 and may surround the crucible 210. The heating unit 100 may be a heating unit 100 according to an embodiment of the present invention and may include a plurality of heating units 111 and a support base 120 and may include a plurality of heating units 111, May be an assembly of the support 120. The plurality of heating units 111 may be connected by the connection unit 112 to form the heating elements 110.

분사 노즐(220)은 도가니(210)의 개구면에 형성될 수 있으며, 도가니(210)의 개구면 상에 제공되어 상기 증착 물질을 기판 상에 분사할 수 있다. 분사 노즐(220)은 상기 증착 물질이 입자로 증발되지 않은 클러스터(cluster) 형태의 증착 물질이 튀는 것을 방지하는 튐 방지막(미도시)을 포함할 수도 있다. 또한, 분사 노즐(220)은 개구된 형태에 따라 상기 증착 물질이 분사되는 형태를 조절할 수 있고, 도가니(210) 내의 증착 물질의 균일한 증발이 가능하도록 제어할 수 있다. 한편, 분사 노즐(220)은 탄탈(Ta)과 같은 열전도도가 우수한 금속 재료로 이루어질 수 있으며, 이러한 경우에는 분사 노즐(220)에 별도의 가열 장치를 설치하지 않더라도 분사 노즐(220)을 통하여 분사되는 증착 물질 입자의 응축을 방지할 수 있다.The injection nozzle 220 may be formed on the opening surface of the crucible 210 and may be provided on the opening surface of the crucible 210 to spray the deposition material onto the substrate. The injection nozzle 220 may include an anti-abacking film (not shown) for preventing the deposition material in the form of a cluster in which the evaporation material has not evaporated to particles from splashing. In addition, the injection nozzle 220 can control the injection form of the evaporation material according to the opened form, and can control the uniform evaporation of the evaporation material in the crucible 210. The injection nozzle 220 may be made of a metal material having excellent thermal conductivity such as tantalum. In this case, even if a separate heating device is not installed in the injection nozzle 220, It is possible to prevent condensation of the deposited material particles.

그리고 가열유닛(100)은 도가니(210)의 둘레에 제공되어 도가니(210)를 가열할 수 있으며, 도가니(210) 내의 상기 증착 물질이 증발할 수 있도록 열을 제공할 수 있다.The heating unit 100 may be provided around the crucible 210 to heat the crucible 210 and provide heat to evaporate the deposition material in the crucible 210.

본 발명의 증착원(200)은 가열유닛(100)의 외측에서 가열유닛(100)으로부터의 열을 도가니(210)로 반사하는 열반사판(230)을 더 포함할 수 있다. 열반사판(230)은 가열유닛(100)의 외측에서 가열유닛(100)으로부터의 열(또는 복사열)을 도가니(210)로 반사할 수 있다. 열반사판(230)은 그 내부면에 거울면(또는 반사면)이 형성되어 가열유닛(100)으로부터의 복사열을 도가니(210)로 반사시킬 수 있을 뿐만 아니라 가열유닛(100)으로부터 열반사판(230) 쪽으로 방출되는 대류열을 차단할 수도 있다. 이에 따라 가열유닛(100)에서 외측으로 방출되는 열을 1차적으로 감소시킬 수 있다. 일반적으로, 금속 또는 무기 물질 등의 증착 물질을 가열하기 위해서는 고온의 열이 요구되므로, 열반사판(230)으로 가열유닛(100)으로부터의 열을 도가니(210)로 반사하여 도가니(210)의 온도를 고온으로 유지시킬 수 있다. 그리고 열반사판(230)은 거울면을 형성하는데에 용이하도록 금속 재료(예를 들어, 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W) 등)로 이루어질 수 있다.The evaporation source 200 of the present invention may further include a heat reflector 230 for reflecting the heat from the heating unit 100 to the crucible 210 outside the heating unit 100. The heat reflecting plate 230 can reflect heat (or radiant heat) from the heating unit 100 to the crucible 210 outside the heating unit 100. The heat reflecting plate 230 may have a mirror surface (or a reflecting surface) formed on the inner surface thereof so as to reflect radiant heat from the heating unit 100 to the crucible 210 as well as to reflect heat from the heating unit 100 to the heat reflecting plate 230 To prevent the convection heat emitted to the outside. Accordingly, the heat radiated outwardly from the heating unit 100 can be primarily reduced. The heat from the heating unit 100 is reflected by the heat reflecting plate 230 to the crucible 210 so that the temperature of the crucible 210 Can be maintained at a high temperature. The heat reflecting plate 230 may be made of a metal material (for example, molybdenum (Mo), tungsten (W), or the like) to facilitate the formation of the mirror surface.

또한, 본 발명의 증착원(200)은 열반사판(230)에 지지대(120)를 고정시키는 체결부재(240)를 더 포함할 수 있다. 체결부재(240)는 열반사판(230)에 지지대(120)를 고정시킬 수 있다. 지지대(120)는 가열부(111)가 체결되어 가열부(111)의 유동을 방지하거나 가열부(111)가 기울어지는 것을 방지할 수 있으나, 지지대(120)만으로는 가열부(111) 또는 발열체(110)를 소정 높이에 고정시킬 수 없다. 발열체(110)가 전기적인 영향을 받지 않는 물체이면 지지대(120)에 조립된 발열체(110)를 증착원(200)의 내부에 수용하여 증착원(200)의 여타 구성 요소가 형성하는 하부 받침에 접촉되어 지지되도록 하면 되지만, 발열체(110)가 전기적인 영향을 받는 물체라면 상기 하부 받침에서 이격시켜 발열체(110)를 소정 높이에 고정시켜야 하며, 발열체(110)를 상부 발열체(110), 하부 발열체(110) 등의 복수로 구성하는 경우에는 복수의 발열체(110) 간도 이격시켜 고정시켜야 한다. 체결부재(240)는 지지대(120)와 체결(또는 결합)되고 열반사판(230)에 결합(또는 지지)되어 지지대(120)를 열반사판(230)에 고정시킴으로써, 발열체(110)를 소정 높이에 고정시킬 수 있다. 한편, 체결부재(240)는 발열체(110)와 직접 접촉되지 않기 때문에 금속 재료(예를 들어, 몰리브덴, 텅스텐 등)로 형성될 수 있고, 체결부재(240)의 삽입을 위해 열반사판(230)이 없어진 영역에서 열반사판(230)의 기능을 대신할 수도 있다.The evaporation source 200 of the present invention may further include a fastening member 240 for fastening the support 120 to the heat reflector 230. The fastening member 240 can fix the support base 120 to the heat reflector 230. The support base 120 can prevent the heating unit 111 from flowing or prevent the heating unit 111 from tilting or tilting the heating unit 111. The support base 120 can be heated only by the heating unit 111 or the heating element 111 110 can not be fixed at a predetermined height. If the heating body 110 is an object that is not electrically affected, the heating body 110 assembled to the supporting base 120 is accommodated in the inside of the evaporation source 200, and the heating body 110 is accommodated in the lower base formed by other components of the evaporation source 200 It is necessary to fix the heating element 110 at a predetermined height by separating the heating element 110 from the lower supporting part if the heating element 110 is an object to be electrically influenced. The heating element 110 may be fixed to the upper heating element 110, (110) or the like, the plurality of heating elements (110) must be spaced apart from each other and fixed. The coupling member 240 is coupled to the support 120 and is coupled to or supported by the thermal reflector 230 to fix the support 120 to the thermal reflector 230, . The fastening member 240 may be formed of a metallic material such as molybdenum or tungsten because the fastening member 240 does not directly contact the heating element 110. The fastening member 240 may be formed of a metal such as molybdenum, The function of the thermal reflector 230 may be substituted for the missing region.

그리고 본 발명의 증착원(200)은 열반사판(230)에 지지될 수 있고, 도가니(210)의 개구면 외측둘레 부분을 지지하는 절연 지지부재(250)를 더 포함할 수 있다. 절연 지지부재(250)는 열반사판(230)에 지지될 수 있고, 도가니(210)의 개구면 외측둘레 부분을 지지할 수 있으며, 절연성 재료(예를 들어, PBN 등)로 이루어질 수 있다. 종래에는 도가니(210)의 개구면 외측둘레 부분이 열전도도가 높은 금속 재료로 이루어진 열반사판(230)에 직접 지지되어 열반사판(230)에 의한 열전도로 인해 도가니(210)의 개구면 외측둘레 부분의 열을 빼앗김으로써, 도가니(210)의 개구면 주위 온도가 낮아져 도가니(210)의 개구면 주위에 증착 물질 입자의 응축이 발생하게 되고, 이에 따라 분사 노즐(220)의 막힘이 발생하였다. 하지만, 절연 지지부재(250)를 통해 도가니(210)의 개구면 외측둘레 부분과 열반사판(230)의 직접 접촉을 방지할 수 있으므로, 도가니(210)의 개구면 외측둘레 부분이 빼앗기는 열전도량을 줄여 도가니(210)의 개구면 주위 온도의 하락을 억제할 수 있으며, 절연 지지부재(250)가 전기절연성일 뿐만 아니라 열절연성인 재료(예를 들어, PBN 등)로 형성되는 경우에는 도가니(210)의 개구면 외측둘레 부분으로부터의 열전도를 차단하여 도가니(210)의 개구면 주위 온도의 하락을 방지할 수 있고, 도가니(210)의 개구면 주위 온도를 고온으로 유지할 수 있다. 또한, 절연 지지부재(250)는 전기절연성 재료이기 때문에 발열체(110)의 열팽창에 의해 발열체(110)와 절연 지지부재(250)가 접촉하여도 스파크가 발생하지 않으므로, 발열체(110)를 최대한 도가니(210)의 개구면 외측둘레 부분에 가까이 배치할 수 있어 도가니(210)의 개구면 주위 온도를 가장 높게 운용할 수 있고, 도가니(210)의 개구면 주위 온도 하락으로 인한 증착 물질 입자의 응축을 억제 또는 방지할 수 있으며, 이에 따른 분사 노즐(220)의 막힘도 방지할 수 있다.The evaporation source 200 of the present invention may further include an insulating supporting member 250 which can be supported by the heat reflecting plate 230 and supports an outer peripheral portion of the opening of the crucible 210. The insulating supporting member 250 may be supported by the heat reflecting plate 230 and may support the opening peripheral portion of the crucible 210 and may be formed of an insulating material such as PBN or the like. The outer peripheral portion of the opening of the crucible 210 is directly supported on the heat reflecting plate 230 made of a metal material having a high thermal conductivity so that the outer peripheral portion of the opening of the crucible 210 due to heat conduction by the heat reflecting plate 230 The temperature around the opening surface of the crucible 210 is lowered so that condensation of the deposition material particles occurs around the opening surface of the crucible 210 and consequently clogging of the injection nozzle 220 occurs. However, since the outer peripheral portion of the opening surface of the crucible 210 can be prevented from being in direct contact with the heat reflecting plate 230 through the insulating supporting member 250, the amount of heat transferred from the outer peripheral portion of the opening surface of the crucible 210 The temperature of the opening surface of the crucible 210 can be prevented from being lowered and when the insulating support member 250 is formed of a material such as PBN or the like that is not only electrically insulative but also heat insulating, The temperature around the opening surface of the crucible 210 can be prevented from dropping and the temperature around the opening surface of the crucible 210 can be maintained at a high temperature. Since the insulating supporting member 250 is an electrically insulating material, no sparking occurs even when the heating element 110 and the insulating supporting member 250 are brought into contact with each other due to thermal expansion of the heating element 110. Therefore, The temperature around the opening surface of the crucible 210 can be maximized and the condensation of the deposition material particles due to the temperature drop around the opening surface of the crucible 210 can be suppressed It is possible to prevent or prevent clogging of the injection nozzle 220 according to the result.

또한, 본 발명의 증착원(200)은 열반사판(230)의 둘레를 감싸는 하우징(260)을 더 포함할 수 있다. 하우징(260)은 열반사판(230)의 둘레를 감싸도록 형성될 수 있고, 이에 따라 가열유닛(100)으로부터 열반사판(230)의 외측으로 방출되는 열(예를 들어, 대류열)을 차단(및/또는 냉각)할 수도 있다. 그리고 하우징(260)에는 냉매유로(미도시)가 형성될 수 있으며, 냉매유로(미도시)가 형성되는 경우에는 하우징(260)이 고용융점을 가지며 고온에서 변형이 거의 없고 효과적인 냉각을 위해 열전도도가 우수한 금속 재료(예를 들어, 몰리브덴, 텅스텐 등)로 형성될 수 있다.In addition, the evaporation source 200 of the present invention may further include a housing 260 surrounding the circumference of the heat reflector 230. The housing 260 may be formed to surround the circumference of the heat reflector 230 so as to block heat (e.g., convection heat) emitted from the heat unit 100 to the outside of the heat reflector 230 And / or cooled). When a refrigerant passage (not shown) is formed in the housing 260, the housing 260 has a high melting point, hardly deforms at a high temperature, and has a thermal conductivity (E.g., molybdenum, tungsten, etc.) can be formed.

그리고 본 발명의 증착원(200)은 도가니(210)의 개구면 전방에 제공되어 전방으로 방출되는 열을 차단하는 열차단캡(270)을 더 포함할 수 있다. 열차단캡(270)은 도가니(210)의 개구면 전방에 제공되어 전방으로 방출되는 열을 차단할 수 있다. 증착원(200)에서 고온의 열이 기판으로 전달되게 되면, 기판 온도가 증가됨으로 인해 기판과 섀도우 마스크 간의 열변형량 차이로 인한 정렬 오차 또는 미스 얼라인(miss align)이 발생하게 되고, 이로 인해 고정밀 패널을 생산하기 어렵게 되는 문제점이 있다. 이에 열차단캡(270)을 통해 증착 물질 입자의 응축 및 그에 따른 분사 노즐(120)의 막힘을 방지하고자 고온의 온도를 유지하고 있는 도가니(210) 개구면의 전방에서 전방(또는 기판 방향)으로 방출되는 열을 차단함으로써, 증착원(200)의 내부로부터 방출되는 열이 기판에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.The evaporation source 200 of the present invention may further include a heat shield cap 270 which is provided in front of the opening face of the crucible 210 to block heat emitted forward. The heat shield cap 270 is provided in front of the opening face of the crucible 210 to block heat emitted forward. When the high temperature heat is transferred to the substrate in the evaporation source 200, an alignment error or a miss alignment due to a difference in thermal deformation between the substrate and the shadow mask occurs due to an increase in substrate temperature, It is difficult to produce a panel. In order to prevent condensation of the evaporation material particles and consequent clogging of the spray nozzle 120 through the heat disc cap 270, discharge is performed forward (or in the substrate direction) from the front of the opening surface of the crucible 210 maintaining a high temperature, It is possible to prevent the heat emitted from the inside of the evaporation source 200 from affecting the substrate.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가열유닛 조립방법을 나타낸 순서도이다.6 is a flowchart illustrating a method of assembling a heating unit according to another embodiment of the present invention.

도 6을 참조하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가열유닛 조립방법을 보다 상세히 살펴보는데, 본 발명의 실시예들에 따른 가열유닛 및 증착원과 관련하여 앞서 설명된 부분과 중복되는 사항들은 생략하도록 한다.Referring to FIG. 6, a method of assembling a heating unit according to another embodiment of the present invention will be described in detail. The overlapped matters with respect to the heating unit and the evaporation source according to the embodiments of the present invention, .

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가열유닛 조립방법은 띠 형상의 복수의 가열부를 포함하는 발열체를 마련하는 과정(S100); 지지대의 내측 또는 외측에 상기 발열체를 배치하는 과정(S200); 상기 발열체를 일방향으로 이동 또는 회전시켜 상기 지지대의 내측면 또는 외측면에 형성된 상기 지지대의 삽입구에 상기 가열부를 삽입하는 과정(S300); 및 상기 가열부를 상기 삽입구와 연통되는 상기 지지대의 수용홀에 수용하는 과정(S400);을 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of assembling a heating unit, including: preparing a heating element including a plurality of strip-shaped heating elements; (S200) of arranging the heating element on the inside or outside of the support frame; (S300) of moving the heating element in one direction to insert the heating portion into the insertion port of the support formed on the inner or outer surface of the support; And accommodating the heating unit in a receiving hole of the support member communicating with the insertion port (S400).

먼저, 띠 형상의 복수의 가열부를 포함하는 발열체를 마련한다(S100). 상기 발열체는 복수의 가열부가 연결부에 의해 연결되어 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 연결부는 상기 복수의 가열부가 일직선으로 배치되도록 상기 복수의 가열부를 직선형으로 연결할 수도 있고, 상기 복수의 가열부가 둥글게 배치되도록 상기 복수의 가열부를 원형으로 연결할 수도 있으며, 상기 복수의 가열부가 삼각형, 사각형 등의 다각 형태를 이루도록 상기 복수의 가열부를 연결할 수도 있다. 이때, 상기 연결부는 상기 가열부의 둘레면이 서로 인접하도록 상기 복수의 가열부 간을 연결할 수 있다.First, a heating element including a plurality of strip-shaped heating portions is provided (S100). The heating element may be formed by connecting a plurality of heating portions by a connection portion. Here, the connection portion may linearly connect the plurality of heating portions so that the plurality of heating portions are arranged in a straight line, or may connect the plurality of heating portions circularly so that the plurality of heating portions are arranged in a round shape, , And a plurality of heating units may be connected to form a polygonal shape such as a square. At this time, the connection portion may connect the plurality of heating portions such that the circumferential surfaces of the heating portion are adjacent to each other.

본 발명의 가열유닛 조립방법은 내측에 오픈부를 가지며, 상기 오픈부의 둘레를 따라 위치하는 수용홀과, 상기 가열부의 삽입 경로를 제공하는 삽입구가 형성된 고리 형상의 지지대를 마련하는 과정(S150)을 더 포함할 수 있다. 상기 지지대를 마련하는 과정(S150)은 상기 지지대의 주위(또는 주변)에 상기 발열체를 배치하기 위해 상기 발열체를 배치하는 과정(S200) 전에 수행될 수 있으며, 상기 발열체를 마련하는 과정(S100)과 거의 동시에 수행될 수 있다.The method for assembling a heating unit of the present invention includes a step S150 of providing an annular support having an opening at the inside thereof and a receiving hole at the periphery of the opening and an insertion port for providing an insertion path of the heating part . The step of providing the supporting member S150 may be performed before the step S200 of disposing the heating member in the vicinity of (or around) the supporting member. In the step (S100) of preparing the heating member, Can be performed almost simultaneously.

여기서, 상기 지지대에는 상기 오픈부의 둘레를 따라 하나의 수용홀이 형성될 수도 있고, 상기 오픈부의 둘레를 따라 복수의 수용홀이 배치될 수도 있다. 그리고 상기 수용홀이 하나로 형성되는 경우에는 상기 삽입구가 하나일 수도 있고, 복수일 수도 있다. 이때, 상기 삽입구가 하나인 경우에는 상기 복수의 가열부를 하나의 상기 삽입구를 통해 상기 수용홀에 수용되도록 할 수 있고, 상기 삽입구가 복수인 경우에는 상기 복수의 가열부를 한 번에(또는 동시에) 복수의 상기 삽입구를 통해 삽입할 수 있다. 또한, 상기 수용홀이 복수인 경우에는 복수의 상기 삽입구가 형성될 수 있다. 이때, 복수의 상기 삽입구는 각각의 상기 수용홀과 상기 오픈부의 사이에 형성되어 상기 복수의 가열부의 삽입 경로를 제공할 수 있고, 이에 따라 복수의 상기 삽입구를 통해 동시에 상기 복수의 가열부를 복수의 상기 수용홀에 각각 수용되도록 할 수 있다.Here, one support hole may be formed in the support along the periphery of the open portion, and a plurality of accommodation holes may be formed along the periphery of the open portion. When the receiving holes are formed as one unit, the number of the insertion ports may be one or plural. In this case, when the insertion port is one, the plurality of heating sections can be received in the receiving hole through one of the insertion ports. When the plurality of insertion ports are plural, the plurality of heating sections can be simultaneously (or simultaneously) Can be inserted through the above-described insertion port. Further, when the number of the receiving holes is plural, a plurality of the insertion holes may be formed. At this time, a plurality of the insertion ports may be formed between each of the receiving holes and the open portion to provide an insertion path of the plurality of heating portions, thereby simultaneously connecting the plurality of heating portions to a plurality of And can be accommodated in the receiving holes, respectively.

그리고 복수의 상기 삽입구는 상기 수용홀의 상기 오픈부를 향하는 면과 상기 삽입구의 내부면(또는 내측면)이 90°보다 작은 사잇각을 갖도록 형성될 수 있다. 또한, 복수의 상기 삽입구는 시계방향 또는 반시계방향으로 동일한 기울기를 가질 수 있다. 즉, 복수의 상기 삽입구는 상기 수용홀의 상기 오픈부를 향하는 면과 상기 삽입구의 내부면의 사잇각이 동일할 수 있다.The plurality of insertion openings may be formed such that a surface of the opening facing the open portion and an inner surface (or an inner surface) of the insertion opening have an angle smaller than 90 degrees. Further, the plurality of insertion ports may have the same inclination in the clockwise direction or the counterclockwise direction. That is, the plurality of insertion ports may have the same angle as the plane of the receiving hole toward the open portion and the inner surface of the insertion port.

다음으로, 고리 형상의 지지대의 내측 또는 외측에 상기 발열체를 배치한다(S200). 상기 지지대는 내측에 오픈부를 형성하는 고리 형상일 수 있다. 여기서, 상기 지지대의 내측에 상기 발열체를 배치하는 경우에는 상기 지지대의 오픈부에 상기 발열체를 삽입하여 배치할 수 있고, 상기 지지대의 외측에 상기 발열체를 배치하는 경우에는 상기 지지대의 외측 둘레에 상기 발열체를 배치할 수 있다. 이때, 상기 지지대의 삽입구에 상기 가열부가 대응되도록 상기 발열체를 배치할 수 있다.Next, the heating element is arranged inside or outside the annular support (S200). The support may be annular to form an open part on the inside. Here, when the heating element is disposed inside the support, the heating element may be inserted into the open part of the support, and when the heating element is disposed outside the support, Can be disposed. At this time, the heating element may be disposed so that the heating portion corresponds to the insertion port of the support.

상기 발열체를 배치하는 과정(S200)은 상기 지지대의 내측 둘레 또는 외측 둘레를 따라 상기 복수의 가열부를 배치하는 과정(S210)을 포함할 수 있다. 상기 복수의 가열부를 배치하는 과정(S210)에서는 상기 복수의 가열부가 상기 지지대의 내측 둘레(즉, 상기 지지대의 오픈부)에 위치하거나 상기 지지대의 외측 둘레에 위치하도록 상기 발열체를 배치할 수 있다. 이때, 상기 가열부의 두께면(또는 장측면)이 상기 지지대의 삽입구에 위치되도록 상기 가열부를 배치할 수 있다. 여기서, 상기 발열체를 배치하는 과정(S200)은 상기 가열부의 각도를 조정하는 과정(S220)을 더 포함할 수 있다. 상기 가열부의 각도를 조정하는 과정(S220)에서는 각각의 상기 가열부에 연결 또는 접촉되는 가열부 지그를 통해 각 가열부의 각도를 조정할 수 있고, 이를 통해 상기 복수의 가열부가 상기 삽입구에 잘 삽입되도록 할 수 있다.The step of arranging the heating element (S200) may include a step (S210) of arranging the plurality of heating parts along the inner circumference or the outer circumference of the support. In the step of arranging the plurality of heating units (S210), the heating elements may be arranged such that the plurality of heating units are located on the inner circumference of the support base (that is, the open portion of the support base) or on the outer periphery of the support base. At this time, the heating unit may be disposed such that the thickness (or the long side) of the heating unit is positioned at the insertion port of the support. Here, the step of arranging the heating element (S200) may further include a step of adjusting the angle of the heating part (S220). In the step of adjusting the angle of the heating part (S220), the angle of each heating part can be adjusted through the heating part jig connected to or contacted with each heating part, so that the plurality of heating parts can be inserted into the insertion hole .

그 다음 상기 발열체를 일방향으로 이동 또는 회전시켜 상기 지지대의 내측면 또는 외측면에 형성된 상기 지지대의 삽입구에 상기 가열부를 삽입한다(S300). 상기 발열체를 일방향으로 이동 또는 회전시키면서 상기 가열부를 상기 지지대의 내측면 또는 외측면에 형성된 상기 지지대의 삽입구에 삽입하여 상기 복수의 가열부가 상기 지지대의 수용홀에 수용되도록 할 수 있다. 이때, 상기 삽입구가 복수인 경우에는 상기 복수의 가열부를 한 번에(또는 동시에) 상기 지지대의 수용홀에 수용되도록 할 수 있다.Subsequently, the heating unit is moved or rotated in one direction to insert the heating unit into the insertion port of the support formed on the inner or outer surface of the support (S300). The heating unit may be inserted into the insertion port of the support table formed on the inner or outer surface of the support base while the heating body is moved or rotated in one direction so that the plurality of heating units are received in the accommodation hole of the support base. At this time, when there are a plurality of the insertion ports, the plurality of heating units can be accommodated in the receiving holes of the support member at once (or simultaneously).

예를 들어, 상기 발열체가 원형으로 형성된 경우에는 상기 발열체를 회전시켜 상기 지지대의 삽입구에 상기 복수의 가열부를 삽입할 수 있으며, 상기 발열체가 삼각형, 사각형 등의 다각 형태로 형성된 경우에는 각 변마다 상기 복수의 가열부를 포함하는 상기 발열체를 일방향으로 이동시켜 상기 지지대의 삽입구에 상기 복수의 가열부를 삽입할 수 있다. 이때, 복수의 상기 발열체가 각 변마다 배치될 수 있고, 각 변의 상기 발열체가 일방향으로 이동하여 모든 변의 상기 지지대의 삽입구에 상기 복수의 가열부를 삽입할 수 있다. 여기서, 상기 발열체가 무수히 많은 각을 갖는 다각 형태로 형성되어 원형과 가깝게 된 경우에는 상기 발열체를 회전시켜 상기 지지대의 삽입구에 상기 복수의 가열부를 삽입할 수도 있다.For example, when the heating element is formed in a circular shape, the heating element may be rotated to insert the plurality of heating elements into the insertion port of the support. When the heating element is formed in a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle, The heating element including a plurality of heating portions may be moved in one direction to insert the plurality of heating portions into the insertion port of the support. At this time, a plurality of the heating elements may be arranged on each side, and the heating elements on each side may move in one direction, and the plurality of heating portions may be inserted into the insertion holes of the supporting bars on all sides. Here, when the heating element is formed in a polygonal shape having a large number of angles and is close to a circular shape, the heating element may be rotated to insert the plurality of heating parts into the insertion port of the support.

상기 가열부를 삽입하는 과정(S300)은 상기 발열체를 회전시키는 과정(S310)을 포함할 수 있다. 상기 발열체가 원형 등인 경우에는 상기 발열체를 회전시켜 상기 복수의 가열부를 상기 지지대의 삽입구에 삽입할 수 있다. 이때, 상기 삽입구가 복수인 경우에는 상기 발열체를 이루는 상기 복수의 가열부를 모두 동시에 상기 지지대의 수용홀에 수용되도록 할 수 있다. 여기서, 상기 발열체를 회전시키는 과정(S310)은 발열체 지그를 이용하여 상기 발열체를 회전시키는 과정(S311)을 포함할 수 있다. 상기 발열체는 상기 발열체 지그를 이용하여 회전시킬 수 있으며, 상기 발열체 지그는 상기 발열체에 전체적으로 연결되어 상기 발열체를 회전시킬 수 있고, 이에 따라 간단하게 상기 가열부를 상기 지지대의 삽입구에 삽입할 수 있다.The step of inserting the heating part (S300) may include a step of rotating the heating element (S310). When the heating element is circular or the like, the heating element may be rotated to insert the plurality of heating portions into the insertion port of the support table. At this time, when there are a plurality of the insertion ports, all of the plurality of heating sections constituting the heating element may be accommodated in the receiving holes of the support table at the same time. Here, the step of rotating the heating element (S310) may include a step (S311) of rotating the heating element using the heating element jig. The heating body may be rotated using the heating body jig, and the heating body jig may be connected to the heating body as a whole to rotate the heating body, so that the heating part can be simply inserted into the insertion hole of the supporting table.

그리고 상기 가열부를 상기 삽입구와 연통되는 상기 지지대의 수용홀에 수용한다(S400). 상기 삽입구에 의해 상기 지지대의 내측 또는 외측이 상기 지지대의 수용홀과 연통될 수 있고, 이에 따라 상기 가열부는 상기 지지대의 삽입구를 통해 삽입되어 상기 지지대의 수용홀에 수용될 수 있다. 여기서, 상기 삽입구가 복수인 경우에는 상기 복수의 가열부가 복수의 상기 삽입구를 통해 동시에 상기 지지대의 수용홀에 수용될 수 있다.Then, the heating unit is received in the receiving hole of the support member communicating with the insertion port (S400). The insertion port allows the inside or outside of the support to communicate with the accommodation hole of the support, so that the heating part can be inserted through the insertion hole of the support and be accommodated in the accommodation hole of the support. Here, when there are a plurality of the insertion ports, the plurality of heating portions can be simultaneously accommodated in the receiving holes of the support through the plurality of insertion ports.

한편, 상기 발열체를 반대방향으로 회전시키면 상기 지지대의 수용홀에 수용된 상기 가열부를 상기 지지대의 수용홀에서 빼낼 수도 있다. 이에 따라 가열유닛의 유지/보수 작업시에 상기 발열체의 탈착을 통해 상기 발열체의 재사용이 가능할 수 있다.On the other hand, when the heating element is rotated in the opposite direction, the heating part accommodated in the receiving hole of the support can be taken out of the receiving hole of the support. Accordingly, the heating element can be reused by attaching / detaching the heating element during maintenance / repair work of the heating unit.

본 발명에 따른 가열유닛 조립방법은 상기 수용홀의 내부면에 형성된 돌기부를 이용하여 상기 가열부를 지지하는 과정(S500);을 더 포함할 수 있다. 상기 가열부에 가해지는 응력을 줄이면서 상기 가열부를 안정적으로 상기 수용홀에 수용되도록 하기 위해 상기 수용홀의 크기(또는 수평 단면)는 상기 가열부의 단부면(즉, 단측면)보다 클 수 있다. 이에 따라 상기 가열부가 안정적으로 지지되도록 상기 수용홀의 내부면에 형성된 돌기부를 이용하여 상기 가열부를 지지할 수 있다. 상기 돌기부는 연성일 수 있고, 상기 수용홀의 내부면 중 상기 오픈부를 향하는 면에 상기 수용홀의 내측으로 돌출되어 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 상기 돌기부가 상기 수용홀의 상기 오픈부를 향하는 면에 상기 수용홀의 내측으로 돌출되어 형성되는 경우에는 상기 돌기부가 열팽창이 비교적 적은 가열부의 제1 면(또는 전면)과 제2 면(또는 배면)에 접촉되어 지지할 수 있어 상기 가열부에 가해지는 응력을 줄일 수 있다. 이때, 상기 가열부는 상기 제1 면과 상기 제2 면 중 전면(또는 가열물 또는 상기 오픈부를 향하는 면)이 상기 돌기부와 접촉하여 지지될 수 있고, 배면(또는 상기 전면의 반대면)은 상기 돌기부가 형성된 면과 대향하는 면에 접촉되어 지지될 수 있다. 이러한 경우, 상기 가열부의 지지면이 충분히 확보되어 상기 가열부가 안정적으로 지지될 수 있다.The method of assembling a heating unit according to the present invention may further include a step (S500) of supporting the heating unit using a protrusion formed on an inner surface of the receiving hole. The size (or horizontal cross-section) of the receiving hole may be larger than the end face (i.e., the short side face) of the heating portion in order to stably receive the heating portion in the receiving hole while reducing the stress applied to the heating portion. Accordingly, the heating portion can be supported by using the protrusion formed on the inner surface of the receiving hole to stably support the heating portion. The protruding portion may be flexible and may be formed to protrude inward of the receiving hole on a surface of the inner surface of the receiving hole facing the open portion. When the protruding portion is protruded to the inside of the receiving hole on the surface of the receiving hole facing the opening, the protruding portion is in contact with the first surface (or the front surface) and the second surface (or the back surface) of the heating portion having relatively little thermal expansion The stress applied to the heating unit can be reduced. At this time, the heating part can be supported by contacting the front face (or the face facing the heated body or the open part) of the first face and the second face with the protrusion part, and the back face (or the opposite face of the front face) Can be supported by being in contact with the surface facing the surface on which the electrode is formed. In this case, the supporting surface of the heating portion is sufficiently secured, so that the heating portion can be stably supported.

본 발명에 따른 가열유닛 조립방법은 상기 수용홀 내에서 상기 가열부의 위치를 조정하는 과정(S450);을 더 포함할 수 있다. 상기 가열부의 단부면보다 상기 수용홀의 크기가 큰 경우에는 상기 가열부가 한 쪽으로 치우칠 수 있으므로, 상기 가열부의 열팽창으로 고려하여 상기 발열체를 이동 또는 회전시킴으로써, 상기 수용홀의 중앙부로 상기 가열부의 위치를 조정할 수 있다. 한편, 상기 수용홀의 상기 오픈부를 향하는 면에 상기 지지대의 삽입구가 형성되는 경우에는 상기 가열부가 상기 삽입구를 통과하여 상기 수용홀에 수용되면, 상기 가열부가 한 쪽으로 치우치게 될 수 있으며, 상기 가열부의 위치를 조정하는 과정(S450)에서 상기 가열부의 위치를 상기 수용홀의 중앙부로 조정할 수 있다.The method for assembling a heating unit according to the present invention may further include the step of adjusting the position of the heating unit in the receiving hole (S450). The heating unit can be shifted to one side when the size of the receiving hole is larger than the end face of the heating unit and the position of the heating unit can be adjusted to the center of the receiving hole by moving or rotating the heating body in consideration of thermal expansion of the heating unit . On the other hand, when the insertion port of the support is formed on the surface of the receiving hole facing the open portion, the heating portion may be biased toward one side when the heating portion is received in the receiving hole through the insertion port, The position of the heating unit can be adjusted to the central portion of the receiving hole in the adjusting process (S450).

이처럼, 본 발명에서는 지지대에 형성된 삽입구를 통해 일방향(또는 단방향)으로 가열부를 삽입할 수 있고, 일방향 삽입구조를 통해 복수의 가열부를 외부 손상 및 응력 없이 한 번에 삽입(또는 조립)할 수 있다. 또한, 가열부의 분리시에 복수의 가열부의 동시 탈착도 가능할 수 있다. 이를 통해, 복수의 가열부를 간단하게 지지대에 조립하고 지지대에서 분리할 수 있다. 그리고 지지대에 형성된 그루브(Groove) 형태의 돌기부를 통해 외부 응력 없이 가열부의 위치 및 형태를 안정적으로 고정할 수 있고, 이에 따라 조립 상태에서 가열부가 지지대로부터 쉽게 빠지지 않도록 할 수 있다. 또한, 가열부의 발열에 의한 열팽창시에도 가열부에 응력을 주지 않고 가열부의 위치 및 형태 유지가 가능하며, 소성 변형 없이 원상 복귀가 가능하도록 가열부를 안정적으로 고정할 수 있다. 이에, 가열유닛의 조립시에 조립 시간의 단축을 통한 생산성을 향상시킬 수 있으며, 조립 비용의 감소로 인한 원가 절감이 가능할 수 있다. 또한, 가열유닛의 조립시에 발생할 수 있는 불량률을 상당히 감소시킬 수 있다. 그리고 안정적인 가열(heating) 공정을 통해 증착원의 장기 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 가열유닛의 유지/보수 작업시에 가열부의 탈착을 통해 가열부의 재사용이 가능할 수 있다.As described above, in the present invention, the heating portion can be inserted in one direction (or unidirectional) through the insertion port formed in the support, and the plurality of heating portions can be inserted (or assembled) at once without external damage and stress through the unidirectional insertion structure. Further, simultaneous desorption of a plurality of heating portions at the time of separation of the heating portion may be possible. In this way, a plurality of heating parts can be easily assembled to the support and separated from the support. Also, the position and shape of the heating part can be stably fixed through a groove-shaped protrusion formed on the support, so that the heating part can be prevented from being easily detached from the support in the assembled state. Further, even when the thermal expansion due to the heating of the heating part is performed, the position and shape of the heating part can be maintained without giving stress to the heating part, and the heating part can be stably fixed so as to return to the original state without plastic deformation. Accordingly, the productivity can be improved by shortening the assembly time at the time of assembling the heating unit, and the cost can be reduced by reducing the assembly cost. In addition, it is possible to considerably reduce the defective rate that may occur during the assembly of the heating unit. The long term reliability of the evaporation source can be improved through a stable heating process, and the heating unit can be reused by attaching / detaching the heating unit during maintenance / repair work of the heating unit.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limited to the embodiments set forth herein. Those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments may be possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be defined by the following claims.

25 : 오픈부 100 : 가열유닛
110 : 발열체 111 : 가열부
112 : 연결부 113 : 열원공급부
120 : 지지대 121 : 수용홀
122 : 삽입구 123 : 돌기부
124 : 돌출부 125 : 가장자리부
200 : 증착원 210 : 도가니
211 : 외측 용기 212 : 내측 용기
220 : 분사 노즐 230 : 열반사판
240 : 체결부재 250 : 절연 지지부재
260 : 하우징 270 : 열차단캡25: open part 100: heating unit
110: heating element 111: heating part
112: connection part 113: heat source supply part
120: support base 121: receiving hole
122: insertion port 123:
124: protrusion 125:
200: evaporation source 210: crucible
211: outer container 212: inner container
220: jet nozzle 230: heat reflector
240: fastening member 250: insulative supporting member
260: Housing 270: Train Cap

Claims

A heating element comprising a plurality of strip-shaped heating portions each having a first surface and a second surface facing each other, and a connecting portion connecting the plurality of heating portions; And
And a plurality of insertion holes extending vertically and extending outwardly from the plurality of receiving holes to provide an insertion path for each of the plurality of heating portions, And an annular support base for supporting the plurality of heating portions,
Wherein a width of the plurality of insertion ports is not less than a thickness of the plurality of heating portions,
Wherein the plurality of insertion ports are formed at the same inclination angle with respect to the vertical direction of the first surface so that the plurality of heating portions cross the vertical direction of the first surface in a state of being accommodated in the plurality of accommodating holes, And the plurality of heating units are simultaneously inserted by the heating unit.

delete

The method according to claim 1,
And the support base includes a protrusion formed on the inner surface of the receiving hole so as to protrude into the receiving hole.

The method of claim 3,
Wherein the protruding portion is soft.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the support includes a protrusion formed on one side surface or the other side surface,
The receiving hole is formed in the protrusion,
And the insertion port is formed on a side surface of the protrusion.

The method of claim 7,
Wherein a distance between the projecting portions is equal to or greater than a width of the heating portion.

A crucible having an opening surface formed on one surface thereof;
A heating unit according to any one of claims 1, 3, 4, and 7 to 8 disposed around the crucible; And
And an injection nozzle provided on the opening surface.

A step of providing a heating element including a plurality of strip-shaped heating portions;
Placing the heating element on the inside or outside of the annular support;
Rotating the heating body in one direction to insert the heating unit into a plurality of insertion openings of the support base formed on the inner or outer surface of the support base; And
And accommodating each of the plurality of heating portions in a plurality of receiving holes of the support member communicating with the plurality of insertion ports, respectively,
Wherein the step of inserting the heating portion includes a step of inserting the plurality of insertion holes formed at the same inclination angle with respect to the vertical direction of the first surface so that the plurality of heating portions cross the vertical direction of the first surface in a state of being accommodated in the plurality of accommodating holes Wherein the plurality of heating units are simultaneously inserted through the plurality of heating units.

The method of claim 10,
Wherein the step of disposing the heating element includes disposing the plurality of heating parts along the inner circumference or the outer circumference of the support,
And inserting the heating unit includes rotating the heating element.

The method of claim 10,
And supporting the heating unit using a protrusion formed on an inner surface of the receiving hole.

The method of claim 10,
And adjusting a position of the heating unit in the receiving hole.