KR101680338B1 - Screw assembly for fixing heater, and chemical vapor deposition device having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 주면에 형성된 나사홀과 측면에 형성된 핀홀을 포함하는 블록; 상기 나사홀에 체결되며, 헤드부와 나사산부를 포함하는 나사부, 상기 헤드부의 측면에 헤드홈이 형성되고; 및 상기 핀홀과 상기 헤드홈에 삽입되어서, 상기 나사부의 상하 이동을 제한하여 상기 나사부의 풀림을 방지하는 풀림방지핀을 포함하는, 히터 고정용 나사 어셈블리 및 이를 포함하는 화학 기상 증착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a block including a screw hole formed on a main surface and a pin hole formed on a side surface thereof; A threaded portion that is fastened to the screw hole and includes a head portion and a threaded portion; a head groove formed on a side surface of the head portion; And a release preventing pin inserted in the pin hole and the head groove to restrict the upward and downward movement of the screw portion to prevent the screw portion from being loosened, and a chemical vapor deposition apparatus including the same.

Description

히터 고정용 나사 어셈블리 및 이를 포함하는 화학 기상 증착 장치{SCREW ASSEMBLY FOR FIXING HEATER, AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE HAVING THE SAME}Technical Field [0001] The present invention relates to a screw assembly for fixing a heater, and a chemical vapor deposition apparatus including the same,

본 발명은, 히터 고정용 나사 어셈블리 및 이를 포함하는 화학 기상 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a screw assembly for fixing a heater and a chemical vapor phase apparatus including the same.

다양한 산업분야에서 고효율의 LED가 점차 많이 사용됨에 따라서 품질이나 성능의 저하없이 대량으로 생산할 수 있는 화학적 기상 증착(MOCVD: Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 장비가 요구되고 있는 실정이다. 이에 따라서 MOCVD 반응로의 크기를 증가시켜 기존의 2인치 웨이퍼를 동시에 수십 개를 성장시키거나, 대구경(4, 6, 8, 12인치 크기)의 웨이퍼도 성장시킬 수 있는 새로운 구조를 가지는 반응로(챔버)가 필요하게 되었다.
As high efficiency LEDs are increasingly used in various industrial fields, there is a demand for a chemical vapor deposition (MOCVD) device capable of mass production without deteriorating quality or performance. Accordingly, it is possible to increase the size of the MOCVD reaction furnace to increase the number of existing 2-inch wafers at the same time, or to increase the size of the reaction furnace having a new structure capable of growing wafers of large diameter (4, 6, 8, 12 inch size) Chamber) was required.

화학 기상 증착 공법은 챔버(chamber) 내의 서셉터 상에 웨이퍼를 안착하고, 반응가스를 공급하여 상기 웨이퍼의 표면에 박막을 형성하는 것인데, 균일한 두께의 박막을 얻기 위해서는 챔버 내에 유입되는 반응가스를 웨이퍼상의 각 부분으로 두루 균일하게 분사시켜 주어야 한다.In the chemical vapor deposition method, a wafer is placed on a susceptor in a chamber, and a thin film is formed on the surface of the wafer by supplying a reaction gas. In order to obtain a thin film having a uniform thickness, It should be uniformly sprayed through each part on the wafer.

또한, 이러한 화학 기상 증착 장치에서 사용되는 히터를 고정하기 위하여 다양한 종류의 고정 어셈블리가 이용되었는데. 장치 구동중의 진동 또는 열적 충격에 의해 고정 어셈블리가 풀리는 현상이 있다는 문제점이 있다.
In addition, various types of fixing assemblies have been used to fix the heaters used in such chemical vapor deposition apparatus. There is a problem that the fixing assembly is loosened due to vibration or thermal shock during operation of the apparatus.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위하여 안출된 것으로서, MOCVD 챔버 내에 설치되는 히터를 고정하며, 열충격 내지 진동에도 나사 풀림 현상을 방지할 수 있는, 히터 고정용 나사 어셈블리 및 이를 포함하는 화학 기상 증착 장치를 제공하기 위한 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a screw assembly for fixing a heater, which fixes a heater installed in an MOCVD chamber and can prevent screw loosening even in a thermal shock or vibration, .

상술한 과제를 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 일실시예인 히터 고정용 나사 어셈블리는, 주면에 형성된 나사홀과 측면에 형성된 핀홀을 포함하는 블록; 상기 나사홀에 체결되며, 헤드부와 나사산부를 포함하는 나사부, 상기 헤드부의 측면에 헤드홈이 형성되고; 및 상기 핀홀과 상기 헤드홈에 삽입되어서, 상기 나사부의 상하 이동을 제한하여 상기 나사부의 풀림을 방지하는 풀림방지핀을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a screw assembly for fixing a heater, comprising: a block including a screw hole formed in a main surface thereof and a pin hole formed in a side surface thereof; A threaded portion that is fastened to the screw hole and includes a head portion and a threaded portion; a head groove formed on a side surface of the head portion; And a release preventing pin inserted in the pin hole and the head groove to prevent the threaded portion from being loosened by restricting the upward and downward movement of the threaded portion.

여기서, 상기 핀홀은 상기 나사홀의 중앙축을 중심으로 쌍으로 형성되고, 상기 풀림 방지핀은 'ㄷ' 형으로 상기 핀홀에 삽입될 수 있다.Here, the pinhole is formed in pairs around the center axis of the screw hole, and the unlocking pin can be inserted into the pinhole in a 'C' shape.

여기서, 상기 헤드홈의 단면은 일측이 개방된 원형이고, 상기 헤드홈의 단면과, 상기 핀홀의 단면이 상호 매칭될 수 있다.Here, the cross section of the head groove is circular with one side opened, and the cross section of the head groove and the cross section of the pin hole can be matched with each other.

여기서, 상기 풀림 방지핀의 단면은 상기 헤드홈 및 상기 핀홀의 단면과 매칭되는 원형일 수 있다. Here, the end surface of the unlocking pin may be circular, matching the end surface of the head groove and the pin hole.

여기서, 상기 헤드부의 주면에 나사홈이 형성되고, 상기 블록의 나사홀 주면에는, 상기 나사부의 헤드홈과 상기 핀홀이 정렬되는 것을 인디케이팅하기 위한 표시부가 형성될 수 있다.Here, a screw groove may be formed on the main surface of the head portion, and a display portion may be formed on the screw hole main surface of the block for indicating that the pin hole is aligned with the head groove of the screw portion.

여기서, 상기 나사홈은 일자나사홈이고, 상기 표시부는 상기 일자나사홈의 연장선에 형성되는 표시홈일 수 있다.Here, the screw groove may be a flat screw groove, and the display portion may be a mark formed on an extension of the flat screw groove.

여기서, 상기 블록은, 직사각 평판형이고, 상기 블록의 각 모서리에는 모따기부가 형성될 수 있다.Here, the block may be a rectangular plate type, and chamfer portions may be formed at each corner of the block.

본 발명의 또다른 실시예인 화학 기상 증착 장치는, 반응가스가 유동하는 반응유로부가 마련되는 챔버; 상기 챔버 내의 상기 반응유로부에 구비되며, 적어도 하나의 기판을 수용하여 상기 반응유로부에 노출되도록 하는 서셉터; 상기 반응유로부로 상기 반응가스를 유입시키도록 구비되는 가스 도입부; 및 반응 후 가스를 배기하도록 상기 챔버에 마련되는 가스배출부; 상기 기판에 열을 제공하는 가열수단; 및 상기 가열 수단이 상기 서셉터 또는 상기 챔버에 고정되도록 하는 고정용 나사 어셈블리를 포함하고, 상기 고정용 나사 어셈블리는, 주면에 형성된 나사홀과 측면에 형성된 핀홀을 포함하는 블록; 상기 나사홀에 체결되며, 헤드부와 나사산부를 포함하는 나사부, 상기 헤드부의 측면에 헤드홈이 형성되고; 및 상기 핀홀과 상기 헤드홈에 삽입되어서, 상기 나사부의 상하 이동을 제한하여 상기 나사부의 풀림을 방지하는 풀림방지핀을 포함할 수 있다.A chemical vapor deposition apparatus according to another embodiment of the present invention is a chemical vapor deposition apparatus including a chamber provided with a reaction flow path portion through which a reaction gas flows; A susceptor provided in the reaction channel portion in the chamber and adapted to receive at least one substrate to expose the reaction channel portion; A gas introducing part provided to introduce the reaction gas into the reaction channel part; And a gas discharge portion provided in the chamber to discharge gas after the reaction; Heating means for providing heat to the substrate; And a fixing screw assembly for fixing the heating means to the susceptor or the chamber, wherein the fixing screw assembly includes a screw hole formed in a main surface and a pin hole formed in a side surface; A threaded portion that is fastened to the screw hole and includes a head portion and a threaded portion; a head groove formed on a side surface of the head portion; And a release preventing pin inserted in the pin hole and the head groove to prevent the threaded portion from being loosened by restricting the upward and downward movement of the threaded portion.

여기서, 상기 핀홀은 상기 나사홀의 중앙축을 중심으로 쌍으로 형성되고, 상기 풀림 방지핀은 'ㄷ' 형으로 상기 핀홀에 삽입될 수 있다.Here, the pinhole is formed in pairs around the center axis of the screw hole, and the unlocking pin can be inserted into the pinhole in a 'C' shape.

본 발명의 또다른 실시예인 히터 고정용 나사 어셈블리는, 주면에 형성된 복수의 나사홀과 단측면에 형성된 핀홀을 포함하는 블록; 상기 복수의 나사홀에 체결되며, 헤드부와 나사산부를 포함하는 복수의 나사부, 상기 헤드부의 측면에 헤드홈이 형성되고; 및 상기 핀홀과 상기 복수의 나사부의 각각의 헤드홈에 삽입되어서, 상기 복수의 나사부의 상하 이동을 제한하여 상기 복수의 나사부의 풀림을 동시에 방지하는 풀림방지핀을 포함할 수 있다.
A heater fixing screw assembly according to still another embodiment of the present invention includes: a block including a plurality of screw holes formed on a main surface and a pin hole formed on a side surface; A plurality of threaded portions coupled to the plurality of screw holes and including a head portion and a threaded portion; a head groove formed on a side surface of the head portion; And a release preventing pin inserted in each of the pin holes and the plurality of threaded portions to restrict the upward and downward movement of the plurality of threaded portions to prevent the plurality of threaded portions from being simultaneously released.

상술한 구성을 가진 본 발명의 일실시예에 따르면, 풀림 방지핀에 의해 나사부의 상하이동이 제한되어서, 열충격이나 진동에도 고정 어셈블리의 풀림 현상이 방지될 수 있다.
According to an embodiment of the present invention having the above-described configuration, the unlocking pin restricts the upward and downward movement of the threaded portion, thereby preventing the fixing assembly from being loosened even when thermal shock or vibration occurs.

도 1은, 본 발명에 따른 화학 기상 증착 장치의 공정중의 상태를 도시한 단면도.
도 2는, 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리의 사시도.
도 3은, 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리 중 블록의 투과 사시도 및 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리 중 나사부의 사시도 및 단면도.
도 5는, 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리 중 풀림방지핀의 사시도.
도 6은, 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리의 다른 실시예의 사시도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a sectional view showing a state of a chemical vapor deposition apparatus according to the present invention during a process; FIG.
2 is a perspective view of a heater fixing screw assembly according to the present invention;
3 is a perspective view and cross-sectional view of a block of a heater securing screw assembly in accordance with the present invention.
4 is a perspective view and a cross-sectional view of a threaded portion of a heater fixing screw assembly according to the present invention;
5 is a perspective view of an unlocking pin among the heater fixing screw assemblies according to the present invention;
6 is a perspective view of another embodiment of a heater fixing screw assembly according to the present invention;

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명을 한정하지 않는 실시 예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하며, 일부 도면에서 동일한 요소에 대해서는 동일한 부호를 부여한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in which like reference numerals refer to like elements throughout.

이하 도면에서는, MOCVD의 히터를 부착하는 히터 고정용 나사 어셈블리의 예를 설명하였으나, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않고, 다양한 형태의 고정 나사 어셈블리로서 이용될 수 있음이 이해되어야 할 것이다.In the following description, an example of a heater fixing screw assembly for attaching a heater of MOCVD has been described. However, it is to be understood that the present invention is not limited to this example and can be used as various types of fixing screw assemblies.

도 1은 본 발명에 따른 화학 기상 증착 장치의 공정중의 상태를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a chemical vapor deposition apparatus according to the present invention in a process state.

도 1에 도시하는 바와 같이, 본 발명에 따른 화학 기상 증착 장치는 챔버(10), 서셉터(20), 가스 도입부(30), 가스 배출부(40), 가열수단(50)으로 구성되며, 하나 또는 다수의 기판(5)상에 화학 기상 증착을 이루되 챔버(10)의 중심부로부터 주변부로 가스가 흐르면서 증착이 이루어지는 것이다.1, the chemical vapor deposition apparatus according to the present invention comprises a chamber 10, a susceptor 20, a gas inlet 30, a gas outlet 40, and a heating means 50, A chemical vapor deposition is performed on one or a plurality of substrates 5, and deposition is carried out with the gas flowing from the central portion of the chamber 10 to the peripheral portion.

상기 챔버(10)는 중공형의 공간을 형성하는 것으로서, 도면에서와 같이 적어도 하나의 기판(5)이 장착되는 서셉터(20) 및 가열수단(50)을 내부에 구비하며, 상기 서셉터(20)와 마주하는 상부측에는 반응가스가 유동하는 반응유로부(60)가 마련된다.The chamber 10 forms a hollow space and has therein a susceptor 20 and a heating means 50 in which at least one substrate 5 is mounted and the susceptor 20, the reaction channel portion 60 through which the reaction gas flows is provided on the upper side facing the gas flow channel portion 20.

상기 서셉터(20)는 상기 챔버(10)의 내부에 마련되는 반응 유로부(60) 아래에 구비되며, 적어도 하나의 기판(5)을 상부단에 수용하여 상기 기판(5)의 표면이 상기 반응 유로부(60)에 노출되도록 상기 챔버(10)의 내측 상부면과 마주하여 배치된다.The susceptor 20 is disposed below the reaction channel part 60 provided in the chamber 10 and accommodates at least one substrate 5 at an upper end thereof, And is disposed to face the inner upper surface of the chamber 10 so as to be exposed to the reaction channel portion 60.

또한, 본 발명은 상기 서셉터(20)에 장착되는 기판(5)의 반응 온도를 조절하기 위하여 가열수단(50:히터)을 상기 챔버(10)의 저면에 설치한다. 이러한 가열수단(50)은 상기 챔버(10)의 상부로(11)의 내부에서 높이조절이 가능하도록 구비되어서, 반응에 필요한 열을 조절하여 기판(5)에 제공한다.Further, in order to adjust the reaction temperature of the substrate 5 mounted on the susceptor 20, a heating means 50 (heater) is provided on the bottom surface of the chamber 10. The heating means 50 is provided so as to be adjustable in height within the upper portion 11 of the chamber 10 to adjust the heat required for the reaction to provide the substrate 5 with the heat.

여기서 가열 수단(50)은 히터 고정용 나사 어셉블리에 의해 챔버(10)의 저면에 고정이 된다. 이하 도 2 내지 도 5를 통해 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리(100)의 구성에 대하여 상세하게 설명하도록 한다.
Here, the heating means 50 is fixed to the bottom surface of the chamber 10 by a heater fixing screw assembly. Hereinafter, the construction of the screw assembly 100 for fixing the heater according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 5. FIG.

도 2는, 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리의 사시도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예인 히터 고정용 나사 어셈블리(100)는, 블록(110)과 나사부(120) 그리고, 풀림 방지핀(130)으로 구성될 수 있다. 2 is a perspective view of a heater fixing screw assembly according to the present invention. 2, the heater fixing screw assembly 100, which is one embodiment of the present invention, may be composed of a block 110, a screw 120, and an unlocking pin 130. As shown in FIG.

블록(110)은 전체적으로 직각 사각형의 평판 구조를 가지며, 각 모서리에는 모따기부가 형성될 수 있다. 또한, 그 주면에는 나사홀(111)이 형성되어서 상기 나사가 체결되게 구성되며, 측면에는 풀림방지핀(130)이 끼워져서 나사부(120)가 풀림이 되는 것을 방지하는 구조를 갖게 된다. The block 110 generally has a rectangular flat plate structure, and a chamfer may be formed at each corner. In addition, a threaded hole 111 is formed on the main surface to fasten the screw, and a side surface of the threaded hole 120 is prevented from being loosened by fitting a loosening prevention pin 130 thereon.

블록(110), 나사부(120) 및 풀림 방지핀(130)은 화학 기상 증착 장치에서의 반응성을 고려하여 몰리브텐이나 텅스텐으로 코팅되어 있거나, 혹은 몰리브덴 또는 텅스텐의 재질로 구성될 수 있다.The block 110, the threaded portion 120, and the unlocking pin 130 may be coated with molybdenum or tungsten or may be made of molybdenum or tungsten in consideration of reactivity in a chemical vapor deposition apparatus.

이하에서는, 각 구성요소인 블록(110), 나사부(120) 및 풀림 방지핀(130)의 구조에 대하여 도 3 내지 도 5에서 보다 상세하게 설명하도록 한다.
Hereinafter, the structure of the block 110, the threaded portion 120, and the release prevention pin 130, which are the constituent elements, will be described in more detail with reference to FIG. 3 to FIG.

도 3은, 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리 중 블록의 투과 사시도 및 단면도이다. 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 평판형 구조의 블록(110)의 주면에는 나사부(120)를 안착시킬 수 있는 나사홀(111)이 형성되고, 그 측면에는 나사부(120)의 헤드에 형성된 헤드홈(123-2)과 매칭되는 핀홀(113)이 형성되어 있다.3 is a perspective view and a cross-sectional view of a block of a heater fixing screw assembly according to the present invention. As shown in FIGS. 3A and 3B, a screw hole 111 is formed on the main surface of the block 110 having a flat plate-like structure, and a threaded hole 111 for receiving the screw 120 is formed. And a pinhole 113 matched with the head groove 123-2 is formed.

나사홀(111)은 나사부(120)의 헤드부(123)가 안착될 수 있도록 스텝부가 구성되어서, 나사부(120)의 헤드부(123)가 나사홀(111)에 걸리게 구성될 수 있다. 본 발명에서는 2개의 나사홀(111)이 형성된 예를 도시하고 있으나 나사홀(111)의 갯수는 설계에 따라 더 많이 또는 더 적게 구성할 수 있다.The screw hole 111 may be configured such that the head portion 123 of the screw portion 120 is engaged with the screw hole 111 so that the head portion 123 of the screw portion 120 can be seated. Although two screw holes 111 are illustrated in the present invention, the number of screw holes 111 may be more or less depending on the design.

핀홀(113)은, 풀림 방지핀(130)이 끼워지는 구조를 가게 되며, 블록(110)의 일측면에서 타측면으로 일부 투과하는 투과홀이다. 이 핀홀(113)은, 도 3b에서와 같이, 나사홀(111)을 내면을 통과하도록 형성되게 된다. 여기서 핀홀(113)의 단면은 풀림 방지핀(130)의 단면과 매칭되어야 하면, 풀림 방지핀(130)의 단면이 원형인 경우, 핀홀(113)의 단면과 헤드홈(123-2)의 단면도 원형으로 구성되게 된다.The pinhole 113 has a structure in which the release preventing pin 130 is fitted, and is a through hole that partially penetrates from one side of the block 110 to the other side. As shown in FIG. 3B, the pinhole 113 is formed to pass through the screw hole 111 through the inner surface. When the end surface of the pin hole 113 is to be matched with the end surface of the release preventing pin 130 and the end surface of the release preventing pin 130 is circular, the end surface of the pin hole 113 and the end surface of the head groove 123-2 And is formed in a circular shape.

한편, 주면의 나사홀(111) 인근에는 표시부(도시되지 않음)가 더 형성될 수 있다. 즉 나사홀(111)에 부착되는 나사부(120)가 정위치로 체결되어서 핀홀(113)과 헤드홈(123-2)이 연통하게 되는 것을 알 수 있도록 하기 위하여 형성되는 것이다. 이러한 표시부로는 나사부(120)의 헤드부(123)에 형성된 일자 나사홈(123-1)의 연장선상으로 표시홈이 형성되어 이용될 수 있다. On the other hand, a display portion (not shown) may be further formed near the screw hole 111 on the main surface. That is, the threaded portion 120 attached to the threaded hole 111 is fastened in a fixed position so that the pinhole 113 and the head groove 123-2 are communicated with each other. The display portion may be formed with a display groove on an extension of the flat screw groove 123-1 formed in the head portion 123 of the screw portion 120. [

이상과 같이 구성되어서, 풀림 방지핀(130)이 나사부(120)의 상하 이동을 제한하게 된다.
As described above, the unlocking pin 130 restricts the upward and downward movement of the threaded portion 120.

도 4는 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리 중 나사부의 사시도 및 단면도이다. 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 나사부(120)는, 헤드부(123)와 나사산부(121)를 포함하여 구성된다. 헤드부(123)의 주면에는 나사홈(123-1)이 형성되고 측면에는 헤드홈(123-2)이 형성된다. 나사홈(123-1)은 사용자가 드라이버와 같은 공구를 통해 나사부(120)를 회전시키는 것을 용이하게 하기 위한 구성요소이다. 헤드홈(123-2)은 상술한 바와 같이 핀홀(113)과 매칭되어서 풀림 방지핀(130)이 이 헤드홈(123-2)에 끼워지게 되는 구성이다. 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 헤드홈(123-2)은, 헤드부(123)의 측면을 따라 연속적으로 동일한 형태로 형성될 수 있다. 이 경우에는 나사부(120)의 결합위치에 상관 없이 풀림 방지핀(130)이 핀홀(113)로부터 헤드홈(123-2)을 거쳐 체결되게 될 수 있다. 4 is a perspective view and a cross-sectional view of a screw portion of a heater fixing screw assembly according to the present invention. 4A and 4B, the threaded portion 120 includes a head portion 123 and a threaded portion 121. As shown in FIGS. A screw groove 123-1 is formed on the main surface of the head part 123, and a head groove 123-2 is formed on the side surface. The screw groove 123-1 is a component for facilitating the user to rotate the screw portion 120 through a tool such as a screwdriver. The head groove 123-2 is matched with the pinhole 113 as described above so that the release preventing pin 130 is fitted into the head groove 123-2. As shown in Figs. 4A and 4B, the head groove 123-2 may be continuously formed in the same shape along the side surface of the head portion 123. Fig. In this case, the release preventing pin 130 can be fastened from the pinhole 113 through the head groove 123-2 regardless of the engagement position of the threaded portion 120.

한편, 헤드홈(123-2)은 도 4a와 달리, 헤드부(123)의 둘레를 따라 형성되는 것이 아니라 핀홀(113)의 연장선상으로만 형성될 수 있다. 이 경우, 핀홀(113)과 상기 헤드홈(123-2)을 매칭시키기 위해서는 나사부(120)가 정위치로 블록(110)과 체결되어야 한다. 이를 위해 블록(110)의 나사홀(111)의 주변에는 표시부가 형성된다. 만약 나사홈(123-1)이 일자 나사홈(123-1)인 경우, 이 표시부와 일자 나사홈(123-1)이 일직선이 되면 정렬이 되는 것이다. 이와 같은 헤드홈(123-2)의 단면은 도 4b에 도시된 바와 같이 일측이 개방된 원형으로 형성된다.Unlike FIG. 4A, the head groove 123-2 is not formed along the periphery of the head portion 123, but may be formed only on an extension of the pinhole 113. FIG. In this case, in order to match the pinhole 113 with the head groove 123-2, the threaded portion 120 must be fastened to the block 110 at a predetermined position. To this end, a display portion is formed around the screw hole 111 of the block 110. If the screw groove 123-1 is a flat screw groove 123-1, alignment is achieved when the flat screw groove 123-1 is straight. The cross section of the head groove 123-2 is formed in a circular shape with one side opened as shown in FIG. 4B.

도 5는, 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리(100) 중 풀림방지핀(130)의 사시도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 풀림 방지핀(130)은, 'ㄷ' 형으로 구성되어서, 상기 나사홀(111)의 중앙축을 중심으로 쌍으로 형성된 핀홀(113)에 끼워지게 구성된다. 상기 풀림 방지핀(130)의 양단부의 길이이는 블록(110)의 단측면의 길이 보다 길게 형성되고, 이에 따라, 풀림 방지핀(130)이 핀홀(113)에 완전히 끼워진 상태에서 양단을 절곡시켜, 풀림 방지핀(130)을 블록(110)에 고정시키게 구성된다. 이상과 같이 구성되면, 풀림 방지핀(130)이 진동이나 열충격에 의해 핀홀(113)에서 이탈되는 것이 방지되게 된다.5 is a perspective view of an unlocking pin 130 of a heater fixing screw assembly 100 according to the present invention. As shown in FIG. 5, the unlocking pin 130 is formed in a 'C' shape and is configured to be fitted in a pinhole 113 formed as a pair around the central axis of the screw hole 111. The length of the both ends of the unlocking pin 130 is longer than the length of the short side of the block 110 so that both ends of the unlocking pin 130 are completely inserted into the pin hole 113, So that the unlocking pin 130 is fixed to the block 110. With the above configuration, the release preventing pin 130 is prevented from being detached from the pinhole 113 due to vibration or thermal shock.

이하에서는, 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리의 다른 실시예를 도 6을 참조하여 설명하도록 한다.
Hereinafter, another embodiment of the screw assembly for fixing the heater according to the present invention will be described with reference to FIG.

도 6은, 본 발명에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리의 다른 실시예의 사시도이다. 도 6에서 설명하는 다른 실시예인 히터 고정용 나사 어셈블리에서는 하나의 풀림 방지핀으로 복수의 나사부의 풀림을 방지하는 구성이다.6 is a perspective view of another embodiment of a heater fixing screw assembly according to the present invention. In the heater fixing screw assembly according to another embodiment described with reference to FIG. 6, a plurality of threaded portions are prevented from being loosened by one unlocking pin.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 다른 실시예에 따른 히터 고정용 나사 어셈블리(100')는, 주면에 형성된 복수의 나사홀과 단측면에 형성된 핀홀을 포함하는 블록(110)과, 상기 복수의 나사홀에 체결되며, 헤드부와 나사산부를 포함하는 복수의 나사부(120), 여기서 상기 헤드부의 측면에 헤드홈이 형성되고, 그리고, 상기 핀홀과 상기 복수의 나사부의 각각의 헤드홈에 삽입되어서, 상기 복수의 나사부의 상하 이동을 제한하여 상기 복수의 나사부의 풀림을 동시에 방지하는 풀림방지핀(130')을 포함하는 구성을 가진다.6, a heater fixing screw assembly 100 'according to another embodiment of the present invention includes a block 110 including a plurality of screw holes formed on a main surface and a pin hole formed on a side surface, A plurality of threaded portions (120) fastened to a plurality of threaded holes and including a head portion and a threaded portion, wherein a head groove is formed in a side surface of the head portion, And a release preventing pin (130 ') for restricting up-and-down movement of the plurality of screw portions to simultaneously prevent the plurality of screw portions from being released.

이와 같이 구성함으로써, 풀림 방지핀(130')이 다수의 나사부(120)에 형성된 헤드핀의 헤드홈들에 연속으로 걸림으로써, 하나의 풀림 방지핀(130')이 다수의 나사부(120)의 풀림을 방지하는 기능을 가지게 된다.
The unlocking pin 130 'is continuously engaged with the head grooves of the head pins formed on the plurality of screw portions 120 so that one unlocking pin 130' It has a function of preventing loosening.

상술한 구성을 가진 본 발명의 일실시예에 따르면, 풀림 방지핀에 의해 나사부의 상하이동이 제한되어서, 열충격이나 진동에도 고정 어셈블리의 풀림 현상이 방지될 수 있다.According to an embodiment of the present invention having the above-described configuration, the unlocking pin restricts the upward and downward movement of the threaded portion, thereby preventing the fixing assembly from being loosened even when thermal shock or vibration occurs.

상기와 같이 설명된 히터 고정용 나사 어셈블리 및 이를 포함하는 화학 기상 증착 장치는 상기 설명된 실시 예들의 구성과 방법이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시 예들의 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시 예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
The heater fixing screw assembly and the chemical vapor deposition apparatus including the heater fixing assembly described above can be applied to various configurations of the embodiments described above so that various modifications of the embodiments can be made. All or a part of the above-described elements may be selectively combined.

10 : 챔버
20 : 서셉터
30 : 가스 도입부
40 : 가스 배출부
50 : 가열 수단(히터)
60 : 반응 유로부
100 : 나사 어셈블리
110 : 블록
111 : 나사홀
113 : 핀홀
120 : 나사부
121: 나사산부
123 : 헤드부
123-1 : 나사홈
123-2: 헤드홈
130: 풀림 방지핀10: chamber
20: susceptor
30: gas introduction part
40:
50: Heating means (heater)
60: reaction channel portion
100: Screw assembly
110: block
111: screw hole
113: Pinhole
120:
121:
123: Head portion
123-1: screw groove
123-2: Head Home
130: Release pin

Claims (10)

주면에 형성된 복수의 나사홀과 단측면에 형성된 핀홀을 포함하는 블록;
상기 나사홀에 체결되며, 헤드부와 나사산부를 포함하는 복수의 나사부, 상기 헤드부의 측면에 헤드홈이 형성되고; 및
상기 핀홀과 상기 헤드홈에 삽입되어서, 상기 복수의 나사부의 상하 이동을 동시에 제한하여 상기 복수의 나사부의 풀림을 방지하는 풀림방지핀을 포함하고,
상기 핀홀은 상기 나사홀 각각의 중앙축을 중심으로 쌍으로 형성되고
상기 풀림 방지핀은 상기 블록의 측면과 밀착하도록 "ㄷ"자 형으로 구성되어서 상기 핀홀에 삽입되며, 상기 핀홀에 완전히 끼워진 상태에서 양단을 절곡시킬 수 있도록 상기 블록의 장측면의 길이보다 길게 형성되는 , 히터 고정용 나사 어셈블리.
A block including a plurality of screw holes formed in the main surface and a pin hole formed in the end surface;
A plurality of threaded portions that are fastened to the screw holes and include a head portion and a threaded portion, and a head groove is formed on a side surface of the head portion; And
And an unlocking pin inserted into the pinhole and the head groove to simultaneously restrict the upward and downward movement of the plurality of threaded portions to prevent the plurality of threaded portions from being unwound,
The pinholes are formed in pairs around the central axis of each of the screw holes
The unlocking pin is formed in a " C "shape so as to be in close contact with a side surface of the block, and is inserted into the pinhole and is formed longer than the length of the long side of the block so that both ends of the block are completely inserted into the pinhole , Heater fixing screw assembly.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 헤드홈의 단면은 일측이 개방된 원형이고,
상기 헤드홈의 단면과, 상기 핀홀의 단면이 상호 매칭되는, 히터 고정용 나사 어셈블리.
The method according to claim 1,
Wherein a cross section of the head groove is circular in which one side is open,
Wherein an end face of the head groove and an end face of the pin hole are matched with each other.
제 3 항에 있어서,
상기 풀림 방지핀의 단면은 상기 헤드홈 및 상기 핀홀의 단면과 매칭되는 원형인, 히터 고정용 나사 어셈블리.
The method of claim 3,
And the end surface of the release preventing pin is circular in shape matching with the end surface of the head groove and the pin hole.
제 1 항에 있어서,
상기 헤드부의 주면에 나사홈이 형성되고,
상기 블록의 나사홀 주면에는, 상기 나사부의 헤드홈과 상기 핀홀이 정렬되는 것을 인디케이팅하기 위한 표시부가 형성되는, 히터 고정용 나사 어셈블리.
The method according to claim 1,
A screw groove is formed in the main surface of the head portion,
Wherein a display portion for indicating the alignment of the pin hole with the head groove of the screw portion is formed on the main surface of the screw hole of the block.
제 5 항에 있어서,
상기 나사홈은 일자나사홈이고,
상기 표시부는 상기 일자나사홈의 연장선에 형성되는 표시홈인, 히터 고정용 나사 어셈블리.
6. The method of claim 5,
Wherein the screw groove is a flat screw groove,
Wherein the display portion is a display groove formed in an extension of the flat screw groove.
제 1 항에 있어서,
상기 블록은, 직사각 평판형이고,
상기 블록의 각 모서리에는 모따기부가 형성되는, 히터 고정용 나사 어셈블리.
The method according to claim 1,
The block is of a rectangular plate type,
Wherein a chamfer is formed at each corner of the block.
반응가스가 유동하는 반응유로부가 마련되는 챔버;
상기 챔버 내의 상기 반응유로부에 구비되며, 적어도 하나의 기판을 수용하여 상기 반응유로부에 노출되도록 하는 서셉터;
상기 반응유로부로 상기 반응가스를 유입시키도록 구비되는 가스 도입부; 및
반응 후 가스를 배기하도록 상기 챔버에 마련되는 가스배출부;
상기 기판에 열을 제공하는 가열수단; 및
상기 가열 수단이 상기 서셉터 또는 상기 챔버에 고정되도록 하는 고정용 나사 어셈블리를 포함하고,
상기 고정용 나사 어셈블리는,
주면에 형성된 복수의 나사홀과 단측면에 형성된 핀홀을 포함하는 블록;
상기 나사홀에 체결되며, 헤드부와 나사산부를 포함하는 복수의 나사부, 상기 헤드부의 측면에 헤드홈이 형성되고; 및
상기 핀홀과 상기 헤드홈에 삽입되어서, 상기 복수의 나사부의 상하 이동을 동시에 제한하여 상기 복수의 나사부의 풀림을 방지하는 풀림방지핀을 포함하고,
상기 핀홀은 상기 나사홀 각각의 중앙축을 중심으로 쌍으로 형성되고
상기 풀림 방지핀은 상기 블록의 측면과 밀착하도록 "ㄷ"자 형으로 구성되어서 상기 핀홀에 삽입되며, 상기 핀홀에 완전히 끼워진 상태에서 양단을 절곡시킬 수 있도록 상기 블록의 일측면의 길이보다 길게 형성되는, 화학 기상 증착 장치.A chamber in which a reaction channel portion in which a reaction gas flows is provided;
A susceptor provided in the reaction channel portion in the chamber and adapted to receive at least one substrate to expose the reaction channel portion;
A gas introducing part provided to introduce the reaction gas into the reaction channel part; And
A gas discharge unit provided in the chamber to discharge gas after the reaction;
Heating means for providing heat to the substrate; And
And a fixing screw assembly for fixing the heating means to the susceptor or the chamber,
The fixing screw assembly includes:
A block including a plurality of screw holes formed in the main surface and a pin hole formed in the end surface;
A plurality of threaded portions that are fastened to the screw holes and include a head portion and a threaded portion, and a head groove is formed on a side surface of the head portion; And
And an unlocking pin inserted into the pinhole and the head groove to simultaneously restrict the upward and downward movement of the plurality of threaded portions to prevent the plurality of threaded portions from being unwound,
The pinholes are formed in pairs around the central axis of each of the screw holes
The unlocking pin is formed in a " C "shape so as to be in close contact with the side surface of the block, and is inserted into the pinhole and is longer than the length of one side of the block so as to bend both ends thereof , Chemical vapor deposition apparatus. 삭제delete 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100581860B1 (en) 2003-03-14 2006-05-22 삼성에스디아이 주식회사 Evaporation apparatus of thin layer
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