KR101919538B1 - 추출 복재 시료 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

Abstract

추출 복제 시료를 보다 간편하고 효과적으로 제조할 수 있도록, 베이스부재, 상기 베이스부재에 상부로 연장 설치되는 기둥부재, 상기 기둥부재에 회전가능하게 설치되는 수평부재, 상기 수평부재에 설치되고 시편이 몰딩된 시편몰드가 장착되는 몰드고정블럭, 상기 베이스부재 상에 설치되고 상기 시편몰드의 시편에 전착된 시료에 분할 홈을 가공하는 홈가공부, 상기 베이스부재 상에 설치되고 시편몰드의 시편에서 시료를 박리시키기 위한 박리부, 상기 수평부재에 설치되고 시편몰드에서 박리된 시료를 시편몰드로부터 분리시키는 분리부, 및 상기 시편몰드가 설치된 몰드고정블럭을 공정에 따라 홈가공부와 박리부 및 분리부로 이동시키는 구동부를 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치를 제공한다.

Description

추출 복재 시료 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS FOR MANUFACTURING EXTRACTION REPLICA, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

추출 복재 시료를 제조하기 위한 장치와 방법을 개시한다.

일반적으로 강의 기계적 특성을 개선하기 위해서는 열처리와 미량 합금 원소 첨가에 따라 내부 조직 변화와 석출물 및 개재물의 분포 상태를 정확하게 파악하는 것이 중요하다.

강의 내부조직 변화와 조대한 석출물 및 개재물의 분포 상태는 통상 화학에칭이나 전해에칭 후에 광학 현미경이나 주사전자현미경을 이용하여 관찰한다. 실제 강의 기계적 특성에 크게 영향을 미치는 것은 미세한 석출물이다. 이에, 미세 석출물이 존재하는 상태 그대로 정확하게 분포 상태, 결정 구조 및 화학 결합 상태 등을 조사하는 것이 합금 설계에 있어서 중요하다.

그런데, 미세한 석출물은 주사전자현미경이나 광학현미경의 분해능으로 관찰이 불가능하다. 따라서, 미세한 석출물의 경우에는 시편을 직접 박막 시료로 제조하거나, 시편에서 추출 복제 시료를 제조하여 투과전자현미경으로 관찰하는 것이 필요하다.

추출 복제 시료는 시편을 몰딩하여 연마하고 표면에 탄소필름을 전착한 후 시편으로부터 박리시켜 제조하게 된다. 추출 복제 시료를 통해 미세 석출물들의 분포 상태를 기지 조직의 영향을 받지 않고서 존재하는 상태 그대로 관찰할 수 있다.

종래, 추출 복제 시료의 제조는 작업자가 일일이 각 공정을 수작업으로 진행함에 따라 시료의 수율이나 균일성이 떨어지는 문제가 있다. 이에, 추출 복제 시료를 통해 원하는 실험 결과를 얻기 쉽지 않고, 정밀한 실험 데이터를 얻기 힘들었다.

추출 복제 시료를 보다 간편하고 효과적으로 제조할 수 있고, 시료 제조에 소요되는 시간을 보다 단축할 수 있도록 된 추출 복재 시료 제조 장치 및 제조 방법을 제공한다.

추출 복제 시료를 보다 정밀하게 제조할 수 있도록 된 추출 복재 시료 제조 장치 및 제조 방법을 제공한다.

이를 위해 본 구현예의 추출 복재 시료 제조 장치는, 베이스부재, 상기 베이스부재에 상부로 연장 설치되는 기둥부재, 상기 기둥부재에 회전가능하게 설치되는 수평부재, 상기 수평부재에 설치되고 시편이 몰딩된 시편몰드가 장착되는 몰드고정블럭, 상기 베이스부재 상에 설치되고 상기 시편몰드의 시편에 전착된 시료에 분할 홈을 가공하는 홈가공부, 상기 베이스부재 상에 설치되고 시편몰드의 시편에서 시료를 박리시키기 위한 박리부, 상기 수평부재에 설치되고 시편몰드에서 박리된 시료를 시편몰드로부터 분리시키는 분리부, 및 상기 시편몰드가 설치된 몰드고정블럭을 공정에 따라 홈가공부와 박리부 및 분리부로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

상기 몰드고정블럭은 일측에 시편몰드가 끼워지는 홈이 형성되어 시편몰드가 장착되고, 측면에는 홈 내측으로 관통되어 시편몰드를 가압 고정하는 가압실린더가 설치된 구조일 수 있다.

상기 홈가공부는 베이스부재 상에 가공된 설치 공간 내에 수용된 가공대, 상기 가공대에 구비되어 시편몰드의 시료에 분할홈을 형성하는 가공기, 상기 가공대에 설치되고 분할홈 형성방향을 따라 상기 가공기를 수평 이동시키는 수평실린더, 및 상기 가공대를 회전시켜 분할홈 형성 방향을 전환하는 전환모터를 포함할 수 있다.

상기 홈가공부는 수평실린더의 피스톤로드 선단과 가공기 사이에 설치되고 수직으로 배치되어 가공기를 상하로 이동시켜 시료에 대한 분할홈 형성 압력을 조절하는 조절실린더를 더 포함할 수 있다.

상기 박리부는 베이스부재 상에 설치되고 내부에 시편을 에칭하여 전착된 시료를 박리시키는 에칭액이 채워져 시편몰드가 유입되는 수조를 포함할 수 있다.

상기 박리부는 수조 내에 설치되는 에어 공급관, 상기 에어공급관을 따라 설치되는 적어도 하나 이상의 분사노즐, 및 상기 에어공급관으로 에어를 공급하는 공급부를 더 포함할 수 있다.

상기 박리부는 상기 수조 내에 설치되어 시편의 표면 변화를 검출하기 위한 카메라를 더 포함할 수 있다.

상기 박리부는 시편몰드 내에 설치되어 시편과 접하는 전극판, 상기 전극판에 연결되어 전극판을 통해 시편에 전류를 인가하는 전류인가부를 더 포함할 수 있다.

상기 분리부는 수평부재 하부에 설치되어 몰드고정블럭과 이격 배치되는 지지대, 상기 지지대에 이동가능하게 결합되는 지지판, 상기 지지판에 설치되고 표면에 접착제가 도포되어 시료를 부착시키기 위한 분리판, 상기 지지대에 설치되고 분지지판을 시편몰드에 대해 수평 이동시켜 분리판을 시료에 부착하고 시편에서 시료를 분리시키는 이동실린더를 포함할 수 있다.

상기 분리부는 상기 지지판에 설치되고 분리판 후면에 배치되어 분리판을 시편에 가압하는 가압롤러, 상기 지지판에 설치되고 상기 가압롤러에 연결되어 가압롤러를 분리판을 따라 왕복 이동시키는 왕복실린더를 더 포함할 수 있다.

상기 분리부는 상기 수평부재에 설치되고 상기 지지대에 연결되어 지지대를 회전시켜 분리판의 위치를 전환하는 분리부모터를 더 포함할 수 있다.

상기 구동부는 상기 수평부재에서 시편몰드를 베이스부재로 상하 이동시키기 위한 승하강부를 포함할 수 있다.

상기 승하강부는 수평부재 하부에 위치하여 시편몰드가 장착된 몰드고정블럭이 결합되는 승강블럭, 상기 수평부재에 설치되어 상기 승강블럭에 연결되어 승강블럭을 상하로 이동시키는 수직실린더를 포함할 수 있다.

상기 승하강부는 상기 승강블럭에 설치되고 수평부재 위쪽으로 연장되는 가이드바, 상기 수평부재에 형성되어 상기 가이드바를 안내하는 가이드홀더를 더 포함할 수 있다.

상기 구동부는 상기 기둥부재에 대해 지지부재를 회전시켜 시편몰드를 홈가공부와 박리부 사이에서 왕복 이동시키는 회전부를 포함할 수 있다.

상기 회전부는 상기 수평부재가 설치되고 상기 기둥부재에 회전가능하게 결합되는 피동기어, 상기 기둥부재에 설치되는 회전모터, 상기 회전모터의 회전축에 설치되고 상기 피동기어에 맞물리는 구동기어를 포함할 수 있다.

상기 구동부는 상기 시편몰드의 시료를 분리부로 향하도록 이동시키는 스윙부를 포함할 수 있다.

상기 스윙부는 승강블럭과 몰드고정블럭 사이에 설치되는 힌지축, 상기 승강블럭에 설치되고 몰드고정블럭에 연결되어 힌지축을 중심으로 몰드고정블럭을 회동시키는 회동실린더를 포함할 수 있다.

상기 스윙부는 몰드고정블럭에 설치되는 감지편과, 상기 승강블럭에 설치되어 상기 감지편을 검출하는 감지센서를 더 포함하여, 승강블럭에 대한 몰드고정블럭의 결합 상태를 검출하는 구조일 수 있다.

본 구현예의 추출 복재 시료 제조 방법은, 시료가 전착된 시편몰드를 준비하는 단계, 준비된 시편몰드를 이동시켜 시료에 분할홈을 가공하는 단계, 분할홈이 가공된 시편몰드를 에칭하여 시료를 박리하는 단계, 접착제가 도포된 제거판을 시편몰드에 밀착시켜 시료를 제거판에 부착하여 시편몰드에서 분리시키는 단계를 포함할 수 있다.

상기 시편몰드를 준비하는 단계는, 몰드 내에 시편과 접촉하며 외측으로 노출되는 전극판을 삽입하여 시편과 함께 몰딩하는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 시료를 박리하는 단계는, 에칭액에 기포를 분사하는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 시료를 박리하는 단계는, 시편몰드에 구비된 전극판을 통해 시편에 전류를 인가하는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 시료를 박리하는 단계는, 수조 내에 구비된 카메라로 시편의 부식 정도를 검출하는 단계를 더 포함할 수 있다.

이상 설명한 바와 같은 본 구현예에 의하면, 시료를 기계적으로 제조함으로써, 시료 제조에 소요되는 노력과 시간을 줄이고, 시료를 보다 효과적으로 제조할 수 있게 된다.

또한, 종래 수작업에 의해 시료를 제조하는 것과 비교하여 보다 정확하고 정밀한 시료를 제조할 수 있다.

또한, 시험을 위한 시료 제조 수량을 감소하고, 시험 시간을 단축할 수 있게 된다.

또한, 시편의 위치별로 구분하여 시료를 제조할 수 있어, 시편의 위치별로 실험 결과를 얻을 수 있고, 실험 결과에 대한 데이터의 정밀도와 신뢰도를 높일 수 있다.

도 1은 본 실시예에 따른 추출 복재 시료 제조 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 실시예에 따른 추출 복재 시료 제조 장치의 홈가공부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 실시예에 따른 홈가공 상태를 나타낸 개략적인 도면이다.
도 4는 본 실시예에 따른 추출 복재 시료 제조 장치의 홈가공부에 의해 시편에 분할홈이 형성된 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 실시예에 따른 추출 복재 시료 제조 장치의 박리부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 본 실시예에 따른 추출 복재 시료 제조 장치의 분리부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 7과 도 8은 본 실시예에 따른 추출 복재 시료 제조 장치의 스윙부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 9는 본 실시예에 따른 추출 복재 시료 제조 장치에 의해 시료가 분리된 상태를 나타낸 도면이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있는 바와 같이, 후술하는 실시예는 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 가능한 한 동일하거나 유사한 부분은 도면에서 동일한 도면부호를 사용하여 나타낸다.

이하에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 “포함하는” 의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.

이하에서 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 실시예에 따른 추출 복재 시료 제조 장치의 구성을 개략적으로 나타내고 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 추출 복재 시료 제조 장치(100)는, 베이스부재(10), 상기 베이스부재(10)에 상부로 연장 설치되는 기둥부재(11), 상기 기둥부재(11)에 회전가능하게 설치되는 수평부재(12), 상기 수평부재(12)에 설치되고 시편이 몰딩된 시편몰드(110)가 장착되는 몰드고정블럭(20), 상기 베이스부재(10) 상에 설치되고 상기 시편몰드(110)의 시편에 전착된 시료에 분할홈을 가공하는 홈가공부(30), 상기 베이스부재(10) 상에 설치되고 시편몰드(110)의 시편에서 시료를 박리시키기 위한 박리부(50), 상기 수평부재(12)에 설치되고 시편몰드(110)에서 박리된 시료를 시편몰드(110)로부터 분리시키는 분리부(70), 및 상기 시편몰드(110)가 설치된 몰드고정블럭(20)을 공정에 따라 홈가공부(30)와 박리부(50) 및 분리부(70)로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 시편몰드(110)는 적어도 하나 이상의 시편(112)을 수지로 경화시켜 고정하고 있는 블록 형태의 몰드 구조물이다. 이하 설명에서, 시편몰드(110)는 시편(112)을 수지로 고정하고 시편 일측면을 연마한 후 연마된 시편 표면에 시료(도 8의 114 참조)인 탄소필름이 전착된 상태의 몰드 구조물로 이해할 수 있다.

본 실시예의 장치는 시료가 전착된 시편몰드(110)를 기계적으로 처리하여, 최종적으로 시편으로부터 탄소필름을 분리하여 추출 복제 시료를 제조하게 된다.

이에, 본 장치는 구동부에 의해 시편몰드(110)를 홈가공부(30), 박리부(50) 및 분리부(70)로 순차적으로 이동하여 각 공정을 기계적으로 수행할 수 있어, 시편으로부터 시료를 보다 용이하고 정밀하게 제조할 수 있게 된다.

베이스부재(10)는 지면에 설치되며, 각 구성부를 지지하는 지지 구조물을 이룬다. 베이스부재(10) 상부에는 홈가공부(30)와 박리부(50)가 구비된다. 베이스부재(10) 중앙에는 수직으로 기둥부재(11)가 연장 설치된다. 기둥부재(11)의 상부에는 수평부재(12)가 회전가능하게 설치된다. 수평부재(12)는 몰드고정블럭(20)이 지지되는 구성부이다. 몰드고정블럭(20)은 승강블럭을 매개로 수평부재(12)에 결합된다. 승강블럭은 몰드고정블럭(20)을 스윙가능하게 지지하는 구성부이다.

몰드고정블럭(20)은 일측에 시편몰드(110)가 끼워지는 홈이 형성되어 시편몰드(110)가 장착된다. 홈의 측면에는 홈 내측으로 관통되어 시편몰드(110)를 가압 고정하는 가압실린더(21)가 설치된다. 이에, 몰드고정블럭(20)의 홈에 시편몰드(110)가 삽입된 상태에서 가압실린더가 작동되면 피스톤로드가 시편몰드(110)를 가압하여 몰드고정블럭(20)에 고정시키게 된다.

본 실시예에서, 시편몰드(110)은 시료가 전착된 면이 베이스부재(10) 상부를 향하도록 하향 배치되어 몰드고정블럭(20)에 고정될 수 있다. 이에, 시편몰드(110)의 시료가 베이스부재(10)의 홈가공부(30)와 박리부(50)와 대향되어 시편몰드를 하강시키는 것으로 필요한 공정을 수행할 수 있게 된다.

상기 구동부는 시편몰드(110)가 설치된 몰드고정블럭(20)을 각 공정 순서에 따라 이동시키는 구조로 되어 있다. 이를 위해, 상기 구동부는 시편몰드(110)를 베이스부재(10)에 설치된 홈가공부(30) 또는 박리부(50)로 상하 이동시키기 위한 승하강부, 시편몰드(110)를 홈가공부(30)에서 박리부(50)로 이동시키는 회전부, 시편몰드(110)의 시료를 분리부(70)로 향하도록 하는 스윙부를 포함할 수 있다.

본 실시예에서, 승하강부는 수평부재(12) 하부에 위치하여 몰드고정블럭(20)이 결합되는 승강블럭(22), 수평부재(12)에 설치되어 상기 승강블럭(22)에 연결되어 승강블럭(22)을 상하로 이동시키는 수직실린더(23)를 포함할 수 있다.

이에, 수직실린더(23)가 신축 구동되면, 수직실린더(23)의 피스톤로드 선단에 연결되어 있는 승강블럭(22)이 수평부재(12)에 대해 베이스부재(10)를 향해 상하로 이동하게 된다. 따라서, 승강블럭(22)에 결합되어 있는 몰드고정블럭(20)이 상하로 이동되어 시편몰드를 베이스부재 상으로 이동할 수 있게 된다. 베이스부재(10) 상에는 홈가공부(30)와 박리부(50)가 구비되어 있어, 수직실린더(23)의 구동에 따라 시편몰드는 홈가공부(30) 또는 박리부(50)로 이동되어 공정을 수행할 수 있다.

또한, 승하강부는 상기 승강블럭(22)에 설치되고 수평부재(12) 위쪽으로 연장되는 가이드바(24), 상기 수평부재(12)에 형성되어 상기 가이드바를 안내하는 가이드홀더(25)를 더 포함할 수 있다. 이에, 승강블럭(22)이 상하로 이동될 때, 가이드바(24)가 가이드홀더(25)에 의해 안내됨으로써, 승강블럭(22)의 회전이나 유동을 방지할 수 있게 된다.

상기 회전부는 상기 기둥부재(11)에 대해 지지부재를 회전시켜 시편몰드(110)를 홈가공부(30)와 박리부(50) 사이에서 왕복 이동시키는 구조로 되어 있다.

본 실시예에서, 회전부는 상기 수평부재(12)가 설치되고 상기 기둥부재(11)에 회전가능하게 결합되는 피동기어(26), 상기 기둥부재(11)에 설치되는 회전모터(27), 상기 회전모터(27)의 회전축에 설치되고 상기 피동기어(26)에 맞물리는 구동기어(28)를 포함할 수 있다.

기둥부재(11) 상단에는 브라켓(129)이 설치되고, 회전모터(27)가 브라켓(29) 상에 고정 설치된다. 회전모터(27)는 기둥부재(11)에 브라켓(29)을 매개로 고정 설치되고, 수평부재(12)는 피동기어(26)를 매개로 기둥부재(11)에 회전가능하게 설치된다. 이에, 고정된 위치에서 회전모터(27)가 구동되면 구동기어(28)가 회전되고 구동기어(28)에 맞물려있는 피동기어(26)가 기둥부재(11)를 중심축으로 하여 회전된다. 피동기어(26)에는 수평부재(12)가 설치되어 있으므로, 피동기어(26) 회전에 따라 수평부재(12)가 기둥부재(11)를 중심축으로 하여 회전운동하게 된다.

따라서, 수평부재(12)에 설치되어 있는 시편몰드(110) 역시 기둥부재(11)를 중심으로 원주방향으로 이동하게 된다. 이에, 시편몰드(110)를 홈가공부(30) 위쪽에서 박리부(50) 위쪽으로 위치 이동시킬 수 있게 된다.

스윙부는 상기 시편몰드(110)의 시료를 분리부(70)로 향하도록 이동시키는 구조로 되어 있다. 스윙부의 구조에 대해서는 분리부(70)의 구조와 더불어 뒤에서 다시 상세하게 설명하도록 한다.

도 2는 본 실시예에 따른 홈가공부의 구조를 나타내고 있으며, 도 2를 참조하여, 홈가공부의 구조를 설명한다.

본 실시예에서, 홈가공부(30)는 베이스부재(10) 상에 가공된 설치 공간 내에 수용된 가공대(31), 상기 가공대(31)에 구비되어 시편몰드(110)의 시료에 분할홈(34)을 형성하는 가공기(32), 상기 가공대(31)에 설치되고 분할홈 형성방향을 따라 상기 가공기(32)를 수평 이동시키는 수평실린더(35), 및 상기 가공대(31)를 회전시켜 분할홈 형성 방향을 전환하는 전환모터(36)를 포함할 수 있다.

홈가공부(30)는 수평부재(12)에 설치된 시편몰드(110)와 대응되는 아래쪽에 위치하여, 시편몰드(110)가 하강하게 되면 바로 홈가공부(30) 상에 위치할 수 있도록 되어 있다.

가공대(31)는 베이스부재(10) 상부의 공간 내에 회전가능하게 놓여진다. 가공대(31)의 하단은 전환모터(36)에 연결되어 있어, 전환모터(36)가 구동되면 가공대(31)가 공간 내에서 수평방향으로 회전된다.

가공기(32)는 분할홈 형성을 위한 뾰족한 마킹핀(33)이 구비된다.

가공대(31) 내부 일측면에 수평실린더(35)가 설치된다. 수평실린더(35)가 신축 구동됨에 따라 가공기(32)가 가공대(31) 내부에서 수평방향을 따라 직선 이동하게 된다. 이에, 도 3에 나타낸 바와 같이, 시편몰드의 시료 전착면에 대해 가공기(32)가 이동하면서 마킹핀(33)이 시료(114)에 분할홈(34)을 형성하게 된다.

전환모터(36)는 베이스부재(10) 공간 하부에 설치되고 가공대(31)와 연결된다. 전환모터(36)는 가공대(31)를 예를 들어, 90도 각도로 회전시키게 된다. 이에, 시료에 90도 각도로 방향을 전환하여 분할홈(34)을 형성할 수 있게 된다.

상기 홈가공부(30)는 시료에 대한 분할홈 형성 압력을 조절하는 조절실린더(37)를 더 포함할 수 있다. 조절실린더(37)는 수평실린더(35)의 피스톤로드 선단과 가공기(32) 사이에 설치되고 수직으로 배치되어 가공기(32)를 상하로 이동시킨다.

조절실린더(37)의 피스톤로드 선단에 가공기(32)가 설치된다. 이에, 조절실린더(37)가 신축 구동되면, 가공기(32)가 상하로 이동되어 시료에 대한 가공기(32)의 가압력이 조절된다.

예를 들어, 조절실린더(37)가 신장작동되면 가공기(32)가 시료가 위치한 상부로 이동되어 시료에 대한 가공기(32)의 가압력을 높일 수 있게 된다. 이에, 원하는 정도의 압력으로 시료에 분할홈을 형성하여 시료를 분할할 수 있게 된다.

도 4는 홈가공부에 의해 시편의 시료 전착면에 분할홈이 형성된 것을 예시하고 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 홈가공부(30)를 통해 시편(112)에 전착된 시료(114)에 직각으로 교차하는 복수의 분할홈(34)을 형성할 수 있다. 분할홈(34)의 간격은 예를 들어, TEM 설비의 홀더에 장착하여 사용 가능한 시료 크기에 맞춰 설정할 수 있다.

도 5는 본 실시예에 따른 박리부 구조를 나타내고 있으며, 도 5를 참조하여 박리부의 구조를 설명한다.

박리부(50)는 베이스부재(10) 상에 설치되는 수조(51)를 포함한다. 수조(51)는 내부에 시편을 에칭하여 전착된 시료를 박리시키는 에칭액을 수용한다.

수조(51)의 상부는 개방되어 있어, 시편몰드(110)가 하강하여 시편 전착면이 수조(51) 내부의 에칭액에 잠기게 된다.

수조(51)는 수평부재(12)에 설치된 시편몰드(110)와 대응되는 아래쪽에 위치한다. 이에, 시편몰드(110)가 하강하게 되면 바로 수조(51) 내부로 진입할 수 있게 된다.

수조(51) 내부에 수용된 에칭액에 의해 시편에 전착된 시료가 시편에서 박리된다. 에칭액은 시료가 전착된 시편을 부식시켜 시편에서 시료를 박리시키게 된다. 에칭액은 예를 들어, 메탄올과 초안 및 염화테트릴메틸 암모늄을 포함한 용액일 수 있다.

또한, 전착된 시료를 보다 용이하고 효과적으로 박리시킬 수 있도록 에칭액에 에어를 분사할 수 있다.

이를 위해, 박리부(50)는 수조(51) 내에 설치되는 에어공급관(52), 상기 에어공급관(52)을 따라 설치되는 적어도 하나 이상의 분사노즐(53), 및 상기 에어공급관(52)으로 에어를 공급하는 공급부(54)를 더 포함할 수 있다.

에어공급관(52)은 수조(51) 내부로 연장되어 수조(51) 내측면에 설치될 수 있다. 에어공급관(52)은 수조(51) 내측에 적어도 하나 이상 배열 설치되어 에칭액으로 에어를 공급한다. 에어공급관(52)을 통해 공급된 에어는 분사노즐(53)을 통해 에칭액으로 분출된다. 이에, 에칭액 내에 기포가 발생되어 시료 전착면에 기포가 가해짐에 따라 시편이 보다 균일하고 효과적으로 에칭된다. 따라서, 시편에 전착된 시료의 박리가 균일하고 효과적으로 이루어질 수 있다.

또한, 필요한 경우 시편에 전류를 인가하여 박리 효과를 보다 높일 수 있다. 이를 위해, 박리부(50)는 시편몰드(110) 내에 설치되어 시편과 접하는 전극판(55), 전극판(55)에 연결되어 전극판(55)을 통해 시편에 전류를 인가하는 전류인가부(56)를 더 포함할 수 있다.

전극판(55)은 예를 들어, 시편을 몰딩하여 시편몰드(110)를 제조하는 과정에서 시편과 함께 몰드 내에 삽입함으로써, 시편몰드(110) 내에 설치될 수 있다. 전극판(55)은 내부에서 시편과 접촉되며, 일부는 시편몰드(110) 외측으로 노출된다. 시편몰드(110) 외부로 노출된 전극판(55)에 전류인가부(56)가 접촉하여 전기적으로 연결된다.

전류인가부(56)는 외부 전력을 공급받아 전극판(55)으로 전류를 인가한다. 전류인가부는 시편몰드(110)가 고정되는 몰드고정블럭(20) 내에 설치된다. 몰드고정블럭(20)에 시편몰드(110)가 장착되면서 전류인가부가 시편몰드(110) 외측으로 노출되어 있는 전극판(55)과 접촉된다.

에칭액 내에서 시료가 전착된 시편으로 전류가 인가됨으로써, 시료와 시편 사이 박리가 보다 효과적으로 수행된다.

본 실시예에서, 박리부(50)는 상기 수조(51) 내에 설치되어 시편의 표면 변화를 검출하기 위한 카메라(57)를 더 포함할 수 있다.

카메라(57)는 수조(51)의 에칭액 내에서 시편의 부식을 용이하게 관찰할 수 있는 위치에 설치될 수 있다. 카메라(57)는 시편 표면에 진행되는 부식 정도를 촬영하여 영상정보를 외부로 인가한다. 예를 들어, 카메라(57)와 연결된 검출부(58)는 카메라(57)로부터 얻어진 영상정보를 분석함으로써, 시편의 부식 상태를 정확히 확인할 수 있게 된다.

따라서, 카메라(57)를 통해 시편의 부식 정도를 용이하게 확인하여, 박리 시점을 정확히 판단할 수 있다. 카메라(57)를 통해 시편 부식이 확인되면 바로 수직실린더(23)를 구동하여 시편몰드(110)를 수조(51)에서 상승시켜 에칭액에서 건져낼 수 있다.

시료 박리시점을 정확히 파악하지 못하는 경우, 탄소필름으로 된 시료가 시편에서 완전히 분리될 수 있다. 종래의 경우, 시료 박리시점 파악이 어려워 시편에서 시료가 분리되어 에칭액 내에 섞임으로써 분리된 위치를 정확히 확인하지 못하고, 시료를 수거하지도 못하였다. 그러나, 본 실시예에 따라 정확히 시료 박리시점을 확인함으로써, 추후 분리 과정에서 시료의 위치별로 정확히 분리가 가능하게 된다.

도 6은 본 실시에에 따른 분리부의 구조를 나타내고 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 분리부(70)는 수평부재(12) 하부에 설치되어 몰드고정블럭(20)과 이격 배치되는 지지대(71), 상기 지지대(71)에 이동가능하게 결합되는 지지판(72), 지지판(72)에 설치되고 표면에 접착제가 도포되어 시료를 부착시키기 위한 분리판(73), 상기 지지대(71)에 설치되고 지지판(72)을 시편몰드(110)에 대해 수평 이동시켜 지지판(72)을 시료에 부착하고 시편에서 시료를 분리시키는 이동실린더(74)를 포함할 수 있다.

지지대(71)는 수평부재(12) 하부에 수직으로 배치된다. 지지대(71)는 분리판(73)을 이동가능하게 지지한다. 분리판(73)이 몰드고정블럭(20)을 향하도록 하여 지지대(71) 전면에 설치된다.

지지대(71) 후면에 수평방향으로 이동실린더(74)가 설치되고, 이동실린더(74)의 피스톤로드 선단은 지지대(71)를 관통하여 지지판(72)과 연결된다. 이에, 이동실린더(74)가 신축구동되면, 지지판(72)이 지지대(71)에 대해 몰드고정블럭(20)을 향해 전진 및 후진 이동하게 된다.

지지판(72)이 이동함에 따라 지지판(72)에 설치된 분리판(73)이 몰드고정블럭(20)을 향해 이동된다.

분리판(73)은 지지판(72)의 전면에 분리가능하게 설치될 수 있다. 분리판(73)은 대략 시편몰드(110)에 전착된 시료 전체를 부착할 수 있도록, 시료 크기보다 충분히 큰 크기로 형성될 수 있다. 분리판(73)은 평판 형태를 이루며, 시료가 접하는 전면에 접착제가 도포된다. 예를 들어, 분리판(73)은 접착제가 도포된 필름 형태의 얇은 판 구조물로 이루어질 수 있다. 분리판(73)은 지지판(72)에 고정되어 사용된다. 시편에서 시료 분리 후에는 지지판(72)에서 분리판(73) 만을 떼어내 용이하게 시료 분석작업을 수행할 수 있다.

분리부(70)는 분리판(73)을 시료와 보다 긴밀하게 접착시킬 수 있도록, 지지판(72)에 설치되고 분리판(73) 후면에 배치되어 분리판(73)을 시편에 가압하는 가압롤러(75), 지지판(72)에 설치되고 가압롤러(75)에 연결되어 가압롤러(75)를 분리판(73)을 따라 왕복 이동시키는 왕복실린더(76)를 더 포함할 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 가압롤러(75)는 지지판(72) 내부에서 상하로 이동가능하게 배치된다. 가압롤러(75)는 분리판(73)의 내측면에 밀착된다. 왕복실린더(76)가 신축 구동함에 따라 가압롤러(75)가 지지판(72) 내부에서 상하로 이동되면서 분리판(73)을 전체적으로 가압하여 시료에 밀착시키게 된다.

또한, 분리판(73)은 몰드고정블럭(20)을 향하도록 배치되어 있어, 추후 시료가 부착된 분리판(73)을 지지판(72)에서 분리하기 위해서는 작업이 용이한 위치로 분리판(73)을 이동시킬 필요가 있다.

이에, 분리부(70)는 상기 수평부재(12)에 설치되고 상기 지지대(71)에 연결되어 지지대(71)를 회전시켜 분리판(73)의 위치를 전환하는 분리부모터(77)를 더 포함할 수 있다.

지지대(71)는 분리부모터(77)에 연결되어 수평부재(12)에 대해 회전가능하게 결합된다. 이에, 분리부모터(77)가 회전구동되면, 지지대(71)가 수평부재(12)에 대해 회전운동하여 분리판(73)의 방향을 전환하게 된다.

분리부(70)를 통해 시편에 전착된 시료를 분리시키기 위해서는, 시편의 시료 전착면이 분리판(73)을 향하도록 해야 한다.

스윙부는 승강블럭(22)에 대해 몰드고정블럭(20)을 회동시켜 베이스부재(10)쪽을 향하는 시편의 시료 전착면을 분리판(73)을 향하도록 이동한다.

도 7과 도 8에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 스윙부는 승강블럭(22)과 몰드고정블럭(20) 사이에 설치되는 힌지축(80), 승강블럭(22)에 설치되고 몰드고정블럭(20)에 연결되어 힌지축(80)을 중심으로 몰드고정블럭(20)을 회동시키는 회동실린더(81)를 포함할 수 있다.

이에, 몰드고정블럭(20)이 회동되어 몰드고정블럭(20)에 설치되어 있는 시편몰드(110)의 시료 전착면이 분리부(70)를 향하게 된다. 언급한 바와 같이, 시편몰드(110)는 시료 전착면이 베이스부재(10)를 향하도록 하여 몰드고정블럭(20)에 고정된다. 이 상태에서 스윙부에 의해 몰드고정블럭(20)이 힌지축(80)을 중심으로 90°로 회동되어 시편의 시료 전착면이 분리부(70)를 향하게 된다.

힌지축(80)은 승강블럭(22)의 모서리쪽에 치우쳐져 설치될 수 있다. 그리고, 회동실린더(81)가 승강블럭(22)과 몰드고정블럭(20) 사이에 설치된다. 이에, 회동실린더(81)가 신축 구동되면 고정되어 있는 승강블럭(22)에 대해 힌지축(80)을 중심으로 몰드고정블럭(20)이 회전된다.

또한, 스윙부는 몰드고정블럭(20)에 설치되는 감지편(82)과, 상기 승강블럭(22)에 설치되어 상기 감지편을 검출하는 감지센서(83)를 더 포함하여, 승강블럭(22)에 대한 몰드고정블럭(20)의 결합 상태를 검출하는 구조일 수 있다.

예를 들어, 감지편은 자성체이고, 감지센서는 자성체를 검출하는 자력검출센서일 수 있다. 감지편(82)은 몰드고정블럭(20) 일측에 설치되며, 감지센서(83)는 승강블럭(22)에 몰드고정블럭(20)이 완전히 결합되었을 때를 기준으로 감지편과 대응되는 위치에 설치될 수 있다. 이에, 감지센서(83)가 감지편(82)을 감지하는 것으로, 몰드고정블럭(20)에 승강블럭(22)이 완전히 결합되었는지 여부를 용이하게 확인할 수 있게 된다.

회동실린더(81)가 작동되면 승강블럭(22)에 대해 힌지축(80)을 중심으로 몰드고정블럭(20)이 회전된다. 이에, 도 8에 도시된 바와 같이, 몰드고정블럭(20)에 설치된 시편몰드(110)의 시료 전착면이 분리부(70)의 분리판(73)을 향하게 된다. 따라서, 시편의 시료 전착면과 분리판(73)이 서로 마주보도록 배치된다. 이 상태에서 지지판(72)을 시편쪽으로 이동시키게 되면 부착판이 시료에 밀착되면서 시료가 부착판에 접착된다.

이하, 본 실시예에 따른 추출 복제 시료 제조 과정에 대해 설명하면 다음과 같다.

먼저, 시료가 전착된 시편몰드(110)를 준비한다. 예를 들어, 시편몰드(110)는 시편 절단 후, 몰딩용 수지로 시편을 몰딩하고 경화시켜 제조될 수 있다. 본 실시예는 시편몰드(110)를 준비하는 과정에서, 몰드 내에 시편과 접촉하며 외측으로 노출되는 전극판(55)을 삽입하여 시편(112)과 함께 몰딩할 수 있다.

이와 같이, 시편과 함께 전극판(55)을 삽입하여 시편몰드(110)를 제조함으로써, 시료 박리시 시편몰드(110) 외부에서 전극판(55)을 통해 시편에 전류를 인가할 수 있게 된다.

제조된 시편몰드(110)는 기계적 연마를 실시하여 시편의 표면을 가공하고, 시편 표면을 1차 에칭한다. 1차 에칭을 통해 추출하려고 하는 미세 석출물이 시편 표면으로 돌출된다. 1차 에칭이 완료되면, 시편 표면에 1차 에칭액이 흡착되어 에칭액에 의한 결합이 초래되지 않도록 시편 표면을 세척하여 건조시킨다.

시편몰드(110)의 시편 표면에 대한 작업이 완료되면 진공증착기 내에서 시편에 시료(114)인 탄소필름을 증착한다.

상기한 과정을 거쳐 시료가 전착된 시편몰드(110)가 준비될 수 있다.

준비된 시편몰드(110)는 본 실시예의 장치에 장착되어 시료 분리 과정을 진행하게 된다. 이에, 본 실시예에 따라 시편몰드(110)에서 시료를 정확하게 보다 간편하게 분리할 수 있게 된다.

본 장치에 시편몰드(110)가 장착되면, 시편몰드(110)를 이동시켜 시료에 분할홈(34)을 가공한다.

시편몰드(110)는 몰드고정블럭(20)에 끼워져 설치된다. 몰드고정블럭(20)의 홈에 시편몰드(110)가 삽입되면 가압실린더(21)가 신장 구동됨으로써, 시편몰드(110)를 몰드고정블럭(20)에 완전히 고정한다.

시편몰드(110)가 고정되면, 수평부재(12)에 설치된 수직실린더(23)가 신장구동하여 승강블럭(22)을 하강시킨다. 승강블럭(22)이 하강함에 따라 승강블럭(22)에 설치된 몰드고정블럭(20)과 몰드고정블럭(20)에 설치된 시편몰드(110)가 베이스부재(10)로 하강한다.

시편몰드(110)가 완전히 하강되면 베이스부재(10)에 설치된 홈가공부(30)가 구동되어 시편몰드(110)의 시료 전착면에 분할홈(34)을 가공한다.

홈가공부(30)는 가공기(32)의 마킹핀(33)이 시료 전착면에 가압된 상태에서 수평실린더(35)를 신축 구동함으로써 가공기(32)를 전후진 이동시켜 분할홈(34)을 형성한다. 일측 방향으로 분할홈을 형성한 후에는 전환모터(36)가 구동되어 가공대(31)를 90°방향으로 전환한다. 이 상태에서 다시 수평실린더(35)를 구동하여 가공기(32)를 통해 시료 전착면에 분할홈을 가공한다. 이에, 시편몰드(110)의 시료 전착면에는 직각으로 교차되는 격자 형태의 분할홈(34)이 형성된다.

분할홈 가공 공정이 완료되면, 시편몰드를 에칭하여 시료를 박리한다.

수직실린더(23)가 수축작동됨에 따라 시편몰드(110)는 홈가공부(30)에서 상승하여 이격된다. 이 상태에서, 수평부재(12)가 회전되어 시편몰드(110)를 박리부(50) 상에 위치시키게 된다. 기둥부재(11)에 설치된 회전모터(27)가 구동되면 구동기어(28)와 피동기어(26)를 통해 동력이 전달되어 수평부재(12)가 기둥부재(11)에 대해 회전된다. 이에, 수평부재(12)에 결합되어 있는 시편몰드(110)가 베이스부재(10)의 수조(51) 위쪽으로 이동된다.

그리고, 수직실린더(23)의 신장 구동에 따라 시편몰드(110)가 하강하여 수조(51)의 에칭액에 들어간다. 수조(51) 내에 수용된 에칭액은 시편을 에칭하여 시편에 전착되어 있는 시료를 시편으로부터 박리한다.

이 과정에서, 시료 박리 효과를 높일 수 있도록, 에칭액에 기포를 분사하거나 또는/및 시편몰드(110)에 구비된 전극판(55)을 통해 시편에 전류를 인가할 수 있다. 전극판(55)은 시편몰드(110) 준비 과정에서 몰드 내에 삽입 설치되어 있어서, 외부에서 전극판(55)을 통해 시편으로 용이하게 전류를 인가할 수 있다.

에칭액에 기포와 전류를 가함으로써, 에칭액에 의한 시편 부식 효과를 높이고, 시편 전체를 균일하게 부식시킬 수 있게 된다. 이에, 단시간 내에 균일하게 시료 박리 작업을 수행할 수 있게 된다.

또한, 상기한 박리공정이 개시되면 수조(51) 내에 설치되어 있는 카메라(57)가 구동되어 시편의 위치 및 부식 상태를 검출하게 된다. 카메라(57)로부터 검출된 정보에 따라 시편의 부식 정도를 정확히 확인할 수 있게 된다. 이에, 에칭액에 의한 시편 부식으로 시료 박리가 진행되면 바로 수직실린더(23)를 수축 구동하여 시편몰드(110)를 에칭액에서 외부로 인출한다.

이와 같이, 시료 박리가 일어나는 적정한 시점에서 박리 공정을 종료할 수 있어, 시료 박리가 미흡한 것을 방지할 수 있다. 또한, 시료 박리가 과하여 시편에서 시료가 수조(51) 안으로 분리되는 것을 방지할 수 있게 된다.

시료 박리 작업이 완료되면, 시편몰드(110)에서 시료를 분리한다.

승강블럭(22)에 설치된 회동실린더(81)가 구동되면 승강블럭(22)에 대해 힌지축(80)을 중심으로 몰드고정블럭(20)이 직각으로 회전된다. 이에, 시편몰드(110)의 시료 전착면이 분리판(73)을 향하고, 시료 전착면과 분리판(73)이 서로 마주보는 상태가 된다.

이 상태에서, 이동실린더(74)가 신장 구동되어, 지지판(72)을 시편쪽으로 이동한다. 이에, 지지판(72)에 설치된 분리판(73)이 시편에 전착된 시료에 밀착된다. 분리판(73)이 시료에 밀착된 상태에서 회동실린더(81)가 구동되어 가압롤러(75)를 상하 이동시킨다. 분리판(73) 후면에서 가압롤러(75)가 상하 이동되면서 분리판(73)을 시료에 눌러줌에 따라, 시편에 전착되어 있던 시료가 분리판(73)에 완전히 옮겨 붙게 된다.

시료가 분리판(73)에 부착되면, 이동실린더(74)를 수축작동시켜 분리판(73)을 시편몰드(110)에서 이격시켜 분리한다. 시료는 분리판(73)에 부착되어 있는 상태로, 분리판(73)이 시편몰드(110)에서 이격됨에 따라 시료는 시편에서 떨어져 분리된다.

시료가 분리되면 지지판(72)에서 분리판(73)을 떼어내 필요한 시료 분석 작업을 수행할 수 있다.

이와 같이, 시료는 시편몰드(110)의 시편에 전착되어 분할홈이 형성된 상태 그대로 분리판(73)에 부착되어 시편에서 분리된다.

도 9는 격자 형태로 분할된 시료(114)가 시편에 전착된 최초 상태 그대로 시편에서 분리되어 분리판(73)에 부착되어 있는 것을 예시하고 있다. 이에, 시편의 위치별로 정확히 구분하여 시료를 얻을 수 있게 된다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

10 : 베이스부재 11 : 기둥부재
12 ; 수평부재 20 : 몰드고정블럭
21 : 가압실린더 22 : 승강블럭
23 : 수직실린더 24 : 가이드바
25 : 가이드홀더 26 : 피동기어
27 : 회전모터 28 : 구동기어
30 : 홈가공부 31 : 가공대
32 : 가공기 33 : 마킹핀
34 : 분할홈 35 : 수평실린더
36 : 전환모터 37 : 조절실린더
50 : 박리부 51 : 수조
52 : 에어공급관 53 : 분사노즐
55 : 전극판 57 : 카메라
70 : 분리부 71 : 지지대
72 : 지지판 73 : 분리판
74 : 이동실린더 75 : 가압롤러
76 : 왕복실린더 77 : 분리부모터
80 : 힌지축 81 : 회동실린더
82 : 감지편 83 : 감지센서

Claims (18)

1. 베이스부재,
   상기 베이스부재에 상부로 연장 설치되는 기둥부재,
   상기 기둥부재에 회전가능하게 설치되는 수평부재,
   상기 수평부재에 설치되고 시편이 몰딩된 시편몰드가 장착되는 몰드고정블럭,
   상기 베이스부재 상에 설치되고 상기 시편몰드의 시편에 전착된 시료에 분할 홈을 가공하는 홈가공부,
   상기 베이스부재 상에 설치되고 상기 시편몰드의 시편에서 시료를 박리시키기 위한 박리부,
   상기 수평부재에 설치되고 상기 시편몰드에서 박리된 시료를 상기 시편몰드로부터 분리시키는 분리부, 및
   상기 시편몰드가 설치된 상기 몰드고정블럭을 공정에 따라 홈가공부와 박리부 및 분리부로 이동시키는 구동부
   를 포함하며,
   상기 구동부는 상기 수평부재에서 상기 시편몰드를 상기 베이스부재로 상하 이동시키기 위한 승하강부, 상기 기둥부재에 대해 상기 수평부재를 회전시켜 상기 시편몰드를 상기 홈가공부와 상기 박리부 사이에서 왕복 이동시키는 회전부, 상기 시편몰드의 시료를 상기 분리부로 향하도록 이동시키는 스윙부를 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 홈가공부는 베이스부재 상에 가공된 설치 공간 내에 수용된 가공대, 상기 가공대에 구비되어 시편몰드의 시료에 분할홈을 형성하는 가공기, 상기 가공대에 설치되고 분할홈 형성방향을 따라 상기 가공기를 수평 이동시키는 수평실린더, 및 상기 가공대를 회전시켜 분할홈 형성 방향을 전환하는 전환모터를 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 홈가공부는 수평실린더의 피스톤로드 선단과 가공기 사이에 설치되고 수직으로 배치되어 가공기를 상하로 이동시켜 시료에 대한 분할홈 형성 압력을 조절하는 조절실린더를 더 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 박리부는 베이스부재 상에 설치되고 내부에 시편을 에칭하여 전착된 시료를 박리시키는 에칭액이 채워져 시편몰드가 유입되는 수조를 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 박리부는 수조 내에 설치되는 에어 공급관, 상기 에어공급관을 따라 설치되는 적어도 하나 이상의 분사노즐, 및 상기 에어공급관으로 에어를 공급하는 공급부를 더 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
6. 제 4 항에 있어서,
   상기 박리부는 상기 수조 내에 설치되어 시편의 표면 변화를 검출하기 위한 카메라를 더 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
7. 제 4 항에 있어서,
   상기 박리부는 시편몰드 내에 설치되어 시편과 접하는 전극판, 및 상기 전극판에 연결되어 전극판을 통해 시편에 전류를 인가하는 전류인가부를 더 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 분리부는 수평부재 하부에 설치되어 몰드고정블럭과 이격 배치되는 지지대, 상기 지지대에 이동가능하게 결합되는 지지판, 상기 지지판에 설치되고 표면에 접착제가 도포되어 시료를 부착시키기 위한 분리판, 및 상기 지지대에 설치되고 분지지판을 시편몰드에 대해 수평 이동시켜 분리판을 시료에 부착하고 시편에서 시료를 분리시키는 이동실린더를 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 분리부는 상기 지지판에 설치되고 분리판 후면에 배치되어 분리판을 시편에 가압하는 가압롤러, 및 상기 지지판에 설치되고 상기 가압롤러에 연결되어 가압롤러를 분리판을 따라 왕복 이동시키는 왕복실린더를 더 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
10. 제 8 항에 있어서,
    상기 분리부는 상기 수평부재에 설치되고 상기 지지대에 연결되어 지지대를 회전시켜 분리판의 위치를 전환하는 분리부모터를 더 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
11. 제 8 항에 있어서,
    상기 승하강부는 수평부재 하부에 위치하여 시편몰드가 장착된 몰드고정블럭이 결합되는 승강블럭, 상기 수평부재에 설치되어 상기 승강블럭에 연결되어 승강블럭을 상하로 이동시키는 수직실린더를 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
12. 제 11 항에 있어서,
    상기 회전부는 상기 수평부재에 설치되고 상기 기둥부재에 회전가능하게 결합되는 피동기어, 상기 기둥부재에 설치되는 회전모터, 및 상기 회전모터의 회전축에 설치되고 상기 피동기어에 맞물리는 구동기어를 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 스윙부는 승강블럭과 몰드고정블럭 사이에 설치되는 힌지축, 및 상기 승강블럭에 설치되고 몰드고정블럭에 연결되어 힌지축을 중심으로 몰드고정블럭을 회동시키는 회동실린더를 포함하는 추출 복재 시료 제조 장치.
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