KR101911553B1 - Method for grinding thin sheet-like workpiece and double-end surface grinder - Google Patents

Method for grinding thin sheet-like workpiece and double-end surface grinder Download PDF

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Abstract

본 발명은 캐리어 링에 가해지는 외력의 영향을 적게 할 수 있어 워크의 연삭 정밀도를 향상시킬 수 있고, 마찰 등의 문제가 발생하지 않고 장기간에 걸쳐 양호한 연삭 정밀도를 유지할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
캐리어(4)에 장착된 박판형의 워크(W)를 한 쌍의 정압 패드(1)에 의해 비접촉으로 정압 지지하고, 캐리어(4)를 통해 워크(W)를 회전시키면서, 한 쌍의 연삭 지석(3)에 의해 워크(W)의 양면을 연삭하는 양두 평면 연삭기에 있어서, 캐리어(4)의 외주의 캐리어 링(5)을 비접촉으로 정압 지지하는 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 둘레 방향에 복수개 구비한다. 캐리어 링(5)은 원통면 형상의 외주면(12)을 가지며, 그 외주면(12)에 근접하여 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 대략 등배로 배치한다. 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)는 고정하여도 좋고, 플로팅 가능하게 하여도 좋다. An object of the present invention is to reduce the influence of an external force applied to a carrier ring so as to improve the grinding precision of a workpiece and to maintain a good grinding accuracy over a long period of time without causing problems such as friction.
The thin plate workpiece W mounted on the carrier 4 is positively supported in a noncontact manner by the pair of static pressure pads 1 and the work W is rotated through the carrier 4, 3 is a plan view of the carrier ring 5 of the carrier 4 according to the first embodiment of the present invention; Respectively. The carrier ring 5 has a cylindrical outer circumferential surface 12 and is arranged close to the outer circumferential surface 12 so that the respective static pressure carrier guides 6a and 6b are arranged approximately equally. The static pressure carrier guides 6a and 6b may be fixed or may be floatable.

Description

박판형 워크의 연삭 방법 및 양두 평면 연삭기{METHOD FOR GRINDING THIN SHEET-LIKE WORKPIECE AND DOUBLE-END SURFACE GRINDER}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a grinding method for a thin plate work,

본 발명은 실리콘 웨이퍼 등의 박판형 워크를 연삭할 때에 사용하는 박판형 워크의 연삭 방법 및 양두 평면 연삭기에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a grinding method for a thin plate work and a double-headed plane grinder used for grinding a thin plate work such as a silicon wafer.

횡축 양두 평면 연삭기를 사용하여 실리콘 웨이퍼 등의 박판형 워크를 연삭할 때에는, 좌우 한 쌍의 정압(靜壓) 패드에 의해 비접촉으로 정압 지지된 워크를 그 중심 둘레로 회전시키면서, 횡축 둘레로 회전하는 좌우 한 쌍의 연삭 지석에 의해 정해진 마무리 두께까지 연삭한다. When a thin plate work such as a silicon wafer is ground using a transverse axis double-headed plane grinder, a work which is positively supported by a pair of left and right static pressure pads in a non-contact manner is rotated around its center, Grind to the finishing thickness defined by the pair of grinding wheels.

워크를 회전 가능하게 지지하는 지지 방식에는, 워크의 외주에 직접 접촉하여 지지하는 직접 접촉 지지 방식(특허문헌 1, 2)과, 워크를 캐리어, 캐리어 링을 통해 지지하는 캐리어 지지 방식(특허문헌 3)이 있고, 또한 직접 접촉 지지 방식에는 롤러 지지 방식(특허문헌 1)과, 벨트 지지 방식(특허문헌 2)이 있다. A support system for rotatably supporting a work includes a direct contact support system (Patent Documents 1 and 2) for supporting the work in direct contact with the outer periphery of the work, a carrier support system for supporting the work through a carrier and a carrier ring ) And a direct contact supporting system includes a roller supporting system (Patent Document 1) and a belt supporting system (Patent Document 2).

롤러 지지 방식(특허문헌 1)은, 원판형의 워크의 외주를 둘레 방향에서 복수개의 지지 롤러에 의해 회전 가능하게 지지하고, 그 어느 하나의 지지 롤러에 의해 워크를 중심 둘레로 회전시키도록 하고 있다. 벨트 지지 방식(특허문헌 2)은, 원판형의 워크의 외주를 둘레 방향에서 2조(組)의 지지 벨트에 의해 회전 가능하게 지지하고, 그 지지 벨트에 의해 워크를 중심 둘레로 회전시키도록 하고 있다. In the roller supporting method (Patent Document 1), the outer periphery of a disk-shaped work is rotatably supported by a plurality of support rollers in the circumferential direction, and the work is rotated around the center by one of the support rollers . In the belt supporting method (Patent Document 2), the outer periphery of a disc-shaped work is rotatably supported by two pairs of support belts in the circumferential direction, the work is rotated around the center by the support belts have.

캐리어 지지 방식(특허문헌 3)은, 외주가 캐리어 링에 고정된 박판형의 캐리어의 장착 구멍에 워크를 장착하고, 캐리어 링을 그 외주에 대략 등배(等配)로 배치된 복수개의 지지 롤러에 의해 접촉하여 지지하며, 캐리어 링 내주측의 링 기어에 맞물리는 구동 기어에 의해, 캐리어 링, 캐리어를 통해 워크를 중심 둘레로 회전시키도록 하고 있다. A carrier supporting method (Patent Document 3) is a method in which a work is mounted in a mounting hole of a thin plate-shaped carrier whose outer periphery is fixed to the carrier ring, and the carrier ring is supported by a plurality of support rollers arranged approximately equidistant And the workpiece is rotated around the center through the carrier ring and the carrier by the driving gear engaged with the ring gear on the inner peripheral side of the carrier ring.

일본 특허 출원 공개 평10-175144호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-175144 일본 특허 출원 공개 평10-156681호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-156681 일본 특허 출원 공개 제2005-205528호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-205528

종래의 직접 접촉 지지 방식은, 지지 롤러 또는 지지 벨트로 워크의 외주를 직접 지지하고, 그 지지 롤러 또는 지지 벨트에 의해 워크를 구동하여 회전시키기 때문에, 박판형의 워크를 고정밀도로 연삭하는 경우에는 채용할 수 없다고 하는 문제가 있다. In the conventional direct contact supporting system, the outer periphery of the work is directly supported by the support roller or the support belt, and the work is driven and rotated by the support roller or the support belt. Therefore, when the thin workpiece is ground with high accuracy, There is a problem that it can not be done.

한편, 캐리어 지지 방식은 외주가 캐리어 링에 고정된 박판형의 캐리어를 이용하고, 그 장착 구멍에 워크를 감입한 상태로, 외주의 지지 롤러에 의해 지지된 캐리어 링을 구동하여 회전시키기 때문에, 직접 접촉 지지 방식에 비교하여 얇은 워크를 고정밀도로 연삭할 수 있다는 이점이 있다. 그러나, 종래의 캐리어 지지 방식은, 캐리어 링을 그 외주에 대략 등배로 배치된 복수개의 지지 롤러에 의해 접촉 지지하는 접촉 지지 방식을 채용하고 있기 때문에, 다음과 같은 문제가 있다. On the other hand, in the carrier supporting method, since the thin plate type carrier whose outer periphery is fixed to the carrier ring is used and the carrier ring supported by the outer supporting roller is driven and rotated in a state in which the work is inserted into the mounting hole, There is an advantage in that a thin workpiece can be ground with high accuracy compared to a supporting method. However, the conventional carrier supporting system employs a contact supporting system in which the carrier ring is contact-supported by a plurality of support rollers arranged approximately equi-centrally on the outer periphery thereof.

즉, 종래는 복수개의 지지 롤러에 의해 가이드 링을 감입하도록 접촉 지지하기 때문에, 각 지지 롤러의 진동이 캐리어 링에 전해져 합성되게 되고, 그 조합에 의해 워크의 회전 정밀도가 악화되는 문제가 있다. 또한 지지 롤러의 지축의 부착 정밀도, 특히 캐리어 링의 회전 중심에 대한 평행도에 불량이 있으면, 회전 이외의 힘이 캐리어 링에 전해져 캐리어 링과 워크가 경사진다는 등의 문제가 있다. In other words, conventionally, since the guide rings are held in contact with each other by a plurality of support rollers, the vibrations of the support rollers are transmitted to the carrier ring and synthesized, and there is a problem that the rotation accuracy of the work is deteriorated by the combination. Further, if the attachment accuracy of the support shaft of the support roller, in particular, the parallelism with respect to the rotation center of the carrier ring is defective, a force other than rotation is transmitted to the carrier ring, which causes problems such as carrier ring and workpiece being inclined.

또한 지지 롤러에는, 캐리어 링에 손상을 주기 어렵고, 또한 미끄러지지 않고 캐리어 링을 확실하게 지지할 수 있도록, 고경도 우레탄 등의 수지재를 주형 성형하여 기계 가공으로 마무리한 것을 이용하는 경우가 있지만, 그 경우에는 지지 롤러가 수지제이기 때문에, 다음과 같은 문제가 있다. 즉, 지지 롤러에 요구되는 진원도(circularity)를 안정적으로 얻는 것이 곤란하고, 또한 시간 경과에 따라 지지 롤러의 품질 열화가 발생하기 쉬우며, 더 나아가서는 지지 롤러가 마모되기 쉽다는 등의 문제가 있다. The support roller may be formed by casting a resin material such as high-hardness urethane and machining it so that the carrier ring is hardly damaged, and the carrier ring can be reliably supported without slipping. In this case, The support roller is made of a resin, and therefore, the following problems arise. That is, it is difficult to stably obtain the circularity required for the support roller, and the quality of the support roller tends to deteriorate over time, and the support roller tends to be worn .

본 발명은 이러한 종래의 문제점을 감안하여, 캐리어 링에 가해지는 외력의 영향을 적게 할 수 있어 워크의 연삭 정밀도를 향상시킬 수 있고, 마찰 등의 문제가 발생하지 않고 장기간에 걸쳐 양호한 연삭 정밀도를 유지할 수 있는 박판형 워크의 연삭 방법 및 양두 평면 연삭기를 제공하는 것을 목적으로 한다. In view of the problems of the prior art, it is an object of the present invention to reduce the influence of an external force applied to the carrier ring to improve the grinding accuracy of a workpiece, and to maintain good grinding accuracy over a long period of time without causing problems such as friction. And to provide a double-headed flat grinding machine.

본 발명에 따른 박판형 워크의 연삭 방법은, 캐리어에 장착된 박판형 워크를 한 쌍의 정압 패드에 의해 비접촉으로 정압 지지하고, 상기 캐리어를 통해 상기 워크를 회전시키면서, 한 쌍의 연삭 지석에 의해 상기 워크의 양면을 연삭할 때에, 상기 캐리어의 외주의 캐리어 링을 둘레 방향에서 복수개의 정압 캐리어 가이드에 의해 비접촉으로 정압 지지하는 것이다. A method for grinding a thin plate workpiece according to the present invention is a method for grinding a thin plate workpiece by supporting a thin plate workpiece mounted on a carrier by a pair of static pressure pads in a noncontact manner and rotating the workpiece through the carrier, The carrier ring on the outer periphery of the carrier is positively supported in a noncontact manner by a plurality of constant-pressure carrier guides in the circumferential direction.

본 발명에 따른 양두 평면 연삭기는, 캐리어에 장착된 박판형 워크를 한 쌍의 정압 패드에 의해 비접촉으로 정압 지지하고, 상기 캐리어를 통해 상기 워크를 회전시키면서, 한 쌍의 연삭 지석에 의해 상기 워크의 양면을 연삭하는 양두 평면 연삭기로서, 상기 캐리어의 외주의 캐리어 링을 비접촉으로 정압 지지하는 정압 캐리어 가이드를 둘레 방향에 복수개 구비한 것이다. A double-headed flat grinding machine according to the present invention is a double-headed flat grinding machine in which a thin plate-like workpiece mounted on a carrier is positively supported in a non-contact manner by a pair of static pressure pads while rotating the workpiece through the carrier, Wherein a plurality of constant-pressure carrier guides for holding the carrier ring on the outer periphery of the carrier in a non-contact manner by static pressure are provided in the circumferential direction.

상기 캐리어 링은 원통면 형상의 외주면을 가지며, 이 외주면에 근접하여 그 각 정압 캐리어 가이드를 대략 등배로 배치하여도 좋다. 상기 정압 캐리어 가이드는 고정이어도 있다. 이어도 좋다. 또한 상기 정압 캐리어 가이드는 플로팅 가능하여도 좋다. The carrier ring may have a cylindrical outer peripheral surface, and the respective static-pressure carrier guides may be disposed substantially at the same distance from the outer peripheral surface. The static pressure carrier guide may be fixed. . The constant-pressure carrier guide may be floatable.

상기 캐리어 링의 회전 중심과 대략 평행한 플로팅 축에 의해 그 각 정압 캐리어 가이드를 피봇 지지하고, 이 각 정압 캐리어 가이드에, 상기 캐리어 링의 외주면과의 사이에 정압 유체를 공급하는 정압 포켓을 상기 플로팅 축에 대하여 상기 캐리어 링의 회전 방향에 대략 대칭으로 구비하여도 좋다. Wherein a static pressure carrier guide is pivotally supported by a floating shaft substantially parallel to a rotation center of the carrier ring and a static pressure pocket for supplying a static pressure fluid between the static pressure carrier guide and the outer peripheral surface of the carrier ring, And may be provided substantially symmetrically with respect to the axis in the rotating direction of the carrier ring.

상기 캐리어 링의 회전 중심과 대략 평행한 피봇에 의해 요동 가능하게 피봇 지지되고 적어도 일부의 상기 정압 캐리어 가이드를 상기 캐리어 링에 대하여 원근 방향으로 이동 가능하게 지지하는 지지 아암과, 이 지지 아암을 상기 피봇 둘레로 회동시키는 구동 수단과, 상기 지지 아암을 정해진 위치에 정지시키는 스토퍼 수단을 구비하여도 좋다. A support arm pivotally supported by a pivotable pivot substantially parallel to the center of rotation of the carrier ring and supporting at least a portion of the static pressure carrier guide movably in a direction away from the carrier ring, And stopper means for stopping the support arm at a predetermined position.

상기 정압 캐리어 가이드는 고정 상태와 상기 캐리어 링의 회전 중심과 대략 평행한 플로팅 축 둘레로 플로팅하는 플로팅 상태로 변경 가능하게 하여도 좋다. The static pressure carrier guide may be changed to a floating state in which it floats around a floating axis substantially parallel to a fixed state and a rotation center of the carrier ring.

상기 캐리어 링의 외주에 대략 등배로 배치된 3개 이상의 상기 정압 캐리어 가이드를 구비하고, 이 3개 이상의 정압 캐리어 가이드 중, 적어도 1개의 상기 정압 캐리어 가이드의 위치를 상기 캐리어 링의 대략 직경 방향으로 조정하여 상기 3개 이상의 정압 캐리어 가이드의 정압면과 상기 캐리어 링의 외주면의 간극을 조정하는 간극 조정 수단을 구비하여도 좋다. Wherein at least three of the three or more static-pressure carrier guides are arranged in the substantially radial direction of the carrier ring, and at least three of the three or more static-pressure carrier guides are disposed at substantially equal intervals on the outer periphery of the carrier ring And a gap adjusting means for adjusting the gap between the static pressure surface of the three or more static-pressure carrier guides and the outer peripheral surface of the carrier ring.

본 발명에 의하면, 캐리어 링을 정압 캐리어 가이드에 의해 정압 지지하기 때문에, 캐리어 링에 가해지는 외력의 영향을 적게 할 수 있어 워크의 연삭 정밀도를 향상시킬 수 있고, 마찰 등의 문제가 발생하지 않고 장기간에 걸쳐 양호한 연삭 정밀도를 유지할 수 있다는 이점이 있다. According to the present invention, since the carrier ring is positively supported by the constant-pressure carrier guide, the influence of the external force applied to the carrier ring can be reduced to improve the grinding precision of the workpiece, So that good grinding accuracy can be maintained.

도 1은 본 발명의 일 실시형태를 도시하는 횡형 양두 평면 연삭기의 개략 측면도.
도 2는 그 개략 단면도.
도 3은 그 주요부의 확대 측면도.
도 4는 그 상측의 정압 캐리어 가이드 지지부의 확대 단면도.
도 5는 그 정압 캐리어 가이드의 고정 상태의 단면도.
도 6은 그 도 3의 선 X-X를 따라 취한 단면도.
도 7은 그 정압 캐리어 가이드의 단면도.
도 8은 그 정압 캐리어 가이드의 저면도.
도 9는 그 정압 캐리어 가이드의 정압 회로도.
도 10은 그 도 3의 선 Y-Y를 따라 취한 단면도.
도 11은 그 정압 캐리어 가이드의 플로팅 상태의 단면도.
도 12는 캐리어 링의 진원도의 측정 결과를 도시하는 도면.
도 13은 종래의 접촉 지지 방식에서의 캐리어 링의 외주 흔들림의 측정 결과를 도시하는 도면.
도 14는 본 발명의 비접촉 지지 방식에서의 캐리어 링의 외주 흔들림의 측정 결과를 도시하는 도면. 1 is a schematic side view of a horizontal double-headed flat grinder showing one embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view thereof.
3 is an enlarged side view of the main part thereof;
4 is an enlarged cross-sectional view of the upper portion of the static-pressure carrier guide supporting portion.
5 is a cross-sectional view of the fixed-pressure carrier guide in a fixed state;
Fig. 6 is a cross-sectional view taken along the line XX of Fig. 3; Fig.
7 is a sectional view of the constant-pressure carrier guide.
8 is a bottom view of the static pressure carrier guide.
9 is a static pressure circuit diagram of the constant-pressure carrier guide.
10 is a sectional view taken along the line YY in Fig. 3; Fig.
11 is a sectional view of the constant-pressure carrier guide in a floating state.
12 is a diagram showing a measurement result of roundness of carrier ring;
13 is a diagram showing a measurement result of a peripheral shaking of a carrier ring in a conventional contact supporting system;
Fig. 14 is a diagram showing measurement results of circumferential wobbling of a carrier ring in the non-contact supporting system of the present invention; Fig.

이하, 본 발명의 각 실시형태를 도면에 기초하여 자세하게 설명한다. 도면은 본 발명을 채용한 횡형 양두 평면 연삭기를 예시한다. 이 횡형 양두 평면 연삭기는 도 1, 도 2에 도시하는 바와 같이, 좌우에 서로 대향하여 배치되고 박판형 워크(W)를 비접촉으로 정압 지지하는 좌우 한 쌍의 정압 패드(1)와, 각 정압 패드(1)의 절결부(2)에 대응하여 좌우 방향의 지석축 둘레로 회전 가능하게 배치되고 컷팅축의 축심 방향으로 이동하여 정압 패드(1)에 의해 지지된 워크(W)의 좌우 양 측면을 연삭하는 좌우 한 쌍의 연삭 지석(3)과, 장착된 워크(W)를 정압 패드(1)에 의해 유지된 상태로 컷팅축의 축심 둘레로 회전시키는 캐리어(4)와, 캐리어(4)의 외주를 지지하는 캐리어 링(5)과, 캐리어 링(5)의 외주에 대략 등배로 배치되고 캐리어 링(5)을 외주로부터 비접촉으로 회전 가능하게 정압 지지하는 복수개의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 구비하고 있다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The figure illustrates a horizontal double-headed flat grinder employing the present invention. As shown in Figs. 1 and 2, this horizontal double-headed flat grinding machine includes a pair of left and right static pressure pads 1 disposed opposite to each other on the left and right sides to positively support the thin plate-shaped workpiece W, 1 both of which are disposed so as to be rotatable about the support shaft in the left and right directions and which move in the axial direction of the cutting shaft and grind both left and right sides of the work W supported by the static pressure pad 1 A carrier 4 for rotating the mounted work W around the axis of the cutting shaft in a state of being held by the static pressure pad 1 and a pair of grinding wheels 3 for supporting the outer periphery of the carrier 4 And a plurality of constant-pressure carrier guides 6a and 6b which are disposed approximately equi-axially on the outer periphery of the carrier ring 5 and which support the carrier ring 5 in a non-contact rotatable manner from the outer periphery have.

각 정압 패드(1)는 컷팅축의 축심 방향으로 이동 가능한 좌우 한 쌍의 가동 베이스(8)의 대향 단측에 배치되고, 워크(W)를 유지하는 전진 위치와 워크(W)로부터 후퇴하는 후퇴 위치 사이에서 컷팅축 방향으로 이동 가능하며, 전진 위치에서는 워크(W)와 대향하는 정압면측에 공급되는 정압수 등의 정압 유체를 통해 워크(W)를 비접촉으로 정압 지지하도록 되어 있다. Each of the static pressure pads 1 is disposed on an opposite end side of a pair of left and right movable bases 8 movable in the axial direction of the cutting shaft and is disposed between a forward position for holding the work W and a retreat position for retracting from the work W And is capable of positively supporting the workpiece W in a noncontact manner through a static pressure fluid such as static pressure water supplied to the static pressure surface side opposed to the workpiece W at the advancing position.

캐리어(4)는 워크(W)의 마무리 치수보다 얇은 박판형의 원판으로서, 워크(W)가 착탈 가능하게 장착되는 장착 구멍(9)을 대략 동심형으로 갖는다. 캐리어(4)는 도 1∼도 4에 도시하는 바와 같이, 그 외주에 대략 동심형으로 배치된 캐리어 링(5)과, 캐리어 링(5) 내에 고정되고 캐리어(4)의 외주를 캐리어 링(5)측으로 누르는 누름 링(10)에 의해 지지되어 있다. 캐리어 링(5)은 원통면 형상으로 형성된 외주면(12)을 캐리어(4)의 회전 중심에 대하여 대략 동심형으로 가지며, 또한 축심 방향 양측의 단부면은 정압 패드(1)의 정압면의 외주측 단부(11)와 간극을 두고 대향해 있다. 캐리어(4), 캐리어 링, 누름 링(10)에 의해 캐리어 수단(7)이 구성된다.The carrier 4 is a thin plate-like circular plate which is thinner than the finishing dimension of the work W and has a mounting hole 9 in which the work W is detachably mounted, in a substantially concentric manner. 1 to 4, the carrier 4 includes a carrier ring 5 disposed substantially concentrically around the outer periphery thereof, and a carrier ring 5 fixed within the carrier ring 5, 5 by a retaining ring 10 that presses the retaining ring 10 toward the retaining ring 10 side. The carrier ring 5 has an outer circumferential surface 12 formed in the shape of a cylindrical surface in a substantially concentric shape with respect to the center of rotation of the carrier 4 and an end surface on both sides in the axial direction of the carrier ring 5, And faces the end 11 with a gap therebetween. The carrier means (7) is constituted by the carrier (4), the carrier ring and the pushing ring (10).

또한, 캐리어 링(5)에는 두께가 얇고, 진원도를 높이기 쉬운 알루미나 등의 세라믹재가 이용되고 있지만, 스테인리스 등의 금속제여도 좋다. 누름 링(10)의 내주에는 링 기어(13)가 설치되고, 그 링 기어(13)에 맞물리는 구동 기어(14)에 의해, 캐리어(4), 캐리어 링(5)을 포함하는 캐리어 수단(7)을 회전 구동하도록 되어 있다. The carrier ring 5 is made of a ceramic material such as alumina, which is thin and easy to increase the roundness. However, it may be made of metal such as stainless steel. The ring gear 13 is provided on the inner periphery of the pushing ring 10 and the carrier 4 including the carrier ring 5 and the carrier means 5 including the carrier ring 5 are fixed by the drive gear 14 engaged with the ring gear 13 7 are driven to rotate.

각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)는 한쪽 가동 베이스(8)의 캐리어(4)와 대향하는 대향 단측에 장착되고, 캐리어 링(5)의 외주에 둘레 방향으로 3개 이상이 대략 등배로 배치되어 있다. 예컨대 이 실시형태에서는 4개의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)가 대략 4등배로 배치되어 있고, 그 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)는 도 3, 도 4, 도 6에 도시하는 바와 같이, 플로팅 축(15a, 15b)을 통해 가동 베이스(8)에 피봇 부착되고, 고정 수단(16a, 16b), 규제 수단(17a, 17b)을 통해 고정 상태와 플로팅 상태로 변경 가능하게 장착되어 있다. Each of the static pressure carrier guides 6a and 6b is mounted on the opposite end side of the movable base 8 opposite to the carrier 4 and three or more of them are arranged on the outer circumference of the carrier ring 5 have. For example, in this embodiment, the four constant-pressure carrier guides 6a and 6b are arranged approximately four times, and the respective static-pressure carrier guides 6a and 6b are, as shown in Figs. 3, 4 and 6, And is pivotally attached to the movable base 8 via shafts 15a and 15b and is mounted in a fixed state and in a floating state via fixing means 16a and 16b and regulating means 17a and 17b.

각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)에는, 도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 캐리어 링(5)의 회전 방향(이하, 단순히 회전 방향이고 함)의 대략 중앙에 플로팅 축(15a, 15b)이 삽입 관통되는 축 구멍(20)이 형성되고, 축 구멍(20)의 양측에 배치된 2개의 핀 구멍(21)과, 캐리어 링(5)의 외주면(12)에 미소 간극을 두고 대향하는 정압면(22)과, 이 정압면(22)측에 설치된 2개의 정압 포켓(23)과, 2개의 정압 포켓(23) 사이에 배치된 해제 홈(24)이 형성되어 있다. 플로팅 축(15a, 15b), 핀 구멍(21), 축 구멍(20)은 캐리어 링(5)의 회전 축심 및 컷팅축과 대략 평행하며, 핀 구멍(21)은 축 구멍(20)에 대하여 회전 방향의 양측에 대략 대칭으로 배치되어 있다. 7 and 8, the floating shafts 15a and 15b are provided at the substantially center of the rotational direction of the carrier ring 5 (hereinafter, simply referred to as the rotational direction) And two pin holes 21 disposed on both sides of the shaft hole 20 and a plurality of pin holes 21 formed on both sides of the shaft hole 20 and a positive pressure opposite to the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 with a minute gap therebetween. Two static pressure pockets 23 provided on the side of the static pressure surface 22 and a disengagement groove 24 disposed between the two static pressure pockets 23 are formed. The floating shafts 15a and 15b, the pin hole 21 and the shaft hole 20 are substantially parallel to the rotating shaft center and the cutting shaft of the carrier ring 5 and the pin hole 21 is rotated And are disposed approximately symmetrically on both sides of the direction.

각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)은 캐리어 링(5)의 외주면(12)을 따라 원호형으로 형성되고, 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 사이에 미소 간극(예컨대 10 ㎛∼30 ㎛ 정도)을 두고 직경 방향에 대향해 있다. 정압 포켓(23)은 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12) 사이에 정압수 등의 정압 유체를 공급하기 위한 것으로, 정압면(22)으로부터 움푹 패이고 회전 방향으로 긴 오목부에 의해 구성되고, 플로팅 축(15a, 15b), 축 구멍(20)에 대하여 회전 방향의 양측에 대략 대칭으로 배치되어 있다. 각 정압 포켓(23)은 내부의 연통 구멍(25)으로부터 정압면(22)과 반대측의 가요 호스(26) 등을 통해 정압 유체의 공급원(29)에 접속되어 있다. The static pressure surface 22 of each of the static pressure carrier guides 6a and 6b is formed in an arcuate shape along the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5, (For example, about 10 to 30 mu m) in the radial direction. The static pressure pocket 23 is for supplying static pressure fluid such as static pressure water between the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guides 6a and 6b and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5, And is arranged symmetrically with respect to the floating shafts 15a and 15b and the shaft hole 20 on both sides in the rotational direction. Each of the static pressure pockets 23 is connected to the supply source 29 of the static pressure fluid through the flexible hose 26 or the like on the opposite side of the static pressure surface 22 from the communication hole 25 in the inside.

각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b) 중, 캐리어 링(5)의 직경 방향으로 서로 대향하는 2개의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)는, 도 9에 도시하는 바와 같이 동일 회로(27)를 통해 정압 유체의 공급원(29)에 접속되어 있다. 또한 각 회로(27)에는 압력 조정 밸브(30), 유량계(31)가 개재되고, 이들에 의해 압력, 유량이 관리된다.The two static pressure carrier guides 6a and 6b which are opposed to each other in the radial direction of the carrier ring 5 out of the respective static pressure carrier guides 6a and 6b are connected to the static pressure carrier guides 6a and 6b through the same circuit 27 And is connected to a fluid supply source 29. Further, the pressure regulating valve 30 and the flow meter 31 are interposed in each circuit 27, and the pressure and the flow rate are controlled by these.

상측의 2개의 정압 캐리어 가이드(6a)는 도 3, 도 4, 도 6에 도시하는 바와 같이, 피봇(33)에 의해 가동 베이스(8)에 요동 가능하게 피봇 부착된 지지 아암(34)에 장착되고, 캐리어 수단(7)을 착탈할 때에, 구동 수단(19)에 의해 지지 아암(34)을 피봇(33) 둘레로 요동시켜 상측의 정압 캐리어 가이드(6a)를 캐리어 링(5)의 원근 방향으로 이동시키도록 되어 있다. 피봇(33)은 플로팅 축(15a)과 대략 평행하다. As shown in Figs. 3, 4 and 6, the two upper static-pressure carrier guides 6a are mounted on a support arm 34 pivotably pivotable on the movable base 8 by a pivot 33 The supporting arm 34 is pivoted around the pivot 33 by the driving means 19 so that the static pressure carrier guide 6a on the upper side is moved in the radial direction of the carrier ring 5 As shown in FIG. The pivot 33 is approximately parallel to the floating shaft 15a.

지지 아암(34)의 일단측에는 수용부(35) 내에 정압 캐리어 가이드(6a)가 장착되고, 타단측에 구동 수단(19)을 구성하는 실린더(36)가 연결되어 있다. 수용부(35)는 도 4, 도 6에 도시하는 바와 같이, 지지 아암(34)의 측벽(35a, 35b) 사이에 캐리어 링(5)의 직경 방향으로 관통하여 설치되어 있고, 이 수용부(35) 내에 정압 캐리어 가이드(6a)가 수용되며, 그 수용부(35) 양측의 측벽(35a, 35b)을 관통하여 지지 아암(34)에 삽입 관통된 플로팅 축(15a)에 의해 정압 캐리어 가이드(6a)가 피봇 지지되어 있다. 수용부(35) 내의 정압 캐리어 가이드(6a)는 도 3, 도 6에 도시하는 바와 같이, 고정 수단(16a)에 의해 지지 아암(34)에 적절한 각도로 고정 가능하고, 또한 고정 수단(16a)을 해제했을 때에는 규제 수단(17a)에 의해 규제되는 플로팅 범위 내에서 플로팅 가능하다. A positive pressure carrier guide 6a is mounted in the accommodating portion 35 at one end side of the support arm 34 and a cylinder 36 constituting the drive means 19 is connected to the other end side. As shown in Figs. 4 and 6, the accommodating portion 35 is provided between the side walls 35a and 35b of the support arm 34 in a radial direction of the carrier ring 5, The static pressure carrier guide 6a is accommodated in the receiving portion 35 and the floating shaft 15a penetrates the side walls 35a and 35b on both sides of the receiving portion 35 and is inserted into the supporting arm 34, 6a are pivotally supported. 3 and 6, the static-pressure carrier guide 6a in the accommodating portion 35 can be fixed to the support arm 34 at an appropriate angle by the securing means 16a, It is possible to float within the floating range regulated by the regulating means 17a.

고정 수단(16a)은 정압 캐리어 가이드(6a)의 한쪽 핀 구멍(21)에 압입된 고정핀(39)과, 고정핀(39)이 삽입 분리되는 핀 구멍(38b)을 가지며 지지 아암(34)의 측면에 착탈 가능하게 장착된 고정 브래킷(38)을 갖는다. 고정 브래킷(38)은 베이스부측의 고정 볼트(40)에 의해 지지 아암(34)에 착탈 가능하게 피봇 부착되고, 고정 브래킷의 긴 구멍(38a)을 관통하여 지지 아암(34)측에 나사 결합되는 조정 볼트(41)에 의해 고정 볼트(40) 둘레로 각도 조정이 가능하다. 핀 구멍(38b)은 고정 브래킷(38)의 선단부에 형성되고, 이 핀 구멍(38b)에 고정핀(39)이 착탈 가능하게 감합된다. 규제 수단(17a)은 정압 캐리어 가이드(6a)의 다른쪽 핀 구멍(21)과, 수용부(35)를 관통하여 핀 구멍(21)에 삽입 관통된 규제핀(42)에 의해 구성되고, 규제핀(42)과 핀 구멍(21) 사이에 플로팅 범위에 상당하는 간극이 형성되어 있다. The fixing means 16a has a fixing pin 39 that is press-fitted into one of the pin holes 21 of the constant-pressure carrier guide 6a and a pin hole 38b into which the fixing pin 39 is inserted, And a fixing bracket 38 detachably mounted on the side surface of the fixing bracket. The fixing bracket 38 is detachably pivotally attached to the support arm 34 by the fixing bolt 40 on the base side and passes through the long hole 38a of the fixing bracket and is screwed to the support arm 34 side It is possible to adjust the angle around the fixing bolt 40 by the adjusting bolt 41. The pin hole 38b is formed at the distal end of the fixing bracket 38, and the fixing pin 39 is detachably fitted to the pin hole 38b. The restricting means 17a is constituted by the other pin hole 21 of the static pressure carrier guide 6a and the restricting pin 42 inserted through the pin hole 21 through the accommodating portion 35, A gap corresponding to the floating range is formed between the pin 42 and the pin hole 21. [

실린더(36)는 지지 아암(34)의 연결핀(44)과 가동 베이스(8)의 피봇 지지핀(45) 사이에 개재되고, 지지 아암(34)을 피봇(33) 둘레로 요동시켜 정압 캐리어 가이드(6a)를 캐리어 링(5)에 대하여 원근 방향(대략 직경 방향)으로 이동시키게 되어 있다. 지지 아암(34)의 일단측에는, 지지 아암(34)을 정해진 위치에서 정지시키는 스토퍼 수단(47)이 설치되어 있다.The cylinder 36 is interposed between the connection pin 44 of the support arm 34 and the pivot support pin 45 of the movable base 8 and pivots the support arm 34 about the pivot 33, So that the guide 6a is moved in the far direction (substantially in the radial direction) with respect to the carrier ring 5. [ On one end side of the support arm 34, a stopper means 47 for stopping the support arm 34 at a predetermined position is provided.

스토퍼 수단(47)은 도 3, 도 6에 도시하는 바와 같이, 가동 베이스(8)에 고정된 접촉부(48)와, 지지 아암(34)의 일단측에 조정 가능하게 나사 결합된 나사식 스토퍼(49)를 구비하고, 스토퍼(49)를 조정함으로써, 캐리어 링(5)의 직경 방향 양측의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22) 사이의 간격이 변화하고, 그 양 정압 캐리어 가이드(6a, 6b) 간의 대략 중앙에 캐리어 링(5)이 위치하도록 간극을 조정할 수 있다. 따라서, 스토퍼 수단(47)은 정압 캐리어 가이드(6a)의 정압면(22)과 캐리어 링(5) 외주면(12) 사이의 간극을 조정하는 간극 조정 수단을 겸용한다.3 and 6, the stopper means 47 includes a contact portion 48 fixed to the movable base 8 and a threaded stopper (not shown) screwed in an adjustably threaded manner on one end side of the support arm 34 The distance between the static pressure planes 22 of the static pressure carrier guides 6a and 6b on both sides in the radial direction of the carrier ring 5 is changed by adjusting the stopper 49, The gap can be adjusted so that the carrier ring 5 is located approximately at the center between the first and second ring gears 6a and 6b. The stopper means 47 also serves as a gap adjusting means for adjusting the gap between the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guide 6a and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5. [

하측의 2개의 정압 캐리어 가이드(6b)는 도 3, 도 5, 도 10, 도 11에 도시하는 바와 같이, 플로팅 축(15b)과, 고정 브래킷(50)을 포함하는 고정 수단(16b)(도 3, 도 5, 도 10 참조), 및 규제 수단(17b)(도 11 참조)을 통해 고정 상태와 플로팅 상태로 변경 가능하게 장착되어 있다. As shown in Figs. 3, 5, 10 and 11, the lower two static pressure carrier guides 6b are provided with a floating shaft 15b and fixing means 16b 3, Figs. 5 and 10), and regulating means 17b (see Fig. 11).

플로팅 축(15b)은 가동 베이스(8)에 고정되어 있다. 고정 브래킷(50)은 길이 방향의 일단측이 플로팅 축(15b)에 대하여 표리 반전 가능하고 플로팅 축(15b) 둘레로 각도 조정 가능하게 장착되며, 또한 타단측에 고정 구멍(53)과, 이 고정 구멍(53)보다 대직경의 플로팅 오목부(54)가 형성되어 있다. 정압 캐리어 가이드(6b)는 플로팅 축(15b)에 의해 피봇 지지되고, 또한 한쪽 핀 구멍(21)에는 결합핀(55)이 압입되어 있다. 결합핀(55)의 고정 브래킷(50)측에의 돌출량은, 플로팅 오목부(54)를 정압 캐리어 가이드(6b)측으로 향하게 했을 때에, 고정 구멍(53)에 결합하지 않는 정도로 되어 있다. The floating shaft 15b is fixed to the movable base 8. One end of the fixing bracket 50 in the longitudinal direction is rotatable with respect to the floating shaft 15b and is mounted so as to be angularly adjustable around the floating shaft 15b and is fixed at the other end side with a fixing hole 53, A floating recess 54 having a larger diameter than the hole 53 is formed. The static pressure carrier guide 6b is pivotally supported by the floating shaft 15b and the engaging pin 55 is press-fitted into the one pin hole 21. [ The projecting amount of the engaging pin 55 on the side of the fixing bracket 50 is such that it does not engage with the fixing hole 53 when the floating recess 54 is directed toward the static pressure carrier guide 6b.

정압 캐리어 가이드(6b)를 고정할 때의 고정 수단(16b)은 도 3, 도 5, 도 10에 도시하는 바와 같이, 결합핀(55)과 고정 브래킷(50)의 고정 구멍(53)에 의해 구성되고, 결합핀(55)을 고정 구멍(53)에 삽입함으로써, 정압 캐리어 가이드(6b)를 고정하도록 되어 있다. 3, 5, and 10, the fixing means 16b for fixing the static-pressure carrier guide 6b is formed by the engagement pin 55 and the fixing hole 53 of the fixing bracket 50 And the fixed-pressure carrier guide 6b is fixed by inserting the engaging pin 55 into the fixing hole 53. As shown in Fig.

또한 정압 캐리어 가이드(6b)의 플로팅 범위를 규제하는 규제 수단(17b)은, 도 11에 도시하는 바와 같이, 결합핀(55)과 고정 브래킷(50)의 플로팅 오목부(54)에 의해 구성되고, 결합핀(55)이 플로팅 오목부(54)에 들어갔을 때의 양자의 간극이 정압 캐리어 가이드(6b)의 플로팅 범위에 대응하도록 되어 있다. The regulating means 17b for regulating the floating range of the static pressure carrier guide 6b is constituted by the engaging pin 55 and the floating recess 54 of the fixing bracket 50 as shown in Fig. And the gap between them when the engaging pin 55 enters the floating concave portion 54 corresponds to the floating range of the constant-pressure carrier guide 6b.

고정 브래킷(50)의 일단측에는, 플로팅 축(15b)의 기부를 고착시키는 2개 분할형 고착부(56)와, 이 고착부(56)를 체결하는 체결 볼트(57)가 설치되어 있고, 고정 브래킷(50)은 플로팅 축(15b)에 대하여 각도 조정이 가능하다. 또한 고정 구멍(53), 플로팅 오목부(54)는 고정 브래킷(50)을 플로팅 축(15b) 둘레로 각도 조정할 수 있도록, 고정 브래킷(50)의 길이 방향으로 길게 형성되어 있다. Two split-type fixed portions 56 for fixing the base portion of the floating shaft 15b and a fastening bolt 57 for fastening the fixed portion 56 are provided on one end side of the fixed bracket 50, The bracket 50 can be angularly adjusted with respect to the floating shaft 15b. The fixing hole 53 and the floating recess 54 are elongated in the longitudinal direction of the fixing bracket 50 so that the fixing bracket 50 can be angularly adjusted around the floating shaft 15b.

워크(W)의 연삭에 있어서는, 캐리어(4)에 장착된 워크(W)를 한 쌍의 정압 패드(1)에 의해 좌우 양측으로부터 비접촉으로 정압 지지하고, 캐리어 링(5)의 외주에 대략 4등배로 배치된 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압 포켓(23)으로부터 캐리어 링(5)의 외주면(12)에 정압 유체를 공급하여, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)에 의해 정압 유체를 통해 캐리어 링(5)을 비접촉으로 정압 지지하며, 구동 기어(14)에 의해 링 기어(13)를 통해 캐리어 링(5)을 구동하고 캐리어(4)에 장착된 워크(W)를 그 회전 축심 둘레로 회전시켜, 한 쌍의 연삭 지석(3)으로 워크(W)의 양면을 정해진 마무리 치수가 될 때까지 연삭한다. In the grinding of the work W, the work W mounted on the carrier 4 is positively supported in a non-contact manner from both right and left sides by a pair of static pressure pads 1, The static pressure fluid is supplied from the static pressure pockets 23 of the respective static pressure carrier guides 6a and 6b arranged on the back side to the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5, And the carrier ring 5 is driven by the drive gear 14 through the ring gear 13 and the work W mounted on the carrier 4 is rotated And the grinding wheel 3 is ground with both surfaces of the work W to a predetermined finishing dimension.

이와 같이 하면, 외주의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)에 의해 캐리어 링(5)을 비접촉으로 정압 지지할 수 있다. 즉, 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 사이에는 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)로부터 공급되는 정압 유체가 있고, 이 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)에 의해 정압 유체를 통해 캐리어 링(5)을 외주측으로부터 비접촉으로 정압 지지할 수 있다. 한편, 캐리어 링(5)의 양단면 사이에는, 종래와 마찬가지로 각 정압 패드(1)로부터 공급되는 정압 유체가 있고, 각 정압 패드(1)에 의해 정압 유체를 통해 비접촉으로 정압 지지할 수 있다. By doing so, the carrier ring 5 can be positively supported in a non-contact manner by the outer constant-pressure carrier guides 6a and 6b. That is, there is a constant-pressure fluid supplied from each of the constant-pressure carrier guides 6a and 6b between the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 and the carrier 6a and 6b, The ring 5 can be positively supported in a noncontact manner from the outer peripheral side. On the other hand, between the both end faces of the carrier ring 5, there is a static pressure fluid supplied from the respective static pressure pads 1 as in the prior art, and can be positively supported in a noncontact manner by the static pressure pads 1 through the static pressure fluid.

이 때문에 캐리어 링(5)의 외주 및 양단부면 모두가 비접촉으로 정압 지지되게 되고, 가이드 롤러에 의해 캐리어 링(5)을 지지하는 종래의 접촉 지지 방식과 비교해서, 연삭 사이클중에 캐리어 링(5)으로부터 캐리어(4)를 통해 워크(W)에 가해지는 외력이 적어져, 워크(W)의 회전 정밀도(주로 외주 흔들림)를 개선할 수 있다. 따라서, 워크(W)의 연삭 정밀도를 향상시킬 수 있다. As a result, the outer periphery and both end faces of the carrier ring 5 are positively supported in a noncontact manner, and compared with the conventional contact support system in which the carrier ring 5 is supported by the guide rollers, The external force exerted on the workpiece W through the carrier 4 is reduced, and the rotation accuracy (mainly the peripheral shake) of the workpiece W can be improved. Therefore, the grinding precision of the work W can be improved.

또한, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)에 의해 정압 유체를 통해 비접촉으로 캐리어 링(5)을 회전 가능하게 정압 지지하기 때문에, 접촉 지지 방식의 경우와 같은 부재 상호의 접촉에 의한 마모 등의 문제가 없고, 반영구적으로 양호한 회전 정밀도를 유지할 수 있다. 이에, 마모 등에 의한 워크(W)의 연삭 정밀도의 악화, 보전 공정수의 증가, 소모품 비용의 발생 등을 방지할 수 있다. Further, since the carrier ring 5 is rotatably and positively supported by the constant-pressure carrier guides 6a and 6b through the static-pressure fluid in a non-contact manner, problems such as abrasion due to contact between members So that good rotational accuracy can be maintained semi-permanently. Thus, it is possible to prevent the grinding accuracy of the workpiece W from being degraded due to abrasion, the number of maintenance processes, and the cost of consumables.

또한 캐리어 링(5)의 외주에 대략 4등배로 배치된 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b) 중, 캐리어 링(5)의 직경 방향의 양측에 배치된 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)는 도 9에 도시하는 바와 같이, 정압 유체의 압력 및 유량이 충분히 큰 동일 회로(27)에 접속되어 있기 때문에, 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12) 사이의 간극이 변동했을 때에는, 동일 회로(27) 내의 압력을 균일하게 하고자 하는 힘이 작용하여, 캐리어 링(5)이 안정적인 위치를 유지하고자 하기 때문에, 안정된 회전 정밀도를 얻을 수 있다. The constant-pressure carrier guides 6a and 6b disposed on both sides in the radial direction of the carrier ring 5 among the constant-pressure carrier guides 6a and 6b disposed approximately four times on the outer circumference of the carrier ring 5, The static pressure surface 22 of the static pressure carrier guides 6a and 6b and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 are connected to the same circuit 27 having a sufficiently large pressure and flow rate of the static pressure fluid, , A force for uniformizing the pressure in the same circuit 27 acts to keep the carrier ring 5 in a stable position, so that stable rotation accuracy can be obtained.

즉, 어떠한 원인에 의해 대향하는 한 쌍의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 압력 밸런스가 무너져, 예컨대 하측의 정압 캐리어 가이드(6b)와 캐리어 링(5)과의 간극이 좁아진 경우에는, 그 정압 캐리어 가이드(6b)의 정압 포켓(23) 내의 압력이 상승한다. 한편, 상측의 정압 캐리어 가이드(6a)와 캐리어 링(5)과의 간극이 넓어져, 그 정압 캐리어 가이드(6a)의 정압 포켓(23) 내의 압력이 저하한다. 이에, 양 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압 포켓(23)의 압력차에 따라, 캐리어 링(5)은 양 정압 캐리어 가이드(6a, 6b) 사이의 간극이 균등하게 되도록 이동하여 안정적인 위치를 유지하게 된다. That is, when the pressure balance of the pair of opposing static-pressure carrier guides 6a and 6b collapses due to some cause, for example, when the gap between the lower static-pressure carrier guide 6b and the carrier ring 5 becomes narrow, The pressure in the static pressure pocket 23 of the carrier guide 6b rises. On the other hand, the clearance between the upper static-pressure carrier guide 6a and the carrier ring 5 is widened, and the pressure in the static-pressure pocket 23 of the static-pressure carrier guide 6a lowers. The carrier ring 5 moves so that the gap between the positive static-pressure carrier guides 6a and 6b becomes equal to each other in accordance with the pressure difference between the positive pressure pockets 23 of the both static-pressure carrier guides 6a and 6b, .

캐리어 링(5)의 외주면(12)은 캐리어(4)의 회전 중심에 대하여 대략 동심형의 원통면으로서, 정압 유체의 압력이 빠지는 홈 등이 없는 형상이고, 이 캐리어 링(5)의 외주면(12)에 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)이 미소 간극을 두고 근접해 있기 때문에, 정압 유체에 의해 캐리어 링(5)을 안정성 좋게 지지할 수 있으며, 캐리어 링(5)의 안정된 회전 정밀도를 얻을 수 있다. 또한 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)에는, 캐리어 링(5)의 회전 방향으로 2개의 정압 포켓(23)이 있고, 이들 포켓이 그 중간의 해제 홈(24)에 의해 2 분할되기 때문에, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b) 단독으로 캐리어 링(5)의 회전 방향의 양측에서의 정압 유체의 압력을 밸런싱할 수 있다. The outer circumferential surface 12 of the carrier ring 5 is a substantially concentric cylindrical surface with respect to the rotational center of the carrier 4 and has no groove or the like in which the pressure of the static pressure fluid is lost. Since the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guides 6a and 6b is close to the static pressure surface 12 of the carrier ring 5 with a minute gap therebetween, the static pressure fluid can stably support the carrier ring 5, The rotation accuracy can be obtained. There are two static pressure pockets 23 in the direction of rotation of the carrier ring 5 on the static pressure surface 22 of each of the static pressure carrier guides 6a and 6b, The pressure of the static pressure fluid at both sides in the rotational direction of the carrier ring 5 can be balanced by each of the static pressure carrier guides 6a and 6b alone.

캐리어 수단(7)의 착탈 시에는 실린더(36)에 의해 지지 아암(34)을 도 3에 이점쇄선으로 도시하는 바와 같이 피봇(33) 둘레로 도 3의 화살표 a 방향으로 요동시키고, 상측의 2개의 정압 캐리어 가이드(6a)를 캐리어 링(5)의 직경 방향으로 이격시킨다. 또한 캐리어 링(5)을 정해진 위치에 넣은 후에는, 실린더(36)에 의해 지지 아암(34)을 피봇(33) 둘레로 화살표 a의 반대 방향으로 회동시킨다. 그리고, 상측의 정압 캐리어 가이드(6a)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12) 사이가 정해진 간극이 되면, 스토퍼(49)가 접촉부(48)에 접촉하여 지지 아암(34)의 회동을 규제한다. When the carrier means 7 is attached and detached, the support arm 34 is pivoted by the cylinder 36 in the direction of the arrow a in Fig. 3 around the pivot 33 as shown by a two-dot chain line in Fig. 3, (6a) are spaced apart from each other in the radial direction of the carrier ring (5). Further, after the carrier ring 5 is put in the predetermined position, the support arm 34 is pivoted by the cylinder 36 about the pivot 33 in the direction opposite to the arrow a. When the fixed pressure surface 22 of the upper static pressure carrier guide 6a and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 have a predetermined clearance, the stopper 49 comes into contact with the abutting portion 48, ).

이와 같이 실린더(36)에 의해 지지 아암(34)을 구동하여 상측의 정압 캐리어 가이드(6a)를 이동시킴으로써, 캐리어 링(5)의 직경 방향의 양측에 배치된 한 쌍의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b) 사이의 간격이 변화하기 때문에, 캐리어 링(5)의 출입을 용이하게 할 수 있고, 또한 그 자동화를 용이하게 도모할 수 있다. The pair of static pressure carrier guides 6a and 6b arranged on both sides in the radial direction of the carrier ring 5 can be moved by moving the upper static carrier guide 6a by driving the support arm 34 by the cylinder 36, 6b are changed, the carrier ring 5 can be easily inserted and removed, and automation thereof can be facilitated.

또한 스토퍼 수단(47)의 나사식 스토퍼(49)가 접촉부(48)에 접촉하는 위치를 조정함으로써, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간극을 임의로 조정할 수 있다. 즉, 스토퍼(49)를 조정함으로써, 스토퍼(47)가 접촉부(48)에 접촉할 때의 지지 아암(34)의 위치가 변화하고, 캐리어 링(5)의 직경 방향 양측의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22) 사이의 간격이 변화한다. 그리고, 캐리어 링(5)의 직경 방향 양측의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)로부터 캐리어 링(5)의 외주에 정압 유체를 공급했을 때에, 양 정압 캐리어 가이드(6a, 6b) 간의 대략 중앙에 캐리어 링(5)이 위치하고, 캐리어 링(5)의 외주면(12)과 양측의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)과의 간격이 대략 일치한다. 따라서, 캐리어 링(5)의 직경 방향 양측의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22) 사이의 간격에 따라, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간격을 조정할 수 있다. The static pressure surface 22 of each of the static pressure carrier guides 6a and 6b and the outer peripheral surface of the carrier ring 5 can be adjusted by adjusting the position at which the screw stopper 49 of the stopper means 47 contacts the contact portion 48. [ 12 can be arbitrarily adjusted. That is, by adjusting the stopper 49, the position of the support arm 34 when the stopper 47 contacts the contact portion 48 changes, and the static pressure carrier guide 6a , And 6b varies. When the static pressure fluid is supplied from the constant-pressure carrier guides 6a and 6b on both sides in the radial direction of the carrier ring 5 to the outer periphery of the carrier ring 5, The ring 5 is positioned and the gap between the outer circumferential surface 12 of the carrier ring 5 and the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guides 6a and 6b on both sides is substantially coincident with each other. The static pressure surface 22 of each of the static pressure carrier guides 6a and 6b and the gap between the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guides 6a and 6b on both sides in the radial direction of the carrier ring 5, It is possible to adjust the distance from the outer circumferential surface 12 of the outer tube 5.

각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)는 고정 상태와 플로팅 상태로 변경 가능하고, 필요에 따라 순서를 변경함으로써, 적절하게 구분하여 사용할 수 있다. 예컨대 캐리어 링(5)의 진원도가 높고 캐리어 링(5)을 확실하게 정압 지지할 수 있는 경우에는, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 고정 상태로 하고, 또한 캐리어 링(5)의 진원도가 낮은 경우에는 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 플로팅 상태로 할 수 있다. 또한 하측의 2개의 정압 캐리어 가이드(6b)를 고정하고, 상측의 2개의 정압 캐리어 가이드(6a)를 플로팅 상태로 할 수도 있다. Each of the static-pressure carrier guides 6a and 6b can be changed into a fixed state and a floating state, and can be appropriately divided and used by changing the order as necessary. For example, when the roundness of the carrier ring 5 is high and the carrier ring 5 can reliably hold the positive pressure, the respective static pressure carrier guides 6a and 6b are fixed and the roundness of the carrier ring 5 The respective static-pressure carrier guides 6a and 6b can be put in a floating state. It is also possible to fix the two lower static-pressure carrier guides 6b and the upper two static-pressure carrier guides 6a to the floating state.

도 3, 도 5, 도 6, 도 10은 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 고정한 상태를 도시한다. 상측의 정압 캐리어 가이드(6a)를 고정하는 경우에는, 도 3, 도 6에 도시하는 바와 같이 정압 캐리어 가이드(6a)의 고정핀(39)을 고정 브래킷(38)의 핀 구멍(38b)에 삽입하고, 또한 고정 브래킷(38)을 고정 볼트(40)로 지지 아암(34)에 피봇 부착한다. 이 상태로 고정 볼트(40) 둘레로 긴 구멍(38a)의 범위 내에서 고정 브래킷(38)을 회동시키면, 정압 캐리어 가이드(6a)가 플로팅 축(15a) 둘레로 회동하여, 플로팅 축(15a)의 양측에서 정압 캐리어 가이드(6a)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간극이 변화하기 때문에, 플로팅 축(15a)의 양측에서 그 간극이 대략 균등하게 된 위치에서 조정 볼트(41)를 체결하여 고정하면 된다.3, 5, 6, and 10 show a state in which the respective static-pressure carrier guides 6a and 6b are fixed. The fixing pin 39 of the static pressure carrier guide 6a is inserted into the pin hole 38b of the fixing bracket 38 as shown in Figs. And the fixing bracket 38 is pivotally attached to the supporting arm 34 with the fixing bolt 40. [ In this state, when the fixing bracket 38 is rotated within the range of the long hole 38a around the fixing bolt 40, the static pressure carrier guide 6a rotates around the floating shaft 15a, The gap between the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guide 6a and the outer circumferential surface 12 of the carrier ring 5 changes at both sides of the floating shaft 15a, The adjusting bolt 41 may be fastened and fixed.

또한, 정압 캐리어 가이드(6a)를 고정할 때의 조정 허용량은 통상 핀 구멍(21)의 규제핀(42)과의 간극 범위 내이기 때문에, 규제핀(42)은 핀 구멍(21)에 삽입 관통한 상태가 좋다. 또한 정압 캐리어 가이드(6a)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간극의 대소는 스토퍼 수단(47)에 의해 적절하게 조정된다. Since the adjustment allowable amount when fixing the constant-pressure carrier guide 6a is within the clearance range of the pin hole 21 with respect to the restriction pin 42, the restriction pin 42 is inserted into the pin hole 21 One is good. The gap between the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guide 6a and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 is appropriately adjusted by the stopper means 47.

하측의 정압 캐리어 가이드(6b)를 고정하는 경우에는, 도 5, 도 10에 도시하는 바와 같이, 정압 캐리어 가이드(6b)와 고정 브래킷(50)과의 고정 구멍(53)에 결합핀(55)을 삽입하고, 플로팅 축(15b)의 양측에서 정압 캐리어 가이드(6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간극이 대략 균등하게 되도록, 고정 브래킷(50)의 각도를 플로팅 축(15b) 둘레로 돌려 조정한 후, 체결 볼트(57)를 체결하여 고정 브래킷(50)을 플로팅 축(15b)에 고정한다. 이것에 의해 하측의 정압 캐리어 가이드(6b)가 고정 상태가 된다. 5 and 10, the engaging pin 55 is fixed to the fixing hole 53 of the static pressure carrier guide 6b and the fixing bracket 50. In this case, So that the clearance between the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guide 6b and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 at both sides of the floating shaft 15b is substantially uniform. The angle is turned around the floating shaft 15b and then the fastening bolt 57 is fastened to fix the fastening bracket 50 to the floating shaft 15b. As a result, the lower static-pressure carrier guide 6b is in a fixed state.

이와 같이 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 고정한 경우에도, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)에 2개의 정압 포켓(23)이 있고, 이 각 정압 포켓(23)으로부터 캐리어 링(5)의 외주면(12)에 정압 유체가 공급되기 때문에, 정압 유체를 통해 캐리어 링(5)을 정압 지지할 수 있다. 또한 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)가 고정 상태이기 때문에, 캐리어 링(5)의 흔들림을 방지하여 캐리어 링(5)을 확실히 정압 지지할 수 있다. Even when each of the static pressure carrier guides 6a and 6b is fixed in this way, there are two static pressure pockets 23 on the static pressure surface 22 of each of the static pressure carrier guides 6a and 6b, Since the static pressure fluid is supplied to the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5, the carrier ring 5 can be positively supported via the static pressure fluid. Further, since the respective constant-pressure carrier guides 6a and 6b are in a fixed state, the carrier ring 5 can be prevented from being shaken and the carrier ring 5 can be reliably and positively supported.

상측의 정압 캐리어 가이드(6a)를 플로팅 상태로 하는 경우에는, 고정 브래킷(38)을 제거하면, 정압 캐리어 가이드(6a)의 고정핀(39)이 고정 브래킷(38)의 핀 구멍(38b)에서 벗어나기 때문에, 고정 수단(16a)에 의한 정압 캐리어 가이드(6a)의 고정을 해제할 수 있다. 이것에 의해 규제핀(42)과 핀 구멍(21)과의 간극 범위 내에서 정압 캐리어 가이드(6a)를 플로팅 축(15a) 둘레로 플로팅시킬 수 있다. The fixing pin 39 of the static pressure carrier guide 6a is fixed to the pin hole 38b of the fixing bracket 38 The fixing of the constant-pressure carrier guide 6a by the fixing means 16a can be released. Thereby, the static-pressure carrier guide 6a can be floated around the floating shaft 15a within the clearance range between the restriction pin 42 and the pin hole 21. [

또한 하측의 정압 캐리어 가이드(6b)를 플로팅 상태로 하는 경우에는, 도 11에 도시하는 바와 같이 고정 브래킷(50)을 반전시켜, 규제 수단(17b)의 범위 내에서 정압 캐리어 가이드(6b)를 플로팅 가능하게 장착한다. 우선 최초에 정압 캐리어 가이드(6b)를 플로팅 축(15b)으로부터 제거하고, 고정 브래킷(50)을 표리 반전시켜 플로팅 축(15b)에 장착한다. 다음에 정압 캐리어 가이드(6b)를 플로팅 축(15b)에 덮어 끼우고, 그 결합핀(55)을 고정 브래킷(50)의 플로팅 오목부(54)에 결합시킨다. 11, the fixing bracket 50 is reversed so that the static-pressure carrier guide 6b is floated within the range of the restricting means 17b, . First, the static-pressure carrier guide 6b is first removed from the floating shaft 15b, and the fixing bracket 50 is mounted on the floating shaft 15b by reversing the front and rear faces. Next, the static-pressure carrier guide 6b is put on the floating shaft 15b and the engaging pin 55 is engaged with the floating recess 54 of the fixing bracket 50. Then,

그리고, 플로팅 축(15b)의 양측에서 정압 캐리어 가이드(6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간극이 대략 균등하게 되도록, 고정 브래킷(50)을 플로팅 축(15b) 둘레로 조정하여 체결 볼트(57)에 의해 고정한다. 이것에 의해 결합핀(55)과 플로팅 오목부(54)와의 간극의 범위 내에서 정압 캐리어 가이드(6b)를 플로팅 축(15b) 둘레로 플로팅시킬 수 있다. The fixing bracket 50 is fixed on both sides of the floating shaft 15b so that the clearance between the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guide 6b and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 becomes substantially uniform, (15b) and fixed by fastening bolts (57). The static pressure carrier guide 6b can be floated around the floating shaft 15b within the range of the gap between the engaging pin 55 and the floating recess 54. [

이와 같이 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 플로팅 가능하게 한 후, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 각 정압 포켓(23)으로부터 캐리어 링(5)의 외주면(12)에 정압 유체를 공급하면, 그 정압 유체를 통해 캐리어 링(5)을 정압 지지할 수 있다. 또한 플로팅 축(15a, 15b)의 양측에서 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간극에 차이가 생겼을 때에는, 플로팅 축(15a, 15b)의 양측의 간극이 대략 일치하도록 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)가 플로팅 축(15a, 15b) 둘레로 플로팅한다. 이에, 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)와 캐리어 링(5)의 접촉을 미연에 방지할 수 있다. 또한 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 플로팅 범위를 규제하는 규제 수단(17a, 17b)이 있기 때문에, 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 플로팅 축(15a, 15b) 둘레의 불안정한 요동 등을 방지할 수 있다. After the respective static pressure carrier guides 6a and 6b are made floatable as described above, the static pressure fluid is supplied from the respective static pressure pockets 23 of the respective static pressure carrier guides 6a and 6b to the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 The carrier ring 5 can be positively supported through the static pressure fluid. When there is a difference in the clearance between the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guides 6a and 6b and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 on both sides of the floating shafts 15a and 15b, The static pressure carrier guides 6a and 6b float around the floating shafts 15a and 15b so that the gaps on both sides of the floating shafts 15a and 15b substantially coincide with each other. Thus, contact between the static pressure carrier guides 6a and 6b and the carrier ring 5 can be prevented in advance. Since there are regulating means 17a and 17b for regulating the floating range of the static pressure carrier guides 6a and 6b, it is possible to prevent the static pressure carrier guides 6a and 6b from rocking around the floating shafts 15a and 15b .

각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b) 모두를 고정 상태 또는 플로팅 상태로 하여 사용하는 것 외, 예컨대 하측의 2개의 정압 캐리어 가이드(6b)를 고정하고, 지지 아암(34)에 장착된 상측의 2개의 정압 캐리어 가이드(6a)를 플로팅 축(15a) 둘레로 플로팅 가능하게 하여 사용할 수도 있다. 이 경우에는, 캐리어 링(5)의 착탈 작업을 용이하게 하면서도, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간극을 작게 하여, 캐리어 링(5)을 안정적으로 정압 지지할 수 있다. All of the static pressure carrier guides 6a and 6b may be used in a fixed state or a floating state and also two fixed pressure carrier guides 6b may be fixed on the lower side, The static pressure carrier guide 6a can be used to float around the floating shaft 15a. In this case, the gap between the static pressure surface 22 of each of the static pressure carrier guides 6a and 6b and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 can be made small while facilitating the attaching / detaching operation of the carrier ring 5, The carrier ring 5 can be stably positively supported.

즉, 상측의 정압 캐리어 가이드(6a)를 피봇(33) 둘레로 회동하는 지지 아암(34)에 장착하는 경우, 이 정압 캐리어 가이드(6a)를 지지 아암(34)에 고정하면, 오차의 축적 등에 의해 정압 캐리어 가이드(6a)가 캐리어 링(5)과 접촉할 우려가 있어, 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)와 캐리어 링(5)과의 간극을 작게 하기 어려워진다. 그러나, 지지 아암(34)에 대하여 정압 캐리어 가이드(6a)를 플로팅 가능하게 장착함으로써, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간극을 작게 하면서도, 상측의 정압 캐리어 가이드(6a)의 플로팅에 의해 캐리어 링(5)과의 접촉을 방지할 수 있다. That is, when the upper static-pressure carrier guide 6a is mounted on the support arm 34 that rotates around the pivot 33, when the static-pressure carrier guide 6a is fixed to the support arm 34, The static pressure carrier guide 6a may come into contact with the carrier ring 5 and it becomes difficult to reduce the gap between the static pressure carrier guides 6a and 6b and the carrier ring 5. However, by mounting the static-pressure carrier guide 6a to the support arm 34 so as to be floatable, the static pressure of the static-pressure carrier guides 6a, 6b and the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 Contact with the carrier ring 5 can be prevented by floating the upper static-pressure carrier guide 6a while reducing the clearance.

덧붙여 말하면, 세라믹제의 캐리어 링(5)을 이용하여, 본 발명의 비접촉 지지 방식과 종래의 지지 롤러에 의한 접촉 지지 방식에 대해서 검증한 바, 본 발명의 비접촉 지지 방식에서는 종래의 접촉 지지 방식에 비교하여 캐리어 링(5)의 외주 흔들림을 1/5 정도로 억제할 수 있었다. 도 12는 캐리어 링(5)의 진원도의 측정 결과를 나타낸다. 도 13은 종래의 접촉 지지 방식의 경우에, 도 14는 본 발명의 비접촉 지지 방식의 경우 각각의 캐리어 링(5)의 외주 흔들림의 측정 결과를 나타낸다.Incidentally, the contactless support system of the present invention and the conventional contact support system using the carrier ring 5 made of a ceramic were tested. In the contactless support system of the present invention, The peripheral shaking of the carrier ring 5 can be suppressed to about 1/5. 12 shows the result of measurement of roundness of the carrier ring 5. Fig. Fig. 13 shows the results of the conventional contact supporting method, and Fig. 14 shows the results of measurement of the outer peripheral waving of the respective carrier rings 5 in the case of the non-contact supporting method of the present invention.

캐리어 링(5)에는 도 12에 도시하는 바와 같이 외주 진원도가 약 5 ㎛(실측값 4.5 ㎛)인 세라믹제를 이용하여, 종래의 접촉 지지 방식, 본 발명의 비접촉 지지 방식의 각각에서의 캐리어 링(5)의 외주 흔들림을 측정하였다. 종래의 접촉 지지 방식의 경우에는, 외주 흔들림의 측정값은 도 13에 도시하는 바와 같이 약 15 ㎛이며, 이것에서 캐리어 링(5)의 외주 진원도(약 5 ㎛)를 빼면, 외주 흔들림은 약 10 ㎛가 된다. 이것에 대해 비접촉 지지 방식의 경우의 흔들림 측정값은 도 14에 도시하는 바와 같이 약 7 ㎛이며, 이것에서 캐리어 링(5)의 외주 진원도(약 5 ㎛)를 빼면, 외주 흔들림은 약 2 ㎛가 된다. As shown in Fig. 12, the carrier ring 5 is made of ceramics having an outer roundness of about 5 占 퐉 (actual value: 4.5 占 퐉) (5) were measured. In the case of the conventional contact supporting system, the measurement value of the outer peripheral shaking is about 15 占 퐉 as shown in Fig. 13, and when the outer circle roundness (about 5 占 퐉) of the carrier ring 5 is subtracted from this, Mu m. On the other hand, as shown in Fig. 14, the measured value of the shaking in the case of the non-contact supporting system is about 7 탆, and when the outer round circle of the carrier ring 5 (about 5 탆) is subtracted, do.

따라서, 본 발명의 비접촉 지지 방식에서는, 종래의 접촉 지지 방식과 비교하여 캐리어 링(5)의 외주 흔들림을 1/5 정도로 억제할 수 있다. 이에, 캐리어 링(5)의 회전 정밀도는 캐리어(4)를 통해 그 내주에 접해 있는 워크(W)에 직접 전해지고, 연삭 사이클중에 한 쌍의 연삭 지석(3) 사이에 개재되어 고정된 워크(W)의 연삭점에 작용하여, 워크(W)의 연삭에 즉시 영향을 주게 되지만, 본 발명의 비접촉 지지 방식을 채용함으로써, 캐리어 링(5)의 외주 흔들림의 영향을 작게 할 수 있어, 워크(W)의 안정된 연삭 정밀도를 얻을 수 있다. Therefore, in the noncontact supporting system of the present invention, the outer peripheral shaking of the carrier ring 5 can be suppressed to about 1/5 as compared with the conventional contact supporting system. The rotation accuracy of the carrier ring 5 is transmitted directly to the workpiece W contacting the inner circumference thereof through the carrier 4 and is transferred between the pair of grinding stones 3 during the grinding cycle, But the influence of the outer peripheral shaking of the carrier ring 5 can be reduced by adopting the noncontact supporting system of the present invention and the work W ) Can be obtained with a stable grinding accuracy.

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 자세하게 설명하였지만, 본 발명은 이 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변경이 가능하다. 예컨대 실시형태에서는, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 고정 상태와 플로팅 상태로 변경 가능하게 하고 있지만, 모든 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 고정식 또는 플로팅식으로 하여도 좋고, 하측의 복수개의 정압 캐리어 가이드(6b)를 고정식으로 하며, 상측의 복수개의 정압 캐리어 가이드(6a)를 플로팅식으로 하여도 좋다. Although the embodiments of the present invention have been described in detail, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications are possible without departing from the gist of the present invention. For example, in the embodiment, each of the static-pressure carrier guides 6a and 6b can be changed into a fixed state and a floating state. However, all the static-pressure carrier guides 6a and 6b may be fixed or floating, The static pressure carrier guide 6b may be fixed and the plurality of static pressure carrier guides 6a on the upper side may be floating.

정압 캐리어 가이드(6a, 6b)는 캐리어 링(5)의 외주에 대략 등배로 배치하는 것이 바람직하지만, 복수개의 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)에 의해 캐리어 링(5)을 정압 지지할 수 있는 한, 대략 등배로 배치할 필요는 없다. 또한 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 대략 등배로 배치하는 경우, 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)는 3개 이상인 것이 좋다. 그리고, 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)가 3개인 경우에는, 예컨대 하측에 2개의 정압 캐리어 가이드(6b)를 배치하고, 상측의 1개의 정압 캐리어 가이드(6a)를 캐리어 링(5)의 직경 방향으로 이동 가능하게 설치하여도 좋다. It is preferable that the static pressure carrier guides 6a and 6b are disposed approximately equally on the outer periphery of the carrier ring 5. However, as long as the plurality of constant pressure carrier guides 6a and 6b can support the carrier ring 5 positively , It is not necessary to arrange it at approximately x times. In addition, when the static pressure carrier guides 6a and 6b are arranged approximately equally, it is preferable that three or more static pressure carrier guides 6a and 6b are provided. When there are three static pressure carrier guides 6a and 6b, for example, two static pressure carrier guides 6b are arranged on the lower side and one static pressure carrier guide 6a on the upper side is arranged in the radial direction of the carrier ring 5 As shown in Fig.

정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)에 플로팅 축(15a, 15b)에 대하여 회전 방향으로 대략 대칭으로 정압 포켓(23)을 설치하는 경우, 실시형태에 예시하는 바와 같이 회전 방향으로 2분할하여 배치하여도 좋고, 회전 방향으로 긴 1개의 정압 포켓(23)을 연속형으로 설치하여도 좋다. 지지 아암(34)을 구동하는 구동 수단(19)은 실린더(36) 외, 모터에 의해 구성하고, 그 모터에 의해 나사축 또는 기어를 통해 지지 아암(34)을 구동하도록 하여도 좋다. When the static pressure padding 23 is provided on the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guides 6a and 6b in a direction substantially symmetrical with respect to the floating shafts 15a and 15b in the rotating direction, Or one constant pressure padding 23 long in the rotating direction may be provided continuously. The driving means 19 for driving the supporting arm 34 may be constituted by a motor other than the cylinder 36 and the supporting arm 34 may be driven by the motor via a screw shaft or a gear.

정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 캐리어 링(5)에 대하여 원근 방향으로 이동시키는 경우, 가동 베이스(8)에 캐리어 링(5)의 대략 직경 방향의 안내 기구를 설치하고, 그 안내 기구에 따라 이동 가능하게 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 설치하여도 좋다. 또한 실시형태에서는, 지지 아암(34)을 정해진 위치에 정지시키는 스토퍼 수단(47)과, 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)의 정압면(22)과 캐리어 링(5)의 외주면(12)과의 간극을 조정하는 간극 조정 수단을 겸용하도록 하고 있지만, 이 양자는 별개로 설치하여도 좋다. When the static pressure carrier guides 6a and 6b are moved in the far direction with respect to the carrier ring 5, the movable base 5 is provided with a substantially radial guide mechanism in the movable base 8, The static pressure carrier guides 6a and 6b may be provided movably. The stopper means 47 for stopping the support arm 34 at a predetermined position and the stopper means 47 for stopping the support arm 34 at a predetermined position are provided on the outer peripheral surface 12 of the carrier ring 5 and the static pressure surface 22 of the static pressure carrier guides 6a, The gap adjusting means for adjusting the gap is also used. However, the gap adjusting means may be provided separately.

모든 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 동일 회로(27)를 경유하여 정압 유체의 공급원(29)에 접속하여도 좋고, 각 정압 캐리어 가이드(6a, 6b)를 개별로 독립적인 압력 제어 회로를 통해 공급원(29)에 접속하여도 좋다. 또한 실시형태에서는, 횡형 평면 연삭기에 대해서 예시했지만, 종형에서도 마찬가지로 실시하는 것이 가능하다. 또한 워크(W)는 박판형의 것이면, 어떤 것이어도 좋다. All of the constant-pressure carrier guides 6a and 6b may be connected to the supply source 29 of the constant-pressure fluid via the same circuit 27 and the respective static-pressure carrier guides 6a and 6b may be individually connected through independent pressure control circuits It may be connected to the supply source 29. Further, in the embodiment, the horizontal plane grinder is exemplified, but the same can be applied to the vertical type. The work W may be any thin plate type.

1: 정압 패드 3: 연삭 지석
4: 캐리어 5: 캐리어 링
6a, 6b: 정압 캐리어 가이드 12: 외주면
15a, 15b: 플로팅 축 16a, 16b: 고정 수단
17a, 17b: 규제 수단 19: 구동 수단
21: 핀 구멍 22: 정압면
29: 공급원 33: 피봇
34: 지지 아암 47: 스토퍼 수단(간극 조정 수단)
W: 워크1: static pressure pad 3: grinding stone
4: Carrier 5: Carrier ring
6a, 6b: constant pressure carrier guide 12: outer peripheral surface
15a, 15b: floating shaft 16a, 16b: fixing means
17a, 17b: regulating means 19: driving means
21: pin hole 22: constant pressure face
29: source 33: pivot
34: support arm 47: stopper means (gap adjusting means)
W: Walk

Claims (9)

캐리어에 장착된 박판형 워크를 한 쌍의 정압(靜壓) 패드에 의해 비접촉으로 정압 지지하고, 상기 캐리어를 통해 상기 워크를 회전시키면서, 한 쌍의 연삭 지석에 의해 상기 워크의 양면을 연삭할 때에, 상기 캐리어의 외주측에 동심형으로 배치된 캐리어 링의 외주면을 둘레 방향에서 복수개의 정압 캐리어 가이드에 의해 비접촉으로 정압 지지하는 것을 특징으로 하는 박판형 워크의 연삭 방법. When a thin plate workpiece mounted on a carrier is positively supported in a noncontact manner by a pair of static pressure pads and both surfaces of the workpiece are ground by a pair of grinding wheels while rotating the workpiece through the carrier, Wherein the outer peripheral surface of the carrier ring concentrically arranged on the outer peripheral side of the carrier is positively supported in a non-contact manner by a plurality of constant-pressure carrier guides in the circumferential direction. 캐리어에 장착된 박판형 워크를 한 쌍의 정압 패드에 의해 비접촉으로 정압 지지하고, 상기 캐리어를 통해 상기 워크를 회전시키면서, 한 쌍의 연삭 지석에 의해 상기 워크의 양면을 연삭하는 양두 평면 연삭기에 있어서, 상기 캐리어의 외주측에 동심형으로 배치된 캐리어 링의 외주면을 비접촉으로 정압 지지하는 정압 캐리어 가이드를 둘레 방향에 복수개 구비한 것을 특징으로 하는 양두 평면 연삭기. A double-headed flat grinding machine for grinding both surfaces of a workpiece by a pair of grinding wheels while rotating the workpiece through the carrier while positively supporting a thin plate workpiece mounted on a carrier by a pair of static pressure pads in a noncontact manner, Wherein a plurality of constant-pressure carrier guides are provided in the circumferential direction for constantly holding the outer peripheral surfaces of the carrier rings concentrically arranged on the outer peripheral side of the carrier in a non-contact manner. 제2항에 있어서, 상기 캐리어 링은 원통면 형상의 외주면을 가지며, 이 외주면에 근접하여 그 각 정압 캐리어 가이드를 등배(等配)로 배치한 것을 특징으로 하는 양두 평면 연삭기. The double-headed plano-type grinder according to claim 2, wherein the carrier ring has an outer peripheral surface in a cylindrical surface shape, and each of the static-pressure carrier guides is disposed in an equidistant manner close to the outer peripheral surface. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 정압 캐리어 가이드는 고정인 것을 특징으로 하는 양두 평면 연삭기. The double-headed plano-type grinder according to claim 2 or 3, wherein the constant-pressure carrier guide is fixed. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 정압 캐리어 가이드는 플로팅 가능한 것을 특징으로 하는 양두 평면 연삭기. The double-headed plano-type grinder according to claim 2 or 3, wherein the static pressure carrier guide is floatable. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 캐리어 링의 회전 중심과 평행한 플로팅 축에 의해 그 각 정압 캐리어 가이드를 피봇 지지하고, 이 각 정압 캐리어 가이드에, 상기 캐리어 링의 외주면과의 사이에 정압 유체를 공급하는 정압 포켓을 상기 플로팅 축에 대하여 상기 캐리어 링의 회전 방향으로 대칭으로 구비한 것을 특징으로 하는 양두 평면 연삭기. 4. The carrier ring according to claim 2 or 3, wherein each of the static-pressure carrier guides is pivotally supported by a floating shaft parallel to the center of rotation of the carrier ring, and a static pressure is applied between the static-pressure carrier guides and the outer peripheral surface of the carrier ring Wherein a static pressure pocket for supplying a fluid is provided symmetrically with respect to the floating shaft in a rotating direction of the carrier ring. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 캐리어 링의 회전 중심과 평행한 피봇에 의해 요동 가능하게 피봇 지지되고 적어도 일부의 상기 정압 캐리어 가이드를 상기 캐리어 링에 대하여 원근 방향으로 이동 가능하게 지지하는 지지 아암과, 이 지지 아암을 상기 피봇 둘레로 회동시키는 구동 수단과, 상기 지지 아암을 정해진 위치에 정지시키는 스토퍼 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 양두 평면 연삭기. 4. A carrier according to claim 2 or 3, further comprising a pivotally supported pivotal support pivotable about a pivotal axis of said carrier ring, said support pivotally supporting at least a portion of said static pressure carrier guide relative to said carrier ring Driving means for rotating the support arm about the pivot, and stopper means for stopping the support arm at a predetermined position. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 정압 캐리어 가이드는 고정 상태와, 상기 캐리어 링의 회전 중심과 평행한 플로팅 축 둘레로 플로팅하는 플로팅 상태로 변경 가능한 것을 특징으로 하는 양두 평면 연삭기. The double-headed plano-type grinder according to claim 2 or 3, wherein the static pressure carrier guide is changeable into a fixed state and a floating state floating around a floating axis parallel to the rotation center of the carrier ring. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 캐리어 링의 외주에 등배로 배치된 3개 이상의 상기 정압 캐리어 가이드를 구비하고, 이 3개 이상의 정압 캐리어 가이드 중, 적어도 1개의 상기 정압 캐리어 가이드의 위치를 상기 캐리어 링의 직경 방향으로 조정하여 상기 3개 이상의 정압 캐리어 가이드의 정압면과 상기 캐리어 링의 외주면의 간극을 조정하는 간극 조정 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 양두 평면 연삭기. The carrier ring as set forth in claim 2 or 3, wherein at least three of said three or more static-pressure carrier guides are arranged on the outer periphery of said carrier ring at equal intervals, and wherein at least one of said three or more static- And a gap adjustment means for adjusting the gap between the static pressure surface of the at least three static pressure carrier guides and the outer circumferential surface of the carrier ring by adjusting the diameter of the carrier ring in the radial direction.
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