KR101910804B1 - Transfer robot and substrate transferring method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이송 로봇 및 기판 픽업 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송 로봇은 지지 부재; 전후방으로 이동 가능하게 상기 지지 부재에 위치되는 핸드; 및 상기 핸드를 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 제어기는 기판을 픽업한 상기 핸드를 메인 이동 구간을 통해 후방으로 이동 시킨 후, 상기 메인 이동 구간의 최대 속도에 비해 저속으로 이동되는 기판 정렬 구간을 통해 후방으로 이동시켜 상기 핸드의 후방으로의 이동을 완료한다.The present invention relates to a transfer robot and a substrate pick-up method. A transfer robot according to an embodiment of the present invention includes a support member; A hand positioned on the support member so as to be movable forward and backward; And a controller for controlling the hand, wherein the controller moves the hand picking up the substrate backward through the main moving section and then moves the substrate through the substrate aligning section moving at a lower speed than the maximum speed of the main moving section And moves backward to complete the movement of the hand backward.

Description

이송 로봇 및 기판 픽업 방법{Transfer robot and substrate transferring method}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a transfer robot and a substrate transfer method,

본 발명은 이송 로봇 및 기판 픽업 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer robot and a substrate pick-up method.

반도체 소자 및 평판 디스플레이를 제조하기 위해서는 사진, 식각, 그리고 세정 등 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정들을 진행하는 기판처리시스템은 기판에 대한 처리를 수행하는 공정 챔버 및 기판들이 이동되는 경로를 제공하는 공간들을 포함한다. 또한, 처리될 기판은 풉(FOUP: front opening unified pod)등에 의해 수용된 상태로 기판처리시스템에 제공될 수 있다.Various processes such as photography, etching, and cleaning are performed to manufacture semiconductor devices and flat panel displays. A substrate processing system for carrying out these processes includes a process chamber for performing processing on the substrate and spaces for providing a path through which the substrates are moved. In addition, the substrate to be processed can be provided to the substrate processing system in a state accommodated by a front opening unified pod (FOUP) or the like.

기판이송장치는 풉 등에서 처리될 기판을 반출하거나, 처리된 기판을 풉 등에 반입할 수 있다. 또한, 기판이송장치는 기판처리시스템 내에서 기판을 일 위치에서 다른 위치로 이동 시킬 수 있다. 기판이송장치는 기판을 픽업하는 핸드를 가진다. 핸드가 기판을 픽업하는 과정에서 발생하는 충격에 의해 기판이 파손되거나 핸드의 마모가 발생할 수 있다.The substrate transfer apparatus can take out the substrate to be processed from the FOUP or the like, or carry the processed substrate to the FOUP or the like. In addition, the substrate transfer apparatus can move the substrate from one position to another within the substrate processing system. The substrate transfer apparatus has a hand for picking up a substrate. The substrate may be damaged or the abrasion of the hand may occur due to the impact generated when the hand picks up the substrate.

본 발명은 기판을 효율적으로 픽업할 수 있는 이송 로봇 및 기판 픽업 방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide a transfer robot and a substrate pickup method capable of efficiently picking up a substrate.

또한, 본 발명은 기판과 핸드 사이의 충격이 저감되는 이송 로봇 및 기판 픽업 방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention also provides a transfer robot and a substrate pick-up method in which impact between a substrate and a hand is reduced.

본 발명의 일 측면에 따르면, 지지 부재; 전후방으로 이동 가능하게 상기 지지 부재에 위치되는 핸드; 및 상기 핸드를 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 제어기는 기판을 픽업한 상기 핸드를 메인 이동 구간을 통해 후방으로 이동 시킨 후, 상기 메인 이동 구간의 최대 속도에 비해 저속으로 이동되는 기판 정렬 구간을 통해 후방으로 이동시켜 상기 핸드의 후방으로의 이동을 완료하는 이송 로봇이 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, A hand positioned on the support member so as to be movable forward and backward; And a controller for controlling the hand, wherein the controller moves the hand picking up the substrate backward through the main moving section and then moves the substrate through the substrate aligning section moving at a lower speed than the maximum speed of the main moving section And a transfer robot for moving the hand backward to complete the movement of the hand backward can be provided.

또한, 상기 핸드는 전방 단부에 위치되는 전방 가이드부; 및 상기 전방 가이드와 후방으로 설정 거리 이격되어 위치되는 후방 가이드부를 더 포함하되, 상기 제어기는 상기 핸드의 상기 메인 이동 구간을 통한 이동 완료 시, 픽업된 상기 기판의 후방 저면이 상기 후방 가이드부의 내측 상면에 위치된 상태를 유지하도록 상기 핸드를 이동 시킬 수 있다.Further, the hand may include a front guide portion positioned at a front end portion; And a rear guide part positioned at a predetermined distance rearward from the front guide, wherein when the controller completes the movement of the hand through the main movement section, the rear bottom surface of the picked- So that the hand can be moved to maintain the state in which it is positioned.

또한, 상기 기판 정렬 구간에서 상기 핸드가 이동하는 정렬 오프셋 거리는 4mm이하로 설정될 수 있다.In addition, the alignment offset distance at which the hand moves in the substrate alignment section may be set to 4 mm or less.

또한, 상기 기판 정렬 구간에서의 최대 속도는 상기 메인 이송 구간의 최대 속도의 7%이하일 수 있다.In addition, the maximum speed in the substrate alignment section may be 7% or less of the maximum speed of the main transport section.

또한, 상기 지지 부재에는 상기 기판 정렬 구간에서 상기 기판을 전방으로 밀어주는 푸셔가 제공될 수 있다.In addition, the support member may be provided with a pusher for pushing the substrate forward in the substrate alignment section.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판을 픽업한 핸드를 메인 이동 구간을 통해 후방으로 이동하는 단계; 상기 메인 이동 구간의 최대 속도에 비해 저속으로 이동되는 기판 정렬 구간을 통해 상기 핸드를 후방으로 이동시키면서, 상기 기판이 전방으로 밀리도록 하는 단계를 포함하는 기판 픽업 방법이 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of moving a hand, comprising: moving a hand picking up a substrate rearward through a main movement section; And moving the hand backward through a substrate alignment section moved at a lower speed relative to a maximum speed of the main movement section, so that the substrate is pushed forward.

또한, 상기 핸드에는 전방 단부에 위치되는 전방 가이드부와, 상기 전방 가이드와 후방으로 설정 거리 이격 되어 위치되는 후방 가이드부가 제공되고, 상기 기판은 상기 메인 이동 구간을 통한 이동 완료 시, 픽업된 상기 기판의 후방 저면이 상기 후방 가이드부의 내측 상면에 위치된 상태를 유지할 수 있다.Further, the hand is provided with a front guide part positioned at the front end, and a rear guide part positioned at a predetermined distance rearward from the front guide, and the substrate is moved to the substrate The rear bottom surface of the rear guide portion can be maintained on the inner upper surface of the rear guide portion.

또한, 상기 기판 정렬 구간에서 상기 핸드가 이동하는 정렬 오프셋 거리는 4mm이하로 설정될 수 있다.In addition, the alignment offset distance at which the hand moves in the substrate alignment section may be set to 4 mm or less.

또한, 상기 메인 이동 구간에 앞서 상기 메인 이동 구간의 최대 속도에 비해 저속으로 이동되는 구간인 감쇠 구간을 통해 상기 핸드를 후방으로 이동 시키는 단계를 더 포함할 수 있다.The method may further include moving the hand backward through an attenuation period that is a period that is lower than a maximum speed of the main movement interval prior to the main movement interval.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판을 효율적으로 픽업할 수 있는 이송 로봇 및 기판 픽업 방법이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a transfer robot and a substrate pickup method capable of efficiently picking up a substrate can be provided.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판과 핸드 사이의 충격이 저감되는 이송 로봇 및 기판 픽업 방법이 제공될 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, a transfer robot and a substrate pickup method in which an impact between a substrate and a hand is reduced can be provided.

도 1은 본 발명에 따른 이송 로봇을 나타내는 도면이다.
도 2는 핸드가 전방으로 이동되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 기판을 픽업한 상태의 핸드를 나타내는 도면이다.
도 4는 기판을 픽업하는 과정에서의 핸드의 수평 방향 속도를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4의 후방 이동 구간을 나타낸 도면이다.
도 6은 메인 이동 구간을 경과한 상태의 핸드를 나타내는 도면이다.
도 7은 푸셔에 의해 기판이 올바르게 위치된 상태의 핸드를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a transfer robot according to the present invention.
2 is a view showing a state in which a hand is moved forward;
3 is a view showing a hand in a state of picking up a substrate.
4 is a view showing the horizontal speed of the hand in the process of picking up the substrate.
5 is a view showing a rearward moving section of FIG.
6 is a diagram showing a hand in a state in which a main movement section has elapsed.
7 is a view showing a hand in a state where the substrate is correctly positioned by the pusher.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Thus, the shape of the elements in the figures has been exaggerated to emphasize a clearer description.

도 1은 본 발명에 따른 이송 로봇을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a transfer robot according to the present invention.

도 1을 참조하면, 이송 로봇(100)은 지지 부재(110), 핸드(120) 및 제어기(200)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the transfer robot 100 includes a support member 110, a hand 120, and a controller 200.

지지 부재(110)는 이동 가능 하게 제공된다. 일 예로, 지지 부재(110)는 일 방향으로 제공되는 레일을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 이 때, 레일은 수평 방향 또는 수직 방향으로 제공될 수 있다. 지지 부재(110)에는 푸셔(111)가 위치된다. 푸셔(111)는 지지 부재(110)의 상면에 직접 위치되거나, 푸셔(111)를 지지하는 구조물에 의해 지지 부재(110)에 고정될 수 있다. 푸셔(111)는 블록 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 푸셔(111)에서 핸드(120)에 위치된 기판(W)과 마주보는 내측면은 기판(W)의 측면 형상에 대응하여 호(arc) 형상으로 제공되거나, 평면 형상으로 제공될 수 있다.The support member 110 is provided movably. In one example, the support member 110 may be provided movably along a rail provided in one direction. At this time, the rails may be provided in the horizontal direction or the vertical direction. The supporting member 110 is provided with a pusher 111. The pusher 111 may be directly on the upper surface of the support member 110 or may be fixed to the support member 110 by a structure that supports the pusher 111. The pusher 111 may be provided in a block shape. The inner surface of the pusher 111 facing the substrate W positioned on the hand 120 may be provided in an arc shape corresponding to the side surface shape of the substrate W or may be provided in a planar shape .

핸드(120)는 지지 부재(110)에 위치된다. 핸드(120)는 지지 부재(110)에 대해 전후방으로 이동 가능하게 제공된다.The hand 120 is positioned in the support member 110. The hand 120 is provided so as to be movable forward and backward with respect to the support member 110.

핸드(120)에는 가이드부(121, 122)가 제공된다. 가이드부(121, 122)는 전방 가이드부(121) 및 후방 가이드부(122)를 포함한다. 전방 가이드부(121)는 핸드(120)의 전방 단부에 위치된다. 전방 가이드부(121)는 핸드(120)의 상면에서 위쪽으로 돌출되게 형성된다. 전방 가이드부(121)는 기판(W)이 이송되는 과정에서 전방으로 이탈되는 것을 방지한다. 전방 가이드부(121)는 핸드(120)에 위치된 기판(W)과 마주보는 내측면이 기판(W)의 측면 형상에 대응되게 호(arc)형상으로 제공될 수 있다. 후방 가이드부(122)는 전방 가이드부(121)와 설정 거리 이격되게 위치된다. 전방 가이드부(121)와 후방 가이드부(122)의 이격 거리는 기판(W)의 크기에 대응된다. 따라서, 기판(W)이 핸드(120)에 대해 올바른 위치에 놓이면, 후방 가이드부(122)는 기판(W)이 후방으로 이탈되는 것을 방지한다. 후방 가이드부(122)는 핸드(120)에 위치된 기판(W)과 마주보는 내측면이 기판(W)의 측면 형상에 대응되게 호(arc)형상으로 제공될 수 있다.The hand 120 is provided with guide portions 121 and 122. The guide portions 121 and 122 include a front guide portion 121 and a rear guide portion 122. [ The front guide portion 121 is located at the front end of the hand 120. [ The front guide part 121 protrudes upward from the upper surface of the hand 120. The front guide part 121 prevents the substrate W from falling forward in the process of being transferred. The front guide part 121 may be provided in an arc shape such that the inner side facing the substrate W positioned on the hand 120 corresponds to the side shape of the substrate W. [ The rear guide portion 122 is positioned to be spaced apart from the front guide portion 121 by a predetermined distance. The distance between the front guide portion 121 and the rear guide portion 122 corresponds to the size of the substrate W. Thus, when the substrate W is in the correct position with respect to the hand 120, the rear guide portion 122 prevents the substrate W from falling backward. The rear guide part 122 may be provided in an arc shape such that the inner side facing the substrate W positioned on the hand 120 corresponds to the side shape of the substrate W. [

제어기(200)는 지지 부재(110), 핸드(120)를 제어한다. 또한, 제어기(200)는 핸드(120)의 위치 정보, 핸드(120)의 속도 정보 또는 핸드(120)를 구동하는데 작용하는 토크에 관한 정보를 모니터링 할 수 있다.The controller 200 controls the support member 110 and the hand 120. [ The controller 200 may also monitor the position information of the hand 120, the speed information of the hand 120, or the information about the torque that is used to drive the hand 120.

도 2는 핸드가 전방으로 이동되는 상태를 나타내는 도면이고, 도 3은 기판을 픽업한 상태의 핸드를 나타내는 도면이다.Fig. 2 is a view showing a state in which a hand is moved forward, and Fig. 3 is a view showing a hand in a state in which a substrate is picked up.

도 2 및 도 3을 참조하면, 핸드(120)는 기판(W)을 픽업하기 위해, 기판(W)의 저면에서 아래쪽으로 설정거리 이격된 높이에서 전방으로 이동될 수 있다.2 and 3, the hand 120 can be moved forward at a height spaced a predetermined distance downward from the bottom surface of the substrate W to pick up the substrate W. [

이때, 기판(W)은 핸드(120)에 의해 지지될 저면이 노출된 상태로 제공된다. 일 예로, 기판(W)은 외측 저면의 일부에 의해 지지된 상태이거나, 핸드(120)와 간섭하지 않게 위치된 복수의 핀에 의해 지지된 상태일 수 있다. 핸드(120)는 지지 부재(110)에 대해 상하로 이동 가능하게 제공되거나, 핸드(120)를 구동하는 지지 부재(110)는 상하로 이동 가능하게 제공될 수 있다. 따라서, 핸드(120)는 기판(W)과 상하로 정렬된 위치에서 위쪽으로 이동되어 기판(W)을 픽업할 수 있다. At this time, the substrate W is provided with the bottom surface to be supported by the hand 120 exposed. In one example, the substrate W may be in a state of being supported by a portion of the outer bottom or supported by a plurality of fins positioned so as not to interfere with the hand 120. The hand 120 is provided to be movable up and down with respect to the support member 110 or the support member 110 that drives the hand 120 can be provided to be movable up and down. Thus, the hand 120 can be moved upwards at a position aligned vertically with the substrate W to pick up the substrate W. [

핸드(120)가 기판(W) 픽업을 위한 설정 위치에서 위쪽으로 이동하여 기판(W)을 픽업하면, 기판(W)이 올바를 위치에 있던 경우 기판(W)의 후방 저면은 후방 가이드부(122)의 내측 상면에 위치된다. 픽업을 위한 기판(W)의 위치는 오차가 발생할 수 있다. 픽업을 위한 기판(W)의 위치가 올바른 위치에 비해 전방에 위치된 경우, 핸드(120)가 기판(W)을 픽업하면 기판(W)의 전방 단부는 전방 가이드부(121)의 상면이 위치될 수 있다. 그리고 핸드(120)가 후방으로 이동하는 과정에서, 기판(W)은 관성에 의해 핸드(120)의 전방으로 이탈될 수 있다. 이에 본 발명에 따른 이송 로봇(100)은 핸드(120)가 올바르게 위치된 기판(W)에 대해 설정 거리만큼 전방으로 더 이동된 후 상승하여 기판(W)을 픽업하도록 제공된다. 따라서, 기판(W)이 올바른 위치에 비해 전방에 위치된 경우에도, 기판(W)은 전방 가이드부(121)의 내측에 위치되어, 핸드(120)가 후방으로 이동되는 과정에서 기판(W)이 전방으로 이탈되는 것이 방지된다.When the hand 120 moves upward at a setting position for picking up the substrate W to pick up the substrate W and the substrate W is in the correct position, the rear bottom surface of the substrate W is guided to the rear guide part 122 As shown in Fig. An error may occur in the position of the substrate W for pick-up. When the hand 120 picks up the substrate W, the front end of the substrate W is positioned at the position where the upper surface of the front guide part 121 is positioned at the position . In the process of moving the hand 120 backward, the substrate W may be released forward of the hand 120 by inertia. Accordingly, the transfer robot 100 according to the present invention is further moved forward by a predetermined distance to the substrate W on which the hand 120 is correctly positioned, and then is raised to pick up the substrate W. The substrate W is positioned inside the front guide portion 121 and the substrate W is moved in the backward direction of the hand 120. Therefore, even when the substrate W is positioned ahead of the correct position, Is prevented from being released to the front.

도 4는 기판을 픽업하는 과정에서의 핸드의 수평 방향 속도를 나타내는 도면이고, 도 5는 도 4의 후방 이동 구간을 나타낸 도면이다.4 is a view showing a horizontal direction speed of a hand in a process of picking up a substrate, and FIG. 5 is a view showing a rearward moving section of FIG.

도 4 및 도 5를 참조하면, 전방 이동 구간(F1, F2, F3)에서 전방으로 이동한 후 상승하여 기판(W)을 픽업한 핸드(120)는 후방 이동 구간에서 후방으로 이동한다. 전방 이동 구간의 시간은 후방 이동 구간의 시간에 비해 짧게 형성될 수 있다. 즉, 전방 이동 구간(F1, F2, F3)의 전방 가속 구간(F1)의 기울기는 후방 이동 구간의 후방 가속 구간(Rm1)의 기울기에 비해 크게 형성되고, 전방 이동 구간(F1, F2, F3)의 최대 속력은 후방 이동 구간의 최대 속력에 비해 크게 형성될 수 있다. 따라서, 핸드(120)가 기판(W)픽업을 위해 전방으로 이동되는데 되는 시간을 줄일 수 있다.Referring to FIGS. 4 and 5, the hand 120 moving forward after moving forward in the forward movement sections F1, F2 and F3 and picking up the substrate W moves backward in the rearward movement section. The time of the forward movement interval may be shorter than the time of the backward movement interval. That is, the inclination of the forward acceleration section F1 of the forward movement sections F1, F2, and F3 is formed to be larger than the inclination of the rear acceleration section Rm1 of the rearward movement section and the forward movement sections F1, F2, The maximum speed of the rearward movement section can be formed larger than the maximum speed of the rearward movement section. Therefore, it is possible to reduce the time required for the hand 120 to be moved forward for pickup of the substrate W. [

후방 이동 구간에서, 기판(W)을 픽업한 핸드(120)는 메인 이동 구간(Rm1, Rm2, Rm3)과 기판 정렬 구간(S)을 거쳐 후방으로 이동된다. 메인 이동 구간(Rm1, Rm2, Rm3)에서 기판(W)의 후방 저면은 후방 가이드부(122)의 내측 상면에 위치된 상태로 유지된다. 메인 이동 구간(Rm1, Rm2, Rm3)은 후방 가속 구간(Rm1), 후방 등속 구간(Rm2), 후방 감속 구간(Rm3)을 포함한다.In the backward movement section, the hand 120 picking up the substrate W is moved backward through the main movement sections Rm1, Rm2, and Rm3 and the substrate alignment section S. The rear bottom surface of the substrate W in the main movement sections Rm1, Rm2 and Rm3 is maintained in a state located on the inner upper surface of the rear guide section 122. [ The main movement sections Rm1, Rm2 and Rm3 include a rear acceleration section Rm1, a rear constant velocity section Rm2 and a rearward deceleration section Rm3.

기판(W)을 픽업한 상태의 핸드(120)는 후방 가속 구간(Rm1)에서 이동되는 속도가 증가되면서 후방으로 이동된다. 설정 속도에 도달되면 핸드(120)는 후방 등속 구간(Rm2)에서 설정 거리를 이동한 후 후방 감속 구간(Rm3)에서 속도가 감속되면서 이동된 후 정지된다.The hand 120 in a state in which the substrate W is picked up is moved rearward while the speed at which the hand 120 is moved in the rear acceleration section Rm1 is increased. When the set speed is reached, the hand 120 is moved after moving the set distance in the rear constant speed section Rm2 while decelerating in the rear deceleration section Rm3, and then stopped.

도 6은 메인 이동 구간을 경과한 상태의 핸드를 나타내는 도면이다.6 is a diagram showing a hand in a state in which a main movement section has elapsed.

도 6을 참조하면, 메인 이동 구간(Rm1, Rm2, Rm3)을 지나면, 핸드(120)는 후방으로 이동이 완료된 위치에 비해 정렬 오프셋 거리만큼 전방에 위치된다. 정렬 오프셋 거리는 4mm이하일 수 있다. 따라서, 기판(W)은 후방 저면이 후방 가이드부(122) 내측 상면에 위치되고, 기판(W)의 후방 측면은 푸셔(111)와 이격 되거나 푸셔(111)와 접한 상태로 제공된다.Referring to FIG. 6, the hand 120 is positioned forward by the alignment offset distance from the position where the movement of the hand 120 is completed, after passing through the main movement sections Rm1, Rm2, and Rm3. The alignment offset distance may be less than or equal to 4 mm. The rear surface of the substrate W is spaced apart from the pusher 111 or provided in contact with the pusher 111. In this case,

도 7은 푸셔에 의해 기판이 올바르게 위치된 상태의 핸드를 나타내는 도면이다.7 is a view showing a hand in a state where the substrate is correctly positioned by the pusher.

도 7을 참조하면, 이후, 핸드(120)는 기판 정렬 구간(S)을 거쳐 후방으로 이동한다. 기판 정렬 구간(S)에서 핸드(120)는 메인 이동 구간(Rm1, Rm2, Rm3)에 비해 저속으로 후방으로 이동한다. 기판 정렬 구간(S)에서 후방을 향한 핸드(120)의 이동 거리는 정렬 오프셋 거리일 수 있다. 따라서 푸셔(111)는 기판(W)의 후방 단부에 가해지는 충격을 최소화 하면서 기판(W)을 전방으로 밀어 기판(W)의 후방 저면이 후방 가이드부(122) 내측의 핸드(120) 상면에 위치되게 한다. 기판 정렬 구간(S)에서의 핸드(120)의 이동 속도는 후방 등속 구간(Rm2)의 속도의 7% 이하일 수 있다.Referring to FIG. 7, the hand 120 moves backward through the substrate alignment section S afterwards. The hand 120 moves backward at a lower speed than the main movement sections Rm1, Rm2 and Rm3 in the substrate alignment section S, The movement distance of the hand 120 rearward in the substrate alignment section S may be an alignment offset distance. The pusher 111 pushes the substrate W forward while minimizing the impact applied to the rear end of the substrate W so that the rear bottom surface of the substrate W contacts the upper surface of the hand 120 inside the rear guide portion 122 . The moving speed of the hand 120 in the substrate alignment section S may be 7% or less of the speed of the rear constant velocity section Rm2.

또한, 후방 이동 구간은 감쇠 구간(O)을 더 포함할 수 있다. 감쇠 구간(O)은 메인 이동 구간(Rm1, Rm2, Rm3) 앞에 위치된다. 감쇠 구간(O)에서 핸드(120)는 저속으로 후방을 향해 설정 거리 이동한다. 기판(W)을 픽업한 직후 핸드(120)는 상하 진동이 크게 발생한다. 이는 기판(W) 픽업을 위해 핸드(120)가 위쪽으로 이동하는 과정에서 받는 힘, 기판(W)이 핸드(120)에 위치되면서 기판(W)이 핸드(120)에 가하는 힘에 기인한다. 이와 같은 진동은 핸드(120)가 저속으로 이동하는 과정에서 감쇠된다. 따라서, 이후 핸드(120)가 메인 이동 구간(Rm1, Rm2, Rm3)에서 이동 시 진동이 미치는 영향이 감소될 수 있다. 감쇠 구간(O)에서의 최대 속도는 메인 이동 구간(Rm1, Rm2, Rm3)의 최대 속도의 7% 이하 일 수 있다.In addition, the backward movement section may further include an attenuation section (O). The attenuation section O is located in front of the main movement sections Rm1, Rm2, and Rm3. In the attenuation section (O), the hand 120 moves at a low speed toward the rearward by a set distance. Immediately after picking up the substrate W, the hand 120 greatly vibrates up and down. This is due to the force applied to the hand 120 by the substrate W when the substrate W is placed on the hand 120 and the force received when the hand 120 moves upward to pick up the substrate W. [ Such vibration is attenuated in the process of moving the hand 120 at a low speed. Therefore, the influence of vibration on movement of the hand 120 in the main movement sections Rm1, Rm2, and Rm3 can be reduced. The maximum velocity at the attenuation interval O may be less than or equal to 7% of the maximum velocity of the main movement sections Rm1, Rm2, Rm3.

본 발명에 따르면, 핸드(120)가 기판(W)을 픽업하는 과정에서 기판(W)은 효율적으로 올바른 위치에 위치될 수 있다. 또한, 기판(W)이 올바른 위치에 위치되는 과정에서 기판(W)과 이송 로봇(100) 사이에 발생하는 충격이 최소화 되어, 기판(W)과 이송 로봇(100)이 파손 되는 것이 방지될 수 있다.According to the present invention, in the course of picking up the substrate W by the hand 120, the substrate W can be efficiently positioned at the correct position. In addition, the impact generated between the substrate W and the transfer robot 100 during the process of positioning the substrate W in the correct position is minimized, and the substrate W and the transfer robot 100 can be prevented from being damaged have.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The foregoing detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the foregoing is intended to illustrate and explain the preferred embodiments of the present invention, and the present invention may be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, it is possible to make changes or modifications within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, within the scope of the disclosure, and / or within the skill and knowledge of the art. The embodiments described herein are intended to illustrate the best mode for implementing the technical idea of the present invention and various modifications required for specific applications and uses of the present invention are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. It is also to be understood that the appended claims are intended to cover such other embodiments.

110: 지지 부재 111: 푸셔
120: 핸드 200: 제어기110: support member 111: pusher
120: hand 200: controller

Claims (10)

지지 부재;
전후방으로 이동 가능하게 상기 지지 부재에 위치되고, 전방 단부에 위치되는 전방 가이드부 및 상기 전방 가이드와 후방으로 설정 거리 이격되어 위치되는 후방 가이드부를 더 포함하는 핸드;
상기 핸드가 최후방에 위치된 상태에서 상기 전방 가이드와의 사이에 기판이 위치될 수 있는 위치에 고정되도록 제공되며, 상단이 상기 후방 가이드의 전방측 상단보다 높게 제공되는 푸셔; 및
상기 핸드를 제어하는 제어기를 포함하되,
상기 제어기는,
상기 핸드를 기판의 후방 저면이 상기 후방 가이드부의 전방 측 상면에 위치된 상태로 픽업하도록 제어하고, 상기 기판의 상기 위치가 유지되는 상태로 상기 핸드를 메인 이동 구간을 통해 후방으로 이동 시킨 후, 상기 메인 이동 구간의 최대 속도에 비해 저속으로 이동되면서 상기 핸드를 후방으로 이동시키는 기판 정렬 구간을 통해 상기 기판의 전방 방향 오프셋을 제공하되,
상기 기판 정렬 구간에서 상기 핸드가 후방으로 이동함에 따라 상기 기판은 상기 푸셔와 접촉하여 전방 방향으로 오프셋되는 이송 로봇.A support member;
A hand positioned at the support member so as to be movable forward and rearward and further comprising a front guide portion positioned at a front end portion and a rear guide portion positioned at a predetermined distance rearward from the front guide portion;
A pusher that is provided to be fixed at a position where the substrate can be positioned between the hand and the front guide in a state where the hand is positioned at the rear end and wherein an upper end is provided higher than a front upper end of the rear guide; And
And a controller for controlling the hand,
The controller comprising:
The control unit controls the hand to be picked up in a state in which the rear bottom surface of the substrate is positioned on the front side upper surface of the rear guide unit and moves the hand backward through the main movement section in a state in which the position of the substrate is maintained, Providing a forward offset of the substrate through a substrate alignment section that moves the hand backward while moving at a low speed relative to a maximum speed of the main movement section,
Wherein the substrate contacts the pusher and is offset in the forward direction as the hand moves backward in the substrate alignment section. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 기판 정렬 구간에서 상기 핸드가 이동하는 정렬 오프셋 거리는 4mm이하로 설정되는 이송 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the alignment offset distance at which the hand moves in the substrate alignment section is set to 4 mm or less. 제1 항에 있어서,
상기 기판 정렬 구간에서의 최대 속도는 상기 메인 이송 구간의 최대 속도의 7%이하인 이송 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the maximum speed in the substrate alignment section is 7% or less of a maximum speed of the main transfer section. 제1 항에 있어서,
상기 제어기는 상기 메인 이동 구간에 앞서 상기 메인 이동 구간의 최대 속도에 비해 저속으로 이동되는 구간인 감쇠 구간을 통해 상기 핸드를 후방으로 이동 시키는 이송 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the controller moves the hand backward through an attenuation period that is a section that is moved at a low speed relative to a maximum speed of the main moving section prior to the main moving section. 제1 항에 있어서,
상기 푸셔는 상기 지지부재에 고정되도록 제공되는 이송 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the pusher is provided to be fixed to the support member. 전방 단부에 위치되는 전방 가이드부와, 상기 전방 가이드와 후방으로 설정 거리 이격되어 위치되는 후방 가이드부가 제공되며 전후방으로 이동 가능한 핸드;
상기 핸드를 지지하는 지지 부재;
상기 핸드가 최후방에 위치된 상태에서 상기 전방 가이드와의 사이에 기판이 위치될 수 있는 위치에 고정되도록 제공되며, 높이가 상기 후방 가이드의 전방측 상단보다 높게 제공되는 푸셔를 이용하여 기판을 픽업하는 방법에 있어서,
상기 기판의 후방 저면이 상기 후방 가이드부의 내측 상면에 위치된 상태를 유지하도록 상기 기판을 픽업하는 단계;
상기 기판의 상기 위치를 유지하면서 상기 핸드를 후방으로 이동하는 메인 이송 단계; 및
상기 핸드가 상기 메인 이동 단계의 최대 속도에 비해 저속으로 후방 이동되며, 상기 푸셔가 상기 기판에 접촉되어 상기 기판을 전방 방향으로 오프셋을 제공하는 기판 정렬 단계를 포함하는 기판 픽업 방법.A hand provided with a front guide portion positioned at a front end portion thereof and a rear guide portion positioned at a predetermined distance rearward from the front guide portion and being movable forward and backward;
A supporting member for supporting the hand;
And a pusher which is provided to be fixed at a position where the substrate can be positioned between the hand and the front guide in a state where the hand is positioned at the rear end and is provided at a height higher than the front upper end of the rear guide, In the method,
Picking up the substrate such that a rear bottom surface of the substrate is positioned on an inner upper surface of the rear guide portion;
A main transfer step of moving the hand backward while maintaining the position of the substrate; And
Wherein the hand is moved backward at a lower speed relative to the maximum speed of the main moving step and the pusher is brought into contact with the substrate to provide an offset in a forward direction of the substrate. 삭제delete 제7 항에 있어서,
상기 기판 정렬 단계에서 상기 핸드가 이동하는 정렬 오프셋 거리는 4mm이하로 설정되는 기판 픽업 방법.8. The method of claim 7,
Wherein an alignment offset distance at which the hand moves in the substrate alignment step is set to 4 mm or less. 제7 항에 있어서,
상기 메인 이동 단계에 앞서 상기 메인 이동 단계의 최대 속도에 비해 저속으로 이동되는 구간인 감쇠 구간을 통해 상기 핸드를 후방으로 이동 시키는 감쇠 단계를 더 포함하는 기판 픽업 방법.8. The method of claim 7,
Further comprising: an attenuation step of moving the hand backward through an attenuation section, which is a section moved at a lower speed relative to a maximum speed of the main moving step, prior to the main moving step.
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