KR101905098B1 - The needle assembly for the probe card - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 일 실시 예는, 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트, 상기 니들 삽입공에 삽입되며, 상기 프로브 카드에 연결되는 다수의 탐침 니들, 상기 플레이트에 배치되며, 상기 니들 삽입공으로부터 이격된 상기 다수의 탐침 니들의 일측을 고정하는 고정부, 및 상기 고정부와 상기 플레이트의 사이에 배치되어 상기 고정부와 상기 플레이트의 접촉을 방지하는 접촉 방지층을 포함하는 것을 특징으로 한다.One embodiment of the present invention provides a probe card including a plate having a plurality of needle insertion holes disposed on a probe card, a plurality of probe needles inserted into the needle insertion hole and connected to the probe card, A fixing portion for fixing one side of the plurality of probe needles spaced from the needle insertion hole and an anti-contact layer disposed between the fixing portion and the plate to prevent contact between the fixing portion and the plate .

Description

프로브 카드용 니들 어셈블리{THE NEEDLE ASSEMBLY FOR THE PROBE CARD}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a needle assembly for a probe card,

본 발명은 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 탐침 니들을 용이하게 보수할 수 있는 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a needle assembly for a probe card, and more particularly, to a needle assembly for a probe card that can easily repair a probe needle.

도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)를 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a needle assembly 1 for a probe card according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)는 플레이트(2)와 니들(5)을 포함한다. 플레이트(2)는 니들 삽입공(3)을 가진다. 니들(5)은 니들 삽입공(3)에 삽입된다. 또한, 니들(5)의 일측은 고정부(4)에 의해 고정된다. 여기서, 고정부(4)는 플레이트(2)에 직접 접촉되어 고착된다.Referring to FIG. 1, a needle assembly 1 for a probe card according to the prior art includes a plate 2 and a needle 5. The plate (2) has a needle insertion hole (3). The needle 5 is inserted into the needle insertion hole 3. Further, one side of the needle 5 is fixed by the fixing portion 4. Here, the fixing portion 4 is brought into direct contact with the plate 2 and fixed thereto.

한편, 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)의 하면에 품질 등의 검사가 필요한 반도체 등이 장착 및 탈착을 반복하면서 니들(5)은 고정부(4)를 중심으로 운동하게 된다. 반복적인 니들(5)의 운동으로 인해, 적어도 일부 니들(5)은 변형되거나, 파손되어 접속 불량이 발생될 수 있다. 접속 불량의 탐침 니들(5)을 교체하기 위해, 고정부(4)는 플레이트(2)로부터 분리되어야 한다. 그러나, 고정부(4)가 플레이트(2)에 고착되어 고정부(4)의 분리가 쉽지 않은 문제점이 있다. 또한, 고착된 고정부(4)를 플레이트(2)로부터 분리하는 과정에서, 플레이트(2) 또는 다른 탐침 니들(5)의 변형이나 파손이 발생되는 문제점이 있다.On the other hand, the needle 5 moves around the fixing part 4 while repeating the mounting and detachment of a semiconductor or the like which requires inspection of the quality, etc., on the lower surface of the needle assembly 1 for a probe card. Due to the movement of the repetitive needle 5, at least some of the needles 5 may be deformed or broken and connection failure may occur. In order to replace the defective probe needle 5, the fixing part 4 has to be detached from the plate 2. However, there is a problem that the fixing portion 4 is fixed to the plate 2, and the fixing portion 4 is not easily separated. Further, there is a problem that deformation or breakage of the plate 2 or other probe needles 5 occurs in the process of separating the fixed part 4 from the plate 2. [

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 접속 불량의 탐침 니들을 용이하게 교체할 수 있는 프로브 카드용 니들 어셈블리를 제공할 수 있다.In order to solve the above problems, it is possible to provide a needle assembly for a probe card that can easily replace probe needles with poor connection.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어세블리는, 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트, 상기 니들 삽입공에 삽입되며, 상기 프로브 카드에 연결되는 다수의 탐침 니들, 상기 플레이트에 배치되며, 상기 니들 삽입공으로부터 이격된 상기 다수의 탐침 니들의 일측을 고정하는 고정부, 및 상기 고정부와 상기 플레이트의 사이에 배치되어 상기 고정부와 상기 플레이트의 접촉을 방지하는 접촉 방지층을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a needle assembly for a probe card, comprising: a plate having a plurality of needle insertion holes disposed on a probe card; A plurality of probe needles connected to the probe card, a fixing unit disposed on the plate, for fixing one side of the plurality of probe needles spaced from the needle insertion hole, And a contact prevention layer for preventing contact between the fixing portion and the plate.

또한, 상기 접촉 방지층은 소정의 폭과 길이를 가지는 필름(film)을 포함하는 것을 특징으로 한다.The contact prevention layer may include a film having a predetermined width and a predetermined length.

또한, 상기 플레이트는, 평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈, 및 상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the plate may include a pair of grooves disposed on one side of the plate, a pair of grooves disposed on the one side of the plate to face each other with respect to a first axis crossing the plate in a plane, And a stepped protrusion protruding toward the one surface and projecting stepwise as the distance from the first axis is increased.

또한, 상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되는 것을 특징으로 한다.Further, the plurality of needle insertion holes are arranged on the lowermost surface of the groove.

또한, 상기 필름의 양 단부에 배치되어 상기 필름을 상기 플레이트에 접착시키는 한 쌍의 접착 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And a pair of adhesive members disposed at both ends of the film to adhere the film to the plate.

또한, 상기 계단식 돌출부는 계단식으로 점차 높아지는 다수의 계단형 단턱과 상기 다수의 계단형 단턱 중 적어도 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기를 포함하는 것을 특징으로 한다.The stepped protrusion may include a plurality of stepped steps gradually increasing in height and a plurality of independent protrusions disposed on the upper surface of at least one of the plurality of stepped steps.

본 발명에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리에 의하면, 접속 불량의 탐침 니들을 교체하기 위해 고정부를 플레이트로부터 용이하게 분리할 수 있다. According to the needle assembly for a probe card according to the present invention, the fixing portion can be easily separated from the plate for replacing the probe needle with a connection failure.

또한, 플레이트에 고착된 고정부를 플레이트로부터 분리하는 과정에서, 플레이트나 다른 탐침 니들에 발생하는 2차 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다. In addition, in the process of separating the fixed portion fixed to the plate from the plate, it is possible to prevent the secondary breakage occurring in the plate or other probe needles.

즉, 탐침 니들의 교체 시, 작업 시간이 단축되고, 플레이트나 다른 탐침 니들에 발생할 수 있는 2차 파손이 방지될 수 있다.That is, when the probe needles are replaced, the working time is shortened and the secondary breakage, which may occur in the plate or other probe needles, can be prevented.

도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 프로브 카드에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 플레이트에 배치된 고정부와 접촉 방지층의 일 실시 예를 도시한 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 저면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 플레이트의 사시도이다.
도 7은 도 6에 도시된 플레이트의 평면도이다.
도 8은 도 6에 도시된 플레이트의 정면도이다.
도 9는 도 4에 도시된 고정부와 접촉 방지층을 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리의 일부를 도시한 도면이다.
도 10은 도 4에 도시된 접촉 방지층을 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 한 쌍의 접착 부재를 도시한 도면이다.
도 12는 도 4에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리를 개략적으로 도시한 측면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a needle assembly for a probe card according to the prior art.
2 is a plan view of a probe card needle assembly according to an embodiment of the present invention disposed on a probe card.
3 is a plan view of the needle assembly for the probe card shown in Fig.
FIG. 4 is a view showing an embodiment of a fixing portion and a contact prevention layer disposed on the plate shown in FIG. 3. FIG.
5 is a bottom view of the needle assembly for the probe card shown in FIG.
6 is a perspective view of the plate shown in Fig.
7 is a plan view of the plate shown in Fig.
8 is a front view of the plate shown in Fig.
FIG. 9 is a view showing a part of a needle assembly for a probe card including the fixing portion and the contact prevention layer shown in FIG. 4. FIG.
10 is a view showing the contact prevention layer shown in Fig.
11 is a view showing a pair of adhesive members according to an embodiment of the present invention.
12 is a side view schematically showing the needle assembly for the probe card shown in FIG.

이하 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a needle assembly 10 for a probe card according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 프로브 카드(110)에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 도시한 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 평면도이며, 도 4는 도 3에 도시된 플레이트(100)에 배치된 고정부(300)와 접촉 방지층(400)의 일 실시 예를 도시한 도면이고, 도 5는 도 4에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 저면도이며, 도 6은 도 3에 도시된 플레이트(100)의 사시도이다.FIG. 2 is a plan view showing a needle assembly 10 for a probe card according to an embodiment of the present invention disposed on a probe card 110, FIG. 3 is a cross- 4 is a view showing an embodiment of the fixing portion 300 and the contact prevention layer 400 disposed on the plate 100 shown in FIG. 3. FIG. 5 is a cross- FIG. 6 is a perspective view of the plate 100 shown in FIG. 3; FIG.

도 2 내지 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)는 플레이트(100), 탐침 니들(200), 고정부(300) 및 접촉 방지층(400)을 포함 할 수 있다.2 through 6, a probe card needle assembly 10 according to an embodiment of the present invention includes a plate 100, a probe needle 200, a fixing portion 300, and a contact prevention layer 400 .

플레이트(100)는 프로브 카드(110) 상에 배치될 수 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼(미도시), COF(chip on film, 미도시), FPC(flexible printed circuit, 미도시) 등이 플레이트(100)에 배치되어, 품질 검사가 이루어질 수 있다. 플레이트(100)는 한 쌍의 홈(130), 니들 삽입공(150), 계단식 돌출부(170)를 가질 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 사각 판 형상을 가질 수 있다.The plate 100 may be disposed on the probe card 110. Therefore, a semiconductor wafer (not shown), a chip on film (not shown), a flexible printed circuit (FPC) (not shown), and the like can be disposed on the plate 100 to perform quality inspection. The plate 100 may have a pair of grooves 130, a needle insertion hole 150, and a stepped protrusion 170. Meanwhile, the plate 100 may have a rectangular plate shape.

한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일측과 타측을 가로지르는 제 1 축(131)을 기준으로 마주보게 배치될 수 있다. 예컨대, 제 1 축(131)은 평면상 플레이트(100)의 중심을 지나는 좌우 중심축을 포함할 수 있다. 한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일면에 배치될 수 있다. 즉, 플레이트(100)는 그 일면에서 타면을 향하여 평면상 사각 형상으로 함몰된 한 쌍의 홈(130)을 가질 수 있다. 또한, 한 쌍의 홈(130) 각각은 제 1 축(131)으로부터 이격되고, 플레이트(100)의 가장자리에 인접하게 배치될 수 있다.The pair of grooves 130 may be disposed to face each other with respect to the first axis 131 which crosses one side of the plate 100 and the other side. For example, the first axis 131 may include left and right center axes passing through the center of the planar plate 100. The pair of grooves 130 may be disposed on one side of the plate 100. That is, the plate 100 may have a pair of grooves 130 that are depressed in a rectangular shape in a plan view from the one surface toward the other surface. Further, each of the pair of grooves 130 may be spaced from the first axis 131 and disposed adjacent to the edge of the plate 100.

도 7은 도 6에 도시된 플레이트(100)의 평면도이고, 도 8은 도 6에 도시된 플레이트(100)의 정면도이고, 도 9는 도 4에 도시된 고정부(300)와 접촉 방지층(400)을 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 일부를 도시한 도면이다.FIG. 7 is a plan view of the plate 100 shown in FIG. 6, FIG. 8 is a front view of the plate 100 shown in FIG. 6, and FIG. 9 is a cross- ) Of the needle assembly 10 for a probe card.

도 6 내지 8을 참조하면, 계단식 돌출부(170)는 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 계단식 돌출부(170)는 플레이트(100)의 타면에서 일면을 향하여 돌출될 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(170)는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 계단식 돌출부(170)는 계단식으로 점차 돌출되어 플레이트(100)의 가장자리까지 연장될 수 있다. 6 to 8, the stepped protrusion 170 may be disposed in each of the pair of grooves 130. [ The stepped protrusion 170 may protrude from the other surface of the plate 100 toward one surface. In addition, the stepped protrusion 170 may protrude in a stepwise manner as the distance from the first axis 131 increases. The stepped protrusion 170 may gradually protrude stepwise and extend to the edge of the plate 100.

일 실시 예로, 계단식 돌출부(170)는 다수의 계단형 단턱(171)과 적어도 하나의 독립형 돌기(173)를 포함할 수 있다. 다수의 계단형 단턱(171)들은 제 1 축(131)으로부터 플레이트(100)의 가장자리로 갈수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 즉, 다수의 계단형 단턱(171)들의 높이는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 홈(130)의 최하면(133)으로부터 높아질 수 있다.In one embodiment, the stepped protrusion 170 may include a plurality of stepped steps 171 and at least one independent protrusion 173. The plurality of stepped steps 171 may protrude stepwise from the first axis 131 toward the edge of the plate 100. That is, the height of the plurality of step-like steps 171 may be increased from the lowest surface 133 of the groove 130 as the distance from the first axis 131 increases.

독립형 돌기(173)는 다수의 계단형 단턱(171) 중 적어도 어느 하나의 상면으로부터 돌출될 수 있다. 또한, 다수의 계단형 단턱(171) 중 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기(173)는 다른 하나의 계단형 단턱(171)과 이격되게 배치될 수 있다. 한 쌍의 홈(130)의 내부에서 계단식으로 돌출되는 다수의 계단형 단턱(171)들을 소정의 높이로 가공하는 것은 어려움이 따를 수 있다. The stand-alone projection 173 may protrude from the upper surface of at least one of the plurality of step-like steps 171. In addition, the independent protrusions 173 disposed on any one of the plurality of stepped protrusions 171 may be disposed apart from the other stepped protrusions 171. It may be difficult to process the plurality of step-like stepped protrusions 171 protruding stepwise in the pair of grooves 130 to a predetermined height.

따라서, 한 쌍의 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(171)은 다른 계단형 단턱(171)에 비해 넓은 폭을 갖게 가공될 수 있다. 이 경우, 독립형 돌기(173)가 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(171) 상에 배치될 수 있다. 독립형 돌기(173)는 후술하는 탐침 니들의 경사 각도를 조절하고, 탐침 니들을 안정적으로 지지할 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 금형(미도시)을 이용하여 사출 방식으로 제조될 수 있다.Thus, the stepped step 171 closest to the lowermost side 133 of the pair of grooves 130 can be processed to have a wider width than the other stepped steps 171. [ In this case, the stand-alone projection 173 can be disposed on the step-like step 171 closest to the lowermost side 133 of the groove 130. The stand-alone projection 173 adjusts the inclination angle of the probe needles to be described later, and can stably support the probe needles. Meanwhile, the plate 100 may be manufactured by an injection method using a mold (not shown).

도 4, 및 도 6 내지 9를 참조하면, 플레이트(100)는 다수의 니들 삽입공(150)을 가질 수 있다. 니들 삽입공(150)은 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 특히, 니들 삽입공(150)은 홈(130)의 최하면(133)에 배치될 수 있다. 즉, 니들 삽입공(150)은 제 1 축(131)과 계단식 돌출부(170)의 사이에 배치될 수 있다. 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 후술하는 탐침 니들(200)의 절곡 단부(230)에 대응하여 경사질 수 있다.Referring to FIGS. 4 and 6 to 9, the plate 100 may have a plurality of needle insertion holes 150. The needle insertion hole 150 may be disposed in each of the pair of grooves 130. [ In particular, the needle insertion hole 150 can be disposed on the lowermost side 133 of the groove 130. [ That is, the needle insertion hole 150 may be disposed between the first shaft 131 and the stepped protrusion 170. The center axis 151 of the needle insertion hole 150 may be inclined corresponding to the bent end 230 of the probe needle 200 described later.

탐침 니들(200)은 계단식 돌출부(170)에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치될 수 있다. 또한, 탐침 니들(200)의 단부는 니들 삽입공(150)에 삽입될 수 있다. 일 실시 예로, 탐침 니들(200)은 니들 봉(210)과 절곡 단부(230)를 가질 수 있다. 니들 봉(210)은 일정한 길이를 가질 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)의 단부에 배치될 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 둔각을 이룰 수 있다. 바람직하게, 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 91도 이상 121도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(170)에 배치된 니들 봉(210)은 플레이트(100)의 일면 또는 타면과 6도 이상 15도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 이에 의해, 절곡 단부(230)가 니들 삽입공(150)에 유동 가능하게 최적으로 삽입될 수 있다.The probe needle 200 may be disposed at an angle to the stepped protrusion 170 at least partially. Further, the end of the probe needle 200 can be inserted into the needle insertion hole 150. [ In one embodiment, the probe needle 200 may have a needle bar 210 and a bent end 230. The needle bar 210 may have a constant length. The bent end 230 may be disposed at the end of the needle bar 210. [ The folded end 230 may be at an obtuse angle with the needle bar 210. The bent end 230 preferably has an angle of not less than 91 degrees and not more than 121 degrees with the needle bar 210. [ In addition, the needle bar 210 disposed on the stepped protrusion 170 may form an angle of 6 degrees or more and 15 degrees or less with respect to one surface or the other surface of the plate 100. Thereby, the bent end 230 can be inserted optimally into the needle insertion hole 150 to be able to flow.

고정부(300)는 플레이트(100)에 배치될 수 있다. 고정부(300)는 플레이트(100)와 프로브 카드(110)의 사이에 배치될 수 있다. 고정부(300)는 플레이트(100)에 접착되어 탐침 니들(200)들을 고정할 수 있다. 일 실시 예로, 고정부(300)는 에폭시를 포함할 수 있다. 즉, 고정부(300)는 니들 삽입공(150)으로부터 이격된 탐침 니들(2000)의 일측을 고정하기 위해 플레이트(100) 상에 형성된 엑폭시를 포함할 수 있다.The fixing portion 300 may be disposed on the plate 100. The fixing portion 300 may be disposed between the plate 100 and the probe card 110. [ The fixation portion 300 may be bonded to the plate 100 to fix the probe needles 200. In one embodiment, the fixation portion 300 may comprise an epoxy. That is, the fixation portion 300 may include an epoxy formed on the plate 100 to fix one side of the probe needle 2000 spaced from the needle insertion hole 150.

도 10은 도 4에 도시된 접촉 방지층(400)을 도시한 도면이다.FIG. 10 is a view showing the contact prevention layer 400 shown in FIG.

도 4, 9 및 10을 참조하면, 접촉 방지층(400)은 고정부(300)와 플레이트(100)의 사이에 배치될 수 있다. 접촉 방지층(400)은 니들 삽입공(150)으로부터 이격되며, 제 1 축(131)과 평행하게 연장된 플레이트(100)의 가장자리를 따라 연장될 수 있다. 또한, 접촉 방지층(400)은 홈(130)에 배치된 계단식 돌출부(170) 상에 배치될 수 있다. 접촉 방지층(400)은 고정부(300)와 플레이트(100)의 접촉을 방지할 수 있다.4, 9 and 10, the contact prevention layer 400 may be disposed between the fixing portion 300 and the plate 100. The contact preventive layer 400 may be spaced from the needle insert hole 150 and may extend along the edge of the plate 100 extending parallel to the first axis 131. In addition, the contact barrier layer 400 may be disposed on the stepped protrusion 170 disposed in the groove 130. The contact preventive layer 400 can prevent the contact between the fixing portion 300 and the plate 100.

일 실시 예로, 접촉 방지층(400)은 소정의 폭(W)과 길이(L)를 가지는 필름을 포함할 수 있다. 필름은 플레이트(100)에 접착 또는 고착되지 않는 효과가 있다. 고정부(300)는 접촉 방지층(400) 상에 배치될 수 있다. 따라서, 고정부(300)와 플레이트(400)의 접촉이 방지될 수 있다. 탐침 니들(200)의 일측을 고정하기 위해, 용융된 액상의 고정부(300)가 접촉 방지층(400) 상에 배치된 탐침 니들(200)에 도포될 수 있다. 도포된 고정부(300)가 경화되면서 탐침 니들(200)들을 고정할 수 있다.In one embodiment, the contact barrier layer 400 may comprise a film having a predetermined width W and a length L. [ The film is not adhered or fixed to the plate 100. The fixing portion 300 may be disposed on the contact prevention layer 400. Therefore, contact between the fixing portion 300 and the plate 400 can be prevented. The molten liquid fixed portion 300 can be applied to the probe needle 200 disposed on the contact prevention layer 400 to fix one side of the probe needle 200. [ The coated needle 300 can be fixed while the coated needle 300 is hardened.

한편, 고정부(300)가 플레이트(100) 상에 직접 접촉되어 경화되면, 고정부(300)는 플레이트(100)에 접착되어 고정될 수 있다. 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)에 반도체 웨이퍼(미도시), COF(chip on film, 미도시), FPC(flexible printed circuit, 미도시) 등이 품질 검사를 위해 반복적으로 배치되고, 분리된다. 이로 인해, 탐침 니들(200)은 반복적으로 인가되는 하중으로 인한 휘거나 파손될 수 있다. 즉, 탐침 니들(200)의 변형으로 인한 접속 불량이 발생될 수 있다. On the other hand, when the fixing part 300 directly contacts and hardens on the plate 100, the fixing part 300 can be adhered to the plate 100 and fixed. A semiconductor wafer (not shown), a chip on film (COF), a flexible printed circuit (FPC) (not shown), and the like are repeatedly arranged and separated for quality inspection on the probe card needle assembly 10. As a result, the probe needle 200 can be bent or broken due to repeatedly applied loads. That is, connection failure due to deformation of the probe needle 200 may occur.

접속 불량의 경우, 변형 또는 파손된 탐침 니들(200)이 교체되어야 한다. 이를 위해, 고정부(300)는 플레이트(100)로부터 분리되어야 한다. 그러나, 고정부(300)가 플레이트(100)에 직접 접촉되어 고착된 경우, 고정부(300)를 플레이트(100)로부터 분리하는 데에 어려움이 따른다. 또한, 플레이트(100)에 고착된 고정부(300)를 플레이트(100)로부터 분리하는 과정에서, 플레이트(100)나 다른 탐침 니들(200)에 2차 파손이 발생될 수 있는 문제점이 있다. 접촉 방지층(400)은 고정부(300)와 플레이트(100)의 직접 접촉을 방지하므로, 변형 또는 파손된 탐침 니들(200)의 교체를 용이하게 할 수 있다. 즉, 탐침 니들(200)의 교체 시, 작업 시간이 단축되고, 플레이트(100)나 다른 탐침 니들(200)에 발생할 수 있는 2차 파손이 방지될 수 있다.In the case of a connection failure, the deformed or broken probe needles 200 should be replaced. To this end, the fixation part 300 should be separated from the plate 100. However, when the fixing portion 300 is directly contacted and fixed to the plate 100, it is difficult to detach the fixing portion 300 from the plate 100. [ Also, in the process of separating the fixing part 300 fixed to the plate 100 from the plate 100, there is a problem that the plate 100 and the other probe needles 200 may be subjected to secondary damage. The contact preventive layer 400 prevents direct contact between the fixing portion 300 and the plate 100, thereby facilitating replacement of the deformed or broken probe needles 200. That is, when the probe needle 200 is replaced, the working time is shortened and secondary breakage that may occur in the plate 100 or other probe needles 200 can be prevented.

도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 한 쌍의 접착 부재(500)를 도시한 도면이며, 도 12는 도 4에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 개략적으로 도시한 측면도이다.FIG. 11 is a view showing a pair of adhesive members 500 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a side view schematically showing a needle assembly 10 for a probe card shown in FIG.

도 11 및 12를 참조하면, 일 실시 예로, 한 쌍의 접착 부재(500)가 접촉 방지층(400)에 배치될 수 있다. 한 쌍의 접착 부재(500)는 접촉 방지층(400)의 양 단부에 배치될 수 있다. 한 쌍의 접착 부재(500)는 접촉 방지층(400)의 양 단부를 플레이트(100)에 고정할 수 있다. 한편, 도 12에서 탐침 니들(200)은 개략적으로 도시된 것이다. 탐침 니들(200)은 상하로 다수의 층으로 배치될 수 있다.Referring to Figs. 11 and 12, in one embodiment, a pair of adhesive members 500 may be disposed in the contact prevention layer 400. Fig. The pair of bonding members 500 may be disposed at both ends of the contact prevention layer 400. The pair of adhesive members 500 can fix both ends of the contact preventive layer 400 to the plate 100. [ On the other hand, the probe needle 200 is schematically shown in Fig. The probe needles 200 can be arranged in multiple layers up and down.

도 2, 5 및 9를 참조하면, 탐침 니들(200)의 일단은 니들 삽입공(150)에 삽입되고, 타단은 프로브 카드(110)에 연결된다. 또한, 탐침 니들(200)의 일단과 타단의 사이 중 일측은 고정부(300)에 의해 고정된다. 또한, 탐침 니들(200)은 플레이트(100)와 프로브 카드(110)의 사이에 배치된다. 따라서, 탐침 니들(200)에 의한 고정부(300)는 접촉 방지층(400)을 플레이트(100)에 밀착시킬 수 있다.2, 5 and 9, one end of the probe needle 200 is inserted into the needle insertion hole 150, and the other end is connected to the probe card 110. One side of the probe needle 200 between the one end and the other end is fixed by the fixing portion 300. In addition, the probe needle 200 is disposed between the plate 100 and the probe card 110. Therefore, the fixing portion 300 of the probe needle 200 can bring the contact prevention layer 400 into close contact with the plate 100.

그러나, 고정부(300) 및 탐침 니들(200) 들의 배치에 따라 접촉 방지층(400)의 양 단부는 플레이트(100)에 밀착되지 않을 수 있다. 이 경우, 한 쌍의 접착 부재(500)는 접촉 방지층(400)의 양 단부를 플레이트(100)에 밀착시킬 수 있다. 물론, 탐침 니들(200)과 관계없이 한 쌍의 접착 부재(500)는 접촉 방지층(400)의 양 단부를 플레이트(100)에 고정하므로, 접촉 방지층(400)의 전 길이가 플레이트(100)에 밀착될 수 있다.However, depending on the arrangement of the fixing unit 300 and the probe needles 200, both ends of the contact prevention layer 400 may not be in close contact with the plate 100. In this case, the pair of the adhesive members 500 can adhere the both ends of the contact prevention layer 400 to the plate 100. Of course, regardless of the probe needle 200, the pair of adhesive members 500 fix both ends of the contact preventive layer 400 to the plate 100, so that the entire length of the contact preventive layer 400 Can be brought into close contact with each other.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.Although the invention made by the present inventors has been described concretely with reference to the above embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and it goes without saying that various changes can be made without departing from the gist of the present invention.

10 : 프로브 카드용 니들 어셈블리
100 : 플레이트
110 : 프로브 카드
130 : 한 쌍의 홈
131 : 제 1 축
133 : 한 쌍의 홈의 최하면
150 : 니들 삽입공
170 : 계단식 돌출부
171 : 계단식 단턱
173 : 독립형 돌기
200 : 탐침 니들
210 : 니들 봉
230 : 절곡 단부
300 : 고정부
400 : 접촉 방지층
500 : 한 쌍의 접착 부재10: Needle assembly for probe card
100: Plate
110: Probe card
130: a pair of grooves
131: 1st axis
133: The bottom of a pair of grooves
150: Needle insertion ball
170: stepped protrusion
171: Stepped step
173: stand-alone projection
200: Probe needle
210: needle bar
230: Bending end
300:
400: contact prevention layer
500: a pair of adhesive members

Claims (6)

프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트;
상기 니들 삽입공에 삽입되며, 상기 프로브 카드에 연결되는 다수의 탐침 니들;
상기 플레이트에 배치되며, 상기 니들 삽입공으로부터 이격된 상기 다수의 탐침 니들의 일측을 고정하는 고정부; 및
상기 고정부와 상기 플레이트의 사이에 배치되어 상기 고정부와 상기 플레이트의 접촉을 방지하는 접촉 방지층; 을 포함하며,
상기 플레이트는,
평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈; 및
상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리. A plate disposed on the probe card and having a plurality of needle insertion holes;
A plurality of probe needles inserted into the needle insertion holes and connected to the probe card;
A fixture disposed on the plate and fixing one side of the plurality of probe needles spaced from the needle insertion hole; And
A contact prevention layer disposed between the fixing portion and the plate to prevent contact between the fixing portion and the plate; / RTI >
The plate may comprise:
A pair of grooves disposed on one side of the plate, the grooves being opposed to each other with respect to a first axis crossing the plate in a plan view; And
And a stepped protrusion disposed in the groove and protruding from the other surface of the plate toward one surface of the plate and protruding in a stepwise manner as being further away from the first axis. 제 1 항에 있어서,
상기 접촉 방지층은 소정의 폭과 길이를 가지는 필름(film)을 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.The method according to claim 1,
Wherein the contact barrier layer comprises a film having a predetermined width and length. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되는 프로브 카드용 니들 어셈블리.The method according to claim 1,
And the plurality of needle insertion holes are disposed on the lowermost surface of the groove. 제 2 항에 있어서,
상기 필름의 양 단부에 배치되어 상기 필름을 상기 플레이트에 접착시키는 한 쌍의 접착 부재를 더 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.3. The method of claim 2,
And a pair of adhesive members disposed at both ends of the film to adhere the film to the plate. 제 1 항에 있어서,
상기 계단식 돌출부는 계단식으로 점차 높아지는 다수의 계단형 단턱과 상기 다수의 계단형 단턱 중 적어도 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기를 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.The method according to claim 1,
Wherein the stepped protrusion comprises a plurality of stepped steps that gradually increase stepwise and stand-alone protrusions disposed on an upper surface of at least one of the plurality of stepped steps.
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